JP2022022390A - Ranging device - Google Patents

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健久 奥山
Takehisa Okuyama
琢麿 柳澤
Takamaro Yanagisawa
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ranging device capable of measuring a distance to an object even when a virtual scanning surface is arbitrarily set in such a manner that the distances from a front and a side of the ranging device differ from each other.
SOLUTION: A ranging device includes a pair of scanning parts for performing scanning by oscillating reflection members having reflection surfaces. The one scanning part scans a first region of a virtual scanning surface and the other scanning part scans a second region of the scanning surface. The first and second regions differ from each other. The ranging device measures a distance to an object even when the scanning surface is arbitrarily set in such a manner that the distances from a front and a side of the ranging device differ from each other.
SELECTED DRAWING: Figure 1
COPYRIGHT: (C)2022,JPO&INPIT

Description

本発明は、測距装置に関する。 The present invention relates to a ranging device.

測距装置は、例えば、レーザ光を対象領域内で走査して対象物までの距離を計測する、すなわち測距する。このような測距装置の一例としては、レーザ光を出射する光源部と、光源部から出射されたレーザ光を対象領域内でリサージュ走査する光走査部と、レーザ光が物体によって反射された反射光を受光する受光部と、レーザ光の出射タイミングと反射光の受光タイミングとに基づいて、物体までの距離を計測する測距部と、を備える光測距装置が特許文献1に開示されている。 The distance measuring device, for example, scans the laser beam in the target area to measure the distance to the target object, that is, measures the distance. As an example of such a distance measuring device, a light source unit that emits laser light, an optical scanning unit that resage scans the laser light emitted from the light source unit within a target region, and a reflection of the laser light reflected by an object. Patent Document 1 discloses an optical distance measuring device including a light receiving unit that receives light and a distance measuring unit that measures a distance to an object based on the emission timing of laser light and the light receiving timing of reflected light. There is.

特開2011-053137号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-053137

ところで、車両等の移動体に測距装置を搭載した場合、例えば、移動体の前方側については数百メートル程度の遠くの測距情報を、また移動体の側方側については数十メートル程度の近くの測距情報を得たいという要望があった。 By the way, when a distance measuring device is mounted on a moving body such as a vehicle, for example, the front side of the moving body is about several hundred meters away, and the side side of the moving body is about several tens of meters. There was a request to obtain distance measurement information near.

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、空間解像度の不均一性が大きくなく、良好な測距を行うことが可能な測距装置を提供すること課題の1つとする。 The present invention has been made in view of the above points, and even when the distance range in which distance measurement is required differs depending on the direction, the spatial resolution non-uniformity is not large and good distance measurement can be performed. It is one of the tasks to provide a wide range measuring device.

本願請求項1に記載の測距装置は、パルス光の出射方向を連続的に変化させることにより、前記パルス光の出射方向の変化する方向によって表される走査軌跡の密度が変化する走査態様で所定領域を走査する走査部と、前記所定領域における測距可能距離を規定し、対象物で反射した前記パルス光によって、前記対象物までの距離を測定する測距部と、
を有し、前記走査部は、前記所定領域のうち、第1の測距可能距離が設定された第1方向に対する前記走査軌跡の密度が、前記所定領域のうち、前記第1の測距可能距離よりも大きい第2の測距可能距離が設定された第2方向に対する前記走査軌跡の密度よりも低くなるように、前記所定領域の走査を行うことを特徴とする。
The distance measuring device according to claim 1 of the present application is a scanning mode in which the density of the scanning locus represented by the changing direction of the emission direction of the pulsed light is changed by continuously changing the emission direction of the pulsed light. A scanning unit that scans a predetermined area, a distance measuring unit that defines a distance that can be measured in the predetermined area, and measures the distance to the object by the pulsed light reflected by the object.
The scanning unit has the density of the scanning locus in the first direction in which the first distance-measurable distance is set in the predetermined area, and the first distance-measurable distance is possible in the predetermined area. It is characterized in that the predetermined area is scanned so that the second distance-measurable distance larger than the distance is lower than the density of the scanning locus in the set second direction.

本発明の実施例である測距装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the distance measuring apparatus which is an Example of this invention. 図1のMEMSミラー装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the MEMS mirror apparatus of FIG. 図2のMEMSミラー装置のA-A線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the MEMS mirror device of FIG. 図1の測距装置が測距する走査対象領域を示した概念図である。It is a conceptual diagram which showed the scan target area which the distance measuring device of FIG. 1 measures a distance. 図1の測距装置の投光系の動作原理を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the operation principle of the light projection system of the distance measuring device of FIG. 図1の測距装置の投光系の動作原理を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the operation principle of the light projection system of the distance measuring device of FIG. 図1の測距装置の受光系の動作原理を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the operation principle of the light receiving system of the distance measuring apparatus of FIG. 図2のMEMSミラー装置によって描かれるリサージュ軌跡について説明する説明図であり、図4のMEMSミラー装置によって射出される光ビームの仮想平面上に描かれる軌跡を示している。It is explanatory drawing explaining the Lissajous trajectory drawn by the MEMS mirror apparatus of FIG. 2, and shows the trajectory drawn on the virtual plane of the light beam emitted by the MEMS mirror apparatus of FIG. 図2のMEMSミラー装置によって描かれるリサージュ軌跡について説明する説明図であり、MEMSミラー装置に印加される駆動信号の波形を示す図である。It is explanatory drawing explaining the Lissajous locus drawn by the MEMS mirror apparatus of FIG. 2, and is the figure which shows the waveform of the drive signal applied to the MEMS mirror apparatus. 図2のMEMSミラー装置によって描かれるリサージュ軌跡について説明する説明図であり、MEMSミラー装置に印加される駆動信号の波形を示す図である。It is explanatory drawing explaining the Lissajous locus drawn by the MEMS mirror apparatus of FIG. 2, and is the figure which shows the waveform of the drive signal applied to the MEMS mirror apparatus. 図4の仮想平面に描かれるリサージュ軌跡について説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the Lissajous orbit drawn on the virtual plane of FIG. 図5A,5Bの仮想の走査面において照射されるパルス光を説明する図である。It is a figure explaining the pulsed light which irradiates with the virtual scanning plane of FIGS. 5A and 5B. 図5A,5Bの仮想の走査面において照射されるパルス光と当該パルス光のスポット径との関係を示した概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram showing the relationship between the pulsed light emitted on the virtual scanning surface of FIGS. 5A and 5B and the spot diameter of the pulsed light.

図1は、本実施例にかかる測距装置100を示している。 FIG. 1 shows a distance measuring device 100 according to this embodiment.

第1の走査部10Aの光源20Aは、例えばパルス光を出射可能なレーザ素子である。 The light source 20A of the first scanning unit 10A is, for example, a laser element capable of emitting pulsed light.

MEMSミラー装置30Aは、光反射面(図示せず)を有しており、当該光反射面にてパルス光を反射して、走査対象領域(図示せず)を規定する仮想の走査面(図示せず)に向けて走査光を出射可能である。走査対象領域に存在する物体に反射された走査光は、測距装置100に向けて反射光として戻ってくる。 The MEMS mirror device 30A has a light reflecting surface (not shown), and reflects pulsed light on the light reflecting surface to define a scanning target area (not shown) as a virtual scanning surface (not shown). It is possible to emit scanning light toward (not shown). The scanning light reflected by the object existing in the scanning target area returns as reflected light toward the distance measuring device 100.

受光部40Aは、反射光を受光して、電気信号である受信信号を生成可能な光検出器である。受光部40Aとしては、例えば、アバランシェフォトダイオード(APD)等を採用することができる。 The light receiving unit 40A is a photodetector capable of receiving reflected light and generating a received signal which is an electric signal. As the light receiving unit 40A, for example, an avalanche photodiode (APD) or the like can be adopted.

角度検知部50Aは、光反射面の角度変化を逐次検出する角度検出器である。角度検知部としては、例えば、MEMSミラー装置30Aに設けられたホール素子を採用することができる。 The angle detection unit 50A is an angle detector that sequentially detects changes in the angle of the light reflecting surface. As the angle detection unit, for example, a Hall element provided in the MEMS mirror device 30A can be adopted.

