JP3226821U

JP3226821U - Probe for measuring multi-pole connectors

Info

Publication number: JP3226821U
Application number: JP2020000400U
Authority: JP
Inventors: 真一剱崎
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2020-02-07
Filing date: 2020-02-07
Publication date: 2020-07-27
Anticipated expiration: 2030-02-07
Also published as: CN215218914U

Abstract

【課題】多極コネクタの高周波特性を精度良く測定するプローブを提供する。【解決手段】複数の内部端子６ｂを有する多極コネクタ６を測定するためのプローブであって、フランジ１０と、内部端子に対して嵌合される測定端子を複数個有する測定用コネクタ６０と、測定用コネクタを一方面に保持するプランジャ２０と、フランジとプランジャの他方面との間に配置された１つまたは複数の弾性部材１９（コイルバネ）とを備える。【選択図】図３PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe for accurately measuring a high frequency characteristic of a multipolar connector. A probe for measuring a multipolar connector (6) having a plurality of internal terminals (6b), comprising a flange (10) and a measuring connector (60) having a plurality of measuring terminals fitted to the internal terminals. A plunger 20 holding the measuring connector on one surface and one or a plurality of elastic members 19 (coil springs) arranged between the flange and the other surface of the plunger are provided. [Selection diagram] Fig. 3

Description

この考案は、多極コネクタを測定するためのプローブに関する。 This invention relates to a probe for measuring a multipolar connector.

多極コネクタにおける複数の内部端子の特性（例えば、高周波特性）は、例えば、特許文献１に開示されたプローブを用いて同時に測定される。 The characteristics (for example, high frequency characteristics) of the plurality of internal terminals in the multi-pole connector are simultaneously measured using, for example, the probe disclosed in Patent Document 1.

特許文献１のプローブを用いて、多極コネクタの特性を測定するとき、プローブにおける複数の測定端子の各先端部を、測定対象の複数の内部端子に向けてそれぞれ動かして、内部端子の測定位置（例えば、図１４における上面位置７）でそれぞれ接触させる。 When measuring the characteristics of a multi-pole connector using the probe of Patent Document 1, each tip of the plurality of measurement terminals of the probe is moved toward the plurality of internal terminals to be measured, and the measurement position of the internal terminals is measured. (For example, the upper surface position 7 in FIG. 14) is contacted.

特開２０１９−１３８７６８号公報JP, 2019-138768, A

測定時において、プローブの測定端子の先端部は、内部端子と嵌合することなく、測定すべき複数の内部端子の測定位置で接触するだけである。すなわち、一対の多極コネクタにおける内部端子の相互接触位置は、上面位置よりも奥まったところに位置する内部端子の嵌合位置であるのに対して、プローブによる接触位置は、測定時に測定端子に対面する上面位置である。 At the time of measurement, the tips of the measurement terminals of the probe do not fit into the internal terminals, but only contact at the measurement positions of the plurality of internal terminals to be measured. That is, the mutual contact position of the internal terminals in the pair of multi-pole connectors is the fitting position of the internal terminals that are located deeper than the upper surface position, whereas the contact position by the probe is the measurement terminal during measurement. It is the position of the upper surface facing.

プローブによる接触位置が内部端子の嵌合位置から大きく離れているために、高周波特性を精度良く測定することを困難にしている場合がある。特に、より高周波側（例えば、ミリ波）に対応した多極コネクタでは、プローブによる接触位置と内部端子の嵌合位置との間でのこのような大きな位置ずれが、特性の測定結果に影響を及ぼす。そのため、多極コネクタの高周波特性を精度良く測定するプローブが要望されている。 Since the contact position of the probe is far away from the fitting position of the internal terminal, it may be difficult to measure the high frequency characteristics with high accuracy. In particular, in a multi-pole connector compatible with higher frequencies (for example, millimeter waves), such a large misalignment between the contact position of the probe and the fitting position of the internal terminal affects the measurement results of the characteristics. Exert. Therefore, there is a demand for a probe that accurately measures the high frequency characteristics of the multipolar connector.

したがって、この考案の解決すべき技術的課題は、多極コネクタの高周波特性を精度良く測定するプローブを提供することである。 Therefore, the technical problem to be solved by the present invention is to provide a probe for accurately measuring the high frequency characteristics of a multipolar connector.

上記技術的課題を解決するために、この考案によれば、以下のプローブが提供される。 According to the present invention, in order to solve the above technical problems, the following probe is provided.

すなわち、この考案の請求項１に係るプローブは、
複数の内部端子を有する多極コネクタを測定するためのプローブであって、
フランジと、
前記内部端子に対して嵌合可能に構成された測定端子を複数個有する測定用コネクタと、
前記測定用コネクタを前記フランジに対して進退可能に保持するプランジャとを備えることを特徴とする。 That is, the probe according to claim 1 of the present invention is
A probe for measuring a multi-pole connector having a plurality of internal terminals,
A flange,
A measurement connector having a plurality of measurement terminals configured to be fittable to the internal terminals,
And a plunger that holds the measurement connector so as to be movable back and forth with respect to the flange.

この考案によれば、測定用コネクタが、内部端子に対して嵌合可能に構成された測定端子を有することによって、プローブによる接触位置が内部端子の嵌合位置に近づくので、多極コネクタの高周波特性を精度良く測定できる。 According to this invention, since the measuring connector has the measuring terminal configured to be fittable to the internal terminal, the contact position of the probe approaches the fitting position of the internal terminal, so that the high frequency of the multipolar connector is high. The characteristics can be measured accurately.

この考案の第１実施形態に係るプローブの斜視図である。1 is a perspective view of a probe according to a first embodiment of the present invention. 図１に示したプローブのＩＩ−ＩＩ線に沿った断面の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a cross section taken along line II-II of the probe shown in FIG. 1. 図２の要部を拡大した断面図である。It is sectional drawing which expanded the principal part of FIG. プランジャが後退している状態を説明する、要部を拡大した断面図である。It is sectional drawing which expanded the principal part explaining the state which the plunger retracted. この考案の第２実施形態に係るプローブの斜視図である。It is a perspective view of a probe concerning a 2nd embodiment of this invention. 図５に示したプローブの分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of the probe shown in FIG. 5. 図５の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of FIG. 図７に示したプローブにおいてプランジャと実装基板との関係を説明する斜視図である。FIG. 8 is a perspective view illustrating a relationship between a plunger and a mounting board in the probe shown in FIG. 7. 図８に示した実装基板の拡大図である。FIG. 9 is an enlarged view of the mounting board shown in FIG. 8. 実装基板と測定用コネクタとの関係を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the relationship between a mounting board and a connector for measurement. 図８に示したプランジャのＶ−Ｖ線に沿った断面の拡大斜視図である。FIG. 9 is an enlarged perspective view of a cross section taken along line VV of the plunger shown in FIG. 8. 図５に示したプローブの第１変形例を説明する図である。It is a figure explaining the 1st modification of the probe shown in FIG. 図５に示したプローブの第２変形例を説明する図である。It is a figure explaining the 2nd modification of the probe shown in FIG. 多極コネクタと測定用コネクタとの間での嵌合状態を模式的に説明する断面図である。It is sectional drawing which illustrates typically the fitting state between a multipolar connector and a measurement connector.

以下、この考案に係る、複数の内部端子６ｂを有する多極コネクタ６を測定するためのプローブ１の実施形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an embodiment of a probe 1 for measuring a multipolar connector 6 having a plurality of internal terminals 6b according to the present invention will be described with reference to the drawings.

〔第１実施形態〕
図１〜図４および図１４を参照しながら、第１実施形態に係るプローブ１を説明する。図１は、この考案の第１実施形態に係るプローブ１の斜視図である。図２は、図１に示したプローブ１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面の斜視図である。図３は、図２の要部を拡大した断面図である。図４は、プランジャが後退している状態を説明する、要部を拡大した断面図である。図１４は、多極コネクタ６と測定用コネクタ６０との間での嵌合状態を模式的に説明する断面図である。 [First Embodiment]
The probe 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4 and 14. FIG. 1 is a perspective view of a probe 1 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a cross section taken along line II-II of the probe 1 shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part for explaining a state where the plunger is retracted. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically illustrating a fitted state between the multipolar connector 6 and the measurement connector 60.

図１〜図４に示すように、プローブ１は、フランジ１０と、プランジャ２０と、実装基板３０と、測定用コネクタ６０と、フレキシブル基板４１とを備える。 As shown in FIGS. 1 to 4, the probe 1 includes a flange 10, a plunger 20, a mounting substrate 30, a measuring connector 60, and a flexible substrate 41.

