JP2022102355A - 超音波トランスデューサ - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 6
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
【課題】ケースに対する導電性端子の相対位置ズレが抑制された超音波トランスデューサを提供する。【解決手段】 超音波トランスデューサ1は、底蓋部12を有するケース10と、ケース10内において底蓋部12上に配置された圧電振動子20と、ケース10内において、底蓋部12から離間した位置においてケース10に保持された保持部材50と、圧電振動子20の厚さ方向に沿う方向に延在し、保持部材50に保持されたピン端子60A、60Bと、ケース10内において圧電振動子20とピン端子60A、60Bとを電気的に接続するフレキシブル基板30とを備える。すなわち、超音波トランスデューサ1は、ピン端子60A、60Bを保持する保持部材50がケース10によって直接的に保持されている。保持部材50によれば、ケース10に対するピン端子60A、60Bの相対位置ズレを抑制することができる。【選択図】図2
Description
本発明は、超音波トランスデューサに関する。
従来、ケース内に圧電振動子が配置された超音波トランスデューサが知られている。たとえば、下記特許文献1には、外部基板と電気的に接続されるピン状の導電性端子を備え、該導電性端子と圧電振動子とがフレキシブル基板を介して接続された構成を有する超音波トランスデューサが開示されている。
上述した超音波トランスデューサにおいては、導電性端子の保持が十分ではなく、ケースに対する導電性端子の相対位置ズレが生じる虞があった。
本発明の一態様は、ケースに対する導電性端子の相対位置ズレが抑制された超音波トランスデューサを提供することを目的とする。
本発明の一形態に係る超音波トランスデューサは、圧電振動子を備える超音波トランスデューサであって、底蓋を有するケースと、ケース内において底蓋上に配置された圧電振動子と、ケース内において、底蓋から離間した位置においてケースに保持された保持部材と、圧電振動子の厚さ方向に沿う方向に延在し、保持部材に保持された導電性端子と、ケース内において圧電振動子と導電性端子とを電気的に接続する配線部材とを備える。
上記超音波トランスデューサにおいては、導電性端子を保持する保持部材がケースに保持されている。そのため、上記保持部材により、ケースに対する導電性端子の相対位置ズレが抑制されている。
他の形態に係る超音波トランスデューサは、配線部材がフレキシブル基板である。
他の形態に係る超音波トランスデューサは、圧電振動子の厚さ方向から見て、保持部材が3点以上でケースに保持されている。
他の形態に係る超音波トランスデューサは、圧電振動子の厚さ方向に関して圧電振動子と保持部材との間に介在する制振材をさらに備え、配線部材が制振材の表面に沿って這い回されている。
他の形態に係る超音波トランスデューサは、保持部材が樹脂で構成されている。
本発明の一態様によれば、ケースに対する導電性端子の相対位置ズレが抑制された超音波トランスデューサが提供される。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
図1~5を参照して、実施形態に係る超音波トランスデューサ1の構成を説明する。
超音波トランスデューサ1は、外部から入力された電気信号に応じて発振し、超音波信号を出力することができる。また、超音波トランスデューサ1は、外部から超音波信号を受信すると、その信号を電気信号として外部に送信することができる。
超音波トランスデューサ1は、超音波を送受信できる構成を有し、具体的には、ケース10と、ケース10内に収容された圧電振動子20、フレキシブル基板30、制振材40および保持部材50を備えた構成を有する。
ケース10は、略円筒状の筒部14と、筒部14の下端開口を塞ぐ底蓋部12(底蓋)とを含んで構成されたカップ状部材である。ケース10は、たとえば金属(一例としてアルミニウム合金)で構成されている。
筒部14の内部には収容空間が画成されており、筒部14の延在方向に対して直交する断面における収容空間の断面形状は略楕円環状(または角丸長方形環状)である。すなわち、収容空間は一方向(図2における上下方向)に延びた断面形状を有する。図2に示すように、筒部14には、上側開口の縁に、3つの窪み部15A~15Cが設けられている。3つの窪み部15A~15Cは、上部開口を挟むように配置された、2つの窪み部15A、15Bと1つの窪み部15Cとで構成されている。3つの窪み部15A~15Cは、同じ深さを有するように設計されている。
底蓋部12は、略円板状の形状を有し、筒部14の下側開口を塞ぐ略楕円形状領域が振動領域Vとなっている。底蓋部12の振動領域Vは厚さが均一となっている。
