JP2024055075A

JP2024055075A - probe

Info

Publication number: JP2024055075A
Application number: JP2022161684A
Authority: JP
Inventors: 一生本村
Original assignee: Dai Ichi Seiko Co Ltd
Current assignee: I Pex Inc
Priority date: 2022-10-06
Filing date: 2022-10-06
Publication date: 2024-04-18

Abstract

【課題】コネクタの検査精度を向上させるプローブを提供する。【解決手段】プローブ１は、複数の列に沿って配置された複数のコンタクト１０１を備えるコネクタ１００の検査に用いられる。プローブ１は、複数のコンタクト１０１に対応して、複数の列に沿って配置された複数のプローブピン３と、複数のプローブピン３を内包する導電性のプランジャ５と、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出する突起５２２ｃと、プランジャ５を摺動可能に収容し、プランジャ５の摺動に応じて複数のプローブピン３の先端及び突起５２２ｃを露出させる導電性のハウジング７と、を備える。【選択図】図５[Problem] To provide a probe that improves the inspection accuracy of a connector. [Solution] The probe 1 is used to inspect a connector 100 having a plurality of contacts 101 arranged in a plurality of rows. The probe 1 includes a plurality of probe pins 3 arranged in a plurality of rows corresponding to the plurality of contacts 101, a conductive plunger 5 containing the plurality of probe pins 3, protrusions 522c that protrude beyond the tips of the plurality of probe pins 3 along the extension direction of the plurality of probe pins 3 between the plurality of rows in which the plurality of probe pins 3 are lined up, and a conductive housing 7 that slidably accommodates the plunger 5 and exposes the tips of the plurality of probe pins 3 and the protrusions 522c in response to the sliding of the plunger 5. [Selected Figure] Figure 5

Description

本開示は、コネクタの検査に用いられるプローブに関する。 This disclosure relates to a probe used to inspect connectors.

特許文献１には、プランジャと、プランジャの先端面から突出したプローブピン及びプローブピンを挟む複数の突起部とを備えるプローブが開示されている。このプローブでは、コネクタの検査時において、複数の突起部がコネクタの窪みに挿入される。 Patent document 1 discloses a probe that includes a plunger, a probe pin protruding from the tip surface of the plunger, and multiple protrusions that sandwich the probe pin. With this probe, the multiple protrusions are inserted into recesses in the connector when inspecting the connector.

国際公開第２０２０／１１０９６０号WO 2020/110960

検査対象のコネクタにおいて、複数のコンタクトが並ぶ複数の列の間にはクリアランス（隙間）が存在し得る。このクリアランスは、相手コネクタとの嵌合時において、相手コネクタの絶縁ハウジングの進入等により減少する。一方、従来のプローブでは、コネクタの検査時において、クリアランスの減少が相手コネクタとの嵌合時よりも少ない。よって従来のプローブでは、複数のコンタクトが並ぶ複数の列の間における電磁的絶縁性を確保することができない。すなわち、コネクタの検査時の特性インピーダンスと、コネクタ同士の嵌合時の特性インピーダンスとが整合しない。その結果、従来のプローブでは、コネクタの高精度な検査が阻害される。 In the connector to be inspected, clearances (gaps) may exist between the multiple rows of contacts. When mating with a mating connector, this clearance is reduced due to the intrusion of the insulating housing of the mating connector. On the other hand, with a conventional probe, the reduction in clearance is less when inspecting a connector than when mating with a mating connector. Therefore, with a conventional probe, it is not possible to ensure electromagnetic insulation between the multiple rows of contacts. In other words, the characteristic impedance when inspecting a connector does not match the characteristic impedance when the connectors are mated. As a result, with a conventional probe, high-precision inspection of connectors is hindered.

本開示は、コネクタの検査精度を向上させるプローブを提供する。 This disclosure provides a probe that improves the inspection accuracy of connectors.

本開示の一態様に係るプローブは、複数の列に沿って配置された複数のコンタクトを備えるコネクタの検査に用いられる。プローブは、複数のコンタクトに対応して、複数の列に沿って配置された複数のプローブピンと、複数のプローブピンを内包する導電性のプランジャと、複数のプローブピンが並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピンの延伸方向に沿って、複数のプローブピンの先端よりも突出する突起と、プランジャを摺動可能に収容し、プランジャの摺動に応じて複数のプローブピンの先端及び突起を露出させる導電性のハウジングと、を備える。 A probe according to one aspect of the present disclosure is used to inspect a connector having a plurality of contacts arranged in a plurality of rows. The probe includes a plurality of probe pins arranged in a plurality of rows corresponding to the plurality of contacts, a conductive plunger containing the plurality of probe pins, protrusions that protrude beyond the tips of the plurality of probe pins along the extension direction of the plurality of probe pins between the plurality of rows in which the plurality of probe pins are arranged, and a conductive housing that slidably accommodates the plunger and exposes the tips and protrusions of the plurality of probe pins in response to the sliding of the plunger.

本開示の一態様に係るプローブでは、複数のプローブピンが並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピンの先端よりも突起が突出している。このような構成によれば、コネクタの検査時において、複数のプローブピンが複数のコンタクトにそれぞれ接触すると共に、複数のコンタクトが並ぶ複数の列の間に突起が進入する。すなわち、複数のコンタクトが並ぶ複数の列の間におけるクリアランスが減少する。この場合、複数のコンタクトが並ぶ複数の列の間において、電磁的絶縁性が確保される。これにより、コネクタの検査時の特性インピーダンスと、コネクタ同士の嵌合時の特性インピーダンスとを整合させることができる。その結果、コネクタの検査精度を向上させることができる。 In a probe according to one aspect of the present disclosure, between the rows of the probe pins, a protrusion protrudes beyond the tips of the probe pins. With this configuration, during connector inspection, the probe pins contact the contacts, respectively, and the protrusion enters between the rows of the contacts. That is, the clearance between the rows of the contacts is reduced. In this case, electromagnetic insulation is ensured between the rows of the contacts. This allows the characteristic impedance during connector inspection to be matched with the characteristic impedance when the connectors are mated. As a result, the accuracy of connector inspection can be improved.

突起は、導電性の部材を介してグランドに接続されていてもよい。突起がグランド電位を有することによって、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 The protrusion may be connected to ground via a conductive member. By having the protrusion at ground potential, the matching of the characteristic impedance can be improved.

プランジャは、複数のプローブピンが並ぶ複数の列を挟む端部から、複数のプローブピンの延伸方向に沿って、複数のプローブピンの先端よりも突出するグランド突起を有していてもよい。検査対象のコネクタにおいて、複数のコンタクトが並ぶ複数の列を挟む位置にはクリアランスが存在し得る。このクリアランスは、コネクタ同士の嵌合時において、相手コネクタの絶縁ハウジングの進入等により減少する。同様に、コネクタの検査時において、複数のプローブピンを挟み、且つ複数のプローブピンの先端よりも突出したグランド突起が、複数のコンタクトが並ぶ複数の列を挟む位置に進入する。複数のコンタクトを挟む位置におけるクリアランスが減少することにより、外部からのノイズの影響を抑制することができる。その結果、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 The plunger may have a ground protrusion that protrudes beyond the tips of the probe pins from an end that sandwiches the multiple rows of the probe pins along the extension direction of the probe pins. In the connector to be inspected, a clearance may exist at the position that sandwiches the multiple rows of the contacts. This clearance decreases due to the intrusion of the insulating housing of the mating connector when the connectors are mated. Similarly, when inspecting the connector, the ground protrusion that sandwiches the multiple probe pins and protrudes beyond the tips of the multiple probe pins enters the position that sandwiches the multiple rows of the contacts. By reducing the clearance at the position that sandwiches the multiple contacts, the influence of external noise can be suppressed. As a result, the matching of the characteristic impedance can be improved.

グランド突起は、複数のプローブピンが並ぶ複数の列に沿う方向において、複数の列を挟む第１グランド突起と、複数のプローブピンが並ぶ複数の列に沿う方向と交差する方向において、複数のプローブピンが並ぶ複数の列を挟む第２グランド突起とを有していてもよい。コネクタの検査時において、第１グランド突起及び第２グランド突起が、複数のコンタクトが並ぶ複数の列を二方向から挟む位置に進入する。これにより、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 The ground protrusion may have a first ground protrusion sandwiching the rows of the multiple probe pins in a direction along the rows, and a second ground protrusion sandwiching the rows of the multiple probe pins in a direction intersecting the direction along the rows of the multiple probe pins. When inspecting the connector, the first ground protrusion and the second ground protrusion enter a position sandwiching the rows of the multiple contacts from two directions. This can improve the matching of the characteristic impedance.

プランジャの側面には、ハウジングの内面から離間するように段状に窪む第１段差部が設けられていてもよい。ハウジングの先端部には、ハウジングの内面からハウジングの内方に向けて段状に張り出す第２段差部が設けられていてもよい。第１段差部は、プランジャの摺動に伴って第２段差部に当接してもよい。コネクタの検査時において、第１段差部が第２段差部に当接することにより、プランジャの振れが低減される。これにより、複数のプローブピンと複数のコンタクトとの位置ずれを防止できる。また、ハウジングとプランジャとの接触箇所が安定するため、グランド電位の安定化を図ることができる。 The side of the plunger may be provided with a first step recessed in a stepped shape so as to be spaced apart from the inner surface of the housing. The tip of the housing may be provided with a second step protruding in a stepped shape from the inner surface of the housing toward the inside of the housing. The first step may come into contact with the second step as the plunger slides. When inspecting the connector, the first step comes into contact with the second step, thereby reducing the vibration of the plunger. This makes it possible to prevent misalignment between the multiple probe pins and the multiple contacts. In addition, the contact points between the housing and the plunger are stabilized, making it possible to stabilize the ground potential.

突起には、複数の列に沿うと共に、突起の先端に向けて先細りになる傾斜面が設けられていてもよい。複数のコンタクトが並ぶ複数の列に突起が進入する際に、突起が複数のコンタクト又は複数のコンタクトを保持する絶縁体に接触する場合があり得る。突起に傾斜面が設けられていることにより、突起が複数のコンタクト又は絶縁体に接触することによる接触箇所の損傷を防止できる。 The protrusion may be provided with an inclined surface that runs along the multiple rows and tapers toward the tip of the protrusion. When the protrusion enters the multiple rows in which multiple contacts are arranged, the protrusion may come into contact with the multiple contacts or the insulator that holds the multiple contacts. By providing the protrusion with an inclined surface, damage to the contact points caused by the protrusion coming into contact with the multiple contacts or the insulator can be prevented.

