JP2021148189A - シール部材、及び管継手 - Google Patents

Abstract

【課題】一次シール部の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのを抑制することができるシール部材及び管継手を提供する。【解決手段】管継手１のインナーリング４は、継手本体２及びチューブ８の流路孔２ｃ，８ａ同士を連通する連通孔５ａを有する円筒状の本体部５と、本体部５の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出し、継手本体２に形成された環状の一次シール溝２ｄに圧入される環状の一次シール部１１と、本体部５の軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出し、継手本体２において一次シール溝２ｄよりも径外側に形成された環状の二次シール溝２ｅに圧入される環状の二次シール部１２と、を備える。一次シール部１１は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成され、かつ軸方向外端の径外端１１ｂから径内側へ向かって延びる平坦面１１ｃを有する。【選択図】図３

Description

本発明は、シール部材、及び管継手に関する。

半導体製造、医療・医薬品製造、及び食品加工・化学工業等の各種技術分野の製造工程では、薬液、高純度液、超純水、或いは洗浄液等の流体が流れる配管経路において、２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を接続する接続構造として、例えば合成樹脂製の管継手が採用されている。このような管継手として、チューブ（配管）の先端部の外周側に装着される継手本体と、継手本体の外周側に装着されるユニオンナットと、チューブの先端部の内周側に装着されるインナーリングと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

インナーリングは、前記流路孔同士を連通する連通孔が形成された円筒状の本体部と、本体部の軸方向外端部の径内側において軸方向外側に突出して形成された環状の一次シール部と、本体部の軸方向外端部の径外側において軸方向外側に突出して形成された環状の二次シール部と、を有している。一次シール部及び二次シール部は、継手本体に形成された環状の一次シール溝及び二次シール溝に圧入されている。これにより、継手本体とインナーリングとの間のシール性能が確保され、流体が外部へ漏洩するのを防止している。

特開２０１８−１６８９４７号公報

前記管継手における一次シール部の断面形状は、軸方向内端から軸方向外端へ向かって徐々に先細るように形成され、一次シール部の軸方向外端は先鋭に形成されているので、一次シール部の径方向の厚みは、軸方向外端において最も薄くなっている。このため、一次シール部を一次シール溝に圧入するときに、一次シール部の軸方向外端部は、強度不足により径内側（連通孔側）へ倒れ込む（とび出る）ような変形が生じる場合がある。このような倒れ込みが生じると、一次シール部の軸方向外端部と一次シール溝との接触面同士の面圧が不足することで、これらの接触面間に流体が浸入してしまう。そうすると、前記接触面間に流体が残存することで、配管経路を流れる流体の置換性が低下し、配管経路のフラッシングに時間を要する等の悪影響が生じる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、一次シール部の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのを抑制することができるシール部材及び管継手を提供することを目的とする。

（１）本発明のシール部材は、２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士をシールして接続するシール部材であって、前記流路孔同士を連通する連通孔を有する円筒状の本体部と、前記本体部の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出し、一方の前記流体デバイスの流路孔の接続端部に形成された環状の一次シール溝に圧入される環状の一次シール部と、前記本体部の前記軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出し、前記一方の前記流体デバイスにおいて前記一次シール溝よりも径外側に形成された環状の二次シール溝に圧入される環状の二次シール部と、を備え、前記一次シール部は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されており、かつ軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有する。

本発明のシール部材によれば、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成された一次シール部は、軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有するので、一次シール部の軸方向外端における径方向の厚みを従来よりも厚くすることができる。これにより、一次シール部の軸方向外端部における強度が従来よりも増すので、一次シール部を一次シール溝に圧入するときに、一次シール部の軸方向外端部が径内側（連通孔側）へ倒れ込むのを抑制することができる。その結果、一次シール部の軸方向外端部と一次シール溝との接触面同士の面圧が従来よりも高くなるので、これらの接触面間に流体が浸入するのを抑制することができる。

（２）前記一次シール部の内周面は、軸方向内端から軸方向外端へ向かって漸次拡径するように、前記本体部の内周面に対して傾斜しているのが好ましい。
この場合、一次シール部を一次シール溝に圧入するときに、一次シール部が径内側へ倒れ込んでも、一次シール部の内周面が本体部の内周面よりも径内側へ突出するのを抑制することができる。これにより、本体部の連通孔における流体の流れが、一次シール部の内周面によって阻害されるのを抑制することができる。

