JP2021077858A - Optical sub-assembly - Google Patents

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Abstract

To provide an optical sub-assembly that is small and easy to be manufactured, and has good high-frequency characteristics.SOLUTION: An optical sub-assembly includes an eyelet including a first surface, a second surface, and a plurality of through-holes, a plurality of lead terminals in which a differential electric signal is inputted, a lead connection surface extending in a normal direction of the first surface, and a first bonding surface adjacent to the lead connection surface. First and second conductor patterns are formed over the lead connection surface and the first bonding surface. The first and conductor patterns formed on the lead connection surface include a relay substrate which is connected with the lead terminals by soldering and the like and to which the differential electric signal is inputted, an element mounting portion including a second bonding surface on which third and fourth conductor patterns are formed, and an optical element that converts one of an optical signal and the differential electric signal into the other. The first and second conductor patterns are connected with the third and fourth conductor patterns by a bonding wire, and normal directions of the first and second bonding surfaces are the same directions.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、光サブアッセンブリに関する。 The present invention relates to an optical subassembly.

現在、インターネットや電話ネットワークの大部分が光通信網によって構築されている。光通信機器であるルータ/スイッチや伝送装置のインターフェースとして使用される光モジュールは、電気信号を光信号に変換する重要な役割を担っている。光モジュールは、一般的に、光素子を収容した光サブアッセンブリと、変調電気信号を含む信号を処理するIC等を実装したプリント基板(以下PCB)と、その間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板(以下FPC)を備えた形態をとる。 Currently, most of the Internet and telephone networks are built by optical communication networks. Optical modules used as interfaces for routers / switches and transmission devices, which are optical communication devices, play an important role in converting electrical signals into optical signals. An optical module is generally a printed circuit board (hereinafter referred to as PCB) on which an optical subassembly containing an optical element, an IC for processing a signal including a modulated electric signal, or the like is mounted, and a flexible printed circuit board that electrically connects between them. It takes a form equipped with (hereinafter referred to as FPC).

近年では、光モジュールは、高速化のみならず低価格化への要求が著しく、低コストでかつ、高速光信号を送受信可能な光モジュールの需要が高まっている。例えば、上述のような要求を満たす光モジュールとして、缶状のパッケージに内包される金属製ステムからFPCに差し込むリード端子が突出した形態を有するTO-CAN型の光サブアッセンブリを用いることが知られている。金属製ステムは、略円盤形状のアイレットと、アイレットから突出するように設けられた台座と、を含んで構成されている。 In recent years, there has been a remarkable demand for optical modules not only for high speed but also for low price, and there is an increasing demand for optical modules capable of transmitting and receiving high-speed optical signals at low cost. For example, as an optical module that satisfies the above requirements, it is known to use a TO-CAN type optical subassembly having a lead terminal that is inserted into an FPC protruding from a metal stem contained in a can-shaped package. ing. The metal stem includes a substantially disk-shaped eyelet and a pedestal provided so as to project from the eyelet.

さらに、昨今ではCPRI(Common Public Radio Interface)と呼ばれる無線基地局の制御部と無線部の間を繋ぐためのインターフェース規格の分野においても光モジュールの需要が増大している。CPRIとは、無線基地局の無線制御部(Radio Equipment Control;REC)と、無線部(Radio Equipment;RE)を繋げるインターフェースの規格である。RECを用いて、デジタル領域のベースバンド信号処理や制御・管理などが行われる。REを用いて、アナログ領域の無線信号の増幅、変復調、フィルタリングなどが行われる。RECとRE間を長距離伝送が可能な光信号で接続すると、REを基地局から離れたアンテナ直近の屋外設置スペースに使用することが可能となる。 Further, in recent years, the demand for optical modules is increasing in the field of an interface standard for connecting a control unit and a radio unit of a radio base station called a SFP (Common Public Radio Interface). CPRI is a standard for an interface that connects a radio control unit (Radio Equipment Control; REC) of a radio base station and a radio unit (Radio Equipment; RE). Baseband signal processing, control, and management in the digital domain are performed using REC. Using RE, amplification, modulation / demodulation, filtering, and the like of radio signals in the analog region are performed. By connecting the REC and the RE with an optical signal capable of long-distance transmission, the RE can be used in an outdoor installation space near the antenna away from the base station.

しかし、REの屋外設置に対応するには、厳しい温度環境でも動作する必要がある。そのため、市場要求による低価格化に加え、I−Temp(Industrial temperature range)と呼ばれる−40〜85℃の広い温度範囲で動作することが求められる場合もある。以上の要請から、広い温度範囲で動作可能でかつ広帯域なTO−CAN型光サブアッセンブリの技術的要求は高い。 However, in order to support the outdoor installation of RE, it is necessary to operate even in a harsh temperature environment. Therefore, in addition to the price reduction due to market demand, it may be required to operate in a wide temperature range of 40 to 85 ° C. called I-Temp (Industrial temperature range). From the above requirements, the technical requirements for the TO-CAN type optical subassembly that can operate in a wide temperature range and have a wide band are high.

一般に、TO−CAN型の光サブアッセンブリは、標準化された直径のアイレットに複数の小型電子デバイスをモジュール化することで製造される。一方、従来使用していたものと異なる直径のアイレットを用いるには、あらたな製造装置の導入が必須となる。あらたな製造装置の導入は製造コストの増加を招くことから、従来使用していたものと同じ直径のアイレットを用いることが望ましい。TO−CAN型のパッケージは、円盤型のアイレットに設けられた貫通孔にガラス等の誘電体で保持されたリード端子が配置される。当該リード端子を用いて電気信号を光素子へ伝送するため、リード端子以外の電子部品を配置できる領域は制限される。 Generally, TO-CAN type optical subassembly is manufactured by modularizing a plurality of small electronic devices into standardized diameter eyelets. On the other hand, in order to use an eyelet having a diameter different from that conventionally used, it is essential to introduce a new manufacturing apparatus. Since the introduction of a new manufacturing device causes an increase in manufacturing cost, it is desirable to use an eyelet having the same diameter as the one used in the past. In the TO-CAN type package, a lead terminal held by a dielectric material such as glass is arranged in a through hole provided in a disk type eyelet. Since an electric signal is transmitted to the optical element using the lead terminal, the area where electronic components other than the lead terminal can be arranged is limited.

さらに、温度調整用素子等の部品を配置した場合、光素子を搭載する基板は、グラウンドとなる円盤型のアイレットから電気的に分離される。そのため、光素子を搭載する基板をグラウンド電位に接地することにより、光素子の特性を良好に保つことは難しい。従って、小型化、高周波特性の両立について盛んに研究されている。 Further, when a component such as a temperature adjusting element is arranged, the substrate on which the optical element is mounted is electrically separated from the disk-shaped eyelet that serves as the ground. Therefore, it is difficult to maintain good characteristics of the optical element by grounding the substrate on which the optical element is mounted to the ground potential. Therefore, there is a lot of research on both miniaturization and high frequency characteristics.

下記特許文献1においては、小型のTO−CAN型パッケージにおいて、良質な高周波信号を光素子に伝達させる技術が開示されている。 Patent Document 1 below discloses a technique for transmitting a high-quality high-frequency signal to an optical element in a small TO-CAN type package.

特許第4279134号公報Japanese Patent No. 4279134

特許文献1では、差動信号を伝達する1対のリード端子を一つのガラス貫通孔に内包することで、同軸部の面積を最小限とし、TO−CAN内部の実装領域を最大化する技術が開示されている。しかしながら、光素子が搭載される領域と同一の平面に二つの線路を設ける必要があり、他の部品を実装する領域が制限される。 In Patent Document 1, a technique of minimizing the area of the coaxial portion and maximizing the mounting area inside the TO-CAN by including a pair of lead terminals for transmitting a differential signal in one glass through hole is used. It is disclosed. However, it is necessary to provide two lines on the same plane as the area where the optical element is mounted, which limits the area where other components are mounted.

また、TO−CAN型パッケージの内部に配置される電子部品やリード端子は、ワイヤボンディングによって接続される。当該ワイヤボンディングは、ワイヤが接続される面の向きが異なる場合、接続が容易ではない。 Further, the electronic components and lead terminals arranged inside the TO-CAN type package are connected by wire bonding. The wire bonding is not easy to connect when the orientations of the surfaces to which the wires are connected are different.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型で製造がしやすく、良好な高周波特性を有する光サブアッセンブリを提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical subassembly that is small in size, easy to manufacture, and has good high frequency characteristics.