制御部60Aは、光源20Aから出射するパルス光の制御及びMEMSミラー装置30Aの光反射面の角度の制御を行う。 The control unit 60A controls the pulsed light emitted from the light source 20A and the angle of the light reflecting surface of the MEMS mirror device 30A.

光源制御部61Aは、光源20Aの発光制御を行う。具体的には、光源20Aがパルス発光をするように発光タイミングを規定したテーブル(図示せず)を参照して、その発光を制御する。 The light source control unit 61A controls the light emission of the light source 20A. Specifically, the light emission is controlled by referring to a table (not shown) that defines the light emission timing so that the light source 20A emits pulse light.

ミラー制御部62Aは、MEMSミラー装置30Aの光反射面の角度の傾を制御する。具体的には、ミラー制御部62Aは、光源20Aによって出射されて光反射面(図示せず)によって反射されたパルス光によって、走査対象領域の走査がなされるようにMEMSミラー装置30Aを制御する。 The mirror control unit 62A controls the inclination of the angle of the light reflecting surface of the MEMS mirror device 30A. Specifically, the mirror control unit 62A controls the MEMS mirror device 30A so that the scanning target area is scanned by the pulsed light emitted by the light source 20A and reflected by the light reflecting surface (not shown). ..

光量調整部としてのパワー調整部63Aは、光源20Aから出射されるパルス光の強度(光量)を調整する。具体的には、パワー調整部63Aは、光源20Aに供給する電圧と電流を調整する。パワー調整部63Aは、例えば、可変抵抗器を採用することができる。パワー調整部63Aは、MEMSミラー装置30Aの反射面の揺動角度に応じて光源20Aに供給する電圧と電流を調整する。具体的にはパワー調整部63Aは、光反射面の角度に応じた出力が記憶された出力テーブル(図示せず)を備え、この出力テーブルを参照してパルス光の強度を調整する。 The power adjusting unit 63A as the light amount adjusting unit adjusts the intensity (light amount) of the pulsed light emitted from the light source 20A. Specifically, the power adjusting unit 63A adjusts the voltage and current supplied to the light source 20A. For the power adjusting unit 63A, for example, a variable resistor can be adopted. The power adjusting unit 63A adjusts the voltage and current supplied to the light source 20A according to the swing angle of the reflecting surface of the MEMS mirror device 30A. Specifically, the power adjusting unit 63A includes an output table (not shown) in which outputs corresponding to the angles of the light reflecting surfaces are stored, and adjusts the intensity of the pulsed light with reference to this output table.

スポット径調整部64Aは、光源20AとMEMSミラー装置30Aとの光路上に配置され、光源20Aから出射されたパルス光のスポット径を調整する。具体的には、スポット径調整部64Aは、レンズ(図示せず)とアクチュエータ(図示せず)を備える。スポット径調整部64Aは、アクチュエータを稼働することによりレンズの絞り径を調整する。具体的にはスポット径調整部64Aは、光反射面の角度に応じたスポット径を記憶したスポット径テーブル(図示せず)を備え、このスポット径テーブルを参照してパルス光のスポット径を調整する。 The spot diameter adjusting unit 64A is arranged on the optical path between the light source 20A and the MEMS mirror device 30A, and adjusts the spot diameter of the pulsed light emitted from the light source 20A. Specifically, the spot diameter adjusting unit 64A includes a lens (not shown) and an actuator (not shown). The spot diameter adjusting unit 64A adjusts the aperture diameter of the lens by operating the actuator. Specifically, the spot diameter adjusting unit 64A includes a spot diameter table (not shown) that stores the spot diameter according to the angle of the light reflecting surface, and adjusts the spot diameter of the pulsed light with reference to this spot diameter table. do.

従って、スポット径調整部64Aに入射されたパルス光は、アクチュエータが動作することによりレンズ径が調整され、走査対象領域上のスポット径が調整される。尚、スポット径を調整する機構は、レンズとアクチュエータと以外の機構でもよく、例えば、液晶レンズを用いることもできる。液晶レンズを用いてパルス光のスポット径を調整する場合には、液晶レンズにかける電圧を適宜調整して行うとよい。 Therefore, the lens diameter of the pulsed light incident on the spot diameter adjusting unit 64A is adjusted by the operation of the actuator, and the spot diameter on the scanning target region is adjusted. The mechanism for adjusting the spot diameter may be a mechanism other than the lens and the actuator, and for example, a liquid crystal lens may be used. When adjusting the spot diameter of the pulsed light using a liquid crystal lens, it is advisable to appropriately adjust the voltage applied to the liquid crystal lens.

第2の走査部10Bは、光源20B、MEMSミラー装置30A、受光部40B、角度検知部50B、制御部を備える。これらの光源20B、MEMSミラー装置30B、受光部40B、角度検知部50B、制御部60Bは、第1の走査部10Aと構成が同一であるので説明を省略する。 The second scanning unit 10B includes a light source 20B, a MEMS mirror device 30A, a light receiving unit 40B, an angle detection unit 50B, and a control unit. Since the light source 20B, the MEMS mirror device 30B, the light receiving unit 40B, the angle detection unit 50B, and the control unit 60B have the same configuration as the first scanning unit 10A, the description thereof will be omitted.

測距部としての距離測定部70は、走査対象領域における測距可能距離を規定しかつ、受光部40A、40Bによって生成された受光信号に基づいて、例えば、タイムオブフライト法によって、測距装置100と走査対象領域内にある物体との距離を算出する。 The distance measuring unit 70 as a distance measuring unit defines a distance that can be measured in the scanning target area, and is a distance measuring device based on the light receiving signals generated by the light receiving units 40A and 40B, for example, by the time of flight method. The distance between 100 and an object in the scanning target area is calculated.

具体的には、距離測定部70は、光源20A、20Bによって出射された1のパルス光の出射時刻と、当該1のパルス光が走査対象領域内の物体によって反射されて反射光として受光部40A、40Bに検出された受光時刻を取得する。そして、当該出射時刻と当該受光時刻の時刻差に基づいて、当該1のパルス光が光源20A,20Bから出射されて受光部40A、40Bに受光されるまでの光経路の長さを算出し、当該長さに基づいて測距装置100と物体との距離を算出する。 Specifically, the distance measuring unit 70 has the emission time of one pulsed light emitted by the light sources 20A and 20B and the light receiving unit 40A as reflected light when the pulsed light is reflected by an object in the scanning target area. , 40B acquires the detected light receiving time. Then, based on the time difference between the emission time and the light reception time, the length of the optical path from the pulsed light of 1 to being emitted from the light sources 20A and 20B and received by the light receiving units 40A and 40B is calculated. The distance between the distance measuring device 100 and the object is calculated based on the length.

図2は、MEMSミラー装置30Aの平面図である。保持部31は、本実施例においては矩形の平板形状に形成されている。尚、保持部31は、矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状であってもよい。 FIG. 2 is a plan view of the MEMS mirror device 30A. The holding portion 31 is formed in a rectangular flat plate shape in this embodiment. The holding portion 31 is not limited to a rectangular flat plate shape, and may be, for example, a disk shape.

固定部32は、本実施例においては矩形の枠形状に形成されている。尚、固定部32の形状は矩形の枠形状に限られず、環状の枠形状に形成されていてもよい。固定部32は、保持部31上に保持されている。 The fixing portion 32 is formed in a rectangular frame shape in this embodiment. The shape of the fixing portion 32 is not limited to the rectangular frame shape, and may be formed into an annular frame shape. The fixing portion 32 is held on the holding portion 31.

可動部33は、反射部材としての内側可動部34と、内側可動部34を囲む枠形状の外側可動部35と、を含んでいる。内側可動部34は、本実施例においては、矩形の平板形状に形成されている。尚、内側可動部34の形状は矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状に形成されていてもよい。内側可動部34の中央には光ビームを反射する光反射面MRが形成されている。 The movable portion 33 includes an inner movable portion 34 as a reflective member and a frame-shaped outer movable portion 35 surrounding the inner movable portion 34. In this embodiment, the inner movable portion 34 is formed in a rectangular flat plate shape. The shape of the inner movable portion 34 is not limited to the rectangular flat plate shape, and may be formed into, for example, a disk shape. A light reflecting surface MR that reflects a light beam is formed in the center of the inner movable portion 34.

