JP2022049924A - Inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection device.
従来の検査装置として、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載の検査装置は、被検査物を所定の方向に搬送する搬送コンベアと、搬送コンベアによって搬送される被検査物に対してＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線照射部から照射されたＸ線を、搬送コンベアを介して検知する複数の画素を含むラインセンサと、搬送コンベアに被検査物を載置しない状態で搬送コンベアの各位置で取得されたＸ線照射器から照射されたＸ線のラインセンサにおける検知結果に基づいて、搬送コンベアの各位置がラインセンサのキャリブレーションを行うのに適した位置であるか否かを判定する判定部と、判定部においてキャリブレーションを行うのに適した位置と判定された位置においてラインセンサの検知結果に基づいてキャリブレーションを行うキャリブレーション実行部と、を備えている。
As a conventional inspection device, for example, the one described in
検査装置では、ラインセンサのキャリブレーションを行い、ラインセンサの感度の差を補正することで、検査精度の向上を図っている。検査装置では、サンプル（対象物）を搬送部に配置して検査し、ラインセンサから出力された出力値に基づいてキャリブレーションを行う。サンプルの搬送部への配置は、作業者によって任意に行われる。そのため、サンプルが配置される位置によっては、ラインセンサの一部を通過しない場合がある。この場合、ラインセンサの一部の出力値が得られないため、キャリブレーションの効果を充分に得られない可能性がある。 In the inspection device, the inspection accuracy is improved by calibrating the line sensor and correcting the difference in the sensitivity of the line sensor. In the inspection device, a sample (object) is placed in a transport unit for inspection, and calibration is performed based on the output value output from the line sensor. The placement of the sample on the transport unit is arbitrarily performed by the operator. Therefore, depending on the position where the sample is placed, it may not pass through a part of the line sensor. In this case, since the output value of a part of the line sensor cannot be obtained, the calibration effect may not be sufficiently obtained.
本発明の一側面は、検査精度の向上が図れる検査装置を提供することを目的とする。 One aspect of the present invention is to provide an inspection device capable of improving inspection accuracy.
本発明の一側面に係る検査装置は、対象物を搬送する搬送部と、対象物に電磁波を照射する照射部と、対象物を透過した第１エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第１素子を含む第１検知部、及び、第１検知部に対応して配置され、対象物を透過した第２エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第２素子を含む第２検知部を有する検知ユニットと、各種情報を表示する表示部と、対象物に係るサンプルの第１素子の第１出力値及び第２素子の第２出力値に基づいて第１出力値及び第２出力値の少なくとも一方を補正すると共に、表示部の表示を制御する制御部と、を備え、制御部は、検知ユニットを複数の領域に仮想的に区画し、複数の領域のそれぞれについて、サンプルの検知結果の取得状況を表示部に表示させる。 The inspection device according to one aspect of the present invention includes a transport unit for transporting an object, an irradiation unit for irradiating the object with electromagnetic waves, and a plurality of first elements for detecting electromagnetic waves in the first energy band transmitted through the object. A first detection unit including the above, and a detection unit having a second detection unit including a plurality of second elements for detecting electromagnetic waves in the second energy band transmitted through the object and arranged corresponding to the first detection unit. , Corrects at least one of the first output value and the second output value based on the display unit that displays various information and the first output value of the first element and the second output value of the second element of the sample related to the object. In addition, the control unit is provided with a control unit that controls the display of the display unit, and the control unit virtually divides the detection unit into a plurality of areas and displays the acquisition status of the sample detection result for each of the plurality of areas. Display on the department.
本発明の一側面に係る検査装置では、制御部は、検知ユニットを複数の領域に仮想的に区画し、複数の領域のそれぞれについて、サンプルの検知結果の取得状況を表示部に表示させる。これにより、作業者は、表示部に表示された取得状況に基づいて、サンプルが通過していない位置を認識することができるため、サンプルを搬送させるべき搬送部の位置を適切に設定することができる。そのため、検査装置では、第１検知部及び第２検知部の全ての領域において、サンプルの検知結果（出力値）を得ることができる。したがって、検査装置では、キャリブレーションの効果を充分に得ることができる。その結果、検査装置では、検査精度の向上が図れる。 In the inspection device according to one aspect of the present invention, the control unit virtually divides the detection unit into a plurality of areas, and causes the display unit to display the acquisition status of the sample detection result for each of the plurality of areas. As a result, the operator can recognize the position where the sample has not passed based on the acquisition status displayed on the display unit, so that the position of the transport unit to which the sample should be transported can be appropriately set. can. Therefore, in the inspection device, the detection result (output value) of the sample can be obtained in all the regions of the first detection unit and the second detection unit. Therefore, in the inspection device, the effect of calibration can be sufficiently obtained. As a result, the inspection device can improve the inspection accuracy.
