JP2021092361A

JP2021092361A - Air curtain unit

Info

Publication number: JP2021092361A
Application number: JP2019224249A
Authority: JP
Inventors: 一郎雉鼻; Ichiro Kijihana
Original assignee: Nippon Medical and Chemical Instruments Co Ltd
Current assignee: Nippon Medical and Chemical Instruments Co Ltd
Priority date: 2019-12-12
Filing date: 2019-12-12
Publication date: 2021-06-17
Anticipated expiration: 2039-12-12
Also published as: JP6941885B2

Abstract

To provide an air curtain unit capable of forming an air curtain that is hard to expand forward/backward.SOLUTION: Air curtain units 50 and 60 are installed at doorways 151 and 26 of a clean booth 10 or an air shower booth 20, etc. Each of the air curtain units 50 and 60 include a blow out port 35 composed of a slit extending in a horizontal direction or a through-hole aligned in the horizontal direction and blowing out air downward, an intake port 53 provided under the blowout port 35, and a jetting curtain 34 provided along the blowout port 35. The jetting curtain 34 jets air supplied from the blowing port from a space between two front and rear single curtains 34 and 34.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、工場や実験室等の内部に設置して局所的に清浄な空気環境を得るためのクリーンブース等に付設する設備に関し、特に、クリーンブース等の出入口に設置するエアカーテンユニットに関する。 The present invention relates to equipment installed inside a factory, laboratory, or the like and attached to a clean booth or the like for locally obtaining a clean air environment, and particularly to an air curtain unit installed at an entrance or exit of the clean booth or the like.

従来、クリーンブースの入口にエアカーテンを設けて作業者がクリーンブース内に入る際にクリーンブース内に塵埃を持ち込むことを抑制する技術が各種提案されている（例えば、特許文献１）。 Conventionally, various techniques have been proposed in which an air curtain is provided at the entrance of the clean booth to prevent an operator from bringing dust into the clean booth when entering the clean booth (for example, Patent Document 1).

この、特許文献１のクリーンブースは、暖簾状にシート材で空気を案内することで効果的にエアカーテンを形成するよう構成されている。 The clean booth of Patent Document 1 is configured to effectively form an air curtain by guiding air with a sheet material in the shape of a curtain.

特開２０１６−２９３２４JP 2016-29324

しかし、特許文献１のクリーンブースでは、カーテンに沿って噴射される空気が、カーテンから遠ざかる方向に広がって、勢いのあるエアカーテンを形成できないという問題がある。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、噴射する空気が広がりにくいエアカーテンユニットを提供することを目的とする。 However, in the clean booth of Patent Document 1, there is a problem that the air injected along the curtain spreads in the direction away from the curtain, and a vigorous air curtain cannot be formed.
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an air curtain unit in which the injected air does not easily spread.

上記課題を解決するためになされた発明は、クリーンブースやエアシャワーブース等の出入口に設置されるエアカーテンユニットであって、水平方向に延びるスリット、又は水平方向に列設される貫通孔からなり下方に向けて空気を吹き出す吹出口と、前記吹出口の下方に設けられる吸気口と、前記吹出口に沿って設けられる噴出カーテンとを備え、前記噴出カーテンは、前記吹出口から供給された空気を前後２枚の単カーテンの間から噴出することを特徴とする。 The invention made to solve the above problems is an air curtain unit installed at an entrance / exit of a clean booth, an air shower booth, etc., which comprises a slit extending in the horizontal direction or a through hole arranged in a horizontal direction. It is provided with an outlet for blowing air downward, an intake port provided below the outlet, and an outlet curtain provided along the outlet, and the outlet curtain is air supplied from the outlet. Is characterized by ejecting from between two single curtains in the front and back.

このように、本発明のエアカーテンユニットでは、前後２枚の単カーテンからなる噴出カーテンの間を通って空気が噴き出すので、エアカーテンを構成する空気が前後に広がることを抑制できる。 As described above, in the air curtain unit of the present invention, since air is ejected between the ejection curtains composed of two front and rear single curtains, it is possible to suppress the air constituting the air curtain from spreading forward and backward.

前記単カーテンは、前記吹出口に沿って暖簾状に並ぶ複数の小カーテンからなることが好ましい。
こうすることで、出入口に入る人が噴出カーテンを潜りやすくなる。 The single curtain is preferably composed of a plurality of small curtains arranged in a curtain shape along the outlet.
This makes it easier for people entering the doorway to dive through the squirt curtain.

前記吹出口、及び前記吸気口は、前記出入口の端縁から外側へ突出して設けられていることが好ましい。こうすることで、出入口の間口より広い範囲にエアカーテンを設けることができる。ただし、建築構造や設備の取り合いにより出入口の内側や壁内に取り込まれることも想定される。 It is preferable that the air outlet and the air intake port are provided so as to project outward from the edge of the inlet / outlet. By doing so, the air curtain can be provided in a wider range than the frontage of the doorway. However, it is expected that it will be taken into the inside of the doorway or inside the wall due to the building structure and equipment.

前記噴出カーテンの少なくとも一部が金属板からなることが好ましい。このように噴出カーテンを金属板とすることで、空気が噴出した際に当該金属の部分の揺れを少なくしてより効果的にエアカーテンの広がりを抑制できる。 It is preferable that at least a part of the ejection curtain is made of a metal plate. By using the ejection curtain as a metal plate in this way, it is possible to reduce the shaking of the metal portion when air is ejected and more effectively suppress the spread of the air curtain.