（３）前記一次シール部は、当該一次シール部の内周面と前記平坦面とがなす角部に形成された面取り部を有するのが好ましい。
この場合、一次シール部の前記角部と一次シール溝との間に形成される窪みに流体が入り込でも、その窪み内の流体は、面取り部によって連通孔側へ流れ易くなるので、前記窪み内に流体が残存するのを抑制することができる。

（４）前記一次シール部の軸方向外端の径外端から前記二次シール部の内周面までの径方向寸法は、前記一次シール部の軸方向外端における径方向の厚み寸法よりも大きいのが好ましい。
この場合、一次シール部の軸方向外端に平坦面を形成することに起因して、一次シール部と二次シール部との間に配置される流体デバイスの径方向の厚み部分（一次シール溝と二次シール溝との間の厚み部分）が薄くなりすぎるのを防止することができる。その結果、前記厚み部分の強度不足に起因して二次シール部と二次シール溝との接触面圧が低下するのを抑制できるので、二次シール部と二次シール溝によるシール性能が低下するのを抑制することができる。

（５）前記一次シール部の前記厚み寸法は、前記一次シール部の軸方向内端における径方向の厚み寸法に対して、１０％以上かつ３０％以下であるのが好ましい。
この場合、一次シール部の軸方向外端における径方向の厚み寸法を、一次シール部の軸方向内端における径方向の厚み寸法に対して１０％以上にすることで、一次シール部の軸方向外端部における強度がさらに増す。これにより、一次シール部を一次シール溝に圧入するときに、一次シール部の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのをさらに抑制することができる。その結果、一次シール部の軸方向外端部と一次シール溝との接触面同士の面圧がさらに高くなるので、これらの接触面間に流体が浸入するのを効果的に抑制することができる。

また、一次シール部の軸方向外端における径方向の厚み寸法を、一次シール部の軸方向内端における径方向の厚み寸法に対して３０％以下にすることで、一次シール部と二次シール部との間に配置される流体デバイスの径方向の厚み部分（一次シール溝と二次シール溝との間の厚み部分）が薄くなりすぎるのを防止することができる。これにより、前記厚み部分の強度不足に起因して二次シール部と二次シール溝との接触面圧が低下するのをさらに抑制できるので、二次シール部と二次シール溝によるシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

（６）本発明の管継手は、外周に雄ねじ部が形成され、内部に流路孔が形成された継手本体と、前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部が内周に形成されたユニオンナットと、前記継手本体に軸方向外端部が接続され、チューブの先端部内に圧入される膨出部が軸方向内端部の外周に突出して形成されたインナーリングと、を備え、前記インナーリングは、前記継手本体及び前記チューブにそれぞれ形成された流路孔同士を連通する連通孔を有する円筒状の本体部と、前記本体部の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出し、前記継手本体の流路孔の接続端部に形成された環状の一次シール溝に圧入される環状の一次シール部と、前記本体部の軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出し、前記継手本体において前記一次シール溝よりも径外側に形成された環状の二次シール溝に圧入される環状の二次シール部と、を備え、前記一次シール部は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されており、かつ軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有する。

本発明の管継手によれば、インナーリングにおいて、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成された一次シール部は、軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有するので、一次シール部の軸方向外端部における径方向の厚みを従来よりも厚くすることができる。これにより、一次シール部の軸方向外端部における強度が従来よりも増すので、一次シール部を一次シール溝に圧入するときに、一次シール部の軸方向外端部が径内側（連通孔側）へ倒れ込むのを抑制することができる。その結果、一次シール部の軸方向外端部と一次シール溝との接触面同士の面圧が従来よりも高くなるので、これらの接触面間に流体が浸入するのを抑制することができる。

本発明によれば、一次シール部の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係る管継手の軸方向の断面図である。 前記管継手のインナーリングを示す軸方向の断面図である。 図２の要部拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係るシール部材が用いられた流路継手構造の軸方向の断面図である。 前記流路継手構造のガスケットを示す軸方向の断面図である。 図５の要部拡大断面図である。

