JP2021177095A - タンクの圧力及び熱の管理を備えた気体分注システム - Google Patents

Abstract

【課題】気体を使用デバイスへ供給するための極低温送達タンクであって極低温タンク内の望ましい温度及び圧力の改善された維持を有する極低温送達タンクを提供する。【解決手段】極低温液体上方のヘッドスペース内の気体を収容するように構成された極低温タンク、第１及び第２の気化器と使用出口、第１の管が気体をヘッドスペースから第１の気化器を通して使用出口へ移動させ、第２の管が、液体をタンクから第１の気化器を通して移動させ、第１の蒸気ストリームが使用出口へ方向決めされるように、第３の管が、液体をタンクから第２の気化器を通して移動させ、第２の蒸気ストリームがタンクのヘッドスペースへ戻るよう方向決めされ、タンク内の圧力を増大させる。【選択図】図５

Description

[0001]（優先権の主張）本願は、２０２０年４月１４日出願の米国仮特許出願第６３／００９，６１４号の恩典を主張し、その内容をこれにより参考文献として援用する。

[0002]本開示は、概括的には気体を使用デバイス又は使用プロセスへ提供するための極低温貯蔵及び送達システムに関し、より具体的には極低温タンク内の熱及び圧力を管理しながら気体を使用デバイス又は使用プロセスへ提供するための極低温貯蔵及び送達システムに関する。

[0003]極低温タンクは、気体として使用に供される極低温流体を貯蔵する効率的な方途である。気体は液化状態で保存されればはるかに小さい体積を占めるので液化状態で貯蔵されるのが典型的である。例えば液化天然ガスは液体としては気体状態に対比して大凡６００分の１を占める。極低温タンクの温度及び圧力の調整は極めて重要である。液化ガスは、低い温度を必要条件とするために絶縁された極低温タンクに貯蔵され、典型的には低い圧力にて貯蔵される。また、貯蔵される極低温液体は所望の温度及び圧力にて気体状態と液体状態が同時に存在するように飽和されているのが典型的である。

[0004]使用デバイスは、気体が極低温タンクシステムから特定の温度及び圧力で送達されることを要件とする場合が多い。気体を使用デバイスへ提供している間も、極低温タンク内の圧力と温度は変動する可能性がある。温度及び／又は圧力が上昇しすぎたときには、気体を大気へ抜くことが必要になることもあり、貯蔵されている製品の損失を生じさせかねない。したがって、気体を使用デバイスへ提供するための極低温送達タンクシステムであって内部の温度及び圧力を管理することができ、製品の損失を防ぐことのできるシステムを持つことが望ましい。

[0005]図１に示されている、極低温液体貯蔵及び送達タンクから気体を分注するための先行技術のシステムは、極低温液体１１０と液位線１１５より上方のヘッドスペース内の蒸気１２０とを有する極低温タンク１００を含んでいる。極低温タンクは内シェル１０１と外シェル１０２を含んでいる。極低温タンクシステムは、極低温タンク１００から製品気化器１２そして分配出口弁１０への蒸気管又は蒸気ライン即ち第１の管又はライン４００を含んでいる。管又はライン４００は弁３０の様な多数の手動隔離弁を含むことができる。管又はライン４００は、更に、エコノマイザー調整器６を含んでいる。液体ライン即ち第２のライン３００がタンクの液体部から気化器１２及び分配出口弁１０へ通じている。加えて、システムは、タンクの液体部から圧力増大気化器１３へ至りそしてタンク１００へ戻るラインであって圧力増大調整器７を含む圧力増大ライン即ち第３のライン５００を含んでいる。

[0006]分配弁１０が開かれたとき、システムからの気体が使用デバイス又は使用プロセスによる消費のために取られる。調整器７は大凡３．０ＭＰａ（３０バール）にて開くように設定され、一方、エコノマイザー６は大凡３．２ＭＰａ（３２バール）にて開くように設定されている。したがってタンク圧が３．２ＭＰａ（３２バール）よりも高ければ、タンクのヘッドスペース又は上部空間からの気体蒸気は製品気化器１２へ流れるはずである。しかしながら、エコノマイザー６は小さい容量（ｋｖ値又はｃｖ値）を有する小型調整器であり、ゆえにエコノマイザーを跨ぐ大きな圧力低下なく低い流量しか対応されない。図２に経路４０１として示されている様に、エコノマイザー６が開かれたときに気体がライン４００を通って流れる。タンクのヘッドスペース内の圧力が大凡３．２ＭＰａ（３２バール）より下に降下するとエコノマイザー６は閉じる。