以上説明したように、本発明のエアカーテンユニットによれば、エアカーテンの空気が前後に広がって勢いがなくなることを抑制できる。 As described above, according to the air curtain unit of the present invention, it is possible to prevent the air in the air curtain from spreading back and forth and losing its momentum.

本発明の第１実施形態、及び第２実施形態に係るエアカーテンユニットを備えるクリーンブースセットを示した斜視図である。It is a perspective view which showed the clean booth set including the air curtain unit which concerns on 1st Embodiment and 2nd Embodiment of this invention. 図１のクリーンブースの部分断面正面図である。It is a partial cross-sectional front view of the clean booth of FIG. 図１のエアシャワーブースの部分断面正面図である。It is a partial cross-sectional front view of the air shower booth of FIG. 図２におけるＣ―Ｃ線断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 図２におけるＤ−Ｄ線断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG. 図２のエアシャワーブースの床壁上面と側壁内部とを透視して示した平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the upper surface of the floor wall and the inside of the side wall of the air shower booth in FIG. 2 as a perspective view. 本発明の第３実施形態に係るエアカーテンユニットの斜視図である。It is a perspective view of the air curtain unit which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、適宜図面を用いながら本発明の実施形態について詳述する。ただし、本発明は、以下の実施形態に限られるものではない。
図１は、本発明の第１、及び第２実施形態に係るエアカーテンユニット５０，６０を備えたクリーンブースセット１００を示している。クリーンブースセット１００は、クリーンブース１０と、エアシャワーブース２０と、を備えている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. However, the present invention is not limited to the following embodiments.
FIG. 1 shows a clean booth set 100 provided with air curtain units 50 and 60 according to the first and second embodiments of the present invention. The clean booth set 100 includes a clean booth 10 and an air shower booth 20.

（第１実施形態）
第１実施形態に係るエアカーテンユニットは、図１に示すように、クリーンブース１０に設けられる。
クリーンブース１０は、図１に示すように、天壁１１と、天壁１１を支持する支持部材１２（側壁１２１，１２２、及び柱（図には表れず））と、支持部材１２を支持する底壁１３と、側方に設けた２箇所の出入口１５１，１５２とを備えている。支持部材１２は、天壁１１、及び底壁１３に連結固定されている。 (First Embodiment)
The air curtain unit according to the first embodiment is provided in the clean booth 10 as shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the clean booth 10 supports the top wall 11, the support members 12 (side walls 121, 122, and pillars (not shown in the figure)) that support the top wall 11, and the support member 12. It is provided with a bottom wall 13 and two entrances and exits 151 and 152 provided on the sides. The support member 12 is connected and fixed to the top wall 11 and the bottom wall 13.

天壁１１は、図１、図２に示すように、中空の箱型をなし、室内給気ファン３１と、ＨＥＰＡフィルタ３２等と、２台のエアカーテンファン３３，３３が設けられている。本実施形態はクリーンブースであるためＨＥＰＡフィルタを用いるが、他の施設であれば、他のフィルタを用いることができる。例えば、植物園の温室等では、目詰まり防止を優先して中性能フィルタが好ましく用いられる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the top wall 11 has a hollow box shape, and is provided with an indoor air supply fan 31, a HEPA filter 32, and the like, and two air curtain fans 33 and 33. Since this embodiment is a clean booth, a HEPA filter is used, but if it is another facility, another filter can be used. For example, in a greenhouse of a botanical garden or the like, a medium-performance filter is preferably used with priority given to prevention of clogging.

クリーンブース１０は、図１の右奥側が側壁１２１で閉塞され、手前側が側壁１２２で閉塞されている。クリーンブース１０の図１奥側には、側壁１２１から柱１２３の間を全幅に渡って開放するドアの無い出入口１５１が設けられ、図１左側には、柱１２３と側壁１２２の間を全幅に渡り開放するドアの無い出入口１５２が設けられている。天壁１１の２つの出入口１５１，１５２の間の角は、図に表れないところで、柱により支持されている。 In the clean booth 10, the right back side of FIG. 1 is closed by the side wall 121, and the front side is closed by the side wall 122. On the back side of FIG. 1 of the clean booth 10, a doorless doorway 151 that opens between the side wall 121 and the pillar 123 over the entire width is provided, and on the left side of FIG. 1, the space between the pillar 123 and the side wall 122 is widened. There is an entrance 152 without a door to open. The corner between the two entrances 151 and 152 of the top wall 11 is supported by pillars where it does not appear in the figure.

側壁１２１、側壁１２２は、中空の箱型に設けられ、底壁１３から天壁１１への還気を通すレターンダクトを構成する。側壁１２２は、図１０に示すように、下端に沿って、多数のスリットからなる不図示の吸気口を備え、室内１６の空気を内部空間へ吸引するよう構成されている。
また、側壁１２２は、上端の下向き傾斜部に、ＬＥＤライト３６が設けられている。
底壁１３は、平面視矩形をなす中空の扁平箱状をなしている。 The side wall 121 and the side wall 122 are provided in a hollow box shape, and form a return duct for passing air returning from the bottom wall 13 to the top wall 11. As shown in FIG. 10, the side wall 122 is provided with an intake port (not shown) including a large number of slits along the lower end, and is configured to suck the air in the room 16 into the internal space.
Further, the side wall 122 is provided with the LED light 36 at the downwardly inclined portion at the upper end.
The bottom wall 13 has a hollow flat box shape forming a rectangular shape in a plan view.

