JP2021045905A - Method for manufacturing molding - Google Patents

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Abstract

To suppress a trouble in which a part of a fine uneven structure of a mold is not transferred to a to-be-transferred material in a method for manufacturing a molding by an imprinting process.SOLUTION: A method for manufacturing a molding having a fine uneven structure includes a press step for pressing a to-be-transferred material to a transfer surface provided with the fine uneven structure of a mold having the transfer surface. In the method for manufacturing the molding, the pressing in the press step is carried out by sandwiching at least the to-be-transferred material and the mold by a press upper plate from a surface side opposite to the mold of the to-be-transferred material and by a press lower plate from a surface side opposite to the transfer surface of the mold using a pressing device provided with the press upper plate and the press lower plate. Alternately, in the press step, at least a buffer material is sandwiched between the mold and the press lower plate.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、成形体の製造方法に関する。より具体的には、いわゆるインプリントプロセスによる成形体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a molded product. More specifically, the present invention relates to a method for producing a molded product by a so-called imprint process.

いわゆる「インプリントプロセス」により、微細凹凸構造を有する成形体を製造する方法が知られている。
インプリントプロセスの流れは、例えば以下の通りである。
(1)まず、被転写材である樹脂材料を加熱して軟化させる。
(2)次に、軟化した被転写材を、金型表面に設けられた微細構造を有する転写面に押し当て加圧成形する。
(3)そのまま(加圧が維持されたまま)被転写材を冷却する。
(4)被転写材が冷えた後、金型から被転写材を離型することで、金型の転写面の微細構造が転写された樹脂成形体を得る。
A method of manufacturing a molded product having a fine concavo-convex structure by a so-called "imprint process" is known.
The flow of the imprint process is as follows, for example.
(1) First, the resin material to be transferred is heated and softened.
(2) Next, the softened material to be transferred is pressed against a transfer surface having a fine structure provided on the surface of the mold and pressure-molded.
(3) The material to be transferred is cooled as it is (while the pressure is maintained).
(4) After the material to be transferred has cooled, the material to be transferred is released from the mold to obtain a resin molded body to which the fine structure of the transfer surface of the mold is transferred.

先行技術の一例として、特許文献1には、インプリントプロセスにより、半硬化の状態のドライフィルムに、成形型を加熱された状態で押圧し、押圧後に冷却して、成形型の凹凸の形状が反転して転写されたフレネルレンズを形成する方法が開示されている。 As an example of the prior art, Patent Document 1 states that, by an imprint process, a molding die is pressed against a semi-cured dry film in a heated state, and then cooled after pressing to obtain an uneven shape of the molding die. A method of forming an inverted and transferred Fresnel lens is disclosed.

別の先行技術の例として、特許文献2には、インプリントプロセスにより、液体試料検査キットに用いられる凹部微細構造を有する膜担体を形成する方法が開示されている。 As an example of another prior art, Patent Document 2 discloses a method of forming a membrane carrier having a concave microstructure used in a liquid sample inspection kit by an imprint process.

国際公開第2012/043573号International Publication No. 2012/043573 国際公開第2016/098740号International Publication No. 2016/098740

本発明者は、インプリントプロセスの改良検討を行う中で、軟化した被転写材を金型に押し当てて微細凹凸構造を有する成形体を製造する際に、金型の微細凹凸構造の一部が被転写材に転写されない場合があることを見出した。 While studying the improvement of the imprint process, the present inventor presses the softened transfer material against the mold to produce a molded product having a fine uneven structure, which is a part of the fine uneven structure of the mold. Was found to be not transferred to the transfer material.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものである。本発明の目的の1つは、インプリントプロセスによる成形体の製造方法において、金型の微細凹凸構造の一部が被転写材に転写されない不具合を抑えることである。 The present invention has been made in view of such circumstances. One of the objects of the present invention is to suppress a defect that a part of the fine concavo-convex structure of the mold is not transferred to the material to be transferred in the method of manufacturing the molded product by the imprint process.

本発明者らは、鋭意検討の結果、以下に提供される発明を完成させ、上記課題を解決した。 As a result of diligent studies, the present inventors have completed the inventions provided below and solved the above problems.

本発明によれば、
被転写材を、微細凹凸構造が設けられた転写面を有する金型の前記転写面に押圧する押圧工程を含む、微細凹凸構造を有する成形体の製造方法であって、
前記押圧工程における押圧は、プレス上板とプレス下板とを備えるプレス装置を用いて、前記被転写材の前記金型とは反対の面側からは前記プレス上板により、前記金型の転写面とは反対の面側からは前記プレス下板により、少なくとも前記被転写材と前記金型とを挟むことで行われ、
前記押圧工程において、前記金型と前記プレス下板との間には、少なくとも緩衝材が挟まれている、成形体の製造方法
が提供される。
According to the present invention
A method for producing a molded product having a fine concavo-convex structure, which comprises a pressing step of pressing a material to be transferred against the transfer surface of a mold having a transfer surface provided with a fine concavo-convex structure.
The pressing in the pressing step is performed by using a press device including a press upper plate and a press lower plate, and the die is transferred from the surface side of the material to be transferred opposite to the die by the press upper plate. From the surface side opposite to the surface, at least the transfer material and the mold are sandwiched by the press lower plate.
In the pressing step, a method for producing a molded product is provided in which at least a cushioning material is sandwiched between the mold and the press lower plate.

本発明によれば、インプリントプロセスによる成形体の製造方法において、金型の微細凹凸構造の一部が被転写材に転写されない不具合を低減することができる。 According to the present invention, in the method for manufacturing a molded product by an imprint process, it is possible to reduce the problem that a part of the fine concavo-convex structure of the mold is not transferred to the material to be transferred.

成形体の製造方法について説明するための模式的な図である。It is a schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a molded body. 成形体の製造方法について説明するための模式的な図である。It is a schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a molded body. 成形体の製造方法について説明するための模式的な図である。It is a schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a molded body. 「金型」について説明するための図である。It is a figure for demonstrating "the mold".

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
煩雑さを避けるため、(i)同一図面内に同一の構成要素が複数ある場合には、その1つのみに符号を付し、全てには符号を付さない場合や、(ii)特に図2以降において、図1と同様の構成要素に改めては符号を付さない場合がある。
すべての図面はあくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応しない。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
In all drawings, similar components are designated by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
In order to avoid complication, (i) when there are a plurality of the same components in the same drawing, only one of them is coded and all of them are not coded, or (ii) especially in the figure. In 2 and later, the same components as in FIG. 1 may not be re-signed.
All drawings are for illustration purposes only. The shape and dimensional ratio of each member in the drawing do not necessarily correspond to the actual article.

本明細書中、数値範囲の説明における「X〜Y」との表記は、特に断らない限り、X以上Y以下のことを表す。例えば、「1〜5質量%」とは「1質量%以上5質量%以下」を意味する。
本明細書における「(メタ)アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「(メタ)アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
In the present specification, the notation "XY" in the description of the numerical range means X or more and Y or less unless otherwise specified. For example, "1 to 5% by mass" means "1% by mass or more and 5% by mass or less".
The notation "(meth) acrylic" herein represents a concept that includes both acrylic and methacrylic. The same applies to similar notations such as "(meth) acrylate".

