JP2022085474A - probe - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、コネクタの特性検査に用いられるプローブに関する。 The present disclosure relates to probes used for character inspection of connectors.
特許文献1には、ハウジングの一方側の端部がスプリングによってフランジの貫通孔に嵌合され、ハウジングの他方側の端部にプランジャが取り付けられた、多極コネクタの特性検査を行うプローブ構造が開示されている。
特許文献1に例示されるようなプローブ構造においては、プローブの側面の最も外周にスプリングが配置され、その内側に様々な部品が存在しているため、プローブ全体の径方向の寸法が大きくなっていた。このことから、従来のプローブでは、検査対象のコネクタの周囲に配置された部品とプローブとが干渉し易くなっており、干渉を防止するためにプリント基板のレイアウトに制約が生じる場合があった。
In the probe structure as exemplified in
そこで本開示は、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブを提供する。 Therefore, the present disclosure provides a probe in which the layout of the printed circuit board is less likely to be restricted.
本開示の一態様に係るプローブは、コネクタの電気特性検査に用いられるプローブであって、柱状に形成され、一方の端部と他方の端部とを有し、同軸ケーブルを挿通するインナーハウジングと、インナーハウジングの他方の端部において同軸ケーブルに電気的に接続されると共に、インナーハウジングの外部に延出するプローブピンと、プローブピンの周囲を囲うと共に、プローブピンの先端を露出可能な開口が形成されたプランジャと、インナーハウジングの一方の端部に配置されるフランジと、インナーハウジングをフランジから離れる方向に付勢する第一のスプリングと、筒状に形成され、インナーハウジング及び第一のスプリングを収容すると共に、プランジャにおける開口が形成された領域が外部に露出するようにプランジャを保持するアウターハウジングと、を備える。 The probe according to one aspect of the present disclosure is a probe used for inspecting the electrical characteristics of a connector, which is formed in a columnar shape, has one end and the other end, and has an inner housing through which a coaxial cable is inserted. At the other end of the inner housing, an opening is formed that is electrically connected to the coaxial cable and extends to the outside of the inner housing, surrounds the probe pin, and exposes the tip of the probe pin. A plunger, a flange located at one end of the inner housing, a first spring that urges the inner housing away from the flange, and a tubular inner housing and first spring. It comprises an outer housing for accommodating and holding the plunger so that the area of the plunger in which the opening is formed is exposed to the outside.
本開示の一態様に係るプローブでは、第一のスプリングがアウターハウジングに収容されているため、従来のプローブと比較して、第一のスプリングの径が小型化される。プローブ全体の径方向の寸法が小型化されることにより、検査対象のコネクタの周囲に配置された部品とプローブとの干渉を抑制することができる。このことで、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブを提供することができる。 In the probe according to one aspect of the present disclosure, since the first spring is housed in the outer housing, the diameter of the first spring is reduced as compared with the conventional probe. By reducing the radial dimension of the entire probe, it is possible to suppress interference between the parts arranged around the connector to be inspected and the probe. This makes it possible to provide a probe in which the layout of the printed circuit board is less likely to be restricted.
本開示によれば、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブを提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a probe in which the layout of a printed circuit board is less likely to be restricted.
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements or elements having the same function are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
[第一の実施形態]
図1は、第一の実施形態におけるプローブ1の外観を示す図である。図1(a)は斜視図、図1(b)は平面図、図1(c)は側面図、図1(d)は底面図である。図1に示すように、プローブ1は、コネクタ100の特性検査に用いられる器具である。コネクタ100は、例えば複数の接続端子を有する多芯コネクタである。コネクタ100は、プリント基板(不図示)に配置されており、プローブ1と電気的に接続される。プリント基板には、コネクタ100以外にも様々な部品が配置されている。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram showing the appearance of the