クリーンブース１０の出入口１５１、１５２には、図１に示すように、第１実施形態に係るエアカーテンユニット５０が設けられている。エアカーテンユニット５０は、水平方向に延びるスリット、又は水平方向に列設される貫通孔からなり下方に向けて空気を吹き出す吹出口３５と、吹出口３５の下方に設けられる吸気口５３と、吹出口３５に沿って設けられる噴出カーテン３４とを備えている。噴出カーテン３４は、吹出口３５から供給された空気を前後２枚の単カーテン３４Ａ，３４Ａの間から噴出させる。 As shown in FIG. 1, air curtain units 50 according to the first embodiment are provided at the entrances 151 and 152 of the clean booth 10. The air curtain unit 50 is composed of slits extending in the horizontal direction or through holes arranged in the horizontal direction to blow out air downward, and an air intake port 53 provided below the air outlet 35. It is provided with a ejection curtain 34 provided along the outlet 35. The ejection curtain 34 ejects the air supplied from the outlet 35 from between the two front and rear single curtains 34A and 34A.

噴出カーテン３４は、出入口、１５１、１５２の上縁から暖簾状に垂下するよう設けられている。天壁１１は、図２に示すように、前部（図２の右側部）を隔離したエア供給室５１を有しており、エア供給室５１内に、エアカーテンファン３３が配設されている。噴出カーテン３４は、図２に示すように、エアカーテンファン３３から天壁１１の下面１１１を貫通して垂下している。噴出カーテン３４は、２枚の単カーテン３４Ａ，３４Ａを前後に重ね、その間を通して吹出口３５から供給されたエアカーテン用の空気を噴出する。また、噴出カーテン３４は、表裏とも出入口１５の上縁に沿って複数枚の小カーテン３４ａを並べることで人が入るときに捲り上げ易いように構成されている。エアカーテンファン３３へは、図２に示すように、ＨＥＰＡフィルタ３２等で除塵された空気が供給される。
尚、吹出口３５の詳細な図示は省略したが、例えば、吸気口５３と同様の貫通孔や一本の長いスリット等が挙げられる。 The ejection curtain 34 is provided so as to hang down like a curtain from the entrance / exit, the upper edges of 151 and 152. As shown in FIG. 2, the top wall 11 has an air supply chamber 51 that isolates the front portion (the right portion in FIG. 2), and an air curtain fan 33 is arranged in the air supply chamber 51. There is. As shown in FIG. 2, the ejection curtain 34 hangs down from the air curtain fan 33 through the lower surface 111 of the top wall 11. The ejection curtain 34 stacks two single curtains 34A and 34A back and forth, and ejects air for an air curtain supplied from an outlet 35 through the two single curtains 34A and 34A. Further, the ejection curtain 34 is configured so that a plurality of small curtains 34a can be easily rolled up when a person enters by arranging a plurality of small curtains 34a along the upper edge of the entrance / exit 15 on both the front and back surfaces. As shown in FIG. 2, the air curtain fan 33 is supplied with air that has been dust-removed by a HEPA filter 32 or the like.
Although detailed illustration of the air outlet 35 is omitted, for example, a through hole similar to the air intake port 53, a long slit, and the like can be mentioned.

噴出カーテン３４の材質として、捲り易さを優先する場合は、透明な軟質性、硬質性の樹脂等が好ましく用いられる。一方で、吹き出す空気による揺動を抑止して安定したエアカーテンを形成することを優先する場合は、重量を確保するために、その一部、又は全部をアルミニウムや鉄、ステンレス等の金属製とすることもできる。また、単カーテン３４Ａは、暖簾状に分割せずに、水平方向の全長に渡り連続した１枚のみで構成してもよく、暖簾のように前後に揺動可能にしてもよいし、揺動不能に固定してもよい。 As the material of the ejection curtain 34, when priority is given to ease of turning, a transparent soft or hard resin or the like is preferably used. On the other hand, when giving priority to forming a stable air curtain by suppressing the fluctuation caused by the blown air, in order to secure the weight, part or all of it is made of metal such as aluminum, iron, and stainless steel. You can also do it. Further, the single curtain 34A may be composed of only one continuous piece over the entire length in the horizontal direction without being divided into a curtain shape, or may be swingable back and forth like a curtain, or swing. It may be fixed so that it cannot be fixed.

底壁１３は、平面視矩形をなす中空の扁平箱状をなしている。底壁１３の表面１３１には、図１に示すように、出入口１５１，１５２の下縁に沿って、多数のスリット状の貫通孔からなる吸気口５３，５３が設けられている。詳細には、吸気口５３，５３は、底壁１３に設けられた溝を塞ぐグレーチングに設けられている。噴出カーテン３４から噴出された空気が、吸気口５３，５３へ吸引されて、出入口１５１，１５２にエアカーテンが形成される。
また、吸気口５３，５３からは、室内給気ファン３１から室内１６に給気された空気が吸引されて、室内１６に下降気流を形成する。吸気口５３，５３から吸引された空気は、底壁１３の内部空間から側壁１２１，１２２の内部空間を介して天壁１１の内部空間へ還流される。 The bottom wall 13 has a hollow flat box shape forming a rectangular shape in a plan view. As shown in FIG. 1, the surface 131 of the bottom wall 13 is provided with intake ports 53 and 53 composed of a large number of slit-shaped through holes along the lower edges of the entrances and exits 151 and 152. Specifically, the intake ports 53 and 53 are provided in gratings that close the grooves provided in the bottom wall 13. The air ejected from the ejection curtain 34 is sucked into the intake ports 53 and 53, and the air curtain is formed at the inlets and outlets 151 and 152.
Further, the air supplied to the room 16 is sucked from the indoor air supply fan 31 from the intake ports 53 and 53 to form a downdraft in the room 16. The air sucked from the intake ports 53 and 53 is returned from the internal space of the bottom wall 13 to the internal space of the top wall 11 via the internal spaces of the side walls 121 and 122.

