JP2021190623A

JP2021190623A - Processing device

Info

Publication number: JP2021190623A
Application number: JP2020096264A
Authority: JP
Inventors: 佑高乗; Yu Takanori
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-06-02
Filing date: 2020-06-02
Publication date: 2021-12-13

Abstract

To provide a processing device that includes a plurality of operable display monitors, easily distinguishes whether the monitor is a display monitor that accepts operations, and can easily switch the display monitor that does not accept operation inputs to a state that accepts operation inputs.SOLUTION: A processing device 1 includes a holding table 10, a processing unit 20, and a plurality of display monitors 30 that accept input by the operator's touch operation and display various pieces of information related to operation control. The plurality of display monitors 30 includes one operation monitor with valid operator operation input, and another read-only monitor with invalid operator input, and a common screen is displayed on the operation monitor, and the common screen, a switching button for switching between the operation monitor and the read-only monitor, and a read-only display that can be distinguished from the operation monitor are displayed on the read-only monitor.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、複数の表示モニターを有する加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus having a plurality of display monitors.

オペレータが複数の方向から操作入力が出来るよう、複数の操作入力が可能な表示モニターが加工装置の外面に設置されている加工装置が知られている（特許文献１参照）。 There is known a processing device in which a display monitor capable of performing a plurality of operation inputs is installed on the outer surface of the processing device so that an operator can input operations from a plurality of directions (see Patent Document 1).

特開２０１１−２１８４５０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-218450

特許文献１の加工装置では、例えば内部をメンテナンス中に、他のオペレータが別の表示モニターで加工装置に操作入力をしてしまうと危険であるため、一つの表示モニターに排他的に操作入力の権限を与えている。しかしオペレータは、特許文献１の加工装置では、自分が操作入力しようとしている表示モニターが操作入力を受け付ける表示モニターであるか否かを瞬時に判断できないという問題があった。 In the processing device of Patent Document 1, for example, it is dangerous if another operator inputs an operation to the processing device on another display monitor during maintenance of the inside, so that the operation input is exclusively performed on one display monitor. You are authorizing. However, in the processing apparatus of Patent Document 1, there is a problem that the operator cannot instantly determine whether or not the display monitor on which he / she is trying to input an operation is a display monitor that accepts the operation input.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の操作入力が可能な表示モニターを有する加工装置において、操作入力を受け付ける表示モニターであるか否かを容易に見分け、なおかつ、操作入力を受け付けない表示モニターを操作入力を受け付ける状態に容易に切替えられる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to easily distinguish whether or not a processing apparatus has a display monitor capable of performing a plurality of operation inputs, and whether or not the display monitor accepts the operation inputs. Moreover, it is to provide a processing apparatus that can easily switch a display monitor that does not accept operation input to a state that accepts operation input.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、オペレータのタッチ操作による入力を受け付け、運転制御に関する各種情報を表示する複数の表示モニターと、を備え、複数の該表示モニターは、オペレータの操作が有効な一つの操作モニターと、オペレータの操作が無効なその他の読み取り専用モニターと、を有し、該操作モニターには、共通画面が表示され、該読み取り専用モニターには、該共通画面と、該操作モニターと該読み取り専用モニターとを切替える切替えボタンと、該操作モニターと区別可能な読み取り専用表示と、が表示されることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the processing apparatus of the present invention includes a holding table for holding a workpiece, a machining unit for machining the workpiece held on the holding table, and an operator. It is equipped with a plurality of display monitors that accept input by touch operation and display various information related to operation control, and the plurality of display monitors include one operation monitor in which the operator's operation is valid, and others in which the operator's operation is invalid. The operation monitor has a common screen, and the read-only monitor has a common screen, a switching button for switching between the operation monitor and the read-only monitor, and the read-only monitor. It is characterized by displaying a read-only display that can be distinguished from the operation monitor.

該操作モニターは、該読み取り専用モニターにおける該切替えボタンの作動を有効または無効に制御する切替え制限ボタンをさらに有し、該読み取り専用モニターは、該切替えボタンの作動が無効になっている場合、切替え無効を示す無効メッセージを表示してもよい。 The operation monitor further has a switch limiting button that controls the activation of the switch button on the read-only monitor to enable or disable, and the read-only monitor switches when the activation of the switch button is disabled. An invalid message indicating invalidity may be displayed.

本発明は、複数の操作可能な表示モニターを有する加工装置において、操作入力を受け付ける表示モニターであるか否かを容易に見分け、なおかつ、操作入力を受け付けない表示モニターを操作入力を受け付ける状態に容易に切替えられる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY In a processing apparatus having a plurality of operable display monitors, the present invention can easily distinguish whether or not a display monitor accepts operation inputs, and easily arranges a display monitor that does not accept operation inputs into a state of accepting operation inputs. Can be switched to.

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the processing apparatus according to the first embodiment. 図２は、図１の加工装置の表示モニターの表示画面の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a display screen of the display monitor of the processing apparatus of FIG. 図３は、図１の加工装置の表示モニターの表示画面の別の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing another example of the display screen of the display monitor of the processing apparatus of FIG. 図４は、図１の加工装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing an example of the processing procedure of the processing apparatus of FIG. 図５は、図１の加工装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of the processing procedure of the processing apparatus of FIG. 図６は、実施形態２に係る加工装置の表示モニターの表示画面の一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of a display screen of the display monitor of the processing apparatus according to the second embodiment. 図７は、実施形態２に係る加工装置の表示モニターの表示画面の別の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another example of the display screen of the display monitor of the processing apparatus according to the second embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、加工ユニット２０と、複数の表示モニター３０と、制御ユニット４０と、を備える。加工装置１は、実施形態１では、装置カバー３を備え、複数の表示モニター３０を除く上記の加工装置１の各構成要素を装置カバー３で覆っている。 [Embodiment 1]
The processing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the processing apparatus 1 according to the first embodiment. As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 according to the first embodiment includes a holding table 10, a processing unit 20, a plurality of display monitors 30, and a control unit 40. In the first embodiment, the processing apparatus 1 includes an apparatus cover 3, and covers each component of the processing apparatus 1 except for a plurality of display monitors 30 with the apparatus cover 3.