次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
＜管継手の全体構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る管継手の軸方向の断面図である。図１において、管継手１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液（流体）が流れる配管経路に用いられる。管継手１は、継手本体２と、ユニオンナット３と、インナーリング４と、を備えている。以下、本実施形態では、便宜上、図１の右側を軸方向外側といい、図１の左側を軸方向内側という（図２、図３も同様）。

インナーリング４は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、又はフッ素樹脂（パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、又はポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等）の合成樹脂材料によって、円筒状に形成されている。インナーリング４は、円筒状に形成された本体部５と、本体部５の軸方向内端部に形成された膨出部６と、本体部５の軸方向外端部に形成された接続部７と、を備えている。

膨出部６は、本体部５の軸方向内端部において径外側に突出して形成されている。膨出部６は、合成樹脂材料（ＰＦＡ等）からなるチューブ８の先端部内に圧入されて、当該先端部を拡径する。接続部７は、継手本体２の端部に接続され、その接続部分をシールしている。なお、接続部７の構成については後述する。本体部５の内部には、継手本体２の内部に形成された流路孔２ｃと、チューブ８の内部に形成された流路孔８ａとを連通する連通孔５ａが形成されている。

継手本体２は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。継手本体２の内径は、薬液の移動を妨げないように、インナーリング４の本体部５の内径と略同一寸法に設定されている。継手本体２の端部には、受口部２ａが形成されている。受口部２ａの内周には、チューブ８の先端部内に圧入されたインナーリング４が嵌合されている。これにより、継手本体２の端部は、チューブ８の先端部の外周に装着されている。受口部２ａの外周には、雄ねじ部２ｂが形成されている。

継手本体２は、受口部２ａよりも径内側に形成された環状の一次シール溝２ｄ及び環状の二次シール溝２ｅを有している。一次シール溝２ｄは、流路孔２ｃの接続端部の周面において、軸方向外端から軸方向内端へ向かって漸次拡径するように切り欠かれたテーパ形状とされている。二次シール溝２ｅは、継手本体２において一次シール溝２ｄよりも径外側において円筒環状に形成されている。

ユニオンナット３は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。ユニオンナット３は、軸方向外端部の内周に形成された雌ねじ部３ａと、軸方向内端部において径内側に突出して形成された押圧部３ｂと、を有している。雌ねじ部３ａは、継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けられている。その締め付けによって、ユニオンナット３は継手本体２に装着されるとともに、押圧部３ｂの軸方向内端部は、インナーリング４の膨出部６によって径外側に膨らむチューブ８の外周面を押圧する。

以上の構成により、ユニオンナット３の雌ねじ部３ａを継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けることで、継手本体２の受口部２ａとチューブ８の先端部との装着箇所におけるシール性能を確保することができ、かつチューブ８の抜け出しを防止することができる。

＜インナーリングのシール構成＞
図２は、インナーリング４を示す軸方向の断面図である。図１及び図２において、インナーリング４の接続部７は、環状の一次シール部１１と、環状の二次シール部１２と、を備えている。

一次シール部１１は、本体部５の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出して形成されている。また、一次シール部１１は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されている。一次シール部１１は、継手本体２の一次シール溝２ｄに圧入される。

二次シール部１２は、本体部５の軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出して形成されている。二次シール部１２は、円筒環状に形成されており、継手本体２の二次シール溝２ｅに圧入される。

以上の構成により、インナーリング４の一次シール部１１及び二次シール部１２は、それぞれ継手本体２の一次シール溝２ｄ及び二次シール溝２ｅに圧入されるため、インナーリング４と継手本体２との接続部分のシール性能を確保することができる。したがって、インナーリング４は、チューブ（流体デバイス）８の流路孔８ａと継手本体（流体デバイス）２の流路孔２ｃとをシールして接続するシール部材として機能する。

＜一次シール部の構成＞
図３は、図２の要部拡大断面図である。図３において、一次シール部１１の外周面１１ａは、一次シール溝２ｄ（図１参照）の形状に合わせて、軸方向外端から軸方向内端へ向かって漸次拡径するように形成されたテーパ面とされている。