（第２実施形態）
次に、エアシャワーブース２０に設置する第２実施形態のエアカーテンユニットについて説明する。
エアシャワーブース２０は、図３に示すように、上壁２１と、上壁２１を支持する左右一対の支持壁２２，２３と、支持壁２２，２３を支持する床壁２４からなる矩形の短いトンネル形状を有し、支持壁２２，２３は、内面２２３，２３３にジェットエアーを吹き出す吹出ノズル４４が設けられている。支持壁２２，２３は、上壁２１、及び床壁２４に対し連結固定されている。エアシャワーブース２０は、奥側（図３の紙面奥側）にクリーンブース１０の出入口１５に連通する内部連絡口２５を有し、手前側に当該エアシャワーブース２０に出入りするための外部連絡口（特許請求の範囲の「出入口」）２６を有している。内部連絡口２５、及び外部連絡口２６は扉を有さず、常時開放されている。 (Second Embodiment)
Next, the air curtain unit of the second embodiment installed in the air shower booth 20 will be described.
As shown in FIG. 3, the air shower booth 20 is a short rectangular shape composed of an upper wall 21, a pair of left and right support walls 22 and 23 that support the upper wall 21, and a floor wall 24 that supports the support walls 22 and 23. The support walls 22 and 23 have a tunnel shape, and the support walls 22 and 23 are provided with outlet nozzles 44 for blowing jet air on the inner surfaces 223 and 233. The support walls 22 and 23 are connected and fixed to the upper wall 21 and the floor wall 24. The air shower booth 20 has an internal communication port 25 communicating with the entrance / exit 15 of the clean booth 10 on the back side (the back side of the paper in FIG. 3), and an external communication port 25 for entering / exiting the air shower booth 20 on the front side. It has 26 (“doorway” in the claims) 26. The internal contact port 25 and the external contact port 26 do not have a door and are always open.

上壁２１は、平面視長方形の中空箱型をなしており、図３に示すように、内部空間がＨＥＰＡフィルタ４１を介して連通する上室２１１と下室２１２に区画されている。上壁２１の下面２１３には、ＬＥＤライト４２が設けられている。 The upper wall 21 has a rectangular hollow box shape in a plan view, and as shown in FIG. 3, the internal space is divided into an upper chamber 211 and a lower chamber 212 communicating with each other via a HEPA filter 41. An LED light 42 is provided on the lower surface 213 of the upper wall 21.

右側の支持壁２２は、直方体の箱状をなし、図４に示すように、内面２２３に円形の吹出ノズル４個が分散配置されている。支持壁２２は、図２に示すように、内部空間が内側の給気室２２１と外側の還気室２２２とに区画されており、還気室２２２は、床壁２４の内部空間、及び上壁２１の上室２１１に連通し、給気室２２１は、上壁２１の下室２１２に連通している。還気室２２２の下部には、ジェットファン４３が設けられている。 The support wall 22 on the right side has a rectangular parallelepiped shape, and as shown in FIG. 4, four circular outlet nozzles are dispersedly arranged on the inner surface 223. As shown in FIG. 2, the support wall 22 is divided into an inner air supply chamber 221 and an outer return air chamber 222, and the return air chamber 222 is an internal space of the floor wall 24 and above. The air supply chamber 221 communicates with the upper chamber 211 of the wall 21 and communicates with the lower chamber 212 of the upper wall 21. A jet fan 43 is provided in the lower part of the return air chamber 222.

左側の支持壁２３は、直方体の箱状をなし、図５に示すように、内面２３３に右側の支持壁２３と対称に４個の吹出ノズル４４が分散配置されている。左側の支持壁２３は、図３に示すように、内部空間が内側の給気室２３１と外側の背室２３２に区画されている。給気室２３１は、上壁２１の下室２１２に連通しており、背室２３２は、デッドスペースである。
尚、図４、図５における符号４５ａ、４５ｂは、エアシャワーブース２０に人が入ったことを感知する光電センサーの投受光器と反射板である。 The support wall 23 on the left side has a rectangular parallelepiped shape, and as shown in FIG. 5, four outlet nozzles 44 are dispersedly arranged on the inner surface 233 symmetrically with the support wall 23 on the right side. As shown in FIG. 3, the left support wall 23 is divided into an inner air supply chamber 231 and an outer back chamber 232. The air supply chamber 231 communicates with the lower chamber 212 of the upper wall 21, and the back chamber 232 is a dead space.
Reference numerals 45a and 45b in FIGS. 4 and 5 are a light emitting / receiving receiver and a reflector of a photoelectric sensor that detects that a person has entered the air shower booth 20.

エアシャワーブース２０の床壁２４は、平面視長方形の扁平箱型をなし、図１、図３に示すように、上面２４１の左右の両端縁に沿って、多数のスリット状の貫通孔からなる吸気口２４２，２４２を備えている。 The floor wall 24 of the air shower booth 20 has a rectangular flat box shape in a plan view, and is composed of a large number of slit-shaped through holes along the left and right edge edges of the upper surface 241 as shown in FIGS. 1 and 3. It is provided with intake ports 242 and 242.