圧電振動子20は、ケース10の底蓋部12の底面11上の振動領域Vに配置されている。圧電振動子20は、図5に示すように、矩形板状の外形を有する。圧電振動子20は、圧電体層21と一対の端子電極22、23とを備えて構成されている。上側端子電極22は、圧電体層21の上面の一部の非被覆領域以外を覆っている。本実施形態では、圧電体層21の上面の非被覆領域は、振動領域Vの長軸方向に関する端部に設けられている。下側端子電極23は、圧電体層21の下面の全域を覆うとともに、上側端子電極22が覆っていない領域の圧電体層21の上面を覆い、かつ、圧電体層21の上面および下面を覆う下側端子電極23同士をつなぐように圧電体層21の側面を覆っている。そのため、一対の端子電極22、23は、圧電体層21の上面において振動領域Vの長軸方向に対向している。圧電体層21は、一層の圧電材料層を含む単層構造であってもよく、複数の圧電材料層と内部電極層とが交互に積層された多層構造であってもよい。圧電材料層は、たとえばPZT等の圧電セラミックス材料で構成することができる。圧電振動子20は、ケース10の底蓋部12に直接接合されていてもよく、エポキシ系樹脂等の接着材を介してケース10の底蓋部12に接着されていてもよい。
フレキシブル基板30(配線部材)は、図5に示すように、シート状を呈しており、一方の端部30aが圧電振動子20上に重ねられるようにして配置されている。フレキシブル基板30は、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)又はフレキシブルフラットケーブル(FFC)である。すなわち、フレキシブル基板30は、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂シートに複数の配線が設けられている。フレキシブル基板30は、複数の配線により、圧電振動子20の各端子電極22、23と後述するピン端子60A、60Bとを電気的に接続する。フレキシブル基板30に設けられた複数の配線のうち、配線32は上側端子電極22に接続されており、配線33は下側端子電極23に接続されている。
制振材40は、圧電振動子20上に配置されている。制振材40は、たとえば、直方体形状を呈している。制振材40と圧電振動子20との間には、フレキシブル基板30の端部30aが介在している。制振材40は、圧電振動子20から所定距離だけ離間していてもよい。制振材40は、圧電振動子20の厚さ方向から見て、圧電振動子20の全体と重なるように設けることができる。制振材40は、たとえば、熱可塑性樹脂を主体とする発泡体(気泡構造体)からなる。熱可塑性樹脂は、たとえば、エチレン・プロピレン・ジエンゴム(EPDM)を含む。
フレキシブル基板30は、図4に示すように、制振材40の表面沿って這い回されている。具体的には、フレキシブル基板30は、制振材40の下面側から側面を通って上面側まで引き出されている。そのため、フレキシブル基板30一方の端部30aは制振材40の下面側に位置し、他方の端部30bは制振材40の上面側に位置している。
フレキシブル基板30の端部30bには、一対のピン端子(導電性端子)60A、60Bが接続されている。一対のピン端子60A、60Bは、図示しない外部基板と電気的に接続されており、一対のピン端子60A、60Bを介して外部基板と超音波トランスデューサ1との間で信号の送受信がおこなわれる。一対のピン端子60A、60Bはいずれも、圧電振動子20の厚さ方向に沿って延在している。各ピン端子60A、60Bの下端部60aは、制振材40の上側において起立されたフレキシブル基板30の端部30bと電気的に接続されている。より詳しくは、一方のピン端子60Aの下端部60aがフレキシブル基板30に設けられた配線32に接続されており、他方のピン端子60Bの下端部60aが配線33に接続されている。ピン端子60A、60Bの下端部60aと、フレキシブル基板30の配線32、33とは、たとえばはんだにより接続することができる。
保持部材50は、一対のピン端子60A、60Bをケース10に対して保持している。保持部材50は、制振材40の上側に位置しており、ケース10の底蓋部12から離間している。保持部材50は、本体部52と、3本の脚部54A、54B、54Cとを備えて構成されている。保持部材50は、たとえば樹脂(一例として、PBT樹脂)によって構成されている。保持部材50は、PBT樹脂に限らず、PPS樹脂やABS樹脂等であってもよく、ガラス繊維を含有していてもよい。
本体部52は、圧電振動子20の厚さ方向に沿って延在する部分であり、直方体状の外形形状を呈する。本体部52は、ケース10の上部開口付近に位置している。本体部52には、一対のピン端子60A、60Bが取り付けられている。具体的には、一対のピン端子60A、60Bは本体部52を貫き、下端部60aが本体部52から露出している。一対のピン端子60A、60Bは、互いに平行な姿勢で振動領域Vの長軸方向に並んでおり、所定距離だけ離間された状態で、本体部52に取り付けられている。