実施形態１において、加工装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にチップサイズのデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状のフレーム１０６が装着される。被加工物１００は、本発明ではこれに限定されず、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。 In the first embodiment, the workpiece 100 to be processed by the processing apparatus 1 is a disk whose base material is, for example, silicon, sapphire, silicon carbide (SiC), gallium arsenide, or the like, as shown in FIG. It is a wafer such as a semiconductor wafer or an optical device wafer. In the workpiece 100, a chip-sized device 103 is formed in a region partitioned by a plurality of scheduled division lines 102 formed in a grid pattern on a flat surface 101. In the workpiece 100, the adhesive tape 105 is attached to the back surface 104 on the back side of the front surface 101, and the annular frame 106 is attached to the outer edge of the adhesive tape 105. The workpiece 100 is not limited to this in the present invention, and may be a rectangular package substrate, a ceramic plate, a glass plate, or the like having a plurality of devices sealed with a resin.

保持テーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を、例えば表面１０１側を上側に向けて、裏面１０４側を粘着テープ１０５を介して保持する。保持テーブル１０は、被加工物１００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持面１１は、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。保持テーブル１０は、不図示のＸ軸移動ユニットにより水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動自在で、不図示の回転駆動源によりＺ軸回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物１００を吸引保持する。 The holding table 10 holds the workpiece 100 on the holding surface 11 with the front surface 101 facing upward and the back surface 104 side via the adhesive tape 105. The holding table 10 has a disk-shaped suction portion having a flat holding surface 11 for holding the workpiece 100 formed on the upper surface thereof and having a porous ceramic or the like having a large number of porous holes, and a suction portion having a suction portion in the center of the upper surface. It is a disk shape equipped with a frame body that is fitted and fixed in the recessed portion of the table. The holding surface 11 is formed parallel to the XY plane, which is a horizontal plane. The holding table 10 is movable in the X-axis direction, which is one direction in the horizontal direction, by an X-axis movement unit (not shown), and is rotatably provided around the Z-axis by a rotation drive source (not shown). In the holding table 10, the suction portion is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown), and the workpiece 100 is sucked and held by the entire holding surface 11.

加工ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット２０は、実施形態１では切削加工ユニットであり、切削ブレード２１を有する。切削ブレード２１は、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられて、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。加工ユニット２０は、切削ブレード２１が、保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して、不図示のＹ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、不図示のＺ軸移動ユニットにより鉛直方向であるＺ軸方向に移動自在に設けられている。加工装置１は、加工ユニット２０が切削ブレード２１をＹ軸方向に対向して２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。 The processing unit 20 processes the workpiece 100 held on the holding table 10. The machining unit 20 is a cutting unit in the first embodiment and has a cutting blade 21. The cutting blade 21 cuts the workpiece 100 held by the holding table 10 by applying a rotational motion around the axis parallel to the Y-axis direction, which is another horizontal direction and orthogonal to the X-axis direction. do. In the machining unit 20, the cutting blade 21 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by a Y-axis moving unit (not shown) with respect to the workpiece 100 held on the holding table 10, and the Z-axis (not shown) is provided. It is provided so as to be movable in the Z-axis direction, which is the vertical direction, by a moving unit. The machining apparatus 1 is a two-spindle dier, a so-called facing dual type cutting apparatus, in which the machining unit 20 includes two cutting blades 21 facing each other in the Y-axis direction.

加工装置１は、切削ブレード２１を回転させながら、不図示のＸ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿った切削溝を形成する。 While rotating the cutting blade 21, the processing apparatus 1 divides the cutting blade 21 into the workpiece 100 held on the holding table 10 by an X-axis moving unit, a Y-axis moving unit, and a Z-axis moving unit (not shown). By relatively moving along the scheduled line 102, the workpiece 100 is machined to form a cutting groove along the scheduled division line 102.

加工装置１は、さらに、不図示の撮像ユニットを備える。撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された被加工物１００の表面１０１を撮影する。撮像ユニットは、実施形態１では、加工ユニット２０と一体的に移動するように、加工ユニット２０に固定されている。撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された切削加工前の被加工物１００の分割予定ライン１０２、及び、切削加工後の被加工物１００の加工痕である切削溝による加工ラインを撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。 The processing apparatus 1 further includes an image pickup unit (not shown). The image pickup unit photographs the surface 101 of the workpiece 100 held on the holding table 10. In the first embodiment, the image pickup unit is fixed to the processing unit 20 so as to move integrally with the processing unit 20. The image pickup unit is an image pickup element that captures the scheduled division line 102 of the workpiece 100 before cutting and the machining line by the cutting groove which is the machining mark of the workpiece 100 after cutting, which is held on the holding table 10. It is equipped with. The image sensor is, for example, a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary MOS) image sensor.

撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された切削加工前の被加工物１００の表面１０１を撮像して、被加工物１００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット４０に出力する。また、撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された切削加工後の被加工物１００の表面１０１を撮像して、切削加工によって形成された切削溝が分割予定ライン１０２の中に収まっているか、大きな欠けなどが発生していないかを自動的に確認する、いわゆるカーフチェックを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット４０に出力する。 The image pickup unit takes an image of the surface 101 of the work piece 100 before cutting, which is held on the holding table 10, and captures an image for performing alignment for aligning the work piece 100 and the cutting blade 21. The obtained and obtained images are output to the control unit 40. Further, the image pickup unit takes an image of the surface 101 of the workpiece 100 after the cutting process held on the holding table 10, and the cutting groove formed by the cutting process is within the planned division line 102 or is large. An image for performing a so-called calf check, which automatically confirms whether or not a chip has occurred, is obtained, and the obtained image is output to the control unit 40.

