JP2022060893A - オキシムエステル系化合物の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】感度、密着性に優れたオキシムエステル系化合物及び感光性樹脂組成物の製造方法を提供する。【解決手段】アルコール溶剤の存在下、式（Ｉａ）の化合物から式（Ｉｂ）の化合物を生成する工程を含む製造方法。TIFF2022060893000050.tif1749（式（Ｉａ）中、Ａｒ１は、置換基を有していてもよい芳香族基を、Ｒ２ａは一価の有機基等を表す。）TIFF2022060893000051.tif2749（式（Ｉｂ）中、Ａｒ１は、式（Ｉａ）と同様であり、Ｒ２ｂは一価の有機基等を表す。）【選択図】なし
Description
本発明は、オキシムエステル系化合物の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法に関する。特に、高感度かつ高密着性に優れたオキシムエステル系化合物製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法に関する。特に、高感度で高密着なブラックマトリックス（Ｂｌａｃｋ Ｍａｔｒｉｘ。以下「ＢＭ」と略称することがある。）用のオキシムエステル系化合物の製造及び感光性樹脂組成物の製造に適している。
カラーフィルターは、通常、ガラス、プラスチック等の透明基板の表面に、黒色のブラックマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青等の３種以上の異なる色の画素を順次、格子状、ストライプ状またはモザイク状等のパターンで形成したものである。パターンサイズはカラーフィルターの用途並びにそれぞれの色により異なるが通常５～７００μｍ程度である。
カラーフィルターの代表的な製造方法として、現在、顔料分散法が知られている。顔料分散法によりカラーフィルターを製造する場合、まずカーボンブラック等の黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布した後に乾燥させ、更に画像露光、現像した後、２００℃以上の高温処理により硬化（キュア）させることでＢＭを形成する。これを赤、緑、青等の各色ごとに繰り返すことで画素を形成し、ＢＭ及び画素を有するカラーフィルターを形成する。
ＢＭは、赤、緑、青等の画素の間に格子状、ストライプ状またはモザイク状に配置するのが一般的であり、各画素間の混色抑制によるコントラスト向上あるいは光漏れを防止する役目がある。このため、ＢＭには高い遮光性が要求される。また、ＢＭ形成後に形成する赤、緑、青等の画素のエッジ部は、このＢＭと一部が重なるため、ＢＭの膜厚の影響を受けて、重なり部分で段差が形成される。この重なり部分では、画素の平坦性が損なわれ、液晶セルギャップの不均一化あるいは液晶の配向の乱れが発生して、表示能力低下の原因となる。そこで近年は特にＢＭの膜厚を薄膜化することが求められており、薄膜化した際でも十分な遮光性を発現するために、感光性樹脂組成物中における顔料含有割合はより高くなる方向にある。そのため、添加できる光重合開始剤の割合は減る方向であり、少量添加でも架橋度を維持できる高感度の開始剤が求められている。
一方で、露光後の現像においては残渣を無くすために現像時間は長めに設定するのが一般的であるが、これにより基板との界面部分のＢＭの溶解（差込み）が進行し、ラインパターンの剥離が起こりやすくなる。そのため、露光時の内部硬化性向上などの手段によりパターンの密着性が向上する開始剤が必要である。
こうした背景から、感度、密着性に優れた光重合開始剤の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法が求められている。例えば、特許文献１～２には光重合開始剤としてオキシムエステル系化合物の製造方法およびそれを用いた感光性樹脂組成物の製造方法が記載されている。
本発明者らが、特許文献１～２に記載の感光性樹脂組成物を用いてＢＭ評価を行ったところ、感度、密着性が十分ではないことが分かった。
そこで本発明は、感度、密着性に優れたオキシムエステル系化合物の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の製造方法を用いることにより、前記課題を解決できることを見出した。即ち本発明の要旨は以下に存する。
［１］ 下記一般式（Ｉ）で表される（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法であって、アルコール溶剤の存在下、下記一般式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から下記一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上であることを特徴とする（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
［２］ 前記Ａｒ１が、置換基を有していてもよいカルバゾリル基である、［１］に記載の（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
［３］ 前記Ｒ１が、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基または炭素数６～１８のアリール基であり、前記Ｒ２が下記一般式（ＩＩ）で表される、［１］または［２］に記載の（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
［４］ （ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物の製造方法であって、
前記（ｃ）光重合開始剤として、［１］～［３］のいずれかに記載の方法で製造された（ｃ１）オキシムエステル系化合物を配合する、感光性樹脂組成物の製造方法。
前記（ｃ）光重合開始剤として、［１］～［３］のいずれかに記載の方法で製造された（ｃ１）オキシムエステル系化合物を配合する、感光性樹脂組成物の製造方法。
［５］ さらに（ｄ）色材を含む、［４］に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
［６］ 前記（ｄ）色材がカーボンブラックである、［４］または［５］に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
［７］ 感光性樹脂組成物の全固形分に対する前記（ｄ）色材の含有割合が４０質量％以上である、［４］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
［６］ 前記（ｄ）色材がカーボンブラックである、［４］または［５］に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
［７］ 感光性樹脂組成物の全固形分に対する前記（ｄ）色材の含有割合が４０質量％以上である、［４］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
［８］ ［４］～［７］のいずれかに記載の感光性組成物を硬化させた硬化物の製造方法。
［９］［８］に記載の硬化物からなるブラックマトリックスの製造方法。
［１０］［９］に記載のブラックマトリックスを有する画像表示装置の製造方法。
［９］［８］に記載の硬化物からなるブラックマトリックスの製造方法。
［１０］［９］に記載のブラックマトリックスを有する画像表示装置の製造方法。
本発明によれば、感度、密着性に優れたオキシムエステル系化合物の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更して実施することができる。
なお、本発明において、「（メタ）アクリル」とは「アクリル及び／又はメタクリル」を意味し、「（メタ）アクリレート」、「（メタ）アクリロイル」についても同様である。
なお、本発明において、「（メタ）アクリル」とは「アクリル及び／又はメタクリル」を意味し、「（メタ）アクリレート」、「（メタ）アクリロイル」についても同様である。
本発明において「全固形分」とは、感光性樹脂組成物中又は後述するインク中に含まれる、溶剤以外の全成分を意味するものとする。
本発明において、重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）を指す。
また、本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表される値である。なお、測定方法については後述する。
本発明において、重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）を指す。
また、本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表される値である。なお、測定方法については後述する。
［感光性樹脂組成物］
本発明の方法で製造される感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー、（ｃ）光重合開始剤を含有し、（ｃ）光重合開始剤が、下記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル系化合物を含有する。
また、前記オキシムエステル系化合物が、アルコール溶剤の存在下、下記一般式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から下記一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上である、（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法で製造されることを特徴とする。
本発明の方法で製造される感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー、（ｃ）光重合開始剤を含有し、（ｃ）光重合開始剤が、下記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル系化合物を含有する。
また、前記オキシムエステル系化合物が、アルコール溶剤の存在下、下記一般式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から下記一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上である、（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法で製造されることを特徴とする。
本発明における感光性樹脂組成物は更に、（ｄ）色材、分散剤、チオール類、を含有していてもよく、必要に応じて、密着向上剤、塗布性向上剤、顔料誘導体、更に現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等の配合成分を含んでいてもよく、各配合成分が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用されることが好ましい。
まず、（ｃ）光重合開始剤について説明する。
＜（ｃ）光重合開始剤＞
本発明における（ｃ）光重合開始剤は、後述の（ｃ１）オキシムエステル系化合物を含有する。
本発明における（ｃ）光重合開始剤は、後述の（ｃ１）オキシムエステル系化合物を含有する。
＜（ｃ１）オキシムエステル系化合物＞
（ｃ１）オキシムエステル系化合物は、下記一般式（Ｉ）で表される光重合開始剤である。
（ｃ１）オキシムエステル系化合物は、下記一般式（Ｉ）で表される光重合開始剤である。
（Ｒ１）
前記式（Ｉ）におけるＲ１は、一価の有機基を表すが、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよい芳香族環基が好ましい。
Ｒ１におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよい。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常１以上であり、また好ましくは１２以下、より好ましくは６以下、さらに好ましくは３以下、特に好ましくは２以下ある。前記上限値以下とすることで、感度、密着性が高くなる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基が挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、メトキシ又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
前記式（Ｉ）におけるＲ１は、一価の有機基を表すが、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよい芳香族環基が好ましい。
Ｒ１におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよい。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常１以上であり、また好ましくは１２以下、より好ましくは６以下、さらに好ましくは３以下、特に好ましくは２以下ある。前記上限値以下とすることで、感度、密着性が高くなる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基が挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、メトキシ又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
Ｒ１における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。Ｒ１における芳香族環基は縮合環を含んでいてもよいが、該縮合環に含まれる環は２個以下であり、感度の観点から１個であることが好ましい。
芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、１２以下が好ましく、１０以下がより好ましく、８以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで保存安定性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感度が良好となる傾向がある。
芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、１２以下が好ましく、１０以下がより好ましく、８以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで保存安定性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感度が良好となる傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環の基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
これらの中でも感度の観点から、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、１個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
これらの中でも感度の観点から、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、１個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基が挙げられ、溶剤溶解性の観点から、メトキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
これらの中でも硬化性の観点から、Ｒ１は置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。
（Ｒ２）
前記式（Ｉ）におけるＲ２は、一価の有機基を表すが、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基または置換基を有していてもよい芳香族環基が好ましい。
Ｒ２におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよいが、溶剤溶解性の観点から直鎖状又は分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常１以上、好ましくは２以上、より好ましくは３以上、また、好ましくは１０以下、より好ましくは８以下、さらに好ましくは７以下、特に好ましくは６以下である。前記下限値以上とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、シクロペンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基が挙げられる。これらの中でも、感度と溶剤溶解性の両立の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましく、エチル基、プロピル基がより好ましく、プロピル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数６～１０の芳香族環基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、炭素数１～１０のアミノ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基が挙げられ、密着性の観点から、Ｎ－アセチル－Ｎ－アセトキシアミノ基が好ましい。
前記式（Ｉ）におけるＲ２は、一価の有機基を表すが、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基または置換基を有していてもよい芳香族環基が好ましい。
Ｒ２におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよいが、溶剤溶解性の観点から直鎖状又は分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常１以上、好ましくは２以上、より好ましくは３以上、また、好ましくは１０以下、より好ましくは８以下、さらに好ましくは７以下、特に好ましくは６以下である。前記下限値以上とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、シクロペンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基が挙げられる。これらの中でも、感度と溶剤溶解性の両立の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましく、エチル基、プロピル基がより好ましく、プロピル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数６～１０の芳香族環基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、炭素数１～１０のアミノ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基が挙げられ、密着性の観点から、Ｎ－アセチル－Ｎ－アセトキシアミノ基が好ましい。
Ｒ２における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。Ｒ２における芳香族環基は縮合環を含んでいてもよいが、該縮合環に含まれる環は２個以下であり、感度の観点から１個であることが好ましい。
芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、１２以下が好ましく、１０以下がより好ましく、８以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感度が良好となる傾向がある。
芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、１２以下が好ましく、１０以下がより好ましく、８以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感度が良好となる傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、１個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、１個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数１～３のアルコキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
これらの中でも感度の観点から、Ｒ２は置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、アミノ基で置換されたアルキル基であることがより好ましく、Ｎ－アセチル－Ｎ－アセトキシアミノプロピル基であることがさらに好ましい。
（Ａｒ１）
前記式（Ｉ）において、Ａｒ１は、置換基を有していてもよい芳香族基を表す。
Ａｒ１における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、２０以下が好ましく、１６以下がより好ましく、１４以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで感度が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。
前記式（Ｉ）において、Ａｒ１は、置換基を有していてもよい芳香族基を表す。
Ａｒ１における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、また、２０以下が好ましく、１６以下がより好ましく、１４以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで感度が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても２環以上の縮合環であってもよい、芳香族炭化水素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環、フルオレン環の基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、カルバゾール環、ベンゾカルバゾール環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、チオキサントン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても２環以下の縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、１個の遊離原子価を有する、カルバゾール環、ベンゾカルバゾール環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、２Ｈ－ピラン環、４Ｈ－チオピラン環、チオキサントン環、ピリジン環、１，３－オキサゾール環、イソオキサゾール環、１，３－チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、１，３，５－トリアジン環、ベンゾフラン環、２－ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、２－ベンゾチオフェン環、１Ｈ－ピロリジン環、インドール環、イソインドール環、インドリジン環、２Ｈ－１－ベンゾピラン環、１Ｈ－２－ベンゾピラン環、キノリン環、イソキノリン環、４Ｈ－キノリジン環、ベンゾイミダゾール環、１Ｈ－インダゾール環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、１，８－ナフチリジン環、プリン環、プテリジン環の基が挙げられる。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数１～１０のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキルチオ基、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基、置換基を有していてもよいフェニル基、置換基を有していてもよいフェノキシ基、置換基を有していてもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいフェニルカルボニル基、置換基を有してもよいナフチルカルボニル基が挙げられ、感度の観点から、置換基を有していてもよい置換基を有してもよいフェニルカルボニル基、置換基を有してもよいナフチルカルボニル基が好ましく、置換基を有してもよいナフチルカルボニル基が特に好ましい。
Ａｒ１における芳香族環基は縮合環を含んでいてもよいが、該縮合環に含まれる環は２個以下であり、感度の観点から２個であることが好ましい。
これらの中でもＡｒ１としては、感度の観点から、１価の遊離原子価を有する、置換基を有していてもよいカルバゾール環、置換基を有していてもよいインドール環、置換基を有していてもよいキノリン環、置換基を有していてもよいジフェニルスルフィド基が好ましく、１価の遊離原子価を有する、置換基を有していてもよいカルバゾール環がより好ましい。
前記式（Ｉ）で表されるオキシムエステル系化合物の製造方法においては、アルコール溶剤の存在下、下記式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から下記式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含むが、当該製造方法については、後述する。
（Ｒ２ａ及びＲ２ｂ）
前記式（Ｉａ）におけるＲ２ａ、及び前記式（Ｉｂ）におけるＲ２ｂは、それぞれ独立に、一価の有機基を表す。
Ｒ２ａ及びＲ２ｂの好ましい構造は、前記式（Ｉ）におけるＲ２の好ましい構造として記した構造と同一である。
これらの中でも、感度の点から、Ｒ２ａの特に好ましい構造は、プロペニル基であり、Ｒ２ｂの特に好ましい構造は、Ｎ－ヒドロキシアミノプロピル基である。
前記式（Ｉａ）におけるＲ２ａ、及び前記式（Ｉｂ）におけるＲ２ｂは、それぞれ独立に、一価の有機基を表す。
Ｒ２ａ及びＲ２ｂの好ましい構造は、前記式（Ｉ）におけるＲ２の好ましい構造として記した構造と同一である。
これらの中でも、感度の点から、Ｒ２ａの特に好ましい構造は、プロペニル基であり、Ｒ２ｂの特に好ましい構造は、Ｎ－ヒドロキシアミノプロピル基である。
前記（ｃ１）オキシムエステル系化合物の具体例としては、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。
上記（ｃ１）オキシムエステル系化合物は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい
（ｃ１）オキシムエステル系化合物中のアンチ体比率は、感度の観点から、好ましくは９３．７％以上、より好ましくは９３．９％以上、特に好ましくは９４．０％以上である。