本開示によれば、コネクタの検査精度を向上させるプローブを提供することができる。 This disclosure provides a probe that improves the inspection accuracy of connectors.

図１（ａ）はプローブの平面図、図１（ｂ）はプローブの側面図、図１（ｃ）はプローブの別の側面図、図１（ｄ）はプローブの底面図である。1(a) is a plan view of the probe, FIG. 1(b) is a side view of the probe, FIG. 1(c) is another side view of the probe, and FIG. 1(d) is a bottom view of the probe. 図２（ａ）は、プローブ及びコネクタの外観を示す斜視図である。図２（ｂ）は、プローブ及びコネクタの外観を示す別の斜視図である。Fig. 2(a) is a perspective view showing the appearance of the probe and the connector, and Fig. 2(b) is another perspective view showing the appearance of the probe and the connector. 図３は、コネクタの外観の一例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of the appearance of a connector. 図４は、コネクタの外観の一例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an example of the appearance of a connector. 図５は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1(a) in a state where the probe is in contact with the connector. 図６は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 1(a) in a state where the probe is in contact with the connector. 図７は、図１（ｄ）の範囲Ｒ１を拡大して示す図である。FIG. 7 is an enlarged view of the range R1 in FIG. 図８は、ストローク状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1(a) in a stroke state. 図９は、ストローク状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line BB in FIG. 1(a) in a stroke state. 図１０は、図８の範囲Ｒ２を拡大して示す図である。FIG. 10 is an enlarged view of the range R2 in FIG. 図１１は、図９の範囲Ｒ３を拡大して示す図である。FIG. 11 is an enlarged view of the range R3 in FIG.

以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 The following describes the embodiments in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements or elements having the same functions are given the same reference numerals, and duplicate descriptions are omitted.

［概要］
本開示のプローブ１は、多芯コネクタの検査に用いられる器具である。図１（ａ）はプローブ１の平面図、図１（ｂ）はプローブ１の側面図、図１（ｃ）はプローブ１の別の側面図、図１（ｄ）はプローブ１の底面図である。プローブ１を平面視した形状（図１（ａ）参照）、及びプローブ１を底面視した形状（図１（ｄ）参照）はいずれも長方形に近似している。以下、当該長方形の長辺に沿う方向をＸ軸方向といい、当該長方形の短辺に沿う方向をＹ軸方向という。Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向である高さ方向をＺ軸方向という。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は互いに直交している。プローブ１は、全体としてＺ軸方向に延伸する略柱状の形状を有する。 [overview]
The probe 1 of the present disclosure is an instrument used to inspect a multi-core connector. FIG. 1(a) is a plan view of the probe 1, FIG. 1(b) is a side view of the probe 1, FIG. 1(c) is another side view of the probe 1, and FIG. 1(d) is a bottom view of the probe 1. The shape of the probe 1 when viewed from above (see FIG. 1(a)) and the shape of the probe 1 when viewed from below (see FIG. 1(d)) are both similar to a rectangle. Hereinafter, the direction along the long side of the rectangle is referred to as the X-axis direction, and the direction along the short side of the rectangle is referred to as the Y-axis direction. The height direction, which is perpendicular to the X-axis and Y-axis, is referred to as the Z-axis direction. The X-axis, Y-axis, and Z-axis are perpendicular to each other. The probe 1 has a generally columnar shape extending in the Z-axis direction as a whole.

図２（ａ）は、プローブ１及びコネクタ１００の外観を示す斜視図である。図２（ｂ）は、プローブ１及びコネクタ１００の外観を示す別の斜視図である。コネクタ１００は、プローブ１の検査対象の多芯コネクタである。プローブ１は、Ｚ軸方向に動作することによって、コネクタ１００に電気的に接続される。以下、Ｚ軸方向のうち、プローブ１から見たコネクタ１００が位置する方向を「下」、コネクタ１００から見たプローブ１が位置する方向を「上」という。プローブ１は、コネクタ１００から見て上方向に配置される。 Figure 2(a) is a perspective view showing the appearance of the probe 1 and the connector 100. Figure 2(b) is another perspective view showing the appearance of the probe 1 and the connector 100. The connector 100 is a multi-core connector that is the subject of inspection by the probe 1. The probe 1 is electrically connected to the connector 100 by moving in the Z-axis direction. Hereinafter, within the Z-axis direction, the direction in which the connector 100 is located as viewed from the probe 1 will be referred to as "down" and the direction in which the probe 1 is located as viewed from the connector 100 will be referred to as "up". The probe 1 is positioned upward as viewed from the connector 100.

プローブ１とコネクタ１００とが接続されるとき、プローブ１を下方向に押し付けた力に対する反作用として、プローブ１に対して上方向に向けて押圧する力（以下、「押圧力」という。）が加えられる。プローブ１に対し、押圧力が加えられていない状態を初期状態といい、押圧力が加えられた状態をストローク状態という。本開示のプローブ１は、ストローク状態において、コネクタ１００に設けられたクリアランスを減少させる。 When the probe 1 and the connector 100 are connected, a force (hereinafter referred to as "pressing force") is applied to the probe 1 in an upward direction as a reaction to the force pressing the probe 1 downward. The state in which no pressing force is applied to the probe 1 is referred to as the initial state, and the state in which pressing force is applied is referred to as the stroke state. In the stroke state, the probe 1 of the present disclosure reduces the clearance provided in the connector 100.

［クリアランス］
図３及び図４を参照して、コネクタ１００に設けられたクリアランスについて説明する。図３は、コネクタ１００の外観の一例を示す斜視図である。コネクタ１００は、プリント基板（不図示）に配置され、プリント基板に電気的に接続されている。プリント基板には、コネクタ１００以外にも様々な部品が配置されていてもよい。コネクタ１００は、複数のコンタクト１０１と、絶縁ハウジング１０２と、シェル１０３と、を備える。 [clearance]
The clearance provided in the connector 100 will be described with reference to Figures 3 and 4. Figure 3 is a perspective view showing an example of the appearance of the connector 100. The connector 100 is disposed on a printed circuit board (not shown) and electrically connected to the printed circuit board. In addition to the connector 100, various other components may be disposed on the printed circuit board. The connector 100 includes a plurality of contacts 101, an insulating housing 102, and a shell 103.

複数（例えば１０本）のコンタクト１０１は、プリント基板の信号導体に電気的に接続される導電性の部材である。一例では、複数のコンタクト１０１は、金属板が折り曲げられ、絶縁ハウジング１０２にインサート成形された所謂プラグコンタクトである。複数のコンタクト１０１は、Ｚ軸方向に沿って、プローブ１に向けてそれぞれ突出した頂部１０１ａを有している。頂部１０１ａは、後述する絶縁ハウジング１０２の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１の上面に沿って湾曲している。複数のコンタクト１０１は、複数の列に沿って配置されている。本実施形態において、複数のコンタクト１０１は、Ｙ軸方向において対向する一対のコンタクト１０１Ａ，１０１Ａを備える。一対のコンタクト１０１Ａ，１０１Ａは、Ｘ軸方向に沿って５セット配置されている。 The multiple (e.g., 10) contacts 101 are conductive members electrically connected to signal conductors of a printed circuit board. In one example, the multiple contacts 101 are so-called plug contacts in which a metal plate is bent and insert-molded into an insulating housing 102. The multiple contacts 101 each have a top 101a that protrudes toward the probe 1 along the Z-axis direction. The tops 101a are curved along the upper surfaces of first wall portions P11, P11 of the insulating housing 102, which will be described later. The multiple contacts 101 are arranged in multiple rows. In this embodiment, the multiple contacts 101 include a pair of contacts 101A, 101A that face each other in the Y-axis direction. Five sets of the pair of contacts 101A, 101A are arranged along the X-axis direction.

絶縁ハウジング１０２は、複数のコンタクト１０１を保持する絶縁性の部材である。絶縁ハウジング１０２は、プローブ１から見て長方形に近似する第１部分Ｐ１と、Ｘ軸方向における第１部分Ｐ１の両端部に設けられた第２部分Ｐ２とを備える。第１部分Ｐ１は、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１と、Ｙ軸方向に沿って延びる一対の第２壁部Ｐ１２，Ｐ１２と、を備える。第１部分Ｐ１には、一対の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１及び一対の第２壁部Ｐ１２，Ｐ１２によって囲われた凹部Ｐ１３が設けられている。 The insulating housing 102 is an insulating member that holds the multiple contacts 101. The insulating housing 102 has a first portion P1 that is approximately rectangular when viewed from the probe 1, and a second portion P2 that is provided at both ends of the first portion P1 in the X-axis direction. The first portion P1 has a pair of first walls P11, P11 that extend along the X-axis direction, and a pair of second walls P12, P12 that extend along the Y-axis direction. The first portion P1 has a recess P13 that is surrounded by the pair of first walls P11, P11 and the pair of second walls P12, P12.

シェル１０３は、プリント基板のグランド導体に電気的に接続される導電性の部材である。シェル１０３は、プローブ１から見て長方形に近似する外形の領域を包囲する。シェル１０３は、絶縁ハウジング１０２の外周を囲むように配置される。シェル１０３は、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の第１側部１０３Ａ，１０３Ａと、Ｙ軸方向に沿って延びる一対の第２側部１０３Ｂ，１０３Ｂと、を備える。 The shell 103 is a conductive member that is electrically connected to the ground conductor of the printed circuit board. The shell 103 surrounds an area whose outer shape is approximately rectangular when viewed from the probe 1. The shell 103 is disposed so as to surround the outer periphery of the insulating housing 102. The shell 103 has a pair of first side portions 103A, 103A extending along the X-axis direction, and a pair of second side portions 103B, 103B extending along the Y-axis direction.