フランジ１０は、プローブ１を、図示しないコネクタ測定用装置に取り付けるための部材である。フランジ１０は、例えば矩形状をした平板体である。フランジ１０は、金属材料、例えばステンレス鋼で構成される。フランジ１０には、軸方向に延在する第１貫通孔１２および収容穴１８がそれぞれ形成されている。第１貫通孔１２は、フレキシブル基板（伝送路）４１を通すための貫通孔である。収容穴１８は、プランジャネジ２７と螺合する雌ネジ部と、コイルバネ１９を収容する収容部とを有する。フランジ１０には、例えば２つの収容穴１８が設けられている。プランジャ２０には、雌ネジ孔が形成されている。なお、フランジ１０の形状は、矩形状だけでなく、長円状、あるいは、矩形状と円弧状を組み合わせた形状でもよい。 The flange 10 is a member for mounting the probe 1 on a connector measuring device (not shown). The flange 10 is, for example, a rectangular flat plate body. The flange 10 is made of a metal material such as stainless steel. The flange 10 is formed with a first through hole 12 and a housing hole 18 that extend in the axial direction. The first through hole 12 is a through hole for passing the flexible substrate (transmission path) 41. The housing hole 18 has a female screw portion that is screwed into the plunger screw 27, and a housing portion that houses the coil spring 19. The flange 10 is provided with, for example, two accommodation holes 18. A female screw hole is formed in the plunger 20. The shape of the flange 10 is not limited to a rectangular shape, but may be an elliptical shape, or a combination of a rectangular shape and an arc shape.

プランジャ２０は、測定用コネクタ６０をフランジ１０に対して弾性的に進退可能に保持するための部材である。これにより、プランジャ２０に取り付けられた実装基板３０に実装された測定用コネクタ６０は、弾性部材であるコイルバネ１９によって軸方向に弾性的に進退可能になる。言い換えると、コイルバネ１９は、フランジ１０に対して測定用コネクタ６０を付勢している。プランジャ２０は、例えば矩形状をした平板体である。プランジャ２０は、金属材料、例えばステンレス鋼で構成される。プランジャ２０には、軸方向に延在する第２貫通孔２２およびネジ挿入孔２４がそれぞれ形成されている。第２貫通孔２２は、フレキシブル基板（伝送路）４１を通すための貫通孔である。これにより、フレキシブル基板（伝送路）４１の長さが短くなるので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 The plunger 20 is a member for elastically holding the measuring connector 60 with respect to the flange 10 so as to be able to move forward and backward. As a result, the measuring connector 60 mounted on the mounting substrate 30 mounted on the plunger 20 can be elastically advanced and retracted in the axial direction by the coil spring 19 which is an elastic member. In other words, the coil spring 19 biases the measurement connector 60 against the flange 10. The plunger 20 is, for example, a flat plate having a rectangular shape. The plunger 20 is made of a metal material such as stainless steel. The plunger 20 is formed with a second through hole 22 and a screw insertion hole 24 that extend in the axial direction. The second through hole 22 is a through hole for passing the flexible substrate (transmission path) 41. As a result, the length of the flexible substrate (transmission path) 41 is shortened, so that the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be accurately measured.

ネジ挿入孔２４は、プランジャネジ２７のネジ部を挿通する貫通穴部と、プランジャネジ２７のヘッド部２８と係合するテーパー部２６とを有する。プランジャネジ２７は、例えば、ヘッド部２８における上面が平らであって座面が円錐状になっている皿ネジである。プランジャネジ２７の雄ネジ部は、プランジャ２０の雌ネジ孔に螺合する。ネジ挿入孔２４は、軸方向において収容穴１８と一直線になる位置に設けられている。例えば２つのネジ挿入孔２４が、プランジャ２０に設けられている。テーパー部２６は、フランジ１０の反対側に向けて末広がりに拡径している。 The screw insertion hole 24 has a through hole portion through which the screw portion of the plunger screw 27 is inserted and a taper portion 26 that engages with the head portion 28 of the plunger screw 27. The plunger screw 27 is, for example, a flat head screw having a flat upper surface and a conical seat surface in the head portion 28. The male screw portion of the plunger screw 27 is screwed into the female screw hole of the plunger 20. The screw insertion hole 24 is provided at a position aligned with the accommodation hole 18 in the axial direction. For example, two screw insertion holes 24 are provided in the plunger 20. The taper portion 26 has a diameter that widens toward the opposite side of the flange 10.

コイルバネ１９は、プランジャネジ２７を挿通した状態で、フランジ１０とプランジャ２０との間に配設されている。コイルバネ１９は、軸方向に延在する螺旋状の弾性体である。２つのコイルバネ１９は、測定用コネクタ６０を平面視で囲むように周上に離間して配置されている。図２には、２つのコイルバネ１９が配置されているが、３つ以上のコイルバネ１９が、測定用コネクタ６０を平面視で囲むように周上に離間して配置されてもよい。これにより、測定用コネクタ６０が、片寄ること無く均等に進退することが可能になる。 The coil spring 19 is arranged between the flange 10 and the plunger 20 with the plunger screw 27 inserted therethrough. The coil spring 19 is a spiral elastic body extending in the axial direction. The two coil springs 19 are circumferentially spaced apart so as to surround the measuring connector 60 in a plan view. Although two coil springs 19 are arranged in FIG. 2, three or more coil springs 19 may be arranged on the circumference so as to surround the measuring connector 60 in a plan view. As a result, the measurement connector 60 can be moved back and forth evenly without deviation.

プランジャネジ２７の雄ネジ部は、フランジ１０の雌ネジ部に螺合してネジ止めされる。それとともに、プランジャネジ２７のヘッド部２８は、プランジャ２０のテーパー部２６に係合して当接している。このとき、プランジャ２０は、コイルバネ１９の軸方向の付勢力によって前進位置にある。 The male screw portion of the plunger screw 27 is screwed into the female screw portion of the flange 10 to be screwed. At the same time, the head portion 28 of the plunger screw 27 is engaged with and abuts on the tapered portion 26 of the plunger 20. At this time, the plunger 20 is in the forward movement position due to the axial biasing force of the coil spring 19.

プランジャ２０の下面には、実装基板３０が取り付けられている。例えば、基板取付ネジ３７が、実装基板３０の基板取付穴３６に挿通されて、プランジャ２０のネジ穴２５に螺合することによって、実装基板３０がプランジャ２０にネジ止めで取り付けられている。 A mounting substrate 30 is attached to the lower surface of the plunger 20. For example, the board mounting screw 37 is inserted into the board mounting hole 36 of the mounting board 30 and screwed into the screw hole 25 of the plunger 20, so that the mounting board 30 is mounted on the plunger 20 with screws.

実装基板３０は、電気絶縁性の絶縁基材の上面や下面や内部において、導体の配線が施された、いわゆるＰＣＢ（Printed Circuit Board）である。実装基板３０は、剛性を有する基板であり、例えば、ガラスエポキシ基板や、低温同時焼成セラミックス基板(LTCC)などである。これにより、実装基板３０における測定用コネクタ６０の位置が安定して、多極コネクタ６に対する測定用コネクタ６０の位置決めを精度良く行うことができる。 The mounting substrate 30 is a so-called PCB (Printed Circuit Board) in which conductor wiring is provided on the upper surface, lower surface, and inside of an electrically insulating insulating base material. The mounting substrate 30 is a substrate having rigidity, and is, for example, a glass epoxy substrate or a low temperature co-fired ceramics substrate (LTCC). As a result, the position of the measurement connector 60 on the mounting board 30 is stabilized, and the measurement connector 60 can be accurately positioned with respect to the multipolar connector 6.

実装基板３０の下面には、複数の（例えば３個の）下面側のランドが形成されている。下面側のランドを介して、測定用コネクタ６０が実装される。これにより、測定用コネクタ６０の設置が容易になり、測定用コネクタ６０の測定端子６２の引き出しが容易になる。 A plurality of (for example, three) lands on the lower surface side are formed on the lower surface of the mounting substrate 30. The measuring connector 60 is mounted via the land on the lower surface side. This facilitates installation of the measurement connector 60 and facilitates pulling out of the measurement terminal 62 of the measurement connector 60.

実装基板３０の上面には、複数の（例えば３個の）上面側のランドが形成されている。上面側のランドを介して、反対側コネクタ３３が実装されている。実装基板３０には、上面側のランドおよび下面側のランドを電気的に接続する接続導体、例えば、スルーホール（図示しない）が形成されている。測定用コネクタ６０および反対側コネクタ３３は、実装基板３０の下面側のランド、上面側のランドおよびスルーホールを介して、電気的に接続されている。測定用コネクタ６０および反対側コネクタ３３は、プランジャ２０の第２貫通孔２２に対応する場所に設けられている。 A plurality of (for example, three) lands on the upper surface side are formed on the upper surface of the mounting substrate 30. The opposite connector 33 is mounted via the land on the upper surface side. On the mounting substrate 30, connection conductors, for example, through holes (not shown) that electrically connect the lands on the upper surface side and the lands on the lower surface side are formed. The measuring connector 60 and the opposite connector 33 are electrically connected to each other through the land on the lower surface side of the mounting substrate 30, the land on the upper surface side, and the through hole. The measurement connector 60 and the opposite connector 33 are provided at locations corresponding to the second through holes 22 of the plunger 20.