＜その他の光重合開始剤＞
本発明における（ｃ）光重合開始剤は、感光性樹脂組成物の感度や内部硬化性等の性能を調整する目的で前記（ｃ１）オキシムエステル系化合物の他に、その他の光重合開始剤を含有していてもよい。
その他の光重合開始剤としては、例えば、ケトオキシムエステル系化合物、特開昭５９－１５２３９６号公報、特開昭６１－１５１１９７号各公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物；特開２０００－５６１１８号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体；特開平１０－３９５０３号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル－ｓ－トリアジン誘導体、Ｎ－フェニルグリシン等のＮ－アリール－α－アミノ酸類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸塩類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤が挙げられる。
本発明における（ｃ）光重合開始剤は、感光性樹脂組成物の感度や内部硬化性等の性能を調整する目的で前記（ｃ１）オキシムエステル系化合物の他に、その他の光重合開始剤を含有していてもよい。
その他の光重合開始剤としては、例えば、ケトオキシムエステル系化合物、特開昭５９－１５２３９６号公報、特開昭６１－１５１１９７号各公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物；特開２０００－５６１１８号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体；特開平１０－３９５０３号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル－ｓ－トリアジン誘導体、Ｎ－フェニルグリシン等のＮ－アリール－α－アミノ酸類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸塩類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤が挙げられる。
ケトオキシムエステル系化合物としては、下記一般式（２４）で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式（２５）で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。
（上記一般式（２４）において、Ｒ24は、それぞれ置換されていてもよい、炭素数２～１２のアルカノイル基、炭素数１～２０のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数３～２５のアルケノイル基、炭素数３～８のシクロアルカノイル基、炭素数３～２０のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数８～２０のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数３～２０のヘテロアリ－ルオキシカルボニルアルカノイル基、炭素数２～１０のアミノアルキルカルボニル基、炭素数７～２０のアリーロイル基、炭素数１～２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２～１０のアルコキシカルボニル基、又は炭素数７～２０のアリールオキシカルボニル基を示す。）
上記一般式（２５）において、Ｒ23aは、それぞれ置換されていてもよい、フェニル基、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数２～２５のアルケニル基、炭素数１～２０のヘテロアリールアルキル基、炭素数３～２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数８～２０のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数２～２０のアルキルチオアルキル基、炭素数１～２０のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数１～２０のアミノアルキル基、炭素数２～１２のアルカノイル基、炭素数３～２５のアルケノイル基、炭素数３～８のシクロアルカノイル基、炭素数７～２０のアリーロイル基、炭素数１～２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２～１０のアルコキシカルボニル基、炭素数７～２０のアリールオキシカルボニル基、又は炭素数１～１０のシクロアルキルアルキル基を示す。
上記一般式（２５）において、Ｒ23bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。
なお、Ｒ23aはＲ23bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数１～１０のアルキレン基、ポリエチレン基（－（ＣＨ＝ＣＨ）r－）、ポリエチニレン基（－（Ｃ≡Ｃ）r－）あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる（なお、ｒは０～３の整数である。）。
なお、Ｒ23aはＲ23bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数１～１０のアルキレン基、ポリエチレン基（－（ＣＨ＝ＣＨ）r－）、ポリエチニレン基（－（Ｃ≡Ｃ）r－）あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる（なお、ｒは０～３の整数である。）。
上記一般式（２５）において、Ｒ24aは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数２～１２のアルカノイル基、炭素数３～２５のアルケノイル基、炭素数４～８のシクロアルカノイル基、炭素数７～２０のベンゾイル基、炭素数３～２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２～１０のアルコキシカルボニル基、炭素数７～２０のアリールオキシカルボニル基、炭素数２～２０のヘテロアリール基、又は炭素数２～２０のアルキルアミノカルボニル基を表す。
上記一般式（２４）におけるＲ24及び上記一般式（２５）におけるＲ24aとしては、好ましくは、炭素数２～１２のアルカノイル基、炭素数１～２０のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数３～８のシクロアルカノイル基、炭素数７～２０のアリーロイル基が挙げられる。
上記一般式（２５）におけるＲ23aとしては、好ましくは無置換のエチル基、プロピル基、ブチル基や、メトキシカルボニル基で置換されたエチル基またはプロピル基が挙げられる。
また、上記一般式（２５）におけるＲ23bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾイル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。
本発明における感光性樹脂組成物中の好適なケトオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。
また、上記一般式（２５）におけるＲ23bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾイル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。
本発明における感光性樹脂組成物中の好適なケトオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。
このようなケトオキシムエステル系化合物の市販品として、ＢＡＳＦ社製のＯＸＥ－０１、常州強力電子社製のＴＲ－ＰＢＧ－３０５等がある。
チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，４，５，６－ペンタフルオロフェニ－１－イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，５，６－テトラフルオロフェニ－１－イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，４，６－トリフルオロフェニ－１－イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，６－ジフルオロフェニ－１－イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，４－ジフルオロフェニ－１－イル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，３，４，５，６－ペンタフルオロフェニ－１－イル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，６－ジフルオロフェニ－１－イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔２，６－ジ－フルオロ－３－（ピロ－１－イル）－フェニ－１－イル〕等が挙げられる。
また、ビイミダゾール誘導体類としては、２－（２’－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、２－（２’－クロロフェニル）－４，５－ビス（３’－メトキシフェニル）イミダゾール２量体、２－（２’－フルオロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、２－（２’－メトキシフエニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、（４’－メトキシフエニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体等が挙げられる。
また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、２－トリクロロメチル－５－（２’－ベンゾフリル）－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－〔β－（２’－ベンゾフリル）ビニル〕－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－〔β－（２’－（６”－ベンゾフリル）ビニル）〕－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－フリル－１，３，４－オキサジアゾール等が挙げられる。
また、ハロメチル－ｓ－トリアジン誘導体類としては、２－（４－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシカルボニルナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン等が挙げられる。
また、α－アミノアルキルフェノン誘導体類としては、２－メチル－１〔４－（メチルチオ）フェニル〕－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル)ブタン－１－オン、４－ジメチルアミノエチルベンゾエ－ト、４－ジメチルアミノイソアミルベンゾエ－ト、４－ジエチルアミノアセトフェノン、４－ジメチルアミノプロピオフェノン、２－エチルヘキシル－１，４－ジメチルアミノベンゾエート、２，５－ビス（４－ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、７－ジエチルアミノ－３－（４－ジエチルアミノベンゾイル）クマリン、４－（ジエチルアミノ）カルコン等が挙げられる。
その他に、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類；２－メチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、２－ｔ－ブチルアントラキノン、１－クロロアントラキノン等のアントラキノン誘導体類；ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、２－メチルベンゾフェノン、３－メチルベンゾフェノン、４－メチルベンゾフェノン、２－クロロベンゾフェノン、４－ブロモベンゾフェノン、２－カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体類；２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、１－ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、α－ヒドロキシ－２－メチルフェニルプロパノン、１－ヒドロキシ－１－メチルエチル－（ｐ－イソプロピルフェニル）ケトン、１－ヒドロキシ－１－（ｐ－ドデシルフェニル）ケトン、２－メチル－（４’－メチルチオフェニル）－２－モルホリノ－１－プロパノン、１，１，１－トリクロロメチル－（ｐ－ブチルフェニル）ケトン等のアセトフェノン誘導体類；チオキサントン、２－エチルチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体類；ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ－ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体類；９－フェニルアクリジン、９－（ｐ－メトキシフェニル）アクリジン等のアクリジン誘導体類；９，１０－ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘導体類；ベンズアンスロン等のアンスロン誘導体類等も挙げられる。
＜増感色素＞
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素を併用させることができる。これら増感色素としては、特開平４－２２１９５８号公報、特開平４－２１９７５６号公報に記載のキサンテン色素、特開平３－２３９７０３号公報、特開平５－２８９３３５号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平３－２３９７０３号公報、特開平５－２８９３３５号公報に記載の３－ケトクマリン化合物、特開平６－１９２４０号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭４７－２５２８号公報、特開昭５４－１５５２９２号公報、特公昭４５－３７３７７号公報、特開昭４８－８４１８３号公報、特開昭５２－１１２６８１号公報、特開昭５８－１５５０３号公報、特開昭６０－８８００５号公報、特開昭５９－５６４０３号公報、特開平２－６９号公報、特開昭５７－１６８０８８号公報、特開平５－１０７７６１号公報、特開平５－２１０２４０号公報、特開平４－２８８８１８号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素を併用させることができる。これら増感色素としては、特開平４－２２１９５８号公報、特開平４－２１９７５６号公報に記載のキサンテン色素、特開平３－２３９７０３号公報、特開平５－２８９３３５号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平３－２３９７０３号公報、特開平５－２８９３３５号公報に記載の３－ケトクマリン化合物、特開平６－１９２４０号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭４７－２５２８号公報、特開昭５４－１５５２９２号公報、特公昭４５－３７３７７号公報、特開昭４８－８４１８３号公報、特開昭５２－１１２６８１号公報、特開昭５８－１５５０３号公報、特開昭６０－８８００５号公報、特開昭５９－５６４０３号公報、特開平２－６９号公報、特開昭５７－１６８０８８号公報、特開平５－１０７７６１号公報、特開平５－２１０２４０号公報、特開平４－２８８８１８号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、更に好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。特に、好ましいのは、例えば、４，４’－ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ジエチルアミノベンゾフェノン、２－アミノベンゾフェノン、４－アミノベンゾフェノン、４，４’－ジアミノベンゾフェノン、３，３’－ジアミノベンゾフェノン、３，４－ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［４，５］ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［６，７］ベンゾオキサゾール、２，５－ビス（ｐ－ジエチルアミノフェニル）１，３，４－オキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２，５－ビス（ｐ－ジエチルアミノフェニル）１，３，４－チアジアゾール、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ピリミジン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ピリミジン等のｐ－ジアルキルアミノフェニル基含有化合物である。
このうち最も好ましいものは、４，４’－ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
このうち最も好ましいものは、４，４’－ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
（ｃ）光重合開始剤の含有割合は特に限定されないが、本発明における感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常１質量％以上、好ましくは２質量％以上、より好ましくは３質量以上であり、通常３０質量％以下、好ましくは２０質量％以下、より好ましくは１５質量％以下、さらに好ましくは１０質量％以下、よりさらに好ましくは８質量％以下、特に好ましくは７質量％以下である。前記下限値以上とすることで感度低下を抑制することができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露部分の現像液に対する溶解性を良好とすることができる傾向がある。
また（ｃ）光重合開始剤における（ｃ１）オキシムエステル系化合物の含有割合は特に限定されないが、好ましくは２０質量％以上、より好ましくは５０質量以上であり、さらに好ましくは８０質量％以上であり、また、通常１００質量％以下である。前記下限値以上とすることで感度が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることでテーパー角度が大きくなる傾向がある。
また、増感色素を用いる場合、本発明における感光性樹脂組成物中に占める増感色素の配合割合は感光性樹脂組成物中の全固形分中、通常０～２０質量％、好ましくは０～１５質量％、更に好ましくは０～１０質量％である。
＜（ａ）アルカリ可溶性樹脂＞
本発明における感光性樹脂組成物は（ａ）アルカリ可溶性樹脂を含む。（ａ）アルカリ可溶性樹脂は、感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる塗膜を露光後、露光部と非露光部のアルカリ現像に対する溶解性が変化するようなものであれば特に限定されてないが、カルボキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂であるのが好ましい。また、エチレン性不飽和基を有するものが好ましく、エチレン性不飽和基とカルボキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂が、更に好ましい。具体的には、カルボキシ基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂やアクリル共重合樹脂が挙げられ、好ましいものとしてより具体的には、後述の（Ａ１－１）、（Ａ１－２）、（Ａ２－１）、（Ａ２－２）、（Ａ２－３）及び（Ａ２－４）として記載のものが挙げられ、これらは１種を用いても２種以上を用いてもよい。上記の中でも、カルボキシ基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１）、（Ａ１－２）が特に好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は（ａ）アルカリ可溶性樹脂を含む。（ａ）アルカリ可溶性樹脂は、感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる塗膜を露光後、露光部と非露光部のアルカリ現像に対する溶解性が変化するようなものであれば特に限定されてないが、カルボキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂であるのが好ましい。また、エチレン性不飽和基を有するものが好ましく、エチレン性不飽和基とカルボキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂が、更に好ましい。具体的には、カルボキシ基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂やアクリル共重合樹脂が挙げられ、好ましいものとしてより具体的には、後述の（Ａ１－１）、（Ａ１－２）、（Ａ２－１）、（Ａ２－２）、（Ａ２－３）及び（Ａ２－４）として記載のものが挙げられ、これらは１種を用いても２種以上を用いてもよい。上記の中でも、カルボキシ基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１）、（Ａ１－２）が特に好ましい。
カラーフィルター作成時、アルカリ現像液に非露光部が溶解するために、高分子樹脂として、水酸基、カルボキシ基、リン酸基、スルホン酸基などの酸性の官能基を有した高分子樹脂が適用される。これらの中でもアルカリ現像液に対する溶解性の観点から、カルボキシ基を有した高分子樹脂が好ましい。また、リン酸基やスルホン酸基は、カルボキシ基よりも酸性度は高いものの、感光性樹脂組成物中の塩基性基を有する開始剤、モノマー、分散剤、その他の添加剤などと反応しやすく、保存安定性が悪くなる場合がある。
カルボキシ基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂としては、例えば、以下のエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１）及び／又はエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－２）が挙げられる。
＜エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１）＞
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び／又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
＜エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－２）＞
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び／又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び／又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
＜エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－２）＞
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び／又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
＜カルボキシ基とエチレン性不飽和基結合を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１）＞
原料となるエポキシ樹脂として、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ（登録商標。以下同じ。）８２８」、「ｊＥＲ１００１」、「ｊＥＲ１００２」、「ｊＥＲ１００４」等）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ－１３０２」（エポキシ当量３２３，軟化点７６℃））、ビスフェノールＦ型樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ８０７」、「ＥＰ－４００１」、「ＥＰ－４００２」、「ＥＰ－４００４等」）、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ－７４０６」（エポキシ当量３５０，軟化点６６℃））、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル（例えば、三菱ケミカル社製の「ＹＸ－４０００」）、フェノールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ－２０１」、三菱ケミカル社製の「ＥＰ－１５２」、「ＥＰ－１５４」、ダウケミカル社製の「ＤＥＮ－４３８」）、（ｏ，ｍ，ｐ－）クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＯＣＮ（登録商標。以下同じ。）－１０２Ｓ」、「ＥＯＣＮ－１０２０」、「ＥＯＣＮ－１０４Ｓ」）、トリグリシジルイソシアヌレート（例えば、日産化学社製の「ＴＥＰＩＣ（登録商標）」）、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ（登録商標。以下同じ。）－５０１」、「ＥＰＰＮ－５０２」、「ＥＰＰＮ－５０３」）、脂環式エポキシ樹脂（ダイセル社製の「セロキサイド（登録商標。以下同じ。）２０２１Ｐ」、「セロキサイドＥＨＰＥ」）、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したエポキシ樹脂（例えば、ＤＩＣ社製の「ＥＸＡ－７２００」、日本化薬社製の「ＮＣ－７３００」）、下記一般式（ａ１）～（ａ６）で表されるエポキシ樹脂、等を好適に用いることができる。具体的には、下記一般式（ａ１）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＸＤ－１０００」、下記一般式（ａ２）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＮＣ－３０００」、下記一般式（ａ４）で表されるエポキシ樹脂として新日鐵住金化学社製の「ＥＳＦ－３００」等が挙げられる。
