JP2022048029A - プログラム、記録媒体、半導体製造装置、及び表示色制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本開示は、半導体製造装置に関するデータを表示する画面の視認性を向上させることができる技術を提供する。
【解決手段】コンピュータを、画面の前景色、及び前景色に対する背景色のコントラスト比を算出するコントラスト比算出手段、半導体製造装置に関するデータを表示する画面の１つ以上の前景色と、前景色に対する背景色と、のコントラスト比が規定値以上となるように、前景色を前景ごとに選択する色選択手段、選択した前景色、及び前景色に対する背景色に基づいた画面を表示部に表示させる表示制御手段、として機能させるためのプログラムにより上記課題を解決する。
【選択図】図３

Description

本開示は、プログラム、記録媒体、半導体製造装置、及び表示色制御方法に関する。

半導体の製造工程では、半導体基板に対して製造工程に沿って各種の処理を行う基板処理装置が用いられる。このような基板処理装置の状態を操作者が把握できるように、複数のパラメータに対応した複数の時系列データをグラフ化して操作者に提示するグラフ表示装置は従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。

例えば半導体製造装置はクリーンルーム内に設置されている。クリーンルーム内は照明光の照度が抑えられていたり、短波長域などの特定の波長成分がカットされた特別な色の照明であったりしている。また、クリーンルーム内に入る作業者は、ゴーグルをすることもある。

したがって、半導体製造装置が設置されたクリーンルーム内において、半導体製造装置に接続し、半導体製造装置に関するデータを表示するＰＣなどの操作端末は、画面の視認性の向上が望まれていた。

特開２０１８－１６５７６３号公報

本開示は、半導体製造装置に関するデータを表示する画面の視認性を向上させることができる技術を提供する。

本開示の一態様は、コンピュータを、画面の前景色、及び前記前景色に対する背景色のコントラスト比を算出するコントラスト比算出手段、半導体製造装置に関するデータを表示する画面の１つ以上の前景色と、前記前景色に対する背景色と、のコントラスト比が規定値以上となるように、前記前景色を前景ごとに選択する色選択手段、選択した前記前景色、及び前記前景色に対する背景色に基づいた画面を表示部に表示させる表示制御手段、として機能させるためのプログラムである。

本開示によれば、半導体製造装置に関するデータを表示する画面の視認性を向上させることができる技術を提供できる。

本実施形態に係る半導体製造システムの一例の構成図である。 コンピュータの一例のハードウェア構成図である。 本実施形態に係るリモート操作端末の一例の機能ブロック図である。 本実施形態に係る画面表示処理の一例のフローチャートである。 表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。 表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。 表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。 表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。なお、本実施形態ではウェブコンテンツアクセシビリティガイドライン（ＷＣＡＧ）２．０に定義されている色のコントラスト比を一例として用いている。ＷＣＡＧ２．０では、十分なコントラスト比として７．０以上、最低限のコントラスト比として４．５以上が定義されている。

そこで、本実施形態では画面に表示するテキストやグラフ線などの前景の色（以下、前景色と言う）と、その前景色に対する背景の色（以下、背景色と言う）とのコントラスト比の規定値として、７．０及び４．５を利用する。前景色に対する背景色とは、前景色の背面の色である。したがって、前景が重なって表示される場合、背面に位置する前景色が前面に位置する前景色の背景色となることがある。

＜システム構成＞
図１は本実施形態に係る半導体製造システム１の一例の構成図である。図１に示す半導体製造システム１は、半導体製造装置１０、ローカル操作端末１２、及びリモート操作端末２０を有する。半導体製造システム１は、半導体製造装置１０に関するデータをローカル操作端末１２及び１台以上のリモート操作端末２０に表示するために構築されたシステムである。

半導体製造装置１０はクリーンルーム２内に１台以上、設置されている。半導体製造装置１０はＬＡＮ（Local Area Network）などのネットワーク２４を介して通信可能に接続される。半導体製造装置１０は、例えば成膜処理、エッチング、フォトリソグラフィなどの処理を行う装置である。

半導体製造装置１０は、被処理体の処理を行う処理部と、処理部の制御を行う制御装置とを有している。図１の例では、半導体製造装置１０の付近に１台のローカル操作端末１２が設置されている。ローカル操作端末１２はクリーンルーム２内に設置されており、対応する半導体製造装置１０と通信可能である。

