JP2010135688A - Method for manufacturing optical module - Google Patents

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Takashi Konosu
貴 鴻巣
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an optical module capable of accurately preventing shift of an optical axis of an optical element when a mounted component including the optical element such as a light emitting element is mounted on a stem in order to assemble the optical module. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the optical module includes a step of attaching a mount member 23 disposed on a main surface of the stem 22 and having a mounting surface crossing the main surface to the stem 22 or integrally forming the mount member 23 with the stem 22, a step of attaching a plurality of lead terminals 10a-10i so as to penetrate the stem 22, and a substrate mounting step of mounting a substrate 12 on which the optical element (LD 13) is mounted on the mounting surface of the mount member 23. In the substrate mounting step, an end face of the substrate 12 on the stem 22 side and ends of at least two of the lead terminals (in this example, the lead terminal 10g and another lead terminal) are positioned, and the substrate 12 is slid to the optical axis direction of the LD 13, and then, is fixed to the mount member 23. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ケーブルに接続するための光モジュールを製造する方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing an optical module for connection to an optical cable.

光ケーブルには光ファイバが内包されており、光ファイバを用いた光通信には光モジュールが用いられる。この光モジュールでは、発光素子から発せられた光信号を光ファイバへ伝達させ、又は光ファイバを伝達してきた光を受光素子に集光させている。発光素子(主に、Laser Diode:LD)からの光は、光ファイバの導波路であるコアに集光させて伝達される。また、受光素子(主に、Photo Diode:PD)は、光ファイバのコアを伝達してきた光をレンズ等により集光して、受光し電気信号に変換する。   The optical cable includes an optical fiber, and an optical module is used for optical communication using the optical fiber. In this optical module, the optical signal emitted from the light emitting element is transmitted to the optical fiber, or the light transmitted through the optical fiber is condensed on the light receiving element. Light from a light emitting element (mainly Laser Diode: LD) is condensed and transmitted to a core which is a waveguide of an optical fiber. In addition, a light receiving element (mainly Photo Diode: PD) collects light transmitted through the core of the optical fiber with a lens or the like, receives the light, and converts it into an electrical signal.

光モジュールは、このようなLD、PDなどの光デバイスや他の実装部品を搭載している。また、LDはその発振波長を安定させるためにその温度を制御することが望ましいため、LDを搭載する際には、ペルチェ素子を有する熱電子冷却モジュール(ThermoElectric Cooling module:TEC)も搭載されることが多い。LDは、このペルチェ素子上に搭載される。   The optical module is mounted with such optical devices such as LD and PD and other mounting components. Also, since it is desirable to control the temperature of the LD in order to stabilize its oscillation wavelength, a thermoelectric cooling module (TEC) having a Peltier element is also mounted when mounting the LD. There are many. The LD is mounted on this Peltier element.

このような光モジュールを製造する際に、LDを搭載した回路基板(LDキャリア)をステムに搭載する必要があるが、このとき、LDからの出射光の光軸がズレてしまうことがある。   When manufacturing such an optical module, it is necessary to mount a circuit board (LD carrier) on which an LD is mounted on a stem. At this time, the optical axis of light emitted from the LD may be shifted.

特許文献1には、光路に設けた屈折板の挿入角度により光軸を調整する技術が開示されている。また、特許文献2には、入出力端子の外方に位置する基体(ステム)の外周部に、全周にわたって基体の上側主面から突出するようにして厚肉部を設けることで、入出力端子に熱応力が加わり難くして、入出力端子にクラック等の破損を生じ難くする技術が開示されている。この技術では、基体に蓋体(キャップ)を接合した後に基体及び蓋体に熱収縮差が生じても、厚肉部が補強作用をなすため、基体に歪みが加わり難く、その基体上に設けられたLDの光軸のズレを抑えることが可能になっている。
特開2007−10854号公報 特開2007−150276号公報
Patent Document 1 discloses a technique for adjusting an optical axis according to an insertion angle of a refracting plate provided in an optical path. Further, in Patent Document 2, the outer peripheral portion of the base body (stem) located outside the input / output terminal is provided with a thick portion so as to protrude from the upper main surface of the base body over the entire periphery, thereby A technique is disclosed in which it is difficult for thermal stress to be applied to the terminals, and breakage such as cracks is less likely to occur in the input / output terminals. In this technique, even if a thermal contraction difference occurs between the base and the lid after the lid (cap) is joined to the base, the thick-walled portion provides a reinforcing action, so that the base is not easily distorted and is provided on the base. It is possible to suppress the deviation of the optical axis of the produced LD.
JP 2007-10854 A JP 2007-150276 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では屈折板を光路上に追加する必要があるうえに、端面発光LDを実装したLDキャリアを直接パッケージのステムに実装する際に、サイズの制約があり精度良く屈折板を実装し難い。また、特許文献2に記載の技術ではステム上に厚肉部を設ける必要があるうえに、実装後に外部から加わる外力や熱による歪みを低減する効果しかなく、実装精度そのものについての効果は無い。   However, in the technique described in Patent Document 1, it is necessary to add a refracting plate on the optical path, and there is a size restriction when mounting an LD carrier on which an end surface light emitting LD is directly mounted on a package stem. Difficult to mount a refracting plate. In addition, the technique described in Patent Document 2 needs to provide a thick portion on the stem, and has only an effect of reducing external force applied from the outside after mounting and distortion due to heat, and has no effect on the mounting accuracy itself.

また、熱電子冷却モジュール(TEC)を備える光モジュールでは、このような従来技術を採用したとしても、TEC自身が寸法ばらつきを持っているため、TEC上面にLDキャリアを実装するとさらにLDの光軸角度にばらつきが生じてしまう。   Further, in an optical module including a thermoelectric cooling module (TEC), even if such a conventional technique is adopted, the TEC itself has dimensional variations. Therefore, when an LD carrier is mounted on the TEC upper surface, the optical axis of the LD is further increased. The angle will vary.

本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたものであり、ステム上に発光素子等の光素子をはじめとする実装部品を搭載して光モジュールを組み立てるに際し、光素子の光軸ズレを精度良く防止することが可能な光モジュール製造方法を提供することをその目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and when an optical module is assembled by mounting a mounting component such as a light emitting element on a stem, an optical axis shift of the optical element is accurately determined. It is an object of the present invention to provide an optical module manufacturing method that can be well prevented.

本発明による光モジュール製造方法は、ステムの主面と交わる搭載面をもつマウント部材と、ステムを貫通して複数のリード端子と、マウント部材の搭載面に搭載された、光素子を実装した基板と、光ケーブルに接続するためのスリーブとを有する光モジュールの製造方法であって、基板の搭載は、基板におけるステム側の端面と複数のリード端子の少なくとも2本の端部とで位置決めを行い、位置決めした基板を、光素子の光軸方向にスライドさせてからマウント部材に対して固定する。   An optical module manufacturing method according to the present invention includes a mount member having a mounting surface that intersects the main surface of the stem, a plurality of lead terminals that penetrate the stem, and a substrate on which the optical element is mounted mounted on the mounting surface of the mount member. And a method of manufacturing an optical module having a sleeve for connecting to an optical cable, wherein mounting of the substrate is performed by positioning the end surface on the stem side of the substrate and at least two ends of the plurality of lead terminals, The positioned substrate is slid in the optical axis direction of the optical element and then fixed to the mount member.

