JP2022019207A - Airtight container and manufacturing method thereof - Google Patents
Airtight container and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022019207A JP2022019207A JP2020122905A JP2020122905A JP2022019207A JP 2022019207 A JP2022019207 A JP 2022019207A JP 2020122905 A JP2020122905 A JP 2020122905A JP 2020122905 A JP2020122905 A JP 2020122905A JP 2022019207 A JP2022019207 A JP 2022019207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid member
- hole
- cell body
- main surface
- airtight container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 claims abstract description 78
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims description 58
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 39
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 26
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 19
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 16
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 239000003708 ampul Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 8
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S1/00—Masers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the microwave range
- H01S1/06—Gaseous, i.e. beam masers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/26—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using energy levels of molecules, atoms, or subatomic particles as a frequency reference
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、気密容器及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an airtight container and a method for producing the same.
原子時計は、セシウム(Cs)やルビジウム(Rb)等のアルカリ金属原子におけるエネルギー遷移に基づいて発振する原子発振器を備えており、この原子発振器は、長期的に高精度な発振特性が得られる発振器として知られている。原子発振器の動作原理は、いくつかの方式に区別されるが、量子干渉効果(CPT:Coherent Population Trapping)を利用した原子発振器は、水晶発振器と比較して3桁程度高い周波数安定性を有することが知られている。 Atomic clocks are equipped with an atomic oscillator that oscillates based on energy transitions in alkali metal atoms such as cesium (Cs) and rubidium (Rb), and this atomic clock is an oscillator that can obtain highly accurate oscillation characteristics over the long term. Known as. The operating principle of an atomic oscillator is divided into several methods, but an atomic oscillator using the quantum interference effect (CPT: Coherent Population Trapping) has a frequency stability that is about three orders of magnitude higher than that of a crystal oscillator. It has been known.
このような原子発振器では、原子セル内にガス状のアルカリ金属が封入されて用いられる。また、原子発振器として必要な性能を確保するため、原子セル内には、さらに窒素(N2)やネオン(Ne)、アルゴン(Ar)などのバッファガスが封入されて用いられている。 In such an atomic oscillator, a gaseous alkali metal is enclosed in an atomic cell and used. Further, in order to secure the performance required as an atomic oscillator, a buffer gas such as nitrogen (N 2 ), neon (Ne), or argon (Ar) is further enclosed in the atomic cell and used.
下記の特許文献1には、原子セルの一例が開示されている。この原子セルは、貫通孔を有する胴体部と、貫通孔の開口を塞ぐ1対の窓部とを有する。胴体部及び1対の窓部により囲まれた内部空間内に、ガス状のアルカリ金属が封入されている。1対の窓部のうち一方が、励起光が入射する入射側窓部である。他方が、励起光が出射する出射側窓部である。
The following
胴体部及び窓部の接合には、例えば、オプティカルコンタクトによる接合が考えられる。しかしながら、オプティカルコンタクトは胴体部及び窓部の表面の状態に依存するため、安定的に接合することが困難であり、原子セルの内部に存在するバッファガスがセル外部に漏洩する、いわゆるセル抜けが生じることがある。接着剤を用いた接合も考えられるが、高い遮蔽性を維持することは困難であり、大気中のヘリウム(He)が原子セルの内部に侵入するおそれがある。そのため、時間経過による周波数変動が生じ易いという問題がある。 For joining the fuselage portion and the window portion, for example, joining by optical contact can be considered. However, since the optical contact depends on the state of the surface of the body and the window, it is difficult to make a stable bond, and the buffer gas existing inside the atomic cell leaks to the outside of the cell, so-called cell omission. May occur. Bonding using an adhesive is also conceivable, but it is difficult to maintain high shielding properties, and helium (He) in the atmosphere may invade the inside of the atomic cell. Therefore, there is a problem that frequency fluctuation is likely to occur with the passage of time.
そこで、胴体部及び窓部の接合には、加熱圧着、すなわち溶着により接合することが考えられる。しかしながら、溶着は、屈伏点~軟化点の温度域において行う必要があり、窓部の表面に加圧による痕跡が残りがちである。なお、溶着以外の接合においても、窓部と胴体部とに加える圧力により、窓部の表面に接合の痕跡が残るおそれがある。そのため、光透過性が損なわれるおそれがある。 Therefore, it is conceivable to join the fuselage portion and the window portion by heat crimping, that is, by welding. However, welding needs to be performed in the temperature range from the bending point to the softening point, and traces due to pressurization tend to remain on the surface of the window portion. Even in joining other than welding, the pressure applied to the window portion and the body portion may leave traces of joining on the surface of the window portion. Therefore, the light transmission may be impaired.
本発明の目的は、加熱圧着等の、気密性を効果的に高めることができる態様を採用しても、光透過性を損なうことがない、気密容器及びその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an airtight container and a method for manufacturing the same, which does not impair the light transmission even if an embodiment such as heat crimping that can effectively enhance the airtightness is adopted.
