JP2021140468A - 画像検査装置、画像形成システム、および制御プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
前記読取画像データに対して異常を判定する解析を行い、解析結果を生成する画像解析部と、
を備え、
前記画像解析部は、前記読取画像データに対して、前記元画像データおよび/または前記読取画像データから算出した画素閾値を用いて、該画素閾値を超える画素を抽出するとともに、抽出した画素同士が隣接し、連続する複数の画素で構成される領域を異常候補領域に設定する処理と、
それぞれの前記異常候補領域を構成する画素の数である合計画素数、および前記異常候補領域を構成する各画素の前記画素閾値との差分の合計である積算画素値を算出する処理と、
前記元画像データ、または前記読取画像データの特徴に応じた誤判定除外基準を設定する処理と、
それぞれの前記異常候補領域の前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かを判定し、満たす場合には該異常候補領域を正常と判定し、満たさない場合には、異常と判定する処理と、を行う、
画像検査装置。
前記読取画像データと前記元画像データの対応する画素同士の画素値の差分を取ることにより差分画像データを生成し、
前記差分画像データを構成するそれぞれの画素を順次、注目画素とし、該注目画素の周辺画素から前記画素閾値を算出するとともに、
前記注目画素を、該注目画素の周辺画素から算出した前記画素閾値と比較し、該画素閾値を超える画素から、前記異常候補領域を設定する、上記(2)に記載の画像検査装置。
前記画像解析部は、前記合計画素数が、前記第1閾値未満で、かつ前記積算画素値が前記第2閾値未満の場合に、前記誤判定除外基準を満たすと判定する、上記(2)、または上記(3)に記載の画像検査装置。
前記画像解析部は、前記XY座標系において前記合計画素数および前記積算画素値が示す座標が、予め定義した境界線を超えない場合に、前記誤判定除外基準を満たすと判定する、上記(2)、または上記(3)に記載の画像検査装置。
記録材上の画像を読み取って読取画像データを生成する読取部と、
上記(1)から上記(9)のいずれかに記載の画像検査装置と、
を備える、画像形成システム。
前記読取画像データに対して異常を判定する解析を行い、解析結果を生成するステップ(a)を有する処理であって、
前記ステップ(a)は、
前記読取画像データに対して、前記元画像データおよび/または前記読取画像データから算出した画素閾値を用いて、該画素閾値を超える画素を抽出するとともに、抽出した画素同士が隣接し、連続する複数の画素で構成される領域を異常候補領域に設定するステップと、
それぞれの前記異常候補領域を構成する画素の数である合計画素数、および前記異常候補領域を構成する各画素の前記画素閾値との差分の合計である積算画素値を算出するステップと、
前記元画像データ、または前記読取画像データの特徴に応じた誤判定除外基準を設定するステップと、
それぞれの前記異常候補領域の前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かを判定し、満たす場合には該異常候補領域を正常と判定し、満たさない場合には、異常と判定するステップと、
を含む処理をコンピューターに実行させるための制御プログラム。
図2に示すように、画像形成装置10は、制御部11、記憶部12、画像形成部13、給紙搬送部14、操作表示部15、および通信部19を備え、これらは信号をやり取りするためのバスを介して相互に接続される。
制御部11は、CPUであり、プログラムにしたがって装置各部の制御や各種の演算処理を行う。記憶部12は、予め各種プログラムや各種データを格納しておくROM、作業領域として一時的にプログラムやデータを記憶するRAM、各種プログラムや各種データを格納するハードディスク等からなる。
画像形成部13は、例えば電子写真方式により画像を形成し、基本色(YMCK)のそれぞれに対応した書込部131、および作像部を備える。各作像部は、感光体ドラム132、帯電極(図示せず)、トナー、およびキャリアからなる2成分現像剤を収容する現像部133、クリーニング部(図示せず)を含む。各色の作像部で形成されたトナー画像は、中間転写ベルト134上で重ね合わせされ、2次転写部135において搬送された用紙90に転写される。用紙90上の(フルカラーの)トナー画像は下流側の定着部136で加熱、加圧されることで用紙90上に定着される。
