JP2022019386A

JP2022019386A - Hydraulic system

Info

Publication number: JP2022019386A
Application number: JP2020123194A
Authority: JP
Inventors: 淳浩上林; Atsuhiro Kamibayashi; 博一中村; Hiroichi Nakamura
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 2020-07-17
Filing date: 2020-07-17
Publication date: 2022-01-27

Abstract

To propose a hydraulic system which can easily reduce an impact caused when a driving direction of a movable table is reversed.SOLUTION: A hydraulic system (1) includes: an actuator (10) which drives a movable table (2) in a reciprocating manner and has a first port (10a) and a second port (10b); a first hydraulic pump (20) which supplies a working fluid in an oil tank (5) to the actuator (10); a first motor (21) which drives the first hydraulic pump (20); a relief valve (40) which returns the working fluid discharged from the actuator (10) to the oil tank (5); a second hydraulic pump (50) which is connected at the discharge side to a vent port (41) of the relief valve (40); a second motor (51) which drives the second hydraulic pump (50); a switching valve (60); and a control unit (70). The control unit (70) controls the second motor (51) so as to adjust a vent pressure of the relief valve (40, 140).SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、油圧装置に関する。 The present disclosure relates to hydraulic equipment.

従来の平面研削盤としては、２つの圧力室を有するシリンダと、シリンダの２つの圧力室にそれぞれ接続された２つのポートを有する双方向油圧ポンプとを含む油圧装置を用いて可動テーブルを往復移動させるものがある（特許文献１参照）。上記平面研削盤では、可動テーブルの移動方向を反転させるとき、シリンダの一方の圧力室から流出した作動油を、双方向油圧ポンプを介して他方の圧力室に流入させて可動テーブルを減速することで、減速に伴う衝撃の抑制を図っている。 A conventional surface grinder reciprocates a movable table using a hydraulic device including a cylinder having two pressure chambers and a bidirectional hydraulic pump having two ports connected to each of the two pressure chambers of the cylinder. There is something to do (see Patent Document 1). In the above-mentioned surface grinder, when the moving direction of the movable table is reversed, the hydraulic oil flowing out from one pressure chamber of the cylinder flows into the other pressure chamber via a bidirectional hydraulic pump to decelerate the movable table. Therefore, the impact caused by deceleration is suppressed.

特開２０１３－２２６６３４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-226634

上記従来の平面研削盤に用いられた油圧装置では、大型の可動テーブルに対応するためにシリンダに供給する作動油の流量を増加させる大容量化の要請がある。しかし、上記油圧装置では、複数の双方向油圧ポンプをシリンダに対して並列に接続しようとすると、複数の双方向油圧ポンプの制御が困難になるため、反転時の衝撃を低減するのは容易でないという問題がある。このため、上記油圧装置は、大容量の平面研削盤には適さない。 In the hydraulic device used in the conventional surface grinding machine, there is a demand for a large capacity to increase the flow rate of hydraulic oil supplied to the cylinder in order to accommodate a large movable table. However, in the above hydraulic device, if it is attempted to connect a plurality of bidirectional hydraulic pumps in parallel to the cylinder, it is difficult to control the plurality of bidirectional hydraulic pumps, so that it is not easy to reduce the impact at the time of reversal. There is a problem. Therefore, the hydraulic device is not suitable for a large-capacity surface grinding machine.

本開示は、可動テーブルの駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる油圧装置を提案する。 The present disclosure proposes a hydraulic device that can easily reduce an impact when reversing the driving direction of a movable table.

本開示の油圧装置は、
可動テーブルを往復駆動すると共に、上記可動テーブルを第１方向に駆動するときに作動油が供給される第１ポートと、上記可動テーブルを第２方向に駆動するときに作動油が供給される第２ポートとを有するアクチュエータと、
油タンクの作動油を上記アクチュエータに供給する第１油圧ポンプと、
上記第１油圧ポンプを駆動する第１モータと、
上記アクチュエータから排出される作動油を上記油タンクに戻すリリーフ弁と、
上記リリーフ弁のベントポートに吐出側が接続された第２油圧ポンプと、
上記第２油圧ポンプを駆動する第２モータと、
上記第１ポートと上記第１油圧ポンプとを連通し、上記第２ポートと上記リリーフ弁とを連通する第１切換位置と、上記第１ポートと上記リリーフ弁とを連通し、上記第２ポートと上記第１油圧ポンプとを連通する第２切換位置とを切り替える切換弁と、
上記第１モータ、上記第２モータ、及び上記切換弁を制御する制御装置と
を備え、
上記制御装置が上記第２モータを制御することによって、上記リリーフ弁のベント圧が調整可能であることを特徴とする。 The hydraulic system of the present disclosure is
The first port to which the hydraulic oil is supplied when the movable table is reciprocated and the movable table is driven in the first direction, and the first port to which the hydraulic oil is supplied when the movable table is driven in the second direction. An actuator with 2 ports and
The first hydraulic pump that supplies the hydraulic oil of the oil tank to the actuator,
The first motor that drives the first hydraulic pump and
A relief valve that returns the hydraulic oil discharged from the actuator to the oil tank,
The second hydraulic pump whose discharge side is connected to the vent port of the relief valve,
The second motor that drives the second hydraulic pump and
The first switching position where the first port and the first hydraulic pump communicate with each other and the second port and the relief valve communicate with each other, and the first port and the relief valve communicate with each other and the second port. A switching valve that switches between the first hydraulic pump and the second switching position that communicates with the first hydraulic pump.
It is equipped with the first motor, the second motor, and a control device for controlling the switching valve.
The control device controls the second motor so that the vent pressure of the relief valve can be adjusted.

本開示によれば、アクチュエータの第１ポートと第２ポートとの一方における作動油の圧力は、第１モータにより駆動される第１油圧ポンプの吐出圧力で制御され、第１ポートと第２ポートとの他方における作動油の圧力は、第２モータの制御により調整可能なリリーフ弁のベント圧により制御される。このため、第１モータ及び第２モータを制御することで、アクチュエータにおいて互いに対抗する作動油の圧力を制御できるので、可動テーブルの減速を精度よく制御できる。その結果、可動テーブルの駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる。 According to the present disclosure, the pressure of the hydraulic oil in one of the first port and the second port of the actuator is controlled by the discharge pressure of the first hydraulic pump driven by the first motor, and the first port and the second port The pressure of the hydraulic oil on the other side is controlled by the vent pressure of the relief valve which can be adjusted by the control of the second motor. Therefore, by controlling the first motor and the second motor, the pressures of the hydraulic oils that oppose each other in the actuator can be controlled, so that the deceleration of the movable table can be controlled accurately. As a result, the impact when reversing the driving direction of the movable table can be easily reduced.

一実施形態では、上記切換弁は、上記第１ポートと、上記第２ポートと、上記第１油圧ポンプと、上記油タンクとを連通する中立位置に切り替え可能なショックレス切換弁である。 In one embodiment, the switching valve is a shockless switching valve that can switch to a neutral position that communicates the first port, the second port, the first hydraulic pump, and the oil tank.