以下、プローブ1とコネクタ100とが接続される方向をZ軸方向という。Z軸方向のうち、プローブ1から見たコネクタ100(及びプリント基板(不図示))が位置する方向を「下」、コネクタ100(及びプリント基板(不図示))から見たプローブ1が位置する方向を「上」という。プローブ1は、全体としてZ軸方向に延伸する略柱状の形状を有する。プローブ1をZ軸方向において平面視した形状(図1(b)参照)、及びプローブ1をZ軸方向において底面視した形状(図1(d)参照)はいずれも長方形に近似している。当該長方形の長辺に沿う方向をX軸方向という。X軸及びZ軸に直交する方向をY軸方向という。X軸、Y軸、及びZ軸は互いに直交している。また、プローブ1を平面視した際に視認されるプローブ1の面を上面といい、プローブ1を底面視した際に視認されるプローブ1の面を底面という。また、プローブ1におけるZ軸方向に平行な面を側面という。
Hereinafter, the direction in which the
プローブ1は、コネクタ100から見て上方向に配置される。プローブ1とコネクタ100とが接続されるとき、外部からプローブ1に対し、上方向に向けて押圧する力(以下、「外力」という。)が加えられる。プローブ1に対し、外力が加えられていない状態を初期状態といい、外力が加えられた状態をストローク状態という。図1は、初期状態におけるプローブ1を示す図である。
The
図2は、プローブ1の構成を示す図である。図2は図1(b)のA-A線に沿う断面を示す断面図である。プローブ1は、メタルキャップ12と、フランジ13と、第一のスプリング14と、インナーハウジング15と、プローブピン16と、第二のスプリング17と、プランジャ18と、アウターハウジング19と、を備える。プローブ1は、同軸ケーブル11によって検査設備に接続される。
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the
同軸ケーブル11は、Z軸方向に延在する絶縁体で被覆された導体である。同軸ケーブル11は、プローブピン16と電気的に接続される。ここでの「電気的に接続される」とは、同軸ケーブル11とプローブピン16とが物理的に直接接続されることにより同軸ケーブル11とプローブピン16とが電気的に接続される場合だけでなく、同軸ケーブル11とプローブピン16との間に配置された導電性の部品(例えば金属棒、配線等)を介して、同軸ケーブル11とプローブピン16とが間接的に接続されることにより同軸ケーブル11とプローブピン16とが電気的に接続される場合を含む。プローブ1は、複数(例えば10本)の同軸ケーブル11を含んで構成されている。
The
フランジ13は、プローブ1を検査設備に固定するための略長方形の板状の部品である本体部分を有する。フランジ13の本体部分は、後述するインナーハウジング15の上端部15aに配置される。フランジ13の本体部分は、上面13aと、底面13bと、を有する。フランジ13には、上面13aの中央から底面13bの中央にかけて貫通孔13cが形成されている。上面13aを平面視したとき、又は底面13bを底面視したとき、貫通孔13cが形成された領域は、円形にくり貫かれている。また、フランジ13の本体部分には、X軸方向に沿う両端部において、上面13aから底面13bにかけて、貫通孔13cを挟むように一対のバカ穴13dが形成されている。フランジ13は、バカ穴13dを介してネジ止めを行うことにより、プローブ1を検査設備に固定する。なお、バカ穴13dは、いわゆるネジ穴であってもよい。
The
フランジ13の上面13aは、上述した略長方形の板状の本体部分とは別体で形成された棒状のピン132を固定する。ピン132は、上方向に延伸する端部である上端部132aと、フランジ13に固定される下端部132bと、を有する(図7(a)参照)。
The
フランジ13は、上述した略長方形の板状の本体部分とは別体で形成された円環部131を有する。円環部131は、円環板状の部品であり、例えばポリアセタール樹脂等の摺動性の高い部材により構成される。円環部131は、上面131aと、底面131bと、を有する。円環部131は、円環部131の上面131aと、フランジ13の本体部分の底面13bとが接するように配置される。また、円環部131は、フランジ13の本体部分の貫通孔13cの外周に沿って(貫通孔13cを囲うように)配置される。
The
フランジ13には、本体部分の上面13aから円環部131の底面131bにかけて連通孔13eが形成されている。連通孔13eは、円環部131の周方向に沿って所定の間隔で複数(例えば4つ)形成されている。連通孔13eには、後述するアウターハウジング19のリブ19dが底面131bから挿入される。
The
第一のスプリング14は、コイルスプリングである。第一のスプリング14は、円環部131とインナーハウジング15との間に配置される。第一のスプリング14は、インナーハウジング15をフランジ13から離れる方向に付勢する。初期状態において、第一のスプリング14は、円環部131の底面131bから、下方向に向けた付勢力をインナーハウジング15に対して加える。第一のスプリング14によって、インナーハウジング15がフランジ13から離れる方向に付勢されていることにより、インナーハウジング15がフランジ13から所定の間隔を空けた初期位置に保たれる。ストローク状態において、第一のスプリング14は、Z軸方向に縮んだ状態になる。第一のスプリング14は、後述する第一のボディ151の側面151dを囲う。
The
インナーハウジング15は、柱状に形成され、上端部15aと下端部15bとを有し、同軸ケーブル11を挿通する。上端部(一方の端部)15aは、上端のみを指すのではなく、上端の近傍(上端寄りの領域)を含む。同様に、下端部(他方の端部)15bは、下端のみを指すのではなく、下端の近傍(下端寄りの領域)を含む。
The
図3及び図4は、インナーハウジング15の構成を示す分解斜視図である。インナーハウジング15は、第一のボディ151と、第二のボディ152と、第三のボディ153と、基板154と、絶縁体155と、を有する。
3 and 4 are exploded perspective views showing the configuration of the
第一のボディ151は、有底筒状に形成され、第二のボディ152を収容する。第一のボディ151は、上面151aと、側面151dと、を有する。第一のボディ151の上端は、上面151aにより閉じられている。上面151aには、同軸ケーブル11が挿入される複数の貫通孔151cが形成されている。それぞれの貫通孔151cには、同軸ケーブル11が挿入される。第一のボディ151の下端には、開口151bが形成されている(図4参照)。第一のボディ151は、開口151bから第二のボディ152を受け入れて、第二のボディ152を収容する。側面151dは、後述するアウターハウジング19の内周面19fに対向する(図2(b)参照)。
The
インナーハウジング15は、突出部1511を更に有する。突出部1511は、第一のボディ151の下端部に設けられ、第一のボディ151の外周を囲うように配置され、第一のボディ151とアウターハウジング19とを固定する。突出部1511は、側面151dの外周を囲い、側面151dを基端とし、外方に向かって円形の板状に突出するように形成される。突出部1511は、上面1511aと、底面1511bと、上面1511aから底面1511bにかけてZ軸方向に立設した先端面1511cと、を有する。上面1511aは、円環部131の底面131bに対向して第一のスプリング14を挟み込む(図2(b)参照)。先端面1511cは、突出した先端に形成された面である。先端面1511cは、内周面19fに接して固定される(図2(b)参照)。