第1の軸AXは、光反射面MRに対して非垂直方向であり、本実施例においては、光反射面MRに平行である。 The first axis AX is in a direction non-perpendicular to the light reflecting surface MR, and in this embodiment, is parallel to the light reflecting surface MR.

2つの第1のトーションバーTB1は、光反射面MRの面中心Cを通る第1の軸AXの方向に沿って伸長した板状体に形成されている。2つの第1のトーションバーTB1は、一端が内側可動部34の側面に固定され、他端が外側可動部35の側面に固定されている。すなわち、内側可動部34の第1の軸AX周りの力が掛かると、第1のトーションバーTB1がねじれる。この結果、内側可動部34は、第1の軸AXを中心に揺動する。従って、外側可動部35は第1保持部材として、第1の軸AXの周りに揺動可能に内側可動部34を保持する。また、第1の軸AXは内側可動部34の揺動軸となる。 The two first torsion bars TB1 are formed in a plate-like body extending along the direction of the first axis AX passing through the surface center C of the light reflecting surface MR. One end of the two first torsion bars TB1 is fixed to the side surface of the inner movable portion 34, and the other end is fixed to the side surface of the outer movable portion 35. That is, when a force around the first shaft AX of the inner movable portion 34 is applied, the first torsion bar TB1 is twisted. As a result, the inner movable portion 34 swings around the first axis AX. Therefore, the outer movable portion 35 holds the inner movable portion 34 swingably around the first axis AX as the first holding member. Further, the first shaft AX serves as a swing shaft of the inner movable portion 34.

外側可動部35は、本実施例においては、矩形の枠形状に形成されている。尚、外側可動部35の形状は矩形の枠形状に限られず、例えば、環状の枠形状に形成されていてもよい。第2の軸AYは、第1の軸AXと直交して交差する。第2の軸AYは、光反射面MRに対して非垂直方向であり、本実施例においては、光反射面MRに平行である。 In this embodiment, the outer movable portion 35 is formed in a rectangular frame shape. The shape of the outer movable portion 35 is not limited to the rectangular frame shape, and may be formed into, for example, an annular frame shape. The second axis AY intersects the first axis AX orthogonally. The second axis AY is in a direction non-perpendicular to the light reflecting surface MR, and is parallel to the light reflecting surface MR in this embodiment.

2つの第2のトーションバーTB2は、第2の軸AYの方向に沿って伸長した板状体に形成されている。2つの第2のトーションバーTB2は、一端が外側可動部35の側面に固定され、他端が固定部32の側面に固定されている。すなわち、外側可動部35の第2の軸AY周りの力が掛かると、第2のトーションバーTB2がねじれる。この結果、外側可動部35は、第2の軸AYを中心に揺動する。従って、固定部32は第2保持部材として、第2の軸AYの周りに揺動可能に外側可動部35を保持する。また、第2の軸AYは外側可動部35の揺動軸となる。 The two second torsion bars TB2 are formed in a plate-like body extending along the direction of the second axis AY. One end of the two second torsion bars TB2 is fixed to the side surface of the outer movable portion 35, and the other end is fixed to the side surface of the fixed portion 32. That is, when a force around the second axis AY of the outer movable portion 35 is applied, the second torsion bar TB2 is twisted. As a result, the outer movable portion 35 swings around the second axis AY. Therefore, the fixing portion 32 holds the outer movable portion 35 swingably around the second axis AY as the second holding member. Further, the second shaft AY serves as a swing shaft of the outer movable portion 35.

2つの第2のトーションバーTB2は、一端が外側可動部35の側面に固定され、他端が固定部32の側面に固定されている。すなわち、外側可動部35の第2の軸AY周りの力が掛かると、第2のトーションバーTB2がねじれる。この結果、外側可動部35は、第2の軸AYを中心に揺動する。従って、固定部32は、外側可動部35が揺動軸である第2の軸AYの周りに揺動可能に外側可動部35を保持する。従って、固定部32は第2保持部材として、外側可動部35が揺動軸である第2の軸AYの周りに揺動可能に外側可動部35を保持する。尚、固定部32、第1のトーションバーTB1、外側可動部35、第2のトーションバーTB2及び内側可動部34は、半導体基板で一体的に形成されている。 One end of the two second torsion bars TB2 is fixed to the side surface of the outer movable portion 35, and the other end is fixed to the side surface of the fixed portion 32. That is, when a force around the second axis AY of the outer movable portion 35 is applied, the second torsion bar TB2 is twisted. As a result, the outer movable portion 35 swings around the second axis AY. Therefore, the fixed portion 32 holds the outer movable portion 35 so that the outer movable portion 35 can swing around the second shaft AY which is the swing shaft. Therefore, the fixing portion 32 holds the outer movable portion 35 swingably around the second shaft AY, which is the swing shaft, as the second holding member. The fixed portion 32, the first torsion bar TB1, the outer movable portion 35, the second torsion bar TB2, and the inner movable portion 34 are integrally formed of a semiconductor substrate.

外側可動部35の周縁領域にはそれぞれ第1駆動コイルCL1が設けられている。内側可動部34の周縁領域には第2駆動コイルCL2が設けられている。第1駆動コイルCL1と第2駆動コイルCL2とは、それぞれ対向するように設けられている。第1駆動コイルCL1の端部は、固定部32に形成された一対の第1電極端子T1に接続されている。第2駆動コイルCL2の端部は、固定部32に形成された第2電極端子T2に接続されている。 A first drive coil CL1 is provided in each of the peripheral regions of the outer movable portion 35. A second drive coil CL2 is provided in the peripheral region of the inner movable portion 34. The first drive coil CL1 and the second drive coil CL2 are provided so as to face each other. The end of the first drive coil CL1 is connected to a pair of first electrode terminals T1 formed on the fixed portion 32. The end of the second drive coil CL2 is connected to the second electrode terminal T2 formed on the fixed portion 32.

第1駆動コイルCL1に磁界を作用させる互いに極性が異なる一対の第1永久磁石MG1及び第2駆動コイルCL2に磁界を作用させる互いに極性が異なる一対の第2永久磁石MG2が内側可動部34及び外側可動部35を挟んでそれぞれ対向して保持部31上に配置されている。 A pair of first permanent magnets MG1 having different polarities that cause a magnetic field to act on the first drive coil CL1 and a pair of second permanent magnets MG2 having different polarities that cause a magnetic field to act on the second drive coil CL2 are inside movable portions 34 and outside. They are arranged on the holding portion 31 so as to face each other with the movable portion 35 interposed therebetween.

したがって、例えば、第1駆動コイルCL1に供給される電流と、第1永久磁石MG1による磁界と、によって、外側可動部35及び内側可動部34に対してローレンツ力が作用する。この結果、内側可動部34及び外側可動部35は、第2のトーションバーTB2の軸周りに揺動する。 Therefore, for example, the Lorentz force acts on the outer movable portion 35 and the inner movable portion 34 by the current supplied to the first drive coil CL1 and the magnetic field generated by the first permanent magnet MG1. As a result, the inner movable portion 34 and the outer movable portion 35 swing around the axis of the second torsion bar TB2.

また、第2駆動コイルCL2に供給される電流と、第2永久磁石MG2による磁界と、によって、内側可動部34に対してローレンツ力が作用する。この結果、内側可動部34は、第1のトーションバーTB1の軸周りに揺動する。したがって、可動部33は、第1の軸AX及び第2の軸AYの周りに揺動する。ここで、第1駆動コイルCL1及び第2駆動コイルCL2に供給される電流の周波数のそれぞれは、MEMSミラー装置30Aの共振周波数と同一又はその近傍の周波数に設定されている。 Further, a Lorentz force acts on the inner movable portion 34 by the current supplied to the second drive coil CL2 and the magnetic field generated by the second permanent magnet MG2. As a result, the inner movable portion 34 swings around the axis of the first torsion bar TB1. Therefore, the movable portion 33 swings around the first axis AX and the second axis AY. Here, each of the frequencies of the currents supplied to the first drive coil CL1 and the second drive coil CL2 is set to the same frequency as or close to the resonance frequency of the MEMS mirror device 30A.