原料となるエポキシ樹脂として、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ（登録商標。以下同じ。）８２８」、「ｊＥＲ１００１」、「ｊＥＲ１００２」、「ｊＥＲ１００４」等）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ－１３０２」（エポキシ当量３２３，軟化点７６℃））、ビスフェノールＦ型樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ８０７」、「ＥＰ－４００１」、「ＥＰ－４００２」、「ＥＰ－４００４等」）、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ－７４０６」（エポキシ当量３５０，軟化点６６℃））、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル（例えば、三菱ケミカル社製の「ＹＸ－４０００」）、フェノールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ－２０１」、三菱ケミカル社製の「ＥＰ－１５２」、「ＥＰ－１５４」、ダウケミカル社製の「ＤＥＮ－４３８」）、（ｏ，ｍ，ｐ－）クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＯＣＮ（登録商標。以下同じ。）－１０２Ｓ」、「ＥＯＣＮ－１０２０」、「ＥＯＣＮ－１０４Ｓ」）、トリグリシジルイソシアヌレート（例えば、日産化学社製の「ＴＥＰＩＣ（登録商標）」）、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ（登録商標。以下同じ。）－５０１」、「ＥＰＰＮ－５０２」、「ＥＰＰＮ－５０３」）、脂環式エポキシ樹脂（ダイセル社製の「セロキサイド（登録商標。以下同じ。）２０２１Ｐ」、「セロキサイドＥＨＰＥ」）、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したエポキシ樹脂（例えば、ＤＩＣ社製の「ＥＸＡ－７２００」、日本化薬社製の「ＮＣ－７３００」）、下記一般式（ａ１）～（ａ６）で表されるエポキシ樹脂、等を好適に用いることができる。具体的には、下記一般式（ａ１）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＸＤ－１０００」、下記一般式（ａ２）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＮＣ－３０００」、下記一般式（ａ４）で表されるエポキシ樹脂として新日鐵住金化学社製の「ＥＳＦ－３００」等が挙げられる。
上記一般式（ａ１）において、ｂ１１は平均値を示し０～１０の数を示す。Ｒ11は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、１分子中に存在する複数のＲ11は互いに同一であっても異なっていてもよい。
上記一般式（ａ２）において、ｂ１２は平均値を示し０～１０の数を示す。Ｒ21は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、１分子中に存在する複数のＲ21は互いに同一であっても異なっていてもよい。
上記一般式（ａ３）において、Ｘは下記一般式（ａ３－１）又は（ａ３－２）で表される連結基を示す。但し、分子構造中に１つ以上のアダマンタン構造を含む。ｂ１３は２又は３の整数を示す。
上記一般式（ａ３－１）及び（ａ３－２）において、Ｒ31～Ｒ34及びＲ35～Ｒ37は、各々独立に、置換基を有していてもよいアダマンチル基、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示す。また、式中の＊印は（ａ３）中の結合部位を表す。
上記一般式（ａ４）において、ｐ及びｑは各々独立に０～４の整数を表し、Ｒ41及びＲ42は各々独立に炭素数１～２０のアルキル基又はハロゲン原子を表す。Ｒ43及びＲ44は各々独立に炭素数１～５のアルキレン基を表す。ｘ及びｙはそれぞれ独立して０以上の整数を表す。
上記一般式（ａ５）において、Ｒ51～Ｒ54は各々独立に、水素原子、炭素数１～２０のアルキル基、炭素原子６～２０のアリール基、又は、炭素原子７～２０のアラルキル基であり、Ｒ55は炭素数１～２０のアルキル基、炭素数６～２０のアリール基、又は炭素数７～２０のアラルキル基であり、Ｒ56は各々独立に炭素数１～５のアルキレン基である。ｋは１～５の整数であり、ｌは０～１３の整数であり、ｍは各々独立に０～５の整数である。
上記一般式（ａ６）において、ｎ及びｏはそれぞれ独立に１～９の整数である。
これらの中で、一般式（ａ１）～（ａ６）のいずれかで表されるエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。
α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ｏ－、ｍ－、ｐ－ビニル安息香酸、（メタ）アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体などのモノカルボン酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルアジピン酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルマレイン酸、２－（メタ）アクリロイロキシプロピルコハク酸、２－（メタ）アクリロイロキシプロピルアジピン酸、２－（メタ）アクリロイロキシプロピルテトラヒドロフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシプロピルフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシプロピルマレイン酸、２－（メタ）アクリロイロキシブチルコハク酸、２－（メタ）アクリロイロキシブチルアジピン酸、２－（メタ）アクリロイロキシブチルヒドロフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシブチルフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシブチルマレイン酸、
（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸にε－カプロラクトン、β－プロピオラクトン、γ－ブチロラクトン、δ－バレロラクトン等のラクトン類を付加させ末端に１個の水酸基を有する単量体や、
或いはヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートのような末端に１個の水酸基を有する単量体や、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートのような末端に１個の水酸基を有する化合物に、（無水）コハク酸、（無水）フタル酸、（無水）マレイン酸などの酸（無水物）を付加させ、１個以上のエチレン不飽和基と末端に１個のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、（メタ）アクリル酸ダイマーなども挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸にε－カプロラクトン、β－プロピオラクトン、γ－ブチロラクトン、δ－バレロラクトン等のラクトン類を付加させ末端に１個の水酸基を有する単量体や、
或いはヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートのような末端に１個の水酸基を有する単量体や、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートのような末端に１個の水酸基を有する化合物に、（無水）コハク酸、（無水）フタル酸、（無水）マレイン酸などの酸（無水物）を付加させ、１個以上のエチレン不飽和基と末端に１個のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、（メタ）アクリル酸ダイマーなども挙げられる。
これらの内、感度の点から、特に好ましいものは（メタ）アクリル酸である。
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させる方法としては、公知の手法を用いることができる。例えば、エステル化触媒の存在下、５０～１５０℃の温度で、α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとエポキシ樹脂とを反応させることができる。ここで用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の３級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の４級アンモニウム塩等を用いることができる。
エポキシ樹脂にα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルを付加させる方法としては、公知の手法を用いることができる。例えば、エステル化触媒の存在下、５０～１５０℃の温度で、α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとエポキシ樹脂とを反応させることができる。ここで用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の３級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の４級アンモニウム塩等を用いることができる。
なお、エポキシ樹脂、α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステル、及びエステル化触媒は、いずれも１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルの使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基１当量に対し０．５～１．２当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは０．７～１．１当量の範囲である。
α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルの使用量を前記下限値以上とすることで不飽和基の導入量が十分となり、引き続く多塩基酸及び／又はその無水物との反応も十分となり、また、多量のエポキシ基の残存を抑制できる傾向がある。一方で、前記使用量を前記上限値以下とすることでα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルが未反応物として残存するのを抑制できる傾向がある。
α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルの使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基１当量に対し０．５～１．２当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは０．７～１．１当量の範囲である。
α，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルの使用量を前記下限値以上とすることで不飽和基の導入量が十分となり、引き続く多塩基酸及び／又はその無水物との反応も十分となり、また、多量のエポキシ基の残存を抑制できる傾向がある。一方で、前記使用量を前記上限値以下とすることでα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルが未反応物として残存するのを抑制できる傾向がある。
多塩基酸及び／又はその無水物としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、及びこれらの無水物等から選ばれた、１種又は２種以上が挙げられる。
好ましくは、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、又はこれらの無水物である。特に好ましくは、テトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、無水テトラヒドロフタル酸、又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。
多塩基酸及び／又はその無水物の付加反応に関しても公知の手法を用いることができ、エポキシ樹脂へのα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルの付加反応と同様な条件下で、継続反応させて目的物を得ることができる。多塩基酸及び／又はその無水物成分の付加量は、生成するカルボキシ基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂の酸価が１０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲となるような程度であることが好ましく、さらに２０～１４０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲となるような程度であることが好ましい。前記下限値以上とすることでアルカリ現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで硬化性が良好となる傾向がある。
＜（Ａ１－１）樹脂の合成と（Ａ１－１）樹脂に多価アルコールを添加し分岐構造を導入した（Ａ１－２）樹脂の合成＞
上記（Ａ１－１）樹脂の多塩基酸及び／又はその無水物の付加反応合成時に、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの多価アルコールを添加し、多分岐構造を導入したものとしてもよい。
カルボキシ基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は、通常、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物を混合した後、もしくは、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物及び多価アルコールを混合した後に、加温することにより得られる。この場合、多塩基酸及び／又はその無水物と多価アルコールの混合順序に、特に制限はない。加温により、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物と多価アルコールとの混合物中に存在するいずれかの水酸基に対して多塩基酸及び／又はその無水物が付加反応する。
上記（Ａ１－１）樹脂の多塩基酸及び／又はその無水物の付加反応合成時に、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの多価アルコールを添加し、多分岐構造を導入したものとしてもよい。
カルボキシ基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は、通常、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物を混合した後、もしくは、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物及び多価アルコールを混合した後に、加温することにより得られる。この場合、多塩基酸及び／又はその無水物と多価アルコールの混合順序に、特に制限はない。加温により、エポキシ樹脂とα，β－不飽和モノカルボン酸又はカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物と多価アルコールとの混合物中に存在するいずれかの水酸基に対して多塩基酸及び／又はその無水物が付加反応する。
カルボキシ基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は、１種を単独で用いても、２種以上の樹脂を混合して用いてもよい。
多価アルコールの使用量は、増粘やゲル化を抑制しつつ効果を発現するとの観点から、エポキシ樹脂成分とα，β－不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステル成分との反応物に対して、通常０．０１～０．５質量倍程度、好ましくは０．０２～０．２質量倍程度である。
多価アルコールの使用量は、増粘やゲル化を抑制しつつ効果を発現するとの観点から、エポキシ樹脂成分とα，β－不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシ基を有するα，β－不飽和モノカルボン酸エステル成分との反応物に対して、通常０．０１～０．５質量倍程度、好ましくは０．０２～０．２質量倍程度である。
このようにして得られるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１、Ａ１－２）の酸価は、通常１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、好ましくは５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、より好ましくは８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であり、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでアルカリ耐性を良好にすることができる傾向がある。
エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１－１、Ａ１－２）のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００以上であることが好ましく、１，５００以上であることがより好ましく、２，０００以上であることがさらに好ましく、２，５００以上であることが特に好ましい。また、２０，０００以下であることが好ましく、１５，０００以下であることがより好ましく、１０，０００以下であることがさらに好ましく、８，０００以下であることがよりさらに好ましく、７，０００以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで感度、塗膜強度、アルカリ耐性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性や再溶解性を良好なものとすることができる傾向がある。
＜アクリル共重合樹脂（Ａ２－１）（Ａ２－２）（Ａ２－３）（Ａ２－４）＞
アクリル共重合樹脂としては、例えば、特開平７－２０７２１１号公報、特開平８－２５９８７６号公報、特開平１０－３００９２２号公報、特開平１１－１４０１４４号公報、特開平１１－１７４２２４号公報、特開２０００－５６１１８号公報、特開２００３－２３３１７９号公報、特開２００７－２７０１４７号公報などの各公報等に記載された様々な高分子化合物を使用することができるが、好ましくは、以下の（Ａ２－１）～（Ａ２－４）の樹脂等が挙げられ、中でも、（Ａ２－１）樹脂が特に好ましい。
アクリル共重合樹脂としては、例えば、特開平７－２０７２１１号公報、特開平８－２５９８７６号公報、特開平１０－３００９２２号公報、特開平１１－１４０１４４号公報、特開平１１－１７４２２４号公報、特開２０００－５６１１８号公報、特開２００３－２３３１７９号公報、特開２００７－２７０１４７号公報などの各公報等に記載された様々な高分子化合物を使用することができるが、好ましくは、以下の（Ａ２－１）～（Ａ２－４）の樹脂等が挙げられ、中でも、（Ａ２－１）樹脂が特に好ましい。
（Ａ２－１）：エポキシ基含有（メタ）アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂
（Ａ２－２）：主鎖にカルボキシ基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂
（Ａ２－３）：前記（Ａ２－２）樹脂のカルボキシ基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂
（Ａ２－４）：（メタ）アクリル系樹脂
（Ａ２－２）：主鎖にカルボキシ基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂
（Ａ２－３）：前記（Ａ２－２）樹脂のカルボキシ基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂
（Ａ２－４）：（メタ）アクリル系樹脂
本発明における感光性樹脂組成物は、感度の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂として（Ａ１－１）、（Ａ１－２）、（Ａ２－１）、（Ａ２－３）の少なくとも何れかを含むのがさらに好ましい。本発明における感光性樹脂組成物は、表面硬化性の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシ（メタ）アクリレート樹脂である（Ａ１－１）、（Ａ１－２）の少なくとも何れかを含むのが特に好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、その他のアルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。
その他のアルカリ可溶性樹脂に制限は無く、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に通常使用される樹脂から選択すればよい。例えば、特開２００７－２７１７２７号公報、特開２００７－３１６６２０号公報、特開２００７－３３４２９０号公報などに記載のアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。
その他のアルカリ可溶性樹脂に制限は無く、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に通常使用される樹脂から選択すればよい。例えば、特開２００７－２７１７２７号公報、特開２００７－３１６６２０号公報、特開２００７－３３４２９０号公報などに記載のアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。
（ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、本発明における感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常５質量％以上、好ましくは１０質量％以上、より好ましくは１５質量％以上であり、通常９０質量％以下、好ましくは７０質量％以下、より好ましくは５０質量％以下、さらに好ましくは３０質量％以下、特に好ましくは２５質量％以下である。前記下限値以上とすることで未露光部分の現像液に対する溶解性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで露光部への現像液の過剰な浸透を抑制することができ、画像のシャープ製や密着性が良好となる傾向がある。
尚、上述のように、本発明における感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂として、前述の（Ａ１－１）、（Ａ１－２）、（Ａ２－１）、（Ａ２－２）、（Ａ２－３）及び（Ａ２－４）の少なくとも１種を含むのが好ましく、その他のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有割合は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）の合計に対して、２０質量％以下、好ましくは１０質量％以下である。
尚、上述のように、本発明における感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂として、前述の（Ａ１－１）、（Ａ１－２）、（Ａ２－１）、（Ａ２－２）、（Ａ２－３）及び（Ａ２－４）の少なくとも１種を含むのが好ましく、その他のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有割合は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）の合計に対して、２０質量％以下、好ましくは１０質量％以下である。
＜（ｂ）光重合性モノマー＞
本発明における感光性樹脂組成物は、感度等の点から（ｂ）光重合性モノマーを含有する。
本発明に用いられる（ｂ）光重合性モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも１個有する化合物（以下、「エチレン性単量体」と称することがある）を挙げることができる。具体的には、例えば（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を１個有するカルボン酸と、多価又は１価アルコールのエステル、等が挙げられる。
本発明における感光性樹脂組成物は、感度等の点から（ｂ）光重合性モノマーを含有する。
本発明に用いられる（ｂ）光重合性モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも１個有する化合物（以下、「エチレン性単量体」と称することがある）を挙げることができる。具体的には、例えば（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を１個有するカルボン酸と、多価又は１価アルコールのエステル、等が挙げられる。
本発明においては、特に、１分子中にエチレン性不飽和基を２個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが好ましい。多官能エチレン性単量体におけるエチレン性不飽和基の数は通常２個以上、好ましくは３個以上、より好ましくは４個以上、さらに好ましくは５個以上、特に好ましくは６個以上、また通常１０個以下、好ましくは８個以下である。前記下限値以上とすることで感光性樹脂組成物が高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで重合時の硬化収縮が小さくなる傾向がある。
多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。
芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物が挙げられる。
その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン（メタ）アクリレート類；多価エポキシ化合物とヒドロキシ（メタ）アクリレート又は（メタ）アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類；エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類；フタル酸ジアリル等のアリルエステル類；ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