[0007]エコノマイザー６が開いているか閉じているかにかかわらず、タンクの底部からの液体が図３に示されている様に経路３０１に沿って液体管３００を通って気化器１２へ進んで、分注弁又は分配弁１０が開かれたときの消費要件を満たすようにしている。

[0008]タンク圧力が圧力増大調整器７の設定点より下に降下したなら、この調整器が開き、そして図４に描かれている様に液体がライン５０１に沿って流れ、圧力増大気化器１３からの蒸気を使用してタンクを加圧する。

[0009]使用デバイス又は使用プロセスで１０によって取られる気体の量に依っては、製品気化器１２が溢れてしまうだろう。分配弁１０を閉じることが気体の引き取りを停止させることになり、製品気化器１２では中に残っている残留液体の気化のせいで圧力が急激に上昇してゆく。生成された圧力は蒸気及びまだ気化していない熱せられた液体をタンクの底部へ押し戻す。エコノマイザーはその時点で閉じられる。頻繁なサイクル（気体消費、中断、気体消費など）の間、このプロセスはタンク内の液体を急速に加熱する。しばらく後、タンク内の圧力は主要逃し弁設定点まで増大するだろう。すると全体を６００で表されている安全弁が開き、結果的に貯蔵されている流体の一部の損失を生じさせてしまう。

[0010]この先行技術の設計では、エコノマイゼーション機能は非常に小さいワーキングウインドーを有している。エコノマイゼーションは、タンク内の圧力が高く使用デバイス又は使用プロセスによる分配弁１０を介した消費量が非常に低い場合にのみ機能する。より高い消費量では、エコノマイザー６を跨ぐ流量の降下ひいては圧力の降下が増加し、タンク１００からは主に液体だけが取られる。これがタンク内で圧力が増大するように仕向け、タンクからのクライオゲンの放出が必要になることもある。

米国仮特許出願第６３／００９，６１４号

[0011]気体を使用デバイスへ供給するための極低温送達タンクであって極低温タンク内の望ましい温度及び圧力の改善された維持を有する極低温送達タンクを提供するのが望ましい。

[0012]本主題のいくつかの態様は、以下に説明及び請求されている方法、デバイス、及びシステムに別々に又はひとまとまりに具現化されることができる。これらの態様は単独で採用されてもよいし、又は本明細書に記載されている主題の他の態様と組み合わせて採用されてもよく、これらの態様をひとまとまりとして説明することは、これらの態様を別々に使用することを除外しようとするものでもなければ、その様な態様を別々に又は付随の特許請求の範囲に示されている様に異なる組合せとして請求することを除外するものでもない。

[0013]１つの態様では、極低温気体送達のためのシステムが、極低温液体及び極低温液体上方のヘッドスペース内の気体を収容している極低温タンクを含んでいる。システムは、更に、第１の気化器及び第２の気化器と使用出口を含んでいる。第１の管が、気体をヘッドスペースから第１の気化器を通して使用出口へ移動させるように構成されている。第２の管が、液体をタンクから第１の気化器を通して移動させ、その結果、第１の蒸気ストリームが使用出口へ方向決めされるように構成されている。第３の管が、液体をタンクから第２の気化器を通して移動させ、その結果、第２の蒸気ストリームがタンクのヘッドスペースへ戻るよう方向決めされることによって、タンク内の圧力を増大させるように構成されている。第１調整器弁が第２の管と流体連通している。第１の調整器弁は、第１の調整器の出口側の圧力が第１の既定圧力レベルより下に降下したときに開くように構成されている。第２の調整器弁が第３の管と流体連通している。第２の調整器弁は、タンク内部の圧力が第２の既定圧力レベルより下に降下したときに開くように構成されている。第１の既定圧力レベルは第２の既定圧力レベルよりも高い。