本発明の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、第1面と、前記第1面の反対側に配置された第2面と、前記第2面から前記第1面までを貫通する複数の貫通孔と、を含むアイレットと、前記複数の貫通孔に挿入され、少なくとも一部に差動電気信号が入力される複数のリード端子と、前記第1面の法線方向に伸びるリード接続面と、前記リード接続面と隣り合う第1ボンディング面と、を含み、前記リード接続面と前記第1ボンディング面にまたがって第1導体パターン及び第2導体パターンが形成され、前記リード接続面に形成された前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンは前記リード端子とはんだまたは導電性接着剤で接続されて前記差動電気信号が入力される中継基板と、前記差動電気信号が入力される第3導体パターン及び第4導体パターンが形成された第2ボンディング面を含む素子搭載部と、前記素子搭載部に搭載され、前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンと電気的に接続され、光信号と前記差動電気信号の一方を他方に変換する光素子と、を含み、前記第1ボンディング面の前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンは、前記第2ボンディング面の前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンとボンディングワイヤによって接続され、前記第1ボンディング面と前記第2ボンディング面の各法線方向は同一方向である。 According to the optical subassembly according to one aspect of the present invention, the first surface, the second surface arranged on the opposite side of the first surface, and a plurality of penetrating surfaces from the second surface to the first surface. An eyelet including a through hole, a plurality of lead terminals inserted into the plurality of through holes and at least partially input with a differential electric signal, and a lead connection surface extending in the normal direction of the first surface. A first conductor pattern and a second conductor pattern are formed across the lead connection surface and the first bonding surface, including a first bonding surface adjacent to the lead connection surface, and formed on the lead connection surface. The first conductor pattern and the second conductor pattern are connected to the lead terminal with solder or a conductive adhesive, and a relay board into which the differential electric signal is input, and a relay board into which the differential electric signal is input. An element mounting portion including a second bonding surface on which a three-conductor pattern and a fourth conductor pattern are formed, and a mounting portion mounted on the element mounting portion, electrically connected to the third conductor pattern and the fourth conductor pattern, and light. The first conductor pattern and the second conductor pattern of the first bonding surface include the signal and an optical element that converts one of the differential electric signals into the other, and the second conductor pattern is the third conductor of the second bonding surface. The pattern and the fourth conductor pattern are connected by a bonding wire, and the normal directions of the first bonding surface and the second bonding surface are the same.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、さらに、前記第1面に接して配置され、前記光素子の温度を調整する温度調整素子を含む。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, a temperature adjusting element which is arranged in contact with the first surface and adjusts the temperature of the optical element is included.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、さらに、前記温度調整素子に搭載され、前記素子搭載部を搭載するサブキャリアを含む。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the subcarrier is further mounted on the temperature control element and mounts the element mounting portion.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記サブキャリアの重心は前記アイレットの重心に対し、前記中継基板側に偏って配置される。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the center of gravity of the subcarrier is biased toward the relay board side with respect to the center of gravity of the eyelet.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記ボンディングワイヤは3対以上である。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the number of bonding wires is three or more.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記素子搭載部は、前記第2ボンディング面と隣り合う面に、前記光素子が搭載される素子搭載面をさらに含み、前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンは、前記素子搭載面と前記第2ボンディング面にまたがって配置される。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the element mounting portion further includes an element mounting surface on which the optical element is mounted on a surface adjacent to the second bonding surface. The third conductor pattern and the fourth conductor pattern are arranged so as to straddle the element mounting surface and the second bonding surface.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記複数のリード端子は、対応する信号が入力される一対のリード端子を含み、前記一対のリード端子は、前記アイレットを貫通する単一の貫通孔に誘電体によって固着される。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the plurality of lead terminals include a pair of lead terminals into which corresponding signals are input, and the pair of lead terminals penetrate the eyelet. It is fixed by a dielectric to a single through hole.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記中継基板は、さらに、前記第1ボンディング面と隣り合う面に、グラウンドに接地された第1グラウンドパターンが設けられた第1グラウンドパターン面を有し、前記サブキャリアは、前記第1グラウンドパターン面と平行な面に、グラウンドに接地された第2グラウンドパターンが設けられた第2グラウンドパターン面を有し、前記第1グラウンドパターンは、前記第2グラウンドパターンとボンディングワイヤによって接続される。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the relay board is further provided with a first ground pattern grounded on the surface adjacent to the first bonding surface. The subcarrier has one ground pattern surface, and the subcarrier has a second ground pattern surface provided with a second ground pattern grounded on the ground on a surface parallel to the first ground pattern surface, and the first ground pattern surface is provided. The ground pattern is connected to the second ground pattern by a bonding wire.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記第1グラウンドパターンは、前記第1ボンディング面にまたがって配置され、前記第1ボンディング面に配置された前記第1グラウンドパターンは、前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンの両側に配置される。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the first ground pattern is arranged over the first bonding surface, and the first ground pattern is arranged on the first bonding surface. Are arranged on both sides of the first conductor pattern and the second conductor pattern.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記素子搭載部は、金属ブロックである。 Further, according to the optical subassembly according to another aspect of the present invention, the element mounting portion is a metal block.

また、本発明の他の一側面に係る光サブアッセンブリによれば、前記素子搭載部は、グラウンドに接地され、少なくとも隣り合う二面にまたがる第3グラウンドパターンを有する。 Further, according to the optical subassembly according to the other aspect of the present invention, the element mounting portion is grounded to the ground and has a third ground pattern straddling at least two adjacent surfaces.

第1実施形態に係る光モジュールの外観図である。It is an external view of the optical module which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光モジュールの一部の断面構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross-sectional structure of a part of the optical module which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical sub-assembly which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係る光サブアッセンブリをY方向から見た模式的な平面図である。It is a schematic plan view which looked at the optical sub-assembly which concerns on 1st Embodiment from the Y direction. 第1実施形態に係る中継基板が台座にはんだまたは導電性接着剤で接続された状態を示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the state which the relay board which concerns on 1st Embodiment is connected to a pedestal by a solder or a conductive adhesive. 第1実施形態に係る中継基板を示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the relay board which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係るステムを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the stem which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光モジュールと従来例1及び従来例2の透過特性(S21)を3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)を用いて計算したグラフである。It is a graph which calculated the optical module which concerns on 1st Embodiment and the transmission characteristic (S21) of the prior art example 1 and the conventional example 2 using a three-dimensional electromagnetic field simulator HFSS (High Frequency Structure Simulator). 従来例1に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical sub-assembly which concerns on Conventional Example 1. FIG. 従来例2に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical sub-assembly which concerns on Conventional Example 2. 第2実施形態に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical subassembly which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical subassembly which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る光サブアッセンブリを示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the optical subassembly which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る中継基板が台座にはんだまたは導電性接着剤で接続された状態を示す模式的な斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the state which the relay board which concerns on 3rd Embodiment is connected to a pedestal by a solder or a conductive adhesive. 第3実施形態に係る光モジュールの透過特性(S21)を3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)を用いて計算したグラフである。It is a graph which calculated the transmission characteristic (S21) of the optical module which concerns on 3rd Embodiment using 3D electromagnetic field simulator HFSS (High Frequency Structure Simulator).

本開示の第1実施形態について、図面を用いて以下に説明する。 The first embodiment of the present disclosure will be described below with reference to the drawings.

図1は、第1実施形態における光通信用途の光モジュール1の外観図である。PCB130に搭載される駆動IC(図示せず)から、PCB130にはんだまたは導電性接着剤等によって接続されるFPC140を介し、光サブアッセンブリ100に変調された差動電気信号や制御信号等が伝達される。FPC140は、可撓性を有する回路基板である。光サブアッセンブリ100は、光素子350(図3参照)を収容し、かつ出射光をもしくは入射光を送受するインターフェースを備えている。光サブアッセンブリ100は、アイレット310(図3参照)と、光レセプタクル2を含む。なお、図示しないが、光サブアッセンブリ100、PCB130、及びFPC140は、金属製などの筐体に内蔵されて、光モジュール1は構成されている。 FIG. 1 is an external view of an optical module 1 for optical communication in the first embodiment. A differential electric signal, a control signal, or the like modulated in the optical subassembly 100 is transmitted from a drive IC (not shown) mounted on the PCB 130 via an FPC 140 connected to the PCB 130 by solder or a conductive adhesive or the like. To. The FPC 140 is a flexible circuit board. The optical subassembly 100 accommodates an optical element 350 (see FIG. 3) and includes an interface for transmitting and receiving emitted light or incident light. The optical subassembly 100 includes an eyelet 310 (see FIG. 3) and an optical receptacle 2. Although not shown, the optical sub-assembly 100, PCB 130, and FPC 140 are built in a metal housing, and the optical module 1 is configured.

図2は、第1実施形態における光モジュール1の一部の断面構造を示す模式図である。図2に示すように、第1実施形態に係る光モジュール1は、光レセプタクル2と光パッケージ3とを含んでいる。そして、光レセプタクル2は、光レセプタクル本体20と、スタブ22と、スリーブ24とを備えている。 FIG. 2 is a schematic view showing a cross-sectional structure of a part of the optical module 1 according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the optical module 1 according to the first embodiment includes an optical receptacle 2 and an optical package 3. The optical receptacle 2 includes an optical receptacle main body 20, a stub 22, and a sleeve 24.

第1実施形態に係る光レセプタクル本体20は、一体的に形成された樹脂部材を含んで構成されており、円柱状の外形を有する光パッケージ収容部20fと、光パッケージ収容部20fの外径より小さな外径を有する概略円柱形状の光ファイバ挿入部20dとを備えている。光パッケージ収容部20fと光ファイバ挿入部20dとは、それぞれの一端面同士が、連結されている。 The optical receptacle main body 20 according to the first embodiment is configured to include an integrally formed resin member, and is composed of an optical package accommodating portion 20f having a cylindrical outer shape and an outer diameter of the optical package accommodating portion 20f. It is provided with a substantially cylindrical optical fiber insertion portion 20d having a small outer diameter. One end surfaces of the optical package accommodating portion 20f and the optical fiber inserting portion 20d are connected to each other.

光パッケージ収容部20fには、その外形状と同軸に円型の凹部20aが形成されており、円筒形をなしている。 The optical package accommodating portion 20f is formed with a circular recess 20a coaxial with its outer shape, and has a cylindrical shape.

光レセプタクル本体20には、光ファイバ挿入部20dの先端面から、この光ファイバ挿入部20dの外形状と同軸に延びて、光パッケージ収容部20fに形成された凹部20aの底面に至る挿入孔20bが形成されている。すなわち、光レセプタクル本体20には、凹部20aと、凹部20aから外部に貫通する挿入孔20bと、が形成されている。 The insertion hole 20b in the optical receptacle main body 20 extends from the tip surface of the optical fiber insertion portion 20d coaxially with the outer shape of the optical fiber insertion portion 20d and reaches the bottom surface of the recess 20a formed in the optical package housing portion 20f. Is formed. That is, the optical receptacle main body 20 is formed with a recess 20a and an insertion hole 20b penetrating from the recess 20a to the outside.

挿入孔20bの内壁面の先端に形成されているテーパ部20cは、その径が外側に向かって増加するテーパ形状である。そのため、外部光ファイバを備えたコネクタを挿入孔20bに挿入しやすいようになっている。 The tapered portion 20c formed at the tip of the inner wall surface of the insertion hole 20b has a tapered shape whose diameter increases outward. Therefore, it is easy to insert the connector provided with the external optical fiber into the insertion hole 20b.

光ファイバ挿入部20dには、その外周に沿ってフランジ20eが形成されている。 A flange 20e is formed in the optical fiber insertion portion 20d along the outer periphery thereof.