一実施形態においては、制御部は、数字、文字、グラフ、図形、若しくは表示形態の変更のいずれか、又は、その組み合わせにより、取得状況を表示部に表示させてもよい。この構成では、作業者に対して、取得状況を視覚的に適切に知らしめることができる。 In one embodiment, the control unit may display the acquisition status on the display unit by any one of a number, a character, a graph, a figure, a change in the display form, or a combination thereof. In this configuration, it is possible to visually and appropriately inform the worker of the acquisition status.
一実施形態においては、制御部は、サンプルを検査する回数を表示部に更に表示させてもよい。この構成では、サンプルを検査する回数を作業者に知らしめることができる。そのため、検査装置では、キャリブレーションに必要なデータを得ることができる。 In one embodiment, the control unit may further display the number of times the sample is inspected on the display unit. In this configuration, the operator can be informed of the number of times the sample is inspected. Therefore, the inspection device can obtain the data necessary for calibration.
一実施形態においては、制御部は、数字、文字、グラフ、図形、若しくは表示形態の変更のいずれか、又は、その組み合わせにより、回数を表示部に表示させてもよい。この構成では、作業者に対して、回数を視覚的に適切に知らしめることができる。 In one embodiment, the control unit may display the number of times on the display unit by any one of a number, a character, a graph, a figure, a change in a display form, or a combination thereof. In this configuration, the operator can be visually informed of the number of times.
一実施形態においては、制御部は、第１検知部及び第２検知部のそれぞれの出力値に基づいて、第１出力値及び第２出力値の少なくとも一方を補正してもよい。この構成では、検査精度の向上をより一層図れる。 In one embodiment, the control unit may correct at least one of the first output value and the second output value based on the output values of the first detection unit and the second detection unit, respectively. With this configuration, the inspection accuracy can be further improved.
一実施形態においては、制御部は、サンプルの透過画像と、複数の領域とを対応させて表示部に表示させてもよい。この構成では、サンプルの搬送部における位置を適切に設定することができる。 In one embodiment, the control unit may display the transparent image of the sample and the plurality of regions in correspondence with each other on the display unit. In this configuration, the position of the sample in the transport section can be appropriately set.
本発明の一側面によれば、検査精度の向上が図れる。 According to one aspect of the present invention, the inspection accuracy can be improved.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same or equivalent elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
図１に示されるように、Ｘ線検査装置（検査装置）１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送部５と、Ｘ線照射部（照射部）６と、Ｘ線検知部（検知ユニット）７と、表示操作部８と、制御部１０と、を備えている。
As shown in FIG. 1, the X-ray inspection device (inspection device) 1 includes an apparatus
Ｘ線検査装置１は、物品（対象物）Ｏを搬送しつつ物品ＯのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｏの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ｏは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｏは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｏは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（図示省略）によって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｏは、当該振分装置をそのまま通過する。
The