上記実施形態では、中立位置において、アクチュエータの第１ポートと、第２ポートと、第１油圧ポンプと、油タンクとが連通されるので、第１ポートと第２ポートでの圧力が解放される。このため、第１切換位置と第２切換位置とを切り換えるときに衝撃を抑制できる。 In the above embodiment, in the neutral position, the first port, the second port, the first hydraulic pump, and the oil tank of the actuator are communicated with each other, so that the pressure at the first port and the second port is released. .. Therefore, the impact can be suppressed when switching between the first switching position and the second switching position.

一実施形態では、上記リリーフ弁は、ノーマルオープン型のリリーフ弁である。 In one embodiment, the relief valve is a normally open type relief valve.

一般的に、ノーマルオープン型のリリーフ弁は、ノーマルクローズ型のリリーフ弁と比較して、低圧域での圧力制御が容易である。上記実施形態によれば、リリーフ弁がノーマルオープン型のリリーフ弁であるので、低圧域においても可動テーブルの減速を精度よく制御できる。 In general, the normally open type relief valve is easier to control the pressure in the low pressure region than the normally closed type relief valve. According to the above embodiment, since the relief valve is a normally open type relief valve, the deceleration of the movable table can be accurately controlled even in the low pressure range.

一実施形態では、上記リリーフ弁は、ノーマルクローズ型のリリーフ弁である。 In one embodiment, the relief valve is a normally closed type relief valve.

一般的に、ノーマルクローズ型のリリーフ弁は、ノーマルオープン型のリリーフ弁よりもコストが低い。上記実施形態によれば、リリーフ弁がノーマルオープン型のリリーフ弁であるので、油圧装置のコストを低減できる。 In general, a normally closed type relief valve is cheaper than a normally open type relief valve. According to the above embodiment, since the relief valve is a normally open type relief valve, the cost of the hydraulic device can be reduced.

一実施形態では、上記第２油圧ポンプの容量は、上記第１油圧ポンプの容量より小さい。 In one embodiment, the capacity of the second hydraulic pump is smaller than the capacity of the first hydraulic pump.

上記実施形態によれば、第２油圧ポンプの容量が第１油圧ポンプの容量よりも小さいので、第２油圧ポンプとして第１油圧ポンプと同程度の容量を有する油圧ポンプを用いる場合と比較して、コストを低減できる。 According to the above embodiment, since the capacity of the second hydraulic pump is smaller than the capacity of the first hydraulic pump, it is compared with the case where a hydraulic pump having a capacity similar to that of the first hydraulic pump is used as the second hydraulic pump. , Cost can be reduced.

本開示の第１実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 1st Embodiment of this disclosure. 第１実施形態に係る油圧装置の動作を示すグラフである。It is a graph which shows the operation of the hydraulic system which concerns on 1st Embodiment. （ａ）第１比較例に係る油圧装置の概略ブロック図である。（ｂ）第２比較例に係る油圧装置の概略ブロック図である。(A) It is a schematic block diagram of the hydraulic system which concerns on 1st comparative example. (B) It is a schematic block diagram of the hydraulic system which concerns on 2nd comparative example. 第２実施形態に係る油圧装置を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the large-sized surface grinding machine using the hydraulic system which concerns on 2nd Embodiment.

以下、添付図面を参照して、本開示の実施形態に係る油圧装置を説明する。 Hereinafter, the hydraulic system according to the embodiment of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings.

［第１実施形態］
図１は、本実施形態に係る油圧装置１を用いた大型の平面研削盤の概略ブロック図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic block diagram of a large surface grinding machine using the hydraulic device 1 according to the present embodiment.

本実施形態の油圧装置１は、図１を参照すると、油圧シリンダ１０と、第１油圧ポンプ２０と、第１モータ２１と、チェック弁３０と、リリーフ弁４０と、第２油圧ポンプ５０と、第２モータ５１と、切換弁６０と、制御装置７０とを備える。油圧シリンダ１０は、例えば、重量が２０ｔ～３０ｔの可動テーブル２を往復駆動させる複動形の油圧シリンダである。 Referring to FIG. 1, the hydraulic device 1 of the present embodiment includes a hydraulic cylinder 10, a first hydraulic pump 20, a first motor 21, a check valve 30, a relief valve 40, and a second hydraulic pump 50. A second motor 51, a switching valve 60, and a control device 70 are provided. The hydraulic cylinder 10 is, for example, a double-acting hydraulic cylinder that reciprocates a movable table 2 having a weight of 20 to 30 tons.

可動テーブル２は、上面で被加工物を支持する。上述したように、可動テーブル２は、油圧シリンダ１０によって往復駆動される。可動テーブル２には、可動テーブル２の位置を検出する第１位置検出センサ３及び第２位置検出センサ４が設けられている。第１位置検出センサ３は、可動テーブル２の駆動方向の一方側の端部に設けられており、第２位置検出センサ４は、可動テーブル２の駆動方向の他方側の端部に設けられている。以下の説明において、可動テーブル２の駆動方向をＸ方向という場合がある。また、Ｘ方向において一方側から他方側に向かう向きを＋Ｘ方向、Ｘ方向において他方側から一方側に向かう向きを－Ｘ方向という場合がある。本実施形態の＋Ｘ方向は、本開示に係る第１方向の一例であり、本実施形態の－Ｘ方向は、本開示に係る第２方向の一例である。 The movable table 2 supports the workpiece on the upper surface. As described above, the movable table 2 is reciprocally driven by the hydraulic cylinder 10. The movable table 2 is provided with a first position detection sensor 3 and a second position detection sensor 4 for detecting the position of the movable table 2. The first position detection sensor 3 is provided at one end of the movable table 2 in the drive direction, and the second position detection sensor 4 is provided at the other end of the movable table 2 in the drive direction. There is. In the following description, the driving direction of the movable table 2 may be referred to as the X direction. Further, the direction from one side to the other side in the X direction may be referred to as the + X direction, and the direction from the other side to the one side in the X direction may be referred to as the −X direction. The + X direction of the present embodiment is an example of the first direction according to the present disclosure, and the −X direction of the present embodiment is an example of the second direction according to the present disclosure.

油圧シリンダ１０は、シリンダチューブ１１と、シリンダチューブ１１内を往復動するピストン１２と、ピストン１２の両側の端面に接続されたピストンロッド１３Ａ，１３Ｂとを備える。ピストンロッド１３Ａ，１３Ｂには、可動テーブル２が連結されている。また、油圧シリンダ１０は、第１ポート１０ａと、第２ポート１０ｂとを備える。本実施形態の油圧シリンダ１０は、本開示に係るアクチュエータの一例である。 The hydraulic cylinder 10 includes a cylinder tube 11, a piston 12 that reciprocates in the cylinder tube 11, and piston rods 13A and 13B connected to both end faces of the piston 12. A movable table 2 is connected to the piston rods 13A and 13B. Further, the hydraulic cylinder 10 includes a first port 10a and a second port 10b. The hydraulic cylinder 10 of the present embodiment is an example of the actuator according to the present disclosure.

