JP2021084282A - 流路部材、液体吐出装置および流路部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容積が可変の室を複数有する流路部材を容易に製造でき、更に室のシール不良を抑制することができる流路部材、液体吐出装置および流路部材の製造方法を提供する。【解決手段】複数の弾性膜９２と、係合部と、複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材９５と係合部が係合される被係合部を有し、係合部が被係合部に係合されることにより複数の弾性膜９２が保持された枠部材９５を保持可能な流路形成部材７８と、枠部材９５を介して複数の弾性膜９２の周縁部を流路形成部材７８に押し付けた状態で固定されて、流路形成部材７８と複数の弾性膜９２との間に複数の室を形成するカバー部材１０１と、を備える。【選択図】図１６

Description

本発明は、流路部材、液体吐出装置および流路部材の製造方法に関する。

特許文献１には、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドと、流路形成部材に形成された凹部と弾性膜の一例としての可撓性部材により構成される室を含み該液体吐出ヘッドに液体を供給する供給流路と、を備える液体吐出装置が開示され、更に、弾性膜の変位を検出する変位検出部及び室を有する流路部材の一例としての流路ユニットが開示されている。

液体吐出装置は、流路ユニットよりも液体供給方向の上流側の位置に、吐出動作と吸引動作とを行って液体を流路ユニットへ送る送液部を備える。送液部が吐出動作を行うと流路ユニットの室に液体が供給されるため、この液体の加圧力によって弾性膜が付勢部材の付勢力に抗して室の容積を増大させるように変位する。供給流路は容積が可変の室を有しているため、液体吐出ヘッドのノズルから液体が吐出されて消費されると、送液部が吸引動作を行っている間も、室に貯留されている液体の一部を液体吐出ヘッドに供給することができる。

特開２０１８−０３４３３５号公報

特許文献１に記載される流路ユニットのような流路部材を組み立てる場合においては、弾性膜の周縁部が固定部材の保持部に保持された状態で、弾性膜の周縁部が流路形成部材に当接され、固定部材が流路形成部材に固定される。

弾性膜は可撓性を有するため、固定部材の保持部に保持された周縁部は、固定部材の保持部から外れ易い。更に、液体吐出装置で使用される液体の種類が多いときには、その液体の種類の数だけの複数の室が必要である。この場合、液体吐出装置に、特許文献１に記載される流路ユニットのような流路部材を液体の種類の数だけ設ける必要がある。この場合、容積が可変の室を複数形成するために必要な流路部材の製造上の工数がかなりかかるという課題がある。また、流路部材が室を複数有することによって、製造上の工数の低減が期待できるものの、複数の弾性膜が同時に保持された状態で、複数の弾性膜の周縁部が流路形成部材に当接され、固定部材が流路形成部材に固定される必要があり、製造が容易ではない。また、固定部材が流路形成部材に固定される前に複数の弾性膜の一部が外れる場合や、複数の弾性膜の保持位置がずれた状態で固定部材が流路形成部材に固定される場合があるため、複数の室のうちシール不良の室が発生する虞がある。

上記課題を解決する流路部材は、複数の弾性膜と、係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、を備える。

上記課題を解決する液体吐出装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと液体吐出ヘッドに液体を供給する供給流路と、を備え、前記供給流路は複数の弾性膜と、係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で前記流路形成部材に固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、を有する。

上記課題を解決する流路部材の製造方法は、複数の弾性膜と、当該複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部および当該複数の保持部の間に設けられる係合部を有する枠部材と、当該枠部材の係合部が係合される被係合部を有する流路形成部材と、当該流路形成部材に固定されるカバー部材と、を備える流路部材の製造方法であって、前記枠部材に設けられる前記複数の保持部に前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持させることと、前記枠部材に設けられる前記係合部を前記流路形成部材の前記被係合部に係合させることで、前記複数の弾性膜を保持する前記枠部材を前記流路形成部材に仮固定することと、前記カバー部材で前記枠部材を介して前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で、前記カバー部材を前記流路形成部材に固定することと、を含む。

一実施形態における液体吐出装置を示す斜視図。 液体吐出装置において液体吐出ヘッドへの液体の供給流路を示す模式図。 流路部材が有するバッファー室が連通した状態を示す側断面図。 流路部材が有するバッファー室が閉鎖した状態を示す側断面図。 流路部材の製造方法を示すフローチャート。 流路部材が備える枠部材を示す斜視図。 図６が示す枠部材が弾性膜を保持した状態を示す斜視図。 図７における８−８線で破断した側断面図。 流路形成部材を示す斜視図。 流路形成部材に弾性膜を保持した枠部材を仮固定した状態を示す平面図。 図１０における１１Ｆ−１１Ｆ線で破断した側断面図。 流路形成部材に弾性膜を保持した枠部材を仮固定した状態を示す斜視図。 図１２の状態の流路形成部材に付勢部材を搭載した状態を示す斜視図。 図１３の状態の流路形成部材にカバー部材を仮固定した状態を示す斜視図。 図１４の状態の流路形成部材にカバー部材を固定した状態を示す斜視図。 流路部材の構成を示す分解斜視図。

以下、流路部材、液体吐出装置および流路部材の製造方法の一実施形態について図面を参照して説明する。
図面では、液体吐出装置１１が水平面上に置かれているものとして重力の方向をＺ軸で示し、Ｚ軸と交差する面に沿う方向をＸ軸及びＹ軸で示す。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、好ましくは互いに直交し、Ｘ軸とＹ軸は、水平面に沿う。以下の説明では、Ｘ軸方向を幅方向Ｘ、Ｙ軸方向を奥行き方向Ｙ、を鉛直方向Ｚともいう。

＜液体吐出装置の構成＞
図１に示すように、液体吐出装置１１は、用紙等の媒体Ｐに印刷する印刷機能を有するプリンター部１２と、プリンター部１２の鉛直方向Ｚの上側に配置されたスキャナー部１３とを備え、全体として鉛直方向Ｚに長い略直方体状をなす複合機からなる。プリンター部１２の鉛直方向Ｚの上側かつスキャナー部１３の奥行き方向Ｙの手前側の位置に、操作パネル１４が設けられる。操作パネル１４は、例えばタッチパネル機能を有する表示部１５を備える。本実施形態では、タッチパネルが操作部１６を構成する。なお、操作部１６は、操作スイッチでもよい。

図１に示すように、スキャナー部１３は、鉛直方向Ｚの上面が不図示の原稿台となったスキャナー本体部１７と、スキャナー本体部１７の鉛直方向Ｚの上面に対して開閉可能に設けられた原稿台カバー１８とを備える。原稿台カバー１８の鉛直方向Ｚの上側には、自動原稿給送部１９が搭載される。

スキャナー部１３は、原稿台カバー１８を開けて不図示の原稿台ガラス上にセットした原稿を読み取る不図示の読取部を有する。自動原稿給送部１９は載置台１９Ａにセットされた複数枚の原稿を１枚ずつ順番に給送し、読取部によりスキャニングされた後の原稿はスタック部１９Ｂ上に順次排出される。

図１に示すように、プリンター部１２の鉛直方向Ｚの下側には、複数枚の媒体Ｐを積載状態に載置して収容可能なカセット２３が、液体吐出装置１１に対して奥行き方向Ｙの手前側から挿抜可能な状態で鉛直方向Ｚに複数段挿着される。また、液体吐出装置１１の幅方向Ｘの−Ｘ側には、給送トレイ２２が下端を中心に開閉可能に設けられる。給送トレイ２２を図１に二点鎖線で示す開いた状態とし、その上に印刷するべき媒体Ｐをセットすることが可能となっている。また、液体吐出装置１１の幅方向Ｘの−Ｘ側には、給送トレイ２２を含むカバー２５と、カバー２５よりも鉛直方向Ｚの下側に配置されたメンテナンス用のカバー２４とが、それぞれ一端を中心に幅方向Ｘの−Ｘ側に開閉可能に設けられる。

また、プリンター部１２においてカセット２３よりも鉛直方向Ｚの上側の部分が、カセット２３又は給送トレイ２２から給送された媒体Ｐに印刷する印刷機構部３１（図２参照）となっている。プリンター部１２とスキャナー本体部１７との間には印刷後の媒体Ｐが排出されるスタッカー部２０が設けられる。

＜液体供給装置の構成＞
次に、液体吐出装置１１が備える、液体を吐出する液体吐出ヘッド３８に液体を供給する供給装置２８について説明する。供給装置２８は液体吐出装置１１内に設けられる。

図２に示すように、液体吐出装置１１が備える供給装置２８は、液体貯留部２１と、液体貯留部２１から液体吐出ヘッド３８に液体を供給する供給流路２７と、印刷機構部３１とを備える。印刷機構部３１は、液体吐出ヘッド３８と、メンテナンス部２６とを備える。液体吐出ヘッド３８のノズル形成面３０には、液体を吐出する複数のノズル３７が形成される。