装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線の漏洩を防止する。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ｏの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｏは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ｏは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。
The device
搬送部５は、シールドボックス４内に配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向に沿って物品Ｏを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。
The
図１及び図２に示されるように、Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＯにＸ線（電磁波）を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向に垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
Ｘ線検知部７は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線検知部７は、第１ラインセンサ（第１検知部）１１と、第２ラインセンサ（第２検知部）１２と、を有している。第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とは、搬送方向に垂直な上下方向において、所定の間隔をあけて対向して配置されている。
The
第１ラインセンサ１１は、搬送方向に垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数の第１素子１１ａによって構成されている。第１ラインセンサ１１は、物品Ｏ及び搬送部５の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯（第１エネルギー帯）のＸ線を検知する。第２ラインセンサ１２は、搬送方向に垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数の第２素子１２ａによって構成されている。第２ラインセンサ１２は、物品Ｏ、搬送部５の搬送ベルト及び第１ラインセンサ１１を透過した高エネルギー帯（第２エネルギー帯）のＸ線を検知する。
The
図１に示されるように、表示操作部８は、装置本体２に設けられている。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。
As shown in FIG. 1, the
制御部１０は、装置本体２内に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検知部７の第１ラインセンサ１１から低エネルギー帯のＸ線の検知結果（第１出力値）が入力されると共に、Ｘ線検知部７の第２ラインセンサ１２から高エネルギー帯のＸ線の検知結果（第２出力値）が入力される。制御部１０は、Ｘ線の検知結果から作成される画像に基づいて、例えば、物品Ｏに異物が含まれているか否かを検査する。
The
制御部１０は、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検知結果に基づいて、透過画像を生成する。図３（ａ）に示されるように、制御部１０は、第１ラインセンサ１１の低エネルギー帯のＸ線の検知結果に基づいて、第１透過画像Ｇ１を生成する。第１透過画像Ｇ１は、比較的コントラストが高く、全体的に暗くなっている。図３（ｂ）に示されるように、制御部１０は、第２ラインセンサ１２の高エネルギー帯のＸ線の検知結果に基づいて、第２透過画像Ｇ２を生成する。第２透過画像Ｇ２は、比較的コントラストが低く、全体的に明るくなっている。
The
制御部１０は、第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、当該第１素子１１ａと対向して配置されている第２素子１２ａにおける第２透過画像Ｇ２に基づく当該第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。本実施形態では、制御部１０は、第１出力値に基づくヒストグラム及び第２出力値に基づくヒストグラムを生成し、第１出力値のヒストグラムと第２出力値のヒストグラムとを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。
The
本実施形態では、制御部１０は、１つの第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムと、全ての第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムと、に基づいて、輝度変換関数を算出するためのヒストグラムを生成する。制御部１０は、１つの第２素子１２ａの第２出力値のヒストグラムと、全ての第２素子１２ａの第２出力値のヒストグラムと、に基づいて、輝度変換関数を算出するためのヒストグラムを生成する。
In the present embodiment, the
制御部１０は、第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムと、当該第１素子１１ａと対向して配置されている第２素子１２ａの第２出力値のヒストグラムに基づいて、第１出力値のヒストグラムと第２出力値のヒストグラムとを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。制御部１０は、算出した輝度変換関数に基づいて、第１素子１１ａの第１出力値を補正する。具体的には、制御部１０は、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正する。これにより、第１素子１１ａの第１出力値と第２素子１２ａの第２出力値とが一致又は近似する。
The
Ｘ線検査装置１では、制御部１０において上記補正を行うために、補正に使用する第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２を取得する。第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２は、Ｘ線検査装置１においてサンプルを検査することにより得られる。サンプルとしては、検査対象である物品Ｏが用いられる。サンプルは、同じ種類の物品Ｏにおいて、形状、寸法等が異なっているものであってよい。サンプルの検査は、表示操作部８の表示内容に基づいて、作業者がサンプルを搬送部５（搬入コンベア５１）にセットすることにより実施される。