スタブ22は、ジルコニアなどを含んで構成されている。そして、スタブ22は、光レセプタクル本体20の光ファイバ挿入部20dに形成されている挿入孔20bとほぼ同径の概略円柱形状であり、スタブ22と同軸の光ファイバ50を保持している。そして、スタブ22は光レセプタクル本体20の光ファイバ挿入部20dに圧入などにより挿入固定されている。スタブ22の右側端面は斜め研磨されている。このようにして、光ファイバ50へ入力される光と、その反射光との干渉を防止している。 The stub 22 is configured to include zirconia and the like. The stub 22 has a substantially cylindrical shape having substantially the same diameter as the insertion hole 20b formed in the optical fiber insertion portion 20d of the optical receptacle main body 20, and holds the optical fiber 50 coaxial with the stub 22. The stub 22 is inserted and fixed to the optical fiber insertion portion 20d of the optical receptacle main body 20 by press fitting or the like. The right end face of the stub 22 is diagonally polished. In this way, interference between the light input to the optical fiber 50 and the reflected light is prevented.

光レセプタクル2のスタブ22の左側側面は、外部から挿入孔20bに挿入された外部光ファイバを備えたコネクタ(図示せず)と当接されて、コネクタが備える外部光ファイバと、スタブ22が保持する光ファイバ50との結合を行う。 The left side surface of the stub 22 of the optical receptacle 2 is brought into contact with a connector (not shown) having an external optical fiber inserted into the insertion hole 20b from the outside, and the external optical fiber included in the connector and the stub 22 are held by the connector. The optical fiber 50 is coupled to the optical fiber 50.

スリーブ24は、ジルコニアなどで構成された割スリーブを含んで構成されている。そして、スリーブ24の内径は、挿入孔20bとほぼ同径の円筒形状をしており、光レセプタクル本体20の内壁面に設けられた溝に埋め込まれている。このスリーブ24によって、光ファイバ挿入部20dに挿入される外部光ファイバを備えたコネクタの、挿入孔20b内における位置の調整ができるようになっている。 The sleeve 24 includes a split sleeve made of zirconia or the like. The inner diameter of the sleeve 24 has a cylindrical shape having substantially the same diameter as the insertion hole 20b, and is embedded in a groove provided on the inner wall surface of the optical receptacle main body 20. The sleeve 24 allows the position of the connector including the external optical fiber to be inserted into the optical fiber insertion portion 20d to be adjusted in the insertion hole 20b.

光パッケージ3は、球体のレンズ30を備えている。また、光パッケージ3は、レンズ30と略同径の開口が底面に形成された金属製の有底円筒状の部材であるレンズ支持部32を備えている。レンズ支持部32の開口は、レンズ支持部32の底面の形状と同軸に形成されている。そして、レンズ30はレンズ支持部32の開口に嵌め込まれている。すなわち、レンズ支持部32はレンズ30を支持する。 The optical package 3 includes a spherical lens 30. Further, the optical package 3 includes a lens support portion 32 which is a metal bottomed cylindrical member having an opening having substantially the same diameter as the lens 30 formed on the bottom surface. The opening of the lens support portion 32 is formed coaxially with the shape of the bottom surface of the lens support portion 32. The lens 30 is fitted into the opening of the lens support portion 32. That is, the lens support portion 32 supports the lens 30.

また、光パッケージ3は、上述したアイレット310、台座313と、を含むステムを備えている。ステムは例えば金属により形成されており、FPC140に形成されるグラウンド導体と電気的に接続され、電気的に接地される。 Further, the optical package 3 includes a stem including the above-mentioned eyelet 310 and pedestal 313. The stem is made of metal, for example, and is electrically connected to a ground conductor formed on the FPC 140 and electrically grounded.

光レセプタクル本体20とアイレット310の第1面311との接合面を接着固定することで光モジュール1は組み立てられる。光レセプタクル本体20とアイレット310とにより、筐体が構成される。アイレット310に溶接されたレンズ支持部32と、このレンズ支持部32に嵌め込まれたレンズ30とは、光レセプタクル2の凹部20aの中に入るように形成される。すなわち、レンズ30やレンズ支持部32は、光レセプタクル本体20の凹部20aに収容される。なお、光レセプタクル2と光パッケージ3とを接着する方法はこの限りではない。 The optical module 1 is assembled by adhesively fixing the joint surface between the optical receptacle main body 20 and the first surface 311 of the eyelet 310. The housing is composed of the optical receptacle main body 20 and the eyelet 310. The lens support portion 32 welded to the eyelet 310 and the lens 30 fitted in the lens support portion 32 are formed so as to enter the recess 20a of the optical receptacle 2. That is, the lens 30 and the lens support portion 32 are housed in the recess 20a of the optical receptacle main body 20. The method of adhering the optical receptacle 2 and the optical package 3 is not limited to this.

光サブアッセンブリの例としては、レーザダイオードなどの発光素子を内部に有し、電気信号を光信号に変換して送信する光送信サブアッセンブリ(TOSA; Transmitter Optical Subassembly)や、内部にフォトダイオードに代表される受光素子を有し、受信した光信号を電気信号に変換する光受信サブアッセンブリ(ROSA; Receiver Optical Subassembly)や、これらの両方の機能を内包した双方向光サブアッセンブリ(BOSA;Bidirectional Optical Subassembly)などがある。本願発明は、上記いずれの光サブアッセンブリにも適用でき、第1実施形態においては、光送信サブアッセンブリを例に挙げて説明する。 Examples of optical subassembly include an optical transmission subassembly (TOSA) that has a light emitting element such as a laser diode inside and converts an electric signal into an optical signal and transmits it, and a photodiode inside. An optical subassembly (ROSA) that has a light receiving element and converts the received optical signal into an electrical signal, and a bidirectional optical subassembly (BOSA) that includes both of these functions. )and so on. The present invention can be applied to any of the above optical subassemblies, and in the first embodiment, the optical transmission subassembly will be described as an example.

図3は、本開示の第1実施形態に係る光モジュール1に含まれる光サブアッセンブリ100を示す模式的な斜視図である。図4は、本開示の第1実施形態に係る光モジュール1に含まれる光サブアッセンブリ100をY軸方向から見た図である。 FIG. 3 is a schematic perspective view showing an optical subassembly 100 included in the optical module 1 according to the first embodiment of the present disclosure. FIG. 4 is a view of the optical subassembly 100 included in the optical module 1 according to the first embodiment of the present disclosure as viewed from the Y-axis direction.

光サブアッセンブリ100は、例えば、アイレット310と、台座313と、リード端子320と、中継基板330と、素子搭載部340と、光素子350と、温度調整素子360と、サブキャリア370と、ボンディングワイヤ380と、を含む。 The optical subassembly 100 includes, for example, an eyelet 310, a pedestal 313, a lead terminal 320, a relay board 330, an element mounting portion 340, an optical element 350, a temperature adjusting element 360, a subcarrier 370, and a bonding wire. 380 and.

アイレット310は、第1面311と、第1面311の反対側に配置された第2面312と、第2面312から第1面311までを貫通する複数の貫通孔315と、を含む。具体的には、例えば、アイレット310は、例えば、直径5.6mmの円盤形状であって、金属等の導電性の材料で形成される。アイレット310は、円盤形状のZ軸方向に向かう側に第1面311を有し、第1面311とは反対側に第2面312を有する。また、アイレット310は、第1面311から第2面312までを貫通する複数の貫通孔315を有する。 The eyelet 310 includes a first surface 311 and a second surface 312 arranged on the opposite side of the first surface 311 and a plurality of through holes 315 penetrating from the second surface 312 to the first surface 311. Specifically, for example, the eyelet 310 has a disk shape with a diameter of 5.6 mm and is formed of a conductive material such as metal. The eyelet 310 has a first surface 311 on the side of the disk shape facing the Z-axis direction and a second surface 312 on the side opposite to the first surface 311. Further, the eyelet 310 has a plurality of through holes 315 penetrating from the first surface 311 to the second surface 312.

リード端子320は、複数の貫通孔315に挿入され、少なくとも一部に差動電気信号が入力される。具体的には、例えば、リード端子320は、第1リード端子320Aから第6リード端子320F(図5参照)を含み、各リード端子320はそれぞれアイレット310に設けられた貫通孔315に挿入される。各リード端子320が配置された貫通孔315の隙間には、ガラスなどの誘電体314が充填される。当該ガラスなどの誘電体314が、各貫通孔315内において、各リード端子320を保持している。アイレット310、誘電体314、及び各リード端子320によって、同軸線路を構成している。図3に示す実施形態においては、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bには、差動電気信号が入力される。第3リード端子320C及び第4リード端子320Dには温度調整素子360を制御する制御信号が入力される。第5リード端子320E及び第6リード端子320Fには出力モニタ及び温度モニタが接続される。 The lead terminal 320 is inserted into a plurality of through holes 315, and a differential electric signal is input to at least a part thereof. Specifically, for example, the lead terminal 320 includes the first lead terminal 320A to the sixth lead terminal 320F (see FIG. 5), and each lead terminal 320 is inserted into a through hole 315 provided in the eyelet 310. .. A dielectric 314 such as glass is filled in the gap of the through hole 315 in which each lead terminal 320 is arranged. A dielectric 314 such as the glass holds each lead terminal 320 in each through hole 315. A coaxial line is composed of an eyelet 310, a dielectric 314, and each lead terminal 320. In the embodiment shown in FIG. 3, a differential electric signal is input to the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B. A control signal for controlling the temperature adjusting element 360 is input to the third lead terminal 320C and the fourth lead terminal 320D. An output monitor and a temperature monitor are connected to the fifth lead terminal 320E and the sixth lead terminal 320F.

台座313は、アイレット310の第1面311側に配置される。第1実施形態においては、台座313は金属製であり、アイレット310の第1面311から、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bに近接して、Z軸方向に向かって突出している(図7参照)。図3に示す実施形態においては、アイレット310と台座313とは一体形成されている。アイレット310と台座313とは同電位となっており、両者によりステムを構成している。第1実施形態に係るステムは、プレス加工により成型されており、例えば、熱伝導率が50〜70[W/m・K]の圧延鋼からなる。 The pedestal 313 is arranged on the first surface 311 side of the eyelet 310. In the first embodiment, the pedestal 313 is made of metal and projects from the first surface 311 of the eyelet 310 in the vicinity of the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B in the Z-axis direction (). (See FIG. 7). In the embodiment shown in FIG. 3, the eyelet 310 and the pedestal 313 are integrally formed. The eyelet 310 and the pedestal 313 have the same potential, and both form a stem. The stem according to the first embodiment is molded by press working, and is made of, for example, rolled steel having a thermal conductivity of 50 to 70 [W / m · K].