リモート操作端末２０は、クリーンルーム２内、又はクリーンルーム２の外の例えばオフィス内に設置されている。リモート操作端末２０は、ＬＡＮなどのネットワーク２２及び２４を介して半導体製造装置１０と通信可能に接続される。クリーンルーム内、又はオフィス内などに設置されたリモート操作端末２０はネットワーク２２及び２４を介して半導体製造装置１０と通信できる。

図１の半導体製造システム１では、ローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０が半導体製造装置１０に関するデータを画面に表示する。本実施形態では、ローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０が表示する半導体製造装置１０に関するデータの画面について、前景色と背景色とのコントラスト比が規定値以上となるように画面データの生成を行う。

これにより、図１の半導体製造システム１では、例えばクリーンルーム２内で作業者により操作されるローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０の画面の視認性を向上させている。

ローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０はパーソナルコンピュータ（ＰＣ）やタブレット端末、スマートフォン、専用端末等により実現される。ローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０が表示する半導体製造装置１０に関するデータの画面は、例えば半導体製造装置１０のセンサデータや制御部品を制御するパラメータ等である。

なお、図１の半導体製造システム１は一例であり、用途や目的に応じて様々なシステム構成例があることは言うまでもない。

＜ハードウェア構成＞
図１に示す半導体製造システム１のローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０は例えば図２に示すようなハードウェア構成のコンピュータにより実現される。図２はコンピュータの一例のハードウェア構成図である。

図２のコンピュータは、入力装置５０１、出力装置５０２、外部Ｉ／Ｆ５０３、ＲＡＭ５０４、ＲＯＭ５０５、ＣＰＵ５０６、通信Ｉ／Ｆ５０７、及びＨＤＤ５０８などを備えており、それぞれがバスＢで相互に接続されている。なお、入力装置５０１及び出力装置５０２は必要なときに接続して利用する形態であってもよい。

入力装置５０１は入力に用いるタッチパネル、操作キーやボタン、キーボードやマウスなどである。出力装置５０２は、画面を表示する液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ、音を出力するスピーカ等で構成されている。通信Ｉ／Ｆ５０７はコンピュータをネットワーク２２及び２４に接続するインターフェースである。ＨＤＤ５０８はプログラムやデータを格納している不揮発性の記憶装置の一例である。ＨＤＤ５０８はフラッシュメモリを用いるドライブ装置（例えばソリッドステートドライブ：ＳＳＤ）に置き換えてもよい。

外部Ｉ／Ｆ５０３は、外部装置とのインターフェースである。外部装置には、記録媒体５０３ａなどがある。これにより、コンピュータは外部Ｉ／Ｆ５０３を介して記録媒体５０３ａの読み取り及び／又は書き込みを行うことができる。記録媒体５０３ａにはフレキシブルディスク、ＣＤ、ＤＶＤ、ＳＤメモリカード、ＵＳＢメモリなどがある。

ＲＯＭ５０５は、電源を切ってもプログラムやデータを保持することができる不揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。ＲＡＭ５０４はプログラムやデータを一時保持する揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。ＣＰＵ５０６はＲＯＭ５０５やＨＤＤ５０８などの記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ５０４上に読み出し、処理を実行することで、コンピュータ全体の制御や機能を実現する演算装置である。本実施形態に係るローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０は、上記したハードウェア構成のコンピュータにおいて例えば本実施形態に係るプログラムを実行することにより本実施形態に示す各種処理を実現できる。なお、図２のコンピュータのハードウェア構成は一例であって、スマートフォンやタブレット端末、複数台のコンピュータによる分散処理システムなどであってもよい。

＜機能構成＞
以下では、ローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０のうち、リモート操作端末２０の機能ブロックを一例として説明するが、ローカル操作端末１２の機能ブロックについても同様である。図３は、本実施形態に係るリモート操作端末の一例の機能ブロック図である。図３の機能ブロック図は、本実施形態の説明に不要な構成について図示を省略している。

リモート操作端末２０はプログラムを実行することで、データ取得要求部３２、データ受信部３４、操作受付部３６、画面管理部４０、表示制御部４２、及び表示部４４を実現している。画面管理部４０は、表示画面管理部５０、設定部５２、色選択部５４、コントラスト比算出部５６、画面データ生成部５８、及び操作判定部６０を有する。

データ取得要求部３２は半導体製造装置１０に関するデータの取得を、半導体製造装置１０に要求する。データ受信部３４は半導体製造装置１０に関するデータを半導体製造装置１０から受信する。操作受付部３６はユーザの一例の作業者の操作を受け付ける。