In the
サンプルの搬送部５へのセットは、作業者によって任意に行われる。そのため、サンプルが配置される位置によっては、サンプルが第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の一部を通過しない場合がある。この場合、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の一部の出力値が得られない。サンプルは、搬送部５上において、全ての第１素子１１ａ及び第２素子１２ａにおいてサンプルを透過したＸ線が検知されるように、複数の位置に載置されることが好ましい。そこで、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、サンプルの検知結果の取得状況を表示操作部８に表示させる。Ｘ線検査装置１では、サンプルの検知結果の取得状況を表示操作部８に表示することによって、作業者は、どの位置において出力値が得られているか（どの位置において出力値が得られていないか）を確認しながら、すなわちサンプルが搬送部５のどの位置を通過しているか（どの位置を通過していないか）を確認しながら、サンプルをセットすることができる。
The sample is arbitrarily set in the
制御部１０は、サンプルの検査が開始されると、サンプルの検知結果の取得状況を表示操作部８に表示させる。制御部１０は、Ｘ線検知部７を複数の領域Ａに仮想的に区画し、複数の領域Ａのそれぞれについて、サンプルの検知結果の取得状況を表示操作部８に表示させる。図４及び図５に示されるように、制御部１０は、表示操作部８に、透過画像Ｇ３を表示する第１表示部Ｄ１、サンプルの検知結果の取得状況を示す第２表示部Ｄ２、及び、サンプルを検査する回数（残り回数）を示す第３表示部Ｄ３が表示される。表示操作部８には、サンプルの物品名を示す「ウィンナー」、「サンプルを流してください」等の表示、サンプルを検査する作業を終了させるきに押下される完了ボタンＢも表示される。
When the inspection of the sample is started, the
第１表示部Ｄ１には、サンプルの透過画像Ｇ３が表示される。第１表示部Ｄ１において、図示上下方向は、第１ラインセンサ１１の複数の第１素子１１ａ及び第２ラインセンサ１２の複数の第２素子１２ａの配列方向（搬送方向に垂直な水平方向）に対応している。第１表示部Ｄ１の上下方向の長さは、Ｘ線検知部７（第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ）の幅寸法に対応している。第１表示部Ｄ１では、図示上部がＸ線検知部７の一端部側（装置奥側）であり、図示下部がＸ線検知部７の他端部側（装置手前側）である。第１表示部Ｄ１において、透過画像Ｇ３が図示上部に表示されている場合には、サンプルが第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の一端部側（装置奥側）を通過していることになる。第１表示部Ｄ１において、透過画像Ｇ３が図示下部に表示されている場合には、サンプルが第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の他端部側（装置手前側）を通過していることになる。
The transparent image G3 of the sample is displayed on the first display unit D1. In the first display unit D1, the shown vertical direction is the arrangement direction (horizontal direction perpendicular to the transport direction) of the plurality of
第２表示部Ｄ２には、サンプルの検知結果の取得状況が表示される。本実施形態では、第２表示部Ｄ２は、バーグラフ（プログレスバー）である。第２表示部Ｄ２には、複数の領域Ａが表示される。複数の領域Ａは、図示上下方向において並んで表示される。本実施形態では、１２個の領域Ａに区画されている。複数の領域Ａは、Ｘ線検知部７を仮想的に区画した領域である。具体的には、複数の領域Ａは、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２を、第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの配列方向において仮想的に区画した領域である。
The acquisition status of the sample detection result is displayed on the second display unit D2. In the present embodiment, the second display unit D2 is a bar graph (progress bar). A plurality of areas A are displayed on the second display unit D2. The plurality of areas A are displayed side by side in the vertical direction shown in the drawing. In this embodiment, it is divided into 12 regions A. The plurality of areas A are areas in which the
複数の領域Ａは、以下のように設定される。本実施形態では、１つの領域Ａには、第１ラインセンサ１１の第１素子１１ａ及び第２ラインセンサ１２の第２素子１２ａが所定数含まれる。所定数は、適宜設定される。複数の領域Ａは、同じ数の第１素子１１ａ及び第２素子１２ａを含んでいてもよいし、異なる数の第１素子１１ａ及び第２素子１２ａを含んでいてもよい。
The plurality of areas A are set as follows. In the present embodiment, one region A includes a predetermined number of the
