JP2021030382A - リテーナリングに局所荷重を伝達するローラーの異常検出方法および研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一態様では、前記トルクの測定は、前記研磨ヘッドが前記基板を保持していないとき、かつ前記研磨ヘッドが前記基板を研磨する研磨面を有する研磨パッドに接触していないときに行う。
一態様では、前記研磨ヘッドの回転速度に相当する周波数成分の強度が前記所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断する。
一態様では、前記異常検出装置は、前記研磨ヘッドの回転速度に相当する周波数成分の強度が前記所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断するように構成されている。
2 研磨パッド
2a 研磨面
3 研磨テーブル
5 研磨液供給ノズル
7 動作制御部
10 研磨ヘッド
11 ヘッド本体
12 研磨ヘッドシャフト
15 旋回軸
16 ヘッドアーム
17 回転装置
18 トルク測定装置
20 リテーナリング
20a リング部材
20b ドライブリング
30 局所荷重付与装置
31 押圧ロッド
32 ブリッジ
33 エアシリンダ(荷重発生装置)
38 リニアガイド
39 ガイドロッド
40 ユニットベース
43 キャリア
45 弾性膜(メンブレン)
46 圧力室
47 球面軸受
48 内輪
49 外輪
51 回転リング
52 ローラー
54 ローラーシャフト
55 ローラーハウジング
55a 環状凹部
57 軸受
58 ねじ
59 ホイール
60 リテーナリング押圧機構
61 ピストン
62 ローリングダイヤフラム
63 圧力室
75 連結部材
76 軸部
78 スポーク
80 駆動カラー
91 静止リング
92 円環レール
94 レールベース
95 環状溝
100A 外側シール
100B 内側シール
101 第1の周壁
102 第2の周壁
110 異常検出装置
Claims (7)
- 基板を押圧する押圧面を有するヘッド本体と、前記押圧面を囲むように配置されたリテーナリングとを備えた研磨ヘッドを回転させ、
前記リテーナリングに固定され、かつ複数のローラーを有する回転リングを前記研磨ヘッドと共に回転させながら、かつ前記回転リング上に配置された静止リングに局所荷重を加えながら、前記研磨ヘッドを回転させるためのトルクを測定し、
前記トルクの測定値と、前記トルクの測定時間との関係を示すトルク波形を生成し、
前記トルク波形にフーリエ変換処理を行って、前記トルク波形の周波数成分の強度を決定し、
前記決定された周波数成分の強度が所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断する、方法。 - 前記フーリエ変換処理は、高速フーリエ変換処理である、請求項1に記載の方法。
- 前記トルクの測定は、前記研磨ヘッドが前記基板を保持していないとき、かつ前記研磨ヘッドが前記基板を研磨する研磨面を有する研磨パッドに接触していないときに行う、請求項1または2に記載の方法。
- 前記研磨ヘッドの回転速度に相当する周波数成分の強度が前記所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。
- 基板を研磨面に押し付ける研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドと共に回転可能な回転リングと、
前記回転リング上に配置された静止リングと、
前記静止リングに局所荷重を加える局所荷重付与装置と、
前記研磨ヘッドを回転させるためのトルクを測定するトルク測定装置と、
前記トルク測定装置に接続された異常検出装置とを備え、
前記研磨ヘッドは、
前記基板を押圧する押圧面を有するヘッド本体と、
前記押圧面を囲むように配置されたリテーナリングとを備え、
前記回転リングは、前記リテーナリングに固定され、かつ前記静止リングに接触する複数のローラーを有し、
前記異常検出装置は、
前記トルクの測定値と前記トルクの測定時間との関係を示すトルク波形を生成し、
前記トルク波形にフーリエ変換処理を行って、前記トルク波形の周波数成分の強度を決定し、
前記決定された周波数成分の強度が所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断するように構成されている、研磨装置。 - 前記フーリエ変換処理は、高速フーリエ変換処理である、請求項5に記載の研磨装置。
- 前記異常検出装置は、前記研磨ヘッドの回転速度に相当する周波数成分の強度が前記所定のしきい値よりも大きい場合に、前記複数のローラーのうちの少なくとも1つに異常があると判断するように構成されている、請求項5または6に記載の研磨装置。
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