図４に示すように、測定対象物である多極コネクタ６は、測定治具５に取り付けられている。多極コネクタ６は、樹脂などの第２絶縁性部材６ａと、第２絶縁性部材６ａに保持される複数の第２内部端子６ｂと、第２絶縁性部材６ａに保持されてグランドに接続される第２外部端子６ｃとを備える。第２内部端子６ｂは、測定対象となる内部端子である。 As shown in FIG. 4, the multipolar connector 6 that is the measurement target is attached to the measurement jig 5. The multi-pole connector 6 is held by the second insulating member 6a such as resin, a plurality of second internal terminals 6b held by the second insulating member 6a, and the second insulating member 6a and is connected to the ground. Second external terminal 6c. The second internal terminal 6b is an internal terminal to be measured.

測定用コネクタ６０は、例えば、多極コネクタ６に嵌合するための多極コネクタの構成を有する。多極コネクタ６が雄コネクタであれば、測定用コネクタ６０は雌コネクタであり、多極コネクタ６が雌コネクタであれば、測定用コネクタ６０は雄コネクタである。測定用コネクタ６０は、樹脂などの第１絶縁性部材６１と、第１絶縁性部材６１に保持される複数の第１内部端子６２と、第１絶縁性部材６１に保持されてグランドに接続される第１外部端子６３とを備える。これにより、それぞれが多極コネクタ構造を有する多極コネクタ６および測定用コネクタ６０の間での嵌合であるので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 The measurement connector 60 has, for example, a configuration of a multipolar connector for fitting with the multipolar connector 6. If the multipolar connector 6 is a male connector, the measuring connector 60 is a female connector, and if the multipolar connector 6 is a female connector, the measuring connector 60 is a male connector. The measurement connector 60 is held by the first insulating member 61 such as resin, a plurality of first internal terminals 62 held by the first insulating member 61, and the first insulating member 61, and is connected to the ground. And a first external terminal 63. Thereby, since the multi-pole connector 6 and the measurement connector 60 each have a multi-pole connector structure, the high-frequency characteristics of the multi-pole connector 6 can be accurately measured.

測定用コネクタ６０の第１外部端子６３と多極コネクタ６の第２外部端子６ｃとが嵌合する構成であってもよい。ここでいう嵌合とは、一方側に形成された凸部と、他方側に形成された凹部とがかみ合うような、いわゆるロック機構を有する強めの嵌合であってもよいし、一方側を他方側が平面的にこすれ合いながら挿入される弱めの嵌合であってもよい。ロック機構を有する強めの嵌合であれば、嵌合時のブレを抑制することができるので、特性をより精度良く測定できる。ロック機構を有しないで、擦れ合いながら挿入される弱めの嵌合であれば、コネクタの挿抜をスムーズに行うことができるので、より効率的に測定できる。なお、測定用コネクタ６０の第１内部端子（測定端子）６２と多極コネクタ６の第２内部端子（内部端子）６ｂとの間での嵌合も、同様に、強めの嵌合であってもよいし、弱めの嵌合であってもよい。 The configuration may be such that the first external terminal 63 of the measurement connector 60 and the second external terminal 6c of the multipolar connector 6 are fitted together. The fitting here may be a stronger fitting having a so-called locking mechanism in which a convex portion formed on one side and a concave portion formed on the other side are engaged with each other, or one side is fitted. It may be a weak fitting in which the other side is inserted while being rubbed in a plane. With a strong fitting having a lock mechanism, it is possible to suppress blurring at the time of fitting, so that the characteristics can be measured more accurately. If the connector is not fitted with a lock mechanism and is weakly fitted while being rubbed against each other, the connector can be smoothly inserted and removed, so that the measurement can be performed more efficiently. The fitting between the first internal terminal (measuring terminal) 62 of the measuring connector 60 and the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multi-pole connector 6 is similarly a strong fitting. Or a weaker fit may be used.

測定用コネクタ６０において、複数の第１内部端子６２のうち、所定数の（例えば３個の）第１内部端子６２が、測定端子６２として働く。測定用コネクタ６０の第１内部端子（測定端子）６２は、多極コネクタ６の第２内部端子６ｂに対して嵌合可能に構成されている。プローブ１による多極コネクタ６への接触位置が、多極コネクタ６における第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９（図１４に図示）に近づく。これにより、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。なお、図１４には、第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９に加えて、従来技術に係るプローブが接触することになる、第２内部端子（内部端子）６ｂの上面位置７を図示している。 In the measurement connector 60, a predetermined number (for example, three) of the first internal terminals 62 among the plurality of first internal terminals 62 function as the measurement terminals 62. The first internal terminal (measurement terminal) 62 of the measurement connector 60 is configured to be fittable with the second internal terminal 6b of the multipolar connector 6. The contact position of the probe 1 with the multipolar connector 6 approaches the fitting position 9 (shown in FIG. 14) of the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. Thereby, the high frequency characteristics of the multi-pole connector 6 can be measured accurately. In addition, in FIG. 14, in addition to the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b, the upper surface position 7 of the second internal terminal (internal terminal) 6b with which the probe according to the related art comes into contact. Is shown.

測定用コネクタ６０として、測定対象となる第２内部端子６ｂに対する嵌合だけを目的にした専用コネクタを用いることもできるし、多極コネクタ６に嵌合する相手方コネクタと同じ種類のコネクタを用いることができる。前者の場合、専用コネクタによる嵌合が、必ずしも、多極コネクタ６の相手方コネクタによる嵌合と同じにならないため、専用コネクタの測定端子が第２内部端子６ｂに嵌合しても、両者の接触位置が、第２内部端子６ｂにおける嵌合位置９から位置ずれすることもある。後者の場合、第１内部端子（測定端子）６２と嵌合する第２内部端子（内部端子）６ｂにおける接触位置が、多極コネクタ６における第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９と同じであり、多極コネクタ６の実際の使用態様に合致している。これにより、測定端子６２による接触位置と第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９との間での大きな位置ずれが解消されるので、多極コネクタ６の高周波特性をさらに精度良く測定できる。換言すれば、測定端子６２による接触位置と第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９との間での位置ずれを抑制することができるので、多極コネクタ６の高周波特性をさらに精度良く測定できる。 As the measuring connector 60, a dedicated connector only for fitting to the second internal terminal 6b to be measured can be used, or the same type of connector as the mating connector fitted to the multipolar connector 6 can be used. You can In the former case, the fitting by the dedicated connector is not necessarily the same as the fitting by the mating connector of the multipolar connector 6, so that even if the measurement terminal of the dedicated connector is fitted to the second internal terminal 6b, the contact between the two The position may deviate from the fitting position 9 in the second internal terminal 6b. In the latter case, the contact position of the second internal terminal (internal terminal) 6b that is fitted with the first internal terminal (measurement terminal) 62 is the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. And is consistent with the actual usage of the multipolar connector 6. This eliminates a large positional deviation between the contact position of the measurement terminal 62 and the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b, so that the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be measured with higher accuracy. it can. In other words, it is possible to suppress the positional deviation between the contact position of the measuring terminal 62 and the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b, so that the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be more accurate. It can be measured well.

測定用コネクタ６０の測定端子６２は、伝送路を介して、図示しない測定器（例えばネットワーク・アナライザ）に電気的に接続されている。測定用コネクタ６０から測定器への伝送路は、実装基板３０のスルーホール，反対側コネクタ３３およびフレキシブル基板４１などで構成されている。 The measuring terminal 62 of the measuring connector 60 is electrically connected to a measuring device (not shown) (for example, a network analyzer) via a transmission line. The transmission path from the measuring connector 60 to the measuring device is configured by the through hole of the mounting substrate 30, the opposite side connector 33, the flexible substrate 41, and the like.

反対側コネクタ３３は、実装基板３０において測定用コネクタ６０の反対側に設けられている。反対側コネクタ３３として、専用コネクタを用いることもできるが、測定用コネクタ６０と同じ種類のコネクタを用いることができる。これにより、測定システムで使用するコネクタが共通化されて、測定システムにおける部品点数を削減できる。反対側コネクタ３３は、樹脂などの第３絶縁性部材３３ａと、第３絶縁性部材３３ａに保持される複数の第３内部端子３３ｂと、第３絶縁性部材３３ａに保持されてグランドに接続される第３外部端子３３ｃとを備える。したがって、実装基板３０が、測定用コネクタ６０の反対側の面において、測定用コネクタ６０に電気的に接続された反対側コネクタ３３を有する。これにより、実装基板３０において測定用コネクタ６０の反対側に設けられた反対側コネクタ３３を通じて、測定信号を取り出すことができ、測定信号の取り出しが容易になる。 The opposite side connector 33 is provided on the opposite side of the measuring connector 60 on the mounting board 30. Although a dedicated connector can be used as the opposite side connector 33, the same type of connector as the measuring connector 60 can be used. As a result, the connectors used in the measurement system are standardized, and the number of parts in the measurement system can be reduced. The opposite side connector 33 is held by the third insulating member 33a such as resin, a plurality of third internal terminals 33b held by the third insulating member 33a, and the third insulating member 33a and is connected to the ground. And a third external terminal 33c. Therefore, the mounting substrate 30 has the opposite connector 33 electrically connected to the measuring connector 60 on the surface opposite to the measuring connector 60. Accordingly, the measurement signal can be taken out through the opposite side connector 33 provided on the opposite side of the measurement connector 60 on the mounting board 30, and the measurement signal can be taken out easily.

