JP2022039527A - オゾン発生装置およびオゾン発生方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】流路にエキシマランプを配置するオゾン発生装置において、有機物などを除去して効果的にオゾンを発生させる。【解決手段】オゾン発生装置10において、エキシマランプ20が流路管30内に配置され、流路管30の流入口30Aに送風機40が配置される。エキシマランプ20は、ランプ上流側部分で274nmの紫外線を放射し、流路管30に流入したガスに対して有機物などの不純物分解を先に行う。【選択図】図1
Description
本発明は、エキシマランプを備えたオゾン発生装置に関する。
エキシマランプなどの紫外線照射手段を備えたオゾン発生装置では、酸素を含むガスや液体に紫外線を照射することによってオゾンを発生させ、装置外部に放出する。オゾンは強い酸化作用があるため、殺菌処理、脱臭処理などに利用することができる。
オゾンを効率よく発生させるため、一方向に延びる流路管内にエキシマランプを配置し、流路管内の原料ガスの流速を調整するオゾン発生装置が知られている(特許文献1参照)。そこでは、流路管内のガスの流れが一様流となるように、軸流ファンを通じて流路管へガスを供給する。
紫外線照射対象であるガスや液体には、ウィルスや有機物など、オゾン発生の障害要因となるものが含まれることがある。特に、200nm以下(172nmなど)の波長域の紫外線を放射するエキシマランプの場合、紫外線が減衰して到達距離が短いため、エキシマランプ周囲を流れるガスや液体に対して効果的にオゾンを発生させることが難しい。
したがって、流路にエキシマランプを配置するオゾン発生装置において、有機物などを除去して効果的にオゾンを発生させることが求められる。
本発明の一態様であるオゾン発生装置は、紫外光照射対象である酸素を含む流体が流れる流路と、前記流路に配置される紫外線照射手段とを備える。例えば紫外線照射手段は、200nm以下のピーク波長を有する第1の紫外光と、前記第1の紫外光より長波長域でピーク波長を有する第2の紫外光とを放射可能である。
本発明の紫外線照射手段はエキシマランプであり、例えば、エキシマランプは、エキシマランプが、前記第1の紫外光を放射するガスが封入される放電容器を備え、第1の紫外光を受けて前記第2の紫外光を発光する蛍光体を有する。
本発明では、エキシマランプが、前記流路の上流側から下流側へランプ周囲を流れる流体に対し、前記第1の紫外光よりも先に、前記第2の紫外光を照射する。ランプ周囲を流れる流体に対して第1の紫外光を第2の紫外光より先に照射する構成としては、様々な構成が可能である。
例えば、第2の紫外光の到達距離に対する紫外線強度比が、同じ到達距離に対して前記第1の紫外光と比べて大きい場合、第2の紫外光がランプ表面からより離れた距離のある地点で流体に照射することが可能であるため、第1の紫外光よりも先の照射となる。
一方、エキシマランプが、選択的に紫外線照射する構成も可能である。流路管の配置などによって、流路が、一方向に沿った流体の流れを形成している場合、エキシマランプが、前記流路に沿ったランプ中間位置より上流側の流体に対し、前記第2の紫外光を照射し、ランプ中間位置より下流側の流体に対し、前記第1の紫外光を照射することができる。
例えば、エキシマランプが、ランプ軸を前記流路に沿うようにして配置し、あるいは、ランプ軸を前記流路に垂直な方向に沿うようにして配置することができる。例えば、エキシマランプは、放電容器に関し、ランプ中央位置より上流側部分において、前記第1の紫外光を受けて前記第2の紫外光を発光する蛍光体が設ける構成にすればよい。
オゾン発生装置は、送風機など流路へ流体を供給する流体供給部を、流路において前記エキシマランプよりも上流側に配置した構成にすることが可能である。この場合、流体供給部が、少なくとも前記エキシマランプの周りに、非一様流の流れを形成することができる。
本発明の一態様であるオゾン発生方法は、紫外光照射対象である酸素を含む流体が流れる流路にエキシマランプを配置し、前記エキシマランプから、200nm以下のピーク波長を有する第1の紫外光と、前記第1の紫外光より長波長域にピーク波長を有する第2の紫外光とを、流体に対して照射するオゾン発生方法であって、前記流路の上流側から下流側へランプ周囲を流れる流体に対し、前記第1の紫外光よりも先に、前記第2の紫外光を照射する。
本発明によれば、流路にエキシマランプを配置するオゾン発生装置において、有機物などを除去して効果的にオゾンを発生させることができる。
以下では、図面を参照して、本実施形態であるオゾン発生装置について説明する。図2は、エキシマランプの概略的内部構成図である。
図1は、第1の実施形態であるオゾン発生装置の概略的構成図である。
オゾン発生装置10は、図示しないケーシング内に、エキシマランプ20、流路管30、送風機40とを備える。酸素を含むガスが、流路管30の一端(以下、流入口という)30Aに流入すると、エキシマランプ20による紫外線照射によってオゾンが発生する。オゾンを含むガスは、流路管30の他端(以下、流出口という)30Bから流出し、装置外部へ放出される。これによって、装置外部の除菌、殺菌処理などを行うことが可能である。