図４は、コネクタ１００の外観の一例を示す平面図である。コネクタ１００には、Ｙ軸方向の両端においてクリアランスＣ１，Ｃ１が設けられている。クリアランスＣ１，Ｃ１は、一方の第１側部１０３Ａと一方の第１壁部Ｐ１１との間のＹ軸方向における隙間、及び他方の第１側部１０３Ａと他方の第１壁部Ｐ１１との間のＹ軸方向における隙間である。 Figure 4 is a plan view showing an example of the appearance of the connector 100. The connector 100 has clearances C1, C1 at both ends in the Y-axis direction. The clearances C1, C1 are the gap in the Y-axis direction between one first side portion 103A and one first wall portion P11, and the gap in the Y-axis direction between the other first side portion 103A and the other first wall portion P11.

コネクタ１００には、Ｘ軸方向の両端においてクリアランスＣ２，Ｃ２が設けられている。クリアランスＣ２，Ｃ２は、一方の第２側部１０３Ｂと一方の第２壁部Ｐ１２との間のＸ軸方向における隙間、及び他方の第２側部１０３Ｂと他方の第２壁部Ｐ１２との間のＸ軸方向における隙間である。 The connector 100 has clearances C2, C2 at both ends in the X-axis direction. The clearances C2, C2 are the gap in the X-axis direction between one second side portion 103B and one second wall portion P12, and the gap in the X-axis direction between the other second side portion 103B and the other second wall portion P12.

コネクタ１００には、中央部分にクリアランスＣ３が設けられている。クリアランスＣ３は、一対の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１の間のＹ軸方向における隙間、及び一対の第２壁部Ｐ１２，Ｐ１２の間のＸ軸方向における隙間である。クリアランスＣ３は、凹部Ｐ１３に対応している。 The connector 100 has a clearance C3 in the center. The clearance C3 is the gap in the Y-axis direction between the pair of first walls P11, P11, and the gap in the X-axis direction between the pair of second walls P12, P12. The clearance C3 corresponds to the recess P13.

クリアランスＣ１～Ｃ３は、コネクタ１００（例えばプラグコネクタ）に対応する相手コネクタ（例えばリセプタクルコネクタ）との嵌合時において、相手コネクタの絶縁ハウジングの進入等により減少する。 Clearances C1 to C3 decrease when the connector 100 (e.g., a plug connector) is mated with a corresponding mating connector (e.g., a receptacle connector) due to the intrusion of the insulating housing of the mating connector, etc.

［初期状態］
図５及び図６を参照して、プローブ１の構成及び初期状態について説明する。図５は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。プローブ１は、導電部２と、プローブピン３と、基板４と、プランジャ５と、フランジ６と、ハウジング７と、スプリング８と、キャップ９と、を備える。 [initial state]
The configuration and initial state of the probe 1 will be described with reference to Figures 5 and 6. Figure 5 is a cross-sectional view showing a cross section along line A-A in Figure 1(a) when the probe is in contact with the connector. The probe 1 includes a conductive portion 2, a probe pin 3, a substrate 4, a plunger 5, a flange 6, a housing 7, a spring 8, and a cap 9.

導電部２は、複数（例えば１０本）の同軸ケーブル２１と、複数（例えば１０本）の導電部材２２と、を有する。導電部２の一端は、プローブピン３に電気的に接続される。ここでの「電気的に接続される」とは、導電部２とプローブピン３とが物理的に直接接続されることによって導電部２とプローブピン３とが電気的に接続される場合だけでなく、導電部２とプローブピン３との間に配置された基板４を介して、導電部２とプローブピン３とが間接的に接続されることによって導電部２とプローブピン３とが電気的に接続される場合を含む。導電部２の他端は、例えば外部の検査設備（不図示）等に電気的に接続される。 The conductive portion 2 has a plurality of (e.g., 10) coaxial cables 21 and a plurality of (e.g., 10) conductive members 22. One end of the conductive portion 2 is electrically connected to the probe pin 3. Here, "electrically connected" includes not only the case where the conductive portion 2 and the probe pin 3 are electrically connected by being physically directly connected to each other, but also the case where the conductive portion 2 and the probe pin 3 are electrically connected to each other by being indirectly connected to each other via a substrate 4 arranged between the conductive portion 2 and the probe pin 3. The other end of the conductive portion 2 is electrically connected to, for example, an external inspection facility (not shown), etc.

同軸ケーブル２１は、Ｚ軸方向に延伸する絶縁体で被覆された導体である。導電部材２２は、Ｚ軸方向に延伸する導電性の部品（例えば金属によって構成された導体又は配線）である。同軸ケーブル２１は、導電部材２２に電気的に接続される。導電部２は、同軸ケーブル２１及び導電部材２２の少なくとも一方のみで構成されていてもよい。 The coaxial cable 21 is a conductor covered with an insulator that extends in the Z-axis direction. The conductive member 22 is a conductive part (e.g., a conductor or wiring made of metal) that extends in the Z-axis direction. The coaxial cable 21 is electrically connected to the conductive member 22. The conductive part 2 may be composed of at least one of the coaxial cable 21 and the conductive member 22.

プローブピン３は、針状の導電性の部品である。プローブピン３は、コネクタ１００の複数のコンタクト１０１に一対一で対応するように複数（例えば１０本）設けられ、Ｚ軸方向に沿って延伸する。プローブピン３の先端（下端）は、Ｚ軸方向においてコネクタ１００に対向する。一例では、プローブピン３はポゴピンである。プローブピン３は、筒状のバレル３１と、コイルスプリング３２と、棒状の一対の接触ピン３３とを有する（図１０参照）。バレル３１は、コイルスプリング３２を収容する。一対の接触ピン３３は、コイルスプリング３２を挟み、バレル３１の両端に摺動可能に挿入されて配置される。一方の接触ピン３３が複数のコンタクト１０１にそれぞれ接触し、複数のコンタクト１０１からの押圧力を受けると、コイルスプリング３２が圧縮する。これにより、一方の接触ピン３３がバレル３１内を摺動する。 The probe pin 3 is a needle-shaped conductive part. A plurality of (e.g., 10) probe pins 3 are provided so as to correspond one-to-one with the plurality of contacts 101 of the connector 100, and extend along the Z-axis direction. The tip (lower end) of the probe pin 3 faces the connector 100 in the Z-axis direction. In one example, the probe pin 3 is a pogo pin. The probe pin 3 has a cylindrical barrel 31, a coil spring 32, and a pair of rod-shaped contact pins 33 (see FIG. 10). The barrel 31 houses the coil spring 32. The pair of contact pins 33 are inserted slidably at both ends of the barrel 31, sandwiching the coil spring 32. When one contact pin 33 contacts each of the plurality of contacts 101 and receives a pressing force from the plurality of contacts 101, the coil spring 32 is compressed. As a result, one contact pin 33 slides inside the barrel 31.

基板４は、導電部２と、複数のプローブピン３とを互いに電気的に接続する略円柱状の部品である。基板４は、第１主面４１と、第１主面４１とは逆の面である第２主面４２と、第１主面４１から第２主面４２に亘ってＺ軸方向に設けられた側面４３とを有する。第１主面４１は、複数の導電部材２２のピッチに対応して、導電部２に電気的に接続される。第２主面４２は、複数のプローブピン３のピッチに対応して、複数のプローブピン３に電気的に接続される。第１主面４１と第２主面４２との間に設けられた回路等によって、導電部２と複数のプローブピン３とが電気的に接続される。このようにして、基板４は、導電部２のピッチと複数のプローブピン３のピッチとを変換する。 The substrate 4 is a generally cylindrical component that electrically connects the conductive portion 2 and the multiple probe pins 3 to each other. The substrate 4 has a first main surface 41, a second main surface 42 that is the surface opposite to the first main surface 41, and a side surface 43 that is provided in the Z-axis direction from the first main surface 41 to the second main surface 42. The first main surface 41 is electrically connected to the conductive portion 2 in correspondence with the pitch of the multiple conductive members 22. The second main surface 42 is electrically connected to the multiple probe pins 3 in correspondence with the pitch of the multiple probe pins 3. The conductive portion 2 and the multiple probe pins 3 are electrically connected by a circuit or the like provided between the first main surface 41 and the second main surface 42. In this way, the substrate 4 converts the pitch of the conductive portion 2 and the pitch of the multiple probe pins 3.

プランジャ５は、柱状の形状を有する導電性の部品であり、複数のプローブピン３を内包する。プランジャ５は、本体部５１と、先端部５２とを有する。本体部５１は、略円柱状の形状を有し、導電部２の少なくとも一部を内包する。具体的には、本体部５１は、複数の同軸ケーブル２１の一部、及び複数の導電部材２２を内包し、これらの構成に沿ってＺ軸方向に延びている。本体部５１は、上面５１１と、底面５１２と、上面５１１から底面５１２に亘ってＺ軸方向に設けられた側面５１３とを有する。底面５１２は、Ｚ軸方向において基板４に対向している。底面５１２からは、導電部材２２の先端が露出している。 The plunger 5 is a conductive part having a columnar shape and contains multiple probe pins 3. The plunger 5 has a main body 51 and a tip 52. The main body 51 has a generally cylindrical shape and contains at least a portion of the conductive part 2. Specifically, the main body 51 contains a portion of the multiple coaxial cables 21 and multiple conductive members 22, and extends in the Z-axis direction along these components. The main body 51 has a top surface 511, a bottom surface 512, and a side surface 513 provided in the Z-axis direction from the top surface 511 to the bottom surface 512. The bottom surface 512 faces the substrate 4 in the Z-axis direction. The tip of the conductive member 22 is exposed from the bottom surface 512.

本体部５１には、上面５１１から底面５１２に亘って、Ｚ軸方向に沿った複数の貫通孔５１Ｈが設けられている。複数の貫通孔５１Ｈには、絶縁体Ｄが配置される。絶縁体Ｄは、導電部材２２の上端及び下端をそれぞれ被覆する。複数の貫通孔５１Ｈには、上面５１１からＺ軸方向に沿って同軸ケーブル２１が挿入される。複数の貫通孔５１Ｈにおける同軸ケーブル２１の挿入箇所の隙間は、導電性の部材であるカラーＥの圧入によって埋められている。 The main body 51 has a plurality of through holes 51H along the Z-axis direction from the top surface 511 to the bottom surface 512. Insulators D are disposed in the plurality of through holes 51H. The insulators D cover the upper and lower ends of the conductive member 22. The coaxial cables 21 are inserted into the plurality of through holes 51H along the Z-axis direction from the top surface 511. Gaps at the insertion points of the coaxial cables 21 in the plurality of through holes 51H are filled by pressing in collars E, which are conductive members.