<成形体の製造方法>
図1(I.およびII.)、図2および図3は、本実施形態の成形体の製造方法について説明するための模式的な図である。より具体的には、図1、図2および図3は、本実施形態の成形体の製造方法を行うための「装置」やその動作、手順などを示す概略断面図ということができる。これから説明していく図1、図2および図3に示されるような手順により、金型の微細凹凸構造の一部が被転写材に転写されない不具合が抑えられる。
<Manufacturing method of molded product>
1 (I. and II.), 2 and 3 are schematic views for explaining a method for producing a molded product of the present embodiment. More specifically, FIGS. 1, 2 and 3 can be said to be schematic cross-sectional views showing an "apparatus" for performing the method for manufacturing a molded product of the present embodiment, its operation, a procedure and the like. By the procedure as shown in FIGS. 1, 2 and 3 described below, it is possible to suppress a problem that a part of the fine concavo-convex structure of the mold is not transferred to the material to be transferred.

(図1:押圧工程の前の準備)
図1のI.は、図2で説明される押圧工程の前段階(準備段階)を説明するための図である。
図1のI.において、プレス上板31の下面側には、その下面に近い側から順に、当て板33、金属箔34、低摩擦部材35および被転写材20が設置されている。
念のため述べておくと、プレス上板31の少なくとも下面、当て板33の両面、金属箔34の両面および被転写材20の少なくとも上面が、十分に平坦であれば、図1のI.のように、当て板33、金属箔34および被転写材20が重力により「下に落ちない」ようにすることができる(各部材の間に空気が入らないため)。もちろん、これらのうち一部または全部は、何らかの手段により、落下しないように物理的に固定されてもよい。
図1のI.において、プレス下板32の上面側には、その上面に近い側から順に、当て板38、緩衝材37、剛体板36および金型10が設置されている。
(Fig. 1: Preparation before pressing process)
I. of FIG. Is a diagram for explaining a pre-stage (preparation stage) of the pressing process described with reference to FIG.
I. of FIG. On the lower surface side of the press upper plate 31, a backing plate 33, a metal foil 34, a low friction member 35, and a transfer material 20 are installed in order from the side closer to the lower surface.
As a reminder, if at least the lower surface of the press upper plate 31, both sides of the backing plate 33, both sides of the metal foil 34, and at least the upper surface of the transfer material 20 are sufficiently flat, the I.C. As described above, the backing plate 33, the metal leaf 34, and the material to be transferred 20 can be prevented from "falling down" due to gravity (because air does not enter between the members). Of course, some or all of these may be physically fixed so as not to fall by some means.
I. of FIG. On the upper surface side of the press lower plate 32, a backing plate 38, a cushioning material 37, a rigid body plate 36, and a die 10 are installed in order from the side closer to the upper surface.

図1のII.は、 図1のI.とは別の、図2で説明される押圧工程の前段階(準備段階)を説明するための図である。
図1のII.においては、金属箔34、低摩擦部材35および被転写材20が、プレス上板31の下面側ではなく、プレス下板32の上面側に設置されている点で、図1のI.と異なる。より具体的には、図1のII.において、(i)プレス下板32の上面側には、その上面に近い側から順に、当て板38、緩衝材37、剛体板36および金型10が設置され、(ii)さらに、その金型10の転写面10a(微細凹凸構造が設けられている)側に、その転写面に近い側から順に、被転写材20、低摩擦部材35および金属箔34が設置されている。
II. Of FIG. Is the I. It is a figure for demonstrating the pre-stage (preparation stage) of the pressing process described in FIG. 2, which is different from the above.
II. Of FIG. In FIG. 1, the metal foil 34, the low friction member 35, and the transfer material 20 are installed not on the lower surface side of the press upper plate 31 but on the upper surface side of the press lower plate 32. Different from. More specifically, II. In (i), a backing plate 38, a cushioning material 37, a rigid body plate 36, and a mold 10 are installed on the upper surface side of the press lower plate 32 in this order from the side closer to the upper surface, and (ii) further, the mold thereof. The transfer material 20, the low friction member 35, and the metal foil 34 are installed on the transfer surface 10a (provided with the fine concavo-convex structure) side of the 10 in order from the side closest to the transfer surface.

図1のI.およびII.において、プレス上板31及びプレス下板32は、金型10の転写面10aに、被転写材20の表面20aを押し当てることができるものである。
通常、プレス上板31およびプレス下板32の少なくとも一方(好ましくは両方)は、加熱手段を内蔵している。加熱手段により、金型10や被転写材20などを加熱できるようになっている。そして、金型10および/または被転写材20を加熱しながら押圧できるようになっている。
図1のI.またはII.に示される準備段階において、被転写材20や金型10などの各部材は加熱されてもよい。これにより、例えば以下の押圧工程の時間を短縮することができ、工業的な効率向上につながる。この加熱を行う場合、被転写材20の温度は、そのガラス転移温度未満であってもよいし、そのガラス転移温度以上であってもよい。プロセス全体としての生産性向上(時間の短縮)の点では、後者のほうが好ましい。
I. of FIG. And II. The press upper plate 31 and the press lower plate 32 can press the surface 20a of the material to be transferred 20 against the transfer surface 10a of the die 10.
Usually, at least one (preferably both) of the press upper plate 31 and the press lower plate 32 has a built-in heating means. The mold 10 and the material to be transferred 20 can be heated by the heating means. Then, the mold 10 and / or the transfer material 20 can be pressed while being heated.
I. of FIG. Or II. In the preparatory stage shown in 1, each member such as the transfer material 20 and the mold 10 may be heated. As a result, for example, the time required for the following pressing process can be shortened, leading to an improvement in industrial efficiency. When this heating is performed, the temperature of the material to be transferred 20 may be lower than the glass transition temperature or higher than the glass transition temperature. The latter is preferable in terms of improving the productivity (shortening the time) of the entire process.

(図2:押圧工程)
図2は、図1のI.の状態または図1のII.の状態を変化させて、被転写材20を、金型10の転写面10aに押圧する工程(押圧工程)を説明するための図である。
押圧工程における押圧は、プレス上板31とプレス下板32とを備えるプレス装置を用いて、被転写材20の金型10とは反対の面側からはプレス上板31により、金型10の転写面10aとは反対の面側からはプレス下板32により、被転写材20や金型10などの部材を挟むことで行われる。
(Fig. 2: Pressing process)
FIG. 2 shows the I. Or II of FIG. It is a figure for demonstrating the step (pressing step) of pressing the transfer material 20 against the transfer surface 10a of a mold 10 by changing the state of.
Pressing in the pressing step is performed by using a press device including a press upper plate 31 and a press lower plate 32, and from the surface side of the transfer material 20 opposite to the die 10, the press upper plate 31 is used to press the die 10. From the side opposite to the transfer surface 10a, a member such as the transfer material 20 or the die 10 is sandwiched by the press lower plate 32.

