JP2021028894A - Conductive material, connection structure and production method of connection structure - Google Patents

Conductive material, connection structure and production method of connection structure Download PDF

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Abstract

To provide a conductive material capable of efficiently enhancing repair ability.SOLUTION: A conductive material of the invention comprises a thermal-setting component, a plurality of solder particles, and a gap material. A softening point of a cured object obtained by curing the thermo-setting component in a condition of a melting point+20°C of the solder particles and 3 minutes, is equal to or smaller than a melting point of the solder particles. When die share intensity at 25°C of a copper piece to the cured object obtained by curing the conductive material in a condition of a melting point+20°C of the solder particles and 3 minutes, is die share intensity DS25, and die share intensity at the melting point of the solder particles of the copper piece to the cured object obtained by curing the conductive material in a condition of the melting point+20°C of the solder particles and 3 minutes, is die share intensity DSmp, a ratio of the die share intensity DS25 with respect to the die share intensity DSmp is 10 or greater and 1000 or smaller.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、はんだ粒子を含む導電材料に関する。また、本発明は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to a conductive material containing solder particles. The present invention also relates to a connection structure using the above conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

近年、基板と電子部品との接続に、はんだ粒子等を含む導電材料を用いた接続方法が利用されている。また、導電材料として、異方性導電材料が用いられることがある。上記異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。 In recent years, a connection method using a conductive material containing solder particles or the like has been used for connecting a substrate and an electronic component. Further, as the conductive material, an anisotropic conductive material may be used. In the anisotropic conductive material, conductive particles are dispersed in the binder resin.

上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために使用されている。上記異方性導電材料による接続としては、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等が挙げられる。 The anisotropic conductive material is used to obtain various connection structures. Examples of the connection using the anisotropic conductive material include a connection between a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)), a connection between a semiconductor chip and a flexible printed circuit board (COF (Chip on Film)), and a semiconductor. Examples thereof include a connection between a chip and a glass substrate (COG (Chip on Glass)) and a connection between a flexible printed circuit board and a glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)).

上記異方性導電材料により、例えば、ガラスエポキシ基板と電子部品とを電気的に接続する際には、ガラスエポキシ基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、電子部品を積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して、接続構造体を得る。 With the anisotropic conductive material, for example, when electrically connecting a glass epoxy substrate and an electronic component, an anisotropic conductive material containing conductive particles is arranged on the glass epoxy substrate. Next, the electronic components are laminated and heated and pressurized. As a result, the anisotropic conductive material is cured, and the electrodes are electrically connected to each other via the conductive particles to obtain a connection structure.

接続構造体の製造では、電子部品等が適切に接続されないことがあり、適切に接続されなかった電子部品等のみを除去し、再度、電子部品等の接続を試みる作業(リペア)を行うことがある。そのため、導電材料には、リペア性(適切に接続されなかった電子部品等のみを簡便に除去することができ、再度、電子部品等の接続することができる性質)が要求される。 In the manufacture of connection structures, electronic components may not be connected properly, so it is possible to remove only the electronic components that were not properly connected and perform the work (repair) of trying to connect the electronic components again. is there. Therefore, the conductive material is required to have repairability (the property that only electronic components and the like that are not properly connected can be easily removed and the electronic components and the like can be connected again).

リペア性を向上させた接続構造体(実装構造体)が、下記の特許文献1に開示されている。下記の特許文献1には、複数の第1電極と、上記複数の第1電極を有する半導体パッケージ部品と、複数の第2電極と、上記複数の第2電極を有する回路基板とを備える半導体パッケージ部品の実装構造体が開示されている。上記実装構造体では、上記第1電極上には電極バンプが、上記第2電極上には接合部材が、上記接合部材の周囲には樹脂部材がそれぞれ配置されている。上記実装構造体では、上記電極バンプと上記接合部材とが電気的に接続され、これにより上記第1電極と上記第2電極とが電気的に接続されている。上記実装構造体では、上記接合部材と上記樹脂部材とが、上記電極バンプと上記第2電極とを接合する接合部を形成している。上記実装構造体では、上記接合部材の周囲に配置された上記樹脂部材の濡れ上がりの高さが(外側濡れ上がり高さ)≦(内側濡れ上がり高さ)×0.8を満たす。また、下記の特許文献1には、上記接合部は、はんだ材料と熱硬化性樹脂と硬化剤とを含むはんだペーストを硬化させた硬化物であることが開示されている。 A connection structure (mounting structure) with improved repairability is disclosed in Patent Document 1 below. The following Patent Document 1 describes a semiconductor package including a plurality of first electrodes, a semiconductor package component having the plurality of first electrodes, a plurality of second electrodes, and a circuit board having the plurality of second electrodes. The mounting structure of the component is disclosed. In the mounting structure, an electrode bump is arranged on the first electrode, a joining member is arranged on the second electrode, and a resin member is arranged around the joining member. In the mounting structure, the electrode bump and the joining member are electrically connected, whereby the first electrode and the second electrode are electrically connected. In the mounting structure, the joining member and the resin member form a joining portion for joining the electrode bump and the second electrode. In the mounting structure, the wet-up height of the resin member arranged around the joint member satisfies (outer wet-up height) ≤ (inner wet-up height) × 0.8. Further, Patent Document 1 below discloses that the joint portion is a cured product obtained by curing a solder paste containing a solder material, a thermosetting resin, and a curing agent.