3本の脚部54A、54B、54Cはいずれも、本体部52と一体的に設けられており、圧電振動子20の厚さ方向に対して直交する方向に本体部52から延びている。3本の脚部54A、54B、54Cのうち、2本の脚部54A、54Bは、振動領域Vの短軸方向に沿って延びる長尺状を呈し、互いに平行である。各脚部54A、54Bの端部54aは、ケース10の窪み部15A、15Bに入り込んで、ケース10の筒部14により下方から支持されている。脚部54Cも、脚部54A、54Bと同様に振動領域Vの短軸方向に沿って延びているが、脚部54Cは、本体部52に関して、脚部54A、54Bとは反対側に延びている。脚部54Cは、脚部54A、54Bより短く設計されており、ケース10の窪み部15Cに全体的に入り込んで、ケース10の筒部14により下方から支持されている。
図2に示すように、ケース10の窪み部15Cおよび保持部材50の脚部54Cは、振動領域Vの長軸方向に関する略中間に位置しており、脚部54A、54Bとは振動領域Vの長軸方向に関して略等距離だけズレている。そのため、ケース10によって脚部54A~54Cが指示される3点(すなわち、窪み部15A~15Cが設けられた3箇所)の位置関係は、脚部54Cが指示される点を頂点とする二等辺三角形の位置関係となっている。
保持部材50のケース10への取り付けは、保持部材50の各脚部54A~54Cを窪み部15A~15C内に圧入することによりおこなわれる。窪み部15A~15Cを、同じ深さになるように設計することで、脚部54A~54Cの高さ位置(たとえば底面11を基準にした高さ位置)が互いに同じになり、保持部材50の姿勢が安定する。保持部材50がケース10に取り付けられた状態で、ピン端子60A、60Bは圧電振動子20の厚さ方向に延在している。
保持部材50をケース10に取り付ける前に、保持部材50にピン端子60A、60Bを取り付けることができる。ピン端子60A、60Bの保持部材50への取り付けは、たとえばインサート成形によっておこなわれる。
ケース10の収容空間は、充填材70によって充たされている。充填材70は、保持部材50がケース10へ取り付けられた後に充填され、充填材70により収容空間内の隙間が埋められる。図1に示すように、保持部材50の本体部52の一部はケース10の上部開口よりも上側に位置しており充填材70から露出する。充填材70はたとえばウレタンで構成することができる。なお、図2の平面図および図4の断面図では、内部構成を見やすくするために、充填材70の図示は省略している。
圧電振動子20は、ピン端子60A、60Bから入力された信号に応じて振動する。圧電振動子20が振動した際、板厚方向に超音波周期の機械的振動が生じるともに、板厚方向および板厚方向に直交する方向に超音波振動が生じる。圧電振動子20の超音波振動に伴い、ケース10の底蓋部12の振動領域Vも超音波振動して、底蓋部12側からケース外部に超音波が出力される。
上述したとおり、超音波トランスデューサ1は、底蓋部12を有するケース10と、ケース10内において底蓋部12上に配置された圧電振動子20と、ケース10内において、底蓋部12から離間した位置においてケース10に保持された保持部材50と、圧電振動子20の厚さ方向に沿う方向に延在し、保持部材50に保持されたピン端子60A、60Bと、ケース10内において圧電振動子20とピン端子60A、60Bとを電気的に接続するフレキシブル基板30とを備える。
すなわち、超音波トランスデューサ1は、ピン端子60A、60Bを保持する保持部材50がケース10によって直接的に保持されている。保持部材50によれば、ケース10に対するピン端子60A、60Bの相対位置ズレを抑制することができる。特に、保持部材50は、ケース10の窪み部15A~15Cに圧入されているため、保持部材50はケース10に対して強固に固定されている。そのため、保持部材50はケース10に対して相対位置ズレしにくくなっており、その結果、ケース10に対するピン端子60A、60Bの相対位置ズレがより効果的に抑制されている。なお、保持部材50は、圧入以外に、接着によってケース10に保持されてもよい。
上述した実施形態では、保持部材50が3点でケース10に支持された態様を示し、3点支持によれば、ケース10に対するピン端子60A、60Bの相対位置ズレが効果的に抑制される。ただし、保持部材50は、1点、2点または4点以上でケース10に支持された態様であってもよい。
図6~10は、保持部材50が1点でケース10に支持された態様を示している。図6に示した態様では、保持部材50の脚部54Cがケース10の窪み部15Cで支持され、他の脚部54A、54Bはケース10に支持されておらず、脚部54A、54Bの端部54aはケース10の筒部14の内側面に当接している。このような態様によれば、筒部14の内側面に当接する脚部54A、54Bが、脚部54Cを窪み部15Cの向きに押す方向の力が働き、特に振動領域Vの短軸方向に関するピン端子60A、60Bの相対位置ズレが抑制される。図7~10に示した態様では、保持部材50は脚部54Cのみを備え、上述した脚部54A、54Bを備えない。このような態様によれば、脚部54Cを窪み部15Cに圧入するだけで保持部材50がケース10に保持されるため、保持部材50が3点支持された態様に比べて、圧入に必要な力が小さく作業性が向上する。図6~10に示したいずれの態様においても、保持部材50により、ケース10に対するピン端子60A、60Bの相対位置ズレを抑制することができる。