押圧工程においては、通常、押圧と共に、加熱が行われる。具体的には、プレス上板31および/またはプレス下板32が内蔵する加熱手段により、プレス上板31とプレス下板32で挟まれた部材を加熱しながら、押圧工程を行う。
被転写材20を加熱する方法について具体的には、(i)プレス上板31に内蔵された加熱手段を用いて被転写材20を加熱する方法、(ii)プレス下板32に内蔵された加熱手段を用いて金型10を加熱し、被転写材20の押圧時に被転写材20に熱を伝える方法、(iii)これら(i)と(ii)の併用、つまり、プレス上板31とプレス下板32の「両方」を利用する方法、などが挙げられる。(iii)の場合、プレス上板31による加熱の温度と、プレス下板32による加熱の温度は同じであっても異なっていてもよい。
In the pressing step, heating is usually performed together with pressing. Specifically, the pressing step is performed while heating the member sandwiched between the press upper plate 31 and the press lower plate 32 by the heating means built in the press upper plate 31 and / or the press lower plate 32.
Specifically, the method of heating the transfer material 20 is (i) a method of heating the transfer material 20 by using the heating means built in the press upper plate 31, and (ii) being built in the press lower plate 32. A method of heating the die 10 using a heating means and transferring heat to the transfer material 20 when the transfer material 20 is pressed, (iii) a combination of these (i) and (ii), that is, with the press upper plate 31. A method of using "both" of the press lower plate 32 and the like can be mentioned. In the case of (iii), the temperature of heating by the press upper plate 31 and the temperature of heating by the press lower plate 32 may be the same or different.

押圧工程において、被転写材は、典型的には50〜300℃、好ましくは60〜250℃、より好ましくは80〜200℃に熱せられる。
別観点として、被転写材20のガラス転移温度をTgとしたとき、押圧工程において、被転写材20は、好ましくはTg[℃]以上、より好ましくはTg+5[℃]以上、さらに好ましくはTg+10[℃]以上に加熱される。これの上限については、例えばTg+100[℃]以下である。
ちなみに、各工程において、温度が安定した状態における「被転写材20の転写面10aに押し当てられている面が熱せられる温度」は、通常、金型10の温度と同じと見做すことができる。特に、被転写材20がフィルム状である場合(つまり、被転写材20が薄い場合)には、転写面10aに押し当てられた被転写材20の温度は速やかに金型10の温度に到達すると考えられる。
In the pressing step, the material to be transferred is typically heated to 50 to 300 ° C., preferably 60 to 250 ° C., more preferably 80 to 200 ° C.
As another viewpoint, when the glass transition temperature of the transferred material 20 is Tg, the transferred material 20 is preferably Tg [° C.] or higher, more preferably Tg + 5 [° C.] or higher, and further preferably Tg + 10 [] in the pressing step. ℃] or higher. The upper limit of this is, for example, Tg + 100 [° C.] or less.
By the way, in each step, the "temperature at which the surface pressed against the transfer surface 10a of the material to be transferred 20 is heated" in a stable temperature state is usually regarded as the same as the temperature of the mold 10. it can. In particular, when the material to be transferred 20 is in the form of a film (that is, when the material to be transferred 20 is thin), the temperature of the material to be transferred 20 pressed against the transfer surface 10a quickly reaches the temperature of the mold 10. It is thought that.

押圧工程における圧力は、例えば0.5MPa以上である。この圧力は、好ましくは0.8〜30MPa、より好ましくは1〜20MPaである。押圧工程における圧力が0.5MPa以上であることで、被転写材20が十分に変形し、成形体を適切に製造することができる。また、押圧工程における圧力が50MPa以下であることで、金型10の損傷が抑えられ、金型10の寿命を延ばすことができると考えられる。
押圧工程の時間は特に限定されない。生産効率と、被転写材20を十分に塑性変形させる観点から、例えば0.5〜10分程度である。
The pressure in the pressing step is, for example, 0.5 MPa or more. This pressure is preferably 0.8 to 30 MPa, more preferably 1 to 20 MPa. When the pressure in the pressing step is 0.5 MPa or more, the material to be transferred 20 is sufficiently deformed, and a molded product can be appropriately manufactured. Further, it is considered that when the pressure in the pressing step is 50 MPa or less, damage to the mold 10 can be suppressed and the life of the mold 10 can be extended.
The time of the pressing process is not particularly limited. From the viewpoint of production efficiency and sufficient plastic deformation of the material to be transferred 20, it is, for example, about 0.5 to 10 minutes.

押圧工程においては、金型10とプレス下板32との間に、少なくとも緩衝材37が挟まれている。このことにより、金型10の微細凹凸構造の一部が被転写材20に転写されない不具合が抑えられる。緩衝材37を用いずに押圧工程を行った場合、圧力に不均一性が生じやすく、転写の不具合が生じやすい。 In the pressing step, at least a cushioning material 37 is sandwiched between the die 10 and the press lower plate 32. As a result, it is possible to suppress a problem that a part of the fine uneven structure of the mold 10 is not transferred to the transfer material 20. When the pressing step is performed without using the cushioning material 37, non-uniformity is likely to occur in the pressure, and transfer defects are likely to occur.

(離型工程)
押圧工程の後に、金型10から被転写材20を離型することで(離型工程)、微細凹凸構造を有する成形体を得ることができる。
図3は、離型工程を模式的に表した図である。図3において、被転写材20および金型10以外の構成要素の記載は省略されている。
(Release process)
By releasing the transfer material 20 from the mold 10 after the pressing step (mold release step), a molded product having a fine concavo-convex structure can be obtained.
FIG. 3 is a diagram schematically showing a mold release process. In FIG. 3, the description of the components other than the transfer material 20 and the mold 10 is omitted.

離型工程は、通常、押圧工程の後、押圧を解除し、そして被転写材20が十分に冷えてから行われる。被転写材20を冷やす方法は特に限定されない。例えば、大気下で放置しておく方法、風を当てる方法などが挙げられる。 The mold release step is usually performed after the pressing step is performed, the pressing is released, and the material to be transferred 20 is sufficiently cooled. The method for cooling the material to be transferred 20 is not particularly limited. For example, a method of leaving it in the atmosphere, a method of blowing wind, and the like can be mentioned.

以上、図1、図2および図3に示されるような手順により、微細凹凸構造を有する成形体を製造することができる。 As described above, a molded product having a fine concavo-convex structure can be manufactured by the procedure as shown in FIGS. 1, 2 and 3.

本実施形態の成形体の製造方法の一連の流れは以上のとおりである。
以下、本実施形態の成形体の製造方法についてより具体的な説明を加える。
The series of flow of the manufacturing method of the molded product of this embodiment is as described above.
Hereinafter, a more specific description of the method for producing the molded product of the present embodiment will be added.

(緩衝材37)
緩衝材37としては、金型10とプレス下板32との間に存在したときに圧力の不均一性を緩和可能な紙である限り、任意のものを用いることができる。緩衝材37は、押圧工程の際の加熱に耐えうる耐熱性があることが好ましい(押圧工程の際の加熱により実質的に炭化しない等)。
押圧工程を行うたびに新たな緩衝材37を用いてもよいし、クッション性がある限りは緩衝材37を繰り返し用いてもよい。
(Cushioning material 37)
As the cushioning material 37, any material can be used as long as it is a paper that can alleviate the pressure non-uniformity when it exists between the mold 10 and the press lower plate 32. The cushioning material 37 preferably has heat resistance that can withstand heating during the pressing step (substantially carbonized by heating during the pressing step, etc.).
A new cushioning material 37 may be used each time the pressing step is performed, or the cushioning material 37 may be used repeatedly as long as it has cushioning properties.