複数の表示モニター３０は、加工装置１の外面に設置されている。複数の表示モニター３０は、実施形態１では、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で、装置カバー３に設置される。表示モニター３０は、実施形態１では、２つ設けられているが、本発明ではこれに限定されず、３つ以上設けられていてもよい。表示モニター３０は、実施形態１では、図１で右側手前に向けて設置された第１の表示モニター３１と、図１で左側手前に向けて設置された第２の表示モニター３２とを有する。本明細書では、以下において、第１の表示モニター３１と第２の表示モニター３２とを互いに区別しない場合には、単に表示モニター３０と記す。 The plurality of display monitors 30 are installed on the outer surface of the processing apparatus 1. In the first embodiment, the plurality of display monitors 30 are installed on the device cover 3 with the display surface facing outward, as shown in FIG. Although two display monitors 30 are provided in the first embodiment, the present invention is not limited to this, and three or more display monitors 30 may be provided. In the first embodiment, the display monitor 30 has a first display monitor 31 installed toward the right side in FIG. 1 and a second display monitor 32 installed toward the left side in FIG. 1. In the present specification, when the first display monitor 31 and the second display monitor 32 are not distinguished from each other, they are simply referred to as a display monitor 30.

表示モニター３０は、それぞれ、加工装置１の運転制御に関する各種情報を表示する表示部３５と、加工装置１の運転制御に関する各種情報の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部３６と、を有する。表示部３５は、実施形態１では、液晶表示装置等により構成される。入力部３６は、実施形態１では、表示部３５に設けられたタッチパネルにより構成され、オペレータのタッチ操作等の操作入力を受け付ける。 The display monitor 30 receives input from the operator various operation inputs related to the processing device 1, such as a display unit 35 that displays various information related to the operation control of the processing device 1 and setting input of various information related to the operation control of the processing device 1, respectively. It has a part 36 and. In the first embodiment, the display unit 35 is configured by a liquid crystal display device or the like. In the first embodiment, the input unit 36 is composed of a touch panel provided on the display unit 35, and receives an operation input such as a touch operation of an operator.

ここで、表示部３５が表示する加工装置１の運転制御に関する各種情報は、実施形態１では、例えば、加工装置１の各構成要素及び被加工物１００の種類や形状や大きさ等の仕様や設定に関する情報、加工装置１の各構成要素及び被加工物１００の不具合や不良の有無等の状態に関する情報、加工装置１の各構成要素のメンテナンスの状態に関する情報、加工装置１の加工処理の条件に関する情報、加工装置１の加工処理中における加工装置１の各構成要素及び被加工物１００の加工装置１内での位置、移動の状態、処理中の状態に関する情報、加工装置１により遂行中もしくは遂行後のアライメントに関する情報、加工装置１により遂行中もしくは遂行後のカーフチェックに関する情報などである。表示部３５は、これらの加工装置１の運転制御に関する各種情報を画面で表示する。 Here, various information regarding the operation control of the processing apparatus 1 displayed by the display unit 35 is, in the first embodiment, for example, specifications such as the type, shape, and size of each component of the processing apparatus 1 and the workpiece 100. Information on settings, information on the status of each component of the processing device 1 and the presence or absence of defects or defects in the workpiece 100, information on the maintenance status of each component of the processing device 1, information on the processing status of the processing device 1. Information about, information about each component of the processing device 1 and the position of the workpiece 100 in the processing device 1 during the processing of the processing device 1, the state of movement, the state during processing, and the processing being performed or performed by the processing device 1. Information on alignment after execution, information on calf check during or after execution by the processing device 1, and the like. The display unit 35 displays various information related to the operation control of these processing devices 1 on the screen.

複数の表示モニター３０は、制御ユニット４０により制御される。複数の表示モニター３０のうちいずれか１つは、制御ユニット４０により、オペレータの操作入力が有効な操作モニター３８（図２参照）に設定されて、排他的にオペレータによる操作入力の権限が与えられる。操作モニター３８に設定された表示モニター３０は、制御ユニット４０により、表示部３５による各種情報の表示機能が有効であり、なおかつ、入力部３６によるオペレータからの各種操作入力の受け付け機能が有効な状態に設定される。本明細書では、以下において、操作モニター３８に設定された表示モニター３０を、適宜、単に操作モニター３８と略記する。 The plurality of display monitors 30 are controlled by the control unit 40. One of the plurality of display monitors 30 is set by the control unit 40 to the operation monitor 38 (see FIG. 2) in which the operation input of the operator is valid, and the authority of the operation input by the operator is exclusively given. .. In the display monitor 30 set in the operation monitor 38, the control unit 40 enables the display function of various information by the display unit 35, and the function of accepting various operation inputs from the operator by the input unit 36 is effective. Is set to. In the present specification, the display monitor 30 set in the operation monitor 38 is abbreviated as simply the operation monitor 38 as appropriate.

複数の表示モニター３０のうち操作モニター３８に設定された表示モニター３０以外のその他の表示モニター３０は、制御ユニット４０により、オペレータの操作入力が無効な読み取り専用モニター３９（図３参照）に設定される。読み取り専用モニター３９に設定された表示モニター３０は、制御ユニット４０により、後述する切替えボタン２１６の操作入力を除き、入力部３６によるオペレータからの各種操作入力の受け付け機能が無効である状態に設定される。本明細書では、以下において、読み取り専用モニター３９に設定された表示モニター３０を、適宜、単に読み取り専用モニター３９と略記する。 Of the plurality of display monitors 30, the other display monitors 30 other than the display monitor 30 set in the operation monitor 38 are set by the control unit 40 to the read-only monitor 39 (see FIG. 3) in which the operation input of the operator is invalid. To. The display monitor 30 set in the read-only monitor 39 is set by the control unit 40 in a state in which the function of accepting various operation inputs from the operator by the input unit 36 is disabled except for the operation input of the switching button 216 described later. To. In the present specification, the display monitor 30 set in the read-only monitor 39 is abbreviated as simply read-only monitor 39 as appropriate.