給紙搬送部14は、複数の給紙トレイ141、搬送路142、143、ならびに、これらの搬送路142、143に配置した複数の搬送ローラー、およびこれを駆動する駆動モーター(図示せず)を備える。給紙トレイ141から給紙された用紙90は、搬送路142を搬送され、画像形成部13で画像形成された後、下流側の画像検査装置20に送られる。
操作表示部15はタッチパネル、テンキー、スタートボタン、ストップボタン等を備え、画像形成システム1の状態を表示し、ユーザーによる各種設定、および指示の入力に使用される。また、ユーザーによる、後述の色調整、画像位置調整の実行指示を受け付ける。また、画像検査装置20により検査で異常が判定された場合には、解析結果を表示する。
通信部19は、画像形成装置10が、画像検査装置20、後処理装置30、およびPC等の外部機器との間で通信するためのインターフェースである。通信部19は、画像検査装置20との間で、各種設定値や動作タイミング制御に必要な各種情報等の送受信を行う。通信部19には、SATA、PCI、USB、イーサネット(登録商標)、IEEE1394などの規格によるネットワークインターフェースや、Bluetooth(登録商標)、IEEE802.11などの無線通信インターフェースなどの各種ローカル接続インターフェースなどが用いられる。
図1、図2に示すように、画像検査装置20は、制御部21、記憶部22、読取部23、搬送部24および通信部29を備える。これらは信号をやり取りするためのバス等の信号線を介して相互に接続される。
制御部21は、読取部23で用紙90上の画像を読み取って得られた画像データ(以下、「読取画像データ」という)を用いて、色調整や画像位置調整を行う。また、制御部21は、画像解析部210として機能し、読取画像データから「色判定」、「画像位置判定」、「異常判定」等の画像解析を行う。
読取部23は、搬送路241上に配置され、画像形成装置10で画像形成され、搬送された用紙90上の画像の読み取りを行う。なお、両面の同時(1パス)読み取りが行えるように、搬送路241の下側にも同じ読取部を配置してもよい。あるいは、画像形成装置10のADU搬送路143と同様の搬送路を設け、1個の読取部23で両面読み取りを行うようにしたりしてもよい。
後処理装置30は、図1に示すように、後処理部31、および搬送部34を備える。搬送部34は、搬送路341、343、この搬送路341、343に配置した複数の搬送ローラー、およびこれを駆動する駆動モーター(図示せず)、ならびに排紙トレイ342、344を備える。なお、図示は省略するが、後処理装置30も図2に示した他の装置と同様に、制御部、記憶部、および通信部を備え、他の装置と協働することで、用紙90への処理を行う。
図3は、画像形成システム1が実行する印刷処理を示すフローチャートである。図3に示す処理は、主に画像形成装置10の制御部11が主体となり、画像検査装置20の制御部21(画像解析部210)と協働で行われる。
画像形成装置10の制御部11は、画像形成部13、給紙搬送部14を制御することで、元画像データに基づいて用紙90上に画像を形成する。用紙90は、下流側の画像検査装置20に搬送される。
制御部11は、画像検査装置20から、所定時間内に搬送した用紙90に対する異常の判定結果を受信しなかった場合(NO)、ステップS3をスキップし、処理を終了する。一方で、異常の判定結果を受信した場合、処理をステップS3に進める。ここでの画像検査装置20の異常の判定処理については、後述の図4等で説明する。
異常の判定を受けることに応じて、制御部11は、異常の結果を操作表示部15に表示するとともに、後処理装置30に、異常となった用紙90を通常の排紙トレイとは別の排出トレイ(例えば排紙トレイ344)に搬送するように指示をする。後処理装置30では、この指示に応じて、搬送経路を切り替え、異常と判定された用紙90を排紙トレイ343に搬送する。
図4は、画像検査装置20で行う異常判定処理を示すフローチャートである。この処理は、図1に示すような画像形成システム1に組み込まれた画像検査装置20においては、画像形成装置10で画像形成された用紙90が搬送される毎に行う。
読取部23は、搬送された用紙90の読み取りを行い、読取画像データを生成する。制御部21は、読取部23で生成されたこの読取画像データを取得する。また、画像検査装置20は、この搬送された用紙90への画像形成に用いた元画像データ(印刷データ)を取得する。これらは一対の画像データとして紐付けられる。