緩衝材37として具体的には、プリント配線基板等の積層板を製造する際の熱プレスにおいて用いられる各種の紙を挙げることができる。より具体的には、紙の業界において、クラフト紙、クッション紙、リンター紙などといった名称で流通しているものから適宜選択して用いることができる。ここで、リンター紙とは、綿花パルプを原料とするプリント配線板用の紙のことであり、しばしば、プリント配線板をプレス加工する時のクッション材として使用される。リンター紙は、綿花パルプを原料としているため、クッション性が良好である。
また、特に耐熱性に優れたクッション紙として、特許第5918006号に記載されているような、ポリホウ酸塩を含有するクッション紙を用いることもできる。
Specific examples of the cushioning material 37 include various types of paper used in a hot press when manufacturing a laminated board such as a printed wiring board. More specifically, in the paper industry, it can be appropriately selected and used from those distributed under names such as kraft paper, cushion paper, and linter paper. Here, the linter paper is a paper for a printed wiring board made of cotton pulp, and is often used as a cushioning material when the printed wiring board is pressed. Since linter paper is made from cotton pulp, it has good cushioning properties.
Further, as a cushion paper having particularly excellent heat resistance, a cushion paper containing polyborate as described in Japanese Patent No. 591806 can also be used.

緩衝材37として使用可能な紙(クラフト紙、クッション紙、リンター紙など)は、東京特殊紙業株式会社、大王製紙株式会社などの製紙メーカから入手することができる。 Paper that can be used as the cushioning material 37 (kraft paper, cushion paper, linter paper, etc.) can be obtained from paper manufacturers such as Tokyo Special Paper Industry Co., Ltd. and Daio Paper Co., Ltd.

緩衝材37としては、上記のような紙以外にも、樹脂フィルムや、シート状のゴムなども挙げることができる。押圧工程のプレス圧力により適度に変形して圧力を分散することが可能なものである限り、緩衝材37の材質は特に限定されない。 Examples of the cushioning material 37 include, in addition to the above-mentioned paper, a resin film, a sheet-shaped rubber, and the like. The material of the cushioning material 37 is not particularly limited as long as it can be appropriately deformed by the pressing pressure in the pressing step to disperse the pressure.

(金属箔34)
金属箔34を、被転写材20とプレス上板31との間(図1においては、低摩擦部材35と当て板33の間)に挟むことで、押圧工程後の押圧を解除してプレス上板31とプレス下板32とを離したときに、被転写材20および低摩擦部材35が、金型10などとともにプレス上板31の側にくっついていくことが抑えられる。そして、押圧工程後においては、プレス下板32の側のほうに、金属箔34以下の部材が残りやすくなる。プレス下板32の側のほうに部材が残ることで、剥離工程を効率的に行うことができる(プレス上板31の側から、部材を「取る」必要がない)。また、金属箔の熱伝導性は良好であるため、被転写材の加熱を邪魔しない。
すなわち、金属箔34を当て板33の下に用いることで、成形体を工業的に量産する際の量産性を高めることができる。
(Metal leaf 34)
By sandwiching the metal foil 34 between the transfer material 20 and the press upper plate 31 (in FIG. 1, between the low friction member 35 and the backing plate 33), the pressing after the pressing step is released and the press is pressed. When the plate 31 and the press lower plate 32 are separated from each other, it is possible to prevent the transfer material 20 and the low friction member 35 from sticking to the press upper plate 31 side together with the mold 10. Then, after the pressing step, the members of the metal foil 34 or less are likely to remain on the side of the press lower plate 32. Since the member remains on the side of the press lower plate 32, the peeling step can be efficiently performed (it is not necessary to "take" the member from the side of the press upper plate 31). Moreover, since the metal foil has good thermal conductivity, it does not interfere with the heating of the material to be transferred.
That is, by using the metal foil 34 under the backing plate 33, it is possible to improve the mass productivity when the molded product is industrially mass-produced.

金属箔34は、任意の金属箔であることができる。コストや入手容易性の点からは、金属箔34は、アルミ箔であることが好ましい。
金属箔34の厚みは特に限定されないが、例えば1〜100μm、好ましくは5〜50μmである。
The metal leaf 34 can be any metal leaf. From the viewpoint of cost and availability, the metal foil 34 is preferably an aluminum foil.
The thickness of the metal foil 34 is not particularly limited, but is, for example, 1 to 100 μm, preferably 5 to 50 μm.

なお、上記の量産性向上の効果の点では、金属箔34は、箔ではなく板であってもよい。つまり、金属箔34は、金属板などであってもよい。 In terms of the above-mentioned effect of improving mass productivity, the metal foil 34 may be a plate instead of a foil. That is, the metal foil 34 may be a metal plate or the like.

(低摩擦部材35)
被転写材20の上面(金型10と反対側の面)に低摩擦部材35を設置することで、得られる成形体に意図せぬシワが発生することを抑えやすい。
おそらくは、押圧工程において、被転写材20が加熱された際、被転写材20は「膨張」し、「たわみ」「ゆがみ」等が生じると推測される。その「たわみ」「ゆがみ」等がある被転写材20をそのまま転写面10aに押し当てると、「たわみ」「ゆがみ」に起因して、被転写材20にシワが発生してしまうと推測される。しかし、被転写材20の、金型10とは反対側の面に、低摩擦部材35が接しているならば、低摩擦部材35の「低摩擦性」により、被転写材20の「たわみ」「ゆがみ」がうまく逃がされて、シワが生じにくくなると推測される。
(Low friction member 35)
By installing the low friction member 35 on the upper surface (the surface opposite to the mold 10) of the material to be transferred 20, it is easy to suppress the occurrence of unintended wrinkles in the obtained molded product.
Presumably, when the material to be transferred 20 is heated in the pressing step, the material to be transferred 20 "expands", causing "deflection", "distortion", and the like. If the transferred material 20 having the "deflection" and "distortion" is pressed against the transfer surface 10a as it is, it is presumed that wrinkles are generated in the transfer material 20 due to the "deflection" and "distortion". .. However, if the low friction member 35 is in contact with the surface of the transfer material 20 on the side opposite to the mold 10, the "low friction" of the low friction member 35 causes the "deflection" of the transfer material 20. It is presumed that the "distortion" is well escaped and wrinkles are less likely to occur.

低摩擦部材35は、好ましくは樹脂フィルムである。低摩擦部材35が樹脂フィルムである場合、その厚みは1〜1000μmが好ましく、10〜800μmがより好ましく、20〜500μmがさらに好ましい。 The low friction member 35 is preferably a resin film. When the low friction member 35 is a resin film, its thickness is preferably 1 to 1000 μm, more preferably 10 to 800 μm, still more preferably 20 to 500 μm.

低摩擦部材35は、好ましくは、ポリイミド、ポリエステルおよびポリエーテルエーテルケトンからなる群より選ばれる1または2以上の樹脂を含む。これら樹脂の1または2以上を低摩擦部材35の素材として採用することで、低摩擦部材35の摩擦係数を小さくしやすい。また、これら樹脂は、比較的高耐熱性であるため、押圧工程において低摩擦部材35が変形してしまう事態を避けやすい。また、高耐熱性であるため、繰返し使用の点でも好ましい。
ちなみに、低摩擦部材35の変形を確実に避ける点では、被転写材20のガラス転移温度<押圧工程時の温度<低摩擦部材35のガラス転移温度となるように、押圧工程時の温度を調整したり、各部材について適切なガラス転移温度を有するものを選択したりすることが好ましい。
The low friction member 35 preferably contains one or more resins selected from the group consisting of polyimides, polyesters and polyetheretherketones. By adopting one or more of these resins as the material of the low friction member 35, it is easy to reduce the friction coefficient of the low friction member 35. Further, since these resins have relatively high heat resistance, it is easy to avoid a situation in which the low friction member 35 is deformed in the pressing process. Moreover, since it has high heat resistance, it is also preferable in terms of repeated use.
By the way, in order to surely avoid the deformation of the low friction member 35, the temperature during the pressing process is adjusted so that the glass transition temperature of the material to be transferred 20 <the temperature during the pressing process <the glass transition temperature of the low friction member 35. It is preferable to select a member having an appropriate glass transition temperature for each member.