また、上記基板の搭載は、マウント部材の搭載面に熱電子冷却モジュールを搭載して固定し、次いで、熱電子冷却モジュールに基板を載置して位置決めを行うようにしてもよい。代わりに、上記基板の搭載は、熱電子冷却モジュール上に基板を固定し、次いで、マウント部材の搭載面に基板付きの前記熱電子冷却モジュールを載置して位置決めを行うようにしてもよい。   Further, the mounting of the substrate may be performed by mounting and fixing the thermoelectric cooling module on the mounting surface of the mount member, and then placing the substrate on the thermoelectric cooling module for positioning. Alternatively, the mounting of the substrate may be performed by fixing the substrate on the thermoelectric cooling module and then placing the thermoelectric cooling module with the substrate on the mounting surface of the mount member for positioning.

本発明によれば、ステム上に発光素子、受光素子等の光素子をはじめとする実装部品を搭載して光モジュールを組み立てるに際し、光素子の光軸ズレを精度良く防止することが可能になる。   According to the present invention, when an optical module is assembled by mounting mounting components including optical elements such as a light emitting element and a light receiving element on a stem, it is possible to prevent optical axis misalignment of the optical element with high accuracy. .

図により本発明の実施の形態を説明する。以下、本発明に係る光モジュール製造方法で製造される、光ケーブルに接続するための光モジュールとして、同軸型の光送信モジュールを例に挙げて説明するが、同軸型に限ったものではない。また、光受信機能を備えた光送受信モジュールにも同様に適用することができる。また、光モジュールには複数の実装部品が実装されるが、実装される実装部品についても以下に例示する実装部品に限ったものではなく、LDで例示する光素子を備えるものであればよい。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Hereinafter, a coaxial optical transmission module will be described as an example of an optical module for connecting to an optical cable manufactured by the optical module manufacturing method according to the present invention. However, the optical module is not limited to the coaxial type. Further, the present invention can be similarly applied to an optical transmission / reception module having an optical reception function. In addition, a plurality of mounting components are mounted on the optical module. However, the mounting components to be mounted are not limited to the mounting components exemplified below, and may be anything provided with an optical element exemplified by LD.

図1は、本発明に係る光モジュール製造方法で製造される光送信モジュールの構成例を示す一部断面図、図2は、図1の光送信モジュールをH方向から見た一部断面図、図3は、図1及び図2の光送信モジュールをZ方向から見た図、図4は、図1〜図3で示す光送信モジュールの回路図である。なお、図3では、キャップ内部のみを図示しており、図3(及び図2)においてV方向から見た図が図1に相当し、図3においてH方向から見た図が図2に相当する。   FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a configuration example of an optical transmission module manufactured by an optical module manufacturing method according to the present invention. FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the optical transmission module of FIG. 3 is a diagram of the optical transmission module of FIGS. 1 and 2 viewed from the Z direction, and FIG. 4 is a circuit diagram of the optical transmission module shown in FIGS. 3 shows only the inside of the cap, the view seen from the V direction in FIG. 3 (and FIG. 2) corresponds to FIG. 1, and the view seen from the H direction in FIG. 3 corresponds to FIG. To do.

図1〜図3で例示する光送信モジュール1は、熱電子冷却モジュール(TEC)を有する同軸型の光モジュールである。図1〜図3において、10a〜10iはリード端子(リードピン)、11はTEC電極パッド、12はセラミック回路基板(LDキャリア)、13はLD、14はインダクタ、15は抵抗、16はサーミスタ、17は端面入射型モニタPD、18は基板12の電極、19は吸熱側セラミック基板、20は熱電変換素子(ペルチェ素子)、21は排熱(放熱)側セラミック基板、22はステム、23はマウント部材(ステム主面上の台座)、24はキャップ(CANケース)、25はレンズを示しており、光送信モジュール1はこれらの構成要素を備える。   The optical transmission module 1 illustrated in FIGS. 1 to 3 is a coaxial optical module having a thermoelectric cooling module (TEC). 1 to 3, reference numerals 10a to 10i denote lead terminals (lead pins), 11 denotes a TEC electrode pad, 12 denotes a ceramic circuit board (LD carrier), 13 denotes an LD, 14 denotes an inductor, 15 denotes a resistor, 16 denotes a thermistor, 17 Is an edge-incident monitor PD, 18 is an electrode of the substrate 12, 19 is a heat absorption side ceramic substrate, 20 is a thermoelectric conversion element (Peltier element), 21 is a heat exhaust (heat dissipation) side ceramic substrate, 22 is a stem, and 23 is a mount member (Pedestal on stem main surface), 24 is a cap (CAN case), 25 is a lens, and the optical transmission module 1 includes these components.

ステム22は、通常、熱伝導性を有し導電性のある金属で円盤状に形成されているが、他の形状であってもよい。ステム22には、ステム22を貫通してステム22の主面に垂直に複数のリード端子10a〜10iが配設されている。このうち信号伝送用又は給電用のリード端子10a〜10d,10f〜10iは、ガラスシールで電気的に絶縁された状態でステム22に固定される。一方、接地用のリード端子10eは、ステム22と絶縁せず、ステム22に直接固定される。   The stem 22 is usually formed in a disc shape with a metal having heat conductivity and conductivity, but may have other shapes. A plurality of lead terminals 10 a to 10 i are disposed in the stem 22 so as to penetrate the stem 22 and be perpendicular to the main surface of the stem 22. Among these, the signal transmission or power supply lead terminals 10a to 10d and 10f to 10i are fixed to the stem 22 in a state of being electrically insulated by a glass seal. On the other hand, the ground lead terminal 10 e is directly insulated from the stem 22 without being insulated from the stem 22.

このように取り付けられたリード端子10a〜10iは、光送信モジュール1に搭載される複数の実装部品のうち、給電や信号の送信又は受信に必要な複数の部品(電子素子或いは電子部品)、つまり電気的な接続を必要とする複数の部品(以下、要接続部品と呼ぶ)と、V方向からワイヤでボンディングされる。   The lead terminals 10a to 10i attached in this way are a plurality of components (electronic elements or electronic components) necessary for power feeding, signal transmission or reception among a plurality of mounting components mounted on the optical transmission module 1, that is, A plurality of parts that require electrical connection (hereinafter referred to as connection-required parts) are bonded with wires from the V direction.

各要接続部品には、それぞれ少なくとも1つの導体接続面(ワイヤ接続面)が形成されているものとする。一方で、複数のリード端子10a〜10iのそれぞれには、要接続部品に形成された導体接続面のいずれかとワイヤボンディングで接続するための導体接続面(ワイヤ接続面)が形成されているものとする。そして、この例では、複数のリード端子10a〜10iに形成された全てのワイヤ接続面及び要接続部品に形成された全てのワイヤ接続面がいずれも平行になるように、要接続部品と複数のリード端子とが配設されている。これにより、ワイヤボンディングを必要とする部分は全て平行(一平面上とは限らない)になり、全ての箇所で一方向からのワイヤボンディングが可能となる。   It is assumed that at least one conductor connection surface (wire connection surface) is formed on each connection component. On the other hand, each of the plurality of lead terminals 10a to 10i is formed with a conductor connection surface (wire connection surface) for connecting with any one of the conductor connection surfaces formed in the connection required components by wire bonding. To do. In this example, all the wire connection surfaces formed on the plurality of lead terminals 10a to 10i and all the wire connection surfaces formed on the connection required components are parallel to each other. Lead terminals are arranged. As a result, all portions requiring wire bonding are parallel (not necessarily on a single plane), and wire bonding from one direction is possible at all locations.