第１油圧ポンプ２０は、第１モータ２１により駆動され、油圧シリンダ１０に油タンク５からの作動油を供給する。また、チェック弁３０は、油圧シリンダ１０から第１油圧ポンプ２０への作動油の流れを規制する。 The first hydraulic pump 20 is driven by the first motor 21 and supplies hydraulic oil from the oil tank 5 to the hydraulic cylinder 10. Further, the check valve 30 regulates the flow of hydraulic oil from the hydraulic cylinder 10 to the first hydraulic pump 20.

第１油圧ポンプ２０には、吐出圧力を検出する圧力センサ（図示せず）と、吐出流量を検出する流量センサ（図示せず）とが内蔵されている。第１モータ２１は、回転数可変型のモータである。 The first hydraulic pump 20 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The first motor 21 is a variable rotation speed type motor.

チェック弁３０は、油圧シリンダ１０と第１油圧ポンプ２０との間の流路かつ切換弁６０と第１油圧ポンプ２０との間に配設されている。油圧シリンダ１０を、切換弁６０とチェック弁３０とを介して第１油圧ポンプ２０の吐出側に接続している。 The check valve 30 is arranged in the flow path between the hydraulic cylinder 10 and the first hydraulic pump 20 and between the switching valve 60 and the first hydraulic pump 20. The hydraulic cylinder 10 is connected to the discharge side of the first hydraulic pump 20 via the switching valve 60 and the check valve 30.

リリーフ弁４０は、油圧シリンダ１０から排出される作動油を、切換弁６０を介して油タンク５に戻す。リリーフ弁４０のベントポート４１には第２油圧ポンプ５０の吐出側が接続されている。第２油圧ポンプ５０は、第２モータ５１により駆動される。 The relief valve 40 returns the hydraulic oil discharged from the hydraulic cylinder 10 to the oil tank 5 via the switching valve 60. The discharge side of the second hydraulic pump 50 is connected to the vent port 41 of the relief valve 40. The second hydraulic pump 50 is driven by the second motor 51.

リリーフ弁４０は、パイロット作動形のリリーフ弁である。リリーフ弁４０のベントポート４１（パイロットポート）には、第２油圧ポンプ５０の吐出側が接続されている。これにより、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力（パイロット圧）がリリーフ弁４０のベントポート４１に供給されて、リリーフ弁４０のベント圧が制御される。 The relief valve 40 is a pilot-operated relief valve. The discharge side of the second hydraulic pump 50 is connected to the vent port 41 (pilot port) of the relief valve 40. As a result, the discharge pressure (pilot pressure) of the second hydraulic pump 50 is supplied to the vent port 41 of the relief valve 40, and the vent pressure of the relief valve 40 is controlled.

リリーフ弁４０の入口ポート４２は、切換弁６０を介して油圧シリンダ１０に接続されている。また、リリーフ弁４０の出口ポート４３は、油タンク５に接続されている。 The inlet port 42 of the relief valve 40 is connected to the hydraulic cylinder 10 via the switching valve 60. Further, the outlet port 43 of the relief valve 40 is connected to the oil tank 5.

また、本実施形態のリリーフ弁４０は、ノーマルクローズ型のリリーフ弁である。リリーフ弁４０の入口ポート４２に入力された圧力による力が、リリーフ弁４０のベントポート４１に入力された圧力による力とバネ４４の付勢力との合力を上回ったときに、リリーフ弁４０は開く。 Further, the relief valve 40 of the present embodiment is a normally closed type relief valve. The relief valve 40 opens when the force due to the pressure input to the inlet port 42 of the relief valve 40 exceeds the resultant force of the force due to the pressure input to the vent port 41 of the relief valve 40 and the urging force of the spring 44. ..

第２油圧ポンプ５０の容量は、第１油圧ポンプ２０の容量よりも小さい。例えば、第２油圧ポンプ５０は、出力が２．２ｋＷ程度の第２モータ５１により駆動される小容量油圧ポンプである。第２油圧ポンプ５０には、吐出圧力を検出する圧力センサ（図示せず）と、吐出流量を検出する流量センサ（図示せず）とが内蔵されている。第２モータ５１は、回転数可変型のモータである。 The capacity of the second hydraulic pump 50 is smaller than the capacity of the first hydraulic pump 20. For example, the second hydraulic pump 50 is a small capacity hydraulic pump driven by a second motor 51 having an output of about 2.2 kW. The second hydraulic pump 50 has a built-in pressure sensor (not shown) for detecting the discharge pressure and a flow rate sensor (not shown) for detecting the discharge flow rate. The second motor 51 is a variable rotation speed type motor.

切換弁６０は、第１油圧ポンプ２０から吐出された作動油の供給先を切り替える。本実施形態の切換弁６０は、ショックレス切換弁である。また、切換弁６０は、電磁パイロット切換弁である。 The switching valve 60 switches the supply destination of the hydraulic oil discharged from the first hydraulic pump 20. The switching valve 60 of this embodiment is a shockless switching valve. Further, the switching valve 60 is an electromagnetic pilot switching valve.

切換弁６０は、第１ソレノイド６１が励磁かつ第２ソレノイド６２が非励磁の場合、左側の第１切換位置となる。第１切換位置では、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、第１油圧ポンプ２０の吐出側とが連通する。また、第１切換位置では、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂと、リリーフ弁４０の入口ポート４２とが連通する。 The switching valve 60 is in the first switching position on the left side when the first solenoid 61 is excited and the second solenoid 62 is not excited. At the first switching position, the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the first hydraulic pump 20 communicate with each other. Further, at the first switching position, the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the inlet port 42 of the relief valve 40 communicate with each other.

一方で、切換弁６０は、第１ソレノイド６１が非励磁かつ第２ソレノイド６２が励磁の場合、右側の第２切換位置となる。第２切換位置では、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂと、第１油圧ポンプ２０の吐出側とが連通する。また、第２切換位置では、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、リリーフ弁４０の入口ポート４２とが連通する。 On the other hand, the switching valve 60 is in the second switching position on the right side when the first solenoid 61 is not excited and the second solenoid 62 is excited. At the second switching position, the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the first hydraulic pump 20 communicate with each other. Further, at the second switching position, the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the inlet port 42 of the relief valve 40 communicate with each other.

切換弁６０は、第１ソレノイド６１が非励磁かつ第２ソレノイド６２が非励磁の場合、中立位置となる。中立位置では、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、第２ポート１０ｂと、第１油圧ポンプ２０の吐出側と、リリーフ弁４０の入口ポート４２とが連通している。 The switching valve 60 is in the neutral position when the first solenoid 61 is not excited and the second solenoid 62 is not excited. In the neutral position, the first port 10a and the second port 10b of the hydraulic cylinder 10, the discharge side of the first hydraulic pump 20, and the inlet port 42 of the relief valve 40 communicate with each other.

本実施形態の切換弁６０は、切換弁６０を第１切換位置に切り替えるためのパイロットポート６３を有している。パイロットポート６３は、第１油圧ポンプ２０の吐出側と接続されている。 The switching valve 60 of the present embodiment has a pilot port 63 for switching the switching valve 60 to the first switching position. The pilot port 63 is connected to the discharge side of the first hydraulic pump 20.