エアシャワーブース２０の外部連絡口２６には、図１に示すように、第２実施形態に係るエアカーテンユニット６０が設けられている。エアカーテンユニット６０は、エアシャワーブース２０の上壁２１の前縁に沿って設けられるエア供給室６１と、エア供給室６１の下面に設けられる吹出口３５と、吹出口３５に沿って設けられる噴出カーテン３４と床壁２４の前縁に沿って設けられるエア吸引室６２と、エア吸引室６２の上面に吹出口３５に平行に列設される吸気口５３と、を備えている。噴出カーテン３４は、吹出口３５から供給された空気を前後２枚の単カーテン３４Ａ，３４Ａの間から噴出させる。
尚、第２実施形態以降の実施形態において、第１実施形態と共通する部材については、同一符号を付して説明を省略する。 As shown in FIG. 1, the external contact port 26 of the air shower booth 20 is provided with the air curtain unit 60 according to the second embodiment. The air curtain unit 60 is provided along the air supply chamber 61 provided along the front edge of the upper wall 21 of the air shower booth 20, the air outlet 35 provided on the lower surface of the air supply chamber 61, and the air outlet 35. An air suction chamber 62 provided along the front edge of the ejection curtain 34 and the floor wall 24, and an intake port 53 arranged in parallel with the air outlet 35 on the upper surface of the air suction chamber 62 are provided. The ejection curtain 34 ejects the air supplied from the outlet 35 from between the two front and rear single curtains 34A and 34A.
In the second and subsequent embodiments, the same members as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

エア供給室５１は、図３に示すように、中空直方体をなし、上壁２１の下室２１２に連通している。エア供給室６１の内部には、ＨＥＰＡフィルタ４１で除塵されて下室２１２へ流送された空気を吹出口３５へ噴出するエアカーテンファン３３が設けられている。
噴出カーテン３４を構成する２枚の単カーテン３４Ａ，３４Ａは、図３に示すように、吹出口３５を前後（図３の左右）から挟むように、吹出口３５の前縁と後縁に沿って吊設され、吹出口３５からの空気をその間から下方へ噴出する。
また、単カーテン３４Ａ，３４Ａは、外部連絡口２６の上縁に沿って複数枚の小カーテン３４ａを並べることで人が入るときに捲り上げ易いように構成されている。 As shown in FIG. 3, the air supply chamber 51 forms a hollow rectangular parallelepiped and communicates with the lower chamber 212 of the upper wall 21. Inside the air supply chamber 61, an air curtain fan 33 is provided that ejects the air that has been dust-removed by the HEPA filter 41 and sent to the lower chamber 212 to the air outlet 35.
As shown in FIG. 3, the two single curtains 34A and 34A constituting the ejection curtain 34 are along the front and rear edges of the air outlet 35 so as to sandwich the air outlet 35 from the front and back (left and right in FIG. 3). It is suspended and the air from the air outlet 35 is ejected downward from between them.
Further, the single curtains 34A and 34A are configured so that a plurality of small curtains 34a can be easily rolled up when a person enters by arranging a plurality of small curtains 34a along the upper edge of the external contact port 26.

エア吸引室６２は、図３に示すように、扁平の中空直方体からなり床壁２４と内部空間が連通している。エア吸引室６２の表面には、多数のスリット状の貫通孔からなる吸気口５３が設けられたグレーチング５４が載置されている。噴出カーテン３４から噴出された空気が、吸気口５３へ吸引されて、外部連絡口２６にエアカーテンが形成される。吸気口５３から吸引された空気は、床壁２４の内部空間から支持壁２２，２３の内部空間を介して、上壁２１の内部空間へ還流される。 As shown in FIG. 3, the air suction chamber 62 is formed of a flat hollow rectangular parallelepiped, and the floor wall 24 and the internal space communicate with each other. On the surface of the air suction chamber 62, a grating 54 provided with an intake port 53 composed of a large number of slit-shaped through holes is placed. The air ejected from the ejection curtain 34 is sucked into the intake port 53, and an air curtain is formed at the external communication port 26. The air sucked from the intake port 53 is returned from the internal space of the floor wall 24 to the internal space of the upper wall 21 via the internal spaces of the support walls 22 and 23.

クリーンブースセット１００を用いる際には、クリーンブース１０を工場や実験室内の適宜の場所に設置し、出入口１５１，１５２から収容すべき装置（図示の例では、安全キャビネット）Ｘを搬入する。次に、図１に示すように、クリーンブース１０の出入口１５２に、エアシャワーブース２０を連結する。ただし、装置Ｘの搬入は、エアシャワーブース２０の連結後に行ってもよい。 When using the clean booth set 100, the clean booth 10 is installed at an appropriate place in a factory or a laboratory, and a device (safety cabinet in the illustrated example) X to be accommodated is carried in from the entrances 151 and 152. Next, as shown in FIG. 1, the air shower booth 20 is connected to the entrance / exit 152 of the clean booth 10. However, the device X may be carried in after the air shower booth 20 is connected.