図7~9に示した態様と図10に示した態様とでは、ピン端子60A、60Bの形状、および、ピン端子60A、60Bとフレキシブル基板30との接続形態が異なる。図7~9に示した態様では、ピン端子60A、60Bの下端部60aが同じ側に直角に屈曲されている。そして、ピン端子60A、60Bの下端部60aと平行に延在するフレキシブル基板30の端部30aと電気的に接続されている。図10に示した態様では、図4に示した態様と同じように、圧電振動子20の厚さ方向に沿って延びる下端部60aが、制振材40の上側において起立されたフレキシブル基板30の端部30bと電気的に接続されている。このような態様によれば、圧電振動子20の厚さ方向に関してフレキシブル基板30の端部30a、30b間距離を長くすることができるので、より大きな制振材40を用いることができる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。たとえば、配線部材は、フレキシブル基板に限らず、リードフレームやリード線であってもよい。また、圧電振動子は、矩形板状に限らず、たとえば円形板状や楕円形板状であってもよい。
1…超音波トランスデューサ、10…ケース、12…底蓋部、14…筒部、20…圧電振動子、30…フレキシブル基板、40…制振材、50…保持部材、60A、60B…ピン端子。
Claims (5)
- 圧電振動子を備える超音波トランスデューサであって、
底蓋を有するケースと、
前記ケース内において前記底蓋上に配置された圧電振動子と、
前記ケース内において、前記底蓋から離間した位置において前記ケースに保持された保持部材と、
前記圧電振動子の厚さ方向に沿う方向に延在し、前記保持部材に保持された導電性端子と、
前記ケース内において前記圧電振動子と前記導電性端子とを電気的に接続する配線部材と
を備える、超音波トランスデューサ。 - 前記配線部材がフレキシブル基板である、請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記圧電振動子の厚さ方向から見て、前記保持部材が3点以上で前記ケースに保持されている、請求項1または2に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記圧電振動子の厚さ方向に関して前記圧電振動子と前記保持部材との間に介在する制振材をさらに備え、
前記配線部材が前記制振材の表面に沿って這い回されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記保持部材が樹脂で構成されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020217041A JP2022102355A (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 超音波トランスデューサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020217041A JP2022102355A (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 超音波トランスデューサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022102355A true JP2022102355A (ja) | 2022-07-07 |
Family
ID=82273460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020217041A Pending JP2022102355A (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 超音波トランスデューサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022102355A (ja) |
-
2020
- 2020-12-25 JP JP2020217041A patent/JP2022102355A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230711 |
|
A977 | Report on retrieval |
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