流路管30は、ここでは一方向に延びる管状部材で構成され、エキシマランプ20は、そのランプ軸Eがガスの流れる方向に沿うように、流路管30に対して同軸的に配置されている。エキシマランプ20は、200nm以下(例えば、172nm)のピーク波長を有する紫外線(第1の紫外光/第1の紫外線)を放射するとともに、それより長波長域(例えば、274nm)のピーク波長を有する紫外線(第2の紫外光/第2の紫外線)を放射する。流路管30の流入口30Aには、軸流ファン形式の送風機40が、流路管30に対して同軸的に配置されている。
図2に示すように、エキシマランプ20は、希ガスが封入された放電管(放電容器)22を備え、放電管22内には、箔状の内側電極24が設けられ、柱状誘電体(石英ガラスなど)に被覆されている。また、放電管22の外表面22S1には、外側電極26が設けられている。外側電極26は、ここではランプ軸Eに沿って延びる複数の帯状電極で構成され、放電管22の周方向に所定間隔をあけて配置されている。
放電管22の内表面22Sには、蛍光体Mが部分的に塗布されている。ここでは、流路管30の管軸に対してエキシマランプ20の中間位置を表すランプ中央ラインCを境にして、蛍光体Mが内表面22Sの上流側半分にのみ塗布されている。ただし、図2では、蛍光体Mの厚さを誇張して描いている。
エキシマランプ20の内側電極24、外側電極26に対し電圧が印加されると、172nmのピーク波長を有する紫外光(エキシマ光)が放射される。蛍光体Mは、172nmにピーク波長を有する紫外光を受けると、274nmの紫外光をランプ外に向けて発光する。そのため、エキシマランプ20のランプ中央ラインCより下流側半分で、172nmをピーク波長とする紫外線(紫外光)が放射される一方、ランプ中央ラインCより上流側半分では、274nmのピーク波長を有する紫外線(紫外光)がランプ外へ放射される。
ウィルス、有機物などは、波長200~300nmの範囲の紫外線を吸収し、その分解が促進される。したがって、流路管30に流入したガスに含まれる有機物などは、エキシマランプ20から放射される274nmにピーク波長を有する紫外光によって先に分解される。なお、有機物の分解には274nmにピーク波長を有する紫外光が適しているが、例えば228nmや264nmにピーク波長を有する紫外光でも良い。さらに、ガスに含まれる有機物の種類や、その有機物を分解する波長に応じて320nmや344nmにピーク波長を有する紫外光を用いることもできる。そして、有機物の分解されたガスには、エキシマランプ20から放射される172nmの紫外線が照射され、オゾンが発生する。
ここで、172nmの紫外線は、274nmの紫外線と比べて紫外線強度比が小さい。紫外線強度比は、紫外線が進行するにつれて減衰するときの紫外線到達地点における減衰比として表される。エキシマランプ20の上流側半分から放射される274nmの紫外線は、流路管30の管壁30Sまで光強度をほぼ維持したまま進行する。一方、172nmの紫外線の到達距離は、エキシマランプ20の表面20Sから所定距離dの範囲に制限される。
図1では、274nmの紫外線照射スペースと、172nmの紫外線照射スペースとを、それぞれ符号E1、E2で表している。274nmの紫外線が、流路管30に流入するガス全体に対してランプ上流側で照射されることにより、流入ガスに含まれる有機物を効果的に分解することができる。
エキシマランプ20の上流側に配置された送風機40は、流路管30内において、ガスの流れを非一様流に形成する。時間平均で流路方向の速度を表すことができない複雑な流れの状態を形成し、また、旋回流などの3次元的な流れをエキシマランプ20の周囲に形成する。ちなみに、図1の矢印は、流路管30の上流側から下流側へのガスの流れを単に示しているだけである。
そのため、エキシマランプ20の周囲では、エキシマランプ20の表面20S付近と流路管30の管壁30S付近のガスが混合し、オゾン発生量に偏りがない均質なガスが流出口30Bから流出する。このような非一様流であるガスの流れを流路管30内に形成できるように、流路管30の径R、送風機40の風量などが定められている。
このように第1の実施形態によれば、オゾン発生装置10において、エキシマランプ20が流路管30内に配置され、流路管30の流入口30Aに送風機40が配置される。エキシマランプ20は、ランプ上流側部分で274nmの紫外線を放射し、流路管30に流入したガスに対して有機物などの不純物分解を先に行う。そして、エキシマランプ20は、ランプ下流側部分で、不純物のないガスを対象に172nmの紫外線を放射し、オゾンを効果的に発生させることができる。
エキシマランプ20は、蛍光体Mによって有機物分解を目的とする紫外線を放射しているが、蛍光体Mをランプ上流側半分全体に渡って塗布する必要はなく、塗布しない部分を部分的に塗布する、あるいは、分散させて塗布するようにしてもよい。この場合、274nmの紫外線の方がより遠くにまで到達するため、流路管30に流入したランプ上流側のガスに対し、274nmの紫外線が先に照射され、その後に172nmの紫外線が照射されることになる。同様に、ランプ下流側部分に蛍光体Mを部分的に塗布してもよい。また、蛍光体を塗布以外の方法によってエキシマランプに設けてもよい。