画面管理部４０は半導体製造装置１０に関するデータを表示する画面など、各種画面に関する管理を行う。画面管理部４０の表示画面管理部５０は、半導体製造装置１０に関するデータを表示する画面など、表示部４４に表示する各種画面を管理する。設定部５２は半導体製造装置１０に関するデータの画面など、各種画面に表示する項目（表示項目）に関する設定を作業者等から受け付ける。表示項目に関する設定には、表示項目の設定、及び表示項目の色の設定などが含まれる。

色選択部５４は、半導体製造装置１０に関するデータを表示する画面など、各種画面に表示する前景（テキストやグラフ線など）の前景色と、その前景に対する背景色とのコントラスト比が規定値以上となるように、色の選択処理を行う。コントラスト比算出部５６は画面に表示する前景色、及び前景色に対する背景色のコントラスト比を、前景色ごとに算出する。なお、コントラスト比の計算については後述する。

画面データ生成部５８は色選択部５４による色の選択処理結果に従い、半導体製造装置１０に関するデータを表示する画面など、各種画面の画面データを生成する。操作判定部６０は操作受付部３６が受け付けた作業者の操作の内容を判定し、その操作の内容を必要とする機能ブロックに通知する。例えば操作判定部６０は表示する画面を変更する作業者の操作を受け付けたと判定すると、操作の内容を表示画面管理部５０に通知する。表示画面管理部５０は操作判定部６０から通知された操作の内容に従い、表示部４４に表示する画面を判断する。

表示制御部４２は、画面データ生成部５８が生成した画面データに従い、画面を表示部４４に表示させる。表示部４４は表示制御部４２の制御に従って、画面を表示する。このように、表示部４４が表示する画面は、前景色と、その前景色に対する背景色とのコントラスト比が規定値以上となり、視認性が高くなる。

本実施形態では、色ポリシーを例えば以下のように定義する。有彩色には、カラーユニバーサルデザイン推奨配色セット（Ｖｅｒ．３）を用いる。画面の前景及び背景のコントラスト比は７．０以上を満たすことを原則とする。ただし、以下の条件を満たす場合は画面の前景及び背景のコントラスト比が４．５以上であれば例外的に許容する。

コントラスト比が４．５以上であれば例外的に許容する条件
－前景色の色に意味がある場合。例えば危険を表現したいアラームの赤色や、作業者により設定された表示項目の色など。
－表現可能な前景色の色の数が所定値よりも大きい場合。例えば色違いで表現する複数のグラフ線など。

＜コントラスト比の計算＞
コントラスト比算出部５６は以下のようにコントラスト比を算出する。
コントラスト比(contrast ration)＝(L1 +0.05)／(L2 +0.05)
L1は、明るい方の相対輝度
L2は、暗い方の相対輝度
相対輝度（relative luminance）は、最も暗い黒を「０」に、最も明るい白を「１」に正規化した色空間内の任意の色の相対的な明るさ
sRGB色空間において、色の相対輝度は、以下のように定義されている。
L＝0.2126×R＋0.7152×G＋0.0722×B
R、G、及びBは以下のように定義される。
RsRGB≦0.03928の場合、R＝RsRGB／12.92 else R＝((RsRGB+0.055)／1.055)＾2.4
GsRGB≦0.03928の場合、G＝GsRGB／12.92 else G＝((GsRGB+0.055)／1.055)＾2.4
BsRGB≦0.03928の場合、B＝BsRGB／12.92 else B＝((BsRGB+0.055)／1.055)＾2.4
RsRGB、GsRGB、及びBsRGBは、次のように定義される。
RsRGB＝R8bit／255
GsRGB＝G8bit／255
BsRGB＝B8bit／255
＜処理＞
図４は本実施形態に係る画面表示処理の一例のフローチャートである。ステップＳ１０においてリモート操作端末２０の表示画面管理部５０は画面データの生成が必要であるか否かを判定する。例えば表示画面管理部５０は操作判定部６０から通知された操作の内容に従い、表示部４４に表示する画面を切り替える場合や更新する場合に更新画面データの生成が必要と判定する。

画面データの生成が必要であると判定すると、表示画面管理部５０はステップＳ１２において、生成する画面の前景、前景に対する背景の情報を取得する。表示画面管理部５０はデータ取得要求部３２及びデータ受信部３４を利用して、生成する画面の前景、前景に対する背景の情報を半導体製造装置１０から取得する。また、表示画面管理部５０は設定部５２が作業者等から受け付けた画面の表示項目に関する設定を、例えばＨＤＤ５０８から取得する。ステップＳ１２において表示画面管理部５０が取得する情報の取得先は限定されない。