制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の圧力及び流量を制御する。一方で、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の圧力のみを制御する。 The control device 70 controls the pressure and flow rate of the hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump 20 to the hydraulic cylinder 10. On the other hand, the control device 70 controls only the pressure of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump 50 to the hydraulic cylinder 10.

制御装置７０は、第１位置検出センサ３及び第２位置検出センサ４からの可動テーブル２の位置を表す位置検出信号を受けて、第１モータ２１を駆動する駆動信号、第２モータ５１を駆動する駆動信号、第１ソレノイド６１を励磁する励磁信号、及び第２ソレノイド６２を励磁する励磁信号を出力する。これにより、制御装置７０は、第１モータ２１及び第２モータ５１のそれぞれの回転数を制御し、切換弁６０の切換位置を切り換える。 The control device 70 receives a position detection signal indicating the position of the movable table 2 from the first position detection sensor 3 and the second position detection sensor 4, and drives the drive signal for driving the first motor 21 and the second motor 51. It outputs a drive signal for exciting, an exciting signal for exciting the first solenoid 61, and an exciting signal for exciting the second solenoid 62. As a result, the control device 70 controls the rotation speeds of the first motor 21 and the second motor 51, and switches the switching position of the switching valve 60.

以下、図１及び図２を参照して、本実施形態の油圧装置１の動作を説明する。 Hereinafter, the operation of the hydraulic device 1 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図２は、本実施形態の油圧装置１の動作を示すグラフである。図２において、横軸は時間、縦軸は任意目盛である。図２では、上側から順に、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力、第１油圧ポンプ２０の吐出流量、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力、第２油圧ポンプ５０の吐出流量、第１ソレノイド６１の励磁状態、第２ソレノイド６２の励磁状態を示している。また、図２では、可動テーブル２が＋Ｘ方向に駆動し、その後、可動テーブル２の駆動方向が反転して、可動テーブル２が－Ｘ方向に駆動するときの油圧装置１の動作を示している。 FIG. 2 is a graph showing the operation of the hydraulic device 1 of the present embodiment. In FIG. 2, the horizontal axis is time and the vertical axis is an arbitrary scale. In FIG. 2, in order from the upper side, the discharge pressure of the first hydraulic pump 20, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20, the discharge pressure of the second hydraulic pump 50, the discharge flow rate of the second hydraulic pump 50, and the excitation of the first solenoid 61. The state and the excited state of the second hydraulic pressure 62 are shown. Further, FIG. 2 shows the operation of the hydraulic device 1 when the movable table 2 is driven in the + X direction, then the drive direction of the movable table 2 is reversed, and the movable table 2 is driven in the −X direction. ..

図２を参照すると、可動テーブル２を＋Ｘ方向に駆動させるとき、油圧装置１の制御は、可動テーブル２を加速させる区間Ａの制御と、可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｂの制御と、可動テーブル２を減速させる区間Ｃの制御からなる。 Referring to FIG. 2, when the movable table 2 is driven in the + X direction, the control of the hydraulic device 1 is the control of the section A for accelerating the movable table 2 and the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed. It consists of the control of the section C for decelerating the movable table 2.

同様に、可動テーブル２を－Ｘ方向に駆動させるとき、油圧装置１の制御は、可動テーブル２を加速させる区間Ｄの制御と、可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｅの制御と、可動テーブル２を減速させる区間Ｆの制御からなる。 Similarly, when the movable table 2 is driven in the −X direction, the control of the hydraulic device 1 is the control of the section D for accelerating the movable table 2 and the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed. It consists of the control of the section F for decelerating the table 2.

可動テーブル２を往復駆動させるとき、区間Ａ～Ｃの制御と、区間Ｄ～Ｆの制御とが交互に繰り返し行われる。つまり、区間Ｃの制御に引き続いて区間Ｄの制御が行われ、区間Ｆの制御に引き続いて区間Ａの制御が行われる。 When the movable table 2 is reciprocated, the control of the sections A to C and the control of the sections D to F are alternately and repeatedly performed. That is, the control of the section D is performed following the control of the section C, and the control of the section A is performed following the control of the section F.

可動テーブル２を加速させる区間Ａの制御の開始時には、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第１モータ２１は停止している。また、区間Ａの制御の開始時には、第１ソレノイド６１はオフであり、第２ソレノイド６２はオフである。 At the start of the control of the section A for accelerating the movable table 2, the first motor 21 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. Further, at the start of the control of the section A, the first solenoid 61 is off and the second solenoid 62 is off.

区間Ａの制御において、制御装置７０は、第１ソレノイド６１をオンにし、その後、第１油圧ポンプ２０を駆動するように第１モータ２１を制御する。第１ソレノイド６１をオンにすると、切換弁６０が第１切換位置に切り換わり、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、第１油圧ポンプ２０の吐出側とが連通する。また、第１切換位置では、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂと、リリーフ弁４０の入口ポート４２とが連通する。その後、第１油圧ポンプ２０を駆動すると、第１油圧ポンプ２０から吐出された作動油が油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａに供給される。 In the control of the section A, the control device 70 turns on the first solenoid 61, and then controls the first motor 21 to drive the first hydraulic pump 20. When the first solenoid 61 is turned on, the switching valve 60 switches to the first switching position, and the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the first hydraulic pump 20 communicate with each other. Further, at the first switching position, the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the inlet port 42 of the relief valve 40 communicate with each other. After that, when the first hydraulic pump 20 is driven, the hydraulic oil discharged from the first hydraulic pump 20 is supplied to the first port 10a of the hydraulic cylinder 10.

区間Ａの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第１モータ２１の回転数を制御する。 In the control of the section A, the control device 70 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases.

一方で、区間Ａの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が所定の圧力Ｐ１で一定となるように、第２モータ５１の回転数を制御する。可動テーブル２を加速させる区間Ａの制御においても、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂ側（制動側）の作動油の圧力を所定の圧力Ｐ１にする。これにより、可動テーブル２が動き出しにおいて自走することを抑制できる。 On the other hand, in the control of the section A, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 becomes constant at a predetermined pressure P1. Also in the control of the section A for accelerating the movable table 2, the pressure of the hydraulic oil on the second port 10b side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is set to a predetermined pressure P1. As a result, it is possible to prevent the movable table 2 from self-propelling when it starts to move.

制御装置７０による油圧装置１の制御は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル２を加速させる区間Ａの制御から可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｂの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 70 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section A for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section B to be driven.

可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｂの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第１モータ２１の回転数を制御する。一方で、区間Ｂの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が所定の圧力Ｐ２で一定となるように、第２モータ５１の回転数を制御する。区間Ｂの制御における第２油圧ポンプ５０の吐出圧力である圧力Ｐ２は、区間Ａの制御における第２油圧ポンプ５０の吐出圧力である圧力Ｐ１よりも小さい。可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｂの制御においても、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂ側（制動側）の作動油の圧力を所定の圧力Ｐ２にする。これにより、可動テーブル２が定速で駆動しているときのふらつきを抑制できる。 In the control of the section B for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 70 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 are constant. On the other hand, in the control of the section B, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 becomes constant at a predetermined pressure P2. The pressure P2, which is the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 in the control of the section B, is smaller than the pressure P1 which is the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 in the control of the section A. Also in the control of the section B in which the movable table 2 is driven at a constant speed, the pressure of the hydraulic oil on the second port 10b side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is set to a predetermined pressure P2. As a result, it is possible to suppress wobbling when the movable table 2 is being driven at a constant speed.

