JP2022176158A - 受光デバイス、受発光装置、電子機器 - Google Patents

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Taisuke Kamada
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Yasuhiro Niikura
祥子 川上
Sachiko Kawakami
杏奈 夛田
Anna Tada
哲史 瀬尾
Tetsushi Seo
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Abstract

Figure 2022176158000001
【課題】利便性、有用性または信頼性に優れた新規な受光デバイスを提供する。
【解決手段】一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、受光デバイス、または、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、トリアジン環を有する化合物である、受光デバイスを提供する。
【選択図】図1

Description

本発明の一態様は、受光デバイス、受発光装置、電子機器または半導体装置に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
表示領域に設けられた画素が、発光素子と光電変換素子を備える機能パネルが知られている(特許文献1)。例えば、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、領域と、を有する機能パネルであって、第1の駆動回路は第1の選択信号を供給し、第2の駆動回路は第2の選択信号および第3の選択信号を供給し、領域は、画素を備える。画素は第1の画素回路、発光素子、第2の画素回路および光電変換素子を備える。第1の画素回路は第1の選択信号を供給され、第1の画素回路は第1の選択信号に基づいて画像信号を取得し、発光素子は第1の画素回路と電気的に接続され、発光素子は画像信号に基づいて発光する。また、第2の画素回路は、第1の選択信号を供給されていない期間に第2の選択信号および第3の選択信号を供給され、第2の画素回路は第2の選択信号に基づいて、撮像信号を取得し、第3の選択信号に基づいて、撮像信号を供給し、光電変換素子は第2の画素回路と電気的に接続され、光電変換素子は撮像信号を生成する。
WO2020/152556号
本発明の一態様は、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な受光デバイスを提供することを課題の一とする。または、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な受発光装置を提供することを課題の一とする。または、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な電子機器を提供することを課題の一とする。または、新規な受光デバイス、新規な受発光装置、または新規な電子機器を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、受光デバイスである。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンから選ばれる骨格を二以上有する、受光デバイスである。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-1)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000002
式(Gh-1)中、Ar11乃至Ar13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-2)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000003
式(Gh-2)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-3)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000004
式(Gh-3)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R521乃至R536は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-4)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000005
式(Gh-4)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR540乃至R549は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよく、R548及びR549は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-5)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000006
式(Gh-5)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR550乃至R559は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、一般式(Gh-6)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000007
式(Gh-6)中、R560乃至R574は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
上記各構成の受光デバイスにおいて、受光層は、第2の有機化合物を有する電子輸送層を有し、活性層は、電子輸送層と正孔輸送層との間に位置すると好ましい。
上記構成の受光デバイスにおいて、第2の有機化合物は、π電子不足型の複素芳香族化合物であると好ましい。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第2の有機化合物は、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、またはピリミジン誘導体のいずれか一であると好ましい。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、トリアジン環を有する化合物である、受光デバイスである。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、一般式(Ge-1)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000008
上記式(Ge-1)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、XおよびXは、それぞれ独立に、炭素または窒素を表し、XおよびXのいずれか一方または両方が炭素の場合、炭素は水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、一般式(Ge-2)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000009
上記式(Ge-2)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、Xは、炭素または窒素を表し、Xが炭素の場合、炭素は水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、一般式(Ge-3)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000010
上記式(Ge-3)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
また、本発明の一態様は、一対の電極間に受光層を有し、受光層は、電子輸送層と活性層を有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、一般式(Ge-4)で表される有機化合物である、受光デバイスである。
Figure 2022176158000011
上記式(Ge-4)中、Arは、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、R乃至R10はそれぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至20のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
上記各構成の受光デバイスにおいて、受光層は、第1の有機化合物を有する正孔輸送層を有し、活性層は、電子輸送層と正孔輸送層との間に位置すると好ましい。
上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、π電子過剰型の複素芳香族化合物または芳香族アミンであると好ましい。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、またはフラン誘導体のいずれか一であると好ましい。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含むと好ましい。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンから選ばれる骨格を二以上有すると好ましい。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、トリアリールアミン骨格を有するモノアミン化合物であることが好ましい(トリアリールアミン化合物におけるアリール基は、ヘテロアリール基も含むものとする)。例えば、一般式(Gh-1)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000012
上記式(Gh-1)中、Ar11乃至Ar13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(Gh-2)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000013
上記式(Gh-2)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、上記構成の発光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(Gh-3)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000014
上記式(Gh-3)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R521乃至R536は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
また、上記構成の受光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(Gh-4)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000015
上記式(Gh-4)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR540乃至R549は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよく、R548及びR549は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、上記構成の発光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(Gh-5)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000016
上記式(Gh-5)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR550乃至R559は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
また、上記構成の発光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(Gh-6)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000017
上記式(Gh-6)中、R560乃至R574は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
また、上記各構成の発光デバイスにおいて、活性層は、第3の有機化合物および第4の有機化合物を少なくとも有し、第3の有機化合物は、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、またはポリチオフェン誘導体のいずれか一であり、第4の有機化合物は、フラーレン、フラーレン誘導体、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、またはキノン誘導体のいずれか一であると好ましい。
また、上記各構成の発光デバイスにおいて、活性層は、第3の有機化合物および第4の有機化合物を少なくとも有し、第3の有機化合物は、一般式(Ga-1)で表される有機化合物であり、第4の有機化合物は、一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)のいずれか一で表される有機化合物、または一般式(Gc-1)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000018
Figure 2022176158000019
Figure 2022176158000020
上記式(Ga-1)中、R21乃至R30はそれぞれ独立に、水素、重水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは2乃至5の整数を表す。また、式(Gb-1)乃至式(Gb-3)中、X30乃至X45はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n10及びn11はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n20乃至n26はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n24乃至n26の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R100乃至R117はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R300乃至R317はそれぞれ独立に、水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、または置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基を表す。また、式(Gc-1)中、R40およびR41は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至13の鎖状アルキル基、炭素数3乃至13の分岐アルキル基、置換または無置換の炭素数6乃至13のアリール基、または置換または無置換の炭素数6乃至13の芳香族アルキル基を表し、R42乃至R49はそれぞれ独立に、水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、置換または無置換の炭素数3乃至13のシクロアルキル基またはハロゲンを表す。
上記各構成の発光デバイスにおいて、活性層は、第3の有機化合物を有する第1の層と、第4の有機化合物を有する第2の層との、積層膜であると好ましい。
また、上記各構成の発光デバイスにおいて、活性層は、第3の有機化合物と、第4の有機化合物と、を有する混合膜であると好ましい。
また、本発明の一態様は、上記各構成の受光デバイスと、発光デバイスと、を有する受発光装置である。
また、本発明の一態様の受発光装置は、受光デバイスの電子輸送層と、発光デバイスの電子輸送層とを、共通層とすることができる。また、本発明の一態様の受発光装置は、受光デバイスの正孔輸送層と、発光デバイスの正孔輸送層とを、共通層とすることができる。
従って、本発明の一態様の受発光装置は、第1の一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、第2の一対の電極間にEL層を有し、EL層は、発光層と正孔輸送層とを有し、正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、受発光装置である。
また、本発明の一態様の受発光装置は、第1の一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と電子輸送層とを有し、第2の一対の電極間にEL層を有し、EL層は、発光層と電子輸送層とを有し、電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、トリアジン環を有する化合物である、受発光装置である。
また、本発明の一態様の受発光装置は、受光デバイスの電子輸送層および発光デバイスの電子輸送層に、共通の有機化合物を用いることができる。また、本発明の一態様の受発光装置は、受光デバイスの正孔輸送層および発光デバイスの正孔輸送層において、共通の有機化合物を用いることができる。
従って、本発明の一態様の受発光装置は、第1の一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と第1の正孔輸送層とを有し、第2の一対の電極間にEL層を有し、EL層は、発光層と第2の正孔輸送層とを有し、第1の正孔輸送層および第2の正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、受発光装置である。
また、本発明の一態様の受発光装置は、第1の一対の電極間に受光層を有し、受光層は、活性層と第1の電子輸送層とを有し、第2の一対の電極間にEL層を有し、EL層は、発光層と第2の電子輸送層とを有し、第1の電子輸送層および第2の電子輸送層は、第2の有機化合物を有し、第2の有機化合物は、トリアジン環を有する化合物である、受発光装置である。
なお、本発明の一態様の受発光装置は上記各構成に限定されない。すなわち、本発明の一態様の受発光装置において、受光デバイスの電子輸送層と、発光デバイスの電子輸送層とが、共通層でなくてもよい。また、本発明の一態様の受発光装置において、受光デバイスの正孔輸送層と、発光デバイスの正孔輸送層とが、共通層でなくてもよい。また、本発明の一態様の受発光装置において、受光デバイスの電子輸送層および発光デバイスの電子輸送層に、共通の有機化合物を用いなくてもよい。また、本発明の一態様の受発光装置において、受光デバイスの正孔輸送層および発光デバイスの正孔輸送層において、共通の有機化合物を用いなくてもよい。
また、本発明の一態様は、上記各構成の受発光装置と、検知部、入力部、または、通信部と、を有する電子機器である。
本明細書に添付した図面では、構成要素を機能ごとに分類し、互いに独立したブロックとしてブロック図を示しているが、実際の構成要素は機能ごとに完全に切り分けることが難しく、一つの構成要素が複数の機能に係わることもあり得る。
本発明の一態様によれば、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な受光デバイスを提供することができる。または、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な受発光装置を提供することができる。または、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な電子機器を提供することができる。または、新規な受光デバイス、新規な受発光装置、または新規な電子機器を提供することができる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
図1(A)乃至図1(C)は、本発明の一態様の受光デバイスを説明する図である。 図2(A)乃至図2(C)は、本発明の一態様の受発光装置を説明する図である。 図3(A)および図3(B)は、本発明の一態様の受発光装置を説明する図である。 図4(A)乃至図4(E)は、実施の形態に係る発光デバイスの構成を説明する図である。 図5(A)乃至図5(D)は、実施の形態に係る受発光装置を説明する図である。 図6(A)乃至図6(C)は、実施の形態に係る受発光装置の製造方法を説明する図である。 図7(A)乃至図7(C)は、実施の形態に係る受発光装置の製造方法を説明する図である。 図8(A)乃至図8(C)は、実施の形態に係る受発光装置の製造方法を説明する図である。 図9(A)乃至図9(D)は、実施の形態に係る受発光装置の製造方法を説明する図である。 図10(A)乃至図10(E)は、実施の形態に係る受発光装置の製造方法を説明する図である。 図11(A)乃至図11(F)は、実施の形態に係る装置および画素配置を説明する図である。 図12(A)乃至図12(C)は、実施の形態に係る画素回路を説明する図である。 図13は、実施の形態に係る発光装置を説明する図である。 図14(A)乃至図14(E)は、実施の形態に係る電子機器を説明する図である。 図15(A)乃至図15(E)は、実施の形態に係る電子機器を説明する図である。 図16(A)および図16(B)は、実施の形態に係る電子機器を説明する図である。 図17は、本発明の一態様の受光デバイスを説明する図である。 図18(A)及び図18(B)は、受光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。 図19は、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。 図20は、受光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。 図21は、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の受光デバイスについて説明する。
本発明の一態様の受光デバイスは、光を検出する機能(以下、受光機能とも記す)を有する。
図1に本発明の一態様の受光デバイス200の断面概略図を示す。
≪受光デバイスの基本的な構造≫
受光デバイスの基本的な構造について説明する。図1(A)には、一対の電極間に受光層203を有する受光デバイス200を示す。具体的には、受光デバイス200は、第1の電極201と第2の電極202との間に受光層203が挟まれた構造を有する。なお、受光層203は、少なくとも、活性層およびキャリア輸送層を含む。
また、図1(B)には、本発明の一態様である受光デバイス200の受光層203の積層構造の一例を示す。受光層203は、第1の電極201上に、第1のキャリア輸送層212、活性層213、および第2のキャリア輸送層214が順次積層された構造を有する。
また、図1(C)には、本発明の一態様である受光デバイス200の受光層203の積層構造の別の例を示す。受光層203は、第1の電極201上に、第1のキャリア注入層211、第1のキャリア輸送層212、活性層213、第2のキャリア輸送層214、および第2のキャリア注入層215が順次積層された構造を有する。
≪受光デバイスの具体的な構造≫
次に、本発明の一態様である受光デバイス200の具体的な構造について説明する。また、ここでは、図1(C)を用いて説明する。
<第1の電極および第2の電極>
第1の電極201および第2の電極202は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの第1の電極101および第2の電極102に用いることのできる材料を用いて形成することができる。
なお、例えば、第1の電極201を反射電極とし、第2の電極202を半透過・半反射電極とすると、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造とすることができる。これにより、検出したい特定の波長の光が強められ、感度の高い受光デバイスとすることができる。
<第1のキャリア注入層>
第1のキャリア注入層211は、受光層203から第1の電極201に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物、及び、正孔輸送性材料とアクセプタ性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料などが挙げられる。また、本明細書等において、第1のキャリア注入層を、正孔注入層ということもある。
また、第1のキャリア注入層211は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの正孔(ホール)注入層111に用いることのできる材料を用いて形成することができる。
<第1のキャリア輸送層>
第1のキャリア輸送層212は、活性層213において入射した光に基づき発生した正孔を第1の電極201に輸送する層であり、正孔輸送性材料(第1の有機化合物ともいう)を含む層である。正孔輸送性材料としては、10-6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。また、本明細書等において、第1のキャリア輸送層を、正孔輸送層ということもある。
正孔輸送性材料(第1の有機化合物)として、π電子過剰型複素芳香族化合物または芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)を用いることができる。
また、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)として、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、または、フラン誘導体を用いることができる。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンから選ばれる骨格を二以上有する。
なお、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)が、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンから選ばれる骨格を二以上有する場合、一つの窒素原子が二以上の骨格に含まれることがある。例えば、芳香族モノアミン化合物において、モノアミンの窒素にフルオレンとビフェニルがそれぞれ結合している場合、当該化合物は、フルオレニルアミン骨格と、ビフェニルアミン骨格と、を有する芳香族モノアミン化合物であると言える。
なお、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)が有する骨格として上述したビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンは置換基を有していてもよい。例えば、置換基として、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基が挙げられる。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、トリアリールアミン骨格を有するモノアミン化合物であることが好ましい(トリアリールアミン化合物におけるアリール基は、ヘテロアリール基も含むものとする)。例えば、下記一般式(Gh-1)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000021
上記一般式(Gh-1)中、Ar11乃至Ar13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、下記一般式(Gh-2)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000022
上記一般式(Gh-2)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、下記一般式(Gh-3)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000023
上記一般式(Gh-3)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R521乃至R536は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、下記一般式(Gh-4)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000024
上記一般式(Gh-4)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR540乃至R549は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよく、R548及びR549は互いに結合して環を形成していてもよい。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、下記一般式(Gh-5)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000025
上記一般式(Gh-5)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR550乃至R559は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。
または、正孔輸送性材料(第1の有機化合物)は、下記一般式(Gh-6)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000026
上記一般式(Gh-6)中、R560乃至R574は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。
上記一般式(Gh-2)中のR511乃至R520、上記一般式(Gh-3)中のR521乃至R536、上記一般式(Gh-4)中のR511乃至R520及びR540乃至R549、上記一般式(Gh-5)中のR511乃至R520及びR550乃至R559、並びに上記一般式(Gh-6)中のR560乃至R574は、上述した置換基に加え、それぞれ独立に、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基を表す。
上記一般式(Gh-2)中のR511乃至R520、上記一般式(Gh-3)中のR521乃至R536、上記一般式(Gh-4)中のR511乃至R520及びR540乃至R549、上記一般式(Gh-5)中のR511乃至R520及びR550乃至R559、並びに上記一般式(Gh-6)中のR560乃至R574は、具体的には、下記式(R-1)乃至(R-38)および式(R-41)乃至(R-117)で表される置換基であると好ましい。なお、式中の*は、結合手を表す。
また、上記一般式(Gh-1)中のAr11乃至Ar13、上記一般式(Gh-2)および(Gh-3)中のAr12及びAr13、並びに上記一般式(Gh-4)および(Gh-5)中のAr13は、具体的には、下記式(R-41)乃至(R-117)で表される置換基であると好ましい。なお、式中の*は、結合手を表す。
Figure 2022176158000027
Figure 2022176158000028
Figure 2022176158000029
Figure 2022176158000030
Figure 2022176158000031
次に、上記一般式(Gh-1)乃至一般式(Gh-6)で表される、有機化合物(正孔輸送性材料)の具体例を以下に示す。
Figure 2022176158000032
Figure 2022176158000033
Figure 2022176158000034
Figure 2022176158000035
Figure 2022176158000036
Figure 2022176158000037
Figure 2022176158000038
Figure 2022176158000039
Figure 2022176158000040
Figure 2022176158000041
上記構造式(201)乃至(302)で表される有機化合物は、上記一般式(Gh-1)乃至(Gh-6)で表される有機化合物(正孔輸送性材料(第1の有機化合物))の一例であり、具体例は、これに限られない。
また、第1のキャリア輸送層212は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの正孔(ホール)輸送層112に用いることのできる材料を用いて形成することもできる。
また、第1のキャリア輸送層212は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が2層以上積層した構造であってもよい。
なお、本実施の形態で示す受光デバイスにおいて、第1のキャリア輸送層212と同じ有機化合物を活性層213に用いることができる。第1のキャリア輸送層212と活性層213に同じ有機化合物を用いると、第1のキャリア輸送層212から活性層213へのキャリアの輸送が効率よく行えるため、より好ましい。
<活性層>
活性層213は、入射した光に基づきキャリアを発生させる層であり、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光層と、活性層と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
また、活性層213は、p型半導体材料(第3の有機化合物ともいう)およびn型半導体材料(第4の有機化合物ともいう)を少なくとも有する。
p型半導体材料(第3の有機化合物)としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。
また、p型半導体材料(第3の有機化合物)としては、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物等が挙げられる。さらに、p型半導体材料としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
また、p型半導体材料(第3の有機化合物)は、下記一般式(Ga-1)で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000042
上記一般式(Ga-1)中、R21乃至R30はそれぞれ独立に、水素、重水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは2乃至5の整数を表す。
上記一般式(Ga-1)において、R21乃至R30は、下記式(Ra-1)乃至式(Ra-77)で表される置換基であると好ましい。なお、式中の*は、結合手を表す。
Figure 2022176158000043
Figure 2022176158000044
Figure 2022176158000045
次に、上記一般式(Ga-1)で表される、p型半導体材料の具体例を以下に示す。
Figure 2022176158000046
Figure 2022176158000047
上記構造式(100)乃至(116)で表される有機化合物は、上記一般式(Ga-1)で表される有機化合物(p型半導体材料(第3の有機化合物))の一例であるが、具体例は、これに限られない。
n型半導体材料(第4の有機化合物)としては、フラーレン(例えばC60、C70等)、フラーレン誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。フラーレンは、サッカーボールのような形状を有し、当該形状はエネルギー的に安定である。フラーレンは、HOMO(最高被占有軌道:Highest Occupied Molecular Orbital)準位及びLUMO(最低空軌道:Lowest Unoccupied Molecular Orbital)準位の双方が深い(低い)。フラーレンは、LUMO準位が深いため、電子受容性(アクセプタ性)が極めて高い。通常、ベンゼンのように、平面にπ電子共役(共鳴)が広がると、電子供与性(ドナー性)が高くなるが、フラーレンは球体形状であるため、π電子共役が大きく広がっているにも関わらず、電子受容性が高くなる。電子受容性が高いと、電荷分離を高速に効率よく起こすため、受光デバイスとして有益である。C60、C70ともに可視光領域に広い吸収帯を有しており、特にC70はC60に比べてπ電子共役系が大きく、長波長領域にも広い吸収帯を有するため好ましい。そのほか、フラーレン誘導体としては、[6,6]-Phenyl-C71-butyric acid methyl ester(略称:PC70BM)、[6,6]-Phenyl-C61-butyric acid methyl ester(略称:PC60BM)、1’,1’’,4’,4’’-Tetrahydro-di[1,4]methanonaphthaleno[1,2:2’,3’,56,60:2’’,3’’][5,6]fullerene-C60(略称:ICBA)などが挙げられる。
また、n型半導体材料(第4の有機化合物)としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、キノン誘導体等が挙げられる。
また、n型半導体材料(第4の有機化合物)は、下記一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)のいずれか一で表される有機化合物であると好ましい。
Figure 2022176158000048