低摩擦部材35の静摩擦係数(正確には、低摩擦部材35の、被転写材20と接する面の静摩擦係数)は、10以下、好ましくは5以下、より好ましくは3以下、さらに好ましくは1以下である。
静摩擦係数の下限は特になく、基本的には静摩擦係数が小さいほど成形体にシワは生じにくくなる。ただし、現実的な観点から、静摩擦係数は例えば0.01以上、具体的には0.1以上である。
The static friction coefficient of the low friction member 35 (to be exact, the static friction coefficient of the surface of the low friction member 35 in contact with the material to be transferred 20) is 10 or less, preferably 5 or less, more preferably 3 or less, still more preferably 1 or less. Is.
There is no particular lower limit to the coefficient of static friction, and basically, the smaller the coefficient of static friction, the less likely it is that wrinkles will occur in the molded product. However, from a realistic point of view, the coefficient of static friction is, for example, 0.01 or more, specifically 0.1 or more.

静摩擦係数は、被転写材20(例えばポリシクロオレフィンの樹脂フィルム)と低摩擦部材35とを重ね合わせ、JIS K 7125に準じ、200gの負荷をかけた状態で、100mm/minの速度にて摩擦試験を実施することにより求めることができる。このときの測定環境は、23℃、50%RHに設定されることが好ましい。 The coefficient of static friction is such that the material to be transferred 20 (for example, a resin film of polycycloolefin) and the low friction member 35 are superposed and rubbed at a speed of 100 mm / min under a load of 200 g according to JIS K 7125. It can be determined by conducting a test. The measurement environment at this time is preferably set to 23 ° C. and 50% RH.

低摩擦部材35については、合成樹脂メーカ、フィルムメーカなどから入手可能な市販品(フィルム)の中から、静摩擦係数が10以下のものを選択して用いることができる。 As the low friction member 35, a member having a static friction coefficient of 10 or less can be selected and used from commercially available products (films) available from synthetic resin makers, film makers and the like.

(被転写材20)
被転写材20は、加熱により軟化する性質を有し、押圧工程において金型10の転写面10aに押圧された際に微細凹凸構造を形成可能なものである限り、任意の素材、形状等であることができる。
(Transfer material 20)
The material to be transferred 20 has a property of being softened by heating, and can be made of any material, shape, or the like as long as it can form a fine concavo-convex structure when pressed against the transfer surface 10a of the mold 10 in the pressing step. There can be.

被転写材20は、好ましくは樹脂フィルムである。被転写材20がフィルム状であることにより、被転写材20に均一に圧力をかけやすく、寸法精度が良好な成形体を製造しやすい。 The transfer material 20 is preferably a resin film. Since the material to be transferred 20 is in the form of a film, it is easy to apply pressure uniformly to the material to be transferred 20, and it is easy to manufacture a molded product having good dimensional accuracy.

被転写材20は、通常、熱可塑性樹脂および/または熱硬化性樹脂を含む。離型工程における離型しやすさ、製造される成形体のその後の加工しやすさ等を考慮すると、被転写材20は熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。 The transfer material 20 usually contains a thermoplastic resin and / or a thermosetting resin. Considering the ease of mold release in the mold release step, the ease of subsequent processing of the manufactured molded product, and the like, the material to be transferred 20 preferably contains a thermoplastic resin.

被転写材20は、例えば、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリカーボネート、ポリシクロオレフィン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体、ポリノルボルネン、ポリエチレンテレフタレート等を含むことができる。これらは通常は熱可塑性樹脂に分類される。
別観点として、被転写材20は、非晶性の樹脂を含むことが好ましい。非晶性の材料は、成形温度幅が広いため成形性が良好であり、寸法安定性の向上に効果的である。非晶性の樹脂としては、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリカーボネート、ポリシクロオレフィン、ポリスチレン、(メタ)アクリロニトリル・スチレン共重合体、(メタ)アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体などが挙げられる。
被転写材20は、1種のみの樹脂を含んでもよいし、2種以上の樹脂を含んでもよい。
The transfer material 20 includes, for example, methyl poly (meth) acrylate, polycarbonate, polycycloolefin, polyethylene, polystyrene, polypropylene, acrylonitrile / styrene copolymer, acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer, polynorbornene, polyethylene terephthalate and the like. Can be included. These are usually classified as thermoplastic resins.
From another viewpoint, the material to be transferred 20 preferably contains an amorphous resin. Since the amorphous material has a wide molding temperature range, it has good moldability and is effective in improving dimensional stability. Examples of the amorphous resin include methyl poly (meth) acrylate, polycarbonate, polycycloolefin, polystyrene, (meth) acrylonitrile / styrene copolymer, and (meth) acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer.
The transfer material 20 may contain only one kind of resin, or may contain two or more kinds of resins.

被転写材20のガラス転移温度Tgは、典型的には50〜300℃、好ましくは60〜250℃、さらに好ましくは70〜200℃である。 The glass transition temperature Tg of the material to be transferred 20 is typically 50 to 300 ° C, preferably 60 to 250 ° C, and more preferably 70 to 200 ° C.

ガラス転移温度としては、例えば、被転写材20を動的粘弾性測定したときの、貯蔵弾性率の下がり始めの変曲点の温度を採用することができる。動的粘弾性測定の測定モードはせん断モード、周波数は1Hz、昇温速度は5℃/分とすることができる。 As the glass transition temperature, for example, the temperature at the inflection point at which the storage elastic modulus begins to decrease when the material to be transferred 20 is dynamically measured for viscoelasticity can be adopted. The measurement mode of the dynamic viscoelasticity measurement can be a shear mode, the frequency can be 1 Hz, and the heating rate can be 5 ° C./min.

被転写材20は、特に、ポリシクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートおよびポリスチレンからなる群より選ばれる1または2以上の樹脂を含むことが好ましい。とりわけ、ポリシクロオレフィンが、良好な離型性の点から好ましい。加えて、ポリシクロオレフィンは、成形体を後述する成形体の用途(バイオチップ等)に適用する際の光学特性の点で好ましい。 The transfer material 20 preferably contains one or more resins selected from the group consisting of polycycloolefin, polycarbonate, polymethylmethacrylate and polystyrene. In particular, polycycloolefin is preferable from the viewpoint of good releasability. In addition, polycycloolefin is preferable in terms of optical properties when the molded product is applied to a molded product application (biochip or the like) described later.