ここで、各リード端子10a〜10iは、少なくともその先端部分を平板状(平坦な形状)に形成しその平板状の部分をワイヤ接続面としてワイヤ接続側に向けてステム22に設置することが好ましい。このように構成することで、V方向からのワイヤボンディングが容易になる。但し、各リード端子10a〜10iは、その先端部分が球状に形成されていても円柱状に形成されていても、その先端部分をワイヤ接続面(この面は曲面となる)としてV方向からワイヤボンディングすることはできる。   Here, each of the lead terminals 10a to 10i is preferably installed on the stem 22 with at least a tip portion formed in a flat plate shape (flat shape) and with the flat plate portion serving as a wire connection surface toward the wire connection side. . With this configuration, wire bonding from the V direction is facilitated. However, each of the lead terminals 10a to 10i has a wire connection surface (this surface becomes a curved surface) as a wire connection surface (this surface becomes a curved surface) regardless of whether the tip portion is formed in a spherical shape or a cylindrical shape. Can be bonded.

なお、全てワイヤによりリード端子と接続される必要はなく、直接、半田接続される要接続部品があってもよい。また、図示するように、通常、全ての要接続部品がリード端子10a〜10iに直接又はワイヤボンディングで接続される訳ではなく、後述するように要接続部品の中には、他の要接続部品と電気的に接続される部品もある。また、ここで用いるワイヤや後述のワイヤとしては、リボンワイヤなどの寄生インダクタンスの小さいものを用いることが望ましい。   In addition, it is not necessary to be connected to the lead terminal by all wires, and there may be a connecting component that is directly connected by soldering. Also, as shown in the drawing, not all of the required connection parts are normally connected directly or by wire bonding to the lead terminals 10a to 10i. There are also parts that are electrically connected to. Moreover, it is desirable to use a wire having a small parasitic inductance, such as a ribbon wire, as the wire used here or a wire described later.

ステム22の主面上には、マウント部材23が凸状に設けられている。マウント部材23は、ステム22の主面と交わる搭載面(実装部品の実装面)をもつ。つまり、搭載面がステム22の主面と(好ましくは垂直に)交わるようにマウント部材23がステム22上に設置される。勿論、マウント部材23はステム22と別部材である必要はなく、一体に構成してもよい。   On the main surface of the stem 22, a mount member 23 is provided in a convex shape. The mount member 23 has a mounting surface (mounting surface for mounting components) that intersects the main surface of the stem 22. That is, the mount member 23 is installed on the stem 22 so that the mounting surface intersects (preferably perpendicularly) the main surface of the stem 22. Of course, the mount member 23 does not have to be a separate member from the stem 22 and may be integrally formed.

マウント部材23の搭載面には、排熱側セラミック基板21、複数の熱電変換素子(ペルチェ素子)20、吸熱側セラミック基板19で構成されるTECが、要接続部品の一つとして搭載される。TECは、マウント部材23の搭載面上に排熱側セラミック基板21が接するように実装され、ペルチェ素子20を介して実装された吸熱側セラミック基板19の上に、セラミック回路基板12で例示した配線基板が実装される。V方向から搭載面に各部材21,20,19を順番に実装していくことが可能であり、或いは各部材19〜21によりTECを構成した後、そのTEC搭載面にV方向から実装することも可能である。   On the mounting surface of the mount member 23, a TEC composed of a heat exhaust side ceramic substrate 21, a plurality of thermoelectric conversion elements (Peltier elements) 20, and a heat absorption side ceramic substrate 19 is mounted as one of the required components. The TEC is mounted on the mounting surface of the mount member 23 so that the exhaust heat-side ceramic substrate 21 is in contact therewith, and the wiring exemplified in the ceramic circuit substrate 12 on the heat absorption-side ceramic substrate 19 mounted via the Peltier element 20. A board is mounted. It is possible to mount each member 21, 20, 19 on the mounting surface in order from the V direction, or after the TEC is configured by each member 19-21, mounting on the TEC mounting surface from the V direction. Is also possible.

TECは、排熱側セラミック基板21と吸熱側セラミック基板19の対向面に、所定のパターンで電極を形成し、複数のペルチェ素子20を(P型とN型の素子を交互に)直列に接続して、両端の電極を給電導体に接続する構成とされる。この例では、排熱側セラミック基板21の長さ(ステム主面に垂直な方向の長さ)を吸熱側セラミック基板19より長くして、排熱側セラミック基板21の吸熱側セラミック基板19から突き出る部分にTEC電極パッド11を設けている。   In the TEC, electrodes are formed in a predetermined pattern on opposing surfaces of the exhaust heat side ceramic substrate 21 and the heat absorption side ceramic substrate 19, and a plurality of Peltier elements 20 are connected in series (alternating P type and N type elements). Thus, the electrodes at both ends are connected to the power supply conductor. In this example, the length of the exhaust heat side ceramic substrate 21 (the length in the direction perpendicular to the stem main surface) is made longer than that of the heat absorption side ceramic substrate 19 and protrudes from the heat absorption side ceramic substrate 19 of the exhaust heat side ceramic substrate 21. A TEC electrode pad 11 is provided in the portion.

そして、このTEC電極パッド11と給電用のリード端子10a,10iとは、図1に実線で示すようにV方向からワイヤでボンディングされ、図4に示すように電気的に接続される。このようなワイヤボンディングを容易にするため、並びにワイヤ長を短くするために、ステム22を貫通してその主面から突き出したリード端子10a,10iの端部が、排熱側セラミック基板21上に設けられたTEC電極パッド11の電極付近に位置するように、実装後の突き出し量や配置を設計しておくとよい。   The TEC electrode pad 11 and the power supply lead terminals 10a and 10i are bonded with a wire from the V direction as shown by a solid line in FIG. 1, and are electrically connected as shown in FIG. In order to facilitate such wire bonding and to shorten the wire length, the end portions of the lead terminals 10a and 10i penetrating the stem 22 and projecting from the main surface thereof are placed on the exhaust heat side ceramic substrate 21. It is preferable to design the protruding amount and arrangement after mounting so as to be located in the vicinity of the electrode of the provided TEC electrode pad 11.

吸熱側セラミック基板19上に実装されるセラミック回路基板12は、その電極(配線電極)18にLD13が電気的に直接半田接続された状態で搭載されており、LDキャリアともいう。このLDキャリア12は、V方向から吸熱側セラミック基板19上に実装することができる。配線電極18におけるLD搭載位置には、LD13に駆動電流を供給するように差動ラインが形成されている。この差動ラインの一方にはリード端子10c,10bが、他方にはリード端子10g,10hが、図1に実線で示すようにワイヤでボンディングされ、図4に示すように電気的に接続される。   The ceramic circuit board 12 mounted on the heat absorption side ceramic substrate 19 is mounted with its LD 13 electrically connected to its electrode (wiring electrode) 18 by direct soldering, and is also referred to as an LD carrier. The LD carrier 12 can be mounted on the heat absorption side ceramic substrate 19 from the V direction. A differential line is formed at the LD mounting position in the wiring electrode 18 so as to supply a driving current to the LD 13. Lead terminals 10c and 10b are connected to one of the differential lines, and lead terminals 10g and 10h are bonded to each other by wires as shown by solid lines in FIG. 1, and are electrically connected as shown in FIG. .

なお、図2及び図3では便宜上、ワイヤは図示していない。また、図4では配線電極18を図示していないが、LD13等の要接続部品に対する配線のそれぞれが配線電極18に対応する。このようなワイヤボンディングを容易にするため、並びにワイヤ長を短くするために、ステム22を貫通してその主面から突き出したリード端子10b,10c,10g,10hの端部が配線電極18における各接続位置付近に位置するように、実装後の突き出し量や配置を設計しておくとよい。なお、本発明に係る光モジュール製造方法では、この例でいうところのリード端子10c,10gを用いて位置決めを行うが、位置決めについては後述する。   2 and 3, the wire is not shown for convenience. In addition, although the wiring electrode 18 is not shown in FIG. In order to facilitate such wire bonding and shorten the wire length, the end portions of the lead terminals 10b, 10c, 10g, and 10h penetrating the stem 22 and projecting from the main surface thereof are connected to the wiring electrodes 18, respectively. It is advisable to design the protruding amount and arrangement after mounting so as to be located near the connection position. In the optical module manufacturing method according to the present invention, positioning is performed using the lead terminals 10c and 10g in this example, and positioning will be described later.