（ｂ）光重合性モノマーの含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常９０質量％以下、好ましくは７０質量％以下、より好ましくは５０質量％以下、さらに好ましくは３０質量％以下、よりさらに好ましくは２０質量％以下、特に好ましくは１０質量％以下である。光重合性モノマーの含有量が上記上限値以下であることで、露光部への現像液の浸透性が適度となり良好な画像を得ることができる傾向にある。光重合性モノマー（ｂ）の含有量の下限は、通常１質量％以上、好ましくは５質量％以上である。上記下限値以上であることで、紫外線照射による光硬化を向上させるとともにアルカリ現像性も良好となる傾向にある。
＜（ｄ）色材＞
本発明における感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの画素、ブラックマトリックス、着色スペーサーの形成等に用いられる場合には、色材を含有する。色材は、本発明における感光性樹脂組成物を着色するものをいう。色材としては、染料や顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの画素、ブラックマトリックス、着色スペーサーの形成等に用いられる場合には、色材を含有する。色材は、本発明における感光性樹脂組成物を着色するものをいう。色材としては、染料や顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。
顔料としては青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料、黒色顔料等各種の色の顔料を使用することができる。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。
以下に、本発明に使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。なお、以下に挙げる「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２」等の用語は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。
赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１２、１４、１５、１６、１７、２１、２２、２３、３１、３２、３７、３８、４１、４７、４８、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５２：２、５３、５３：１、５３：２、５３：３、５７、５７：１、５７：２、５８：４、６０、６３、６３：１、６３：２、６４、６４：１、６８、６９、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、８３、８８、９０：１、１０１、１０１：１、１０４、１０８、１０８：１、１０９、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４７、１４９、１５１、１６６、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８１、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１４、２１６、２２０、２２１、２２４、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３６、２３７、２３８、２３９、２４２、２４３、２４５、２４７、２４９、２５０、２５１、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８、２６９、２７０、２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、１２２、１６８、１７７、２０２、２０６、２０７、２０９、２２４、２４２、２５４、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２２４、２５４を挙げることができる。
赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１２、１４、１５、１６、１７、２１、２２、２３、３１、３２、３７、３８、４１、４７、４８、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５２：２、５３、５３：１、５３：２、５３：３、５７、５７：１、５７：２、５８：４、６０、６３、６３：１、６３：２、６４、６４：１、６８、６９、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、８３、８８、９０：１、１０１、１０１：１、１０４、１０８、１０８：１、１０９、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４７、１４９、１５１、１６６、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８１、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１４、２１６、２２０、２２１、２２４、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３６、２３７、２３８、２３９、２４２、２４３、２４５、２４７、２４９、２５０、２５１、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８、２６９、２７０、２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、１２２、１６８、１７７、２０２、２０６、２０７、２０９、２２４、２４２、２５４、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２２４、２５４を挙げることができる。
青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、１：２、９、１４、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、１７、１９、２５、２７、２８、２９、３３、３５、３６、５６、５６：１、６０、６１、６１：１、６２、６３、６６、６７、６８、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７８、７９を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、６０、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、６０を挙げることができる。
緑色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、２、４、７、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２６、３６、４５、４８、５０、５１、５４、５５、５８を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８を挙げることができる。
黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、１：１、２、３、４、５、６、９、１０、１２、１３、１４、１６、１７、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４１、４２、４３、４８、５３、５５、６１、６２、６２：１、６３、６５、７３、７４、７５、８１、８３、８７、９３、９４、９５、９７、１００、１０１、１０４、１０５、１０８、１０９、１１０、１１１、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２７：１、１２８、１２９、１３３、１３４、１３６、１３８、１３９、１４２、１４７、１４８、１５０、１５１、１５３、１５４、１５５、１５７、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１８０、１８１、１８２、１８３、１８４、１８５、１８８、１８９、１９０、１９１、１９１：１、１９２、１９３、１９４、１９５、１９６、１９７、１９８、１９９、２００、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１１７、１２９、１３８、１３９、１５０、１５４、１５５、１８０、１８５、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１３８、１３９、１５０、１８０を挙げることができる。
オレンジ顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、２、５、１３、１６、１７、１９、２０、２１、２２、２３、２４、３４、３６、３８、３９、４３、４６、４８、４９、６１、６２、６４、６５、６７、６８、６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７７、７８、７９を挙げることができる。この中でも、好ましくは、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、６４、７１を挙げることができる。
紫色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１：１、２、２：２、３、３：１、３：３、５、５：１、１４、１５、１６、１９、２３、２５、２７、２９、３１、３２、３７、３９、４２、４４、４７、４９、５０を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、２９更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、２９を挙げることができる。
また、本発明における感光性樹脂組成物が、カラーフィルターの樹脂ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物である場合、（ｄ）色材としては、黒色の色材を用いることができる。黒色色材は、黒色色材単独としてもよく、赤、緑、青等の混合としてもよい。また、これら色材は無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができる。
黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー（４２５９５）、オーラミンＯ（４１０００）、カチロンブリリアントフラビン（ベーシック１３）、ローダミン６ＧＣＰ（４５１６０）、ローダミンＢ（４５１７０）、サフラニンＯＫ７０：１００（５０２４０）、エリオグラウシンＸ（４２０８０）、Ｎｏ．１２０／リオノールイエロー（２１０９０）、リオノールイエローＧＲＯ（２１０９０）、シムラーファーストイエロー８ＧＦ（２１１０５）、ベンジジンイエロー４Ｔ－５６４Ｄ（２１０９５）、シムラーファーストレッド４０１５（１２３５５）、リオノールレッド７Ｂ４４０１（１５８５０）、ファーストゲンブルーＴＧＲ－Ｌ（７４１６０）、リオノールブルーＳＭ（２６１５０）、リオノールブルーＥＳ（ピグメントブルー１５：６）、リオノーゲンレッドＧＤ（ピグメントレッド１６８）、リオノールグリーン２ＹＳ（ピグメントグリーン３６）等が挙げられる（なお、上記の（ ）内の数字は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。）。
黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー（４２５９５）、オーラミンＯ（４１０００）、カチロンブリリアントフラビン（ベーシック１３）、ローダミン６ＧＣＰ（４５１６０）、ローダミンＢ（４５１７０）、サフラニンＯＫ７０：１００（５０２４０）、エリオグラウシンＸ（４２０８０）、Ｎｏ．１２０／リオノールイエロー（２１０９０）、リオノールイエローＧＲＯ（２１０９０）、シムラーファーストイエロー８ＧＦ（２１１０５）、ベンジジンイエロー４Ｔ－５６４Ｄ（２１０９５）、シムラーファーストレッド４０１５（１２３５５）、リオノールレッド７Ｂ４４０１（１５８５０）、ファーストゲンブルーＴＧＲ－Ｌ（７４１６０）、リオノールブルーＳＭ（２６１５０）、リオノールブルーＥＳ（ピグメントブルー１５：６）、リオノーゲンレッドＧＤ（ピグメントレッド１６８）、リオノールグリーン２ＹＳ（ピグメントグリーン３６）等が挙げられる（なお、上記の（ ）内の数字は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。）。
また、更に他の混合使用可能な顔料についてＣ．Ｉ．ナンバーにて示すと、例えば、Ｃ．Ｉ．黄色顔料２０、２４、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４８、１５３、１５４、１６６、Ｃ．Ｉ．オレンジ顔料３６、４３、５１、５５、５９、６１、６４、Ｃ．Ｉ．赤色顔料９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２５４、Ｃ．Ｉ．バイオレット顔料１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０、Ｃ．Ｉ．青色顔料１５、１５：１、１５：４、２２、６０、６４、Ｃ．Ｉ．緑色顔料７、Ｃ．Ｉ．ブラウン顔料２３、２５、２６等を挙げることができる。
また、単独使用可能な黒色色材としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック、ペリレンブラック、ラクタムブラック等が挙げられる。
これらの（ｄ）色材の中で黒色の色材を用いる場合には、遮光率、画像特性の観点からカーボンブラックが好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。
これらの（ｄ）色材の中で黒色の色材を用いる場合には、遮光率、画像特性の観点からカーボンブラックが好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。
三菱ケミカル社製：ＭＡ７、ＭＡ７７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ１００、ＭＡ１００Ｒ、ＭＡ２２０、ＭＡ２３０、ＭＡ６００、＃５、＃１０、＃２０、＃２５、＃３０、＃３２、＃３３、＃４０、＃４４、＃４５、＃４７、＃５０、＃５２、＃５５、＃６５０、＃７５０、＃８５０、＃９５０、＃９６０、＃９７０、＃９８０、＃９９０、＃１０００、＃２２００、＃２３００、＃２３５０、＃２４００、＃２６００、＃３０５０、＃３１５０、＃３２５０、＃３６００、＃３７５０、＃３９５０、＃４０００、＃４０１０、ＯＩＬ７Ｂ、ＯＩＬ９Ｂ、ＯＩＬ１１Ｂ、ＯＩＬ３０Ｂ、ＯＩＬ３１Ｂ
デグサ社製：Ｐｒｉｎｔｅｘ（登録商標。以下同じ。）３、Ｐｒｉｎｔｅｘ３ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ４０、Ｐｒｉｎｔｅｘ４５、Ｐｒｉｎｔｅｘ５５、Ｐｒｉｎｔｅｘ６０、Ｐｒｉｎｔｅｘ７５、Ｐｒｉｎｔｅｘ８０、Ｐｒｉｎｔｅｘ８５、Ｐｒｉｎｔｅｘ９０、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｌ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｇ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｐ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｖ、ＰｒｉｎｔｅｘＧ、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ３５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ２５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ１００、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ６、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ４、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２Ｖ、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ Ｓ１６０、Ｃｏｌｏｒ
Ｂｌａｃｋ Ｓ１７０
キャボット社製：Ｍｏｎａｒｃｈ（登録商標。以下同じ。）１２０、Ｍｏｎａｒｃｈ２８０、Ｍｏｎａｒｃｈ４６０、Ｍｏｎａｒｃｈ８００、Ｍｏｎａｒｃｈ８８０、Ｍｏｎａｒｃｈ９００、Ｍｏｎａｒｃｈ１０００、Ｍｏｎａｒｃｈ１１００、Ｍｏｎａｒｃｈ１３００、Ｍｏｎａｒｃｈ１４００、Ｍｏｎａｒｃｈ４６３０、ＲＥＧＡＬ（登録商標。以下同じ。）９９、ＲＥＧＡＬ９９Ｒ、ＲＥＧＡＬ４１５、ＲＥＧＡＬ４１５Ｒ、ＲＥＧＡＬ２５０、ＲＥＧＡＬ２５０Ｒ、ＲＥＧＡＬ３３０、ＲＥＧＡＬ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ５５Ｒ０、ＲＥＧＡＬ６６０Ｒ、ＢＬＡＣＫ ＰＥＡＲＬＳ４８０、ＰＥＡＲＬＳ１３０、ＶＵＬＣＡＮ（登録商標） ＸＣ７２Ｒ、ＥＬＦＴＥＸ（登録商標）－８
ビルラー社製：ＲＡＶＥＮ１１、ＲＡＶＥＮ１４、ＲＡＶＥＮ１５、ＲＡＶＥＮ１６、ＲＡＶＥＮ２２ＲＡＶＥＮ３０、ＲＡＶＥＮ３５、ＲＡＶＥＮ４０、ＲＡＶＥＮ４１０、ＲＡＶＥＮ４２０、ＲＡＶＥＮ４５０、ＲＡＶＥＮ５００、ＲＡＶＥＮ７８０、ＲＡＶＥＮ８５０、ＲＡＶＥＮ８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ１０００、ＲＡＶＥＮ１０２０、ＲＡＶＥＮ１０４０、ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１０８０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１１７０、ＲＡＶＥＮ１１９０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１２５０、ＲＡＶＥＮ１５００、ＲＡＶＥＮ２０００、ＲＡＶＥＮ２５００Ｕ、ＲＡＶＥＮ３５００、ＲＡＶＥＮ５０００、ＲＡＶＥＮ５２５０、ＲＡＶＥＮ５７５０、ＲＡＶＥＮ７０００
デグサ社製：Ｐｒｉｎｔｅｘ（登録商標。以下同じ。）３、Ｐｒｉｎｔｅｘ３ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ４０、Ｐｒｉｎｔｅｘ４５、Ｐｒｉｎｔｅｘ５５、Ｐｒｉｎｔｅｘ６０、Ｐｒｉｎｔｅｘ７５、Ｐｒｉｎｔｅｘ８０、Ｐｒｉｎｔｅｘ８５、Ｐｒｉｎｔｅｘ９０、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｌ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｇ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｐ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｖ、ＰｒｉｎｔｅｘＧ、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ３５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ２５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ１００、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ６、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ４、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２Ｖ、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ Ｓ１６０、Ｃｏｌｏｒ
Ｂｌａｃｋ Ｓ１７０
キャボット社製：Ｍｏｎａｒｃｈ（登録商標。以下同じ。）１２０、Ｍｏｎａｒｃｈ２８０、Ｍｏｎａｒｃｈ４６０、Ｍｏｎａｒｃｈ８００、Ｍｏｎａｒｃｈ８８０、Ｍｏｎａｒｃｈ９００、Ｍｏｎａｒｃｈ１０００、Ｍｏｎａｒｃｈ１１００、Ｍｏｎａｒｃｈ１３００、Ｍｏｎａｒｃｈ１４００、Ｍｏｎａｒｃｈ４６３０、ＲＥＧＡＬ（登録商標。以下同じ。）９９、ＲＥＧＡＬ９９Ｒ、ＲＥＧＡＬ４１５、ＲＥＧＡＬ４１５Ｒ、ＲＥＧＡＬ２５０、ＲＥＧＡＬ２５０Ｒ、ＲＥＧＡＬ３３０、ＲＥＧＡＬ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ５５Ｒ０、ＲＥＧＡＬ６６０Ｒ、ＢＬＡＣＫ ＰＥＡＲＬＳ４８０、ＰＥＡＲＬＳ１３０、ＶＵＬＣＡＮ（登録商標） ＸＣ７２Ｒ、ＥＬＦＴＥＸ（登録商標）－８
ビルラー社製：ＲＡＶＥＮ１１、ＲＡＶＥＮ１４、ＲＡＶＥＮ１５、ＲＡＶＥＮ１６、ＲＡＶＥＮ２２ＲＡＶＥＮ３０、ＲＡＶＥＮ３５、ＲＡＶＥＮ４０、ＲＡＶＥＮ４１０、ＲＡＶＥＮ４２０、ＲＡＶＥＮ４５０、ＲＡＶＥＮ５００、ＲＡＶＥＮ７８０、ＲＡＶＥＮ８５０、ＲＡＶＥＮ８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ１０００、ＲＡＶＥＮ１０２０、ＲＡＶＥＮ１０４０、ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１０８０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１１７０、ＲＡＶＥＮ１１９０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１２５０、ＲＡＶＥＮ１５００、ＲＡＶＥＮ２０００、ＲＡＶＥＮ２５００Ｕ、ＲＡＶＥＮ３５００、ＲＡＶＥＮ５０００、ＲＡＶＥＮ５２５０、ＲＡＶＥＮ５７５０、ＲＡＶＥＮ７０００
他の黒色顔料の例としては、チタンブラック、アニリンブラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることができる。
また、顔料として、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム等を用いることもできる。これら各種の顔料は、複数種を併用することもできる。例えば、色度の調整のために、緑色顔料と黄色顔料とを併用したり、青色顔料と紫色顔料とを併用することができる。
本発明に用いられる顔料の平均粒径としては、カラーフィルターの着色層とした場合に、所望の発色が可能なものであればよく、特に限定されず、用いる顔料の種類によっても異なるが、１０～１００ｎｍの範囲内であることが好ましく、１０～７０ｎｍの範囲内であることがより好ましい。該顔料の平均粒径が上記範囲であることにより、本発明における感光性樹脂組成物を用いて製造された液晶表示装置の色特性を高品質なものとすることができる傾向がある。
また、顔料がカーボンブラックの場合の平均粒径は、６０ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がさらに好ましく、また、２０ｎｍ以上が好ましい。平均粒径を前記上限値以下とすることで、散乱が小さくなり、遮光性やコントラストなどの色特性の低下を抑制できる傾向がある。また、平均粒径を前記下限値以上とすることで、分散剤の量が過度に多くならずに済み、分散性が良好となる傾向がある。
なお、上記顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で求めることができる。具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、その平均をその粒子の粒径とする。次に、１００個以上の粒子について、それぞれの粒子の体積（質量）を、求めた粒径の直方体と近似して求め、体積平均粒径を求めそれを平均粒径とする。なお、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）のいずれを用いても同じ結果を得ることができる。
また、顔料がカーボンブラックの場合の平均粒径は、６０ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がさらに好ましく、また、２０ｎｍ以上が好ましい。平均粒径を前記上限値以下とすることで、散乱が小さくなり、遮光性やコントラストなどの色特性の低下を抑制できる傾向がある。また、平均粒径を前記下限値以上とすることで、分散剤の量が過度に多くならずに済み、分散性が良好となる傾向がある。
なお、上記顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で求めることができる。具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、その平均をその粒子の粒径とする。次に、１００個以上の粒子について、それぞれの粒子の体積（質量）を、求めた粒径の直方体と近似して求め、体積平均粒径を求めそれを平均粒径とする。なお、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）のいずれを用いても同じ結果を得ることができる。
また、本発明における感光性樹脂組成物は、少なくとも顔料を含むことが好ましいが、その他に、本発明の効果に影響を及ぼさない範囲で染料を併用してもよい。併用できる染料としては、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。
アゾ系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１８０、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー２９、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド８３、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ２６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン５９、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１２０、Ｃ．Ｉ．リアクティブブラック５、Ｃ．Ｉ．ディスパースオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド５８、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー１６５、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー４１、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１８、Ｃ．Ｉ．モルダントレッド７、Ｃ．Ｉ．モルダントイエロー５、Ｃ．Ｉ．モルダントブラック７が挙げられる。