一次シール部１１は、軸方向外端の径外端１１ｂから径内側へ向かって延びる平坦面１１ｃを有している。ここで、「径内側へ向かって延びる」とは、径外端１１ｂから、インナーリング４の軸線Ｃ１に対して直交する方向に沿って径内側へ延びる場合だけでなく、前記直交する方向に対して多少傾斜している方向に沿って径内側へ延びる場合も含む意味である。

平坦面１１ｃが、径外端１１ｂから、前記直交する方向に対して軸方向外側に傾斜する方向に沿って径内側へ延びる場合、前記直交する方向に対する平坦面１１ｃの傾斜角度は、１°以上かつ１０°以下であるのが好ましい。
平坦面１１ｃが、径外端１１ｂから、前記直交する方向に対して軸方向内側に傾斜する方向に沿って径内側へ延びる場合、前記直交する方向に対する平坦面１１ｃの傾斜角度は、１°以上かつ２０°以下であるのが好ましい。

以上のように、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成された一次シール部１１は、その軸方向外端に平坦面１１ｃを有するので、一次シール部１１の軸方向外端における径方向の厚み（後述する厚み寸法Ｌ２）を従来よりも厚くすることができる。これにより、一次シール部１１の軸方向外端部における強度が従来よりも増すので、一次シール部１１を一次シール溝２ｄに圧入するときに、一次シール部１１の軸方向外端部が径内側（連通孔５ａ側）へ倒れ込むのを抑制することができる。その結果、一次シール部１１の軸方向外端部と一次シール溝２ｄとの接触面同士の面圧が従来よりも高くなるので、これらの接触面間に薬液が浸入するのを抑制することができる。

一次シール部１１の内周面１１ｄは、軸方向内端から軸方向外端へ向かって漸次拡径するように、本体部５の内周面５ｂに対して傾斜している。本実施形態における一次シール部１１の内周面１１ｄは、一次シール部１１を一次シール溝２ｄに圧入したときに、一次シール部１１が径内側へ倒れ込んでも、本体部５の内周面５ｂよりも径内側へ突出しない程度に傾斜している（図１参照）。

これにより、一次シール部１１を一次シール溝２ｄに圧入するときに、一次シール部１１が径内側へ倒れ込んでも、一次シール部１１の内周面１１ｄが本体部５の内周面５ｂよりも径内側へ突出するのを抑制することができる。これにより、本体部５の連通孔５ａにおける薬液の流れが、一次シール部１１の内周面１１ｄによって阻害されるのを抑制することができる。なお、内周面１１ｄは、曲面状に傾斜しているが、平面状に傾斜していてもよい。

一次シール部１１は、平坦面１１ｃと内周面１１ｄとがなす角部に形成された面取り部１１ｅをさらに有している。本実施形態の面取り部１１ｅは、例えばＲ面取り加工が施されている。これにより、図１に示すように、一次シール部１１を一次シール溝２ｄに圧入したときに、一次シール部１１の前記角部と一次シール溝２ｄの径内端部との間に形成される窪み９に薬液が入り込んでも、窪み９内の薬液は、面取り部１１ｅに沿って連通孔５ａ側へ流れ易くなる。その結果、窪み９内に薬液が残存するのを抑制することができる。なお、面取り部１１ｅは、Ｃ面取り加工が施されていてもよい。

図３に戻り、一次シール部１１の軸方向外端の径外端１１ｂから二次シール部１２の内周面１２ａまでの径方向寸法Ｌ１は、一次シール部１１の軸方向外端における径方向の厚み寸法Ｌ２よりも大きく設定されている。ここで、軸方向外端のおける「径方向の厚み寸法」とは、一次シール部１１の軸方向外端における径外端１１ｂから径内端（本実施形態では、平坦面１１ｃの延長線と内周面１１ｄの延長線との交点）までの径方向寸法を意味する。

これにより、一次シール部１１の軸方向外端に平坦面１１ｃを形成することに起因して、一次シール部１１と二次シール部１２との間に配置される継手本体２の径方向の厚み部分２ｆ（図１参照）が薄くなりすぎるのを防止することができる。その結果、厚み部分２ｆの強度不足に起因して二次シール部１２と二次シール溝２ｅとの接触面圧が低下するのを抑制できるので、二次シール部１２と二次シール溝２ｅによるシール性能が低下するのを抑制することができる。

