JP2021534964A - ３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法に係り、より詳細には、粘性溶液を吐出する資材の３次元形状を３次元スキャナを用いて把握し、その結果を利用して、粘性溶液を資材に対して吐出するための、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法に関する。本発明による３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法は、資材の正確な位置に粘性溶液を吐出することができるようにすることにより、粘性溶液吐出工程の品質を向上させるという効果がある。本発明による３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法は、資材の形状と寸法にある程度の誤差があってもこれを補償することができる方法で粘性溶液を吐出することにより、資材の生産単価を間接的に低減するという効果がある。【選択図】図１

Description

本発明は、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法に係り、より詳細には、粘性溶液を吐出する資材の３次元形状を３次元スキャナを用いて把握し、その結果を利用して粘性溶液を資材に対して吐出するための、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法に関する。

半導体製造工程や電子製品製造工程において、接着剤などの粘性溶液を正確な位置に正確な量で吐出する工程は、非常に重要である。粘性溶液の吐出位置と量に誤差がある場合、製品の不良を招く。

特に合成樹脂材質の資材に粘性溶液を吐出する場合、吐出位置と量を調節することが重要である。製品の仕様が高まるにつれて、粘性溶液を吐出する位置と粘性溶液の吐出幅も数十〜数百マイクロメートル程度の誤差内で処理しなければならないほどの精度が要求される。ところが、合成樹脂材質の資材の場合は、射出成形によって製造される工程の特性上、資材ごとに数十マイクロメートル以上の寸法誤差が容易に発生する。このような誤差を防止するために、非常に精巧な方法で射出成形資材を生産すると、工程原価が非常に高くなるという問題点がある。

合成樹脂材質の資材のように資材特性により発生しうる形状や寸法誤差を考慮して、そのような誤差に対応しながら粘性溶液吐出経路や位置などを調節する方法で粘性溶液吐出工程を行うことができれば、不良率を大幅に下げ、生産性を向上させることができるという利点がある。特に、吐出工程のために合成樹脂資材を高品質で精巧に製作しなくてもよいので、資材自体の生産原価を大幅に削減することができるという利点がある。

このように粘性溶液を吐出する資材の個別的な形状と寸法の誤差を効果的に考慮して、各資材の形状に合わせて正確に粘性溶液を吐出することができる、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法が求められる。

本発明は、上述したような必要性を満たすために案出されたもので、その目的は、粘性溶液を吐出する資材の形状と寸法を個別に測定し、その測定結果を利用して正確な位置に正確な量で粘性溶液を吐出することができる、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法は、ポンプを用いて資材に対して粘性溶液を吐出する、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法であって、（ａ）前記資材の少なくとも一部を３次元スキャナでスキャンして、粘性溶液を吐出する領域とその周囲の３次元形状データを得るステップと、（ｂ）前記（ａ）ステップで得た資材の３次元形状データを用いて、制御部で粘性溶液を吐出する吐出経路を計算するステップと、（ｃ）前記（ｂ）ステップで前記制御部によって計算された前記吐出経路に沿って前記ポンプをポンプ移送ユニットによって動かしながら、前記ポンプで粘性溶液を前記資材に吐出するステップとを含むことに特徴がある。

本発明による３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法は、資材の正確な位置に粘性溶液を吐出することができるようにすることにより、粘性溶液吐出工程の品質を向上させるという効果がある。

本発明による３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法は、資材の形状と寸法にある程度の誤差があってもこれを補償することができる方法で粘性溶液を吐出することにより、資材の生産単価を間接的に低減するという効果がある。

本発明に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法の一例を実施するためのディスペンサーの構成図である。 本発明の一実施形態に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法によって粘性溶液を吐出する資材の一例を示す図である。 図２に示された資材の一部分に対するIII−III線に沿った断面図である。 図２に示された資材の一部分に対するIV−IV線に沿った断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法の一例について説明する。

図１は本発明に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法の一例を実施するためのディスペンサーの構成図、図２は本発明の一実施形態に係る３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法によって粘性溶液を吐出する資材の一例を示す図である。

まず、図１を参照して、本発明による３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法の一例を実施するためのディスペンサーの構成について説明する。