図２は、図１の加工装置１の表示モニター３０の表示画面の一例を示す図である。図３は、図１の加工装置１の表示モニター３０の表示画面の別の一例を示す図である。図２は、操作モニター３８が表示する表示画面２０１を示している。図３は、読み取り専用モニター３９が表示する表示画面２０２を示している。 FIG. 2 is a diagram showing an example of a display screen of the display monitor 30 of the processing apparatus 1 of FIG. FIG. 3 is a diagram showing another example of the display screen of the display monitor 30 of the processing apparatus 1 of FIG. FIG. 2 shows a display screen 201 displayed by the operation monitor 38. FIG. 3 shows a display screen 202 displayed by the read-only monitor 39.

操作モニター３８が表示する表示画面２０１は、図２に示すように、加工装置１の運転制御に関する各種情報の一例を表示する共通画面２０５を有する。読み取り専用モニター３９が表示する表示画面２０２は、図３に示すように、共通画面２０５と、読み取り専用表示２０６と、切替えボタン２１６とを有する。共通画面２０５は、操作モニター３８と、読み取り専用モニター３９とで共通で表示する画面の一例である。共通画面２０５は、実施形態１では、カーフチェックの結果表示画面であり、撮像されたカーフの画像と撮像されたカーフについてのパラメータ毎の測定結果と、を表示しているが、本発明ではこれに限定されない。複数の表示モニター３０は、このように、操作モニター３８または読み取り専用モニター３９に設定されたことによる特定の表示（例えば、読み取り専用表示２０６や切替えボタン２１６）を除き、同じ共通画面２０５が表示される。 As shown in FIG. 2, the display screen 201 displayed by the operation monitor 38 has a common screen 205 that displays an example of various information related to the operation control of the processing apparatus 1. As shown in FIG. 3, the display screen 202 displayed by the read-only monitor 39 has a common screen 205, a read-only display 206, and a switching button 216. The common screen 205 is an example of a screen that is commonly displayed on the operation monitor 38 and the read-only monitor 39. In the first embodiment, the common screen 205 is a calf check result display screen, and displays an image of the captured calf and a measurement result for each parameter of the captured calf. Not limited to. The plurality of display monitors 30 display the same common screen 205 except for a specific display (for example, the read-only display 206 and the switch button 216) set in the operation monitor 38 or the read-only monitor 39 in this way. To.

読み取り専用モニター３９は、共通画面２０５上に操作モニター３８と区別可能な読み取り専用表示２０６が常時表示される。読み取り専用表示２０６は、読み取り専用モニター３９を操作モニター３８と区別可能な着色または印の一例である。読み取り専用表示２０６は、実施形態１では、目立つ太さ及び目立つ色彩の破線により共通画面２０５の外周の全周を囲う表示（マーク）であるが、常時表示されていても共通画面２０５をオペレータが視認可能な仕様であれば、本発明ではこれに限定されない。例えば読み取り専用表示２０６は、読み取り専用モニター３９の表示画面の色彩が操作モニター３８の表示画面の色彩と異なるという表示であっても良い。 The read-only monitor 39 always displays a read-only display 206 that can be distinguished from the operation monitor 38 on the common screen 205. The read-only display 206 is an example of coloring or marking that distinguishes the read-only monitor 39 from the operation monitor 38. In the first embodiment, the read-only display 206 is a display (mark) that surrounds the entire circumference of the common screen 205 by a broken line having a conspicuous thickness and a conspicuous color. The present invention is not limited to this as long as it is a visible specification. For example, the read-only display 206 may be a display in which the color of the display screen of the read-only monitor 39 is different from the color of the display screen of the operation monitor 38.

操作モニター３８は、表示画面２０１の右上側に切替えボタンが常時表示されてもよい。その場合、切替えボタンには、現在切替えボタンが表示されている表示モニター３０が操作できる操作モニター３８である事を示す文言（例えば「操作有効」）が表示される。それによりオペレータが操作モニター３８を容易に認識し、また操作を簡単に無効にできる効果がある。また表示モニター３０が二つの場合、切替えボタンによって一方の表示モニター３０の操作を無効に切替えると、他方の表示モニター３０の操作が有効になるよう制御しても良い。この場合、一方の切替えボタンを操作するだけで操作モニター３８と読み取り専用モニター３９との切替えが完了するので、それぞれの表示モニター３０で切替えボタンを操作する手間が省ける。 The operation monitor 38 may always display a switching button on the upper right side of the display screen 201. In that case, the switching button displays a wording (for example, "operation valid") indicating that the display monitor 30 on which the switching button is currently displayed is an operation monitor 38 that can be operated. This has the effect that the operator can easily recognize the operation monitor 38 and can easily invalidate the operation. Further, when there are two display monitors 30, if the operation of one display monitor 30 is invalidated by the switching button, the operation of the other display monitor 30 may be controlled to be valid. In this case, switching between the operation monitor 38 and the read-only monitor 39 is completed only by operating one of the switching buttons, so that the labor of operating the switching buttons on each display monitor 30 can be saved.

読み取り専用モニター３９は、表示画面２０２の右上側に切替えボタン２１６が常時表示される。切替えボタン２１６は、オペレータに操作入力されると、当該切替えボタン２１６が操作入力された旨の情報を制御ユニット４０の切替え制御部４１に出力する。なお、切替えボタン２１６には、現在切替えボタン２１６が表示されている表示モニター３０が操作できない読み取り専用モニター３９である事を示す文言（例えば「操作無効」）が表示されている。 On the read-only monitor 39, the switching button 216 is always displayed on the upper right side of the display screen 202. When the switching button 216 is operated and input to the operator, the switching button 216 outputs information to the effect that the switching button 216 is operated and input to the switching control unit 41 of the control unit 40. The switching button 216 is displayed with a wording (for example, "operation invalid") indicating that the display monitor 30 on which the switching button 216 is currently displayed is a read-only monitor 39 that cannot be operated.