本発明に係る気密容器は、対向し合う第1の主面及び第2の主面を有し、第1の主面及び第2の主面間を貫通している貫通孔が設けられており、かつ第1の主面及び第2の主面に接続されている内側面及び外側面を有する、セル本体と、セル本体の第1の主面上に設けられており、貫通孔の一方側を塞いでいる第1の蓋部材と、セル本体の第2の主面上に設けられており、貫通孔の他方側を塞いでいる第2の蓋部材とを備え、外側面が火造り面であり、かつ入光面及び出光面を含むことを特徴としている。また、内側面が火造り面であることが好ましい。 The airtight container according to the present invention has a first main surface and a second main surface facing each other, and is provided with a through hole penetrating between the first main surface and the second main surface. A cell body having an inner surface and an outer surface connected to a first main surface and a second main surface, and one side of a through hole provided on the first main surface of the cell body. A first lid member that closes the cell body and a second lid member that is provided on the second main surface of the cell body and closes the other side of the through hole, and the outer surface is a fire-made surface. It is characterized by including an incoming surface and an outgoing surface. Further, it is preferable that the inner surface is a fire-made surface.
セル本体の内側面が、互いに対向し合う第1の内側面及び第2の内側面を含み、外側面が、互いに対向し合う第1の外側面及び第2の外側面を含み、第1の外側面が入光面であり、第2の外側面が出光面であり、第1の外側面、第1の内側面、第2の外側面及び第2の内側面における、少なくとも光を透過させる部分が略平行であることが好ましい。 The inner surface of the cell body includes a first inner surface and a second inner surface facing each other, and the outer surface includes a first outer surface and a second outer surface facing each other. The outer side surface is an incoming surface, the second outer surface is an outgoing surface, and at least light is transmitted on the first outer surface, the first inner surface, the second outer surface, and the second inner surface. It is preferable that the portions are substantially parallel.
セル本体の内側面が、互いに対向し合う第1の内側面及び第2の内側面を含み、外側面が、互いに対向し合う第1の外側面及び第2の外側面を含み、第1の外側面が入光面であり、第2の外側面が出光面であり、第1の外側面、第1の内側面、第2の外側面及び第2の内側面における、少なくとも光を透過させる部分がいずれも平面状であることが好ましい。 The inner surface of the cell body includes a first inner surface and a second inner surface facing each other, and the outer surface includes a first outer surface and a second outer surface facing each other. The outer side surface is an incoming surface, the second outer surface is an outgoing surface, and at least light is transmitted on the first outer surface, the first inner surface, the second outer surface, and the second inner surface. It is preferable that all the portions are flat.
セル本体がガラスにより構成されていることが好ましい。 It is preferable that the cell body is made of glass.
第1の蓋部材及び第2の蓋部材が、ガラスにより構成されていることが好ましい。 It is preferable that the first lid member and the second lid member are made of glass.
貫通孔内に、アルカリ金属が封入されている、原子セルであることが好ましい。 It is preferably an atomic cell in which an alkali metal is sealed in the through hole.
本発明の気密容器の製造方法は、上記気密容器を製造する方法であって、リドロー成形により、プリフォームからセル本体を形成する工程と、セル本体の第1の主面上に第1の蓋部材を接合する工程と、セル本体の第2の主面上に第2の蓋部材を接合する工程とを備えることを特徴としている。 The method for manufacturing an airtight container of the present invention is the method for manufacturing the airtight container, which comprises a step of forming a cell body from a preform by redraw molding and a first lid on a first main surface of the cell body. It is characterized by including a step of joining members and a step of joining a second lid member on a second main surface of the cell body.
プリフォームに孔部を形成した後に、リドロー成形によりセル本体を形成する工程を行うことが好ましい。 It is preferable to perform a step of forming a cell body by redraw molding after forming a hole in the preform.
セル本体と、第1の蓋部材及び第2の蓋部材とを、加熱圧着により接合することが好ましい。 It is preferable that the cell body and the first lid member and the second lid member are joined by heat crimping.
本発明によれば、加熱圧着等の、気密性を効果的に高めることができる態様を採用しても、光透過性を損なうことがない、気密容器及びその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an airtight container and a method for manufacturing the same, which does not impair the light transmission even if an embodiment such as heat crimping that can effectively enhance the airtightness is adopted.
以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。 Hereinafter, preferred embodiments will be described. However, the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to the following embodiments. Further, in the drawings, members having substantially the same function may be referred to by the same reference numeral.