上記一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)中、X30乃至X45はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n10及びn11はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n20乃至n26はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n24乃至n26の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R100乃至R117はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R300乃至R317はそれぞれ独立に、水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、または置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基を表す。
上記一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)中において、R100乃至R117は、下記式(Rb-1)乃至式(Rb-79)および式(R-41)乃至式(R-117)で表される置換基であると好ましい。なお、式中の*は、結合手を表す。
また、上記一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)中において、R300乃至R317は、下記式(Rb-1)乃至式(Rb-4)、式(Rb-7)および式(R-33)乃至式(R-72)で表される置換基であると好ましい。なお、式中の*は、結合手を表す。
Figure 2022176158000049
Figure 2022176158000050
Figure 2022176158000051
Figure 2022176158000052
Figure 2022176158000053
Figure 2022176158000054
Figure 2022176158000055
Figure 2022176158000056
Figure 2022176158000057
Figure 2022176158000058
Figure 2022176158000059
Figure 2022176158000060
Figure 2022176158000061
次に、上記一般式(Gb-1)で表される、n型半導体材料の具体例を以下に示す。
Figure 2022176158000062
上記構造式(300)乃至(312)で表される有機化合物は、上記一般式(Gb-1)乃至式(Gb-3)で表される有機化合物(n型半導体材料(第4の有機化合物))の一例であるが、具体的な例は、これに限られない。
また、n型半導体材料(第4の有機化合物)として、下記一般式(Gc-1)で表される有機化合物を用いても良い。
Figure 2022176158000063
上記一般式(Gc-1)中、R40およびR41は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至13の鎖状アルキル基、炭素数3乃至13の分岐アルキル基、置換または無置換の炭素数6乃至13のアリール基、または置換または無置換の炭素数6乃至13の芳香族アルキル基を表し、R42乃至R49はそれぞれ独立に、水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、置換または無置換の炭素数3乃至13のシクロアルキル基またはハロゲンを表す。
上記一般式(Gc-1)中、R40およびR41は、それぞれ独立に炭素数2乃至12の鎖状アルキル基が好ましい。また、それぞれ独立に分岐アルキル基がより好ましい。これにより、溶解性を高めることができる。
次に、上記一般式(Gc-1)で表される、n型半導体材料(第4の有機化合物)の具体例を以下に示す。
Figure 2022176158000064
上記構造式(400)乃至(403)で表される有機化合物は、上記一般式(Gc-1)で表される有機化合物(n型半導体材料(第4の有機化合物))の一例であり、具体例は、これに限られない。
また、活性層213は、p型半導体材料(第3の有機化合物)を有する第1の層と、n型半導体材料(第4の有機化合物)を有する第2の層との、積層膜であると好ましい。
また、活性層213は、上記各構成の受光デバイスにおいて、p型半導体材料(第3の有機化合物)と、n型半導体材料(第4の有機化合物)と、を有する混合膜であると好ましい。
なお、電子供与性の有機半導体材料のHOMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のHOMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。電子供与性の有機半導体材料のLUMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のLUMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。
なお、電子受容性の有機半導体材料として、球状のフラーレンを用い、電子供与性の有機半導体材料として、平面に近い形状の有機半導体材料を用いてもよい。似た形状の分子同士は集まりやすい傾向にあり、同種の分子が凝集すると、分子軌道のエネルギー準位が近いため、キャリア輸送性を高めることができる。
<第2のキャリア輸送層>
第2のキャリア輸送層214は、活性層213において入射した光に基づき発生した電子を第2の電極202に輸送する層であり、電子輸送性材料(第2の有機化合物ともいう)を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10-6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。また、本明細書等において、第2のキャリア輸送層を、電子輸送層ということもある。
電子輸送性材料(第2の有機化合物)として、π電子不足型複素芳香族化合物を用いることができる。
また、電子輸送性材料(第2の有機化合物)として、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等を用いることができる。
または、電子輸送性材料(第2の有機化合物)は、トリアジン環を有する化合物である。
または、電子輸送性材料(第2の有機化合物)は、下記一般式(Ge-1)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000065
上記一般式(Ge-1)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、XおよびXは、それぞれ独立に、炭素または窒素を表し、XおよびXのいずれか一方または両方が炭素の場合、炭素は水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。
または、電子輸送性材料(第2の有機化合物)は、下記一般式(Ge-2)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000066
上記一般式(Ge-2)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、Xは、炭素または窒素を表し、Xが炭素の場合、炭素は水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。
または、電子輸送性材料(第2の有機化合物)は、下記一般式(Ge-3)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000067
上記一般式(Ge-3)中、Ar乃至Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
または、電子輸送性材料(第2の有機化合物)は、下記一般式(Ge-4)で表される有機化合物である。
Figure 2022176158000068
上記一般式(Ge-4)中、Arは、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、R乃至R10はそれぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至20のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
上記一般式(Ge-4)中のR乃至R10は、上述した置換基に加え、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基を表す。
上記一般式(Ge-4)中のR乃至R10は、下記式(R-1)乃至式(R-38)で表される置換基、下記式(R-41)乃至式(R-116)で表される置換基および下記式(R-118)乃至式(R-131)で表される置換基であると好ましい。
また、上記一般式(Ge-1)乃至(Ge-3)中のAr乃至Arおよび上記一般式(Ge-4)中のArは、下記式(R-41)乃至式(R-116)で表される置換基および下記式(R-118)乃至式(R-131)で表される置換基であると好ましい。
Figure 2022176158000069
Figure 2022176158000070
Figure 2022176158000071
Figure 2022176158000072
Figure 2022176158000073
Figure 2022176158000074
次に、上記各構成を有する、電子輸送性材料(第2の有機化合物)の具体的な例を以下に示す。
Figure 2022176158000075
Figure 2022176158000076
上記構造式(500)乃至(524)で表される有機化合物は、上記一般式(Ge-1)乃至(Ge-4)で表される有機化合物(電子輸送性材料(第2の有機化合物))の一例であるが、具体的な例は、これに限られない。
また、第2の有機化合物として、下記構造式(600)乃至(622)で表される有機化合物を用いることができる。
Figure 2022176158000077
Figure 2022176158000078
また、第2のキャリア輸送層214は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの電子輸送層114に用いることのできる材料を用いて形成することもできる。
また、第2のキャリア輸送層214は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が2層以上積層した構造であってもよい。
<第2のキャリア注入層>
第2のキャリア注入層215は、受光層203から第2の電極202への電子の注入効率を高めるための層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。また、本明細書等において、第2のキャリア注入層を、電子注入層ということもある。
第2のキャリア注入層215は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの電子注入層115に用いることのできる材料を用いて形成することができる。
また、2つの受光層203の間に電荷発生層を設けることにより、複数の受光層が一対の電極間に積層された構造(タンデム構造ともいう)とすることもできる。また、異なる受光層の間に電荷発生層を設けることにより3層以上の受光層の積層構造とすることもできる。電荷発生層は、実施の形態2にて後述する、発光デバイスの電荷発生層106に用いることのできる材料を用いて形成することができる。
本実施の形態で示す受光デバイスの受光層203を構成する各層(第1のキャリア注入層211、第1のキャリア輸送層212、活性層213、第2のキャリア輸送層214、第2のキャリア注入層215)は、本実施の形態において示した材料に限られることはなく、それ以外の材料であっても各層の機能を満たせるものであれば組み合わせて用いることができる。
なお、本明細書等において、「層」という用語と「膜」という用語は適宜入れ換えて用いることができる。
なお、本発明の一態様の受光デバイスは、可視光を検出する機能を有する。また、本発明の一態様の受光デバイスは、可視光に感度を有する。また、本発明の一態様の受光デバイスは、可視光及び赤外光を検出する機能を有すると好ましい。また、本発明の一態様の受光デバイスは、可視光、及び赤外光に感度を有することが好ましい。
なお、本明細書等における青色(B)の波長領域とは、400nm以上490nm未満であり、青色(B)の光は、該波長領域に少なくとも一つの発光スペクトルのピークを有するとする。また、緑色(G)の波長領域とは、490nm以上580nm未満であり、緑色(G)の光は、該波長領域に少なくとも一つの発光スペクトルのピークを有するとする。また、赤色(R)の波長領域とは、580nm以上700nm未満であり、赤色(R)の光は、該波長領域に少なくとも一つの発光スペクトルのピークを有するとする。また、本明細書等において、可視光の波長領域とは、400nm以上700nm未満とし、可視光とは、該波長領域に少なくとも一つの発光スペクトルのピークを有するとする。また、赤外(IR)の波長領域とは、700nm以上900nm未満とし、赤外(IR)光は、該波長領域に少なくとも一つの発光スペクトルのピークを有するとする。
上述した本発明の一態様の受光デバイスは、有機ELデバイスを用いた表示装置に使用することができる。言い換えると、有機ELデバイスを用いた表示装置に、本発明の一態様の受光デバイスを内蔵することができる。さらに言い換えると、有機ELデバイスと、受光デバイスと、を有する受発光装置において、受光デバイスとして本発明の一態様の受光デバイスを用いることができる。一例として、発光デバイス805a、及び受光デバイス805bが同一基板上に形成された受発光装置810の断面概略図を、図2(A)に示す。
受発光装置810は、発光デバイス805a及び受光デバイス805bを有するため、画像を表示する機能に加えて、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方も有する。
発光デバイス805aは、光を発する機能(以下、発光機能とも記す)を有する。発光デバイス805aは、電極801a、EL層803a、及び電極802を有する。電極801aと電極802との間に挟持されるEL層803aは、少なくとも発光層を有する。発光層は、発光物質を有する。電極801aと電極802との間に電圧を印加することにより、EL層803aから光が射出される。EL層803aは、発光層に加えて、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、キャリア(正孔または電子)ブロック層、電荷発生層などの様々な層を有していてもよい。発光デバイス805aには、実施の形態2で後述する有機ELデバイスである、発光デバイスの構成を適用することができる。
受光デバイス805bは、光を検出する機能(以下、受光機能とも記す)を有する。受光デバイス805bは、電極801b、受光層803b、及び電極802を有する。電極801bと電極802との間に挟持される受光層803bは、少なくとも活性層を有する。受光デバイス805bは、光電変換デバイスとして機能し、受光層803bに入射する光によって電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。この時、電極801bと電極802との間に電圧を印加してもよい。受光層803bに入射する光量に基づき、発生する電荷量が決まる。受光デバイス805bには、上述の受光デバイス200の構成を適用することができる。
受光デバイス805bは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。また、発光デバイス805aが有するEL層803aと、受光デバイス805bが有する受光層803bと、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、共通の製造装置を使用できるため好ましい。
電極801a及び電極801bは、同一面上に設けられる。図2(A)は、電極801a及び電極801bが基板800上に設けられる構成を示している。なお、電極801a及び電極801bは、例えば、基板800上に形成された導電膜を島状に加工することにより形成できる。つまり、電極801a及び電極801bは、同じ工程を経て形成することができる。
基板800は、発光デバイス805a及び受光デバイス805bの形成に耐えうる耐熱性を有する基板を用いることができる。基板800として、絶縁性基板を用いる場合には、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、セラミック基板、有機樹脂基板などを用いることができる。また、シリコンまたは炭化シリコンなどを材料とした単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板などの半導体基板を用いることができる。
特に、基板800として、前述の絶縁性基板または半導体基板上に、トランジスタなどの半導体素子を含む半導体回路が形成された基板を用いることが好ましい。当該半導体回路は、例えば、画素回路、ゲート線駆動回路(ゲートドライバ)、ソース線駆動回路(ソースドライバ)などを構成していることが好ましい。また、上記に加えて演算回路、記憶回路などが構成されていてもよい。
また、電極802は、発光デバイス805a及び受光デバイス805bで共通する層からなる電極である。電極801a、電極801bおよび電極802のうち、光を射出させる、または光を入射させる側の電極には、可視光及び赤外光を透過する導電膜を用いる。光を射出させない、または光を入射させない側の電極には、可視光及び赤外光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
本発明の一態様である受発光装置における電極802は、発光デバイス805aおよび受光デバイス805bのそれぞれの一方の電極として機能する。
図2(B)は、発光デバイス805aの電極801aが、電極802よりも高い電位を有する場合について示す。この時、電極801aは、発光デバイス805aの陽極として機能し、電極802は、陰極として機能する。また、受光デバイス805bの電極801bは、電極802より低い電位を有する。なお、図2(B)では、電流の流れる向きを分かりやすくするため、発光デバイス805aの左側に発光ダイオードの回路記号を示し、受光デバイス805bの右側にフォトダイオードの回路記号を示している。また、キャリア(電子及びホール)の流れる向きを各デバイス中に模式的に矢印で示している。
図2(B)に示す構成の場合、電極801aに第1の配線を介して第1の電位が供給され、電極802に第2の配線を介して第2の電位を供給され、電極801bに第3の配線を介して第3の電位が供給される時、各電位の大きさの関係は、第1の電位>第2の電位>第3の電位となる。
また、図2(C)は、発光デバイス805aの電極801aが、電極802よりも低い電位を有する場合について示す。この時、電極801aは、発光デバイス805aの陰極として機能し、電極802は、陽極として機能する。また、受光デバイス805bの電極801bは、電極802より低い電位を有し、かつ電極801aよりも高い電位を有する。なお、図2(C)では、電流の流れる向きを分かりやすくするため、発光デバイス805aの左側に発光ダイオードの回路記号を示し、受光デバイス805bの右側にフォトダイオードの回路記号を示している。また、キャリア(電子及びホール)の流れる向きを各デバイス中に模式的に矢印で示している。
図2(C)に示す構成の場合、電極801aに第1の配線を介して第1の電位が供給され、電極802に第2の配線を介して第2の電位を供給され、電極801bに第3の配線を介して第3の電位が供給される時、各電位の大きさの関係は、第2の電位>第3の電位>第1の電位となる。
図3(A)に、受発光装置810の変形例である受発光装置810Aを示す。受発光装置810Aは、共通層806および共通層807を有する点で受発光装置810と異なる。発光デバイス805aにおいて共通層806および共通層807は、EL層803aの一部として機能する。また、受光デバイス805bにおいて共通層806および共通層807は、受光層803bの一部として機能する。また、共通層806は、例えば、正孔注入層および正孔輸送層を含む。また、共通層807は、例えば、電子輸送層および電子注入層を含む。
共通層806および共通層807を有する構成とすることにより、塗分け回数を大きく増加させることなく受光デバイスを内蔵する事が出来、受発光装置810Aを高いスループットで製造することができる。
図3(B)に、受発光装置810の変形例である受発光装置810Bを示す。受発光装置810Bは、EL層803aが層806aおよび層807aを有し、かつ、受光層803bが層806bおよび層807bを有する点で受発光装置810と異なる。層806aおよび層806bは、それぞれ異なる材料で構成され、例えば、正孔注入層および正孔輸送層を含む。なお、層806aおよび層806bは、それぞれ共通の材料で構成されてもよい。また、層807aおよび層807bは、それぞれ異なる材料で構成され、例えば、電子輸送層および電子注入層を含む。層807aおよび層807bは、それぞれ共通の材料で構成されてもよい。
層806aおよび層807aには、発光デバイス805aを構成するのに最適な材料を選択し、層806bおよび層807bには、受光デバイス805bを構成するのに最適な材料を選択することによって、受発光装置810Bにおいて、発光デバイス805aおよび受光デバイス805bのそれぞれの性能を高めることができる。
なお、受光デバイス805bの精細度としては、100ppi以上、好ましくは200ppi以上、より好ましくは300ppi以上、より好ましくは400ppi以上、さらに好ましくは500ppi以上であって、2000ppi以下、1000ppi以下、または600ppi以下などとすることができる。特に、200ppi以上600ppi以下、好ましくは300ppi以上600ppi以下の精細度で受光デバイス805bを配置することで、指紋の撮像に好適に用いることができる。受発光装置810を用いて指紋認証を行う場合、受光デバイス805bの精細度を高くすることで、例えば、指紋の特徴点(Minutia)を高い精度で抽出でき、指紋認証の精度を高めることができる。また、精細度が、500ppi以上であると、米国国立標準技術研究所(NIST:National Institute of Standards and Technology)などの規格に準拠できるため、好適である。なお、受光デバイスの精細度を500ppiと仮定した場合、1画素あたり50.8μmのサイズとなり、指紋の幅(代表的には、300μm以上500μm以下)を撮像するには、十分な精細度であることがわかる。
また、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成と適宜組み合わせて用いることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1で示した発光デバイスの他の構成について、図4(A)乃至図4(E)を用いて説明する。
≪発光デバイスの基本的な構造≫
発光デバイスの基本的な構造について説明する。図4(A)には、一対の電極間に発光層を含むEL層を有する発光デバイスを示す。具体的には、第1の電極101と第2の電極102との間にEL層103が挟まれた構造を有する。
また、図4(B)には、一対の電極間に複数(図4(B)では、2層)のEL層(103a、103b)を有し、EL層の間に電荷発生層106を有する積層構造(タンデム構造)の発光デバイスを示す。タンデム構造の発光デバイスは、低電圧駆動が可能で消費電力が低い発光装置を実現することができる。
電荷発生層106は、第1の電極101と第2の電極102の間に電位差を生じさせたときに、一方のEL層(103aまたは103b)に電子を注入し、他方のEL層(103bまたは103a)に正孔を注入する機能を有する。従って、図4(B)において、第1の電極101に、第2の電極102よりも電位が高くなるように電圧を印加すると、電荷発生層106からEL層103aに電子が注入され、EL層103bに正孔が注入されることとなる。
なお、電荷発生層106は、光の取り出し効率の点から、可視光に対して透光性を有する(具体的には、電荷発生層106に対する可視光の透過率が、40%以上)ことが好ましい。また、電荷発生層106は、第1の電極101および第2の電極102よりも低い導電率であっても機能する。
また、図4(C)には、本発明の一態様である発光デバイスのEL層103の積層構造を示す。但し、この場合、第1の電極101は陽極として、第2の電極102は陰極として機能するものとする。EL層103は、第1の電極101上に、正孔(ホール)注入層111、正孔(ホール)輸送層112、発光層113、電子輸送層114、電子注入層115が順次積層された構造を有する。なお、発光層113は、発光色の異なる発光層を複数積層した構成であっても良い。例えば、赤色を発光する発光物質を含む発光層と、緑色を発光する発光物質を含む発光層と、青色を発光する発光物質を含む発光層とが積層、またはキャリア輸送性材料を有する層を介して積層された構造であっても良い。または、黄色を発光する発光物質を含む発光層と、青色を発光する発光物質を含む発光層との組み合わせであっても良い。ただし、発光層113の積層構造は上記に限定されない。例えば、発光層113は、発光色の同じ発光層を複数積層した構成であっても良い。例えば、青色を発光する発光物質を含む第1の発光層と、青色を発光する発光物質を含む第2の発光層とが積層、またはキャリア輸送性材料を有する層を介して積層された構造であっても良い。発光色の同じ発光層を複数積層した構成の場合、単層の構成よりも信頼性を高めることができる場合がある。また、図4(B)に示すタンデム構造のように複数のEL層を有する場合であっても、各EL層が、陽極側から上記のように順次積層される構造とする。また、第1の電極101が陰極で、第2の電極102が陽極の場合は、EL層103の積層順は逆になる。具体的には、陰極である第1の電極101上の111が、電子注入層、112が電子輸送層、113が発光層、114が正孔(ホール)輸送層、115が正孔(ホール)注入層、という構成を有する。
EL層(103、103a、103b)に含まれる発光層113は、それぞれ発光物質および複数の物質を適宜組み合わせて有しており、所望の発光色を呈する蛍光発光または燐光発光が得られる構成とすることができる。また、発光層113を発光色の異なる積層構造としてもよい。なお、この場合、積層された各発光層に用いる発光物質およびその他の物質の一方または両方は、それぞれ異なる材料を用いればよい。また、図4(B)に示す複数のEL層(103a、103b)から、それぞれ異なる発光色が得られる構成としても良い。この場合も各発光層に用いる発光物質およびその他の物質の一方または両方を異なる材料とすればよい。
また、本発明の一態様である発光デバイスにおいて、例えば、図4(C)に示す第1の電極101を反射電極とし、第2の電極102を半透過・半反射電極とし、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造とすることにより、EL層103に含まれる発光層113から得られる発光を両電極間で共振させ、第2の電極102から得られる発光を強めることができる。
なお、発光デバイスの第1の電極101が、反射性を有する導電性材料と透光性を有する導電性材料(透明導電膜)との積層構造からなる反射電極である場合、透明導電膜の膜厚を制御することにより光学調整を行うことができる。具体的には、発光層113から得られる光の波長λに対して、第1の電極101と、第2の電極102との電極間の光学距離(膜厚と屈折率の積)がmλ/2(ただし、mは自然数)またはその近傍となるように調整するのが好ましい。
また、発光層113から得られる所望の光(波長:λ)を増幅させるために、第1の電極101から発光層113の所望の光が得られる領域(発光領域)までの光学距離と、第2の電極102から発光層113の所望の光が得られる領域(発光領域)までの光学距離と、をそれぞれ(2m’+1)λ/4(ただし、m’は自然数)またはその近傍となるように調節するのが好ましい。なお、ここでいう発光領域とは、発光層113における正孔(ホール)と電子との再結合領域を示す。
このような光学調整を行うことにより、発光層113から得られる特定の単色光のスペクトルを狭線化させ、色純度の良い発光を得ることができる。
但し、上記の場合、第1の電極101と第2の電極102との光学距離は、厳密には第1の電極101における反射領域から第2の電極102における反射領域までの総厚ということができる。しかし、第1の電極101および第2の電極102における反射領域を厳密に決定することは困難であるため、第1の電極101と第2の電極102の任意の位置を反射領域と仮定することで充分に上述の効果を得ることができるものとする。また、第1の電極101と、所望の光が得られる発光層との光学距離は、厳密には第1の電極101における反射領域と、所望の光が得られる発光層における発光領域との光学距離であるということができる。しかし、第1の電極101における反射領域、および所望の光が得られる発光層における発光領域を厳密に決定することは困難であるため、第1の電極101の任意の位置を反射領域、所望の光が得られる発光層の任意の位置を発光領域と仮定することで充分に上述の効果を得ることができるものとする。
図4(D)に示す発光デバイスは、タンデム構造を有する発光デバイスであり、マイクロキャビティ構造を有するため、各EL層(103a、103b)からの異なる波長の光(単色光)を取り出すことができる。従って、異なる発光色を得るための塗り分け(例えば、RGB)が不要となる。従って、高精細化を実現することが容易である。また、着色層(カラーフィルタ)との組み合わせも可能である。さらに、特定波長の正面方向の発光強度を強めることが可能となるため、低消費電力化を図ることができる。
図4(E)に示す発光デバイスは、図4(B)に示したタンデム構造の発光デバイスの一例であり、図に示すように、3つのEL層(103a、103b、103c)が電荷発生層(106a、106b)を挟んで積層される構造を有する。なお、3つのEL層(103a、103b、103c)は、それぞれに発光層(113a、113b、113c)を有しており、各発光層の発光色は、自由に組み合わせることができる。例えば、発光層113aを青色、発光層113bを赤色、緑色、または黄色のいずれか、発光層113cを青色とすることができるが、発光層113aを赤色、発光層113bを青色、緑色、または黄色のいずれか、発光層113cを赤色とすることもできる。
なお、上述した本発明の一態様である発光デバイスにおいて、第1の電極101と第2の電極102の少なくとも一方は、透光性を有する電極(透明電極、半透過・半反射電極など)とする。透光性を有する電極が透明電極の場合、透明電極の可視光の透過率は、40%以上とする。また、半透過・半反射電極の場合、半透過・半反射電極の可視光の反射率は、20%以上80%以下、好ましくは40%以上70%以下とする。また、これらの電極は、抵抗率が1×10-2Ωcm以下とするのが好ましい。
また、上述した本発明の一態様である発光デバイスにおいて、第1の電極101と第2の電極102の一方が、反射性を有する電極(反射電極)である場合、反射性を有する電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、この電極は、抵抗率が1×10-2Ωcm以下とするのが好ましい。
≪発光デバイスの具体的な構造≫
次に、本発明の一態様である発光デバイスの具体的な構造について説明する。また、ここでは、タンデム構造を有する図4(D)を用いて説明する。なお、図4(A)および図4(C)に示すシングル構造の発光デバイスについてもEL層の構成については同様とする。また、図4(D)に示す発光デバイスがマイクロキャビティ構造を有する場合は、第1の電極101を反射電極として形成し、第2の電極102を半透過・半反射電極として形成する。従って、所望の電極材料を単数または複数用い、単層または積層して形成することができる。なお、第2の電極102は、EL層103bを形成した後、上記と同様に材料を選択して形成する。
<第1の電極および第2の電極>
第1の電極101および第2の電極102を形成する材料としては、上述した両電極の機能が満たせるのであれば、以下に示す材料を適宜組み合わせて用いることができる。例えば、金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを適宜用いることができる。具体的には、In-Sn酸化物(ITOともいう)、In-Si-Sn酸化物(ITSOともいう)、In-Zn酸化物、In-W-Zn酸化物が挙げられる。その他、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)、インジウム(In)、スズ(Sn)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、パラジウム(Pd)、金(Au)、白金(Pt)、銀(Ag)、イットリウム(Y)、ネオジム(Nd)などの金属、およびこれらを適宜組み合わせて含む合金を用いることもできる。その他、上記例示のない元素周期表の第1族または第2族に属する元素(例えば、リチウム(Li)、セシウム(Cs)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr))、ユウロピウム(Eu)、イッテルビウム(Yb)などの希土類金属およびこれらを適宜組み合わせて含む合金、その他グラフェン等を用いることができる。
図4(D)に示す発光デバイスにおいて、第1の電極101が陽極である場合、第1の電極101上にEL層103aの正孔注入層111aおよび正孔輸送層112aが真空蒸着法により順次積層形成される。EL層103aおよび電荷発生層106が形成された後、電荷発生層106上にEL層103bの正孔注入層111bおよび正孔輸送層112bが同様に順次積層形成される。
<正孔注入層>
正孔注入層(111、111a、111b)は、陽極である第1の電極101または電荷発生層(106、106a、106b)からEL層(103、103a、103b)に正孔(ホール)を注入する層であり、有機アクセプタ材料および正孔注入性の高い材料などを含む層である。
有機アクセプタ材料は、そのLUMO準位の値とHOMO準位の値が近い他の有機化合物との間で電荷分離させることにより、当該有機化合物に正孔(ホール)を発生させることができる材料である。従って、有機アクセプタ材料としては、キノジメタン誘導体、クロラニル誘導体、ヘキサアザトリフェニレン誘導体などの電子吸引基(ハロゲン基またはシアノ基)を有する化合物を用いることができる。例えば、7,7,8,8-テトラシアノ-2,3,5,6-テトラフルオロキノジメタン(略称:F-TCNQ)、3,6-ジフルオロ-2,5,7,7,8,8-ヘキサシアノキノジメタン、クロラニル、2,3,6,7,10,11-ヘキサシアノ-1,4,5,8,9,12-ヘキサアザトリフェニレン(略称:HAT-CN)、1,3,4,5,7,8-ヘキサフルオロテトラシアノ-ナフトキノジメタン(略称:F6-TCNNQ)、2-(7-ジシアノメチレン-1,3,4,5,6,8,9,10-オクタフルオロ-7H-ピレン-2-イリデン)マロノニトリル等を用いることができる。なお、有機アクセプタ材料の中でも特にHAT-CNのように複素原子を複数有する縮合芳香環に電子吸引基が結合している化合物は、アクセプタ性が高く、熱に対して膜質が安定であるため好適である。その他にも、電子吸引基(特にフルオロ基のようなハロゲン基またはシアノ基)を有する[3]ラジアレン誘導体は、電子受容性が非常に高いため好ましく、具体的にはα,α’,α’’-1,2,3-シクロプロパントリイリデントリス[4-シアノ-2,3,5,6-テトラフルオロベンゼンアセトニトリル]、α,α’,α’’-1,2,3-シクロプロパントリイリデントリス[2,6-ジクロロ-3,5-ジフルオロ-4-(トリフルオロメチル)ベンゼンアセトニトリル]、α,α’,α’’-1,2,3-シクロプロパントリイリデントリス[2,3,4,5,6-ペンタフルオロベンゼンアセトニトリル]などを用いることができる。
また、正孔注入性の高い材料としては、元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物(モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、ルテニウム酸化物、タングステン酸化物、マンガン酸化物等の遷移金属酸化物等)を用いることができる。具体的には、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムが挙げられる。上記の中でも、酸化モリブデンは大気中で安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。この他、フタロシアニン(略称:HPc)および銅フタロシアニン(略称:CuPc)等のフタロシアニン系の化合物、等を用いることができる。
また、上記材料に加えて低分子化合物である、4,4’,4’’-トリス(N,N-ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’-トリス[N-(3-メチルフェニル)-N-フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、4,4’-ビス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、N,N’-ビス{4-[ビス(3-メチルフェニル)アミノ]フェニル}-N,N’-ジフェニル-(1,1’-ビフェニル)-4,4’-ジアミン(略称:DNTPD)、1,3,5-トリス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)、3-[N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA1)、3,6-ビス[N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA2)、3-[N-(1-ナフチル)-N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)アミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCN1)等の芳香族アミン化合物、等を用いることができる。
