JP2022019388A - Hydraulic system - Google Patents

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淳浩 上林
Atsuhiro Kamibayashi
博一 中村
Hiroichi Nakamura
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Daikin Industries Ltd
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Abstract

To propose a hydraulic system which can reduce an impact caused when a driving direction of a movable table is reversed.SOLUTION: A hydraulic system (1) includes: an actuator (10) which drives a movable table (2) in a reciprocating manner and has a first port (10a) and a second port (10b); a first hydraulic pump (20) which supplies a working fluid to the first port (10a); a first motor (21) which drives the first hydraulic pump (20); a second hydraulic pump (30) which supplies the working fluid to the second port (10b); and a second motor (31) which drives the second hydraulic pump (30). The hydraulic system is controlled so that a discharge pressure of one of the first hydraulic pump (20) and the second hydraulic pump (30) lowers and a discharge pressure of the other of the first hydraulic pump (20) and the second hydraulic pump (30) rises in reverse control in which a driving direction of the movable table (2) is reversed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、油圧装置に関する。 The present disclosure relates to hydraulic equipment.

従来の平面研削盤としては、2つの圧力室を有するシリンダと、シリンダの2つの圧力室にそれぞれ接続された2つのポートを有する双方向油圧ポンプとを含む油圧装置を用いて可動テーブルを往復移動させるものがある(特許文献1参照)。上記平面研削盤では、可動テーブルの移動方向を反転させるとき、シリンダの一方の圧力室から流出した作動油を、双方向油圧ポンプを介して他方の圧力室に流入させて可動テーブルを減速することで、減速に伴う衝撃の抑制を図っている。 A conventional surface grinder reciprocates a movable table using a hydraulic device including a cylinder having two pressure chambers and a bidirectional hydraulic pump having two ports connected to each of the two pressure chambers of the cylinder. There is something to do (see Patent Document 1). In the above-mentioned surface grinder, when the moving direction of the movable table is reversed, the hydraulic oil flowing out from one pressure chamber of the cylinder flows into the other pressure chamber via a bidirectional hydraulic pump to decelerate the movable table. Therefore, the impact caused by deceleration is suppressed.

特開2013-226634号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-226634

上記従来の平面研削盤に用いられた油圧装置では、大型の可動テーブルに対応するためにシリンダに供給する作動油の流量を増加させる大容量化の要請がある。しかし、上記油圧装置では、複数の双方向油圧ポンプをシリンダに対して並列に接続しようとすると、複数の双方向油圧ポンプの制御が困難になるため、反転時の衝撃を低減するのは容易でないという問題がある。このため、上記油圧装置は、大容量の平面研削盤には適さない。 In the hydraulic device used in the conventional surface grinding machine, there is a demand for a large capacity to increase the flow rate of hydraulic oil supplied to the cylinder in order to accommodate a large movable table. However, in the above hydraulic device, if it is attempted to connect a plurality of bidirectional hydraulic pumps in parallel to the cylinder, it is difficult to control the plurality of bidirectional hydraulic pumps, so that it is not easy to reduce the impact at the time of reversal. There is a problem. Therefore, the hydraulic device is not suitable for a large-capacity surface grinding machine.

本開示は、可動テーブルの駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる油圧装置を提案する。 The present disclosure proposes a hydraulic device that can easily reduce an impact when reversing the driving direction of a movable table.

本開示の油圧装置は、
可動テーブルを往復駆動すると共に、第1ポート及び第2ポートを有するアクチュエータと、
上記可動テーブルを第1方向に駆動するとき、上記第1ポートに作動油を供給する第1油圧ポンプと、
上記第1油圧ポンプを駆動する第1モータと、
上記可動テーブルを上記第1方向とは反対の第2方向に駆動するとき、上記第2ポートに作動油を供給する第2油圧ポンプと、
上記第2油圧ポンプを駆動する第2モータと、
制御装置と
を備え、
上記制御装置は、上記可動テーブルの駆動方向を反転させる反転制御において、上記第1油圧ポンプと上記第2油圧ポンプとのうちの一方の吐出圧力が低下するとともに、上記第1油圧ポンプと上記第2油圧ポンプとのうちの他方の吐出圧力が上昇するように、上記第1モータ及び上記第2モータを制御することを特徴とする。
The hydraulic system of the present disclosure is
An actuator that reciprocates a movable table and has a first port and a second port,
When the movable table is driven in the first direction, the first hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the first port and the first hydraulic pump
The first motor that drives the first hydraulic pump and
When the movable table is driven in the second direction opposite to the first direction, the second hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the second port and the second hydraulic pump.
The second motor that drives the second hydraulic pump and
Equipped with a control device,
In the reversing control that reverses the drive direction of the movable table, the control device reduces the discharge pressure of one of the first hydraulic pump and the second hydraulic pump, and at the same time, the first hydraulic pump and the first hydraulic pump. It is characterized in that the first motor and the second motor are controlled so that the discharge pressure of the other of the two hydraulic pumps rises.

本開示によれば、可動テーブルの駆動方向を反転させる反転制御において、第1油圧ポンプと第2油圧ポンプとの一方の吐出圧力が低下するとともに、第1油圧ポンプと第2油圧ポンプとの他方の吐出圧力が上昇する。このとき、第1油圧ポンプと第2油圧ポンプにより、アクチュエータにおいて互いに対抗する作動油の圧力を制御できるので、可動テーブルの減速を精度よく制御できる。その結果、可動テーブルの駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる。 According to the present disclosure, in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table, the discharge pressure of one of the first hydraulic pump and the second hydraulic pump decreases, and the other of the first hydraulic pump and the second hydraulic pump. Discharge pressure rises. At this time, since the pressures of the hydraulic oils that oppose each other in the actuator can be controlled by the first hydraulic pump and the second hydraulic pump, the deceleration of the movable table can be controlled accurately. As a result, the impact when reversing the driving direction of the movable table can be easily reduced.

一実施形態の油圧装置は、
上記第1ポートから排出される作動油を油タンクに戻す第1リリーフ弁と、
上記第1ポートと上記第1油圧ポンプの吐出口との間の流路において、上記第1リリーフ弁が接続される接続点よりも上記第1油圧ポンプに近い位置に配設され、上記第1ポートから上記第1油圧ポンプへの作動油の流れを規制する防止する第1チェック弁と、
上記第2ポートから排出される作動油を上記油タンクに戻す第2リリーフ弁と、
上記第2ポートと上記第2油圧ポンプの吐出口との間の流路において、上記第2リリーフ弁が接続される接続点よりも上記第2油圧ポンプに近い位置に配設され、上記第2ポートから上記第2油圧ポンプへの作動油の流れを規制する第2チェック弁と
を備える。
The hydraulic system of one embodiment is
The first relief valve that returns the hydraulic oil discharged from the first port to the oil tank,
In the flow path between the first port and the discharge port of the first hydraulic pump, the first hydraulic pump is arranged at a position closer to the first hydraulic pump than the connection point to which the first relief valve is connected. A first check valve that regulates the flow of hydraulic oil from the port to the first hydraulic pump and
A second relief valve that returns the hydraulic oil discharged from the second port to the oil tank,
In the flow path between the second port and the discharge port of the second hydraulic pump, the second hydraulic pump is arranged at a position closer to the second hydraulic pump than the connection point to which the second relief valve is connected. It is equipped with a second check valve that regulates the flow of hydraulic oil from the port to the second hydraulic pump.

上記アクチュエータの第1ポートから排出された作動油が第1油圧ポンプに戻されることにより第1油圧ポンプが駆動されると、第1モータが回転して回生エネルギーが生じるので、回生抵抗が必要となる。これに対して、上記実施形態によれば、第1ポートから第1油圧ポンプへの作動油の流れが規制されており、第1ポートからの作動油がリリーフ弁を介して油タンクに戻される。その結果、第1油圧ポンプに第1ポートから作動油が流入し難いので、回生エネルギーへの対応が必要なくなる。 When the first hydraulic pump is driven by returning the hydraulic oil discharged from the first port of the actuator to the first hydraulic pump, the first motor rotates to generate regenerative energy, so that regenerative resistance is required. Become. On the other hand, according to the above embodiment, the flow of hydraulic oil from the first port to the first hydraulic pump is restricted, and the hydraulic oil from the first port is returned to the oil tank via the relief valve. .. As a result, it is difficult for hydraulic oil to flow into the first hydraulic pump from the first port, so that it is not necessary to deal with regenerative energy.

同様に、上記アクチュエータの第2ポートから排出された作動油が第2油圧ポンプに戻されることにより第2油圧ポンプが駆動されると、第2モータが回転して回生エネルギーが生じるので、回生抵抗が必要となる。これに対して、上記実施形態によれば、第2ポートから第2油圧ポンプへの作動油の流れが規制されており、第2ポートからの作動油がリリーフ弁を介して油タンクに戻される。その結果、第2油圧ポンプに第2ポートから作動油が流入し難いので、回生エネルギーへの対応が必要なくなる。 Similarly, when the second hydraulic pump is driven by returning the hydraulic oil discharged from the second port of the actuator to the second hydraulic pump, the second motor rotates to generate regenerative energy, so that regenerative resistance is generated. Is required. On the other hand, according to the above embodiment, the flow of hydraulic oil from the second port to the second hydraulic pump is restricted, and the hydraulic oil from the second port is returned to the oil tank via the relief valve. .. As a result, it is difficult for hydraulic oil to flow into the second hydraulic pump from the second port, so that it is not necessary to deal with regenerative energy.

一実施形態の油圧装置は、
上記第1ポートに作動油を供給する第3油圧ポンプと、
上記第3油圧ポンプを駆動する第3モータと、
上記第2ポートに作動油を供給する第4油圧ポンプと、
上記第4油圧ポンプを駆動する第4モータと
を備え、
上記制御装置は、
上記第1油圧ポンプが上記第1ポートに作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプの吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプの吐出圧力が上昇するように、上記第3モータを制御し、
上記第2油圧ポンプが上記第2ポートに作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプの吐出圧力の上昇中に、上記第4油圧ポンプの吐出圧力が上昇するように、上記第4モータを制御する。
The hydraulic system of one embodiment is
A third hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the first port,
The third motor that drives the third hydraulic pump and
A fourth hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the second port,
It is equipped with a fourth motor that drives the fourth hydraulic pump.
The above control device
When the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the third motor is moved so that the discharge pressure of the third hydraulic pump rises while the discharge pressure of the first hydraulic pump rises. Control and
When the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the fourth motor is moved so that the discharge pressure of the fourth hydraulic pump rises while the discharge pressure of the second hydraulic pump rises. Control.

上記実施形態によれば、第1油圧ポンプに加えて第3油圧ポンプから第1ポートに作動油を供給し、第2油圧ポンプに加えて第4油圧ポンプから第2ポートに作動油を供給するため、アクチュエータに供給される作動油の流量を増加することで大容量化を図ることができる。 According to the above embodiment, the hydraulic oil is supplied from the third hydraulic pump to the first port in addition to the first hydraulic pump, and the hydraulic oil is supplied from the fourth hydraulic pump to the second port in addition to the second hydraulic pump. Therefore, the capacity can be increased by increasing the flow rate of the hydraulic oil supplied to the actuator.

一実施形態の油圧装置では、
上記反転制御は、上記可動テーブルを減速させる減速制御を含み、
上記制御装置は、
上記減速制御において、上記第1油圧ポンプが上記第1ポートに作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプが駆動した後に上記第3油圧ポンプが駆動するように、上記第1モータ及び上記第3モータを制御し、
上記減速制御において、上記第2油圧ポンプが上記第2ポートに作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプを駆動した後に上記第4油圧ポンプが駆動するように、上記第2モータ及び上記第4モータを制御する。
In the hydraulic system of one embodiment,
The inversion control includes a deceleration control for decelerating the movable table.
The above control device
In the deceleration control, when the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the first motor and the first hydraulic pump are driven so that the third hydraulic pump is driven after the first hydraulic pump is driven. Control 3 motors,
In the deceleration control, when the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the second motor and the second motor are driven so that the fourth hydraulic pump is driven after the second hydraulic pump is driven. 4 Control the motor.

上記実施形態によれば、減速制御において、第1油圧ポンプが第1ポートに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプが駆動した後に第3油圧ポンプが駆動する。このため、第2油圧ポンプ及び第4油圧ポンプにより可動テーブルが駆動された状態から可動テーブルの駆動方向を反転するとき、第1油圧ポンプから第1ポートに供給された作動油の圧力が第2ポート側の圧力と対抗することで、可動テーブルは減速される。 According to the above embodiment, in the deceleration control, when the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the third hydraulic pump is driven after the first hydraulic pump is driven. Therefore, when the driving direction of the movable table is reversed from the state in which the movable table is driven by the second hydraulic pump and the fourth hydraulic pump, the pressure of the hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump to the first port is second. By countering the pressure on the port side, the movable table is decelerated.

一方で、上記実施形態によれば、減速制御において、第2油圧ポンプが第2ポートに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプが駆動した後に第4油圧ポンプが駆動する。このため、第1油圧ポンプ及び第3油圧ポンプにより可動テーブルが駆動された状態から可動テーブルの駆動方向を反転するとき、第2油圧ポンプから第2ポートに供給された作動油の圧力が第1ポート側の圧力と対抗することで、可動テーブルは減速される。 On the other hand, according to the above embodiment, in the deceleration control, when the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the fourth hydraulic pump is driven after the second hydraulic pump is driven. Therefore, when the driving direction of the movable table is reversed from the state in which the movable table is driven by the first hydraulic pump and the third hydraulic pump, the pressure of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump to the second port is the first. By countering the pressure on the port side, the movable table is decelerated.