本実施形態では、第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの配列方向の端部においては、領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数が、他の領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数よりも多い。すなわち、第２表示部Ｄ２の図示上下方向の両端部の領域Ａは、他の領域Ａよりも第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数が多く含まれている。例えば、第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの配列方向の端部の領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数は、他の領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数の１．５倍である。
In the present embodiment, at the ends of the
本実施形態では、第１ラインセンサ１１は、複数のユニットによって構成されている。第１ラインセンサ１１は、複数のユニットが搬送方向に垂直な水平方向に並んで配置されることで構成されている。１つのユニットには、複数（例えば、５０個）の第１素子１１ａが含まれている。この構成において、領域Ａに含まれる第１素子１１ａの数は、５０個である。第１素子１１ａの配列方向の端部の領域Ａに含まれる第１素子１１ａの数は、７５個である。第２ラインセンサ１２についても、同様である。
In the present embodiment, the
制御部１０は、サンプルの透過画像Ｇ３と、複数の領域Ａとを対応させて表示操作部８に表示させる。第１表示部Ｄ１では、上記のように、図示上部がＸ線検知部７の一端部側（装置奥側）であり、図示下部がＸ線検知部７の他端部側（装置手前側）である。第２表示部Ｄ２には、第１表示部Ｄ１と対応するように、複数の領域Ａが表示される。
The
サンプルの検査が実施され、第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２が得られると、第２表示部Ｄ２において、各領域Ａのグラフ（図４のハッチング部分）が図示右側に伸びていく。グラフは、素子毎のヒストグラム（ＨＬ）の合計値（ΣＨＬ）である。合計値の増加に伴い、グラフが右側に向かって伸びる。ヒストグラム（検知結果）が得られていない場合には、領域Ａにグラフが表示されない。グラフが右端に到達すると、サンプルの検知結果が１００％得られたことを意味する。例えば、第１ラインセンサ１１において第１素子１１ａがＮ個（例えば、１０００個）配置され、各素子がＭ回（例えば、１０００回）検知する場合には、素子毎のヒストグラムの合計値がＭになると、検知結果が１００％得られたことになる。図５に示されるように、全ての領域Ａにおいて検知結果が１００％得られると、全ての領域Ａのグラフが右端に到達する。
When the sample is inspected and the first transmission image G1 and the second transmission image G2 are obtained, the graph of each region A (hatched portion in FIG. 4) extends to the right side of the drawing in the second display unit D2. The graph is a total value ( ΣHL ) of the histogram ( HL ) for each element. As the total value increases, the graph grows to the right. If the histogram (detection result) is not obtained, the graph is not displayed in the area A. When the graph reaches the right end, it means that 100% of the sample detection results are obtained. For example, when N
制御部１０は、第２表示部Ｄ２において、グラフが右端に到達した場合、色を変化させてもよい。すなわち、グラフが１００％になった場合、視覚的な変化として、表示形態の変更を行ってもよい。例えば、１００％に達する前は青色であり、１００％に達すると赤色に変化させてもよい。或いは、制御部１０は、１００％に達した場合にバーに強調枠を表示してもよいし、バーを点滅させてもよいし、バーの色を反転させてもよい。また、制御部１０は、第２表示部Ｄ２において、素子毎のヒストグラムの取得率［％］（例えば、１０％、２０％等）を数字で表示させてもよい。また、制御部１０は、第２表示部Ｄ２において、グラフが１００％未満の場合に「未了」、グラフが１００％になった場合、「ＯＫ」、「１００％になりました」等の文字を表示させてもよい。
The
第３表示部Ｄ３には、サンプルを検査させる回数が表示される。当該回数は、適宜設定される。第３表示部Ｄ３には、残り回数を示す数字（例えば、５回）と、残り回数（検査実施回数）を示すグラフとが表示される。グラフは、検査回数の分だけ区画されている。第３表示部Ｄ３では、サンプルが１回検査されると、残り回数の数字が１回分減ると共に、バーが一区画分だけ進む。 The third display unit D3 displays the number of times the sample is inspected. The number of times is set as appropriate. On the third display unit D3, a number indicating the remaining number of times (for example, 5 times) and a graph showing the remaining number of times (inspection execution number) are displayed. The graph is divided by the number of inspections. In the third display unit D3, when the sample is inspected once, the number of remaining times is reduced by one time, and the bar advances by one section.