中継基板330は、台座313のX軸方向側に配置される。具体的には、例えば、図5から図7を用いて説明する。図5は、中継基板330が台座313に搭載された状態を示す図であって、アイレット310、台座313、リード端子320及び中継基板330以外の構成を省略した図である。図6は、中継基板330を拡大した図である。図7は、ステムを示す模式的な斜視図である。図3及び図6に示すように、中継基板330は、台座313のX軸方向側に配置される。 The relay board 330 is arranged on the X-axis direction side of the pedestal 313. Specifically, for example, it will be described with reference to FIGS. 5 to 7. FIG. 5 is a diagram showing a state in which the relay board 330 is mounted on the pedestal 313, and is a diagram in which configurations other than the eyelet 310, the pedestal 313, the lead terminal 320, and the relay board 330 are omitted. FIG. 6 is an enlarged view of the relay board 330. FIG. 7 is a schematic perspective view showing the stem. As shown in FIGS. 3 and 6, the relay board 330 is arranged on the X-axis direction side of the pedestal 313.

中継基板330は、第1面311の法線方向に伸びるリード接続面334と、リード接続面334と隣り合う第1ボンディング面335と、を含む。具体的には、図3から図6に示す実施形態においては、中継基板330は、X軸方向に向かう面にリード接続面334を含み、Y方向に向かう面に第1ボンディング面335を含む。 The relay board 330 includes a lead connecting surface 334 extending in the normal direction of the first surface 311 and a first bonding surface 335 adjacent to the lead connecting surface 334. Specifically, in the embodiment shown in FIGS. 3 to 6, the relay board 330 includes a lead connecting surface 334 on the surface facing the X-axis direction and a first bonding surface 335 on the surface facing the Y direction.

また、中継基板330は、リード接続面334と第1ボンディング面335にまたがって第1導体パターン331及び第2導体パターン332が形成される。具体的には、図3から図6に示す実施形態においては、中継基板330は、リード接続面334に形成された第1導体パターン331及び第2導体パターン332と、第1ボンディング面335に形成された第1導体パターン331及び第2導体パターン332と、が同電圧となるように切れ目なく形成される。第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、差動電気信号を伝搬する導波路として形成される。特に、第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、差動電気信号の結合部において、テーパ601が形成されることが望ましい。テーパ601を形成することによって、差動電気信号のインピーダンスが、結合部において急激に変化することを防止できる。その結果、高周波特性を改善できる。 Further, in the relay board 330, the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 are formed so as to straddle the lead connection surface 334 and the first bonding surface 335. Specifically, in the embodiment shown in FIGS. 3 to 6, the relay substrate 330 is formed on the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 formed on the lead connection surface 334 and on the first bonding surface 335. The first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 are seamlessly formed so as to have the same voltage. The first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 are formed as a waveguide that propagates a differential electric signal. In particular, it is desirable that the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 have a taper 601 formed at the coupling portion of the differential electric signal. By forming the taper 601 it is possible to prevent the impedance of the differential electric signal from suddenly changing at the coupling portion. As a result, the high frequency characteristics can be improved.

さらに、リード接続面334に形成された第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、リード端子320とはんだまたは導電性接着剤333で接続されて差動電気信号が入力される。図3から図6に示す実施形態においては、第1導体パターン331は、第1リード端子320Aとはんだまたは導電性接着剤333で接続され、第2導体パターン332は、第2リード端子320Bとはんだまたは導電性接着剤333で接続される。 Further, the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 formed on the lead connection surface 334 are connected to the lead terminal 320 by solder or a conductive adhesive 333, and a differential electric signal is input. In the embodiments shown in FIGS. 3 to 6, the first conductor pattern 331 is connected to the first lead terminal 320A by solder or a conductive adhesive 333, and the second conductor pattern 332 is soldered to the second lead terminal 320B. Alternatively, they are connected with a conductive adhesive 333.

上記のように、中継基板330は、中継基板330が有する面のうち面積の大きいリード接続面334の向く方向が、第3導体パターン341及び第4導体パターン342の面が向く方向と、略垂直に配置される。これにより、アイレット310に多数の部品を配置しかつ容易に製造することが可能である。 As described above, in the relay board 330, the direction in which the lead connection surface 334 having a large area among the surfaces of the relay board 330 faces is substantially perpendicular to the direction in which the surfaces of the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 face. Is placed in. Thereby, a large number of parts can be arranged on the eyelet 310 and can be easily manufactured.

素子搭載部340は、差動電気信号が入力される第3導体パターン341及び第4導体パターン342が形成された第2ボンディング面343を含む。具体的には、例えば、素子搭載部340は、Y方向に向かう面に第2ボンディング面343を含む。また、素子搭載部340は、第2ボンディング面343に第3導体パターン341及び第4導体パターン342が形成される。第1ボンディング面335の第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、第2ボンディング面343の第3導体パターン341及び第4導体パターン342とボンディングワイヤ380によって接続される。図3に示す実施形態においては、第3導体パターン341は、ワイヤボンディングによって、中継基板330に形成された第1導体パターン331と電気的に接続される。同様に、第4導体パターン342は、ワイヤボンディングによって、中継基板330に形成された第2導体パターン332と電気的に接続される。 The element mounting portion 340 includes a second bonding surface 343 on which a third conductor pattern 341 and a fourth conductor pattern 342 into which a differential electric signal is input are formed. Specifically, for example, the element mounting portion 340 includes a second bonding surface 343 on the surface facing the Y direction. Further, in the element mounting portion 340, the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 are formed on the second bonding surface 343. The first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 of the first bonding surface 335 are connected to the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 of the second bonding surface 343 by the bonding wire 380. In the embodiment shown in FIG. 3, the third conductor pattern 341 is electrically connected to the first conductor pattern 331 formed on the relay substrate 330 by wire bonding. Similarly, the fourth conductor pattern 342 is electrically connected to the second conductor pattern 332 formed on the relay substrate 330 by wire bonding.

上記のように、第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bと接続された差動電気信号が入力される。従って、第3導体パターン341及び第4導体パターン342には、ボンディングワイヤ380を介して差動電気信号が入力される。 As described above, the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 are input with the differential electric signal connected to the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B. Therefore, a differential electric signal is input to the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 via the bonding wire 380.

光素子350は、素子搭載部340に搭載され、第3導体パターン341及び第4導体パターン342と電気的に接続され、光信号と差動電気信号の一方を他方に変換する。具体的には、例えば、光素子350はレーザダイオードであって、素子搭載部340のY方向に向かう面に搭載される。光素子350は、第3導体パターン341及び第4導体パターン342から差動電気信号が入力され、該差動電気信号を光信号に変換する。また、光素子350が受光素子として機能する場合には、光素子350は光信号が入力され、該光信号を差動電気信号に変換する。変換された差動電気信号は、第3導体パターン341及び第4導体パターン342と、ボンディングワイヤ380と、第1導体パターン331及び第2導体パターン332と、を経由して第1リード端子320A及び第2リード端子320Bに伝搬される。なお、図3に示す実施形態においては、素子搭載部340は基板である。 The optical element 350 is mounted on the element mounting portion 340 and is electrically connected to the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 to convert one of the optical signal and the differential electric signal into the other. Specifically, for example, the optical element 350 is a laser diode, and is mounted on the surface of the element mounting portion 340 facing the Y direction. The optical element 350 receives a differential electric signal from the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342, and converts the differential electric signal into an optical signal. When the optical element 350 functions as a light receiving element, the optical element 350 receives an optical signal and converts the optical signal into a differential electric signal. The converted differential electric signal passes through the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342, the bonding wire 380, the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332, and the first lead terminal 320A and the second conductor pattern 332. It is propagated to the second lead terminal 320B. In the embodiment shown in FIG. 3, the element mounting portion 340 is a substrate.

ワイヤボンディングを行う際、ボンディングワイヤ380の両端が接続される面が異なる方向を向いていた場合、片側の端子にボンディングワイヤ380をボンディングした後、ボンディング対象の向きを変更する必要がある。上記構成のように、第1ボンディング面と第2ボンディング面の各法線方向が同一方向(第1実施形態では、図3に示すようにY軸の正方向)であることにより、ボンディング対象である光サブアッセンブリ100の向きを変更する必要が生じない。なお、各法線方向が同一方向であるとは、一方の面にボンディングワイヤ380をボンディングした後、他方の面にボンディングワイヤ380をボンディングする前にボンディング対象の向きを変更する必要がない程度に、第1ボンディング面335と第2ボンディング面343のなす角度が小さいことを表す。すなわち、第1ボンディング面335と第2ボンディング面343は、ともに同じ方向(第1実施形態では、図3に示すようにY軸の正方向)を向いており、第1ボンディング面335と第2ボンディング面343は、互いに略平行な面である。従って、光サブアッセンブリ100の製造が容易になる。 When performing wire bonding, if the surfaces to which both ends of the bonding wire 380 are connected face different directions, it is necessary to change the direction of the bonding target after bonding the bonding wire 380 to one terminal. As in the above configuration, the normal directions of the first bonding surface and the second bonding surface are the same direction (in the first embodiment, the positive direction of the Y axis as shown in FIG. 3), so that the bonding target can be used. It is not necessary to change the direction of a certain optical subassembly 100. It should be noted that the normal directions are the same to the extent that it is not necessary to change the direction of the bonding target after bonding the bonding wire 380 to one surface and before bonding the bonding wire 380 to the other surface. , Indicates that the angle formed by the first bonding surface 335 and the second bonding surface 343 is small. That is, the first bonding surface 335 and the second bonding surface 343 both face the same direction (in the first embodiment, the positive direction of the Y axis as shown in FIG. 3), and the first bonding surface 335 and the second bonding surface 335 and the second The bonding surface 343 is a surface substantially parallel to each other. Therefore, the production of the optical subassembly 100 becomes easy.