すなわち、可動テーブルの駆動方向を反転するときの可動テーブルの減速は、駆動側の2つの油圧ポンプの制御と、制動側の1つの油圧ポンプの制御によって行われる。その結果、可動テーブルの駆動方向を反転させる反転制御において、制動側においても2つの油圧ポンプを制御する場合と比較して、反転制御を簡素にできる。 That is, the deceleration of the movable table when the drive direction of the movable table is reversed is controlled by the control of two hydraulic pumps on the drive side and the control of one hydraulic pump on the braking side. As a result, in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table, the reversal control can be simplified as compared with the case where the two hydraulic pumps are controlled even on the braking side.

一実施形態の油圧装置では、
上記アクチュエータに作動油を供給する第3油圧ポンプと、
上記第3油圧ポンプを駆動する第3モータと、
上記第3油圧ポンプと上記第1ポートとを連通する第1切換位置と、上記第3油圧ポンプと上記第2ポートとを連通する第2切換位置とを切り替える切換弁と
を備え、
上記制御装置は、
上記第1油圧ポンプが上記第1ポートに作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプの吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプの吐出圧力が上昇するように、上記第3モータ及び上記切換弁を制御し、
上記第2油圧ポンプが上記第2ポートに作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプの吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプの吐出圧力が上昇するように、上記第3モータ及び上記切換弁を制御する。
In the hydraulic system of one embodiment,
A third hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the actuator,
The third motor that drives the third hydraulic pump and
A switching valve for switching between a first switching position for communicating the third hydraulic pump and the first port and a second switching position for communicating the third hydraulic pump and the second port is provided.
The above control device
When the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the third motor and the third motor and the like so that the discharge pressure of the third hydraulic pump rises while the discharge pressure of the first hydraulic pump rises. By controlling the above switching valve,
When the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the third motor and the third motor and the like so that the discharge pressure of the third hydraulic pump rises while the discharge pressure of the second hydraulic pump rises. The switching valve is controlled.

上記実施形態によれば、第3油圧ポンプからの作動油の供給先を切換弁によって第1ポート又は第2ポートのいずれかに切り替えられる。その結果、第1ポートと第2ポートとのそれぞれに作動油を供給するために油圧ポンプを別個に設ける場合と比較して、油圧装置のコストを低減でき、油圧装置の大型化を抑制しつつ大容量化を実現できる。 According to the above embodiment, the supply destination of the hydraulic oil from the third hydraulic pump can be switched to either the first port or the second port by the switching valve. As a result, the cost of the hydraulic device can be reduced and the increase in size of the hydraulic device can be suppressed as compared with the case where the hydraulic pump is separately provided to supply the hydraulic oil to each of the first port and the second port. A large capacity can be realized.

一実施形態の油圧装置では、
上記反転制御は、上記可動テーブルを減速させる減速制御を含み、
上記制御装置は、
上記減速制御において、上記第1油圧ポンプが上記第1ポートに作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプを駆動した後に上記第3油圧ポンプが駆動するように、上記第1モータ及び上記第3モータを制御し、
上記減速制御において、上記第2油圧ポンプが上記第2ポートに作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプを駆動した後に上記第3油圧ポンプが駆動するように、上記第2モータ及び上記第3モータを制御する。
In the hydraulic system of one embodiment,
The inversion control includes a deceleration control for decelerating the movable table.
The above control device
In the deceleration control, when the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the first motor and the first hydraulic pump are driven so that the third hydraulic pump is driven after the first hydraulic pump is driven. Control 3 motors,
In the deceleration control, when the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the second motor and the second motor are driven so that the third hydraulic pump is driven after the second hydraulic pump is driven. 3 Control the motor.

上記実施形態によれば、減速制御において、第1油圧ポンプが第1ポートに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプが駆動した後に第3油圧ポンプが駆動する。このため、第2油圧ポンプ及び第3油圧ポンプにより可動テーブルが駆動された状態から可動テーブルの駆動方向を反転するとき、第1油圧ポンプから第1ポートに供給された作動油の圧力が第2ポート側の圧力と対抗することで、可動テーブルは減速される。 According to the above embodiment, in the deceleration control, when the first hydraulic pump supplies hydraulic oil to the first port, the third hydraulic pump is driven after the first hydraulic pump is driven. Therefore, when the driving direction of the movable table is reversed from the state in which the movable table is driven by the second hydraulic pump and the third hydraulic pump, the pressure of the hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump to the first port is second. By countering the pressure on the port side, the movable table is decelerated.

一方で、上記実施形態によれば、減速制御において、第2油圧ポンプが第2ポートに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプが駆動した後に第3油圧ポンプが駆動する。このため、第1油圧ポンプ及び第3油圧ポンプにより可動テーブルが駆動された状態から可動テーブルの駆動方向を反転するとき、第2油圧ポンプから第2ポートに供給された作動油の圧力が第1ポート側の圧力と対抗することで、可動テーブルは減速される。 On the other hand, according to the above embodiment, in the deceleration control, when the second hydraulic pump supplies hydraulic oil to the second port, the third hydraulic pump is driven after the second hydraulic pump is driven. Therefore, when the driving direction of the movable table is reversed from the state in which the movable table is driven by the first hydraulic pump and the third hydraulic pump, the pressure of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump to the second port is the first. By countering the pressure on the port side, the movable table is decelerated.

すなわち、可動テーブルの駆動方向を反転するときの可動テーブルの減速は、駆動側の2つの油圧ポンプの制御と、制動側の1つの油圧ポンプの制御によって行われる。その結果、可動テーブルの駆動方向を反転させる反転制御において、制動側においても2つの油圧ポンプを制御する場合と比較して、反転制御を簡素にできる。 That is, the deceleration of the movable table when the drive direction of the movable table is reversed is controlled by the control of two hydraulic pumps on the drive side and the control of one hydraulic pump on the braking side. As a result, in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table, the reversal control can be simplified as compared with the case where the two hydraulic pumps are controlled even on the braking side.

本開示の第1実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 1st Embodiment of this disclosure. 第1実施形態に係る油圧装置の動作を示すグラフである。It is a graph which shows the operation of the hydraulic system which concerns on 1st Embodiment. (a)第1比較例に係る油圧装置の概略ブロック図である。(b)第2比較例に係る油圧装置の概略ブロック図である。(c)第3比較例に係る油圧装置の概略ブロック図である。(A) It is a schematic block diagram of the hydraulic system which concerns on 1st comparative example. (B) It is a schematic block diagram of the hydraulic system which concerns on 2nd comparative example. (C) It is a schematic block diagram of the hydraulic system which concerns on 3rd comparative example. 第2実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る油圧装置の動作を示すグラフである。It is a graph which shows the operation of the hydraulic system which concerns on 3rd Embodiment. 第4実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 4th Embodiment. 第4実施形態に係る油圧装置の動作を示すグラフである。It is a graph which shows the operation of the hydraulic system which concerns on 4th Embodiment.

以下、添付図面を参照して、本開示の実施形態に係る油圧装置を説明する。 Hereinafter, the hydraulic system according to the embodiment of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings.

[第1実施形態]
図1は、本実施形態に係る油圧装置1を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic block diagram of a large surface grinding machine using the hydraulic device 1 according to the present embodiment.

本実施形態の油圧装置1は、図1を参照すると、例えば、重量が20t~30tの可動テーブル2を往復駆動させる複動形の油圧シリンダ10を備える。 Referring to FIG. 1, the hydraulic device 1 of the present embodiment includes, for example, a double-acting hydraulic cylinder 10 that reciprocates a movable table 2 having a weight of 20 to 30 tons.

可動テーブル2は、上面で被加工物を支持する。上述したように、可動テーブル2は、油圧シリンダ10によって往復駆動される。可動テーブル2には、可動テーブル2の位置を検出する第1位置検出センサ3及び第2位置検出センサ4が設けられている。第1位置検出センサ3は、可動テーブル2の駆動方向の一方側の端部に設けられており、第2位置検出センサ4は、可動テーブル2の駆動方向の他方側の端部に設けられている。以下の説明において、可動テーブル2の駆動方向をX方向という場合がある。また、X方向において一方側から他方側に向かう向きを+X方向、X方向において他方側から一方側に向かう向きを-X方向という場合がある。本実施形態の+X方向は、本開示に係る第1方向の一例であり、本実施形態の-X方向は、本開示に係る第2方向の一例である。 The movable table 2 supports the workpiece on the upper surface. As described above, the movable table 2 is reciprocally driven by the hydraulic cylinder 10. The movable table 2 is provided with a first position detection sensor 3 and a second position detection sensor 4 for detecting the position of the movable table 2. The first position detection sensor 3 is provided at one end of the movable table 2 in the drive direction, and the second position detection sensor 4 is provided at the other end of the movable table 2 in the drive direction. There is. In the following description, the driving direction of the movable table 2 may be referred to as the X direction. Further, the direction from one side to the other side in the X direction may be referred to as the + X direction, and the direction from the other side to the one side in the X direction may be referred to as the −X direction. The + X direction of the present embodiment is an example of the first direction according to the present disclosure, and the −X direction of the present embodiment is an example of the second direction according to the present disclosure.

油圧シリンダ10は、シリンダチューブ11と、シリンダチューブ11内を往復動するピストン12と、ピストン12の両側の端面に接続されたピストンロッド13A,13Bとを備える。ピストンロッド13A,13Bには、可動テーブル2が連結されている。また、油圧シリンダ10は、第1ポート10aと、第2ポート10bとを備える。本実施形態の油圧シリンダ10は、本開示に係るアクチュエータの一例である。 The hydraulic cylinder 10 includes a cylinder tube 11, a piston 12 that reciprocates in the cylinder tube 11, and piston rods 13A and 13B connected to both end faces of the piston 12. A movable table 2 is connected to the piston rods 13A and 13B. Further, the hydraulic cylinder 10 includes a first port 10a and a second port 10b. The hydraulic cylinder 10 of the present embodiment is an example of the actuator according to the present disclosure.

油圧装置1は、油圧シリンダ10に設けられた第1ポート10aに油タンク5からの作動油を供給して、油圧シリンダ10のピストン12を+X方向に駆動する第1油圧ポンプ20と、第1油圧ポンプ20を駆動する第1モータ21とを備える。第1油圧ポンプ20には、吐出圧力を検出する圧力センサ(図示せず)と、吐出流量を検出する流量センサ(図示せず)とが内蔵されている。第1モータ21は、回転数可変型のモータである。 The hydraulic device 1 supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the first port 10a provided in the hydraulic cylinder 10, and drives the piston 12 of the hydraulic cylinder 10 in the + X direction, and the first hydraulic pump 20 and the first. A first motor 21 for driving the hydraulic pump 20 is provided. The first hydraulic pump 20 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The first motor 21 is a variable rotation speed type motor.

油圧装置1は、油圧シリンダ10に設けられた第2ポート10bに油タンク5からの作動油を供給して、油圧シリンダ10のピストン12を-X方向に駆動する第2油圧ポンプ30と、第2油圧ポンプ30を駆動する第2モータ31とを備える。第2油圧ポンプ30には、吐出圧力を検出する圧力センサ(図示せず)と、吐出流量を検出する流量センサ(図示せず)とが内蔵されている。第2モータ31は、回転数可変型のモータである。 The hydraulic device 1 supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the second port 10b provided in the hydraulic cylinder 10, and drives the piston 12 of the hydraulic cylinder 10 in the −X direction, and the second hydraulic pump 30. 2 A second motor 31 for driving the hydraulic pump 30 is provided. The second hydraulic pump 30 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The second motor 31 is a variable rotation speed type motor.

油圧装置1は、第1油圧ポンプ20及び第2油圧ポンプ30から油圧シリンダ10に供給する作動油の圧力及び流量を制御する制御装置40を備えている。 The hydraulic device 1 includes a control device 40 that controls the pressure and flow rate of hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump 20 and the second hydraulic pump 30 to the hydraulic cylinder 10.

制御装置40は、第1位置検出センサ3及び第2位置検出センサ4からの可動テーブル2の位置を表す位置検出信号を受けて、第1モータ21を駆動する駆動信号及び第2モータ31を駆動する駆動信号を出力する。これにより、制御装置40は、第1油圧モータ21及び第2モータ31のそれぞれの回転数を制御する。 The control device 40 receives a position detection signal indicating the position of the movable table 2 from the first position detection sensor 3 and the second position detection sensor 4, and drives the drive signal for driving the first motor 21 and the second motor 31. Output the drive signal. As a result, the control device 40 controls the rotation speeds of the first hydraulic motor 21 and the second motor 31, respectively.