被転写材20が樹脂フィルムである場合、その厚みは、0.01〜10mmが好ましく、0.02〜5mmがより好ましく、0.04〜2mmがさらに好ましい。
被転写材20の厚さを0.01mm以上にすることにより、被転写材20にシワが発生することを一層抑制することができる。また、被転写材の厚さを10mm以下にすることにより、被転写材20の冷却性が高まり、製造効率化/製造時間短縮などを図ることができる。
When the transfer material 20 is a resin film, the thickness thereof is preferably 0.01 to 10 mm, more preferably 0.02 to 5 mm, still more preferably 0.04 to 2 mm.
By setting the thickness of the transfer material 20 to 0.01 mm or more, it is possible to further suppress the occurrence of wrinkles on the transfer material 20. Further, by reducing the thickness of the material to be transferred to 10 mm or less, the cooling property of the material to be transferred 20 is enhanced, and the production efficiency / production time can be shortened.

被転写材20については、合成樹脂メーカ、フィルムメーカなどから入手可能な市販品を用いることができる。 As the transfer material 20, a commercially available product available from a synthetic resin maker, a film maker, or the like can be used.

(金型10)
図4は、図1、図2および図3における金型10について説明するための模式図である。具体的には、図4A.は、金型10の転写面10aを示す上面図である。また、図4B.は、金型10のX−X縦断面図である。
金型10の転写面10aは、通常、複数の凸部を有している。個々の凸部の形状は、例えば、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、各形状同士を合成した形状などであることができる。ここでの「柱状」は、円柱状や四角柱状などを含む。
また、転写面10aは、ストライプ状の凹凸の微細構造を有するものであってもよい。
(Mold 10)
FIG. 4 is a schematic view for explaining the mold 10 in FIGS. 1, 2 and 3. Specifically, FIG. 4A. Is a top view showing the transfer surface 10a of the mold 10. In addition, FIG. 4B. Is an XX vertical cross-sectional view of the mold 10.
The transfer surface 10a of the mold 10 usually has a plurality of convex portions. The shape of each convex portion can be, for example, a columnar shape, a cone shape, a hemispherical shape, a shape in which corners of these shapes are chamfered, a shape in which each shape is connected, a shape in which each shape is combined, or the like. The "columnar" here includes a columnar column, a square columnar shape, and the like.
Further, the transfer surface 10a may have a striped uneven microstructure.

金型10は、Ni電鋳モールドであることが好ましい。別の言い方として、金型10の少なくとも転写面10aは、Ni電鋳処理されたものであることが好ましい。Ni電鋳モールドは、耐摩耗性などの点で好ましい。 The mold 10 is preferably a Ni electroformed mold. In other words, it is preferable that at least the transfer surface 10a of the mold 10 is Ni electroformed. The Ni electroformed mold is preferable in terms of wear resistance and the like.

転写面10aに設けられた微細凹凸構造の凸部のピッチ(図4A.におけるp)は、例えば0.02〜6000μm、具体的には0.04〜4000μm、より具体的には0.06〜2000μmである。
転写面10aに設けられた微細凹凸構造の凸部が円柱状である場合、円柱の直径(図4A.におけるd)は、例えば0.1〜3000μm、具体的には0.2〜2000μm、より具体的には0.3〜1000μmである。
転写面10aに設けられた微細凹凸構造の凸部の高さ(図4B.におけるh)は、例えば0.01〜3000μm、具体的には0.02〜2000μm、より具体的には0.03〜1000μmである。
The pitch (p in FIG. 4A.) Of the convex portion of the fine concavo-convex structure provided on the transfer surface 10a is, for example, 0.02 to 6000 μm, specifically 0.04 to 4000 μm, and more specifically 0.06 to 0.06 to It is 2000 μm.
When the convex portion of the fine concavo-convex structure provided on the transfer surface 10a is a cylinder, the diameter of the cylinder (d in FIG. 4A.) Is, for example, 0.1 to 3000 μm, specifically 0.2 to 2000 μm. Specifically, it is 0.3 to 1000 μm.
The height of the convex portion of the fine concavo-convex structure provided on the transfer surface 10a (h in FIG. 4B) is, for example, 0.01 to 3000 μm, specifically 0.02 to 2000 μm, and more specifically 0.03. It is ~ 1000 μm.

金型10は、公知の製造方法により製造することができる。 The mold 10 can be manufactured by a known manufacturing method.

(剛体板36)
剛体板36は、主として、金型10の変形抑制や補強のために用いることができる。
ここでの「剛体」との語は、物理学でいう厳密な剛体(力の作用の下で変形しない物体)のみを意味するのではなく、金型10よりも十分変形しにくいという意味も含む。例えば、剛体板36の素材は、金型10の素材よりも硬い素材で構成されていることが好ましい。また、剛体板36の素材自体は金型10の素材よりも軟らかいとしても、剛体板36の厚みが金型10よりも十分厚い等により、金型10の変形抑制や補強の機能が果たされていてもよい。
(Rigid body plate 36)
The rigid body plate 36 can be mainly used for suppressing deformation or reinforcing the mold 10.
The term "rigid body" here does not mean only a strict rigid body (an object that does not deform under the action of force) in physics, but also includes the meaning that it is sufficiently less deformable than the mold 10. .. For example, the material of the rigid body plate 36 is preferably made of a material harder than the material of the mold 10. Further, even if the material of the rigid body plate 36 itself is softer than the material of the mold 10, the thickness of the rigid body plate 36 is sufficiently thicker than that of the mold 10, so that the function of suppressing the deformation of the mold 10 and reinforcing the mold 10 is fulfilled. You may be.

剛体板36は、好ましくは金属製である。つまり、剛体板36は、好ましくは金属板である。硬度や耐久性などの観点からは、鋼板やステンレス板が好ましく、ステンレス板がより好ましい。
剛体板36の厚みは特に限定されないが、例えば0.1〜10mm、好ましくは0.3〜5mmである。
The rigid plate 36 is preferably made of metal. That is, the rigid plate 36 is preferably a metal plate. From the viewpoint of hardness and durability, a steel plate or a stainless steel plate is preferable, and a stainless steel plate is more preferable.
The thickness of the rigid plate 36 is not particularly limited, but is, for example, 0.1 to 10 mm, preferably 0.3 to 5 mm.

(当て板33/当て板38)
当て板33は、通常、プレス上板31の損傷を抑えるために用いられる。また、当て板38は、通常、プレス下板32の損傷を抑えるために用いられる。つまり、当て板33および当て板38は、成形体の製造に「必須」ではない。しかし、プレス上板31およびプレス下板32の損傷を抑えて装置の寿命を延ばす等の目的で、当て板33および当て板38は用いられることが好ましい。また、当て板33および/または当て板38介して押圧工程を行うことで、プレス上板31やプレス下板32の表面に凹凸が存在する場合であっても、押圧力を均一にしやすいということも言える。
(Reliable plate 33 / Reliable plate 38)
The backing plate 33 is usually used to suppress damage to the press upper plate 31. Further, the backing plate 38 is usually used to suppress damage to the press lower plate 32. That is, the backing plate 33 and the backing plate 38 are not "essential" for the production of the molded product. However, it is preferable that the backing plate 33 and the backing plate 38 are used for the purpose of suppressing damage to the press upper plate 31 and the press lower plate 32 and extending the life of the apparatus. Further, by performing the pressing step through the backing plate 33 and / or the backing plate 38, it is easy to make the pressing force uniform even when the surfaces of the press upper plate 31 and the press lower plate 32 have irregularities. Can also be said.