ステップＳ１４において、色選択部５４はステップＳ１２で表示画面管理部５０が取得した情報に基づき、画面の前景及び背景のコントラスト比の規定値を決定する。ステップＳ１４で決定する規定値は、画面に表示する前景と、その前景に対する背景とが満たすべきコントラスト比となる。なお、ステップＳ１４で決定する規定値は、画面に表示する前景色ごとに決定してもよいし、グループ化が可能な前景色ごとに決定してもよいし、画面ごとに決定してもよい。

例えば、色選択部５４は前述したように、前景色の色に意味がある場合や、表現可能な前景色の色の数が所定値よりも大きい場合など、予め決めておいた条件を満たしている場合に、コントラスト比の規定値を４．５以上に決定する。予め定めておいた条件を満たしていない場合に、色選択部５４はコントラスト比の規定値を７．０以上に決定する。このように、本実施形態では画面に表示する前景色が条件を満たすか否かによりコントラスト比の規定値を変更する。

ステップＳ１６において、色選択部５４は生成する画面に表示することになる１つ以上の前景色と、その前景色に対する背景色との組み合わせ（コントラスト比を算出する前景色と背景色との組み合わせ）を選択する。前景色の選択はランダムに発生したＲＢＧ値の色により行ってもよいし、予め定められた色見本からの選択により行ってもよい。

ステップＳ１８において、コントラスト比算出部５６はステップＳ１６で色選択部５４が選択した１つ以上の前景色と、その前景色に対する背景色との組み合わせごとに、コントラスト比をそれぞれ算出する。コントラスト比算出部５６が実行するコントラスト比を算出する処理は、前述したコントラスト比の計算に従ったものとなる。

ステップＳ２０において、色選択部５４はステップＳ１８でコントラスト比算出部５６が算出したコントラスト比の全てが、ステップＳ１４で決定した規定値以上か否かを判定する。例えば色選択部５４は１つ以上の前景色と、その前景色に対する背景色との組み合わせごとに、算出したコントラスト比が規定値以上か否かを判定する。

コントラスト比を算出した前景色と背景色との組み合わせに、ステップＳ１４で決定した規定値以上でない組み合わせが含まれていれば、色選択部５４はステップＳ２２の処理を実行する。ステップＳ２２において、色選択部５４はコントラスト比が規定値以上でない前景色と背景色との組み合わせを変更する。例えば色選択部５４はコントラスト比が規定値以上でない前景色と背景色との組み合わせについて、前景色をランダムに選択した色に変更する。

ステップＳ２２の処理の後、コントラスト比算出部５６は再びコントラスト比の計算を行う。ステップＳ１８～Ｓ２２の処理は算出したコントラスト比の全てが規定値以上と判定されるまで繰り返される。

コントラスト比算出部５６が算出したコントラスト比の全てが規定値以上と判定されると画面データ生成部５８は、ステップＳ２４の処理を実行する。ステップＳ２４において画面データ生成部５８は、色選択部５４により選択されたコントラスト比が規定値以上である前景色と背景色との組み合わせに従い、画面データを生成する画面データ生成処理を行う。したがって、画面データ生成部５８が生成する画面データは、前景色と背景色とのコントラスト比が規定値以上となる。

ステップＳ２６において、表示制御部４２は、ステップＳ２４で画面データ生成部５８が生成した画面データに従い、画面を表示部４４に表示させる。表示部４４は表示制御部４２の制御に従って、画面を表示する。このように、表示部４４が表示する画面は、前景色と、その前景色に対する背景色とのコントラスト比が規定値以上となり、視認性が高くなる。

＜画面＞
図５は表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。図５の画面はテキストを前景１０１０、１０１２、及び１０１４として表示する例である。図５の上側の画面は前景１０１０の前景色と、前景１０１０に対する背景１０００の背景色とのコントラスト比が４．６であるとする。前景１０１２及び１０１４の前景色と、前景１０１２及び１０１４に対する背景１０００の背景色とのコントラスト比が７以上であるとする。

コントラスト比の規定値が「７以上」の例である場合、色選択部５４は前景１０１０の前景色と、背景１０００の背景色とのコントラスト比が７以上となるように、前景１０１０の前景色を変更する。図５の下側の画面は前景１０１０の前景色と、背景１０００の背景色とのコントラスト比が７以上となるように、色選択部５４が前景１０１０の前景色を変更した後の例である。