制御ユニット４０は、切替え制御部４１を有する。切替え制御部４１は、切替えボタン２１６が操作入力された旨の情報を受信することにより、操作入力された切替えボタン２１６を表示する表示モニター３０の設定を読み取り専用モニター３９から操作モニター３８に設定し、切替えボタン２１６が操作入力された旨の情報を受信する直前に操作モニター３８に設定していた表示モニター３０を新たに読み取り専用モニター３９に設定する。切替えボタン２１６は、このように、制御ユニット４０の切替え制御部４１により、操作モニター３８と読み取り専用モニター３９とを切替えるボタンとして機能する。 The control unit 40 has a switching control unit 41. The switching control unit 41 sets the setting of the display monitor 30 that displays the operation input switching button 216 from the read-only monitor 39 to the operation monitor 38 by receiving the information that the operation input is performed by the switching button 216. , The display monitor 30 set in the operation monitor 38 immediately before receiving the information that the operation input is received by the switching button 216 is newly set in the read-only monitor 39. The switching button 216 thus functions as a button for switching between the operation monitor 38 and the read-only monitor 39 by the switching control unit 41 of the control unit 40.

制御ユニット４０は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００に対する切削加工処理を加工装置１に実施させるものである。制御ユニット４０は、撮像ユニットから取得した画像に基づいてアライメントの遂行に関する処理や、カーフチェックの遂行に関する処理を実施する。制御ユニット４０は、予め記憶された加工装置１の各部の画像や仕様等に関する情報と、加工装置１の各構成要素に設けられた不図示のセンサからの各検出情報と、撮像ユニットにより得られた各画像と、各表示モニター３０の入力部３６によりオペレータからの各種操作入力を受け付けることによって得られる各種情報と、等に基づいて、加工装置１の運転制御に関する各種情報に関する画面を生成する処理を実施する。制御ユニット４０は、生成した加工装置１の運転制御に関する各種情報に関する画面を各表示モニター３０の表示部３５に出力して表示させる処理を実施する。 The control unit 40 controls each component of the machining apparatus 1 to cause the machining apparatus 1 to perform a cutting process on the workpiece 100. The control unit 40 performs a process related to the execution of alignment and a process related to the execution of a calf check based on the image acquired from the image pickup unit. The control unit 40 is obtained by pre-stored information on images and specifications of each part of the processing device 1, detection information from sensors (not shown) provided on each component of the processing device 1, and an image pickup unit. Processing to generate a screen related to various information related to the operation control of the processing apparatus 1 based on each image, various information obtained by receiving various operation inputs from the operator by the input unit 36 of each display monitor 30, and the like. To carry out. The control unit 40 outputs a screen related to various information related to the operation control of the generated processing apparatus 1 to the display unit 35 of each display monitor 30 and displays the screen.

制御ユニット４０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット４０に含まれるコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。制御ユニット４０の上記した各種制御機能や処理機能、及び切替え制御部４１の上記した設定切替え等の機能は、制御ユニット４０に含まれるコンピュータシステムの演算処理装置が、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。制御ユニット４０の上記した各種制御機能や処理機能、及び切替え制御部４１の上記した設定切替え機能に必要な情報は、制御ユニット４０に含まれるコンピュータシステムの記憶装置により予め記憶されている。 In the first embodiment, the control unit 40 includes a computer system. The computer system included in the control unit 40 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (Central Processing Unit) and a storage device having a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory). , With an input / output interface device. The arithmetic processing apparatus performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage apparatus, and outputs a control signal for controlling the processing apparatus 1 to each component of the processing apparatus 1 via an input / output interface apparatus. do. The above-mentioned various control functions and processing functions of the control unit 40, and the above-mentioned functions such as setting switching of the switching control unit 41 are such that the arithmetic processing unit of the computer system included in the control unit 40 is stored in the storage device. It is realized by performing arithmetic processing according to the program. Information necessary for the above-mentioned various control functions and processing functions of the control unit 40 and the above-mentioned setting switching function of the switching control unit 41 is stored in advance by the storage device of the computer system included in the control unit 40.

図４は、図１の加工装置１の処理手順の一例を示すフローチャートである。図４を用いて、加工装置１の主電源がオペレータによりＯＮに切替えられることに応じて、制御ユニット４０が複数の表示モニター３０に初期画面を表示させるまでの一連の処理手順を説明する。 FIG. 4 is a flowchart showing an example of the processing procedure of the processing apparatus 1 of FIG. FIG. 4 will explain a series of processing procedures until the control unit 40 displays the initial screen on the plurality of display monitors 30 in response to the main power supply of the processing apparatus 1 being switched to ON by the operator.

加工装置１の主電源がオペレータによりＯＮに切替えられると、制御ユニット４０は、複数の表示モニター３０のうちいずれか１つの表示モニター３０を操作モニター３８に設定し、その他の表示モニター３０を読み取り専用モニター３９に設定する（図４のステップ１００１）。制御ユニット４０は、例えば、加工装置１の主電源がオペレータによりＯＮに切替えられた際に、予め記憶装置に記憶されて定められた１つの表示モニター３０を操作モニター３８に設定する。制御ユニット４０は、実施形態１では、第１の表示モニター３１を操作モニター３８に設定し、第２の表示モニター３２を読み取り専用モニター３９に設定する。 When the main power supply of the processing apparatus 1 is switched to ON by the operator, the control unit 40 sets the display monitor 30 of any one of the plurality of display monitors 30 to the operation monitor 38, and makes the other display monitors 30 read-only. Set to monitor 39 (step 1001 in FIG. 4). For example, when the main power supply of the processing device 1 is switched to ON by the operator, the control unit 40 sets one display monitor 30 stored in the storage device in advance in the operation monitor 38. In the first embodiment, the control unit 40 sets the first display monitor 31 as the operation monitor 38 and the second display monitor 32 as the read-only monitor 39.

制御ユニット４０は、ステップ１００１の後、主電源がＯＮに切替えられた直後に最初に表示する共通の画面である初期画面を生成する（図４のステップ１００２）。 After step 1001, the control unit 40 generates an initial screen, which is a common screen to be displayed first immediately after the main power is switched to ON (step 1002 in FIG. 4).