(原子セル)
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る原子セルを示す斜視図である。図2は、図1中のI-I線に沿う断面図である。図3は、図1中のII-II線に沿う断面図である。
(Atomic cell)
(First Embodiment)
FIG. 1 is a perspective view showing an atomic cell according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
図1に示すように、原子セル1は、セル本体2と、第1の蓋部材3と第2の蓋部材4とを備える。原子セル1は、本発明の気密容器である。もっとも、本発明の気密容器は原子セルには限定されず、例えば波長変換部材等の、気密性が求められる部材に適用することができる。
As shown in FIG. 1, the
図2に示すように、セル本体2は、第1の主面5及び第2の主面6並びに外側面7及び内側面8を有する。第1の主面5及び第2の主面6は対向し合っている。外側面7及び内側面8は、第1の主面5及び第2の主面6に接続されている。
As shown in FIG. 2, the
セル本体2には、第1の貫通孔13と、第2の貫通孔14と、連通部15とが設けられている。第1の貫通孔13は、本発明における貫通孔である。第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14は、第1の主面5及び第2の主面6間を貫通している。連通部15は、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を連通させている部分である。本実施形態では、連通部15は、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を接続している溝部である。連通部15は、第1の主面5側に開口している。もっとも、連通部15の配置は上記に限定されない。
The
図1及び図3に示すように、平面視において、第1の貫通孔13は、矩形の形状を有し、第2の貫通孔14は円形の形状を有する。なお、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の平面視における形状は上記に限定されない。第1の貫通孔13の平面視における形状は、例えば、略矩形状の形状であってもよく、四角形以外の多角形状の形状であってもよい。第2の貫通孔14の平面視における形状も、多角形状等であってもよい。
As shown in FIGS. 1 and 3, in a plan view, the first through
第2の貫通孔14の容積は、第1の貫通孔13の容積よりも小さい。具体的には、第2の貫通孔14における第1の主面5に開口している部分の面積は、第1の貫通孔13における第1の主面5に開口している部分の面積よりも小さい。同様に、第2の貫通孔14における第2の主面6に開口している部分の面積は、第1の貫通孔13における第2の主面6に開口している部分の面積よりも小さい。なお、第2の貫通孔14及び連通部15は必ずしも設けられていなくともよい。
The volume of the second through
図1に示すように、セル本体2の外側面7は、第1の外側面7a、第2の外側面7b、第3の外側面7c及び第4の外側面7dを含む。第1の外側面7a及び第2の外側面7bは対向し合っている。第3の外側面7c及び第4の外側面7dは対向し合っており、かつ第1の外側面7a及び第2の外側面7bに接続されている。第1の外側面7a及び第2の外側面7bは平面状の形状を有する。他方、第3の外側面7c及び第4の外側面7dは曲面状の形状を有する。セル本体2の平面視における外形の形状は、略楕円形である。もっとも、セル本体2の平面視における外形の形状は上記に限定されず、例えば、矩形等であってもよい。本明細書において平面視とは、図1における上方から見る方向をいう。
As shown in FIG. 1, the
内側面8は、第1の貫通孔13を囲んでいる面である。第1の主面5において第1の貫通孔13が開口している部分は、第1の主面5及び内側面8が接続されている部分である。内側面8は、第1の内側面8a、第2の内側面8b、第3の内側面8c及び第4の内側面8dを含む。第1の内側面8a及び第2の内側面8bは対向し合っている。第3の内側面8c及び第4の内側面8dは対向し合っており、かつ第1の内側面8a及び第2の内側面8bに接続されている。第1の内側面8a、第2の内側面8b、第3の内側面8c及び第4の内側面8dは平面状の形状を有する。上記連通部15は、第4の内側面8dの一部において開口している。
The
第1の主面5上に、上記第1の蓋部材3が接合されている。第1の蓋部材3は、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の一方側、並びに連通部15を塞いでいる。第2の主面6上に、上記第2の蓋部材4が接合されている。第2の蓋部材4は、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の他方側を塞いでいる。本実施形態において、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4と、セル本体2との平面視における形状は同じであり、略楕円形である。もっとも、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の形状は、第1の貫通孔13、第2の貫通孔14及び連通部15を塞ぐことができる形状であればよい。第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の形状は、例えば、円板状又は矩形板状等であってもよい。
The
原子セル1は、アルカリ金属やバッファガスが封入される容器であり、原子セル1の第1の貫通孔13内にガス状のアルカリ金属やバッファガスが封入されて用いられる。原子セル1は、原子発振器に用いられる。図1に示すように、光源から出射された光Aが原子セル1に入射し、第1の貫通孔13を通る。そして、原子セル1から光Bが出射する。具体的には、本実施形態では、第1の外側面7aが入光面であり、第2の外側面7bが出光面である。第1の外側面7aから入射した光Aは、第1の貫通孔13内のアルカリ金属に照射される。そして、光Bが第2の側面7bから出射する。原子セル1から出射した光Bは、光検出器に入射する。これにより、信号が取得される。なお、アルカリ金属としては、セシウム(Cs)やルビジウム(Rb)を用いることができる。バッファガスとしては、窒素(N2)やネオン(Ne)、アルゴン(Ar)を用いることができる。
The