伝送路として働くフレキシブル基板４１は、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレートまたはＬＣＰ（Liquid Crystal Polymer）などの薄い樹脂フィルムに、プリント導体回路を形成した、いわゆるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）である。フレキシブル基板４１は、電気絶縁性のベースフィルムの上に接着層を形成し、その上に導体箔を形成した構造を有していてもよいし、導体パターンを形成したベースフィルム同士を一括して積層することで接着剤を介さずに接合した積層構造を有していてもよい。フレキシブル基板４１は、柔軟性を有するので、例えば、クランク状に折り曲げ可能である。フレキシブル基板４１は、第２貫通孔２２および第１貫通孔１２に沿って軸方向に延在したあと、約９０度の角度で屈曲して、軸直交方向に延在している。伝送路として働くフレキシブル基板４１が柔軟性を有するので、伝送路の配置が制約されにくくなる。 The flexible substrate 41 serving as a transmission line is a so-called FPC (Flexible Printed Circuit) in which a printed conductor circuit is formed on a thin resin film such as polyimide, polyethylene terephthalate, or LCP (Liquid Crystal Polymer). The flexible substrate 41 may have a structure in which an adhesive layer is formed on an electrically insulating base film and a conductor foil is formed on the adhesive layer, or the base films having conductor patterns are collectively formed. It may have a layered structure in which the layers are joined together without an adhesive agent. Since the flexible substrate 41 has flexibility, it can be bent into a crank shape, for example. The flexible substrate 41 extends in the axial direction along the second through hole 22 and the first through hole 12, then bends at an angle of about 90 degrees and extends in the axis orthogonal direction. Since the flexible substrate 41 serving as a transmission line has flexibility, the arrangement of the transmission line is less likely to be restricted.

フレキシブル基板４１は、一端に接続コネクタ４３を有するとともに、他端に複数の（例えば３個の）同軸コネクタ４２を有する。同軸コネクタ４２に対して、図示しない同軸ケーブルが接続されて、当該同軸ケーブルは、図示しない測定器（例えばネットワーク・アナライザ）に接続される。プローブ１は、複数の（例えば３個の）第１内部端子（測定端子）６２によって、多極コネクタ６に設けられた複数の（例えば３個の）第２内部端子（内部端子）６ｂを同時に測定することができる。 The flexible substrate 41 has a connection connector 43 at one end and a plurality of (for example, three) coaxial connectors 42 at the other end. A coaxial cable (not shown) is connected to the coaxial connector 42, and the coaxial cable is connected to a measuring device (not shown) (for example, a network analyzer). The probe 1 uses a plurality of (for example, three) first internal terminals (measurement terminals) 62 to simultaneously provide a plurality of (for example, three) second internal terminals (internal terminals) 6b provided in the multipolar connector 6. Can be measured.

フレキシブル基板４１の接続コネクタ４３は、実装基板３０の反対側コネクタ３３に嵌合するように構成されている。接続コネクタ４３として、専用コネクタを用いることもできるが、多極コネクタ６と同じ種類のコネクタを用いることができる。これにより、測定システムで使用するコネクタが共通化されて、測定システムにおける部品点数を削減できる。接続コネクタ４３は、樹脂などの第４絶縁性部材４３ａと、第４絶縁性部材４３ａに保持される複数の第４内部端子４３ｂと、第４絶縁性部材４３ａに保持されてグランドに接続される第４外部端子４３ｃとを備える。 The connection connector 43 of the flexible substrate 41 is configured to fit into the connector 33 on the opposite side of the mounting substrate 30. A dedicated connector can be used as the connection connector 43, but a connector of the same type as the multipolar connector 6 can be used. As a result, the connectors used in the measurement system are standardized, and the number of parts in the measurement system can be reduced. The connection connector 43 is held by the fourth insulating member 43a and is connected to the ground by a fourth insulating member 43a such as resin, a plurality of fourth internal terminals 43b held by the fourth insulating member 43a. And a fourth external terminal 43c.

図４に示すように、プランジャ２０がコイルバネ１９を圧縮する方向に移動するとき、プランジャ２０がフランジ１０に近づいて後退位置に位置する。しかしながら、プランジャネジ２７がフランジ１０にネジ止めで固定されているので、プランジャネジ２７の位置は、変化しない。したがって、プランジャ２０が後退位置にあるとき、ヘッド部２８およびテーパー部２６との間には隙間３２が形成される。そして、ヘッド部２８およびテーパー部２６における係合および当接が解除されるので、プランジャ２０は、軸方向に直交する平面において自由に動くことが可能になる。これにより、プランジャ２０が、ひいては、測定用コネクタ６０が、軸方向に直交する平面において変位できる。後退位置においては、測定用コネクタ６０が多極コネクタ６の位置に対応して変位可能であるので、多極コネクタ６に対する測定用コネクタ６０の位置決めを精度良く行うことができる。 As shown in FIG. 4, when the plunger 20 moves in the direction of compressing the coil spring 19, the plunger 20 approaches the flange 10 and is located at the retracted position. However, since the plunger screw 27 is fixed to the flange 10 by screwing, the position of the plunger screw 27 does not change. Therefore, when the plunger 20 is in the retracted position, a gap 32 is formed between the head portion 28 and the taper portion 26. Then, the engagement and abutment of the head portion 28 and the taper portion 26 are released, so that the plunger 20 can freely move in a plane orthogonal to the axial direction. This allows the plunger 20, and thus the measuring connector 60, to be displaced in a plane orthogonal to the axial direction. In the retracted position, the measuring connector 60 can be displaced corresponding to the position of the multipolar connector 6, so that the measuring connector 60 can be accurately positioned with respect to the multipolar connector 6.

したがって、上記構成によれば、測定用コネクタ６０が、多極コネクタ６の第２内部端子（内部端子）６ｂに対して嵌合可能に構成された第１内部端子（測定端子）６２を有することによって、プローブ１による接触位置が第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９に近づくので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 Therefore, according to the above configuration, the measurement connector 60 has the first internal terminal (measurement terminal) 62 configured to be capable of being fitted to the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. As a result, the contact position of the probe 1 approaches the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b, so that the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be measured accurately.

〔第２実施形態〕
図５〜図１１を参照しながら、第２実施形態に係るプローブ１を説明する。図５は、この考案の第２実施形態に係るプローブ１の斜視図である。図６は、図５に示したプローブ１の分解斜視図である。図７は、図５の要部拡大図である。図８は、図７に示したプローブ１においてプランジャ２０と実装基板３０との関係を説明する斜視図である。図９は、図８に示した実装基板３０の拡大図である。図１０は、実装基板３０と測定用コネクタ６０との関係を説明する斜視図である。図１１は、図８に示したプランジャ２０のＶ−Ｖ線に沿った断面の拡大斜視図である。 [Second Embodiment]
The probe 1 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 5 to 11. FIG. 5 is a perspective view of the probe 1 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 6 is an exploded perspective view of the probe 1 shown in FIG. FIG. 7 is an enlarged view of a main part of FIG. FIG. 8 is a perspective view for explaining the relationship between the plunger 20 and the mounting board 30 in the probe 1 shown in FIG. FIG. 9 is an enlarged view of the mounting board 30 shown in FIG. FIG. 10 is a perspective view illustrating the relationship between the mounting board 30 and the measurement connector 60. FIG. 11 is an enlarged perspective view of the cross section of the plunger 20 shown in FIG. 8 along the line V-V.

図５〜図１１に示すように、プローブ１は、フランジ１０と、プランジャ２０と、実装基板３０と、測定用コネクタ６０と、同軸ケーブル７０とを備える。 As shown in FIGS. 5 to 11, the probe 1 includes a flange 10, a plunger 20, a mounting substrate 30, a measurement connector 60, and a coaxial cable 70.