アントラキノン系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．バットブルー４、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン２５、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー１９、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー４９、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド６０、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー５６、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー６０が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．パッドブルー５等が、キノンイミン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー３、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー９等が、キノリン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー３３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー６４等が、ニトロ系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー４２が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．パッドブルー５等が、キノンイミン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー３、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー９等が、キノリン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー３３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー６４等が、ニトロ系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー４２が挙げられる。
（ｄ）色材の含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分に対して通常１～７０質量％の範囲で選ぶことができる。この範囲の中では、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましく、４０質量％以上が特に好ましく、また、６０質量％以下がより好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、前述したように種々な用途に使用することができるが、優れた画像形成性は、カラーフィルター用ブラックマトリックスの形成に使用した場合に、特に効果的である。ブラックマトリックス形成に使用する場合には（ｄ）色材として、前述したカーボンブラックやチタンブラック等の黒色色材を使用するか、黒色以外の色材を複数種類混合し黒色に調整して使用すればよい。その中でも分散安定性及び遮光性の観点から、カーボンブラックを使用することが、特に好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、特に黒色顔料の顔料濃度が大きくなる領域で効果が大きい。特に近年は遮光度を上げるために黒色顔料濃度を多くする必要がある。このように効果が大きくなる領域における黒色顔料の含有割合は感光性樹脂組成物の全固形分に対し４０質量％以上であり、４５質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましい。また、画像形成性能の観点からは、７０質量％以下が好ましく、６５質量％以下がより好ましい。
感光性樹脂組成物において、黒色顔料の含有割合が上記範囲内であることにより、遮光性（光学密度、ＯＤ値）の高い感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、黒色顔料の含有量を４５質量％以上とすることにより、本発明における感光性樹脂組成物を用いて厚さ１μｍのブラックマトリックスを形成した場合における光学濃度を４．０以上の値とすることができる。光学濃度はより好ましくは４．２以上である。遮光性が高い領域では紫外線が深部に透過しにくく、光重合による架橋が特に基板と細線の密着する部分で弱くなるが、本発明における感光性樹脂組成物を用いた場合は、特にその黒色顔料の含有割合が大きい場合に、本発明の効果をよく確認できる。黒色顔料の含有割合としては４０～６５質量％が特に効果的である。黒色顔料の含有割合を前記下限値以上とすることで色濃度に対する膜厚が大きくなりすぎるのを抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで十分な画像形成性を確保しやすい傾向がある。
なお、感光性樹脂組成物において、（ｄ）色材の含有割合は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部あたり、通常２０質量部以上、好ましくは３０質量部以上、より好ましくは４０質量部以上、さらに好ましくは６０質量部以上、よりさらに好ましくは８０質量部以上、特に好ましくは１２０質量部以上、最も好ましくは１６０質量部以上であり、また通常５００質量部以下、好ましくは３００質量部以下、より好ましくは２８０質量部以下である。（ｄ）色材の含有割合を前記下限値以上とすることで未露光部の現像液に対する溶解性の低下を抑制しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望の画像膜厚が得やすい傾向がある。
＜（ｅ）分散剤＞
本発明においては、色材を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、（ｅ）分散剤を含むことが好ましい。
分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシ基；リン酸基；スルホン酸基；又はこれらの塩基；一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。これら塩基性官能基を有する高分子分散剤を使用することにより、分散性を良好にでき、高い遮光性を達成できる傾向がある。
本発明においては、色材を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、（ｅ）分散剤を含むことが好ましい。
分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシ基；リン酸基；スルホン酸基；又はこれらの塩基；一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。これら塩基性官能基を有する高分子分散剤を使用することにより、分散性を良好にでき、高い遮光性を達成できる傾向がある。
また高分子分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、ポリエーテルリン酸系分散剤、ポリエステルリン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。
このような分散剤の具体例としては、商品名で、ＥＦＫＡ（登録商標。エフカーケミカルズビーブイ（ＥＦＫＡ）社製。）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（登録商標。ビックケミー社製。）、ディスパロン（登録商標。楠本化成社製。）、ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ（登録商標。ルーブリゾール社製。）、ＫＰ（信越化学工業社製）、ポリフロー又はフローレン（登録商標。共栄社化学社製。）、アジスパー（登録商標。味の素ファインテクノ社製。）等を挙げることができる。
これらの高分子分散剤は１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を併用してもよい。
これらの高分子分散剤は１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を併用してもよい。
これらの内、密着性及び直線性の面から、（ｅ）分散剤は塩基性官能基を有するウレタン系高分子分散剤及び／又はアクリル系高分子分散剤を含むことが、特に好ましい。特にはウレタン系高分子分散剤が密着性の面で好ましい。また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル及び／又はポリエーテル結合を有する高分子分散剤が好ましい。
高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常７００以上、好ましくは１０００以上であり、また通常１００，０００以下、好ましくは５０，０００以下であり、より好ましくは３０，０００以下である。前記上限値以下とすることで、顔料濃度が高い時でもアルカリ現像性が良好となる傾向がある。
ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６０～１６７、１８２シリーズ（いずれもウレタン系）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ２０００，２００１等（いずれもアクリル系）（以上すべてビックケミー社製）が挙げられる。上記の塩基性官能基を有し、ポリエステル及び／又はポリエーテル結合を有するウレタン系高分子分散剤で重量平均分子量３０，０００以下の得に好ましいものとしてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２などが上げられる。
ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６０～１６７、１８２シリーズ（いずれもウレタン系）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ２０００，２００１等（いずれもアクリル系）（以上すべてビックケミー社製）が挙げられる。上記の塩基性官能基を有し、ポリエステル及び／又はポリエーテル結合を有するウレタン系高分子分散剤で重量平均分子量３０，０００以下の得に好ましいものとしてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２などが上げられる。
＜ウレタン系高分子分散剤＞
ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１０，０００の化合物と、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量１，０００～２００，０００の分散樹脂等が挙げられる。
ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１０，０００の化合物と、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量１，０００～２００，０００の分散樹脂等が挙げられる。
上記のポリイソシアネート化合物の例としては、パラフェニレンジイソシアネート、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、４，４′－ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン－１，５－ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、４，４′－メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ω，ω′－ジイソシネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、α，α，α′，α′－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、リジンエステルトリイソシアネート、１，６，１１－ウンデカントリイソシアネート、１，８－ジイソシアネート－４－イソシアネートメチルオクタン、１，３，６－ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス（イソシアネートフェニルメタン）、トリス（イソシアネートフェニル）チオホスフェート等のトリイソシアネート、及びこれらの３量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物等が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート類を適当な三量化触媒、例えば第３級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネートを溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。
同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１０，０００の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１～２５のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。
ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン－プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの２種以上の混合物が挙げられる。
ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ（ポリオキシテトラメチレン）アジペート等が挙げられる。ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１～２５のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。
ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸（コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等）又はそれらの無水物とグリコール（エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、２，３－ブタンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、２－メチル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－プロピル－１，３－プロパンジオール、２－ブチル－２－エチル－１，３－プロパンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、２－メチル－２，４－ペンタンジオール、２，２，４－トリメチル－１，３－ペンタンジオール、２－エチル－１，３－ヘキサンジオール、２，５－ジメチル－２，５－ヘキサンジオール、１，８－オクタメチレングリコール、２－メチル－１，８－オクタメチレングリコール、１，９－ノナンジオール等の脂肪族グリコール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール、キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール、Ｎ－メチルジエタノールアミン等のＮ－アルキルジアルカノールアミン等）とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン／プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数１～２５の１価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの２種以上の混合物が挙げられる。ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数１～２５のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトンである。
ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ（１，６－ヘキシレン）カーボネート、ポリ（３－メチル－１，５－ペンチレン）カーボネート等、ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。
これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
同一分子内に水酸基を１個又は２個有する化合物の数平均分子量は、通常３００～１０，０００、好ましくは５００～６，０００、更に好ましくは１，０００～４，０００である。
本発明に用いられる同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に１級のアミノ基の水素原子が好ましい。
本発明に用いられる同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に１級のアミノ基の水素原子が好ましい。
３級アミノ基は、特に限定されないが、例えば炭素数１～４のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的にはイミダゾール環又はトリアゾール環、などが挙げられる。
このような同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を例示するならば、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，４－ブタンジアミン等が挙げられる。
このような同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を例示するならば、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，４－ブタンジアミン等が挙げられる。
また、３級アミノ基が含窒素ヘテロ環構造である場合の該含窒素ヘテロ環としては、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等のＮ含有ヘテロ５員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ６員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環のうち好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。
これらのイミダゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、１－（３－アミノプロピル）イミダゾール、ヒスチジン、２－アミノイミダゾール、１－（２－アミノエチル）イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、３－アミノ－１，２，４－トリアゾール、５－（２－アミノ－５－クロロフェニル）－３－フェニル－１Ｈ－１，２，４－トリアゾール、４－アミノ－４Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３，５－ジオール、３－アミノ－５－フェニル－１Ｈ－１，３，４－トリアゾール、５－アミノ－１，４－ジフェニル－１，２，３－トリアゾール、３－アミノ－１－ベンジル－１Ｈ－２，４－トリアゾール等が挙げられる。中でも、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、１－（３－アミノプロピル）イミダゾール、３－アミノ－１，２，４－トリアゾールが好ましい。
これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率はポリイソシアネート化合物１００質量部に対し、同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１０，０００の化合物が１０～２００質量部、好ましくは２０～１９０質量部、更に好ましくは３０～１８０質量部、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物が０．２～２５質量部、好ましくは０．３～２４質量部である。
ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率はポリイソシアネート化合物１００質量部に対し、同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１０，０００の化合物が１０～２００質量部、好ましくは２０～１９０質量部、更に好ましくは３０～１８０質量部、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物が０．２～２５質量部、好ましくは０．３～２４質量部である。
ウレタン系高分子分散剤の製造はポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。製造する際の溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類、塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、Ｎ－メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒等が用いられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
上記製造に際して、通常、ウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系、鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の３級アミン系等の１種又は２種以上が挙げられる。
＜アミン価の測定方法＞
分散剤の３級アミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表し、次の方法により測定することができる。
１００ｍＬのビーカーに分散剤試料の０．５～１．５ｇを精秤し、５０ｍＬの酢酸で溶解する。ｐＨ電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を０．１ｍｏｌ／ＬのＨＣｌＯ4（過塩素酸）酢酸溶液にて中和滴定する。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
分散剤の３級アミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表し、次の方法により測定することができる。
１００ｍＬのビーカーに分散剤試料の０．５～１．５ｇを精秤し、５０ｍＬの酢酸で溶解する。ｐＨ電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を０．１ｍｏｌ／ＬのＨＣｌＯ4（過塩素酸）酢酸溶液にて中和滴定する。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
アミン価［ｍｇＫＯＨ／ｇ］＝（５６１×Ｖ）／（Ｗ×Ｓ）
〔但し、Ｗ：分散剤試料秤取量［ｇ］、Ｖ：滴定終点での滴定量［ｍＬ］、Ｓ：分散剤試料の固形分濃度［質量％］を表す。〕
同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で１～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは５～９５ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてＫＯＨのｍｇ数で表した値である。アミン価を前記下限値以上とすることで分散性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。
〔但し、Ｗ：分散剤試料秤取量［ｇ］、Ｖ：滴定終点での滴定量［ｍＬ］、Ｓ：分散剤試料の固形分濃度［質量％］を表す。〕
同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で１～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは５～９５ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてＫＯＨのｍｇ数で表した値である。アミン価を前記下限値以上とすることで分散性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。
なお、以上の反応で高分子分散剤にイソシアネート基が残存する場合には更に、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を潰すと生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常１，０００～２００，０００、好ましくは２，０００～１００，０００、より好ましくは３，０００～５０，０００の範囲である。特に３０，０００以下が好ましい。前記下限値以上とすることで分散性及び分散安定性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで溶解性が良好となる傾向がある。分子量が３０，０００以下であると、特に顔料濃度の高い場合でも、アルカリ現像性が良好となる傾向がある。このような特に好ましい市販のウレタン分散剤の例としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２（ビックケミー社）などが挙げられる。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常１，０００～２００，０００、好ましくは２，０００～１００，０００、より好ましくは３，０００～５０，０００の範囲である。特に３０，０００以下が好ましい。前記下限値以上とすることで分散性及び分散安定性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで溶解性が良好となる傾向がある。分子量が３０，０００以下であると、特に顔料濃度の高い場合でも、アルカリ現像性が良好となる傾向がある。このような特に好ましい市販のウレタン分散剤の例としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２（ビックケミー社）などが挙げられる。