本体部５１の上部５１ａには、側面５１３を取り囲むように追従部材Ｆが固定されている。上部５１ａは、本体部５１の上端及び上端の近傍を含む領域である。追従部材Ｆは、略円筒状の部品である。追従部材Ｆは、上面Ｆ１と、下面Ｆ２と、側面Ｆ３と、を有する。 A follower member F is fixed to the upper portion 51a of the main body portion 51 so as to surround the side surface 513. The upper portion 51a is a region that includes the upper end of the main body portion 51 and the vicinity of the upper end. The follower member F is a substantially cylindrical part. The follower member F has an upper surface F1, a lower surface F2, and a side surface F3.

本体部５１の下部５１ｂには、円環状の鍔部５１４が設けられている。下部５１ｂは、本体部５１の下端及び下端の近傍を含む領域である。鍔部５１４は、側面５１３から、底面５１２を取り囲むように外方に突出する。鍔部５１４の上面５１４ａは、後述する摺動部材６２の下面６２２にＺ軸方向において対向する。 A circular flange 514 is provided on the lower portion 51b of the main body 51. The lower portion 51b is an area including the lower end of the main body 51 and the vicinity of the lower end. The flange 514 protrudes outward from the side surface 513 so as to surround the bottom surface 512. The upper surface 514a of the flange 514 faces the lower surface 622 of the sliding member 62, which will be described later, in the Z-axis direction.

先端部５２は、柱状の形状を有し、複数のプローブピン３に沿ってＺ軸方向に延びている。先端部５２は、複数のプローブピン３を内包する。先端部５２は、本体部５１の下方に配置され、本体部５１に固定される。先端部５２は、本体部５１との間で基板４を挟み込むように収容する。先端部５２は、支持部５２１と、保持部５２２と、端部５２３とを有する。なお先端部５２のうち、支持部５２１及び端部５２３は導電性の部品であり、保持部５２２は絶縁性の部品である。 The tip portion 52 has a columnar shape and extends in the Z-axis direction along the multiple probe pins 3. The tip portion 52 contains the multiple probe pins 3. The tip portion 52 is disposed below the main body portion 51 and is fixed to the main body portion 51. The tip portion 52 accommodates the substrate 4 so as to sandwich it between the tip portion 52 and the main body portion 51. The tip portion 52 has a support portion 521, a holding portion 522, and an end portion 523. Of the tip portion 52, the support portion 521 and the end portion 523 are conductive parts, and the holding portion 522 is an insulating part.

支持部５２１は、円板状の形状を有し、基板４を支持する。支持部５２１は、上面５２１ａと、下面５２１ｂと、爪部５２１ｃとを有する。上面５２１ａは、基板４の第２主面４２にＺ軸方向において対向する。下面５２１ｂは、上面５２１ａとは逆の面である。爪部５２１ｃは、上面５２１ａから底面５１２に向けて、例えば４箇所において突出し、基板４の側面４３を挟み込む。 The support portion 521 has a disk-like shape and supports the substrate 4. The support portion 521 has an upper surface 521a, a lower surface 521b, and a claw portion 521c. The upper surface 521a faces the second main surface 42 of the substrate 4 in the Z-axis direction. The lower surface 521b is the surface opposite to the upper surface 521a. The claw portions 521c protrude from the upper surface 521a toward the bottom surface 512, for example, at four points, and sandwich the side surface 43 of the substrate 4.

保持部５２２は、柱状の形状を有し、複数のプローブピン３を内包する絶縁性の部品である。保持部５２２は、上面５２２ａと、下面５２２ｂと、突起５２２ｃと、グランド板５２２ｄと、を有する。上面５２２ａは、基板４の第２主面４２にＺ軸方向において対向する。上面５２２ａからは、複数のプローブピン３の基端（上端）がそれぞれ露出している。下面５２２ｂからは、複数のプローブピン３の先端がそれぞれ露出している。 The holding part 522 is a columnar-shaped insulating part that contains multiple probe pins 3. The holding part 522 has an upper surface 522a, a lower surface 522b, a protrusion 522c, and a ground plate 522d. The upper surface 522a faces the second main surface 42 of the substrate 4 in the Z-axis direction. The base ends (upper ends) of the multiple probe pins 3 are exposed from the upper surface 522a. The tips of the multiple probe pins 3 are exposed from the lower surface 522b.

突起５２２ｃは、下面５２２ｂからＺ軸方向の下方に向けて突出している。突起５２２ｃは、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出している。突起５２２ｃには、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿うと共に、突起５２２ｃの先端に向けて先細りになる傾斜面５２２ｅが設けられている。傾斜面５２２ｅは、例えば突起５２２ｃの先端を挟むように一対設けられている。グランド板５２２ｄは、複数のプローブピン３が並ぶ方向に沿って平板状に広がる導電性の部材（例えば金属の板）である。グランド板５２２ｄは、保持部５２２に内包され、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間を仕切るように配置されている。グランド板５２２ｄの下端は、突起５２２ｃに内包されていると共に、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出している。グランド板５２２ｄの上端は、上面５２２ａから露出している。グランド板５２２ｄの上端は、基板４の第２主面４２上のグランド導体に電気的に接続されている。すなわち、突起５２２ｃは、グランド板５２２ｄを介してグランドに接続されている。 The protrusion 522c protrudes downward in the Z-axis direction from the lower surface 522b. The protrusion 522c protrudes from the lower surface 522b downward in the Z-axis direction between the rows of the probe pins 3 along the extension direction of the probe pins 3. The protrusion 522c is provided with an inclined surface 522e that is along the rows of the probe pins 3 and tapers toward the tip of the protrusion 522c. For example, a pair of inclined surfaces 522e are provided to sandwich the tip of the protrusion 522c. The ground plate 522d is a conductive member (e.g., a metal plate) that spreads in a flat plate shape along the direction in which the probe pins 3 are arranged. The ground plate 522d is included in the holding portion 522 and is arranged to separate the rows of the probe pins 3. The lower end of the ground plate 522d is included in the protrusion 522c and protrudes from the tips of the probe pins 3 along the extension direction of the probe pins 3. The upper end of the ground plate 522d is exposed from the upper surface 522a. The upper end of the ground plate 522d is electrically connected to a ground conductor on the second main surface 42 of the substrate 4. In other words, the protrusion 522c is connected to the ground via the ground plate 522d.

端部５２３は、角筒状の形状を有し、保持部５２２を内包する。端部５２３は、下面５２１ｂから、複数のプローブピン３に沿ってＺ軸方向（下方）に延伸している。端部５２３は、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を挟む。端部５２３の側面５２３ａには、後述するハウジング７の内面７ａから離間するように段状に窪む第１段差部５２３ｂが設けられている。第１段差部５２３ｂは、例えばＹ軸方向における側面５２３ａの両端に一対設けられている。 The end 523 has a rectangular cylindrical shape and contains the holding portion 522. The end 523 extends from the lower surface 521b in the Z-axis direction (downward) along the multiple probe pins 3. The end 523 sandwiches multiple rows of multiple probe pins 3. The side surface 523a of the end 523 is provided with a first step portion 523b that is recessed in a stepped shape so as to be spaced apart from the inner surface 7a of the housing 7 described below. The first step portions 523b are provided in pairs, for example, at both ends of the side surface 523a in the Y-axis direction.

プランジャ５は、端部５２３から、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出するグランド突起５２４を更に有する。グランド突起５２４は、Ｘ軸方向に沿って一対設けられた第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａと、Ｙ軸方向に沿って一対設けられた第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂとを有する（図７参照）。第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａは、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向（Ｘ軸方向）に延び、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）において複数の列を挟む。第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂは、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に延び、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向（Ｘ軸方向）において複数の列を挟む。 The plunger 5 further has a ground protrusion 524 that protrudes from the end 523 beyond the tips of the probe pins 3 along the extension direction of the probe pins 3. The ground protrusion 524 has a pair of first ground protrusions 524A, 524A provided along the X-axis direction and a pair of second ground protrusions 524B, 524B provided along the Y-axis direction (see FIG. 7). The first ground protrusions 524A, 524A extend in a direction (X-axis direction) along the rows of the probe pins 3, and sandwich the rows in a direction (Y-axis direction) that intersects with the direction (X-axis direction) along the rows of the probe pins 3. The second ground protrusions 524B, 524B extend in a direction (Y-axis direction) that intersects with the direction (X-axis direction) along the rows of the probe pins 3, and sandwich the rows in a direction (X-axis direction) along the rows of the probe pins 3.

図６は、プローブ１がコネクタ１００に当接した状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。フランジ６は、板状部材６１と、摺動部材６２と、ピン６３とを有する。 Figure 6 is a cross-sectional view taken along line B-B in Figure 1(a) when the probe 1 is in contact with the connector 100. The flange 6 has a plate-shaped member 61, a sliding member 62, and a pin 63.