図５の下側の画面は前景１０１０の前景色と、前景１０１０に対する背景１０００の背景色とのコントラスト比が９．２であるとする。前景１０１２及び１０１４の前景色と、前景１０１２及び１０１４に対する背景１０００の背景色とのコントラスト比が７以上であるとする。図５に示すように、本実施形態では規定値に満たないコントラスト比により視認性が悪い前景１０１０及び背景１０００の組み合わせについて、規定値を満たすコントラスト比となるように前景１０１０の前景色を変更できる。

図６は表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。図６の画面はテキストを含む棒グラフを前景として表示する例であるが、テキストから見れば、棒グラフを背景として捉えることができる。そこで、ここではテキストを前景１１６０と呼び、棒グラフをそれぞれ背景１１００、１１２０、及び１１４０と呼ぶ。

図６の左側の画面は前景１１６０の前景色と、前景１１６０に対する背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色とのコントラスト比が７．０未満であるとする。コントラスト比の規定値が「７以上」の例である場合、色選択部５４は前景１１６０の前景色と前景１１６０に対する背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色とのコントラスト比が７以上となるように、前景１１６０の前景色と前景１１６０に対する背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色とを変更する。

例えば背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色はカラーユニバーサルデザイン推奨配色セット（Ｖｅｒ．３）の緑、オレンジ、及び青に変更する。前景１１６０の前景色は黒に変更する。図６の右側の画面は前景１１６０の前景色と、背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色とのコントラスト比が７以上となるように、色選択部５４が前景色及び背景色を変更した後の例である。

図６に示すように、本実施形態では規定値に満たないコントラスト比により視認性が悪い前景１１６０の前景色と、背景１１００、１１２０、及び１１４０の背景色との組み合わせについて、規定値を満たすコントラスト比となるように前景色と背景色との組み合わせを変更できる。

図７は表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。図７の画面はグラフ線を前景１２１０として表示する例である。図７の左側の画面は前景１２１０の前景色と、前景１２１０に対する背景１２００の背景色とのコントラスト比が４．５を満たしていない例を表しているものとする。

コントラスト比の規定値が「４．５以上」の例である場合、色選択部５４は前景１２１０の前景色と、背景１２００の背景色とのコントラスト比が４．５以上となるように、前景１２１０の前景色を変更する。図７の右側の画面は前景１２１０の前景色と、背景１２００の背景色とのコントラスト比が４．５以上となるように、色選択部５４が前景１２１０の前景色を変更した後の例である。

図７の右側の画面は前景１２１０の前景色と、前景１２１０に対する背景１２００の背景色とのコントラスト比が４．５以上であるとする。図７に示すように、本実施形態ではグラフ線などのように視認可能に表示すべき色が多数ある場合に、規定値「７．０」よりも小さい規定値「４．５」を許容することで、表示可能な前景色の数と、前景色の視認性の向上とのバランスを取ることができる。

図８は表示部に表示される画面の一例のイメージ図である。図８の画面はグラフ線を前景１３１０として表示する例である。図８の左側の画面は前景１３１０の前景色と、前景１３１０に対する背景１３００の背景色とのコントラスト比が４．５を満たしていない例を表しているものとする。図８では例えば複数回行った同種のプロセスのプロセス時間を回数ごとに、異なる前景色で表している。また、図８と同様な画面により、本実施形態では同じセンサから異なる時間に出力されたセンサデータを、異なる前景色で表すこともできる。

コントラスト比の規定値が「４．５以上」の例である場合、色選択部５４は前景１３１０の前景色と、背景１３００の背景色とのコントラスト比が４．５以上となるように、前景１３１０の前景色を変更する。図８の右側の画面は前景１３１０の前景色と、背景１３００の背景色とのコントラスト比が４．５以上となるように、色選択部５４が前景１３１０の前景色を変更した後の例である。

図８の右側の画面は前景１３１０の前景色と、前景１３１０に対する背景１３００の背景色とのコントラスト比が４．５以上であるとする。図８に示すように、本実施形態ではグラフ線などのように視認可能に表示すべき色が多数ある場合に、規定値「７．０」よりも小さい規定値「４．５」を許容することで、表示可能な前景色の数と、前景色の視認性の向上とのバランスを取ることができる。

以上、本実施形態によれば、厳密なコントラスト比で前景色の視認性を判定するようにしたため、例えば暗い背景色に対して前景色の色を、色の要素の一つである明度が明るい色としても、青系など色によって見づらくなるというようなことが無い。