また、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)である、ポリ(N-ビニルカルバゾール)(略称:PVK)、ポリ(4-ビニルトリフェニルアミン)(略称:PVTPA)、ポリ[N-(4-{N’-[4-(4-ジフェニルアミノ)フェニル]フェニル-N’-フェニルアミノ}フェニル)メタクリルアミド](略称:PTPDMA)、ポリ[N,N’-ビス(4-ブチルフェニル)-N,N’-ビス(フェニル)ベンジジン](略称:Poly-TPD)等を用いることができる。または、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)(略称:PEDOT/PSS)、ポリアニリン/ポリ(スチレンスルホン酸)(略称:PAni/PSS)等の酸を添加した高分子系化合物、等を用いることもできる。
また、正孔注入性の高い材料としては、正孔輸送性材料と、上述した有機アクセプタ材料(電子受容性材料)を含む混合材料を用いることもできる。この場合、有機アクセプタ材料により正孔輸送性材料から電子が引き抜かれて正孔注入層111で正孔が発生し、正孔輸送層112を介して発光層113に正孔が注入される。なお、正孔注入層111は、正孔輸送性材料と有機アクセプタ材料(電子受容性材料)を含む混合材料からなる単層で形成しても良いが、正孔輸送性材料と有機アクセプタ材料(電子受容性材料)とをそれぞれ別の層で積層して形成しても良い。
なお、正孔輸送性材料としては、電界強度[V/cm]の平方根が600における正孔移動度が、1×10-6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。
また、正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香環を有する化合物(例えばカルバゾール誘導体、フラン誘導体、チオフェン誘導体)、芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する有機化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
なお、上記カルバゾール誘導体(カルバゾール環を有する有機化合物)としては、ビカルバゾール誘導体(例えば、3,3’-ビカルバゾール誘導体)、カルバゾリル基を有する芳香族アミン等が挙げられる。
また、上記ビカルバゾール誘導体(例えば、3,3’-ビカルバゾール誘導体)としては、具体的には、3,3’-ビス(9-フェニル-9H-カルバゾール)(略称:PCCP)、9,9’-ビス(ビフェニル-4-イル)-3,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:BisBPCz)、9,9’-ビス(1,1’-ビフェニル-3-イル)-3,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:BismBPCz)、9-(1,1’-ビフェニル-3-イル)-9’-(1,1’-ビフェニル-4-イル)-9H,9’H-3,3’-ビカルバゾール(略称:mBPCCBP)、9-(2-ナフチル)-9’-フェニル-9H,9’H-3,3’-ビカルバゾール(略称:βNCCP)などが挙げられる。
また、上記カルバゾリル基を有する芳香族アミンとしては、具体的には、4-フェニル-4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBA1BP)、N-(4-ビフェニル)-N-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9-フェニル-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:PCBiF)、N-(1,1’-ビフェニル-4-イル)-N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]-9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-アミン(略称:PCBBiF)、4,4’-ジフェニル-4’’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBBi1BP)、4-(1-ナフチル)-4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBANB)、4,4’-ジ(1-ナフチル)-4’’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBNBB)、4-フェニルジフェニル-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)アミン(略称:PCA1BP)、N,N’-ビス(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N,N’-ジフェニルベンゼン-1,3-ジアミン(略称:PCA2B)、N,N’,N’’-トリフェニル-N,N’,N’’-トリス(9-フェニルカルバゾール-3-イル)ベンゼン-1,3,5-トリアミン(略称:PCA3B)、9,9-ジメチル-N-フェニル-N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]フルオレン-2-アミン(略称:PCBAF)、N-フェニル-N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]スピロ-9,9’-ビフルオレン-2-アミン(略称:PCBASF)、3-[N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA1)、3,6-ビス[N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA2)、3-[N-(1-ナフチル)-N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)アミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzPCN1)、3-[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzDPA1)、3,6-ビス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzDPA2)、3,6-ビス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-(1-ナフチル)アミノ]-9-フェニルカルバゾール(略称:PCzTPN2)、2-[N-(9-フェニルカルバゾール-3-イル)-N-フェニルアミノ]スピロ-9,9’-ビフルオレン(略称:PCASF)、N-[4-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-N-(4-フェニル)フェニルアニリン(略称:YGA1BP)、N,N’-ビス[4-(カルバゾール-9-イル)フェニル]-N,N’-ジフェニル-9,9-ジメチルフルオレン-2,7-ジアミン(略称:YGA2F)、4,4’,4’’-トリス(カルバゾール-9-イル)トリフェニルアミン(略称:TCTA)などが挙げられる。
なお、カルバゾール誘導体としては、上記に加えて、3-[4-(9-フェナントリル)-フェニル]-9-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCPPn)、3-[4-(1-ナフチル)-フェニル]-9-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCPN)、1,3-ビス(N-カルバゾリル)ベンゼン(略称:mCP)、4,4’-ジ(N-カルバゾリル)ビフェニル(略称:CBP)、3,6-ビス(3,5-ジフェニルフェニル)-9-フェニルカルバゾール(略称:CzTP)、1,3,5-トリス[4-(N-カルバゾリル)フェニル]ベンゼン(略称:TCPB)、9-[4-(10-フェニル-9-アントラセニル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:CzPA)等が挙げられる。
また、上記フラン誘導体(フラン環を有する有機化合物)としては、具体的には、4,4’,4’’-(ベンゼン-1,3,5-トリイル)トリ(ジベンゾフラン)(略称:DBF3P-II)、4-{3-[3-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]フェニル}ジベンゾフラン(略称:mmDBFFLBi-II)等が挙げられる。
また、上記チオフェン誘導体(チオフェン環を有する有機化合物)としては、具体的には、4,4’,4’’-(ベンゼン-1,3,5-トリイル)トリ(ジベンゾチオフェン)(略称:DBT3P-II)、2,8-ジフェニル-4-[4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]ジベンゾチオフェン(略称:DBTFLP-III)、4-[4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]-6-フェニルジベンゾチオフェン(略称:DBTFLP-IV)などが挙げられる。
また、上記芳香族アミンとしては、具体的には、4,4’-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPBまたはα-NPD)、N,N’-ビス(3-メチルフェニル)-N,N’-ジフェニル-[1,1’-ビフェニル]-4,4’-ジアミン(略称:TPD)、4,4’-ビス[N-(スピロ-9,9’-ビフルオレン-2-イル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(略称:BSPB)、4-フェニル-4’-(9-フェニルフルオレン-9-イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)、4-フェニル-3’-(9-フェニルフルオレン-9-イル)トリフェニルアミン(略称:mBPAFLP)、N-(4-ビフェニル)-N-{4-[(9-フェニル)-9H-フルオレン-9-イル]-フェニル}-9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-アミン(略称:FBiFLP)、N,N,N’,N’-テトラキス(4-ビフェニル)-1,1-ビフェニル-4,4’-ジアミン(略称:BBA2BP)、N,N-ビス(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ[9H-フルオレン]-4-アミン(略称:SFFAF)、N-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-N-{9,9-ジメチル-2-[N’-フェニル-N’-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)アミノ]-9H-フルオレン-7-イル}フェニルアミン(略称:DFLADFL)、N-(9,9-ジメチル-2-ジフェニルアミノ-9H-フルオレン-7-イル)ジフェニルアミン(略称:DPNF)、2-[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]スピロ-9,9’-ビフルオレン(略称:DPASF)、2,7-ビス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]-スピロ-9,9’-ビフルオレン(略称:DPA2SF)、4,4’,4’’-トリス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:1’-TNATA)、4,4’,4’’-トリス(N,N-ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’-トリス[N-(3-メチルフェニル)-N-フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:m-MTDATA)、N,N’-ジ(p-トリル)-N,N’-ジフェニル-p-フェニレンジアミン(略称:DTDPPA)、4,4’-ビス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、DNTPD、1,3,5-トリス[N-(4-ジフェニルアミノフェニル)-N-フェニルアミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)、N-(4-ビフェニル)-6,N-ジフェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-アミン(略称:BnfABP)、N,N-ビス(4-ビフェニル)-6-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-アミン(略称:BBABnf)、4,4’-ビス(6-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-イル)-4’’-フェニルトリフェニルアミン(略称:BnfBB1BP)、N,N-ビス(4-ビフェニル)ベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-6-アミン(略称:BBABnf(6))、N,N-ビス(4-ビフェニル)ベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-アミン(略称:BBABnf(8))、N,N-ビス(4-ビフェニル)ベンゾ[b]ナフト[2,3-d]フラン-4-アミン(略称:BBABnf(II)(4))、N,N-ビス[4-(ジベンゾフラン-4-イル)フェニル]-4-アミノ-p-ターフェニル(略称:DBfBB1TP)、N-[4-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-N-フェニル-4-ビフェニルアミン(略称:ThBA1BP)、4-(2-ナフチル)-4’,4’’-ジフェニルトリフェニルアミン(略称:BBAβNB)、4-[4-(2-ナフチル)フェニル]-4’,4’’-ジフェニルトリフェニルアミン(略称:BBAβNBi)、4,4’-ジフェニル-4’’-(6;1’-ビナフチル-2-イル)トリフェニルアミン(略称:BBAαNβNB)、4,4’-ジフェニル-4’’-(7;1’-ビナフチル-2-イル)トリフェニルアミン(略称:BBAαNβNB-03)、4,4’-ジフェニル-4’’-(7-フェニル)ナフチル-2-イルトリフェニルアミン(略称:BBAPβNB-03)、4,4’-ジフェニル-4’’-(6;2’-ビナフチル-2-イル)トリフェニルアミン(略称:BBA(βN2)B)、4,4’-ジフェニル-4’’-(7;2’-ビナフチル-2-イル)トリフェニルアミン(略称:BBA(βN2)B-03)、4,4’-ジフェニル-4’’-(4;2’-ビナフチル-1-イル)トリフェニルアミン(略称:BBAβNαNB)、4,4’-ジフェニル-4’’-(5;2’-ビナフチル-1-イル)トリフェニルアミン(略称:BBAβNαNB-02)、4-(4-ビフェニリル)-4’-(2-ナフチル)-4’’-フェニルトリフェニルアミン(略称:TPBiAβNB)、4-(3-ビフェニリル)-4’-[4-(2-ナフチル)フェニル]-4’’-フェニルトリフェニルアミン(略称:mTPBiAβNBi)、4-(4-ビフェニリル)-4’-[4-(2-ナフチル)フェニル]-4’’-フェニルトリフェニルアミン(略称:TPBiAβNBi)、4-フェニル-4’-(1-ナフチル)トリフェニルアミン(略称:αNBA1BP)、4,4’-ビス(1-ナフチル)トリフェニルアミン(略称:αNBB1BP)、4,4’-ジフェニル-4’’-[4’-(カルバゾール-9-イル)ビフェニル-4-イル]トリフェニルアミン(略称:YGTBi1BP)、4’-[4-(3-フェニル-9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]トリス(1,1’-ビフェニル-4-イル)アミン(略称:YGTBi1BP-02)、4-[4’-(カルバゾール-9-イル)ビフェニル-4-イル]-4’-(2-ナフチル)-4’’-フェニルトリフェニルアミン(略称:YGTBiβNB)、ビス-ビフェニル-4’-(カルバゾール-9-イル)ビフェニルアミン(略称:YGBBi1BP)、N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]-N-[4-(1-ナフチル)フェニル]-9,9’-スピロビ[9H-フルオレン]-2-アミン(略称:PCBNBSF)、N,N-ビス([1,1’-ビフェニル]-4-イル)-9,9’-スピロビ[9H-フルオレン]-2-アミン(略称:BBASF)、N,N-ビス([1,1’-ビフェニル]-4-イル)-9,9’-スピロビ[9H-フルオレン]-4-アミン(略称:BBASF(4))、N-(1,1’-ビフェニル-2-イル)-N-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ[9H-フルオレン]-4-アミン(略称:oFBiSF)、N-(4-ビフェニル)-N-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)ジベンゾフラン-4-アミン(略称:FrBiF)、N-[4-(1-ナフチル)フェニル]-N-[3-(6-フェニルジベンゾフラン-4-イル)フェニル]-1-ナフチルアミン(略称:mPDBfBNBN)、4-フェニル-4’-[4-(9-フェニルフルオレン-9-イル)フェニル]トリフェニルアミン(略称:BPAFLBi)、N,N-ビス(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ-9H-フルオレン-4-アミン、N,N-ビス(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ-9H-フルオレン-3-アミン、N,N-ビス(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ-9H-フルオレン-2-アミン、N,N-ビス(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-9,9’-スピロビ-9H-フルオレン-1-アミン、等が挙げられる。
その他にも、正孔輸送性材料として、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)である、ポリ(N-ビニルカルバゾール)(略称:PVK)、ポリ(4-ビニルトリフェニルアミン)(略称:PVTPA)、ポリ[N-(4-{N’-[4-(4-ジフェニルアミノ)フェニル]フェニル-N’-フェニルアミノ}フェニル)メタクリルアミド](略称:PTPDMA)、ポリ[N,N’-ビス(4-ブチルフェニル)-N,N’-ビス(フェニル)ベンジジン](略称:Poly-TPD)等を用いることができる。または、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)(略称:PEDOT/PSS)、ポリアニリン/ポリ(スチレンスルホン酸)(略称:PAni/PSS)等の酸を添加した高分子系化合物、等を用いることもできる。
但し、正孔輸送性材料は、上記に限られることなく公知の様々な材料を1種または複数種組み合わせて正孔輸送性材料として用いてもよい。
なお、正孔注入層(111、111a、111b)は、公知の様々な成膜方法を用いて形成することができるが、例えば、真空蒸着法を用いて形成することができる。
<正孔輸送層>
正孔輸送層(112、112a、112b)は、正孔注入層(111、111a、111b)によって、第1の電極101から注入された正孔を発光層(113、113a、113b)に輸送する層である。なお、正孔輸送層(112、112a、112b)は、正孔輸送性材料を含む層である。従って、正孔輸送層(112、112a、112b)には、正孔注入層(111、111a、111b)に用いることができる正孔輸送性材料を用いることができる。
なお、本発明の一態様である発光デバイスにおいて、正孔輸送層(112、112a、112b)と同じ有機化合物を発光層(113、113a、113b)に用いることができる。正孔輸送層(112、112a、112b)と発光層(113、113a、113b)に同じ有機化合物を用いると、正孔輸送層(112、112a、112b)から発光層(113、113a、113b)へのホールの輸送が効率よく行えるため、より好ましい。
<発光層>
発光層(113、113a、113b)は、発光物質を含む層である。なお、発光層(113、113a、113b)に用いることができる発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いることができる。また、発光層を複数有する場合には、各発光層に異なる発光物質を用いることにより異なる発光色を呈する構成(例えば、補色の関係にある発光色を組み合わせて得られる白色発光)とすることができる。さらに、一つの発光層が異なる発光物質を有する積層構造としてもよい。
また、発光層(113、113a、113b)は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、1種または複数種の有機化合物(ホスト材料等)を有していても良い。
なお、発光層(113、113a、113b)にホスト材料を複数用いる場合、新たに加える第2のホスト材料として、既存のゲスト材料および第1のホスト材料のエネルギーギャップよりも大きなエネルギーギャップを有する物質を用いるのが好ましい。また、第2のホスト材料の最低一重項励起エネルギー準位(S1準位)は、第1のホスト材料のS1準位よりも高く、第2のホスト材料の最低三重項励起エネルギー準位(T1準位)は、ゲスト材料のT1準位よりも高いことが好ましい。また、第2のホスト材料の最低三重項励起エネルギー準位(T1準位)は、第1のホスト材料のT1準位よりも高いことが好ましい。このような構成とすることにより、2種類のホスト材料による励起錯体を形成することができる。なお、効率よく励起錯体を形成するためには、正孔を受け取りやすい化合物(正孔輸送性材料)と、電子を受け取りやすい化合物(電子輸送性材料)とを組み合わせることが特に好ましい。また、この構成により、高効率、低電圧、長寿命を同時に実現することができる。
なお、上記のホスト材料(第1のホスト材料および第2のホスト材料を含む)として用いる有機化合物としては、発光層に用いるホスト材料としての条件を満たせば、前述の正孔輸送層(112、112a、112b)に用いることができる正孔輸送性材料、および後述の電子輸送層(114、114a、114b)に用いることができる電子輸送性材料、等の有機化合物が挙げられ、複数種の有機化合物(上記、第1のホスト材料および第2のホスト材料)からなる励起錯体であっても良い。なお、複数種の有機化合物で励起状態を形成する励起錯体(エキサイプレックス、エキシプレックスまたはExciplexともいう)は、S1準位とT1準位との差が極めて小さく、三重項励起エネルギーを一重項励起エネルギーに変換することが可能なTADF材料としての機能を有する。また、励起錯体を形成する複数種の有機化合物の組み合わせとしては、例えば一方がπ電子不足型複素芳香環を有し、他方がπ電子過剰型複素芳香環を有すると好ましい。なお、励起錯体を形成する組み合わせとして、一方にイリジウム、ロジウム、または白金系の有機金属錯体、あるいは金属錯体等の燐光発光物質を用いても良い。
発光層(113、113a、113b)に用いることができる発光物質として、特に限定は無く、一重項励起エネルギーを可視光領域の発光に変える発光物質、または三重項励起エネルギーを可視光領域の発光に変える発光物質を用いることができる。
≪一重項励起エネルギーを発光に変える発光物質≫
発光層(113、113a、113b)に用いることのできる、一重項励起エネルギーを発光に変える発光物質としては、以下に示す蛍光を発する物質(蛍光発光物質)が挙げられる。例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。特にピレン誘導体は発光量子収率が高いので好ましい。ピレン誘導体の具体例としては、N,N’-ビス(3-メチルフェニル)-N,N’-ビス[3-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]ピレン-1,6-ジアミン(略称:1,6mMemFLPAPrn)、(N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス[4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]ピレン-1,6-ジアミン)(略称:1,6FLPAPrn)、N,N’-ビス(ジベンゾフラン-2-イル)-N,N’-ジフェニルピレン-1,6-ジアミン(略称:1,6FrAPrn)、N,N’-ビス(ジベンゾチオフェン-2-イル)-N,N’-ジフェニルピレン-1,6-ジアミン(略称:1,6ThAPrn)、N,N’-(ピレン-1,6-ジイル)ビス[(N-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン)-6-アミン](略称:1,6BnfAPrn)、N,N’-(ピレン-1,6-ジイル)ビス[(N-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン)-8-アミン](略称:1,6BnfAPrn-02)、N,N’-(ピレン-1,6-ジイル)ビス[(6,N-ジフェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン)-8-アミン](略称:1,6BnfAPrn-03)などが挙げられる。
また、5,6-ビス[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-2,2’-ビピリジン(略称:PAP2BPy)、5,6-ビス[4’-(10-フェニル-9-アントリル)ビフェニル-4-イル]-2,2’-ビピリジン(略称:PAPP2BPy)、N,N’-ビス[4-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-N,N’-ジフェニルスチルベン-4,4’-ジアミン(略称:YGA2S)、4-(9H-カルバゾール-9-イル)-4’-(10-フェニル-9-アントリル)トリフェニルアミン(略称:YGAPA)、4-(9H-カルバゾール-9-イル)-4’-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)トリフェニルアミン(略称:2YGAPPA)、N,9-ジフェニル-N-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:PCAPA)、4-(10-フェニル-9-アントリル)-4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBAPA)、4-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)トリフェニルアミン(略称:PCBAPBA)、ペリレン、2,5,8,11-テトラ-tert-ブチルペリレン(略称:TBP)、N,N’’-(2-tert-ブチルアントラセン-9,10-ジイルジ-4,1-フェニレン)ビス[N,N’,N’-トリフェニル-1,4-フェニレンジアミン](略称:DPABPA)、N,9-ジフェニル-N-[4-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)フェニル]-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:2PCAPPA)、N-[4-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)フェニル]-N,N’,N’-トリフェニル-1,4-フェニレンジアミン(略称:2DPAPPA)等を用いることができる。
また、N-[9,10-ビス(1,1’-ビフェニル-2-イル)-2-アントリル]-N,9-ジフェニル-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:2PCABPhA)、N-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)-N,N’,N’-トリフェニル-1,4-フェニレンジアミン(略称:2DPAPA)、N-[9,10-ビス(1,1’-ビフェニル-2-イル)-2-アントリル]-N,N’,N’-トリフェニル-1,4-フェニレンジアミン(略称:2DPABPhA)、9,10-ビス(1,1’-ビフェニル-2-イル)-N-[4-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-N-フェニルアントラセン-2-アミン(略称:2YGABPhA)、N,N,9-トリフェニルアントラセン-9-アミン(略称:DPhAPhA)、クマリン545T、N,N’-ジフェニルキナクリドン(略称:DPQd)、ルブレン、5,12-ビス(1,1’-ビフェニル-4-イル)-6,11-ジフェニルテトラセン(略称:BPT)、2-(2-{2-[4-(ジメチルアミノ)フェニル]エテニル}-6-メチル-4H-ピラン-4-イリデン)プロパンジニトリル(略称:DCM1)、2-{2-メチル-6-[2-(2,3,6,7-テトラヒドロ-1H,5H-ベンゾ[ij]キノリジン-9-イル)エテニル]-4H-ピラン-4-イリデン}プロパンジニトリル(略称:DCM2)、N,N,N’,N’-テトラキス(4-メチルフェニル)テトラセン-5,11-ジアミン(略称:p-mPhTD)、7,14-ジフェニル-N,N,N’,N’-テトラキス(4-メチルフェニル)アセナフト[1,2-a]フルオランテン-3,10-ジアミン(略称:p-mPhAFD)、2-{2-イソプロピル-6-[2-(1,1,7,7-テトラメチル-2,3,6,7-テトラヒドロ-1H,5H-ベンゾ[ij]キノリジン-9-イル)エテニル]-4H-ピラン-4-イリデン}プロパンジニトリル(略称:DCJTI)、2-{2-tert-ブチル-6-[2-(1,1,7,7-テトラメチル-2,3,6,7-テトラヒドロ-1H,5H-ベンゾ[ij]キノリジン-9-イル)エテニル]-4H-ピラン-4-イリデン}プロパンジニトリル(略称:DCJTB)、2-(2,6-ビス{2-[4-(ジメチルアミノ)フェニル]エテニル}-4H-ピラン-4-イリデン)プロパンジニトリル(略称:BisDCM)、2-{2,6-ビス[2-(8-メトキシ-1,1,7,7-テトラメチル-2,3,6,7-テトラヒドロ-1H,5H-ベンゾ[ij]キノリジン-9-イル)エテニル]-4H-ピラン-4-イリデン}プロパンジニトリル(略称:BisDCJTM)、1,6BnfAPrn-03、3,10-ビス[N-(9-フェニル-9H-カルバゾール-2-イル)-N-フェニルアミノ]ナフト[2,3-b;6,7-b’]ビスベンゾフラン(略称:3,10PCA2Nbf(IV)-02)、3,10-ビス[N-(ジベンゾフラン-3-イル)-N-フェニルアミノ]ナフト[2,3-b;6,7-b’]ビスベンゾフラン(略称:3,10FrA2Nbf(IV)-02)などが挙げられる。特に、1,6FLPAPrn、1,6mMemFLPAPrn、1,6BnfAPrn-03のようなピレンジアミン化合物、等を用いることができる。
≪三重項励起エネルギーを発光に変える発光物質≫
次に、発光層(113、113a、113b)に用いることのできる、三重項励起エネルギーを発光に変える発光物質としては、例えば、燐光を発する物質(燐光発光物質)および熱活性化遅延蛍光を示す熱活性化遅延蛍光(Thermally activated delayed fluorescence:TADF)材料が挙げられる。
燐光発光物質とは、低温(例えば77K)以上室温以下の温度範囲(すなわち、77K以上313K以下)のいずれかにおいて、燐光を呈し、且つ蛍光を呈さない化合物のことをいう。該燐光発光物質としては、スピン軌道相互作用の大きい金属元素を有すると好ましく、有機金属錯体、金属錯体(白金錯体)、希土類金属錯体等が挙げられる。具体的には遷移金属元素が好ましく、特に白金族元素(ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、または白金(Pt))を有することが好ましく、中でもイリジウムを有することで、一重項基底状態と三重項励起状態との間の直接遷移に係わる遷移確率を高めることができ好ましい。
≪燐光発光物質(450nm以上570nm以下:青色または緑色)≫
青色または緑色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が450nm以上570nm以下である燐光発光物質としては、以下のような物質が挙げられる。
例えば、トリス{2-[5-(2-メチルフェニル)-4-(2,6-ジメチルフェニル)-4H-1,2,4-トリアゾール-3-イル-κN2]フェニル-κC}イリジウム(III)(略称:[Ir(mpptz-dmp)])、トリス(5-メチル-3,4-ジフェニル-4H-1,2,4-トリアゾラト)イリジウム(III)(略称:[Ir(Mptz)])、トリス[4-(3-ビフェニル)-5-イソプロピル-3-フェニル-4H-1,2,4-トリアゾラト]イリジウム(III)(略称:[Ir(iPrptz-3b)])、トリス[3-(5-ビフェニル)-5-イソプロピル-4-フェニル-4H-1,2,4-トリアゾラト]イリジウム(III)(略称:[Ir(iPr5btz)])、のような4H-トリアゾール環を有する有機金属錯体、トリス[3-メチル-1-(2-メチルフェニル)-5-フェニル-1H-1,2,4-トリアゾラト]イリジウム(III)(略称:[Ir(Mptz1-mp)])、トリス(1-メチル-5-フェニル-3-プロピル-1H-1,2,4-トリアゾラト)イリジウム(III)(略称:[Ir(Prptz1-Me)])のような1H-トリアゾール環を有する有機金属錯体、fac-トリス[1-(2,6-ジイソプロピルフェニル)-2-フェニル-1H-イミダゾール]イリジウム(III)(略称:[Ir(iPrpmi)])、トリス[3-(2,6-ジメチルフェニル)-7-メチルイミダゾ[1,2-f]フェナントリジナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(dmpimpt-Me)])のようなイミダゾール環を有する有機金属錯体、ビス[2-(4’,6’-ジフルオロフェニル)ピリジナト-N,C2’]イリジウム(III)テトラキス(1-ピラゾリル)ボラート(略称:FIr6)、ビス[2-(4’,6’-ジフルオロフェニル)ピリジナト-N,C2’]イリジウム(III)ピコリナート(略称:FIrpic)、ビス{2-[3’,5’-ビス(トリフルオロメチル)フェニル]ピリジナト-N,C2’}イリジウム(III)ピコリナート(略称:[Ir(CFppy)(pic)])、ビス[2-(4’,6’-ジフルオロフェニル)ピリジナト-N,C2’]イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:FIr(acac))のように電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体等が挙げられる。
≪燐光発光物質(495nm以上590nm以下:緑色または黄色)≫
緑色または黄色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が495nm以上590nm以下である燐光発光物質としては、以下のような物質が挙げられる。