流路管30は、直状に延びる管状部材以外で構成することも可能であり、また、流路管のない流路の中にエキシマランプ20を配置してもよい。オゾン発生装置10は、ユニット構成に限定されず、殺菌処理装置、脱臭装置、空気清浄機などに組み込むことも可能である。ガス以外の粒や液体の含まれる液体を対象にしてオゾンを発生させることも可能である。
次に、図3を用いて第2の実施形態であるオゾン発生装置について説明する。第2の実施形態では、エキシマランプが流路管の管軸に垂直な方向に沿って配置されている。
図3は、第2の実施形態であるオゾン発生装置の概略的構成図である。
オゾン発生装置10’は、エキシマランプ20’、流路管30’、送風機40’を備え、送風機40’は、流路管30’の流入口30’Aに同軸配置されている。エキシマランプ20’は、ランプ軸Eが流路管30’の管軸に垂直な方向に沿うように、流路管30’内に配置されている。したがって、エキシマランプ20’のランプ中央ラインCは、ランプ軸Eと同一線上にある。
エキシマランプ20’の放電管22’の内表面は、その上流側半分に蛍光体が塗布されている。したがって、エキシマランプ20’は、ランプ中央ラインCを境にして、274nmの紫外線が上流側半分から放射され、172nmの紫外線が下流側半分から放射される。
第1の実施形態と同様、274nmの紫外線が流路管30’に流入するガス全体に対して照射されることによって、有機物が効果的に分解される。また、送風機40’が3次元的な流れを流路管30’内に形成することにより、有機物の分解されたガスに対して172nmの紫外線が効果的に照射され、オゾン発生量に偏りがない均質なガスが流出口30’Bから流出する。
エキシマランプ20は、ここでは単体で構成されているが、複数のエキシマランプを配置する構成にしてもよい。エキシマランプ20のオゾンを発生させるための紫外線(エキシマ光)は、172nm以外のピーク波長を有する紫外線でもよく、酸素の吸収特性波長域である200nm以下であればよい。また、有機物などを分解するために放射する紫外線についても、274nm以外のピーク波長を有する紫外線を適用することが可能であり、エキシマランプ20の紫外線よりも波長域が大きく、例えば200~300nmの範囲の紫外線を照射するようにすればよい。
10 オゾン発生装置
20 エキシマランプ
30 流路管
40 送風機(流体供給部)
20 エキシマランプ
30 流路管
40 送風機(流体供給部)
Claims (9)
- 紫外光照射対象である酸素を含む流体が流れる流路と、
前記流路に配置される紫外線照射手段とを備え、
前記紫外線照射手段が、200nm以下のピーク波長を有する第1の紫外光と、前記第1の紫外光より長波長域でピーク波長を有する第2の紫外光とを放射可能であり、
前記紫外線照射手段が、前記流路の上流側から下流側へランプ周囲を流れる流体に対し、前記第1の紫外光よりも先に、前記第2の紫外光を照射することを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記紫外線照射手段はエキシマランプであることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 前記流路が、一方向に沿った流体の流れを形成し、
前記エキシマランプが、前記流路に沿ったランプ中間位置より上流側の流体に対し、前記第2の紫外光を照射し、ランプ中間位置より下流側の流体に対し、前記第1の紫外光を照射することを特徴とする請求項2に記載のオゾン発生装置。 - 前記エキシマランプが、ランプ軸を前記流路に沿うようにして配置されていることを特徴とする請求項3に記載のオゾン発生装置。
- 前記エキシマランプが、ランプ軸を前記流路に垂直な方向に沿うようにして配置されていることを特徴とする請求項3に記載のオゾン発生装置。
- 前記流路において前記エキシマランプよりも上流側に配置され、前記流路へ流体を供給する流体供給部をさらに備え、
前記流体供給部が、少なくとも前記エキシマランプの周りに、非一様流の流れを形成することを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載のオゾン発生装置。 - 前記エキシマランプが、前記第1の紫外光を放射するガスが封入される放電容器を有し、
前記放電容器が、ランプ中央位置より上流側部分において、前記第1の紫外光を受けて前記第2の紫外光を発光する蛍光体を有することを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載のオゾン発生装置。 - 前記第2の紫外光の到達距離に対する紫外線強度比が、前記第1の紫外光と比べて大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のオゾン発生装置。
- 紫外光照射対象である酸素を含む流体が流れる流路に紫外線照射手段を配置し、
前記紫外線照射手段から、200nm以下のピーク波長を有する第1の紫外光と、前記第1の紫外光より長波長域にピーク波長を有する第2の紫外光とを、流体に対して照射するオゾン発生方法であって、
前記流路の上流側から下流側へランプ周囲を流れる流体に対し、前記第1の紫外光よりも先に、前記第2の紫外光を照射することを特徴とするオゾン発生方法。
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