したがって、作業者は半導体製造装置１０が設置されたクリーンルーム２内であってもローカル操作端末１２及びリモート操作端末２０において視認性の高い画面を閲覧することができる。

＜他の実施形態＞
本実施形態に係る色選択部５４は、前景色及び背景色のコントラスト比が規定値以上になるように色を選択しているが、例えば環境光センサ等から環境光データを取得し、環境光の影響を考慮するようにしてもよい。

また、図４のフローチャートではステップＳ１６において色選択部５４が生成する画面に表示することになる１つ以上の前景色と、その前景色に対する背景色との組み合わせ（コントラスト比を算出する前景色と背景色との組み合わせ）を選択していた。本実施形態に係る色選択部５４は作業者に前景色を選択させた後で、コントラスト比が規定値以上であるか否かを判定し、コントラスト比が規定値未満であった場合に警告を行うようにしてもよい。

以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。

１ 半導体製造システム
２ クリーンルーム
１０ 半導体製造装置
１２ ローカル操作端末
２０ リモート操作端末
３２ データ取得要求部
３４ データ受信部
３６ 操作受付部
４０ 画面管理部
４２ 表示制御部
４４ 表示部
５０ 表示画面管理部
５２ 設定部
５４ 色選択部
５６ コントラスト比算出部
５８ 画面データ生成部
６０ 操作判定部

Claims (10)

1. コンピュータを、
   画面の前景色、及び前記前景色に対する背景色のコントラスト比を算出するコントラスト比算出手段、
   半導体製造装置に関するデータを表示する画面の１つ以上の前景色と、前記前景色に対する背景色と、のコントラスト比が規定値以上となるように、前記前景色を前景ごとに選択する色選択手段、
   選択した前記前景色、及び前記前景色に対する背景色に基づいた画面を表示部に表示させる表示制御手段、
   として機能させるためのプログラム。
2. 前記色選択手段は、
   前記画面に表示する前記前景色が条件を満たすか否かにより、前記規定値を変更すること
   を特徴とする請求項１記載のプログラム。
3. 前記色選択手段は、前記画面に表示する前記前景色の数が所定値よりも大きい場合の前記規定値を、前記画面に表示する前記前景色の数が所定値よりも大きくない場合の前記規定値よりも小さくなるように変更すること
   を特徴とする請求項２記載のプログラム。
4. 前記コンピュータを、
   前記画面に前景として表示する項目の設定をユーザから受け付ける設定手段、
   として更に機能させ、
   前記色選択手段は、前記設定手段が前記ユーザから設定を受け付けた前記項目の数に応じて、前記画面に表示する前記前景色の数が所定値よりも大きい場合の前記規定値又は前記画面に表示する前記前景色の数が所定値よりも大きくない場合の前記規定値の何れかに変更すること
   を特徴とする請求項３記載のプログラム。
5. 前記設定手段は、前記前景として表示する項目の色の設定をユーザから受け付け、
   前記色選択手段は、ユーザからの色の設定を受け付けていない前記前景色の場合に利用する規定値よりも、ユーザからの色の設定を受け付けた前記前景色の場合に利用する規定値が小さくなるように、前記規定値を変更すること
   を特徴とする請求項４記載のプログラム。
6. 前記色選択手段は、前記半導体製造装置のセンサデータを前記前景として表示する場合に、同じセンサから異なる時間に出力された前記センサデータごとに、異なる前記前景色を選択すること
   を特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のプログラム。
7. 前記前景は、テキスト及びグラフ線の少なくとも一方であること
   を特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のプログラム。
8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
9. 画面の前景色、及び前記前景色に対する背景色のコントラスト比を算出するコントラスト比算出手段と、
   半導体製造装置に関するデータを表示する画面の１つ以上の前景色と、前記前景色に対する背景色と、のコントラスト比が規定値以上となるように、前記前景色を前景ごとに選択する色選択手段と、
   選択した前記前景色、及び前記前景色に対する背景色に基づいた画面を表示部に表示させる表示制御手段と、
   を有する半導体製造装置。
10. 画面の前景色、及び前記前景色に対する背景色のコントラスト比を算出するコントラスト比算出ステップと、
    半導体製造装置に関するデータを表示する画面の１つ以上の前景色と、前記前景色に対する背景色と、のコントラスト比が規定値以上となるように、前記前景色を前景ごとに選択する色選択ステップと、
    選択した前記前景色、及び前記前景色に対する背景色に基づいた画面を表示部に表示させる表示制御ステップと、
    を有する半導体製造装置の表示色制御方法。

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