板状部材６１は、プローブ１を検査設備に固定するための板状の部品である。板状部材６１を平面視した形状は略長方形である。板状部材６１は、上面６１１と、下面６１２とを有する。板状部材６１には、上面６１１の中央から下面６１２の中央に亘って貫通孔６１Ｈが設けられている。上面６１１を平面視したとき、又は下面６１２を底面視したとき、貫通孔６１Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。貫通孔６１Ｈは、プランジャ５の本体部５１を挿入する孔である。板状部材６１には、Ｘ軸方向に沿う両端部において、上面６１１から下面６１２に亘って、貫通孔６１Ｈを挟むように一対の孔６１Ｗ，６１Ｗが設けられている。フランジ６は、孔６１Ｗを介してネジ止めを行うことにより、プローブ１を検査設備に固定する。孔６１Ｗは、いわゆるネジ孔であってもよい。板状部材６１には、Ｘ軸方向に沿って、上面６１１から下面６１２に亘って、貫通孔６１Ｈを挟むように一対の孔６１Ｐが設けられている。一対の孔６１Ｗは、一対の孔６１ＰをＸ軸方向において挟むように設けられている。 The plate-shaped member 61 is a plate-shaped part for fixing the probe 1 to the inspection equipment. The shape of the plate-shaped member 61 in plan view is approximately rectangular. The plate-shaped member 61 has an upper surface 611 and a lower surface 612. The plate-shaped member 61 has a through hole 61H extending from the center of the upper surface 611 to the center of the lower surface 612. When the upper surface 611 is viewed in plan view or the lower surface 612 is viewed from the bottom, the area in which the through hole 61H is provided is hollowed out in a circular shape. The through hole 61H is a hole through which the main body 51 of the plunger 5 is inserted. The plate-shaped member 61 has a pair of holes 61W, 61W at both ends along the X-axis direction, extending from the upper surface 611 to the lower surface 612, sandwiching the through hole 61H. The flange 6 fixes the probe 1 to the inspection equipment by screwing through the holes 61W. The holes 61W may be so-called screw holes. The plate-like member 61 has a pair of holes 61P that are arranged along the X-axis direction from the upper surface 611 to the lower surface 612, sandwiching the through-hole 61H. The pair of holes 61W are arranged to sandwich the pair of holes 61P in the X-axis direction.

摺動部材６２は、円環板状の部品であり、例えばポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種で形成されている。摺動部材６２は、上面６２１と、下面６２２とを有する。摺動部材６２には、上面６２１の中央から下面６２２の中央に亘って貫通孔６２Ｈが設けられている。上面６２１を平面視したとき、又は下面６２２を底面視したとき、貫通孔６２Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。貫通孔６２Ｈは、プランジャ５の本体部５１を挿入する孔である。摺動部材６２は、板状部材６１の貫通孔６１Ｈの外周に沿って、板状部材６１の下面６１２に配置される。貫通孔６２Ｈは、貫通孔６１Ｈに連通している。摺動部材６２は、本体部５１の側面５１３を取り囲む。摺動部材６２には、貫通孔６２Ｈの外周に沿って、上面６２１から下面６２２に亘って貫通孔６２Ｗが設けられている。貫通孔６２Ｗは、摺動部材６２の周方向に沿って所定の間隔で複数（例えば４つ）設けられている（図２（ｂ）参照）。貫通孔６２Ｗは、ハウジング７の少なくとも一部を挿入する孔である。貫通孔６２Ｗは、貫通孔６１Ｈに連通している。 The sliding member 62 is a circular plate-shaped part, and is formed of at least one selected from the group consisting of polyacetal resin, polyamide resin, polyether ether ketone resin, and polytetrafluoroethylene resin. The sliding member 62 has an upper surface 621 and a lower surface 622. The sliding member 62 has a through hole 62H extending from the center of the upper surface 621 to the center of the lower surface 622. When the upper surface 621 is viewed in plan, or when the lower surface 622 is viewed from the bottom, the area in which the through hole 62H is provided is hollowed out in a circular shape. The through hole 62H is a hole through which the main body 51 of the plunger 5 is inserted. The sliding member 62 is disposed on the lower surface 612 of the plate-shaped member 61 along the outer periphery of the through hole 61H of the plate-shaped member 61. The through hole 62H is connected to the through hole 61H. The sliding member 62 surrounds the side surface 513 of the main body 51. The sliding member 62 has a through hole 62W extending from the upper surface 621 to the lower surface 622 along the outer periphery of the through hole 62H. A plurality of through holes 62W (for example, four) are provided at predetermined intervals along the circumferential direction of the sliding member 62 (see FIG. 2(b)). The through hole 62W is a hole into which at least a part of the housing 7 is inserted. The through hole 62W is connected to the through hole 61H.

ピン６３は、Ｚ軸方向に沿って延びる棒状の部品である。ピン６３は、上端部６３１と、下端部６３２とを有する。下端部６３２は、孔６１Ｐに挿入され、板状部材６１に固定される。 The pin 63 is a rod-shaped part that extends along the Z-axis direction. The pin 63 has an upper end 631 and a lower end 632. The lower end 632 is inserted into the hole 61P and fixed to the plate-shaped member 61.

ハウジング７は、略筒状の形状を有し、Ｚ軸方向に沿って延伸する導電性の部品である。ハウジング７は、プランジャ５を摺動可能に収容すると共に、スプリング８を収容する。ハウジング７の内面７ａは、プランジャ５の側面５１３及び側面５２３ａに対向する。ハウジング７には、Ｚ軸方向に沿った両端を開放する孔７Ｈが設けられている。ハウジング７は、プランジャ５の摺動に応じて、孔７Ｈから複数のプローブピン３の先端及び突起５２２ｃを外部に露出させる。ハウジング７は、筒部７１と、先端部７２と、リブ７３とを有する。 The housing 7 is a conductive part that has a generally cylindrical shape and extends along the Z-axis direction. The housing 7 accommodates the plunger 5 so that it can slide, and also accommodates the spring 8. The inner surface 7a of the housing 7 faces the side surface 513 and the side surface 523a of the plunger 5. The housing 7 has a hole 7H that opens both ends along the Z-axis direction. The housing 7 exposes the tips and protrusions 522c of the multiple probe pins 3 to the outside from the hole 7H in response to the sliding of the plunger 5. The housing 7 has a cylindrical portion 71, a tip portion 72, and a rib 73.

筒部７１は、略有底円筒状の形状を有する。筒部７１は、延伸方向の一方（下方）に底面７１１を有する。先端部７２は、ハウジング７の延伸方向の一方（下方）において、Ｚ軸方向に沿って下方向に角筒が延伸するように設けられる。先端部７２は、プランジャ５の先端部５２を摺動可能に収容する。 The tube portion 71 has a generally bottomed cylindrical shape. The tube portion 71 has a bottom surface 711 on one side (downward) of the extension direction. The tip portion 72 is provided on one side (downward) of the extension direction of the housing 7 so that a square tube extends downward along the Z-axis direction. The tip portion 72 slidably accommodates the tip portion 52 of the plunger 5.

先端部７２には、ハウジング７の内面７ａからハウジング７の内方に向けて段状に張り出す第２段差部７２ａが設けられている（図５参照）。第２段差部７２ａは、例えばＹ軸方向における内面７ａの両端に一対設けられている。第２段差部７２ａは、第１段差部５２３ｂにＺ軸方向において対向する。初期状態において、第２段差部７２ａと第１段差部５２３ｂとはＺ軸方向において離間している。 The tip 72 is provided with a second step portion 72a that protrudes in a step shape from the inner surface 7a of the housing 7 toward the inside of the housing 7 (see FIG. 5). The second step portion 72a is provided in pair, for example, at both ends of the inner surface 7a in the Y-axis direction. The second step portion 72a faces the first step portion 523b in the Z-axis direction. In the initial state, the second step portion 72a and the first step portion 523b are spaced apart in the Z-axis direction.

先端部７２の先端には、ガイド部７２１が設けられている。ガイド部７２１は、コネクタ１００に対するプローブ１の位置のずれを調整する。ガイド部７２１の先端（下端）部分は、先端ほど厚みが薄く（開口形状が大きく）なるようにテーパ形状とされている。ガイド部７２１は、Ｚ軸方向においてコネクタ１００に対向する。ガイド部７２１は、コネクタ１００のシェル１０３に接し、テーパ形状の傾斜に沿ってシェル１０３に対し摺動する。 A guide portion 721 is provided at the tip of the tip portion 72. The guide portion 721 adjusts the positional deviation of the probe 1 relative to the connector 100. The tip (lower end) portion of the guide portion 721 is tapered so that the thickness becomes thinner (the opening shape becomes larger) toward the tip. The guide portion 721 faces the connector 100 in the Z-axis direction. The guide portion 721 contacts the shell 103 of the connector 100 and slides against the shell 103 along the slope of the tapered shape.

図７は、図１（ｄ）の範囲Ｒ１を拡大して示す図である。ガイド部７２１は、Ｘ軸方向に沿って設けられた一対のガイド部７２１Ａ，７２１Ａと、Ｙ軸方向に沿って設けられた一対のガイド部７２１Ｂ，７２１Ｂとを有する。一対のガイド部７２１Ａ，７２１Ａは、一対の第１側部１０３Ａ，１０３Ａ（図３及び図４参照）に接する。一対のガイド部７２１Ｂ，７２１Ｂは、一対の第２側部１０３Ｂ，１０３Ｂ（図３及び図４参照）に接する。 Figure 7 is an enlarged view of range R1 in Figure 1 (d). Guide portion 721 has a pair of guide portions 721A, 721A arranged along the X-axis direction, and a pair of guide portions 721B, 721B arranged along the Y-axis direction. The pair of guide portions 721A, 721A contact the pair of first side portions 103A, 103A (see Figures 3 and 4). The pair of guide portions 721B, 721B contact the pair of second side portions 103B, 103B (see Figures 3 and 4).

図６に戻り、リブ７３は、筒部７１を基端としてＺ軸方向に沿って上方向に延伸する板状の突起である。リブ７３は、筒部７１の周方向に沿って所定の間隔で複数（例えば４つ）設けられている（図２（ｂ）参照）。リブ７３は、摺動部材６２の下面６２２から、貫通孔６２Ｗに挿入される。 Returning to FIG. 6, the rib 73 is a plate-like protrusion that extends upward along the Z-axis direction from the tubular portion 71 as its base end. A plurality of ribs 73 (e.g., four) are provided at predetermined intervals along the circumferential direction of the tubular portion 71 (see FIG. 2(b)). The rib 73 is inserted into the through hole 62W from the lower surface 622 of the sliding member 62.