メンテナンス部２６は、ノズル３７から排出される液体を受容するキャップ４９と、キャップ４９内を吸引する吸引部５１と、を備える。キャップ４９は、液体吐出ヘッド３８に接触してノズル形成面３０との間にノズル３７が開口する閉空間を形成し、液体吐出ヘッド３８をキャッピングする。

液体吐出装置１１は、液体吐出ヘッド３８から吐出する液体の種類ごとに、一または複数の供給装置２８を備える。本実施形態においては、一台の液体吐出装置１１に対して、１０個の供給装置２８を備え、１０個の供給装置２８が、一つの液体吐出ヘッド３８に接続される。例えば、液体吐出装置１１がプリンターであれば、供給装置２８はインクの色ごとに設けられる。本実施形態の液体吐出装置１１は、１０個の供給装置２８を備えるが、各供給装置２８の構成は同じである。そのため、一つの供給装置２８について説明し、同一符号を付すことで重複した説明を省略する。

液体吐出装置１１は、固定式のラインヘッドからなる液体吐出ヘッド３８により、搬送中の媒体Ｐに対してその奥行き方向Ｙに亘る範囲に液体を一斉に吐出してライン状に印刷を進めるライン印刷方式を採用してもよい。また、液体吐出装置１１は、奥行き方向Ｙに移動可能なキャリッジに搭載された液体吐出ヘッド３８によって、媒体Ｐの搬送動作と液体吐出ヘッド３８による印刷動作とが交互に行われるシリアル印刷方式を採用してもよい。

図２に示すように、供給装置２８は、液体貯留部２１が有する供給口３４から液体吐出ヘッド３８に供給チューブ４１を介して液体を供給する供給流路２７を有している。本実施形態の液体吐出装置１１は、１０個の供給装置２８を備えるため、図２においては、１本の供給チューブ４１が液体吐出ヘッド３８に接続されるが、実際には１０本の供給チューブ４１が液体吐出ヘッド３８に接続される。以下の説明では、供給流路２７において液体貯留部２１が接続される側を上流側、液体吐出ヘッド３８が接続される側を下流側という。

供給流路２７には、上流側から順に吸引側一方向弁７０、送液部７１、吐出側一方向弁７２、バッファー７３が設けられる。
供給流路２７は、第１流路２７ａと、第２流路２７ｂと、第３流路２７ｃと、第４流路２７ｄとを有する。第１流路２７ａは、吸引側一方向弁７０と送液部７１とを連通する。第２流路２７ｂは、送液部７１と吐出側一方向弁７２とを連通する。第３流路２７ｃは、吐出側一方向弁７２とバッファー７３とを連通する。第４流路２７ｄは、バッファー７３と供給チューブ４１とを連通する。

吸引側一方向弁７０と吐出側一方向弁７２は、供給流路２７において液体の上流側から下流側へ向かう流れを許容し、下流側から上流側へ向かう流れを制限する。吸引側一方向弁７０は、供給流路２７において送液部７１よりも上流側の位置であって、液体貯留部２１と送液部７１との間の位置に設けられる。吐出側一方向弁７２は、供給流路２７において送液部７１よりも下流側の位置であって、送液部７１とバッファー７３との間の位置に設けられる。

送液部７１は、可撓性を有するダイヤフラム４２を往復運動させ、液体に圧力を与えるダイヤフラムポンプである。送液部７１は、ダイヤフラム４２によって区切られたポンプ室４３及び負圧室４４と、負圧室４４内に設けられてダイヤフラム４２をポンプ室４３側に向けて付勢する第３付勢部材４５と、を備えている。ポンプ室４３は、供給流路２７の一部を構成する。

液体吐出装置１１は、送液部７１を駆動する駆動源４７を備える。駆動源４７は、負圧室４４を減圧し、第３付勢部材４５の付勢力に抗してポンプ室４３の容積を増大させる。これにより送液部７１は、ポンプ室４３に液体を吸引する。駆動源４７が負圧室４４の減圧を解除すると、第３付勢部材４５は、ダイヤフラム４２を付勢し、ポンプ室４３内の容積を減少させる。これにより送液部７１は、ポンプ室４３の液体を吐出する。送液部７１は、ポンプ室４３に液体を吸引する吸引駆動と、ポンプ室４３から液体を吐出する吐出駆動と、を交互に行い、液体貯留部２１側となる上流側から液体吐出ヘッド３８側となる下流側へ液体を送る。

＜バッファーの構成及び動作＞
次にバッファー７３の構成及び動作について説明する。
図３に示すように、バッファー７３は、流路形成部材７８に形成された室用凹部７８ｄと弾性膜９２とにより囲み形成された室９３を有している。室９３は、供給流路２７の一部を構成し、第３流路２７ｃの下流端と第４流路２７ｄの上流端とが接続される。すなわち、供給流路２７は、一部が弾性膜９２により構成される室９３を含んで構成される。そして、送液部７１は、吸引動作と吐出動作を行うことにより、室９３よりも上流側の液体貯留部２１から液体吐出ヘッド３８へ液体を送る。

バッファー７３は、弾性膜９２に連結されて弾性膜９２と共に変位する変位部材９４と、弾性膜９２の周縁部分を保持することで弾性膜９２を固定する枠部材９５と、変位部材９４とカバー部材１０１との間に配置された例えばコイルばねなどの第１付勢部材９６と、を備えている。変位部材９４が変位する方向を変位方向Ａという。弾性膜９２は可撓性を有するため、弾性膜９２はゴム材料またはエラストマーで構成されることが望ましい。

弾性膜９２が有する周縁部の周状の凸部９２ｂが、枠部材９５に周状に設けられる溝９５ａに挿入されることにより、枠部材９５の溝９５ａが有する保持部９５ｃによって、弾性膜９２の周縁部が枠部材９５に保持される。枠部材９５は溝９５ａ以外の場所に保持部９５ｃを有してもよいし、保持部９５ｃは複数あってもよい。本実施形態においては、枠部材９５が有する溝９５ａを形成する変位方向Ａと平行な２つの面が、保持部９５ｃとなっている。すなわち、保持部９５ｃは、枠部材９５に周状に設けられる溝９５ａを含み、弾性膜９２は溝９５ａに挿入される周状の凸部を９２ｂ有する。

変位部材９４は、弾性膜９２の室９３を構成する内面とは反対の外面に設けられる。また、第１付勢部材９６は、変位部材９４を付勢することにより、弾性膜９２を室９３の容積を小さくする方向に付勢する。すなわち、第１付勢部材９６は、カバー部材１０１と弾性膜９２との間に設けられ、室９３の容積を小さくする方向に弾性膜９２を付勢する。

変位部材９４は、変位方向Ａに沿って室９３内に突出する第１被案内部９４ａと、室９３とは反対側に突出する第２被案内部９４ｂと、第１付勢部材９６を搭載するばね受け部９４ｃとを有している。また、流路形成部材７８には、第１被案内部９４ａを弾性膜９２の変位方向Ａに案内する第１案内部７８ｅが形成されている。また、カバー部材１０１には、第２被案内部９４ｂを変位方向Ａに案内する第２案内部１０１ａが形成されている。すなわち、バッファー７３は、案内部７８ｅ，１０１ａと被案内部９４ａ，９４ｂとを有し、変位部材９４が弾性膜９２に連結されて、変位部材９４が有する被案内部９４ａ，９４ｂは、弾性膜９２と共に変位する。

第１被案内部９４ａは、略円盤形状をなす弾性膜９２の略中央位置から室９３側に突出するように軸状に設けられる。また、第１案内部７８ｅは、室用凹部７８ｄに穴状に形成され、第１被案内部９４ａが差し込まれるように構成される。

第１被案内部９４ａは、例えば変位方向Ａに沿うように延び、複数の凹条を有する棒状の柱体とするのが好ましく、丸穴状の第１案内部７８ｅと第１被案内部９４ａとの隙間により第４流路２７ｄの一部が構成される。また、弾性膜９２は、第１被案内部９４ａを囲む位置に環状に突出した閉鎖部９２ａを有している。

第１被案内部９４ａは、弾性膜９２が第１案内部７８ｅから最も離れた位置に位置し、室９３の容積が最大となった場合に、第１被案内部９４ａが第１案内部７８ｅと係合する長さとするのが好ましい。更に図４に示すように、第２被案内部９４ｂは、弾性膜９２が第２案内部１０１ａから最も離れた位置に位置し、室９３の容積が最小となった場合に、第２被案内部９４ｂが第２案内部１０１ａと係合する長さとするのが好ましい。すなわち、被案内部９４ａ，９４ｂが、案内部７８ｅ，１０１ａから外れないような寸法関係で構成される。

図４に示すように、閉鎖部９２ａは、弾性膜９２が室９３の容積が小さくなる方向に変位して室９３の壁となる室用凹部７８ｄに当接することにより供給流路２７を閉鎖する。すなわち、弾性膜９２は、第１案内部７８ｅを閉鎖部９２ａによって囲うことにより、室９３と第４流路２７ｄとを非連通とする。

また、図３に示すように、バッファー７３は、レバー軸９７ａを中心として回動可能に設けられたレバー部９７と、レバー部９７を付勢する第２付勢部材９８と、レバー部９７が有する被検出部９７ｂを検出することにより弾性膜９２の変位を検出する変位検出部９９と、を備えている。本実施形態の第２付勢部材９８は、引っ張りばねであり、変位検出部９９は、発光部と受光部とを有する光学式のセンサーである。

図３に示すように、レバー部９７は、第２被案内部９４ｂに押圧されることにより、第２付勢部材９８の付勢力に抗して回動し、変位検出部９９により被検出部９７ｂが検出されない非検出姿勢となる。そして、図４に示すように、レバー部９７は、第２被案内部９４ｂに押圧されない状態では、変位検出部９９により被検出部９７ｂが検出される検出姿勢となる。

次に、以上のように構成された液体吐出装置１１について、バッファー７３の作用について説明する。なお、送液部７１は、吸引動作と吐出動作を交互に連続して行うものとする。

図３に示すように、送液部７１が吐出動作を行うと、第３流路２７ｃを通じて室９３に液体が供給されるので、この液体の加圧力によって弾性膜９２が第１付勢部材９６の付勢力に抗してカバー部材１０１側に変位する。すなわち、弾性膜９２は、室９３の容積を増大させるように変位すると共に、変位部材９４は、レバー部９７を押圧して非検出姿勢とする。

液体吐出ヘッド３８から液体が吐出されて消費されると、室９３内の液体が第４流路２７ｄに流出する。供給流路２７は、容積が可変の室９３を有しているため、送液部７１が吸引動作を行っている間も液体吐出ヘッド３８に液体を供給することができる。そして、送液部７１が吐出動作をすると、流出した分の液体が送液部７１から室９３に供給され、室９３は、第４流路２７ｄと連通した状態に維持される。

液体貯留部２１に収容された液体の残量が印刷を実行するのに不十分な量まで減少したエンド状態になると、液体貯留部２１から液体が供給されなくなる。そのとき室９３は、第４流路２７ｄに流出した液体の分だけ容積が小さくなる。

すなわち、図４に示すように、弾性膜９２は、室用凹部７８ｄに近づくように変位して室９３の容積を小さくする。また、このとき、レバー部９７は、検出姿勢となり、図２に示すように、変位検出部９９は、被検出部９７ｂを検出した検出信号を制御部２９に出力する。更に制御部２９は、液体貯留部２１がエンド状態となったことを示すエンド情報を例えば表示部１５（図１参照）に表示することでユーザーに報知する。

メンテナンス部２６が実行するクリーニングは、ノズル３７から液体を出すことによって気泡等の異物を排出するメンテナンス動作であり、その種類として、吸引クリーニング及びチョーククリーニングがある。

吸引クリーニングは、液体吐出ヘッド３８をキャップ４９によってキャッピングした状態で、吸引部５１を駆動して行うクリーニングである。吸引クリーニングは、液体吐出ヘッド３８内などにある気泡等の異物が液体と共にノズル３７から排出される。

チョーククリーニングは、液体の流れを制限した状態の閉空間が供給流路２７内に形成され、その閉空間の負圧が高められた後に液体の流れが許容されることで、供給流路２７内に勢い良く液体が流されるクリーニングである。

図２に示すように、液体吐出ヘッド３８をキャップ４９によってキャッピングをすると共に、ダイヤフラム４２を駆動させる駆動源４７を駆動しない状態で吸引部５１を駆動する。これにより、ノズル３７から送液部７１までの領域が負圧になるため、バッファー７３の室９３も負圧となって、弾性膜９２が室９３の容積が小さくなる方向に変位する。そのため、図４に示すように、弾性膜９２の閉鎖部９２ａが、室９３の壁となる室用凹部７８ｄに当接することにより、供給流路２７を閉鎖する。すなわち、室９３と第４流路２７ｄとは非連通となり、ノズル３７からバッファー７３までの領域が負圧になる。負圧が蓄積された後、駆動源４７によってダイヤフラム４２を駆動させ送液動作が行われると、ノズル３７からバッファー７３までの間で蓄圧された負圧により、送液された液体が勢いよく液体吐出ヘッド３８側に流れ、バッファー７３内に溜まっていた気泡等の異物が液体と共にノズル３７から排出される。

＜流路部材の構成と製造方法＞
液体吐出装置１１が備える液体を吐出する液体吐出ヘッド３８に液体を供給する供給装置２８のうち、供給流路２７の少なくとも一部を構成する部材を流路部材９０という。本実施形態においては、流路部材９０はバッファー７３を備えている。図５に示すフローチャートと各ステップに対応する図面を参照し、流路部材９０が製造される流れを説明する。

図５のステップＳ５０１で使用される枠部材９５は、図６に示すように、溝９５ａ（図３参照）と、複数の係合部９５ｂと、複数の保持部９５ｃと、位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅとを有する。本実施形態においては、枠部材９５は二つの係合部９５ｂと二つの保持部９５ｃを有する。枠部材９５は一つの係合部９５ｂを有してもよいし、三つ以上の係合部９５ｂを有してもよい。また、枠部材９５は三つ以上の保持部９５ｃを有してもよい。枠部材９５が有する係合部９５ｂは、複数の保持部９５ｃの間に設けられる。本実施形態においては、二つの円形の保持部９５ｃと保持部９５ｃとの間の窪んだスペースに、二つの係合部９５ｂが設けられる。

図８に示すように、枠部材９５の保持部９５ｃは、枠部材９５に周状に設けられる溝９５ａを含み、弾性膜９２は、枠部材９５が有する溝９５ａに挿入される周状の凸部９２ｂを有する。

図５のステップＳ５０１において、図８に示すように、本実施形態においては、最初に変位部材９４が有する第１被案内部９４ａが、弾性膜９２が有する穴部９２ｃに挿入される。変位部材９４は、弾性膜９２に連結されて弾性膜９２と共に変位する。そして、図７に示すように、穴部９２ｃに挿入される変位部材９４に連結された複数の弾性膜９２が枠部材９５に対して取り付けられる。本実施形態においては、一つの枠部材９５に対して、二つの弾性膜９２が並んで取り付けられる。枠部材９５に対して、取り付けられる弾性膜９２の数は限定されない。例えば、一つの枠部材９５に対して、三つ以上の弾性膜９２が取り付けられてもよい。枠部材９５は、複数の保持部９５ｃが並ぶ方向における両端に位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅを有する。

図８に示すように、枠部材９５は、複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を保持する複数の保持部９５ｃを有している。枠部材９５が有する保持部９５ｃに含まれる溝９５ａに対して、弾性膜９２が有する凸部９２ｂが挿入されることによって、弾性膜９２が枠部材９５に保持される。ステップＳ５０１は、枠部材９５に設けられる複数の保持部９５ｃに複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を保持させる工程である。

図５のステップＳ５０２で使用される流路形成部材７８は、図９に示すように、一つの流路形成部材７８が、１０個の室９３を内包する構成となっている。流路形成部材７８は、位置決め係合部７８ａ，７８ｂ，７８ｃと、室用凹部７８ｄ（図３参照）と、第１案内部７８ｅ（図３参照）と、被係合部７８ｆと、フック７８ｇと、位置決め係合部７８ｈとを有する。流路形成部材７８は、供給流路２７を構成する流路（図２参照）のうち、バッファー７３の上流に位置する第３流路２７ｃと、バッファー７３の下流に位置する第４流路２７ｄを有する。すなわち、本実施形態においては、一つの流路形成部材７８が、１０個の室９３と、１０個の第３流路２７ｃと、１０個の第４流路２７ｄとを内包する。

図５のステップＳ５０２において、図１０に示すように、流路形成部材７８に複数の枠部材９５が仮固定される。図１０は、一つの流路形成部材７８に対して、一つの枠部材９５が取り付けられた状態を示している。枠部材９５の位置決め被係合部９５ｄが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ａに係合され、枠部材９５の位置決め被係合部９５ｅが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ｂ，７８ｃに係合されることにより、枠部材９５および複数の弾性膜９２が流路形成部材７８に対して位置決めされる。

図１１に示すように、流路形成部材７８は、枠部材９５の係合部９５ｂが係合される被係合部７８ｆを有し、係合部９５ｂが被係合部７８ｆに係合されることにより、複数の弾性膜９２を保持する枠部材９５が、位置決めされた状態で流路形成部材７８に保持される構成となっている。本実施形態においては、一つの枠部材９５が有する二つの係合部９５ｂが、流路形成部材７８が有する複数の被係合部７８ｆのうちの二つの被係合部７８ｆにそれぞれ係合される。

図１２に示すように、本実施形態においては、一つの流路形成部材７８に対し、二つの弾性膜９２を保持する五つの枠部材９５がそれぞれ位置決めされた状態で保持される構成となっている。被係合部７８ｆと係合部９５ｂの間には変位方向Ａに対して第１隙間７９（図１１参照）があり、流路形成部材７８と枠部材９５はこの第１隙間７９の寸法だけ変位方向Ａに対して相対的に動ける状態となっている。ここで、第１隙間７９は、二つの弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れない寸法に設定されているため、二つの弾性膜のそれぞれの周縁部のうち、枠部材９５の保持部９５ｃから外れている箇所が一か所でもあるときは、係合部９５ｂは被係合部７８ｆに係合されない。ステップＳ５０２は、枠部材９５に設けられる係合部９５ｂを流路形成部材７８の被係合部７８ｆに係合させることで、複数の弾性膜９２を保持する枠部材９５を流路形成部材７８に仮固定する工程である。

図５のステップＳ５０３において、図１３に示すように各室９３に設けられた弾性膜９２に挿入された変位部材９４が有する１０か所のばね受け部９４ｃ（図８参照）に、１０個の第１付勢部材９６を搭載する。すなわち、ステップＳ５０３において流路部材９０は第１付勢部材９６を備える。

図５のステップＳ５０４で使用されるカバー部材１０１は、第２案内部１０１ａ（図３参照）と、フック用穴１０１ｂ（図１４参照）と、位置決め被係合部１０１ｃ（図１５参照）とを有する。

図５のステップＳ５０４において、図１４に示すように、流路形成部材７８にカバー部材１０１が仮固定される。図３に示すように、カバー部材１０１が有する第２案内部１０１ａは、変位部材９４が有する第２被案内部９４ｂと係合する。すなわち、図１３に示す１０か所の第２被案内部９４ｂが、図１４に示すカバー部材１０１に設けられる不図示の１０か所の第２案内部１０１ａと係合する。そして、図１５に示すように、流路形成部材７８が有する二つの位置決め係合部７８ｈのそれぞれは、カバー部材１０１が有する二つの位置決め被係合部１０１ｃのそれぞれと係合する。すなわち、カバー部材１０１が流路形成部材７８に対して位置決めされる。そして、図１４に示すように、カバー部材１０１が有する８つのフック用穴１０１ｂ（図１４および図１６参照）のそれぞれが、流路形成部材７８が有する８つのフック７８ｇのそれぞれと係合する。

図５のステップＳ５０４において、第１付勢部材９６は、図３に示すように、カバー部材１０１と弾性膜９２との間に設けられる。本実施形態においては、第１付勢部材９６は変位部材９４を介して弾性膜９２を付勢する。

図１４に示すように、本実施形態においては、一つのカバー部材１０１が、一つの流路形成部材７８に位置決めされた状態で保持される構成となっている。第２案内部１０１ａは第２被案内部９４ｂ（図３参照）に対して変位方向Ａに移動可能であり（図３参照）、位置決め係合部７８ｈは位置決め被係合部１０１ｃに対して変位方向Ａに移動可能である（図１５参照）。そして、フック用穴１０１ｂ（図１４および図１６参照）とフック７８ｇ（図１３参照）は、不図示の第２隙間があり、フック用穴１０１ｂ（図１４および図１６参照）とフック７８ｇ（図１３参照）はこの不図示の第２隙間の寸法だけ変位方向Ａに対して相対的に動ける状態となっている。このように、ステップＳ５０４は、カバー部材１０１を流路形成部材７８に仮固定する工程である。

図５のステップＳ５０５において、図１５に示すように一つの流路形成部材７８が有する２０個の固定部材用穴１０１ｄ（図１４参照）に対し、２０本の固定部材１０２で一つのカバー部材１０１を固定することで流路部材９０が完成する。このとき、図３に示すように、枠部材９５を介して複数の弾性膜９２の周縁部が流路形成部材７８に押し付けられた状態で、カバー部材１０１が流路形成部材７８に固定される。

図３に示すように、弾性膜９２は、枠部材９５が有する保持部９５ｃに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面にシール凸部９２ｄを有する。カバー部材１０１が、シール凸部９２ｄを流路形成部材７８に押し付けることによって、シール凸部９２ｄが潰され、弾性膜９２の周縁部全てが流路形成部材７８に対してシールされる。シール凸部９２ｄは、保持部９５ｃが有する溝９５ａに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面の、凸部９２ｂに対応する位置に設けるのが望ましい。ただし、シール凸部９２ｄの位置は対応する位置からずれても構わない。

凸部９２ｂの先端部は変位方向Ａに対して直交する平面を有し、溝９５ａの底部は変位方向Ａに対して直交する平面を有している。シール凸部９２ｄ（図８参照）が流路形成部材７８によって潰されるときに、凸部９２ｂの先端部の中心が溝９５ａの底部の中心に押し付けられるため、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に広がるときに、弾性膜９２の中心に近づく方向と弾性膜９２中心から遠ざかる方向とに、凸部９２ｂがほぼ均等に変形して広がる。

複数の枠部材に対して設けられる一つのカバー部材１０１が、流路形成部材７８と複数の弾性膜９２との間に複数の室９３を形成する。すなわち、ステップＳ５０５は、カバー部材１０１で枠部材９５を介して複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を流路形成部材７８に押し付けた状態で、カバー部材１０１を流路形成部材７８に固定する工程である。

以上が、流路部材９０の製造方法であり、流路部材９０の製造方法はステップＳ５０１からステップＳ５０５までを含んでいる。
上記の製造方法によって製造される流路部材９０は、複数の弾性膜９２と、複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を保持する複数の保持部９５ｃおよび複数の保持部９５ｃの間に設けられる係合部９５ｂを有する枠部材９５と、を備える。更に、以上の製造方法によって、製造される流路部材９０は、枠部材９５の係合部９５ｂが係合される被係合部７８ｆを有する流路形成部材７８と、流路形成部材７８に固定されるカバー部材１０１と、を備える。液体吐出装置１１は、上記の製造方法によって製造される流路部材９０を備えてもよいし、上記の製造方法によって製造される流路部材９０を含んだ部材を備えてもよい。

本実施形態の作用について説明する。
図５に示すフローチャートに沿って、各ステップに対応する作用を説明する。
ステップＳ５０１においては、図８に示すように、変位部材９４が有する第１被案内部９４ａが、弾性膜９２に設けられる穴部９２ｃに挿入される。可撓性を有する弾性膜９２の中央部は、可撓性を有しない変位部材９４の中央部と連結する。そのため、変位部材９４と連結した弾性膜９２は、周辺部の凸部９２ｂとその近傍が変形しやすくなる。

枠部材９５の保持部９５ｃに挿入される凸部９２ｂとその近傍が変形しやすくなっているため、枠部材９５の保持部９５ｃが有する溝９５ａに対して、変位部材９４と連結した弾性膜９２が有する凸部９２ｂを容易に挿入することができる。そして、二つの弾性膜９２は一つの枠部材９５に保持される。

ステップＳ５０２においては、図１０に示すように、枠部材９５の一方端にある位置決め被係合部９５ｄが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ａに係合される。そして、枠部材９５の他方端にある位置決め被係合部９５ｅが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ｂ，７８ｃに係合される。これにより、一つの枠部材９５および二つの弾性膜９２が流路形成部材７８に対して位置決めされる。枠部材９５は、二つの保持部９５ｃが並ぶ方向における両端にそれぞれ位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅを有することで、それぞれの保持部９５ｃにそれぞれの周縁部を保持された二つの弾性膜９２が、一つの流路形成部材７８に対して同時に位置決めされる。

更にステップＳ５０２においては、図１２に示すように、一つの流路形成部材７８に五つの枠部材９５が仮固定される。枠部材９５のそれぞれの保持部９５ｃが、可撓性を有する複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部を保持し、係合部９５ｂが被係合部７８ｆに係合されることによって、枠部材９５が流路形成部材７８に仮固定される。樹脂の弾性を利用した係合部９５ｂによって二つの部材を仮固定するために、係合方向の異なる二つの係合部９５ｂを用いる。図１１に示すように、二つの係合部９５ｂは係合する向きが逆であるため、枠部材９５を流路形成部材７８に仮固定することができる。枠部材９５の二つの係合部９５ｂが、二つの保持部９５ｃの間に設けられることによって、二つの弾性膜９２が、流路形成部材７８に対して仮固定される。

図１１に示すように、被係合部７８ｆと係合部９５ｂの間には変位方向Ａに対して第１隙間７９があり、流路形成部材７８と枠部材９５はこの第１隙間７９の寸法だけ変位方向Ａに対して相対的に動ける状態となっている。この第１隙間７９の範囲で流路形成部材７８と枠部材９５とが動くとき、流路形成部材７８と枠部材９５とが変位方向Ａに対して最大に離れる場合がある。このとき、弾性膜９２が有する凸部９２ｂは、枠部材の保持部９５ｃが有する溝９５ａから離れる方向に動く可能性があるため、流路形成部材７８と枠部材９５とが変位方向Ａに対して最大に離れた場合にも、凸部９２ｂは溝９５ａから抜けないように、係合部９５ｂと被係合部７８ｆとの寸法関係が設定される。そのため、カバー部材１０１が流路形成部材７８に固定される前に、複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れる虞が少ない。

もし、複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部のうち、枠部材９５の保持部９５ｃから外れている箇所が一か所でもあるときは、係合部９５ｂは被係合部７８ｆに係合されない。すなわち、枠部材９５は流路形成部材７８に対して仮固定できない。そのため、流路部材９０の製造者は、流路部材９０の製造過程において、枠部材９５の係合部９５ｂが流路形成部材７８の被係合部７８ｆに係合されていない箇所があることを検出することができる。

ステップＳ５０３においては、図１３に示すように、各室９３に設けられた弾性膜９２に挿入された変位部材９４が有する１０か所のばね受け部９４ｃ（図８参照）に、１０個の第１付勢部材９６を搭載する。

ステップＳ５０４においては、図１４に示すように、一つの流路形成部材７８に一つのカバー部材１０１が仮固定される。このとき、流路形成部材７８と１０個の弾性膜９２との間に形成される１０個の室９３の容積を小さくする方向に弾性膜９２を付勢する１０個の第１付勢部材９６が、カバー部材１０１と変位部材９４との間に設けられることによって、１０個の室９３を、所定の圧力の液体を貯留可能な複数のバッファー室として容易に設けることができる。カバー部材１０１と変位部材９４との間に第１付勢部材９６を設けるときには、１０個の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れないようにした状態で、枠部材９５が流路形成部材７８に仮固定されている（ステップＳ５０２参照）ため、第１付勢部材９６の付勢力によって、１０個の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れる虞が少ない。そして、一つのカバー部材１０１が１０個の弾性膜９２のそれぞれの周縁部を流路形成部材７８に押し付けた状態で、一つのカバー部材１０１が一つの流路形成部材７８に仮固定される。

また、５個の枠部材９５のそれぞれが一つの流路形成部材７８に位置決めされ、その流路形成部材７８に対して一つのカバー部材１０１が位置決めされることによって、５個の枠部材９５と一つのカバー部材１０１とを位置決めすることができる。すなわち、一つのカバー部材１０１だけで５個の枠部材９５を位置決めすることができるとともに、一つのカバー部材１０１を一つの流路形成部材７８に固定することができる。

ステップＳ５０５においては、図１５に示すように流路形成部材７８が有する２０個の固定部材用穴１０１ｄ（図１４参照）に２０本の固定部材１０２を固定することによって流路形成部材７８にカバー部材１０１が固定され、流路部材９０が完成する。固定部材１０２による固定時にカバー部材１０１が変位方向Ａ以外の方向に動かないように、１０個の第１付勢部材９６の付勢力に逆らいながらカバー部材１０１と流路形成部材７８とを位置決めさせて、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを仮固定する。この際、カバー部材１０１を流路形成部材７８に対して変位方向Ａと同じ方向に押し込むだけで、複数の固定部材用穴１０１ｄのそれぞれが複数のフック７８ｇと容易に係合するため、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを容易に仮固定することができる。固定部材１０２の数は２０本あるが、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを仮固定した後は、流路形成部材７８に対する１０個の弾性膜９２のそれぞれの周縁部の位置が変わる虞が少ないため、カバー部材１０１を容易に固定することができる。

本実施形態においては、弾性膜９２は、枠部材９５が有する保持部９５ｃに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面にシール凸部９２ｄ（図８参照）を有する。カバー部材１０１が、シール凸部９２ｄ（図８参照）を流路形成部材７８に押し付けることによって、シール凸部９２ｄ（図８参照）が潰され、１０個の弾性膜９２の周縁部が流路形成部材７８に対してシールされる。これにより、１０個の弾性膜９２を流路形成部材７８に組み込んだ場合におけるシール不良を抑制できる。

更に本実施形態においては、弾性膜９２が流路形成部材７８に対してシールされるシール凸部９２ｄ（図８参照）は、保持部９５ｃが有する溝９５ａに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面の凸部９２ｂに対応する位置に設けられている。シール凸部９２ｄ（図８参照）が流路形成部材７８によって潰されるときに、凸部９２ｂの中央が押し付けられるため、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に広がるときに、弾性膜９２の中心に近づく方向と弾性膜９２中心から遠ざかる方向とに、凸部９２ｂがほぼ均等に変形して広がる。そのため、凸部９２ｂと溝９５ａとの位置が合い、弾性膜９２の流路形成部材７８に対する位置決め精度を高めることができる。

このとき、凸部９２ｂの先端部は変位方向Ａに対して直交する平面を有するか、半円形状であることが望ましい。同様に、溝９５ａの底部は変位方向Ａに対して直交する平面を有するか、半円形状であることが望ましい。シール凸部９２ｄ（図８参照）が流路形成部材７８によって潰されるときに、凸部９２ｂの先端部の中心が溝９５ａの底部の中心に押し付けられるため、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に広がるときに、弾性膜９２の中心に近づく方向と弾性膜９２中心から遠ざかる方向とに、凸部９２ｂがほぼ均等に変形して広がる。本実施形態においては、凸部９２ｂの先端部は変位方向Ａに対して直交する平面を有し、溝９５ａの底部は変位方向Ａに対して直交する平面を有している。そのため、凸部９２ｂと溝９５ａとの位置が合い、弾性膜９２の流路形成部材７８に対する位置決め精度を高めることができる。

図１５に示すように、流路形成部材７８に対する複数の室９３が有する弾性膜９２のそれぞれの周縁部の位置を、枠部材９５の数よりも少ない数のカバー部材１０１で押し付けて固定しているため、複数の液体を吐出する液体吐出装置１１に使用されるバッファー７３の構成部品を少なくでき、バッファー７３の製造を容易にできる。更に複数の室９３を有する流路部材９０を小型化できる。

本実施形態においては、一つの流路形成部材７８に対する１０個の室９３が有する弾性膜９２のそれぞれの周縁部の位置を、一つのカバー部材１０１で押し付けて固定している。そのため、１０種類の液体を吐出する液体吐出装置１１に使用されるバッファー７３の構成部品が少なくなり、バッファー７３の製造が容易になる。更にカバー部材１０１の数が一つのため、１０個の室９３を有する流路部材９０を小型化できる。例えば、一つの室に対してカバー部材１０１を個別に設けたときには、１０個の室９３それぞれに対して一つのカバー部材１０１と四本の固定部材１０２が設けられる。すなわち、１０個のカバー部材１０１と４０本の固定部材１０２が必要となる。

本実施形態の効果について説明する。
（１）流路部材９０は、枠部材９５を介して複数の弾性膜９２の周縁部を流路形成部材７８に押し付けた状態で固定されることにより、流路形成部材７８と複数の弾性膜９２との間に複数の室９３を形成するカバー部材１０１を備える。枠部材９５のそれぞれの保持部９５ｃが、可撓性を有する複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部を保持した状態で、枠部材９５の係合部９５ｂが流路形成部材７８の被係合部７８ｆに係合されることによって、弾性膜９２の周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れない状態で、枠部材９５を流路形成部材７８に仮固定することができる。そして、カバー部材１０１が複数の弾性膜９２それぞれの周縁部を流路形成部材７８に押し付けた状態で流路形成部材７８に固定される。複数の弾性膜９２を枠部材９５の保持部９５ｃから外れない状態で枠部材９５を流路形成部材７８に仮固定した後に流路形成部材７８とカバー部材１０１とを固定できるため、複数の弾性膜９２を流路形成部材７８に容易に組み込むことができるとともに、流路部材９０の製造時におけるシール不良を抑制できる。

（２）液体吐出装置１１においても、上記流路部材９０と同様の効果が得られる。
（３）枠部材９５の係合部９５ｂが複数の保持部９５ｃの間に設けられることによって、複数の弾性膜９２を、流路形成部材７８に対して正しい位置に仮固定することができるとともに、少ない係合部９５ｂによって多くの弾性膜９２を流路形成部材７８に仮固定することができる。

（４）枠部材９５の一方端にある位置決め被係合部９５ｄが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ａに係合され、枠部材９５の他方端にある位置決め被係合部９５ｅが、流路形成部材７８に設けられる位置決め係合部７８ｂ，７８ｃに係合されて、枠部材９５および複数の弾性膜９２が流路形成部材７８に対して位置決めされる。枠部材９５は、複数の保持部９５ｃが並ぶ方向における両端にそれぞれ位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅを有することで、それぞれの保持部９５ｃに保持された複数の弾性膜９２を、流路形成部材７８に対して同時に位置決めすることができる。

（５）保持部９５ｃは、枠部材９５に周状に設けられる溝９５ａを含み、弾性膜９２は、溝９５ａに挿入される周状の凸部９２ｂを有する。これにより、それぞれの弾性膜９２を枠部材９５に容易に組み込むことができる。

（６）カバー部材１０１と弾性膜９２との間に設けられ、室９３の容積を小さくする方向に弾性膜９２を付勢する第１付勢部材９６を更に備える。これにより、複数の室９３を、所定の圧力の液体を貯留可能な複数のバッファー室として容易に設けることができる。カバー部材１０１と変位部材９４との間に第１付勢部材９６が設けられるときには、複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れないようにした状態で、枠部材９５が流路形成部材７８に仮固定されるため、第１付勢部材９６の付勢力によって、複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れる虞が少ない。

（７）複数の枠部材９５のそれぞれが流路形成部材７８に位置決めされ、その流路形成部材７８に対して一つのカバー部材１０１を位置決めされることによって、複数の枠部材９５と一つのカバー部材１０１とを位置決めすることができる。すなわち、一つのカバー部材１０１だけで複数の枠部材９５を位置決めすることができるとともに、カバー部材１０１を流路形成部材７８に固定することができる。流路形成部材７８に対する複数の室９３が有する弾性膜９２のそれぞれの周縁部を一つのカバー部材１０１で押し付けて固定しているため、１０種類の液体を吐出する液体吐出装置１１に使用されるバッファー７３の構成部品を少なくでき、バッファー７３の製造を容易にできる。更にカバー部材１０１が一つのため、複数の室９３を有する流路部材９０を小型化できる。

（８）流路部材９０の製造方法においても、（１）に記載した流路部材９０の効果と同様の効果が得られる。
（９）流路部材９０の製造方法においても、（６）に記載した液体吐出装置１１の効果と同様の効果が得られる。

（１０）弾性膜９２は、枠部材９５が有する保持部９５ｃに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面にシール凸部９２ｄを有する。カバー部材１０１が、シール凸部９２ｄを流路形成部材７８に押し付けることによって、シール凸部９２ｄが潰され、複数の弾性膜９２の周縁部が流路形成部材７８に対してシールされる。これにより、複数の弾性膜９２を流路形成部材７８に組み込んだ場合におけるシール不良を抑制できる。

（１１）弾性膜９２は、枠部材９５が有する保持部９５ｃに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面にシール凸部９２ｄを有する。カバー部材１０１が、シール凸部９２ｄを流路形成部材７８に押し付けることによって、シール凸部９２ｄが潰され、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に凸部９２ｂが変形して広がるときの圧力が大きくなる。そのため、弾性膜が有する凸部９２ｂの表面が、枠部材９５が有する溝９５ａの表面に強く密着するため、複数の弾性膜９２を流路形成部材７８に組み込んだ場合におけるシール不良を抑制できる。

（１２）弾性膜９２が流路形成部材７８に対してシールするシール凸部９２ｄは、保持部９５ｃが有する溝９５ａに保持される凸部９２ｂが設けられる面とは反対側の面の凸部９２ｂに対応する位置に設けられている。シール凸部９２ｄが流路形成部材７８によって潰されるときに、凸部９２ｂの中央が押し付けられるため、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に広がるときに、弾性膜９２の中心に近づく方向と弾性膜９２中心から遠ざかる方向とに、凸部９２ｂがほぼ均等に変形して広がる。そのため、凸部９２ｂと溝９５ａとの位置が合い、弾性膜９２の流路形成部材７８に対する位置決め精度を高めることができる。

（１３）凸部９２ｂの先端部は変位方向Ａに対して直交する平面を有し、溝９５ａの底部は変位方向Ａに対して直交する平面を有している。シール凸部９２ｄが流路形成部材７８によって潰されるときに、凸部９２ｂの先端部の中心が溝９５ａの底部の中心に押し付けられるため、凸部９２ｂが押し付けられる方向と直角の方向に広がるときに、弾性膜９２の中心に近づく方向と弾性膜９２中心から遠ざかる方向とに、凸部９２ｂがほぼ均等に変形して広がる。そのため、凸部９２ｂと溝９５ａとの位置が合い、弾性膜９２の流路形成部材７８に対する位置決め精度を高めることができる。

（１４）変位部材９４が有する第１被案内部９４ａが、弾性膜９２が有する穴部９２ｃに挿入される。可撓性を有する弾性膜９２は、可撓性を有しない変位部材９４の中央部と連結する。そのため、変位部材９４と連結した弾性膜９２は、周辺部の凸部９２ｂとその近傍が変形しやすくなる。そのため、枠部材９５の保持部９５ｃが有する溝９５ａに対して、弾性膜９２が有する凸部９２ｂを容易に挿入することができる。

（１５）被係合部７８ｆと係合部９５ｂの間には変位方向Ａに対して第１隙間７９があり、流路形成部材７８と枠部材９５はこの第１隙間７９の寸法だけ変位方向Ａに対して相対的に動ける状態となっている。この第１隙間７９の範囲で流路形成部材７８と枠部材９５とが動くとき、流路形成部材７８と枠部材９５とが変位方向Ａに対して最大に離れる場合がある。このとき、弾性膜９２が有する凸部９２ｂは、枠部材９５の保持部９５ｃが有する溝９５ａから離れる方向に動く可能性があるため、流路形成部材７８と枠部材９５とが変位方向Ａに対して最大に離れた場合にも、凸部９２ｂは溝９５ａから抜けないように、係合部９５ｂと被係合部７８ｆとの寸法関係が設定される。そのため、カバー部材１０１が流路形成部材７８に固定される前に、複数の弾性膜９２のそれぞれの周縁部が枠部材９５の保持部９５ｃから外れる虞が少ない。

（１６）固定部材１０２による固定時にカバー部材１０１が変位方向Ａ以外の方向に動かないように、１０個の第１付勢部材９６の付勢力に逆らいながらカバー部材１０１と流路形成部材７８とを位置決めさせて、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを仮固定する。この際、カバー部材１０１を流路形成部材７８に対して変位方向Ａと同じ方向に押し込むだけで、複数の固定部材用穴１０１ｄのそれぞれが複数のフック７８ｇと容易に係合するため、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを容易に仮固定することができる。固定部材１０２の数は２０本あるが、カバー部材１０１と流路形成部材７８とを仮固定した後は、流路形成部材７８に対する１０個の弾性膜９２のそれぞれの周縁部の位置が変わる虞が少ないため、カバー部材１０１を容易に固定することができる。

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・枠部材９５を介して流路形成部材７８に対して周縁部を押し付けられる弾性膜９２の総数は、複数であれば、その数は限定されない。

・枠部材９５を介して流路形成部材７８に対して周縁部を押し付けられる弾性膜９２によって設けられる室９３の総数は、複数であれば、その数は限定されない。
・一つの枠部材９５に対して、三つ以上の弾性膜９２が取り付けられるときにも、枠部材９５が有する係合部９５ｂは、複数の保持部９５ｃの間に設けられてもよい。

・一つの枠部材９５に対して、三つ以上の弾性膜９２が取り付けられるときには、弾性膜９２は整列していなくてもよい。例えば、一つの枠部材９５に対して、三つの弾性膜９２が取り付けられるときに、三つの弾性膜９２を三角形の頂点の位置に並べて、三つの弾性膜９２を一つの三角形状の枠部材９５に対して取り付けてもよい。例えば、一つの枠部材９５に対して、四つの弾性膜９２が取り付けられるときに、一列が二つの弾性膜９２を二列並べて、四つの弾性膜９２を一つの四角形状の枠部材９５に対して取り付けてもよいし、四つの弾性膜９２を一つの菱形状の枠部材９５に対して取り付けてもよい。

・一つの枠部材９５が流路形成部材７８に対して位置決めされるときに、枠部材９５が有する係合部９５ｂのそれぞれが、流路形成部材７８が有する被係合部７８ｆのそれぞれと係合する。そのとき、枠部材９５が流路形成部材７８に係合すれば、係合部９５ｂの数と被係合部７８ｆとの数は限定されない。また、係合部９５ｂの形状と被係合部７８ｆとの形状は、係合できる形状であれば本実施形態の形状に限定されない。例えば、係合部９５ｂの形状と被係合部７８ｆとの形状は、カバー部材１０１が有するフック用穴１０１ｂと流路形成部材７８が有するフック７８ｇの形状であってもよい。

・枠部材９５に対して、三つ以上の弾性膜９２が取り付けられるときにも、枠部材９５が流路形成部材７８に係合すれば、係合部９５ｂの数は限定されない。例えば、三つの弾性膜９２が取り付けられるときには、三つの円形の保持部９５ｃと保持部９５ｃとの間の窪んだ部分の未使用の四か所のスペースのうちの二か所に、それぞれ係合部９５ｂが設けられてもよい。すなわち、三つの弾性膜９２が取り付けられるときには、二つの係合部９５ｂが設けられてもよい。例えば、三つの弾性膜９２が取り付けられるときには、三つの円形の保持部９５ｃと保持部９５ｃとの間の窪んだ部分の未使用の四か所のスペースに、それぞれ係合部９５ｂが設けられてもよい。すなわち、三つの弾性膜９２が取り付けられるときには、四つの係合部９５ｂが設けられてもよい。

・枠部材９５が流路形成部材７８に対して位置決めされるときに、枠部材９５が有する位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅのそれぞれが、流路形成部材７８が有する位置決め係合部７８ａおよび位置決め係合部７８ｂ，７８ｃのそれぞれと係合する。そのとき、位置決め被係合部９５ｄ，９５ｅの形状と位置決め係合部７８ａ，７８ｂ，７８ｃの形状は、枠部材９５が流路形成部材７８に対して位置決めされる形状であれば、本実施形態の形状に限定されない。例えば、流路形成部材７８は、位置決め係合部７８ｂ，７８ｃを有さず、位置決め係合部７８ｂと位置決め係合部７８ｃとの中央に位置決め係合部７８ａと同形状の位置決め係合部を有し、枠部材９５の位置決め被係合部９５ｅの中央部に位置決め被係合部となる長穴を有してもよい。そして、枠部材９５の位置決め被係合部９５ｄと流路形成部材７８の位置決め係合部７８ａとが係合し、枠部材９５の位置決め被係合部となる該長穴と流路形成部材７８の位置決め係合部７８ａと同形状の該位置決め係合部とが係合してもよい。

・本実施形態においては、枠部材９５が有する保持部９５ｃが周状に設けられる一つの溝９５ａを含み、弾性膜９２が溝９５ａに挿入される周状の一つ凸部９２ｂを有しているが、保持部９５ｃは周状に設けられる複数の溝９５ａを有してもよい。そのとき、弾性膜９２が複数の溝９５ａに挿入される周状の複数の凸部９２ｂを有してもよい。

・本実施形態においては、枠部材９５の保持部９５ｃが周状に設けられる一つの溝９５ａを含み、弾性膜９２が溝９５ａに挿入される周状の一つの凸部９２ｂを有しているが、枠部材９５の保持部９５ｃが、周状に設けられる凸部を有し、弾性膜９２が該凸部に挿入される周状の溝を有してもよい。

・図８に示す溝９５ａと凸部９２ｂの断面を構成する線のうち、変位方向Ａと平行な二本の線は、変位方向Ａに対して平行でなくてもよい。図８に示す溝９５ａと凸部９２ｂの断面が構成する変位方向Ａと平行な二本の線は、変位方向Ａに対して両方の線が傾いてもよいし、片方の線だけが傾いてもよい。例えば、図８に示す溝９５ａと凸部９２ｂの断面を構成する線のうち、弾性膜９２の中心に対して外側にある線が、変位方向Ａと平行であり、弾性膜９２の中心に対して内側にある線が、変位方向Ａに対して凸部９２ｂの先端が細くなる側に傾いてもよい。

・図８に示す溝９５ａと凸部９２ｂの断面において、溝９５ａの底部と凸部９２ｂの先端部は、平面の領域を有してもよいし、曲線だけで構成されて平面の領域を有しなくてもよい。平面の領域を有するとき、その平面は変位方向Ａと直交しなくてもよい。

・カバー部材１０１が流路形成部材７８に対して位置決めされるときに、カバー部材１０１が有するフック用穴１０１ｂのそれぞれが、流路形成部材７８が有するフック７８ｇのそれぞれと係合する。そのとき、フック用穴１０１ｂの数とフック７８ｇの数は限定されない。また、フック用穴１０１ｂの形状とフック７８ｇの形状は、カバー部材１０１が流路形成部材７８に対して位置決めされる形状であれば、本実施形態の形状に限定されない。例えば、フック用穴１０１ｂの形状とフック７８ｇの形状とは、枠部材９５が有する係合部９５ｂと流路形成部材７８が有する被係合部７８ｆの形状であってもよい。

・流路部材９０の製造方法のステップＳ５０１からステップＳ５０５までの全てを作業者が行ってもよいし、製造作業を自動で行う自動機を用いて、制御部が行ってもよい。また、製造方法のステップの一部を作業者が行い、作業者が行うステップ以外のステップを制御部が行ってもよい。例えば、ステップＳ５０１、ステップＳ５０２、ステップＳ５０４、ステップＳ５０５を制御部が行ってもよい。更に、ステップＳ５０３を制御部が行ってもよい。

以下に、上述した実施形態及び変更例から把握される技術的思想及びその作用効果を記載する。
（Ａ）流路部材は、複数の弾性膜と、係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、を備える。

この構成によれば、枠部材のそれぞれの保持部が、可撓性を有する複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を保持した状態で、枠部材の係合部が流路形成部材の被係合部に係合されることによって、弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、枠部材を流路形成部材に仮固定することができる。そして、カバー部材が複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を流路形成部材に押し付けた状態で流路形成部材に固定される。複数の弾性膜を枠部材の保持部から外れない状態で枠部材を流路形成部材に仮固定した後に、流路形成部材とカバー部材とを固定できるため、複数の弾性膜を流路形成部材に容易に組み込むことができるとともに、流路部材の製造時におけるシール不良を抑制できる。

（Ｂ）液体吐出装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドに液体を供給する供給流路と、を備え、前記供給流路は、複数の弾性膜と、係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で前記流路形成部材に固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、を有する。

この構成によれば、枠部材のそれぞれの保持部が、可撓性を有する複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を保持した状態で、枠部材の係合部が流路形成部材の被係合部に係合されることによって、弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、枠部材を流路形成部材に仮固定することができる。そして、カバー部材が複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を流路形成部材に押し付けた状態で流路形成部材に固定される。複数の弾性膜を枠部材の保持部から外れない状態で枠部材を流路形成部材に仮固定した後に、流路形成部材とカバー部材とを固定できるため、複数の弾性膜を流路形成部材に容易に組み込むことができるとともに、流路部材の製造時におけるシール不良を抑制できる。

（Ｃ）上記液体吐出装置は、前記枠部材の前記係合部は、前記複数の保持部の間に設けられてもよい。
この構成によれば、枠部材の係合部が複数の保持部の間に設けられることによって、複数の弾性膜を、流路形成部材に対して正しい位置に仮固定することができるとともに、少ない係合部によって多くの弾性膜を流路形成部材に仮固定することができる。

（Ｄ）上記液体吐出装置は、前記枠部材は、複数の保持部が並ぶ方向における両端に位置決め被係合部を有し、前記位置決め被係合部が、前記流路形成部材に設けられる位置決め係合部に係合されることにより、前記枠部材および前記複数の弾性膜が前記流路形成部材に対して位置決めされてもよい。

この構成によれば、枠部材は、複数の保持部が並ぶ方向における両端に位置決め被係合部を有することで、それぞれの保持部に保持された複数の弾性膜を、流路形成部材に対して同時に位置決めすることができる。

（Ｅ）上記液体吐出装置は、前記保持部は、前記枠部材に周状に設けられる溝を含み、
前記弾性膜は、前記溝に挿入される周状の凸部を有してもよい。
この構成によれば、それぞれの弾性膜を枠部材に容易に組み込まれることができる。更に、カバー部材が、それぞれの弾性膜が有する凸部が設けられる面とは反対側の面を流路形成部材に押し付けることによって凸部が潰され、それぞれの弾性膜の周縁部が流路形成部材に対してシールされる。これにより、複数の弾性膜を流路形成部材に組み込んだ場合におけるシール不良を抑制できる。

（Ｆ）上記液体吐出装置は、前記カバー部材と前記弾性膜との間に設けられ、前記室の容積を小さくする方向に前記弾性膜を付勢する付勢部材を更に備えてもよい。
この構成によれば、複数の室を、所定の圧力の液体を貯留可能な複数のバッファー室として容易に設けることができる。カバー部材と弾性膜との間に付勢部材が設けられるときには、複数の弾性膜のそれぞれの周縁部が枠部材の保持部から外れないようにした状態で、枠部材が流路形成部材に仮固定されるため、付勢部材の付勢力によって、複数の弾性膜のそれぞれの周縁部が枠部材の保持部から外れる虞が少ない。そして、カバー部材が複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を流路形成部材に押し付けた状態で固定される。複数の弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、流路形成部材とカバー部材との間がシールされるため、複数の弾性膜を流路形成部材に組み込んで、複数のバッファー室を設ける場合にシール不良を抑制できる。

（Ｇ）上記液体吐出装置は、複数の前記枠部材に対して設けられる前記カバー部材の数は前記枠部材の数よりも少なくてもよい。
この構成によれば、複数の枠部材それぞれが流路形成部材に位置決めされ、その流路形成部材に対してカバー部材が位置決めされることによって、複数の枠部材とカバー部材とを位置決めすることができる。すなわち、枠部材の数よりも少ない数のカバー部材で複数の枠部材を位置決めすることができるとともに、カバー部材を流路形成部材に固定することができる。複数の室が有する弾性膜のそれぞれの周縁部の位置を、枠部材の数よりも少ない数のカバー部材で押し付けて固定しているため、複数の液体を吐出する液体吐出装置に使用する室を有する流路部材を小型化できる。

（Ｈ）流路部材の製造方法は、複数の弾性膜と、当該複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部および当該複数の保持部の間に設けられる係合部を有する枠部材と、当該枠部材の係合部が係合される被係合部を有する流路形成部材と、当該流路形成部材に固定されるカバー部材と、を備える流路部材の製造方法であって、前記枠部材に設けられる前記複数の保持部に前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持させることと、前記枠部材に設けられる前記係合部を前記流路形成部材の前記被係合部に係合させることで、前記複数の弾性膜を保持する前記枠部材を前記流路形成部材に仮固定することと、前記カバー部材で前記枠部材を介して前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で、前記カバー部材を前記流路形成部材に固定することと、を含む。

この構成によれば、枠部材のそれぞれの保持部が、可撓性を有する複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を保持した状態で、枠部材の係合部が流路形成部材の被係合部に係合されることによって、弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、枠部材を流路形成部材に仮固定することができる。そして、カバー部材が複数の弾性膜それぞれの周縁部を流路形成部材に押し付けた状態で流路形成部材に固定される。複数の弾性膜を枠部材の保持部から外れない状態で枠部材を流路形成部材に仮固定した後に、流路形成部材とカバー部材とを固定できるため、複数の弾性膜を流路形成部材に容易に組み込むことができるとともに、流路部材の製造時におけるシール不良を抑制できる。

（Ｉ）上記流路部材は、前記カバー部材と前記弾性膜との間に設けられ、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に形成される複数の室の容積を小さくする方向に複数の弾性膜を付勢する複数の付勢部材を更に備え、前記複数の弾性膜を保持する前記枠部材を前記流路形成部材に仮固定した後であり、前記カバー部材で前記枠部材を介して前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を前記流路形成部材に押し付ける前に、前記カバー部材と前記弾性膜との間に複数の前記付勢部材を設けること、を含んでもよい。

この構成によれば、枠部材のそれぞれの保持部が、可撓性を有する複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を保持した状態で、係合部が被係合部に係合されることによって、弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、枠部材を流路形成部材に仮固定することができる。そして、カバー部材と弾性膜との間に設けられ、流路形成部材と複数の弾性膜との間に形成される複数の室の容積を小さくする方向に複数の弾性膜を付勢する複数の付勢部材を更に備えたときも、カバー部材が、複数の弾性膜のそれぞれの周縁部を流路形成部材に押し付けた状態で固定される。複数の弾性膜の周縁部が枠部材の保持部から外れない状態で、流路形成部材とカバー部材との間がシールされるため、複数の弾性膜を流路形成部材に組み込んだ場合におけるシール不良を抑制できる。

１１…液体吐出装置、１２…プリンター部、１３…スキャナー部、１４…操作パネル、１５…表示部、１６…操作部、１７…スキャナー本体部、１８…原稿台カバー、１９…自動原稿給送部、１９Ａ…載置台、１９Ｂ…スタック部、２１…液体貯留部、２２…給送トレイ、２３…媒体収容部、２４…カバー、２５…カバー、２６…メンテナンス部、２７…供給流路、２７ａ…第１流路、２７ｂ…第２流路、２７ｃ…第３流路、２７ｄ…第４流路、２８…供給機構、２９…制御部、３０…ノズル形成面、３１…印刷機構部、３４…供給口、３７…ノズル、３８…液体吐出ヘッド、４１…供給チューブ、４２…ダイヤフラム、４３…ポンプ室、４４…負圧室、４５…第３付勢部材、４７…駆動源、４９…キャップ、５１…吸引部、７０…吸引側一方向弁、７１…送液部、７２…吐出側一方向弁、７３…バッファー、７８…流路形成部材、７８ａ…位置決め係合部、７８ｂ…位置決め係合部、７８ｃ…位置決め係合部、７８ｄ…室用凹部、７８ｅ…第１案内部、７８ｆ…被係合部、７８ｇ…フック、７８ｈ…位置決め係合部、７９…第１隙間、９０…流路部材、９２…弾性膜、９２ａ…閉鎖部、９２ｂ…凸部、９２ｃ…穴部、９２ｄ…シール凸部、９３…室、９４…変位部材、９４ａ…第１被案内部、９４ｂ…第２被案内部、９４ｃ…ばね受け部、９５…枠部材、９５ａ…溝、９５ｂ…係合部、９５ｃ…保持部、９５ｄ…位置決め被係合部、９５ｅ…位置決め被係合部、９６…第１付勢部材、９７…レバー部、９７ａ…レバー軸、９７ｂ…被検出部、９８…第２付勢部材、９９…変位検出部、１０１…カバー部材、１０１ａ…第２案内部、１０１ｂ…フック用穴、１０１ｃ…位置決め被係合部、１０１ｄ…固定部材用穴、１０２…固定部材、Ａ…変位方向、Ｐ…媒体。

Claims (9)

1. 複数の弾性膜と、
   係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と
   前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、
   前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、
   を備える流路部材。
2. 液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
   液体吐出ヘッドに液体を供給する供給流路と、を備え、
   前記供給流路は、
   複数の弾性膜と、
   係合部と、前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部と、を有する枠部材と
   前記係合部が係合される被係合部を有し、前記係合部が被係合部に係合されることにより前記複数の弾性膜が保持された前記枠部材を保持可能な流路形成部材と、
   前記枠部材を介して複数の弾性膜の周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で前記流路形成部材に固定されて、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に複数の室を形成するカバー部材と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
3. 前記枠部材の前記係合部は、前記複数の保持部の間に設けられることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記枠部材は、複数の保持部が並ぶ方向における両端に位置決め被係合部を有し、
   前記位置決め被係合部が、前記流路形成部材に設けられる位置決め係合部に係合されることにより、前記枠部材および前記複数の弾性膜が前記流路形成部材に対して位置決めされることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 前記保持部は、前記枠部材に周状に設けられる溝を含み、
   前記弾性膜は、前記溝に挿入される周状の凸部を有することを特徴とする請求項２から請求項４のうち何れか一項に記載の液体吐出装置。
6. 前記カバー部材と前記弾性膜との間に設けられ、前記室の容積を小さくする方向に前記弾性膜を付勢する付勢部材を更に備えることを特徴とする請求項２から請求項５のうち何れか一項に記載の液体吐出装置。
7. 複数の前記枠部材に対して設けられる前記カバー部材の数は前記枠部材の数よりも少ないことを特徴とする請求項２から請求項６のうち何れか一項に記載の液体吐出装置。
8. 複数の弾性膜と、当該複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持する複数の保持部および当該複数の保持部の間に設けられる係合部を有する枠部材と、当該枠部材の係合部が係合される被係合部を有する流路形成部材と、当該流路形成部材に固定されるカバー部材と、を備える流路部材の製造方法であって、
   前記枠部材に設けられる前記複数の保持部に前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を保持させることと、
   前記枠部材に設けられる前記係合部を前記流路形成部材の前記被係合部に係合させることで、前記複数の弾性膜を保持する前記枠部材を前記流路形成部材に仮固定することと、
   前記カバー部材で前記枠部材を介して前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を前記流路形成部材に押し付けた状態で、前記カバー部材を前記流路形成部材に固定することと、
   を含むことを特徴とする流路部材の製造方法。
9. 前記流路部材は、前記カバー部材と前記弾性膜との間に設けられ、前記流路形成部材と前記複数の弾性膜との間に形成される複数の室の容積を小さくする方向に複数の前記弾性膜を付勢する複数の付勢部材を更に備え、
   前記複数の弾性膜を保持する前記枠部材を前記流路形成部材に仮固定した後であり、前記カバー部材で前記枠部材を介して前記複数の弾性膜それぞれの周縁部を前記流路形成部材に押し付ける前に、前記カバー部材と前記弾性膜との間に複数の前記付勢部材を設けること、を含むことを特徴とする請求項８に記載の流路部材の製造方法。

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