温度調整素子360は、第1面311に接して配置され、光素子350の温度を調整する。具体的には、例えば、温度調整素子360は、ペルチェ素子であって、第1面311に接して配置される。温度調整素子360は、第3リード端子320C及び第4リード端子320Dから入力される制御信号に基づいて、光素子350を冷却する。なお、温度調整が不要である場合には、温度調整素子360は省略されてもよい。 The temperature adjusting element 360 is arranged in contact with the first surface 311 to adjust the temperature of the optical element 350. Specifically, for example, the temperature adjusting element 360 is a Peltier element and is arranged in contact with the first surface 311. The temperature adjusting element 360 cools the optical element 350 based on the control signals input from the third lead terminal 320C and the fourth lead terminal 320D. If the temperature adjustment is not necessary, the temperature adjustment element 360 may be omitted.

なお、通常、光素子350に供給される差動電気信号は、グラウンドに接地された導体パターンと結合していることが望ましい。また、ペルチェ素子は、熱を移動させる半導体素子の両側を絶縁基板で挟んで構成される。そのため、温度調整素子360がペルチェ素子である場合、アイレット310と素子搭載部340とは絶縁されるため、素子搭載部340にグラウンド電位を供給することはできない。しかしながら、第1実施形態によれば、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bから光素子350に至るまで、差動電気信号が通る経路が、差動電気信号を伝搬する導波路として形成される。従って、後述するように、素子搭載部340がグラウンドに接地されていなくても、光サブアッセンブリ100の高周波特性を改善できる。 Normally, it is desirable that the differential electric signal supplied to the optical element 350 is coupled with a conductor pattern grounded on the ground. Further, the Peltier element is configured by sandwiching both sides of the semiconductor element that transfers heat with an insulating substrate. Therefore, when the temperature adjusting element 360 is a Peltier element, the eyelet 310 and the element mounting portion 340 are insulated from each other, so that the ground potential cannot be supplied to the element mounting portion 340. However, according to the first embodiment, the path through which the differential electric signal passes from the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B to the optical element 350 is formed as a waveguide that propagates the differential electric signal. To. Therefore, as will be described later, the high frequency characteristics of the optical subassembly 100 can be improved even if the element mounting portion 340 is not grounded.

サブキャリア370は、温度調整素子360に搭載され、素子搭載部340を搭載する。具体的には、例えば、サブキャリア370は、温度調整素子360のZ軸方向側に、台座313とはX軸方向に間隔をあけて配置される。 The subcarrier 370 is mounted on the temperature adjusting element 360, and the element mounting unit 340 is mounted. Specifically, for example, the subcarrier 370 is arranged on the Z-axis direction side of the temperature adjusting element 360 at a distance from the pedestal 313 in the X-axis direction.

サブキャリア370は、高い熱伝導率を有し、且つ光素子350に近い熱膨張係数を有する絶縁材料からなることが望ましい。第1実施形態においては、サブキャリア370は、例えばセラミックにより形成される。セラミックは、金属や非金属を問わず、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物などの無機化合物の成形体、粉末、膜など無機固体材料を含む。例えば、サブキャリア370に用いるセラミックとして、熱伝導率が170〜200[W/m・K]の窒化アルミニウムが望ましい。また、サブキャリア370のY軸方向を向く表面は素子搭載部340が搭載される。 It is desirable that the subcarrier 370 is made of an insulating material having a high thermal conductivity and a coefficient of thermal expansion close to that of the optical element 350. In the first embodiment, the subcarrier 370 is formed of, for example, ceramic. Ceramics, whether metal or non-metals, include molded bodies of inorganic compounds such as oxides, carbides, nitrides and borides, and inorganic solid materials such as powders and films. For example, as the ceramic used for the subcarrier 370, aluminum nitride having a thermal conductivity of 170 to 200 [W / m · K] is desirable. Further, the element mounting portion 340 is mounted on the surface of the subcarrier 370 facing the Y-axis direction.

ボンディングワイヤ380は、第1ボンディング面335の第1導体パターン331及び第2導体パターン332と、第2ボンディング面343の第3導体パターン341及び第4導体パターン342と、を電気的に接続する。具体的には、3本以上のボンディングワイヤ380は、第1導体パターン331と第3導体パターン341とを電気的に接続する。同様に、3本以上のボンディングワイヤ380は、第2導体パターン332と第4導体パターン342とを電気的に接続する。第1導体パターン331と第3導体パターン341とを接続するボンディングワイヤ380と、第2導体パターン332と第4導体パターン342とを接続するボンディングワイヤ380と、は近接して配置される。これにより、3対以上のボンディングワイヤ380は、差動電気信号を伝搬する導波路として形成される。3対以上のボンディングワイヤ380で接続することによって、ボンディングワイヤ380に寄生するインダクタンスを低減し、良好な透過特性を得ることができる。 The bonding wire 380 electrically connects the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 of the first bonding surface 335 with the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 of the second bonding surface 343. Specifically, the three or more bonding wires 380 electrically connect the first conductor pattern 331 and the third conductor pattern 341. Similarly, the three or more bonding wires 380 electrically connect the second conductor pattern 332 and the fourth conductor pattern 342. The bonding wire 380 connecting the first conductor pattern 331 and the third conductor pattern 341 and the bonding wire 380 connecting the second conductor pattern 332 and the fourth conductor pattern 342 are arranged in close proximity to each other. As a result, the three or more pairs of bonding wires 380 are formed as a waveguide that propagates the differential electric signal. By connecting with three or more pairs of bonding wires 380, the inductance parasitic on the bonding wires 380 can be reduced and good transmission characteristics can be obtained.

図8は、図3に示した構成と、従来例1及び従来例2の構成についての、光モジュールの透過特性(S21)を3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)を用いて計算したグラフである。 In FIG. 8, the transmission characteristics (S21) of the optical module for the configuration shown in FIG. 3 and the configurations of Conventional Example 1 and Conventional Example 2 were calculated using a three-dimensional electromagnetic field simulator HFSS (High Frequency Structure Simulator). It is a graph.

従来例1の光モジュールは、温度調整素子360を搭載しない光サブアッセンブリを搭載している。具体的には、従来例1の光サブアッセンブリは、図9に示す構成を有する。従来例1の光サブアッセンブリは、直径5.6mm金属からなる導電性のステムを含む。ステムは、貫通孔315を設けたアイレット310を含み、貫通孔315にリード端子320がガラスなどの誘電体314で固定されている。アイレット310、誘電体314及びリード端子320によって、同軸線路が構成される。同軸線路のインピーダンスは25Ohmに整合している。リード端子320は、アイレット310に設けられた孔を貫通し、一部が突出している。突出したリード端子320の先端は、アイレット310から垂直に突出した台座313に搭載された中継基板330の表面の導体パターンとAuSnはんだで接合されている。中継基板330には、グラウンド電位であるステムから突出した台座313と導体パターンによってマイクロストリップ線路が形成される。さらに、素子搭載部340は、台座313にダイボンディングされる。素子搭載部340は、光素子350と近い熱膨張係数を持つ窒化アルミなどのセラミックで形成される。素子搭載部340は、表裏面に導体パターンを含むマイクロストリップ線路であり、裏面の導体パターンはグラウンド電位であるステムに接続される。素子搭載部340には、光素子350が搭載される。 The optical module of the conventional example 1 is equipped with an optical sub-assembly that does not include the temperature adjusting element 360. Specifically, the optical subassembly of Conventional Example 1 has the configuration shown in FIG. The optical subassembly of Conventional Example 1 includes a conductive stem made of a metal having a diameter of 5.6 mm. The stem includes an eyelet 310 provided with a through hole 315, and a lead terminal 320 is fixed to the through hole 315 with a dielectric material 314 such as glass. A coaxial line is formed by the eyelet 310, the dielectric 314, and the lead terminal 320. The impedance of the coaxial line is matched to 25 Ohm. The lead terminal 320 penetrates the hole provided in the eyelet 310, and a part thereof protrudes. The tip of the protruding lead terminal 320 is joined to the conductor pattern on the surface of the relay board 330 mounted on the pedestal 313 vertically protruding from the eyelet 310 with AuSn solder. A microstrip line is formed on the relay board 330 by the pedestal 313 protruding from the stem, which is the ground potential, and the conductor pattern. Further, the element mounting portion 340 is die-bonded to the pedestal 313. The element mounting portion 340 is formed of a ceramic such as aluminum nitride having a coefficient of thermal expansion close to that of the optical element 350. The element mounting portion 340 is a microstrip line including a conductor pattern on the front and back surfaces, and the conductor pattern on the back surface is connected to a stem having a ground potential. An optical element 350 is mounted on the element mounting unit 340.

従来例2の光モジュールは、温度調整素子360を搭載した光サブアッセンブリを搭載している。具体的には、従来例2の光サブアッセンブリは、図10に示す構成を有する。従来例2の光サブアッセンブリは、従来例1の台座313が設けされた領域の中央部に温度調整素子360及びサブキャリア370を含む。サブキャリア370は、放熱性を高めるため、熱伝導率の高いセラミックや金属で形成される。台座313は、温度調整素子360及びサブキャリア370の両側の2か所に分離して設けられる。中継基板330は、2か所に分離した台座313の上に配置される。光素子350を搭載した素子搭載部340は、サブキャリア370の上に搭載され、分離した中継基板330を経由してリード端子320との間で差動電気信号を送受信する。2つの中継基板330および素子搭載部340は、それぞれ表裏面に導体パターンを含むマイクロストリップ線路を形成している。温度調整素子360はペルチェ素子であるため、温度調整素子360は、アイレット310及びサブキャリア370と面する部分に絶縁基板を有する。従って、素子搭載部340の光素子350が搭載された面の裏面は、グラウンド電位が供給されない。 The optical module of the conventional example 2 is equipped with an optical sub-assembly equipped with a temperature adjusting element 360. Specifically, the optical subassembly of Conventional Example 2 has the configuration shown in FIG. The optical subassembly of the conventional example 2 includes a temperature adjusting element 360 and a subcarrier 370 in the central portion of the region where the pedestal 313 of the conventional example 1 is provided. The subcarrier 370 is made of ceramic or metal having high thermal conductivity in order to improve heat dissipation. The pedestal 313 is separately provided at two locations on both sides of the temperature adjusting element 360 and the subcarrier 370. The relay board 330 is arranged on a pedestal 313 separated in two places. The element mounting unit 340 on which the optical element 350 is mounted is mounted on the subcarrier 370 and transmits / receives a differential electric signal to / from the lead terminal 320 via the separated relay board 330. The two relay boards 330 and the element mounting portion 340 each form a microstrip line including a conductor pattern on the front and back surfaces. Since the temperature adjusting element 360 is a Peltier element, the temperature adjusting element 360 has an insulating substrate in a portion facing the eyelet 310 and the subcarrier 370. Therefore, the ground potential is not supplied to the back surface of the surface on which the optical element 350 of the element mounting portion 340 is mounted.