以下、図1及び図2を参照して、本実施形態の油圧装置1の動作を説明する。 Hereinafter, the operation of the hydraulic device 1 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図2は、本実施形態の油圧装置1の動作を示すグラフである。図2において、横軸は時間、縦軸は任意目盛である。図2では、上側から順に、第1油圧ポンプ20の吐出圧力、第1油圧ポンプ20の吐出流量、第2油圧ポンプ30の吐出圧力、第2油圧ポンプ30の吐出流量を示している。また、図2では、可動テーブル2が+X方向に駆動し、その後、可動テーブル2の駆動方向が反転して、可動テーブル2が-X方向に駆動するときの油圧装置1の動作を示している。 FIG. 2 is a graph showing the operation of the hydraulic device 1 of the present embodiment. In FIG. 2, the horizontal axis is time and the vertical axis is an arbitrary scale. FIG. 2 shows the discharge pressure of the first hydraulic pump 20, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20, the discharge pressure of the second hydraulic pump 30, and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30, in order from the upper side. Further, FIG. 2 shows the operation of the hydraulic device 1 when the movable table 2 is driven in the + X direction, then the drive direction of the movable table 2 is reversed, and the movable table 2 is driven in the −X direction. ..

図2を参照すると、可動テーブル2を+X方向に駆動させるとき、油圧装置1の制御は、可動テーブル2を加速させる区間Aの制御と、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御と、可動テーブル2を減速させる区間Cの制御からなる。 Referring to FIG. 2, when the movable table 2 is driven in the + X direction, the control of the hydraulic device 1 is the control of the section A for accelerating the movable table 2 and the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed. It consists of the control of the section C for decelerating the movable table 2.

同様に、可動テーブル2を-X方向に駆動させるとき、油圧装置1の制御は、可動テーブル2を加速させる区間Dの制御と、可動テーブルEを定速で駆動させる区間Eの制御と、可動テーブル2を減速させる区間Fの制御からなる。 Similarly, when the movable table 2 is driven in the −X direction, the control of the hydraulic device 1 is the control of the section D for accelerating the movable table 2 and the control of the section E for driving the movable table E at a constant speed. It consists of the control of the section F for decelerating the table 2.

可動テーブル2を往復駆動させるとき、区間A~Cの制御と、区間D~Fの制御とが交互に繰り返し行われる。つまり、区間Cの制御に引き続いて区間Dの制御が行われ、区間Fの制御に引き続いて区間Aの制御が行われる。 When the movable table 2 is reciprocated, the control of the sections A to C and the control of the sections D to F are alternately and repeatedly performed. That is, the control of the section D is performed following the control of the section C, and the control of the section A is performed following the control of the section F.

可動テーブル2を加速させる区間Aの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Aの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section A for accelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. On the other hand, in the control of the section A, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases.

制御装置40による油圧装置1の制御は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Aの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section A for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section B to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Bの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第2モータ31を停止させている。 In the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 are constant. On the other hand, in the control of the section B, the control device 40 stops the second motor 31 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 become zero.

区間Bの制御において、油圧シリンダ10の第2ポート10bから排出された作動油が第2油圧ポンプ30に戻されることにより第2油圧ポンプ30が駆動されると、第2モータ31が回転して回生エネルギーが生じる。この回生エネルギーは、第2モータ31に設けられた回生抵抗(図示せず)により吸収される。 In the control of the section B, when the second hydraulic pump 30 is driven by returning the hydraulic oil discharged from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 to the second hydraulic pump 30, the second motor 31 rotates. Regenerative energy is generated. This regenerative energy is absorbed by a regenerative resistor (not shown) provided in the second motor 31.

制御装置40による油圧装置1の制御は、第2位置検出センサ4により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御から可動テーブル2を減速させる区間Cの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section B that drives the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the second position detection sensor 4. The control shifts to the control of the section C to be decelerated.

可動テーブル2を減速させる区間Cの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Cの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。本実施形態における区間Cの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 In the control of the section C for decelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 decreases and the discharge flow rate decreases. On the other hand, in the control of the section C, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases. The control of the section C in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

制御装置40による油圧装置1の制御は、可動テーブル2の駆動速度がゼロになったとき、可動テーブル2を+X方向に駆動させながら減速させる区間Cの制御から、可動テーブル2を-X方向に駆動させながら可動テーブル2を加速させる区間Dの制御に移行する。すなわち、制御装置40は、可動テーブル2の駆動方向を+X方向から-X方向に反転させる。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 40 is such that when the drive speed of the movable table 2 becomes zero, the movable table 2 is moved in the −X direction from the control of the section C in which the movable table 2 is driven in the + X direction and decelerated. The control shifts to the control of the section D in which the movable table 2 is accelerated while being driven. That is, the control device 40 reverses the drive direction of the movable table 2 from the + X direction to the −X direction.

可動テーブル2を加速させる区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御に引き続いて第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御に引き続いて第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section D for accelerating the movable table 2, the control device 40 rotates the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 decreases and the discharge flow rate decreases following the control of the section C. Control the number. On the other hand, in the control of the section D, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases following the control of the section C. do.

本実施形態の区間Cの制御と、区間Cの制御に引き続いて行われる区間Dの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section C of the present embodiment and the control of the section D performed following the control of the section C are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

制御装置40による油圧装置1の制御は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Dの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section D for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section E to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第1モータ21を停止させている。一方で、区間Eの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 stops the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. On the other hand, in the control of the section E, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 are constant.

区間Eの制御において、油圧シリンダ10の第1ポート10aから排出された作動油が第1油圧ポンプ20に戻されることにより第1油圧ポンプ20が駆動されると、第1モータ21が回転して回生エネルギーが生じる。この回生エネルギーは、第1モータ21に設けられた回生抵抗(図示せず)により吸収される。 In the control of the section E, when the first hydraulic pump 20 is driven by returning the hydraulic oil discharged from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 to the first hydraulic pump 20, the first motor 21 rotates. Regenerative energy is generated. This regenerative energy is absorbed by a regenerative resistor (not shown) provided in the first motor 21.

制御装置40による油圧装置1の制御は、第1位置検出センサ3により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御から可動テーブル2を減速させる区間Fの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the first position detection sensor 3. The control shifts to the control of the section F to be decelerated.

可動テーブル2を減速させる区間Fの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Fの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。本実施形態における区間Fの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 In the control of the section F for decelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. On the other hand, in the control of the section F, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases. The control of the section F in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

本実施形態の区間Fの制御と、区間Fの制御に引き続いて行われる区間Aの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section F of the present embodiment and the control of the section A performed following the control of the section F are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

本実施形態の油圧装置1によれば、以下の作用効果を奏する。 According to the hydraulic device 1 of the present embodiment, the following functions and effects are obtained.

可動テーブル2の駆動方向を反転させる反転制御において、第1油圧ポンプ20と第2油圧ポンプ30との一方の吐出圧力が低下するとともに、第1油圧ポンプ20と第2油圧ポンプ30との他方の吐出圧力が上昇する。このとき、第1油圧ポンプ20が第1ポート10aに作動油を供給する一方、第2ポンプ30が第2ポート10bに作動油を供給するので、第1ポート10aに供給される作動油の圧力と、第2ポート10bに供給される作動油の圧力とは、個別に制御できる。したがって、可動テーブル2の減速と加速を精度よく制御できる。その結果、可動テーブル2の駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる。 In the reversal control for reversing the drive direction of the movable table 2, the discharge pressure of one of the first hydraulic pump 20 and the second hydraulic pump 30 decreases, and the other of the first hydraulic pump 20 and the second hydraulic pump 30 The discharge pressure rises. At this time, the first hydraulic pump 20 supplies the hydraulic oil to the first port 10a, while the second pump 30 supplies the hydraulic oil to the second port 10b, so that the pressure of the hydraulic oil supplied to the first port 10a. And the pressure of the hydraulic oil supplied to the second port 10b can be controlled individually. Therefore, the deceleration and acceleration of the movable table 2 can be controlled accurately. As a result, the impact when reversing the driving direction of the movable table 2 can be easily reduced.

[第1比較例]
図3(a)は、第1比較例に係る油圧装置1001の概略ブロック図である。
[First comparative example]
FIG. 3A is a schematic block diagram of the hydraulic device 1001 according to the first comparative example.

図3(a)を参照すると、第1比較例に係る油圧装置1001は、油圧シリンダ1010と、油圧シリンダ1010に油タンク1005の作動油を供給する油圧ポンプ1020と、油圧ポンプ1020を駆動する固定回転数のモータ1021と、作動油の供給先を切り替える方向切換弁1030とを備える。また、油圧装置1001は、油圧ポンプ1020から吐出された作動油の一部を油タンク5に戻すリリーフ弁1040と流量調整弁1050とを備える。 Referring to FIG. 3A, the hydraulic device 1001 according to the first comparative example has a hydraulic cylinder 1010, a hydraulic pump 1020 for supplying hydraulic oil for an oil tank 1005 to the hydraulic cylinder 1010, and a fixed hydraulic pump 1020 for driving the hydraulic pump 1020. A motor 1021 having a rotation speed and a direction switching valve 1030 for switching a supply destination of hydraulic oil are provided. Further, the hydraulic device 1001 includes a relief valve 1040 and a flow rate adjusting valve 1050 that return a part of the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 1020 to the oil tank 5.

方向切換弁1030は、左側の切換位置において、油圧シリンダ1010の第1ポート1010aと油圧ポンプ1020の吐出側とを連通し、油圧シリンダ1010の第2ポート1010bと油タンク1031とを連通するようになっている。また、方向切換弁1030は、右側の切換位置において、油圧シリンダ1010の第2ポート1010bと油圧ポンプ1020の吐出側とを連通し、油圧シリンダ1010の第1ポート1010aと油タンク1031とを連通するようになっている。 The direction switching valve 1030 communicates with the first port 1010a of the hydraulic cylinder 1010 and the discharge side of the hydraulic pump 1020 at the switching position on the left side, and communicates with the second port 1010b of the hydraulic cylinder 1010 and the oil tank 1031. It has become. Further, the direction switching valve 1030 communicates the second port 1010b of the hydraulic cylinder 1010 with the discharge side of the hydraulic pump 1020 at the switching position on the right side, and communicates the first port 1010a of the hydraulic cylinder 1010 with the oil tank 1031. It has become like.

第1比較例では、固定回転数のモータ1021により油圧ポンプ1020が駆動されるため、油圧ポンプ1020の吐出流量が調整できない。このため、油圧ポンプ1020から吐出された作動油の一部がリリーフ弁1040及び流量調整弁1050を介して油タンク1005に戻る余剰流が発生する。これに対して、第1実施形態に係る油圧装置1では、回転数可変型の第1モータ21により第1油圧ポンプ20が駆動され、回転数可変型の第2モータ31により第2油圧ポンプ30が駆動されるので、第1油圧ポンプ20の吐出流量と第2油圧ポンプ30の吐出流量を調整できる。その結果、第1比較例と比較して、余剰流量を低減でき、省エネ性を向上できる。 In the first comparative example, since the hydraulic pump 1020 is driven by the motor 1021 having a fixed rotation speed, the discharge flow rate of the hydraulic pump 1020 cannot be adjusted. Therefore, a surplus flow is generated in which a part of the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 1020 returns to the oil tank 1005 via the relief valve 1040 and the flow rate adjusting valve 1050. On the other hand, in the hydraulic device 1 according to the first embodiment, the first hydraulic pump 20 is driven by the variable rotation speed type first motor 21, and the second hydraulic pump 30 is driven by the rotation speed variable second motor 31. Is driven, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 can be adjusted. As a result, the surplus flow rate can be reduced and the energy saving property can be improved as compared with the first comparative example.

また、第1比較例では、可動テーブル1002の駆動方向を反転させる反転制御は、方向切換弁1030を動作させて油圧ポンプ1020からの作動油の供給先を切り換えることで行われる。ここで、可動テーブル1002を適切に減速するための方向切換弁1030の構成(例えば、スプールの形状)、又は反転制御において良好な応答性を得るための方向切換弁1030の構成は、可動テーブル1002が駆動する速度に応じて異なる。したがって、方向切換弁1030を用いて、可動テーブル1002の幅広い速度領域において、良好な反転制御を行うことは困難である。 Further, in the first comparative example, the reversing control for reversing the driving direction of the movable table 1002 is performed by operating the direction switching valve 1030 to switch the supply destination of the hydraulic oil from the hydraulic pump 1020. Here, the configuration of the directional switching valve 1030 for appropriately decelerating the movable table 1002 (for example, the shape of the spool) or the configuration of the directional switching valve 1030 for obtaining good responsiveness in reverse control is the movable table 1002. Depends on the speed at which it is driven. Therefore, it is difficult to perform good reversal control in a wide speed range of the movable table 1002 by using the directional control valve 1030.

これに対して、本実施形態の油圧装置1によれば、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量と、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量とを独立して調整可能である。第1油圧ポンプ20と第2油圧ポンプ30により、油圧シリンダ10の第1ポート10a側と第2ポート10b側の対抗する圧力を制御することにより、可動テーブル2の減速と加速を精度よく制御できる。その結果、幅広い速度領域において、適切な反転制御が可能である。 On the other hand, according to the hydraulic device 1 of the present embodiment, the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 and the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 can be independently adjusted. By controlling the opposing pressures on the first port 10a side and the second port 10b side of the hydraulic cylinder 10 by the first hydraulic pump 20 and the second hydraulic pump 30, the deceleration and acceleration of the movable table 2 can be accurately controlled. .. As a result, appropriate inversion control is possible in a wide speed range.