また、区間Ｂの制御において、第１ソレノイド６１は、区間Ａの制御に引き続いてオンであり、第２ソレノイド６２は、区間Ａの制御に引き続いてオフである。 Further, in the control of the section B, the first solenoid 61 is on following the control of the section A, and the second solenoid 62 is turned off following the control of the section A.

制御装置７０による油圧装置１の制御は、第２位置検出センサ４により可動テーブル２の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｂの制御から可動テーブル２を減速させる区間Ｃの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 70 is to control the movable table 2 from the control of the section B that drives the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the second position detection sensor 4. The control shifts to the control of the section C to be decelerated.

図２を参照すると、可動テーブル２を減速させる区間Ｃの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第１モータ２１の回転数を制御する。区間Ｃの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量がゼロに至った後に、第１ソレノイド６１をオフにする。 Referring to FIG. 2, in the control of the section C for decelerating the movable table 2, the control device 70 reduces the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 and the discharge flow rate, so that the rotation speed of the first motor 21 decreases. To control. In the control of the section C, the control device 70 turns off the first solenoid 61 after the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach zero.

区間Ｃの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が一度上昇しその後低下するように、第２モータ５１の回転数を制御する。このように、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力を一度上昇させることで、可動テーブル２の駆動速度の反転前に、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂ側（制動側）の作動油の圧力を上昇させて、可動テーブル２を減速させる。 In the control of the section C, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 rises once and then falls. In this way, by increasing the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 once, the pressure of the hydraulic oil on the second port 10b side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is increased before the drive speed of the movable table 2 is reversed. The movable table 2 is decelerated.

制御装置７０による油圧装置１の制御は、可動テーブル２の駆動速度がゼロになったとき、可動テーブル２を＋Ｘ方向に駆動させながら減速させる区間Ｃの制御から、可動テーブル２を加速させる区間Ｄの制御に移行する。すなわち、制御装置７０は、可動テーブル２の駆動方向を＋Ｘ方向から－Ｘ方向に反転させる。可動テーブル２の駆動速度は、例えば、可動テーブル２に設けられた速度センサ（図示せず）により検出される。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 70 is from the control of the section C in which the movable table 2 is decelerated while being driven in the + X direction when the drive speed of the movable table 2 becomes zero, to the section D in which the movable table 2 is accelerated. Move to control of. That is, the control device 70 reverses the drive direction of the movable table 2 from the + X direction to the −X direction. The driving speed of the movable table 2 is detected, for example, by a speed sensor (not shown) provided on the movable table 2.

可動テーブル２を加速させる区間Ｄの制御の開始時には、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第１モータ２１は停止している。また、区間Ｄの制御の開始時には、第１ソレノイド６１はオフであり、第２ソレノイド６２はオフである。 At the start of the control of the section D for accelerating the movable table 2, the first motor 21 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. Further, at the start of the control of the section D, the first solenoid 61 is off and the second solenoid 62 is off.

区間Ｄの制御において、制御装置７０は、第２ソレノイド６２をオンにし、その後、第１油圧ポンプ２０を駆動するように第１モータ２１を制御する。第２ソレノイド６２をオンにすると、切換弁６０が第２切換位置に切り換わり、油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂと、第１油圧ポンプ２０の吐出側とが連通する。また、第２切換位置では、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、リリーフ弁４０の入口ポート４２とが連通する。その後、第１油圧ポンプ２０を駆動すると、第１油圧ポンプ２０から吐出された作動油が油圧シリンダ１０の第２ポート１０ｂに供給される。 In the control of the section D, the control device 70 turns on the second solenoid 62, and then controls the first motor 21 to drive the first hydraulic pump 20. When the second solenoid 62 is turned on, the switching valve 60 switches to the second switching position, and the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 and the discharge side of the first hydraulic pump 20 communicate with each other. Further, at the second switching position, the first port 10a of the hydraulic cylinder 10 and the inlet port 42 of the relief valve 40 communicate with each other. After that, when the first hydraulic pump 20 is driven, the hydraulic oil discharged from the first hydraulic pump 20 is supplied to the second port 10b of the hydraulic cylinder 10.

区間Ｄの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力が上昇し、吐出流量が増加するように、第１モータ２１の回転数を制御する。 In the control of the section D, the control device 70 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 increases and the discharge flow rate increases.

一方で、区間Ｄの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が所定の圧力Ｐ１で一定となるように、第２モータ５１の回転数を制御する。可動テーブル２を加速させる区間Ｄの制御においても、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａ側（制動側）の作動油の圧力を所定の圧力Ｐ１にする。これにより、可動テーブル２が動き出しにおいて自走することを抑制できる。 On the other hand, in the control of the section D, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 becomes constant at a predetermined pressure P1. Also in the control of the section D for accelerating the movable table 2, the pressure of the hydraulic oil on the first port 10a side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is set to a predetermined pressure P1. As a result, it is possible to prevent the movable table 2 from self-propelling when it starts to move.

制御装置７０による油圧装置１の制御は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量が所定の値になったときに、可動テーブル２を加速させる区間Ｄの制御から可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｅの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 70 is performed by controlling the movable table 2 at a constant speed from the control of the section D for accelerating the movable table 2 when the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach predetermined values. The control shifts to the control of the section E to be driven.

可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｅの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量が一定となるように、第１モータ２１の回転数を制御する。一方で、区間Ｅの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が所定の圧力Ｐ２で一定となるように、第２モータ５１の回転数を制御する。可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｅの制御においても、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａ側（制動側）の作動油の圧力を所定の圧力Ｐ２にする。これにより、可動テーブル２が定速で駆動しているときのふらつきを抑制できる。 In the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed, the control device 70 controls the rotation speed of the first motor 21 so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 are constant. On the other hand, in the control of the section E, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 becomes constant at a predetermined pressure P2. Also in the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed, the pressure of the hydraulic oil on the first port 10a side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is set to a predetermined pressure P2. As a result, it is possible to suppress wobbling when the movable table 2 is being driven at a constant speed.

また、区間Ｅの制御において、第１ソレノイド６１は、区間Ｄの制御に引き続いてオフであり、第２ソレノイド６２は、区間Ｄの制御に引き続いてオンである。 Further, in the control of the section E, the first solenoid 61 is turned off following the control of the section D, and the second solenoid 62 is turned on following the control of the section D.