図8に示すように、従来例1の光サブアッセンブリは、素子搭載部340の裏面にグラウンド電位が供給されるため、高い周波数領域においても透過特性が高い。しかしながら、従来例1の光サブアッセンブリは、温度調整素子360を含まないため、高温環境で用いることはできない。 As shown in FIG. 8, in the optical subassembly of the conventional example 1, since the ground potential is supplied to the back surface of the element mounting portion 340, the transmission characteristic is high even in a high frequency region. However, since the optical subassembly of Conventional Example 1 does not include the temperature adjusting element 360, it cannot be used in a high temperature environment.

一方、従来例2の光サブアッセンブリは、温度調整素子360を含むため、高温環境で用いることができる。しかしながら、図8に示すように、従来例2の光サブアッセンブリは、素子搭載部340の裏面にグラウンド電位が供給されないため、高い周波数領域において透過特性が低下する。 On the other hand, since the optical subassembly of Conventional Example 2 includes a temperature adjusting element 360, it can be used in a high temperature environment. However, as shown in FIG. 8, in the optical subassembly of the conventional example 2, since the ground potential is not supplied to the back surface of the element mounting portion 340, the transmission characteristic deteriorates in a high frequency region.

これに対し、第1実施形態の光サブアッセンブリ100は、温度調整素子360を含むため、高温環境で用いることができる。さらに、図8に示すように、第1実施形態に係る光サブアッセンブリ100は、従来例2と比較して、高周波特性に関して高い透過特性を有している。第1実施形態は従来例2と異なり、中継基板330が分割されないため、差動電気信号を伝搬する導波路が形成される。当該導波路は、基板の垂直な二面にまたがって形成されている。そのため、第1実施形態では従来例2と異なり、リード端子320から光素子350の直前まで差動電気信号間の電気的な結合が維持された状態で、差動電気信号が伝搬される。これにより、グラウンド電位が素子搭載部340の直下に供給されていない状態であっても、差動電気信号間の電気的な結合によって電磁界が高次モードへの変換を起こすことなく、TEMモードとして伝搬される。従って、良好な透過特性が得られる。 On the other hand, since the optical subassembly 100 of the first embodiment includes the temperature adjusting element 360, it can be used in a high temperature environment. Further, as shown in FIG. 8, the optical subassembly 100 according to the first embodiment has a high transmission characteristic in terms of high frequency characteristics as compared with the conventional example 2. In the first embodiment, unlike the conventional example 2, since the relay board 330 is not divided, a waveguide for propagating the differential electric signal is formed. The waveguide is formed across two vertical surfaces of the substrate. Therefore, in the first embodiment, unlike the conventional example 2, the differential electric signal is propagated in a state where the electrical coupling between the differential electric signals is maintained from the lead terminal 320 to immediately before the optical element 350. As a result, even when the ground potential is not supplied directly under the element mounting portion 340, the electromagnetic field does not convert to the higher-order mode due to the electrical coupling between the differential electric signals, and the TEM mode is used. Propagated as. Therefore, good transmission characteristics can be obtained.

図11は、第2実施形態に係る光モジュール1に含まれる光サブアッセンブリ100の斜視図である。図11に示す光サブアッセンブリ100においては、第3導体パターン341及び第4導体パターン342は、光素子350が搭載される素子搭載面344と第2ボンディング面343にまたがって配置される。具体的には、例えば、素子搭載部340は、サブキャリア370と一体的に形成される。第3導体パターン341及び第4導体パターン342は、素子搭載部340のY方向に向かう面とZ方向に向かう面にまたがって形成される。第1実施形態と同様に、第3導体パターン341及び第4導体パターン342は、素子搭載部340の上で、差動電気信号を伝搬する導波路として形成される。 FIG. 11 is a perspective view of an optical subassembly 100 included in the optical module 1 according to the second embodiment. In the optical subassembly 100 shown in FIG. 11, the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 are arranged so as to straddle the element mounting surface 344 and the second bonding surface 343 on which the optical element 350 is mounted. Specifically, for example, the element mounting portion 340 is integrally formed with the subcarrier 370. The third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 are formed so as to straddle the surface of the element mounting portion 340 toward the Y direction and the surface toward the Z direction. Similar to the first embodiment, the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 are formed as a waveguide for propagating the differential electric signal on the element mounting portion 340.

また、素子搭載部340は、第2ボンディング面343と隣り合う面に、光素子350が搭載される素子搭載面344をさらに含む。具体的には、例えば、素子搭載部340は、Y方向に向かう面に光素子350が搭載される素子搭載面344を含む。光素子350は、素子搭載部340のY方向に向かう面に搭載され、当該面に形成された第3導体パターン341及び第4導体パターン342と接続される。 Further, the element mounting portion 340 further includes an element mounting surface 344 on which the optical element 350 is mounted on a surface adjacent to the second bonding surface 343. Specifically, for example, the element mounting unit 340 includes an element mounting surface 344 on which the optical element 350 is mounted on a surface facing the Y direction. The optical element 350 is mounted on a surface of the element mounting portion 340 facing the Y direction, and is connected to a third conductor pattern 341 and a fourth conductor pattern 342 formed on the surface.

中継基板330は、第1面311の法線方向に伸びるリード接続面334と、リード接続面334と隣り合う第1ボンディング面335と、を含む。第2実施形態においては、中継基板330は、X軸方向に向かう面にリード接続面334を含み、Z方向に向かう面に第1ボンディング面335を含む。 The relay board 330 includes a lead connecting surface 334 extending in the normal direction of the first surface 311 and a first bonding surface 335 adjacent to the lead connecting surface 334. In the second embodiment, the relay board 330 includes a lead connecting surface 334 on the surface facing the X-axis direction and a first bonding surface 335 on the surface facing the Z direction.

第1ボンディング面335の第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、第2ボンディング面343の第3導体パターン341及び第4導体パターン342とボンディングワイヤ380によって接続される。第2実施形態においては、中継基板330のZ方向に向かう面に形成された第1導体パターン331は、素子搭載部340のZ方向に向かう面に形成された第3導体パターン341と電気的に接続される。中継基板330のZ方向に向かう面に形成された第2導体パターン332は、素子搭載部340のZ方向に向かう面に形成された第4導体パターン342と電気的に接続される。 The first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 of the first bonding surface 335 are connected to the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 of the second bonding surface 343 by the bonding wire 380. In the second embodiment, the first conductor pattern 331 formed on the surface of the relay board 330 toward the Z direction is electrically different from the third conductor pattern 341 formed on the surface of the element mounting portion 340 facing the Z direction. Be connected. The second conductor pattern 332 formed on the Z-direction surface of the relay board 330 is electrically connected to the fourth conductor pattern 342 formed on the Z-direction surface of the element mounting portion 340.

このような構成においても、中継基板330及び素子搭載部340のワイヤボンディングで接続される面は、ともにZ方向に向かう面である。従って、容易にボンディングを行うことができる。また、第1実施形態と同様に、中継基板330が有する面のうち面積の大きいリード接続面334の向く方向が、第3導体パターン341及び第4導体パターン342の面が向く方向と、略垂直に配置されることにより、アイレット310に多数の部品を配置しかつ容易に製造することが可能である。 Even in such a configuration, the surfaces of the relay board 330 and the element mounting portion 340 that are connected by wire bonding are both surfaces that face the Z direction. Therefore, bonding can be easily performed. Further, as in the first embodiment, the direction in which the lead connection surface 334 having a large area among the surfaces of the relay board 330 faces is substantially perpendicular to the direction in which the surfaces of the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 face. By arranging in the eyelet 310, a large number of parts can be arranged in the eyelet 310 and easily manufactured.

さらに、図11に示す第2実施形態の光サブアッセンブリ100では、サブキャリア370の重心はアイレット310の重心に対し、中継基板330側に偏って配置されることを特徴としてもよい。当該実装方法であれば、ガラス同軸部の直上も安定して実装領域として用いることができるため小型化に優位である。 Further, the optical subassembly 100 of the second embodiment shown in FIG. 11 may be characterized in that the center of gravity of the subcarrier 370 is biased toward the relay board 330 with respect to the center of gravity of the eyelet 310. With this mounting method, it is possible to stably use the area directly above the glass coaxial portion as a mounting area, which is advantageous in miniaturization.

なお、第2実施形態の光サブアッセンブリ100においても、温度調整素子360を含まない構成としてもよいし、ボンディングワイヤ380が3対以上設けられる構成としてもよい。 The optical subassembly 100 of the second embodiment may also have a configuration that does not include the temperature adjusting element 360, or may have a configuration in which three or more pairs of bonding wires 380 are provided.

続いて、第3実施形態について説明する。なお、第1実施形態及び第2実施形態と同様の構成については説明を省略する。上述のように、第1実施形態によれば、差動電気信号間の電気的な結合によって電磁界が高次モードへの変換を起こすことがないため、差動電気信号はTEMモードとして伝搬される。従って、良好な透過特性が得られる。しかしながら、図8のシミュレーション結果が示すように、中継基板330にグラウンド電位が供給されない場合では、良好な応答特性を示す帯域は25GHzに限られる。第3実施形態によれば、30GHz以上の高周波領域においても良好な応答特性を示す電界吸収型光変調器を集積した光半導体レーザーを実現することができる。 Subsequently, the third embodiment will be described. The description of the same configurations as those of the first embodiment and the second embodiment will be omitted. As described above, according to the first embodiment, the differential electric signal is propagated as the TEM mode because the electromagnetic field does not cause conversion to the higher order mode due to the electrical coupling between the differential electric signals. To. Therefore, good transmission characteristics can be obtained. However, as shown by the simulation result of FIG. 8, when the ground potential is not supplied to the relay board 330, the band showing good response characteristics is limited to 25 GHz. According to the third embodiment, it is possible to realize an optical semiconductor laser in which an electric field absorption type optical modulator that exhibits good response characteristics even in a high frequency region of 30 GHz or more is integrated.