特開2018−181937号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-181937

しかしながら、従来の導電材料は、ある程度のリペア性を有しているものの、リペア性が十分ではない場合がある。また、リペアを簡便に行うために、より一層リペア性を高めた導電材料が要求されている。 However, although the conventional conductive material has a certain degree of repairability, the repairability may not be sufficient. Further, in order to easily perform repair, a conductive material having further improved repairability is required.

本発明の目的は、リペア性を効果的に高めることができる導電材料を提供することである。また、本発明の目的は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a conductive material capable of effectively enhancing repairability. Another object of the present invention is to provide a connection structure using the conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

本発明の広い局面によれば、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、ギャップ材とを含む導電材料であり、前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、前記はんだ粒子の融点以下であり、前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の25℃でのダイシェア強度をダイシェア強度DS25とし、前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の前記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度をダイシェア強度DSmpとしたときに、前記ダイシェア強度DS25の前記ダイシェア強度DSmpに対する比が、10以上1000以下である、導電材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, it is a conductive material containing a thermocurable component, a plurality of solder particles, and a gap material, and the thermocurable component is applied under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes. The softening point of the cured product is equal to or lower than the melting point of the solder particles, and the die share of the copper piece at 25 ° C. with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes. When the strength is the die shear strength DS25 and the die shear strength at the melting point of the solder particles of the copper piece with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is the die shear strength DSmp. Provided are conductive materials in which the ratio of the die shear strength DS25 to the die shear strength DSmp is 10 or more and 1000 or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記熱硬化性成分が、熱硬化剤を含み、前記熱硬化剤が、酸無水物硬化剤を含む。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the thermosetting component comprises a thermosetting agent and the thermosetting agent comprises an acid anhydride curing agent.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記はんだ粒子の融点が、120℃以上280℃以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the melting point of the solder particles is 120 ° C. or higher and 280 ° C. or lower.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記はんだ粒子の平均粒子径が、2μm以上75μm以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the average particle size of the solder particles is 2 μm or more and 75 μm or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料100重量%中、前記はんだ粒子の含有量が、45重量%以上90重量%以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the content of the solder particles in 100% by weight of the conductive material is 45% by weight or more and 90% by weight or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料100重量%中、前記ギャップ材の含有量が、0.01重量%以上5重量%以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the content of the gap material in 100% by weight of the conductive material is 0.01% by weight or more and 5% by weight or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料が、導電ペーストである。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the conductive material is a conductive paste.

本発明の広い局面によれば、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部の材料が、上述した導電材料であり、前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a first connection target member having a first electrode on the surface, a second connection target member having a second electrode on the surface, and the first connection target member. The connection portion is provided with a connection portion connecting the second connection target member, the material of the connection portion is the above-mentioned conductive material, and the first electrode and the second electrode are the connection portion. A connection structure is provided that is electrically connected by a solder portion inside.

本発明の広い局面によれば、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、前記導電材料を配置する工程と、前記導電材料の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the step of arranging the conductive material on the surface of the first connection target member having the first electrode on the surface and the said of the conductive material using the above-mentioned conductive material. A second connection target member having a second electrode on the surface is arranged on a surface opposite to the first connection target member side so that the first electrode and the second electrode face each other. By heating the conductive material above the melting point of the solder particles in the step, a connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is formed by the conductive material. Further, there is provided a method for manufacturing a connection structure, which comprises a step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connection portion.

本発明に係る導電材料は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、ギャップ材とを含む。本発明に係る導電材料では、上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、上記はんだ粒子の融点以下である。上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の25℃でのダイシェア強度をダイシェア強度DS25とする。上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の上記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度をダイシェア強度DSmpとする。本発明に係る導電材料では、上記ダイシェア強度DS25の上記ダイシェア強度DSmpに対する比が、10以上1000以下である。本発明に係る導電材料では、上記の構成が備えられているので、リペア性を効果的に高めることができる。 The conductive material according to the present invention includes a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a gap material. In the conductive material according to the present invention, the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is equal to or lower than the melting point of the solder particles. The die shear strength of the copper piece at 25 ° C. with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles at + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength DS25. The die shear strength of the copper piece at the melting point of the solder particles with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength DSmp. In the conductive material according to the present invention, the ratio of the die shear strength DS25 to the die shear strength DSmp is 10 or more and 1000 or less. Since the conductive material according to the present invention has the above-mentioned structure, the repairability can be effectively enhanced.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connection structure obtained by using the conductive material according to the embodiment of the present invention. 図2(a)〜(c)は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて、接続構造体を製造する方法の一例の各工程を説明するための断面図である。2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views for explaining each step of an example of a method of manufacturing a connection structure using the conductive material according to the embodiment of the present invention. 図3は、接続構造体の変形例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a modified example of the connection structure.