図２に示されたような形態の資材１０が資材移送ユニット６００に配置されて供給される。資材移送ユニット６００は、資材１０を水平方向に移送する。

資材移送ユニット６００の上側には、３次元スキャナ１００とポンプ３００が配置される。

３次元スキャナ１００は、スキャナ移送ユニット２００によって水平方向と垂直方向に移送される。スキャナ移送ユニット２００が３次元スキャナ１００を資材１０の主要部分と近接する位置に移送すると、３次元スキャナ１００は、資材１０をスキャンして資材１０の３次元形状データを取得する。３次元スキャナ１００は、公知のさまざまな構成が使用できる。本実施形態では、ＤＬＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）技術を利用するＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）によって資材１０を高速撮影して当該領域の３次元形状を取得する方式の３次元スキャナ１００を用いる場合を例に挙げて説明する。

３次元形状データの取得が必要な位置にスキャナ移送ユニット２００が３次元スキャナ１００を移送すると、３次元スキャナ１００が資材１０を３次元スキャンして３次元形状データを得る。

資材１０の３次元スキャンが完了すると、資材移送ユニット６００が資材１０をポンプ３００の下側に移送する。

ポンプ移送ユニット４００は、３次元形状データに基づいて資材１０に対してポンプ３００を水平方向および垂直方向に動かし、ポンプ３００は、ノズルを介して粘性溶液を吐出する。本実施形態の場合、ポンプ移送ユニット４００は、ポンプ３００を傾けて資材１０に対するポンプ３００の角度を調節する。

制御部５００は、３次元スキャナ１００、ポンプ３００、スキャナ移送ユニット２００、ポンプ移送ユニット４００、資材移送ユニット６００などの作動を制御する。

以下、上述したように構成されたディスペンサーを用いて、本実施形態の３次元スキャナ１００を用いた粘性溶液吐出方法によって粘性溶液を資材１０に吐出する過程について説明する。

本実施形態では、図２に示されたような四角フレーム形状の合成樹脂射出物にエポキシ接着剤を粘性溶液として吐出する過程について説明する。

合成樹脂射出物タイプの資材１０の場合は、合成樹脂の特性と射出成形工程の特性により数十マイクロメートル以上の寸法誤差や形状誤差が容易に発生する。また、同じ金型で同じ工程によって生産された射出物も資材１０ごとに微細にサイズと形状が異なることが多い。

このような形態の資材１０に粘性溶液を吐出する過程について説明する。

まず、資材１０の少なくとも一部を３次元スキャナ１００でスキャンして、粘性溶液を吐出する領域とその周囲の３次元形状データを得る（（ａ）ステップ）。

資材１０は、資材移送ユニット６００によって３次元スキャナ１００の下側に配置される。スキャナ移送ユニット２００によって３次元スキャナ１００を動かしながら、粘性溶液を吐出する領域とその周囲の領域を３次元スキャナ１００によって３次元スキャンする。粘性溶液を吐出するすべての領域を３次元スキャンすることも、一部の領域のみをスキャンすることもできる。ＤＭＤ技術を利用すれば、１秒に数百枚以上のイメージを撮影して３次元形状データを得ることができるので、非常に速い作業が可能である。作業速度をさらに向上させるためには、資材１０の一部領域に対してのみ３次元形状データを得る過程を行う。本実施形態の場合、図２に破線で示された部分のように四角フレーム形状の資材１０の四隅（ｃｏｒｎｅｒ）部分１３に対してのみ３次元スキャンを行うことを例に挙げて説明する。

射出成形工程により、資材１０の四角隅部分１３の形状変化が比較的大きい。この部分の粘性溶液吐出の結果が全体工程の品質に大きい影響を及ぼすので、四角隅部分に対して３次元スキャンを行う。

３次元スキャナ１００で取得した３次元形状データは、制御部５００に伝達される。制御部５００は、（ａ）ステップで得た資材１０の３次元形状データを用いて、粘性溶液を吐出する吐出経路を計算する（（ｂ）ステップ）。

制御部５００が吐出経路を計算する方法は、様々な方法が使用できる。資材１０の構造と特性に応じてさまざまな吐出経路計算方法がプログラミングされて制御部５００によって行われる。