当て板33および当て板38の材質等は特に限定されないが、市場での入手可能性、良好な平面性などの点で、シリコンウェハが好ましい。 The materials of the backing plate 33 and the backing plate 38 are not particularly limited, but a silicon wafer is preferable in terms of market availability, good flatness, and the like.

(製造された成形体の用途)
上述のようにして得られた微細凹凸構造を有する成形体の用途は、特に限定されない。
用途の例として、バイオチップ等が挙げられる。すなわち、成形体の凹部部分(転写面10aの凸部に相当)に、特異抗体などの認識物質を固定することで、バイオチップを得ることができる。
バイオチップの具体的態様については、例えば特開2015−49161号公報、特開2015−49162号公報などを参照することができる。
(Use of manufactured molded product)
The use of the molded product having the fine concavo-convex structure obtained as described above is not particularly limited.
Examples of applications include biochips and the like. That is, a biochip can be obtained by fixing a recognition substance such as a specific antibody to the concave portion of the molded product (corresponding to the convex portion of the transfer surface 10a).
For specific aspects of the biochip, for example, JP-A-2015-49161 and JP-A-2015-49162 can be referred to.

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。 Although the embodiments of the present invention have been described above, these are examples of the present invention, and various configurations other than the above can be adopted. Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the range in which the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.

本発明の実施態様を、実施例および比較例に基づき詳細に説明する。念のため述べておくと、本発明は実施例のみに限定されない。 Embodiments of the present invention will be described in detail based on Examples and Comparative Examples. As a reminder, the invention is not limited to examples.

<準備>
以下部材を準備した。
<Preparation>
The following members were prepared.

(緩衝材)
東京特種紙業株式会社のクッション紙、KS−190、秤量190g/m
(Cushioning material)
Cushion paper from Tokyo Special Paper Industry Co., Ltd., KS-190, weighing 190 g / m 2

(金型)
図4に示されるような、転写面に円柱状の凸部が設けられたNi電鋳モールドを準備した。
円柱状の凸部の直径(図4のd)は10μm、高さ(図4のh)は10μm、ピッチ(図4のp)は20μmであった。
(Mold)
A Ni electroformed mold having a columnar convex portion on the transfer surface as shown in FIG. 4 was prepared.
The diameter (d in FIG. 4) of the columnar convex portion was 10 μm, the height (h in FIG. 4) was 10 μm, and the pitch (p in FIG. 4) was 20 μm.

(被転写材)
以下を用いた。
・COP:ポリシクロオレフィン樹脂フィルム(日本ゼオン社製ゼオノアフィルムZF−14、厚さ:0.19mm、ガラス転移温度:136℃)
(Transfer material)
The following was used.
-COP: Polycycloolefin resin film (Zeonoa film ZF-14 manufactured by Zeon Corporation, thickness: 0.19 mm, glass transition temperature: 136 ° C.)

被転写材のガラス転移温度Tgについては、以下条件の動的粘弾性測定の結果から求めた。Tgについては、貯蔵弾性率の下がり始めの変曲点の温度とした。
・測定装置:ティー・エイ・インスツルメント社製ARES−2KFRTN1−FCO−HR
・サンプルサイズ:パラレルプレートφ25mm、ギャップ2mm
・測定温度範囲:100〜180℃
・昇温速度:5℃/min
・周波数:1Hz
・モード:せん断モード
The glass transition temperature Tg of the material to be transferred was determined from the results of dynamic viscoelasticity measurement under the following conditions. For Tg, the temperature of the inflection point at which the storage elastic modulus began to decrease was used.
-Measuring device: ARES-2KFRTN1-FCO-HR manufactured by TA Instruments Co., Ltd.
-Sample size: Parallel plate φ25 mm, gap 2 mm
-Measurement temperature range: 100 to 180 ° C
・ Temperature rise rate: 5 ° C / min
・ Frequency: 1Hz
・ Mode: Shear mode

(金属箔)
市販のアルミ箔、厚み12μm
(Metal leaf)
Commercially available aluminum foil, thickness 12 μm

(低摩擦部材)
125μm厚のPI(ポリイミド)フィルム、静摩擦係数0.35
静摩擦係数は、前述のように、被転写材(COP)と低摩擦部材とを重ね合わせ、JIS K 7125に準じ、200gの負荷をかけた状態で、100mm/minの速度にて摩擦試験を実施することにより求めた。測定環境は、23℃、50%RHに設定した。
測定は3回実施し、得られた3つの値の平均を静摩擦係数として採用した。
(Low friction member)
125 μm thick PI (polyimide) film, static friction coefficient 0.35
As for the coefficient of static friction, as described above, the transfer material (COP) and the low friction member are superposed, and a friction test is carried out at a speed of 100 mm / min under a load of 200 g according to JIS K 7125. Asked by doing. The measurement environment was set at 23 ° C. and 50% RH.
The measurement was carried out three times, and the average of the obtained three values was adopted as the coefficient of static friction.

(剛体板)
1mm厚のステンレス板
(Rigid body plate)
1mm thick stainless steel plate

(当て板(プレス上板側およびプレス下板側))
市販の6インチシリコンウェハ
(Reliable plate (press upper plate side and press lower plate side))
Commercially available 6-inch silicon wafer

<実施例1:成形体の製造>
以下手順で行った。
(1)図1のII.に示されるように、プレス上板とプレス下板(加熱手段を内蔵する)の間に、被転写材、金型、緩衝材などの部材を配置した。
(2)プレス下板の加熱手段を用いて、金型等を155℃に加熱した(この加熱により、被転写材はそのガラス転移温度Tg以上に加熱された)。
(3)上記温度を維持したまま、プレス上板とプレス下板とにより、被転写材COPを金型の転写面に押し当て、4MPaの圧力で2分間押圧した。
(4)その後、同じ圧力で押圧したまま、金型および被転写材COPの温度を、135℃まで約3分間かけて冷却した。
(5)プレス上板を上げて、プレス下板の上にある金型と被転写材が一体となったものに、上から冷風を当て、被転写材を十分に(少なくともTg以下の温度に)冷却した。
(6)金型から被転写材COPを離型して、微細凹凸構造を有する成形体を得た。
<Example 1: Manufacture of molded product>
The procedure was as follows.
(1) II. Of FIG. As shown in, members such as a transfer material, a mold, and a cushioning material were arranged between the press upper plate and the press lower plate (with a built-in heating means).
(2) The mold or the like was heated to 155 ° C. by using the heating means of the press lower plate (the material to be transferred was heated to the glass transition temperature Tg or more by this heating).
(3) While maintaining the above temperature, the material to be transferred COP was pressed against the transfer surface of the die by the press upper plate and the press lower plate, and pressed at a pressure of 4 MPa for 2 minutes.
(4) After that, the temperature of the mold and the material to be transferred COP was cooled to 135 ° C. over about 3 minutes while pressing at the same pressure.
(5) Raise the upper plate of the press and apply cold air from above to the one on which the mold and the material to be transferred are integrated on the lower plate of the press, and bring the material to be transferred sufficiently (at least to a temperature of Tg or less). ) Cooled.
(6) The transfer material COP was released from the mold to obtain a molded product having a fine concavo-convex structure.

<比較例1:成形体の製造>
緩衝材を配置しなかった以外は、実施例1と同様の手順により、成形体を得た。
<Comparative Example 1: Manufacture of molded product>
A molded product was obtained by the same procedure as in Example 1 except that the cushioning material was not arranged.