以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention will be described below.

(導電材料)
本発明に係る導電材料は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、ギャップ材とを含む。本発明に係る導電材料では、上記はんだ粒子(導電材料に含まれるはんだ粒子)の融点+20℃及び3分間の条件で上記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、上記はんだ粒子の融点以下である。上記はんだ粒子(導電材料に含まれるはんだ粒子)の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の25℃でのダイシェア強度をダイシェア強度DS25とする。上記はんだ粒子(導電材料に含まれるはんだ粒子)の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の上記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度をダイシェア強度DSmpとする。本発明に係る導電材料では、上記ダイシェア強度DS25の上記ダイシェア強度DSmpに対する比が、10以上1000以下である。
(Conductive material)
The conductive material according to the present invention includes a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a gap material. In the conductive material according to the present invention, the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles (solder particles contained in the conductive material) + 20 ° C. and 3 minutes is the softening point of the solder particles. It is below the melting point. The die shear strength of the copper piece at 25 ° C. with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles (solder particles contained in the conductive material) + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength DS25. The die shear strength at the melting point of the solder particles of the copper piece with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles (solder particles contained in the conductive material) + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength DSmp. .. In the conductive material according to the present invention, the ratio of the die shear strength DS25 to the die shear strength DSmp is 10 or more and 1000 or less.

本発明に係る導電材料では、上記の構成が備えられているので、リペア性を効果的に高めることができる。 Since the conductive material according to the present invention has the above-mentioned structure, the repairability can be effectively enhanced.

従来の導電材料は、ある程度のリペア性を有しているものの、リペア性が十分ではない場合がある。また、リペアを簡便に行うために、より一層リペア性を高めた導電材料が要求されている。 Although the conventional conductive material has a certain degree of repairability, the repairability may not be sufficient. Further, in order to easily perform repair, a conductive material having further improved repairability is required.

本発明者らは、導電材料のリペア性が低下する原因が、熱硬化性成分の硬化物の軟化点が高く、熱硬化性成分の硬化物の剥離が十分ではないことや、電子部品ごとにコプラナリティの誤差が生じ、電極周辺の熱硬化性成分量に差が生じることで、隣接する電極における熱硬化性成分の硬化物同士が接触すること等であることを見出した。本発明では、はんだ粒子の融点と熱硬化性成分の硬化物の軟化点とを適切な範囲とすることで、熱硬化性成分に硬化物を十分に剥離することができる。また、本発明では、ギャップ材を含むので、電子部品ごとのコプラナリティを一定にすることができ、電極周辺の熱硬化性成分量を均一にすることができるので、隣接する電極における熱硬化性成分の硬化物同士が接触することを防止できる。結果として、リペア性を効果的に高めることができる。 The present inventors consider that the cause of the decrease in repairability of the conductive material is that the softening point of the cured product of the thermosetting component is high, the peeling of the cured product of the thermosetting component is not sufficient, and for each electronic component. It has been found that an error in coplanarity occurs and a difference in the amount of thermosetting components around the electrodes causes the cured products of the thermosetting components in adjacent electrodes to come into contact with each other. In the present invention, by setting the melting point of the solder particles and the softening point of the cured product of the thermosetting component in an appropriate range, the cured product can be sufficiently peeled off from the thermosetting component. Further, in the present invention, since the gap material is included, the coplanarity of each electronic component can be made constant, and the amount of the thermosetting component around the electrode can be made uniform, so that the thermosetting component in the adjacent electrode can be made uniform. It is possible to prevent the cured products of the above from coming into contact with each other. As a result, repairability can be effectively enhanced.

本発明では、上記のような効果を得るために、特定の関係を満足する導電材料を用いることは大きく寄与する。 In the present invention, in order to obtain the above-mentioned effects, the use of a conductive material that satisfies a specific relationship greatly contributes.