クリーンブースセット１００、及び装置Ｘを使用する際には、予め、クリーンブース１０、及びエアシャワーブース２０に電源を入れて起動しておく。すると、クリーンブース１０では、図２に示すように、室内給気ファン３１が、底壁１３の吸気口５３，５３、側壁１２２の不図示の吸気口、及び側壁１２１の吸込み金網１２１ａから取り込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ３２で除塵したのち室内１６、及びエアカーテンファン３３へ供給し、エアカーテンファン３３は、この空気を噴出カーテン３４から噴出する。室内給気ファン３１、エアカーテンファン３３から供給された空気は、吸気口５３，５３から底壁１３、及び側壁１２１，１２２の内部空間を介して天壁１１の内部空間に還気される。クリーンブース１０が起動されている間、この空気循環が維持される。
尚、図２の吸込み金網１２１ａは、室内１６を陽圧にするために、外部からの空気を補充するための吸気口である。 When using the clean booth set 100 and the device X, the clean booth 10 and the air shower booth 20 are turned on and started in advance. Then, in the clean booth 10, as shown in FIG. 2, the indoor air supply fan 31 took in from the intake ports 53 and 53 of the bottom wall 13, the intake ports (not shown) of the side wall 122, and the suction wire mesh 121a of the side wall 121. After removing dust with the HEPA filter 32, air is supplied to the room 16 and the air curtain fan 33, and the air curtain fan 33 ejects this air from the ejection curtain 34. The air supplied from the indoor air supply fan 31 and the air curtain fan 33 is returned to the internal space of the top wall 11 from the intake ports 53 and 53 via the internal spaces of the bottom wall 13 and the side walls 121 and 122. This air circulation is maintained while the clean booth 10 is activated.
The suction wire mesh 121a of FIG. 2 is an intake port for replenishing air from the outside in order to make the chamber 16 positive pressure.

一方、エアシャワーブース２０においても、エアカーテンファン３３が駆動して、上壁２１の下室２１２から空気を吸引して、吹出口３５、及び噴出カーテン３４，３４から吹き出し、この空気をエア吸引室６２の吸気口５３から吸引する。こうして、外部連絡口２６にエアカーテンが形成される。 On the other hand, also in the air shower booth 20, the air curtain fan 33 is driven to suck air from the lower chamber 212 of the upper wall 21 and blow it out from the outlet 35 and the ejection curtains 34 and 34 to suck the air. Suction is performed from the intake port 53 of the chamber 62. In this way, an air curtain is formed at the external contact port 26.

この状態で、作業者Ｍは、図１に２点鎖線で示したように、まず、外部連絡口２６からエアシャワーブース２０内に入る。すると、外部連絡口２６に形成されたエアカーテンが作業者Ｍに吹き当たり、作業者Ｍの体表から塵埃を吹き飛ばす。 In this state, the worker M first enters the air shower booth 20 from the external contact port 26, as shown by the alternate long and short dash line in FIG. Then, the air curtain formed in the external contact port 26 blows against the worker M, and dust is blown off from the body surface of the worker M.

さらに進んで作業者Ｍがエアシャワーブース２０の中央まで入ると、光電素子４５が作業者Ｍを感知して、ジェットファン４３を起動する。ジェットファン４３は、図３に示すように、吸気口５３，及び吸気口２４２から吸引した空気を床壁２４の内部空間を介して支持壁２２の還気室２２２から上壁２１の上室２１１へ流送する。上室２１１に流送された空気は、ＨＥＰＡフィルタ４１、下室２１２を介して左右の支持壁２２，２３の給気室２２１，２３１へ供給され、吹出ノズル４４、及び吹出口３５から吹き出される。 When the worker M goes further and enters the center of the air shower booth 20, the photoelectric element 45 detects the worker M and starts the jet fan 43. As shown in FIG. 3, the jet fan 43 takes in air sucked from the intake port 53 and the intake port 242 through the internal space of the floor wall 24 from the return air chamber 222 of the support wall 22 to the upper chamber 211 of the upper wall 21. To send to. The air sent to the upper chamber 211 is supplied to the air supply chambers 221, 231 of the left and right support walls 22 and 23 via the HEPA filter 41 and the lower chamber 212, and is blown out from the outlet nozzle 44 and the outlet 35. To.

作業者Ｍは、吹き出されたエアシャワーを浴びて塵埃を除去した後、エアシャワーブース２０の内部連絡口２５、及び出入口１５２を介してクリーンブース１０の室内１６へ移動する。この際、出入口１５１，１５２は、噴出カーテン３４から噴出されたエアカーテンによりシールドされているため、エアシャワーブース２０からクリーンブース１０への塵埃の侵入を抑制することができる。 After taking a blown air shower to remove dust, the worker M moves to the room 16 of the clean booth 10 through the internal communication port 25 of the air shower booth 20 and the doorway 152. At this time, since the entrances 151 and 152 are shielded by the air curtain ejected from the ejection curtain 34, it is possible to suppress the intrusion of dust from the air shower booth 20 into the clean booth 10.

作業者Ｍは、エアシャワーブース２０からクリーンブース１０へ移動する際、吸気口１３２を跨ぐことになるため、作業者Ｍによるクリーンブース１０の室内１６への塵埃の持ち込みが効果的に抑制される。 When the worker M moves from the air shower booth 20 to the clean booth 10, the worker M straddles the intake port 132, so that the worker M effectively suppresses the bringing of dust into the room 16 of the clean booth 10. ..