本実施形態の特徴は、セル本体2の外側面7が火造り面であり、かつ入光面及び出光面を含むことにある。本明細書において、火造り面とは、リドロー成形等の加熱成形によって形成された平滑な面をいう。具体的には、本明細書において、火造り面の算術平均粗さ(Ra)は1nm以下である。原子セル1においては、入光面及び出光面が火造り面であり、平滑であるため、入光面及び出光面において光の散乱が生じ難く、光透過性を高めることができる。加えて、入光面及び出光面がセル本体2の外側面7に含まれるため、加熱圧着等により加えられる圧力により、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の表面に接合の痕跡が残ったとしても、原子セル1の光透過性は影響され難い。従って、本実施形態においては、加熱圧着等の、気密性を効果的に高めることができる態様を採用しても、光透過性を損なうことがない。なお、本明細書における算術平均粗さ(Ra)は、JIS B 0601:2013に基づく。
The feature of this embodiment is that the
気密性を高められることにより、大気中のHeが原子セル1の内部に侵入し難い。さらに、原子セル1の内部に封入されているバッファガスのセル抜けが生じ難い。それによって、原子発振器における発振周波数の経時変化を生じ難くすることができる。
By increasing the airtightness, it is difficult for He in the atmosphere to enter the inside of the
原子セル1においては、外側面7だけでなく、内側面8も火造り面である。よって、第1の貫通孔13に光が入射するとき、及び第1の貫通孔13から光が出射するときにおいても、光の散乱が生じ難い。よって、光透過性をより一層高めることができる。
In the
第1の外側面7a、第1の内側面8a、第2の外側面7b及び第2の内側面8bにおける、少なくとも光を透過させる部分が略平行であることが好ましい。それによって、セル本体2における光が入射する部分の厚みを均一にすることができ、かつ光が出射する部分における厚みを均一にすることができる。さらに、第1の外側面7a、第1の内側面8a、第2の外側面7b及び第2の内側面8bにおける、少なくとも光を透過させる部分がいずれも平面状であることが好ましい。それによって、光が原子セル1を通過する距離を均一にすることができる。従って、原子セル1を通過する光の信号を、光検出器よって安定的に取得することができる。なお、本発明でいう略平行とは、対向する側面が含まれる平面同士のなす角度が0.5度以下、より好ましくは0.2度以下であることをいう。
It is preferable that at least the portions that transmit light on the first
なお、原子発振器の製品によって、光源と原子セル1との位置関係にばらつきが生じる場合には、原子セル1における光を透過させる部分にもばらつきが生じることとなる。ここで、本実施形態の原子セル1においては、第1の外側面7a、第1の内側面8a、第2の外側面7b及び第2の内側面8bの全体が、略平行であり、かつ平面状である。それによって、上記のようなばらつきが生じる場合においても、製品毎において、光が原子セル1を通過する距離を均一にすることができる。従って、原子セル1を通過する光の信号を、光検出器よって、より確実に、安定的に取得することができる。
If the positional relationship between the light source and the
本実施形態では、セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4は、同じガラスにより構成されている。なお、セル本体2の材料は上記に限定されず、外側面7を火造り面とすることができ、かつ光透過性を有する材料であればよい。第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の材料は上記に限定されず、例えば、金属、水晶又はシリコン等により構成されていてもよい。もっとも、セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4は、ガラスにより構成されていることが好ましい。それによって、セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の熱膨張係数を互いに近づけることができ、接合の安定性を高めることができる。
In the present embodiment, the
セル本体2に用いられるガラスとしては、特に限定されず、例えば、無鉛ガラス、有鉛ガラス、又はビスマス系ガラス等を用いることができる。
The glass used for the
無鉛ガラスとしては、例えば、ガラス組成として、質量%で、SiO2 50%~60%、Al2O3 10%~16%、B2O3 0%~8%、MgO 0%~5%、CaO 16%~30%、R2O(Rは、Li、Na及びKから選択される少なくとも1種を表す)0%~2%、及びP2O5 0%~3%を含有する、アルミノ珪酸塩系ガラスを用いることができる。 As the lead-free glass, for example, as a glass composition, SiO 2 50% to 60%, Al 2 O 3 10% to 16%, B 2 O 30 % to 8%, MgO 0% to 5%, by mass%, Aluminium containing 16% to 30% of CaO, 0 % to 2 % of R2O (R represents at least one selected from Li, Na and K), and 50 % to 3% of P2O. Sirate-based glass can be used.
有鉛ガラスとしては、例えば、ガラス組成として、質量%で、SiO2 10%~45%、PbO 40%~75%、及びK2O 0.5%~10%を含有する、鉛系ガラスを用いることができる。 As the leaded glass, for example, a lead-based glass having a glass composition containing SiO 2 10% to 45%, PbO 40% to 75%, and K 2 O 0.5% to 10% in mass%. Can be used.
ビスマス系ガラスとしては、例えば、ガラス組成として、質量%で、Bi2O3 5%~80%、B2O3 5%~35%、ZnO 0%~20%、SiO2 0%~20%、及びSrO 0%~30%を含有する、ガラスを用いることができる。 As the bismuth-based glass, for example, the glass composition is Bi 2 O 35 % to 80%, B 2 O 35 % to 35%, ZnO 0% to 20%, SiO 20 % to 20% in mass%. , And glass containing 0% to 30% SrO can be used.
セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4は、同系統のガラス組成を有することが好ましい。セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4は、同じガラス組成を有することがさらに好ましい。それによって、セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の熱膨張係数を互いに近づけることができ、接合の安定性を高めることができる。よって、原子セル1の気密性を効果的に高めることができる。なお、本明細書において「同系統のガラス組成」のガラスとは、ガラス組成として含有される上位3成分が互いに一致することを指す。また、本発明において、「同じガラス組成」のガラスとは、互いにガラス組成として含有される各成分が一致し、一方のガラスの組成に対して他方のガラスの各成分の含有量の差が+5%~-5%の範囲内であるものを含む。
It is preferable that the
図4は、原子セルの第1の貫通孔内にアルカリ金属を封入する方法の例を説明するための正面断面図である。セル本体2における第2の貫通孔14は、アルカリ金属Mが封入されたアンプル19等を配置するために設けられている。第2の貫通孔14内に配置されたアンプル19に、原子セル1の外側からレーザー光Lを照射することにより、アンプル19を割り、ガス状のアルカリ金属が第2の貫通孔14内に放出される。なお、アンプル19内に固体状のアルカリ金属Mが封入されている場合には、加熱によりアルカリ金属Mをガス化させてもよい。ガス状のアルカリ金属は、連通部15を通り、第1の貫通孔13内にも拡散する。もっとも、アルカリ金属を原子セル1内に封入する方法は上記に限定されない。例えば、アルカリ金属を原子セル1内に直接的に配置した後に、加熱によりアルカリ金属をガス化させてもよい。あるいは、アルカリ金属をガス状の状態において、原子セル1内に直接封入してもよい。
FIG. 4 is a front sectional view for explaining an example of a method of encapsulating an alkali metal in a first through hole of an atomic cell. The second through
(変形例)
図5は、第1の実施形態の変形例に係る原子セルの斜視図である。本変形例においては、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14が直接的に連通している。よって、本変形例では、連通部は設けられていない。第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14は、第4の内側面8dにおいて、第1の主面5から第2の主面6に至るまで連続的に開口しており、かつ第1の主面5から第2の主面6に至るまで連続的に連通している。
(Modification example)
FIG. 5 is a perspective view of an atomic cell according to a modified example of the first embodiment. In this modification, the first through
以下、気密容器としての原子セル1の製造方法の一例について説明する。
Hereinafter, an example of a method for manufacturing the
(製造方法)
図6は、気密容器の製造方法における、プリフォームを用意する工程の一例を説明するための斜視図である。図7は、気密容器の製造方法における、中間体を得る工程の一例を説明するための斜視図である。図8は、気密容器の製造方法における、セル本体を得る工程の一例を説明するための正面断面図である。
(Production method)
FIG. 6 is a perspective view for explaining an example of a process of preparing a preform in a method for manufacturing an airtight container. FIG. 7 is a perspective view for explaining an example of a step of obtaining an intermediate in a method for manufacturing an airtight container. FIG. 8 is a front sectional view for explaining an example of a process of obtaining a cell main body in a method for manufacturing an airtight container.
気密容器としての原子セル1の製造方法においては、セル本体2をリドロー成形により形成する。具体的には、図6に示すように、リドロー成形に用いるプリフォーム22を、切削加工等によって用意する。平面視において、プリフォーム22の少なくとも一部の外形の形状と、得ようとするセル本体2の外形の形状とは、相似の関係を有する。
In the method for manufacturing an
次に、プリフォーム22に、第1の孔部23及び第2の孔部24を設ける。平面視において、第1の孔部23の形状と、得ようとするセル本体2の第1の貫通孔13の形状とは、相似の関係を有する。同様に、平面視において、第2の孔部24の形状と、得ようとするセル本体2の第2の貫通孔14の形状とは、相似の関係を有する。第1の孔部23及び第2の孔部24は、例えば、ドリルや超音波加工等により形成することができる。第1の孔部23及び第2の孔部24は、貫通孔であってもよく、あるいは、貫通孔ではなくともよい。なお、プリフォーム22には、第1の孔部23及び第2の孔部24を必ずしも設けなくともよい。
Next, the
次に、図7に示すように、プリフォーム22を加熱し、引き延ばす。次に、プリフォーム22における引き延ばされた部分を切断することにより、中間体25を得る。図7中のD-D線は、プリフォーム22が切断されていることを示す。上記切断は、例えば、ダイシングソーやガラスカッターにより行うことができる。中間体25は、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を有する。中間体25の第1の貫通孔13は、プリフォーム22における第1の孔部23から形成される。中間体25の第2の貫通孔14は、プリフォーム22における第2の孔部24から形成される。
Next, as shown in FIG. 7, the
さらに、中間体25は、外側面7及び内側面8を有する。中間体25は、リドロー成形により形成されていることによって、外側面7は火造り面とされている。さらに、プリフォーム22に第1の孔部23が形成された状態においてリドロー成形を行うことによって、内側面8をも火造り面とすることができる。図7に示す工程を繰り返すことにより、1個のプリフォーム22から複数の中間体25を得る。
Further, the intermediate 25 has an
なお、プリフォーム22に第1の孔部23及び第2の孔部24を設けない場合には、それぞれの中間体25に第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を設けてもよい。もっとも、プリフォーム22に第1の孔部23及び第2の孔部24を設けることが好ましい。それによって、上記のように、内側面8を火造り面とすることができる。加えて、各中間体25に第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を設ける工程を削減できる。よって、生産性を高めることができる。