図3は、図2のMEMSミラー装置30Aの第1の軸AXに沿った断面図である。図3において、保持部31は、本実施例においては矩形の平板形状に形成されている。尚、保持部31は、矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状であってもよい。保持部31は、その上面TSから突出して形成された突出部36を含んでいる。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the first axis AX of the MEMS mirror device 30A of FIG. In FIG. 3, the holding portion 31 is formed in a rectangular flat plate shape in this embodiment. The holding portion 31 is not limited to a rectangular flat plate shape, and may be, for example, a disk shape. The holding portion 31 includes a protruding portion 36 formed so as to protrude from the upper surface TS thereof.

突出部36は、保持部31の上面TSの中央部を囲うように固定部32の周縁領域に沿って環状に形成されている。従って、保持部31の上面TSと、突出部36の互いに対向する内側面36sとによって開口部が形成されている。 The protrusion 36 is formed in an annular shape along the peripheral region of the fixing portion 32 so as to surround the central portion of the upper surface TS of the holding portion 31. Therefore, an opening is formed by the upper surface TS of the holding portion 31 and the inner side surfaces 36s of the protruding portions 36 facing each other.

突出部36の上面は、平坦に形成され、この上面に固定部32が固定されている。突出部36の高さは、少なくとも、MEMSミラー装置30Aの内側可動部34及び外側可動部35が揺動時に上面TSに干渉しないように形成するとよい。したがって、保持部31は第3保持部材として、固定部32を保持する。尚、MEMSミラー装置30Bは、MEMSミラー装置30Aと同一の構造を有するので説明を省略する。 The upper surface of the protrusion 36 is formed flat, and the fixing portion 32 is fixed to the upper surface. The height of the protruding portion 36 may be formed so that at least the inner movable portion 34 and the outer movable portion 35 of the MEMS mirror device 30A do not interfere with the upper surface TS when swinging. Therefore, the holding portion 31 holds the fixing portion 32 as the third holding member. Since the MEMS mirror device 30B has the same structure as the MEMS mirror device 30A, the description thereof will be omitted.

以上で説明した測距装置が自動車等の移動体に搭載された場合を説明する。尚、移動体は、自動車の他に、自転車、バイク、飛行機、船舶、移動する人等、自動車以外の移動体であっても良い。 The case where the distance measuring device described above is mounted on a moving body such as an automobile will be described. In addition to the automobile, the moving body may be a moving body other than the automobile, such as a bicycle, a motorcycle, an airplane, a ship, or a moving person.

図4は、自動車AMに搭載された測距装置の第1の走査部10Aと第2の走査部10Bが測距する走査対象領域R1を示した図である。図4に示すように、自動車AMのフロント領域に、測距中心Cが設けられている。また、自動車AMの前後方向に延びる線であって、測距中心Cを通る中心線CXが規定されている。 FIG. 4 is a diagram showing a scanning target area R1 measured by the first scanning unit 10A and the second scanning unit 10B of the distance measuring device mounted on the automobile AM. As shown in FIG. 4, a distance measuring center C is provided in the front region of the automobile AM. Further, a center line CX, which is a line extending in the front-rear direction of the automobile AM and passes through the distance measuring center C, is defined.

第1の走査部10Aは、自動車AMのフロント領域の左側、例えば、自動車AMの左側のヘッドライトの近傍に設けられている。第2の走査部10Bは、自動車AMのフロント領域の右側、例えば、自動車AMの右側のヘッドライトの近傍に設けられている。 The first scanning unit 10A is provided on the left side of the front region of the automobile AM, for example, in the vicinity of the headlight on the left side of the automobile AM. The second scanning unit 10B is provided on the right side of the front region of the automobile AM, for example, in the vicinity of the headlight on the right side of the automobile AM.

第1の走査部10Aが走査する第1の走査領域Raは、上面視が測距中心Cを中心とする楕円扇形状である。第1の走査部10Aは、第1の走査領域Raのうち、画角中央P1aから中心線CXまでの領域である第1の領域R1aに存在する対象物OBの測距を行う。 The first scanning region Ra scanned by the first scanning unit 10A has an elliptical fan shape centered on the distance measuring center C in the top view. The first scanning unit 10A measures the distance of the object OB existing in the first region R1a, which is the region from the angle of view center P1a to the center line CX in the first scanning region Ra.

第2の走査部10Bが走査する第2の走査領域Rbは、上面視が測距中心Cを中心とする楕円扇形状である。第2の走査部10Bは、第2の走査領域Rbのうち、画角中央P2bから中心線CXまでの領域である第2の領域R1bに存在する対象物OBの測距を行う。すなわち、第1の領域R1a及び第2の領域R1bは、中心線CXに対して対象となるように規定された楕円扇状の領域である。 The second scanning region Rb scanned by the second scanning unit 10B has an elliptical fan shape centered on the distance measuring center C in the top view. The second scanning unit 10B measures the distance of the object OB existing in the second region R1b, which is the region from the center line P2b of the angle of view to the center line CX in the second scanning region Rb. That is, the first region R1a and the second region R1b are elliptical fan-shaped regions defined so as to be targeted with respect to the center line CX.

走査対象領域R1は、第1の領域R1a及び第2の領域R1bの外縁の仮想の走査面(図示せず)によって規定されている領域である。尚、距離測定部70は、走査対象領域R1において測距可能距離を規定する。本実施例においては、測距可能距離は、測距中心Cから走査対象領域R1の任意の外縁上の点までの距離となっている。 The scan target region R1 is a region defined by a virtual scanning surface (not shown) at the outer edge of the first region R1a and the second region R1b. The distance measuring unit 70 defines the distance that can be measured in the scanning target area R1. In this embodiment, the range-finding distance is the distance from the range-finding center C to a point on an arbitrary outer edge of the scanning target area R1.

本実施例においては、第1の領域R1aと第2の領域R1bとは、中心線CX上において互いに接している。尚、第2の領域R1bは、第1の領域R1aと重なる領域であってもよい。 In this embodiment, the first region R1a and the second region R1b are in contact with each other on the center line CX. The second region R1b may be a region that overlaps with the first region R1a.

ここで、中心線CXと第1の領域R1aの外縁との交点をP2aとし、中心線CXと第2の領域R1bの外縁との交点をP2bとする。本実施例において、測距中心Cから交点P1a又は交点P1bまでの距離(第1の測距可能距離)は、例えば、40mである。尚、測距中心Cから交点P2a又はP2bまでの距離は任意に定めることができる。また、測距中心Cから交点P1a又は交点P1bまでの距離は任意に定めることができる。尚、測距中心Cから交点P1a又はP1bに向かう方向を第1方向とする。 Here, the intersection of the center line CX and the outer edge of the first region R1a is P2a, and the intersection of the center line CX and the outer edge of the second region R1b is P2b. In this embodiment, the distance from the distance measuring center C to the intersection P1a or the intersection P1b (first distance measuring possible distance) is, for example, 40 m. The distance from the distance measuring center C to the intersection P2a or P2b can be arbitrarily determined. Further, the distance from the distance measuring center C to the intersection P1a or the intersection P1b can be arbitrarily determined. The direction from the distance measurement center C toward the intersection P1a or P1b is defined as the first direction.

また、測距中心Cから交点P2a又はP2bまでの距離(第2の測距可能距離)は、例えば、200mである。尚、測距中心Cから交点P2a又はP2bに向かう方向を第2方向とする。 Further, the distance from the distance measuring center C to the intersection P2a or P2b (second distance measuring possible distance) is, for example, 200 m. The direction from the distance measurement center C toward the intersection P2a or P2b is defined as the second direction.