（ｅ）分散剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分中、通常５０質量％以下、好ましくは３０質量％以下、より好ましくは２０質量％以下、通常１質量％以上、好ましくは３質量％以上、より好ましくは５質量％以上、さらに好ましくは７質量％以上、特に好ましくは１０質量％以上である。また、分散剤の含有割合は、（ｄ）色材１００質量部に対して、通常５質量部以上、好ましくは１０質量部以上で、より好ましくは１５質量部以上であり、通常２００質量部以下、好ましくは８０質量部以下、より好ましくは５０質量部以下である。前記下限値以上とすることで十分な分散性を確保しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで他の成分の割合を減らすことなく、色濃度、感度、成膜性などを十分なものとしやすい傾向がある。
＜チオール類＞
本発明における感光性樹脂組成物は、高感度化、基板への密着性の向上のため、チオール類を含有することが好ましい。チオール類の種類としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４－ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス（３－メルカプトブチレート）、プロピレングリコールビス（３－メルカプトブチレート）；（略してＰＧＭＢ），ブタンジオールビス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン；（商品名；カレンズＭＴ ＢＤ１、昭和電工（株）製）、ブタンジオールトリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）；（商品名；カレンズＭＴ ＰＥ１、昭和電工（株）製）、ペンタエリスリトールトリス（３－ メルカプトブチレート）、エチレングリコールビス（３－メルカプトイソブチレート）、ブタンジオールビス（３－メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）；（略してＴＰＭＢ） トリメチロールプロパントリス（２－メルカプトイソブチレート）；（略してＴＰＭＩＢ）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン；（商品名；カレンズＭＴ ＮＲ１、昭和電工（株）製）等が挙げられ、これらは種々のものが１種を単独で、或いは２種以上を混合して使用できる。好ましくは上記、ＰＧＭＢ、ＴＰＭＢ、ＴＰＭＩＢ、カレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１などの多官能チオールが好ましく、その中でもカレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１がさらに好ましく、カレンズＭＴ ＰＥ１が特に好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、高感度化、基板への密着性の向上のため、チオール類を含有することが好ましい。チオール類の種類としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４－ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス（３－メルカプトブチレート）、プロピレングリコールビス（３－メルカプトブチレート）；（略してＰＧＭＢ），ブタンジオールビス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン；（商品名；カレンズＭＴ ＢＤ１、昭和電工（株）製）、ブタンジオールトリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）；（商品名；カレンズＭＴ ＰＥ１、昭和電工（株）製）、ペンタエリスリトールトリス（３－ メルカプトブチレート）、エチレングリコールビス（３－メルカプトイソブチレート）、ブタンジオールビス（３－メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）；（略してＴＰＭＢ） トリメチロールプロパントリス（２－メルカプトイソブチレート）；（略してＴＰＭＩＢ）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン；（商品名；カレンズＭＴ ＮＲ１、昭和電工（株）製）等が挙げられ、これらは種々のものが１種を単独で、或いは２種以上を混合して使用できる。好ましくは上記、ＰＧＭＢ、ＴＰＭＢ、ＴＰＭＩＢ、カレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１などの多官能チオールが好ましく、その中でもカレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１がさらに好ましく、カレンズＭＴ ＰＥ１が特に好ましい。
チオール化合物を用いる場合、チオール化合物の含有割合は、本発明における感光性樹脂組成物の全固形分に対して、好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．３質量％以上、更に好ましくは０．５質量以上であり、通常１０質量％以下、好ましくは５質量％以下である。前記下限値以上とすることで感度低下を抑制できる傾向があり、前記上限値以下とすることで保存安定性を良好なものとしやすい傾向がある。
＜溶剤＞
本発明における感光性樹脂組成物は、通常、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）色材及び必要に応じて使用される各種材料が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
有機溶剤としては、沸点（圧力１０１３．２５［ｈＰａ］条件下。以下、沸点に関しては全て同様。）が１００～３００℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０～２８０℃の沸点をもつ溶剤である。
このような有機溶剤としては、例えば、次のようなものが挙げられる。
本発明における感光性樹脂組成物は、通常、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）色材及び必要に応じて使用される各種材料が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
有機溶剤としては、沸点（圧力１０１３．２５［ｈＰａ］条件下。以下、沸点に関しては全て同様。）が１００～３００℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０～２８０℃の沸点をもつ溶剤である。
このような有機溶剤としては、例えば、次のようなものが挙げられる。
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、プロピレングリコール－ｔ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３－メチル－３－メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類；
エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類；
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、３－メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類；
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、３－メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類；
エチレングリコールジアセテート、１，３－ブチレングリコールジアセテート、１，６－ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類；
シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類；
アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類；
アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような１価又は多価アルコール類；
ｎ－ペンタン、ｎ－オクタン、ジイソブチレン、ｎ－ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類；
シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類；
シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類；
アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類；
アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような１価又は多価アルコール類；
ｎ－ペンタン、ｎ－オクタン、ジイソブチレン、ｎ－ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類；
シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類；
ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類；
アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸プロピル、３－メトキシプロピオン酸ブチル、γ－ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類；
３－メトキシプロピオン酸、３－エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類；
アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸プロピル、３－メトキシプロピオン酸ブチル、γ－ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類；
３－メトキシプロピオン酸、３－エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類；
ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類；
メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類；
アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類；
上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル＃２、アプコ＃１８ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントＮｏ．１及びＮｏ．２、ソルベッソ＃１５０、シェルＴＳ２８ ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ（「セロソルブ」は登録商標。以下同じ。）、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム（いずれも商品名）などが挙げられる。
メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類；
アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類；
上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル＃２、アプコ＃１８ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントＮｏ．１及びＮｏ．２、ソルベッソ＃１５０、シェルＴＳ２８ ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ（「セロソルブ」は登録商標。以下同じ。）、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム（いずれも商品名）などが挙げられる。
これらの有機溶剤は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
フォトリソグラフィー法にてカラーフィルターの画素又はブラックマトリックスを形成する場合、有機溶剤としては沸点が１００～２５０℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０～２３０℃の沸点を持つものである。
上記有機溶剤のうち、塗布性、表面張力などのバランスが良く、組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点からは、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。
フォトリソグラフィー法にてカラーフィルターの画素又はブラックマトリックスを形成する場合、有機溶剤としては沸点が１００～２５０℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０～２３０℃の沸点を持つものである。
上記有機溶剤のうち、塗布性、表面張力などのバランスが良く、組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点からは、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。
また、グリコールアルキルエーテルアセテート類は、単独で使用してもよいが、他の有機溶剤を併用してもよい。併用してもよい他の有機溶剤として、特に好ましいのはグリコールモノアルキルエーテル類である。中でも、特に組成物中の構成成分の溶解性からプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。なお、グリコールモノアルキルエーテル類は極性が高く、添加量が多すぎると顔料が凝集しやすく、後に得られる感光性樹脂組成物の粘度が上がっていくなどの保存安定性が低下する傾向があるので、溶剤中のグリコールモノアルキルエーテル類の割合は５質量％～３０質量％が好ましく、５質量％～２０質量％がより好ましい。
また、２００℃以上の沸点をもつ有機溶剤（以下「高沸点溶剤」と称す場合がある。）を併用することも好ましい。このような高沸点溶剤を併用することにより、感光性樹脂組成物は乾きにくくなるが、組成物中における顔料の均一な分散状態が、急激な乾燥により破壊されることを防止する効果がある。すなわち、例えばスリットノズル先端における、色材などの析出・固化による異物欠陥の発生を防止する効果がある。このような効果が高い点から、上述の各種溶剤の中でも、特にジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、１，４－ブタンジオールジアセテート、１，３－ブチレングリコールジアセテート、トリアセチン、１，６－ヘキサンジオールジアセテートが好ましい。
有機溶剤中の高沸点溶剤の含有割合は、０質量％～５０質量％が好ましく、０．５質量％～４０質量％がより好ましく、１質量％～３０質量％が特に好ましい。前記下限値以上とすることで、例えばスリットノズル先端で色材などが析出・固化して異物欠陥を惹き起こすことを抑制できる傾向があり、また前記上限値以下とすることで組成物の乾燥温度が遅くなってカラーフィルター製造工程における、減圧乾燥プロセスのタクト不良や、プリベークのピン跡といった問題の発生を抑制できる傾向がある。
本発明における感光性樹脂組成物において、有機溶剤の含有割合は特に限定されないが、塗布し易さや粘度安定性の観点から、感光性樹脂組成物中の全固形分が好ましくは５質量％以上、より好ましくは８質量％以上、さらに好ましくは１０質量％以上、また、好ましくは４０質量％以下、より好ましくは３０質量％以下、さらに好ましくは２５質量％以下、特に好ましくは２０質量％以下である。
＜感光性樹脂組成物のその他の配合成分＞
本発明における感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、密着向上剤、塗布性向上剤、顔料誘導体、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等を適宜配合することができる。
本発明における感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、密着向上剤、塗布性向上剤、顔料誘導体、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等を適宜配合することができる。
＜密着向上剤＞
基板との密着性を改善するため、密着向上剤を含有させてもよく、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられるが、特にシランカップリング剤が好ましい。
このようなシランカップリング剤としては、例えば、ＫＢＭ－４０２、ＫＢＭ－４０３、ＫＢＭ－５０２、ＫＢＭ－５１０３、ＫＢＥ－９００７、Ｘ－１２－１０４８、Ｘ－１２－１０５０（信越シリコーン社製）、Ｚ－６０４０、Ｚ－６０４３、Ｚ－６０６２（東レ・ダウコーニング社製）等が挙げられる。なお、シランカップリング剤は、１種を用いてもよく、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
さらに、シランカップリング剤以外の密着向上剤を本発明における感光性樹脂組成物に含有させてもよく、例えば、リン酸系密着向上剤、その他の密着向上剤等が挙げられる。
基板との密着性を改善するため、密着向上剤を含有させてもよく、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられるが、特にシランカップリング剤が好ましい。
このようなシランカップリング剤としては、例えば、ＫＢＭ－４０２、ＫＢＭ－４０３、ＫＢＭ－５０２、ＫＢＭ－５１０３、ＫＢＥ－９００７、Ｘ－１２－１０４８、Ｘ－１２－１０５０（信越シリコーン社製）、Ｚ－６０４０、Ｚ－６０４３、Ｚ－６０６２（東レ・ダウコーニング社製）等が挙げられる。なお、シランカップリング剤は、１種を用いてもよく、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
さらに、シランカップリング剤以外の密着向上剤を本発明における感光性樹脂組成物に含有させてもよく、例えば、リン酸系密着向上剤、その他の密着向上剤等が挙げられる。
リン酸系密着向上剤としては、（メタ）アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式（ｇ１）、（ｇ２）、（ｇ３）で表されるものが好ましい。
上記一般式（ｇ１）、（ｇ２）、（ｇ３）において、Ｒ51は各々独立に水素原子又はメチル基を示し、ｌ及びｌ’は各々独立に１～１０の整数、ｍは各々独立に１、２又は３である。
その他の密着向上剤としては、ＴＥＧＯ*Ａｄｄ Ｂｏｎｄ ＬＴＨ（Ｅｖｏｎｉｋ社製）などが上げられる。これらの燐酸基含有化合物やその他の密着剤も１種類を単独で用いても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
その他の密着向上剤としては、ＴＥＧＯ*Ａｄｄ Ｂｏｎｄ ＬＴＨ（Ｅｖｏｎｉｋ社製）などが上げられる。これらの燐酸基含有化合物やその他の密着剤も１種類を単独で用いても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
感光性樹脂組成物中の密着向上剤の含有割合は特に限定されないが、全固形分中０．０１質量％以上であることが好ましく、０．１０質量％以上であることがより好ましく、０．５０質量％以上であることがさらに好ましく、また、５．０質量％以下であることが好ましく、３．０質量％以下であることがより好ましく、２．０質量％以下であることがさらに好ましく、１．５質量％以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで密着力が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。
＜塗布性向上剤＞
本発明における感光性樹脂組成物には、塗布性向上のため、塗布性向上剤として界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、非イオン系および両性界面活性剤等各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系またはシリコーン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。
本発明における感光性樹脂組成物には、塗布性向上のため、塗布性向上剤として界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、非イオン系および両性界面活性剤等各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系またはシリコーン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。
このような界面活性剤としては、例えば、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＤＦＸ－１８（ネオス社製）、ＢＹＫ－３００、ＢＹＫ－３２５、ＢＹＫ－３３０（ビックケミー社製）、ＫＰ３４０（信越シリコーン社製）、Ｆ－４７０、Ｆ－４７５、Ｆ－４７８、Ｆ－５５４、Ｆ－５５９（ＤＩＣ社製）、ＳＨ７ＰＡ（東レ・ダウコーニング社製）、ＤＳ－４０１（ダイキン社製）、Ｌ－７７（日本ユニカー社製）およびＦＣ４４３０（３Ｍジャパン社製）等が挙げられる。なお、界面活性剤は、１種を用いてもよく、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
感光性樹脂組成物中の界面活性剤の含有割合は特に限定されないが、全固形分中０．０１質量％以上であることが好ましく、０．０５質量％以上であることがより好ましく、また、１．０質量％以下であることが好ましく、０．７質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以下であることがさらに好ましく、０．３質量％以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることでレジスト塗布均一性がよくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジスト感度が下がらない傾向がある。
感光性樹脂組成物中の界面活性剤の含有割合は特に限定されないが、全固形分中０．０１質量％以上であることが好ましく、０．０５質量％以上であることがより好ましく、また、１．０質量％以下であることが好ましく、０．７質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以下であることがさらに好ましく、０．３質量％以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることでレジスト塗布均一性がよくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジスト感度が下がらない傾向がある。
＜顔料誘導体＞
本発明における感光性樹脂組成物には、分散性、保存性向上のため、顔料誘導体を含有させてもよい。顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物には、分散性、保存性向上のため、顔料誘導体を含有させてもよい。顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
顔料誘導体の置換基としてはスルホン酸基、スルホンアミド基及びその４級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシ基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していてもよい。顔料誘導体の具体例としてはフタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体等が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
顔料誘導体の配合割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して０．１質量％以上が好ましく、０．５質量％以上がより好ましく、１．０質量％以上がさらに好ましく、また、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで分散安定性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。
＜感光性樹脂組成物の物性＞
本発明における感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス形成用に好適に使用することができ、係る観点からは黒色を呈していることが好ましい。また、その塗膜の膜厚１μｍ当たりの光学濃度（ＯＤ）が１．０以上であることが好ましく、２．０以上であることがより好ましく、２．５以上であることがさらに好ましく、３．０以上であることがよりさらに好ましく、４．０以上であることが特に好ましく、４．５以上であることが最も好ましく、通常６．０以下である。前記下限値以上とすることで十分な遮光性が確保できる傾向がある。
本発明における感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス形成用に好適に使用することができ、係る観点からは黒色を呈していることが好ましい。また、その塗膜の膜厚１μｍ当たりの光学濃度（ＯＤ）が１．０以上であることが好ましく、２．０以上であることがより好ましく、２．５以上であることがさらに好ましく、３．０以上であることがよりさらに好ましく、４．０以上であることが特に好ましく、４．５以上であることが最も好ましく、通常６．０以下である。前記下限値以上とすることで十分な遮光性が確保できる傾向がある。
＜（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法＞