また、本発明では、電極間の導電接続時に、複数のはんだ粒子が、上下の対向した電極間に集まりやすく、はんだを電極(ライン)上に配置することができる。また、はんだの一部が、接続されてはならない横方向の電極間に配置され難く、接続されてはならない横方向の電極間に配置されるはんだの量をかなり少なくすることができる。結果として、本発明では、接続されてはならない横方向の電極間において、はんだの残存量を少なくすることができる。 Further, in the present invention, a plurality of solder particles are likely to collect between the upper and lower facing electrodes at the time of conductive connection between the electrodes, and the solder can be arranged on the electrodes (lines). Further, it is difficult for a part of the solder to be arranged between the lateral electrodes that should not be connected, and the amount of solder arranged between the lateral electrodes that should not be connected can be considerably reduced. As a result, in the present invention, the amount of residual solder can be reduced between the lateral electrodes that must not be connected.

さらに、本発明では、電極間の位置ずれを防ぐことができる。本発明では、導電材料を上面に配置した第1の接続対象部材に、第2の接続対象部材を重ね合わせる際に、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極とのアライメントがずれた状態でも、そのずれを補正して電極同士を接続させることができる(セルフアライメント効果)。 Further, in the present invention, it is possible to prevent the displacement between the electrodes. In the present invention, when the second connection target member is superposed on the first connection target member on which the conductive material is arranged on the upper surface, the electrodes of the first connection target member and the electrodes of the second connection target member are aligned with each other. Even if the alignment is misaligned, the misalignment can be corrected and the electrodes can be connected to each other (self-alignment effect).

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料は、25℃で液状であることが好ましく、導電ペーストであることが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the conductive material is preferably liquid at 25 ° C., and is preferably a conductive paste.

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料の25℃での粘度(η25)は、好ましくは30Pa・s以上、より好ましくは50Pa・s以上であり、好ましくは400Pa・s以下、より好ましくは300Pa・s以下である。上記粘度(η25)は、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the viscosity (η25) of the conductive material at 25 ° C. is preferably 30 Pa · s or more, more preferably 50 Pa · s or more, and preferably 400 Pa · s or more. -S or less, more preferably 300 Pa · s or less. The viscosity (η25) can be appropriately adjusted depending on the type and amount of the compounding components.

上記粘度(η25)は、例えば、E型粘度計(東機産業社製「TVE22L」)等を用いて、25℃及び5rpmの条件で測定することができる。 The viscosity (η25) can be measured at 25 ° C. and 5 rpm using, for example, an E-type viscometer (“TVE22L” manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の25℃でのダイシェア強度を、ダイシェア強度(DS25)とする。上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の上記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度を、ダイシェア強度(DSmp)とする。導電材料に含まれるはんだ粒子の融点をmp℃としたときに、ダイシェア強度(DS25)及びダイシェア強度(DSmp)を測定するための硬化物は、mp+20℃及び3分間の条件での加熱により、上記導電材料を硬化することにより得られる。ダイシェア強度(DS25)は、25℃でのダイシェア強度である。ダイシェア強度(DSmp)は、mp℃でのダイシェア強度である。 The die shear strength of the copper piece at 25 ° C. with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles at + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength (DS25). The die shear strength at the melting point of the solder particles of the copper piece with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength (DSmp). When the melting point of the solder particles contained in the conductive material is mp ° C, the cured product for measuring the die shear strength (DS25) and the die shear strength (DSmp) is heated at mp + 20 ° C. for 3 minutes as described above. Obtained by curing a conductive material. The die shear strength (DS25) is the die shear strength at 25 ° C. The die shear strength (DSmp) is the die shear strength at mp ° C.

本発明に係る導電材料では、上記25℃でのダイシェア強度(DS25)の、上記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度(DSmp)に対する比(DS25/DSmp)は、10以上1000以下である。上記比(DS25/DSmp)は、好ましくは100以上、より好ましく300以上であり、好ましくは700以下、より好ましくは500以下である。上記比(DS25/DSmp)が、上記下限以上及び上記上限以下であると、リペア性をより一層効果的に高めることができる。 In the conductive material according to the present invention, the ratio (DS25 / DSmp) of the die shear strength (DS25) at 25 ° C. to the die shear strength (DSmp) at the melting point of the solder particles is 10 or more and 1000 or less. The above ratio (DS25 / DSmp) is preferably 100 or more, more preferably 300 or more, preferably 700 or less, and more preferably 500 or less. When the ratio (DS25 / DSmp) is equal to or greater than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the repairability can be further effectively enhanced.

上記25℃でのダイシェア強度(DS25)は、好ましくは100N以上、より好ましくは200N以上であり、好ましくは1000N以下、より好ましくは700N以下である。上記ダイシェア強度(DS25)が、上記下限以上及び上記上限以下であると、リペア性をより一層効果的に高めることができる。 The die shear strength (DS25) at 25 ° C. is preferably 100 N or more, more preferably 200 N or more, preferably 1000 N or less, and more preferably 700 N or less. When the die share strength (DS25) is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the repairability can be further effectively enhanced.