The
突出部1511は、第一のボディ151の側面151dからアウターハウジング19の内周面19fに向かって突出するように形成されている。突出部1511の先端面1511cとアウターハウジング19の内周面19fとが接して固定されることにより、インナーハウジング15とアウターハウジング19とが固定される。インナーハウジング15は、例えば圧入によりアウターハウジング19に固定される。
The projecting
第一のスプリング14は、突出部1511をフランジ13から離れる方向に付勢することによって、インナーハウジング15をフランジ13から離れる方向に付勢する。このように、第一のスプリング14が突出部1511を付勢することによって、第一のスプリング14による付勢力をインナーハウジング15及びアウターハウジング19に加えることができる。
The
第二のボディ152は、柱状に形成され、第一のボディ151内に収容される。第二のボディ152は、上面152aと、底面152bと、上面152aから底面152bにかけてZ軸方向に立設した側面152dと、を有する。第二のボディ152には、上面152aから底面152bにかけて、複数の貫通孔152cが形成されている。複数の貫通孔152cは、第一のボディ151の複数の貫通孔151cに連通される。第二のボディ152は、例えば貫通孔152c内に導電性の部品(金属棒又は金属性のピン)を内包する絶縁体を配置し、該導電性の部品を介して同軸ケーブル11と基板154との間で電気的な接続を中継する。側面152dは、第一のボディ151の内周面に接する。側面152dが第一のボディ151の内周面に接することによって、第二のボディ152が第一のボディ151内に固定される。
The
第三のボディ153は、円柱状に形成され、第一のボディ151との間で第二のボディ152を保持する。第三のボディ153は、上面153aと、底面153bと、支持部153fと、上面153aから底面153bにかけてZ軸方向に立設した側面153gと、を有する。第三のボディ153には、上面153aから底面153bにかけて、二段階の段付き穴153cが形成されている。第三のボディ153には、二段階の段付き穴153cによって、第一の段153dと、第二の段153eと、が設けられる。第一の段153dは、第三のボディ153の側面寄りの領域に形成された面である。第二の段153eは、第一の段153dの中央寄りの領域が窪んで形成された面である。第一の段153dには、基板154が配置される。基板154が第一の段153dに配置された状態において、基板154と第二の段153eとの間には空隙が生じる。第二の段153eは、その中央部分が、段付き穴153cにより貫通している。支持部153fは、角筒状に形成され、絶縁体155を保持する。支持部153fは、底面153bにおける段付き穴153cが形成された領域の外周を基端とし、下方向に延伸する。支持部153fの先端には、開口が形成されている(図4参照)。支持部153f内の空洞は、底面153bにおける段付き穴153cに連通される。側面153gは、後述するアウターハウジング19の内周面19fに対向する(図2(b)参照)。支持部153fは、絶縁体155の側面を囲い、絶縁体155を固定する。
The
基板154は、同軸ケーブル11と、プローブピン16とを互いに電気的に接続する。基板154は、第二のボディ152と第三のボディ153との間で挟み込まれるように配置される。基板154は、上面154aと、底面154bと、を有する。上面154aは、第二のボディの底面152bに対向している。基板154は、上面154a及び底面154bに設けられた配線を介して、同軸ケーブル11とプローブピン16とを互いに電気的に接続する(図2(b)参照)。このような配線により、基板154は、同軸ケーブル11のピッチとプローブピン16のピッチとが異なる場合であっても、同軸ケーブル11とプローブピン16とを互いに電気的に接続することができる。
The
絶縁体155は、角柱状に形成され、両端面からプローブピン16が露出するようにプローブピン16を内包する。絶縁体155の上端部は、段付き穴153cに嵌合し、基板154の底面154bに対向する。絶縁体155の下端部は、支持部153fの先端から下方に向かって露出する。
The
図2(b)に戻り、プローブピン16は、針状の導電性の部品(例えばポゴピン)である。プローブピン16は、インナーハウジング15の下端部15bにおいて同軸ケーブル11に電気的に接続されると共に、インナーハウジング15の外部に延出する。プローブピン16は、インナーハウジング15によって保持され、Z軸方向に沿って延伸するように配置される。プローブピン16は、インナーハウジング15の下端部15bにおいて基板154に接続されることにより、同軸ケーブル11に電気的に接続される。また、プローブピン16は、インナーハウジング15の外部に延出し、コネクタ100に接続される(図5参照)。
Returning to FIG. 2 (b), the
第二のスプリング17は、コイルスプリングである。第二のスプリング17は、インナーハウジング15とプランジャ18との間に配置される。第二のスプリング17は、プランジャ18を突出部1511(図3参照)から離れる方向に付勢する。初期状態において、第二のスプリング17は、突出部1511の底面1511b(図3参照)から、下方向に向けた付勢力をプランジャ18に対して加える。ストローク状態において、第二のスプリング17は、Z軸方向に縮んだ状態になる。第二のスプリング17は、第三のボディ153の側面153gを囲う。
The
プランジャ18は、プローブ1とコネクタ100との接続時に、コネクタ100の位置決めを行う。プランジャ18は、円板の片面中央に角筒が配置された形状を有する。プランジャ18は、上面18aと、底面18bと、嵌合部18cと、を有する。また、プランジャ18には、プローブピン16の先端を露出可能な開口18dが形成されている。上面18aは、第三のボディ153の底面153bに対向する。また、上面18aは、突出部1511の底面1511b(図3参照)にも対向して第二のスプリング17を挟み込む。底面18bは、後述するアウターハウジング19の内底19gに対向する。嵌合部18cは、角筒状に形成され、コネクタ100と嵌合される。嵌合部18cは、底面18bを基端とし、下方向に向かって突出するように形成される。嵌合部18cの先端には、開口18dが形成されている。プランジャ18には、上面18aから開口18dにかけて貫通した空洞が形成される。嵌合部18cは、支持部153f(図3参照)の周囲を囲うことにより、プローブピン16の周囲を囲う。嵌合部18cの先端(下端)部分は、先端ほど厚みが薄く(開口形状が大きく)なるようにテーパ形状とされている(テーパ部18eが形成されている)。テーパ部18eは、コネクタ100に対してプローブ1の位置合わせを行う際のガイドとなる。
The
図5は、プローブ1とコネクタ100との接続箇所を拡大して示す概略図である。図5に示されるように、プローブピン16の先端は、Z軸方向においてコネクタ100に対向する。プローブピン16は、嵌合部18cに囲まれている。テーパ部18eは、嵌合部18cの先端と連続するように形成されており、例えばX軸方向に一対、及びY軸方向に一対設けられる。テーパ部18eは、Z軸方向においてコネクタ100に接近した際、傾斜に沿ってコネクタ100の位置を調整する。