図12は、第3実施形態に係る光モジュール1に含まれる光サブアッセンブリ100の斜視図である。図13は、第3実施形態に係る光モジュール1に含まれる光サブアッセンブリ100の別方向からの斜視図である。図14は、第3実施形態に係る中継基板330が台座313にはんだまたは導電性接着剤333で接続された状態を示す模式的な斜視図である。 FIG. 12 is a perspective view of an optical subassembly 100 included in the optical module 1 according to the third embodiment. FIG. 13 is a perspective view of the optical subassembly 100 included in the optical module 1 according to the third embodiment from another direction. FIG. 14 is a schematic perspective view showing a state in which the relay board 330 according to the third embodiment is connected to the pedestal 313 with solder or a conductive adhesive 333.

中継基板330は、さらに、第1ボンディング面335と隣り合う面に、グラウンドに接地された第1グラウンドパターン1202が設けられた第1グラウンドパターン面1302を有する。具体的には、中継基板330は、リード接続面334と反対側の面(すなわち、−X軸方向に向かう面)にグラウンドに接地された第1グラウンドパターン1202を有する。なお、図13に示す例では、第1グラウンドパターン1202は、リード接続面334と反対側の面の全面に配置されている。 The relay board 330 further has a first ground pattern surface 1302 provided with a first ground pattern 1202 grounded on the surface adjacent to the first bonding surface 335. Specifically, the relay board 330 has a first ground pattern 1202 grounded on a surface opposite to the lead connection surface 334 (that is, a surface facing the −X axis direction). In the example shown in FIG. 13, the first ground pattern 1202 is arranged on the entire surface of the surface opposite to the lead connection surface 334.

第1グラウンドパターン1202は、第1ボンディング面335にまたがって配置される。具体的には、例えば、第1グラウンドパターン1202は、リード接続面334と反対側の面から第1ボンディング面335にまたがって配置される。第1ボンディング面335に配置された第1グラウンドパターン1202は、第1導体パターン331及び第2導体パターン332の両側に配置される。 The first ground pattern 1202 is arranged so as to straddle the first bonding surface 335. Specifically, for example, the first ground pattern 1202 is arranged so as to straddle the first bonding surface 335 from the surface opposite to the lead connection surface 334. The first ground pattern 1202 arranged on the first bonding surface 335 is arranged on both sides of the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332.

なお、第1グラウンドパターン1202は、第1ボンディング面335の第1導体パターン331及び第2導体パターン332の−X軸方向側にも配置されてもよい。当該構成によれば、第1導体パターン331及び第2導体パターン332は、第1ボンディング面335からリード接続面334にまたがって配置された部分を除いて、第1グラウンドパターン1202に囲われる。 The first ground pattern 1202 may also be arranged on the −X axis direction side of the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 of the first bonding surface 335. According to this configuration, the first conductor pattern 331 and the second conductor pattern 332 are surrounded by the first ground pattern 1202 except for the portion arranged from the first bonding surface 335 to the lead connection surface 334.

サブキャリア370は、第1グラウンドパターン面1302と平行な面に、グラウンドに接地された第2グラウンドパターン1304が設けられた第2グラウンドパターン面1306を有する。具体的には、例えば、サブキャリア370は、−X軸方向に向かう面にグラウンドに接地された第2グラウンドパターン1304を有する。なお、図13に示す例では、第2グラウンドパターン1304は、第2グラウンドパターン面1306の全面に配置されている。 The subcarrier 370 has a second ground pattern surface 1306 provided with a second ground pattern 1304 grounded on the surface parallel to the first ground pattern surface 1302. Specifically, for example, the subcarrier 370 has a second ground pattern 1304 grounded on a surface facing the −X axis direction. In the example shown in FIG. 13, the second ground pattern 1304 is arranged on the entire surface of the second ground pattern surface 1306.

なお、第2グラウンドパターン1304は、第2グラウンドパターン面1306と隣接する面にまたがって配置されてもよい。具体的には、例えば、第2グラウンドパターン1304は、第2グラウンドパターン面1306からサブキャリア370のY軸方向に向かう面にまたがって配置されてもよい。すなわち、第2グラウンドパターン1304は、サブキャリア370の中継基板330と接する面の全体に配置されてもよい。さらに、サブキャリア370は、金属のブロックであってもよい。 The second ground pattern 1304 may be arranged so as to straddle a surface adjacent to the second ground pattern surface 1306. Specifically, for example, the second ground pattern 1304 may be arranged so as to straddle the surface of the subcarrier 370 in the Y-axis direction from the second ground pattern surface 1306. That is, the second ground pattern 1304 may be arranged on the entire surface of the subcarrier 370 in contact with the relay board 330. Further, the subcarrier 370 may be a metal block.

第1グラウンドパターン1202は、第2グラウンドパターン1304とボンディングワイヤ380によって接続される。具体的には、例えば、中継基板330の第1グラウンドパターン面1302に設けられた第1グラウンドパターン1202は、サブキャリア370の第2グラウンドパターン面1306に設けられた第2グラウンドパターン1304とボンディングワイヤ380によって接続される。 The first ground pattern 1202 is connected to the second ground pattern 1304 by a bonding wire 380. Specifically, for example, the first ground pattern 1202 provided on the first ground pattern surface 1302 of the relay board 330 is bonded to the second ground pattern 1304 provided on the second ground pattern surface 1306 of the subcarrier 370. Connected by 380.

素子搭載部340は、グラウンドに接地され、少なくとも隣り合う二面にまたがる第3グラウンドパターン1308を有する。具体的には、例えば、素子搭載部340は、第2ボンディング面343にグラウンドに接地された第3グラウンドパターン1308を有する。第3グラウンドパターン1308は、第3導体パターン341及び第4導体パターン342の両側に配置される。第3グラウンドパターン1308は、第1ボンディング面335に設けられた第1グラウンドパターン1202とボンディングワイヤ380によって接続される。なお、素子搭載部340は、金属ブロックであってもよい。 The element mounting portion 340 is grounded and has a third ground pattern 1308 that spans at least two adjacent surfaces. Specifically, for example, the element mounting portion 340 has a third ground pattern 1308 grounded on the second bonding surface 343. The third ground pattern 1308 is arranged on both sides of the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342. The third ground pattern 1308 is connected to the first ground pattern 1202 provided on the first bonding surface 335 by a bonding wire 380. The element mounting portion 340 may be a metal block.

なお、第3グラウンドパターン1308は、第2ボンディング面343に隣り合う面を経て、第2ボンディング面343の裏側の面にかけてまたがって配置されてもよい。第2ボンディング面343の裏側の面に配置された第3グラウンドパターン1308は、サブキャリア370のY軸方向に向かう面に配置された第2グラウンドパターン1304と接続されることで、グラウンドに接地される。 The third ground pattern 1308 may be arranged so as to pass through a surface adjacent to the second bonding surface 343 and to a surface on the back side of the second bonding surface 343. The third ground pattern 1308 arranged on the back surface of the second bonding surface 343 is grounded by being connected to the second ground pattern 1304 arranged on the surface of the subcarrier 370 in the Y-axis direction. To.

複数のリード端子は、対応する信号が入力される一対のリード端子を含む。具体的には、例えば、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bは、一対のリード端子である。一対の差動電気信号が、第1リード端子320A及び第2リード端子320Bに入力される。一対のリード端子は、アイレット310を貫通する単一の貫通孔315に誘電体314によって固着される。例えば、単一の貫通孔315に一対のリード端子(第1リード端子320A及び第2リード端子320B)がガラスによって固着され、一対のリード端子のインピーダンスが差動100Ohmに整合するよう設計される。 The plurality of lead terminals include a pair of lead terminals into which corresponding signals are input. Specifically, for example, the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B are a pair of lead terminals. A pair of differential electric signals are input to the first lead terminal 320A and the second lead terminal 320B. The pair of lead terminals are fixed by a dielectric 314 to a single through hole 315 penetrating the eyelet 310. For example, a pair of lead terminals (first lead terminal 320A and second lead terminal 320B) are fixed to a single through hole 315 by glass, and the impedance of the pair of lead terminals is designed to match the differential 100 Ohm.

図12及び図13に示す第3導体パターン341及び第4導体パターン342は、光素子350が電界吸収型光素子である場合におけるものである。電界吸収型光素子が用いられる場合、出力インピーダンスが100Ohmである駆動ICを用いて差動信号が変調されることが一般的である。そのため、差動信号が入力される第3導体パターン341及び第4導体パターン342のインピーダンスは、100Ohmに整合するように設計されるため、第1実施形態や第2実施形態と比べると細いパターン幅である。 The third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 shown in FIGS. 12 and 13 are in the case where the optical element 350 is an electric field absorption type optical element. When an electric field absorption type optical element is used, the differential signal is generally modulated by using a drive IC having an output impedance of 100 Ohm. Therefore, since the impedances of the third conductor pattern 341 and the fourth conductor pattern 342 to which the differential signal is input are designed to match 100 Ohm, the pattern width is narrower than that of the first embodiment and the second embodiment. Is.

第3実施形態によれば、素子搭載部340にグラウンド電位を供給することによって、高周波特性が安定し、30GHz以上の高周波領域においても良好な透過特性を示す。図15は、第3実施形態に係る光モジュール1の透過特性(S21)を3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)を用いて計算したグラフである。グラウンド電位が素子搭載部340の第3グラウンドパターン1308に供給されることで、30GHz以上の透過特性も改善していることがわかる。 According to the third embodiment, by supplying the ground potential to the element mounting portion 340, the high frequency characteristics are stabilized, and good transmission characteristics are exhibited even in a high frequency region of 30 GHz or more. FIG. 15 is a graph obtained by calculating the transmission characteristics (S21) of the optical module 1 according to the third embodiment using a three-dimensional electromagnetic field simulator HFSS (High Frequency Structure Simulator). It can be seen that the transmission characteristic of 30 GHz or more is also improved by supplying the ground potential to the third ground pattern 1308 of the element mounting portion 340.