制御ユニット４０は、ステップ１００２の後、操作モニター３８に設定した第１の表示モニター３１に、初期画面を出力して表示させる（図４のステップ１００３）。また、制御ユニット４０は、読み取り専用モニター３９に設定した第２の表示モニター３２に、初期画面に読み取り専用表示２０６及び切替えボタン２１６を重ねた表示画面を出力して表示させる（図４のステップ１００４）。なお、制御ユニット４０は、ステップ１００３とステップ１００４とを実施する順序を入れ替えてもよく、同時に実施してもよい。 After step 1002, the control unit 40 outputs and displays the initial screen on the first display monitor 31 set in the operation monitor 38 (step 1003 in FIG. 4). Further, the control unit 40 outputs and displays a display screen in which the read-only display 206 and the switching button 216 are superimposed on the initial screen on the second display monitor 32 set in the read-only monitor 39 (step 1004 in FIG. 4). ). The control unit 40 may change the order in which steps 1003 and 1004 are executed, or may execute steps 1004 at the same time.

図５は、オペレータにより、読み取り専用モニター３９に表示された切替えボタン２１６が操作入力された場合の加工装置１の処理手順の一例を示すフローチャートである。なお、この処理手順は、いかなる画面が表示モニター３０に表示されているタイミングでオペレータにより同様の切替えボタン２１６が操作入力される場合でも同様である。 FIG. 5 is a flowchart showing an example of a processing procedure of the processing apparatus 1 when the switching button 216 displayed on the read-only monitor 39 is operated and input by the operator. It should be noted that this processing procedure is the same even when the same switching button 216 is operated and input by the operator at the timing when any screen is displayed on the display monitor 30.

オペレータにより、読み取り専用モニター３９に表示された切替えボタン２１６が操作入力されると、制御ユニット４０の切替え制御部４１は、切替えボタン２１６が操作入力された読み取り専用モニター３９を操作モニター３８に切替える旨の操作入力を受け付ける（図５のステップ１０１１）。制御ユニット４０の切替え制御部４１は、ステップ１０１１の後、操作入力された切替えボタン２１６を表示する読み取り専用モニター３９を新たに操作モニター３８に設定し、ステップ１０１１の直前の操作モニター３８を新たに読み取り専用モニター３９に設定する（図５のステップ１０１２）。 When the switch button 216 displayed on the read-only monitor 39 is operated and input by the operator, the switching control unit 41 of the control unit 40 switches the read-only monitor 39 on which the switch button 216 is operated and input to the operation monitor 38. (Step 1011 in FIG. 5). After step 1011 the switching control unit 41 of the control unit 40 newly sets the read-only monitor 39 for displaying the operation input switching button 216 to the operation monitor 38, and newly sets the operation monitor 38 immediately before step 1011. Set to the read-only monitor 39 (step 1012 in FIG. 5).

制御ユニット４０は、図２に示すように、新たに操作モニター３８に設定した第２の表示モニター３２に、共通画面２０５を出力して表示させる（図５のステップ１０１３）。また、制御ユニット４０は、ステップ１０１２の後、図３に示すように、新たに読み取り専用モニター３９に設定した第１の表示モニター３１に、共通画面２０５と読み取り専用表示２０６及び操作無効と書かれた切替えボタン２１６を重ねた表示画面２０２を出力して表示させる（図５のステップ１０１４）。なお、制御ユニット４０は、ステップ１０１３とステップ１０１４とを実施する順序を入れ替えてもよく、同時に実施してもよい。 As shown in FIG. 2, the control unit 40 outputs and displays the common screen 205 on the second display monitor 32 newly set in the operation monitor 38 (step 1013 in FIG. 5). Further, after step 1012, the control unit 40 is written on the first display monitor 31 newly set in the read-only monitor 39 as the common screen 205, the read-only display 206, and the operation invalidity, as shown in FIG. The display screen 202 on which the switching buttons 216 are overlapped is output and displayed (step 1014 in FIG. 5). The control unit 40 may change the order in which steps 1013 and 1014 are executed, or may execute steps 1014 at the same time.

以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット４０が、読み取り専用モニター３９に読み取り専用表示２０６を常時表示させ、切替え制御部４１により読み取り専用モニター３９が操作モニター３８に切替えられる場合には、新たに設定された読み取り専用モニター３９に読み取り専用表示２０６を常時表示させる。このため、実施形態１に係る加工装置１は、読み取り専用表示２０６の有無により、読み取り専用モニター３９と操作モニター３８とをオペレータが容易に見分けられるという作用効果を奏する。 In the processing apparatus 1 according to the first embodiment having the above configuration, the control unit 40 causes the read-only monitor 39 to constantly display the read-only display 206, and the switching control unit 41 causes the read-only monitor 39 to the operation monitor 38. When the switch is made, the read-only display 206 is always displayed on the newly set read-only monitor 39. Therefore, the processing apparatus 1 according to the first embodiment has an effect that the operator can easily distinguish between the read-only monitor 39 and the operation monitor 38 depending on the presence or absence of the read-only display 206.