FIG. 5 is an enlarged schematic view showing a connection portion between the
図2(b)に戻り、プランジャ18は、第二のスプリング17の弾性力に応じて、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置と、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置との間で移動可能である。初期状態において、プランジャ18の上面18aと、第三のボディ153の底面153bとが離間している。また、プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置に配置される。具体的には、プローブピン16の先端は、下方向に延出しているが、プランジャ18における開口18dが形成された領域には達していない。ストローク状態において、上面18aと底面153bとが接することにより、プランジャ18の上方向の動きが規制される。この状態においては、プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置に移動している。換言すると、プランジャ18が第二の位置に移動することにより、プローブピン16の先端が、プランジャ18における開口18dが形成された領域に達する。
Returning to FIG. 2B, the
アウターハウジング19は、筒状に形成され、インナーハウジング15及び第一のスプリング14を収容すると共に、プランジャ18における開口18dが形成された領域が外部に露出するようにプランジャ18を保持する。アウターハウジング19は、例えば有底円筒形状を有する。アウターハウジング19の上端には、開口19aが形成されている。また、アウターハウジング19の下端は、底面19bにより閉じられている。アウターハウジング19は、アウターハウジング19の下端寄りの領域において、インナーハウジング15の外周を取り囲むように形成された基部19c(図6参照)と、リブ19d(図6参照)と、を有する。リブ19dは、基部19cを基端として上方向に延伸するように設けられる板状の突起である。リブ19dは、基部19cの周方向に沿って所定の間隔で複数(例えば4つ)設けられている。リブ19dは、フランジ13の連通孔13e、及び、後述するメタルキャップ12の段付き穴12cに挿入される。
The
アウターハウジング19には、プランジャ18の底面18bに対向する面である内底19gが形成されている。アウターハウジング19には、内底19gの中央から底面19bの中央にかけて、貫通孔19eが形成されている。貫通孔19eには、プランジャ18の嵌合部18cが内底19gから挿入されることにより、嵌合部18cが外部(下方向)に露出する。
The
アウターハウジング19の基部19cの内面、及び該内面から連続するリブ19dの内面を含む内周面19fは、インナーハウジング15の側面151d、及び側面153gに対向する。初期状態において、アウターハウジング19の内底19gと、プランジャ18の底面18bとが接する。ストローク状態において、内底19gと、底面18bとが離間する。
The inner surface of the base 19c of the
メタルキャップ12は、略直方体状の部品である。メタルキャップ12は、インナーハウジングの上端部15aにおいて、インナーハウジング15の周囲を囲うように配置される。メタルキャップ12は、上面12aと、底面12bと、を有する。メタルキャップ12には、上面12aの中央から底面12bの中央にかけて、Z軸方向に沿った段付き穴12cが形成されている。上面12aにおける段付き穴12cの径は、底面12bにおける段付き穴12cの径よりも小さい。底面12bにおける段付き穴12cは、フランジ13の上面13aにおける連通孔13eに連通される。段付き穴12cの径の変わり目には、段12dが形成されている。段12dには、アウターハウジング19のリブ19dの先端が接する。上面12aを平面視又は底面12bを底面視したとき、段付き穴12cが形成された領域は、円形にくり貫かれている。
The
メタルキャップ12の底面12bには、ピン穴12eが形成されている。ピン穴12eは、底面12bから上面12a方向に(上方向に)形成されているが、上面12aにまでは達していない(貫通していない)。ピン穴12eの最深部には、穴底12gが形成されている。ピン穴12eには、ピン132が配置される。初期状態において、ピン132の上端部132aは、穴底12gに当接する(図7(a)参照)。ストローク状態において、ピン132の上端部132aは、穴底12gから離間する(図7(b)参照)。
A
図6は、プローブ1の構成を示す分解斜視図である。図6は、Z軸方向に沿ってプローブ1を構成する各部品を分解した際の外観の一例を示す。図6に示されるように、Z軸に沿って、同軸ケーブル11、メタルキャップ12、フランジ13、第一のスプリング14、インナーハウジング15、第二のスプリング17、プランジャ18、及びアウターハウジング19が順に並ぶ。
FIG. 6 is an exploded perspective view showing the configuration of the
メタルキャップ12の底面12bは、フランジ13の上面13aに対向する。フランジ13の底面13bには、円環部131の上面131aが接している。円環部131の底面131bは、第一のスプリング14を挟んでインナーハウジング15の突出部1511の上面1511aに対向する。突出部1511の底面1511bは、第二のスプリング17を挟んでプランジャ18の上面18aに対向する。プランジャ18の底面18bは、アウターハウジング19の開口19aに対向する。
The
第一のスプリング14及び第二のスプリング17は、同心軸上に配置される。ここでの同心軸上とは、第一のスプリング14の径方向の中心と第二のスプリング17の径方向の中心が同一の軸直線上にあることをいう。軸直線とは、Z軸方向に沿う直線である。
The
以下、プローブ1の組み立ての一例を説明する。インナーハウジング15の上端部15aには、同軸ケーブル11が挿入される。インナーハウジング15の下端部15bは、プローブピン16を保持する。
Hereinafter, an example of assembling the
アウターハウジング19は、開口19aから、プランジャ18、第二のスプリング17、インナーハウジング15、及び第一のスプリング14をZ軸方向に沿って順に収容する。アウターハウジング19の貫通孔19eには、プランジャ18の嵌合部18cの先端が外部に露出するように挿入される。アウターハウジング19は、プランジャ18における開口18dが形成された領域が外部に露出するようにプランジャ18を保持する。プランジャ18の底面18bは、アウターハウジング19の内底19gに接し、アウターハウジング19の外部に露出しない。
The
インナーハウジング15の支持部153fは、プランジャ18の上面18aから嵌合部18cに挿入される。プローブピン16は、プランジャ18における開口18dから、下方向に向かって外部に露出する。
The