また、上記差動ラインには、一方のラインの途中及び他方のラインの途中に、薄膜の抵抗(抵抗素子)15やインダクタ14が設けられている。抵抗15やインダクタ14は、LD13がLDキャリア12上の他の要接続部品に比べて特に高速で駆動する部品であるため、LDキャリア12上の配線の中でもLD13に接続された配線においてインピーダンスが整合されるように設けられる。   The differential line is provided with a thin film resistor (resistive element) 15 and an inductor 14 in the middle of one line and the other line. Since the resistor 15 and the inductor 14 are components that the LD 13 is driven at a particularly high speed as compared with other required components on the LD carrier 12, impedances are matched in the wiring connected to the LD 13 among the wirings on the LD carrier 12. To be provided.

LDキャリア12は熱伝導性の良い素材で形成され、TEC上に搭載されており、TECによりLD13の温度制御が行われる。また、LD13のステム22の主面側とは反対方向の端面からは、主たるレーザ光が出射可能になっている。マウント部材23のステム22上での配設位置、TECやLDキャリア12の厚みなどは、LD13の出射光がステム22の略中心になる位置にLD13が実装できるように考慮して設計される。このような設計により、LD13の端面から出射される主たるレーザ光がステム22の主面側とは反対の方向へ進み、その出射光がパッケージ外部に位置決め保持された光ファイバに入射させることができる。   The LD carrier 12 is formed of a material having good thermal conductivity and is mounted on the TEC, and the temperature of the LD 13 is controlled by the TEC. Further, the main laser beam can be emitted from the end surface in the direction opposite to the main surface side of the stem 22 of the LD 13. The mounting position of the mount member 23 on the stem 22, the thickness of the TEC and the LD carrier 12, and the like are designed so that the LD 13 can be mounted at a position where the emitted light of the LD 13 is approximately at the center of the stem 22. With such a design, the main laser light emitted from the end face of the LD 13 travels in the direction opposite to the main face side of the stem 22, and the emitted light can enter the optical fiber positioned and held outside the package. .

また、LDキャリア12には、LD13やインピーダンス整合用の素子であるインダクタ14や抵抗15以外の要接続部品として、サーミスタ16及び端面入射型モニタPD17が、配線電極18に電気的に直接半田接続された状態で搭載されている。この例では、上述したいずれの要接続部品の構造やその配設位置も、実装作業時に全てV方向から実装可能なように設計されている。   The LD carrier 12 is electrically connected directly to the wiring electrode 18 by soldering the thermistor 16 and the end-face incident type monitor PD 17 as required components other than the LD 13 and the inductor 14 and the resistor 15 which are impedance matching elements. It is mounted in the state. In this example, the structure and arrangement position of any of the above-described required components are designed so that they can be mounted from the V direction during the mounting operation.

LD13は、ステム22の主面側の端面(すなわち光ファイバ側の端面とは反対側の端面)からもレーザ光を出射するように構成されている。PD17は、LD13のこのような後方出射光を検出して、LD13の光出力(出射光強度)をモニタするために設けられる。従って、PD17は、LD13の出射光を受光できる位置に配置される。PD17は端面入射タイプのものが望ましく、LD13やその他の電子素子が実装されている面と同じか、その面に沿った面へ実装される。また、PD17の2つのPD電極のうち一方の電極が接続された部分(配線電極18の一部分)は、モニタ用のリード端子10fにワイヤでV方向からボンディングされ、他方の電極が接続された部分は、接地用のリード端子10eにワイヤでV方向からボンディングされグランド接続され、図4に示すように電気的に接続される。   The LD 13 is configured to emit laser light also from an end surface on the main surface side of the stem 22 (that is, an end surface opposite to the end surface on the optical fiber side). The PD 17 is provided to detect such backward emitted light from the LD 13 and monitor the light output (emitted light intensity) of the LD 13. Accordingly, the PD 17 is disposed at a position where the light emitted from the LD 13 can be received. The PD 17 is preferably of the end-face incident type, and is mounted on the same surface as the surface on which the LD 13 and other electronic elements are mounted or on a surface along the surface. Further, a portion where one of the two PD electrodes of the PD 17 is connected (a portion of the wiring electrode 18) is bonded to the monitor lead terminal 10f with a wire from the V direction, and the other electrode is connected. Are bonded to the ground lead terminal 10e by a wire from the V direction and grounded, and are electrically connected as shown in FIG.

また、サーミスタ16は、LD13の動作温度を計測し、LD13の温度調節を行うために設けられる。この動作温度を精度よく検出して、適正な駆動制御を行うには、できるだけLD13の近くに配置する必要があり、このため、サーミスタ16は、LD13が実装されるLDキャリア12に実装される。サーミスタ16の一方の電極が接続された部分は、リード端子10dにワイヤでV方向からボンディングされ、他方の電極が接続された部分は、接地用のリード端子10eにワイヤでV方向からボンディングされグランド接続され、図4に示すように電気的に接続される。   The thermistor 16 is provided for measuring the operating temperature of the LD 13 and adjusting the temperature of the LD 13. In order to accurately detect the operating temperature and perform appropriate drive control, it is necessary to dispose as close to the LD 13 as possible. For this reason, the thermistor 16 is mounted on the LD carrier 12 on which the LD 13 is mounted. The portion of the thermistor 16 to which one electrode is connected is bonded to the lead terminal 10d from the V direction by a wire, and the portion to which the other electrode is connected is bonded to the grounding lead terminal 10e by a wire from the V direction. Connected and electrically connected as shown in FIG.

このようなPD17及びサーミスタ16に関するワイヤボンディングを容易にするため、並びにワイヤ長を短くするために、ステム22を貫通してその主面から突き出したリード端子10d〜10fの端部が配線電極18における各接続位置付近に位置するように、実装後の突き出し量や配置を設計しておくとよい。   In order to facilitate wire bonding related to the PD 17 and the thermistor 16 and to shorten the wire length, the end portions of the lead terminals 10 d to 10 f that penetrate the stem 22 and protrude from the main surface thereof are connected to the wiring electrode 18. It is advisable to design the protruding amount and arrangement after mounting so as to be located near each connection position.

そして、上述した各要接続部品を収納するように、LD13からの出射光を光ファイバ(図示せず)に集光させるレンズ25が設けられた円筒状のCANケース24により、ステム22の主面側を封止する。なお、図1〜図3で示す部分、つまり要接続部品が搭載されたマウント部材23が配設又は取り付けされリード端子が取り付けられたステム22と、CANケース24とで構成される部分は、パッケージ(この例ではCAN型或いは同軸型パッケージ)と呼ばれる。   Then, the main surface of the stem 22 is formed by a cylindrical CAN case 24 provided with a lens 25 for condensing the light emitted from the LD 13 onto an optical fiber (not shown) so as to accommodate each of the above-described required components. Seal the side. The portion shown in FIGS. 1 to 3, that is, the portion constituted by the CAN case 24 and the stem 22 on which the mount member 23 on which the required component is mounted is disposed or attached and the lead terminal is attached is a package. (In this example, it is called a CAN type or coaxial type package).