制御部21の画像解析部210は、は、ステップS110で得られた元画像データ、および/または読取画像データから画素閾値を算出する。画素閾値は、後述するように第1の算出方法では元画像データおよび読取画像データから、画素閾値が画素毎に算出される。第2の算出方法では元画像データから画素閾値が、画素毎、または所定サイズのブロック毎に算出される。そして、読取画像データの各画素、または差分画像データの各画素を画素閾値と比較し、画素閾値を超える画素を抽出し、抽出した画素の塊を異常候補領域として設定する。ここで差分画像データとは、一対の画像データにおいて対応する画素毎に、読取画像データの画素値から元画像データの画素値を減じて得られたものである。
図5A、図5Bは、異常候補領域の設定処理を示すステップS120のサブルーチンフローチャートである。図5A、図5Bでは、それぞれ第1の算出方法(統計情報)、第2の算出方法(背景濃度)により算出した画素閾値を用いて抽出した画素により異常候補領域を設定する。最初に図5Aを参照して、異常候補領域の設定処理について説明し、図5Bの変形例については、その後に説明する。
(ステップS201)
図5Aに示すように画像解析部210は、ステップS201からステップS204までの処理を、読取画像データの各画素を順次、注目画素に設定して1枚の画像データの全画素への処理が終了するまで繰り返し行う。
画像解析部210は、以下の手順により、ステップS201で生成した差分画像データにおいて、注目画素の周辺画素から平均、標準偏差等の統計情報を算出する。図6は、読取画像データの画素の処理順序、および注目画素を説明するための模式図である。図6(a)に示すように1枚の読取画像データは、X方向(主走査方向)にx個の画素が、Y方向(副走査方向)にy個の画素が並んでいる。全画素数は、x×y個で1枚の用紙90のサイズに対応しており、例えばA3サイズで100dpiであれば総画素数は約2M画素になり、400dpiであれば総画素数は約30M画素になる。例えば、副走査方向は、搬送路241における用紙90の搬送方向に対応し、これに直交する主走査方向は用紙90の幅方向に対応する。ステップS201からステップS204での処理では、注目画素(i,j)を、原点(1,1)から順に、1画素ずつシフトさせながら最終の左下座標(x,y)まで順に判定する。
画像解析部210は、平均、標準偏差から画素閾値を算出する。具体的には、「平均値+3σ」を画素閾値とする。なお、ホタル(白抜け)による異常以外を検出対象とする場合には、検出対象に応じて、「平均値+3σ」および/または「平均値−3σ」が画素閾値となる。なお、画素閾値の別の算出方法としては、平均値に一定の係数(例えば、0.8倍と1.2倍)を乗じて得られた値を画素閾値としてもよい。
画像解析部210は、各画素に対して画素閾値を超えるか否か(画素の輝度値>画素閾値)を判定し、該当する画素を抽出する(以下、抽出画素という)。
画像解析部210は、グループ化処理を行う。この処理は、例えば、1枚の画像データの全画素に対して、ステップS204までの処理をした後に行う。抽出画素同士が隣接し、連続する場合には、これらを1つの塊としてグループ化する(クラスタリング)。具体的には、抽出画素がX方向(主走査方向)、またはY方向(副走査方向)で他の抽出画素と隣接する場合には、これらの抽出画素はグループ化される。
画像解析部210は、ステップS205でグループ化処理した抽出画素の塊を、異常候補領域に設定する。このとき、塊を構成する画素数が一定値以上の場合(≧S10)にのみ異常候補領域に設定するようにしてもよい。以上の処理により図5Aのサブルーチン処理を終了し、図4のメインの処理に戻る。なお、ステップS201〜S206の処理で得られた、画素閾値は、元画像データおよび読取画像データから求めたものである。具体的には、両画像データから差分画像データを生成し、この差分画像データを構成するそれぞれの画素を順次、注目画素とし、該注目画素を除いた注目画素を囲んだ周辺画素から算出した統計情報から画素閾値を算出したものである。
(ステップS251)
図5Bに示すように、画像解析部210は、一対の画像データの画素毎の差分を計算する。この処理は、ステップS201と同様の処理である。