上記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度(DSmp)は、好ましくは0.1N以上、より好ましくは0.5N以上であり、好ましくは10N以下、より好ましくは5N以下である。上記ダイシェア強度(DSmp)が、上記下限以上及び上記上限以下であると、リペア性をより一層効果的に高めることができる。 The die shear strength (DSmp) at the melting point of the solder particles is preferably 0.1 N or more, more preferably 0.5 N or more, preferably 10 N or less, and more preferably 5 N or less. When the die shear strength (DSmp) is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the repairability can be further effectively enhanced.

上記ダイシェア強度(DS25及びDSmp)は、以下のようにして測定することができる。 The die shear strength (DS25 and DSmp) can be measured as follows.

厚み500μmの銅板の上面に導電材料を4mm×4mmの範囲に厚み50μmで塗工し、厚み50μmの導電材料層を形成する。次に、上記導電材料層の上面に、厚み500μm、4mm角の銅片を配置する。その後、導電材料層の温度がはんだの融点以上(例えば、はんだの融点+20℃)となるように加熱しながらはんだを溶融させ、かつ導電材料層を導電材料層に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間硬化させて、試験サンプルを得る。 A conductive material is applied to the upper surface of a copper plate having a thickness of 500 μm in a range of 4 mm × 4 mm with a thickness of 50 μm to form a conductive material layer having a thickness of 50 μm. Next, a copper piece having a thickness of 500 μm and a size of 4 mm square is placed on the upper surface of the conductive material layer. After that, the solder is melted while heating so that the temperature of the conductive material layer is equal to or higher than the melting point of the solder (for example, the melting point of the solder + 20 ° C.), and the conductive material layer is made to have the melting point of the solder particles contained in the conductive material layer + 20 ° C. And cure for 3 minutes to obtain a test sample.

得られた試験サンプルを用いて、ダイシェアテスター(アークテック社製「DAGE 4000」)で、25℃及びはんだ粒子の融点でのダイシェア強度を測定する。導電材料の硬化物に対する銅片のダイシェア強度を求める。 Using the obtained test sample, the die shear strength at 25 ° C. and the melting point of the solder particles is measured with a die shear tester (“DAGE 4000” manufactured by Arctech). Obtain the die shear strength of the copper piece with respect to the cured product of the conductive material.

上記熱硬化性成分の熱硬化開始温度は、特に限定されず、はんだの融点以下であってもよい。前記熱硬化性成分の軟化点がはんだの融点以下であることにより、はんだの融点以下で熱硬化が開始されたとしても、はんだの融点以上に加熱することで複数のはんだ粒子を上下の対向した電極間に集まりやすくすることができる。 The thermosetting start temperature of the thermosetting component is not particularly limited and may be equal to or lower than the melting point of the solder. Since the softening point of the thermosetting component is equal to or lower than the melting point of the solder, even if thermosetting is started below the melting point of the solder, the plurality of solder particles are opposed to each other by heating above the melting point of the solder. It can be easily gathered between the electrodes.

上記熱硬化性成分の熱硬化開始温度は、DSCでの発熱ピークの立ち上がり開始の温度を意味する。DSC装置としては、SII社製「EXSTAR DSC7020」等が挙げられる。 The thermosetting start temperature of the thermosetting component means the temperature at which the heat generation peak starts to rise in the DSC. Examples of the DSC device include "EXSTAR DSC7020" manufactured by SII.

上記導電材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。上記導電ペーストは異方性導電ペーストであることが好ましく、上記導電フィルムは異方性導電フィルムであることが好ましい。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料は、導電ペーストであることが好ましい。上記導電材料は、電極の電気的な接続に好適に用いられる。上記導電材料は、回路接続材料であることが好ましい。 The conductive material can be used as a conductive paste, a conductive film, or the like. The conductive paste is preferably an anisotropic conductive paste, and the conductive film is preferably an anisotropic conductive film. From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the conductive material is preferably a conductive paste. The conductive material is preferably used for electrical connection of electrodes. The conductive material is preferably a circuit connection material.

以下、上記導電材料に含まれる各成分を説明する。 Hereinafter, each component contained in the conductive material will be described.

(はんだ粒子)
上記導電材料は、複数のはんだ粒子を含む。上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだにより形成されている。上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだである粒子である。上記はんだ粒子の代わりに、はんだ以外の材料から形成された基材粒子と該基材粒子の表面上に配置されたはんだ部とを備える導電性粒子を用いた場合には、電極上に導電性粒子が集まり難くなる。また、上記導電性粒子では、導電性粒子同士のはんだ接合性が低いために、電極上に移動した導電性粒子が電極外に移動しやすくなる傾向があり、電極間の位置ずれの抑制効果も低くなる傾向がある。
(Solder particles)
The conductive material contains a plurality of solder particles. Both the central portion and the outer surface of the solder particles are formed of solder. The solder particles are particles in which both the central portion and the outer surface are solder. When conductive particles having a base particle formed of a material other than solder and a solder portion arranged on the surface of the base particle are used instead of the solder particles, the conductivity is formed on the electrode. It becomes difficult for particles to collect. Further, in the above-mentioned conductive particles, since the solder bondability between the conductive particles is low, the conductive particles that have moved on the electrodes tend to move easily to the outside of the electrodes, and the effect of suppressing the displacement between the electrodes is also obtained. Tends to be low.