制御装置７０による油圧装置１の制御は、第１位置検出センサ３により可動テーブル２の減速開始位置が検出されたときに、可動テーブル２を定速で駆動させる区間Ｅの制御から可動テーブル２を減速させる区間Ｆの制御に移行する。 The control of the hydraulic device 1 by the control device 70 is to control the movable table 2 from the control of the section E for driving the movable table 2 at a constant speed when the deceleration start position of the movable table 2 is detected by the first position detection sensor 3. The control shifts to the control of the section F to be decelerated.

図２を参照すると、可動テーブル２を減速させる区間Ｆの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力が低下し、吐出流量が減少するように、第１モータ２１の回転数を制御する。区間Ｆの制御において、制御装置７０は、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量がゼロに至った後に、第２ソレノイド６２をオフにする。 Referring to FIG. 2, in the control of the section F for decelerating the movable table 2, the control device 70 reduces the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 and the discharge flow rate, so that the rotation speed of the first motor 21 decreases. To control. In the control of the section F, the control device 70 turns off the second solenoid 62 after the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 reach zero.

区間Ｆの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力が一度上昇しその後低下するように、第２モータ５１の回転数を制御する。このように、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力を一度上昇させることで、可動テーブル２の駆動速度の反転前に、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａ側（制動側）の作動油の圧力を上昇させて、可動テーブル２を減速させる In the control of the section F, the control device 70 controls the rotation speed of the second motor 51 so that the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 rises once and then falls. In this way, by increasing the discharge pressure of the second hydraulic pump 50 once, the pressure of the hydraulic oil on the first port 10a side (braking side) of the hydraulic cylinder 10 is increased before the drive speed of the movable table 2 is reversed. And slow down the movable table 2

また、区間Ｆの制御に引き続いて行われる区間Ａの制御の開始時には、第１油圧ポンプ２０の吐出圧力及び吐出流量がゼロになるように、第１モータ２１は停止している。また、区間Ａの制御の開始時には、第１ソレノイド６１はオフであり、第２ソレノイド６２はオフである。 Further, at the start of the control of the section A following the control of the section F, the first motor 21 is stopped so that the discharge pressure and the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 become zero. Further, at the start of the control of the section A, the first solenoid 61 is off and the second solenoid 62 is off.

本実施形態では、区間Ａ～Ｆの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の圧力を制御する一方で、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の流量を制御していない。 In the present embodiment, in the control of the sections A to F, the control device 70 controls the pressure of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump 50 to the hydraulic cylinder 10, while the second hydraulic pump 50 is connected to the hydraulic cylinder 10. The flow rate of the hydraulic oil to be supplied is not controlled.

本実施形態の油圧装置１によれば、以下の作用効果を奏する。 According to the hydraulic device 1 of the present embodiment, the following functions and effects are obtained.

本開示によれば、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと第２ポート１０ｂとの一方（駆動側）における作動油の圧力は、第１モータ２１により駆動される第１油圧ポンプ２０の吐出圧力で制御され、第１ポート１０ａと第２ポート１０ｂとの他方（制動側）における作動油の圧力は、第２モータ５１の制御により調整可能なリリーフ弁４０のベント圧により制御される。このため、第１モータ２１及び第２モータ５１を制御することで、油圧シリンダ１０において互いに対抗する作動油の圧力を制御できるので、可動テーブル２の減速を精度よく制御できる。その結果、可動テーブル２の駆動方向を反転させるときの衝撃を容易に低減できる。 According to the present disclosure, the pressure of the hydraulic oil in one (drive side) of the first port 10a and the second port 10b of the hydraulic cylinder 10 is the discharge pressure of the first hydraulic pump 20 driven by the first motor 21. The pressure of the hydraulic oil at the other side (braking side) of the first port 10a and the second port 10b is controlled by the vent pressure of the relief valve 40 which is controlled and can be adjusted by the control of the second motor 51. Therefore, by controlling the first motor 21 and the second motor 51, the pressures of the hydraulic oils that oppose each other in the hydraulic cylinder 10 can be controlled, so that the deceleration of the movable table 2 can be controlled accurately. As a result, the impact when reversing the driving direction of the movable table 2 can be easily reduced.

また、本実施形態の油圧装置１によれば、切換弁６０が中立位置であるとき、油圧シリンダ１０の第１ポート１０ａと、第２ポート１０ｂと、第１油圧ポンプ２０と、油タンク５とが連通されるので、第１ポート１０ａと第２ポート１０ｂでの圧力が解放される。このため、第１切換位置と第２切換位置とを切り換えるときに衝撃を抑制できる。 Further, according to the hydraulic device 1 of the present embodiment, when the switching valve 60 is in the neutral position, the first port 10a, the second port 10b, the first hydraulic pump 20, and the oil tank 5 of the hydraulic cylinder 10 are used. Is communicated, so that the pressure at the first port 10a and the second port 10b is released. Therefore, the impact can be suppressed when switching between the first switching position and the second switching position.

一般的に、ノーマルクローズ型のリリーフ弁は、ノーマルオープン型のリリーフ弁よりもコストが低い。本実施形態の油圧装置１によれば、リリーフ弁４０がノーマルオープン型のリリーフ弁であるので、油圧装置１のコストを低減できる。 In general, a normally closed type relief valve is cheaper than a normally open type relief valve. According to the hydraulic device 1 of the present embodiment, since the relief valve 40 is a normally open type relief valve, the cost of the hydraulic device 1 can be reduced.

本実施形態では、第２油圧ポンプ５０は、リリーフ弁４０のベント圧を調整可能な容量を有していればよい。このため、第２油圧ポンプ５０の容量は、可動テーブル２を駆動するための第１油圧ポンプ２０の容量ほど大きい必要はない。本実施形態の油圧装置１によれば、第２油圧ポンプ５０の容量が第１油圧ポンプ２０の容量よりも小さいので、第２油圧ポンプ５０として第１油圧ポンプ２０と同程度の容量を有する油圧ポンプを用いる場合と比較して、コストを低減できる。 In the present embodiment, the second hydraulic pump 50 may have a capacity that can adjust the vent pressure of the relief valve 40. Therefore, the capacity of the second hydraulic pump 50 does not need to be as large as the capacity of the first hydraulic pump 20 for driving the movable table 2. According to the hydraulic device 1 of the present embodiment, since the capacity of the second hydraulic pump 50 is smaller than the capacity of the first hydraulic pump 20, the hydraulic pump 50 has a capacity similar to that of the first hydraulic pump 20. Compared with the case of using a pump, the cost can be reduced.

本実施形態では、区間Ａ～Ｆの制御において、制御装置７０は、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の圧力を制御する一方で、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の流量を制御していない。これにより、第２油圧ポンプ５０から油圧シリンダ１０に供給する作動油の圧力と流量とを制御する場合と比較して、第２油圧ポンプ５０の制御を単純化できる。 In the present embodiment, in the control of the sections A to F, the control device 70 controls the pressure of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump 50 to the hydraulic cylinder 10, while the second hydraulic pump 50 is connected to the hydraulic cylinder 10. The flow rate of the hydraulic oil to be supplied is not controlled. This makes it possible to simplify the control of the second hydraulic pump 50 as compared with the case of controlling the pressure and the flow rate of the hydraulic oil supplied from the second hydraulic pump 50 to the hydraulic cylinder 10.