本実施形態において、制御部５００は、資材１０のエッジ（ｅｄｇｅ）形状を用いて吐出経路を計算する。３次元スキャナ１００が取得した形状データを用いて、制御部５００は、資材１０の形状のうち、面と面とが接するエッジ（ｅｄｇｅ）１１、１２部分を抽出する。このようなエッジ経路に沿って吐出経路を計算することができる。例えば、図２乃至図４に示された資材１０のエッジ１１、１２のうち、外側エッジ１２を基準に内側に基準間隔を維持する経路を吐出経路として設定することが可能である。例えば、外側エッジ１２に対して内側に１ｍｍの部位が吐出経路となるように制御部５００が設定することができる。別の方法としては、制御部５００が、図２乃至図４に示された資材１０の内側エッジ１１と外側エッジ１２を抽出し、２つのエッジ１１、１２の間の地点に吐出経路を計算することが可能である。本実施形態の場合、内側エッジ１１と外側エッジ１２との間の幅Ｗの１／２となる中間地点を吐出経路として制御部５００が設定する場合を例に挙げて説明する。このような方法以外に、資材１０の特性と工程の必要に応じて、制御部５００はさまざまな方法で吐出経路を計算することができる。

上述したように制御部５００が四角フレーム形状の資材１０の四隅（ｃｏｒｎｅｒ）部分１３の吐出経路の計算を完了すると、資材１０の残りの部分に対する吐出経路も計算することができる。四角フレームの四隅部分１３とは異なり、４つの辺（ｓｉｄｅｓ）に該当する部分の形状誤差が大きくない場合には、予め保存された資材１０の形状データを用いて、４つの辺に対応する吐出経路を制御部５００が設定することができる。四隅（ｃｏｒｎｅｒ）部分１３に対する吐出経路を連結する方法で、数値的に４つの辺に対応する吐出経路を制御部５００が設定することも可能である。この場合、四隅部分１３の吐出経路の端部分を直線的に連結することもでき、一定の曲率が反映された曲線で連結することもでき、四隅部分１３の形状データを用いて間の区間を内挿（ｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ）する方法で吐出経路を設定することも可能である。このようにさまざまな方法で３次元スキャナ１００によってスキャンされた領域の間の区間に対する吐出経路を制御部５００が計算する方法が使用できる。

一方、制御部５００は、吐出経路を３次元的に計算する。つまり、平面上で動く経路だけでなく、吐出経路に沿った資材１０の高さも考慮してポンプ３００のノズルが経由する３次元座標が連結されるように、制御部５００は吐出経路を計算する。

上述したように、制御部５００による吐出経路の計算が完了すると、制御部５００の命令に基づいて、ポンプ移送ユニット４００が吐出経路に沿ってポンプ３００を動かしながらポンプ３００で粘性溶液を資材１０に吐出する（（ｃ）ステップ）。このとき、制御部５００は、ポンプ３００のノズルと資材１０との間の間隔が一定に保たれるようにポンプ移送ユニット４００によってポンプ３００を３次元的に動かしながら、粘性溶液を資材１０に吐出する。このような方法によって資材１０の粘性溶液吐出面とノズルとの間の間隔を一定に保つことにより、吐出工程の品質を向上させることができる。

このように資材１０に粘性溶液を吐出する工程を行うにあたり、ポンプ移送ユニット４００によってポンプ３００のノズルと資材１０の表面との角度が垂直となるように維持すれば、吐出工程の品質をさらに向上させることができる。

このため、吐出経路に沿って資材１０の表面角度に対する情報を取得する過程が必要である。（ｂ）ステップで吐出経路が計算されると、（ａ）ステップで取得した資材１０の形状データを用いて、吐出経路に対応する位置の資材１０の表面角度を制御部５００が計算する（（ｄ）ステップ）。上述したように資材１０の一部分に対してのみ３次元スキャンを行う場合には、スキャニング領域の間の吐出経路に対しては、予め保存された資材１０の基準形状データを用いるか、或いはスキャニング領域で計算された資材１０の表面角度を内挿（ｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ）などの方法で数値的に計算する。