例えば、トリス(4-メチル-6-フェニルピリミジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(mppm)])、トリス(4-t-ブチル-6-フェニルピリミジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(tBuppm)])、(アセチルアセトナト)ビス(6-メチル-4-フェニルピリミジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(mppm)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス(6-tert-ブチル-4-フェニルピリミジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(tBuppm)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス[6-(2-ノルボルニル)-4-フェニルピリミジナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(nbppm)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス[5-メチル-6-(2-メチルフェニル)-4-フェニルピリミジナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(mpmppm)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス{4,6-ジメチル-2-[6-(2,6-ジメチルフェニル)-4-ピリミジニル-κN3]フェニル-κC}イリジウム(III)(略称:[Ir(dmppm-dmp)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス(4,6-ジフェニルピリミジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(dppm)(acac)])のようなピリミジン環を有する有機金属イリジウム錯体、(アセチルアセトナト)ビス(3,5-ジメチル-2-フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(mppr-Me)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス(5-イソプロピル-3-メチル-2-フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(mppr-iPr)(acac)])のようなピラジン環を有する有機金属イリジウム錯体、トリス(2-フェニルピリジナト-N,C2’)イリジウム(III)(略称:[Ir(ppy)])、ビス(2-フェニルピリジナト-N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(ppy)(acac)])、ビス(ベンゾ[h]キノリナト)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(bzq)(acac)])、トリス(ベンゾ[h]キノリナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(bzq)])、トリス(2-フェニルキノリナト-N,C2’)イリジウム(III)(略称:[Ir(pq)])、ビス(2-フェニルキノリナト-N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(pq)(acac)])、ビス[2-(2-ピリジニル-κN)フェニル-κC][2-(4-フェニル-2-ピリジニル-κN)フェニル-κC]イリジウム(III)(略称:[Ir(ppy)(4dppy)])、ビス[2-(2-ピリジニル-κN)フェニル-κC][2-(4-メチル-5-フェニル-2-ピリジニル-κN)フェニル-κC]、[2-d-メチル-8-(2-ピリジニル-κN)ベンゾフロ[2,3-b]ピリジン-κC]ビス[2-(5-d-メチル-2-ピリジニル-κN2)フェニル-κC]イリジウム(III)(略称:Ir(5mppy-d(mbfpypy-d))、[2-(メチル-d)-8-[4-(1-メチルエチル-1-d)-2-ピリジニル-κN]ベンゾフロ[2,3-b]ピリジン-7-イル-κC]ビス[5-(メチル-d)-2-[5-(メチル-d)-2-ピリジニル-κN]フェニル-κC]イリジウム(III)(略称:Ir(5mtpy-d(mbfpypy-iPr-d))、[2-d-メチル-(2-ピリジニル-κN)ベンゾフロ[2,3-b]ピリジン-κC]ビス[2-(2-ピリジニル-κN)フェニル-κC]イリジウム(III)(略称:Ir(ppy)(mbfpypy-d))、[2-(4-メチル-5-フェニル-2-ピリジニル-κN)フェニル-κC]ビス[2-(2-ピリジニル-κN)フェニル-κC]イリジウム(III)(略称:Ir(ppy)(mdppy))のようなピリジン環を有する有機金属イリジウム錯体、ビス(2,4-ジフェニル-1,3-オキサゾラト-N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(dpo)(acac)])、ビス{2-[4’-(パーフルオロフェニル)フェニル]ピリジナト-N,C2’}イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(p-PF-ph)(acac)])、ビス(2-フェニルベンゾチアゾラト-N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(bt)(acac)])などの有機金属錯体の他、トリス(アセチルアセトナト)(モノフェナントロリン)テルビウム(III)(略称:[Tb(acac)(Phen)])のような希土類金属錯体が挙げられる。
≪燐光発光物質(570nm以上750nm以下:黄色または赤色)≫
黄色または赤色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が570nm以上750nm以下である燐光発光物質としては、以下のような物質が挙げられる。
例えば、(ジイソブチリルメタナト)ビス[4,6-ビス(3-メチルフェニル)ピリミジナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(5mdppm)(dibm)])、ビス[4,6-ビス(3-メチルフェニル)ピリミジナト](ジピバロイルメタナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(5mdppm)(dpm)])、(ジピバロイルメタナト)ビス[4,6-ジ(ナフタレン-1-イル)ピリミジナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(d1npm)(dpm)])のようなピリミジン環を有する有機金属錯体、(アセチルアセトナト)ビス(2,3,5-トリフェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(tppr)(acac)])、ビス(2,3,5-トリフェニルピラジナト)(ジピバロイルメタナト)イリジウム(III)(略称:[Ir(tppr)(dpm)])、ビス{4,6-ジメチル-2-[3-(3,5-ジメチルフェニル)-5-フェニル-2-ピラジニル-κN]フェニル-κC}(2,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオナト-κO,O’)イリジウム(III)(略称:[Ir(dmdppr-P)(dibm)])、ビス{4,6-ジメチル-2-[5-(4-シアノ-2,6-ジメチルフェニル)-3-(3,5-ジメチルフェニル)-2-ピラジニル-κN]フェニル-κC}(2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト-κO,O’)イリジウム(III)(略称:[Ir(dmdppr-dmCP)(dpm)])、ビス[2-(5-(2,6-ジメチルフェニル)-3-(3,5-ジメチルフェニル)-2-ピラジニル-κN)-4,6-ジメチルフェニル-κC](2,2’,6,6’-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト-κ2O,O’)イリジウム(III)(略称:[Ir(dmdppr-dmp)(dpm)])、(アセチルアセトナト)ビス[2-メチル-3-フェニルキノキサリナト-N,C2’]イリジウム(III)(略称:[Ir(mpq)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス(2,3-ジフェニルキノキサリナト-N,C2’)イリジウム(III)(略称:[Ir(dpq)(acac)])、(アセチルアセトナト)ビス[2,3-ビス(4-フルオロフェニル)キノキサリナト]イリジウム(III)(略称:[Ir(Fdpq)(acac)])のようなピラジン環を有する有機金属錯体、トリス(1-フェニルイソキノリナト-N,C2’)イリジウム(III)(略称:[Ir(piq)])、ビス(1-フェニルイソキノリナト-N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:[Ir(piq)(acac)])、ビス[4,6-ジメチル-2-(2-キノリニル-κN)フェニル-κC](2,4-ペンタンジオナト-κO,O’)イリジウム(III)(略称:[Ir(dmpqn)(acac)])のようなピリジン環を有する有機金属錯体、2,3,7,8,12,13,17,18-オクタエチル-21H,23H-ポルフィリン白金(II)(略称:[PtOEP])のような白金錯体、トリス(1,3-ジフェニル-1,3-プロパンジオナト)(モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(略称:[Eu(DBM)(Phen)])、トリス[1-(2-テノイル)-3,3,3-トリフルオロアセトナト](モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(略称:[Eu(TTA)(Phen)])のような希土類金属錯体が挙げられる。
≪TADF材料≫
また、TADF材料としては、以下に示す材料を用いることができる。TADF材料とは、S1準位とT1準位との差が小さく(好ましくは、0.2eV以下)、三重項励起状態をわずかな熱エネルギーによって一重項励起状態にアップコンバート(逆項間交差)が可能で、一重項励起状態からの発光(蛍光)を効率よく呈する材料のことである。また、熱活性化遅延蛍光が効率良く得られる条件としては、三重項励起エネルギー準位と一重項励起エネルギー準位のエネルギー差が0eV以上0.2eV以下、好ましくは0eV以上0.1eV以下であることが挙げられる。また、TADF材料における遅延蛍光とは、通常の蛍光と同様のスペクトルを持ちながら、寿命が著しく長い発光をいう。その寿命は、1×10-6秒以上、好ましくは1×10-3秒以上である。
TADF材料としては、例えば、フラーレンおよびその誘導体、プロフラビン等のアクリジン誘導体、エオシン等が挙げられる。また、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、白金(Pt)、インジウム(In)、もしくはパラジウム(Pd)等を含む金属含有ポルフィリンが挙げられる。金属含有ポルフィリンとしては、例えば、プロトポルフィリン-フッ化スズ錯体(略称:SnF(Proto IX))、メソポルフィリン-フッ化スズ錯体(略称:SnF(Meso IX))、ヘマトポルフィリン-フッ化スズ錯体(略称:SnF(Hemato IX))、コプロポルフィリンテトラメチルエステル-フッ化スズ錯体(略称:SnF(Copro III-4Me))、オクタエチルポルフィリン-フッ化スズ錯体(略称:SnF(OEP))、エチオポルフィリン-フッ化スズ錯体(略称:SnF(Etio I))、オクタエチルポルフィリン-塩化白金錯体(略称:PtClOEP)等が挙げられる。
Figure 2022176158000079
その他にも、2-(ビフェニル-4-イル)-4,6-ビス(12-フェニルインドロ[2,3-a]カルバゾール-11-イル)-1,3,5-トリアジン(略称:PIC-TRZ)、2-{4-[3-(N-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)-9H-カルバゾール-9-イル]フェニル}-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:PCCzPTzn)、2-[4-(10H-フェノキサジン-10-イル)フェニル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:PXZ-TRZ)、3-[4-(5-フェニル-5,10-ジヒドロフェナジン-10-イル)フェニル]-4,5-ジフェニル-1,2,4-トリアゾール(略称:PPZ-3TPT)、3-(9,9-ジメチル-9H-アクリジン-10-イル)-9H-キサンテン-9-オン(略称:ACRXTN)、ビス[4-(9,9-ジメチル-9,10-ジヒドロアクリジン)フェニル]スルホン(略称:DMAC-DPS)、10-フェニル-10H,10’H-スピロ[アクリジン-9,9’-アントラセン]-10’-オン(略称:ACRSA)、4-(9’-フェニル-3,3’-ビ-9H-カルバゾール-9-イル)ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:4PCCzBfpm)、4-[4-(9’-フェニル-3,3’-ビ-9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:4PCCzPBfpm)、9-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)フェニル]-9’-フェニル-2,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:mPCCzPTzn-02)等のπ電子過剰型複素芳香族化合物及びπ電子不足型複素芳香族化合物を有する複素芳香族化合物を用いてもよい。
なお、π電子過剰型複素芳香族化合物とπ電子不足型複素芳香族化合物とが直接結合した物質は、π電子過剰型複素芳香族化合物のドナー性とπ電子不足型複素芳香族化合物のアクセプタ性が共に強くなり、一重項励起状態と三重項励起状態のエネルギー差が小さくなるため、特に好ましい。また、TADF材料として、一重項励起状態と三重項励起状態間が熱平衡状態にあるTADF材料(TADF100)を用いてもよい。このようなTADF材料は発光寿命(励起寿命)が短くなるため、発光素子における高輝度領域での効率低下を抑制することができる。
Figure 2022176158000080
また、上記の他に、三重項励起エネルギーを発光に変換する機能を有する材料としては、ペロブスカイト構造を有する遷移金属化合物のナノ構造体が挙げられる。特に金属ハロゲンペロブスカイト類のナノ構造体がこのましい。該ナノ構造体としては、ナノ粒子、ナノロッドが好ましい。
発光層(113、113a、113b、113c)において、上述した発光物質(ゲスト材料)と組み合わせて用いる有機化合物(ホスト材料等)としては、発光物質(ゲスト材料)のエネルギーギャップより大きなエネルギーギャップを有する物質を、一種もしくは複数種選択して用いればよい。
≪蛍光発光用ホスト材料≫
発光層(113、113a、113b、113c)に用いる発光物質が蛍光発光物質である場合、組み合わせる有機化合物(ホスト材料)として、一重項励起状態のエネルギー準位が大きく、三重項励起状態のエネルギー準位が小さい有機化合物、または蛍光量子収率が高い有機化合物を用いるのが好ましい。したがって、このような条件を満たす有機化合物であれば、本実施の形態で示す、正孔輸送性材料(前述)または電子輸送性材料(後述)等を用いることができる。
一部上述した具体例と重複するが、発光物質(蛍光発光物質)との好ましい組み合わせという観点から、有機化合物(ホスト材料)としては、アントラセン誘導体、テトラセン誘導体、フェナントレン誘導体、ピレン誘導体、クリセン誘導体、ジベンゾ[g,p]クリセン誘導体等の縮合多環芳香族化合物が挙げられる。
なお、蛍光発光物質と組み合わせて用いることが好ましい有機化合物(ホスト材料)の具体例としては、9-フェニル-3-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:PCzPA)、3,6-ジフェニル-9-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:DPCzPA)、3-[4-(1-ナフチル)-フェニル]-9-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCPN)、9,10-ジフェニルアントラセン(略称:DPAnth)、N,N-ジフェニル-9-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:CzA1PA)、4-(10-フェニル-9-アントリル)トリフェニルアミン(略称:DPhPA)、YGAPA、PCAPA、N,9-ジフェニル-N-{4-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]フェニル}-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:PCAPBA)、N-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)-N,9-ジフェニル-9H-カルバゾール-3-アミン(略称:2PCAPA)、6,12-ジメトキシ-5,11-ジフェニルクリセン、N,N,N’,N’,N’’,N’’,N’’’,N’’’-オクタフェニルジベンゾ[g,p]クリセン-2,7,10,15-テトラアミン(略称:DBC1)、9-[4-(10-フェニル-9-アントラセニル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:CzPA)、7-[4-(10-フェニル-9-アントリル)フェニル]-7H-ジベンゾ[c,g]カルバゾール(略称:cgDBCzPA)、6-[3-(9,10-ジフェニル-2-アントリル)フェニル]-ベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン(略称:2mBnfPPA)、9-フェニル-10-{4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)-ビフェニル-4’-イル}-アントラセン(略称:FLPPA)、9,10-ビス(3,5-ジフェニルフェニル)アントラセン(略称:DPPA)、9,10-ジ(2-ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、2-tert-ブチル-9,10-ジ(2-ナフチル)アントラセン(略称:t-BuDNA)、9-(1-ナフチル)-10-(2-ナフチル)アントラセン(略称:α,β-ADN)、2-(10-フェニルアントラセン-9-イル)ジベンゾフラン、2-(10-フェニル-9-アントラセニル)-ベンゾ[b]ナフト[2,3-d]フラン(略称:Bnf(II)PhA)、9-(1-ナフチル)-10-[4-(2-ナフチル)フェニル]アントラセン(略称:αN-βNPAnth)、9-(2-ナフチル)-10-[3-(2-ナフチル)フェニル]アントラセン(略称:βN-mβNPAnth)、1-[4-(10-[1,1’-ビフェニル]-4-イル-9-アントラセニル)フェニル]-2-エチル-1H-ベンゾイミダゾール(略称:EtBImPBPhA)、9,9’-ビアントリル(略称:BANT)、9,9’-(スチルベン-3,3’-ジイル)ジフェナントレン(略称:DPNS)、9,9’-(スチルベン-4,4’-ジイル)ジフェナントレン(略称:DPNS2)、1,3,5-トリ(1-ピレニル)ベンゼン(略称:TPB3)、5,12-ジフェニルテトラセン、5,12-ビス(ビフェニル-2-イル)テトラセンなどが挙げられる。
≪燐光発光用ホスト材料≫
また、発光層(113、113a、113b、113c)に用いる発光物質が燐光発光物質である場合、組み合わせる有機化合物(ホスト材料)として、発光物質の三重項励起エネルギー(基底状態と三重項励起状態とのエネルギー差)よりも三重項励起エネルギーの大きい有機化合物を選択すれば良い。なお、励起錯体を形成させるべく複数の有機化合物(例えば、第1のホスト材料、および第2のホスト材料(またはアシスト材料)等)を発光物質と組み合わせて用いる場合は、これらの複数の有機化合物を燐光発光物質と混合して用いることが好ましい。
このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex-Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。なお、複数の有機化合物の組み合わせとしては、励起錯体が形成しやすいものが良く、正孔を受け取りやすい化合物(正孔輸送性材料)と、電子を受け取りやすい化合物(電子輸送性材料)とを組み合わせることが特に好ましい。
なお、一部上述した具体例と重複するが、発光物質(燐光発光物質)との好ましい組み合わせという観点から、有機化合物(ホスト材料、アシスト材料)としては、芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する有機化合物)、カルバゾール誘導体(カルバゾール環を有する有機化合物)、ジベンゾチオフェン誘導体(ジベンゾチオフェン環を有する有機化合物)、ジベンゾフラン誘導体(ジベンゾフラン環を有する有機化合物)、オキサジアゾール誘導体(オキサジアゾール環を有する有機化合物)、トリアゾール誘導体(トリアゾール環を有する有機化合物)、ベンゾイミダゾール誘導体(ベンゾイミダゾール環を有する有機化合物)、キノキサリン誘導体(キノキサリン環を有する有機化合物)、ジベンゾキノキサリン誘導体(ジベンゾキノキサリン環を有する有機化合物)、ピリミジン誘導体(ピリミジン環を有する有機化合物)、トリアジン誘導体(トリアジン環を有する有機化合物)、ピリジン誘導体(ピリジン環を有する有機化合物)、ビピリジン誘導体(ビピリジン環を有する有機化合物)、フェナントロリン誘導体(フェナントロリン環を有する有機化合物)、フロジアジン誘導体(フロジアジン環を有する有機化合物)、亜鉛系またはアルミニウム系の金属錯体、等が挙げられる。
なお、上記の有機化合物のうち、正孔輸送性の高い有機化合物である、芳香族アミン、およびカルバゾール誘導体の具体例としては、上述した正孔輸送性材料の具体例と同じものが挙げられ、これらはいずれもホスト材料として好ましい。
また、上記の有機化合物のうち、正孔輸送性の高い有機化合物である、ジベンゾチオフェン誘導体、およびジベンゾフラン誘導体の具体例としては、4-{3-[3-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]フェニル}ジベンゾフラン(略称:mmDBFFLBi-II)、4,4’,4’’-(ベンゼン-1,3,5-トリイル)トリ(ジベンゾフラン)(略称:DBF3P-II)、DBT3P-II、2,8-ジフェニル-4-[4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]ジベンゾチオフェン(略称:DBTFLP-III)、4-[4-(9-フェニル-9H-フルオレン-9-イル)フェニル]-6-フェニルジベンゾチオフェン(略称:DBTFLP-IV)、4-[3-(トリフェニレン-2-イル)フェニル]ジベンゾチオフェン(略称:mDBTPTp-II)等が挙げられ、これらはいずれもホスト材料として好ましい。
その他、ビス[2-(2-ベンゾオキサゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnPBO)、ビス[2-(2-ベンゾチアゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnBTZ)などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体なども好ましいホスト材料として挙げられる。
また、上記の有機化合物のうち、電子輸送性の高い有機化合物である、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キナゾリン誘導体、フェナントロリン誘導体等の具体例としては、2-(4-ビフェニリル)-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3-ビス[5-(p-tert-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール-2-イル]ベンゼン(略称:OXD-7)、9-[4-(5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール-2-イル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:CO11)、3-(4-ビフェニリル)-4-フェニル-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール(略称:TAZ)、2,2’,2’’-(1,3,5-ベンゼントリイル)トリス(1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール)(略称:TPBI)、2-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール(略称:mDBTBIm-II)、4,4’-ビス(5-メチルベンゾオキサゾール-2-イル)スチルベン(略称:BzOs)、などのポリアゾール環を有する複素芳香環を含む有機化合物、バソフェナントロリン(略称:Bphen)、バソキュプロイン(略称:BCP)、2,9-ジ(ナフタレン-2-イル)-4,7-ジフェニル-1,10-フェナントロリン(略称:NBphen)、2,2-(1,3-フェニレン)ビス[9-フェニル-1,10-フェナントロリン](略称:mPPhen2P)などのピリジン環を有する複素芳香環を含む有機化合物、2-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTPDBq-II)、2-[3’-(ジベンゾチオフェン-4-イル)ビフェニル-3-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq-II)、2-[3’-(9H-カルバゾール-9-イル)ビフェニル-3-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mCzBPDBq)、2-[4-(3,6-ジフェニル-9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2CzPDBq-III)、7-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:7mDBTPDBq-II)、及び6-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:6mDBTPDBq-II)、2-{4-[9,10-ジ(2-ナフチル)-2-アントリル]フェニル}-1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール(略称:ZADN)、2-[4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)-3,1’-ビフェニル-1-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mpPCBPDBq)、等が挙げられ、これらはいずれもホスト材料として好ましい。
また、上記の有機化合物のうち、電子輸送性の高い有機化合物である、ピリジン誘導体、ジアジン誘導体(ピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、ピリダジン誘導体を含む)、トリアジン誘導体、フロジアジン誘導体の具体例として、4,6-ビス[3-(フェナントレン-9-イル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mPnP2Pm)、4,6-ビス[3-(4-ジベンゾチエニル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mDBTP2Pm-II)、4,6-ビス[3-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mCzP2Pm)、2-{4-[3-(N-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)-9H-カルバゾール-9-イル]フェニル}-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:PCCzPTzn)、9-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)フェニル]-9’-フェニル-2,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:mPCCzPTzn-02)、3,5-ビス[3-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ピリジン(略称:35DCzPPy)、1,3,5-トリ[3-(3-ピリジル)フェニル]ベンゼン(略称:TmPyPB)、9,9’-[ピリミジン-4,6-ジイルビス(ビフェニル-3,3’-ジイル)]ビス(9H-カルバゾール)(略称:4,6mCzBP2Pm)、2-[3’-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)-1,1’-ビフェニル-3-イル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mFBPTzn)、8-(1,1’-ビフェニル-4-イル)-4-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-[1]ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:8BP-4mDBtPBfpm)、9-[3’-(ジベンゾチオフェン-4-イル)ビフェニル-3-イル]ナフト[1’,2’:4,5]フロ[2,3-b]ピラジン(略称:9mDBtBPNfpr)、9-[(3’-ジベンゾチオフェン-4-イル)ビフェニル-4-イル]ナフト[1’,2’:4,5]フロ[2,3-b]ピラジン(略称:9pmDBtBPNfpr)、5-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)フェニル]-7,7-ジメチル-5H,7H-インデノ[2,1-b]カルバゾール(略称:mINc(II)PTzn)、2-[3’-(トリフェニレン-2-イル)-1,1’-ビフェニル-3-イル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mTpBPTzn)、2-[(1,1’-ビフェニル)-4-イル]-4-フェニル-6-[9,9’-スピロビ(9H-フルオレン)-2-イル]-1,3,5-トリアジン(略称:BP-SFTzn)、2,6-ビス(4-ナフタレン-1-イルフェニル)-4-[4-(3-ピリジル)フェニル]ピリミジン(略称:2,4NP-6PyPPm)、9-[4-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)-2-ジベンゾチオフェニル]-2-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCDBfTzn)、2-[1,1’-ビフェニル]-3-イル-4-フェニル-6-(8-[1,1’:4’,1’’-ターフェニル]-4-イル-1-ジベンゾフラニル)-1,3,5-トリアジン(略称:mBP-TPDBfTzn)、6-(1,1’-ビフェニル-3-イル)-4-[3,5-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-2-フェニルピリミジン(略称:6mBP-4Cz2PPm)、4-[3,5-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-2-フェニル-6-(1,1’-ビフェニル-4-イル)ピリミジン(略称:6BP-4Cz2PPm)、などのジアジン環を有する複素芳香環を含む有機化合物、などが挙げられ、これらはいずれもホスト材料として好ましい。
また、上記の有機化合物のうち、電子輸送性の高い有機化合物である、金属錯体の具体例としては、亜鉛系またはアルミニウム系の金属錯体である、トリス(8-キノリノラト)アルミニウム(III)(略称:Alq)、トリス(4-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)(略称:Almq)、ビス(10-ヒドロキシベンゾ[h]キノリナト)ベリリウム(II)(略称:BeBq)、ビス(2-メチル-8-キノリノラト)(4-フェニルフェノラト)アルミニウム(III)(略称:BAlq)、ビス(8-キノリノラト)亜鉛(II)(略称:Znq)の他、キノリン環またはベンゾキノリン環を有する金属錯体等が、挙げられ、これらはいずれもホスト材料として好ましい。
その他、ポリ(2,5-ピリジンジイル)(略称:PPy)、ポリ[(9,9-ジヘキシルフルオレン-2,7-ジイル)-co-(ピリジン-3,5-ジイル)](略称:PF-Py)、ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレン-2,7-ジイル)-co-(2,2’-ビピリジン-6,6’-ジイル)](略称:PF-BPy)のような高分子化合物などもホスト材料として好ましい。
さらに、正孔輸送性の高い有機化合物であり、かつ電子輸送性の高い有機化合物である、バイポーラ性の9-フェニル-9’-(4-フェニル-2-キナゾリニル)-3,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:PCCzQz)、2-[4’-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)-3,1’-ビフェニル-1-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mpPCBPDBq)、5-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2イル)フェニル]-7,7-ジメチル-5H,7H-インデノ[2,1-b]カルバゾール(略称:mINc(II)PTzn)、11-(4-[1,1’-ビフェニル]-4-イル-6-フェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)-11,12-ジヒドロ-12-フェニル-インドロ[2,3-a]カルバゾール(略称:BP-Icz(II)Tzn)、7-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-2-イル)キナゾリン-2-イル]-7H-ジベンゾ[c,g]カルバゾール(略称:PC-cgDBCzQz)などのジアジン環を有する有機化合物等をホスト材料として用いることもできる。
<電子輸送層>
電子輸送層(114、114a、114b)は、後述する電子注入層(115、115a、115b)によって第2の電極102または電荷発生層(106、106a、106b)から注入された電子を発光層(113、113a、113b、113c)に輸送する層である。また、電子輸送層(114、114a、114b)に用いる電子輸送性材料は、電界強度[V/cm]の平方根が600における電子移動度が、1×10-6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。また、電子輸送層(114、114a、114b)は、単層でも機能するが、2層以上の積層構造としてもよい。なお、上記の混合材料は、耐熱性を有するため、これを用いた電子輸送層上でフォトリソ工程を行うことにより、熱工程によるデバイス特性への影響を抑制することができる。
≪電子輸送性材料≫
電子輸送層(114、114a、114b)に用いることができる電子輸送性材料としては、電子輸送性の高い有機化合物を用いることができ、例えば複素芳香族化合物を用いることができる。なお、複素芳香族化合物とは、環の中に少なくとも2種類の異なる元素を含む環式化合物である。なお、環構造としては、3員環、4員環、5員環、6員環等が含まれるが、特に5員環、または、6員環が好ましく、含まれる元素としては、炭素の他に窒素、酸素、または硫黄などのいずれか一又は複数を含む複素芳香族化合物が好ましい。特に窒素を含む複素芳香族化合物(含窒素複素芳香族化合物)が好ましく、含窒素複素芳香族化合物、またはこれを含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料(電子輸送性材料)を用いることが好ましい。
複素芳香族化合物は、少なくとも1つの複素芳香環を有する有機化合物である。
なお、複素芳香環は、ピリジン環、ジアジン環、トリアジン環、またはポリアゾール環、オキサゾール環、またはチアゾール環等のいずれか一を有する。また、ジアジン環を有する複素芳香環には、ピリミジン環、ピラジン環、またはピリダジン環などを有する複素芳香環が含まれる。また、ポリアゾール環を有する複素芳香環には、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサジアゾール環を有する複素芳香環が含まれる。
また、複素芳香環は、縮環構造を有する縮合複素芳香環を含む。なお、縮合複素芳香環としては、キノリン環、ベンゾキノリン環、キノキサリン環、ジベンゾキノキサリン環、キナゾリン環、ベンゾキナゾリン環、ジベンゾキナゾリン環、フェナントロリン環、フロジアジン環、ベンゾイミダゾール環、などが挙げられる。
なお、複素芳香族化合物としては、例えば、炭素の他に窒素、酸素、または硫黄などのいずれか一又は複数を含む複素芳香族化合物のうち、5員環構造を有する複素芳香族化合物としては、イミダゾール環を有する複素芳香族化合物、トリアゾール環を有する複素芳香族化合物、オキサゾール環を有する複素芳香族化合物、オキサジアゾール環を有する複素芳香族化合物、チアゾール環を有する複素芳香族化合物、ベンゾイミダゾール環を有する複素芳香族化合物などが挙げられる。
また、例えば、炭素の他に窒素、酸素、または硫黄などのいずれか一又は複数を含む複素芳香族化合物のうち、6員環構造を有する複素芳香族化合物としては、ピリジン環、ジアジン環(ピリミジン環、ピラジン環、ピリダジン環などを含む)、トリアジン環、ポリアゾール環などの複素芳香環を有する複素芳香族化合物などが挙げられる。なお、ピリジン環が連結した構造である複素芳香族化合物に含まれるが、ビピリジン構造を有する複素芳香族化合物、ターピリジン構造を有する複素芳香族化合物などが挙げられる。
さらに、上記6員環構造を一部に含む縮環構造を有する複素芳香族化合物としては、キノリン環、ベンゾキノリン環、キノキサリン環、ジベンゾキノキサリン環、フェナントロリン環、フロジアジン環(フロジアジン環のフラン環に芳香環が縮合した構造を含む)、ベンゾイミダゾール環などの縮合複素芳香環を有する複素芳香族化合物、などが挙げられる。