スプリング８は、第１のスプリング８１と、第２のスプリング８２とを有する。第１のスプリング８１は、コイルスプリングである。第１のスプリング８１は、フランジ６の摺動部材６２とプランジャ５の鍔部５１４との間に配置される。具体的には、第１のスプリング８１は、摺動部材６２の下面６２２と鍔部５１４の上面５１４ａとの間で挟み込まれるようにして配置される。第１のスプリング８１は、鍔部５１４を摺動部材６２から離れる方向（下方向）に付勢することによって、プランジャ５をフランジ６から離れる方向に付勢する。第１のスプリング８１の付勢力によって、プランジャ５の鍔部５１４がフランジ６から所定の間隔を空け、プランジャ５が初期位置に保たれる。第１のスプリング８１は、プランジャ５を第１の位置と、第２の位置との間で移動させる。第１の位置は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させない位置である。第２の位置は、ハウジング７の先端部７２の孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させる位置である。初期状態において、第１のスプリング８１は、プランジャ５を第１の位置に保つ。 The spring 8 has a first spring 81 and a second spring 82. The first spring 81 is a coil spring. The first spring 81 is disposed between the sliding member 62 of the flange 6 and the flange 514 of the plunger 5. Specifically, the first spring 81 is disposed so as to be sandwiched between the lower surface 622 of the sliding member 62 and the upper surface 514a of the flange 514. The first spring 81 biases the flange 514 in a direction away from the sliding member 62 (downward), thereby biasing the plunger 5 in a direction away from the flange 6. The biasing force of the first spring 81 causes the flange 514 of the plunger 5 to be spaced a predetermined distance from the flange 6, and the plunger 5 is maintained in its initial position. The first spring 81 moves the plunger 5 between a first position and a second position. The first position is a position where the tip of the probe pin 3 is not exposed from the hole 7H in the tip 72 of the housing 7. The second position is a position where the tip of the probe pin 3 is exposed from the hole 7H in the tip portion 72 of the housing 7. In the initial state, the first spring 81 keeps the plunger 5 in the first position.

第２のスプリング８２は、コイルスプリングである。第２のスプリング８２は、フランジ６の摺動部材６２と、ハウジング７の筒部７１との間に配置される。具体的には、第２のスプリング８２は、摺動部材６２の下面６２２と、筒部７１の底面７１１との間で挟み込まれるようにして配置される。第２のスプリング８２は、筒部７１を摺動部材６２から離れる方向（下方向）に付勢することによって、ハウジング７をフランジ６から離れる方向に付勢する。第２のスプリング８２の付勢力によって、ハウジング７の底面７１１がフランジ６から所定の間隔を空け、ハウジング７が初期位置に保たれる。 The second spring 82 is a coil spring. The second spring 82 is disposed between the sliding member 62 of the flange 6 and the tubular portion 71 of the housing 7. Specifically, the second spring 82 is disposed so as to be sandwiched between the lower surface 622 of the sliding member 62 and the bottom surface 711 of the tubular portion 71. The second spring 82 biases the tubular portion 71 in a direction (downward) away from the sliding member 62, thereby biasing the housing 7 in a direction away from the flange 6. The biasing force of the second spring 82 keeps the bottom surface 711 of the housing 7 at a predetermined distance from the flange 6, and keeps the housing 7 in its initial position.

第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２は、本体部５１の側面５１３を囲い、同心軸上に配置される。ここでの「同心軸上」とは、第１のスプリング８１の径方向の中心と第２のスプリング８２の径方向の中心が同一の軸直線上にあることをいう。軸直線とは、Ｚ軸方向に沿う直線である。第２のスプリング８２は、第１のスプリング８１を取り囲むように配置される。 The first spring 81 and the second spring 82 surround the side surface 513 of the main body 51 and are arranged concentrically. Here, "concentrically" means that the radial center of the first spring 81 and the radial center of the second spring 82 are on the same axial line. The axial line is a line along the Z-axis direction. The second spring 82 is arranged so as to surround the first spring 81.

キャップ９は、略直方体状の部品である。キャップ９は、追従部材Ｆを摺動可能に収容する。キャップ９は、ハウジング７のリブ７３の周囲を囲うように配置される。キャップ９は、リブ７３に嵌合している。キャップ９は、上面９１と、下面９２とを有する。下面９２は、板状部材６１の上面６１１に対向する。 The cap 9 is a generally rectangular parallelepiped part. The cap 9 slidably houses the follower member F. The cap 9 is arranged so as to surround the periphery of the rib 73 of the housing 7. The cap 9 fits into the rib 73. The cap 9 has an upper surface 91 and a lower surface 92. The lower surface 92 faces the upper surface 611 of the plate-like member 61.

キャップ９には、上面９１の中央から下面９２の中央に亘って、Ｚ軸方向に沿った孔９Ｈが設けられている。上面９１を平面視又は下面９２を底面視したとき、孔９Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。上面９１における孔９Ｈの径は、下面９２における孔９Ｈの径よりも小さい。キャップ９には、内面９ａからキャップ９の内方に向けて段状に張り出す段差部９３が設けられている。下面９２における孔９Ｈは、板状部材６１の上面６１１における貫通孔６１Ｈに連通する。孔９Ｈには、上面９１から導電部２の同軸ケーブル２１が挿入される。孔９Ｈには、下面９２からハウジング７のリブ７３、プランジャ５の本体部５１及び追従部材Ｆが挿入される。キャップ９の内面９ａは、追従部材Ｆの側面Ｆ３に対向する。段差部９３には、Ｚ軸方向においてリブ７３が突き当たるようにして接する。 The cap 9 has a hole 9H along the Z-axis direction from the center of the upper surface 91 to the center of the lower surface 92. When the upper surface 91 is viewed from above or the lower surface 92 is viewed from the bottom, the area in which the hole 9H is provided is hollowed out in a circular shape. The diameter of the hole 9H in the upper surface 91 is smaller than the diameter of the hole 9H in the lower surface 92. The cap 9 has a step portion 93 that protrudes in a step shape from the inner surface 9a toward the inside of the cap 9. The hole 9H in the lower surface 92 communicates with the through hole 61H in the upper surface 611 of the plate-shaped member 61. The coaxial cable 21 of the conductive part 2 is inserted into the hole 9H from the upper surface 91. The rib 73 of the housing 7, the main body 51 of the plunger 5, and the follower member F are inserted into the hole 9H from the lower surface 92. The inner surface 9a of the cap 9 faces the side surface F3 of the follower member F. The rib 73 abuts against the step portion 93 in the Z-axis direction.

下面９２には、Ｘ軸方向における両端部に複数（例えば２つ）の穴９２Ｈが設けられている。穴９２Ｈは、下面９２から上面９１に向けて、上面９１には達しないように設けられている。穴９２Ｈの最深部には、穴底９４が設けられている。穴９２Ｈには、ピン６３が挿入される。穴底９４には、ピン６３の上端部６３１が当接する。ピン６３の上端部６３１が穴底９４に当接することによって、フランジ６とキャップ９とが係合される。これにより、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向におけるプローブ１の動きが規制される。 The lower surface 92 has multiple (e.g., two) holes 92H at both ends in the X-axis direction. The holes 92H are provided from the lower surface 92 toward the upper surface 91 so as not to reach the upper surface 91. A hole bottom 94 is provided at the deepest part of the hole 92H. A pin 63 is inserted into the hole 92H. The upper end 631 of the pin 63 abuts against the hole bottom 94. The flange 6 and the cap 9 are engaged by the upper end 631 of the pin 63 abutting against the hole bottom 94. This restricts the movement of the probe 1 in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions.

［ストローク状態］
次に、図８～図１１を参照して、ストローク状態について説明する。図８は、ストローク状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。図８は、図５に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。図９は、ストローク状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。図９は、図６に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。 [Stroke state]
Next, the stroke state will be described with reference to Fig. 8 to Fig. 11. Fig. 8 is a cross-sectional view taken along line A-A in Fig. 1(a) in the stroke state. Fig. 8 shows the state after a stroke has been made from the state shown in Fig. 5. Fig. 9 is a cross-sectional view taken along line B-B in Fig. 1(a) in the stroke state. Fig. 9 shows the state after a stroke has been made from the state shown in Fig. 6.

ストロークは、フランジ６がＺ軸方向における下方向に押されることにより行われる。フランジ６の押下によって、プローブ１がコネクタ１００に押し付けられる。プローブ１には、コネクタ１００から上方向に向けた押圧力が加えられる。 The stroke is performed by pressing the flange 6 downward in the Z-axis direction. Pressing the flange 6 presses the probe 1 against the connector 100. An upward pressing force is applied to the probe 1 from the connector 100.

プローブ１に対し押圧力が加えられると、第２のスプリング８２がＺ軸方向に縮んだ（弾性変形した）状態になる。ハウジング７は、フランジ６に対しＺ軸方向における上方向に移動する。キャップ９の段差部９３がリブ７３に上方向に向けて押されることによって、キャップ９も上方向に移動する。 When a pressing force is applied to the probe 1, the second spring 82 is compressed (elastically deformed) in the Z-axis direction. The housing 7 moves upward in the Z-axis direction relative to the flange 6. The step portion 93 of the cap 9 is pressed upward by the rib 73, causing the cap 9 to also move upward.

図９に示されるように、ピン６３の上端部６３１は、穴底９４から離間し、フランジ６とキャップ９との係合が解除される。これにより、プローブ１は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向において可動状態になる。このことで、プローブ１（フランジ６を除く）は、プローブ１とコネクタ１００との位置決め（軸ずれの調整）が可能な状態になる。 As shown in FIG. 9, the upper end 631 of the pin 63 moves away from the bottom 94 of the hole, and the flange 6 and the cap 9 are disengaged. This allows the probe 1 to move in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. This allows the probe 1 (excluding the flange 6) to be positioned relative to the connector 100 (adjustment of the axial misalignment).

位置決めが可能な状態では、第２のスプリング８２がＺ軸方向に縮んだ状態であり、第１のスプリング８１はＺ軸方向に縮んだ状態ではない。プランジャ５は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させない第１の位置にある。換言すると、プローブ１とコネクタ１００との位置決めの際には、プローブピン３の先端が保護された状態である。 When positioning is possible, the second spring 82 is compressed in the Z-axis direction, and the first spring 81 is not compressed in the Z-axis direction. The plunger 5 is in a first position where the tip of the probe pin 3 is not exposed from the hole 7H in the tip portion 72 of the housing 7. In other words, when positioning the probe 1 and the connector 100, the tip of the probe pin 3 is protected.