このように（ｄ）ステップで資材１０の表面角度を制御部５００が計算した場合には、（ｃ）ステップで粘性溶液を吐出するときにポンプ３００のノズルと資材１０の表面との角度が垂直に維持されるように、ポンプ移送ユニット４００によってポンプ３００の角度を調節しながら吐出する。ポンプ３００のノズルと資材１０の表面とが互いに垂直な状態で粘性溶液を吐出することが好ましいが、場合によっては９０度ではなく、他の角度が一定に維持されるようにしながら、粘性溶液を吐出することも可能である。

このように、本発明は、資材１０の表面角度に応じてポンプ３００の角度を調節しながら吐出が可能なので、３次元曲面で形成された資材１０に対しても正確な位置に正確な量の粘性溶液吐出が可能であり、資材１０の吐出面に寸法誤差、形状誤差、加工誤差などがあるとしても、これを考慮して正確な粘性溶液吐出工程を行うことができるという利点がある。また、資材１０が据え置かれる資材移送ユニット６００、または資材１０と資材移送ユニット６００との間に配置される資材据え置き用トレイが傾いている場合でも、上述したように資材１０の角度を考慮して粘性溶液を吐出すると、吐出工程の品質を向上させることができるという利点がある。

上述したように（ａ）ステップで３次元スキャナ１００によって資材１０の形状データを取得すると、資材１０の形状を考慮して吐出経路に沿って粘性溶液の吐出量を変化させながらポンプ３００によって吐出することも可能である。

このため、制御部５００は、（ｂ）ステップで計算された吐出経路に沿って資材１０に吐出する粘性溶液の吐出量を、（ｃ）ステップを行う前に計算する（（ｅ）ステップ）。

例えば、図３及び図４に示すように、資材１０の２つのエッジ（ｅｄｇｅ）１１、１２の間の幅Ｗと深さＤを計算して、幅Ｗと深さＤが基準値よりも大きい場合には吐出量を多くし、基準値よりも小さい場合には吐出量を少なくするように、制御部５００が粘性溶液の吐出量を計算することができる。

このように（ｅ）ステップで制御部５００が粘性溶液の吐出量を計算した場合には、（ｃ）ステップを行うとき、粘性溶液の吐出量を調節して粘性溶液を吐出する。

通常、粘性溶液の吐出量を調節する方法は、ポンプ３００の移動速度（ｍｏｖｉｎｇ ｖｅｌｏｃｉｔｙ）、及びポンプ３００のノズルを介して吐出される粘性溶液の流量（ｆｌｏｗｒａｔｅ）のうち、いずれか一方を固定し、残りの一方を変化させる方法が使用される。本実施形態の場合、ポンプ３００の移動速度を固定し、ポンプ３００の粘性溶液吐出流量を調節する方法を使用する。ポンプ移送ユニット４００によってポンプ３００を一定の速度で動かしながら、ノズルを介して吐出される粘性溶液の流量を調節する。圧電ポンプ３００を使用する場合、圧電ポンプ３００のバルブロッド昇降周期を制御部５００によって調節することにより、粘性溶液の流量を調節することができる。

上述したように、資材１０の形状データを考慮して粘性溶液の吐出量を資材１０ごとに異なるように調節することにより、さまざまなメリットを得ることができる。資材１０を加工または生産する工程のコストを下げることができる。資材１０の寸法精度に優れなくても、粘性溶液吐出ステップで資材１０の実体形状と寸法を考慮して粘性溶液を吐出するので、高精度の資材１０を製作するために資材１０の生産工程にかかるコストを減らすことができる。資材１０の寸法と形状に誤差があって不良として処理される資材１０に対しても、そのような形状や寸法誤差を考慮して粘性溶液を吐出して不良として処理せず、良品として工程を処理することが可能である。このような方法で全体的な製品生産工程の歩留まりを向上させることができる。

例えば、資材１０の形状誤差により資材１０に他の部品を接着することが不可能であるか、或いは接着しても一部の区間で資材１０と部品との接着が悪くて資材１０と部品との間に隙間が発生することがあるが、このような場合にも、資材１０の形状誤差を考慮して、接着剤をさらに十分に吐出して硬化させることにより、資材１０と部品との間に発生しうる隙間を接着剤で埋めて不良を防止することが可能である。