本発明の、下記一般式（Ｉ）で表される（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法は、アルコール溶剤の存在下、式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量以上である。
本発明の、下記一般式（Ｉ）で表される（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法は、アルコール溶剤の存在下、式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量以上である。
（式（Ｉ）中、Ｒ１、Ｒ２は、それぞれ独立して一価の有機基を表し、Ａｒ１は、置換基を有していてもよい、芳香族基を表す。）
（式（Ｉａ）中、Ａｒ１は、式（Ｉ）と同様であり、Ｒ２ａは一価の有機基を表す。Ｒ２ａは、式（Ｉ）中のＲ２と同一であっても、異なっていてもよい。）
（式（Ｉｂ）中、Ａｒ１は、式（Ｉ）と同様であり、Ｒ２ｂは一価の有機基を表す。Ｒ２ｂは、式（Ｉ）中のＲ２や式（Ｉａ）中のＲ２ａと同一であっても、異なっていてもよい。）
前記アルコール溶剤としては、メタノールを含有する。前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノール含有量としては、感度の観点から、７０質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上がさらに好ましく、１００質量％が特に好ましい。
前記アルコール溶剤として用いるメタノール以外のアルコールとしては、特に制限はないが、感度の点からエタノールやイソプロパノールが好ましく、エタノールがより好ましい。
前記ケトン化合物から前記オキシム化合物を生成する工程の反応温度としては、一般的には反応溶液の還流温度であり、特に制限はないが、感度の観点からは、５０℃～１２０℃が好ましく、６０℃～８０℃がより好ましい。
また、反応触媒としては、一般的には塩基が用いられ、特に制限はないが、感度の観点からは、酢酸ナトリウムまたはピリジンが好ましく、酢酸ナトリウムがより好ましい。
また、オキシム化のために式（Ｉａ）で表されるケトン化合物と反応させる化合物は、特に制限はないが、感度の観点からは、ヒドロキシルアミンまたはその塩が好ましく、ヒドロキシルアミンの塩酸塩がより好ましい。
また、反応触媒としては、一般的には塩基が用いられ、特に制限はないが、感度の観点からは、酢酸ナトリウムまたはピリジンが好ましく、酢酸ナトリウムがより好ましい。
また、オキシム化のために式（Ｉａ）で表されるケトン化合物と反応させる化合物は、特に制限はないが、感度の観点からは、ヒドロキシルアミンまたはその塩が好ましく、ヒドロキシルアミンの塩酸塩がより好ましい。
式（Ｉａ）で表されるケトン化合物は、芳香族化合物のアシル化反応によって製造される。
反応溶剤としては、一般的にはハロゲン化炭化水素が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からは塩化メチレンが好ましい。
アシル化触媒としては、一般的にはハロゲン化金属が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からは三塩化アルミニウムが好ましい。
反応温度としては、特に制限はないが、反応収率の観点からは０℃～２０℃が好ましく、０℃～１０℃がより好ましい。
反応溶剤としては、一般的にはハロゲン化炭化水素が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からは塩化メチレンが好ましい。
アシル化触媒としては、一般的にはハロゲン化金属が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からは三塩化アルミニウムが好ましい。
反応温度としては、特に制限はないが、反応収率の観点からは０℃～２０℃が好ましく、０℃～１０℃がより好ましい。
式（Ｉ）で表される（ｃ１）オキシムエステル系化合物は、式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物のエステル化によって製造される。反応溶剤としては、一般的にはハロゲン化炭化水素、エステル化合物、エーテル化合物が有機溶剤として用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からは酢酸エチルが好ましい。
触媒としては、一般的には塩基化合物が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からはトリエチルアミンが好ましい。
反応温度としては、特に制限はないが、反応収率の観点からは－１５℃～５０℃が好ましく、０℃～１０℃がより好ましい。
エステル化のためにオキシム化合物と反応させる化合物としては、一般的には、酸無水物、酸塩化物が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からはアセチルクロリドが好ましい。
触媒としては、一般的には塩基化合物が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からはトリエチルアミンが好ましい。
反応温度としては、特に制限はないが、反応収率の観点からは－１５℃～５０℃が好ましく、０℃～１０℃がより好ましい。
エステル化のためにオキシム化合物と反応させる化合物としては、一般的には、酸無水物、酸塩化物が用いられ、特に制限はないが、反応収率の観点からはアセチルクロリドが好ましい。
オキシムエステル系化合物は、Ｃ＝Ｎ結合に対し、芳香族基（Ａｒ１）とエステル基（Ｒ１ＣＯＯ）が２種の立体配置アンチ体またはシス体で存在し、立体配置によって感度が異なり、アンチ体の方が感度が高い。
本発明のオキシムエステル系化合物の製造方法では、前記式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から前記式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上であることで、アンチ体の選択性が高まり、感度が高くなる。
本発明のオキシムエステル系化合物の製造方法では、前記式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から前記式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上であることで、アンチ体の選択性が高まり、感度が高くなる。
＜感光性樹脂組成物の製造方法＞
本発明の感光性樹脂組成物の製造方法は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物の製造方法であって、上述した（ｃ１）オキシムエステル系化合物を（ｃ）光重合開始剤として配合する方法である。
本発明における感光性樹脂組成物（以下、「レジスト」と称することがある。）は例えば、以下の方法で製造される。
通常、（ｄ）色材は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により（ｄ）色材が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。また、（ｄ）色材として黒色色材を使用した場合は遮光能力の向上に寄与する。
本発明の感光性樹脂組成物の製造方法は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物の製造方法であって、上述した（ｃ１）オキシムエステル系化合物を（ｃ）光重合開始剤として配合する方法である。
本発明における感光性樹脂組成物（以下、「レジスト」と称することがある。）は例えば、以下の方法で製造される。
通常、（ｄ）色材は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により（ｄ）色材が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。また、（ｄ）色材として黒色色材を使用した場合は遮光能力の向上に寄与する。
分散処理は、通常、（ｄ）色材、有機溶剤、及び必要に応じて（ｅ）分散剤、（ａ）アルカリ可溶性樹脂の一部又は全部を併用した系にて行うことが好ましい。（以下、分散処理に供する混合物、及び該処理にて得られた組成物を「インク」又は「顔料分散液」と称することがある。）特に分散剤として高分子分散剤を用いると、得られたインク及びレジストの経時の増粘が抑制される（分散安定性に優れる）ので好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に配合する全成分を含有する液に対して分散処理を行った場合、分散処理時に生じる発熱のため、高反応性の成分が変性する可能性がある。従って、高分子分散剤を含む系にて分散処理を行うことが好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に配合する全成分を含有する液に対して分散処理を行った場合、分散処理時に生じる発熱のため、高反応性の成分が変性する可能性がある。従って、高分子分散剤を含む系にて分散処理を行うことが好ましい。
サンドグラインダーで（ｄ）色材を分散させる場合には、０．１～８ｍｍ程度の径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常、０℃から１００℃であり、好ましくは、室温から８０℃の範囲である。分散時間は液の組成及び分散処理装置のサイズ等により適正時間が異なるため適宜調節する。レジストの２０度鏡面光沢度（ＪＩＳ Ｚ８７４１）が１００～２００の範囲となるように、インキの光沢を制御するのが分散の目安である。レジストの光沢度が低い場合には、分散処理が十分でなく荒い顔料（色材）粒子が残っていることが多く、現像性、密着性、解像性等が不十分となる可能性がある。また、光沢値が上記範囲を超えるまで分散処理を行うと、顔料が破砕して超微粒子が多数生じるため、却って分散安定性が損なわれる傾向がある。
次に、上記分散処理により得られたインキと、感光性樹脂組成物中に含まれる、他の成分、すなわち（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー及び（ｃ）光重合開始剤等を配合、２０℃～３０度の温度で混合して均一な溶液とする。感光性樹脂組成物の製造工程においては、微細なゴミが液中に混じることが多いため、得られたレジストはフィルター等により濾過処理するのが望ましい。
［硬化物］
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、画素、ブラックマトリックスや着色スペーサーなどのカラーフィルターを構成する部材として好適に用いることができる。
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、画素、ブラックマトリックスや着色スペーサーなどのカラーフィルターを構成する部材として好適に用いることができる。
［ブラックマトリックス］
次に、本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスについて、その製造方法に従って説明する。
次に、本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスについて、その製造方法に従って説明する。
（１） 支持体
ブラックマトリックスを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。おもに透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。この中でも、耐熱性の観点からガラス、耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の表面にＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明電極が成膜されている場合も有る。透明基板以外では、ＴＦＴアレイ上に形成することも可能である。
ブラックマトリックスを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。おもに透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。この中でも、耐熱性の観点からガラス、耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の表面にＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明電極が成膜されている場合も有る。透明基板以外では、ＴＦＴアレイ上に形成することも可能である。
支持体には、接着性などの表面物性の改良のため、必要に応じ、コロナ放電処理、オゾン処理、大気圧プラズマ処理、シランカップリング剤や、ウレタン系樹脂などの各種樹脂の薄膜形成処理などを行ってもよい。
透明基板の厚さは、通常０．０５～１０ｍｍ、好ましくは０．１～７ｍｍの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常０．０１～１０μｍ、好ましくは０．０５～５μｍの範囲である。
透明基板の厚さは、通常０．０５～１０ｍｍ、好ましくは０．１～７ｍｍの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常０．０１～１０μｍ、好ましくは０．０５～５μｍの範囲である。
（２） ブラックマトリックス
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物により、ブラックマトリックスを形成する方法としては、該感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化物でブラックマトリックスを形成する方法があり、例えば、透明基板上に本発明における感光性樹脂組成物を塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することによりブラックマトリックスを形成させる方法がある。
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物により、ブラックマトリックスを形成する方法としては、該感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化物でブラックマトリックスを形成する方法があり、例えば、透明基板上に本発明における感光性樹脂組成物を塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することによりブラックマトリックスを形成させる方法がある。
（３） ブラックマトリックスの形成
（３－１） 感光性樹脂組成物の塗布
ブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の透明基板上への塗布は、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、又はスプレーコート法などによって行うことができる。中でも、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法によった際に付着するミストなどの影響が全くなく、異物発生が抑制されるなど、総合的な観点から好ましい。
（３－１） 感光性樹脂組成物の塗布
ブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の透明基板上への塗布は、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、又はスプレーコート法などによって行うことができる。中でも、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法によった際に付着するミストなどの影響が全くなく、異物発生が抑制されるなど、総合的な観点から好ましい。
塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常０．２～１０μｍの範囲とするのが好ましく、より好ましいのは０．５～６μｍの範囲、更に好ましいのは１～４μｍの範囲である。前記上限値以下とすることで、パターン現像が容易となり、液晶セル化工程でのギャップ調整も容易となる傾向がある。前記下限値以上とすることで、所望の色発現が容易となる傾向がある。
（３－２） 塗膜の乾燥
基板に感光性樹脂組成物を塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、ＩＲオーブン、又はコンベクションオーブンを使用した乾燥法によるのが好ましい。乾燥の条件は、前記溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて適宜選択することができる。乾燥時間は、溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて、通常は、４０～２００℃の温度で１５秒～５分間の範囲で選ばれ、好ましくは５０～１３０℃の温度で３０秒～３分間の範囲で選ばれる。
基板に感光性樹脂組成物を塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、ＩＲオーブン、又はコンベクションオーブンを使用した乾燥法によるのが好ましい。乾燥の条件は、前記溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて適宜選択することができる。乾燥時間は、溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて、通常は、４０～２００℃の温度で１５秒～５分間の範囲で選ばれ、好ましくは５０～１３０℃の温度で３０秒～３分間の範囲で選ばれる。
乾燥温度は、高いほど透明基板に対する塗膜の接着性が向上するが、高すぎるとアルカリ可溶性樹脂が分解し、熱重合を誘発して現像不良を生ずる場合がある。なお、この塗膜の乾燥工程は、温度を高めず、減圧チャンバー内で乾燥を行う、減圧乾燥法であってもよい。
（３－３）露光
画像露光は、感光性樹脂組成物の塗膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外域から可視域に至る波長の光を照射して行う。この際、必要に応じ、酸素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性の塗膜上にポリビニルアルコール層などの酸素遮断層を形成した後に露光を行ってもよい。上記の画像露光に使用される光源は、特に限定されるものではない。光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアークなどのランプ光源などが挙げられる。特定の波長の光を照射して使用する場合には、光学フィルタを利用することもできる。
画像露光は、感光性樹脂組成物の塗膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外域から可視域に至る波長の光を照射して行う。この際、必要に応じ、酸素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性の塗膜上にポリビニルアルコール層などの酸素遮断層を形成した後に露光を行ってもよい。上記の画像露光に使用される光源は、特に限定されるものではない。光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアークなどのランプ光源などが挙げられる。特定の波長の光を照射して使用する場合には、光学フィルタを利用することもできる。
（３－４）現像
本発明におけるブラックマトリックスは、感光性樹脂組成物による塗膜を、上記の光源によって画像露光を行った後、有機溶剤、又は、界面活性剤とアルカリ性化合物とを含む水溶液を用いる現像によって、基板上に画像を形成して作製することができる。この水溶液には、更に有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。
本発明におけるブラックマトリックスは、感光性樹脂組成物による塗膜を、上記の光源によって画像露光を行った後、有機溶剤、又は、界面活性剤とアルカリ性化合物とを含む水溶液を用いる現像によって、基板上に画像を形成して作製することができる。この水溶液には、更に有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。
アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸二水素カリウム、水酸化アンモニウムなどの無機アルカリ性化合物や、モノ－・ジ－又はトリエタノールアミン、モノ－・ジ－又はトリメチルアミン、モノ－・ジ－又はトリエチルアミン、モノ－又はジイソプロピルアミン、ｎ－ブチルアミン、モノ－・ジ－又はトリイソプロパノールアミン、エチレンイミン、エチレンジイミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、コリンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ性化合物は、２種以上の混合物であってもよい。
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤、アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤が挙げられる。
有機溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。有機溶剤は、単独で用いてもよく、また、水溶液と併用してもよい。
現像処理の条件は特に制限はなく、通常、現像温度は１０～５０℃の範囲、中でも１５～４５℃、特に好ましくは２０～４０℃で、現像方法は、浸漬現像法、スプレー現像法、ブラシ現像法、超音波現像法などのいずれかの方法によることができる。
現像処理の条件は特に制限はなく、通常、現像温度は１０～５０℃の範囲、中でも１５～４５℃、特に好ましくは２０～４０℃で、現像方法は、浸漬現像法、スプレー現像法、ブラシ現像法、超音波現像法などのいずれかの方法によることができる。
（３－５）熱硬化処理
現像の後の基板には、熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。この際の熱硬化処理条件は、温度は１００～２８０℃の範囲、好ましくは１５０～２５０℃の範囲で選ばれ、時間は５～６０分間の範囲で選ばれる。
以上のようにして形成させたブラックマトリックスの高さは通常０．５～５μｍ、好ましくは０．８～４μｍである。
さらに、厚さ１μｍ当たりの光学濃度（ＯＤ）が２．０以上、好ましくは２．５以上、より好ましくは３．０以上、特に好ましくは３．２以上である。
現像の後の基板には、熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。この際の熱硬化処理条件は、温度は１００～２８０℃の範囲、好ましくは１５０～２５０℃の範囲で選ばれ、時間は５～６０分間の範囲で選ばれる。
以上のようにして形成させたブラックマトリックスの高さは通常０．５～５μｍ、好ましくは０．８～４μｍである。
さらに、厚さ１μｍ当たりの光学濃度（ＯＤ）が２．０以上、好ましくは２．５以上、より好ましくは３．０以上、特に好ましくは３．２以上である。
［その他のカラーフィルター画像の形成］
ブラックマトリックスを設けた透明基板上に、上記（３－１）～（３－５）と同じプロセスで赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有する感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化又は光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作成する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色の感光性樹脂組成物についてそれぞれ行うことによって、カラーフィルター画像を形成することができる。これらの順番は上記に限定されるものではない。
ブラックマトリックスを設けた透明基板上に、上記（３－１）～（３－５）と同じプロセスで赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有する感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化又は光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作成する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色の感光性樹脂組成物についてそれぞれ行うことによって、カラーフィルター画像を形成することができる。これらの順番は上記に限定されるものではない。
［着色スペーサー］
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス以外に着色スペーサー用のレジストとして使用することも可能である。スペーサーをＴＦＴ型ＬＣＤに使用する場合、ＴＦＴに入射する光によりスイッチング素子としてＴＦＴが誤作動を起こすことがあり、着色スペーサーはこれを防止するために用いられ、例えば、特開平８－２３４２１２号公報にスペーサーを遮光性とすることが記載されている。着色スペーサーは着色スペーサー用のマスクを用いる以外は前述のブラックマトリックスと同様の方法で形成することができる。
本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス以外に着色スペーサー用のレジストとして使用することも可能である。スペーサーをＴＦＴ型ＬＣＤに使用する場合、ＴＦＴに入射する光によりスイッチング素子としてＴＦＴが誤作動を起こすことがあり、着色スペーサーはこれを防止するために用いられ、例えば、特開平８－２３４２１２号公報にスペーサーを遮光性とすることが記載されている。着色スペーサーは着色スペーサー用のマスクを用いる以外は前述のブラックマトリックスと同様の方法で形成することができる。
（３－６） 透明電極の形成
カラーフィルターは、このままの状態で画像上にＩＴＯなどの透明電極を形成して、カラーディスプレー、液晶表示装置などの部品の一部として使用されるが、表面平滑性や耐久性を高めるため、必要に応じ、画像上にポリアミド、ポリイミドなどのトップコート層を設けることもできる。また一部、平面配向型駆動方式（ＩＰＳモード）などの用途においては、透明電極を形成しないこともある。
カラーフィルターは、このままの状態で画像上にＩＴＯなどの透明電極を形成して、カラーディスプレー、液晶表示装置などの部品の一部として使用されるが、表面平滑性や耐久性を高めるため、必要に応じ、画像上にポリアミド、ポリイミドなどのトップコート層を設けることもできる。また一部、平面配向型駆動方式（ＩＰＳモード）などの用途においては、透明電極を形成しないこともある。
［画像表示装置］