フランジ１０は、プローブ１を、図示しないコネクタ測定用治具に取り付けるための部材である。フランジ１０は、例えば矩形状をした平板体である。フランジ１０は、金属材料、例えばステンレス鋼で構成される。フランジ１０には、軸方向に延在する第１貫通孔１２が形成されている。第１貫通孔１２は、円筒状のケーブル挿入体１７を介して複数の同軸ケーブル（伝送路）７０を通すための貫通孔である。これにより、伝送路において信号線路として働く芯線７１が、個別の外導体７３に覆われる(つまり、個別の同軸構造を有する)ので、複数の信号線路のアイソレーションが向上し、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。なお、フランジ１０の形状は、矩形状だけでなく、長円状、あるいは、矩形状と円弧状を組み合わせた形状でもよい。 The flange 10 is a member for attaching the probe 1 to a connector measuring jig (not shown). The flange 10 is, for example, a rectangular flat plate body. The flange 10 is made of a metal material such as stainless steel. The flange 10 has a first through hole 12 extending in the axial direction. The first through hole 12 is a through hole for passing a plurality of coaxial cables (transmission lines) 70 through the cylindrical cable insert 17. As a result, the core wire 71 that functions as a signal line in the transmission path is covered with the individual outer conductors 73 (that is, has an individual coaxial structure), so that the isolation of the plurality of signal lines is improved, and the multipole connector 6 has the same structure. High frequency characteristics can be measured accurately. The shape of the flange 10 is not limited to a rectangular shape, but may be an elliptical shape, or a combination of a rectangular shape and an arc shape.

プランジャ２０は、測定用コネクタ６０をフランジ１０に対して弾性的に進退可能に保持するための部材である。これにより、プランジャ２０に取り付けられた実装基板３０に実装された測定用コネクタ６０は、弾性部材であるコイルバネ１９によって軸方向に弾性的に進退可能になる。言い換えると、コイルバネ１９は、フランジ１０に対して測定用コネクタ６０を付勢している。プランジャ２０は、金属材料、例えばステンレス鋼で構成されるブロック体である。プランジャ２０には、それぞれが軸方向に延在する、複数の（例えば、６個の）バレル挿入孔２１および複数の（例えば、４個の）ネジ穴２５が形成されている。バレル挿入孔２１は、バレル８４を挿入するための貫通孔である。ネジ穴２５は、基板取付ネジ３７のネジ部と螺合する雌ネジである。 The plunger 20 is a member for elastically holding the measuring connector 60 with respect to the flange 10 so as to be able to move forward and backward. As a result, the measuring connector 60 mounted on the mounting substrate 30 mounted on the plunger 20 can be elastically advanced and retracted in the axial direction by the coil spring 19 which is an elastic member. In other words, the coil spring 19 biases the measurement connector 60 against the flange 10. The plunger 20 is a block body made of a metal material such as stainless steel. Plunger 20 has a plurality of (for example, 6) barrel insertion holes 21 and a plurality of (for example, 4) screw holes 25, each of which extends in the axial direction. The barrel insertion hole 21 is a through hole for inserting the barrel 84. The screw hole 25 is a female screw that is screwed into the screw portion of the board mounting screw 37.

コイルバネ１９は、ケーブル挿入体１７を挿通した状態で、フランジ１０と、スペーサ１５を介したプランジャ２０との間に配設されている。コイルバネ１９は、軸方向に延在する螺旋状の弾性体である。コイルバネ１９は、測定端子６２に接続される同軸ケーブル（伝送路）７０を平面視で連続的に囲むように配置されている。これにより、測定用コネクタ６０が、片寄ること無く均等に進退することが可能になる。 The coil spring 19 is arranged between the flange 10 and the plunger 20 via the spacer 15 in a state in which the cable insert 17 is inserted. The coil spring 19 is a spiral elastic body extending in the axial direction. The coil spring 19 is arranged so as to continuously surround the coaxial cable (transmission path) 70 connected to the measurement terminal 62 in a plan view. As a result, the measurement connector 60 can be moved back and forth evenly without deviation.

コイルバネ１９の一端は、第１貫通孔１２の中で係止される。それとともに、コイルバネ１９の他端は、スペーサ１５の端面に当接している。このとき、プランジャ２０は、コイルバネ１９の軸方向の付勢力によって前進位置に位置する。プランジャ２０をフランジ１０に向けて動かすと、コイルバネ１９が圧縮されるとともに、プランジャ２０は、後退位置に位置する。したがって、プランジャ２０は、フランジ１０に対して弾性的に進退可能である。 One end of the coil spring 19 is locked in the first through hole 12. At the same time, the other end of the coil spring 19 is in contact with the end surface of the spacer 15. At this time, the plunger 20 is positioned at the forward position by the urging force of the coil spring 19 in the axial direction. When the plunger 20 is moved toward the flange 10, the coil spring 19 is compressed and the plunger 20 is located at the retracted position. Therefore, the plunger 20 can elastically advance and retract with respect to the flange 10.

プランジャ２０の下面には、実装基板３０が取り付けられている。例えば、基板取付ネジ３７が、実装基板３０の基板取付穴３６に挿通されて、プランジャ２０のネジ穴２５に螺合することによって、実装基板３０がプランジャ２０にネジ止めで取り付けられる。 A mounting substrate 30 is attached to the lower surface of the plunger 20. For example, the board mounting screw 37 is inserted into the board mounting hole 36 of the mounting board 30 and screwed into the screw hole 25 of the plunger 20, so that the mounting board 30 is mounted on the plunger 20 with screws.

図９に示すように、実装基板３０の下面（実装面）には、複数の（例えば２２個の）接続ランド３４が形成されている。接続ランド３４を介して、測定用コネクタ６０が、実装基板３０の下面（実装面）に実装されている。図１０に示すように、実装基板３０の上面（実装面の反対側の面）には、複数の（例えば６個の）接続パッド３１が形成されている。図９に示すスプリングピン８０の可動ピン８５が、接続パッド３１に対して弾性的に当接する。これにより、スプリングピン８０および接続パッド３１が、電気的に接続されている。実装基板３０には、接続ランド３４および接続パッド３１を電気的に接続するスルーホール（図示しない）が形成されている。これにより、測定用コネクタ６０およびスプリングピン８０は、実装基板３０の接続ランド３４、接続パッド３１およびスルーホールを介して、電気的に接続されている。 As shown in FIG. 9, a plurality of (for example, 22) connection lands 34 are formed on the lower surface (mounting surface) of the mounting substrate 30. The measurement connector 60 is mounted on the lower surface (mounting surface) of the mounting board 30 via the connection lands 34. As shown in FIG. 10, a plurality of (for example, six) connection pads 31 are formed on the upper surface of the mounting substrate 30 (the surface opposite to the mounting surface). The movable pin 85 of the spring pin 80 shown in FIG. 9 elastically contacts the connection pad 31. As a result, the spring pin 80 and the connection pad 31 are electrically connected. Through holes (not shown) for electrically connecting the connection lands 34 and the connection pads 31 are formed in the mounting substrate 30. As a result, the measurement connector 60 and the spring pin 80 are electrically connected to each other via the connection land 34, the connection pad 31, and the through hole of the mounting board 30.

測定用コネクタ６０は、多極コネクタ（図示しない）に嵌合するように構成されている。多極コネクタが雄コネクタであれば、測定用コネクタ６０は雌コネクタであり、多極コネクタが雌コネクタであれば、測定用コネクタ６０は雄コネクタである。図８に示すように、測定用コネクタ６０は、樹脂などの第１絶縁性部材６１と、第１絶縁性部材６１に保持される複数の第１内部端子６２と、第１絶縁性部材６１に保持されてグランドに接続される第１外部端子６３とを備える。 The measuring connector 60 is configured to fit into a multipolar connector (not shown). If the multipolar connector is a male connector, the measuring connector 60 is a female connector, and if the multipolar connector is a female connector, the measuring connector 60 is a male connector. As shown in FIG. 8, the measurement connector 60 includes a first insulating member 61 such as a resin, a plurality of first internal terminals 62 held by the first insulating member 61, and a first insulating member 61. And a first external terminal 63 that is held and connected to the ground.

測定用コネクタ６０において、複数の第１内部端子６２のうち、所定数の（例えば６個の）第１内部端子６２が、測定端子６２として働く。測定用コネクタ６０の第１内部端子（測定端子）６２は、多極コネクタ６の第２内部端子（内部端子）６ｂに対して嵌合可能に構成されている。プローブ１による多極コネクタ６への接触位置が、多極コネクタ６における第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９に近づく。これにより、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 In the measurement connector 60, a predetermined number (for example, 6) of the first internal terminals 62 among the plurality of first internal terminals 62 function as the measurement terminals 62. The first internal terminal (measuring terminal) 62 of the measuring connector 60 is configured to be fittable with the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. The contact position of the probe 1 with the multipolar connector 6 approaches the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. Thereby, the high frequency characteristics of the multi-pole connector 6 can be measured accurately.