以上説明したように、例示した光送信モジュール1では、同軸型パッケージのステム22に対して垂直にTECを配置し、TEC上に各要接続部品をV方向から搭載しているため、同一方向からの実装及びワイヤリングが可能になる。この効果は、高周波回路を搭載した複雑な構造であったとしても同様である。そして、これら要接続部品の実装とワイヤボンディングの作業を全て同一方向から行うことができるため、パッケージのステム22を回転させたり、要接続部品を回転させたりする必要が無くなり、組み立て作業が簡易になる。   As described above, in the illustrated optical transmission module 1, the TEC is arranged perpendicular to the stem 22 of the coaxial package, and each connection component is mounted on the TEC from the V direction. Can be mounted and wired. This effect is the same even if it is a complicated structure equipped with a high frequency circuit. Since all of the required connection parts can be mounted and wire bonding can be performed from the same direction, it is not necessary to rotate the stem 22 of the package or the required connection parts, thereby simplifying the assembly work. Become.

また、以上の例では、要接続部品以外の実装部品については挙げていない。しかしながら、要接続部品を設置するためのキャリアなどを設ける場合には、そのキャリアが要接続部品以外の実装部品に該当することになる。要接続部品だけでなくこのような要接続部品以外の実装部品も含めた全ての実装部品を、マウント部材23の搭載面に一方向から直接又は間接的に搭載することで、実装部品の実装とワイヤボンディングの作業を全て同一方向から行うことができるため、パッケージのステム22を回転させたり、実装部品を回転させたりする必要が無くなり、組み立て作業が簡易になる。   Moreover, in the above example, mounting parts other than a connection required component are not mentioned. However, when providing a carrier or the like for installing a connection required component, the carrier corresponds to a mounting component other than the connection required component. By mounting all mounting parts, including not only the connection required parts but also mounting parts other than such required connection parts, directly or indirectly from one direction on the mounting surface of the mount member 23, Since all wire bonding operations can be performed from the same direction, it is not necessary to rotate the stem 22 of the package or the mounted component, and the assembly operation is simplified.

上述した光送信モジュール1における光ケーブルとの接続を可能にするための構造について、図5及び図6を参照しながら説明する。図5及び図6は、図1の光送信モジュールにスリーブ部を取り付けた例を示す一部断面図である。なお、各図において、10はリード端子10a〜10iを示しており、図面の簡略化のためマウント部材23やLD13以外の要接続部品には符号を付していない。   A structure for enabling connection with the optical cable in the optical transmission module 1 described above will be described with reference to FIGS. 5 and 6 are partial cross-sectional views showing an example in which a sleeve portion is attached to the optical transmission module of FIG. In addition, in each figure, 10 has shown the lead terminals 10a-10i, and the code | symbol is not attached | subjected to connection components other than the mount member 23 and LD13 for simplification of drawing.

図5で示す光送信モジュール5は、アイソレータ55付きの光レセプタクルである。光送信モジュール5は、図1で示したステム22、リード端子10、CANケース24、レンズ25、及び各要接続部品で構成された同軸型パッケージにおいて、CANケース24にジョイントスリーブ50が軸方向位置を調整して取り付けられている。ジョイントスリーブ50には、同軸型パッケージからスリーブ部へレーザ光を通過させるための孔が設けられている。アイソレータ55は、ジョイントスリーブ50の内側(レンズ25側)のこの孔の部分に設けられている。アイソレータ55は、ファラデー回転子、偏光子、永久磁石などで構成される。   The optical transmission module 5 shown in FIG. 5 is an optical receptacle with an isolator 55. The optical transmission module 5 is a coaxial package including the stem 22, the lead terminal 10, the CAN case 24, the lens 25, and each connection component shown in FIG. It is attached by adjusting. The joint sleeve 50 is provided with a hole for allowing laser light to pass from the coaxial package to the sleeve portion. The isolator 55 is provided in the hole portion on the inner side (lens 25 side) of the joint sleeve 50. The isolator 55 includes a Faraday rotator, a polarizer, a permanent magnet, and the like.

スリーブ部の構造は、スリーブホルダ52の内壁に整列スリーブ53が取り付けられ、整列スリーブ53内にファイバスタブ54が設けられてなる。整列スリーブ53は、光コネクタのフェルールを光学的に結合させるためのガイドの役割を果たすものであり、フェルールが嵌合する形状の内側壁をもつ。ファイバスタブ54は、光コネクタのフェルールと基本的に同一構造であって、ジルコニアなどのセラミックス部品の中央部に設けられた微小孔にシングルモード光ファイバ(SMF)などの光ファイバを搭載した構造をもつ。このファイバスタブ54を光軸上に固定するために、スタブホルダ51が図示するようにジョイントスリーブ50の出射側の光学基準面に配設されている。   The sleeve portion has a structure in which an alignment sleeve 53 is attached to the inner wall of the sleeve holder 52, and a fiber stub 54 is provided in the alignment sleeve 53. The alignment sleeve 53 serves as a guide for optically coupling the ferrule of the optical connector, and has an inner wall shaped to fit the ferrule. The fiber stub 54 has basically the same structure as the ferrule of the optical connector, and has a structure in which an optical fiber such as a single mode optical fiber (SMF) is mounted in a minute hole provided in a central part of a ceramic component such as zirconia. Have. In order to fix the fiber stub 54 on the optical axis, a stub holder 51 is disposed on the optical reference surface on the emission side of the joint sleeve 50 as shown in the figure.

光送信モジュール5は、このような構造により光コネクタ内の光ファイバと接続し、LD13から出射されるレーザ光をレンズ25で集光してこの光ファイバに結合させることが可能になっている。なお、上記アイソレータ55付きの光レセプタクルについて説明したが、光送信モジュール5からアイソレータ55を除いた構造のモジュールについても同様に適用できる。   With such a structure, the optical transmission module 5 is connected to the optical fiber in the optical connector, and the laser light emitted from the LD 13 can be collected by the lens 25 and coupled to the optical fiber. Although the optical receptacle with the isolator 55 has been described, the present invention can be similarly applied to a module having a structure in which the isolator 55 is removed from the optical transmission module 5.

図6で示す光送信モジュール6は、アイソレータ65付きのピグテール型の光レセプタクルである。光送信モジュール6は、図1で示したステム22、リード端子10、CANケース24、レンズ25、及び各要接続部品で構成された同軸型パッケージにおいて、CANケース24にジョイントスリーブ60が軸方向位置を調整して取り付けられている。ジョイントスリーブ60には、同軸型パッケージからスリーブ部へレーザ光を通過させるための孔が設けられている。アイソレータ65は、ジョイントスリーブ60の内側(レンズ25側)のこの孔の部分に設けられている。アイソレータ65は、ファラデー回転子、偏光子、永久磁石などで構成される。   The optical transmission module 6 shown in FIG. 6 is a pigtail type optical receptacle with an isolator 65. The optical transmission module 6 is a coaxial package including the stem 22, the lead terminal 10, the CAN case 24, the lens 25, and each connection component shown in FIG. 1, and the joint sleeve 60 is axially positioned on the CAN case 24. It is attached by adjusting. The joint sleeve 60 is provided with a hole for allowing laser light to pass from the coaxial package to the sleeve portion. The isolator 65 is provided in the hole portion on the inner side (lens 25 side) of the joint sleeve 60. The isolator 65 includes a Faraday rotator, a polarizer, a permanent magnet, and the like.