一次シール部１１の軸方向外端における径方向の厚み寸法Ｌ２は、一次シール部１１の軸方向内端における径方向の厚み寸法Ｌ３に対して、１０％以上かつ３０％以下（好ましくは１０％以上かつ２３％以下、より好ましくは１０％以上かつ２０％以下）に設定されている。

厚み寸法Ｌ２を厚み寸法Ｌ３に対して１０％以上にすることで、一次シール部１１の軸方向外端部における強度がさらに増す。これにより、一次シール部１１を一次シール溝２ｄに圧入するときに、一次シール部１１の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのをさらに抑制することができる。その結果、一次シール部１１の軸方向外端部と一次シール溝２ｄとの接触面同士の面圧がさらに高くなるので、これらの接触面間に流体が浸入するのを効果的に抑制することができる。

厚み寸法Ｌ２を厚み寸法Ｌ３に対して３０％以下にすることで、一次シール部１１と二次シール部１２との間に配置される継手本体２の径方向の厚み部分２ｆが薄くなりすぎるのを防止することができる。その結果、厚み部分２ｆの強度不足に起因して二次シール部１２と二次シール溝２ｅとの接触面圧が低下するのをさらに抑制できるので、二次シール部１２と二次シール溝２ｅによるシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

［第２実施形態］
＜流路継手構造の全体構成＞
図４は、本発明の第２実施形態に係るシール部材が用いられた流路継手構造の軸方向の断面図である。図４において、流路継手構造２０は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、隣り合う２つの流体デバイス２１，２１にそれぞれ形成された流路孔２１ｃ，２１ｃ同士を接続する接続構造として使用される。本実施形態の各流体デバイス２１は、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、又は配管ブロック等からなる。

流路継手構造２０は、ガスケット２４と、各流体デバイス２１にそれぞれ形成された環状の一次シール溝２１ｄ及び環状の二次シール溝２１ｅと、を備えている。ガスケット２４は、２つの流体デバイス２１，２１の流路孔２１ｃ，２１ｃ同士をシールして接続するシール部材である。以下、本実施形態では、ガスケット２４の軸方向中央から軸方向両側へ向かう方向を軸方向外側といい、ガスケット２４の軸方向両側から軸方向中央へ向かう方向を軸方向内側という。

各流体デバイス２１の一次シール溝２１ｄは、流路孔２１ｃの接続端部の周面において、軸方向外端から軸方向内端へ向かって漸次拡径するように切り欠かれたテーパ形状とされている。各流体デバイス２１の二次シール溝２１ｅは、各流体デバイス２１において一次シール溝２１ｄよりも径外側において円筒環状に形成されている。

＜ガスケットの構成＞
図５は、ガスケット２４を示す軸方向の断面図である。図４及び図５において、ガスケット２４は、円筒状に形成された本体部２５と、一対の環状の一次シール部３１と、一対の環状の二次シール部３２と、を備えている。
本体部２５の内部には、２つの流体デバイス２１，２１の流路孔２１ｃ，２１ｃ同士を連通する連通孔２５ａが形成されている。

一対の一次シール部３１は、本体部２５における軸方向両側の外端部の径内側から、それぞれ軸方向外側に突出して形成されている。各一次シール部３１は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されている。各一次シール部３１は、対応する流体デバイス２１の一次シール溝２１ｄに圧入される。

一対の二次シール部３２は、本体部２５における軸方向両側の外端部の径外側から、それぞれ軸方向外側に突出して形成されている。各二次シール部３２は、円筒環状に形成されており、対応する流体デバイス２１の二次シール溝２１ｅに圧入される。

以上の構成により、ガスケット２４の一対の一次シール部３１及び一対の二次シール部３２は、各流体デバイス２１の一次シール溝２１ｄ及び二次シール溝２１ｅに圧入されるため、２つの流体デバイス２１，２１における流路孔２１ｃ，２１ｃ同士の接続部分のシール性能を確保することができる。