[第2比較例]
図3(b)は、第2比較例に係る油圧装置1101の概略ブロック図である。
[Second comparative example]
FIG. 3B is a schematic block diagram of the hydraulic device 1101 according to the second comparative example.

図3(b)を参照すると、第2比較例に係る油圧装置1101は、油圧シリンダ1110と、油圧シリンダ1110に作動油を供給する双方向油圧ポンプ1120と、油圧ポンプ1120を駆動する正転及び逆転が可能な回転数可変型のモータ1121とを備える。 Referring to FIG. 3B, the hydraulic device 1101 according to the second comparative example includes a hydraulic cylinder 1110, a bidirectional hydraulic pump 1120 that supplies hydraulic oil to the hydraulic cylinder 1110, and a forward rotation that drives the hydraulic pump 1120. It is provided with a variable rotation speed motor 1121 capable of reversing.

第2比較例の油圧装置1101では、油圧シリンダ1110に供給する作動油の流量を増加させるために複数の双方向油圧ポンプ1120を油圧シリンダ1110に対して並列に接続しようとすると、複数の双方向油圧ポンプ1120の吐出及び吸込のタイミングを連動させる必要があり制御が複雑になる。このため、第2比較例の油圧装置1101は、大容量の大型の可動テーブルを駆動させる用途には適さない。 In the hydraulic device 1101 of the second comparative example, when a plurality of bidirectional hydraulic pumps 1120 are to be connected in parallel to the hydraulic cylinder 1110 in order to increase the flow rate of the hydraulic oil supplied to the hydraulic cylinder 1110, a plurality of bidirectional hydraulic pumps 1120 are connected. It is necessary to link the discharge and suction timings of the hydraulic pump 1120, which complicates control. Therefore, the hydraulic device 1101 of the second comparative example is not suitable for driving a large-capacity large movable table.

これに対して、本実施形態の油圧装置1では、例えば、第1油圧ポンプ20に対して別個に油圧ポンプを並列に接続した場合であっても、第1油圧ポンプ20と上記油圧ポンプとを連動させる必要がない。その結果、制御を複雑化することなく、油圧装置1の大容量化を図れる。 On the other hand, in the hydraulic device 1 of the present embodiment, for example, even when the hydraulic pumps are separately connected in parallel to the first hydraulic pump 20, the first hydraulic pump 20 and the hydraulic pump are connected to each other. There is no need to link them. As a result, the capacity of the hydraulic device 1 can be increased without complicating the control.

また、第2比較例の油圧装置1101の油圧回路は、閉回路であるため、作動油の温度が上昇し易いという問題がある。 Further, since the hydraulic circuit of the hydraulic device 1101 of the second comparative example is a closed circuit, there is a problem that the temperature of the hydraulic oil tends to rise.

これに対して、本実施形態の油圧装置1の油圧回路は、開回路であるため、第2比較例と比較して、作動油の温度の上昇を抑制できる。 On the other hand, since the hydraulic circuit of the hydraulic device 1 of the present embodiment is an open circuit, it is possible to suppress an increase in the temperature of the hydraulic oil as compared with the second comparative example.

[第3比較例]
図3(c)は、第3比較例に係る油圧装置1201の概略ブロック図である。
[Third comparative example]
FIG. 3C is a schematic block diagram of the hydraulic device 1201 according to the third comparative example.

図3(c)を参照すると、第3比較例に係る油圧装置1201は、油圧シリンダ1210と、油圧シリンダ1210に油タンク1205の作動油を供給する油圧ポンプ1220と、油圧ポンプ1220を駆動する回転数可変型のモータ1221と、作動油の供給先を切り替える方向切換弁1230とを備える。 Referring to FIG. 3C, the hydraulic device 1201 according to the third comparative example includes a hydraulic cylinder 1210, a hydraulic pump 1220 that supplies hydraulic oil for an oil tank 1205 to the hydraulic cylinder 1210, and a rotation that drives the hydraulic pump 1220. It is provided with a variable number motor 1221 and a direction switching valve 1230 for switching the supply destination of hydraulic oil.

方向切換弁1230は、左側の切換位置において、油圧シリンダ1210の第1ポート1210aと油圧ポンプ1220の吐出側とを連通し、油圧シリンダ1210の第2ポート1210bと油タンク1231とを連通するようになっている。また、方向切換弁1230は、右側の切換位置において、油圧シリンダ1210の第2ポート1210bと油圧ポンプ1220の吐出側とを連通し、油圧シリンダ1210の第1ポート1210aと油タンク1231とを連通するようになっている。 At the switching position on the left side, the direction switching valve 1230 communicates the first port 1210a of the hydraulic cylinder 1210 with the discharge side of the hydraulic pump 1220, and communicates the second port 1210b of the hydraulic cylinder 1210 with the oil tank 1231. It has become. Further, the direction switching valve 1230 communicates the second port 1210b of the hydraulic cylinder 1210 with the discharge side of the hydraulic pump 1220 at the switching position on the right side, and communicates the first port 1210a of the hydraulic cylinder 1210 with the oil tank 1231. It has become like.

第3比較例では、可動テーブル1202の駆動方向を反転させる反転制御は、方向切換弁1230を動作させて油圧ポンプ1220からの作動油の供給先を切り換えることで行われる。ここで、可動テーブル1202を適切に減速するための方向切換弁1230の構成(例えば、スプールの形状)、又は反転制御において良好な応答性を得るための方向切換弁1230の構成は、可動テーブル1202が駆動する速度に応じて異なる。したがって、方向切換弁1230を用いて、可動テーブル1202の幅広い速度領域において、良好な反転制御を行うことは困難である。 In the third comparative example, the reversal control for reversing the drive direction of the movable table 1202 is performed by operating the direction switching valve 1230 to switch the supply destination of the hydraulic oil from the hydraulic pump 1220. Here, the configuration of the directional switching valve 1230 for appropriately decelerating the movable table 1202 (for example, the shape of the spool) or the configuration of the directional switching valve 1230 for obtaining good responsiveness in reverse control is the movable table 1202. Depends on the speed at which it is driven. Therefore, it is difficult to perform good reversal control in a wide speed range of the movable table 1202 by using the directional control valve 1230.

これに対して、本実施形態の油圧装置1によれば、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量と、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量とを独立して調整可能である。第1油圧ポンプ20と第2油圧ポンプ30により、油圧シリンダ10の第1ポート10a側と第2ポート10b側の対抗する圧力を制御することにより、可動テーブル2の減速と加速を精度よく制御できる。その結果、幅広い速度領域において、適切な反転制御が可能である。 On the other hand, according to the hydraulic device 1 of the present embodiment, the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 and the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 can be independently adjusted. By controlling the opposing pressures on the first port 10a side and the second port 10b side of the hydraulic cylinder 10 by the first hydraulic pump 20 and the second hydraulic pump 30, the deceleration and acceleration of the movable table 2 can be accurately controlled. .. As a result, appropriate inversion control is possible in a wide speed range.

[第2実施形態]
図4は、本開示の第2実施形態に係る油圧装置101を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。第2実施形態の油圧装置101は、第1リリーフ弁122、第1チェック弁123、第2リリーフ弁132、及び第2チェック弁133を有している点を除いて、第1実施形態の油圧装置101と同様の構成を有しており、図2を援用する。また、第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成には、同一の参照符号を付して示し、その詳細な説明を省略する。
[Second Embodiment]
FIG. 4 is a schematic block diagram of a large surface grinding machine using the hydraulic device 101 according to the second embodiment of the present disclosure. The hydraulic device 101 of the second embodiment has the hydraulic pressure of the first embodiment except that the first relief valve 122, the first check valve 123, the second relief valve 132, and the second check valve 133 are provided. It has the same configuration as the device 101, and FIG. 2 is incorporated. Further, in the second embodiment, the same configurations as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図4を参照すると、油圧装置101は、油圧シリンダ10の第1ポート10aから排出される作動油を油タンク5に戻す第1リリーフ弁122と、油圧シリンダ10の第1ポート10aから第1油圧ポンプ20への作動油の流れを規制する第1チェック弁123とを備える。 Referring to FIG. 4, the hydraulic device 101 has a first relief valve 122 for returning the hydraulic oil discharged from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 to the oil tank 5, and a first hydraulic pressure from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10. It is provided with a first check valve 123 that regulates the flow of hydraulic oil to the pump 20.

油圧シリンダ10の第1ポート10aは、第1リリーフ弁122の入口ポート122aに接続されている。また、第1リリーフ弁122の出口ポート122bは、油タンク5に接続されている。第1リリーフ弁122は、パイロット作動形のリリーフ弁である。第1リリーフ弁122のパイロットポート122cには、第1油圧ポンプ20の吐出側が接続されている。これにより、第1油圧ポンプ20の吐出圧力(パイロット圧)が第1リリーフ弁122のパイロットポート122cに供給されて第1リリーフ弁122が制御される。 The first port 10a of the hydraulic cylinder 10 is connected to the inlet port 122a of the first relief valve 122. Further, the outlet port 122b of the first relief valve 122 is connected to the oil tank 5. The first relief valve 122 is a pilot-operated relief valve. The discharge side of the first hydraulic pump 20 is connected to the pilot port 122c of the first relief valve 122. As a result, the discharge pressure (pilot pressure) of the first hydraulic pump 20 is supplied to the pilot port 122c of the first relief valve 122, and the first relief valve 122 is controlled.

第1チェック弁123は、油圧シリンダ10と第1油圧ポンプ20との間の流路の第1リリーフ弁122が接続された接続点よりも第1油圧ポンプ20側に配設されている。油圧シリンダ10の第1ポート10aを、第1チェック弁123を介して第1油圧ポンプ20の吐出側に接続している。 The first check valve 123 is arranged on the side of the first hydraulic pump 20 with respect to the connection point to which the first relief valve 122 of the flow path between the hydraulic cylinder 10 and the first hydraulic pump 20 is connected. The first port 10a of the hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the first hydraulic pump 20 via the first check valve 123.

油圧装置101は、油圧シリンダ10の第2ポート10bから排出される作動油を油タンク5に戻す第2リリーフ弁132と、油圧シリンダ10の第2ポート10bから第2油圧ポンプへの作動油の流れを規制する第2チェック弁133とを備える。 The hydraulic device 101 includes a second relief valve 132 that returns the hydraulic oil discharged from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 to the oil tank 5, and hydraulic oil from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 to the second hydraulic pump. It is provided with a second check valve 133 that regulates the flow.

油圧シリンダ10の第2ポート10bは、第2リリーフ弁132の入口ポート132aに接続されている。また、第2リリーフ弁132の出口ポート132bは、油タンク5に接続されている。第2リリーフ弁132は、パイロット作動形のリリーフ弁である。第2リリーフ弁132のパイロットポート132cには、第2油圧ポンプ30の吐出側が接続されている。これにより、第2油圧ポンプ30の吐出圧力(パイロット圧)が第2リリーフ弁132のパイロットポート132cに供給されて第2リリーフ弁132が制御される。 The second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is connected to the inlet port 132a of the second relief valve 132. Further, the outlet port 132b of the second relief valve 132 is connected to the oil tank 5. The second relief valve 132 is a pilot-operated relief valve. The discharge side of the second hydraulic pump 30 is connected to the pilot port 132c of the second relief valve 132. As a result, the discharge pressure (pilot pressure) of the second hydraulic pump 30 is supplied to the pilot port 132c of the second relief valve 132, and the second relief valve 132 is controlled.

第2チェック弁133は、油圧シリンダ10と第2油圧ポンプ30との間の流路の第2リリーフ弁132が接続された接続点よりも第2油圧ポンプ30側に配設されている。油圧シリンダ10の第2ポート10bを、第2チェック弁133を介して第2油圧ポンプ30の吐出側に接続している。 The second check valve 133 is arranged on the second hydraulic pump 30 side with respect to the connection point to which the second relief valve 132 of the flow path between the hydraulic cylinder 10 and the second hydraulic pump 30 is connected. The second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the second hydraulic pump 30 via the second check valve 133.

本実施形態の油圧装置101では、可動テーブル2を-X方向に駆動させるとき、油圧シリンダ10の第1ポート10a側の圧力が第1リリーフ弁122の設定圧以上になると、第1リリーフ弁122が動作して、油圧シリンダ10から排出される作動油を油タンク5に戻す。 In the hydraulic device 101 of the present embodiment, when the movable table 2 is driven in the −X direction, when the pressure on the first port 10a side of the hydraulic cylinder 10 becomes equal to or higher than the set pressure of the first relief valve 122, the first relief valve 122 Operates to return the hydraulic oil discharged from the hydraulic cylinder 10 to the oil tank 5.

同様に、可動テーブル2を+X方向に駆動させるとき、油圧シリンダ10の第2ポート10b側の圧力が第2リリーフ弁132の設定圧以上になると、第2リリーフ弁132が動作して、油圧シリンダ10から排出される作動油を油タンク5に戻す。 Similarly, when the movable table 2 is driven in the + X direction, when the pressure on the second port 10b side of the hydraulic cylinder 10 becomes equal to or higher than the set pressure of the second relief valve 132, the second relief valve 132 operates and the hydraulic cylinder The hydraulic oil discharged from No. 10 is returned to the oil tank 5.

第2実施形態の油圧装置101では、第1実施形態の油圧装置101と同様の作用効果を奏する。 The hydraulic device 101 of the second embodiment has the same effect as that of the hydraulic device 101 of the first embodiment.