測定用コネクタ６０として、測定対象となる第２内部端子６ｂに対する嵌合だけを目的にした専用コネクタを用いることもできし、多極コネクタ６に嵌合する相手方コネクタと同じ種類のコネクタを用いることができる。前者の場合、専用コネクタによる嵌合が、必ずしも、多極コネクタ６の相手方コネクタによる嵌合と同じにならないため、専用コネクタの測定端子が第２内部端子６ｂに嵌合しても、両者の接触位置が、第２内部端子６ｂにおける嵌合位置９から位置ずれすることもある。後者の場合、第１内部端子（測定端子）６２と嵌合する第２内部端子（内部端子）６ｂにおける接触位置が、多極コネクタ６における第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９と同じであり、多極コネクタ６の実際の使用態様に合致している。これにより、測定端子６２による接触位置と第２内部端子（内部端子）６ｂの嵌合位置９との間での大きな位置ずれが解消されるので、多極コネクタ６の高周波特性をさらに精度良く測定できる。 As the measuring connector 60, a dedicated connector only for fitting to the second internal terminal 6b to be measured can be used, and the same type of connector as the mating connector fitted to the multipolar connector 6 can be used. You can In the former case, the fitting by the dedicated connector is not necessarily the same as the fitting by the mating connector of the multipolar connector 6, so that even if the measurement terminal of the dedicated connector is fitted to the second internal terminal 6b, the contact between the two The position may deviate from the fitting position 9 in the second internal terminal 6b. In the latter case, the contact position of the second internal terminal (internal terminal) 6b that is fitted with the first internal terminal (measurement terminal) 62 is the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b of the multipolar connector 6. And is consistent with the actual usage of the multipolar connector 6. This eliminates a large positional deviation between the contact position of the measurement terminal 62 and the fitting position 9 of the second internal terminal (internal terminal) 6b, so that the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be measured with higher accuracy. it can.

測定用コネクタ６０の測定端子６２は、伝送路を介して、図示しない測定器（例えばネットワーク・アナライザ）に電気的に接続されている。測定用コネクタ６０から測定器への伝送路は、実装基板３０のスルーホール、スプリングピン８０、同軸ケーブル７０およびＳＭＡコネクタ９０などで構成されている。 The measuring terminal 62 of the measuring connector 60 is electrically connected to a measuring device (not shown) (for example, a network analyzer) via a transmission line. The transmission path from the measuring connector 60 to the measuring device is configured by the through hole of the mounting substrate 30, the spring pin 80, the coaxial cable 70, the SMA connector 90, and the like.

バレル８４が、例えば、バレル挿入孔２１の中に圧入・固定されている。バレル８４においては、スプリングピン８０が、先端ブッシング８２および基端ブッシング８３によって支持されている。スプリングピン８０は、ポゴピンまたはコンタクトプローブと言われており、可動ピン８５、チューブおよびスプリングから構成されている。スプリングピン８０の可動ピン８５は、軸方向に弾性的に進退可能に構成されており、プランジャ２０の下面よりも僅かに突出している。 The barrel 84 is press-fitted/fixed in the barrel insertion hole 21, for example. In the barrel 84, the spring pin 80 is supported by the tip bushing 82 and the base bushing 83. The spring pin 80 is called a pogo pin or a contact probe, and is composed of a movable pin 85, a tube and a spring. The movable pin 85 of the spring pin 80 is configured to be elastically advanceable and retractable in the axial direction, and slightly protrudes from the lower surface of the plunger 20.

伝送路として働く同軸ケーブル７０は、導電性の芯線７１と、芯線７１を覆う電気絶縁性の絶縁体７２と、絶縁体７２を覆う外導体７３と、外導体７３を覆う電気絶縁性の外皮７４とを有する。スプリングピン８０のチューブの基端部が、中央ソケット８６を介して、同軸ケーブル７０の芯線７１に対して電気的に接続されている。伝送路として働く同軸ケーブル７０が柔軟性を有するので、伝送路の配置が制約されにくくなる。 The coaxial cable 70 serving as a transmission line includes a conductive core wire 71, an electrically insulating insulator 72 that covers the core wire 71, an outer conductor 73 that covers the insulator 72, and an electrically insulating outer skin 74 that covers the outer conductor 73. Have and. The proximal end portion of the tube of the spring pin 80 is electrically connected to the core wire 71 of the coaxial cable 70 via the central socket 86. Since the coaxial cable 70 that functions as a transmission line has flexibility, the arrangement of the transmission line is less likely to be restricted.

図６に示すように、複数のバレル８４の基端部は、バレル支持板１６によって、束ねられるとともに支持されている。図５に示すように、同軸ケーブル７０におけるスプリングピン８０の反対側には、ＳＭＡコネクタ９０が配設されている。当該ＳＭＡコネクタ９０は、図示しない測定器（例えばネットワーク・アナライザ）に接続される。プローブ１は、複数の（例えば６個の）第１内部端子（測定端子）６２によって、多極コネクタ６に設けられた複数の（例えば６個の）第２内部端子（内部端子）６ｂを同時に測定できる。 As shown in FIG. 6, the base ends of the plurality of barrels 84 are bundled and supported by the barrel support plate 16. As shown in FIG. 5, an SMA connector 90 is arranged on the side of the coaxial cable 70 opposite to the spring pin 80. The SMA connector 90 is connected to a measuring device (not shown) (for example, a network analyzer). The probe 1 uses a plurality of (eg, six) first internal terminals (measurement terminals) 62 to simultaneously provide a plurality of (eg, six) second internal terminals (internal terminals) 6 b provided in the multipolar connector 6. Can be measured.

〔第１変形例〕
図１２を参照しながら、第１変形例に係るプローブ１を説明する。図１２は、図５に示したプローブ１の第１変形例を説明する図である。 [First Modification]
The probe 1 according to the first modification will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a diagram illustrating a first modification of the probe 1 shown in FIG.

上記第２実施形態では、実装基板３０の四隅に設けられた基板取付穴３６と、プランジャ２０の四隅に設けられたネジ穴２５と位置合わせした状態で、４つの基板取付ネジ３７を用いて、実装基板３０をプランジャ２０に固定している。これに対して、図１２に示した第１変形例では、実装基板３０の左右の側部に設けられた基板取付穴３６と、プランジャ２０の左右の側部に設けられたネジ穴２５と位置合わせした状態で、２つの基板取付ネジ３７を用いて、実装基板３０をプランジャ２０に固定している。これにより、プランジャ２０に対する実装基板３０の取付構造の簡素化および実装基板３０の交換作業時間の短縮化が可能になる。 In the second embodiment, the four board mounting screws 37 are used while aligning the board mounting holes 36 provided at the four corners of the mounting board 30 with the screw holes 25 provided at the four corners of the plunger 20. The mounting substrate 30 is fixed to the plunger 20. On the other hand, in the first modified example shown in FIG. 12, the board mounting holes 36 provided on the left and right side portions of the mounting board 30 and the screw holes 25 provided on the left and right side portions of the plunger 20 are positioned. In the aligned state, the mounting substrate 30 is fixed to the plunger 20 using the two substrate mounting screws 37. As a result, the mounting structure of the mounting board 30 to the plunger 20 can be simplified and the time for replacing the mounting board 30 can be shortened.

〔第２変形例〕
図１３を参照しながら、第２変形例に係るプローブ１を説明する。図１３は、図５に示したプローブ１の第２変形例を説明する図である。 [Second Modification]
The probe 1 according to the second modification will be described with reference to FIG. 13. FIG. 13: is a figure explaining the 2nd modification of the probe 1 shown in FIG.

上記第１変形例では、実装基板３０およびプランジャ２０の各左右の側部において、２つの基板取付ネジ３７を用いて、実装基板３０をプランジャ２０に固定している。これに対して、図１３に示した第２変形例では、実装基板３０およびプランジャ２０の各上下の側部において、２つの基板取付ネジ３７を用いて、実装基板３０をプランジャ２０に固定している。これにより、プランジャ２０に対する実装基板３０の取付構造の簡素化および実装基板３０の交換作業時間の短縮化が可能になる。 In the first modified example, the mounting substrate 30 is fixed to the plunger 20 by using two substrate mounting screws 37 on each of the left and right side portions of the mounting substrate 30 and the plunger 20. On the other hand, in the second modified example shown in FIG. 13, the mounting board 30 is fixed to the plunger 20 using the two board mounting screws 37 on the upper and lower sides of the mounting board 30 and the plunger 20, respectively. There is. As a result, the mounting structure of the mounting board 30 to the plunger 20 can be simplified and the time for replacing the mounting board 30 can be shortened.

この考案の具体的な実施の形態について説明したが、この考案は、上記実施形態に限定されるものではなく、この考案の範囲内で種々変更して実施することができる。 Although specific embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be implemented within the scope of the present invention.

上記第１実施形態および第２実施形態においては、フレキシブル基板４１が、フランジ１０の第１貫通孔１２およびプランジャ２０の第２貫通孔２２を通して引き出されているが、他の態様によってフレキシブル基板４１を引き出すことができる。例えば、フランジ１０およびプランジャ２０の少なくとも一方において、軸直交方向（横方向）に延在する溝（図示しない）を形成して、当該溝を通じてフレキシブル基板４１を引き出すことができる。 In the above-described first and second embodiments, the flexible substrate 41 is drawn out through the first through hole 12 of the flange 10 and the second through hole 22 of the plunger 20, but the flexible substrate 41 may be formed by another mode. Can be withdrawn. For example, in at least one of the flange 10 and the plunger 20, a groove (not shown) extending in the direction orthogonal to the axis (lateral direction) can be formed, and the flexible substrate 41 can be pulled out through the groove.