<金型の微細凹凸構造の転写性の確認>
実施例1で得られた成形体においては、被転写材COPにおける、金型が押圧された部分全体に、金型の凹凸にほぼ忠実な凹凸が形成されていた。
一方、比較例1で得られた成形体においては、一部、金型の凹凸が満足に転写されていない部分があった。緩衝材を用いなかったことにより、圧力に不均一性が生じ、転写の不具合につながったものと推定される。
<Confirmation of transferability of the fine uneven structure of the mold>
In the molded product obtained in Example 1, unevenness substantially faithful to the unevenness of the mold was formed in the entire portion of the transfer material COP on which the mold was pressed.
On the other hand, in the molded product obtained in Comparative Example 1, there was a part where the unevenness of the mold was not satisfactorily transferred. It is highly probable that the lack of cushioning material caused non-uniformity in the pressure, leading to transfer defects.

<目視によるシワの評価>
実施例1で得られた成形体を目視で注意深く観察した。シワは認められなかった。
<Visual evaluation of wrinkles>
The molded product obtained in Example 1 was carefully visually observed. No wrinkles were found.

10 金型
10a 転写面
20 被転写材
20a 表面
31 プレス上板
32 プレス下板
33 当て板
34 金属箔
35 低摩擦部材
36 剛体板
37 緩衝材
38 当て板
10 Die 10a Transfer surface 20 Transfer material 20a Surface 31 Press upper plate 32 Press lower plate 33 Back plate 34 Metal leaf 35 Low friction member 36 Rigid body plate 37 Cushioning material 38 Back plate

Claims (17)

被転写材を、微細凹凸構造が設けられた転写面を有する金型の前記転写面に押圧する押圧工程を含む、微細凹凸構造を有する成形体の製造方法であって、
前記押圧工程における押圧は、プレス上板とプレス下板とを備えるプレス装置を用いて、前記被転写材の前記金型とは反対の面側からは前記プレス上板により、前記金型の転写面とは反対の面側からは前記プレス下板により、少なくとも前記被転写材と前記金型とを挟むことで行われ、
前記押圧工程において、前記金型と前記プレス下板との間には、少なくとも緩衝材が挟まれている、成形体の製造方法。
A method for producing a molded product having a fine concavo-convex structure, which comprises a pressing step of pressing a material to be transferred against the transfer surface of a mold having a transfer surface provided with a fine concavo-convex structure.
The pressing in the pressing step is performed by using a press device including a press upper plate and a press lower plate, and the die is transferred from the surface side of the material to be transferred opposite to the die by the press upper plate. From the surface side opposite to the surface, at least the transfer material and the mold are sandwiched by the press lower plate.
A method for producing a molded product, in which at least a cushioning material is sandwiched between the mold and the press lower plate in the pressing step.
請求項1に記載の成形体の製造方法であって、
前記被転写材は、樹脂フィルムである、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 1.
A method for producing a molded product, wherein the material to be transferred is a resin film.
請求項1または2に記載の成形体の製造方法であって、
前記被転写材は、熱可塑性樹脂を含む、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 1 or 2.
A method for producing a molded product, wherein the transferred material contains a thermoplastic resin.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記被転写材は、ポリシクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートおよびポリスチレンからなる群より選ばれる1または2以上の樹脂を含む、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 3.
A method for producing a molded product, wherein the transferred material contains one or more resins selected from the group consisting of polycycloolefin, polycarbonate, polymethylmethacrylate and polystyrene.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程において、前記被転写材と前記プレス上板との間には、金属箔または金属板が挟まれている、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 4.
A method for producing a molded product, in which a metal foil or a metal plate is sandwiched between the transfer material and the press upper plate in the pressing step.
請求項5に記載の成形体の製造方法であって、
前記金属箔または金属板は、アルミ箔である、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 5.
A method for manufacturing a molded product, wherein the metal foil or metal plate is an aluminum foil.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程においては、前記被転写材の前記金型とは反対側の面に、静摩擦係数が10以下の低摩擦部材が接している、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 6.
A method for producing a molded product, wherein in the pressing step, a low friction member having a static friction coefficient of 10 or less is in contact with a surface of the material to be transferred opposite to the mold.
請求項7に記載の成形体の製造方法であって、
前記低摩擦部材は、樹脂フィルムである、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 7.
A method for manufacturing a molded product, wherein the low friction member is a resin film.
請求項7または8に記載の成形体の製造方法であって、
前記低摩擦部材は、ポリイミド、ポリエステルおよびポリエーテルエーテルケトンからなる群より選ばれる1または2以上の樹脂を含む、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 7 or 8.
A method for producing a molded product, wherein the low friction member contains one or more resins selected from the group consisting of polyimide, polyester and polyetheretherketone.
請求項1〜9のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程においては、前記金型と前記緩衝材との間に、剛体板が挟まれている、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 9.
A method for manufacturing a molded body in which a rigid plate is sandwiched between the mold and the cushioning material in the pressing step.
請求項10に記載の成形体の製造方法であって、
前記剛体板は、金属製である、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to claim 10.
A method for manufacturing a molded body, wherein the rigid body plate is made of metal.
請求項1〜11のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程においては、前記プレス上板の下面に、当て板が接している、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 11.
In the pressing step, a method for manufacturing a molded product, in which a backing plate is in contact with the lower surface of the press upper plate.
請求項1〜12のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程においては、前記プレス下板の上面に、当て板が接している、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 12.
In the pressing step, a method for manufacturing a molded product, in which a backing plate is in contact with the upper surface of the press lower plate.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記金型はNi電鋳モールドである、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 3.
A method for manufacturing a molded body, wherein the mold is a Ni electroformed mold.
請求項1〜8のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記転写面に設けられた微細凹凸構造の凸部の高さは0.01〜3000μmである、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 8.
A method for producing a molded product, wherein the height of the convex portion of the fine concavo-convex structure provided on the transfer surface is 0.01 to 3000 μm.
請求項1〜15のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程において、前記被転写材は50〜300℃に加熱される、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 15.
A method for producing a molded product, wherein in the pressing step, the material to be transferred is heated to 50 to 300 ° C.
請求項1〜16のいずれか1項に記載の成形体の製造方法であって、
前記押圧工程の後に、前記金型から前記被転写材を離型する離型工程を含む、成形体の製造方法。
The method for producing a molded product according to any one of claims 1 to 16.
A method for producing a molded product, which comprises a mold release step of releasing the transfer material from the mold after the pressing step.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0948071A (en) * 1995-08-08 1997-02-18 Kyodo Printing Co Ltd Shaped sheet and its manufacture
JP2008137380A (en) * 2006-11-10 2008-06-19 Toray Ind Inc Apparatus for manufacturing fine shape transfer sheet and method of manufacturing fine shape transfer sheet
JP2010046882A (en) * 2008-08-21 2010-03-04 Toray Ind Inc Method of manufacturing fine-shape transfer sheet

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0948071A (en) * 1995-08-08 1997-02-18 Kyodo Printing Co Ltd Shaped sheet and its manufacture
JP2008137380A (en) * 2006-11-10 2008-06-19 Toray Ind Inc Apparatus for manufacturing fine shape transfer sheet and method of manufacturing fine shape transfer sheet
JP2010046882A (en) * 2008-08-21 2010-03-04 Toray Ind Inc Method of manufacturing fine-shape transfer sheet

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