上述したように資材１０の３次元的形状を考慮してポンプ３００の位置と方向を調節し、吐出量を調節しても、場合によっては、吐出された粘性溶液の量を正確に調節することが難しいことがある。一般的に、粘性溶液の特性が時間の経過と温度の変化に応じて変化し、ポンプ３００の作動特性も変化するため、同じ粘性溶液とポンプ３００で吐出を行っても、吐出結果に誤差が存在することがある。

このような場合、次のように３次元スキャナ１００を用いて吐出結果を検査して不良か否かを判断し、粘性溶液の吐出量が足りない場合には、ポンプ３００を用いて粘性溶液の吐出量を補充する方法で補正することも可能である。

（ｃ）ステップによって資材１０に粘性溶液を吐出する工程が完了した場合、資材移送ユニット６００は、再び資材１０を３次元スキャナ１００の下側に移送する。スキャナ移送ユニット２００が３次元スキャナ１００を資材１０の粘性溶液吐出領域に移送し、３次元スキャナ１００は、（ｃ）ステップによって粘性溶液が吐出された結果をスキャンして、粘性溶液が吐出された資材１０の３次元形状データを得る（（ｆ）ステップ）。

制御部５００は、（ｆ）ステップで得た３次元形状データを用いて、（ｃ）ステップによる粘性溶液の吐出結果を検査する（（ｇ）ステップ）。

制御部５００は、（ｇ）ステップを行いながら粘性溶液の吐出結果を検査した結果、吐出量が足りないと判断される場合、粘性溶液の追加の吐出経路と吐出量を計算する。

資材移送ユニット６００は、資材１０を再びポンプ３００の下側に移送し、制御部５００は、（ｇ）ステップの結果に応じてポンプ移送ユニット４００によってポンプ３００を動かしながら粘性溶液を資材１０に追加吐出する（（ｈ）ステップ）。

このような方法で粘性溶液の吐出結果を３次元スキャナ１００によって検査することもでき、場合によっては、粘性溶液の吐出量を補正することも可能である。この方法で吐出工程の品質をさらに向上させることができ、不良率も下げることができる。

場合によっては、（ｃ）ステップを行いながら、意図的に粘性溶液を定められた量よりも少なく吐出した後、（ｆ）ステップ、（ｇ）ステップおよび（ｈ）ステップを順次行ってより正確に粘性溶液の吐出量を調節する方式で、本発明の３次元スキャナ１００を用いた粘性溶液吐出方法を行うことも可能である。

以上、本発明について好適な例を挙げて説明したが、本発明の範囲は、上述及び図示した形態に限定されるものではない。

例えば、四角フレーム形状の資材１０に対して四隅部分のみ３次元スキャナ１００で（ａ）ステップを行い、スキャンされた領域の間は数値的に計算するものと説明したが、場合によっては、吐出経路に沿ってすべての領域に対して（ａ）ステップを行って３次元形状データを得ることも可能である。

また、（ｄ）ステップによって資材１０の表面角度を計算し、その角度を考慮してポンプ３００の角度を調節しながら吐出するものと説明したが、資材１０の特性によっては、そのような角度を考慮せずにポンプ３００の角度を固定したままで（ｃ）ステップを行うことも可能である。

また、資材１０のエッジ（ｅｄｇｅ）１１、１２を用いて吐出経路を計算するものと説明したが、エッジ以外に、他の基準を用いて吐出経路を計算することも可能である。例えば、資材１０にレーザーなどを用いて予め吐出経路の基準となる線を表示し、その線を基準として制御部５００が吐出経路を計算するようにすることもできる。このような方法以外の他の様々な方法で資材１０の特性を考慮して、（ｂ）ステップによって制御部５００が吐出経路を計算することができる。

また、（ｆ）ステップと（ｇ）ステップによって吐出結果を３次元スキャンし、検査する過程と、（ｈ）ステップによって補充吐出する過程を説明したが、（ｆ）ステップ乃至（ｈ）ステップを行わない３次元スキャナ１００を用いた粘性溶液吐出方法を採用することも可能である。