スリーブ部の構造は、フェルール63を光軸上に固定するために、フェルールホルダ61が図示するようにジョイントスリーブ60の出射側の光学基準面に配設され、光ファイバ64とフェルール63とを光結合するためのガイド部分をもった保護カバー62が、フェルール63及びフェルールホルダ61の周りに設けられている。この保護カバー62はピグテール型の外形をもつ。   In order to fix the ferrule 63 on the optical axis, the sleeve portion is structured such that a ferrule holder 61 is disposed on the optical reference surface on the exit side of the joint sleeve 60 as shown in the figure, and the optical fiber 64 and the ferrule 63 are optically coupled. A protective cover 62 having a guide portion for coupling is provided around the ferrule 63 and the ferrule holder 61. The protective cover 62 has a pigtail type outer shape.

光送信モジュール6は、このような構造により光ファイバ64と接続し、LD13から出射されるレーザ光をレンズ25で集光してこの光ファイバ64に結合させることが可能になっている。なお、上記アイソレータ65付きの光レセプタクルについて説明したが、光送信モジュール6からアイソレータ65を除いた構造のモジュールについても同様に適用できる。   The optical transmission module 6 is connected to the optical fiber 64 with such a structure, and the laser light emitted from the LD 13 can be condensed by the lens 25 and coupled to the optical fiber 64. Although the optical receptacle with the isolator 65 has been described, the present invention can be similarly applied to a module having a structure in which the isolator 65 is removed from the optical transmission module 6.

以上、本発明に係る光モジュール製造方法で製造された後の光送信モジュール1について説明したが、光送信モジュール1の製造時に生じ得る光軸ズレについて、図7及び図8を参照して説明する。図7は、図1の光送信モジュールにおいて光軸ズレを起こした状態を示す一部断面図である。また、図8は、図7の光送信モジュールにそのままスリーブ部を取り付けた例を示す一部断面図であり、図5の光送信モジュールにおいて光軸ズレを起こした状態を示す図である。   The optical transmission module 1 after being manufactured by the optical module manufacturing method according to the present invention has been described above, but the optical axis misalignment that may occur when the optical transmission module 1 is manufactured will be described with reference to FIGS. 7 and 8. . FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a state in which an optical axis shift has occurred in the optical transmission module of FIG. FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing an example in which the sleeve portion is attached to the optical transmission module of FIG. 7 as it is, and is a diagram showing a state in which the optical axis is shifted in the optical transmission module of FIG.

光送信モジュール1を製造するに際し、LD13を搭載したLDキャリア12をマウント部材23に取り付ける必要があり、ここで例示したTEC付きの構造ではマウント部材23にTECを搭載してさらにその上にLDキャリア12を搭載する必要がある。従って、図7に角度θで示すようにパッケージの中心とLD13の光軸の中心とがズレてしまうことがある。すると、図8に示すように、ファイバスタブ54側にレーザ光が出射しない状態となってしまう。   When manufacturing the optical transmission module 1, it is necessary to attach the LD carrier 12 on which the LD 13 is mounted to the mount member 23. In the structure with the TEC exemplified here, the TEC is mounted on the mount member 23 and the LD carrier is further provided thereon. 12 need to be installed. Therefore, as shown by the angle θ in FIG. 7, the center of the package and the center of the optical axis of the LD 13 may be misaligned. Then, as shown in FIG. 8, the laser beam is not emitted to the fiber stub 54 side.

このとき、パッケージ組立後に光ファイバとの位置関係をジョイントスリーブ50などの調整により調整してから固定することは可能であるが、光軸の傾きθが大きい場合には、このような調整によっても最適な結合が得られない。特に、レンズ25が高倍率である程、出射ビームのズレは顕著になる。そのため、本発明の製造方法では、このような角度ズレを抑制するために次のような実装方法を採用する。   At this time, it is possible to fix the positional relationship with the optical fiber after the assembly of the package by adjusting the joint sleeve 50 or the like. However, when the inclination θ of the optical axis is large, such adjustment is also possible. An optimal bond cannot be obtained. In particular, the higher the magnification of the lens 25, the more pronounced deviation of the outgoing beam. Therefore, in the manufacturing method of the present invention, the following mounting method is adopted in order to suppress such an angle shift.

本発明に係る光モジュール製造方法は、次に説明する取付/形成工程、端子取付工程、基板搭載工程を含むものとする。取付/形成工程は、光モジュール1の構造で説明したように、ステム22に、ステム22の主面上に設けられその主面と交わる搭載面(好ましくは主面に垂直に交わる搭載面)をもつマウント部材23を取り付けるか、或いはそのようなマウント部材23をステム22と一体に形成する。次いで実行される端子取付工程は、ステム22を貫通して複数のリード端子10a〜10iを取り付ける。なお、取付/形成工程においてマウント部材23を取り付ける工程を採用する場合には、この端子取付工程の後に実行してもよい。   The optical module manufacturing method according to the present invention includes an attachment / formation step, a terminal attachment step, and a substrate mounting step described below. In the mounting / forming process, as described in the structure of the optical module 1, a mounting surface (preferably a mounting surface perpendicular to the main surface) that is provided on the main surface of the stem 22 and intersects the main surface is provided on the stem 22. A mounting member 23 is attached, or such a mounting member 23 is formed integrally with the stem 22. Next, in the terminal attachment process to be executed, the plurality of lead terminals 10 a to 10 i are attached through the stem 22. In addition, when employ | adopting the process of attaching the mount member 23 in an attachment / formation process, you may perform after this terminal attachment process.

基板搭載工程は、マウント部材23の搭載面に、発光素子(LD13で例示)を搭載した基板(LDキャリア12で例示)を搭載する工程である。より詳しくは、本発明で採用する基板搭載工程は、LDキャリア12におけるステム22側の端面と複数のリード端子の少なくとも2本(この例ではLDキャリア12とマウント部材23からの高さがほぼ同じリード端子10c,10g)の端部とで位置決めを行い、位置決めしたLDキャリア12を、LD13が出射する出射光の光軸方向にスライドさせてからマウント部材23に対して固定する。なお、リード端子10c,10gの端部(CANケース24が取り付けられる側の端部)は、ステム22の主面と平行な平面であることがより正確な位置決めができるため好ましいが、これに限らず、先端部分が球状である場合にも各端子の2点で位置決めが十分に可能である。   The substrate mounting step is a step of mounting a substrate (illustrated by LD carrier 12) on which a light emitting element (illustrated by LD 13) is mounted on the mounting surface of mount member 23. More specifically, the substrate mounting process employed in the present invention includes at least two of the end surface of the LD carrier 12 on the stem 22 side and a plurality of lead terminals (in this example, the height from the LD carrier 12 and the mounting member 23 is substantially the same. Positioning is performed with the ends of the lead terminals 10c and 10g), and the positioned LD carrier 12 is slid in the optical axis direction of the emitted light emitted from the LD 13 and then fixed to the mount member 23. Note that it is preferable that the end portions of the lead terminals 10c and 10g (the end portion on the side where the CAN case 24 is attached) be a plane parallel to the main surface of the stem 22 because it can be positioned more accurately, but the present invention is not limited thereto. In addition, even when the tip portion is spherical, positioning at two points of each terminal is sufficiently possible.