［第１比較例］
図３（ａ）は、第１比較例に係る油圧装置１００１の概略ブロック図である。 [First comparative example]
FIG. 3A is a schematic block diagram of the hydraulic device 1001 according to the first comparative example.

図３（ａ）を参照すると、第１比較例に係る油圧装置１００１は、油圧シリンダ１０１０と、油圧シリンダ１０１０に油タンク１００５の作動油を供給する油圧ポンプ１０２０と、油圧ポンプ１０２０を駆動する固定回転数のモータ１０２１と、作動油の供給先を切り替える方向切換弁１０３０とを備える。また、油圧装置１００１は、油圧ポンプ１０２０から吐出された作動油の一部を油タンク５に戻すリリーフ弁１０４０と流量調整弁１０５０とを備える。 Referring to FIG. 3A, the hydraulic device 1001 according to the first comparative example has a hydraulic cylinder 1010, a hydraulic pump 1020 for supplying hydraulic oil for an oil tank 1005 to the hydraulic cylinder 1010, and a fixed hydraulic pump 1020 for driving the hydraulic pump 1020. A motor 1021 having a rotation speed and a direction switching valve 1030 for switching a supply destination of hydraulic oil are provided. Further, the hydraulic device 1001 includes a relief valve 1040 and a flow rate adjusting valve 1050 that return a part of the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 1020 to the oil tank 5.

方向切換弁１０３０は、左側の切換位置において、油圧シリンダ１０１０の第１ポート１０１０ａと油圧ポンプ１０２０の吐出側とを連通し、油圧シリンダ１０１０の第２ポート１０１０ｂと油タンク１０３１とを連通するようになっている。また、方向切換弁１０３０は、右側の切換位置において、油圧シリンダ１０１０の第２ポート１０１０ｂと油圧ポンプ１０２０の吐出側とを連通し、油圧シリンダ１０１０の第１ポート１０１０ａと油タンク１０３１とを連通するようになっている。 The direction switching valve 1030 communicates with the first port 1010a of the hydraulic cylinder 1010 and the discharge side of the hydraulic pump 1020 at the switching position on the left side, and communicates with the second port 1010b of the hydraulic cylinder 1010 and the oil tank 1031. It has become. Further, the direction switching valve 1030 communicates the second port 1010b of the hydraulic cylinder 1010 with the discharge side of the hydraulic pump 1020 at the switching position on the right side, and communicates the first port 1010a of the hydraulic cylinder 1010 with the oil tank 1031. It has become like.

第１比較例では、固定回転数のモータ１０２１により油圧ポンプ１０２０が駆動されるため、油圧ポンプ１０２０の吐出流量が調整できない。このため、油圧ポンプ１０２０から吐出された作動油の一部がリリーフ弁１０４０及び流量調整弁１０５０を介して油タンク１００５に戻る余剰流が発生する。 In the first comparative example, since the hydraulic pump 1020 is driven by the motor 1021 having a fixed rotation speed, the discharge flow rate of the hydraulic pump 1020 cannot be adjusted. Therefore, a surplus flow is generated in which a part of the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 1020 returns to the oil tank 1005 via the relief valve 1040 and the flow rate adjusting valve 1050.

これに対して、第１実施形態に係る油圧装置１では、回転数可変型の第１モータ２１により第１油圧ポンプ２０が駆動されるので、第１油圧ポンプ２０の吐出流量を調整できる。その結果、第１比較例と比較して、余剰流量を低減でき、省エネ性を向上できる。 On the other hand, in the hydraulic device 1 according to the first embodiment, since the first hydraulic pump 20 is driven by the variable rotation speed type first motor 21, the discharge flow rate of the first hydraulic pump 20 can be adjusted. As a result, the surplus flow rate can be reduced and the energy saving property can be improved as compared with the first comparative example.

［第２比較例］
図３（ｂ）は、第２比較例に係る油圧装置１１０１の概略ブロック図である。 [Second comparative example]
FIG. 3B is a schematic block diagram of the hydraulic device 1101 according to the second comparative example.

図３（ｂ）を参照すると、第２比較例に係る油圧装置１１０１は、油圧シリンダ１１１０と、油圧シリンダ１１１０に作動油を供給する双方向油圧ポンプ１１２０と、双方向油圧ポンプ１１２０を駆動する正転及び逆転が可能な回転数可変型のモータ１１２１とを備える。 Referring to FIG. 3B, the hydraulic device 1101 according to the second comparative example drives a hydraulic cylinder 1110, a bidirectional hydraulic pump 1120 for supplying hydraulic oil to the hydraulic cylinder 1110, and a bidirectional hydraulic pump 1120. It is provided with a variable rotation speed motor 1121 capable of rolling and reversing.

第２比較例の油圧装置１１０１では、油圧シリンダ１１１０に供給する作動油の流量を増加させるために複数の双方向油圧ポンプ１１２０を油圧シリンダ１１１０に対して並列に接続しようとすると、複数の双方向油圧ポンプ１１２０の吐出及び吸込のタイミングを連動させる必要があり制御が複雑になる。このため、第２比較例の油圧装置１１０１は、大容量の大型の可動テーブルを駆動させる用途には適さない。 In the hydraulic device 1101 of the second comparative example, when a plurality of bidirectional hydraulic pumps 1120 are to be connected in parallel to the hydraulic cylinder 1110 in order to increase the flow rate of the hydraulic oil supplied to the hydraulic cylinder 1110, a plurality of bidirectional hydraulic pumps 1120 are connected. It is necessary to link the discharge and suction timings of the hydraulic pump 1120, which complicates control. Therefore, the hydraulic device 1101 of the second comparative example is not suitable for driving a large-capacity large movable table.

これに対して、本実施形態の油圧装置１では、例えば、第１油圧ポンプ２０に対して別個に油圧ポンプを並列に接続した場合であっても、第１油圧ポンプ２０と上記油圧ポンプとを連動させる必要がない。その結果、制御を複雑化することなく、油圧装置１の大容量化を図れる。 On the other hand, in the hydraulic device 1 of the present embodiment, for example, even when the hydraulic pumps are separately connected in parallel to the first hydraulic pump 20, the first hydraulic pump 20 and the hydraulic pump are connected to each other. There is no need to link them. As a result, the capacity of the hydraulic device 1 can be increased without complicating the control.

また、第２比較例の油圧装置１１０１の油圧回路は、閉回路であるため、作動油の温度が上昇し易いという問題がある。 Further, since the hydraulic circuit of the hydraulic device 1101 of the second comparative example is a closed circuit, there is a problem that the temperature of the hydraulic oil tends to rise.

これに対して、本実施形態の油圧装置１の油圧回路は、開回路であるため、第２比較例と比較して、作動油の温度の上昇を抑制できる。 On the other hand, since the hydraulic circuit of the hydraulic device 1 of the present embodiment is an open circuit, it is possible to suppress an increase in the temperature of the hydraulic oil as compared with the second comparative example.