上記はんだは、融点が450℃以下である金属(低融点金属)であることが好ましい。上記はんだ粒子は、融点が450℃以下である金属粒子(低融点金属粒子)であることが好ましい。上記低融点金属粒子は、低融点金属を含む粒子である。該低融点金属とは、融点が450℃以下の金属を示す。低融点金属の融点は好ましくは300℃以下、より好ましくは160℃以下である。上記はんだは、融点が150℃未満の低融点はんだであることが好ましい。 The solder is preferably a metal having a melting point of 450 ° C. or lower (low melting point metal). The solder particles are preferably metal particles having a melting point of 450 ° C. or lower (low melting point metal particles). The low melting point metal particles are particles containing a low melting point metal. The low melting point metal refers to a metal having a melting point of 450 ° C. or lower. The melting point of the low melting point metal is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 160 ° C. or lower. The solder is preferably a low melting point solder having a melting point of less than 150 ° C.

上記はんだ粒子の融点は、好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上であり、好ましくは300℃以下、より好ましくは160℃以下である。上記はんだ粒子の融点が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、絶縁信頼性及び導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The melting point of the solder particles is preferably 80 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher, preferably 300 ° C. or lower, and more preferably 160 ° C. or lower. When the melting point of the solder particles is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the insulation reliability and the conduction reliability can be further improved. it can.

上記はんだ粒子の融点は、示差走査熱量測定(DSC)により求めることができる。示差走査熱量測定(DSC)装置としては、SII社製「EXSTAR DSC7020」等が挙げられる。 The melting point of the solder particles can be determined by differential scanning calorimetry (DSC). Examples of the differential scanning calorimetry (DSC) device include "EXSTAR DSC7020" manufactured by SII.

また、上記はんだ粒子は錫を含むことが好ましい。上記はんだ粒子に含まれる金属100重量%中、錫の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、さらに好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記はんだ粒子における錫の含有量が、上記下限以上であると、はんだ部と電極との接続信頼性がより一層高くなる。 Further, the solder particles preferably contain tin. The tin content in 100% by weight of the metal contained in the solder particles is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, and particularly preferably 90% by weight or more. .. When the tin content in the solder particles is at least the above lower limit, the connection reliability between the solder portion and the electrode becomes even higher.

なお、錫の含有量は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置(堀場製作所社製「ICP−AES」)、又は蛍光X線分析装置(島津製作所社製「EDX−800HS」)等を用いて測定することができる。 The tin content is measured using a high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopic analyzer (“ICP-AES” manufactured by Horiba, Ltd.) or a fluorescent X-ray analyzer (“EDX-800HS” manufactured by Shimadzu Corporation). can do.

上記はんだ粒子を用いることで、はんだが溶融して電極に接合し、はんだ部が電極間を導通させる。例えば、はんだ部と電極とが点接触ではなく面接触しやすいため、接続抵抗が低くなる。また、上記はんだ粒子の使用により、はんだ部と電極との接合強度が高くなる結果、はんだ部と電極との剥離がより一層生じ難くなり、導通信頼性及び接続信頼性がより一層高くなる。 By using the above solder particles, the solder melts and is bonded to the electrodes, and the solder portion conducts the electrodes. For example, the solder portion and the electrode are likely to come into surface contact rather than point contact, so that the connection resistance is low. Further, as a result of increasing the joint strength between the solder portion and the electrode by using the solder particles, peeling between the solder portion and the electrode is more difficult to occur, and the continuity reliability and the connection reliability are further improved.

上記はんだ粒子を構成する金属は特に限定されない。該金属は、錫、又は錫を含む合金であることが好ましい。該合金は、錫−銀合金、錫−銅合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−亜鉛合金、及び錫−インジウム合金等が挙げられる。電極に対する濡れ性に優れることから、上記低融点金属は、錫、錫−銀合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、又は錫−インジウム合金であることが好ましい。上記低融点金属は、錫−ビスマス合金、又は錫−インジウム合金であることがより好ましい。 The metal constituting the solder particles is not particularly limited. The metal is preferably tin or an alloy containing tin. Examples of the alloy include tin-silver alloy, tin-copper alloy, tin-silver-copper alloy, tin-bismuth alloy, tin-zinc alloy, tin-indium alloy and the like. The low melting point metal is preferably tin, tin-silver alloy, tin-silver-copper alloy, tin-bismuth alloy, or tin-indium alloy because of its excellent wettability to the electrode. The low melting point metal is more preferably a tin-bismuth alloy or a tin-indium alloy.