位置決めの完了後、プローブ１に対し押圧力が加えられると、第１のスプリング８１がＺ軸方向に縮んだ（弾性変形した）状態になる。プランジャ５は、フランジ６に対しＺ軸方向における上方向に移動する。プランジャ５の移動の際、プランジャ５の先端部５２がハウジング７の先端部７２との間で摺動すると共に、プランジャ５の先端部５２に固定された追従部材Ｆがキャップ９との間で摺動する。プランジャ５は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させる第２の位置に移動する。プランジャ５が第２の位置に移動することにより、プローブピン３の先端が、孔７Ｈから外部に露出する。 After positioning is completed, when a pressing force is applied to the probe 1, the first spring 81 is compressed (elastically deformed) in the Z-axis direction. The plunger 5 moves upward in the Z-axis direction relative to the flange 6. When the plunger 5 moves, the tip 52 of the plunger 5 slides against the tip 72 of the housing 7, and the follower member F fixed to the tip 52 of the plunger 5 slides against the cap 9. The plunger 5 moves to a second position where the tip of the probe pin 3 is exposed from the hole 7H in the tip 72 of the housing 7. When the plunger 5 moves to the second position, the tip of the probe pin 3 is exposed to the outside from the hole 7H.

図１０は、図８の範囲Ｒ２を拡大して示す図である。複数のプローブピン３は、複数のコンタクト１０１にそれぞれ接触している。第１段差部５２３ｂは、プランジャ５の摺動に伴って第２段差部７２ａに当接する。突起５２２ｃは、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間に進入する。第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａは、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列をＹ軸方向において挟む位置に進入する。クリアランスＣ１，Ｃ１は、第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａの進入によって減少している。クリアランスＣ３は、突起５２２ｃの進入により減少している。 Figure 10 is an enlarged view of range R2 in Figure 8. The multiple probe pins 3 are in contact with the multiple contacts 101, respectively. The first step portion 523b abuts against the second step portion 72a as the plunger 5 slides. The protrusion 522c enters between the multiple rows of the multiple contacts 101. The first ground protrusions 524A, 524A enter into a position that sandwiches the multiple rows of the multiple contacts 101 in the Y-axis direction. The clearances C1, C1 are reduced by the entry of the first ground protrusions 524A, 524A. The clearance C3 is reduced by the entry of the protrusion 522c.

図１１は、図９の範囲Ｒ３を拡大して示す図である。第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂは、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列をＸ軸方向において挟む位置に進入する。クリアランスＣ２，Ｃ２は、第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂの進入によって減少している。クリアランスＣ３は、突起５２２ｃの進入により減少している。 Figure 11 is an enlarged view of range R3 in Figure 9. The second ground protrusions 524B, 524B enter a position that sandwiches multiple rows of multiple contacts 101 in the X-axis direction. The clearance C2, C2 is reduced by the entry of the second ground protrusions 524B, 524B. The clearance C3 is reduced by the entry of the protrusion 522c.

［まとめ］
以上の例示は、以下の構成を含む。
（１）複数の列に沿って配置された複数のコンタクト１０１を備えるコネクタの検査に用いられるプローブ１であって、複数のコンタクト１０１に対応して、複数の列に沿って配置された複数のプローブピン３と、複数のプローブピン３を内包する導電性のプランジャ５と、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出する突起５２２ｃと、プランジャ５を摺動可能に収容し、プランジャ５の摺動に応じて複数のプローブピン３の先端及び突起５２２ｃを露出させる導電性のハウジング７と、を備えるプローブ１。 [summary]
The above examples include the following configurations.
(1) A probe 1 used for inspecting a connector having a plurality of contacts 101 arranged in a plurality of rows, the probe 1 comprising: a plurality of probe pins 3 arranged in a plurality of rows corresponding to the plurality of contacts 101; a conductive plunger 5 containing the plurality of probe pins 3; protrusions 522c that protrude beyond the tips of the plurality of probe pins 3 along the extension direction of the plurality of probe pins 3 between the plurality of rows in which the plurality of probe pins 3 are lined up; and a conductive housing 7 that slidably accommodates the plunger 5 and exposes the tips and protrusions 522c of the plurality of probe pins 3 in response to the sliding of the plunger 5.

本開示のプローブ１では、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、突起５２２ｃが複数のプローブピン３の先端よりも突出している。このような構成によれば、コネクタ１００の検査時において、複数のプローブピン３が複数のコンタクト１０１にそれぞれ接触すると共に、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間に突起５２２ｃが進入する。すなわち、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間におけるクリアランスＣ３が減少する。これにより、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間における電磁的絶縁性を確保することができる。その結果、コネクタ１００の検査時の特性インピーダンスと、コネクタ同士の嵌合時の特性インピーダンスとを整合させることができる。 In the probe 1 of the present disclosure, the protrusion 522c protrudes beyond the tips of the probe pins 3 between the rows of the probe pins 3. With this configuration, when inspecting the connector 100, the probe pins 3 contact the contacts 101, respectively, and the protrusion 522c enters between the rows of the contacts 101. That is, the clearance C3 between the rows of the contacts 101 is reduced. This ensures electromagnetic insulation between the rows of the contacts 101. As a result, the characteristic impedance during inspection of the connector 100 can be matched with the characteristic impedance when the connectors are mated.

プローブ１によれば、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間に突起５２２ｃが進入することにより、複数のコンタクト１０１に対する複数のプローブピン３の脱落を防止できる。具体的には、接触ピン３３が複数のコンタクト１０１にそれぞれ接触した際、バレル３１と接触ピン３３との間のクリアランスに起因して、接触ピン３３がＸ軸方向又はＹ軸方向に傾く場合があり得る。この場合、接触ピン３３が突起５２２ｃに当接することにより、接触ピン３３の傾きが抑制される。これにより、複数のコンタクト１０１に対する複数のプローブピン３の脱落を防止できる。換言すると、複数のコンタクト１０１と複数のプローブピン３との接触の信頼性を向上させることができる。「接触の信頼性」とは、複数のプローブピン３の先端面と複数のコンタクト１０１の頂部１０１ａとの接触を、コネクタ１００の個体に依存することなく再現できることをいう。接触の信頼性を向上させることによって、コネクタ１００を正確に且つ高い再現性をもって検査することができる。 According to the probe 1, the protrusion 522c enters between the rows of the contacts 101, thereby preventing the probe pins 3 from falling off from the contacts 101. Specifically, when the contact pin 33 contacts each of the contacts 101, the contact pin 33 may tilt in the X-axis direction or the Y-axis direction due to the clearance between the barrel 31 and the contact pin 33. In this case, the contact pin 33 abuts against the protrusion 522c, suppressing the tilt of the contact pin 33. This prevents the probe pins 3 from falling off from the contacts 101. In other words, the reliability of the contact between the contacts 101 and the probe pins 3 can be improved. "Contact reliability" means that the contact between the tip surfaces of the probe pins 3 and the tops 101a of the contacts 101 can be reproduced without depending on the individual connector 100. By improving the contact reliability, the connector 100 can be inspected accurately and with high reproducibility.

（２）突起５２２ｃは、導電性の部材を介してグランドに接続されている、（１）のプローブ１。突起５２２ｃがグランド電位を有することによって、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピン３と複数のコンタクト１０１との接触箇所が電磁的に遮蔽される。その結果、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 (2) The protrusion 522c of the probe 1 of (1) is connected to ground via a conductive member. Since the protrusion 522c has a ground potential, the contact points between the multiple probe pins 3 and the multiple contacts 101 between the multiple rows of the multiple probe pins 3 are electromagnetically shielded. As a result, the matching of the characteristic impedance can be improved.

（３）プランジャ５は、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を挟む端部から、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出するグランド突起５２４を有する、（１）又は（２）のプローブ１。コネクタ１００の検査時において、複数のプローブピン３を挟み、且つ複数のプローブピン３の先端よりも突出したグランド突起５２４が、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列を挟む位置に進入する。複数のコンタクト１０１を挟む位置におけるクリアランス（例えばクリアランスＣ１，Ｃ１及びＣ２，Ｃ２）が減少することにより、外部からのノイズの影響を抑制することができる。その結果、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 (3) The probe 1 of (1) or (2), in which the plunger 5 has a ground protrusion 524 that protrudes beyond the tips of the probe pins 3 along the extension direction of the probe pins 3 from an end that sandwiches the multiple rows of the multiple probe pins 3. During inspection of the connector 100, the ground protrusion 524 that sandwiches the multiple probe pins 3 and protrudes beyond the tips of the multiple probe pins 3 enters a position that sandwiches the multiple rows of the multiple contacts 101. By reducing the clearance (e.g., clearances C1, C1 and C2, C2) at the position that sandwiches the multiple contacts 101, the influence of external noise can be suppressed. As a result, the matching of the characteristic impedance can be improved.

プローブ１によれば、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列を挟む位置にグランド突起５２４が進入することにより、複数のコンタクト１０１に対する複数のプローブピン３の脱落を防止できる。具体的には、接触ピン３３がＸ軸方向又はＹ軸方向に傾いた場合、接触ピン３３がグランド突起５２４に当接することにより、接触ピン３３の傾きが抑制される。これにより、複数のコンタクト１０１に対する複数のプローブピン３の脱落を防止できる。その結果、複数のコンタクト１０１と複数のプローブピン３との接触の信頼性を向上させることができる。 According to the probe 1, the ground protrusion 524 enters a position sandwiching multiple rows of multiple contacts 101, thereby preventing the multiple probe pins 3 from falling off from the multiple contacts 101. Specifically, when the contact pin 33 tilts in the X-axis direction or the Y-axis direction, the contact pin 33 abuts against the ground protrusion 524, suppressing the tilt of the contact pin 33. This prevents the multiple probe pins 3 from falling off from the multiple contacts 101. As a result, the reliability of the contact between the multiple contacts 101 and the multiple probe pins 3 can be improved.