反対側コネクタ３３、接続コネクタ４３および測定用コネクタ６０は、多極コネクタ６と、多極コネクタ６に嵌合する相手方コネクタとの中から適宜に選択することができる。また、測定用コネクタ６０は、いくつかの第１内部端子（測定端子）６２が測定対象の第２内部端子（内部端子）６ｂに対して嵌合するものの、それ以外の第１内部端子６２が測定対象外の第２内部端子６ｂには嵌合しないという部分的に嵌合可能に構成された態様にすることもできる。反対側コネクタ３３および接続コネクタ４３は、多極コネクタ６とは嵌合関係を有さない別異のコネクタである態様にすることもできる。 The opposite side connector 33, the connection connector 43, and the measuring connector 60 can be appropriately selected from the multipolar connector 6 and the mating connector that fits into the multipolar connector 6. Further, in the measurement connector 60, although some first internal terminals (measurement terminals) 62 are fitted to the second internal terminals (internal terminals) 6b to be measured, the other first internal terminals 62 are It is also possible to adopt a mode in which the second internal terminal 6b, which is not the object of measurement, is not fitted and is configured to be partially fittable. The opposite-side connector 33 and the connection connector 43 may be different connectors that do not have a fitting relationship with the multipolar connector 6.

この考案および実施形態をまとめると、次のようになる。 The idea and embodiments are summarized as follows.

この考案の一態様に係るプローブ１は、
複数の内部端子６ｂを有する多極コネクタ６を測定するためのプローブ１であって、
フランジ１０と、
前記内部端子６ｂに対して嵌合可能に構成された測定端子６２を複数個有する測定用コネクタ６０と、
前記測定用コネクタ６０を前記フランジ１０に対して進退可能に保持するプランジャ２０とを備えることを特徴とする。 A probe 1 according to one aspect of the present invention is
A probe 1 for measuring a multipolar connector 6 having a plurality of internal terminals 6b,
Flange 10,
A measuring connector 60 having a plurality of measuring terminals 62 configured to be fitted to the internal terminals 6b;
And a plunger 20 for holding the measuring connector 60 so as to be movable back and forth with respect to the flange 10.

上記構成によれば、測定用コネクタ６０が、多極コネクタ６の内部端子６ｂに対して嵌合可能に構成された測定端子６２を有することによって、プローブ１による接触位置が内部端子６ｂの嵌合位置９に近づくので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 According to the above configuration, the measurement connector 60 has the measurement terminal 62 configured to be capable of being fitted to the internal terminal 6b of the multipolar connector 6, so that the contact position of the probe 1 fits the internal terminal 6b. Since the position 9 is approached, the high frequency characteristics of the multipolar connector 6 can be measured accurately.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記フランジ１０に対して前記測定用コネクタ６０を付勢する複数の弾性部材１９が設けられている。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
A plurality of elastic members 19 that bias the measuring connector 60 against the flange 10 are provided.

上記実施形態によれば、測定用コネクタ６０が弾性的に進退可能になる。 According to the above-described embodiment, the measuring connector 60 can be elastically moved forward and backward.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記複数の弾性部材１９は、前記測定用コネクタ６０を平面視で囲むように周上に離間して配置されている。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The plurality of elastic members 19 are circumferentially spaced apart so as to surround the measurement connector 60 in a plan view.

上記実施形態によれば、測定用コネクタ６０が、片寄ること無く均等に進退することが可能になる。 According to the above-described embodiment, the measurement connector 60 can be moved back and forth evenly without deviation.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記フランジ１０に対して前記測定用コネクタ６０を付勢する弾性部材１９が設けられていて、前記弾性部材１９は、前記測定端子６２に接続される伝送路７０を平面視で囲むように配置されている。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
An elastic member 19 for urging the measuring connector 60 is provided to the flange 10, and the elastic member 19 is arranged so as to surround the transmission path 70 connected to the measuring terminal 62 in a plan view. ing.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記測定用コネクタ６０が、第１絶縁性部材６１と、前記第１絶縁性部材６１に保持されて前記測定端子６２として働く複数の第１内部端子６２と、前記第１絶縁性部材６１に保持されてグランドに接続される第１外部端子６３とを備える多極コネクタである。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The measurement connector 60 is held by a first insulating member 61, a plurality of first internal terminals 62 which are held by the first insulating member 61 and serve as the measuring terminals 62, and the first insulating member 61. And a first external terminal 63 connected to the ground.

上記実施形態によれば、それぞれが多極コネクタ構造を有する多極コネクタ６および測定用コネクタ６０の間での嵌合であるので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 According to the above-described embodiment, since the multi-pole connector 6 and the measurement connector 60 each have a multi-pole connector structure, the high-frequency characteristics of the multi-pole connector 6 can be accurately measured.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記測定用コネクタ６０が、前記プランジャ２０に取り付けられた実装基板３０に実装されている。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The measurement connector 60 is mounted on the mounting board 30 attached to the plunger 20.

上記実施形態によれば、測定用コネクタ６０の取付が容易になり、測定用コネクタ６０の測定端子６２の引き出しが容易になる。 According to the above-described embodiment, the measurement connector 60 can be easily attached, and the measurement terminal 62 of the measurement connector 60 can be easily pulled out.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記実装基板３０が、前記測定用コネクタ６０の反対側の面において、前記測定用コネクタ６０に電気的に接続された反対側コネクタ３３を有する。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The mounting board 30 has an opposite side connector 33 electrically connected to the measuring connector 60 on a surface opposite to the measuring connector 60.

上記実施形態によれば、実装基板３０において測定用コネクタ６０の反対側に設けられた反対側コネクタ３３を通じて、測定信号を取り出すことができ、測定信号の取り出しが容易になる。 According to the above-described embodiment, the measurement signal can be taken out through the opposite connector 33 provided on the opposite side of the measurement connector 60 on the mounting board 30, and the measurement signal can be taken out easily.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記実装基板３０が、剛性を有するプリント基板である。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The mounting board 30 is a printed board having rigidity.

上記実施形態によれば、実装基板３０における測定用コネクタ６０の位置が安定して、多極コネクタ６に対する測定用コネクタ６０の位置決めを精度良く行うことができる。 According to the above-described embodiment, the position of the measurement connector 60 on the mounting board 30 is stable, and the measurement connector 60 can be accurately positioned with respect to the multipolar connector 6.

また、一実施形態のプローブ１は、
前記測定端子６２に接続される伝送路として働くフレキシブル基板４１を有する。 In addition, the probe 1 of one embodiment is
It has a flexible substrate 41 that functions as a transmission line connected to the measurement terminal 62.

上記実施形態によれば、伝送路として働くフレキシブル基板４１が柔軟性を有するので、伝送路の配置が制約されにくくなる。 According to the above-described embodiment, since the flexible substrate 41 serving as the transmission line has flexibility, the arrangement of the transmission line is less likely to be restricted.

また、一実施形態のプローブ１は、
前記伝送路として働く同軸ケーブル７０を有する。 In addition, the probe 1 of one embodiment is
It has a coaxial cable 70 serving as the transmission line.

上記実施形態によれば、伝送路として働く同軸ケーブル７０が柔軟性を有するので、伝送路の配置が制約されにくくなる。 According to the above-mentioned embodiment, since the coaxial cable 70 serving as the transmission line has flexibility, the arrangement of the transmission line is less likely to be restricted.

また、一実施形態のプローブ１では、
前記フランジ１０および前記プランジャ２０には、前記伝送路を通すための貫通孔１２，２２が、それぞれ形成されている。 Moreover, in the probe 1 of one embodiment,
The flange 10 and the plunger 20 are respectively formed with through holes 12 and 22 for passing the transmission path.

上記実施形態によれば、伝送路４１，７０の長さが短くなるので、多極コネクタ６の高周波特性を精度良く測定できる。 According to the above-described embodiment, the lengths of the transmission lines 41 and 70 are shortened, so that the high frequency characteristics of the multi-pole connector 6 can be measured accurately.

この考案の別の局面に係るプローブ１は、
複数の測定端子６２と、前記複数の測定端子６２を保持する第１絶縁性部材６１と、前記第１絶縁性部材６１に保持されてグランドに接続される第１外部端子６３とを備え、多極コネクタとして構成される測定用コネクタ６０と、
前記測定用コネクタ６０が先端面に配設され、前記測定端子６２に電気的に接続される伝送路４１を通すための第２貫通孔２２を有するプランジャ２０と、
前記第２貫通孔２２と平面視で重なり、前記伝送路４１を通すための第１貫通孔１２を有するフランジ１０と、
前記フランジ１０に対して前記測定用コネクタ６０を付勢する複数の弾性部材１９とを備え、
前記複数の弾性部材１９は、前記測定用コネクタ６０を平面視で囲むように周上に離間して配置されていることを特徴とする。 A probe 1 according to another aspect of the present invention is
A plurality of measurement terminals 62, a first insulating member 61 holding the plurality of measurement terminals 62, and a first external terminal 63 held by the first insulating member 61 and connected to the ground, A measuring connector 60 configured as a pole connector,
The plunger 20 having the second through hole 22 through which the transmission connector 41 electrically connected to the measurement terminal 62 is provided, in which the measurement connector 60 is disposed on the tip end surface,
A flange 10 that overlaps the second through hole 22 in plan view and has a first through hole 12 for passing the transmission path 41;
A plurality of elastic members 19 for urging the measuring connector 60 against the flange 10,
The plurality of elastic members 19 are arranged on the circumference so as to surround the measuring connector 60 in a plan view.