If the
次に、図8に示すように、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14を連通させるように、連通部15を設ける。連通部15は、例えば、ドリルや超音波加工等により形成することができる。本実施形態においては、第1の主面5における第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の間の部分に、溝を設けることによって、連通部15を形成する。これにより、セル本体2を得る。
Next, as shown in FIG. 8, a
一方で、図1に示した第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4を用意する。次に、セル本体2の第1の主面5と第1の蓋部材3とを接合する。このとき、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の一方側、並びに連通部15を、第1の蓋部材3により塞ぐ。さらに、セル本体2の第2の主面6と第2の蓋部材4とを接合する。このとき、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14の他方側を、第2の蓋部材4により塞ぐ。以上により、図1に示す原子セル1を得る。
On the other hand, the
なお、アルカリ金属を原子セル1に封入する際には、セル本体2と双方の蓋部材とを接合する前に、アルカリ金属が封入されたアンプル等をセル本体2内に配置すればよい。具体的には、例えば、セル本体2の第2の主面6と第2の蓋部材4とを接合する。次に、セル本体2の第2の貫通孔14内にアンプル等を配置する。その後、セル本体2の第1の主面5と第1の蓋部材3とを接合する。なお、セル本体2の第1の主面5と第1の蓋部材3との接合に際しては、第1の貫通孔13及び第2の貫通孔14内にバッファガスを導入し、このバッファガス雰囲気において接合を行う。本発明においては、原子セル1内におけるアルカリ金属はガス化前の固体等の状態であってもよいし、ガス状の状態であってもよいし、アンプルに封入された状態であってもよい。原子セル1の使用時に、第1の貫通孔13内にガス状のアルカリ金属が封入されていればよい。
When the alkali metal is enclosed in the
セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との接合は、加熱圧着により行うことが好ましい。この場合には、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の表面において、加圧の痕跡が残る場合もある。これに対して、本実施形態においては、入光面及び出光面はセル本体2の外側面7に含まれるため、光透過性が損なわれ難い。よって、上記接合に加熱圧着を用いる場合に、本発明は好適である。しかも、原子セル1の気密性を効果的に高めることができる。
It is preferable that the
加熱圧着においては、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4を構成するガラス材料の屈伏点以上、軟化点以下の温度域まで、第1の蓋部材3、第2の蓋部材4及びセル本体2を加熱し、荷重を印加することが好ましい。荷重を加える際には、セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4を挟持する。加熱圧着における圧力は、1kPa以上とすることが好ましく、10kPa以上とすることがより好ましい。それによって、原子セル1の気密性を効果的に高めることができる。しかも、本実施形態においては、原子セル1における光透過性は損なわれ難い。なお、加熱圧着における圧力は、0.5MPa以下であることが好ましく、0.1MPa以下であることがより好ましい。
In the heat crimping, the
加熱圧着により上記接合を行う場合には、セル本体2の第1の主面5及び第2の主面6、並びに第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の接合面を研磨する必要はない。よって、生産性を高めることができる。もっとも、上記各接合面を、接合前に研磨してもよい。この場合、接合面の算術平均粗さ(Ra)は、0.3nm以下であることが好ましく、0.2nm以下であることがより好ましく、0.1nm以下であることがさらに好ましい。なお、上記接合は、加熱圧着以外の方法により行ってもよい。
When the above joining is performed by heat crimping, it is necessary to polish the first
セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との接合は、オプティカルコンタクトにより行ってもよい。この場合には、接合前に、セル本体2の第1の主面5及び第2の主面6、並びに第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の接合面を研磨する。第1の蓋部材3、第2の蓋部材4及びセル本体2の接合面の算術平均粗さ(Ra)は、1nm以下であることが好ましく、0.6nm以下であることがより好ましく、0.4nm以下であることがさらに好ましい。加熱温度としては、第1の蓋部材3、第2の蓋部材4及びセル本体2を構成するガラスのガラス転移温度以下とすることが好ましく、400℃以下とすることがより好ましく、300℃以下とすることがさらに好ましい。また、オプティカルコンタクトにおける加圧の圧力としては、10MPa以上とすることが好ましく、100MPa以上とすることがより好ましい。それによって、原子セル1の気密性を効果的に高めることができる。しかも、上記のように、原子セル1における光透過性は損なわれ難い。なお、オプティカルコンタクトにおける圧力は、300MPa以下であることが好ましく、200MPa以下であることがより好ましい。
The
セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との接合は、陽極接合により行ってもよい。陽極接合は、例えば、300℃以上、350℃以下の温度で行うことができる。陽極接合は、例えば、大気圧雰囲気下で行うことができる。陽極接合は、例えば、250V以上、300V以下の電圧で行うことができる。この場合、ガラス組成中のアルカリ含有量により電圧を増加させてもよい。また、陽極接合は、例えば、0.1MPa以上、0.3MPa以下の加圧下で行うことができる。この場合、セル本体2、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4の厚みに応じて圧力を大きくしてもよい。
The
セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との接合は、レーザーシールにより行ってもよい。レーザーシールは、ガラスフリットを用いて行うことが好ましい。ガラスフリットとしては、例えば、ビスマス系ガラスを用いることができる。ビスマス系ガラスのガラス組成は、例えば、モル%で、Bi2O3 39%、B2O3 23.7%、ZnO 14.1%、Al2O3 2.7%、CuO 20%、Fe2O3 0.6%とすることができる。
The