制御部１０は、完了ボタンＢが押下されると、サンプルの検査を終了する。完了ボタンＢは、全ての領域Ａが１００％となっていない場合においても押下することが可能である。すなわち、完了ボタンＢは、任意のタイミングで押下することができる。制御部１０は、完了ボタンＢが押下されると、キャリブレーションを実行させる画面を表示させる。
When the completion button B is pressed, the
以上説明したように、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、Ｘ線検知部７を複数の領域Ａに仮想的に区画し、複数の領域Ａのそれぞれについて、サンプルの検知結果の取得状況を表示操作部８に表示させる。これにより、作業者は、表示操作部８に表示された取得状況に基づいて、サンプルが通過していない位置を認識することができるため、サンプルを搬送させるべき搬送部５の位置を適切に設定することができる。そのため、Ｘ線検査装置１では、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の全ての領域において、サンプルの検知結果（出力値）を得ることができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、キャリブレーションの効果を充分に得ることができる。その結果、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上が図れる。
As described above, in the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、取得状況をグラフで表示操作部８に表示させる。この構成では、作業者に対して、取得状況を視覚的に適切に知らしめることができる。
In the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、サンプルを検査する回数を表示操作部８に更に表示させる。この構成では、サンプルを検査する回数を作業者に知らしめることができる。そのため、Ｘ線検査装置１では、キャリブレーションに必要なデータを得ることができる。
In the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、数字及びグラフの組み合わせにより、サンプルを検査する回数を表示操作部８に表示させる。この構成では、作業者に対して、サンプルを検査する回数を視覚的に適切に知らしめることができる。
In the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２のそれぞれの出力値に基づいて、第１出力値及び第２出力値の少なくとも一方を補正する。この構成では、検査精度の向上をより一層図れる。
In the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、サンプルの透過画像Ｇ３を表示する第１表示部Ｄ１と、複数の領域Ａを表示する第２表示部Ｄ２とを対応させて表示操作部８に表示させる。この構成では、サンプルの搬送部５における位置を適切に設定することができる。
In the
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの配列方向の端部の領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数が、他の領域Ａに含まれる第１素子１１ａ及び第２素子１２ａの数の１．５倍となるように、領域Ａを仮想的に区画する。上記のように、第１ラインセンサ１１は、所定数（５０個）の第１素子１１ａをそれぞれ含む複数のユニットによって構成されている。そのため、１つのユニットを１つの領域Ａとして設定することが考えられる。ここで、並んで配置されるユニットの間には、隙間が形成され得る。ユニット間の隙間部分は、Ｘ線検知部７において検知され難い部分であるため、検知結果が得られ難い。１つのユニットを１つの領域Ａとして設定した場合、隙間部分の検知結果が得られ難くなり得る。
In the
これに対して、上記配列方向の端部の領域Ａに７５個（５０個×１．５）の第１素子１１ａが含まれるように区画して、１つのユニットに含まれる第１素子１１ａの数と、少なくとも１つの領域Ａに含まれる第１素子１１ａの数を異ならせると、領域Ａが複数のユニットに跨がって区画（設定）される。そのため、隙間部分を通過するようにサンプルが配置され易くなる。
On the other hand, the region A at the end in the arrangement direction is partitioned so that 75 (50 × 1.5)
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.
上記実施形態では、第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とが、搬送方向に垂直な上下方向において、所定の間隔をあけて対向して配置されている形態を一例に説明した。しかし、第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とは、搬送方向において、所定の間隔をあけて対向して配置されていてもよい。
In the above embodiment, the embodiment in which the
上記実施形態では、制御部１０が、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、第２素子１２ａの第２出力値に対し輝度変換関数を掛けて第２出力値を補正してもよい。また、制御部１０は、制御部１０が、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正すると共に、第２素子１２ａの第２出力値に対し輝度変換関数を掛けて第２出力値を補正してもよい。
In the above embodiment, a mode in which the
上記実施形態では、制御部１０が、１つの第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムと、全ての第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムと、に基づいて、輝度変換関数を算出するためのヒストグラムを生成する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、１つの第１素子１１ａの第１出力値のヒストグラムに基づいて、輝度変換関数を算出してもよい。第２素子１２ａについても同様である。
In the above embodiment, the
上記実施形態では、制御部１０が、第１出力値のヒストグラム及び第２出力値のヒストグラムに基づいて、第１出力値のヒストグラムと第２出力値のヒストグラムとを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、当該第１素子１１ａと対向して配置されている第２素子１２ａにおける第２透過画像Ｇ２に基づく当該第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出してもよい。また、制御部１０は、第１出力値及び第２出力値のそれぞれの平均値を算出し、第１出力値と第２出力値との平均値を一致又は近似させる輝度変換関数を算出してもよい。
In the above embodiment, the
また、制御部１０は、物品Ｏを含まない第１透過画像Ｇ１に基づいて、全ての第１素子１１ａのそれぞれの第１出力値が一致又は近似する第１輝度変換関数を算出してもよい。制御部１０は、第１輝度変換関数に基づいて、全ての第１素子１１ａのそれぞれの第１出力値を補正する。制御部１０は、物品Ｏを含まない第２透過画像Ｇ２に基づいて、全ての第２素子１２ａのそれぞれの第２出力値が一致又は近似する第２輝度変換関数を算出してもよい。制御部１０は、第２輝度変換関数に基づいて、全ての第２素子１２ａのそれぞれの第２出力値を補正する。物品Ｏを含まない第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２は、物品Ｏが載置されていない搬送部５に対してＸ線を照射し、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検知結果に基づいて生成された画像である。制御部１０は、第１輝度変換関数及び第２輝度変換関数に基づいて、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値を補正する。