（４）グランド突起５２４は、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向において、複数の列を挟む第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａと、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿う方向と交差する方向において、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を挟む第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂとを有する、（３）のプローブ１。この場合、第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａ及び第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂが、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を二方向から挟む。コネクタ１００の検査時において、第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａ及び第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂが、複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列を二方向から挟む位置に進入する。これにより、複数のプローブピン３とコンタクト１０１との接触箇所が第１グランド突起５２４Ａ，５２４Ａ及び第２グランド突起５２４Ｂ，５２４Ｂによって囲まれる（四方向から挟まれる）ので、外部からのノイズの影響を一層抑制することができる。その結果、特性インピーダンスの整合を向上させることができる。 (4) The ground protrusion 524 of the probe 1 of (3) has first ground protrusions 524A, 524A sandwiching the rows of the multiple probe pins 3 in a direction along the rows, and second ground protrusions 524B, 524B sandwiching the rows of the multiple probe pins 3 in a direction intersecting the direction along the rows. In this case, the first ground protrusions 524A, 524A and the second ground protrusions 524B, 524B sandwich the rows of the multiple probe pins 3 from two directions. When inspecting the connector 100, the first ground protrusions 524A, 524A and the second ground protrusions 524B, 524B enter a position where they sandwich the rows of the multiple contacts 101 from two directions. As a result, the contact points between the multiple probe pins 3 and the contact 101 are surrounded (sandwiched from four sides) by the first ground protrusions 524A, 524A and the second ground protrusions 524B, 524B, so the effects of external noise can be further suppressed. As a result, the matching of the characteristic impedance can be improved.

（５）プランジャ５の側面５２３ａには、ハウジング７の内面７ａから離間するように段状に窪む第１段差部５２３ｂが設けられており、ハウジング７の先端部７２には、ハウジング７の内面７ａからハウジング７の内方に向けて段状に張り出す第２段差部７２ａが設けられており、第１段差部５２３ｂは、プランジャ５の摺動に伴って第２段差部７２ａに当接する、（１）～（４）のいずれかのプローブ１。コネクタ１００の検査時において、第１段差部５２３ｂが第２段差部７２ａに当接することにより、プランジャ５の振れが低減される。これにより、複数のプローブピン３と複数のコンタクト１０１との位置ずれを防止できる。また、ハウジング７とプランジャ５との接触箇所が安定するため、グランド電位の安定化を図ることができる。 (5) A probe 1 according to any one of (1) to (4), in which the side surface 523a of the plunger 5 is provided with a first step portion 523b recessed in a stepped shape so as to be spaced apart from the inner surface 7a of the housing 7, and the tip portion 72 of the housing 7 is provided with a second step portion 72a projecting in a stepped shape from the inner surface 7a of the housing 7 toward the inside of the housing 7, and the first step portion 523b abuts against the second step portion 72a as the plunger 5 slides. During inspection of the connector 100, the first step portion 523b abuts against the second step portion 72a, thereby reducing the vibration of the plunger 5. This makes it possible to prevent misalignment between the multiple probe pins 3 and the multiple contacts 101. In addition, the contact points between the housing 7 and the plunger 5 are stabilized, so that the ground potential can be stabilized.

（６）突起５２２ｃには、複数の列に沿うと共に、突起５２２ｃの先端に向けて先細りになる傾斜面５２２ｅが設けられている、（１）～（５）のいずれかのプローブ１。複数のコンタクト１０１が並ぶ複数の列の間に突起５２２ｃが進入する際に、突起５２２ｃが複数のコンタクト１０１又は複数のコンタクト１０１を保持する絶縁ハウジング１０２に接触する場合があり得る。突起５２２ｃに傾斜面５２２ｅが設けられていることにより、突起５２２ｃが複数のコンタクト１０１又は絶縁ハウジング１０２に接触することによる接触箇所の損傷を防止できる。 (6) Probe 1 according to any one of (1) to (5), in which protrusion 522c is provided with inclined surface 522e that runs along the multiple rows and tapers toward the tip of protrusion 522c. When protrusion 522c enters between multiple rows in which multiple contacts 101 are lined up, protrusion 522c may come into contact with multiple contacts 101 or insulating housing 102 that holds multiple contacts 101. Providing inclined surface 522e on protrusion 522c makes it possible to prevent damage to the contact points caused by protrusion 522c coming into contact with multiple contacts 101 or insulating housing 102.

［変形例］
以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 [Modification]
Although the embodiments have been described above, the present disclosure is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible without departing from the gist of the present disclosure.

上記実施形態では、コネクタ１００がプラグコネクタである例を説明したが、コネクタ１００はリセプタクルコネクタであってもよい。複数のコンタクト１０１は所謂リセプタクルコンタクトであってもよい。リセプタクルコンタクトは、例えば金属板が折り曲げられることにより、プラグコンタクトを挟むように設けられる。このようなリセプタクルコンタクトを備えるリセプタクルコネクタにもクリアランスが設けられ得る。この場合においても、本開示のプローブ１によれば、リセプタクルコネクタの検査時の特性インピーダンスと、コネクタ同士の嵌合時の特性インピーダンスとを整合させることができる。 In the above embodiment, an example was described in which the connector 100 is a plug connector, but the connector 100 may also be a receptacle connector. The multiple contacts 101 may be so-called receptacle contacts. The receptacle contacts are arranged to sandwich the plug contacts, for example, by bending a metal plate. A clearance may also be provided in a receptacle connector equipped with such receptacle contacts. Even in this case, the probe 1 disclosed herein can match the characteristic impedance during inspection of the receptacle connector with the characteristic impedance during mating of the connectors.

上記実施形態では、保持部５２２が複数のプローブピン３を内包する絶縁性の部品であると説明したが、これに限られない。例えば、保持部５２２は、複数のプローブピン３をそれぞれ被覆する絶縁体と、該絶縁体を内包する導電性の部品とを有する部品であってもよい。該導電性の部品は、先端部５２と一体的に設けられていてもよい。 In the above embodiment, the holding portion 522 is described as an insulating part that contains multiple probe pins 3, but this is not limited to the above. For example, the holding portion 522 may be a part that has an insulator that covers each of the multiple probe pins 3 and a conductive part that contains the insulator. The conductive part may be provided integrally with the tip portion 52.

上記実施形態では、グランド板５２２ｄの上端が、基板４の第２主面４２上のグランド導体に電気的に接続されていると説明したが、グランド接続の箇所はこれに限られない。例えば、グランド板５２２ｄは、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿って延び、Ｘ軸方向において保持部５２２から露出して、プランジャ５の先端部５２にグランド接続されていてもよい。 In the above embodiment, the upper end of the ground plate 522d is described as being electrically connected to the ground conductor on the second main surface 42 of the substrate 4, but the location of the ground connection is not limited to this. For example, the ground plate 522d may extend along multiple rows in which multiple probe pins 3 are lined up, be exposed from the holding portion 522 in the X-axis direction, and be grounded to the tip portion 52 of the plunger 5.

グランド突起５２４には、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿うと共に、グランド突起５２４の先端に向けて先細りになる傾斜面が設けられていてもよい。この場合、グランド突起５２４が複数のコンタクト１０１又は絶縁ハウジング１０２に接触することによる接触箇所の損傷を防止できる。 The ground protrusion 524 may have an inclined surface that is aligned with the rows of the probe pins 3 and that tapers toward the tip of the ground protrusion 524. In this case, damage to the contact points caused by the ground protrusion 524 coming into contact with the contacts 101 or the insulating housing 102 can be prevented.

１…プローブ、２…導電部、３…プローブピン、４…基板、５…プランジャ、６…フランジ、７…ハウジング、８…スプリング、９…キャップ、３１…バレル、３２…コイルスプリング、３３…接触ピン、５１…本体部、５２…先端部、６１…板状部材、６２…摺動部材、６３…ピン、７１…筒部、７２…先端部、７３…リブ、８１…第１のスプリング、８２…第２のスプリング、１００…コネクタ、１０１…コンタクト、１０２…絶縁ハウジング、１０３…シェル、５１３…側面、５２３…端部、５２４…グランド突起、７ａ…内面、７２ａ…第２段差部、５２２ｃ…突起、５２２ｄ…グランド板、５２２ｅ…傾斜面、５２３ａ…側面、５２３ｂ…第１段差部、５２４Ａ…第１グランド突起、５２４Ｂ…第２グランド突起、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…クリアランス、Ｆ…追従部材。 1...probe, 2...conductive part, 3...probe pin, 4...substrate, 5...plunger, 6...flange, 7...housing, 8...spring, 9...cap, 31...barrel, 32...coil spring, 33...contact pin, 51...main body, 52...tip, 61...plate-shaped member, 62...sliding member, 63...pin, 71...tubular part, 72...tip, 73...rib, 81...first spring, 82...second spring, 100... Connector, 101...contact, 102...insulating housing, 103...shell, 513...side, 523...end, 524...ground protrusion, 7a...inner surface, 72a...second step, 522c...protrusion, 522d...ground plate, 522e...inclined surface, 523a...side, 523b...first step, 524A...first ground protrusion, 524B...second ground protrusion, C1, C2, C3...clearance, F...following member.

Claims

1. A probe for use in testing a connector having a plurality of contacts arranged along a plurality of rows, comprising:
a plurality of probe pins arranged along a plurality of rows corresponding to the plurality of contacts;
a conductive plunger containing the plurality of probe pins;
a protrusion protruding beyond the tips of the probe pins along an extension direction of the probe pins between the rows of the probe pins;
a conductive housing that slidably accommodates the plunger and exposes the tips of the plurality of probe pins and the protrusions in response to the sliding of the plunger;
A probe comprising:

The probe according to claim 1, wherein the protrusion is connected to ground via a conductive member.

The probe according to claim 1, wherein the plunger has ground protrusions that protrude beyond the tips of the probe pins along the extension direction of the probe pins from ends that sandwich the rows of the probe pins.

The probe according to claim 3, wherein the ground protrusions include a first ground protrusion sandwiching the rows of the probe pins in a direction along the rows, and a second ground protrusion sandwiching the rows of the probe pins in a direction intersecting the direction along the rows of the probe pins.

A first step portion is provided on a side surface of the plunger and is recessed in a stepped shape so as to be spaced apart from an inner surface of the housing,
A second step portion is provided at a tip end of the housing, the second step portion protruding in a step shape from an inner surface of the housing toward the inside of the housing,
The first step portion comes into contact with the second step portion as the plunger slides.
The probe of claim 1 .

The probe of claim 1 , wherein the projections are provided with sloped surfaces along the rows and tapering toward tips of the projections.