画像解析部210は、元画像データから背景濃度を計算する。例えば元画像データを所定のサイズの領域に分割し、各々の領域の濃度を平均化して背景濃度を求める。例えば、400dpiの4×4画素から100dpiの1×1画素への解像度変換を行い、各々の画素(この場合は0.254mm□の画素)の濃度を取得して背景濃度を求める。また、このときの濃度値への換算は、元画像データのRGBの画素値(輝度値)から濃度値に換算することにより行う。なお、別の例として、元画像データに対して所定サイズ(数画素から数百画素で構成)の平均化フィルタを用いて平均化処理して、平均化処理後の注目画素の画素値を取得し、これを濃度値へ変換したものを背景濃度として用いてもよい。例えば平均化フィルタとしては、24×24dotサイズの2次元フィルタを適用できる。
画像解析部210は、ステップS252で得られた背景濃度から画素閾値を算出する。図7は、背景濃度と画素閾値との関係を示す図である。図7に示す関係式1、2は予め記憶部22に記憶されている。交点は例えば濃度1.0程度であり、背景濃度が交点よりも低ければ関係式1(1次関数)を適用し、交点以上であれば関係式2(係数0の1次関数)を適用する。
画像解析部210は、ステップS253で得られた画素毎の画素閾値を用いて、異常候補領域の設定を行う。この処理は、図5AのステップS204〜S206の処理と同様であり説明を省略する。以上の処理により図5Bのサブルーチン処理を終了し、図4のメインの処理に戻る。
再び図4を参照する。画像解析部210は、図5A、および/または図5Bで設定したそれぞれの異常候補領域に含まれる画素の合計である合計画素数(以下、「面積」ともいう)、およびこの異常候補領域を構成する各画素の画素値を積算した積算画素値(以下、「体積」ともいう)を算出する。ここで、異常候補領域に含まれる画素は、上述のように差分画像データの画素値で構成される。ここでの画素値は、画素閾値との差分値である(後述の図12参照)。
画像解析部210は、ステップS130で算出した面積≧S20、または体積≧V20であるかを判定する。なお、この閾値S20、V20は、予め記憶部22に記憶された固定の閾値である。いずれか一方を満たせば(YES)、処理をステップS150に進める。一方で、両方を満たさない場合には、処理ステップS160に進める。
画像解析部210は、対象の異常候補領域を「異常」と判定する(確定する)。図8は、誤判定除外処理の対象区分を説明する模式図である。面積Sが十分に大きい場合、例えば面積S20以上の場合には、異常判定は容易であり、誤判定が生じる可能性は低い。また、体積Vが十分に大きい場合、例えば体積V20以上の場合には異常判定は容易であり、誤判定が生じる可能性は低い。すなわち、図8で示す「判定容易区分」に該当する場合には、一律の閾値と比較しても、誤判定が生じる可能性は低い。このようなことから、単にステップ140(YES)を経由してステップS150に至った場合には、画像解析部210は、異常候補領域を「異常」と判定する。一方で「誤判定発生区分」の場合には、後述するステップS160の誤判定除外処理をさらに行い、誤判定、すなわち正常とされなかった場合にだけ(ステップS162(NO)、ステップS163(NO)を経由)、異常候補領域を「異常」と判定する。
ステップS160の誤判定除外処理については後述する。このステップS170では、全ての異常候補領域の判定が終了すれば(YES)、処理をステップS180に進め、終了していなければ(NO)、処理をステップS130に戻す。
画像検査装置20は、判定結果を出力する。例えば、判定結果を画像形成装置10に送り、これを受けた画像形成装置10は、図3のステップS2以下の処理を実行する。正常に分類されずに異常と判定された異常候補領域は、異常領域となる。出力される判定結果には、異常領域の位置情報(中心位置、サイズ等)、および異常の種類の情報が含まれる。以上で図4の処理を終了する(エンド)。
ここで、ステップS160の説明に戻る。図8で左下の領域(誤判定発生区分)のような面積、体積がともに小さな微弱な異常(ホタル)の場合には、単なる画像背景の濃度ムラとの区別が難しく、誤判定が発生し易い。そのため、一律の閾値による異常判定では、精度よく判定できない。そこで、本ステップS160(ステップS161〜S164)の誤判定除外処理では、画像データの特徴(元画像データまたは読取画像データの特徴(以下、同じ))に応じて設定した誤判定除外基準を用いることで、異常判定を精度よく行う。図9は、誤判定除外処理を説明するための模式図である。図9(a)に示すように図8の左下の誤判定発生区分に対応する異常候補領域がある場合に、以下に説明する誤判定除外処理を行うことにより、視認できない異常、すなわち異常でない領域を正常と判定する。