レーザーシールによる接合の一例では、まず、ガラスフリットと、必要に応じてビークル及び溶剤とを含むペーストを用意する。次に、このペーストをセル本体2の第1の主面5及び第2の主面6上に塗布及びグレーズ(加熱処理)し、額縁状の封着材料層を形成する。次に、封着材料層を形成したセル本体2の第1の主面5及び第2の主面6上に、それぞれ、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4を載置する。これにより、セル本体2の第1の主面5及び第2の主面6と第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との間に封着材料層を配置することができる。なお、額縁状の封着材料層は、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4側に形成してもよい。あるいは、セル本体2の第1の主面5及び第2の主面6と第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との両方に封着材料を塗布してもよい。次に、レーザー光を、第1の蓋部材3を通して照射し、一方の封着材料層を加熱溶融する。同様に、レーザー光を、第2の蓋部材4を通して照射し、他方の封着材料層を加熱溶融する。これらにより、封着材料層を軟化変形させることにより、セル本体2の第1の主面5及び第2の主面6と第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4とを気密封着して接合することができる。なお、レーザー光としては、例えば、波長808nm、3W~20Wの半導体レーザーを用いることができる。
In one example of laser sealing bonding, first, a paste containing a glass frit and, if necessary, a vehicle and a solvent is prepared. Next, this paste is applied and glazed (heat-treated) on the first
また、セル本体2と、第1の蓋部材3及び第2の蓋部材4との接合は、樹脂接着剤や無機接着剤等の接着剤を用いて行ってもよい。
Further, the
本発明の気密容器を原子セルとして用いる場合、例えば、波長の異なる2種類の光による量子干渉効果を利用してアルカリ金属を共鳴遷移させる原子発振器に用いることができる。もっとも、光及びマイクロ波による二重共鳴現象を利用してアルカリ金属を共鳴遷移させる原子発振器に用いてもよく、特に限定されない。なお、本発明の気密容器は原子セルには限定されず、例えば波長変換部材等の、気密性が求められる部材に適用することもできる。 When the airtight container of the present invention is used as an atomic cell, it can be used, for example, in an atomic oscillator that makes a resonance transition of an alkali metal by utilizing the quantum interference effect of two types of light having different wavelengths. However, it may be used for an atomic oscillator that makes a resonance transition of an alkali metal by utilizing a double resonance phenomenon caused by light and microwave, and is not particularly limited. The airtight container of the present invention is not limited to the atomic cell, and can be applied to a member that requires airtightness, such as a wavelength conversion member.
1…原子セル
2…セル本体
3…第1の蓋部材
4…第2の蓋部材
5…第1の主面
6…第2の主面
7…外側面
7a~7d…第1~第4の外側面
8…内側面
8a~8d…第1~第4の内側面
13…第1の貫通孔
14…第2の貫通孔
15…連通部
19…アンプル
22…プリフォーム
23…第1の孔部
24…第2の孔部
25…中間体
1 ...
Claims (10)
前記セル本体の前記第1の主面上に設けられており、前記貫通孔の一方側を塞いでいる第1の蓋部材と、
前記セル本体の前記第2の主面上に設けられており、前記貫通孔の他方側を塞いでいる第2の蓋部材と、
を備え、
前記外側面が火造り面であり、かつ入光面及び出光面を含む、気密容器。 It has a first main surface and a second main surface facing each other, and is provided with a through hole penetrating between the first main surface and the second main surface, and the first main surface is provided. A cell body having an inner surface and an outer surface connected to a main surface and the second main surface.
A first lid member provided on the first main surface of the cell body and closing one side of the through hole, and a first lid member.
A second lid member provided on the second main surface of the cell body and closing the other side of the through hole, and a second lid member.
Equipped with
An airtight container in which the outer surface is a fire-made surface and includes an incoming surface and an outgoing surface.
前記第1の外側面が入光面であり、前記第2の外側面が出光面であり、
前記第1の外側面、前記第1の内側面、前記第2の外側面及び前記第2の内側面における、少なくとも光を透過させる部分が略平行である、請求項1又は2に記載の気密容器。 The inner surface of the cell body includes a first inner surface and a second inner surface facing each other, and the outer surface includes a first outer surface and a second outer surface facing each other.
The first outer surface is an incoming surface, and the second outer surface is an outgoing surface.