このように、少なくとも2本のリード端子の端部とLDキャリア12の一端面とが、突き当てられて相対的な位置決めの基準とする基板搭載工程を経ることで、パッケージとLD13とが所定の位置関係となるような位置決めが可能となり、LD13の光軸ズレ(ビーム角度ズレ)を精度良く防止することができる。これにより、アイソレータ55やファイバスタブ54付きフェルールの組み立て調芯時などの後工程において、光軸ズレによる光結合効率が低くなる問題を低減して、歩留まりを向上させることができる。このような各工程は、TECの搭載/非搭載を問わず実現可能である。また、本発明に係る光モジュール製造方法で製造される光モジュールは、光送信モジュール1で例示した、実装部品の実装とワイヤボンディングの作業を全て同一方向から行うことが可能な構造や配置をもつものに限ったものではない。   As described above, the package and the LD 13 are fixed to each other through the substrate mounting process in which the end portions of at least two lead terminals and one end surface of the LD carrier 12 are abutted and used as a reference for relative positioning. Positioning that achieves a positional relationship is possible, and the optical axis deviation (beam angle deviation) of the LD 13 can be accurately prevented. As a result, it is possible to improve the yield by reducing the problem that the optical coupling efficiency is lowered due to the optical axis misalignment in the post-process such as the assembling alignment of the ferrule with the isolator 55 or the fiber stub 54. Each of these processes can be realized regardless of whether the TEC is mounted or not. In addition, the optical module manufactured by the optical module manufacturing method according to the present invention has a structure and arrangement capable of performing mounting parts mounting and wire bonding operations from the same direction as exemplified in the optical transmission module 1. It is not limited to things.

図9は、本発明の一実施形態に係る光モジュール製造方法の一例を説明するための図である。図9で説明する製造方法は、予めTECをマウント部材23に固定した後にLDキャリア12を適切な位置に実装する方法である。   FIG. 9 is a diagram for explaining an example of an optical module manufacturing method according to an embodiment of the present invention. The manufacturing method illustrated in FIG. 9 is a method in which the LD carrier 12 is mounted at an appropriate position after the TEC is fixed to the mount member 23 in advance.

より具体的には、上記基板搭載工程は、マウント部材23の搭載面にTECを搭載して搭載面とTECの排熱側セラミック基板21とを固定する工程と、TEC(TECの吸熱側セラミック基板19)上にLDキャリア12を載置して、LDキャリア12におけるステム22側の端面と複数のリード端子の少なくとも2本(この例ではリード端子10c,10g)の端部とで位置決めを行う工程(図9の上側の図を参照)とを有する。   More specifically, the substrate mounting step includes a step of mounting the TEC on the mounting surface of the mount member 23 and fixing the mounting surface and the TEC exhaust heat side ceramic substrate 21; and a TEC (TEC heat absorption side ceramic substrate). 19) A step of placing the LD carrier 12 on the surface and positioning the end surface of the LD carrier 12 on the stem 22 side and at least two of the plurality of lead terminals (in this example, the lead terminals 10c and 10g). (See the upper diagram in FIG. 9).

このように、本実施形態では、ステム22に固定したTECの吸熱面側にLDキャリア12の下面が接した状態でLDキャリア12を搭載し、LDキャリア12の一端面が位置決め面となりその位置決め面がリード端子10c,10gの端部に突き当たって相対的な位置決めを行う。このような位置決めのため、リード端子10c,10gの端部は、ステム22の主面から所定の長さだけ突き出して設計しておく。この端部を含む面が、ステム22(パッケージ)とLD実装済み基板であるLDキャリア12との相対的な位置決めの基準となる。   As described above, in this embodiment, the LD carrier 12 is mounted in a state where the lower surface of the LD carrier 12 is in contact with the heat absorption surface side of the TEC fixed to the stem 22, and one end surface of the LD carrier 12 becomes the positioning surface, and the positioning surface. Abuts against the ends of the lead terminals 10c, 10g to perform relative positioning. For such positioning, the end portions of the lead terminals 10c and 10g are designed to protrude from the main surface of the stem 22 by a predetermined length. The surface including this end is a reference for relative positioning between the stem 22 (package) and the LD carrier 12 which is the LD mounted substrate.

さらに上記基板搭載工程は、位置決めしたLDキャリア12を、LD13が出射する出射光の光軸方向にスライドさせてから(図9の下側の図を参照)、LDキャリア12とTEC(TECの吸熱側セラミック基板19)とを固定する工程を有する。このスライドは、リード端子10c,10gとLDキャリア12とが短絡しない位置で固定するために行われる。つまり、位置決め後のLDキャリア12を所定の方向へ移動させてリード端子10c,10gとの間に隙間(絶縁ギャップG)をつくり、LDキャリア12を短絡しない状態でTECの吸熱面側に固定する。なお、精確に光軸方向にスライドさせるためには、例えばステム22の主面と平行な方向から治具を光軸からずれないようにセットしてから、スライドさせるようにするなどすればよい。   Further, in the substrate mounting step, the positioned LD carrier 12 is slid in the optical axis direction of the emitted light emitted from the LD 13 (see the lower diagram in FIG. 9), and then the LD carrier 12 and the TEC (TEC endothermic heat absorption). A step of fixing the side ceramic substrate 19). This sliding is performed to fix the lead terminals 10c and 10g and the LD carrier 12 at a position where they are not short-circuited. In other words, the positioned LD carrier 12 is moved in a predetermined direction to create a gap (insulation gap G) between the lead terminals 10c and 10g, and the LD carrier 12 is fixed to the heat absorption surface side of the TEC without short-circuiting. . In order to accurately slide in the optical axis direction, for example, the jig may be set from a direction parallel to the main surface of the stem 22 so as not to deviate from the optical axis and then slid.

このような固定を行った後、必要箇所のワイヤボンディングを行うことで、図1に示すような光送信モジュール1が完成する。なお、LD13をLDキャリア12の配線電極18にワイヤボンディリングするなど、LDキャリア12上同士でのワイヤボンディングはTECにLDキャリア12を載置する前に行ってもよい。   After performing such fixation, wire bonding is performed at a necessary portion, thereby completing the optical transmission module 1 as shown in FIG. Note that wire bonding between the LD carriers 12 such as wire bonding to the wiring electrode 18 of the LD carrier 12 may be performed before placing the LD carrier 12 on the TEC.

図10は、本発明の他の実施形態に係る光モジュール製造方法の一例を説明するための図である。図10で説明する製造方法は、予めLDキャリア12とTECとを組み立てたものをマウント部材23の適切な位置に実装する方法である。   FIG. 10 is a diagram for explaining an example of an optical module manufacturing method according to another embodiment of the present invention. The manufacturing method illustrated in FIG. 10 is a method of mounting an assembly of the LD carrier 12 and the TEC in advance at an appropriate position of the mount member 23.

より具体的には、上記基板搭載工程は、TEC(TECの吸熱側セラミック基板19)上にLDキャリア12を固定する工程と、マウント部材23の搭載面に、LDキャリア12付きのTECを載置して、LDキャリア12におけるステム22側の端面と複数のリード端子の少なくとも2本(この例ではリード端子10c,10g)の端部とで位置決めを行う工程(図10の上側の図を参照)とを有する。   More specifically, in the substrate mounting step, the LD carrier 12 is fixed on the TEC (TEC heat absorption side ceramic substrate 19), and the TEC with the LD carrier 12 is placed on the mounting surface of the mount member 23. Then, the positioning step is performed between the end surface of the LD carrier 12 on the stem 22 side and the ends of at least two of the plurality of lead terminals (in this example, the lead terminals 10c and 10g) (see the upper diagram in FIG. 10). And have.