以下、図10〜図13を参照し、誤判定除外基準について説明する。以下に説明する例では、画像データの特徴として背景濃度を用い、背景濃度に応じて誤判定除外基準を設定する。図10は、誤判定除外基準の設定に用いる関数式を説明するための図である。図11は、誤判定除外基準と異常画像との対応関係を説明するための図である。
高濃度:人間の感度が高いため体積が小さくても目視できる(視認可)、
低濃度:人間の感度が低いため体積が小さいと目視できない(視認不可)。
再び、図4を参照する。画像解析部210は、元画像データの特徴から誤判定除外基準を設定する。例えば上述の図13(b)のように高濃度の範囲内のある濃度であれば第1、第2閾値をそれぞれ面積閾値S11、体積閾値V11に設定する。
画像解析部210は、異常候補領域の面積<除外基準(面積閾値S11)または、体積<除外基準(体積閾値V11)の一方を満たなければ処理をステップS150に進める(すなわち異常との仮判定は覆らずに確定する)。ステップS162、S163の両方の判定条件を満たせば、処理をステップS164に進める。
ここでは判定対象の異常候補領域を除外する。すなわち正常に分類し、以降の異常処理を行わない。
次に図14を参照し、本願の誤判定除外処理について説明する。図14は、比較例に係る除外判定処理(一律の閾値)を説明するための模式図である。図14において低濃度背景で輝度値の大きなホタルにおいては、ホタルAが目視可能で、ホタルBが目視不可能である場合には、画素閾値を変動(設定)させるだけでは、異常検知を正しく行えない。具体的には、例えば閾値以上を異常と判定する場合に閾値を画素閾値z1に設定した場合には、正常と判定したいホタルBのみを異常と検知することになり、誤検知が発生する。また画素閾値z2に設定した場合には、ホタルAを異常と意図通りに判定することはできるが、ホタルBを誤検知してしまう。このように一律の閾値を適用しても、正しく異常候補領域をフィルタリングできない。そこで上述した本実施形態においては、画素閾値以上の画素の塊を異常候補領域として設定するとともに、その後に、面積、体積閾値により正常な領域を取り除く誤判定除外処理を行うことで、正しくフィルタリングし、誤検知を適切に防止でき、ひいては適切に画像の異常検出を行える。
図15は、誤判定除外基準の設定に用いるLUTを示す図である。このLUTは、記憶部22に予め記憶される。上述の実施形態では、図7で示したように複数の1次関数を組み合わせた関数を用いて、背景濃度から体積閾値V(第2閾値)を算出する例を示したが、図15に示すようなLUTを参照することで背景濃度から面積閾値S、体積閾値Vを設定するようにしてもよい。
図16は、XY座標系に設定した誤判定除外基準を説明する例であり、図13に対応する図である。同図に示す誤判定除外基準は、境界線であり、異常候補領域の面積s、体積vでプロットされる座標が、境界線を超える場合(境界線よりも右上)の場合には、異常判定を維持する(図4のステップS162、S163のNOに相当)。一方で、境界を超えない場合(境界線上、または左下)には、除外判定基準を満たすとし、正常に分類する。なお、図16では面積、体積それぞれをX、Y軸に割り当ているが逆でもよい。
10 画像形成装置
11 制御部
12 記憶部
13 画像形成部
14 給紙搬送部
15 操作表示部
19 通信部
20 画像検査装置
21 制御部
210 画像解析部
22 記憶部
23 読取部
24 搬送部
29 通信部
30 後処理装置
31 後処理部
Claims (11)
- 元画像データに基づいて画像形成装置で画像形成された記録材上の画像を読み取って生成された読取画像データを取得する取得部と、
前記読取画像データに対して異常を判定する解析を行い、解析結果を生成する画像解析部と、
を備え、
前記画像解析部は、前記読取画像データに対して、前記元画像データおよび/または前記読取画像データから算出した画素閾値を用いて、該画素閾値を超える画素を抽出するとともに、抽出した画素同士が隣接し、連続する複数の画素で構成される領域を異常候補領域に設定する処理と、
それぞれの前記異常候補領域を構成する画素の数である合計画素数、および前記異常候補領域を構成する各画素の前記画素閾値との差分の合計である積算画素値を算出する処理と、
前記元画像データ、または前記読取画像データの特徴に応じた誤判定除外基準を設定する処理と、
それぞれの前記異常候補領域の前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かを判定し、満たす場合には該異常候補領域を正常と判定し、満たさない場合には、異常と判定する処理と、を行う、