上記はんだ粒子は、JIS Z3001:溶接用語に基づき、液相線が450℃以下である溶加材であることが好ましい。上記はんだ粒子の組成としては、例えば亜鉛、金、銀、鉛、銅、錫、ビスマス、及びインジウム等を含む金属組成が挙げられる。低融点で鉛フリーである錫−インジウム系(117℃共晶)、又は錫−ビスマス系(139℃共晶)が好ましい。すなわち、上記はんだ粒子は、鉛を含まないことが好ましく、錫とインジウムとを含むか、又は錫とビスマスとを含むことが好ましい。 The solder particles are preferably filler materials having a liquidus line of 450 ° C. or lower based on JIS Z3001: welding terminology. Examples of the composition of the solder particles include a metal composition containing zinc, gold, silver, lead, copper, tin, bismuth, indium and the like. A tin-indium type (117 ° C. eutectic) or a tin-bismuth type (139 ° C. eutectic), which has a low melting point and is lead-free, is preferable. That is, the solder particles preferably do not contain lead, and preferably contain tin and indium, or tin and bismuth.

はんだ部と電極との接合強度をより一層高めるために、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム、亜鉛、鉄、金、チタン、リン、ゲルマニウム、テルル、コバルト、ビスマス、マンガン、クロム、モリブデン、及びパラジウム等の金属を含んでいてもよい。また、はんだ部と電極との接合強度をさらに一層高める観点からは、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム又は亜鉛を含むことが好ましい。はんだ部と電極との接合強度をより一層高める観点からは、接合強度を高めるためのこれらの金属の含有量は、はんだ粒子に含まれる金属100重量%中、好ましくは0.0001重量%以上、好ましくは1重量%以下である。 In order to further increase the bonding strength between the solder part and the electrode, the solder particles are nickel, copper, antimony, aluminum, zinc, iron, gold, titanium, phosphorus, germanium, tellurium, cobalt, bismuth, manganese, chromium, etc. It may contain metals such as molybdenum and palladium. Further, from the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the solder particles preferably contain nickel, copper, antimony, aluminum or zinc. From the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the content of these metals for increasing the bonding strength is preferably 0.0001% by weight or more, based on 100% by weight of the metal contained in the solder particles. It is preferably 1% by weight or less.

上記はんだ粒子の平均粒子径は、好ましくは2μm以上、より好ましくは5μm以上であり、好ましくは60μm以下、より好ましくは35μm以下である。上記はんだ粒子の平均粒子径は、20μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがより好ましい。上記はんだ粒子の平均粒子径が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記はんだ粒子の平均粒子径は、2μm以上10μm以下であることが特に好ましい。上記はんだ粒子の平均粒子径が、2μm以上10μm以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The average particle size of the solder particles is preferably 2 μm or more, more preferably 5 μm or more, preferably 60 μm or less, and more preferably 35 μm or less. The average particle size of the solder particles is preferably 20 μm or less, and more preferably 10 μm or less. When the average particle size of the solder particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the continuity reliability and the connection reliability are further improved. be able to. The average particle size of the solder particles is particularly preferably 2 μm or more and 10 μm or less. When the average particle size of the solder particles is 2 μm or more and 10 μm or less, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the conduction reliability and the connection reliability can be further improved. ..

上記はんだ粒子の平均粒子径は、数平均粒子径であることがより好ましい。上記はんだ粒子の平均粒子径は、例えば、任意のはんだ粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、各はんだ粒子の粒子径の平均値を算出することや、レーザー回折式粒度分布測定を行うことにより求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察では、1個当たりのはんだ粒子の粒子径は、円相当径での粒子径として求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察において、任意の50個のはんだ粒子の円相当径での平均粒子径は、球相当径での平均粒子径とほぼ等しくなる。レーザー回折式粒度分布測定では、1個当たりのはんだ粒子の粒子径は、球相当径での粒子径として求められる。上記はんだ粒子の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定により算出することが好ましい。 The average particle size of the solder particles is more preferably a number average particle size. The average particle size of the solder particles can be determined by, for example, observing 50 arbitrary solder particles with an electron microscope or an optical microscope, calculating the average value of the particle size of each solder particle, or measuring the particle size distribution by laser diffraction. Required by doing. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the particle size of each solder particle is determined as the particle size in a circle-equivalent diameter. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the average particle diameter of any 50 solder particles in the circle equivalent diameter is substantially equal to the average particle diameter in the sphere equivalent diameter. In the laser diffraction type particle size distribution measurement, the particle size of each solder particle is obtained as the particle size in the equivalent sphere diameter. The average particle size of the solder particles is preferably calculated by laser diffraction type particle size distribution measurement.