図5Aは、測距装置100の第1の走査部10Aの投光系の動作を示している。図5において、光源20AとMEMSミラー装置30Aとの間には、ビームスプリッタBSが設けられている。ビームスプリッタBSは、光源20A側から入射した光ビームをMEMSミラー装置30A側に通す光学素子である。したがって、光源20Aから出射された光ビームがビームスプリッタBSを介してMEMSミラー装置30Aに入射される。MEMSミラー装置30Aは、入射した光ビームを第1の領域R1aの外縁を含む仮想の走査面SSの一部に向けて反射させる。 FIG. 5A shows the operation of the light projection system of the first scanning unit 10A of the distance measuring device 100. In FIG. 5, a beam splitter BS is provided between the light source 20A and the MEMS mirror device 30A. The beam splitter BS is an optical element that passes a light beam incident from the light source 20A side to the MEMS mirror device 30A side. Therefore, the light beam emitted from the light source 20A is incident on the MEMS mirror device 30A via the beam splitter BS. The MEMS mirror device 30A reflects the incident light beam toward a part of the virtual scanning surface SS including the outer edge of the first region R1a.

具体的には、MEMSミラー装置30Aは、可動部33を揺動して走査する態様で光ビームを第1の領域R1a内に向けて反射する。この結果、MEMSミラー装置30Aによって反射された光ビームは、第1の領域R1a内を走査する。この際、第1の走査領域Raに測距装置100と対向させて仮想平面である走査対象面R2aを設定した場合、走査対象面R2aにおいてリサージュ軌跡を描くように走査される。 Specifically, the MEMS mirror device 30A reflects the light beam toward the inside of the first region R1a in a manner of swinging and scanning the movable portion 33. As a result, the light beam reflected by the MEMS mirror device 30A scans in the first region R1a. At this time, when the scanning target surface R2a, which is a virtual plane, is set in the first scanning region Ra so as to face the distance measuring device 100, scanning is performed so as to draw a Lissajous orbit on the scanning target surface R2a.

なお、この走査対象面R2aは実際に存在するものではなく、第1の領域R1aを走査する際の光ビームの照射方向の変化を、光ビームの軌跡で説明するために、本明細書中にて用いられる。すなわち、リサージュ軌跡は、MEMSミラー装置30Aの搖動による光ビームの照射方向の連続的な変化の方向によってあらわされるものである。 It should be noted that the scanning target surface R2a does not actually exist, and the change in the irradiation direction of the light beam when scanning the first region R1a is described in the present specification in order to explain the change in the irradiation direction of the light beam by the locus of the light beam. Used for. That is, the Lissajous orbit is represented by the direction of continuous change in the irradiation direction of the light beam due to the vibration of the MEMS mirror device 30A.

また、仮想の走査面SSの位置は測距装置100の測距範囲として設定される走査対象領域R1の最外周部に位置する。当該測距範囲は、光源20A(若しくは20B)から出射したパルス光の反射光が、受光部40A(若しくは40B)に受光されるまでの待ち時間の最大値によって設定される。すなわち、待ち時間を過ぎて受光された反射光は、測距範囲よりも遠くの対象物OBによって反射されたパルス光であり、そのような対象物OBは測距の対象外として扱われる。 Further, the position of the virtual scanning surface SS is located on the outermost peripheral portion of the scanning target area R1 set as the ranging range of the ranging device 100. The ranging range is set by the maximum value of the waiting time until the reflected light of the pulsed light emitted from the light source 20A (or 20B) is received by the light receiving unit 40A (or 40B). That is, the reflected light received after the waiting time is pulsed light reflected by the object OB farther than the ranging range, and such an object OB is treated as a non-target of ranging.

尚、走査対象面R2aにおいて描かれる曲線軌跡は、リサージュ曲線に限られず、例えば、パルス光の走査軌跡の密度が変化する走査態様であればよい。本実施例においては、この軌跡がリサージュ軌跡として説明する。 The curve locus drawn on the scanning target surface R2a is not limited to the Lissajous curve, and may be any scanning mode in which the density of the scanning locus of the pulsed light changes, for example. In this embodiment, this locus will be described as a Lissajous orbit.

図5Bは、測距装置100の第2の走査部10Bの投光系の動作を示している。図5において、光源20BとMEMSミラー装置30Bとの間には、ビームスプリッタBSが設けられている。ビームスプリッタBSは、光源20B側から入射した光ビームをMEMSミラー装置30B側に通す光学素子である。したがって、光源20Bから出射された光ビームがビームスプリッタBSを介してMEMSミラー装置30Bに入射される。MEMSミラー装置30Bは、入射した光ビームを第2の領域R1bの外縁を含む仮想の走査面SSの一部に向けて反射させる。 FIG. 5B shows the operation of the light projection system of the second scanning unit 10B of the distance measuring device 100. In FIG. 5, a beam splitter BS is provided between the light source 20B and the MEMS mirror device 30B. The beam splitter BS is an optical element that passes a light beam incident from the light source 20B side to the MEMS mirror device 30B side. Therefore, the light beam emitted from the light source 20B is incident on the MEMS mirror device 30B via the beam splitter BS. The MEMS mirror device 30B reflects the incident light beam toward a part of the virtual scanning surface SS including the outer edge of the second region R1b.

具体的には、MEMSミラー装置30Bは、可動部33を揺動して走査する態様で光ビームを第2の領域R1b内に向けて反射する。この結果、MEMSミラー装置30Bによって反射された光ビームは、第2の領域R1b内を走査する。この際、第1の走査領域Raに測距装置100と対向させて仮想平面である走査対象面R2bを設定した場合、走査対象面R2bにおいてリサージュ軌跡を描くように走査される。なお、この走査対象面R2bは実際に存在するものではなく、第2の領域R1bを走査する際の光ビームの照射方向の変化を、光ビームの軌跡で説明するために、本明細書中にて用いられるものである。また、走査面SSの位置は測距装置100の測距範囲として設定される走査対象領域R1の最外周部に位置する。 Specifically, the MEMS mirror device 30B reflects the light beam toward the inside of the second region R1b in a manner of swinging and scanning the movable portion 33. As a result, the light beam reflected by the MEMS mirror device 30B scans in the second region R1b. At this time, when the scanning target surface R2b, which is a virtual plane, is set in the first scanning region Ra so as to face the distance measuring device 100, scanning is performed so as to draw a Lissajous orbit on the scanning target surface R2b. It should be noted that the scanning target surface R2b does not actually exist, and the change in the irradiation direction of the light beam when scanning the second region R1b is described in the present specification in order to explain the change in the irradiation direction of the light beam by the trajectory of the light beam. It is used for. Further, the position of the scanning surface SS is located on the outermost peripheral portion of the scanning target area R1 set as the ranging range of the ranging device 100.

図6は、測距装置100の第1の走査部10A及び第2の走査部10Bの受光系の動作を示している。図6において、第1の領域R1a又は第2の領域R1b内に検出する対象物OBが存在すると、対象物OBから反射された光ビームがMEMSミラー装置30A(30B)に入射され、ビームスプリッタBSを介して受光部40A(40B)に入射される。 FIG. 6 shows the operation of the light receiving system of the first scanning unit 10A and the second scanning unit 10B of the distance measuring device 100. In FIG. 6, when the object OB to be detected exists in the first region R1a or the second region R1b, the light beam reflected from the object OB is incident on the MEMS mirror device 30A (30B), and the beam splitter BS It is incident on the light receiving portion 40A (40B) via the light receiving portion 40A (40B).

受光部40A(40B)は、入射された反射光に基づいて電気信号に変換し距離測定部70に供給する。距離測定部70は、光ビームを出射した時刻と光ビームを受光した時刻に基づいて、対象物OBまでの距離を計測する。 The light receiving unit 40A (40B) converts the incident reflected light into an electric signal and supplies it to the distance measuring unit 70. The distance measuring unit 70 measures the distance to the object OB based on the time when the light beam is emitted and the time when the light beam is received.