＜一次シール部の構成＞
図６は、図５の要部拡大断面図である。図６において、一次シール部３１の外周面３１ａは、一次シール溝２１ｄ（図４参照）の形状に合わせて、軸方向外端から軸方向内端へ向かって漸次拡径するように形成されたテーパ面とされている。

一次シール部３１は、軸方向外端の径外端３１ｂから径内側へ向かって延びる平坦面３１ｃを有している。ここで、「径内側へ向かって延びる」とは、径外端３１ｂから、ガスケット２４の軸線Ｃ２に対して直交する方向に沿って径内側へ延びる場合だけでなく、前記直交する方向に対して多少傾斜している方向に沿って径内側へ延びる場合も含む意味である。平坦面３１ｃが、径外端３１ｂから、前記直交する方向に対して傾斜する方向に沿って径内側へ延びる場合、前記直交する方向に対する平坦面３１ｃの傾斜角度は１５°以内であるのが好ましい。

以上のように、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成された一次シール部３１は、その軸方向外端に平坦面３１ｃを有するので、一次シール部３１の軸方向外端における径方向の厚み（後述する厚み寸法Ｌ１２）を従来よりも厚くすることができる。これにより、一次シール部３１の軸方向外端部における強度が従来よりも増すので、一次シール部３１を一次シール溝２１ｄに圧入するときに、一次シール部３１の軸方向外端部が径内側（連通孔２５ａ側）へ倒れ込むのを抑制することができる。その結果、一次シール部３１の軸方向外端部と一次シール溝２１ｄとの接触面同士の面圧が従来よりも高くなるので、これらの接触面間に薬液が浸入するのを抑制することができる。

一次シール部３１の内周面３１ｄは、軸方向内端から軸方向外端へ向かって漸次拡径するように、本体部２５の内周面２５ｂに対して傾斜している。本実施形態における一次シール部３１の内周面３１ｄは、一次シール部３１を一次シール溝２１ｄに圧入したときに、一次シール部３１が径内側へ倒れ込んでも、本体部２５の内周面２５ｂよりも径内側へ突出しない程度に傾斜している（図４参照）。

これにより、一次シール部３１を一次シール溝２１ｄに圧入するときに、一次シール部３１が径内側へ倒れ込んでも、一次シール部３１の内周面３１ｄが本体部２５の内周面２５ｂよりも径内側へ突出するのを抑制することができる。これにより、本体部２５の連通孔２５ａにおける薬液の流れが、一次シール部３１の内周面３１ｄによって阻害されるのを抑制することができる。なお、内周面３１ｄは、曲面状に傾斜されているが、平面状に傾斜されていてもよい。

一次シール部３１の軸方向外端の径外端３１ｂから二次シール部３２の内周面３２ａまでの径方向寸法Ｌ１１は、一次シール部３１の軸方向外端における径方向の厚み寸法Ｌ１２よりも大きく設定されている。ここで、軸方向外端のおける「径方向の厚み寸法」とは、一次シール部３１の軸方向外端における径外端３１ｂから径内端３１ｆまでの径方向寸法を意味する。

これにより、一次シール部３１の軸方向外端に平坦面３１ｃを形成することに起因して、一次シール部３１と二次シール部３２との間に配置される流体デバイス２１の径方向の厚み部分２１ｆ（図４参照）が薄くなりすぎるのを防止することができる。その結果、厚み部分２１ｆの強度不足に起因して二次シール部３２と二次シール溝２１ｅとの接触面圧が低下するのを抑制できるので、二次シール部３２と二次シール溝２１ｅによるシール性能が低下するのを抑制することができる。

一次シール部３１の軸方向外端における径方向の厚み寸法Ｌ１２は、一次シール部３１の軸方向内端における径方向の厚み寸法Ｌ１３に対して、５％以上かつ３０％以下に設定されているのが好ましく、１０％以上かつ２０％以下に設定されているのがより好ましい。