第1実施形態の油圧装置1では、油圧シリンダ10の第1ポート10aから排出された作動油が第1油圧ポンプ20に戻されることにより第1油圧ポンプ20が駆動されると、第1モータ21が回転して回生エネルギーが生じるので、回生抵抗が必要となる。これに対して、第2実施形態の油圧装置101によれば、第1ポート10aから第1油圧ポンプ20への作動油の流れが規制されており、第1ポート10aからの作動油が第1リリーフ弁122を介して油タンク5に戻される。その結果、第1油圧ポンプ20に第1ポート10aから作動油が流入し難いので、回生エネルギーへの対応が必要なくなる。 In the hydraulic device 1 of the first embodiment, when the first hydraulic pump 20 is driven by returning the hydraulic oil discharged from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 to the first hydraulic pump 20, the first motor 21 Rotates to generate regenerative energy, which requires regenerative resistance. On the other hand, according to the hydraulic device 101 of the second embodiment, the flow of hydraulic oil from the first port 10a to the first hydraulic pump 20 is regulated, and the hydraulic oil from the first port 10a is the first. It is returned to the oil tank 5 via the relief valve 122. As a result, it is difficult for hydraulic oil to flow into the first hydraulic pump 20 from the first port 10a, so that it is not necessary to deal with regenerative energy.

同様に、第1実施形態の油圧装置1では、油圧シリンダ10の第2ポート10bから排出された作動油が第2油圧ポンプ30に戻されることにより第2油圧ポンプ30が駆動されると、第2モータ31が回転して回生エネルギーが生じるので、回生抵抗が必要となる。これに対して、第2実施形態の油圧装置101によれば、第2ポート10bから第2油圧ポンプ30への作動油の流れが規制されており、第2ポート10bからの作動油が第2リリーフ弁132を介して油タンク5に戻される。その結果、第2油圧ポンプ30に第2ポート10bから作動油が流入し難いので、回生エネルギーへの対応が必要なくなる。 Similarly, in the hydraulic device 1 of the first embodiment, when the hydraulic oil discharged from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is returned to the second hydraulic pump 30, the second hydraulic pump 30 is driven. Since the 2 motor 31 rotates to generate regenerative energy, regenerative resistance is required. On the other hand, according to the hydraulic device 101 of the second embodiment, the flow of the hydraulic oil from the second port 10b to the second hydraulic pump 30 is regulated, and the hydraulic oil from the second port 10b is the second. It is returned to the oil tank 5 via the relief valve 132. As a result, it is difficult for hydraulic oil to flow into the second hydraulic pump 30 from the second port 10b, so that it is not necessary to deal with regenerative energy.

[第3実施形態]
図5は、第3実施形態に係る油圧装置201を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。第3実施形態の油圧装置201は、第3油圧ポンプ250、第3モータ251、第3チェック弁252、第4油圧ポンプ260、第4モータ261、及び第4チェック弁262を除いて、第2実施形態の油圧装置101と同様の構成を有している。第3実施形態において、第2実施形態と同様の構成には、第2実施形態と同一の参照符号を付して示し、その詳細な説明を省略する。
[Third Embodiment]
FIG. 5 is a schematic block diagram of a large surface grinding machine using the hydraulic device 201 according to the third embodiment. The hydraulic device 201 of the third embodiment is the second hydraulic device 201 except for the third hydraulic pump 250, the third motor 251 and the third check valve 252, the fourth hydraulic pump 260, the fourth motor 261 and the fourth check valve 262. It has the same configuration as the hydraulic device 101 of the embodiment. In the third embodiment, the same configurations as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals as those in the second embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

図5を参照すると、本実施形態の油圧装置201は、油圧シリンダ10に設けられた第1ポート10aに油タンク5からの作動油を供給して、油圧シリンダ10のピストン12を+X方向に駆動する第3油圧ポンプ250と、第3油圧ポンプ250を駆動する第3モータ251とを備える。また、本実施形態の油圧装置201は、油圧シリンダ10の第1ポート10aから第3油圧ポンプ250への作動油の流れを規制する第3チェック弁252を備える。 Referring to FIG. 5, the hydraulic device 201 of the present embodiment supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the first port 10a provided in the hydraulic cylinder 10 to drive the piston 12 of the hydraulic cylinder 10 in the + X direction. A third hydraulic pump 250 and a third motor 251 for driving the third hydraulic pump 250 are provided. Further, the hydraulic device 201 of the present embodiment includes a third check valve 252 that regulates the flow of hydraulic oil from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 to the third hydraulic pump 250.

第3油圧ポンプ250には、吐出圧力を検出する圧力センサ(図示せず)と、吐出流量を検出する流量センサ(図示せず)とが内蔵されている。第3モータ251は、回転数可変型のモータである。 The third hydraulic pump 250 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The third motor 251 is a variable rotation speed type motor.

第3油圧ポンプ250の吐出側は、第1ポート10aと第1油圧ポンプ20との間の流路の第1リリーフ弁122が接続された接続点より第1ポート10a側に接続されている。 The discharge side of the third hydraulic pump 250 is connected to the first port 10a side from the connection point to which the first relief valve 122 of the flow path between the first port 10a and the first hydraulic pump 20 is connected.

第3チェック弁252は、油圧シリンダ10と第3油圧ポンプ250との間の流路に配設されている。油圧シリンダ10の第1ポート10aを、第3チェック弁252を介して第3油圧ポンプ250の吐出側に接続している。 The third check valve 252 is arranged in the flow path between the hydraulic cylinder 10 and the third hydraulic pump 250. The first port 10a of the hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the third hydraulic pump 250 via the third check valve 252.

本実施形態の油圧装置201は、油圧シリンダ10に設けられた第2ポート10bに油タンク5からの作動油を供給して、油圧シリンダ10のピストン12を-X方向に駆動する第4油圧ポンプ260と、第4油圧ポンプ260を駆動する第4モータ261とを備える。また、本実施形態の油圧装置201は、油圧シリンダ10の第2ポート10bから第4油圧ポンプへの作動油の流れを規制する第4チェック弁262を備える。 The hydraulic device 201 of the present embodiment supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the second port 10b provided in the hydraulic cylinder 10, and drives the piston 12 of the hydraulic cylinder 10 in the −X direction. A 260 and a fourth motor 261 for driving the fourth hydraulic pump 260 are provided. Further, the hydraulic device 201 of the present embodiment includes a fourth check valve 262 that regulates the flow of hydraulic oil from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 to the fourth hydraulic pump.

第4油圧ポンプ260には、吐出圧力を検出する圧力センサ(図示せず)と、吐出流量を検出する流量センサ(図示せず)とが内蔵されている。第4モータ261は、回転数可変型のモータである。 The fourth hydraulic pump 260 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The fourth motor 261 is a variable rotation speed type motor.

第4油圧ポンプ260の吐出側は、第2ポート10bと第2油圧ポンプ30との間の流路の第2リリーフ弁132が接続された接続点より第2ポート10b側に接続されている。 The discharge side of the fourth hydraulic pump 260 is connected to the second port 10b side from the connection point to which the second relief valve 132 of the flow path between the second port 10b and the second hydraulic pump 30 is connected.

第4チェック弁262は、油圧シリンダ10と第4油圧ポンプ260との間の流路に配設されている。油圧シリンダ10の第2ポート10bを、第4チェック弁262を介して第4油圧ポンプ260の吐出側に接続している。 The fourth check valve 262 is arranged in the flow path between the hydraulic cylinder 10 and the fourth hydraulic pump 260. The second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the fourth hydraulic pump 260 via the fourth check valve 262.

本実施形態の制御装置40は、第1位置検出センサ3及び第2位置検出センサ4からの可動テーブル2の位置を表す位置検出信号を受けて、第1モータ21を駆動する駆動信号、第2モータ31を駆動する駆動信号、第3モータ251を駆動する駆動信号、及び第4モータ261を駆動する駆動信号を出力する。これにより、制御装置40は、第1モータ21、第2モータ31、第3モータ251、及び第4モータ261のそれぞれの回転数を制御する。 The control device 40 of the present embodiment receives a position detection signal indicating the position of the movable table 2 from the first position detection sensor 3 and the second position detection sensor 4, and drives the first motor 21 as a second drive signal. It outputs a drive signal for driving the motor 31, a drive signal for driving the third motor 251 and a drive signal for driving the fourth motor 261. As a result, the control device 40 controls the rotation speeds of the first motor 21, the second motor 31, the third motor 251 and the fourth motor 261.

以下、図5及び図6を参照して、第3実施形態の油圧装置201の動作を説明する。第3実施形態に係る油圧装置201の動作は、第3油圧ポンプ250及び第4油圧ポンプ260の動作を除いて、第1実施形態に係る油圧装置1の動作と同様である。第3実施形態における油圧装置201の動作において、第1実施形態の油圧装置1の動作と同様の構成については、その説明を省略する。 Hereinafter, the operation of the hydraulic device 201 of the third embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6. The operation of the hydraulic device 201 according to the third embodiment is the same as the operation of the hydraulic device 1 according to the first embodiment, except for the operations of the third hydraulic pump 250 and the fourth hydraulic pump 260. In the operation of the hydraulic device 201 in the third embodiment, the description of the same configuration as the operation of the hydraulic device 1 in the first embodiment will be omitted.

図6は、本実施形態の油圧装置201の動作を示すグラフである。図6において、横軸は時間、縦軸は任意目盛である。図6では、上側から順に、第1油圧ポンプ20の吐出圧力、第1油圧ポンプ20の吐出流量、第3油圧ポンプ250の吐出圧力、第3油圧ポンプ250の吐出流量、第2油圧ポンプ30の吐出圧力、第2油圧ポンプ30の吐出流量、第4油圧ポンプ260の吐出圧力、第4油圧ポンプ260の吐出流量を示している。また、図6では、可動テーブル2が+X方向に駆動し、その後、可動テーブル2の駆動方向が反転して可動テーブル2が-X方向に駆動するときの油圧装置201の動作を示している。 FIG. 6 is a graph showing the operation of the hydraulic device 201 of the present embodiment. In FIG. 6, the horizontal axis is time and the vertical axis is an arbitrary scale. In FIG. 6, in order from the upper side, the discharge pressure of the first hydraulic pump 20, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20, the discharge pressure of the third hydraulic pump 250, the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250, and the second hydraulic pump 30. The discharge pressure, the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30, the discharge pressure of the fourth hydraulic pump 260, and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 are shown. Further, FIG. 6 shows the operation of the hydraulic device 201 when the movable table 2 is driven in the + X direction, and then the drive direction of the movable table 2 is reversed and the movable table 2 is driven in the −X direction.

可動テーブル2を加速させる区間Aの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。また、区間Aの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ250の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第3モータ251の回転数を制御する。 In the control of the section A for accelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. Further, in the control of the section A, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 251 so that the discharge pressure of the third hydraulic pump 250 increases and the discharge flow rate increases.

区間Aの開始時には、第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ251は、停止している。 At the start of the section A, the third motor 251 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 become zero.

一方で、区間Aの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。また、区間Aの制御において制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第4モータ261を停止させている。 On the other hand, in the control of the section A, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases. Further, in the control of the section A, the control device 40 stops the fourth motor 261 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 become zero.

制御装置40による油圧装置201の制御は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Aの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 201 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section A for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section B to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第1モータ21の回転数を制御する。また、区間Bの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第3モータ251の回転数を制御する。 In the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 are constant. Further, in the control of the section B, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 251 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 are constant.

一方で、区間Bの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第2モータ31を停止させている。また、区間Bの制御において、制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第4モータ261を停止させている。 On the other hand, in the control of the section B, the control device 40 stops the second motor 31 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 become zero. Further, in the control of the section B, the control device 40 stops the fourth motor 261 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 become zero.

区間Bの制御では、油圧シリンダ10の第2ポート10bから排出された作動油は、第2リリーフ弁132を介して油タンク5に戻される。 In the control of the section B, the hydraulic oil discharged from the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is returned to the oil tank 5 via the second relief valve 132.

制御装置40による油圧装置201の制御は、第2位置検出センサ4により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御から可動テーブル2を減速させる区間Cの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 201 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section B that drives the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the second position detection sensor 4. The control shifts to the control of the section C to be decelerated.

図6を参照すると、可動テーブル2を減速させる区間Cの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。また、区間Cの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ250の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第3モータ251の回転数を制御する。 Referring to FIG. 6, in the control of the section C for decelerating the movable table 2, the control device 40 reduces the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 and the discharge flow rate, so that the rotation speed of the first motor 21 decreases. To control. Further, in the control of the section C, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 251 so that the discharge pressure of the third hydraulic pump 250 decreases and the discharge flow rate decreases.

一方で、区間Cの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。また、区間Cの制御において、制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第4モータ261を停止させている。 On the other hand, in the control of the section C, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases. Further, in the control of the section C, the control device 40 stops the fourth motor 261 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 become zero.

本実施形態における区間Cの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 The control of the section C in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

制御装置40による油圧装置201の制御は、可動テーブル2の駆動速度がゼロになったとき、可動テーブル2を+X方向に駆動させながら減速させる区間Cの制御から、可動テーブル2を-X方向に駆動させながら可動テーブル2を加速させる区間Dの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 201 by the control device 40 is such that when the drive speed of the movable table 2 becomes zero, the movable table 2 is moved in the −X direction from the control of the section C in which the movable table 2 is driven in the + X direction and decelerated. The control shifts to the control of the section D in which the movable table 2 is accelerated while being driven.