上記構成によれば、測定端子６２による接触位置が測定端子６２の嵌合位置９に近づくとともに、測定用コネクタ６０が、片寄ること無く均等に弾性的に進退するので、測定対象物（多極コネクタ）６の高周波特性を精度良く測定できる。 According to the above configuration, the contact position of the measuring terminal 62 approaches the fitting position 9 of the measuring terminal 62, and the measuring connector 60 elastically advances and retracts uniformly without deviation, so that the object to be measured (multipolar connector) 6) The high frequency characteristics of 6 can be measured with high accuracy.

また、一実施形態のプローブ１は、
前記伝送路として働くフレキシブル基板４１を有する。 In addition, the probe 1 of one embodiment is
It has a flexible substrate 41 that functions as the transmission path.

上記実施形態によれば、伝送路が設けられているフレキシブル基板４１が柔軟性を有するので、伝送路の配置が制約されにくくなる。 According to the above-described embodiment, since the flexible substrate 41 provided with the transmission path has flexibility, the arrangement of the transmission path is less likely to be restricted.

この考案の別の局面に係るプローブ１は、
複数の測定端子６２と、前記複数の測定端子６２を保持する第１絶縁性部材６１と、前記第１絶縁性部材６１に保持されてグランドに接続される第１外部端子６３とを備え、多極コネクタとして構成される測定用コネクタ６０と、
前記測定用コネクタ６０が先端面に配設され、前記測定端子６２に電気的に接続される伝送路７０を通すための第２貫通孔２２を有するプランジャ２０と、
前記第２貫通孔２２と平面視で重なり、前記伝送路７０を通すための第１貫通孔１２を有するフランジ１０と、
前記フランジ１０に対して前記測定用コネクタ６０を付勢する弾性部材１９とを備え、
前記弾性部材１９は、前記伝送路７０を平面視で囲むように配置されていることを特徴とする。 A probe 1 according to another aspect of the present invention is
A plurality of measurement terminals 62, a first insulating member 61 holding the plurality of measurement terminals 62, and a first external terminal 63 held by the first insulating member 61 and connected to the ground, A measuring connector 60 configured as a pole connector,
A plunger 20 having the second through hole 22 through which the transmission connector 70 electrically connected to the measurement terminal 62 is provided, the plunger 20 having the measurement connector 60 disposed on the tip end surface;
A flange 10 that overlaps the second through hole 22 in plan view and has a first through hole 12 for passing the transmission path 70;
An elastic member 19 for urging the measuring connector 60 against the flange 10,
The elastic member 19 is arranged so as to surround the transmission path 70 in a plan view.

１：プローブ
５：測定治具
６：多極コネクタ（測定対象物）
６ａ：第２絶縁性部材
６ｂ：第２内部端子（内部端子）
６ｃ：第２外部端子
７：上面位置
９：嵌合位置
１０：フランジ
１２：第１貫通孔（貫通孔）
１５：スペーサ
１６：バレル支持板
１７：ケーブル挿入体
１８：収容穴
１９：コイルバネ（弾性部材）
２０：プランジャ
２１：バレル挿入孔
２２：第２貫通孔（貫通孔）
２４：ネジ挿入孔
２５：ネジ穴
２６：テーパー部
２７：プランジャネジ
２８：ヘッド部
３０：実装基板
３１：接続パッド
３２：隙間
３３：反対側コネクタ
３３ａ：第３絶縁性部材
３３ｂ：第３内部端子
３３ｃ：第３外部端子
３４：接続ランド
３６：基板取付穴
３７：基板取付ネジ
４１：フレキシブル基板（伝送路）
４２：同軸コネクタ
４３：接続コネクタ
４３ａ：第４絶縁性部材
４３ｂ：第４内部端子
４３ｃ：第４外部端子
６０：測定用コネクタ
６１：第１絶縁性部材
６２：第１内部端子（測定端子）
６３：第１外部端子
７０：同軸ケーブル（伝送路）
７１：芯線
７２：絶縁体
７３：外導体
７４：外皮
８０：スプリングピン
８２：先端ブッシング
８３：基端ブッシング
８４：バレル
８５：可動ピン
８６：中央ソケット
９０：ＳＭＡコネクタ 1: Probe 5: Measuring jig 6: Multipolar connector (measurement object)
6a: 2nd insulating member 6b: 2nd internal terminal (internal terminal)
6c: Second external terminal 7: Top surface position 9: Fitting position 10: Flange 12: First through hole (through hole)
15: Spacer 16: Barrel support plate 17: Cable insert 18: Storage hole 19: Coil spring (elastic member)
20: Plunger 21: Barrel insertion hole 22: Second through hole (through hole)
24: screw insertion hole 25: screw hole 26: taper part 27: plunger screw 28: head part 30: mounting board 31: connection pad 32: gap 33: opposite side connector 33a: third insulating member 33b: third internal terminal 33c: Third external terminal 34: Connection land 36: Board mounting hole 37: Board mounting screw 41: Flexible board (transmission line)
42: coaxial connector 43: connection connector 43a: fourth insulating member 43b: fourth internal terminal 43c: fourth external terminal 60: measurement connector 61: first insulating member 62: first internal terminal (measurement terminal)
63: First external terminal 70: Coaxial cable (transmission line)
71: Core wire 72: Insulator 73: Outer conductor 74: Outer skin 80: Spring pin 82: Tip bushing 83: Base end bushing 84: Barrel 85: Movable pin 86: Central socket 90: SMA connector

Claims

A probe for measuring a multi-pole connector having a plurality of internal terminals,
A flange,
A measurement connector having a plurality of measurement terminals configured to be fittable to the internal terminals,
A probe that holds the measurement connector so that the measurement connector can move back and forth with respect to the flange.

The probe according to claim 1, further comprising a plurality of elastic members that urge the measuring connector against the flange.

The probe according to claim 2, wherein the plurality of elastic members are circumferentially spaced from each other so as to surround the measurement connector in a plan view.

An elastic member for urging the measuring connector is provided to the flange, and the elastic member is arranged so as to surround a transmission path connected to the measuring terminal in a plan view. The probe described in.

The measurement connector is connected to a first insulating member, a plurality of first internal terminals held by the first insulating member and serving as the measurement terminals, and held by the first insulating member and grounded. The probe according to claim 1, which is a multipolar connector including a first external terminal.

The probe according to any one of claims 1 to 5, wherein the measurement connector is mounted on a mounting board mounted on the plunger.

The probe according to claim 6, wherein the mounting board has an opposite connector electrically connected to the measuring connector on a surface opposite to the measuring connector.

The probe according to claim 6 or 7, wherein the mounting board is a printed board having rigidity.

The probe according to claim 3, further comprising a flexible substrate that functions as a transmission line connected to the measurement terminal.

The probe according to claim 4, further comprising a coaxial cable serving as the transmission path.

The probe according to claim 9 or 10, wherein the flange and the plunger are respectively formed with through holes for passing the transmission path.

A plurality of measuring terminals, a first insulating member holding the plurality of measuring terminals, and a first external terminal held by the first insulating member and connected to the ground are configured as a multi-pole connector. Measuring connector,
A plunger having a second through hole through which a transmission path electrically connected to the measurement terminal is provided, the plunger for measurement being disposed on the tip end surface;
A flange that overlaps with the second through hole in plan view and has a first through hole for passing the transmission path;
A plurality of elastic members for urging the measuring connector with respect to the flange,
The probe, wherein the plurality of elastic members are circumferentially spaced apart so as to surround the measurement connector in a plan view.

The probe according to claim 12, further comprising a flexible substrate serving as the transmission path.

A plurality of measuring terminals, a first insulating member holding the plurality of measuring terminals, and a first external terminal held by the first insulating member and connected to the ground are configured as a multi-pole connector. Measuring connector,
A plunger having a second through hole through which a transmission path electrically connected to the measurement terminal is provided, the plunger for measurement being disposed on the tip end surface;
A flange that overlaps with the second through hole in plan view and has a first through hole for passing the transmission path;
An elastic member for urging the measuring connector with respect to the flange,
The probe is arranged such that the elastic member surrounds the transmission path in a plan view.

The probe according to claim 14, comprising a coaxial cable serving as the transmission line.