[0014]別の態様では、気体を極低温タンクから使用デバイスへ提供する方法であって、送達タンク内に貯蔵された液体を含む極低温タンク内の温度及び圧力を維持しながら気体を提供する方法が、使用デバイスへの気体の分配を開始させるために分注弁を開く段階を含んでいる。第１のタンク圧力では、気体が第１の管及び第１の気化器を通って使用デバイスへ方向決めされる。第２のタンク圧力では、液体がタンクから第２の管及び第１の気化器を通って使用デバイスへ方向決めされる。第３のタンク圧力では、液体がタンクから第３の管及び第２の気化器を通ってタンクへ戻るよう方向決めされる。使用デバイスへの気体の分配を停止させるために分注弁が閉じられると、第１の気化器内の残留液体又は残留気体は何れも第１の管によってタンクの最上部へ戻される。

[0015]先行技術の極低温送達タンクシステムの模式図である。 [0016]図１のシステムの第１の気体送達機能の模式図である。 [0017]図１のシステムの第２の気体送達機能の模式図である。 [0018]図１のシステムの圧力増大機能の模式図である。 [0019]現開示の送達タンクシステムの１つの実施形態の模式図である。 [0020]図５のシステムの第１の気体送達機能の模式図である。 [0021]図５のシステムの第２の気体送達機能の模式図である。 [0022]図５のシステムの圧力増大機能の模式図である。 [0023］現開示の送達タンクシステムの別の実施形態の模式図である。 [0024]現開示の送達タンクシステムの別の実施形態の模式図である。 [0025]図１０のシステムの第１の気体送達機能の模式図である。 [0026]図１０のシステムの第２の気体送達機能の模式図である。 [0027]現開示の送達タンクシステムの別の実施形態の模式図である。

[0028]開示の或る実施形態は、熱及び圧力管理機能を備えた貯蔵及び送達タンクを提供している。

[0029]図５は、極低温タンク２０３を含んでいる現開示の極低温送達タンクシステム２００を例示している。極低温タンク２０３は極低温液体を貯蔵するために採用される。単に一例として、極低温液体は、窒素、ヘリウム、酸素、又は何れかの他の既知の極低温流体とすることができる。

[0030]例示されている実施形態では、極低温タンク２０３は内シェル２０１及び外シェル２０２を有し、内シェルはタンクの内部を画定している。内シェル２０１の内部の中には極低温液体２１０が貯蔵されている。極低温液体２１０は極低温タンク２０３の特定の体積を占め、残りの体積は極低温気体又は蒸気２２０によって占められている。例示目的で液位２１５が含まれているが、液位は特にそれぞれの事象時（システムによる気体の送達後、タンクの液体再充填後など）で変わり得る。

[0031]例示されている実施形態では、極低温送ンク２０３は垂直タンクである。他の実施形態では、タンク２０３は水平タンクであってもよい。

[0032]現発明の極低温タンク２０３は、二重壁で囲まれているものとして示されているが、同じく単重壁又は三重壁で囲まれていてもよい。極低温タンクは、銅合金、ニッケル合金、炭素、ステンレス鋼、又は技術的に知られている何れかの他の材料から作ることができる。

[0033]極低温送達タンク２０３は、内壁（内シェル）と外壁（外シェル）の間に絶縁材を有していてもよく、及び／又は真空絶縁されていてもよい。絶縁用の何れかの既知の材料の単層絶縁材又は複層絶縁材を利用することもできる。

[0034]内容器２０１は、１つ又はそれ以上の内容器支持部材によって外容器２０２へ接合されることができる。例えば、技術的に知られている様に、内容器支持部材は内容器のネックとベースを外容器へ接続していてもよい。

[0035]極低温送達システム２００は、液化ガスを使用デバイス又は使用プロセスによる使用に供するために気体へ変換するための少なくとも１つの気化器、望ましくは少なくとも２つの気化器を含んでいる。本明細書で開示されている気化器としては、雰囲気式、循環水式、電気式、燃料燃焼式、スチーム式、又は水浴式の気化器の様な、様々な型式の気化器が使用できる。１つの実施形態では、雰囲気式気化器が利用されている。極低温送達システム２００は、少なくとも１つの第１の気化器１２及び第２の気化器１３を有している。気化器１２は製品気化器として機能し、タンクからの液体を蒸気へ変換しその蒸気を加温するか又はタンクのヘッドスペースからの蒸気を加温して、使用デバイスのための適切な圧力と温度にする。気化器１３は、タンクから液体を取り、気体を形成したうえでそれをタンクのヘッドスペースへ戻すことによって、極低温タンクの圧力を上昇させるための圧力増大気化器として機能する。製品用と圧力増大用それぞれの気化器として３つの気化器が示されているが、極低温送達システム２００にはそれより多い又は少ない気化器が含まれていてもよい。