上記、5員環構造(ポリアゾール環(イミダゾール環、トリアゾール環、オキサジアゾール環を含む)、オキサゾール環、チアゾール環、ベンゾイミダゾール環など)を有する複素芳香族化合物の具体例としては、2-(4-ビフェニリル)-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3-ビス[5-(p-tert-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール-2-イル]ベンゼン(略称:OXD-7)、9-[4-(5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール-2-イル)フェニル]-9H-カルバゾール(略称:CO11)、3-(4-ビフェニリル)-4-フェニル-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール(略称:TAZ)、3-(4-tert-ブチルフェニル)-4-(4-エチルフェニル)-5-(4-ビフェニリル)-1,2,4-トリアゾール(略称:p-EtTAZ)、2,2’,2’’-(1,3,5-ベンゼントリイル)トリス(1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール)(略称:TPBI)、2-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-1-フェニル-1H-ベンゾイミダゾール(略称:mDBTBIm-II)、4,4’-ビス(5-メチルベンゾオキサゾール-2-イル)スチルベン(略称:BzOs)などが挙げられる。
上記、6員環構造(ピリジン環、ジアジン環、トリアジン環などを有する複素芳香環を含む)を有する複素芳香族化合物の具体例としては、3,5-ビス[3-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ピリジン(略称:35DCzPPy)、1,3,5-トリ[3-(3-ピリジル)フェニル]ベンゼン(略称:TmPyPB)、などのピリジン環を有する複素芳香環を含む複素芳香族化合物、2-{4-[3-(N-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)-9H-カルバゾール-9-イル]フェニル}-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:PCCzPTzn)、9-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)フェニル]-9’-フェニル-2,3’-ビ-9H-カルバゾール(略称:mPCCzPTzn-02)、5-[3-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)フェニル]-7,7-ジメチル-5H,7H-インデノ[2,1-b]カルバゾール(略称:mINc(II)PTzn)、2-[3’-(トリフェニレン-2-イル)-1,1’-ビフェニル-3-イル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mTpBPTzn)、2-[(1,1’-ビフェニル)-4-イル]-4-フェニル-6-[9,9’-スピロビ(9H-フルオレン)-2-イル]-1,3,5-トリアジン(略称:BP-SFTzn)、2,6-ビス(4-ナフタレン-1-イルフェニル)-4-[4-(3-ピリジル)フェニル]ピリミジン(略称:2,4NP-6PyPPm)、9-[4-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)-2-ジベンゾチオフェニル]-2-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCDBfTzn)、2-[1,1’-ビフェニル]-3-イル-4-フェニル-6-(8-[1,1’:4’,1’’-ターフェニル]-4-イル-1-ジベンゾフラニル)-1,3,5-トリアジン(略称:mBP-TPDBfTzn)、2-{3-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]フェニル}-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mDBtBPTzn)、mFBPTznなどのトリアジン環を有する複素芳香環を含む複素芳香族化合物、4,6-ビス[3-(フェナントレン-9-イル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mPnP2Pm)、4,6-ビス[3-(4-ジベンゾチエニル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mDBTP2Pm-II)、4,6-ビス[3-(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ピリミジン(略称:4,6mCzP2Pm)、4,6mCzBP2Pm、6-(1,1’-ビフェニル-3-イル)-4-[3,5-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-2-フェニルピリミジン(略称:6mBP-4Cz2PPm)、4-[3,5-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-2-フェニル-6-(1,1’-ビフェニル-4-イル)ピリミジン(略称:6BP-4Cz2PPm)、4-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-8-(ナフタレン-2-イル)-[1]ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:8βN-4mDBtPBfpm)、8BP-4mDBtPBfpm、9mDBtBPNfpr、9pmDBtBPNfpr、3,8-ビス[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ベンゾフロ[2,3-b]ピラジン(略称:3,8mDBtP2Bfpr)、4,8-ビス[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-[1]ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:4,8mDBtP2Bfpm)、8-[3’-(ジベンゾチオフェン-4-イル)(1,1’-ビフェニル-3-イル)]ナフト[1’,2’:4,5]フロ[3,2-d]ピリミジン(略称:8mDBtBPNfpm)、8-[(2,2’-ビナフタレン)-6-イル]-4-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]-[1]ベンゾフロ[3,2-d]ピリミジン(略称:8(βN2)-4mDBtPBfpm)などのジアジン(ピリミジン)環を有する複素芳香環を含む複素芳香族化合物、などが挙げられる。なお、上記複素芳香環を含む芳香族化合物には、縮合複素芳香環を有する複素芳香族化合物を含む。
その他にも、2,2’-(ピリジン-2,6-ジイル)ビス(4-フェニルベンゾ[h]キナゾリン)(略称:2,6(P-Bqn)2Py)、2,2’-(2,2’-ビピリジン-6,6’-ジイル)ビス(4-フェニルベンゾ[h]キナゾリン)(略称:6,6’(P-Bqn)2BPy)、2,2’-(ピリジン-2,6-ジイル)ビス{4-[4-(2-ナフチル)フェニル]-6-フェニルピリミジン}(略称:2,6(NP-PPm)2Py)、6-(1,1’ -ビフェニル-3-イル)-4-[3,5-ビス(9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]-2-フェニルピリミジン(略称:6mBP-4Cz2PPm)、などのジアジン(ピリミジン)環を有する複素芳香環を含む複素芳香族化合物、2,4,6-トリス(3’-(ピリジン-3-イル)ビフェニル-3-イル)-1,3,5-トリアジン(略称:TmPPPyTz)、2,4,6-トリス(2-ピリジル)-1,3,5-トリアジン(略称:2Py3Tz)、2-[3-(2,6-ジメチル-3-ピリジル)-5-(9-フェナントリル)フェニル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mPn-mDMePyPTzn)、などのトリアジン環を有する複素芳香環を含む複素芳香族化合物、等が挙げられる。
上記、6員環構造を一部に含む縮環構造を有する複素芳香族化合物(縮環構造を有する複素芳香族化合物)の具体例としては、バソフェナントロリン(略称:Bphen)、バソキュプロイン(略称:BCP)、2,9-ジ(ナフタレン-2-イル)-4,7-ジフェニル-1,10-フェナントロリン(略称:NBphen)、2,2-(1,3-フェニレン)ビス[9-フェニル-1,10-フェナントロリン](略称:mPPhen2P)、2,2’-(ピリジン-2,6-ジイル)ビス(4-フェニルベンゾ[h]キナゾリン)(略称:2,6(P-Bqn)2Py)、2-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTPDBq-II)、2-[3’-(ジベンゾチオフェン-4-イル)ビフェニル-3-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq-II)、2-[3’-(9H-カルバゾール-9-イル)ビフェニル-3-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mCzBPDBq)、2-[4-(3,6-ジフェニル-9H-カルバゾール-9-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2CzPDBq-III)、7-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:7mDBTPDBq-II)、及び6-[3-(ジベンゾチオフェン-4-イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:6mDBTPDBq-II)、2mpPCBPDBq、などのキノキサリン環を有する複素芳香族化合物、等が挙げられる。
電子輸送層(114、114a、114b)には、上記に示す複素芳香族化合物の他にも下記に示す金属錯体を用いることができる。トリス(8-キノリノラト)アルミニウム(III)(略称:Alq)、Almq、8-キノリノラトリチウム(I)(略称:Liq)、BeBq、ビス(2-メチル-8-キノリノラト)(4-フェニルフェノラト)アルミニウム(III)(略称:BAlq)、ビス(8-キノリノラト)亜鉛(II)(略称:Znq)等のキノリン環またはベンゾキノリン環を有する金属錯体、ビス[2-(2-ベンゾオキサゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnPBO)、ビス[2-(2-ベンゾチアゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnBTZ)等のオキサゾール環またはチアゾール環を有する金属錯体等が挙げられる。
また、ポリ(2,5-ピリジンジイル)(略称:PPy)、ポリ[(9,9-ジヘキシルフルオレン-2,7-ジイル)-co-(ピリジン-3,5-ジイル)](略称:PF-Py)、ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレン-2,7-ジイル)-co-(2,2’-ビピリジン-6,6’-ジイル)](略称:PF-BPy)のような高分子化合物を電子輸送性材料として用いることもできる。
また、電子輸送層(114、114a、114b)は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が2層以上積層した構造であってもよい。
<電子注入層>
電子注入層(115、115a、115b)は、電子注入性の高い物質を含む層である。また、電子注入層(115、115a、115b)は、第2の電極102からの電子の注入効率を高めるための層であり、第2の電極102に用いる材料の仕事関数の値と、電子注入層(115、115a、115b)に用いる材料のLUMO準位の値とを比較した際、その差が小さい(0.5eV以下)材料を用いることが好ましい。従って、電子注入層115には、リチウム、セシウム、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF)、8-(キノリノラト)リチウム(略称:Liq)、2-(2-ピリジル)フェノラトリチウム(略称:LiPP)、2-(2-ピリジル)-3-ピリジノラトリチウム(略称:LiPPy)、4-フェニル-2-(2-ピリジル)フェノラトリチウム(略称:LiPPP)リチウム酸化物(LiO)、炭酸セシウム等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、またはこれらの化合物を用いることができる。また、フッ化エルビウム(ErF)、イッテルビウム(Yb)のような希土類金属化合物を用いることができる。なお、電子注入層(115、115a、115b)には、上記の材料を複数種混合して形成しても良いし、上記の材料のうち複数種を積層させて形成しても良い。また、電子注入層(115、115a、115b)にエレクトライドを用いてもよい。エレクトライドとしては、例えば、カルシウムとアルミニウムの混合酸化物に電子を高濃度添加した物質等が挙げられる。なお、上述した電子輸送層(114、114a、114b)を構成する物質を用いることもできる。
また、電子注入層(115、115a、115b)に、有機化合物と電子供与体(ドナー)とを混合してなる混合材料を用いてもよい。このような混合材料は、電子供与体によって有機化合物に電子が発生するため、電子注入性および電子輸送性に優れている。この場合、有機化合物としては、発生した電子の輸送に優れた材料であることが好ましく、具体的には、例えば上述した電子輸送層(114、114a、114b)に用いる電子輸送性材料(金属錯体および複素芳香族化合物等)を用いることができる。電子供与体としては、有機化合物に対し電子供与性を示す物質であればよい。具体的には、アルカリ金属、アルカリ土類金属、および希土類金属が好ましく、リチウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、エルビウム、イッテルビウム等が挙げられる。また、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物が好ましく、リチウム酸化物、カルシウム酸化物、バリウム酸化物等が挙げられる。また、酸化マグネシウムのようなルイス塩基を用いることもできる。また、テトラチアフルバレン(略称:TTF)等の有機化合物を用いることもできる。また、これらの材料を複数、積層して用いても良い。
その他にも、電子注入層(115、115a、115b)に、有機化合物と金属とを混合してなる混合材料を用いても良い。なお、ここで用いる有機化合物としては、LUMO準位が-3.6eV以上-2.3eV以下であると好ましい。また、非共有電子対を有する材料が好ましい。
したがって、上記の混合材料に用いる有機化合物としては、電子輸送層に用いることができるとして上述した、複素芳香族化合物を金属と混合してなる混合材料を用いてもよい。複素芳香族化合物としては、5員環構造(イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、オキサジアゾール環、チアゾール環、ベンゾイミダゾール環など)を有する複素芳香族化合物、6員環構造(ピリジン環、ジアジン環(ピリミジン環、ピラジン環、ピリダジン環などを含む)、トリアジン環、ビピリジン環、ターピリジン環など)を有する複素芳香族化合物、6員環構造を一部に含む縮環構造(キノリン環、ベンゾキノリン環、キノキサリン環、ジベンゾキノキサリン環、フェナントロリン環など)を有する複素芳香族化合物などの非共有電子対を有する材料が好ましい。具体的な材料については、上述したので、ここでの説明は省略する。
また、上記の混合材料に用いる金属としては、周期表における第5族、第7族、第9族または第11族に属する遷移金属または第13族に属する材料を用いることが好ましく、例えば、Ag、Cu、Al、またはIn等が挙げられる。また、この時、有機化合物は、遷移金属との間で半占有軌道(SOMO:Singly Occupied Molecular Orbital)を形成する。
なお、例えば、発光層113bから得られる光を増幅させる場合には、第2の電極102と、発光層113bとの光学距離が、発光層113bが呈する光の波長λの1/4未満となるように形成するのが好ましい。この場合、電子輸送層114bまたは電子注入層115bの膜厚を変えることにより、調整することができる。
また、図4(D)に示す発光デバイスのように、2つのEL層(103a、103b)の間に電荷発生層106を設けることにより、複数のEL層が一対の電極間に積層された構造(タンデム構造ともいう)とすることもできる。
<電荷発生層>
電荷発生層106は、第1の電極(陽極)101と第2の電極(陰極)102との間に電圧を印加したときに、EL層103aに電子を注入し、EL層103bに正孔を注入する機能を有する。なお、電荷発生層106は、正孔輸送性材料に電子受容体(アクセプタ)が添加された構成であっても、電子輸送性材料に電子供与体(ドナー)が添加された構成であってもよい。また、これらの両方の構成が積層されていても良い。なお、上述した材料を用いて電荷発生層106を形成することにより、EL層が積層された場合における駆動電圧の上昇を抑制することができる。
電荷発生層106において、有機化合物である正孔輸送性材料に、電子受容体が添加された構成とする場合、正孔輸送性材料としては、本実施の形態で示した材料を用いることができる。また、電子受容体としては、7,7,8,8-テトラシアノ-2,3,5,6-テトラフルオロキノジメタン(略称:F-TCNQ)、クロラニル等を挙げることができる。また元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物を挙げることができる。具体的には、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムなどが挙げられる。
また、電荷発生層106において、電子輸送性材料に電子供与体が添加された構成とする場合、電子輸送性材料としては、本実施の形態で示した材料を用いることができる。また、電子供与体としては、アルカリ金属またはアルカリ土類金属または希土類金属または元素周期表における第2族、第13族に属する金属およびその酸化物、炭酸塩を用いることができる。具体的には、リチウム(Li)、セシウム(Cs)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、イッテルビウム(Yb)、インジウム(In)、酸化リチウム、炭酸セシウムなどを用いることが好ましい。また、テトラチアナフタセンのような有機化合物を電子供与体として用いてもよい。
なお、図4(D)では、EL層103が2層積層された構成を示したが、異なるEL層の間に電荷発生層を設けることにより3層以上のEL層の積層構造としてもよい。
<基板>
本実施の形態で示した発光デバイスは、様々な基板上に形成することができる。なお、基板の種類は、特定のものに限定されることはない。基板の一例としては、半導体基板(例えば単結晶基板又はシリコン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどが挙げられる。
なお、ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどが挙げられる。また、可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、アクリル等の合成樹脂、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又はポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリイミド、アラミド、エポキシ樹脂、無機蒸着フィルム、又は紙類などが挙げられる。
なお、本実施の形態で示す発光デバイスの作製には、蒸着法などの気相法、またはスピンコート法、インクジェット法などの液相法を用いることができる。蒸着法を用いる場合には、スパッタ法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、分子線蒸着法、真空蒸着法などの物理蒸着法(PVD法)、化学蒸着法(CVD法)等を用いることができる。特に発光デバイスのEL層に含まれる様々な機能を有する層(正孔注入層111、正孔輸送層112、発光層113、電子輸送層114、電子注入層115)については、蒸着法(真空蒸着法等)、塗布法(ディップコート法、ダイコート法、バーコート法、スピンコート法、スプレーコート法等)、印刷法(インクジェット法、スクリーン(孔版印刷)法、オフセット(平版印刷)法、フレキソ(凸版印刷)法、グラビア法、マイクロコンタクト法等)などの方法により形成することができる。
なお、上記塗布法、印刷法などの成膜方法を適用する場合において、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)、中分子化合物(低分子と高分子の中間領域の化合物:分子量400以上4000以下)、無機化合物(量子ドット材料等)等を用いることができる。なお、量子ドット材料としては、コロイド状量子ドット材料、合金型量子ドット材料、コア・シェル型量子ドット材料、コア型量子ドット材料などを用いることができる。
本実施の形態で示す発光デバイスのEL層103を構成する各層(正孔注入層111、正孔輸送層112、発光層113、電子輸送層114、電子注入層115)は、本実施の形態において示した材料に限られることはなく、それ以外の材料であっても各層の機能を満たせるものであれば組み合わせて用いることができる。
なお、本明細書等において、「層」という用語と「膜」という用語は適宜入れ換えて用いることができる。
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いることができるものとする。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様である受発光装置の具体的な構成例、および製造方法の一例について説明する。
<受発光装置700の構成例>
図5(A)に示す受発光装置700は、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSを有する。また、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSは、第1の基板510上に設けられた機能層520上に形成される。機能層520には、複数のトランジスタで構成された駆動回路GD、駆動回路SDなどの回路の他、これらを電気的に接続する配線等が含まれる。なお、これらの駆動回路は、一例として、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSと、それぞれ電気的に接続され、これらを駆動することができる。また、受発光装置700は、機能層520および各デバイス(発光デバイスおよび受光デバイス)上に絶縁層705を備え、絶縁層705は、第2の基板770と機能層520とを貼り合わせる機能を有する。
なお、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSは、実施の形態1および実施の形態2で示したデバイス構造を有する。すなわち、各発光デバイスについては、図4に示すいずれかの構造を有し、また、受光デバイスについては、図1(B)に示す構造を有する場合を示す。なお、図3(A)に示す受発光装置の構造は、発光デバイスのEL層の一部(ホール注入層、ホール輸送層、および電子輸送層)と受光デバイスの受光層の一部(第1のキャリア輸送層、および第2のキャリア輸送層)が、製造プロセスにおいて、同じ材料で同時に形成される構造を示したが、本実施の形態では、発光デバイスと受光デバイスだけでなく、各デバイス(複数の発光デバイスおよび受光デバイス)が、いずれも分離形成できる場合について説明する。
なお、本明細書等において、各色の発光デバイス(例えば青(B)、緑(G)、及び赤(R))の発光層、および受光デバイスの受光層を作り分け、または塗り分ける構造をSBS(Side By Side)構造と呼ぶ場合がある。なお、図5(A)に示す受発光装置700において、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSがこの順に並ぶが、本発明の一態様はこの構成に限られない。例えば、受発光装置700において、これらのデバイスが、発光デバイス550R、発光デバイス550G、発光デバイス550B、受光デバイス550PSの順で並んでいても良い。
図5(A)において、発光デバイス550Bは、電極551B、電極552、およびEL層103Bを有する。また、発光デバイス550Gは、電極551G、電極552、およびEL層103Gを有する。また、発光デバイス550Rは、電極551R、電極552、およびEL層103Rを有する。また、受光デバイス550PSは、電極551PS、電極552、および受光層103PSを有する。なお、受光デバイスの各層の具体的な構成は実施の形態1に示す通りである。また、発光デバイスの各層の具体的な構成は実施の形態2に示す通りである。また、EL層103B、EL層103G、およびEL層103Rは、発光層(105B、105G、105R)を含む複数の機能の異なる層からなる積層構造を有する。また、受光層103PSは、活性層105PSを含む複数の機能の異なる層からなる積層構造を有する。図5(A)では、EL層103Bが、ホール注入・輸送層104B、発光層105B、電子輸送層108B、および電子注入層109を有する場合について図示し、EL層103Gが、ホール注入・輸送層104G、発光層105G、電子輸送層108G、および電子注入層109を有する場合について図示し、EL層103Rが、ホール注入・輸送層104R、発光層105R、電子輸送層108R、および電子注入層109を有する場合について図示し、受光層103PSが、第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PS、および電子注入層109を有する場合について図示するが、本発明はこれに限らない。なお、ホール注入・輸送層(104B、104G、104R)は、実施の形態2で示したホール注入層および正孔輸送層の機能を有する層を示し、積層構造を有していても良い。
なお、電子輸送層(108B、108G、108R)および、第2の輸送層108PSは、陽極側からEL層(103B、103G、103R)および受光層103PSを通過して陰極側に移動するホールをブロックするための機能を有していても良い。また、電子注入層109は、一部または全部が異なる材料を用いて形成される積層構造を有していても良い。
また、図5(A)に示すように、EL層(103B、103G、103R)が有する層のうち、ホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)の側面(または、端部)および受光層103PSが有する層のうち、第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSの側面(または、端部)に絶縁層(107B、107G、107R,107PS)が形成されていても良い。絶縁層(107B、107G、107R、107PS)は、EL層(103B、103G、103R)および受光層103PSの側面(または端部)に接して形成される。これにより、EL層(103B、103G、103R)および受光層103PSの側面から内部への酸素、水分、またはこれらの構成元素の侵入を抑制することができる。なお、絶縁層(107B、107G、107R,107PS)には、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウム、インジウムガリウム亜鉛酸化物、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンなどを用いることができる。また、絶縁層(107B、107G、107R,107PS)は、前述の材料を用いて積層して形成されていても良い。また、絶縁層(107B、107G、107R,107PS)の形成には、スパッタリング法、CVD法、MBE法、PLD法、ALD法などを用いることができるが、被覆性の良好なALD法がより好ましい。なお、絶縁層(107B、107G、107R,107PS)は、隣り合う発光デバイスのEL層(103B、103G、103R)、または受光デバイスの受光層103PSの側面(または、端部)を連続的に覆う構造を有する。例えば、図5(A)において、発光デバイス550BのEL層103Bと、発光デバイス550GのEL層103Gの側面は、絶縁層(107G、107R)により覆われている。また、絶縁層(107G、107R)により覆われた領域には、図5(A)に示すように絶縁材料からなる隔壁528が形成されていると良い。
また、EL層(103B、103G、103R)の一部である電子輸送層(108B、108G、108R)、受光層103PSの一部である第2の輸送層108PS、および絶縁層(107B、107G、107R,107PS)上に、電子注入層109が形成される。なお、電子注入層109は、2層以上の積層構造(例えば、電気抵抗が異なる層の積層等)としても良い。
また、電極552は、電子注入層109上に形成される。なお、電極(551B、551G、551R)と電極552とは、互いに重なる領域を有する。また、電極551Bと電極552との間に発光層105B、電極551Gと電極552との間に発光層105G、電極551Rと電極552との間に発光層105R、電極551PSと電極552との間に受光層103PS、をそれぞれ有する。
また、図5(A)に示すEL層(103B、103G、103R)は、実施の形態2で説明したEL層103と同様の構成を有する。また、受光層103PSは、実施の形態1で説明した受光層203と同様の構成を有する。また、例えば、発光層105Bは青色の光、発光層105Gは緑色の光、発光層105Rは赤色の光、をそれぞれ射出することができる。
電子注入層109と、絶縁層(107B、107G、107R、107PS)と、で囲まれた領域には隔壁528が設けられている。なお、図5(A)に示すように、各発光デバイスの電極(551B、551G、551R、551PS)、EL層(103B、103G、103R)の一部、および受光層103PSの一部、と隔壁528とは、絶縁層(107B、107G、107R,107PS)を介して側面(または端部)で接する。
各EL層および受光層において、特に陽極と発光層、および陽極と活性層、との間に位置する正孔輸送領域に含まれる正孔注入層は、導電率が高いことが多いため、隣り合うデバイスに共通する層として形成されると、クロストークの原因となる場合がある。したがって、本構成例で示すように各EL層および受光層との間に、絶縁材料からなる隔壁528を設けることにより、隣り合うデバイス間で生じるクロストークの発生を抑制することが可能となる。
また、本実施の形態で説明する製造方法においては、パターニング工程によりEL層および受光層の側面(または端部)が、工程の途中で露出する。そのためEL層および受光層の側面(または端部)からの酸素、水分、またはこれらの構成元素などの侵入により、EL層および受光層の劣化が進行しやすくなる。したがって、隔壁528を設けることにより、製造プロセスにおけるEL層および受光層の劣化を抑制することが可能となる。
また、隔壁528を設けることにより、隣接するデバイス間に形成された凹部を平坦化することも可能である。なお、凹部が平坦化されることで各EL層および受光層上に形成される電極552の断線を抑制することが可能である。なお、隔壁528の形成に用いる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シリコン樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等の有機材料を適用することができる。また、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルブチラル、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリグリセリン、プルラン、水溶性のセルロース、またはアルコール可溶性のポリアミド樹脂などの有機材料を用いてもよい。また、フォトレジストなどの感光性の樹脂を用いることができる。なお、感光性の樹脂は、ポジ型の材料、またはネガ型の材料を用いることができる。
感光性の樹脂を用いることにより、露光及び現像の工程のみで隔壁528を作製することができる。また、ネガ型の感光性樹脂(例えばレジスト材料など)を用いて隔壁528を形成してもよい。また、隔壁528として、有機材料を有する絶縁層を用いる場合、可視光を吸収する材料を用いると好適である。隔壁528に可視光を吸収する材料を用いると、EL層からの発光を隔壁528により吸収することが可能となり、隣接するEL層および受光層に漏れうる光(迷光)を抑制することができる。したがって、表示品位の高い表示パネルを提供することができる。
また、隔壁528の上面の高さと、EL層103B、EL層103G、EL層103R、および受光層103PSのいずれかの上面の高さとの差が、例えば、隔壁528の厚さの0.5倍以下が好ましく、0.3倍以下がより好ましい。また、例えば、EL層103B、EL層103G、EL層103R、および受光層103PSのいずれかの上面が隔壁528の上面よりも高くなるように、隔壁528を設けてもよい。また、例えば、隔壁528の上面が、EL層103B、EL層103G、EL層103R、および受光層103PSの上面よりも高くなるように、隔壁528を設けてもよい。
1000ppiを超える高精細な受発光装置(表示パネル)において、EL層103B、EL層103G、EL層103R、および受光層103PSとの間に電気的な導通が認められると、クロストーク現象が発生し、受発光装置の表示可能な色域が狭くなってしまう。1000ppiを超える高精細な表示パネル、好ましくは2000ppiを超える高精細な表示パネル、より好ましくは5000ppiを超える超高精細な表示パネルに隔壁528を設けることで、鮮やかな色彩を表示可能な表示パネルを提供できる。
また、図5(B)および図5(C)は、図5(A)の断面図中の一点鎖線Ya-Ybに対応する受発光装置700の上面概略図を示す。すなわち、発光デバイス550B、発光デバイス550G、及び発光デバイス550Rは、それぞれマトリクス状に配列している。なお、図5(B)は、Y方向に同一の色の発光デバイスが配列する、いわゆるストライプ配列を示している。また、図5(C)は、Y方向に同一の色の発光デバイスが配列されるが、画素ごとにパターンが形成された構成を示している。なお、発光デバイスの配列方法はこれに限られず、デルタ配列、ジグザグ配列などの配列方法を適用してもよいし、ペンタイル配列、ダイヤモンド配列等を用いることもできる。
なお、各EL層(103B、103G、103R)および受光層103PSの分離加工において、フォトリソグラフィ法によるパターン形成を行っているため、高精細な受発光装置(表示パネル)を作製することができる。また、フォトリソグラフィ法によるパターン形成により加工されたEL層の各層の側面(端部)は、概略同一表面を有する(または、概略同一平面上に位置する)形状となる。また、フォトリソグラフィ法によるパターン形成により加工された受光層の各層の側面(端部)は、概略同一表面を有する(または、概略同一平面上に位置する)形状となる。また、この時、各EL層および受光層間の間隙580の幅(SE)は、5μm以下が好ましく、1μm以下がより好ましい。
EL層において、特に陽極と発光層との間に位置する正孔輸送領域に含まれる正孔注入層は、導電率が高いことが多いため、隣り合う発光デバイスに共通する層として形成されると、クロストークの原因となる場合がある。したがって、本構成例で示すようにフォトリソグラフィ法によるパターン形成によりEL層を分離加工することにより、隣り合う発光デバイス間で生じるクロストークの発生を抑制することが可能となる。
また、図5(D)は、図5(B)(C)中の一点鎖線C1-C2に対応する断面概略図である。図5(D)には、接続電極551Cと電極552とが電気的に接続する接続部130を示している。接続部130では、接続電極551C上に電極552が接して設けられている。また、接続電極551Cの端部を覆って隔壁528が設けられている。
<受発光装置の製造方法の例>
図6(A)に示すように、電極551B、電極551G、電極551R、および電極551PSを形成する。例えば、第1の基板510上に形成された機能層520上に導電膜を形成し、フォトリソグラフィ法を用いて、所定の形状に加工する。
なお、導電膜の形成には、スパッタリング法、化学気相堆積(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、分子線エピタキシー(MBE:Molecular Beam Epitaxy)法、真空蒸着法、パルスレーザー堆積(PLD:Pulsed Laser Deposition)法、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法等を用いて形成することができる。CVD法としては、プラズマ化学気相堆積(PECVD:Plasma Enhanced CVD)法、または熱CVD法などがある。また、熱CVD法のひとつに、有機金属化学気相堆積(MOCVD:Metal Organic CVD)法がある。
また、導電膜の加工には、上述したフォトリソグラフィ法以外に、ナノインプリント法、サンドブラスト法、リフトオフ法などにより薄膜を加工してもよい。また、メタルマスクなどの遮蔽マスクを用いた成膜方法により、島状の薄膜を直接形成してもよい。