図7Aは、第1駆動コイルCL1と第2駆動コイルCL2とに供給される電流の位相差を変化させたときの走査対象面R2aにおいて描かれるリサージュ走査軌跡を示している。図7Aにおいては、水平方向走査と垂直方向走査とを、下記のようにした場合のリサージュ走査軌跡を示している。 FIG. 7A shows a Lissajous scanning locus drawn on the scanning target surface R2a when the phase difference of the currents supplied to the first driving coil CL1 and the second driving coil CL2 is changed. FIG. 7A shows a Lissajous scanning locus when the horizontal scanning and the vertical scanning are performed as follows.

具体的には図中のAX1及びAY1は、第1の軸AX及び第2の軸AYにそれぞれ対応している。すなわち、MEMSミラー装置30Aの第1の軸AXの周りの揺動は、走査対象面R2aにおけるAY1方向の走査位置の変化に対応する。また、MEMSミラー装置30Aの第2の軸AYの周りの揺動は、走査対象面R2aにおけるAX1方向の走査位置の変化に対応する。

水平方向走査: DX(θx)=Ax sin(θx+Bx)
垂直方向走査: DY(θy)=Ay sin(θy+By)

図7Aの走査対象面R2aにおいて、リサージュ軌跡が描かれている領域を走査領域とする。図7Aに示されるリサージュ軌跡は、図中において軸AX1の端部の近傍の走査領域は軌跡が密に描かれている。言い換えれば、走査軌跡の端部は軌跡の密度が高密度である。このように軌跡の密度が密(高密度)である走査領域を密領域とする。
Specifically, AX1 and AY1 in the figure correspond to the first axis AX and the second axis AY, respectively. That is, the swing around the first axis AX of the MEMS mirror device 30A corresponds to the change in the scanning position in the AY1 direction on the scanning target surface R2a. Further, the swing around the second axis AY of the MEMS mirror device 30A corresponds to the change in the scanning position in the AX1 direction on the scanning target surface R2a.

Horizontal scanning: DX (θx) = Ax sin (θx + Bx)
Vertical scanning: DY (θy) = Ay sin (θy + By)

In the scanning target surface R2a of FIG. 7A, the region where the Lissajous orbit is drawn is defined as the scanning region. In the Lissajous orbit shown in FIG. 7A, the locus is densely drawn in the scanning region near the end of the axis AX1 in the figure. In other words, the end of the scanning locus has a high density of loci. A scanning region in which the locus density is dense (high density) is defined as a dense region.

また、軸AX1の中央の近傍の走査領域は軌跡が疎に描かれている。言い換えれば、走査軌跡の中央部は軌跡の密度が低密度である。このように軌跡の密度が疎(低密度)である走査領域を疎領域とする。従って、図7Aに示されるリサージュ軌跡は、密領域と疎領域を有しており、密領域から疎領域に向かうにつれて軌跡の密度は漸次疎になっている。尚、第2の走査部10Bも第1の走査部10Aと同様に動作するため、第2の走査部10Bの動作については、説明を省略する。 Further, the trajectories are sparsely drawn in the scanning region near the center of the axis AX1. In other words, the density of the locus is low in the central part of the scanning locus. The scanning region in which the locus density is sparse (low density) is defined as the sparse region. Therefore, the Lissajous orbit shown in FIG. 7A has a dense region and a sparse region, and the density of the locus gradually becomes sparse from the dense region to the sparse region. Since the second scanning unit 10B also operates in the same manner as the first scanning unit 10A, the description of the operation of the second scanning unit 10B will be omitted.

図8は、走査対象領域R1を走査する際に、走査対象面R2a及び走査対象面R2bにおいて描かれることとなるパルス光の軌跡を示している。図中左側に示されている破線の枠内は、第1の走査領域Raを走査する場合の走査対象面R2a上の軌跡のうち、測距に用いる部分を示している。図中右側に示されている破線の枠内は、第2の走査領域Rbを走査する場合の走査対象面R2b上の軌跡のうち、測距に用いる部分を示している。 FIG. 8 shows a locus of pulsed light to be drawn on the scanning target surface R2a and the scanning target surface R2b when scanning the scanning target region R1. The inside of the broken line frame shown on the left side of the figure shows a portion of the locus on the scanning target surface R2a when scanning the first scanning region Ra, which is used for distance measurement. The inside of the broken line frame shown on the right side of the figure shows a portion of the locus on the scanning target surface R2b when scanning the second scanning region Rb, which is used for distance measurement.

第1の走査部10Aは、第1の領域R1aを走査する際に、図4に示した自動車AMからの距離が最も近い第1の領域R1aの交点P1aの近傍については、軌跡の密度が疎である疎領域を割り当てて走査する。また、第1の走査部10Aは、自動車AMからの距離が最も遠い第1の領域R1aの交点P2aの近傍については軌跡の密度が密である密領域を割り当てて走査する。 When the first scanning unit 10A scans the first region R1a, the locus density is sparse in the vicinity of the intersection P1a of the first region R1a shown in FIG. 4 which is the shortest distance from the automobile AM. Allocate a sparse area, which is, and scan. Further, the first scanning unit 10A allocates and scans a dense region having a dense locus in the vicinity of the intersection P2a of the first region R1a, which is the farthest from the automobile AM.

第2の走査部10Bは、第2の領域R1bを走査する際に、自動車AMからの距離が最も近い第2の領域R1bの交点P1bの近傍については軌跡の密度が疎である疎領域を割り当てて走査する。また、自動車AMからの距離が最も遠い第2の領域R1bの交点P2bの近傍については軌跡の密度が密である密領域を割り当てて走査する。 When scanning the second region R1b, the second scanning unit 10B allocates a sparse region in which the locus density is sparse in the vicinity of the intersection P1b of the second region R1b closest to the automobile AM. And scan. Further, in the vicinity of the intersection P2b of the second region R1b, which is the farthest from the automobile AM, a dense region having a dense locus is assigned and scanned.

すなわち、本実施例の測距装置100は、第1の走査部10Aによる走査範囲の一部(右側半分)を第1の領域R1aに、第2の走査部10Bによる走査範囲の一部(左側半分)を第2の領域R1bを走査するために用い、それぞれを組み合わせて対象物OBの測距を行うのである。 That is, in the distance measuring device 100 of the present embodiment, a part of the scanning range (right half) by the first scanning unit 10A is in the first region R1a, and a part of the scanning range by the second scanning unit 10B (left side). Half) is used to scan the second region R1b, and each is combined to measure the distance of the object OB.

より具体的には、例えば、交点P1aへの方向に対しては、軌跡の密度が疎である疎領域を割り当て、交点P2aへの方向に対しては、軌跡の密度が密である密領域を割り当てるのである。 More specifically, for example, a sparse region where the locus density is sparse is assigned to the direction toward the intersection P1a, and a dense region where the locus density is dense is assigned to the direction toward the intersection P2a. Allocate.

図9は、第2の領域R1b側の走査面SSの一部を上から見た場合の走査面SSに照射されるパルス光の一部を示している。図9において、走査面SS上に照射されるパルス光の照射点PE1~PE4が示されている。照射点PE1~PE4は、それぞれ一定の間隔ΔLを有して配置されている。 FIG. 9 shows a part of the pulsed light emitted to the scanning surface SS when a part of the scanning surface SS on the second region R1b side is viewed from above. In FIG. 9, the irradiation points PE1 to PE4 of the pulsed light irradiated on the scanning surface SS are shown. Irradiation points PE1 to PE4 are arranged with a constant interval ΔL, respectively.

ここで、走査対象領域R1の外縁であって照射点PE2と照射点PE3との中間点を点PMとする。パルス光の出射点POから点PMまでの測距可能距離を距離Rとする。交点P1bとパルス光の出射点POを結ぶ線を基準線LBとする。照射点PE1と出射点POとを結ぶ射線L1と基準線LBとがなす角度をθ1とする。照射点PE2と出射点POを結んだ射線L2と基準線LBとがなす角度をθ2とする。 Here, the intermediate point between the irradiation point PE2 and the irradiation point PE3, which is the outer edge of the scanning target region R1, is defined as the point PM. Let the distance R be the distance that can be measured from the emission point PO of the pulsed light to the point PM. The line connecting the intersection P1b and the emission point PO of the pulsed light is defined as the reference line LB. Let θ1 be the angle formed by the ray L1 connecting the irradiation point PE1 and the emission point PO and the reference line LB. Let θ2 be the angle formed by the ray L2 connecting the irradiation point PE2 and the emission point PO and the reference line LB.