アウターハウジング19のリブ19dは、円環部131の底面131bから連通孔13eに挿入され、フランジ13に嵌合される。アウターハウジング19は、フランジ13と協働して、プランジャ18、第二のスプリング17、インナーハウジング15、及び第一のスプリング14を内部に収容する。アウターハウジング19は、このように各部品を収容することによって、内部の各部品を保護しつつ、該各部品と検査対象のコネクタ100の周囲に配置された部品との干渉を抑制することができる。また、リブ19dは、メタルキャップ12の底面12bから段付き穴12cに挿入され、段12dに接する。
The
インナーハウジング15の上端部15aは、フランジ13の底面13bから貫通孔13cに挿入され、フランジ13に嵌合される。また、インナーハウジング15の上端部15aは、メタルキャップ12の底面12bから段付き穴12cに挿入される。
The
[ストローク]
図7は、プローブ1の状態変化の一例を示す図である。図7(a)は初期状態における断面図、図7(b)はストローク状態における断面図である。
[stroke]
FIG. 7 is a diagram showing an example of a state change of the
図7(a)に示されるように、初期状態において、ピン132の上端部132aは、穴底12gに当接する。このように当接することによって、プローブ1は、X軸、Y軸、及びZ軸方向における動きが固定されるため、プローブ1の初期位置が定まる。具体的には、プローブ1の初期位置において、メタルキャップ12は、フランジ13に対する位置が定まる。また、メタルキャップ12の段12dに接しているアウターハウジング19のリブ19dの動きが規制されるため、アウターハウジング19の初期位置が定まる。さらに、アウターハウジング19の内部に圧入されているインナーハウジング15の動きが規制されるため、インナーハウジング15の初期位置が定まる。また、プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置に配置される。
As shown in FIG. 7A, in the initial state, the
図7(b)に示されるように、ストローク状態において、アウターハウジング19が上方向に移動する。アウターハウジング19のリブ19dがメタルキャップ12の段12dに接しているため、メタルキャップ12がリブ19dに押され、メタルキャップ12も上方向に移動する。また、ピン132の上端部132aは、穴底12gから離間し、ピン穴12eの内部に空隙が生じる。これにより、プローブ1は、X軸、Y軸、及びZ軸方向において可動状態となる。このことで、プローブ1は、プローブ1とコネクタ100との軸ずれを調整することが可能となる。また、プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置に移動する。このとき、プローブピン16は、コネクタ100に接続される。
As shown in FIG. 7B, the
一例では、第一のスプリング14のばね定数は、第二のスプリング17のばね定数よりも小さい。プローブ1に対し外力が加えられると、第一のスプリング14は、第二のスプリング17よりも早く弾性変形する。言い換えると、第一のスプリング14は、第二のスプリング17よりも早くZ軸方向において縮む。第一のスプリング14が弾性変形し、且つ第二のスプリング17が弾性変形していない場合、プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置にある。第一のスプリング14は、Z軸方向に縮んだ状態において、プローブ1とコネクタ100との軸ずれを調整する。その後、プローブ1に対しさらに外力が加えられると、第二のスプリング17がZ軸方向に縮む。このとき、プランジャ18が第二の位置に移動し、プローブピン16の先端が露出する。このような順序で第一のスプリング14及び第二のスプリング17が弾性変形することにより、プローブピン16の先端が保護された状態で軸ずれの調整を行うことができる。
In one example, the spring constant of the
[本実施形態の効果]
本実施形態の一態様に係るプローブ1は、コネクタ100の電気特性検査に用いられるプローブ1であって、柱状に形成され、一方の端部15aと他方の端部15bとを有し、同軸ケーブル11を挿通するインナーハウジング15と、インナーハウジング15の他方の端部15bにおいて同軸ケーブル11に電気的に接続されると共に、インナーハウジング15の外部に延出するプローブピン16と、プローブピン16の周囲を囲うと共に、プローブピン16の先端を露出可能な開口18dが形成されたプランジャ18と、インナーハウジング15の一方の端部15aに配置されるフランジ13と、インナーハウジング15をフランジ13から離れる方向に付勢する第一のスプリング14と、筒状に形成され、インナーハウジング15及び第一のスプリング14を収容すると共に、プランジャ18における開口18dが形成された領域が外部に露出するようにプランジャ18を保持するアウターハウジング19と、を備える。
[Effect of this embodiment]
The
本実施形態の一態様に係るプローブ1では、柱状のインナーハウジング15の他方の端部15bにおいて、プローブピン16の先端がプランジャ18に形成された開口18dから露出可能なように配置されることにより、プローブピン16とコネクタ100とが接続可能な状態とされる。また、インナーハウジング15の一方の端部15aにフランジ13が配置されており、第一のスプリング14によって、インナーハウジング15がフランジ13から離れる方向に付勢されていることにより、インナーハウジング15がフランジ13から所定の間隔を空けた初期位置に保たれる。そして、インナーハウジング15及び第一のスプリング14が筒状のアウターハウジング19に収容されると共に、プローブピン16の先端を開口18dから露出させるプランジャ18がアウターハウジング19によって保持されていることにより、アウターハウジング19内部の各部品を保護しつつ、該各部品と検査対象のコネクタ100の周囲に配置された部品との干渉を抑制することができる。さらに、第一のスプリング14がアウターハウジング19に収容されているため、従来のプローブと比較して、第一のスプリング14の径が小型化される。プローブ1全体の径方向の寸法が小型化されることにより、検査対象のコネクタ100の周囲に配置された部品とプローブ1との干渉を抑制することができる。このことで、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブ1を提供することができる。
In the
上記プローブ1において、インナーハウジング15の外周を囲うように配置され、インナーハウジング15とアウターハウジング19とを固定する突出部1511をさらに備え、第一のスプリング14は、突出部1511をフランジ13から離れる方向に付勢することによって、インナーハウジング15をフランジ13から離れる方向に付勢する。インナーハウジング15の外周を囲うように固定される突出部1511が、第一のスプリング14によりフランジ13から離れる方向に付勢されることにより、間接的にインナーハウジング15が付勢される。これにより、インナーハウジング15を小型化しつつ、第一のスプリング14による付勢力をインナーハウジング15に加えることができる。
In the