The airtightness according to claim 1 or 2, wherein at least the light-transmitting portions of the first outer surface, the first inner surface, the second outer surface, and the second inner surface are substantially parallel. container.
前記第1の外側面が入光面であり、前記第2の外側面が出光面であり、
前記第1の外側面、前記第1の内側面、前記第2の外側面及び前記第2の内側面における、少なくとも光を透過させる部分がいずれも平面状である、請求項1~3のいずれか1項に記載の気密容器。 The inner surface of the cell body includes a first inner surface and a second inner surface facing each other, and the outer surface includes a first outer surface and a second outer surface facing each other.
The first outer surface is an incoming surface, and the second outer surface is an outgoing surface.
3. Or the airtight container according to item 1.
リドロー成形により、プリフォームから前記セル本体を形成する工程と、
前記セル本体の前記第1の主面上に前記第1の蓋部材を接合する工程と、
前記セル本体の前記第2の主面上に前記第2の蓋部材を接合する工程と、
を備える、気密容器の製造方法。 The method for manufacturing an airtight container according to any one of claims 1 to 7.
The process of forming the cell body from the preform by redraw molding and
A step of joining the first lid member onto the first main surface of the cell body,
A step of joining the second lid member onto the second main surface of the cell body,
A method for manufacturing an airtight container.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020122905A JP7491112B2 (en) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | Airtight container and method of manufacturing same |
PCT/JP2021/019340 WO2022014156A1 (en) | 2020-07-17 | 2021-05-21 | Hermetic container, and method for manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020122905A JP7491112B2 (en) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | Airtight container and method of manufacturing same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022019207A true JP2022019207A (en) | 2022-01-27 |
JP7491112B2 JP7491112B2 (en) | 2024-05-28 |
Family
ID=79555127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020122905A Active JP7491112B2 (en) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | Airtight container and method of manufacturing same |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7491112B2 (en) |
WO (1) | WO2022014156A1 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5892320B2 (en) | 2012-01-11 | 2016-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | Optical module and atomic oscillator for an atomic oscillator |
JP5892321B2 (en) | 2012-01-11 | 2016-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | Optical module and atomic oscillator for an atomic oscillator |
JP6171748B2 (en) | 2013-09-05 | 2017-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | Atomic cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device, and moving object |
JP6679585B2 (en) | 2014-10-07 | 2020-04-15 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | Laminated glass with increased strength |
JP6841190B2 (en) | 2017-08-31 | 2021-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | Frequency signal generator and frequency signal generator |
JP2020113616A (en) | 2019-01-10 | 2020-07-27 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | Quantum optical device |
-
2020
- 2020-07-17 JP JP2020122905A patent/JP7491112B2/en active Active
-
2021
- 2021-05-21 WO PCT/JP2021/019340 patent/WO2022014156A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7491112B2 (en) | 2024-05-28 |
WO2022014156A1 (en) | 2022-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109690796B (en) | Optical semiconductor device and method for manufacturing optical semiconductor device | |
US11711938B2 (en) | Sealed devices comprising transparent laser weld regions | |
US10457595B2 (en) | Laser welded glass packages | |
US8089200B2 (en) | Piezoelectric vibrating devices and methods for manufacturing same | |
US20220310890A1 (en) | Component arrangement, package and package arrangement, as well as production method | |
JP6037293B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device | |
WO2017047358A1 (en) | Light emitting module and method for manufacturing light emitting module | |
JP5504851B2 (en) | Atomic oscillator and manufacturing method | |
US20060131600A1 (en) | Light transmitting window member, semiconductor package provided with light transmitting window member and method for manufacturing light transmitting window member | |
EP1295157A1 (en) | Composite diamond window | |
JP2011119325A5 (en) | ||
CN110959130A (en) | MEMS mirror assembly and method for manufacturing a MEMS mirror assembly | |
US12084374B2 (en) | Method for producing glass wafers for packaging electronic devices, and electronic component produced according to the method | |
WO2011121686A1 (en) | Method for manufacturing wafer-bonded semiconductor device | |
WO2019161370A1 (en) | Laser welded sheets, laser welding methodology, and hermetically sealed devices incorporating the same | |
WO2022018951A1 (en) | Atomic cell, and method for manufacturing same | |
WO2022014156A1 (en) | Hermetic container, and method for manufacturing same | |
JP2022539450A (en) | Method for manufacturing a component arrangement for a package, method for manufacturing a package having a component arrangement, component arrangement, and package | |
JP2013038727A (en) | Airtight package and method of manufacturing the same | |
JP2023046815A (en) | Airtight container and manufacturing method thereof | |
CN109003971B (en) | Housing for optoelectronic device, method for producing same, and cover for housing | |
KR20220073802A (en) | Method for manufacturing a joined body and an apparatus for manufacturing a joined body | |
WO2018003164A1 (en) | Airtight package and method for manufacturing same | |
WO2021024619A1 (en) | Atomic cell glass, atomic cell, and atomic cell manufacturing method | |
JP2008042512A (en) | Package for electronic component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240429 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7491112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |