JP2021084214A

JP2021084214A - Suction apparatus

Info

Publication number: JP2021084214A
Application number: JP2019217259A
Authority: JP
Inventors: 克洋輿石; Katsuhiro KOSHIISHI; 斉岩坂; Hitoshi Iwasaka
Original assignee: Harmotec Corp
Current assignee: Harmotec Corp
Priority date: 2019-11-29
Filing date: 2019-11-29
Publication date: 2021-06-03
Anticipated expiration: 2039-11-29
Also published as: JP7389464B2

Abstract

To more stably hold an object to be suctioned.SOLUTION: A suction apparatus 1 comprises: a main body 11; a lower end face 112 opposing an object to be suctioned; a recessed part 114; a spout port 117 formed on an inside surface 116; and a supply passage 118 that generates negative pressure by spouting fluid into the recessed part 114 through the spout port 117 to form a swirl flow. The suction apparatus 1 further comprises: an inflow port 119 formed on the inside surface 116 and formed at a position away from the object to be suctioned farther than the spout port 117; an exhaust passage 121 formed so that fluid flowing into the inflow port 119 is guided in a direction in which the fluid separates from the object to be suctioned and is then exhausted from an own apparatus; and a flange part 122.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、吸引装置に関する。 The present invention relates to a suction device.

従来、ベルヌーイ効果を利用して板状部材を搬送するための装置が利用されている。例えば、特許文献１には、板状の本体の中央に形成された貫通孔内で旋回流を形成することにより負圧を発生させて、被吸引物を吸引して搬送する旋回流形成体が記載されている。この旋回流形成体によれば、貫通孔から流出する流体が、被吸引物と対向する端面と反対側の端面の側から排出されるため、流出流体が被吸引物と衝突せず、被吸引物の振動が抑制される。 Conventionally, a device for transporting a plate-shaped member by utilizing the Bernoulli effect has been used. For example, Patent Document 1 describes a swirling flow forming body that generates a negative pressure by forming a swirling flow in a through hole formed in the center of a plate-shaped main body to suck and convey an object to be sucked. Are listed. According to this swirling flow forming body, the fluid flowing out from the through hole is discharged from the side of the end face opposite to the end face facing the object to be attracted, so that the outflow fluid does not collide with the object to be attracted and is attracted. The vibration of the object is suppressed.

特開２０１７−２１７７３３号公報JP-A-2017-217733

本発明は、上記の技術に鑑みてなされたものであり、被吸引物をより安定的に保持することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above techniques, and an object of the present invention is to hold an object to be sucked more stably.

上記の課題を解決するため、本発明に係る吸引装置は、本体と、前記本体に形成され、被吸引物と対向する端面と、前記端面に開口する孔と、前記孔に面する前記本体の内側面に形成された噴出口と、前記噴出口から前記孔内に流体を噴出させて旋回流を形成することにより負圧を発生させる供給路と、前記孔に面する位置あって、前記噴出口よりも前記被吸引物から離れた位置に形成される流入口と、前記流入口に流入した流体を前記被吸引物から離れる方向に案内して自装置から排出させるように形成される排出路と、前記内側面から突出するように形成され、前記負圧により吸引される流体を通しつつ、前記噴出口から噴出された流体が前記被吸引物に向かって流出することを阻害するフランジ部とを備え、前記内側面は、前記噴出口から噴出された流体を前記被吸引物から離れる方向に案内するように形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the suction device according to the present invention includes a main body, an end face formed on the main body and facing the object to be sucked, a hole opened in the end face, and the main body facing the hole. There are a spout formed on the inner surface, a supply path for generating a negative pressure by ejecting a fluid from the spout into the hole to form a swirling flow, and a position facing the hole. An inflow port formed at a position farther from the suctioned object than the outlet, and a discharge path formed so as to guide the fluid flowing into the inflow port in a direction away from the suctioned object and discharge it from the own device. And a flange portion that is formed so as to protrude from the inner side surface and prevents the fluid ejected from the ejection port from flowing out toward the object to be attracted while passing the fluid sucked by the negative pressure. The inner surface thereof is characterized in that the fluid ejected from the spout is formed so as to guide the fluid ejected from the spout in a direction away from the object to be sucked.

好ましい態様において、前記孔は、略円柱形状を有し、前記排出路は、前記孔の中心軸線に対して傾斜して延びるように形成されてもよい。 In a preferred embodiment, the hole may have a substantially cylindrical shape and the discharge path may be formed so as to extend at an angle with respect to the central axis of the hole.

さらに好ましい態様において、前記本体は、略円柱状であり、前記本体の外側面に形成された排出口であって、前記流入口よりも前記被吸引物から離れた位置に形成される排出口をさらに備え、前記排出路は、前記流入口と前記排出口を連通する略直線状の通路であってもよい。 In a more preferred embodiment, the main body is a substantially columnar shape, and the discharge port is formed on the outer surface of the main body and is formed at a position away from the suctioned object from the inflow port. Further provided, the discharge path may be a substantially linear passage connecting the inflow port and the discharge port.

さらに好ましい態様において、前記吸引装置は、前記外側面に、前記孔の中心軸線に垂直な方向に対して上側端面の側に傾斜して接続された筒部をさらに備え、前記筒部は、前記供給路に流体を供給する第２の供給路を備え、前記筒部は、流体を通す配管の一端が挿入され、前記配管は、前記吸引装置を使用する作業者によって把持されてもよい。 In a more preferred embodiment, the suction device further comprises a tubular portion connected to the outer surface so as to be inclined toward the upper end surface with respect to a direction perpendicular to the central axis of the hole. A second supply path for supplying the fluid to the supply path is provided, one end of a pipe through which the fluid is passed is inserted into the cylinder portion, and the pipe may be gripped by an operator using the suction device.

本発明によれば、被吸引物をより安定的に保持することができる。 According to the present invention, the object to be sucked can be held more stably.

吸引装置１の斜視図Perspective view of suction device 1 吸引装置１の平面図Top view of suction device 1 図２のＡ−Ａ線断面図FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA. 図２のＢ−Ｂ線断面図BB line sectional view of FIG. 図４のＣ部の拡大図Enlarged view of part C in FIG. 吸引装置２の斜視図Perspective view of suction device 2 吸引装置２の平面図Top view of suction device 2 吸引装置２の側面図Side view of suction device 2 図７のＤ−Ｄ線断面図FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line DD 図９のＥ部の拡大図Enlarged view of part E in FIG. 吸引装置３の斜視図Perspective view of the suction device 3 吸引装置３の平面図Top view of suction device 3 吸引装置３の側面図Side view of suction device 3 図１２のＦ−Ｆ線断面図FIG. 12 is a sectional view taken along line FF. 吸引装置１Ａの斜視図Perspective view of suction device 1A 吸引装置１Ａの平面図Top view of suction device 1A 図１６のＧ−Ｇ線断面図FIG. 16 is a sectional view taken along line GG. 吸引装置１Ｂの平面図Top view of suction device 1B 吸引装置１Ｃの平面図Top view of suction device 1C 吸引装置１Ｄの側面図Side view of suction device 1D 吸引装置１Ｅの側面図Side view of suction device 1E 吸引装置１Ｆの斜視図Perspective view of suction device 1F 吸引装置１Ｆの平面図Top view of suction device 1F 吸引装置１Ｆの側面図Side view of suction device 1F

１．第１実施形態
本発明の第１実施形態に係る吸引装置１について、図面を参照して説明する。図１は、吸引装置１の斜視図である。図２は、吸引装置１の平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。図５は、図４のＣ部の拡大図である。 1. 1. First Embodiment The suction device 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of the suction device 1. FIG. 2 is a plan view of the suction device 1. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. FIG. 5 is an enlarged view of a portion C in FIG.

これらの図に示す吸引装置１は、ベルヌーイ効果を利用して半導体ウェハや食品等の部材を吸引して搬送するための装置である。この吸引装置１は、本体１１と円筒部１３を備える。この本体１１と円筒部１３は一体に形成されている。 The suction device 1 shown in these figures is a device for sucking and transporting members such as semiconductor wafers and foods by utilizing the Bernoulli effect. The suction device 1 includes a main body 11 and a cylindrical portion 13. The main body 11 and the cylindrical portion 13 are integrally formed.

本体１１は、円柱形状を有し、上側端面１１１、下側端面１１２、外周面１１３、凹部１１４、天井面１１５、内周面１１６、２個の噴出口１１７、供給路１１８、２個の流入口１１９、２個の排出口１２０、２本の排出路１２１及びフランジ部１２２を備える。以下、各構成要素について説明する。 The main body 11 has a cylindrical shape, and has an upper end surface 111, a lower end surface 112, an outer peripheral surface 113, a recess 114, a ceiling surface 115, an inner peripheral surface 116, two spouts 117, a supply path 118, and two flows. It is provided with an inlet 119, two discharge ports 120, two discharge paths 121, and a flange portion 122. Hereinafter, each component will be described.

上側端面１１１は、平坦状の端面である。 The upper end face 111 is a flat end face.

下側端面１１２は、平坦状の端面であり、吸引装置１により吸引される被吸引物と対向する面である。 The lower end surface 112 is a flat end surface, which is a surface facing the object to be sucked by the suction device 1.

凹部１１４は、下側端面１１２に開口する略円柱形状の孔である。 The recess 114 is a substantially cylindrical hole that opens in the lower end surface 112.

天井面１１５は、凹部１１４に面する平坦状の面である。この天井面１１５は、略円形状を有する。 The ceiling surface 115 is a flat surface facing the recess 114. The ceiling surface 115 has a substantially circular shape.

内周面１１６は、凹部１１４に面し、テーパ状に形成された面である。この内周面１１６は、その下端から上端にかけて漸次拡径するように形成されており、そのため、噴出口１１７から噴出された流体を被吸引物から離れる方向に案内する。 The inner peripheral surface 116 faces the recess 114 and is formed in a tapered shape. The inner peripheral surface 116 is formed so as to gradually increase in diameter from the lower end to the upper end thereof, and therefore guides the fluid ejected from the ejection port 117 in a direction away from the object to be sucked.

２個の噴出口１１７は、内周面１１６の上下方向略中央に形成された孔である。これらの噴出口１１７は、平面視で、本体１１の中心Ｐ１に対して点対象となるように形成されている。 The two spouts 117 are holes formed substantially in the center of the inner peripheral surface 116 in the vertical direction. These spouts 117 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P1 of the main body 11 in a plan view.

供給路１１８は、本体１１内部に形成された通路であり、後述する円筒部１３の供給路１３２と噴出口１１７を連通する。この供給路１１８は、円筒部１３の供給路１３２を通して供給される流体を２個の噴出口１１７を介して凹部１１４内に供給する。この供給路１１８は、側面視で、本体１１内部の上下方向略中央に形成されており、円弧状通路１１８１と２本の直線状通路１１８２を備える。 The supply path 118 is a passage formed inside the main body 11 and communicates with the supply path 132 of the cylindrical portion 13 described later and the spout 117. The supply path 118 supplies the fluid supplied through the supply path 132 of the cylindrical portion 13 into the recess 114 via the two ejection ports 117. The supply path 118 is formed at substantially the center of the inside of the main body 11 in the vertical direction in a side view, and includes an arcuate passage 1181 and two linear passages 1182.

円弧状通路１１８１は、本体１１内を円弧状に延びる通路である。 The arc-shaped passage 1181 is a passage extending in an arc shape in the main body 11.

２本の直線状通路１１８２は、それぞれ、その一端が円弧状通路１１８１の端部と接続され、その他端が噴出口１１７と接続された通路である。これらの直線状通路１１８２は、平面視で、内周面１１６に対して接線方向に延びるように形成されている。また、平面視で、互いに略平行に延びるように形成されている。また、側面視で、本体１１（又は凹部１１４）の中心軸線Ｌ１に対して略垂直に延びるように形成されている。 Each of the two linear passages 1182 is a passage whose one end is connected to the end of the arcuate passage 1181 and the other end is connected to the spout 117. These linear passages 1182 are formed so as to extend in the tangential direction with respect to the inner peripheral surface 116 in a plan view. Further, it is formed so as to extend substantially parallel to each other in a plan view. Further, when viewed from the side, it is formed so as to extend substantially perpendicular to the central axis L1 of the main body 11 (or the recess 114).

これらの直線状通路１１８２は、２個の噴出口１１７から凹部１１４内に流体を噴出させる。噴出された流体はコアンダ効果により内周面１１６に沿って流れ、凹部１１４内において旋回流を形成する。形成された旋回流は凹部１１４の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により凹部１１４の中央部に負圧を発生させる。この負圧により、下側端面１１２に対向する被吸引物は本体１１側に吸引されることになる。 These linear passages 1182 eject fluid from the two spouts 117 into the recess 114. The ejected fluid flows along the inner peripheral surface 116 due to the Coanda effect, and forms a swirling flow in the recess 114. The formed swirling flow entrains the static fluid in the central portion of the concave portion 114 to generate a negative pressure in the central portion of the concave portion 114. Due to this negative pressure, the object to be attracted facing the lower end surface 112 is sucked toward the main body 11.

次に、２個の流入口１１９は、内周面１１６の上端に形成された孔である。これらの流入口１１９は、噴出口１１７よりも上側に形成されている（言い換えると、噴出口１１７よりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの流入口１１９は、平面視で、本体１１の中心Ｐ１に対して点対象となるように形成されている。 Next, the two inflow ports 119 are holes formed at the upper ends of the inner peripheral surface 116. These inflow ports 119 are formed above the spout 117 (in other words, are formed at a position farther from the suctioned object than the spout 117). Further, these inflow ports 119 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P1 of the main body 11 in a plan view.

２個の排出口１２０は、外周面１１３の上端側に形成された孔である。２個の排出口１２０は、側面視で、流入口１１９よりも上側に形成されている（言い換えると、流入口１１９よりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの排出口１２０は、平面視で、本体１１の中心Ｐ１に対して点対象となるように形成されている。 The two discharge ports 120 are holes formed on the upper end side of the outer peripheral surface 113. The two discharge ports 120 are formed above the inflow port 119 in a side view (in other words, are formed at a position farther from the suctioned object than the inflow port 119). Further, these discharge ports 120 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P1 of the main body 11 in a plan view.

２本の排出路１２１は、それぞれ、流入口１１９と排出口１２０を連通する直線状の通路である。２本の排出路１２１は、平面視で、一直線上に延びるように形成されている。また、平面視で、後述する円筒部１３の供給路１３２に対して略垂直に延びるように形成されている。また、側面視で、各排出路１２１の中心軸線Ｌ２が、本体１１の中心軸線Ｌ１に垂直な線Ｌ３に対して約１０度、上側に傾斜して延びるように形成されている。 The two discharge passages 121 are linear passages that communicate the inflow port 119 and the discharge port 120, respectively. The two discharge passages 121 are formed so as to extend in a straight line in a plan view. Further, in a plan view, the cylindrical portion 13 is formed so as to extend substantially perpendicular to the supply path 132 of the cylindrical portion 13. Further, in a side view, the central axis L2 of each discharge path 121 is formed so as to be inclined upward by about 10 degrees with respect to the line L3 perpendicular to the central axis L1 of the main body 11.

これらの排出路１２１は、凹部１１４内に供給された流体を吸引装置１の外部に排出する。その際、この２本の排出路１２１は上側に傾斜しているため、流体を上側に排出する（言い換えると、流体を被吸引物から離れる方向に排出する）。 These discharge passages 121 discharge the fluid supplied into the recess 114 to the outside of the suction device 1. At that time, since the two discharge passages 121 are inclined upward, the fluid is discharged upward (in other words, the fluid is discharged in a direction away from the object to be sucked).

フランジ部１２２は、内周面１１６の下側縁部から略垂直方向に突出するように形成された、平面視で環状の部材である。このフランジ部１２２は、図５に示すように、突出部１２２１、Ｕ字溝１２２２及び下側端面１２２３を備える。 The flange portion 122 is an annular member in a plan view formed so as to project in a substantially vertical direction from the lower edge portion of the inner peripheral surface 116. As shown in FIG. 5, the flange portion 122 includes a protruding portion 1221, a U-shaped groove 1222, and a lower end surface 1223.

突出部１２２１は、上方向に突出する環状の凸部である。 The protruding portion 1221 is an annular convex portion that protrudes upward.

Ｕ字溝１２２２は、突出部１２２１と内周面１１６の間に形成された環状の溝である。 The U-shaped groove 1222 is an annular groove formed between the protruding portion 1221 and the inner peripheral surface 116.

下側端面１２２３は、下側端面１１２と略面一となっている面である。 The lower end surface 1223 is a surface that is substantially flush with the lower end surface 112.

このフランジ部１２２は、凹部１１４内で発生する負圧により吸引される流体を通しつつ、噴出口１１７から噴出された流体が被吸引物に向かって凹部１１４から流出することを阻害する。 The flange portion 122 prevents the fluid ejected from the ejection port 117 from flowing out from the recess 114 toward the object to be attracted while passing the fluid sucked by the negative pressure generated in the recess 114.

次に、円筒部１３は、その一端が本体１１の外周面１１３に接続された管状の部材である。この円筒部１３は、側面視で、その中心軸線Ｌ４が、本体１１の中心軸線Ｌ１に垂直な線Ｌ５に対して約４５度、その一端から他端にかけて上側に傾斜させて接続されている。この円筒部１３は、供給口１３１と供給路１３２を備える。 Next, the cylindrical portion 13 is a tubular member whose one end is connected to the outer peripheral surface 113 of the main body 11. The cylindrical portion 13 is connected so that its central axis L4 is inclined upward from one end to the other end at about 45 degrees with respect to the line L5 perpendicular to the central axis L1 of the main body 11 in a side view. The cylindrical portion 13 includes a supply port 131 and a supply path 132.

供給口１３１は、円筒部１３の他端に開口する孔である。 The supply port 131 is a hole that opens at the other end of the cylindrical portion 13.

供給路１３２は、円筒部１３内に形成された直線状の通路であり、供給口１３１と供給路１１８を連通する。 The supply path 132 is a linear passage formed in the cylindrical portion 13 and communicates the supply port 131 with the supply path 118.

この円筒部１３の供給口１３１には、図示せぬ棒状の配管の一端が挿入されて固定される。この棒状の配管の他端は、図示せぬ流体供給ポンプから延びるチューブと接続される。この流体供給ポンプから供給される流体（例えば、圧縮空気等の気体や、純水や炭酸水等の液体）は、この棒状の配管を通して円筒部１３の供給路１３２に供給される。 One end of a rod-shaped pipe (not shown) is inserted into and fixed to the supply port 131 of the cylindrical portion 13. The other end of this rod-shaped pipe is connected to a tube extending from a fluid supply pump (not shown). The fluid supplied from the fluid supply pump (for example, a gas such as compressed air or a liquid such as pure water or carbonated water) is supplied to the supply path 132 of the cylindrical portion 13 through the rod-shaped pipe.

この棒状の配管は、吸引装置１を使用する作業者により把持される。そのため、この棒状の配管が挿入される円筒部１３は、作業者により把持される把持部材を本体１１に対して固定するための部材と言うことができる。 This rod-shaped pipe is gripped by an operator who uses the suction device 1. Therefore, the cylindrical portion 13 into which the rod-shaped pipe is inserted can be said to be a member for fixing the gripping member gripped by the operator to the main body 11.

以上説明した吸引装置１に対して流体供給ポンプから流体が供給されると、供給された流体は供給路１１８及び１３２を通って、噴出口１１７から凹部１１４内に噴出される。噴出された流体のうち、大部分の流体分子は、内周面１１６に沿って上昇する旋回流を形成し、その後、排出路１２１を通って吸引装置１の外部に排出される。その際、下側端面１１２に対向して被吸引物が存在すると、凹部１１４への外部流体の流入が制限された状態において、旋回流の遠心力と巻き込みにより旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、被吸引物は周囲の流体によって押圧されて下側端面１１２側に引き寄せられる。 When the fluid is supplied from the fluid supply pump to the suction device 1 described above, the supplied fluid is ejected from the ejection port 117 into the recess 114 through the supply passages 118 and 132. Of the ejected fluid, most of the fluid molecules form a swirling flow that rises along the inner peripheral surface 116, and then are discharged to the outside of the suction device 1 through the discharge path 121. At that time, if an object to be attracted is present facing the lower end surface 112, the inflow of the external fluid into the recess 114 is restricted, and the centrifugal force and entrainment of the swirling flow cause the per unit volume of the center of the swirling flow. The density of fluid molecules in the That is, a negative pressure is generated at the center of the swirling flow. As a result, the object to be sucked is pressed by the surrounding fluid and attracted to the lower end surface 112 side.

一方、凹部１１４内に噴出された流体のうち、一部の流体分子は、内周面１１６の案内に逆らって下降する旋回流を形成する。この旋回流を形成する流体分子は、凹部１１４から流出しようとするが、フランジ部１２２により流出が阻止される。流出が阻止された流体分子は、フランジ部１２２と接触することで減速し、最終的には上昇する旋回流に巻き込まれて、排出路１２１を通って吸引装置１の外部に排出される。 On the other hand, among the fluids ejected into the recess 114, some fluid molecules form a swirling flow that descends against the guidance of the inner peripheral surface 116. The fluid molecules forming this swirling flow try to flow out from the recess 114, but the outflow is blocked by the flange portion 122. The fluid molecules whose outflow is blocked decelerate when they come into contact with the flange portion 122, are finally caught in the rising swirling flow, and are discharged to the outside of the suction device 1 through the discharge path 121.

このように吸引装置１では、排出される流体の大部分が排出路１２１を通って上側に排出されるため、本体１１下側から排出される流体の量が、仮に存在するとしてもわずかとなる。そのため、排出流体と被吸引物が衝突して、被吸引物が振動したり回転したりしてしまうという現象が、流体を本体１１下側のみから排出させる場合と比較して抑制される。その結果、被吸引物のより安定的な保持が可能になる。 In this way, in the suction device 1, most of the fluid discharged is discharged upward through the discharge path 121, so that the amount of fluid discharged from the lower side of the main body 11 is small even if it exists. .. Therefore, the phenomenon that the discharged fluid collides with the suctioned object and the sucked object vibrates or rotates is suppressed as compared with the case where the fluid is discharged only from the lower side of the main body 11. As a result, more stable holding of the object to be sucked becomes possible.

また、この吸引装置１では、排出路１２１が上側に傾斜しているため、流体は上側に排出される。そのため、排出流体が被吸引物に干渉することを、排出路１２１を上側に傾斜させない場合と比較して抑制することができる。このことは特に、吸引装置１を複数並べて使用する場合に顕著である。各吸引装置１の排出路１２１を上側に傾斜させることで、吸引装置１から排出される流体が、隣接する他の吸引装置１により吸引される被吸引物に干渉することを抑制することができる。 Further, in the suction device 1, since the discharge path 121 is inclined upward, the fluid is discharged upward. Therefore, the interference of the discharged fluid with the object to be sucked can be suppressed as compared with the case where the discharge path 121 is not tilted upward. This is particularly remarkable when a plurality of suction devices 1 are used side by side. By inclining the discharge path 121 of each suction device 1 upward, it is possible to prevent the fluid discharged from the suction device 1 from interfering with the object to be sucked by another adjacent suction device 1. ..

また、この吸引装置１では、円筒部１３が本体１１に対して上側に傾斜させて接続されている。そのため、この円筒部１３に配管を挿入し、当該配管を把持して吸引装置１を使用する作業者にとって、被吸引物を見ながらの作業が行いやすい。 Further, in the suction device 1, the cylindrical portion 13 is connected so as to be inclined upward with respect to the main body 11. Therefore, for an operator who inserts a pipe into the cylindrical portion 13 and grips the pipe to use the suction device 1, it is easy to perform the work while looking at the object to be sucked.

２．第２実施形態
本発明の第２実施形態に係る吸引装置２について、図面を参照して説明する。以下に説明する吸引装置２は、本体内部に形成される供給路と排出路の構造が、上記の第１実施形態に係る吸引装置１と異なる。 2. Second Embodiment The suction device 2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The suction device 2 described below is different in the structure of the supply path and the discharge path formed inside the main body from the suction device 1 according to the first embodiment described above.

図６は、吸引装置２の斜視図である。図７は、吸引装置２の平面図である。図８は、吸引装置２の側面図である。図９は、図７のＤ−Ｄ線断面図である。図１０は、図９のＥ部の拡大図である。 FIG. 6 is a perspective view of the suction device 2. FIG. 7 is a plan view of the suction device 2. FIG. 8 is a side view of the suction device 2. FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. FIG. 10 is an enlarged view of part E in FIG.

これらの図に示す吸引装置２は、ベルヌーイ効果を利用して半導体ウェハや食品等の部材を吸引して搬送するための装置である。この吸引装置２は、本体２１と円筒部２３を備える。この本体２１と円筒部２３は一体に形成されている。 The suction device 2 shown in these figures is a device for sucking and transporting a member such as a semiconductor wafer or food by utilizing the Bernoulli effect. The suction device 2 includes a main body 21 and a cylindrical portion 23. The main body 21 and the cylindrical portion 23 are integrally formed.

本体２１は、円柱形状を有し、上側端面２１１、下側端面２１２、外周面２１３、凹部２１４、天井面２１５、内周面２１６、２個の噴出口２１７、供給路２１８、２個の流入口２１９、２個の排出口２２０、２本の排出路２２１及びフランジ部２２２を備える。以下、各構成要素について説明する。 The main body 21 has a cylindrical shape, and has an upper end surface 211, a lower end surface 212, an outer peripheral surface 213, a recess 214, a ceiling surface 215, an inner peripheral surface 216, two spouts 217, a supply path 218, and two flows. It is provided with an inlet 219, two discharge ports 220, two discharge paths 221 and a flange portion 222. Hereinafter, each component will be described.

上側端面２１１は、平坦状の端面である。 The upper end face 211 is a flat end face.

下側端面２１２は、平坦状の端面であり、吸引装置２により吸引される被吸引物と対向する面である。 The lower end surface 212 is a flat end surface and is a surface facing the object to be sucked by the suction device 2.

凹部２１４は、下側端面２１２に開口する略円柱形状の孔である。 The recess 214 is a substantially cylindrical hole that opens in the lower end surface 212.

天井面２１５は、凹部２１４に面する平坦状の面である。この天井面２１５は、略円形状を有する。 The ceiling surface 215 is a flat surface facing the recess 214. The ceiling surface 215 has a substantially circular shape.

内周面２１６は、凹部２１４に面し、テーパ状に形成された面である。この内周面２１６は、その下端から上端にかけて漸次拡径するように形成されており、そのため、噴出口２１７から噴出された流体を被吸引物から離れる方向に案内する。 The inner peripheral surface 216 faces the recess 214 and is formed in a tapered shape. The inner peripheral surface 216 is formed so as to gradually increase in diameter from the lower end to the upper end thereof, and therefore guides the fluid ejected from the ejection port 217 in a direction away from the object to be sucked.

２個の噴出口２１７は、内周面２１６の上下方向下側に形成された孔である。これらの噴出口１１７は、平面視で、本体２１の中心Ｐ２に対して点対象となるように形成されている。 The two spouts 217 are holes formed on the lower side in the vertical direction of the inner peripheral surface 216. These spouts 117 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P2 of the main body 21 in a plan view.

供給路２１８は、本体２１内部に形成された通路であり、後述する円筒部２３の供給路２３２と噴出口２１７を連通する。この供給路２１８は、円筒部２３の供給路２３２を通して供給される流体を２個の噴出口２１７を介して凹部２１４内に供給する。この供給路２１８は、側面視で、本体２１内部の上下方向下側に形成されており、円弧状通路２１８１と２本の直線状通路２１８２を備える。 The supply path 218 is a passage formed inside the main body 21, and communicates the supply path 232 of the cylindrical portion 23, which will be described later, with the spout 217. The supply path 218 supplies the fluid supplied through the supply path 232 of the cylindrical portion 23 into the recess 214 via the two ejection ports 217. The supply path 218 is formed on the lower side in the vertical direction inside the main body 21 in a side view, and includes an arcuate passage 2181 and two linear passages 2182.

円弧状通路２１８１は、本体２１内を円弧状に延びる通路である。 The arc-shaped passage 2181 is a passage extending in an arc shape in the main body 21.

２本の直線状通路２１８２は、それぞれ、その一端が円弧状通路２１８１の端部と接続され、その他端が噴出口２１７と接続された通路である。これらの直線状通路２１８２は、平面視で、内周面２１６に対して接線方向に延びるように形成されている。また、平面視で、互いに略平行に延びるように形成されている。また、側面視で、本体２１（又は凹部２１４）の中心軸線Ｌ６に対して傾斜して延びるように形成されている。より具体的には、各直線状通路２１８２の中心軸線Ｌ７が、本体２１の中心軸線Ｌ６に垂直な線Ｌ８に対して約１５度、その一端から他端にかけて上側に傾斜して延びるように形成されている。そのため、噴出口２１７から噴出された流体は被吸引物から離れる方向に流れる。 Each of the two linear passages 2182 is a passage whose one end is connected to the end of the arcuate passage 2181 and the other end is connected to the spout 217. These linear passages 2182 are formed so as to extend in the tangential direction with respect to the inner peripheral surface 216 in a plan view. Further, it is formed so as to extend substantially parallel to each other in a plan view. Further, in a side view, the main body 21 (or the recess 214) is formed so as to be inclined and extend with respect to the central axis L6. More specifically, the central axis L7 of each linear passage 2182 is formed so as to incline upward from one end to the other end at about 15 degrees with respect to the line L8 perpendicular to the central axis L6 of the main body 21. Has been done. Therefore, the fluid ejected from the ejection port 217 flows in the direction away from the object to be attracted.

これらの直線状通路２１８２は、２個の噴出口２１７から凹部２１４内に流体を噴出させる。噴出された流体はコアンダ効果により内周面２１６に沿って流れ、凹部２１４内において旋回流を形成する。形成された旋回流は凹部２１４の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により凹部２１４の中央部に負圧を発生させる。この負圧により、下側端面２１２に対向する被吸引物は本体２１側に吸引されることになる。 These linear passages 2182 eject fluid from the two spouts 217 into the recesses 214. The ejected fluid flows along the inner peripheral surface 216 due to the Coanda effect, and forms a swirling flow in the recess 214. The formed swirling flow entrains the static fluid in the central portion of the recess 214 to generate a negative pressure in the central portion of the recess 214. Due to this negative pressure, the object to be attracted facing the lower end surface 212 is attracted to the main body 21 side.

次に、２個の流入口２１９は、天井面２１５の端部に形成された孔である。これらの流入口２１９は、噴出口２１７よりも上側に形成されている（言い換えると、噴出口２１７よりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの流入口２１９は、平面視で、本体２１の中心Ｐ２に対して点対象となるように形成されている。 Next, the two inlets 219 are holes formed at the ends of the ceiling surface 215. These inflow ports 219 are formed above the spout 217 (in other words, are formed at a position farther from the suctioned object than the spout 217). Further, these inflow ports 219 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P2 of the main body 21 in a plan view.

２個の排出口２２０は、上側端面２１１の径方向外側に形成された孔である。２個の排出口２２０は、側面視で、流入口２１９よりも上側に形成されている（言い換えると、流入口２１９よりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの排出口２２０は、平面視で、本体２１の中心Ｐ２に対して点対象となるように形成されている。また、平面視で、流入口２１９と重ならないように形成されている。より具体的には、図７に示すように、本体２１の中心Ｐ２から排出口２２０に延びる線Ｌ９と、本体２１の中心Ｐ２から流入口２１９に延びる線Ｌ１０が、約３０度の角度をなすように形成されている。 The two discharge ports 220 are holes formed on the outer side in the radial direction of the upper end surface 211. The two discharge ports 220 are formed above the inflow port 219 in a side view (in other words, are formed at a position farther from the suctioned object than the inflow port 219). Further, these discharge ports 220 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P2 of the main body 21 in a plan view. Further, it is formed so as not to overlap with the inflow port 219 in a plan view. More specifically, as shown in FIG. 7, the line L9 extending from the center P2 of the main body 21 to the discharge port 220 and the line L10 extending from the center P2 of the main body 21 to the inflow port 219 form an angle of about 30 degrees. It is formed like this.

これらの排出路２２１は、それぞれ、流入口２１９と排出口２２０を連通する直線状の通路である。これらの排出路２２１は、側面視で、その中心軸線Ｌ１１が、本体２１の中心軸線Ｌ６に垂直な線Ｌ１２に対して約１５度、傾斜して延びるように形成されている。また、平面視で、凹部２１４内で形成される旋回流の回転方向Ｄ１に沿って、流入口２１９、排出口２２０の順に並ぶように、傾斜している。そのため、旋回流を形成する流体分子が、排出路２２１を通って吸引装置２の外部に排出されやすい。 These discharge passages 221 are linear passages that communicate the inflow port 219 and the discharge port 220, respectively. These discharge passages 221 are formed so that their central axis L11 extends at an inclination of about 15 degrees with respect to the line L12 perpendicular to the central axis L6 of the main body 21 in a side view. Further, in a plan view, the inflow port 219 and the discharge port 220 are inclined so as to be arranged in this order along the rotation direction D1 of the swirling flow formed in the recess 214. Therefore, the fluid molecules forming the swirling flow are likely to be discharged to the outside of the suction device 2 through the discharge path 221.

これらの排出路２２１は、凹部２１４内に供給された流体を吸引装置２の外部に排出する。その際、この２本の排出路２２１は、本体２１の天井面２１５から上側端面２１１にかけて形成されているため、流体を上側に排出する（言い換えると、流体を被吸引物から離れる方向に排出する）。 These discharge passages 221 discharge the fluid supplied into the recess 214 to the outside of the suction device 2. At that time, since the two discharge passages 221 are formed from the ceiling surface 215 of the main body 21 to the upper end surface 211, the fluid is discharged upward (in other words, the fluid is discharged in the direction away from the object to be sucked). ).

フランジ部２２２は、内周面２１６の下側縁部から略垂直方向に突出するように形成された、平面視で環状の部材である。このフランジ部２２２は、図１０に示すように、突出部２２２１、Ｕ字溝２２２２及び下側端面２２２３を備える。 The flange portion 222 is an annular member in a plan view formed so as to project in a substantially vertical direction from the lower edge portion of the inner peripheral surface 216. As shown in FIG. 10, the flange portion 222 includes a protruding portion 2221, a U-shaped groove 2222, and a lower end surface 2223.

突出部２２２１は、上方向に突出する環状の凸部である。 The protruding portion 2221 is an annular convex portion that protrudes upward.

Ｕ字溝２２２２は、突出部２２２１と内周面２１６の間に形成された環状の溝である。 The U-shaped groove 2222 is an annular groove formed between the protruding portion 2221 and the inner peripheral surface 216.

下側端面２２２３は、下側端面２１２と略面一となっている面である。 The lower end surface 2223 is a surface that is substantially flush with the lower end surface 212.

このフランジ部２２２は、凹部２１４内で発生する負圧により吸引される流体を通しつつ、噴出口２１７から噴出された流体が被吸引物に向かって凹部２１４から流出することを阻害する。 The flange portion 222 prevents the fluid ejected from the ejection port 217 from flowing out from the recess 214 toward the object to be attracted while passing the fluid sucked by the negative pressure generated in the recess 214.

次に、円筒部２３は、その一端が本体２１の外周面２１３に接続された管状の部材である。この円筒部２３は、側面視で、その中心軸線Ｌ１３が、本体２１の中心軸線Ｌ６に垂直な線Ｌ１４に対して約４５度、その一端から他端にかけて上側に傾斜させて接続されている。この円筒部２３は、供給口２３１と供給路２３２を備える。 Next, the cylindrical portion 23 is a tubular member whose one end is connected to the outer peripheral surface 213 of the main body 21. The cylindrical portion 23 is connected so that its central axis L13 is inclined upward from one end to the other end at about 45 degrees with respect to the line L14 perpendicular to the central axis L6 of the main body 21 in a side view. The cylindrical portion 23 includes a supply port 231 and a supply path 232.

供給口２３１は、円筒部２３の他端に開口する孔である。 The supply port 231 is a hole that opens at the other end of the cylindrical portion 23.

供給路２３２は、円筒部２３内に形成された直線状の通路であり、供給口２３１と供給路２１８を連通する。 The supply path 232 is a linear passage formed in the cylindrical portion 23, and communicates the supply port 231 and the supply path 218.

この円筒部２３の供給口２３１には、図示せぬ棒状の配管の一端が挿入されて固定される。この棒状の配管の他端は、図示せぬ流体供給ポンプから延びるチューブと接続される。この流体供給ポンプから供給される流体（例えば、圧縮空気等の気体や、純水や炭酸水等の液体）は、この棒状の配管を通して円筒部２３の供給路２３２に供給される。 One end of a rod-shaped pipe (not shown) is inserted into and fixed to the supply port 231 of the cylindrical portion 23. The other end of this rod-shaped pipe is connected to a tube extending from a fluid supply pump (not shown). The fluid supplied from the fluid supply pump (for example, a gas such as compressed air or a liquid such as pure water or carbonated water) is supplied to the supply path 232 of the cylindrical portion 23 through the rod-shaped pipe.

この棒状の配管は、吸引装置２を使用する作業者により把持される。そのため、この棒状の配管が挿入される円筒部２３は、作業者により把持される把持部材を本体２１に対して固定するための部材と言うことができる。 This rod-shaped pipe is gripped by an operator who uses the suction device 2. Therefore, the cylindrical portion 23 into which the rod-shaped pipe is inserted can be said to be a member for fixing the gripping member gripped by the operator to the main body 21.

以上説明した吸引装置２に対して流体供給ポンプから流体が供給されると、供給された流体は供給路２１８及び２３２を通って、噴出口２１７から凹部２１４内に噴出される。噴出された流体のうち、大部分の流体分子は、内周面２１６に沿って上昇する旋回流を形成し、その後、排出路２２１を通って吸引装置２の外部に排出される。その際、下側端面２１２に対向して被吸引物が存在すると、凹部２１４への外部流体の流入が制限された状態において、旋回流の遠心力と巻き込みにより旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、被吸引物は周囲の流体によって押圧されて下側端面２１２側に引き寄せられる。 When the fluid is supplied from the fluid supply pump to the suction device 2 described above, the supplied fluid is ejected from the ejection port 217 into the recess 214 through the supply passages 218 and 232. Of the ejected fluid, most of the fluid molecules form a swirling flow that rises along the inner peripheral surface 216, and then are discharged to the outside of the suction device 2 through the discharge path 221. At that time, if an object to be attracted is present facing the lower end surface 212, the inflow of the external fluid into the recess 214 is restricted, and the centrifugal force and entrainment of the swirling flow cause the per unit volume of the center of the swirling flow. The density of fluid molecules in the That is, a negative pressure is generated at the center of the swirling flow. As a result, the object to be sucked is pressed by the surrounding fluid and attracted to the lower end surface 212 side.

一方、凹部２１４内に噴出された流体のうち、一部の流体分子は、内周面２１６の案内に逆らって下降する旋回流を形成する。この旋回流を形成する流体分子は、凹部２１４から流出しようとするが、フランジ部２２２により流出が阻止される。流出が阻止された流体分子は、フランジ部２２２と接触することで減速し、最終的には上昇する旋回流に巻き込まれて、排出路２２１を通って吸引装置２の外部に排出される。 On the other hand, among the fluids ejected into the recess 214, some fluid molecules form a swirling flow that descends against the guidance of the inner peripheral surface 216. The fluid molecules forming this swirling flow try to flow out from the recess 214, but the outflow is blocked by the flange portion 222. The fluid molecules whose outflow is blocked decelerate when they come into contact with the flange portion 222, are finally caught in the rising swirling flow, and are discharged to the outside of the suction device 2 through the discharge path 221.

このように吸引装置２では、排出される流体の大部分が排出路２２１を通って上側に排出されるため、本体２１下側から排出される流体の量が、仮に存在するとしてもわずかとなる。そのため、排出流体と被吸引物が衝突して、被吸引物が振動したり回転したりしてしまうという現象が、流体を本体２１下側のみから排出させる場合と比較して抑制される。その結果、被吸引物のより安定的な保持が可能になる。 In this way, in the suction device 2, most of the fluid discharged is discharged upward through the discharge path 221. Therefore, the amount of fluid discharged from the lower side of the main body 21 is small even if it exists. .. Therefore, the phenomenon that the discharged fluid collides with the suctioned object and the sucked object vibrates or rotates is suppressed as compared with the case where the fluid is discharged only from the lower side of the main body 21. As a result, more stable holding of the object to be sucked becomes possible.

また、この吸引装置２では、排出路２２１が天井面２１５から上側端面２１１にかけて形成されているため、流体は上側に排出される。そのため、排出流体が被吸引物に干渉することを、排出路２２１を天井面２１５から上側端面２１１にかけて形成しない場合と比較して抑制することができる。このことは特に、吸引装置２を複数並べて使用する場合に顕著である。各吸引装置２の排出路２２１を天井面２１５から上側端面２１１にかけて形成することで、吸引装置２から排出される流体が、隣接する他の吸引装置２により吸引される被吸引物に干渉することを抑制することができる。 Further, in the suction device 2, since the discharge path 221 is formed from the ceiling surface 215 to the upper end surface 211, the fluid is discharged upward. Therefore, the interference of the discharged fluid with the suctioned object can be suppressed as compared with the case where the discharge path 221 is not formed from the ceiling surface 215 to the upper end surface 211. This is particularly remarkable when a plurality of suction devices 2 are used side by side. By forming the discharge path 221 of each suction device 2 from the ceiling surface 215 to the upper end surface 211, the fluid discharged from the suction device 2 interferes with the object to be sucked by another adjacent suction device 2. Can be suppressed.

また、この吸引装置２では、円筒部２３が本体２１に対して上側に傾斜させて接続されている。そのため、この円筒部２３に配管を挿入し、当該配管を把持して吸引装置２を使用する作業者にとって、被吸引物を見ながらの作業が行いやすい。
３．第３実施形態
本発明の第３実施形態に係る吸引装置３について、図面を参照して説明する。以下に説明する吸引装置３は、円筒部を備えず、排出路が本体とカバーの間に形成される点において、上記の第１実施形態に係る吸引装置１と異なる。 Further, in the suction device 2, the cylindrical portion 23 is connected so as to be inclined upward with respect to the main body 21. Therefore, for an operator who inserts a pipe into the cylindrical portion 23, grips the pipe, and uses the suction device 2, it is easy to perform the work while looking at the object to be sucked.
3. 3. Third Embodiment The suction device 3 according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The suction device 3 described below is different from the suction device 1 according to the first embodiment in that it does not have a cylindrical portion and a discharge path is formed between the main body and the cover.

図１１は、吸引装置３の斜視図である。図１２は、吸引装置３の平面図である。図１３は、吸引装置３の側面図である。図１４は、図１２のＦ−Ｆ線断面図である。 FIG. 11 is a perspective view of the suction device 3. FIG. 12 is a plan view of the suction device 3. FIG. 13 is a side view of the suction device 3. FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line FF of FIG.

これらの図に示す吸引装置３は、ベルヌーイ効果を利用して半導体ウェハや食品等の部材を吸引して搬送するための装置である。この吸引装置３は、本体３１とカバー３３を備える。カバー３３は本体３１に対して着脱可能なように取り付けられている。 The suction device 3 shown in these figures is a device for sucking and transporting a member such as a semiconductor wafer or food by utilizing the Bernoulli effect. The suction device 3 includes a main body 31 and a cover 33. The cover 33 is attached to the main body 31 so as to be removable.

本体３１は、円筒形状を有し、上側端面３１１、４本の突出部３１２、下側端面３１３、外周面３１４、貫通孔３１５、内周面３１６、２個の噴出口３１７、２個の供給口３１８、２本の供給路３１９及びフランジ部３２０を備える。以下、各構成要素について説明する。 The main body 31 has a cylindrical shape, and has an upper end surface 311, four protrusions 312, a lower end surface 313, an outer peripheral surface 314, a through hole 315, an inner peripheral surface 316, two spouts 317, and two supplies. It is provided with a port 318, two supply paths 319, and a flange portion 320. Hereinafter, each component will be described.

上側端面３１１は、平坦状の端面である。この上側端面３１１は、その内周から外周にかけて上方に傾斜するように形成されている。具体的には、本体３１（又は貫通孔３１５）の中心軸線Ｌ１５に垂直な線Ｌ１６に対して約１０度、上方に傾斜するように形成されている。 The upper end face 311 is a flat end face. The upper end surface 311 is formed so as to incline upward from the inner circumference to the outer circumference thereof. Specifically, it is formed so as to incline upward by about 10 degrees with respect to the line L16 perpendicular to the central axis L15 of the main body 31 (or through hole 315).

４本の突出部３１２は、それぞれ円柱形状を有し、上側端面３１１の外周に沿って、本体３１の中心軸線Ｌ１５に略平行に延びるように形成されている。これらの突出部３１２は、平面視で、等間隔に形成されている。 Each of the four projecting portions 312 has a cylindrical shape, and is formed so as to extend substantially parallel to the central axis L15 of the main body 31 along the outer circumference of the upper end surface 311. These protrusions 312 are formed at equal intervals in a plan view.

下側端面３１３は、平坦状の端面であり、吸引装置３により吸引される被吸引物と対向する面である。 The lower end surface 313 is a flat end surface, which is a surface facing the object to be sucked by the suction device 3.

貫通孔３１５は、上側端面３１１と下側端面３１３に開口する略円柱形状の孔である。 The through hole 315 is a substantially cylindrical hole that opens in the upper end surface 311 and the lower end surface 313.

内周面３１６は、貫通孔３１５に面し、テーパ状に形成された面である。この内周面３１６は、その下端から上端にかけて漸次拡径するように形成されており、そのため、噴出口３１７から噴出された流体を被吸引物から離れる方向に案内する。 The inner peripheral surface 316 faces the through hole 315 and is formed in a tapered shape. The inner peripheral surface 316 is formed so as to gradually increase in diameter from the lower end to the upper end thereof, and therefore guides the fluid ejected from the ejection port 317 in a direction away from the object to be sucked.

２個の噴出口３１７は、内周面３１６の上下方向下側に形成された孔である。これらの噴出口３１７は、平面視で、本体３１の中心Ｐ３に対して点対象となるように形成されている。 The two spouts 317 are holes formed on the lower side of the inner peripheral surface 316 in the vertical direction. These spouts 317 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P3 of the main body 31 in a plan view.

２個の供給口３１８は、外周面３１４の上下方向下側に形成された孔である。これらの供給口３１８は、平面視で、本体３１の中心Ｐ３に対して点対象となるように形成されている。各供給口３１８には、図示せぬ流体供給ポンプから延びるチューブが接続される。この流体供給ポンプからは、流体（例えば、圧縮空気等の気体や、純水や炭酸水等の液体）が供給される。 The two supply ports 318 are holes formed on the lower side in the vertical direction of the outer peripheral surface 314. These supply ports 318 are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P3 of the main body 31 in a plan view. A tube extending from a fluid supply pump (not shown) is connected to each supply port 318. A fluid (for example, a gas such as compressed air or a liquid such as pure water or carbonated water) is supplied from this fluid supply pump.

２本の供給路３１９は、本体３１内部に形成された直線状の通路であり、それぞれ供給口３１８と噴出口３１７を連通する。これらの供給路３１９は、供給口３１８を通して供給される流体を、噴出口３１７を介して貫通孔３１５内に供給する。これらの供給路３１９は、平面視で、内周面３１６に対して接線方向に延びるように形成されている。また、平面視で、互いに略平行に延びるように形成されている。また、側面視で、本体３１内部の上下方向下側に形成されている。 The two supply passages 319 are linear passages formed inside the main body 31, and communicate the supply port 318 and the spout 317, respectively. These supply paths 319 supply the fluid supplied through the supply port 318 into the through hole 315 via the ejection port 317. These supply paths 319 are formed so as to extend in the tangential direction with respect to the inner peripheral surface 316 in a plan view. Further, it is formed so as to extend substantially parallel to each other in a plan view. Further, when viewed from the side, it is formed on the lower side in the vertical direction inside the main body 31.

これらの供給路３１９は、２個の噴出口３１７から貫通孔３１５内に流体を噴出させる。噴出された流体はコアンダ効果により内周面３１６に沿って流れ、貫通孔３１５内において旋回流を形成する。形成された旋回流は貫通孔３１５の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により貫通孔３１５の中央部に負圧を発生させる。この負圧により、下側端面３１３に対向する被吸引物は本体３１側に吸引されることになる。 These supply paths 319 eject fluid from the two spouts 317 into the through holes 315. The ejected fluid flows along the inner peripheral surface 316 due to the Coanda effect, and forms a swirling flow in the through hole 315. The formed swirling flow entrains the static fluid in the central portion of the through hole 315 to generate a negative pressure in the central portion of the through hole 315. Due to this negative pressure, the object to be attracted facing the lower end surface 313 is attracted to the main body 31 side.

フランジ部３２０は、内周面３１６の下側縁部から略垂直方向に突出するように形成された、平面視で環状の部材である。このフランジ部３２０は、貫通孔３１５内で発生する負圧により吸引される流体を通しつつ、噴出口３１７から噴出された流体が被吸引物に向かって貫通孔３１５から流出することを阻害する。 The flange portion 320 is an annular member in a plan view formed so as to project in a substantially vertical direction from the lower edge portion of the inner peripheral surface 316. The flange portion 320 prevents the fluid ejected from the ejection port 317 from flowing out from the through hole 315 toward the object to be attracted while passing the fluid sucked by the negative pressure generated in the through hole 315.

次に、カバー３３は、円板形状を有し、その直径は、上側端面３１１の外径と略同一である。このカバー３３は、その外周に沿って等間隔に４個の丸穴３３１を有する。また、このカバー３３の下面は角面取りされている。面取り角は約１０度である。 Next, the cover 33 has a disk shape, and its diameter is substantially the same as the outer diameter of the upper end surface 311. The cover 33 has four round holes 331 at equal intervals along its outer circumference. The lower surface of the cover 33 is chamfered. The chamfer angle is about 10 degrees.

このカバー３３は、その丸穴３３１に、本体３１の突出部３１２が挿通されることで、本体３１に取り付けられている。このカバー３３は、その丸穴３３１に突出部３１２が挿通されているため、本体３１の径方向への移動は規制されるが、上下方向への移動は規制されない。そのため、カバー３３は、貫通孔３１５内に噴出された流体に押圧されることで、上方向に移動可能となっている。 The cover 33 is attached to the main body 31 by inserting the protruding portion 312 of the main body 31 into the round hole 331. Since the protrusion 312 is inserted through the round hole 331 of the cover 33, the movement of the main body 31 in the radial direction is restricted, but the movement in the vertical direction is not restricted. Therefore, the cover 33 can move upward by being pressed by the fluid ejected into the through hole 315.

このカバー３３が上方向に移動することで、このカバー３３の下面と、本体３１の上側端面３１１の内縁の間に、環状の流入口３４１が形成される。この流入口３４１は、噴出口３１７よりも上側に形成される（言い換えると、噴出口３１７よりも被吸引物から離れた位置に形成される）。 By moving the cover 33 upward, an annular inflow port 341 is formed between the lower surface of the cover 33 and the inner edge of the upper end surface 311 of the main body 31. The inflow port 341 is formed above the spout 317 (in other words, is formed at a position farther from the suctioned object than the spout 317).

また、このカバー３３が上方向に移動することで、このカバー３３の下面と、本体３１の上側端面３１１の外縁の間に、環状の排出口３４２が形成される。この排出口３４２は、流入口３４１よりも上側に形成される（言い換えると、流入口３４１よりも被吸引物から離れた位置に形成される）。 Further, when the cover 33 moves upward, an annular discharge port 342 is formed between the lower surface of the cover 33 and the outer edge of the upper end surface 311 of the main body 31. The discharge port 342 is formed above the inflow port 341 (in other words, is formed at a position away from the suctioned object than the inflow port 341).

また、このカバー３３が上方向に移動することで、流入口３４１と排出口３４２を連通する直線状の排出路３４３が形成される。この排出路３４３は、側面視で、本体３１の中心軸線Ｌ１５に垂直な線Ｌ１６に対して約１０度、上側に傾斜して延びるように形成される。この排出路３４３は、貫通孔３１５内に供給された流体を吸引装置３の外部に排出する。その際、この排出路３４３は上側に傾斜しているため、流体を上側に排出する（言い換えると、流体を被吸引物から離れる方向に排出する）。 Further, when the cover 33 moves upward, a linear discharge path 343 that communicates the inflow port 341 and the discharge port 342 is formed. The discharge path 343 is formed so as to be inclined upward by about 10 degrees with respect to the line L16 perpendicular to the central axis L15 of the main body 31 in a side view. The discharge path 343 discharges the fluid supplied into the through hole 315 to the outside of the suction device 3. At that time, since the discharge path 343 is inclined upward, the fluid is discharged upward (in other words, the fluid is discharged in a direction away from the object to be sucked).

以上説明した吸引装置３に対して流体供給ポンプから流体が供給されると、供給された流体は供給路３１９を通って、噴出口３１７から貫通孔３１５内に噴出される。噴出された流体のうち、大部分の流体分子は、内周面３１６に沿って上昇する旋回流を形成し、その後、上側端面３１１とカバー３３の間に形成される排出路３４３を通って吸引装置３の外部に排出される。その際、下側端面３１３に対向して被吸引物が存在すると、貫通孔３１５への外部流体の流入が制限された状態において、旋回流の遠心力と巻き込みにより旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、被吸引物は周囲の流体によって押圧されて下側端面３１３側に引き寄せられる。 When the fluid is supplied from the fluid supply pump to the suction device 3 described above, the supplied fluid is ejected from the ejection port 317 into the through hole 315 through the supply path 319. Of the ejected fluid, most of the fluid molecules form a swirling flow that rises along the inner peripheral surface 316 and then suck through the discharge path 343 formed between the upper end surface 311 and the cover 33. It is discharged to the outside of the device 3. At that time, if an object to be attracted is present facing the lower end surface 313, the unit volume of the central portion of the swirling flow is caused by the centrifugal force and entrainment of the swirling flow in a state where the inflow of the external fluid into the through hole 315 is restricted. The density of fluid molecules per area becomes smaller. That is, a negative pressure is generated at the center of the swirling flow. As a result, the object to be sucked is pressed by the surrounding fluid and attracted to the lower end surface 313 side.

一方、貫通孔３１５内に噴出された流体のうち、一部の流体分子は、内周面３１６の案内に逆らって下降する旋回流を形成する。この旋回流を形成する流体分子は、貫通孔３１５から流出しようとするが、フランジ部３２０により流出が阻止される。流出が阻止された流体分子は、フランジ部３２０と接触することで減速し、最終的には上昇する旋回流に巻き込まれて、排出路３４３を通って吸引装置３の外部に排出される。 On the other hand, among the fluids ejected into the through hole 315, some fluid molecules form a swirling flow that descends against the guidance of the inner peripheral surface 316. The fluid molecules forming this swirling flow try to flow out from the through hole 315, but the outflow is blocked by the flange portion 320. The fluid molecules whose outflow is blocked decelerate when they come into contact with the flange portion 320, are finally caught in the rising swirling flow, and are discharged to the outside of the suction device 3 through the discharge path 343.

このように吸引装置３では、排出される流体の大部分が排出路３４３を通って上側に排出されるため、本体３１下側から排出される流体の量が、仮に存在するとしてもわずかとなる。そのため、排出流体と被吸引物が衝突して、被吸引物が振動したり回転したりしてしまうという現象が、流体を本体３１下側のみから排出させる場合と比較して抑制される。その結果、被吸引物のより安定的な保持が可能になる。 In this way, in the suction device 3, most of the fluid discharged is discharged upward through the discharge path 343, so that the amount of fluid discharged from the lower side of the main body 31 is small even if it exists. .. Therefore, the phenomenon that the discharged fluid collides with the suctioned object and the sucked object vibrates or rotates is suppressed as compared with the case where the fluid is discharged only from the lower side of the main body 31. As a result, more stable holding of the object to be sucked becomes possible.

また、この吸引装置３では、排出路３４３が上側に傾斜しているため、流体は上側に排出される。そのため、排出流体が被吸引物に干渉することを、排出路３４３を上側に傾斜させない場合と比較して抑制することができる。このことは特に、吸引装置３を複数並べて使用する場合に顕著である。各吸引装置３の排出路３４３を上側に傾斜させることで、吸引装置３から排出される流体が、隣接する他の吸引装置３により吸引される被吸引物に干渉することを抑制することができる。 Further, in the suction device 3, since the discharge path 343 is inclined upward, the fluid is discharged upward. Therefore, the interference of the discharged fluid with the object to be sucked can be suppressed as compared with the case where the discharge path 343 is not inclined upward. This is particularly remarkable when a plurality of suction devices 3 are used side by side. By inclining the discharge path 343 of each suction device 3 upward, it is possible to prevent the fluid discharged from the suction device 3 from interfering with the object to be sucked by another adjacent suction device 3. ..

４．変形例
上記の実施形態は下記のように変形してもよい。なお、下記の変形例は互いに組み合わせてもよい。 4. Modification Example The above embodiment may be modified as follows. The following modifications may be combined with each other.

４−１．変形例１
第１実施形態に係る吸引装置１において、排出路１２１の配置を変更してもよい。図１５は、排出路１２１に代えて排出路１２１Ａを備える吸引装置１Ａの斜視図である。図１６は、吸引装置１Ａの平面図である。図１７は、図１６のＧ−Ｇ線断面図である。 4-1. Modification 1
In the suction device 1 according to the first embodiment, the arrangement of the discharge passage 121 may be changed. FIG. 15 is a perspective view of the suction device 1A provided with the discharge path 121A instead of the discharge path 121. FIG. 16 is a plan view of the suction device 1A. FIG. 17 is a sectional view taken along line GG of FIG.

これらの図に示す吸引装置１Ａは、２個の流入口１１９に代えて２個の流入口１１９Ａを備える。これらの流入口１１９Ａは、内周面１１６の上端に形成された孔であり、噴出口１１７よりも上側に形成されている（言い換えると、噴出口１１７よりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの流入口１１９Ａは、平面視で、本体１１の中心Ｐ１に対して点対象となるように形成されている。 The suction device 1A shown in these figures includes two inlets 119A instead of the two inlets 119. These inflow ports 119A are holes formed at the upper end of the inner peripheral surface 116, and are formed above the spout 117 (in other words, formed at a position farther from the suctioned object than the spout 117. Has been). Further, these inflow ports 119A are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P1 of the main body 11 in a plan view.

また、吸引装置１Ａは、２個の排出口１２０に代えて２個の排出口１２０Ａを備える。これらの排出口１２０Ａは、外周面１１３の上端側に形成された孔であり、側面視で、流入口１１９Ａよりも上側に形成されている（言い換えると、流入口１１９Ａよりも被吸引物から離れた位置に形成されている）。また、これらの排出口１２０Ａは、平面視で、本体１１の中心Ｐ１に対して点対象となるように形成されている。 Further, the suction device 1A includes two discharge ports 120A instead of the two discharge ports 120. These discharge ports 120A are holes formed on the upper end side of the outer peripheral surface 113, and are formed above the inflow port 119A in a side view (in other words, are separated from the suctioned object by the inflow port 119A). It is formed in the same position). Further, these discharge ports 120A are formed so as to be point-symmetrical with respect to the center P1 of the main body 11 in a plan view.

また、吸引装置１Ａは、２本の排出路１２１に代えて２本の排出路１２１Ａを備える。これらの排出路１２１Ａは、それぞれ、流入口１１９Ａと排出口１２０Ａを連通する直線状の通路である。これらの排出路１２１Ａは、平面視で、内周面１１６に対して接線方向に延びるように形成されている。また、平面視で、本体１１の中心Ｐ１周りに回転移動させたときに、排出路１２１Ａの中心軸（図示略）が、供給路１３２の中心軸（図示略）と重ならないように形成されている。そのため、凹部１１４内に噴出されて内周面１１６に沿って回転する流体が、排出路１２１Ａを通って吸引装置１Ａの外部に排出されやすい。
また、これらの排出路１２１Ａは、平面視で、互いに略平行に延びるように形成されている。 Further, the suction device 1A includes two discharge paths 121A instead of the two discharge paths 121. These discharge passages 121A are linear passages that communicate the inflow port 119A and the discharge port 120A, respectively. These discharge paths 121A are formed so as to extend in the tangential direction with respect to the inner peripheral surface 116 in a plan view. Further, in a plan view, the central axis (not shown) of the discharge path 121A is formed so as not to overlap with the central axis (not shown) of the supply path 132 when the main body 11 is rotationally moved around the center P1. There is. Therefore, the fluid ejected into the recess 114 and rotating along the inner peripheral surface 116 is likely to be discharged to the outside of the suction device 1A through the discharge path 121A.
Further, these discharge passages 121A are formed so as to extend substantially parallel to each other in a plan view.

また、これらの排出路１２１Ａは、側面視で、その中心軸線Ｌ１７が、本体１１の中心軸線Ｌ１に垂直な線Ｌ１８に対して約１０度、流入口１１９Ａから排出口１２０Ａにかけて上側に傾斜して延びるように形成されている。そのため、流体を上側に排出する（言い換えると、流体を被吸引物から離れる方向に排出する）。 Further, in a side view, the central axis L17 of these discharge paths 121A is inclined upward by about 10 degrees with respect to the line L18 perpendicular to the central axis L1 of the main body 11 from the inflow port 119A to the discharge port 120A. It is formed to extend. Therefore, the fluid is discharged upward (in other words, the fluid is discharged in a direction away from the object to be sucked).

なお、図１６に示す平面図では、２本の排出路１２１Ａは、円筒部１３の供給路１３２に対して略平行に延びるように形成されているが、これに代えて、図１８に示す排出路１２１Ｂのように、供給路１３２に対して傾斜して延びるように形成してもよい。また別の例として、図１９に示す排出路１２１Ｃのように、供給路１３２に対して略垂直に延びるように形成してもよい。 In the plan view shown in FIG. 16, the two discharge passages 121A are formed so as to extend substantially parallel to the supply passage 132 of the cylindrical portion 13, but instead of this, the discharge passages shown in FIG. 18 are discharged. Like the road 121B, it may be formed so as to extend at an angle with respect to the supply road 132. As another example, it may be formed so as to extend substantially perpendicular to the supply path 132 as in the discharge path 121C shown in FIG.

４−２．変形例２
第１実施形態に係る吸引装置１において、円筒部１３の傾きを変更してもよい。図２０は、円筒部１３に代えて円筒部１３Ａを備える吸引装置１Ｄの側面図である。同図に示す吸引装置１Ｄが備える円筒部１３Ａは、側面視で、本体１１の中心軸線Ｌ１に略平行に延びるように上側端面１１１に接続されている。この円筒部１３Ａは、この傾きという点においてのみ、第１実施形態に係る円筒部１３と異なる。 4-2. Modification 2
In the suction device 1 according to the first embodiment, the inclination of the cylindrical portion 13 may be changed. FIG. 20 is a side view of the suction device 1D including the cylindrical portion 13A instead of the cylindrical portion 13. The cylindrical portion 13A included in the suction device 1D shown in the figure is connected to the upper end surface 111 so as to extend substantially parallel to the central axis L1 of the main body 11 in a side view. The cylindrical portion 13A is different from the cylindrical portion 13 according to the first embodiment only in this inclination.

図２１は、円筒部１３に代えて円筒部１３Ｂを備える吸引装置１Ｅの側面図である。同図に示す吸引装置１Ｅが備える円筒部１３Ｂは、側面視で、本体１１の中心軸線Ｌ１に略垂直に延びるように外周面１１３に接続されている。この円筒部１３Ｂは、この傾きという点においてのみ、第１実施形態に係る円筒部１３と異なる。 FIG. 21 is a side view of the suction device 1E including the cylindrical portion 13B instead of the cylindrical portion 13. The cylindrical portion 13B included in the suction device 1E shown in the figure is connected to the outer peripheral surface 113 so as to extend substantially perpendicular to the central axis L1 of the main body 11 in a side view. The cylindrical portion 13B is different from the cylindrical portion 13 according to the first embodiment only in this inclination.

４−３．変形例３
第１実施形態に係る吸引装置１に、３つの脚部１４を備えさせ、吸引装置１を作業台に載置したときに、円筒部１３に挿入される配管の重みで倒れないようにしてもよい。図２２は、この３つの脚部１４を備える吸引装置１Ｆの斜視図である。図２３は、吸引装置１Ｄの平面図である。図２４は、吸引装置１Ｆの側面図である。 4-3. Modification 3
Even if the suction device 1 according to the first embodiment is provided with three legs 14 so that the suction device 1 does not fall under the weight of the pipe inserted into the cylindrical portion 13 when the suction device 1 is placed on the work table. Good. FIG. 22 is a perspective view of the suction device 1F including the three legs 14. FIG. 23 is a plan view of the suction device 1D. FIG. 24 is a side view of the suction device 1F.

これらの図に示す吸引装置１Ｆが備える３つの脚部１４は、それぞれ本体１１の外周面１１３の下側縁部から略垂直方向に突出するように形成されている。これらの脚部１４は、平面視で、等間隔に形成されている。 The three leg portions 14 included in the suction device 1F shown in these figures are formed so as to project substantially vertically from the lower edge portion of the outer peripheral surface 113 of the main body 11, respectively. These legs 14 are formed at equal intervals in a plan view.

４−４．変形例４
本体１１、２１又は３１の外周形状は円形に限られず、楕円形や多角形であってもよい。 4-4. Modification 4
The outer peripheral shape of the main body 11, 21 or 31 is not limited to a circular shape, and may be an elliptical shape or a polygonal shape.

４−５．変形例５
内周面１１６、２１６又は３１６につけるテーパは線形テーパに限られず、放物線テーパや指数関数テーパであってもよい。 4-5. Modification 5
The taper attached to the inner peripheral surface 116, 216 or 316 is not limited to the linear taper, and may be a parabolic taper or an exponential taper.

４−６．変形例６
噴出口１１７、２１７又は３１７の数は２個に限られず、１個でも３個以上でもよい。また、噴出口１１７、２１７又は３１７の上下方向の位置は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内において適宜変更されてもよい。 4-6. Modification 6
The number of spouts 117, 217 or 317 is not limited to two, and may be one or three or more. Further, the vertical positions of the spouts 117, 217 or 317 may be appropriately changed within the scope of the invention described in the claims.

４−７．変形例７
供給路１１８、２１８又は３１９の数、構造及び配置は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内において適宜変更されてもよい。 4-7. Modification 7
The number, structure and arrangement of supply channels 118, 218 or 319 may be appropriately modified within the scope of the invention described in the claims.

４−８．変形例８
排出路１２１、２２１又は３４３の数、構造及び配置は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内において適宜変更されてもよい。例えば、排出路１２１、２２１又は３４３に、テーパをつけてもよい。 4-8. Modification 8
The number, structure and arrangement of the discharge channels 121, 221 or 343 may be appropriately changed within the scope of the invention described in the claims. For example, the discharge passages 121, 221 or 343 may be tapered.

４−９．変形例９
フランジ部１２２、２２２又は３２０の形状及び上下方向の位置は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内において適宜変更されてもよい（例えば、特開２０１９−１８６４１９号公報参照）。 4-9. Modification 9
The shape and vertical position of the flange portions 122, 222 or 320 may be appropriately changed within the scope of the invention described in the claims (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-186419).

４−１０．変形例１０
円筒部１３又は２３の数及び形状は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内において適宜変更されてもよい。
また、吸引装置１又は２において円筒部１３又は２３を省略し、吸引装置３に円筒部を備えさせてもよい。 4-10. Modification 10
The number and shape of the cylindrical portions 13 or 23 may be appropriately changed within the scope of the invention described in the claims.
Further, the cylindrical portion 13 or 23 may be omitted in the suction device 1 or 2, and the suction device 3 may be provided with the cylindrical portion.

４−１１．変形例１１
カバー３３の形状は円形に限られず、楕円形や多角形であってもよい。 4-11. Modification 11
The shape of the cover 33 is not limited to a circle, and may be an ellipse or a polygon.

４−１２．変形例１２
吸引装置３に、当該装置から排出される流体に含まれるゴミを収容するためのダストビンを取り付けてもよい（例えば、特開２０１７−３５３５０号公報の図４参照）。 4-12. Modification 12
A dust bin for accommodating dust contained in the fluid discharged from the suction device 3 may be attached to the suction device 3 (see, for example, FIG. 4 of JP-A-2017-35350).

４−１３．変形例１３
吸引装置２に、当該装置から排出される流体の量を調整するためのカバーや弁を取り付けてもよい（例えば、特開２０１７−２１７７３３号公報の図１５及び図１６参照）。 4-13. Modification 13
A cover or valve for adjusting the amount of fluid discharged from the suction device 2 may be attached to the suction device 2 (see, for example, FIGS. 15 and 16 of JP-A-2017-217733).

４−１４．変形例１４
吸引装置３において、本体３１の突出部３１２の各々に環状のスペーサを取り付け、その上で本体３１にカバー３３を取り付けるようにしてもよい。その際、スペーサとして、コイルばねやＯリング等の弾性部材を取り付けることで、揺動するカバー３３が本体３１と接触することで生じるノイズを軽減するようにしてもよい。 4-14. Modification 14
In the suction device 3, an annular spacer may be attached to each of the protruding portions 312 of the main body 31, and the cover 33 may be attached to the main body 31 on the annular spacer. At that time, by attaching an elastic member such as a coil spring or an O-ring as a spacer, the noise generated when the swinging cover 33 comes into contact with the main body 31 may be reduced.

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、２、３…吸引装置、１１、２１…本体、１３、１３Ａ、１３Ｂ、２３…円筒部、１４…脚部、３３…カバー、１１１、２１１、３１１…上側端面、１１２、２１２、３１３…下側端面、１１３、２１３、３１４…外周面、１１４、２１４…凹部、１１５、２１５…天井面、１１６、２１６、３１６…内周面、１１７、２１７、３１７…噴出口、１１８、２１８…供給路、１１９、１１９Ａ、２１９、３４１…流入口、１２０、１２０Ａ、２２０、３４２…排出口、１２１、１２１Ａ、１２１Ｂ、１２１Ｃ、２２１、３４３…排出路、１２２、２２２、３２０…フランジ部、１３１、２３１…供給口、１３２、２３２…供給路、３１２…突出部、３１５…貫通孔、３１８…供給口、３１９…供給路、３３１…丸穴、１１８１、２１８１…円弧状通路、１１８２、２１８２…直線状通路、１２２１、２２２１…突出部、１２２２、２２２２…Ｕ字溝、１２２３、２２２３…下側端面 1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 2, 3 ... Suction device, 11, 21 ... Main body, 13, 13A, 13B, 23 ... Cylindrical part, 14 ... Leg part, 33 ... Cover, 111, 211 , 311 ... Upper end face, 112, 212, 313 ... Lower end face, 113, 213, 314 ... Outer surface, 114, 214 ... Recessed, 115, 215 ... Ceiling surface, 116, 216, 316 ... Inner peripheral surface 117, 217, 317 ... Spout, 118, 218 ... Supply path, 119, 119A, 219, 341 ... Inlet, 120, 120A, 220, 342 ... Discharge port, 121, 121A, 121B, 121C, 221, 343 ... Discharge channel , 122, 222, 320 ... Flange, 131, 231 ... Supply port, 132, 232 ... Supply path, 312 ... Protruding part, 315 ... Through hole, 318 ... Supply port, 319 ... Supply path, 331 ... Round hole, 1181 , 2181 ... Arc-shaped passage, 1182, 2182 ... Straight passage, 1221, 2221 ... Protruding part, 1222, 2222 ... U-shaped groove, 1223, 2223 ... Lower end face

Claims

With the main body
An end face formed on the main body and facing the object to be sucked,
A hole that opens in the end face
A spout formed on the inner surface of the main body facing the hole,
A supply path that generates negative pressure by ejecting a fluid from the spout into the hole to form a swirling flow.
An inflow port facing the hole and formed at a position farther from the suctioned object than the spout.
A discharge path formed so as to guide the fluid flowing into the inflow port in a direction away from the suctioned object and discharge the fluid from the own device.
It is provided with a flange portion that is formed so as to protrude from the inner side surface and that prevents the fluid ejected from the ejection port from flowing out toward the object to be attracted while passing the fluid attracted by the negative pressure. ,
The suction device is characterized in that the inner surface surface is formed so as to guide the fluid ejected from the ejection port in a direction away from the object to be attracted.

The hole has a substantially cylindrical shape and has a substantially cylindrical shape.
The suction device according to claim 1, wherein the discharge path is formed so as to extend at an angle with respect to the central axis of the hole.

The main body is substantially columnar and has a substantially columnar shape.
A discharge port formed on the outer surface of the main body, further provided with a discharge port formed at a position farther from the suctioned object than the inflow port.
The suction device according to claim 1 or 2, wherein the discharge path is a substantially linear passage that connects the inflow port and the discharge port.

The outer surface is further provided with a tubular portion connected so as to be inclined toward the upper end surface in a direction perpendicular to the central axis of the hole.
The tubular portion includes a second supply path for supplying a fluid to the supply path.
One end of a pipe through which a fluid is passed is inserted into the tubular portion.
The suction device according to claim 3, wherein the pipe is gripped by an operator who uses the suction device.