画像検査装置。 - 前記元画像データの特徴は、前記元画像データの背景濃度である、請求項1に記載の画像検査装置。
- 前記画像解析部は、前記異常候補領域に設定する処理として、
前記読取画像データと前記元画像データの対応する画素同士の画素値の差分を取ることにより差分画像データを生成し、
前記差分画像データを構成するそれぞれの画素を順次、注目画素とし、該注目画素の周辺画素から前記画素閾値を算出するとともに、
前記注目画素を、該注目画素の周辺画素から算出した前記画素閾値と比較し、該画素閾値を超える画素から、前記異常候補領域を設定する、請求項2に記載の画像検査装置。 - 前記誤判定除外基準は、前記背景濃度から設定した第1閾値、および第2閾値であり、
前記画像解析部は、前記合計画素数が、前記第1閾値未満で、かつ前記積算画素値が前記第2閾値未満の場合に、前記誤判定除外基準を満たすと判定する、請求項2、または請求項3に記載の画像検査装置。 - 前記第1閾値、または前記第2閾値は、前記元画像データの背景濃度を入力とした1つの1次関数、または複数の1次関数を組み合わせた関数を用いて算出される、請求項4に記載の画像検査装置。
- 前記第1閾値、または前記第2閾値は、前記元画像データの背景濃度を入力としたルックアップテーブルを参照して設定される、請求項4に記載の画像検査装置。
- 前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かの判定は、前記合計画素数と前記第1閾値の比較、および前記積算画素値と前記第2閾値の比較のいずれか一方を先に実施し、他方を後に実施する、請求項4から請求項6のいずれかに記載の画像検査装置。
- 前記誤判定除外基準を満たすか否かの判定は、前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かの判定は、前記合計画素数と前記第1閾値の比較、および前記積算画素値と前記第2閾値の比較を同時に実施する、請求項4から請求項6のいずれかに記載の画像検査装置。
- 前記誤判定除外基準は、前記合計画素数および前記積算画素値の一方をX軸、他方をY軸としたXY座標系において、予め定義した境界線であって、前記背景濃度に応じて設定した境界線あり、
前記画像解析部は、前記XY座標系において前記合計画素数および前記積算画素値が示す座標が、予め定義した境界線を超えない場合に、前記誤判定除外基準を満たすと判定する、請求項2、または請求項3に記載の画像検査装置。 - 元画像データに基づいて記録材上に画像を形成する画像形成装置と、
記録材上の画像を読み取って読取画像データを生成する読取部と、
請求項1から請求項9のいずれかに記載の画像検査装置と、
を備える、画像形成システム。 - 元画像データに基づいて画像形成装置で画像形成された記録材上の画像を読み取って生成された読取画像データを取得する取得部を備える画像検査装置で実行される制御プログラムであって、
前記読取画像データに対して異常を判定する解析を行い、解析結果を生成するステップ(a)を有する処理であって、
前記ステップ(a)は、
前記読取画像データに対して、前記元画像データおよび/または前記読取画像データから算出した画素閾値を用いて、該画素閾値を超える画素を抽出するとともに、抽出した画素同士が隣接し、連続する複数の画素で構成される領域を異常候補領域に設定するステップと、
それぞれの前記異常候補領域を構成する画素の数である合計画素数、および前記異常候補領域を構成する各画素の前記画素閾値との差分の合計である積算画素値を算出するステップと、
前記元画像データ、または前記読取画像データの特徴に応じた誤判定除外基準を設定するステップと、
それぞれの前記異常候補領域の前記合計画素数、および前記積算画素値が前記誤判定除外基準を満たすか否かを判定し、満たす場合には該異常候補領域を正常と判定し、満たさない場合には、異常と判定するステップと、
を含む処理をコンピューターに実行させるための制御プログラム。
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WO2023243253A1 (ja) * | 2022-06-15 | 2023-12-21 | 株式会社Sumco | ウェーハの判定方法、判定プログラム、判定装置、ウェーハの製造方法及びウェーハ |
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