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態に係るエアカーテンユニット７０を示している。エアカーテンユニット７０は、図７に示すように、矩形の枠状をなし、その上辺をなす吹出ユニット７３と、下辺をなす吸引ユニット７４とを主に備える他、ダクト７２と、左右一対の送気ファン７１，７１と、左右一対のレターンダクト７５，７５とを備えている。 (Third Embodiment)
FIG. 7 shows an air curtain unit 70 according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the air curtain unit 70 has a rectangular frame shape, and mainly includes a blowout unit 73 forming an upper side thereof and a suction unit 74 forming a lower side thereof, and also a duct 72 and a pair of left and right feeders. It is provided with a ki fan 71, 71 and a pair of left and right return ducts 75, 75.

吹出ユニット７３は、長尺の中空直方体をなし、下面に沿って延びるスリット、又は列設された貫通孔からなる不図示の吹出口を備える。吹出ユニット３７の下面には、噴出カーテン３４が設けられている。噴出カーテン３４は、第１、第２実施形態のものに比べ、長さが半分ほどに設けられている。噴出カーテン３４は、当該吹出口を前後から挟む２対の単カーテン３４Ａ，３４Ａからなる。吹出ユニットは、内部にＨＥＰＡフィルタを備えており、吹出口から吹き出される空気は、ＨＥＰＡフィルタにより除塵される。 The blowout unit 73 forms a long hollow rectangular parallelepiped and includes slits extending along the lower surface or outlets (not shown) consisting of through holes arranged in a row. An ejection curtain 34 is provided on the lower surface of the ejection unit 37. The length of the ejection curtain 34 is about half that of the first and second embodiments. The ejection curtain 34 is composed of two pairs of single curtains 34A and 34A that sandwich the outlet from the front and back. The blowout unit is provided with a HEPA filter inside, and the air blown out from the blowout port is dust-removed by the HEPA filter.

ダクト７２は、吹出ユニット７３と一体に設けられた長尺の中空直方体をなし、左右一対の送気ファン７１，７１が左右一対のレターンダクト７５，７５から流送した空気を吹出ユニット７３へ供給するよう構成されている。 The duct 72 forms a long hollow rectangular parallelepiped integrally provided with the blowout unit 73, and the pair of left and right air supply fans 71 and 71 supply the air sent from the pair of left and right return ducts 75 and 75 to the blowout unit 73. It is configured to do.

吸引ユニット７４は、長尺の中空直方体をなし、上面に載置されたグレーチング５３に多数の貫通孔からなる吸気口５３ａ，５３ａ，…を備えている。吸気口５３ａ，５３ａ，…は、両端のレターンダクト７５，７５へ近づくにつれ数が少なくなるよう設けられている。これにより、送気ファン７１からの吸引力を吸引ユニット７４全体にバランスよく供給して、より均質なエアカーテンを形成できる。 The suction unit 74 has a long hollow rectangular parallelepiped, and includes intake ports 53a, 53a, ... Consisting of a large number of through holes in the grating 53 mounted on the upper surface. The intake ports 53a, 53a, ... Are provided so that the number decreases as they approach the return ducts 75, 75 at both ends. As a result, the suction force from the air supply fan 71 can be supplied to the entire suction unit 74 in a well-balanced manner to form a more homogeneous air curtain.

また、レターンダクト７５，７５の前面上部には、多数のスリットを備えた表板７６ａをスライド板７６ｂで開閉する（図７（ｂ）参照）フィルタ付き取り入れ口を備えた空気取り込み用スライドダンパー７６，７６が取り付けられている。これにより送気ファン７１へ流送する空気量を増やし、プッシュエアーの力を拡大し、エアカーテンとしての機能を強化することができる。スライドダンパー７６は、建築上の取り合いやドアの有無、柱の位置や客先の希望等の現場環境に応じ、スライド板をスライドさせて開口部分の大きさを調節して、取り込み空気量をマニュアル的に調整でき、プッシュ気流の風量が可変である。スライドダンパー７６は、レターンダクトの前面上部に限らず、図７（ａ）に二点鎖線で示したように、吸気ファン七一の側面や、吹きだしユニット３に設けてもよく、レターンダクトの他の面や上下方向の中間部分、下部に設けてもよい。
尚、送気ファン７１の能力は、上、中、下３段階や上、下２段階等に変換できエアカーテンの能力を適宜調節することができる。 Further, on the upper front surface of the return ducts 75, 75, a front plate 76a having a large number of slits is opened and closed by a slide plate 76b (see FIG. 7B). , 76 are attached. As a result, the amount of air sent to the air supply fan 71 can be increased, the force of push air can be expanded, and the function as an air curtain can be strengthened. The slide damper 76 manually adjusts the amount of air taken in by sliding the slide plate to adjust the size of the opening according to the site environment such as architectural engagement, the presence or absence of doors, the position of pillars, and the wishes of customers. The air volume of the push airflow is variable. The slide damper 76 is not limited to the upper part of the front surface of the return duct, but may be provided on the side surface of the intake fan 71 or on the blowout unit 3 as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 7A. It may be provided on the surface of the surface, the middle portion in the vertical direction, or the lower portion.
The capacity of the air supply fan 71 can be converted into three stages of upper, middle, lower, upper and lower two stages, and the capacity of the air curtain can be appropriately adjusted.