可動テーブル2を加速させる区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御から引き続いて第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。また、区間Dの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ251を停止させている。 In the control of the section D for accelerating the movable table 2, the control device 40 rotates the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 decreases and the discharge flow rate decreases continuously from the control of the section C. Control the number. Further, in the control of the section D, the control device 40 stops the third motor 251 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 become zero.

区間Dの制御の開始時には、第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ251を停止している。 At the start of the control of the section D, the third motor 251 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 become zero.

一方で、区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御から引き続いて第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。また、区間Dの制御において、制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第4モータ261の回転数を制御する。 On the other hand, in the control of the section D, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases continuously from the control of the section C. do. Further, in the control of the section D, the control device 40 controls the rotation speed of the fourth motor 261 so that the discharge pressure of the fourth hydraulic pump 260 increases and the discharge flow rate increases.

区間Dの制御の開始時には、第4油圧ポンプ260の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第4モータ261は停止している。すなわち、第2油圧ポンプ30が油圧シリンダ10の第2ポート10bに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプ30が駆動した後に、第4油圧ポンプ260が駆動する。 At the start of the control of the section D, the fourth motor 261 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 become zero. That is, when the second hydraulic pump 30 supplies hydraulic oil to the second port 10b of the hydraulic cylinder 10, the fourth hydraulic pump 260 is driven after the second hydraulic pump 30 is driven.

本実施形態の区間Cの制御と、区間Cの制御に引き続いて行われる区間Dの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section C of the present embodiment and the control of the section D performed following the control of the section C are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

制御装置40による油圧装置201の制御は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Dの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 201 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section D for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section E to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第1モータ21を停止させている。また、区間Eの制御において、制御装置40は、区間Dの制御から引き続いて第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ251を停止させている。 In the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 stops the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. Further, in the control of the section E, the control device 40 stops the third motor 251 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 continue from the control of the section D to zero.

一方で、区間Eの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第2モータ31の回転数を制御する。また、区間Eの制御において、制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第4モータ261の回転数を制御する。 On the other hand, in the control of the section E, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 are constant. Further, in the control of the section E, the control device 40 controls the rotation speed of the fourth motor 261 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the fourth hydraulic pump 260 are constant.

区間Eの制御では、油圧シリンダ10の第1ポート10aから排出された作動油は、第1リリーフ弁122を介して油タンク5に戻される。 In the control of the section E, the hydraulic oil discharged from the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 is returned to the oil tank 5 via the first relief valve 122.

制御装置40による油圧装置201の制御は、第1位置検出センサ3により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御から可動テーブル2を減速させる区間Fの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 201 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the first position detection sensor 3. The control shifts to the control of the section F to be decelerated.

可動テーブル2を減速させる区間Fの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。区間Fの制御において、制御装置40は、区間Eの制御に引き続いて第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ251を停止させている。 In the control of the section F for decelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. In the control of the section F, the control device 40 stops the third motor 251 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 become zero following the control of the section E.

一方で、区間Fの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。また、区間Fの制御において、制御装置40は、第4油圧ポンプ260の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第4モータ261の回転数を制御する。 On the other hand, in the control of the section F, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases. Further, in the control of the section F, the control device 40 controls the rotation speed of the fourth motor 261 so that the discharge pressure of the fourth hydraulic pump 260 decreases and the discharge flow rate decreases.

本実施形態における区間Fの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 The control of the section F in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

区間Fの制御に引き続いて行われる区間Aの制御の開始時には、第3油圧ポンプ250の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3油圧モータ251は停止している。第1油圧ポンプ20が油圧シリンダ10の第1ポート10aに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプ20が駆動した後に、第3油圧ポンプ250が駆動する。 At the start of the control of the section A following the control of the section F, the third hydraulic motor 251 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 250 become zero. When the first hydraulic pump 20 supplies hydraulic oil to the first port 10a of the hydraulic cylinder 10, the third hydraulic pump 250 is driven after the first hydraulic pump 20 is driven.

本実施形態の区間Fの制御と、区間Fの制御に引き続いて行われる区間Aの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section F of the present embodiment and the control of the section A performed following the control of the section F are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

第3実施形態では、第2実施形態と同様の作用効果を奏する。 In the third embodiment, the same action and effect as those in the second embodiment are obtained.

第1油圧ポンプ20に加えて第3油圧ポンプ250から第1ポート10aに作動油を供給し、第2油圧ポンプ30に加えて第4油圧ポンプ260から第2ポート10bに作動油を供給している。その結果、油圧シリンダ10に供給される作動油の流量を増加して大容量化を図ることができる。 The hydraulic oil is supplied from the third hydraulic pump 250 to the first port 10a in addition to the first hydraulic pump 20, and the hydraulic oil is supplied from the fourth hydraulic pump 260 to the second port 10b in addition to the second hydraulic pump 30. There is. As a result, the flow rate of the hydraulic oil supplied to the hydraulic cylinder 10 can be increased to increase the capacity.

第1油圧ポンプ20が第1ポート10aに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプ20が駆動した後に第3油圧ポンプ250が駆動する。このため、第2油圧ポンプ30及び第4油圧ポンプ260により可動テーブル2が駆動された状態から可動テーブル2の駆動方向を反転するとき、第1油圧ポンプ20から第1ポート10aに供給された作動油の圧力が第2ポート10b側の圧力と対抗することで、可動テーブル2は減速される。 When the first hydraulic pump 20 supplies hydraulic oil to the first port 10a, the third hydraulic pump 250 is driven after the first hydraulic pump 20 is driven. Therefore, when the drive direction of the movable table 2 is reversed from the state in which the movable table 2 is driven by the second hydraulic pump 30 and the fourth hydraulic pump 260, the operation supplied from the first hydraulic pump 20 to the first port 10a. The movable table 2 is decelerated by the pressure of the oil countering the pressure on the side of the second port 10b.

一方で、第2油圧ポンプ30が第2ポート10bに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプ30が駆動した後に第4油圧ポンプ260が駆動する。このため、第1油圧ポンプ20及び第3油圧ポンプ250により可動テーブル2が駆動された状態から可動テーブル2の駆動方向を反転するとき、第2油圧ポンプ30から第2ポート10bに供給された作動油の圧力が第1ポート10a側の圧力と対抗することで、可動テーブル2は減速される。 On the other hand, when the second hydraulic pump 30 supplies hydraulic oil to the second port 10b, the fourth hydraulic pump 260 is driven after the second hydraulic pump 30 is driven. Therefore, when the drive direction of the movable table 2 is reversed from the state in which the movable table 2 is driven by the first hydraulic pump 20 and the third hydraulic pump 250, the operation supplied from the second hydraulic pump 30 to the second port 10b. The movable table 2 is decelerated by the pressure of the oil countering the pressure on the first port 10a side.

すなわち、可動テーブル2の駆動方向を反転するときの可動テーブル2の減速は、駆動側の2つの油圧ポンプの制御と、制動側の1つの油圧ポンプの制御によって行われる。その結果、可動テーブル2の駆動方向を反転させる反転制御において、制動側においても2つの油圧ポンプを制御する場合と比較して、反転制御を簡素にできる。 That is, the deceleration of the movable table 2 when the drive direction of the movable table 2 is reversed is controlled by the control of two hydraulic pumps on the drive side and the control of one hydraulic pump on the braking side. As a result, in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table 2, the reversal control can be simplified as compared with the case where the two hydraulic pumps are controlled even on the braking side.

[第4実施形態]
図7は、第4実施形態に係る油圧装置301を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。第4実施形態の油圧装置301は、第3油圧ポンプ350、第3モータ351、第3チェック弁352、及び方向切換弁370を除いて、第2実施形態の油圧装置101と同様の構成を有している。第4実施形態において、第2実施形態と同様の構成には、同一の参照符号を付して示し、その詳細な説明を省略する。
[Fourth Embodiment]
FIG. 7 is a schematic block diagram of a large surface grinding machine using the hydraulic device 301 according to the fourth embodiment. The hydraulic device 301 of the fourth embodiment has the same configuration as the hydraulic device 101 of the second embodiment except for the third hydraulic pump 350, the third motor 351, the third check valve 352, and the direction switching valve 370. is doing. In the fourth embodiment, the same configurations as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図7を参照すると、本実施形態の油圧装置301は、油圧シリンダ10に油タンク5からの作動油を供給する第3油圧ポンプ350と、第3油圧ポンプ350を駆動する第3モータ351とを備える。また、本実施形態の油圧装置301は、第3油圧ポンプ350から吐出された作動油の供給先を切り替える方向切換弁370と、油圧シリンダ10から第3油圧ポンプ350への作動油の流れを規制する第3チェック弁352とを備える。本実施形態の方向切換弁370は、本開示に係る切換弁の一例である。 Referring to FIG. 7, the hydraulic device 301 of the present embodiment has a third hydraulic pump 350 that supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the hydraulic cylinder 10, and a third motor 351 that drives the third hydraulic pump 350. Be prepared. Further, the hydraulic device 301 of the present embodiment regulates the direction switching valve 370 for switching the supply destination of the hydraulic oil discharged from the third hydraulic pump 350 and the flow of the hydraulic oil from the hydraulic cylinder 10 to the third hydraulic pump 350. A third check valve 352 is provided. The directional switching valve 370 of the present embodiment is an example of the switching valve according to the present disclosure.

第3油圧ポンプ350には、吐出圧力を検出する圧力センサ(図示せず)と、吐出流量を検出する流量センサ(図示せず)とが内蔵されている。第3モータ351は、回転数可変型のモータである。 The third hydraulic pump 350 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The third motor 351 is a variable rotation speed type motor.

本実施形態の方向切換弁370は、電磁パイロット切換弁である。 The directional switching valve 370 of the present embodiment is an electromagnetic pilot switching valve.

方向切換弁370は、第1ソレノイド371が励磁かつ第2ソレノイド372が非励磁の場合、左側の第1切換位置となる。第1切換位置では、油圧シリンダ10の第1ポート10aと、第3油圧ポンプ350の吐出側とが連通する。 The directional control valve 370 is in the first switching position on the left side when the first solenoid 371 is excited and the second solenoid 372 is not excited. At the first switching position, the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the third hydraulic pump 350 communicate with each other.

一方で、第1ソレノイド371が非励磁かつ第2ソレノイド372が励磁の場合、右側の第2切換位置となる。第2切換位置では、油圧シリンダ10の第2ポート10bと、第3油圧ポンプ350の吐出側とが連通する。 On the other hand, when the first solenoid 371 is not excited and the second solenoid 372 is excited, the second switching position is on the right side. At the second switching position, the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the third hydraulic pump 350 communicate with each other.

方向切換弁370は、第1ソレノイド371が非励磁かつ第2ソレノイド372が非励磁の場合、中立位置となる。中立位置では、第3油圧ポンプ350と、油圧シリンダ10との連通が遮断されている。 The directional control valve 370 is in the neutral position when the first solenoid 371 is not excited and the second solenoid 372 is not excited. In the neutral position, the communication between the third hydraulic pump 350 and the hydraulic cylinder 10 is cut off.

本実施形態の方向切換弁370は、方向切換弁370を第1切換位置に切り替えるためのパイロットポート373を有している。パイロットポート373は、第3油圧ポンプ350の吐出側と接続されている。 The directional switching valve 370 of the present embodiment has a pilot port 373 for switching the directional switching valve 370 to the first switching position. The pilot port 373 is connected to the discharge side of the third hydraulic pump 350.

第3チェック弁352は、方向切換弁370と第3油圧ポンプ350との間の流路に配設されている。油圧シリンダ10を、第3チェック弁352を介して第3油圧ポンプ350の吐出側に接続している。 The third check valve 352 is arranged in the flow path between the directional control valve 370 and the third hydraulic pump 350. The hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the third hydraulic pump 350 via the third check valve 352.

本実施形態の制御装置40は、第1位置検出センサ3及び第2位置検出センサ4からの可動テーブル2の位置を表す位置検出信号を受けて、第1モータ21を駆動する駆動信号、第2モータ31を駆動する駆動信号、及び第3モータ251を駆動する駆動信号と、第1ソレノイド371及び第2ソレノイド372を励磁する励磁信号を出力する。これにより、制御装置40は、第1モータ21、第2モータ31、第3モータ251のそれぞれの回転数と、方向切換弁370の切換位置を制御する。 The control device 40 of the present embodiment receives a position detection signal indicating the position of the movable table 2 from the first position detection sensor 3 and the second position detection sensor 4, and drives the first motor 21 as a second drive signal. It outputs a drive signal for driving the motor 31, a drive signal for driving the third motor 251 and an excitation signal for exciting the first solenoid 371 and the second solenoid 372. As a result, the control device 40 controls the rotation speeds of the first motor 21, the second motor 31, and the third motor 251 and the switching position of the directional switching valve 370.