また、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが切替えボタン２１６を操作入力することで、切替え制御部４１により、操作入力された切替えボタン２１６を表示する表示モニター３０を新たに操作モニター３８に設定することができる。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが容易に所望の表示モニター３０を操作モニター３８に切替えることができるという作用効果を奏する。 Further, in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, when the operator inputs the operation of the switching button 216, the switching control unit 41 newly adds a display monitor 30 for displaying the operation input switching button 216 to the operation monitor 38. Can be set. Therefore, the processing apparatus 1 according to the first embodiment has an effect that the operator can easily switch the desired display monitor 30 to the operation monitor 38.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１−２を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る加工装置１−２の表示モニター３０の表示画面の一例を示す図である。図７は、実施形態２に係る加工装置１−２の表示モニター３０の表示画面の別の一例を示す図である。図６は、操作モニター３８が表示する表示画面２２１を示している。図７は、読み取り専用モニター３９が表示する表示画面２２２を示している。図６及び図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
The processing apparatus 1-2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a diagram showing an example of a display screen of the display monitor 30 of the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment. FIG. 7 is a diagram showing another example of the display screen of the display monitor 30 of the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment. FIG. 6 shows a display screen 221 displayed by the operation monitor 38. FIG. 7 shows a display screen 222 displayed by the read-only monitor 39. In FIGS. 6 and 7, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る加工装置１−２は、実施形態１に係る加工装置１において、図６に示すように、操作モニター３８がさらに切替え制限ボタン２２３を表示するものとなっている。すなわち、実施形態２において、操作モニター３８が表示する表示画面２２１は、図６に示すように、共通画面２０５と、切替え制限ボタン２２３とを有する。操作モニター３８は、共通画面２０５上に切替え制限ボタン２２３が常時表示される。切替え制限ボタン２２３は、操作モニター３８に設定されたことによる特定の表示の一例である。 In the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment, in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, as shown in FIG. 6, the operation monitor 38 further displays the switching restriction button 223. That is, in the second embodiment, the display screen 221 displayed by the operation monitor 38 has a common screen 205 and a switching restriction button 223, as shown in FIG. On the operation monitor 38, the switching restriction button 223 is always displayed on the common screen 205. The switching restriction button 223 is an example of a specific display due to being set on the operation monitor 38.

切替え制限ボタン２２３は、読み取り専用モニター３９に表示された切替えボタン２１６の作動を有効または無効にする旨の操作入力を受け付ける。 The switching restriction button 223 accepts an operation input for enabling or disabling the operation of the switching button 216 displayed on the read-only monitor 39.

切替え制限ボタン２２３は、切替えボタン２１６の作動が無効である場合には、図７に示すように、切替えボタン２１６の作動が無効（切替え無効）である旨を示す無効メッセージ２２６(例えば「切替え無効」「切替え無効に制限中」「切り替えが無効になっています」)で現在の状態を表示する。また、切替え制限ボタン２２３は、切替えボタン２１６の作動が有効である場合には、図６に示すように、切替えボタン２１６の作動が有効（切替え有効）である旨を示す有効メッセージ（例えば「切替え有効」「切替えが有効になっています」）で現在の状態を表示する。なお、有効メッセージは必須ではない。 When the operation of the switching button 216 is invalid, the switching restriction button 223 has an invalid message 226 indicating that the operation of the switching button 216 is invalid (switching invalid) (for example, "switching invalid"). "Limited to switching disabled" "Switching is disabled") to display the current status. Further, when the operation of the changeover button 216 is effective, the changeover limit button 223 is a valid message indicating that the operation of the changeover button 216 is valid (switching is valid) (for example, "switching is valid"). Display the current status with "Enabled" and "Switching is enabled"). A valid message is not essential.

すなわち、実施形態２において、読み取り専用モニター３９が表示する表示画面２２２は、図７に示すように、共通画面２０５と、読み取り専用表示２０６と、切替えボタン２１６と、切替えボタン２１６の作動が無効になっている場合に共通画面２０５上に表示される無効メッセージ２２６とを有する。読み取り専用モニター３９は、切替えボタン２１６の作動が有効になっている場合、無効メッセージ２２６を表示しない。無効メッセージ２２６は、読み取り専用表示２０６及び切替えボタン２１６とともに、読み取り専用モニター３９に設定されたことによる特定の表示の一例である。 That is, in the second embodiment, as shown in FIG. 7, the display screen 222 displayed by the read-only monitor 39 has the common screen 205, the read-only display 206, the changeover button 216, and the changeover button 216 disabled. It has an invalid message 226 displayed on the common screen 205 when it is set to. The read-only monitor 39 does not display the invalid message 226 when the activation of the switch button 216 is enabled. The invalid message 226 is an example of a specific display set on the read-only monitor 39 together with the read-only display 206 and the switch button 216.

実施形態２に係る加工装置１−２の各処理について、実施形態１に係る加工装置１の各処理と異なる部分のみ説明する。実施形態２では、実施形態１のステップ１００１において、加工装置１−２の主電源がオペレータによりＯＮに切替えられると、制御ユニット４０は、操作モニター３８及び読み取り専用モニター３９の設定に合わせて、制御ユニット４０の切替え制御部４１が、初期設定として、読み取り専用モニター３９に表示される切替えボタン２１６の作動を有効または無効に設定する。なお、実施形態２では、制御ユニット４０の切替え制御部４１は、初期設定として読み取り専用モニター３９に表示される切替えボタン２１６の作動を有効に設定しているが、本発明ではこれに限定されず、初期設定として切替えボタン２１６の作動を無効に設定してもよい。 Regarding each process of the processing device 1-2 according to the second embodiment, only a part different from each process of the processing device 1 according to the first embodiment will be described. In the second embodiment, when the main power supply of the processing apparatus 1-2 is switched to ON by the operator in step 1001 of the first embodiment, the control unit 40 controls according to the settings of the operation monitor 38 and the read-only monitor 39. The switching control unit 41 of the unit 40 enables or disables the operation of the switching button 216 displayed on the read-only monitor 39 as an initial setting. In the second embodiment, the switching control unit 41 of the control unit 40 effectively sets the operation of the switching button 216 displayed on the read-only monitor 39 as an initial setting, but the present invention is not limited to this. , The operation of the changeover button 216 may be disabled as an initial setting.

また、実施形態２では、実施形態１のステップ１００３及びステップ１０１３において、制御ユニット４０は、操作モニター３８に、さらに切替え制限ボタン２２３を重ねた表示画面を出力して表示させるように変更される。また、実施形態２では、実施形態１のステップ１００４及びステップ１０１４において、切替えボタン２１６の作動が無効に設定されている場合、制御ユニット４０は、読み取り専用モニター３９に、読み取り専用表示２０６と切替えボタン２１６と、さらに無効メッセージ２２６と、を重ねた表示画面を出力して表示させるように変更される。 Further, in the second embodiment, in steps 1003 and 1013 of the first embodiment, the control unit 40 is changed so as to output and display a display screen on which the switching restriction button 223 is further superimposed on the operation monitor 38. Further, in the second embodiment, when the operation of the switching button 216 is set to be invalid in steps 1004 and 1014 of the first embodiment, the control unit 40 displays the read-only display 206 and the switching button on the read-only monitor 39. The display screen in which 216 and the invalid message 226 are superimposed is output and displayed.