角度θ1から、角度θ2を引いた角度Δθとした場合、距離(R)と角度(Δθ)と、各パルス光の間隔(ΔL)の関係は、以下の式(1)を満たす。

R×Δθ=ΔL (一定) 式(1)

式(1)に表されるように、各パルス光の間隔ΔLが一定であることは走査面SSの単位面積あたりに照射されるパルス光の照射点が一定であることを意味する。すなわち、本実施例の測距装置100は、走査面SS上の空間解像度の不均一性を抑制するように走査する。
When the angle Δθ obtained by subtracting the angle θ2 from the angle θ1, the relationship between the distance (R) and the angle (Δθ) and the interval (ΔL) of each pulsed light satisfies the following equation (1).

R × Δθ = ΔL (constant) Equation (1)

As represented by the equation (1), the fact that the interval ΔL of each pulsed light is constant means that the irradiation point of the pulsed light irradiated per unit area of the scanning surface SS is constant. That is, the ranging device 100 of this embodiment scans so as to suppress the non-uniformity of the spatial resolution on the scanning surface SS.

図10は、走査面SSに照射されたパルス光の照射痕を示している。図10において、走査面SSに照射されたパルス光のスポット径Dの不均一性は抑制されている。ここで、パルス光のスポット径Dは、図9に示した出射点POからパルス光の点PMまでの距離(R)に比例する。したがって、第1の走査部10A及び第2の走査部10Bは、出射点POからパルス光の点PMまでの射線の距離(R)に応じて、すなわち、出射されるパルス光の射線における走査面SSとの距離に基づいて当該出射されるパルス光のスポット径Dを調整して照射する。 FIG. 10 shows the irradiation traces of the pulsed light irradiated on the scanning surface SS. In FIG. 10, the non-uniformity of the spot diameter D of the pulsed light applied to the scanning surface SS is suppressed. Here, the spot diameter D of the pulsed light is proportional to the distance (R) from the emission point PO shown in FIG. 9 to the point PM of the pulsed light. Therefore, the first scanning unit 10A and the second scanning unit 10B have a scanning surface according to the distance (R) of the line of sight from the emission point PO to the point PM of the pulsed light, that is, the scanning surface in the line of sight of the emitted pulsed light. The spot diameter D of the emitted pulsed light is adjusted and irradiated based on the distance from the SS.

具体的には、スポット径調整部64A,64Bは、パルス光の射線における走査面SSとの距離が大きいほど相対的に小さいスポット径で照射されるようにパルス光のスポット径を調整し、パルス光の射線における走査対象領域R1との距離が短くなるにつれて徐々にスポット径が大きくなるように調整する。 Specifically, the spot diameter adjusting units 64A and 64B adjust the spot diameter of the pulsed light so that the larger the distance from the scanning surface SS in the ray of the pulsed light, the smaller the spot diameter is, and the pulse is pulsed. The spot diameter is adjusted so as to gradually increase as the distance from the scanning target region R1 in the ray of light becomes shorter.

なお、スポット径テーブルには、パルス光の照射方向ごとの測距可能距離に応じてスポット径が記憶されている。具体的には、スポット径テーブルは、測距装置100が取り付けられた自動車AMを基準としたパルス光の照射方向毎に光源部10からのパルス光のスポット径を記憶する。自動車AMを基準としたパルス光の照射方向を定めるものとしては、例えば、角度検知部50A,50Bが検出するMEMSミラー装置30の光反射面MRの角度が挙げられる。 The spot diameter table stores the spot diameter according to the distance-measurable distance for each irradiation direction of the pulsed light. Specifically, the spot diameter table stores the spot diameter of the pulsed light from the light source unit 10 for each irradiation direction of the pulsed light with respect to the automobile AM to which the distance measuring device 100 is attached. Examples of the one that determines the irradiation direction of the pulsed light with respect to the automobile AM include the angle of the light reflecting surface MR of the MEMS mirror device 30 detected by the angle detecting units 50A and 50B.

例えば、図4における自動車AMの正面である中心線CXに沿った自動車AMの前方(すなわち、仮想の走査面SSまでの距離が最長である方向)にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては相対的に小さなスポット径(αmm)(αは固有の数値)が設定される。また、自動車AMの側方(すなわち、仮想の走査面SSまでの距離が最短である方向)にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては相対的に大きなスポット径(γmm)(γはγ>αを満たす固有の数値)が設定される。 For example, when irradiating pulsed light in front of the automobile AM along the center line CX, which is the front of the automobile AM in FIG. 4, (that is, the direction in which the distance to the virtual scanning surface SS is the longest), the pulse light is applied to the direction. Therefore, a relatively small spot diameter (α mm) (α is a unique value) is set. Further, when the pulsed light is irradiated to the side of the automobile AM (that is, the direction in which the distance to the virtual scanning surface SS is the shortest), the spot diameter (γ mm) (γ) that is relatively large with respect to the direction is A unique numerical value that satisfies γ> α) is set.

自動車AMの前方から側方までの中間方向にパルス光を照射する場合、自動車AMの前方から側方に近づくにつれて、仮想の走査面SSまでの距離も徐々に短くなる。従って、自動車AMの前方から側方に近づくにつれて徐々にスポット径がγmmに近づくようにスポット径が各方向に応じて設定されている。この場合、当該方向に対して、スポット径αよりも大きくかつ、スポット径γよりも小さい中間のスポット径(βmm)(βは、γ>β>α満たす変数)が設定されている。 When irradiating the pulsed light in the intermediate direction from the front to the side of the automobile AM, the distance to the virtual scanning surface SS gradually shortens as the vehicle approaches from the front to the side of the automobile AM. Therefore, the spot diameter is set according to each direction so that the spot diameter gradually approaches γ mm as it approaches from the front to the side of the automobile AM. In this case, an intermediate spot diameter (β mm) (β is a variable satisfying γ> β> α) that is larger than the spot diameter α and smaller than the spot diameter γ is set in the direction.

これによって、スポット径テーブルを参照して、スポット径調整部64A,64Bが制御を行うことで、仮想の走査面SSまでの距離(測距可能距離)に応じた、パルス光のスポット径とすることができる。 また、パワー調整部63A、63Bは、出射されるパルス光の射線における走査面SSとの距離に基づいて当該出射されるパルス光の出力を変化させる。具体的には、パワー調整部63A、63Bは、パルス光の射線における走査面SSとの距離が大きいほど、相対的に最も大きい出力で照射されるようにパルス光のパワーを調整し、パルス光の射線における走査対象領域R1との距離が短くなるにつれて徐々に出力が小さくなるようにパワーを調整する。 As a result, the spot diameter adjusting units 64A and 64B control the spot diameter table with reference to the spot diameter, so that the spot diameter of the pulsed light is set according to the distance to the virtual scanning surface SS (distance that can be measured). be able to. Further, the power adjusting units 63A and 63B change the output of the emitted pulsed light based on the distance from the scanning surface SS in the ray of the emitted pulsed light. Specifically, the power adjusting units 63A and 63B adjust the power of the pulsed light so that the larger the distance from the scanning surface SS in the ray of the pulsed light, the larger the output is, and the pulsed light is emitted. The power is adjusted so that the output gradually decreases as the distance from the scanning target region R1 in the ray of light becomes shorter.

なお、出力テーブルには、パルス光の照射方向ごとの測距可能距離に応じてパルス光の出力が記憶されている。具体的には、出力テーブルは、測距装置100が取り付けられた自動車AMを基準としたパルス光の照射方向毎に光源部10からのパルス光の出力を記憶する。自動車AMを基準としたパルス光の照射方向を定めるものとしては、例えば、角度検知部50が検出するMEMSミラー装置30の光反射面MRの角度が挙げられる。 The output table stores the output of the pulsed light according to the distance-measurable distance for each irradiation direction of the pulsed light. Specifically, the output table stores the output of the pulsed light from the light source unit 10 for each irradiation direction of the pulsed light with respect to the automobile AM to which the distance measuring device 100 is attached. Examples of the one that determines the irradiation direction of the pulsed light with respect to the automobile AM include the angle of the light reflecting surface MR of the MEMS mirror device 30 detected by the angle detecting unit 50.