上記プローブ1において、突出部1511は、インナーハウジング15の側面からアウターハウジング19の内周面19fに向かって突出するように形成され、突出部1511の先端面1511cとアウターハウジング19の内周面19fとが接して固定されることにより、インナーハウジング15とアウターハウジング19とを固定する。このような構成によれば、第一のスプリング14による付勢力をインナーハウジング15及びアウターハウジング19に加えることができる。
In the
上記プローブ1において、プランジャ18を突出部1511から離れる方向に付勢する第二のスプリング17をさらに備え、プランジャ18は、第二のスプリング17の弾性力に応じて、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置と、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置との間で移動可能である。このような構成によれば、プランジャ18は、第二のスプリング17による付勢力を受ける。プランジャ18は、第二のスプリング17の弾性力に応じて、開口18dからプローブピン16を露出させない第一の位置と、露出させる第二の位置との間で移動可能な状態とされる。これにより、コネクタ100の検査時以外はプローブピン16がプランジャ18の開口18dから露出しないため、プローブピン16を衝撃から保護するプローブ1を提供することができる。
In the
上記プローブ1において、第一のスプリング14及び第二のスプリング17は、同心軸上に配置される。このような構成によれば、第一のスプリング14及び第二のスプリング17の径が最小限とされる。プローブ1全体の径方向の寸法がより小型化されることにより、検査対象のコネクタ100の周囲に配置された部品とプローブ1との干渉を抑制することができ、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブ1を提供することができる。
In the
上記プローブ1において、第一のスプリング14のばね定数は、第二のスプリング17のばね定数よりも小さい。このような構成によれば、コネクタ100の検査時にストロークを行うと、第一のスプリング14が第二のスプリング17よりも早く弾性変形する。具体的には、第一のスプリング14により軸ずれが調整された後、第二のスプリング17によりプローブピン16の先端が露出するように調整される。これにより、プローブピン16の先端が保護された状態で軸ずれの調整を行うことができるプローブ1を提供することができる。
In the
上記プローブ1において、インナーハウジング15は、同軸ケーブル11と、プローブピン16とを互いに電気的に接続する基板154を有する。このような構成によれば、同軸ケーブル11のピッチとプローブピン16のピッチとが異なる場合であっても、基板154の配線によりピッチの差異を容易に調整可能なプローブ1を提供することができる。
In the
[第二の実施形態]
図8は、第二の実施形態におけるプローブ2の外観を示す図である。図8(a)は斜視図、図8(b)は平面図、図8(c)は側面図、図8(d)は底面図である。プローブ2は、コネクタ100の電気特性検査に用いられる器具である。以下、プローブ2について、プローブ1(第一の実施形態)と異なる点を主に説明する。プローブ2は、アウターハウジング19を備えておらず、プローブ1よりもさらに径方向の寸法が小型化されている。
[Second embodiment]
FIG. 8 is a diagram showing the appearance of the
図9は、プローブ2の構成を示す図である。図9は図8(b)のB-B線に沿う断面を示す断面図である。プローブ2は、メタルキャップ12と、フランジ23と、第一のスプリング14と、インナーハウジング25と、プローブピン16と、第二のスプリング17と、プランジャ18と、保持部29と、を備える。プローブ2は、同軸ケーブル11によって検査設備に接続される。
FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the
フランジ23は、プローブ2を検査設備に固定するための板状の部品である。フランジ23は、後述するインナーハウジング25の上端部25aに配置される。フランジ23は、上面23aと、底面23bと、を有する。上面23aは、メタルキャップ12の底面12bに対向し、ピン132の下端部132bを固定する。初期状態において、上面23aは、底面12bに接している。フランジ23には、上面23aから底面23bにかけて貫通孔23cが形成されている。上面23aを平面視したとき、又は底面23bを底面視したとき、貫通孔23cが形成された領域は、円形にくり貫かれている。また、フランジ23には、上面23aから底面23bにかけて、複数のバカ穴23dが形成されている。フランジ23は、バカ穴23dを介してネジ止めを行うことにより、プローブ2を検査設備に固定する。
The
フランジ23は、別体として形成された円環部231を有する。円環部231は、円環板状の部品であり、例えばポリアセタール樹脂等の摺動性の高い部材により構成される。円環部231は、上面231aと、底面231bと、を有する。円環部231は、円環部231の上面231aと、フランジ23の底面23bとが接するように配置される。また、円環部231は、貫通孔23cの外周に沿って(貫通孔23cを囲うように)配置される。
The
第一のスプリング14は、円環部231とインナーハウジング25との間に配置される。第一のスプリング14は、インナーハウジング25をフランジ23から離れる方向に付勢する。初期状態において、第一のスプリング14は、円環部231の底面231bから、下方向に向けた付勢力をインナーハウジング25に対して加える。第一のスプリング14によって、インナーハウジング25がフランジ23から離れる方向に付勢されていることにより、インナーハウジング25がフランジ23から所定の間隔を空けた初期位置に保たれる。ストローク状態において、第一のスプリング14は、Z軸方向に縮んだ状態になる。
The
インナーハウジング25は、柱状に形成され、上端部25aと下端部25bとを有し、同軸ケーブル11を挿通する。上端部(一方の端部)25aは、上端のみを指すのではなく、上端の近傍(上端寄りの領域)を含む。同様に、下端部(他方の端部)25bは、下端のみを指すのではなく、下端の近傍(下端寄りの領域)を含む。
The
インナーハウジング25は、第一のボディ151と、第二のボディ152と、第三のボディ153と、基板154と、絶縁体155と、を有する。
The
図10は、図9(b)における範囲Eについて、プローブ2の構造を拡大して示す断面図である。第三のボディ153は、固定部253hを更に有する。固定部253hは、後述する保持部29のリブ29dの先端と接して、リブ29dを固定する。固定部253hは、下端部25bにおいて、底面153bの外周寄りの領域に設けられた窪みである。
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing the structure of the
プローブピン16は、インナーハウジング25の下端部25bにおいて同軸ケーブル11に電気的に接続されると共に、インナーハウジング25の外部に延出する。プローブピン16は、インナーハウジング25によって保持され、Z軸方向に沿って配置される。プローブピン16は、インナーハウジング25の下端部25bにおいて基板154に接続されることにより、同軸ケーブル11に電気的に接続される。また、プローブピン16は、インナーハウジング25の外部に延出し、コネクタ100に接続される。