また、実施形態２では、オペレータにより、操作モニター３８の切替え制限ボタン２２３が操作入力されると、制御ユニット４０の切替え制御部４１が、切替えボタン２１６の作動を有効から無効に、もしくは無効から有効に切替える。 Further, in the second embodiment, when the switching restriction button 223 of the operation monitor 38 is operated and input by the operator, the switching control unit 41 of the control unit 40 activates the switching button 216 from valid to invalid or invalid. Switch to.

以上のような構成を有する実施形態２に係る加工装置１−２は、操作モニター３８が、さらに、読み取り専用モニター３９における切替えボタン２１６の作動を有効または無効に切替える切替え制限ボタン２２３を表示する。このため、実施形態２に係る加工装置１−２は、例えばオペレータが加工ユニット２０により切削加工処理を実施する空間内で作業中等の時に、切替え制限ボタン２２３を操作入力して読み取り専用モニター３９における切替えボタン２１６の作動を無効にしておくことで、他のオペレータが加工装置１−２の各構成要素を動作させてしまうことを防ぐことができるという作用効果を奏する。 In the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment having the above configuration, the operation monitor 38 further displays a switching limit button 223 for switching the operation of the switching button 216 on the read-only monitor 39 to be valid or invalid. Therefore, in the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment, for example, when the operator is working in the space where the cutting processing is performed by the processing unit 20, the switching restriction button 223 is operated and input to the read-only monitor 39. By disabling the operation of the changeover button 216, it is possible to prevent another operator from operating each component of the machining apparatus 1-2.

また、実施形態２に係る加工装置１−２は、読み取り専用モニター３９が、切替えボタン２１６の作動が無効になっている場合、切替えボタン２１６の作動が無効である旨を示す無効メッセージ２２６をさらに表示する一方で、切替えボタン２１６の作動が有効になっている場合、無効メッセージ２２６を表示しない。このため、実施形態２に係る加工装置１−２は、さらに無効メッセージ２２６により切替えボタン２１６の作動が無効である旨をオペレータが容易に確認できるという作用効果を奏する。 Further, in the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment, when the read-only monitor 39 has the operation of the changeover button 216 invalid, the invalid message 226 indicating that the operation of the changeover button 216 is invalid is further added. On the other hand, when the operation of the changeover button 216 is enabled, the invalid message 226 is not displayed. Therefore, the processing apparatus 1-2 according to the second embodiment further has an effect that the operator can easily confirm that the operation of the switching button 216 is invalid by the invalid message 226.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態では、加工装置１の運転制御に関する各種情報を表示する複数の表示モニター３０及び複数の表示モニター３０を制御する制御ユニット４０が設けられた加工装置１は、被加工物１００を切削加工する切削装置であるが、本発明では切削装置に限定されず、被加工物１００を研削する研削装置、被加工物１００を研磨する研磨装置、被加工物１００をレーザー加工するレーザー加工装置、被加工物１００に貼着された粘着テープ１０５を拡張するテープ拡張装置でもよい。また、これらの加工装置は、さらに、被加工物１００が加工条件に対応するか否かを検査する被加工物検査ユニットや、被加工物１００に貼着された粘着テープ１０５に紫外線を照射する紫外線照射ユニットを備えていてもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be variously modified and carried out within a range that does not deviate from the gist of the present invention. In the above embodiment, the machining apparatus 1 provided with the plurality of display monitors 30 for displaying various information regarding the operation control of the machining apparatus 1 and the control unit 40 for controlling the plurality of display monitors 30 cuts the workpiece 100. However, in the present invention, the cutting device is not limited to the cutting device, but is a grinding device for grinding the workpiece 100, a polishing apparatus for polishing the workpiece 100, a laser processing apparatus for laser processing the workpiece 100, and a workpiece. A tape expansion device for expanding the adhesive tape 105 attached to the work piece 100 may be used. Further, these processing devices further irradiate the workpiece inspection unit for inspecting whether the workpiece 100 corresponds to the machining conditions and the adhesive tape 105 attached to the workpiece 100 with ultraviolet rays. It may be provided with an ultraviolet irradiation unit.

１，１−２加工装置
１０保持テーブル
２０加工ユニット
３０表示モニター
３８操作モニター
３９読み取り専用モニター
４０制御ユニット
４１切替え制御部
１００被加工物
２０５共通画面
２０６読み取り専用表示
２１６切替えボタン
２２３切替え制限ボタン
２２６無効メッセージ 1, 1-2 Processing equipment 10 Holding table 20 Processing unit 30 Display monitor 38 Operation monitor 39 Read-only monitor 40 Control unit 41 Switching control unit 100 Work piece 205 Common screen 206 Read-only display 216 Switching button 223 Switching limit button 226 Invalid message

Claims

A holding table that holds the work piece,
A processing unit that processes the workpiece held on the holding table, and
Equipped with multiple display monitors that accept input by the operator's touch operation and display various information related to operation control.
The plurality of display monitors
One operation monitor that is effective for operator operation,
With other read-only monitors, with no operator operation,
A common screen is displayed on the operation monitor.
The read-only monitor is characterized in that a common screen, a switching button for switching between the operation monitor and the read-only monitor, and a read-only display distinguishable from the operation monitor are displayed. ..

The operation monitor is
It also has a switch limiting button that controls the activation of the switch button on the read-only monitor to enable or disable it.
The read-only monitor
The processing apparatus according to claim 1, wherein when the operation of the switching button is disabled, an invalid message indicating that the switching is invalid is displayed.