厚み寸法Ｌ１２を厚み寸法Ｌ１３に対して５％以上にすることで、一次シール部３１の軸方向外端部における強度がさらに増す。これにより、一次シール部３１を一次シール溝２１ｄに圧入するときに、一次シール部３１の軸方向外端部が径内側へ倒れ込むのをさらに抑制することができる。その結果、一次シール部３１の軸方向外端部と一次シール溝２１ｄとの接触面同士の面圧がさらに高くなるので、これらの接触面間に流体が浸入するのを効果的に抑制することができる。

厚み寸法Ｌ１２を厚み寸法Ｌ１３に対して３０％以下にすることで、一次シール部３１と二次シール部３２との間に配置される流体デバイス２１の径方向の厚み部分２１ｆが薄くなりすぎるのを防止することができる。その結果、厚み部分２１ｆの強度不足に起因して二次シール部３２と二次シール溝２１ｅとの接触面圧が低下するのをさらに抑制できるので、二次シール部３２と二次シール溝２１ｅによるシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

［その他］
第２実施形態の一次シール部３１では、第１実施形態の一次シール部１１と同様に、平坦面３１ｃと内周面３１ｄとがなす角部に面取り部が形成されていれてもよい。
また、本発明のシール部材は、半導体製造装置以外に、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいても適用することができる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 管継手
２ 継手本体（流体デバイス）
２ｄ 一次シール溝
２ｅ 二次シール溝
３ ユニオンナット
４ インナーリング（シール部材）
５ 本体部
６ 膨出部
１１ 一次シール部
１１ｂ 径外端
１１ｃ 平坦面
１１ｄ 内周面
１１ｅ 面取り部
１２ 二次シール部
２０ 流路継手構造
２１ 流体デバイス
２１ｄ 一次シール溝
２１ｅ 二次シール溝
２４ ガスケット（シール部材）
２５ 本体部
３１ 一次シール部
３１ｂ 径外端
３１ｃ 平坦面
３１ｄ 内周面
３２ 二次シール部

Claims (6)

1. ２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士をシールして接続するシール部材であって、
   前記流路孔同士を連通する連通孔を有する円筒状の本体部と、
   前記本体部の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出し、一方の前記流体デバイスの流路孔の接続端部に形成された環状の一次シール溝に圧入される環状の一次シール部と、
   前記本体部の前記軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出し、前記一方の前記流体デバイスにおいて前記一次シール溝よりも径外側に形成された環状の二次シール溝に圧入される環状の二次シール部と、を備え、
   前記一次シール部は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されており、かつ軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有する、シール部材。
2. 前記一次シール部の内周面は、軸方向内端から軸方向外端へ向かって漸次拡径するように、前記本体部の内周面に対して傾斜している、請求項１に記載のシール部材。
3. 前記一次シール部は、当該一次シール部の内周面と前記平坦面とがなす角部に形成された面取り部を有する、請求項１又は請求項２に記載のシール部材。
4. 前記一次シール部の軸方向外端の径外端から前記二次シール部の内周面までの径方向寸法は、前記一次シール部の軸方向外端における径方向の厚み寸法よりも大きい、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のシール部材。
5. 前記一次シール部の前記厚み寸法は、前記一次シール部の軸方向内端における径方向の厚み寸法に対して、１０％以上かつ３０％以下である、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のシール部材。
6. 外周に雄ねじ部が形成され、内部に流路孔が形成された継手本体と、
   前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部が内周に形成されたユニオンナットと、
   前記継手本体に軸方向外端部が接続され、チューブの先端部内に圧入される膨出部が軸方向内端部の外周に突出して形成されたインナーリングと、を備え、
   前記インナーリングは、
   前記継手本体及び前記チューブにそれぞれ形成された流路孔同士を連通する連通孔を有する円筒状の本体部と、
   前記本体部の軸方向外端部の径内側から軸方向外側に突出し、前記継手本体の流路孔の接続端部に形成された環状の一次シール溝に圧入される環状の一次シール部と、
   前記本体部の軸方向外端部の径外側から軸方向外側に突出し、前記継手本体において前記一次シール溝よりも径外側に形成された環状の二次シール溝に圧入される環状の二次シール部と、を備え、
   前記一次シール部は、軸方向の断面視において、軸方向内端から軸方向外端へ向かって先細るように形成されており、かつ軸方向外端の径外端から径内側へ向かって延びる平坦面を有する、管継手。

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