フォトリソグラフィ法としては、代表的には以下の2つの方法がある。一つは、加工したい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジストマスクを除去する方法である。もう一つは、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法である。なお、前者の方法を行う場合、レジスト塗布後の加熱(PAB:Pre Applied Bake)、および露光後の加熱(PEB:Post Exposure Bake)などの熱処理工程がある。本発明の一態様では、導電膜の加工だけでなく、EL層の形成に用いる薄膜(有機化合物からなる膜、または有機化合物を一部に含む膜)の加工にもリソグラフィー法を用いる。
フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光は、例えばi線(波長365nm)、g線(波長436nm)、h線(波長405nm)、またはこれらを混合させた光を用いることができる。そのほか、紫外線、KrFレーザ光、またはArFレーザ光等を用いることもできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。また、露光に用いる光として、極端紫外(EUV:Extreme Ultra-violet)光またはX線を用いてもよい。また、露光に用いる光に代えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外光、X線または電子ビームを用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。なお、電子ビームなどのビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは不要である。
レジストマスクを用いた薄膜のエッチングには、ドライエッチング法、ウェットエッチング法、サンドブラスト法などを用いることができる。
次に、図6(B)に示すように、電極551B、電極551G、電極551R、および電極551PS上にホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bを形成する。なお、ホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bの形成には、例えば、真空蒸着法を用いることができる。さらに、電子輸送層108B上に犠牲層110Bを形成する。ホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bの形成において、材料としては、実施の形態2に示した材料を用いることができる。
なお、犠牲層110Bには、ホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bのエッチング処理に対する耐性の高い膜、すなわちエッチングの選択比の大きい膜を用いることが好ましい。また、犠牲層110Bは、エッチングの選択比の異なる、第1の犠牲層と第2の犠牲層との積層構造であることが好ましい。また、犠牲層110Bは、EL層103Bへのダメージの少ないウェットエッチング法により除去可能な膜を用いることができる。ウェットエッチングに用いるエッチング材料としては、シュウ酸などを用いることができる。
犠牲層110Bとしては、例えば、金属膜、合金膜、金属酸化物膜、半導体膜、無機絶縁膜などの無機膜を用いることができる。また、犠牲層110Bは、スパッタリング法、蒸着法、CVD法、ALD法などの各種成膜方法により形成することができる。
犠牲層110Bとしては、例えば金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、チタン、アルミニウム、イットリウム、ジルコニウム、及びタンタルなどの金属材料、または該金属材料を含む合金材料を用いることができる。特に、アルミニウムまたは銀などの低融点材料を用いることが好ましい。
また、犠牲層110Bとしては、インジウムガリウム亜鉛酸化物(In-Ga-Zn酸化物、IGZOとも表記する)などの金属酸化物を用いることができる。さらに、酸化インジウム、インジウム亜鉛酸化物(In-Zn酸化物)、インジウムスズ酸化物(In-Sn酸化物)、インジウムチタン酸化物(In-Ti酸化物)、インジウムスズ亜鉛酸化物(In-Sn-Zn酸化物)、インジウムチタン亜鉛酸化物(In-Ti-Zn酸化物)、インジウムガリウムスズ亜鉛酸化物(In-Ga-Sn-Zn酸化物)などを用いることができる。またはシリコンを含むインジウムスズ酸化物などを用いることもできる。
なお、上記ガリウムに代えて元素M(Mは、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムから選ばれた一種または複数種)を用いた場合にも適用できる。特に、Mは、ガリウム、アルミニウム、またはイットリウムから選ばれた一種または複数種とすることが好ましい。
また、犠牲層110Bとしては、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化シリコンなどの無機絶縁材料を用いることができる。
また、犠牲層110Bとしては、少なくとも最上部に位置する電子輸送層108Bに対して、化学的に安定な溶媒に溶解しうる材料を用いることが好ましい。特に、水またはアルコールに溶解する材料を、犠牲層110Bに好適に用いることができる。犠牲層110Bを成膜する際には、水またはアルコールなどの溶媒に溶解させた状態で、湿式の成膜方法で塗布した後に、溶媒を蒸発させるための加熱処理を行うことが好ましい。このとき、減圧雰囲気下での加熱処理を行うことで、低温且つ短時間で溶媒を除去できるため、ホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bへの熱的なダメージを低減することができ、好ましい。
なお、犠牲層110Bを積層構造にする場合には、上述した材料で形成される層を第1の犠牲層とし、その上に第2の犠牲層を形成して積層構造とすることができる。
この場合の第2の犠牲層は、第1の犠牲層エッチングする際のハードマスクとして用いる膜である。また、第2の犠牲層の加工時には、第1の犠牲層が露出する。したがって、第1の犠牲層と第2の犠牲層とは、互いにエッチングの選択比の大きい膜の組み合わせを選択する。そのため、第1の犠牲層のエッチング条件、及び第2の犠牲層のエッチング条件に応じて、第2の犠牲層に用いることのできる膜を選択することができる。
例えば、第2の犠牲層のエッチングに、フッ素を含むガス(フッ素系ガスともいう)を用いたドライエッチングを用いる場合には、シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン、タングステン、チタン、モリブデン、タンタル、窒化タンタル、モリブデンとニオブを含む合金、またはモリブデンとタングステンを含む合金などを、第2の犠牲層に用いることができる。ここで、上記フッ素系ガスを用いたドライエッチングに対して、エッチングの選択比を大きくとれる(すなわち、エッチング速度を遅くできる)膜としては、IGZO、ITOなどの金属酸化物膜などがあり、これを第1の犠牲層に用いることができる。
なお、これに限られず、第2の犠牲層は、様々な材料の中から、第1の犠牲層のエッチング条件、及び第2の犠牲層のエッチング条件に応じて、選択することができる。例えば、上記第1の犠牲層に用いることのできる膜の中から選択することもできる。
また、第2の犠牲層としては、例えば窒化物膜を用いることができる。具体的には、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ハフニウム、窒化チタン、窒化タンタル、窒化タングステン、窒化ガリウム、窒化ゲルマニウムなどの窒化物を用いることもできる。
または、第2の犠牲層として、酸化物膜を用いることができる。代表的には、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウムなどの酸化物膜または酸窒化物膜を用いることもできる。
次に、図6(C)に示すように、犠牲層110B上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法を用いてレジストを所望の形状(レジストマスク:REG)に形成する。なお、このような方法を行う場合、レジスト塗布後の加熱(PAB:Pre Applied Bake)、および露光後の加熱(PEB:Post Exposure Bake)などの熱処理工程がある。例えば、PAB温度は、100℃前後、PEB温度は120℃前後になる。そのため、これらの処理温度に耐えうる発光デバイスであることが必要である。
次に、得られたレジストマスクREGを用い、レジストマスクREGに覆われない犠牲層110Bの一部をエッチングにより除去し、レジストマスクREGを除去した後、犠牲層110Bに覆われないホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bをエッチングにより除去し、電極551B上に側面を有する(または側面が露出する)形状、または紙面と交差する方向に延びる帯状の形状にホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bを加工する。なお、エッチングには、ドライエッチングが好ましい。犠牲層110Bが上記の第1の犠牲層および第2の犠牲層との積層構造を有する場合には、レジストマスクREGにより第2の犠牲層の一部をエッチングした後、レジストマスクREGを除去し、第2の犠牲層をマスクとして、第1の犠牲層の一部をエッチングし、ホール注入・輸送層104B、発光層105B、および電子輸送層108Bを所定の形状に加工しても良い。これらのエッチング処理により、図7(A)の形状を得る。
次に、図7(B)に示すように、犠牲層110B、電極551G、電極551R、および電極551PS上にホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gを形成する。ホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gの形成において、材料としては、実施の形態2に示した材料を用いることができる。なお、ホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gの形成には、例えば、真空蒸着法を用いることができる。
次に、図7(C)に示すように、電子輸送層108G上に犠牲層110Gを形成し、犠牲層110Gの上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法を用いてレジストを所望の形状(レジストマスク:REG)に形成し、得られたレジストマスクREGに覆われない犠牲層110Gの一部をエッチングにより除去し、レジストマスクREGを除去した後、犠牲層110Gに覆われないホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gの一部をエッチングにより除去し、電極551G上に側面を有する(または側面が露出する)形状、または紙面と交差する方向に延びる帯状の形状にホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gを加工する。なお、エッチングには、ドライエッチングが好ましい。また、犠牲層110Gは、犠牲層110Bと同様の材料を用いることができ、犠牲層110Gが上記の第1の犠牲層および第2の犠牲層との積層構造を有する場合には、レジストマスクREGにより第2の犠牲層の一部をエッチングした後、レジストマスクREGを除去し、第2の犠牲層をマスクとして、第1の犠牲層の一部をエッチングし、ホール注入・輸送層104G、発光層105G、および電子輸送層108Gを所定の形状に加工しても良い。これらのエッチング処理により、図8(A)の形状を得る。
次に、図8(B)に示すように、犠牲層110B、犠牲層110G、電極551R、および電極551PS上にホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rを形成する。ホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rの形成において、材料としては、実施の形態2に示した材料を用いることができる。なお、ホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rの形成には、例えば、真空蒸着法を用いることができる。
次に、図8(C)に示すように、電子輸送層108R上に犠牲層110Rを形成し、犠牲層110Rの上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法を用いてレジストを所望の形状(レジストマスク:REG)に形成し、得られたレジストマスクREGに覆われない犠牲層110Rの一部をエッチングにより除去し、レジストマスクREGを除去した後、犠牲層110Rに覆われないホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rの一部をエッチングにより除去し、電極551R上に側面を有する(または側面が露出する)形状、または紙面と交差する方向に延びる帯状の形状にホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rを加工する。なお、エッチングには、ドライエッチングが好ましい。また、犠牲層110Rは、犠牲層110Bと同様の材料を用いることができ、犠牲層110Rが上記の第1の犠牲層および第2の犠牲層との積層構造を有する場合には、レジストマスクREGにより第2の犠牲層の一部をエッチングした後、レジストマスクREGを除去し、第2の犠牲層をマスクとして、第1の犠牲層の一部をエッチングし、ホール注入・輸送層104R、発光層105R、および電子輸送層108Rを所定の形状に加工しても良い。これらのエッチング処理により、図9(A)の形状を得る。
次に、図9(B)に示すように、犠牲層110B、犠牲層110G、犠牲層110R、および電極551PS上に第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSを形成する。第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSの形成において、材料としては、実施の形態1に示した材料を用いることができる。なお、第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSの形成には、例えば、真空蒸着法を用いることができる。
次に、図9(C)に示すように、第2の輸送層108PS上に犠牲層110PSを形成し、犠牲層110PSの上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法を用いてレジストを所望の形状(レジストマスク:REG)に形成し、得られたレジストマスクREGに覆われない犠牲層110PSの一部をエッチングにより除去し、レジストマスクREGを除去した後、犠牲層110PSに覆われない第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSの一部をエッチングにより除去し、電極551PS上に側面を有する(または側面が露出する)形状、または紙面と交差する方向に延びる帯状の形状に第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSを加工する。なお、エッチングには、ドライエッチングが好ましい。また、犠牲層110PSは、犠牲層110Bと同様の材料を用いることができ、犠牲層110PSが上記の第1の犠牲層および第2の犠牲層との積層構造を有する場合には、レジストマスクREGにより第2の犠牲層の一部をエッチングした後、レジストマスクREGを除去し、第2の犠牲層をマスクとして、第1の犠牲層の一部をエッチングし、第1の輸送層104PS、活性層105PS、および第2の輸送層108PSを所定の形状に加工しても良い。これらのエッチング処理により、図9(D)の形状を得る。
次に、図10(A)に示すように、犠牲層110B、犠牲層110G、犠牲層110R、および犠牲層110PS上に絶縁層107を形成する。
なお、絶縁層107の形成には、例えば、ALD法を用いることができる。この場合、絶縁層107は、図10(A)に示すように各発光デバイスのホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、また、受光デバイスの第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSの各側面(各端部)に接して形成される。これにより、各側面から内部への酸素、水分、またはこれらの構成元素の侵入を抑制することができる。なお、絶縁層107に用いる材料としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウム、インジウムガリウム亜鉛酸化物、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンなどを用いることができる。
次に、図10(B)に示すように、犠牲層(110B、110G、110R、110PS)を除去した後、絶縁層107の一部を除去することにより形成した絶縁層(107B、107G、107R、107PS)、電子輸送層(108B、108G、108R)、および第2の輸送層108PS上に電子注入層109を形成する。電子注入層109の形成において、材料としては、実施の形態2に示した材料を用いることができる。なお、電子注入層109は、例えば、真空蒸着法を用いて形成する。なお、電子注入層109は、各発光デバイスのホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、また、受光デバイスの第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSの各側面(各端部)で絶縁層(107B、107G、107R、107PS)を介して接する構造を有する。
次に、図10(C)に示すように、電極552を形成する。電極552は、例えば、真空蒸着法を用いて形成する。なお、電極552は、電子注入層109上に形成される。なお、電極552は、電子注入層109および絶縁層(107B、107G、107R、107PS)を介して各発光デバイスのホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、また、受光デバイスの第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSの各側面(各端部)と接する構造を有する。これにより、各発光デバイスのホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、また、受光デバイスの第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSと電極552とが、電気的に短絡することを防ぐことができる。
以上の工程により、発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550R、および受光デバイス550PSにおける、EL層103B、EL層103G、EL層103R、および受光層103PSをそれぞれ分離加工することができる。
なお、これらのEL層(103B、103G、103R)および受光層103PSの分離加工において、フォトリソグラフィ法によるパターン形成を行っているため、高精細な受発光装置(表示パネル)を作製することができる。また、フォトリソグラフィ法によるパターン形成により加工されたEL層の各層の側面(端部)は、概略同一表面を有する(または、概略同一平面上に位置する)形状となる。また、フォトリソグラフィ法によるパターン形成により加工された受光層の各層の側面(端部)は、概略同一表面を有する(または、概略同一平面上に位置する)形状となる。
また、これらのEL層におけるホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、および受光層における第1の輸送層104PSは、導電率が高いことが多いため、隣り合うデバイス間に共通する層として形成されると、クロストークの原因となる場合がある。したがって、本構成例で示すようにフォトリソグラフィ法によるパターン形成によりEL層を分離加工することにより、隣り合うデバイス間で生じるクロストークの発生を抑制することが可能となる。
なお、本構成の各発光デバイスが有する各EL層(103B、103G、103R)に含まれるホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、および受光デバイスが有する受光層103PSが有する、第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSは、分離加工において、フォトリソグラフィ法によるパターン形成を行っているため、加工されたEL層の各層の側面(端部)が概略同一表面を有する(または概略同一平面上に位置する)形状となる。また、フォトリソグラフィ法によるパターン形成により加工された受光層の各層の側面(端部)は、概略同一表面を有する(または、概略同一平面上に位置する)形状となる
また、各発光デバイスが有する各EL層(103B、103G、103R)に含まれるホール注入・輸送層(104B、104G、104R)、発光層(105B、105G、105R)、および電子輸送層(108B、108G、108R)、および受光デバイスが有する受光層103PSが有する、第1の輸送層104PS、活性層105PS、第2の輸送層108PSは、分離加工において、フォトリソグラフィ法によるパターン形成を行っている。そのため、加工された各側面(端部)は、隣り合うデバイス間に、それぞれ間隙580を有する。なお、図10(C)において、間隙580を隣り合うデバイスのEL層または活性層の間の距離をSEで表す場合、距離SEが小さいほど開口率を高めること、及び、精細度を高めることができる。一方、距離SEが大きいほど、隣り合うデバイスとの作製工程ばらつきの影響を許容できるため、製造歩留まりを高めることができる。本明細書により作製される発光デバイスおよび受光デバイスは微細化プロセスに好適であるため、隣り合うデバイスのEL層または活性層の間の距離SEは、0.5μm以上5μm以下、好ましくは1μm以上3μm以下、より好ましくは1μm以上2.5μm以下、さらに好ましくは1μm以上2μm以下とすることができる。なお、代表的には、距離SEは1μm以上2μm以下(例えば1.5μmまたはその近傍)であることが好ましい。
なお、本明細書等において、メタルマスク、またはFMM(ファインメタルマスク、高精細なメタルマスク)を用いて作製されるデバイスをMM(メタルマスク)構造のデバイスという場合がある。また、本明細書等において、メタルマスク、またはFMMを用いることなく作製されるデバイスをMML(メタルマスクレス)構造のデバイスという場合がある。MML構造の受発光装置は、メタルマスクを用いずに作製するため、FMM構造、またはMM構造の受発光装置よりも画素配置及び画素形状等の設計自由度が高い。
なお、MML構造の受発光装置が有する島状のEL層は、メタルマスクのパターンによって形成されるのではなく、EL層を成膜した後に加工することで形成される。したがって、これまでに比べて高精細な受発光装置または高開口率の受発光装置を実現することができる。さらに、EL層を各色で作り分けることができるため、極めて鮮やかでコントラストが高く、表示品位の高い受発光装置を実現できる。また、EL層上に犠牲層を設けることで、作製工程中にEL層が受けるダメージを低減することができるため、発光デバイスの信頼性を高めることができる。
なお、図5(A)および図10(C)に示す発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550Rにおいては、EL層(103B、103G、103R)の幅が電極(551B、551G、551R)の幅と概略等しく、受光デバイス550PSにおいて、受光層103PSの幅が電極551PSの幅と概略等しいが、本発明の一態様はこれに限られない。
発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550Rにおいては、EL層(103B、103G、103R)の幅が電極(551B、551G、551R)の幅より小さくてもよい。また、受光デバイス550PSにおいて、受光層103PSの幅が電極551PSの幅より小さくてもよい。図10(D)には発光デバイス550B、発光デバイス550Gにおいて、EL層(103B、103G)の幅が電極(551B、551G)の幅より小さい例を示す。
発光デバイス550B、発光デバイス550G、発光デバイス550Rにおいては、EL層(103B、103G、103R)の幅が電極(551B、551G、551R)の幅より大きくてもよい。また、受光デバイス550PSにおいて、受光層103PSの幅が電極551PSの幅より大きくてもよい。図10(E)には発光デバイス550Rにおいて、EL層103Rの幅が電極551Rの幅より大きい例を示す。
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いることができるものとする。
(実施の形態4)
本実施の形態では、受発光装置720について、図11乃至図13を用いて説明する。なお、図11乃至図13に示す受発光装置720は、実施の形態1および実施の形態2で示す、受光デバイスおよび発光デバイスを有する受発光装置であるが、本実施の形態で説明する受発光装置720は、電子機器などの表示部に適用可能であることから表示パネルまたは表示装置ということもできる。なお、上記の受発光装置720は、発光デバイスを光源とし、発光デバイスからの光を受光デバイスにより受光する構成を有する。
また、本実施の形態の受発光装置は、高解像度または大型の受発光装置とすることができる。したがって、本実施の形態の受発光装置は、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、スマートフォン、腕時計型端末、タブレット端末、携帯情報端末、および音響再生装置等の表示部に用いることもできる。
図11(A)には、受発光装置720の上面図を示す。
図11(A)において、受発光装置720は、基板710と基板711とが貼り合わされた構成を有する。また、受発光装置720は、表示領域701、回路704、および配線706等を有する。なお、表示領域701は、複数の画素を有し、図11(A)に示す画素703(i,j)は、図11(B)に示すように、画素703(i,j)に隣接する画素703(i+1,j)を有する。
また、受発光装置720には、図11(A)に示すように、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板710にIC(集積回路)712が設けられている例を示す。なお、IC712としては、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。図11(A)では、信号線駆動回路を有するICをIC712に用い、回路704として、走査線駆動回路を有する構成を示す。
配線706は、表示領域701及び回路704に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC(Flexible Printed Circuit)713を介して外部から配線706に入力されるか、またはIC712から配線706に入力される。なお、受発光装置720にICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
図11(B)に、表示領域701の画素703(i,j)、および画素703(i+1,j)を示す。すなわち、画素703(i,j)は、互いに異なる色を発する発光デバイスを有する副画素を、複数種有する構成とすることができる。または、同じ色を発する発光デバイスを有する副画素を複数含む構成とすることもできる。画素が、互いに異なる色を発する発光デバイスを有する副画素を、複数種類有する構成である場合、例えば、副画素を3種類有する構成とすることができる。当該3つの副画素としては、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3色の副画素、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色の副画素などが挙げられる。または、画素は副画素を4種類有する構成とすることができる。当該4つの副画素としては、R、G、B、白色(W)の4色の副画素、R、G、B、Yの4色の副画素などが挙げられる。具体的には、青色を表示する副画素702B(i,j)、緑色を表示する副画素702G(i,j)および赤色を表示する副画素702R(i,j)で構成された画素703(i,j)とすることができる。
なお、受発光装置720は、発光デバイスを有する副画素だけでなく、受光デバイスを有する副画素も含む。
図11(C)乃至図11(E)に示す画素703(i,j)は、受光デバイスを有する副画素702PS(i,j)を含む、様々なレイアウトの一例を示す。なお、図11(C)に示す画素の配列は、ストライプ配列であり、図11(D)に示す画素の配列は、マトリクス配列である。また、図11(E)に示す画素の配列は、1つの副画素(副画素B)の隣に、3つの副画素(副画素R、副画素G、副画素PS)が縦に3つ並んだ構成を有する。
また、図11(F)に示すように赤外線を射出する副画素702IR(i,j)を上記の一組に加えて、画素703(i,j)としてもよい。図11(F)に示す画素の配列は、縦長の副画素G、副画素B、副画素Rが横に3つ並び、その下側に副画素PSと、横長の副画素IRと、が横に並んだ構成を有する。具体的には、650nm以上1000nm以下の波長を有する光を含む光を射出する副画素702IR(i,j)を、画素703(i,j)に用いてもよい。なお、副画素702PS(i,j)が検出する光の波長は特に限定されないが、副画素702PS(i,j)が有する受光デバイスは、副画素702R(i,j)、副画素702G(i,j)、副画素702B(i,j)、または副画素702IR(i,j)が有する発光デバイスが発する光に感度を有することが好ましい。例えば、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの波長域の光、及び、赤外の波長域の光のうち、一つまたは複数を検出することが好ましい。
なお、副画素の配列は、図11(B)乃至11(F)に示す構成に限られることはなく、様々な方法を適用することができる。副画素の配列としては、例えば、ストライプ配列、Sストライプ配列、マトリクス配列、デルタ配列、ベイヤー配列、ペンタイル配列などが挙げられる。
また、副画素の上面形状としては、例えば、三角形、四角形(長方形、正方形を含む)、五角形などの多角形、これら多角形の角が丸い形状、楕円形、または円形などが挙げられる。ここでいう副画素の上面形状は、発光デバイスの発光領域の上面形状に相当する。
さらに、画素に、発光デバイスだけでなく受光デバイスを有する構成とする場合には、画素が受光機能を有するため、画像を表示しながら、対象物の接触または近接を検出することができる。例えば、発光装置が有する副画素全てで画像を表示するだけでなく、一部の副画素は、光源としての光を呈し、残りの副画素で画像を表示することもできる。
なお、副画素702PS(i,j)の受光面積は、他の副画素の発光面積よりも小さいことが好ましい。受光面積が小さいほど、撮像範囲が狭くなり、撮像結果のボケの抑制、及び、解像度の向上が可能となる。そのため、副画素702PS(i,j)を用いることで、高精細または高解像度の撮像を行うことができる。例えば、副画素702PS(i,j)を用いて、指紋、掌紋、虹彩、脈形状(静脈形状、動脈形状を含む)、または顔などを用いた個人認証のための撮像を行うことができる。
また、副画素702PS(i,j)は、タッチセンサ(ダイレクトタッチセンサともいう)またはニアタッチセンサ(ホバーセンサ、ホバータッチセンサ、非接触センサ、タッチレスセンサともいう)などに用いることができる。例えば、副画素702PS(i,j)は、赤外光を検出することが好ましい。これにより、暗い場所でも、タッチ検出が可能となる。
ここで、タッチセンサまたはニアタッチセンサは、対象物(指、手、またはペンなど)の近接もしくは接触を検出することができる。タッチセンサは、受発光装置と、対象物とが、直接接することで、対象物を検出できる。また、ニアタッチセンサは、対象物が受発光装置に接触しなくても、当該対象物を検出することができる。例えば、受発光装置と、対象物との間の距離が0.1mm以上300mm以下、好ましくは3mm以上50mm以下の範囲で受発光装置が当該対象物を検出できる構成であると好ましい。当該構成とすることで、受発光装置に対象物が直接触れずに操作することが可能となる、別言すると非接触(タッチレス)で受発光装置を操作することが可能となる。上記構成とすることで、受発光装置に汚れ、または傷がつくリスクを低減することができる、または対象物が受発光装置に付着した汚れ(例えば、ゴミ、細菌、またはウィルスなど)に直接触れずに、受発光装置を操作することが可能となる。
なお、高精細な撮像を行うため、副画素702PS(i,j)は、受発光装置が有する全ての画素に設けられていることが好ましい。一方で、副画素702PS(i,j)は、タッチセンサまたはニアタッチセンサなどに用いる場合は、指紋などを撮像する場合と比較して高い精度が求められないため、受発光装置が有する一部の画素に設けられていればよい。受発光装置が有する副画素702PS(i,j)の数を、副画素702R(i,j)等の数よりも少なくすることで、検出速度を高めることができる。
次に、発光デバイスを有する副画素の画素回路の一例について図12(A)により説明する。図12(A)に示す画素回路530は、発光デバイス(EL)550、トランジスタM15、トランジスタM16、トランジスタM17、及び容量素子C3を有する。なお、発光デバイス550として、発光ダイオードを用いることができる。特に、発光デバイス550として、実施の形態1および実施の形態2で説明した、発光デバイスを用いることが好ましい。
図12(A)において、トランジスタM15は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソースまたはドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が、容量素子C3の一方の電極、及びトランジスタM16のゲートと電気的に接続する。トランジスタM16のソースまたはドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光デバイス550のアノード、及びトランジスタM17のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM17は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光デバイス550のカソードは、配線V5と電気的に接続する。
配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光デバイス550のアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM15は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路530の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM16は、ゲートに供給される電位に応じて発光デバイス550に流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM15が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM16のゲートに供給され、その電位に応じて発光デバイス550の発光輝度を制御することができる。トランジスタM17は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM16と発光デバイス550との間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能を有する。
なお、図12(A)の画素回路530が有するトランジスタM15、トランジスタM16、及びトランジスタM17、並びに、図12(B)の画素回路531が有するトランジスタM11、トランジスタM12、トランジスタM13、及びトランジスタM14には、それぞれチャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体)を用いたトランジスタを適用することが好ましい。
シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、極めて小さいオフ電流を実現することができる。そのため、その小さいオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。そのため、特に容量素子C2または容量素子C3に直列に接続されるトランジスタM11、トランジスタM12、及びトランジスタM15には、酸化物半導体が適用されたトランジスタを用いることが好ましい。また、これ以外のトランジスタも同様に酸化物半導体を適用したトランジスタを用いることで、作製コストを低減することができる。
また、トランジスタM11乃至トランジスタM17に、チャネルが形成される半導体にシリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。特に単結晶シリコンまたは多結晶シリコンなどの結晶性の高いシリコンを用いることで、高い電界効果移動度を実現することができ、より高速な動作が可能となるため好ましい。
また、トランジスタM11乃至トランジスタM17のうち、一以上に酸化物半導体を適用したトランジスタを用い、それ以外にシリコンを適用したトランジスタを用いる構成としてもよい。