[0036]多数の接続された移送管又は移送ラインが、極低温送達システム２００の一部として、タンク及び使用デバイスに関して異なる機能を提供する。低温送達システム２００は、タンクの液体部からの液体ライン３５０を含んでおり、液体ライン３５０は気化器１２を通して気体へ変換させ使用デバイス又は使用プロセスへ接続している使用出口２５０へ至らせるための液体を提供する。蒸気ライン４５０は、気化器１２を通して進めた後に使用出口２５０を通して使用デバイスへ分配するための、タンク２０３からの気体を提供する。圧力増大ライン５５０は、タンク内の圧力が増加されるように、結果として生じた蒸気ストリームを循環させてタンク２０３の中へ戻すためにタンク２０３からの液体を圧力増大気化器１３へ方向決めする。諸図には具体的な詳細事項は示されていないが、各移送管の両端は多数の特定の嵌め合いを特徴とすることができる。例えば、個々それぞれが取り外し可能再使用可能なシールを備えていてもよい。各管端は、更に、弁又は脱気口を含んでいてもよい。この管及び他の構造の断面は、円形、楕円形、方形、三角形、五角形、六角形、多角形、又は他の形状の様な、様々な形状を有することができる。

[0037]極低温送達タンクシステム２００の移送管は多数の弁を有していてもよい。ライン４５０は隔離弁３２を有し、一方、ライン３５０は図５の実施形態では隔離弁である弁１０を有している。ライン５５０は隔離弁８を有している。使用出口２５０は、気体を使用デバイス又は使用プロセスへ提供するために開かれる分注弁を有していてもよい。

[0038]システムのそれら弁は、限定するわけではないが、玉形弁、ボール弁、逆止弁、ゲート弁、傾斜ディスク逆止弁、スイング逆止弁、又はストップ逆止弁とすることができる。

[0039]弁は更にソレノイド弁の様な電気機械式の弁であってもよい。１つの実施形態では、使用出口２５０の分注弁はソレノイド弁である。

[0040]圧力増大ライン５５０は圧力増大調整器１６を含み、液体ライン３５０は液体調整器１７を含んでいる。図５に例示されている実施形態では、蒸気ライン４５０は調整器弁又はエコノマイザーを有していない。

[0041]極低温タンクシステム２００は、タンクシステムの異なる特性を読み出すためのデバイス又はゲージを含んでいてもよい。これらのデバイス又はゲージは、圧力、温度、差圧、液位などを示すようになっていてもよい。

[0042]極低温タンクシステム２００は更に制御システムを含んでいてもよい。制御システムは、制御器と、随意的にはシステム上又はシステム内に配置された様々なセンサ（例えば圧力センサ及び温度センサなど）を含んでいてもよい。制御器は、極低温タンクシステム２００の弁など、極低温タンクシステムの様々な部分を制御するのに利用されてもよい。制御器は、有線式であってもよいし又は無線式であってもよく、随意的なセンサと通信し、またそれが制御するそれらの弁及びシステムの他の部分と通信していてもよい。制御器はプロセッサ又は他のコンピュータデバイスを含んでおり、制御器は以下に説明されている構成にシステムを設置することを含め特定の事象又は状態情報に際してプロセスを規制する又は開始させるようにプログラム可能であってもよい。制御器は、更に、履歴データ又は様々な種類の指示などの情報をユーザーへ提供することができる。

[0043]図５の実施形態又は現開示の何れかの他の実施形態では、極低温タンクシステム２００はタンクを極低温液体で満たすための少なくとも１つの管を含んでいる。１つの実施形態では、別個の充填管及び別個の引き出し管が設けられている。同じく、液体を充填したり取り出したりするのに内容器から外へ他の経路が出ていてもよい。充填管及び引き出し管は、それを通して流体の流れを運ぶ又は許容するための何れの適切な導管であってもよい。