例えば、図4における自動車AMの正面である前方(すなわち、仮想の走査面SSまでの距離が最長である方向)にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては相対的に大きな出力(δmW)(δは固有の数値)が設定される。また、自動車AMの側方(すなわち、仮想の走査面SSまでの距離が最短である方向)にパルス光を照射する場合、当該方向に対してはδよりも小さな出力(ζmW)(ζはδ>ζを満たす固有の数値)が設定される。 For example, when irradiating the pulsed light in front of the automobile AM in FIG. 4 (that is, the direction in which the distance to the virtual scanning surface SS is the longest), the output (δmW) is relatively large in that direction. ) (Δ is a unique numerical value) is set. Further, when the pulsed light is irradiated to the side of the automobile AM (that is, the direction in which the distance to the virtual scanning surface SS is the shortest), the output (ζmW) smaller than δ (ζ is δ) in that direction. > A unique value that satisfies ζ) is set.

自動車AMの前方から側方までの中間方向にパルス光を照射する場合、自動車AMの前方から側方に近づくにつれて、仮想の走査面SSまでの距離も徐々に短くなる。従って、自動車AMの前方から側方に近づくにつれて徐々に出力がζmWに近づくようにパルス光の出力が設定されている。この場合、当該方向に対しては、出力δよりも小さくかつ、出力ζよりも大きい中間の出力(εmW)(εは、δ>ε>ζ満たす変数)が設定される。 When irradiating the pulsed light in the intermediate direction from the front to the side of the automobile AM, the distance to the virtual scanning surface SS gradually shortens as the vehicle approaches from the front to the side of the automobile AM. Therefore, the output of the pulsed light is set so that the output gradually approaches ζ mW as it approaches from the front to the side of the automobile AM. In this case, an intermediate output (εmW) (ε is a variable that satisfies δ> ε> ζ) that is smaller than the output δ and larger than the output ζ is set in that direction.

これによって、出力テーブルを参照して、パワー調整部63A,63Bが制御を行うことで、仮想の走査面SSまでの距離(測距可能距離)に応じた、電圧及び電流を光源20A,20Bに供給することができる。 As a result, the power adjustment units 63A and 63B control the light sources 20A and 20B according to the distance to the virtual scanning surface SS (distance that can be measured) with reference to the output table. Can be supplied.

以上のように、本実施例の測距装置100は、走査の際に自動車AMからの距離が最も近い交点P1a,P1bの近傍についてはリサージュ軌跡の密度が疎である疎領域を割り当てて走査すると共に、自動車AMからの距離が最も遠い交点P2a,P2bについては軌跡の密度が密である密領域を割り当てて走査する。従って、本実施例の測距装置100によれば、自動車AMの前方側と側方側との距離が異なるように、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、走査対象領域R1上にパルス光が照射される間隔の不均一性を抑えることができる。すなわち、空間解像度の不均一性を抑えた良好な測距を行うことが可能となる。したがって、測距装置100は、画像処理において対象物OBを検出効率の向上を図ることができる。 As described above, the distance measuring device 100 of the present embodiment allocates and scans a sparse region where the density of the Lissajous orbit is sparse in the vicinity of the intersections P1a and P1b closest to the automobile AM during scanning. At the same time, for the intersections P2a and P2b that are the farthest from the automobile AM, a dense region having a dense locus is assigned and scanned. Therefore, according to the distance measuring device 100 of the present embodiment, the scanning target area is different even when the distance range in which distance measurement is required differs depending on the direction so that the distance between the front side and the side side of the automobile AM is different. It is possible to suppress the non-uniformity of the interval at which the pulsed light is irradiated on R1. That is, it is possible to perform good distance measurement while suppressing the non-uniformity of spatial resolution. Therefore, the distance measuring device 100 can improve the detection efficiency of the object OB in the image processing.

また、パワー調整部63A、63Bによって出射されるパルス光の射線における走査対象領域R1との距離に基づいて当該出射されるパルス光の出力を調整することで、信号雑音比(S/N比)を高めることが可能となる。したがって、測距装置100が測定した測距情報の信頼性を高めることが可能となる。より具体的には、遠い位置の走査対象領域R1にはパルス光の相対強度を強くすることで、信号雑音比(S/N比)を高めることができる。また、近い位置の走査対象領域R1にはパルス光の相対強度を小さくすることで、パルス光の出射強度や回数が規定されている場合に、当該規定に沿うようにパルス光の出射を制御することが可能となる。 Further, the signal noise ratio (S / N ratio) is adjusted by adjusting the output of the emitted pulsed light based on the distance from the scan target region R1 in the ray of the pulsed light emitted by the power adjusting units 63A and 63B. Can be increased. Therefore, it is possible to improve the reliability of the distance measuring information measured by the distance measuring device 100. More specifically, the signal noise ratio (S / N ratio) can be increased by increasing the relative intensity of the pulsed light in the scanning target region R1 at a distant position. Further, by reducing the relative intensity of the pulsed light in the scanning target region R1 at a close position, when the emission intensity and the number of times of the pulsed light are specified, the emission of the pulsed light is controlled so as to comply with the specified value. It becomes possible.

さらに、スポット径調整部64A、64Bによって、出射されるパルス光の射線における走査対象領域R1との距離に基づいて当該出射されるパルス光のスポット径を調整することにより、対象物の検出効率の向上を図ることが可能となる。すなわち、パルス光のスポット径は距離Rに比例するため、走査対象領域R1において照射されるパルス光のスポット径Dの不均一性を抑制できる。 Further, the spot diameter adjusting units 64A and 64B adjust the spot diameter of the emitted pulsed light based on the distance from the scanning target area R1 in the ray of the emitted pulsed light to improve the detection efficiency of the object. It is possible to improve. That is, since the spot diameter of the pulsed light is proportional to the distance R, the non-uniformity of the spot diameter D of the pulsed light irradiated in the scanning target region R1 can be suppressed.

100 測距装置
10A 第1の走査部
10B 第2の走査部
53A,53B パワー調整部
54A,54B スポット径調整部
R1 走査対象領域
R1a 第1の領域
R1b 第2の領域
L1,L2 射線
100 Distance measuring device 10A First scanning unit 10B Second scanning unit 53A, 53B Power adjusting unit 54A, 54B Spot diameter adjusting unit R1 Scanning target area R1a First area R1b Second area L1, L2 Rays

Claims (1)

パルス光の出射方向を連続的に変化させることにより、前記パルス光の出射方向の変化する方向によって表される走査軌跡の密度が変化する走査態様で所定領域を走査する走査部と、
前記所定領域における測距可能距離を規定し、対象物で反射した前記パルス光によって、前記対象物までの距離を測定する測距部と、
を有し、
前記走査部は、前記所定領域のうち、第1の測距可能距離が設定された第1方向に対する前記走査軌跡の密度が、前記所定領域のうち、前記第1の測距可能距離よりも大きい第2の測距可能距離が設定された第2方向に対する前記走査軌跡の密度よりも低くなるように、前記所定領域の走査を行うことを特徴とする測距装置。
A scanning unit that scans a predetermined area in a scanning mode in which the density of the scanning locus represented by the changing direction of the emission direction of the pulsed light changes by continuously changing the emission direction of the pulsed light.
A distance measuring unit that defines a distance that can be measured in the predetermined area and measures the distance to the object by the pulsed light reflected by the object.
Have,
In the scanning unit, the density of the scanning locus with respect to the first direction in which the first distance-measurable distance is set in the predetermined area is larger than the first distance-measurable distance in the predetermined area. A distance measuring device comprising scanning a predetermined area so that the second distance measuring possible distance is lower than the density of the scanning locus in a set second direction.
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