次に、受光デバイスを有する副画素の画素回路の一例について、図12(B)により説明する。図12(B)に示す画素回路531は、受光デバイス(PD)560、トランジスタM11、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM14、及び容量素子C2を有する。ここでは、受光デバイス(PD)560として、フォトダイオードを用いた例を示している。
図12(B)において、受光デバイス(PD)560は、アノードが配線V1と電気的に接続し、カソードがトランジスタM11のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM11は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が容量素子C2の一方の電極、トランジスタM12のソースまたはドレインの一方、及びトランジスタM13のゲートと電気的に接続する。トランジスタM12は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM13は、ソースまたはドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方がトランジスタM14のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM14は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光デバイス(PD)560を逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも高い電位を供給する。トランジスタM12は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM13のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM11は、配線TXに供給される信号により制御され、受光デバイス(PD)560に流れる電流に応じて上記ノードの電位が変化するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM13は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM14は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
なお、図12(A)および図12(B)において、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。
画素回路530が有するトランジスタと画素回路531が有するトランジスタは、同一基板上に並べて形成されることが好ましい。特に、画素回路530が有するトランジスタと画素回路531が有するトランジスタとを1つの領域内に混在させて周期的に配列する構成とすることが好ましい。
また、受光デバイス(PD)560または発光デバイス(EL)550と重なる位置に、トランジスタ及び容量素子の一方又は双方を有する層を1つまたは複数設けることが好ましい。これにより、各画素回路の実効的な占有面積を小さくでき、高精細な受光部または表示部を実現できる。
次に、図12(A)および図12(B)で説明した画素回路に適用できるトランジスタの具体的な構造の一例を図12(C)に示す。なお、トランジスタとしては、ボトムゲート型のトランジスタまたはトップゲート型のトランジスタなどを適宜用いることができる。
図12(C)に示すトランジスタは、半導体膜508、導電膜504、絶縁膜506、導電膜512Aおよび導電膜512Bを有する。トランジスタは、例えば、絶縁膜501C上に形成される。また、当該トランジスタは、絶縁膜516(絶縁膜516A及び絶縁膜516B)、及び絶縁膜518を有する。
半導体膜508は、導電膜512Aと電気的に接続される領域508A、導電膜512Bと電気的に接続される領域508Bを有する。半導体膜508は、領域508Aおよび領域508Bの間に領域508Cを有する。
導電膜504は領域508Cと重なる領域を備え、導電膜504はゲート電極の機能を有する。
絶縁膜506は、半導体膜508および導電膜504の間に挟まれる領域を有する。絶縁膜506は第1のゲート絶縁膜の機能を有する。
導電膜512Aはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の一方を備え、導電膜512Bはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の他方を有する。
また、導電膜524をトランジスタに用いることができる。導電膜524は、導電膜504との間に半導体膜508を挟む領域を有する。導電膜524は、第2のゲート電極の機能を有する。絶縁膜501Dは半導体膜508および導電膜524の間に挟まれ、第2のゲート絶縁膜の機能を有する。
絶縁膜516は、例えば、半導体膜508を覆う保護膜として機能する。絶縁膜516としては、例えば、具体的には、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜または酸化ネオジム膜を含む膜を用いることができる。
絶縁膜518は、例えば、酸素、水素、水、アルカリ金属、アルカリ土類金属等の拡散を抑制する機能を備える材料を適用することが好ましい。具体的には、絶縁膜518としては、例えば、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム等を用いることができる。また、酸化窒化シリコン、及び酸化窒化アルミニウムのそれぞれに含まれる酸素の原子数と窒素の原子数は、窒素の原子数のほうが多いことが好ましい。
なお、画素回路のトランジスタに用いる半導体膜を形成する工程において、駆動回路のトランジスタに用いる半導体膜を形成することができる。例えば、画素回路のトランジスタに用いる半導体膜と同じ組成の半導体膜を、駆動回路に用いることができる。
また、半導体膜508には、第14族の元素を含む半導体を用いることができる。具体的には、シリコンを含む半導体を半導体膜508に用いることができる。
また、半導体膜508には、水素化アモルファスシリコンを用いることができる。または、微結晶シリコンなどを半導体膜508に用いることができる。これにより、例えば、ポリシリコンを半導体膜508に用いる装置(発光装置、表示パネル、表示装置、および受発光装置を含む)に比べて、表示ムラが少ない装置を提供することができる。または、装置の大型化が容易である。
また、半導体膜508には、ポリシリコンを用いることができる。これにより、例えば、水素化アモルファスシリコンを半導体膜508に用いるトランジスタより、トランジスタの電界効果移動度を高くすることができる。または、例えば、水素化アモルファスシリコンを半導体膜508に用いるトランジスタより、駆動能力を高めることができる。または、例えば、水素化アモルファスシリコンを半導体膜508に用いるトランジスタより、画素の開口率を向上することができる。
または、例えば、水素化アモルファスシリコンを半導体膜508に用いるトランジスタより、トランジスタの信頼性を高めることができる。
または、トランジスタの作製に要する温度を、例えば、単結晶シリコンを用いるトランジスタより、低くすることができる。
または、駆動回路のトランジスタに用いる半導体膜を、画素回路のトランジスタに用いる半導体膜と同一の工程で形成することができる。または、画素回路を形成する基板と同一の基板上に駆動回路を形成することができる。または、電子機器を構成する部品数を低減することができる。
また、半導体膜508には、単結晶シリコンを用いることができる。これにより、例えば、水素化アモルファスシリコンを半導体膜508に用いる発光装置(または表示パネル)より、精細度を高めることができる。または、例えば、ポリシリコンを半導体膜508に用いる発光装置より、表示ムラが少ない発光装置を提供することができる。または、例えば、スマートグラスまたはヘッドマウントディスプレイを提供することができる。
また、半導体膜508には、金属酸化物を用いることができる。これにより、アモルファスシリコンを半導体膜に用いたトランジスタを利用する画素回路と比較して、画素回路が画像信号を保持することができる時間を長くすることができる。具体的には、フリッカーの発生を抑制しながら、選択信号を30Hz未満、好ましくは1Hz未満、より好ましくは一分に一回未満の頻度で供給することができる。その結果、電子機器の使用者に蓄積する疲労を低減することができる。また、駆動に伴う消費電力を低減することができる。
また、半導体膜508には、酸化物半導体を用いることができる。具体的には、インジウムを含む酸化物半導体、インジウムとガリウムと亜鉛を含む酸化物半導体またはインジウムとガリウムと亜鉛と錫とを含む酸化物半導体を半導体膜508に用いることができる。
なお、酸化物半導体を半導体膜に用いることで、半導体膜にアモルファスシリコンを用いたトランジスタよりもオフ状態におけるリーク電流が小さいトランジスタを得ることができる。したがって、酸化物半導体を半導体膜に用いたトランジスタをスイッチ等に利用することが好ましい。なお、酸化物半導体を半導体膜に用いたトランジスタをスイッチに利用する回路は、アモルファスシリコンを半導体膜に用いたトランジスタをスイッチに利用する回路よりも、長い時間、フローティングノードの電位を保持することができる。
酸化物半導体を半導体膜に用いる場合、受発光装置720は、酸化物半導体を半導体膜に用い、且つMML(メタルマスクレス)構造の発光デバイスを有する構成となる。当該構成とすることで、トランジスタに流れうるリーク電流、及び隣接する発光デバイス間に流れうるリーク電流(横リーク電流、サイドリーク電流などともいう)を、極めて低くすることができる。また、上記構成とすることで、表示装置に画像を表示した場合に、観察者が画像のきれ、画像のするどさ、高い彩度及び高いコントラスト比のいずれか一または複数を観測できる。なお、トランジスタに流れうるリーク電流、及び発光デバイス間の横リーク電流が極めて低い構成とすることで、黒表示時に生じうる光漏れ(いわゆる白浮き)などが限りなく少ない表示(真黒表示ともいう)とすることができる。
特に、MML構造の発光デバイスの中でも、先に示すSBS構造を適用することで、発光デバイスの間に設けられる層(例えば、発光デバイスの間で共通して用いる有機層、共通層ともいう)が分断された構成となるため、サイドリークがない、またはサイドリークが極めて少ない表示とすることができる。
次に、受発光装置の断面図を示す。図13には、図11(A)に示す受発光装置の断面図を示す。
図13の断面図は、FPC713および配線706を含む領域の一部、画素703(i,j)を含む表示領域701の一部をそれぞれ切断した時の断面図を示す。
図13において、受発光装置700は、第1の基板510と、第2の基板770と、の間に機能層520を有する。機能層520には、図12で説明したトランジスタ(M11、M12、M13、M14、M15、M16、M17)および容量素子(C2、C3)等の他、これらを電気的に接続する配線(VS、VG、V1、V2、V3、V4、V5)等が含まれる。なお、図13では、機能層520は、画素回路530X(i,j)および画素回路530S(i,j)、並びに駆動回路GDを含む構成を示すが、これに限らない。
また、機能層520に形成された画素回路(例えば、図13に示す画素回路530X(i,j)および画素回路530S(i,j))は、機能層520上に形成される発光デバイスおよび受光デバイス(例えば、図13に示す発光デバイス550X(i,j))および受光デバイス550S(i,j))と電気的に接続される。具体的には、発光デバイス550X(i,j)は配線591Xを介して画素回路530X(i,j)に電気的に接続され、受光デバイス550S(i,j)は配線591Sを介して画素回路530S(i,j)に電気的に接続される。また、機能層520、発光デバイス、および受光デバイス上に絶縁層705を有し、絶縁層705は、第2の基板770と機能層520とを貼り合わせる機能を有する。
なお、第2の基板770には、マトリクス状にタッチセンサを備える基板を用いることができる。例えば、静電容量式のタッチセンサまたは光学式のタッチセンサを備えた基板を第2の基板770に用いることができる。これにより、本発明の一態様の受発光装置をタッチパネルとして使用することができる。
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いることができるものとする。
(実施の形態5)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器の構成について、図14(A)乃至図16(B)により説明する。なお、本実施の形態で示す電子機器の一部には、本発明の一態様である、受発光装置を備えることができる。
図14(A)乃至図16(B)は、本発明の一態様の電子機器の構成を説明する図である。図14(A)は電子機器のブロック図であり、図14(B)乃至図14(E)は電子機器の構成を説明する斜視図である。また、図15(A)乃至図15(E)は電子機器の構成を説明する斜視図である。また、図16(A)および図16(B)は電子機器の構成を説明する斜視図である。
本実施の形態で説明する電子機器5200Bは、演算装置5210と、入出力装置5220と、を有する(図14(A)参照)。
演算装置5210は、操作情報を供給される機能を備え、操作情報に基づいて画像情報を供給する機能を有する。
入出力装置5220は、表示部5230、入力部5240、検知部5250、通信部5290、操作情報を供給する機能および画像情報を供給される機能を有する。また、入出力装置5220は、検知情報を供給する機能、通信情報を供給する機能および通信情報を供給される機能を有する。
入力部5240は操作情報を供給する機能を有する。例えば、入力部5240は、電子機器5200Bの使用者の操作に基づいて操作情報を供給する。
具体的には、キーボード、ハードウェアボタン、ポインティングデバイス、タッチセンサ、照度センサ、撮像装置、音声入力装置、視線入力装置、姿勢検出装置などを、入力部5240に用いることができる。
表示部5230は表示パネルおよび画像情報を表示する機能を有する。例えば、実施の形態3において説明する表示パネルを表示部5230に用いることができる。
検知部5250は検知情報を供給する機能を有する。例えば、電子機器が使用されている周辺の環境を検知して、検知情報として供給する機能を有する。
具体的には、照度センサ、撮像装置、姿勢検出装置、圧力センサ、人感センサなどを検知部5250に用いることができる。
通信部5290は通信情報を供給される機能および供給する機能を有する。例えば、無線通信または有線通信により、他の電子機器または通信網と接続する機能を有する。具体的には、無線構内通信、電話通信、近距離無線通信などの機能を有する。
図14(B)は、円筒状の柱などに沿った外形を有する電子機器を示す。一例として、デジタルサイネージ等が挙げられる。本発明の一態様である表示パネルは、表示部5230に適用することができる。なお、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備えていても良い。また、人の存在を検知して、表示内容を変更する機能を有する。これにより、例えば、建物の柱に設置することができる。または、広告または案内等を表示することができる。または、デジタルサイネージ等に用いることができる。
図14(C)は、使用者が使用するポインタの軌跡に基づいて画像情報を生成する機能を有する電子機器を示す。一例として、電子黒板、電子掲示板、電子看板等が挙げられる。具体的には、対角線の長さが20インチ以上、好ましくは40インチ以上、より好ましくは55インチ以上の表示パネルを用いることができる。または、複数の表示パネルを並べて1つの表示領域に用いることができる。または、複数の表示パネルを並べてマルチスクリーンに用いることができる。
図14(D)は、他の装置から情報を受信して、表示部5230に表示することができる電子機器を示す。一例として、ウェアラブル型電子機器などが挙げられる。具体的には、いくつかの選択肢を表示できる、または、使用者が選択肢からいくつかを選択し、当該情報の送信元に返信することができる。または、例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を有する。これにより、例えば、ウェアラブル型電子機器の消費電力を低減することができる。または、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をウェアラブル型電子機器に表示することができる。
図14(E)は、筐体の側面に沿って緩やかに曲がる曲面を備える表示部5230を有する電子機器を示す。一例として、携帯電話などが挙げられる。なお、表示部5230は表示パネルを備え、表示パネルは、例えば、前面、側面、上面および背面に表示する機能を有する。これにより、例えば、携帯電話の前面だけでなく、側面、上面および背面に情報を表示することができる。
図15(A)は、インターネットから情報を受信して、表示部5230に表示することができる電子機器を示す。一例として、スマートフォンなどが挙げられる。例えば、作成したメッセージを表示部5230で確認することができる。または、作成したメッセージを他の装置に送信できる。または、例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を有する。これにより、スマートフォンの消費電力を低減することができる。または、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をスマートフォンに表示することができる。
図15(B)は、リモートコントローラーを入力部5240とすることができる電子機器を示す。一例として、テレビジョンシステムなどが挙げられる。または、例えば、放送局またはインターネットから情報を受信して、表示部5230に表示することができる。または、検知部5250を用いて使用者を撮影できる。または、使用者の映像を送信できる。または、使用者の視聴履歴を取得して、クラウド・サービスに提供できる。または、クラウド・サービスから、レコメンド情報を取得して、表示部5230に表示できる。または、レコメンド情報に基づいて、番組または動画を表示できる。または、例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を有する。これにより、晴天の日に屋内に差し込む強い外光が当たっても好適に使用できるように、映像をテレビジョンシステムに表示することができる。
図15(C)は、インターネットから教材を受信して、表示部5230に表示することができる電子機器を示す。一例として、タブレットコンピュータなどが挙げられる。または、入力部5240を用いて、レポートを入力し、インターネットに送信することができる。または、クラウド・サービスから、レポートの添削結果または評価を取得して、表示部5230に表示することができる。または、評価に基づいて、好適な教材を選択し、表示することができる。
例えば、他の電子機器から画像信号を受信して、表示部5230に表示することができる。または、スタンドなどに立てかけて、表示部5230をサブディスプレイに用いることができる。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をタブレットコンピュータに表示することができる。
図15(D)は、複数の表示部5230を有する電子機器を示す。一例として、デジタルカメラなどが挙げられる。例えば、検知部5250で撮影しながら表示部5230に表示することができる。または、撮影した映像を検知部に表示することができる。または、入力部5240を用いて、撮影した映像に装飾を施せる。または、撮影した映像にメッセージを添付できる。または、インターネットに送信できる。または、使用環境の照度に応じて、撮影条件を変更する機能を有する。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に閲覧できるように、被写体をデジタルカメラに表示することができる。
図15(E)は、他の電子機器をスレイブに用い、本実施の形態の電子機器をマスターに用いて、他の電子機器を制御することができる電子機器を示す。一例として、携帯可能なパーソナルコンピュータなどが挙げられる。例えば、画像情報の一部を表示部5230に表示し、画像情報の他の一部を他の電子機器の表示部に表示することができる。または、画像信号を供給することができる。または、通信部5290を用いて、他の電子機器の入力部から書き込む情報を取得できる。これにより、例えば、携帯可能なパーソナルコンピュータを用いて、広い表示領域を利用することができる。
図16(A)は、加速度または方位を検知する検知部5250を有する電子機器を示す。一例として、ゴーグル型の電子機器などが挙げられる。または、検知部5250は、使用者の位置または使用者が向いている方向に係る情報を供給することができる。または、電子機器は、使用者の位置または使用者が向いている方向に基づいて、右目用の画像情報および左目用の画像情報を生成することができる。または、表示部5230は、右目用の表示領域および左目用の表示領域を有する。これにより、例えば、没入感を得られる仮想現実空間の映像を、ゴーグル型の電子機器に表示することができる。
図16(B)は、撮像装置、加速度または方位を検知する検知部5250を有する電子機器を示す。一例として、めがね型の電子機器などが挙げられる。または、検知部5250は、使用者の位置または使用者が向いている方向に係る情報を供給することができる。または、電子機器は、使用者の位置または使用者が向いている方向に基づいて、画像情報を生成することができる。これにより、例えば、現実の風景に情報を添付して表示することができる。または、拡張現実空間の映像を、めがね型の電子機器に表示することができる。
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
本実施例では、実施の形態で説明した本発明の一態様の受光デバイス(受光デバイス1乃至受光デバイス4)を作製し、その特性を評価した結果について説明する。
受光デバイス1乃至受光デバイス4に用いた有機化合物の構造式を以下に示す。
Figure 2022176158000081
(受光デバイス1の作製方法)
受光デバイス1は、図17に示すように、ガラス基板900上に形成された第1の電極901上に、第1のキャリア注入層911、第1のキャリア輸送層912、活性層913、第2のキャリア輸送層914および第2のキャリア注入層915が順次積層され、第2のキャリア注入層915上に第2の電極903が積層された構造を有する。
まず、ガラス基板900上に、反射膜を形成した。具体的には、ターゲットに銀(Ag)、パラジウム(Pd)および銅(Cu)を含む合金(略称:APC)を用いて、スパッタリング法により厚さ100nmで形成した。この後、ケイ素若しくは酸化ケイ素を含有した酸化インジウム-酸化スズ(略称:ITSO)をスパッタリング法により成膜し、第1の電極901を形成した。なお、その膜厚は100nmとし、電極面積は4mm(2mm×2mm)とした。
次に、基板上に受光デバイスを形成するための前処理として、基板表面を水で洗浄し、200℃で1時間焼成した。その後、10-4Pa程度まで内部が減圧された真空蒸着装置に基板を導入し、真空蒸着装置内の加熱室において、180℃で60分間の真空焼成を行った。その後、30℃以下まで自然冷却させた。
次に、第1の電極901が形成された面が下方となるように、第1の電極901が形成された基板を真空蒸着装置内に設けられた基板ホルダーに固定し、第1の電極901上に、抵抗加熱を用いた蒸着法によりN-(1,1’-ビフェニル-4-イル)-N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]-9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-アミン(略称:PCBBiF)と、分子量672でフッ素を含む電子アクセプタ材料(OCHD-003)と、をPCBBiF:OCHD-003=1:0.1(重量比)となるように11nm共蒸着し、第1のキャリア注入層911を形成した。
次に、第1のキャリア注入層911上に、PCBBiFを膜厚10nmとなるように蒸着して、第1のキャリア輸送層912を形成した。
次に、第1のキャリア輸送層912上に、Rubreneを膜厚54nmとなるように蒸着した後、N,N’-ジメチル-3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:Me-PTCDI)を膜厚6nmとなるように蒸着して、活性層913を形成した。
次に、活性層913上に、2-[3’-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)ビフェニル-3-イル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mFBPTzn)を膜厚10nmとなるように蒸着して、第2のキャリア輸送層914を形成した。
次に第2のキャリア輸送層914上に、2-[3-(2,6-ジメチル-3-ピリジニル)-5-(9-フェナントレニル)フェニル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mPn-mDMePyPTzn)と、8-キノリノラト-リチウム(略称:Liq)と、をmPn-mDMePyPTzn:Liq=1:1(重量比)となるように10nm共蒸着して、第2のキャリア注入層915を形成した。
次に、第2のキャリア注入層915上に、Agと、Mgと、をAg:Mg=1:0.1(体積比)となるように、10nm共蒸着することで第2の電極903を形成して受光デバイス1を作製した。なお、第2の電極903は光を反射する機能と光を透過する機能とを有する半透過・半反射電極である。また、第2の電極903上には4,4’,4’’-(ベンゼン-1,3,5-トリイル)トリ(ジベンゾチオフェン)(略称:DBT3P-II)を80nm蒸着してCAP層を形成した。
次に、受光デバイス2乃至受光デバイス4の作製方法を説明する。
(受光デバイス2の作製方法)
受光デバイス2は、第2のキャリア輸送層914の膜厚および第2のキャリア注入層915の膜厚が受光デバイス1と異なる。つまり、受光デバイス2は、活性層913上に、mFBPTznを膜厚15nmとなるように蒸着して、第2のキャリア輸送層914を形成した点と、第2のキャリア輸送層914上に、mPn-mDMePyPTznと、Liqと、をmPn-mDMePyPTzn:Liq=1:1(重量比)となるように21nm共蒸着して、第2のキャリア注入層915を形成した点と、の他は受光デバイス1と同様にして作製した。
(受光デバイス3の作製方法)
受光デバイス3は、第1のキャリア注入層911および第1のキャリア輸送層912に用いた材料が受光デバイス1と異なる。つまり、受光デバイス3は、第1の電極901上に、N,N-ビス(4-ビフェニル)-6-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-アミン(略称:BBABnf)と、OCHD-003と、をBBABnf:OCHD-003=1:0.1(重量比)となるように11nm共蒸着し、第1のキャリア注入層911を形成した点と、第1のキャリア注入層911上に、BBABnfを膜厚10nmとなるように蒸着して、第1のキャリア輸送層912を形成した点と、の他は受光デバイス1と同様にして作製した。
(受光デバイス4の作製方法)
受光デバイス4は、第2のキャリア輸送層914の膜厚および第2のキャリア注入層915の膜厚が受光デバイス3と異なる。つまり、受光デバイス4は、活性層913上に、mFBPTznを膜厚15nmとなるように蒸着して、第2のキャリア輸送層914を形成した点と、第2のキャリア輸送層914上に、mPn-mDMePyPTznと、Liqと、をmPn-mDMePyPTzn:Liq=1:1(重量比)となるように21nm共蒸着して、第2のキャリア注入層915を形成した点と、の他は受光デバイス3と同様にして作製した。
上記受光デバイス1乃至受光デバイス4の素子構造を以下の表にまとめる。
Figure 2022176158000082
以上により、受光デバイス1乃至受光デバイス4を作製した。
<電流密度-電圧特性>
続いて、受光デバイス1乃至受光デバイス4の電流密度-電圧特性を測定した。測定は、波長λが550nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射したとき(Photoと表記)と、暗状態(Darkと表記)とで、それぞれ行った。受光デバイス1乃至受光デバイス4の電流密度-電圧特性を、図18(A)および図18(B)に示す。図18(A)および図18(B)において、横軸に電圧を、縦軸に電流密度を示している。
図18(A)および図18(B)に示すように、受光デバイス1乃至受光デバイス4は、光照射によって電流が増幅し、その光照射時の電流の飽和性が良好なことを確認できた。また、本実施例の受光デバイスは暗電流が少ないことを確認できた。
受光デバイス1乃至受光デバイス4の外部量子効率(EQE:External Quantum Efficiency)の波長依存性を、図19に示す。EQEは、放射照度を12.5μW/cmとして、電圧及び波長を変えて測定した。図19において、横軸に波長λを、縦軸にEQEを示している。図19に示すように、受光デバイス1乃至受光デバイス4は、可視光に高い受光感度を有することを確認できた。
本実施例では、実施の形態で説明した本発明の一態様の受光デバイス(受光デバイス5および受光デバイス6)を作製し、その特性を評価した結果について説明する。
受光デバイス5および受光デバイス6に用いた有機化合物の構造式を以下に示す。
Figure 2022176158000083
(受光デバイス5の作製方法)
受光デバイス5は、図17に示す構造を有する。
まず、ガラス基板900上に、反射膜を形成した。具体的には、ターゲットに銀(Ag)、パラジウム(Pd)および銅(Cu)を含む合金(略称:APC)を用いて、スパッタリング法により厚さ100nmで形成した。この後、ケイ素若しくは酸化ケイ素を含有した酸化インジウム-酸化スズ(略称:ITSO)をスパッタリング法により成膜し、第1の電極901を形成した。なお、その膜厚は100nmとし、電極面積は4mm(2mm×2mm)とした。
次に、基板上に受光デバイスを形成するための前処理として、基板表面を水で洗浄し、200℃で1時間焼成した。その後、10-4Pa程度まで内部が減圧された真空蒸着装置に基板を導入し、真空蒸着装置内の加熱室において、180℃で60分間の真空焼成を行った。その後、30℃以下まで自然冷却させた。
次に、第1の電極901が形成された面が下方となるように、第1の電極901が形成された基板を真空蒸着装置内に設けられた基板ホルダーに固定し、第1の電極901上に、抵抗加熱を用いた蒸着法によりN-(1,1’-ビフェニル-4-イル)-N-[4-(9-フェニル-9H-カルバゾール-3-イル)フェニル]-9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-アミン(略称:PCBBiF)と、分子量672でフッ素を含む電子アクセプタ材料(OCHD-003)と、をPCBBiF:OCHD-003=1:0.1(重量比)となるように11nm共蒸着し、第1のキャリア注入層911を形成した。
次に、第1のキャリア注入層911上に、PCBBiFを膜厚70nmとなるように蒸着して、第1のキャリア輸送層912を形成した。
次に、第1のキャリア輸送層912上に、2,2’-(5,5’-(チエノ[3,2-b]チオフェン-2,5-ジイル)ビス(チオフェン-5,2-ジイル))ビス(メタン-1-イル-1-イリデン)ジマロノニトリル(略称:FT2TDMN)と、Rubreneと、をFT2TDMN:Rubrene=0.7:0.3(重量比)となるように60nm共蒸着して、活性層913を形成した。
次に、活性層913上に、2-[3’-(9,9-ジメチル-9H-フルオレン-2-イル)ビフェニル-3-イル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mFBPTzn)を膜厚10nmとなるように蒸着して、第2のキャリア輸送層914を形成した。
次に第2のキャリア輸送層914上に、2-[3-(2,6-ジメチル-3-ピリジニル)-5-(9-フェナントレニル)フェニル]-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン(略称:mPn-mDMePyPTzn)と、8-キノリノラト-リチウム(略称:Liq)と、をmPn-mDMePyPTzn:Liq=1:1(重量比)となるように10nm共蒸着して、第2のキャリア注入層915を形成した。
次に、第2のキャリア注入層915上に、Agと、Mgと、をAg:Mg=1:0.1(体積比)となるように、10nm共蒸着することで第2の電極903を形成して受光デバイス5を作製した。なお、第2の電極903は光を反射する機能と光を透過する機能とを有する半透過・半反射電極である。また、第2の電極903上には4,4’,4’’-(ベンゼン-1,3,5-トリイル)トリ(ジベンゾチオフェン)(略称:DBT3P-II)を80nm蒸着してCAP層を形成した。
次に、受光デバイス6の作製方法を説明する。
(受光デバイス6の作製方法)
受光デバイス6は、第2のキャリア輸送層914の膜厚および第2のキャリア注入層915の膜厚が受光デバイス5と異なる。つまり、受光デバイス6は、活性層913上に、mFBPTznを膜厚15nmとなるように蒸着して、第2のキャリア輸送層914を形成した点と、第2のキャリア輸送層914上に、mPn-mDMePyPTznと、Liqと、をmPn-mDMePyPTzn:Liq=1:1(重量比)となるように21nm共蒸着して、第2のキャリア注入層915を形成した点と、の他は受光デバイス5と同様にして作製した。
上記受光デバイス5および受光デバイス6の素子構造を以下の表にまとめる。
Figure 2022176158000084
以上により、受光デバイス5および受光デバイス6を作製した。
<電流密度-電圧特性>
続いて、受光デバイス5および受光デバイス6の電流密度-電圧特性を測定した。測定は、波長λが550nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射したとき(Photoと表記)と、暗状態(Darkと表記)とで、それぞれ行った。受光デバイス5および受光デバイス6の電流密度-電圧特性を、図20に示す。図20において、横軸に電圧を、縦軸に電流密度を示している。
図20に示すように、受光デバイス5および受光デバイス6は、駆動電圧が小さく飽和性が良好な特性を示すことを確認できた。また、本実施例の受光デバイスは暗電流が少ないことを確認できた。
受光デバイス5および受光デバイス6の外部量子効率(EQE:External Quantum Efficiency)の波長依存性を、図21に示す。EQEは、放射照度を12.5μW/cmとして、電圧及び波長を変えて測定した。図21において、横軸に波長λを、縦軸にEQEを示している。図21に示すように、受光デバイス5および受光デバイス6は、可視光に受光感度を有することを確認できた。
101 第1の電極
102 第2の電極
200 受光デバイス
201 第1の電極
202 第2の電極
203 受光層
211 第1のキャリア注入層
212 第1のキャリア輸送層
213 活性層
214 第2のキャリア輸送層
215 第2のキャリア注入層
103 EL層
103a EL層
103b EL層
103B EL層
103G EL層
103R EL層
103PS 受光層
104B ホール注入・輸送層
104G ホール注入・輸送層
104R ホール注入・輸送層
104PS 第1の輸送層
105B 発光層
105G 発光層
105R 発光層
105PS 活性層
106a 電荷発生層
106b 電荷発生層
106 電荷発生層
107 絶縁層
107B 絶縁層
107G 絶縁層
107R 絶縁層
107PS 絶縁層
108B 電子輸送層
108G 電子輸送層
108R 電子輸送層
108PS 第2の輸送層
109 電子注入層
110B 犠牲層
110G 犠牲層
110R 犠牲層
110PS 犠牲層
111 正孔注入層
111a 正孔注入層
111b 正孔注入層
112 正孔輸送層
112a 正孔輸送層
112b 正孔輸送層
113 発光層
113a 発光層
113b 発光層
113c 発光層
114 電子輸送層
114a 電子輸送層
114b 電子輸送層
115 電子注入層
115a 電子注入層
115b 電子注入層
501C 絶縁膜
501D 絶縁膜
504 導電膜
506 絶縁膜
508 半導体膜
508A 領域
508B 領域
508C 領域
510 第1の基板
512A 導電膜
512B 導電膜
516 絶縁膜
516A 絶縁膜
516B 絶縁膜
518 絶縁膜
520 機能層
524 導電膜
528 隔壁
530 画素回路
531 画素回路
530S 画素回路
530X 画素回路
550 発光デバイス
550B 発光デバイス
550G 発光デバイス
550R 発光デバイス
550X 発光デバイス
550PS 受光デバイス
550S 受光デバイス
551B 電極
551C 接続電極
551G 電極
551R 電極
551PS 電極
552 電極
580 間隙
700 受発光装置
701 表示領域
702B 副画素
702G 副画素
702R 副画素
702IR 副画素
702PS 副画素
703 画素
704 回路
705 絶縁層
706 配線
710 基板
711 基板
712 IC
713 FPC
720 受発光装置
800 基板
801a 電極
801b 電極
802 電極
803a EL層
803b 受光層
805a 発光デバイス
805b 受光デバイス
810 受発光装置
810A 受発光装置
810B 受発光装置
900 ガラス基板
901 第1の電極
903 第2の電極
911 第1のキャリア注入層
912 第1のキャリア輸送層
913 活性層
914 第2のキャリア輸送層
915 第2のキャリア注入層
5200B 電子機器
5210 演算装置
5220 入出力装置
5230 表示部
5240 入力部
5250 検知部
5290 通信部