[0044]図６は、極低温タンクシステム２００による第１の気体送達機能を例示している。ライン４５０の弁３２は開かれ、以下に説明されている動作を通して開いたままである。使用デバイス又は使用プロセスが接続され、使用出口２５０にて分注弁が開かれたとき、ライン４５０の圧力ひいては液体調整器１７の出口側の圧力が特定圧力より高い限り極低温タンク２０３のヘッドスペースから気体が移動する。１つの実施形態では、当該の特定圧力は３．０ＭＰａ（３０バール）である。他の言い方をすれば、液体調整器１７は、出口側の圧力（即ちライン４５０内の圧力）が大凡３．０ＭＰａ（３０バール）より上のときは閉じられている。気体は、全体を矢印４５１によって表されている様に、極低温タンクのヘッドスペースから管４５０を通り、製品気化器１２（加温されていてもよい）を通って使用出口２５０へ進む。タンクのヘッドスペースから蒸気を取ることは、気体の取り出しが大量の熱をタンクから除去することになるため、全体としての熱の管理を有意に改善する。従来式システムとは違い、ライン４５０上にはタンクのヘッドスペースから外へ移動する気体に干渉するエコノマイザーも調整器も存在しない。

[0045]図７は、極低温タンクシステム２００による第２の気体送達機能を例示している。先に述べられている様に、ライン３５０上の液体調整器１７は大凡３．０ＭＰａ（３０バール）の特定圧力に設定されている。極低温タンクのヘッドスペース内の圧力が、ヘッドスペースからの気体／蒸気の取り出しのせいで下がったとき、ライン４５０内の圧力は３．０ＭＰａ（３０バール）より下に降下し、液体調整器１７が開くことになる。すると液体がタンクからライン３５０及び調整器１７を通って製品気化器１２へ流れてゆく。結果として得られた蒸気が次いで使用出口２５０を通って使用デバイス又は使用プロセスへ流れてゆく。流体経路は全体を図７の矢印３５１によって示されている。

[0046]図８は、極低温タンクシステム２００による圧力増加機能を例示している。ライン５５０上の圧力増大調整器１６は、タンク内の圧力が特定圧力まで降下したときに開くように設定されている。１つの実施形態では、特定圧力は大凡２．９ＭＰａ（２９バール）である。極低温タンク内の圧力が、タンクのヘッドスペースからの気体／蒸気の取り出し及び／又はタンクの底部からの液体の取り出しのせいで当該の特定圧力まで下がったとき、液体がタンクからライン５５０を通って圧力増大気化器１３へ流れてゆく。結果として得られた蒸気は極低温タンク２０３へ還流し、蒸気ヘッドスペースに進入することになる。流体経路は全体を図８の矢印５５１によって示されている。圧力増大調整器１６は、タンク内の圧力が大凡２．９ＭＰａ（２９バール）より上に上昇すると閉じる。これによりタンク内の及び製品気化器１２への所望圧力が維持される。

[0047]使用デバイス又は使用プロセスによる消費が停止されたとき、製品気化器１２内に残っている液体が気化する。この作用によって生成される圧力は、まだ気化することのできなかった熱せられた液体と残留蒸気を押し戻す。液体と蒸気はライン４５０を通って進み、極低温タンク２０３のヘッドスペースの中へ戻ってゆく。液体調整器１７は、製品気化器１２のより高い圧力のせいで閉じられるだろう。タンク内部の圧力は２．９ＭＰａ（２９バール）より上に再び上昇してゆくはずであり、よって圧力増大調整器１６は閉じられることになる。蒸気の形態をしている余分な熱がタンクの最上部にて再び増大し、次の気体送達又は分注サイクル中の液体引き出しへ切り替わる前のタンクの最上部からの気体／蒸気の取り出しを可能にさせる。

[0048]設計上のこの改善は、確実にタンクの底部の低温液体がタンクに留まり図１の先行技術のシステムでの様に加温されることがないようにする。液体をタンク内で低温に保つことによって、貯蔵された液体の熱容量も維持される。したがって、頻繁なサイクル（気体消費、中断、気体消費など）があっても、影響は限定されるはずであり、結果的に逃し弁の開く頻度は少なくなり、貯蔵された液体の損失は低くなる。

