JP2022145738A - フィルタ装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 114
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 77
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 44
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 13
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
Description
[第1実施形態]
[光検出装置の構成]
[ファブリペロー干渉フィルタの構成]
[作用及び効果]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[変形例]
[参考例]
Claims (10)
- 光を入射させる窓部が設けられたパッケージと、
前記パッケージの内面に配置され、前記窓部から入射した前記光を透過させるバンドパスフィルタと、
前記パッケージ内に配置され、前記バンドパスフィルタを透過した前記光を透過させるファブリペロー干渉フィルタと、を備え、
前記光の入射方向から見た場合に、前記バンドパスフィルタの外縁は、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも外側に位置しており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、
前記窓部側の第1表面及び前記窓部とは反対側の第2表面を有する基板と、
前記第1表面に配置され、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部が設けられた第1層構造体と、
前記第2表面側に一体的に設けられ、前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部を透過した前記光を集光するレンズ部と、を有し、
前記第1層構造体は、
前記第1表面に配置され、前記第1ミラー部を含む第1積層体と、
前記第1積層体上に配置され、前記空隙を形成する中間層と、
前記中間層上に配置され、前記第2ミラー部を含む第2積層体と、を有し、
前記光の入射方向から見た場合に、前記レンズ部は、前記空隙の内側に位置している、フィルタ装置。 - 光を入射させる窓部が設けられたパッケージと、
前記パッケージの内面に配置され、前記窓部から入射した前記光を透過させるバンドパスフィルタと、
前記パッケージ内に配置され、前記バンドパスフィルタを透過した前記光を透過させるファブリペロー干渉フィルタと、を備え、
前記光の入射方向から見た場合に、前記バンドパスフィルタの外縁は、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも外側に位置しており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、
前記窓部側の第1表面及び前記窓部とは反対側の第2表面を有する基板と、
前記第1表面に配置され、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部が設けられた第1層構造体と、
前記第2表面側に一体的に設けられ、前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部を透過した前記光を集光するレンズ部と、
前記第1層構造体に設けられた第1端子及び第2端子と、を有し、
前記第1層構造体は、
前記第1表面に配置され、前記第1ミラー部を含む第1積層体と、
前記第1積層体上に配置され、前記空隙を形成する中間層と、
前記中間層上に配置され、前記第2ミラー部を含む第2積層体と、を有し、
前記光の入射方向から見た場合に、前記第1端子及び前記第2端子は、前記レンズ部の外側に位置している、フィルタ装置。 - 前記レンズ部は、前記基板のうち前記第2表面側の部分に形成されている、請求項1又は2に記載のフィルタ装置。
- 前記レンズ部は、前記第2表面に直接的又は間接的に設けられている、請求項1又は2に記載のフィルタ装置。
- 前記ファブリペロー干渉フィルタは、
前記第2表面に配置され、前記第1層構造体に対応するように構成された第2層構造体を更に有し、
前記第2層構造体には、前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部を透過した前記光が通過する開口が形成されており、
前記レンズ部は、前記開口内に配置されている、請求項4に記載のフィルタ装置。 - 前記ファブリペロー干渉フィルタは、
前記第2表面に配置され、前記第1層構造体に対応するように構成された第2層構造体を更に有し、
前記第2層構造体には、前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部を透過した前記光が通過する開口が形成されており、
前記レンズ部は、前記開口を塞ぐように前記第2層構造体に取り付けられている、請求項1又は2に記載のフィルタ装置。 - 前記光の入射方向から見た場合に、前記レンズ部の外縁は、前記窓部の外縁よりも内側に位置している、請求項1~6のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
- 前記パッケージの前記内面と前記バンドパスフィルタとの間に配置された光透過部材を更に備え、
前記光の入射方向から見た場合に、前記バンドパスフィルタの前記外縁は、前記光透過部材の外縁よりも内側に位置している、請求項1~7のいずれか一項に記載のフィルタ装置。 - 前記光の入射方向から見た場合に、前記窓部の外縁は、前記光透過部材の前記外縁、前記バンドパスフィルタの前記外縁、及び前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁よりも内側に位置している、請求項8に記載のフィルタ装置。
- 前記パッケージは、側壁及び天壁を含み、
前記天壁には、前記窓部として機能する開口が形成されており、
前記光透過部材は、前記天壁の前記開口内及び前記側壁の内面に至っており、
前記光透過部材の光入射面は、前記天壁の前記開口において前記天壁の外面と略面一となっている、請求項8又は9に記載のフィルタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022119556A JP2022145738A (ja) | 2021-02-19 | 2022-07-27 | フィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021025402A JP7114766B2 (ja) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | 光検出装置 |
JP2022119556A JP2022145738A (ja) | 2021-02-19 | 2022-07-27 | フィルタ装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021025402A Division JP7114766B2 (ja) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | 光検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022145738A true JP2022145738A (ja) | 2022-10-04 |
Family
ID=76220339
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021025402A Active JP7114766B2 (ja) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | 光検出装置 |
JP2022119556A Pending JP2022145738A (ja) | 2021-02-19 | 2022-07-27 | フィルタ装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021025402A Active JP7114766B2 (ja) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | 光検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7114766B2 (ja) |
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-
2021
- 2021-02-19 JP JP2021025402A patent/JP7114766B2/ja active Active
-
2022
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021089294A (ja) | 2021-06-10 |
JP7114766B2 (ja) | 2022-08-08 |
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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