以上、本発明のエアカーテンユニットは、上記の実施例に限らず、例えば、ドアなしの出入口に限らず、ドア付きの出入口に取り付けることもでき、クリーンブースやエアシャワーブースに限らず、クリーンルーム、陰圧室、恒温恒湿室、場合によっては温室、屋外型人口気象室のドアのところに取り付け、ドアを開いたときにエアカーテンを作動させる形でも取り付けることができる。
また、吹出口、及び吸気口は、多数のスリットや貫通孔の他、直線状の１本の長いスリットであってもよい。噴出カーテンは、前後で長さや材質が異なってもよい。暖簾状の小カーテンのうち、一部を金属にして残部を硬質の透明樹脂にしたようなものも含まれる。前後の噴出カーテンの隙間を一定にした状態で、前後２枚の噴出カーテンを連結してもよいし、隙間を確保するためにスぺーサーを挟んでもよい。
本発明のエアカーテンユニットは、底壁や、床壁を備えないクリーンブースやエアシャワーブースにも用いることができ、このような場合、吸気口は、吹出口の直下に限らず、側壁や柱等の支持部材やレターンダクトの内面等に設けることができる。 As described above, the air curtain unit of the present invention is not limited to the above embodiment, and can be attached not only to the doorway without a door but also to a doorway with a door, and is not limited to a clean booth or an air shower booth, but a clean room. It can be installed at the doors of negative pressure chambers, constant temperature and humidity chambers, and in some cases greenhouses and outdoor artificial weather rooms, and can also be installed by activating the air curtain when the door is opened.
Further, the air outlet and the intake port may be one long linear slit in addition to a large number of slits and through holes. The length and material of the squirt curtain may be different before and after. Among the small curtains in the shape of a curtain, a part of which is made of metal and the rest of which is made of hard transparent resin is also included. With the gap between the front and rear ejection curtains constant, the two front and rear ejection curtains may be connected, or a spacer may be sandwiched to secure the gap.
The air curtain unit of the present invention can also be used in a clean booth or an air shower booth that does not have a bottom wall or a floor wall. In such a case, the intake port is not limited to directly under the air outlet, but is also a side wall or a pillar. It can be provided on a support member such as, or on the inner surface of a return duct.

１０クリーンブース
２０エアシャワーブース
１５１，１５２出入口
５０，６０，７０エアカーテンユニット
３５吹出口
５３ａ吸気口
３４噴出カーテン
３４Ａ単カーテン
３４ａ小カーテン 10 Clean booth 20 Air shower booth 151,152 Doorway 50,60,70 Air curtain unit 35 Air outlet 53a Intake port 34 Blowout curtain 34A Single curtain 34a Small curtain

上記課題を解決するためになされた発明は、水平方向に延びるスリット、又は水平方向に列設される貫通孔からなり下方に向けて空気を吹き出す吹出口と、前記吹出口の下方に設けられる吸気口と、前記吹出口から空気を吹き出すエアカーテンファンと、前記吹出口から吹き出す空気の除塵を行うフィルタと、前記吸気口から前記吹出口へ空気を戻す左右一対の側壁を有し、前記吹出口に沿って設けられる噴出カーテンとを備え、前記噴出カーテンは、前記吹出口を挟んで対向するよう設けられた前後２枚の単カーテンを有し、前記吹出口から供給された空気を前後２枚の単カーテンの間から噴出するよう構成されており、前記エアカーテンファンによって前記吹出口から噴出された空気によりエアカーテンを形成するよう構成されており、前記前後２枚の小カーテンは、下縁の高さが等しく、前記前後２枚の小カーテンの下縁は、前記出入口の下縁から上方へ離間して設けられていることを特徴とする。 The invention made to solve the above-mentioned problems includes an air outlet which is composed of a slit extending in the horizontal direction or a through hole arranged in the horizontal direction and blows out air downward, and an intake air provided below the air outlet. It has a port, an air curtain fan that blows air from the air outlet, a filter that removes dust from the air blown from the air outlet, and a pair of left and right side walls that return air from the air intake port to the air outlet. The ejection curtain includes two front and rear single curtains provided so as to face each other across the outlet, and two front and rear air supplied from the outlet. It is configured to be ejected from between the single curtains of the above, and is configured to form an air curtain by the air ejected from the air outlet by the air curtain fan, and the two front and rear small curtains are the lower edge. The lower edges of the two front and rear small curtains are provided so as to be separated upward from the lower edge of the doorway .

前記吹出口、及び前記吸気口は、前記一対の側壁間の間口の外側へ突出して設けられていることが好ましい。こうすることで、間口より広い範囲にエアカーテンを設けることができる。ただし、建築構造や設備の取り合いにより出入口の内側や壁内に取り込まれることも想定される。 It is preferable that the air outlet and the intake port are provided so as to project outward from the frontage between the pair of side walls . In this way, it is possible to provide an air curtain over a wide range from between ports. However, it is expected that it will be taken into the inside of the doorway or inside the wall due to the building structure and equipment.

Claims

An air curtain unit installed at the entrances and exits of clean booths and air shower booths.
A slit that extends in the horizontal direction, or an outlet that consists of through holes that are lined up in the horizontal direction and blows out air downward.
An intake port provided below the air outlet and
It is provided with a squirt curtain provided along the outlet.
The ejection curtain is an air curtain unit characterized in that air supplied from the outlet is ejected from between two front and rear single curtains.

The air curtain unit according to claim 1, wherein the single curtain is composed of a plurality of small curtains arranged in a curtain shape along the outlet.

The air curtain unit according to claim 1 or 2, wherein the air outlet and the intake port are provided so as to project outward from the edge of the inlet / outlet.

The air curtain unit according to any one of claims 1 to 3, wherein at least a part of the ejection curtain is made of a metal plate.