[0049]図９は現開示の追加の実施形態を例示しており、極低温タンクシステム２２５が液体ライン３５０に沿って逆止弁１８を使用している。極低温タンクシステム２２５は、極低温タンクシステム２００の特徴すべてを含むことができるが、追加の逆止弁１８も備えている。逆止弁１８は、一方向弁として、製品気化器内の圧力が液体調整器１７の設置点より下である（ゆえに液体調整器１７が開かれている）という場合に、気体消費が停止された後の製品気化器１２から極低温タンクの底部への液体逆流を防止する。

[0050]代替的に、図９の弁１０は、製品気化器内の圧力が液体調整器１７の設置点より下である（ゆえに液体調整器１７が開かれている）という場合に、気体消費が停止された後の製品気化器１２から極低温タンクの底部への液体逆流を防止する玉形逆止弁であってもよい（逆止弁１８は省略されてもよい）。

[0051]図１０は、現開示の追加の実施形態を例示しており、極低温タンクシステム２２６が製品気化器１２の手前にループ１９を使用している。極低温タンクシステム２２６は、極低温タンクシステム２００の特徴すべてを含むことができるが、更に製品気化器１２の手前にループを含んでいる。着目すべきこととして、図１０の実施形態では、ループ１９は製品気化器１２より上に物理的に隆起している山部分を特徴とする。図１０に描かれている様に、蒸気ライン４５０はループのこの山部分へ取り付けられている。この実施形態は、開示の技術の幾つかの適用では望ましいとされるものであって、タンク及びライン３５０からの液体の一部が、液体の残部が製品気化器１２へ進む際に同時にライン４５０の中へ流れるのを防ぐ。ライン４５０へのその様な流入は、結果としてタンクのヘッドスペースへの流れを生じさせ、ライン４５０が望ましくないことに圧力増大回路として機能してしまうことになる。

[0052]図１１及び図１２は、極低温タンクシステム２２６についての第１及び第２の気体送達機能を例示している。図１１は、液体調整器１７が閉じられているときの極低温タンク２０３のヘッドスペースから使用出口２０及び使用デバイス又は使用プロセスへ至る、全体を矢印４５２によって表された気体経路を示している。図１２は、極低温タンク２０３から開かれた液体調整器１７及び気化器１２を通って使用出口２５０及び使用デバイス又は使用プロセスへ至る、全体を矢印３５２によって表された液体経路を示している。先に指摘されている様に、ループ１９は、確実に、極低温タンクからライン３５０を通って引き出される液体が弁３２を通って気体ライン４５０の中へ流れ込まないようにする追加の構造を提供している。

[0053]図１３は、現開示の追加の実施形態を例示しており、極低温タンクシステム２２７がライン３５０に沿った逆止弁１８を図１０−図１２のループ構造１９と併せて使用している。極低温タンクシステム２２７は、図１０−図１２の極低温タンクシステム２２６の特徴及び機能性すべてを含むことができるが、以上に図９に関してその機能性を説明されている逆止弁１８も備えている。図９に関して更に説明されている様に、開示のシステムの別の代替的な実施形態では、図１３の弁１０は玉形逆止弁であってもよい（逆止弁１８は省略されてもよい）。

[0054]開示の好適な実施形態が示され説明されているが、当業者には明らかであるように、開示の精神から逸脱することなく変更や修正がなされる余地があり、その範囲は付随の特許請求の範囲によって定義される。

８ 隔離弁
１０ 隔離弁
１２ 第１の気化器、製品気化器
１３ 第２の気化器、圧力増大気化器
１６ 圧力増大調整器
１７ 液体調整器
１８ 逆止弁
１９ ループ
３２ 隔離弁
２００ 極低温送達タンクシステム
２０１ 内シェル
２０２ 外シェル
２０３ 極低温タンク
２１０ 極低温液体
２１５ 液位
２２０ 極低温気体又は蒸気
２２５、２２６、２２７ 極低温タンクシステム
２５０ 使用出口
３５０ 液体ライン
３５１ 流体経路
３５２ 液体経路
４５０ 蒸気ライン
４５１ 気体経路
４５２ 気体経路
５５０ 圧力増大ライン
５５１ 流体経路

Claims (19)