以下、図7及び図8を参照して、本実施形態の油圧装置301の制御を説明する。第4実施形態に係る油圧装置301の動作は、第3油圧ポンプ350及び方向切換弁370の動作を除いて、第1実施形態に係る油圧装置1の動作と同様である。第4実施形態における油圧装置301の動作において、第1実施形態の油圧装置1の動作と同様の構成については、その説明を省略する。 Hereinafter, the control of the hydraulic device 301 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 7 and 8. The operation of the hydraulic device 301 according to the fourth embodiment is the same as the operation of the hydraulic device 1 according to the first embodiment, except for the operation of the third hydraulic pump 350 and the direction switching valve 370. In the operation of the hydraulic device 301 in the fourth embodiment, the description of the same configuration as the operation of the hydraulic device 1 in the first embodiment will be omitted.

図8は、本実施形態の油圧装置301の動作を示すグラフである。図8において、横軸は時間、縦軸は任意目盛である。図8では、上側から順に、第1油圧ポンプ20の吐出圧力、第1油圧ポンプ20の吐出流量、第2油圧ポンプ30の吐出圧力、第2油圧ポンプ30の吐出流量、第3油圧ポンプ350の吐出圧力、第3油圧ポンプ350の吐出流量、第1ソレノイド371の励磁状態、第2ソレノイド372の励磁状態を示している。また、図8では、可動テーブル2が+X方向に駆動し、そして、可動テーブル2の駆動方向が反転し、その後、可動テーブル2が-X方向に駆動するときの油圧装置201の動作を示している。 FIG. 8 is a graph showing the operation of the hydraulic device 301 of the present embodiment. In FIG. 8, the horizontal axis is time and the vertical axis is an arbitrary scale. In FIG. 8, in order from the upper side, the discharge pressure of the first hydraulic pump 20, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20, the discharge pressure of the second hydraulic pump 30, the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30, and the third hydraulic pump 350. The discharge pressure, the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350, the excited state of the first solenoid 371, and the excited state of the second solenoid 372 are shown. Further, FIG. 8 shows the operation of the hydraulic device 201 when the movable table 2 is driven in the + X direction, the drive direction of the movable table 2 is reversed, and then the movable table 2 is driven in the −X direction. There is.

可動テーブル2を加速させる区間Aの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Aの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section A for accelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. On the other hand, in the control of the section A, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases.

区間Aの制御の開始時には、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ351は停止している。また、区間Aの制御の開始時には、第1ソレノイド371はオフであり、第2ソレノイド372はオフである。 At the start of the control of the section A, the third motor 351 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 become zero. Further, at the start of the control of the section A, the first solenoid 371 is off and the second solenoid 372 is off.

区間Aの制御において、制御装置40は、第1ソレノイド371をオンにし、その後、第3油圧ポンプ350を駆動する。第1ソレノイド371をオンにすると、方向切換弁370が第1切換位置に切り換わり、油圧シリンダ10の第1ポート10aと、第3油圧ポンプ350の吐出側が連通する。その後、第3油圧ポンプ350を駆動すると、第3油圧ポンプ350から吐出された作動油が油圧シリンダ10の第1ポート10aに供給される。 In the control of the section A, the control device 40 turns on the first solenoid 371 and then drives the third hydraulic pump 350. When the first solenoid 371 is turned on, the direction switching valve 370 switches to the first switching position, and the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the third hydraulic pump 350 communicate with each other. After that, when the third hydraulic pump 350 is driven, the hydraulic oil discharged from the third hydraulic pump 350 is supplied to the first port 10a of the hydraulic cylinder 10.

区間Aの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力を上昇させ、吐出流量を増加するように、第3モータ351の回転数を制御する。 In the control of the section A, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so as to increase the discharge pressure of the third hydraulic pump 350 and increase the discharge flow rate.

制御装置40による油圧装置301の制御は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Aの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 301 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section A for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section B to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Bの制御において、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第2モータ31を停止させている。 In the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 are constant. On the other hand, in the control of the section B, the second motor 31 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 become zero.

区間Bの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第3モータ351の回転数を制御する。また、区間Bの制御において、第1ソレノイド371は、区間Aの制御に引き続いてオンであり、第2ソレノイド372は、区間Aの制御に引き続いてオフである。 In the control of the section B, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 are constant. Further, in the control of the section B, the first solenoid 371 is on following the control of the section A, and the second solenoid 372 is turned off following the control of the section A.

制御装置40による油圧装置301の制御は、第2位置検出センサ4により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Bの制御から可動テーブル2を減速させる区間Cの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 301 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section B that drives the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the second position detection sensor 4. The control shifts to the control of the section C to be decelerated.

図6を参照すると、可動テーブル2を減速させる区間Cの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Cの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。本実施形態における区間Cの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 Referring to FIG. 6, in the control of the section C for decelerating the movable table 2, the control device 40 reduces the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 and the discharge flow rate, so that the rotation speed of the first motor 21 decreases. To control. On the other hand, in the control of the section C, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases. The control of the section C in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

区間Cの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第3モータ351の回転数を制御する。区間Cの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量がゼロに至った後に、第1ソレノイド371をオフにする。 In the control of the section C, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so that the discharge pressure of the third hydraulic pump 350 decreases and the discharge flow rate decreases. In the control of the section C, the control device 40 turns off the first solenoid 371 after the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 reach zero.

制御装置40による油圧装置301の制御は、可動テーブル2の駆動速度がゼロになったとき、可動テーブル2を+X方向に駆動させながら減速させる区間Cの制御から、可動テーブル2を-X方向に駆動させながら可動テーブル2を加速させる区間Dの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 301 by the control device 40 is such that when the drive speed of the movable table 2 becomes zero, the movable table 2 is moved in the −X direction from the control of the section C in which the movable table 2 is driven in the + X direction and decelerated. The control shifts to the control of the section D in which the movable table 2 is accelerated while being driven.

可動テーブル2を加速させる区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御に引き続いて第1油圧ポンプ20の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Dの制御において、制御装置40は、区間Cの制御から引き続いて第2油圧ポンプ30の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section D for accelerating the movable table 2, the control device 40 rotates the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 decreases and the discharge flow rate decreases following the control of the section C. Control the number. On the other hand, in the control of the section D, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 increases and the discharge flow rate increases continuously from the control of the section C. do.

区間Dの制御の開始時には、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ351は停止している。また、区間Dの制御の開始時には、第1ソレノイド371はオフであり、第2ソレノイド372はオフである。 At the start of the control of the section D, the third motor 351 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 become zero. Further, at the start of the control of the section D, the first solenoid 371 is off and the second solenoid 372 is off.

区間Dの制御において、制御装置40は、第2ソレノイド372をオンにし、その後、第3油圧ポンプ350を駆動する。第2ソレノイド372をオンにすると、方向切換弁370が第2切換位置に切り換わり、油圧シリンダ10の第2ポート10bと、第3油圧ポンプ350の吐出側が連通する。その後、第3油圧ポンプ350を駆動すると、第3油圧ポンプ350から吐出された作動油が油圧シリンダ10の第2ポート10bに供給される。 In the control of the section D, the control device 40 turns on the second solenoid 372 and then drives the third hydraulic pump 350. When the second solenoid 372 is turned on, the direction switching valve 370 switches to the second switching position, and the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the third hydraulic pump 350 communicate with each other. After that, when the third hydraulic pump 350 is driven, the hydraulic oil discharged from the third hydraulic pump 350 is supplied to the second port 10b of the hydraulic cylinder 10.

区間Dの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第3モータ351の回転数を制御する。第2油圧ポンプ30が油圧シリンダ10の第2ポート10bに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプ30が駆動した後に、第3ポンプ350が駆動する。 In the control of the section D, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so that the discharge pressure of the third hydraulic pump 350 increases and the discharge flow rate increases. When the second hydraulic pump 30 supplies hydraulic oil to the second port 10b of the hydraulic cylinder 10, the third pump 350 is driven after the second hydraulic pump 30 is driven.

本実施形態の区間Cの制御と、区間Cの制御に引き続いて行われる区間Dの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section C of the present embodiment and the control of the section D performed following the control of the section C are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

制御装置40による油圧装置301の制御は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル2を加速させる区間Dの制御から可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 301 by the control device 40 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section D for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section E to be driven.

可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第1モータ21を停止させている。一方で、区間Eの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第2モータ31の回転数を制御する。 In the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 40 stops the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. On the other hand, in the control of the section E, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the second hydraulic pump 30 are constant.

区間Eの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第3モータ351の回転数を制御する。また、区間Eの制御において、第1ソレノイド371は、区間Dの制御に引き続いてオフであり、第2ソレノイド372は、区間Dの制御に引き続いてオンである。 In the control of the section E, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 are constant. Further, in the control of the section E, the first solenoid 371 is turned off following the control of the section D, and the second solenoid 372 is turned on following the control of the section D.

制御装置40による油圧装置301の制御は、第1位置検出センサ3により可動テーブル2の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル2を定速で駆動させる区間Eの制御から可動テーブル2を減速させる区間Fの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 301 by the control device 40 is to control the movable table 2 from the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the first position detection sensor 3. The control shifts to the control of the section F to be decelerated.

可動テーブル2を減速させる区間Fの制御において、制御装置40は、第1油圧ポンプ20の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第1モータ21の回転数を制御する。一方で、区間Fの制御において、制御装置40は、第2油圧ポンプ30の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第2モータ31の回転数を制御する。本実施形態における区間Fの制御は、本開示に係る減速制御の一例である。 In the control of the section F for decelerating the movable table 2, the control device 40 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases. On the other hand, in the control of the section F, the control device 40 controls the rotation speed of the second motor 31 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 30 decreases and the discharge flow rate decreases. The control of the section F in the present embodiment is an example of the deceleration control according to the present disclosure.

区間Fの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第3モータ351の回転数を制御する。区間Fの制御において、制御装置40は、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量がゼロに至った後に、第2ソレノイド372をオフにする。 In the control of the section F, the control device 40 controls the rotation speed of the third motor 351 so that the discharge pressure of the third hydraulic pump 350 decreases and the discharge flow rate decreases. In the control of the section F, the control device 40 turns off the second solenoid 372 after the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 reach zero.

また、区間Fの制御に引き続いて行われる区間Aの制御の開始時には、第3油圧ポンプ350の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第3モータ351は停止している。第1油圧ポンプ20が油圧シリンダ10の第1ポート10aに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプ20が駆動した後に、第3油圧ポンプ350が駆動する。また、区間Aの制御の開始時には、第1ソレノイド371はオフであり、第2ソレノイド372はオフである。 Further, at the start of the control of the section A following the control of the section F, the third motor 351 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the third hydraulic pump 350 become zero. When the first hydraulic pump 20 supplies hydraulic oil to the first port 10a of the hydraulic cylinder 10, the third hydraulic pump 350 is driven after the first hydraulic pump 20 is driven. Further, at the start of the control of the section A, the first solenoid 371 is off and the second solenoid 372 is off.

本実施形態の区間Fの制御と、区間Fの制御に引き続いて行われる区間Aの制御とを併せた制御が開示に係る反転制御の一例である。 The control in which the control of the section F of the present embodiment and the control of the section A performed following the control of the section F are combined is an example of the reversal control according to the disclosure.

第4実施形態では、第2実施形態と同様の作用効果を奏する。 In the fourth embodiment, the same action and effect as those in the second embodiment are obtained.

第3油圧ポンプ350からの作動油の供給先を方向切換弁370によって第1ポート10a又は第2ポート10bのいずれかに切り替えられる。その結果、第1ポート10aと第2ポート10bとのそれぞれに作動油を供給するために油圧ポンプを別個に設ける場合と比較して、油圧装置301のコストを低減でき、油圧装置301の大型化を抑制しつつ大容量化を実現できる。 The supply destination of the hydraulic oil from the third hydraulic pump 350 is switched to either the first port 10a or the second port 10b by the directional control valve 370. As a result, the cost of the hydraulic device 301 can be reduced and the size of the hydraulic device 301 is increased as compared with the case where the hydraulic pumps are separately provided to supply the hydraulic oil to each of the first port 10a and the second port 10b. It is possible to realize a large capacity while suppressing the pressure.

第1油圧ポンプ20が第1ポート10aに作動油を供給するとき、第1油圧ポンプ20が駆動した後に第3油圧ポンプ350が駆動する。このため、第2油圧ポンプ30及び第3油圧ポンプ350により可動テーブル2が駆動された状態から可動テーブル2の駆動方向を反転するとき、第1油圧ポンプ20から第1ポート10aに供給された作動油の圧力が第2ポート10b側の圧力と対抗することで、可動テーブルは減速される。 When the first hydraulic pump 20 supplies hydraulic oil to the first port 10a, the third hydraulic pump 350 is driven after the first hydraulic pump 20 is driven. Therefore, when the drive direction of the movable table 2 is reversed from the state in which the movable table 2 is driven by the second hydraulic pump 30 and the third hydraulic pump 350, the operation supplied from the first hydraulic pump 20 to the first port 10a. The movable table is decelerated by the pressure of the oil countering the pressure on the side of the second port 10b.