一方、四角フレームの隅に該当する部分と、四角フレームの四辺における、面と面とが接する部分に対して「隅部」、「エッジ」という用語を用いて説明したが、それぞれ「ｃｏｒｎｅｒ」と「ｅｄｇｅ」を付記して説明した。

Claims (9)

1. ポンプを用いて資材に対して粘性溶液を吐出する、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法であって、
   （ａ）前記資材の少なくとも一部を３次元スキャナでスキャンして、粘性溶液を吐出する領域とその周囲の３次元形状データを得るステップと、
   （ｂ）前記（ａ）ステップで得た資材の３次元形状データを用いて、制御部で粘性溶液を吐出する吐出経路を計算するステップと、
   （ｃ）前記（ｂ）ステップで前記制御部によって計算された前記吐出経路に沿って前記ポンプをポンプ移送ユニットによって動かしながら、前記ポンプで粘性溶液を前記資材に吐出するステップとを含む、３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
2. 前記（ａ）ステップは、前記資材の複数の領域を前記３次元スキャナでスキャンして前記３次元形状データを得、
   前記（ｂ）ステップは、前記３次元スキャナによってスキャンされた領域の前記吐出経路と前記３次元スキャナによってスキャンされた領域との間を連結する前記吐出経路を前記制御部で計算する、請求項１に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
3. 前記（ｂ）ステップで、前記制御部は、前記（ａ）ステップで得た資材の３次元形状データを用いて、前記吐出経路に隣接する位置の前記資材のエッジ（ｅｄｇｅ）を抽出し、そのエッジを基準に前記吐出経路を計算する、請求項１に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
4. 前記（ｂ）ステップで、前記制御部は、前記（ａ）ステップで得た資材の３次元形状データを用いて、前記吐出経路に隣接する位置の二つのエッジを抽出し、その二つのエッジの間の地点から前記吐出経路を計算する、請求項１に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
5. 前記（ｂ）ステップで、前記制御部は、粘性溶液を吐出する領域の前記資材の高さを考慮して前記吐出経路を３次元的経路で計算し、
   前記（ｃ）ステップは、前記（ｂ）ステップで計算された前記吐出経路に沿って前記ポンプのノズルと前記資材との間の間隔が一定に維持されるように、前記ポンプ移送ユニットによって前記ポンプを３次元的に動かしながら、粘性溶液を前記資材に吐出する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
6. （ｄ）前記（ｂ）ステップで計算された前記吐出経路に沿って前記資材の表面角度を前記制御部が計算するステップをさらに含み、
   前記（ｃ）ステップは、前記（ｄ）ステップで計算された前記資材の表面の方向と前記ポンプのノズルの方向との角度が一定に維持されるように、前記ポンプ移送ユニットによって前記ポンプの角度を調節しながら、粘性溶液を前記資材に吐出する、請求項５に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
7. （ｅ）前記（ｂ）ステップで計算された前記吐出経路に沿って前記資材に吐出する粘性溶液の吐出量を前記制御部が計算するステップをさらに含み、
   前記（ｃ）ステップは、前記（ｅ）ステップで計算された吐出量に基づいて粘性溶液が前記資材に吐出されるように、前記ポンプ移送ユニットによるポンプの移動速度、及び前記ポンプのノズルを介して吐出される粘性溶液の流量（ｆｌｏｗｒａｔｅ）のうちの少なくとも一つを調節しながら、粘性溶液を吐出する、請求項５に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
8. （ｆ）前記（ｃ）ステップによって粘性溶液が吐出された結果を前記３次元スキャナでスキャンして、粘性溶液が吐出された資材の３次元形状データを得るステップと、
   （ｇ）前記（ｆ）ステップで得た３次元形状データを用いて前記制御部で前記（ｃ）ステップによる粘性溶液の吐出結果を検査するステップとをさらに含む、請求項５に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
9. 前記（ｇ）ステップは、粘性溶液の吐出結果を検査した結果、吐出量が足りないと判断される場合、粘性溶液の追加の吐出経路と吐出量を計算し、
   （ｈ）前記（ｇ）ステップの結果に応じて前記ポンプ移送ユニットによって前記ポンプを動かしながら、粘性溶液を資材に追加吐出する、請求項８に記載の３次元スキャナを用いた粘性溶液吐出方法。
   
   

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