1. 内シェル及び外シェルを備える極低温タンクであって、前記内シェルが極低温液体と前記極低温液体上方のヘッドスペース内の気体を収容するように構成された内部を画定している、極低温タンクと、
   第１の気化器と、
   第２の気化器と、
   使用出口と、
   気体を前記ヘッドスペースから前記第１の気化器を通して前記出口へ移動させるように構成された第１の管と、
   液体を前記タンクから前記第１の気化器を通して移動させ、その結果、第１の蒸気ストリームが前記使用出口へ方向決めされるように構成された第２の管と、
   液体を前記タンクから前記第２の気化器を通して移動させ、その結果、第２の蒸気ストリームが前記タンクの前記ヘッドスペースへ戻るよう方向決めされることによって、前記タンク内の圧力を増大させるように構成された第３の管と、
   前記第２の管と流体連通している第１の調整器弁であって、当該第１の調整器の出口側の圧力が第１の既定圧力レベルより下に降下したときに開くように構成された第１の調整器弁と、
   前記第３の管と流体連通している第２の調整器弁であって、前記タンク内部の圧力が第２の既定圧力レベルより下に降下したときに開くように構成された第２の調整器弁と、
   を備えている極低温気体送達のためのシステムにおいて、
   前記第１の既定圧力レベルは前記第２の既定圧力レベルよりも高い、
   極低温気体送達のためのシステム。
2. 前記システムは、前記第１の気化器の手前に配管ループを更に備えている、請求項１に記載の極低温タンク送達システム。
3. 前記ループは前記第１の気化器より上に物理的に隆起している山部分を含んでいる、請求項２に記載の極低温タンク送達システム。
4. 前記調整器と前記第１の気化器の間の前記第２の管ライン上の弁、を更に備えている上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
5. 前記弁は逆止弁である、請求項４に記載の極低温タンク送達システム。
6. 前記弁は玉形逆止弁である、請求項４に記載の極低温タンク送達システム。
7. 前記第１の管は調整器弁を有していない、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
8. 前記第１の既定圧力レベルは３．０ＭＰａ（３０バール）である、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
9. 前記第２の既定圧力レベルは２．９ＭＰａ（２９バール）である、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
10. 前記第１の気化器は雰囲気式気化器である、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
11. 前記第２の気化器は雰囲気式気化器である、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
12. 前記第１の管は隔離弁を含んでいる、上記請求項の何れか一項に記載の極低温タンク送達システム。
13. 極低温タンクからの気体を、前記タンク内の温度と圧力を維持しながら使用デバイスへ提供する方法であって、
    使用デバイスへの気体の分配を開始させるために分注弁を開く段階と、
    第１のタンク圧力にて、気体を、第１の管及び第１の気化器を通して前記使用デバイスへ方向決めする段階と、
    第２のタンク圧力にて、液体を、前記タンクから第２の管及び前記第１の気化器を通して前記使用デバイスへ方向決めする段階と、
    第３のタンク圧力にて、液体を、前記タンクから第３の管及び第２の気化器を通して前記タンクへ戻るよう方向決めする段階と、
    使用デバイスへの気体の分配を停止するために前記分注弁を閉じる段階と、
    前記第１の気化器内の残留液体又は残留気体を何れも前記第１の管によって前記タンクの最上部へ戻す段階と、
    を備えている方法。
14. 前記第１のタンク圧力は大凡３．０ＭＰａ（３０バール）又はそれより上である、請求項１３に記載の方法。
15. 前記第２のタンク圧力は大凡３．０ＭＰａ（３０バール）又はそれより下である、請求項１３又は請求項１４に記載の方法。
16. 前記第３のタンク圧力は大凡２．９ＭＰａ（２９バール）又はそれより下である、請求項１３から請求項１５の何れか一項に記載の方法。
17. 液体又は気体を、前記第１の気化器の手前のループを通して方向決めする段階、を更に備えている請求項１３から請求項１６の何れか一項に記載の方法。
18. 前記第２のラインは、前記第２のタンク圧力にて開いて液体が当該第２のラインを通って前記第１の気化器へ流れることができるようにする調整器を更に備えている、請求項１３から請求項１７の何れか一項に記載の方法。
19. 前記第３のラインは、前記第３のタンク圧力にて開いて液体が当該第３のラインを通って前記第２の気化器へ流れることができようにする調整器を更に備えている、請求項１３から請求項１８の何れか一項に記載の方法。

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