［第２実施形態］
図４は、第２実施形態に係る油圧装置１０１を用いた平面研削盤の概略ブロック図である。第２実施形態の油圧装置１０１は、リリーフ弁１４０を除いて、第１実施形態の油圧装置１と同様の構成を有しており、図２を援用する。第２実施形態において、第１実施形態と同様の構成には、同一の参照符号を付して示し、その詳細な説明を省略する。 [Second Embodiment]
FIG. 4 is a schematic block diagram of a surface grinding machine using the hydraulic device 101 according to the second embodiment. The hydraulic device 101 of the second embodiment has the same configuration as the hydraulic device 1 of the first embodiment except for the relief valve 140, and FIG. 2 is incorporated. In the second embodiment, the same configurations as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施形態のリリーフ弁１４０は、パイロット作動形のリリーフ弁である。リリーフ弁１４０のベントポート１４１（パイロットポート）には、第２油圧ポンプ５０の吐出側が接続されている。これにより、第２油圧ポンプ５０の吐出圧力（パイロット圧）がリリーフ弁１４０のベントポート１４１に供給されてリリーフ弁１４０のベント圧が制御される。 The relief valve 140 of the present embodiment is a pilot-operated relief valve. The discharge side of the second hydraulic pump 50 is connected to the vent port 141 (pilot port) of the relief valve 140. As a result, the discharge pressure (pilot pressure) of the second hydraulic pump 50 is supplied to the vent port 141 of the relief valve 140, and the vent pressure of the relief valve 140 is controlled.

リリーフ弁１４０の入口ポート１４２は、切換弁６０を介して油圧シリンダ１０に接続されている。また、リリーフ弁１４０の出口ポート１４３は、油タンク５に接続されている。 The inlet port 142 of the relief valve 140 is connected to the hydraulic cylinder 10 via the switching valve 60. Further, the outlet port 143 of the relief valve 140 is connected to the oil tank 5.

また、本実施形態のリリーフ弁１４０は、ノーマルオープン型のリリーフ弁である。つまり、リリーフ弁１４０の入口ポート１４２に入力された圧力による力とバネ１４４の付勢力との合力が、リリーフ弁１４０のベントポート１４１に入力された圧力による力を上回ったときに、リリーフ弁１４０は閉じる。 Further, the relief valve 140 of the present embodiment is a normally open type relief valve. That is, when the resultant force of the force due to the pressure input to the inlet port 142 of the relief valve 140 and the urging force of the spring 144 exceeds the force due to the pressure input to the vent port 141 of the relief valve 140, the relief valve 140 Closes.

第２実施形態では、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。 In the second embodiment, the same action and effect as in the first embodiment are obtained.

一般的に、ノーマルオープン型のリリーフ弁は、ノーマルクローズ型のリリーフ弁と比較して、低圧域での圧力制御が容易である。本実施形態の油圧装置１０１によれば、リリーフ弁１４０がノーマルオープン型のリリーフ弁であるので、低圧域においても可動テーブル２の減速を精度よく制御できる。 In general, the normally open type relief valve is easier to control the pressure in the low pressure region than the normally closed type relief valve. According to the hydraulic device 101 of the present embodiment, since the relief valve 140 is a normally open type relief valve, the deceleration of the movable table 2 can be accurately controlled even in the low pressure region.

以上、実施形態を説明したが、特許請求の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。 Although the embodiments have been described above, it will be understood that various modifications of the embodiments and details are possible without departing from the spirit and scope of the claims.

例えば、上記第１実施形態及び第２実施形態では、切換弁６０は、電磁パイロット切換弁であったが、これに限定されず、電磁切換弁又は電磁比例弁であってもよい。 For example, in the first embodiment and the second embodiment, the switching valve 60 is an electromagnetic pilot switching valve, but the switching valve 60 is not limited to this, and may be an electromagnetic switching valve or an electromagnetic proportional valve.

１油圧装置
２可動テーブル
３第１位置検出センサ
４第２位置検出センサ
５油タンク
１０油圧シリンダ（アクチュエータ）
１０ａ第１ポート
１０ｂ第２ポート
１１シリンダチューブ
１２ピストン
１３Ａ，１３Ｂピストンロッド
２０第１油圧ポンプ
２１第１モータ
３０チェック弁
４０リリーフ弁
４１ベントポート
４２入口ポート
４３出口ポート
４４バネ
５０第２油圧ポンプ
５１第２モータ
６０切換弁
６１第１ソレノイド
６２第２ソレノイド
６３パイロットポート
７０制御装置
１０１油圧装置
１４０リリーフ弁
１４０リリーフ弁
１４１ベントポート
１４２入口ポート
１４３出口ポート
１４４バネ 1 Hydraulic device 2 Movable table 3 1st position detection sensor 4 2nd position detection sensor 5 Oil tank 10 Hydraulic cylinder (actuator)
10a 1st port 10b 2nd port 11 Cylinder tube 12 Piston 13A, 13B Piston rod 20 1st hydraulic pump 21 1st motor 30 Check valve 40 Relief valve 41 Vent port 42 Inlet port 43 Outlet port 44 Spring 50 2nd hydraulic pump 51 2nd motor 60 Switching valve 61 1st solenoid 62 2nd solenoid 63 Piston port 70 Control device 101 Hydraulic device 140 Relief valve 140 Relief valve 141 Vent port 142 Inlet port 143 Outlet port 144 Spring

Claims

The first port (10a) to which hydraulic oil is supplied when the movable table (2) is driven back and forth and the movable table (2) is driven in the first direction, and the movable table (2) are driven in the second direction. An actuator (10) having a second port (10b) to which hydraulic oil is supplied when driven to
The first hydraulic pump (20) that supplies the hydraulic oil of the oil tank (5) to the actuator (10), and
The first motor (21) that drives the first hydraulic pump (20) and
A relief valve (40, 140) that returns the hydraulic oil discharged from the actuator (10) to the oil tank (5), and
The second hydraulic pump (50) whose discharge side is connected to the vent port (41, 141) of the relief valve (40, 140), and
The second motor (51) that drives the second hydraulic pump (50) and
The first switching position in which the first port (10a) and the first hydraulic pump (20) communicate with each other and the second port (10b) and the relief valve (40, 140) communicate with each other, and the first A switching valve (60) that communicates the port (10a) with the relief valves (40, 140) and switches between a second switching position that communicates the second port (10b) and the first hydraulic pump (20). When,
The first motor (21), the second motor (51), and the control device (70) for controlling the switching valve (60) are provided.
A hydraulic device in which the vent pressure of the relief valves (40, 140) can be adjusted by the control device (70) controlling the second motor (51).

The switching valve (60) switches to a neutral position in which the first port (10a), the second port (10b), the first hydraulic pump (20), and the oil tank (5) communicate with each other. The hydraulic device according to claim 1, which is a possible shockless switching valve.

The hydraulic device according to claim 1 or 2, wherein the relief valve (140) is a normally open type relief valve.

The hydraulic device according to claim 1 or 2, wherein the relief valve (40) is a normally closed type relief valve.

The hydraulic device according to any one of claims 1 to 4, wherein the capacity of the second hydraulic pump (50) is smaller than the capacity of the first hydraulic pump (20).