本発明における画像表示装置は、本発明における感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物を有するものであり、その製造方法としては、例えば、本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物により形成された、ブラックマトリクスを用いる製造方法が挙げられる。
本発明における画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、後述する液晶表示装置や有機ＥＬディスプレイ等が挙げられる。
本発明における画像表示装置は、本発明における感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物を有するものであり、その製造方法としては、例えば、本発明の製造方法で得られた感光性樹脂組成物により形成された、ブラックマトリクスを用いる製造方法が挙げられる。
本発明における画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、後述する液晶表示装置や有機ＥＬディスプレイ等が挙げられる。
［液晶表示装置］
本発明における液晶表示装置は、上述の本発明におけるブラックマトリックスを有するものであり、カラー画素やブラックマトリックスの形成順序や形成位置等特に制限を受けるものではない。
本発明における液晶表示装置は、上述の本発明におけるブラックマトリックスを有するものであり、カラー画素やブラックマトリックスの形成順序や形成位置等特に制限を受けるものではない。
液晶表示装置は、通常、カラーフィルター上に配向膜を形成し、この配向膜上にスペーサーを散布した後、対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、対向電極に結線して完成する。配向膜としては、ポリイミド等の樹脂膜が好適である。配向膜の形成には、通常、グラビア印刷法及び／又はフレキソ印刷法が採用され、配向膜の厚さは数１０ｎｍとされる。熱焼成によって配向膜の硬化処理を行った後、紫外線の照射やラビング布による処理によって表面処理し、液晶の傾きを調整しうる表面状態に加工される。
スペーサーとしては、対向基板とのギャップ（隙間）に応じた大きさのものが用いられ、通常２～８μｍのものが好適である。カラーフィルター基板上に、フォトリソグラフィ法によって透明樹脂膜のフォトスペーサー（ＰＳ）を形成し、これをスペーサーの代わりに活用することもできる。対向基板としては、通常、アレイ基板が用いられ、特にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）基板が好適である。
対向基板との貼り合わせのギャップは、液晶表示装置の用途によって異なるが、通常２～８μｍの範囲で選ばれる。対向基板と貼り合わせた後、液晶注入口以外の部分は、エポキシ樹脂等のシール材によって封止する。シール材は、ＵＶ照射及び／又は加熱することによって硬化させ、液晶セル周辺がシールされる。
周辺をシールされた液晶セルは、パネル単位に切断した後、真空チャンバー内で減圧とし、上記液晶注入口を液晶に浸漬した後、チャンバー内をリークすることによって、液晶を液晶セル内に注入する。液晶セル内の減圧度は、通常、１×１０-2～１×１０-7Ｐａであるが、好ましくは１×１０-3～１×１０-6Ｐａである。また、減圧時に液晶セルを加温するのが好ましく、加温温度は通常３０～１００℃であり、より好ましくは５０～９０℃である。減圧時の加温保持は、通常１０～６０分間の範囲とされ、その後液晶中に浸漬される。液晶を注入した液晶セルは、液晶注入口をＵＶ硬化樹脂を硬化させて封止することによって、液晶表示装置（パネル）が完成する。
周辺をシールされた液晶セルは、パネル単位に切断した後、真空チャンバー内で減圧とし、上記液晶注入口を液晶に浸漬した後、チャンバー内をリークすることによって、液晶を液晶セル内に注入する。液晶セル内の減圧度は、通常、１×１０-2～１×１０-7Ｐａであるが、好ましくは１×１０-3～１×１０-6Ｐａである。また、減圧時に液晶セルを加温するのが好ましく、加温温度は通常３０～１００℃であり、より好ましくは５０～９０℃である。減圧時の加温保持は、通常１０～６０分間の範囲とされ、その後液晶中に浸漬される。液晶を注入した液晶セルは、液晶注入口をＵＶ硬化樹脂を硬化させて封止することによって、液晶表示装置（パネル）が完成する。
液晶の種類には特に制限がなく、芳香族系、脂肪族系、多環状化合物等、従来から知られている液晶であって、リオトロピック液晶、サーモトロピック液晶等のいずれでもよい。サーモトロピック液晶には、ネマティック液晶、スメスティック液晶及びコレステリック液晶等が知られているが、いずれであってもよい。
［有機ＥＬディスプレイ］
本発明における有機ＥＬディスプレイは、本発明におけるカラーフィルターを用いて作製されたものである。
本発明における有機ＥＬディスプレイは、本発明におけるカラーフィルターを用いて作製されたものである。
本発明におけるカラーフィルターを用いて有機ＥＬディスプレイを作製する場合、例えば図１に示すように、まず透明支持基板１０上に、感光性樹脂組成物により形成されたパターン（すなわち、画素２０、及び隣接する画素２０の間に設けられた樹脂ブラックマトリックス（図示せず））が形成されてなるカラーフィルターを作製し、該カラーフィルター上に有機保護層３０及び無機酸化膜４０を介して有機発光体５００を積層することによって、有機ＥＬ素子１００を作製することができる。なお、画素２０及び樹脂ブラックマトリックスの内、少なくとも一つは本発明の感光性樹脂組成物を用いて作製されたものである。有機発光体５００の積層方法としては、カラーフィルター上面へ透明陽極５０、正孔注入層５１、正孔輸送層５２、発光層５３、電子注入層５４、及び陰極５５を逐次形成していく方法や、別基板上へ形成した有機発光体５００を無機酸化膜４０上に貼り合わせる方法などが挙げられる。このようにして作製された有機ＥＬ素子１００を用い、例えば「有機ＥＬディスプレイ」（オーム社，２００４年８月２０日発光，時任静士、安達千波矢、村田英幸著）に記載された方法等にて、有機ＥＬディスプレイを作製することができる。
なお、本発明におけるカラーフィルターは、パッシブ駆動方式の有機ＥＬディスプレイにもアクティブ駆動方式の有機ＥＬディスプレイにも適用可能である。
次に、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。
＜カーボンブラックインクの調製＞
以下の組成で顔料、分散剤、分散助剤、溶剤を調合し、以下の方法でカーボンブラックインクを調整した。
まず、顔料、分散剤、分散助剤の固形分が以下となるように調合した。
・顔料：
ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ（ＢＩＲＬＡ ＣＡＲＢＯＮ社製カーボンブラック）；１００質量部
・分散剤：
ＢＹＫ１６７（ビックケミー社製塩基性官能基を有するウレタン分散剤）；２０質量部（固形分換算）
・分散助剤（顔料誘導体）：
Ｓ１２０００ （ルーブリゾール社製、フタロシアニン酸性誘導体）；２質量部
・溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート；２３２．８質量部
以下の組成で顔料、分散剤、分散助剤、溶剤を調合し、以下の方法でカーボンブラックインクを調整した。
まず、顔料、分散剤、分散助剤の固形分が以下となるように調合した。
・顔料：
ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ（ＢＩＲＬＡ ＣＡＲＢＯＮ社製カーボンブラック）；１００質量部
・分散剤：
ＢＹＫ１６７（ビックケミー社製塩基性官能基を有するウレタン分散剤）；２０質量部（固形分換算）
・分散助剤（顔料誘導体）：
Ｓ１２０００ （ルーブリゾール社製、フタロシアニン酸性誘導体）；２質量部
・溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート；２３２．８質量部
以上を十分に攪拌し、混合を行った。
次に、ペイントシェーカーにより２５～４５℃の範囲で６時間分散処理を行った。ビーズとしては、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用い、分散液６０ｇとビーズ１８０ｇを加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、固形分３５％のインクを調製した。このカ－ボンブラックインクは増粘もなく分散性が良好であった。
次に、ペイントシェーカーにより２５～４５℃の範囲で６時間分散処理を行った。ビーズとしては、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用い、分散液６０ｇとビーズ１８０ｇを加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、固形分３５％のインクを調製した。このカ－ボンブラックインクは増粘もなく分散性が良好であった。
［合成例１（アルカリ可溶性樹脂－Ｉの合成）］
５００ｍＬ四つ口フラスコ中に、下記式（Ｐ－１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂２４５ｇ（エポキシ当量２４５）とテトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール１００ｍｇおよびアクリル酸７２．０ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００ｇを仕込み、これに２５ｍＬ／分の速度で空気を吹き込みながら９０～１００℃で加熱溶解した。 次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。
ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇ－ＫＯＨ／ｇ未満になるまで１２時間加熱撹拌を続けた。
そして室温まで冷却し、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート６１７．２ｇにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００ｇを加えて溶解した後、ビフェニル－３，３’，４，４’－テトラカルボン酸二酸無水物１０５．０ｇおよび臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０～１１５℃で４時間反応させた。
酸無水物基の消失を確認した後、１，２，３，６－テトラヒドロ無水フタル酸４０．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、酸価１２５ｍｇ－ＫＯＨ／ｇ、分子量（ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量、以下同様）２６００の樹脂を得た。
５００ｍＬ四つ口フラスコ中に、下記式（Ｐ－１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂２４５ｇ（エポキシ当量２４５）とテトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール１００ｍｇおよびアクリル酸７２．０ｇと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００ｇを仕込み、これに２５ｍＬ／分の速度で空気を吹き込みながら９０～１００℃で加熱溶解した。 次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。
ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇ－ＫＯＨ／ｇ未満になるまで１２時間加熱撹拌を続けた。
そして室温まで冷却し、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート６１７．２ｇにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００ｇを加えて溶解した後、ビフェニル－３，３’，４，４’－テトラカルボン酸二酸無水物１０５．０ｇおよび臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０～１１５℃で４時間反応させた。
酸無水物基の消失を確認した後、１，２，３，６－テトラヒドロ無水フタル酸４０．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、酸価１２５ｍｇ－ＫＯＨ／ｇ、分子量（ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量、以下同様）２６００の樹脂を得た。
＜実施例１(光重合開始剤－Ｉの合成方法)＞
（ジケトン体）
エチルカルバゾール（５ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）とｏ－ナフトイルクロリド（５．１３ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）を３０ｍｌのジクロロメタンに溶解し、氷水バスにて２℃に冷却して攪拌し、ＡｌＣｌ３（３．４１ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）を添加した。さらに室温にて３時間攪拌後、反応液にクロトノイルクロリド（２．８１ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）の１５ｍｌジクロロメタン溶液を加え、ＡｌＣｌ3（４．１ｇ、３０．７３ｍｍｏｌ）を添加し、さらに１時間３０分攪拌した。反応液を氷水２００ｍｌにあけ、ジクロロメタン２００ｍｌを添加し有機層を分液した。回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下濃縮し、白色固体（１０ｇ）のジケトン体を得た。
（ジケトン体）
エチルカルバゾール（５ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）とｏ－ナフトイルクロリド（５．１３ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）を３０ｍｌのジクロロメタンに溶解し、氷水バスにて２℃に冷却して攪拌し、ＡｌＣｌ３（３．４１ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）を添加した。さらに室温にて３時間攪拌後、反応液にクロトノイルクロリド（２．８１ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）の１５ｍｌジクロロメタン溶液を加え、ＡｌＣｌ3（４．１ｇ、３０．７３ｍｍｏｌ）を添加し、さらに１時間３０分攪拌した。反応液を氷水２００ｍｌにあけ、ジクロロメタン２００ｍｌを添加し有機層を分液した。回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下濃縮し、白色固体（１０ｇ）のジケトン体を得た。
（オキシム体）
ジケトン体（３．００ｇ、７．１９ｍｍｏｌ）、ＮＨ2ＯＨ・ＨＣｌ（１．０９ｇ、１５．８１ｍｍｏｌ）、及び酢酸ナトリウム（１．２３ｇ、１５．０８ｍｍｏｌ）を溶剤としてメタノール３０ｇ用いて、３時間還流した。
反応終了後、反応液を濃縮し、得られた残渣に酢酸エチル３０ｍｌを加え、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液３０ｍｌ、飽和食塩水３０ｍｌで洗浄、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。ろ過後、有機層を減圧下濃縮し、固体１．８２ｇを得た。これをカラムクロマトグラフィーで精製し、淡黄色固体２．２２ｇのオキシム体を得た。
ジケトン体（３．００ｇ、７．１９ｍｍｏｌ）、ＮＨ2ＯＨ・ＨＣｌ（１．０９ｇ、１５．８１ｍｍｏｌ）、及び酢酸ナトリウム（１．２３ｇ、１５．０８ｍｍｏｌ）を溶剤としてメタノール３０ｇ用いて、３時間還流した。
反応終了後、反応液を濃縮し、得られた残渣に酢酸エチル３０ｍｌを加え、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液３０ｍｌ、飽和食塩水３０ｍｌで洗浄、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。ろ過後、有機層を減圧下濃縮し、固体１．８２ｇを得た。これをカラムクロマトグラフィーで精製し、淡黄色固体２．２２ｇのオキシム体を得た。
（オキシムエステル体）
オキシム体（２．２２ｇ、４．７７ｍｍｏｌ）とアセチルクロリド（１．３４ｇ、１７．０ｍｍｏｌ）をジクロロメタン２０ｍｌに加えて２℃まで氷冷し、トリエチルアミン（１．７７ｇ、１７．５ｍｍｏｌ）を滴下して、そのまま１時間反応した。薄層クロマトグラフィーにより原料の消失を確認した後、水を加えて反応を停止した。反応液を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液５ｍｌで２回、飽和食塩水５ｍｌで２回洗浄し、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。濾過後、有機層を減圧下濃縮し、得られた残渣をカラムクロマトグラフィー（酢酸エチル／ヘキサン＝２／１）で精製して、０．７９ｇの淡黄色固体の光重合開始剤－Ｉを得た。全オキシムエステル化合物中のアンチ体比率は、９４．１％であった。
オキシム体（２．２２ｇ、４．７７ｍｍｏｌ）とアセチルクロリド（１．３４ｇ、１７．０ｍｍｏｌ）をジクロロメタン２０ｍｌに加えて２℃まで氷冷し、トリエチルアミン（１．７７ｇ、１７．５ｍｍｏｌ）を滴下して、そのまま１時間反応した。薄層クロマトグラフィーにより原料の消失を確認した後、水を加えて反応を停止した。反応液を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液５ｍｌで２回、飽和食塩水５ｍｌで２回洗浄し、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。濾過後、有機層を減圧下濃縮し、得られた残渣をカラムクロマトグラフィー（酢酸エチル／ヘキサン＝２／１）で精製して、０．７９ｇの淡黄色固体の光重合開始剤－Ｉを得た。全オキシムエステル化合物中のアンチ体比率は、９４．１％であった。
このオキシムエステル体の構造は以下の通りである。
＜比較例１(光重合開始剤－ＩＩの合成方法)＞
前記オキシム体合成時の溶剤をメタノール２０ｇとエタノール１０ｇの混合溶剤（メタノール比率６７質量％）に変更した以外は、実施例１と同様にして、光重合開始剤－ＩＩを得た。全オキシムエステル化合物中のアンチ体比率は、９３．６％であった。
前記オキシム体合成時の溶剤をメタノール２０ｇとエタノール１０ｇの混合溶剤（メタノール比率６７質量％）に変更した以外は、実施例１と同様にして、光重合開始剤－ＩＩを得た。全オキシムエステル化合物中のアンチ体比率は、９３．６％であった。
＜実施例１及び比較例１＞
（レジスト（感光性樹脂組成物）の調合）
全固形分中の各成分の固形分の比率が表１の配合割合となるように各成分を加え、さらに全固形分の含有割合が１３．５質量％となるようにＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を加え、攪拌、溶解させて、感光性樹脂組成物を調製した。
（レジスト（感光性樹脂組成物）の調合）
全固形分中の各成分の固形分の比率が表１の配合割合となるように各成分を加え、さらに全固形分の含有割合が１３．５質量％となるようにＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を加え、攪拌、溶解させて、感光性樹脂組成物を調製した。
また、表中の記号は以下のものを意味する。
ＺＣＲ－１７９７Ｈ ：日本化薬社製のビフェニル型エポキシアクリレート樹脂（ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）＝６５００、固形分酸価＝９８ｍｇＫＯＨ／ｇ）
ＤＰＨＡ ：多官能モノマー（日本化薬社製、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ）。
ＰＥ―４Ａ ：多官能モノマー（共栄社化学社製、ライトアクリレートＰＥ―４Ａ）。
ＰＭ２１ ：リン酸系モノマー（日本化薬社製、ＫＡＹＡＭＥＲ（登録商標） ＰＭ２１）。
Ｆ５５９ ：界面活性剤（ＤＩＣ社製、Ｆ５５９）
ＺＣＲ－１７９７Ｈ ：日本化薬社製のビフェニル型エポキシアクリレート樹脂（ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）＝６５００、固形分酸価＝９８ｍｇＫＯＨ／ｇ）
ＤＰＨＡ ：多官能モノマー（日本化薬社製、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ）。
ＰＥ―４Ａ ：多官能モノマー（共栄社化学社製、ライトアクリレートＰＥ―４Ａ）。
ＰＭ２１ ：リン酸系モノマー（日本化薬社製、ＫＡＹＡＭＥＲ（登録商標） ＰＭ２１）。
Ｆ５５９ ：界面活性剤（ＤＩＣ社製、Ｆ５５９）
（レジストの評価）
＜２０μｍパターンの線幅評価＞
調製したレジストをポストベーク後の膜厚が１μｍになるようにスピンコーターにて塗布し、減圧乾燥後、ホットプレートで１００℃にて１２０秒間乾燥した。続いて、得られた乾燥塗布膜に対し、３０μｍの線幅開口を有する露光マスクを通して、露光ギャップ３５０μｍの条件で、高圧水銀灯により５０ｍＪでパターン露光を行った後、室温（２３℃）下、超純水で０．０４質量％ＫＯＨ水溶液に調整したアルカリ現像液で６５秒間スプレー現像して、感光層を除去後、超純水でスプレー洗浄を行った。引き続き、２３０℃のオーブンにて３０分間ポストベークを行い、線幅評価用の基板を作製した。
得られた基板の線形パターンを光学顕微鏡（ニコン社製 Ｅｃｌｉｐｓｅ Ｌ２００ＮＤ）により観察し、画像解析ソフト（ＮＩＳ－Ｅｌｅｍｅｎｔｓ）により線幅を測定し、表１に記した。
＜２０μｍパターンの線幅評価＞
調製したレジストをポストベーク後の膜厚が１μｍになるようにスピンコーターにて塗布し、減圧乾燥後、ホットプレートで１００℃にて１２０秒間乾燥した。続いて、得られた乾燥塗布膜に対し、３０μｍの線幅開口を有する露光マスクを通して、露光ギャップ３５０μｍの条件で、高圧水銀灯により５０ｍＪでパターン露光を行った後、室温（２３℃）下、超純水で０．０４質量％ＫＯＨ水溶液に調整したアルカリ現像液で６５秒間スプレー現像して、感光層を除去後、超純水でスプレー洗浄を行った。引き続き、２３０℃のオーブンにて３０分間ポストベークを行い、線幅評価用の基板を作製した。
得られた基板の線形パターンを光学顕微鏡（ニコン社製 Ｅｃｌｉｐｓｅ Ｌ２００ＮＤ）により観察し、画像解析ソフト（ＮＩＳ－Ｅｌｅｍｅｎｔｓ）により線幅を測定し、表１に記した。
＜最小パターン密着性の評価＞
露光マスクとして、５μｍから５０μｍまで５μｍきざみの線幅開口を有する露光マスクを使用した以外は、前記２０μｍパターンの線幅評価用基板と同様にして、最小パターン密着性評価用基板を作成した。
得られた基板の線形パターンを光学顕微鏡（ニコン社製 Ｅｃｌｉｐｓｅ Ｌ２００ＮＤ）により観察し、欠けずに残った最小のパターンのマスク開口サイズを最小パターン密着性として評価し、表１に記した。値が小さいほど優れている。
露光マスクとして、５μｍから５０μｍまで５μｍきざみの線幅開口を有する露光マスクを使用した以外は、前記２０μｍパターンの線幅評価用基板と同様にして、最小パターン密着性評価用基板を作成した。
得られた基板の線形パターンを光学顕微鏡（ニコン社製 Ｅｃｌｉｐｓｅ Ｌ２００ＮＤ）により観察し、欠けずに残った最小のパターンのマスク開口サイズを最小パターン密着性として評価し、表１に記した。値が小さいほど優れている。
表１に示した実施例１及び比較例１より、メタノール比率が７０質量％以上の溶剤を用いるオキシム化工程を含むオキシムエステル系化合物の製造法を用いることで、レジストの感度、密着性を向上可能であることがわかる。これは、メタノール比率が７０質量％以上のアルコール溶剤を用いるオキシム化工程により、オキシムエステル系化合物中において、高感度であるアンチ体の生成比率が高まるためであると考えられる。
Claims (10)
- 下記一般式（Ｉ）で表される（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法であって、アルコール溶剤の存在下、下記一般式（Ｉａ）で表されるケトン化合物から下記一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム化合物を生成する工程を含み、前記アルコール溶剤の全質量に対するメタノールの含有量が７０質量％以上であることを特徴とする（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
- 前記Ａｒ１が、置換基を有していてもよいカルバゾリル基である、請求項１に記載の（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
- 前記Ｒ１が、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基または炭素数６～１８のアリール基であり、前記Ｒ２が下記一般式（ＩＩ）で表される、請求項１または２に記載の（ｃ１）オキシムエステル系化合物の製造方法。
- （ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合性モノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物の製造方法であって、
前記（ｃ）光重合開始剤として、請求項１～３のいずれか１項に記載の方法で製造された（ｃ１）オキシムエステル系化合物を配合する、感光性樹脂組成物の製造方法。 - さらに（ｄ）色材を含む、請求項４に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
- 前記（ｄ）色材がカーボンブラックである、請求項４または５に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
- 感光性樹脂組成物の全固形分に対する前記（ｄ）色材の含有割合が４０質量％以上である、請求項４～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
- 請求項４～７のいずれか１項に記載の製造方法で得られた感光性組成物を硬化させる、硬化物の製造方法。
- 請求項８に記載の製造方法で得られた硬化物で形成する、ブラックマトリックスの製造方法。
- 請求項９に記載の製造方法で得られたブラックマトリックスを用いる、画像表示装置の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020168648A JP2022060893A (ja) | 2020-10-05 | 2020-10-05 | オキシムエステル系化合物の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法 |
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