一方で、第2油圧ポンプ30が第2ポート10bに作動油を供給するとき、第2油圧ポンプ30が駆動した後に第3油圧ポンプ350が駆動する。このため、第1油圧ポンプ20及び第3油圧ポンプ350により可動テーブル2が駆動された状態から可動テーブル2の駆動方向を反転するとき、第2油圧ポンプ30から第2ポート10bに供給された作動油の圧力が第1ポート10a側の圧力と対抗することで、可動テーブル2は減速される。 On the other hand, when the second hydraulic pump 30 supplies hydraulic oil to the second port 10b, the third hydraulic pump 350 is driven after the second hydraulic pump 30 is driven. Therefore, when the drive direction of the movable table 2 is reversed from the state in which the movable table 2 is driven by the first hydraulic pump 20 and the third hydraulic pump 350, the operation supplied from the second hydraulic pump 30 to the second port 10b. The movable table 2 is decelerated by the pressure of the oil countering the pressure on the first port 10a side.

すなわち、可動テーブル2の駆動方向を反転するときの可動テーブル2の減速は、駆動側の2つの油圧ポンプの制御と、制動側の1つの油圧ポンプの制御によって行われる。その結果、可動テーブル2の駆動方向を反転させる反転制御において、制動側においても2つの油圧ポンプを制御する場合と比較して、反転制御を簡素にできる。 That is, the deceleration of the movable table 2 when the drive direction of the movable table 2 is reversed is controlled by the control of two hydraulic pumps on the drive side and the control of one hydraulic pump on the braking side. As a result, in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table 2, the reversal control can be simplified as compared with the case where the two hydraulic pumps are controlled even on the braking side.

以上、実施形態を説明したが、特許請求の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。 Although the embodiments have been described above, it will be understood that various modifications of the embodiments and details are possible without departing from the purpose and scope of the claims.

1 油圧装置
2 可動テーブル
3 第1位置検出センサ
4 第2位置検出センサ
5 油タンク
10 油圧シリンダ(アクチュエータ)
10a 第1ポート
10b 第2ポート
11 シリンダチューブ
12 ピストン
13A,13B ピストンロッド
20 第1油圧ポンプ
21 第1モータ
30 第2油圧ポンプ
31 第2モータ
40 制御装置
101 油圧装置
122 第1リリーフ弁
122a 入口ポート
122b 出口ポート
122c パイロットポート
123 第1チェック弁
132 第2リリーフ弁
132a 入口ポート
132b 出口ポート
132c パイロットポート
133 第2チェック弁
201 油圧装置
250 第3油圧ポンプ
251 第3モータ
252 第3チェック弁
260 第4油圧ポンプ
261 第4モータ
262 第4チェック弁
301 油圧装置
350 第3油圧ポンプ
351 第3モータ
352 第3チェック弁
370 方向切換弁(切換弁)
371 第1ソレノイド
372 第2ソレノイド
373 パイロットポート
1 Hydraulic device 2 Movable table 3 1st position detection sensor 4 2nd position detection sensor 5 Oil tank 10 Hydraulic cylinder (actuator)
10a 1st port 10b 2nd port 11 Cylinder tube 12 Piston 13A, 13B Piston rod 20 1st hydraulic pump 21 1st motor 30 2nd hydraulic pump 31 2nd motor 40 Control device 101 Hydraulic device 122 1st relief valve 122a Inlet port 122b Outlet port 122c Pilot port 123 1st check valve 132 2nd relief valve 132a Inlet port 132b Outlet port 132c Pilot port 133 2nd check valve 201 Hydraulic device 250 3rd hydraulic pump 251 3rd motor 252 3rd check valve 260 4th Hydraulic pump 261 4th motor 262 4th check valve 301 Hydraulic device 350 3rd hydraulic pump 351 3rd motor 352 3rd check valve 370 Direction switching valve (switching valve)
371 1st solenoid 372 2nd solenoid 373 Pilot port

Claims (6)

可動テーブル(2)を往復駆動すると共に、第1ポート(10a)及び第2ポート(10b)を有するアクチュエータ(10)と、
上記可動テーブル(2)を第1方向に駆動するとき、上記第1ポート(10a)に作動油を供給する第1油圧ポンプ(20)と、
上記第1油圧ポンプ(20)を駆動する第1モータ(21)と、
上記可動テーブル(2)を上記第1方向とは反対の第2方向に駆動するとき、上記第2ポート(10b)に作動油を供給する第2油圧ポンプ(30)と、
上記第2油圧ポンプ(30)を駆動する第2モータ(31)と、
制御装置(40)と
を備え、
上記制御装置(40)は、上記可動テーブル(2)の駆動方向を反転させる反転制御において、上記第1油圧ポンプ(20)と上記第2油圧ポンプ(30)とのうちの一方の吐出圧力が低下するとともに、上記第1油圧ポンプ(20)と上記第2油圧ポンプ(30)とのうちの他方の吐出圧力が上昇するように、上記第1モータ(21)及び上記第2モータ(31)を制御する、油圧装置。
An actuator (10) having a first port (10a) and a second port (10b) while reciprocating the movable table (2).
When the movable table (2) is driven in the first direction, the first hydraulic pump (20) that supplies hydraulic oil to the first port (10a) and the first hydraulic pump (20).
The first motor (21) that drives the first hydraulic pump (20) and
When the movable table (2) is driven in the second direction opposite to the first direction, the second hydraulic pump (30) that supplies hydraulic oil to the second port (10b),
The second motor (31) for driving the second hydraulic pump (30) and
Equipped with a control device (40)
In the control device (40), in the reversal control for reversing the drive direction of the movable table (2), the discharge pressure of one of the first hydraulic pump (20) and the second hydraulic pump (30) is set. The first motor (21) and the second motor (31) so that the discharge pressure of the other of the first hydraulic pump (20) and the second hydraulic pump (30) increases as the pressure decreases. A hydraulic device that controls.
上記第1ポート(10a)から排出される作動油を油タンク(5)に戻す第1リリーフ弁(122)と、
上記第1ポート(10a)と上記第1油圧ポンプ(20)の吐出口との間の流路において上記第1リリーフ弁(122)が接続される接続点よりも上記第1油圧ポンプ(20)に近い位置に配設され、上記第1ポート(10a)から上記第1油圧ポンプ(20)への作動油の流れを規制する防止する第1チェック弁(123)と、
上記第2ポート(10b)から排出される作動油を上記油タンク(5)に戻す第2リリーフ弁(132)と、
上記第2ポート(10b)と上記第2油圧ポンプ(30)の吐出口との間の流路において、上記第2リリーフ弁(132)が接続される接続点よりも上記第2油圧ポンプ(30)に近い位置に配設され、上記第2ポート(10b)から上記第2油圧ポンプ(30)への作動油の流れを規制する第2チェック弁(133)と
を備える、請求項1に記載の油圧装置。
The first relief valve (122) that returns the hydraulic oil discharged from the first port (10a) to the oil tank (5), and
The first hydraulic pump (20) is located at a connection point to which the first relief valve (122) is connected in the flow path between the first port (10a) and the discharge port of the first hydraulic pump (20). A first check valve (123), which is arranged close to the above and prevents the flow of hydraulic oil from the first port (10a) to the first hydraulic pump (20).
A second relief valve (132) that returns the hydraulic oil discharged from the second port (10b) to the oil tank (5), and
In the flow path between the second port (10b) and the discharge port of the second hydraulic pump (30), the second hydraulic pump (30) is more than the connection point to which the second relief valve (132) is connected. ), A second check valve (133) that regulates the flow of hydraulic oil from the second port (10b) to the second hydraulic pump (30). Hydraulic device.
上記第1ポート(10a)に作動油を供給する第3油圧ポンプ(250)と、
上記第3油圧ポンプ(250)を駆動する第3モータ(251)と、
上記第2ポート(10b)に作動油を供給する第4油圧ポンプ(260)と、
上記第4油圧ポンプ(260)を駆動する第4モータ(261)と
を備え、
上記制御装置(40)は、
上記第1油圧ポンプ(20)が上記第1ポート(10a)に作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプ(20)の吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプ(250)の吐出圧力が上昇するように、上記第3モータ(251)を制御し、
上記第2油圧ポンプ(30)が上記第2ポート(10b)に作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプ(30)の吐出圧力の上昇中に、上記第4油圧ポンプ(260)の吐出圧力が上昇するように、上記第4モータ(261)を制御する、請求項1又は2に記載の油圧装置。
A third hydraulic pump (250) that supplies hydraulic oil to the first port (10a),
The third motor (251) that drives the third hydraulic pump (250) and
A fourth hydraulic pump (260) that supplies hydraulic oil to the second port (10b), and
It is equipped with a fourth motor (261) that drives the fourth hydraulic pump (260).
The control device (40) is
When the first hydraulic pump (20) supplies hydraulic oil to the first port (10a), the third hydraulic pump (250) is discharged while the discharge pressure of the first hydraulic pump (20) is increasing. The third motor (251) is controlled so that the pressure rises.
When the second hydraulic pump (30) supplies hydraulic oil to the second port (10b), the discharge of the fourth hydraulic pump (260) is performed while the discharge pressure of the second hydraulic pump (30) is increasing. The hydraulic device according to claim 1 or 2, which controls the fourth motor (261) so that the pressure rises.
上記反転制御は、上記可動テーブル(2)を減速させる減速制御を含み、
上記制御装置(40)は、
上記減速制御において、上記第1油圧ポンプ(20)が上記第1ポート(10a)に作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプ(20)が駆動した後に上記第3油圧ポンプ(250)が駆動するように、上記第1モータ(21)及び上記第3モータ(251)を制御し、
上記減速制御において、上記第2油圧ポンプ(30)が上記第2ポート(10b)に作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプ(30)を駆動した後に上記第4油圧ポンプ(260)が駆動するように、上記第2モータ(31)及び上記第4モータ(261)を制御する、請求項3に記載の油圧装置。
The reversal control includes deceleration control for decelerating the movable table (2).
The control device (40) is
In the deceleration control, when the first hydraulic pump (20) supplies hydraulic oil to the first port (10a), the third hydraulic pump (250) is driven after the first hydraulic pump (20) is driven. The first motor (21) and the third motor (251) are controlled so as to be driven.
In the deceleration control, when the second hydraulic pump (30) supplies hydraulic oil to the second port (10b), the fourth hydraulic pump (260) drives the second hydraulic pump (30) and then the fourth hydraulic pump (260). The hydraulic device according to claim 3, wherein the second motor (31) and the fourth motor (261) are controlled so as to be driven.
上記アクチュエータ(10)に作動油を供給する第3油圧ポンプ(350)と、
上記第3油圧ポンプ(350)を駆動する第3モータ(351)と、
上記第3油圧ポンプ(350)と上記第1ポート(10a)とを連通する第1切換位置と、上記第3油圧ポンプ(350)と上記第2ポート(10b)とを連通する第2切換位置とを切り替える切換弁(370)と
を備え、
上記制御装置(40)は、
上記第1油圧ポンプ(20)が上記第1ポート(10a)に作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプ(20)の吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプ(350)の吐出圧力が上昇するように、上記第3モータ(351)及び上記切換弁(370)を制御し、
上記第2油圧ポンプ(30)が上記第2ポート(10b)に作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプ(30)の吐出圧力の上昇中に、上記第3油圧ポンプ(350)の吐出圧力が上昇するように、上記第3モータ(351)及び上記切換弁(370)を制御する、請求項1又は2に記載の油圧装置。
A third hydraulic pump (350) that supplies hydraulic oil to the actuator (10),
The third motor (351) that drives the third hydraulic pump (350) and
The first switching position for communicating the third hydraulic pump (350) and the first port (10a), and the second switching position for communicating the third hydraulic pump (350) and the second port (10b). Equipped with a switching valve (370) to switch between
The control device (40) is
When the first hydraulic pump (20) supplies hydraulic oil to the first port (10a), the discharge of the third hydraulic pump (350) is performed while the discharge pressure of the first hydraulic pump (20) is increasing. The third motor (351) and the switching valve (370) are controlled so that the pressure rises.
When the second hydraulic pump (30) supplies hydraulic oil to the second port (10b), the discharge of the third hydraulic pump (350) is performed while the discharge pressure of the second hydraulic pump (30) is increasing. The hydraulic device according to claim 1 or 2, which controls the third motor (351) and the switching valve (370) so that the pressure rises.
上記反転制御は、上記可動テーブル(2)を減速させる減速制御を含み、
上記制御装置(40)は、
上記減速制御において、上記第1油圧ポンプ(20)が上記第1ポート(10a)に作動油を供給するとき、上記第1油圧ポンプ(20)を駆動した後に上記第3油圧ポンプ(350)が駆動するように、上記第1モータ(21)及び上記第3モータ(351)を制御し、
上記減速制御において、上記第2油圧ポンプ(30)が上記第2ポート(10b)に作動油を供給するとき、上記第2油圧ポンプ(30)を駆動した後に上記第3油圧ポンプ(350)が駆動するように、上記第2モータ(31)及び上記第3モータ(351)を制御する、請求項5に記載の油圧装置。
The reversal control includes deceleration control for decelerating the movable table (2).
The control device (40) is
In the deceleration control, when the first hydraulic pump (20) supplies hydraulic oil to the first port (10a), the third hydraulic pump (350) drives the first hydraulic pump (20) and then the third hydraulic pump (350). The first motor (21) and the third motor (351) are controlled so as to be driven.
In the deceleration control, when the second hydraulic pump (30) supplies hydraulic oil to the second port (10b), the third hydraulic pump (350) drives the second hydraulic pump (30) and then the third hydraulic pump (350). The hydraulic device according to claim 5, which controls the second motor (31) and the third motor (351) so as to be driven.
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