The
図9に示すように、第二のスプリング17は、インナーハウジング25とプランジャ18との間に配置される。第二のスプリング17は、第一のスプリング14と同心軸上に配置され、プランジャ18をインナーハウジング25から離れる方向に付勢する。初期状態において、第二のスプリング17は、突出部1511の底面1511bから、下方向に向けた付勢力をプランジャ18に対して加える。ストローク状態において、第二のスプリング17は、Z軸方向に縮んだ状態になる。第二のスプリング17は、第三のボディ153の側面153gを囲う。
As shown in FIG. 9, the
プランジャ18には、上面18aから底面18bにかけて、複数の貫通孔28fが形成されている。貫通孔28fには、後述する保持部29のリブ29dが底面28bから挿入される。
A plurality of through
保持部29は、インナーハウジング25の下端部25bに固定され、プランジャ18における開口18dが形成された領域が外部に露出するように、インナーハウジング25との間でプランジャ18を保持する。保持部29は、例えば円板形状を有する。図10に示すように、保持部29は、上面29aと、底面29bと、リブ29dと、を有する。リブ29dは、上面29aの外周を基端とし、上方向に延伸するように設けられる板状の突起である。リブ29dは、上面29aの周方向に沿って所定の間隔で複数(例えば4つ)設けられている。リブ29dは、プランジャ18の貫通孔28fに挿入される。リブ29dの先端は、第三のボディ153の固定部253hに接し、固定される。一例では、リブ29dは、第三のボディ153の側面153gと連続するように設けられる。保持部29には、上面29aの中央から底面29bの中央にかけて、貫通孔29cが形成されている。貫通孔29cには、プランジャ18の嵌合部18cが上面29aから挿入されることにより、嵌合部18cが外部(下方向)に露出する。プランジャ18がインナーハウジング25とインナーハウジング25に固定された保持部29との間で保持されているため、プランジャ18を保持する保持部29の径を最小限の寸法とすることができる。
The holding
保持部29の上面29aは、プランジャ18の底面18bに対向する。初期状態において、保持部29の上面29aと、プランジャ18の底面18bとが接する。ストローク状態において、上面29aと、底面18bとが離間する。
The
図11は、プローブ2の構成を示す分解斜視図である。図11は、Z軸方向に沿ってプローブ2を構成する各部品を分解した際の外観の一例を示す。図11に示されるように、下方向に向かって、同軸ケーブル11、メタルキャップ12、フランジ23、第一のスプリング14、インナーハウジング25、第二のスプリング17、プランジャ18、及び保持部29が順に並ぶ。
FIG. 11 is an exploded perspective view showing the configuration of the
メタルキャップ12の底面12bは、フランジ23の上面23aに対向する。フランジ23の底面23bには、円環部231の上面231aが接している。円環部231の底面231bは、第一のスプリング14を挟んでインナーハウジング25の突出部1511の上面1511aに対向する。突出部1511の底面1511bは、第二のスプリング17を挟んでプランジャ18の上面18aに対向する。プランジャ18の底面18bは、保持部29の上面29aに対向する。
The
[本実施形態の効果]
本実施形態の一態様に係るプローブ2は、コネクタ100の電気特性検査に用いられるプローブ2であって、柱状に形成され、一方の端部25aと他方の端部25bとを有し、同軸ケーブル11を挿通するインナーハウジング25と、インナーハウジング25の他方の端部25bにおいて同軸ケーブル11に電気的に接続されると共に、インナーハウジング25の外部に延出するプローブピン16と、プローブピン16の周囲を囲うと共に、プローブピン16の先端を露出可能な開口18dが形成されたプランジャ18と、インナーハウジング25の一方の端部25aに配置されるフランジ23と、インナーハウジング25の他方の端部25bに固定され、プランジャ18における開口18dが形成された領域が外部に露出するように、インナーハウジング25との間でプランジャ18を保持する保持部29と、インナーハウジング25をフランジ23から離れる方向に付勢する第一のスプリング14と、第一のスプリング14と同心軸上に配置され、プランジャ18をインナーハウジング25から離れる方向に付勢する第二のスプリング17と、を備え、プランジャ18は、第二のスプリング17の弾性力に応じて、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させない第一の位置と、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置との間で移動可能である。
[Effect of this embodiment]
The
本実施形態の一態様に係るプローブ2では、柱状のインナーハウジング25の他方の端部25bにおいて、プローブピン16の先端がプランジャ18に形成された開口18dから露出可能なように配置されることにより、プローブピン16とコネクタ100とが接続可能な状態とされる。他方の端部25bにおいて、保持部29とインナーハウジング25との間でプランジャ18が保持される。また、インナーハウジング25の一方の端部25aにフランジ23が配置されており、第一のスプリング14によって、インナーハウジング25がフランジ23から離れる方向に付勢されていることにより、インナーハウジング25がフランジ23から所定の間隔を空けた初期位置に保たれる。さらに、第一のスプリング14と同心軸上に配置された第二のスプリング17によって、プランジャ18がインナーハウジング25から離れる方向に付勢されている。第一のスプリング14と、第二のスプリング17とが同心軸上に配置されているため、第一のスプリング14及び第二のスプリング17の径を最小限の寸法とすることができる。さらに、プランジャ18は、第二のスプリング17による付勢力を受け、第二のスプリング17の弾性力に応じて、開口18dからプローブ2を露出させない第一の位置と、露出させる第二の位置との間で移動可能な状態とされる。また、プランジャ18がインナーハウジング25とインナーハウジング25に固定された保持部29との間で保持されているため、プランジャ18を保持する保持部29の径を最小限の寸法とすることができる。このことから、検査対象のコネクタ100の周囲に配置された部品とプローブ2との干渉を抑制することができ、プリント基板のレイアウトに制約が生じ難いプローブ2を提供することができる。
In the
[変形例]
以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
[Modification example]
Although the embodiments have been described above, the present disclosure is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various changes can be made without departing from the gist thereof.
