JP2021156853A - ガス分析装置 - Google Patents
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 11
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 238000004457 water analysis Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
水の吸収のある波長帯(波長1.4 μm, 1.8 μm, 2.6μm, 6.7 μm帯)を持つレーザ光を大気中に出射し、所定間隔(例えば2cm)を介して受光した場合、受光強度は大気中の水分濃度に対応する吸収線を示すことになる(図4参照、但し図4は波数で表現)。
<装置>
図1は上記原理に基づいた、レーザ発振素子から発振するレーザ光の周波数を補正する装置の機能ブロック図である。
5、6・・光ファイバーポート
10・・駆動回路
11、12、13・・光ファイバー
14、25・・コリメータ
15・・スプリッタ
16・・サーキュレータ
19・・レーザ装置
20・・測定セル
21、30・・受光素子
22、23・・高反射率ミラー
31・・光検出器
40・・中心電圧検出手段
50・・中心電圧設定手段
100・・濃度演算手段
200・・基準値検出
300・・参照用ガスセル
400・・光共振器
a、b、c・・距離
Claims (3)
- レーザ発振素子に、所定幅の駆動電圧を印加してレーザ光を得、当該レーザ光を分析対象物質を含むガスを充填した測定セルを透過させることによって、前記分析対象物質の濃度を測定するガス分析装置において、
所定距離の大気中を通過した前記レーザ光を受光する受光素子と、
当該受光素子で得られた大気中水分の吸収線の中心電圧を検出する中心電圧検出手段と、
前記中心電圧を駆動回路に設定する中心電圧設定手段と
を備えたことを特徴とするガス分析装置。 - 前記所定距離が、前記レーザ発振素子からレーザ光が光ファイバーに入射するまでの空間距離と、前記レーザ光を分岐した分岐光が光ファイバーから出射してからその下流に配置された受光素子に到達するまでの空間距離のいずれか、またはそれらの合計である請求項1に記載のガス分析装置。
- 前記所定距離が、更に、前記測定セルに導く光ファイバーからレーザ光が空間に出射してから前記測定セルに到達するまでの往路と、前記レーザ光が前記測定セルの入射側の窓で反射してから前記光ファイバーに再度到達するまでの復路を加えた合計である請求項1に記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020060344A JP7437022B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020060344A JP7437022B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | ガス分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021156853A true JP2021156853A (ja) | 2021-10-07 |
JP7437022B2 JP7437022B2 (ja) | 2024-02-22 |
Family
ID=77918156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020060344A Active JP7437022B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7437022B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3336256B2 (ja) | 1998-07-02 | 2002-10-21 | 日本酸素株式会社 | レーザ光によるガスの分光分析方法 |
JP2017219499A (ja) | 2016-06-10 | 2017-12-14 | 富士電機株式会社 | 赤外線ガス分析装置 |
CN110927100B (zh) | 2019-11-26 | 2022-11-29 | 宁波海尔欣光电科技有限公司 | 用于测量气体通量的系统和测量气体通量的方法 |
-
2020
- 2020-03-30 JP JP2020060344A patent/JP7437022B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7437022B2 (ja) | 2024-02-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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