このように、本実施形態では、LDキャリア12を固定したTECの排熱面側にマウント部材23の上面(搭載面)が接した状態でTECを搭載し、LDキャリア12の一端面が位置決め面となりその位置決め面がリード端子10c,10gの端部に突き当たって相対的な位置決めを行う。このような位置決めのため、リード端子10c,10gの端部は、ステム22の主面から所定の長さだけ突き出して設計しておく。本実施形態においても、この端部を含む面が、ステム22(パッケージ)とLD実装済み基板であるLDキャリア12との相対的な位置決めの基準となる。   Thus, in this embodiment, the TEC is mounted in a state where the upper surface (mounting surface) of the mount member 23 is in contact with the heat removal surface side of the TEC to which the LD carrier 12 is fixed, and one end surface of the LD carrier 12 is a positioning surface. Then, the positioning surface comes into contact with the end portions of the lead terminals 10c and 10g to perform relative positioning. For such positioning, the end portions of the lead terminals 10c and 10g are designed to protrude from the main surface of the stem 22 by a predetermined length. Also in this embodiment, the surface including this end becomes a reference for relative positioning between the stem 22 (package) and the LD carrier 12 which is an LD mounted substrate.

さらに上記基板搭載工程は、位置決めしたLDキャリア12付きのTECを、LD13が出射する出射光の光軸方向にスライドさせてから(図10の下側の図を参照)、そのTEC(TECの排熱側セラミック基板21)とマウント部材23とを固定する工程を有する。このスライドも図9の実施形態と同様に、リード端子10c,10gとLDキャリア12とが短絡しない位置で固定するために行われる。つまり、位置決め後のLDキャリア12付きのTECを所定の方向へ移動させてリード端子10c,10gとの間に隙間(絶縁ギャップG)をつくり、LDキャリア12を短絡しない状態でマウント部材23の搭載面に固定する。なお、精確に光軸方向にスライドさせるためには、例えばステム22の主面と平行な方向から治具を光軸からずれないようにセットしてから、スライドさせるようにするなどすればよい。   Further, in the substrate mounting step, the TEC with the positioned LD carrier 12 is slid in the direction of the optical axis of the emitted light emitted from the LD 13 (see the lower diagram in FIG. 10), and then the TEC (discharge of the TEC) is performed. A step of fixing the heat-side ceramic substrate 21) and the mount member 23; This slide is also performed in order to fix the lead terminals 10c, 10g and the LD carrier 12 at a position where they are not short-circuited, as in the embodiment of FIG. That is, the TEC with the LD carrier 12 after positioning is moved in a predetermined direction to create a gap (insulation gap G) between the lead terminals 10c and 10g, and the mounting of the mount member 23 without short-circuiting the LD carrier 12 Secure to the surface. In order to accurately slide in the optical axis direction, for example, the jig may be set from a direction parallel to the main surface of the stem 22 so as not to deviate from the optical axis and then slid.

このような固定を行った後、図9の実施形態と同様に、必要箇所のワイヤボンディングを行うことで、図1に示すような光送信モジュール1が完成する。なお、図9の実施形態と同様に、LDキャリア12上同士でのワイヤボンディングはLDキャリア12付きTECをマウント部材23に載置する前に行ってもよい。   After performing such fixing, the optical transmission module 1 as shown in FIG. 1 is completed by performing wire bonding of a necessary part like the embodiment of FIG. As in the embodiment of FIG. 9, the wire bonding between the LD carriers 12 may be performed before the TEC with the LD carrier 12 is placed on the mount member 23.

本発明に係る光モジュール製造方法で製造される光送信モジュールの構成例を示す一部断面図である。It is a partial cross section figure which shows the structural example of the optical transmission module manufactured with the optical module manufacturing method which concerns on this invention. 図1の光送信モジュールをH方向から見た一部断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the optical transmission module of FIG. 1 viewed from the H direction. 図1及び図2の光送信モジュールをZ方向から見た図である。It is the figure which looked at the optical transmission module of FIG.1 and FIG.2 from the Z direction. 図1〜図3で示す光送信モジュールの回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of the optical transmission module shown in FIGS. 1 to 3. 図1の光送信モジュールにスリーブ部を取り付けた例を示す一部断面図である。It is a partial cross section figure which shows the example which attached the sleeve part to the optical transmission module of FIG. 図1の光送信モジュールにスリーブ部を取り付けた他の例を示す一部断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view illustrating another example in which a sleeve portion is attached to the optical transmission module of FIG. 1. 図1の光送信モジュールにおいて光軸ズレを起こした状態を示す一部断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view illustrating a state in which an optical axis shift has occurred in the optical transmission module of FIG. 1. 図7の光送信モジュールにそのままスリーブ部を取り付けた例を示す一部断面図であり、図5の光送信モジュールにおいて光軸ズレを起こした状態を示す図である。FIG. 8 is a partial cross-sectional view illustrating an example in which a sleeve portion is directly attached to the optical transmission module of FIG. 7, and is a diagram illustrating a state in which an optical axis shift occurs in the optical transmission module of FIG. 5. 本発明の一実施形態に係る光モジュール製造方法の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the optical module manufacturing method which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る光モジュール製造方法の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the optical module manufacturing method which concerns on other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…光送信モジュール、10a〜10i…リード端子、11…TEC電極パッド、12…セラミック回路基板(LDキャリア)、13…LD、14…インダクタ、15…抵抗、16…サーミスタ、17…端面入射型モニタPD、18…配線電極、19…吸熱側セラミック基板、20…ペルチェ素子、21…排熱側セラミック基板、22…ステム、23…マウント部材、24…CANケース、25…レンズ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical transmission module, 10a-10i ... Lead terminal, 11 ... TEC electrode pad, 12 ... Ceramic circuit board (LD carrier), 13 ... LD, 14 ... Inductor, 15 ... Resistance, 16 ... Thermistor, 17 ... End face incident type Monitor PD, 18 ... Wiring electrode, 19 ... Heat absorption side ceramic substrate, 20 ... Peltier element, 21 ... Waste heat side ceramic substrate, 22 ... Stem, 23 ... Mount member, 24 ... CAN case, 25 ... Lens.

Claims (3)

ステムの主面と交わる搭載面をもつマウント部材と、前記ステムを貫通して複数のリード端子と、前記マウント部材の搭載面に搭載された、光素子を実装した基板と、光ケーブルに接続するためのスリーブとを有する光モジュールの製造方法であって、
前記基板の搭載は、前記基板における前記ステム側の端面と前記複数のリード端子の少なくとも2本の端部とで位置決めを行い、位置決めした前記基板を、前記光素子の光軸方向にスライドさせてから前記マウント部材に対して固定することを特徴とする光モジュール製造方法。
A mounting member having a mounting surface intersecting with the main surface of the stem, a plurality of lead terminals penetrating the stem, a substrate mounted with the optical element mounted on the mounting surface of the mounting member, and an optical cable An optical module having a sleeve of
The mounting of the substrate is performed by positioning the end surface on the stem side of the substrate and at least two end portions of the plurality of lead terminals, and sliding the positioned substrate in the optical axis direction of the optical element. The optical module manufacturing method characterized by fixing to the said mounting member.
前記マウント部材の搭載面に熱電子冷却モジュールを搭載して固定し、次いで、前記熱電子冷却モジュールに前記基板を載置して位置決めを行うことを特徴とする請求項1に記載の光モジュール製造方法。   The optical module manufacturing method according to claim 1, wherein a thermoelectric cooling module is mounted and fixed on a mounting surface of the mount member, and then the substrate is placed on the thermoelectric cooling module for positioning. Method. 熱電子冷却モジュール上に前記基板を固定し、次いで、前記マウント部材の搭載面に前記基板付きの前記熱電子冷却モジュールを載置して位置決めを行うことを特徴とする請求項1に記載の光モジュール製造方法。   The light according to claim 1, wherein the substrate is fixed on a thermoelectric cooling module, and then the thermoelectric cooling module with the substrate is placed on a mounting surface of the mount member to perform positioning. Module manufacturing method.
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