Further, the
上記実施形態では、制御部１０が、第２表示部Ｄ２において、取得状況をグラフで表示させる形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、取得状況を、数字、文字、グラフ、図形、若しくは表示形態の変更のいずれか、又は、その組み合わせにより、表示操作部８に表示させてもよい。
In the above embodiment, the mode in which the
上記実施形態では、制御部１０が、第３表示部Ｄ３において、残り回数を示す数字と、残り回数を示すグラフとを表示させる形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、サンプルを検査する回数を、数字、文字、グラフ、図形、若しくは表示形態の変更のいずれか、又は、その組み合わせにより、表示操作部８に表示させてもよい。
In the above embodiment, a mode in which the
上記実施形態では、検査装置がＸ線検査装置１である形態を一例に説明した。しかし、Ｘ線検査装置に限定されず、電磁波を利用して物品の検査を行う検査装置であればよい。つまり、本発明において、電磁波とは、Ｘ線、近赤外線、光、その他の電磁波である。また、本発明は、物品に含まれる異物の有無を検査するものに限定されず、フィルム包装材等のパッケージ内に食品等の内容物を収容して出荷するような物品において、パッケージの封止部への内容物の噛み込み、パッケージ内での内容物の破損、パッケージ内への異物の混入等を検査するものであってもよい。また、物品の種類は特に限定されず、様々な物品を検査対象とすることができる。同様に、異物の種類は特に限定されず、様々な異物を検査対象とすることができる。
In the above embodiment, the embodiment in which the inspection device is the
１…Ｘ線検査装置（検査装置）、５…搬送部、６…Ｘ線照射部（照射部）、７…Ｘ線検知部（検知ユニット）、１０…制御部、１１…第１ラインセンサ（第１検知部）、１１ａ…第１素子、１２…第２ラインセンサ（第２検知部）、１２ａ…第２素子、Ａ…領域、Ｇ３…透過画像、Ｏ…物品（対象物）。 1 ... X-ray inspection device (inspection device), 5 ... transport unit, 6 ... X-ray irradiation unit (irradiation unit), 7 ... X-ray detection unit (detection unit), 10 ... control unit, 11 ... first line sensor ( 1st detection unit), 11a ... 1st element, 12 ... 2nd line sensor (2nd detection unit), 12a ... 2nd element, A ... region, G3 ... transmission image, O ... article (object).
Claims (6)
前記対象物に電磁波を照射する照射部と、
前記対象物を透過した第１エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第１素子を含む第１検知部、及び、前記第１検知部に対応して配置され、前記対象物を透過した第２エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第２素子を含む第２検知部を有する検知ユニットと、
各種情報を表示する表示部と、
前記対象物に係るサンプルの前記第１素子の第１出力値及び前記第２素子の第２出力値に基づいて前記第１出力値及び前記第２出力値の少なくとも一方を補正すると共に、前記表示部の表示を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記検知ユニットを複数の領域に仮想的に区画し、複数の前記領域のそれぞれについて、前記サンプルの検知結果の取得状況を前記表示部に表示させる、検査装置。 A transport unit that transports objects and
An irradiation unit that irradiates the object with electromagnetic waves,
A first detection unit including a plurality of first elements for detecting electromagnetic waves in the first energy band transmitted through the object, and a second energy arranged corresponding to the first detection unit and transmitted through the object. A detection unit having a second detection unit including a plurality of second elements for detecting electromagnetic waves in the band, and
A display unit that displays various information and
At least one of the first output value and the second output value is corrected based on the first output value of the first element and the second output value of the second element of the sample related to the object, and the display is performed. It is equipped with a control unit that controls the display of the unit.
The control unit is an inspection device that virtually divides the detection unit into a plurality of areas and causes the display unit to display the acquisition status of the detection result of the sample for each of the plurality of areas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020156227A JP2022049924A (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020156227A JP2022049924A (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022049924A true JP2022049924A (en) | 2022-03-30 |
Family
ID=80854135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020156227A Pending JP2022049924A (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2022049924A (en) |
-
2020
- 2020-09-17 JP JP2020156227A patent/JP2022049924A/en active Pending
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