Claims (25)

  1. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、
    受光デバイス。
  2. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、およびスピロフルオレニルアミンから選ばれる骨格を二以上有する、
    受光デバイス。
  3. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-1)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000085

    (式(Gh-1)中、Ar11乃至Ar13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。)
  4. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-2)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000086

    (式(Gh-2)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。)
  5. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-3)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000087

    (式(Gh-3)中、Ar12及びAr13は、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R521乃至R536は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。)
  6. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-4)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000088

    (式(Gh-4)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR540乃至R549は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよく、R548及びR549は互いに結合して環を形成していてもよい。)
  7. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-5)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000089

    (式(Gh-5)中、Ar13は、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R511乃至R520及びR550乃至R559は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表し、R519及びR520は互いに結合して環を形成していてもよい。)
  8. 一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、一般式(Gh-6)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000090

    (式(Gh-6)中、R560乃至R574は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数4以上30以下のヘテロアリール基を表す。)
  9. 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
    前記受光層は、第2の有機化合物を有する電子輸送層を有し、前記活性層は、前記電子輸送層と前記正孔輸送層との間に位置する、
    受光デバイス。
  10. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、π電子不足型の複素芳香族化合物である、
    受光デバイス。
  11. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、またはピリミジン誘導体のいずれか一である、
    受光デバイス。
  12. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、トリアジン環を有する化合物である、受光デバイス。
  13. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、一般式(Ge-1)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000091

    (式(Ge-1)中、Ar~Arは、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、XおよびXは、それぞれ独立に、炭素または窒素を表し、XおよびXのいずれか一方または両方が炭素の場合、炭素は水素、または置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。)
  14. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、一般式(Ge-2)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000092

    (式(Ge-2)中、Ar~Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、Xは、炭素または窒素を表し、Xが炭素の場合、炭素は水素、または置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のシクロアルキル基と結合する。)
  15. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、一般式(Ge-3)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000093

    (式(Ge-3)中、Ar~Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。)
  16. 請求項9において、
    前記第2の有機化合物は、一般式(Ge-4)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000094

    (式(Ge-4)中、Arは、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、R~R10はそれぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至20のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数6以上30以下のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。)
  17. 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
    前記活性層は、第3の有機化合物および第4の有機化合物を少なくとも有し、
    前記第3の有機化合物は、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、またはポリチオフェン誘導体のいずれか一であり、
    前記第4の有機化合物は、フラーレン、フラーレン誘導体、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、またはキノン誘導体のいずれか一である、
    受光デバイス。
  18. 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
    前記活性層は、第3の有機化合物および第4の有機化合物を少なくとも有し、
    前記第3の有機化合物は、一般式(Ga-1)で表される有機化合物であり、
    前記第4の有機化合物は、
    一般式(Gb-1)乃至一般式(Gb-3)のいずれか一で表される有機化合物、または一般式(Gc-1)で表される有機化合物である、
    受光デバイス。
    Figure 2022176158000095

    Figure 2022176158000096

    Figure 2022176158000097

    (式(Ga-1)中、R21乃至R30はそれぞれ独立に、水素、重水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは2乃至5の整数を表す。また、式(Gb-1)乃至式(Gb-3)中、X30乃至X45はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n10及びn11はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n20乃至n26はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n24乃至n26の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R100乃至R117はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、炭素数3乃至13のシクロアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R300乃至R317はそれぞれ独立に、水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、または置換または無置換の炭素数1乃至13のアルコキシ基を表す。また、式(Gc-1)中、R40およびR41は、それぞれ独立に水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至13の鎖状アルキル基、炭素数3乃至13の分岐アルキル基、または置換または無置換の炭素数6乃至13のアリール基、置換または無置換の炭素数6乃至13の芳香族アルキル基を表し、R42乃至R49はそれぞれ独立に、水素、置換または無置換の炭素数1乃至13のアルキル基、置換または無置換の炭素数1乃至13のハロゲン化アルキル基、置換または無置換の炭素数3乃至13のシクロアルキル基またはハロゲンを表す。)
  19. 請求項18において、
    前記活性層は、前記第3の有機化合物を有する第1の層と、前記第4の有機化合物を有する第2の層との、積層膜である、
    受光デバイス。
  20. 請求項18において、
    前記活性層は、前記第3の有機化合物と、前記第4の有機化合物と、を有する混合膜である、
    受光デバイス。
  21. 請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の受光デバイスと、発光デバイスと、を有する受発光装置。
  22. 請求項21に記載の受発光装置と、検知部、入力部、または、通信部と、を有する電子機器。
  23. 第1の一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と第1の正孔輸送層とを有し、
    第2の一対の電極間にEL層を有し、
    前記EL層は、発光層と第2の正孔輸送層とを有し、
    前記第1の正孔輸送層および前記第2の正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、
    受発光装置。
  24. 第1の一対の電極間に受光層を有し、
    前記受光層は、活性層と正孔輸送層とを有し、
    第2の一対の電極間にEL層を有し、
    前記EL層は、発光層と前記正孔輸送層とを有し、
    前記正孔輸送層は、第1の有機化合物を有し、
    前記第1の有機化合物は、芳香族モノアミン化合物または複素芳香族モノアミン化合物であり、かつ、ビフェニルアミン、カルバゾリルアミン、ジベンゾフラニルアミン、ジベンゾチオフェニルアミン、フルオレニルアミン、またはスピロフルオレニルアミンのいずれか一の骨格を少なくとも含む、
    受発光装置。
  25. 請求項23または請求項24のいずれか一に記載の受発光装置と、検知部、入力部、または、通信部と、を有する電子機器。
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