JP2022095430A - 微小振動体の把持構造、慣性センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態の慣性センサ1およびこれに用いられる微小振動体2の把持構造100について、図面を参照して説明する。
本実施形態の慣性センサ1は、例えば、図1に示すように、微小振動体2と、実装基板3とを備え、微小振動体2の一部が実装基板3に接合されてなる。慣性センサ1は、ワイングラスモードで振動することが可能な微小振動体2と実装基板3のうち後述する複数の電極部53との間における静電容量の変化に基づき、慣性センサ1に印加された角速度を検出する構成となっている。慣性センサ1は、例えば、BRG構造のジャイロセンサであって、自動車等の車両に搭載される用途に適用されると好適であるが、勿論、他の用途にも適用されうる。
次に、慣性センサ1を製造する際に形成される微小振動体2の把持構造100について、図8A、図8Bを参照して説明する。図8Aでは、構成を分かりやすくするため、図2と同様に、図8Aに示す角度では見えない曲面部21、凹部22および後述する支持部材6の一部の外郭を破線で示している。
次に、本実施形態の慣性センサ1の製造方法について、図9A~図9Kを参照して説明するが、微小振動体2および実装基板3の製造については上記したため、ここでは、把持構造100の形成およびこれを用いた微小振動体2の実装について主に説明する。
把持構造100を構成する支持部材6は、例えば図10に示すように、ロッド61が先端に固着部611を有していてもよい。具体的には、ロッド61は、支柱部分が延設された方向を延設方向として、先端が支柱部分の延設方向を軸とする径よりも大きい寸法とされた固着部611を有する構成とされうる。これにより、微小振動体2と支持部材6との接着面積が大きくなり、支持部材6が微小振動体2に対して傾いた状態で固着されることが抑制される。
第2実施形態の把持構造100について、図17、図18を参照して説明する。図17、図18では、構成を分かりやすくするため、ロッド61のうち外部から視認できない後述する貫通孔612の外郭を破線で示している。
第3実施形態の把持構造100について、図19~図20Cを参照して説明する。
本発明は、実施例に準拠して記述されたが、本発明は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本発明は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらの一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本発明の範疇や思想範囲に入るものである。
22a・・・接続面、22b・・・実装面、23・・・導電層、3・・・実装基板、
51・・・実装部、52・・・接合材料、6・・・支持部材、61・・・ロッド、
611・・・固着部、611a・・・一面、611c・・・溝部、612・・・貫通孔、
62・・・接着部材、63・・・くびれ部
Claims (12)
- 環状曲面を備える曲面部(21)および前記曲面部から凹んだ凹部(22)を有する微小振動体(2)と、
棒状のロッド(61)と、前記ロッドの先端に配置される接着部材(62)とを有する支持部材(6)と、を備え、
前記支持部材は、前記接着部材を介して、前記凹部の内側における底面である接続面(22a)に接着されている、微小振動体の把持構造。 - 前記支持部材は、前記ロッドが延設された方向を延設方向として、前記延設方向を軸とする径が前記凹部の内径よりも小さく、
前記ロッドは、前記延設方向の長さが前記凹部の深さよりも大きい、請求項1に記載の微小振動体の把持構造。 - 前記ロッドが延設された方向を延設方向として、前記ロッドは、前記延設方向に沿って設けられた貫通孔(612)を有する筒形状である、請求項1または2に記載の微小振動体の把持構造。
- 前記ロッドが延設された方向を延設方向として、前記ロッドは、前記延設方向を軸とする径が他の部分よりも小さいくびれ部(63)を備える、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の微小振動体の把持構造。
- 前記ロッドが延設された方向を延設方向として、前記ロッドは、先端に他の部位よりも前記延設方向を軸とする径が大きい固着部(611)を備える、請求項1ないし4のいずれか1つに記載の微小振動体の把持構造。
- 前記固着部は、前記接着部材を介して前記微小振動体に接続される一面(611a)に溝部(611c)を備える、請求項5に記載の微小振動体の把持構造。
- 前記ロッドは、前記微小振動体を構成する材料と同じ材料により構成されている、請求項1ないし6に記載の微小振動体の把持構造。
- 前記接着部材は、低融点ガラスである、請求項1ないし7に記載の微小振動体の把持構造。
- 環状曲面を備える曲面部(21)および前記曲面部から凹んだ凹部(22)を有する微小振動体(2)と、実装基板(3)とを有してなり、前記微小振動体の前記凹部が前記実装基板のうち枠体状の実装部(51)の内側領域に搭載され、前記曲面部が中空状態である慣性センサ(1)の製造方法であって、
前記微小振動体を用意することと、
棒状のロッド(61)と、前記ロッドの先端に配置される接着部材(62)とを有する支持部材(6)を用意することと、
前記ロッドの前記先端を前記微小振動体の前記凹部に挿入し、前記接着部材を前記凹部の内側における底面である接続面(22a)に密着させることと、
前記接着部材を前記接続面に密着させた状態で、前記接着部材を溶融した後、再度固化することで、前記ロッドと前記微小振動体とを接続した把持構造(100)を構成することと、
前記把持構造を構成した後、前記微小振動体の表面に導電層(23)を成膜することと、
前記実装基板の前記実装部の内側領域に接合部材(52)を塗布することと、
前記把持構造のうち前記ロッドを用いて前記微小振動体を搬送し、前記微小振動体のうち前記凹部の外側における底面である実装面(22b)を前記接合部材に接触させることと、
前記実装基板を加熱して前記接合部材および前記接着部材を溶融させた後に、前記接合部材を固化させ、前記微小振動体と前記実装基板とを接合することと、
前記微小振動体と前記実装基板との接合後に、前記ロッドを前記微小振動体から取り外すことと、を含む慣性センサの製造方法。 - 前記支持部材を用意することにおいては、前記接着部材として、前記導電層の成膜における成膜温度よりも融点が高い材料を用い、
前記導電層の成膜においては、前記ロッドを介して成膜装置に前記把持構造を固定し、前記微小振動体を中空状態とする、請求項9に記載の慣性センサの製造方法。 - 前記接合部材を塗布することにおいては、前記接合部材として、前記接着部材よりも融点が高い材料を用いる、請求項9または10に記載の慣性センサの製造方法。
- 前記支持部材を用意することにおいては、前記ロッドが延設された方向を延設方向として、前記延設方向を軸とする径が他の部位よりも小さいくびれ部(63)を有する前記ロッドを用い、
前記ロッドを前記微小振動体から取り外すことにおいては、前記接着部材を固化させた後、前記くびれ部で前記ロッドを折ることで、前記ロッドの一部を前記微小振動体の前記凹部に残し、前記ロッドの残部を前記微小振動体から取り外す、請求項9ないし11のいずれか1つに記載の慣性センサの製造方法。
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