第1グラウンドパターン面1302と第2グラウンドパターン面1306は、−X軸方向に向かう面ではなく、Z軸方向に向かう面に設けられてもよい。具体的には、例えば、中継基板330は、Z軸方向に向かう面にグラウンドに接地された第1グラウンドパターン1202を有してもよい。サブキャリア370は、Z軸方向に向かう面にグラウンドに接地された第2グラウンドパターン1304を有してもよい。この場合、中継基板330が台座313よりもZ軸方向に短い場合であっても第1グラウンドパターン1202が露出する。また、第1グラウンドパターン1202と第2グラウンドパターン1304は平行であるため、ボンディングワイヤ380によって接続することができる。 The first ground pattern surface 1302 and the second ground pattern surface 1306 may be provided on a surface facing the Z-axis direction instead of a surface facing the −X-axis direction. Specifically, for example, the relay board 330 may have a first ground pattern 1202 grounded on a surface facing the Z-axis direction. The subcarrier 370 may have a second ground pattern 1304 grounded on a surface oriented in the Z-axis direction. In this case, the first ground pattern 1202 is exposed even when the relay board 330 is shorter than the pedestal 313 in the Z-axis direction. Further, since the first ground pattern 1202 and the second ground pattern 1304 are parallel to each other, they can be connected by the bonding wire 380.

なお、本明細書中では、金属円盤を表すアイレット310という文言を使用したが、アイレット310が円盤形状であることに本質的な意味はなく、多角柱などのその他の形状であってもかまわない。 In this specification, the term eyelet 310, which represents a metal disk, is used, but the fact that the eyelet 310 has a disk shape has no essential meaning, and other shapes such as polygonal prisms may be used. ..

1 光モジュール、2 光レセプタクル、3 光パッケージ、20 光レセプタクル本体、20a 凹部、20b 挿入孔、20c テーパ部、20d 光ファイバ挿入部、20e フランジ、20f 光パッケージ収容部、22 スタブ、24 スリーブ、30 レンズ、32 レンズ支持部、50 光ファイバ、100 光サブアッセンブリ、130 PCB、140 FPC、310 アイレット、311 第1面、312 第2面、313 台座、314 誘電体、315 貫通孔、320 リード端子、320A 第1リード端子、320B 第2リード端子、320C 第3リード端子、320D 第4リード端子、320E 第5リード端子、320F 第6リード端子、330 中継基板、331 第1導体パターン、332 第2導体パターン、333 はんだまたは導電性接着剤、334 リード接続面、335 第1ボンディング面、340 素子搭載部、341 第3導体パターン、342 第4導体パターン、343 第2ボンディング面、344 素子搭載面、350 光素子、360 温度調整素子、370 サブキャリア、380 ボンディングワイヤ、601 テーパ、1202 第1グラウンドパターン、1302 第1グラウンドパターン面、1304 第2グラウンドパターン、1306 第2グラウンドパターン面、1308 第3グラウンドパターン。 1 Optical module, 2 Optical conductor, 3 Optical package, 20 Optical conductor body, 20a recess, 20b insertion hole, 20c taper, 20d optical fiber insertion part, 20e flange, 20f optical package housing, 22 stubs, 24 sleeves, 30 Lens, 32 lens support, 50 optical fiber, 100 optical subassembly, 130 PCB, 140 FPC, 310 eyelet, 311 first surface, 312 second surface, 313 pedestal, 314 dielectric, 315 through hole, 320 lead terminal, 320A 1st lead terminal, 320B 2nd lead terminal, 320C 3rd lead terminal, 320D 4th lead terminal, 320E 5th lead terminal, 320F 6th lead terminal, 330 relay board, 331 1st conductor pattern, 332 2nd conductor Pattern, 333 solder or conductive adhesive, 334 lead connection surface, 335 first bonding surface, 340 element mounting part, 341 third conductor pattern, 342 fourth conductor pattern, 343 second bonding surface, 344 element mounting surface, 350 Optical element, 360 temperature control element, 370 sub-carrier, 380 bonding wire, 601 taper, 1202 1st ground pattern, 1302 1st ground pattern surface, 1304 2nd ground pattern, 1306 2nd ground pattern surface, 1308 3rd ground pattern ..

Claims (11)

第1面と、前記第1面の反対側に配置された第2面と、前記第2面から前記第1面までを貫通する複数の貫通孔と、を含むアイレットと、
前記複数の貫通孔に挿入され、少なくとも一部に差動電気信号が入力される複数のリード端子と、
前記第1面の法線方向に伸びるリード接続面と、前記リード接続面と隣り合う第1ボンディング面と、を含み、前記リード接続面と前記第1ボンディング面にまたがって第1導体パターン及び第2導体パターンが形成され、前記リード接続面に形成された前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンは前記リード端子とはんだまたは導電性接着剤で接続されて前記差動電気信号が入力される中継基板と、
前記差動電気信号が入力される第3導体パターン及び第4導体パターンが形成された第2ボンディング面を含む素子搭載部と、
前記素子搭載部に搭載され、前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンと電気的に接続され、光信号と前記差動電気信号の一方を他方に変換する光素子と、
を含み、
前記第1ボンディング面の前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンは、前記第2ボンディング面の前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンとボンディングワイヤによって接続され、
前記第1ボンディング面と前記第2ボンディング面の各法線方向は同一方向である、
ことを特徴とする光サブアッセンブリ。
An eyelet including a first surface, a second surface arranged on the opposite side of the first surface, and a plurality of through holes penetrating from the second surface to the first surface.
A plurality of lead terminals inserted into the plurality of through holes and at least partially input with a differential electric signal,
A first conductor pattern and a first conductor pattern including a lead connection surface extending in the normal direction of the first surface and a first bonding surface adjacent to the lead connection surface, straddling the lead connection surface and the first bonding surface. A two-conductor pattern is formed, and the first conductor pattern and the second conductor pattern formed on the lead connection surface are connected to the lead terminal with solder or a conductive adhesive, and the differential electric signal is input. With the relay board
An element mounting portion including a second bonding surface on which the third conductor pattern and the fourth conductor pattern into which the differential electric signal is input are formed, and
An optical element mounted on the element mounting portion, electrically connected to the third conductor pattern and the fourth conductor pattern, and converting one of an optical signal and the differential electric signal into the other.
Including
The first conductor pattern and the second conductor pattern on the first bonding surface are connected to the third conductor pattern and the fourth conductor pattern on the second bonding surface by a bonding wire.
The normal directions of the first bonding surface and the second bonding surface are the same.
An optical sub-assembly that is characterized by this.
さらに、前記第1面に接して配置され、前記光素子の温度を調整する温度調整素子を含むことを特徴とする請求項1に記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to claim 1, further comprising a temperature adjusting element that is arranged in contact with the first surface and adjusts the temperature of the optical element. さらに、前記温度調整素子に搭載され、前記素子搭載部を搭載するサブキャリアを含むことを特徴とする請求項2に記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to claim 2, further comprising a subcarrier mounted on the temperature adjusting element and mounting the element mounting portion. 前記サブキャリアの重心は前記アイレットの重心に対し、前記中継基板側に偏って配置されることを特徴とする請求項3に記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to claim 3, wherein the center of gravity of the subcarrier is biased toward the relay board side with respect to the center of gravity of the eyelet. 前記ボンディングワイヤは3対以上であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to any one of claims 1 to 4, wherein the bonding wires have three or more pairs. 前記素子搭載部は、前記第2ボンディング面と隣り合う面に、前記光素子が搭載される素子搭載面をさらに含み、
前記第3導体パターン及び前記第4導体パターンは、前記素子搭載面と前記第2ボンディング面にまたがって配置される、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の光サブアッセンブリ。
The element mounting portion further includes an element mounting surface on which the optical element is mounted on a surface adjacent to the second bonding surface.
The third conductor pattern and the fourth conductor pattern are arranged so as to straddle the element mounting surface and the second bonding surface.
The optical subassembly according to any one of claims 1 to 5.
前記複数のリード端子は、対応する信号が入力される一対のリード端子を含み、
前記一対のリード端子は、前記アイレットを貫通する単一の貫通孔に誘電体によって固着される、
ことを特徴とする請求項1に記載の光サブアッセンブリ。
The plurality of lead terminals include a pair of lead terminals into which corresponding signals are input.
The pair of lead terminals are fixed by a dielectric to a single through hole penetrating the eyelet.
The optical subassembly according to claim 1.
前記中継基板は、さらに、前記第1ボンディング面と隣り合う面に、グラウンドに接地された第1グラウンドパターンが設けられた第1グラウンドパターン面を有し、
前記サブキャリアは、前記第1グラウンドパターン面と平行な面に、グラウンドに接地された第2グラウンドパターンが設けられた第2グラウンドパターン面を有し、
前記第1グラウンドパターンは、前記第2グラウンドパターンとボンディングワイヤによって接続される、
ことを特徴とする請求項3に記載の光サブアッセンブリ。
The relay board further has a first ground pattern surface provided with a first ground pattern grounded on the surface adjacent to the first bonding surface.
The subcarrier has a second ground pattern surface on which a second ground pattern grounded on the ground is provided on a surface parallel to the first ground pattern surface.
The first ground pattern is connected to the second ground pattern by a bonding wire.
The optical subassembly according to claim 3.
前記第1グラウンドパターンは、前記第1ボンディング面にまたがって配置され、
前記第1ボンディング面に配置された前記第1グラウンドパターンは、前記第1導体パターン及び前記第2導体パターンの両側に配置される、
ことを特徴とする請求項8に記載の光サブアッセンブリ。
The first ground pattern is arranged so as to straddle the first bonding surface.
The first ground pattern arranged on the first bonding surface is arranged on both sides of the first conductor pattern and the second conductor pattern.
The optical subassembly according to claim 8.
前記素子搭載部は、金属ブロックであることを特徴とする請求項8に記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to claim 8, wherein the element mounting portion is a metal block. 前記素子搭載部は、グラウンドに接地され、少なくとも隣り合う二面にまたがる第3グラウンドパターンを有することを特徴とする請求項8に記載の光サブアッセンブリ。 The optical subassembly according to claim 8, wherein the element mounting portion is grounded and has a third ground pattern that spans at least two adjacent surfaces.
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