プローブ1は、第二のスプリング17を備えていなくてもよい。プランジャ18は、プランジャ18における開口18dからプローブピン16の先端を露出させる第二の位置に固定されていてもよい。
The
突出部1511は、側面151dを基端とし、外方に向かって円形の板状に突出すると説明したが、これに限られない。
It has been explained that the protruding
図12は、変形例におけるプローブ1の構造を示す図である。図12(a)は側面図、図12(b)は、図12(a)のC-C線に沿う断面を示す断面図である。突出部1511は、アウターハウジング19の内周面19fからインナーハウジング15の側面151dに向かって突出するように形成され、突出部1511の先端面1511cとインナーハウジング15の側面151dとが接して固定されることにより、インナーハウジング15とアウターハウジング19とを固定してもよい。このような構成によれば、第一のスプリング14による付勢力をインナーハウジング15及びアウターハウジング19に加えることができる。
FIG. 12 is a diagram showing the structure of the
図13は、変形例におけるプローブ1の構造を示す図である。図13(a)は側面図、図13(b)は、図13(a)のD-D線に沿う断面を示す断面図である。突出部1511は、アウターハウジング19の内周面19fとインナーハウジング15の側面151dとを連結するように形成され、アウターハウジング19とインナーハウジング15とが一体的に形成されることにより、インナーハウジング15とアウターハウジング19とを固定してもよい。このような構成によれば、第一のスプリング14による付勢力をインナーハウジング15及びアウターハウジング19に加えることができる。また、インナーハウジング15とアウターハウジング19とが一体的に形成されているため、突出部1511をインナーハウジング15又はアウターハウジング19に固定する工程が不要となる。
FIG. 13 is a diagram showing the structure of the
1…プローブ、2…プローブ、11…同軸ケーブル、12…メタルキャップ、13…フランジ、14…第一のスプリング、15…インナーハウジング、15a…上端部(一方の端部)、15b…下端部(他方の端部)、151d…側面、16…プローブピン、17…第二のスプリング、18…プランジャ、18d…開口、19…アウターハウジング、19f…内周面、23…フランジ、25…インナーハウジング、25a…上端部(一方の端部)、25b…下端部(他方の端部)、29…保持部、100…コネクタ、154…基板、1511…突出部、1511c…先端面。
1 ... probe, 2 ... probe, 11 ... coaxial cable, 12 ... metal cap, 13 ... flange, 14 ... first spring, 15 ... inner housing, 15a ... upper end (one end), 15b ... lower end (lower end) The other end), 151d ... side surface, 16 ... probe pin, 17 ... second spring, 18 ... plunger, 18d ... opening, 19 ... outer housing, 19f ... inner peripheral surface, 23 ... flange, 25 ... inner housing, 25a ... upper end (one end), 25b ... lower end (the other end), 29 ... holding, 100 ... connector, 154 ... board, 1511 ... protruding, 1511c ... tip surface.
Claims (10)
柱状に形成され、一方の端部と他方の端部とを有し、同軸ケーブルを挿通するインナーハウジングと、
前記インナーハウジングの前記他方の端部において前記同軸ケーブルに電気的に接続されると共に、前記インナーハウジングの外部に延出するプローブピンと、
前記プローブピンの周囲を囲うと共に、前記プローブピンの先端を露出可能な開口が形成されたプランジャと、
前記インナーハウジングの前記一方の端部に配置されるフランジと、
前記インナーハウジングを前記フランジから離れる方向に付勢する第一のスプリングと、
筒状に形成され、前記インナーハウジング及び前記第一のスプリングを収容すると共に、前記プランジャにおける前記開口が形成された領域が外部に露出するように前記プランジャを保持するアウターハウジングと、
を備えるプローブ。 A probe used to inspect the characteristics of connectors.
An inner housing that is formed in a columnar shape and has one end and the other end through which a coaxial cable is inserted.
A probe pin that is electrically connected to the coaxial cable at the other end of the inner housing and extends to the outside of the inner housing.
A plunger having an opening that surrounds the probe pin and exposes the tip of the probe pin.
A flange arranged at the one end of the inner housing,
A first spring that urges the inner housing away from the flange,
An outer housing formed in a cylindrical shape to accommodate the inner housing and the first spring, and to hold the plunger so that the region of the plunger in which the opening is formed is exposed to the outside.
A probe equipped with.
前記第一のスプリングは、前記突出部を前記フランジから離れる方向に付勢することによって、前記インナーハウジングを前記フランジから離れる方向に付勢する、
請求項1記載のプローブ。 It is arranged so as to surround the outer periphery of the inner housing, and further includes a protrusion for fixing the inner housing and the outer housing.
The first spring urges the inner housing in a direction away from the flange by urging the protrusion in a direction away from the flange.
The probe according to claim 1.
前記プランジャは、前記第二のスプリングの弾性力に応じて、前記プランジャにおける開口から前記プローブピンの先端を露出させない第一の位置と、前記プランジャにおける開口から前記プローブピンの先端を露出させる第二の位置との間で移動可能である、
請求項2~5のいずれか一項記載のプローブ。 Further provided with a second spring that urges the plunger away from the protrusion.
The plunger has a first position in which the tip of the probe pin is not exposed from the opening in the plunger and a second position in which the tip of the probe pin is exposed from the opening in the plunger according to the elastic force of the second spring. Movable to and from the position of,
The probe according to any one of claims 2 to 5.
柱状に形成され、一方の端部と他方の端部とを有し、同軸ケーブルを挿通するインナーハウジングと、
前記インナーハウジングの前記他方の端部において前記同軸ケーブルに電気的に接続されると共に、前記インナーハウジングの外部に延出するプローブピンと、
前記プローブピンの周囲を囲うと共に、前記プローブピンの先端を露出可能な開口が形成されたプランジャと、
前記インナーハウジングの前記一方の端部に配置されるフランジと、
前記インナーハウジングの前記他方の端部に固定され、前記プランジャにおける前記開口が形成された領域が外部に露出するように、前記インナーハウジングとの間で前記プランジャを保持する保持部と、
前記インナーハウジングを前記フランジから離れる方向に付勢する第一のスプリングと、
前記第一のスプリングと同心軸上に配置され、前記プランジャを前記インナーハウジングから離れる方向に付勢する第二のスプリングと、
を備え、
前記プランジャは、前記第二のスプリングの弾性力に応じて、前記プランジャにおける開口から前記プローブピンの先端を露出させない第一の位置と、前記プランジャにおける開口から前記プローブピンの先端を露出させる第二の位置との間で移動可能である、
プローブ。 A probe used to inspect the characteristics of connectors.
An inner housing that is formed in a columnar shape and has one end and the other end through which a coaxial cable is inserted.
A probe pin that is electrically connected to the coaxial cable at the other end of the inner housing and extends to the outside of the inner housing.
A plunger having an opening that surrounds the probe pin and exposes the tip of the probe pin.
A flange arranged at the one end of the inner housing,
A holding portion that holds the plunger between the inner housing and the inner housing so that a region fixed to the other end of the inner housing and formed with the opening in the plunger is exposed to the outside.
A first spring that urges the inner housing away from the flange,
A second spring arranged concentrically with the first spring and urging the plunger in a direction away from the inner housing.
Equipped with
The plunger has a first position in which the tip of the probe pin is not exposed from the opening in the plunger and a second position in which the tip of the probe pin is exposed from the opening in the plunger according to the elastic force of the second spring. Movable to and from the position of,
probe.
The probe according to any one of claims 1 to 9, wherein the inner housing has a substrate for electrically connecting the coaxial cable and the probe pin to each other.
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