上記はんだ粒子の粒子径の変動係数(CV値)は、好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上であり、好ましくは40%以下、より好ましくは30%以下である。上記はんだ粒子の粒子径の変動係数が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができる。但し、上記はんだ粒子の粒子径のCV値は、5%未満であってもよい。 The coefficient of variation (CV value) of the particle size of the solder particles is preferably 5% or more, more preferably 10% or more, preferably 40% or less, and more preferably 30% or less. When the coefficient of variation of the particle size of the solder particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrode. However, the CV value of the particle size of the solder particles may be less than 5%.

上記変動係数(CV値)は、以下のようにして測定できる。 The coefficient of variation (CV value) can be measured as follows.

CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:はんだ粒子の粒子径の標準偏差
Dn:はんだ粒子の粒子径の平均値
CV value (%) = (ρ / Dn) × 100
ρ: Standard deviation of the particle size of the solder particles Dn: Mean value of the particle size of the solder particles

上記はんだ粒子の形状は特に限定されない。上記はんだ粒子の形状は、球状であってもよく、球状以外の形状であってもよく、扁平状等の形状であってもよい。 The shape of the solder particles is not particularly limited. The shape of the solder particles may be spherical, non-spherical, flat or the like.

上記導電材料100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は、好ましくは45重量%以上、より好ましくは50重量%以上、さらに好ましくは55重量%以上、特に好ましくは60重量%以上であり、好ましくは85重量%以下、より好ましくは80重量%以下、さらに好ましくは75重量%以下である。上記はんだ粒子の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、電極間にはんだを多く配置することが容易であり、導通信頼性及び絶縁信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The content of the solder particles in 100% by weight of the conductive material is preferably 45% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, still more preferably 55% by weight or more, and particularly preferably 60% by weight or more. Is 85% by weight or less, more preferably 80% by weight or less, still more preferably 75% by weight or less. When the content of the solder particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and it is easy to arrange a large amount of solder between the electrodes, and conduction is achieved. Reliability and insulation reliability can be enhanced even more effectively.

(ギャップ材)
上記導電材料は、ギャップ材を含む。上記ギャップ材は、導電接続時に、2つの部材のギャップを確保するためのギャップ材である。上記ギャップ材は、導電接続時に、2つの部材に接触する。導電接続時に、上記ギャップ材により確保された空間に、上記はんだ粒子を、1つのはんだ粒子が2つの部材の双方に接しないように配置させることができる。また、本発明では、ギャップ材を含むことにより、電子部品ごとのコプラナリティを一定にすることができ、電極周辺の熱硬化性成分量を均一にすることができるので、隣接する電極における熱硬化性成分の硬化物同士が接触することを防止できる。上記ギャップ材の形状は、粒子であることが好ましい。上記ギャップ材は、ギャップ粒子であることが好ましい。上記ギャップ材の融点は、250℃以上であってもよく、300℃以上であってもよく、350℃以上であってもよく、400℃以上であってもよい。上記ギャップ材の融点は、2000℃以下であってもよく、1000℃以下であってもよい。
(Gap material)
The conductive material includes a gap material. The gap material is a gap material for securing a gap between two members at the time of conductive connection. The gap material comes into contact with the two members during conductive connection. At the time of conductive connection, the solder particles can be arranged in the space secured by the gap material so that one solder particle does not contact both of the two members. Further, in the present invention, by including the gap material, the coplanarity of each electronic component can be made constant, and the amount of the thermosetting component around the electrode can be made uniform, so that the thermosetting property in the adjacent electrode can be made uniform. It is possible to prevent the cured products of the components from coming into contact with each other. The shape of the gap material is preferably particles. The gap material is preferably gap particles. The melting point of the gap material may be 250 ° C. or higher, 300 ° C. or higher, 350 ° C. or higher, or 400 ° C. or higher. The melting point of the gap material may be 2000 ° C. or lower, or 1000 ° C. or lower.

上記ギャップ材は特に限定されない。上記ギャップ材としては、樹脂粒子、金属粒子を除く無機粒子、有機無機ハイブリッド粒子及び金属粒子等が挙げられる。上記ギャップ材は、はんだ粒子であってもよい。ギャップ材としてのはんだ粒子の材料は、上述した材料であってもよい。上記ギャップ材が上述したはんだ粒子である場合には、該はんだ粒子と、上記ギャップ材として用いられるはんだ粒子とでは、平均粒子径が異なることが好ましい。上記ギャップ材が上述したはんだ粒子である場合には、該はんだ粒子の平均粒子径は、上記ギャップ材として用いられるはんだ粒子の平均粒子径よりも小さいことが好ましい。上記ギャップ材が上述したはんだ粒子である場合には、該はんだ粒子は、平均粒子径を除いて、上記(はんだ粒子)の欄に記載した好ましい構成を有することが好ましい。 The gap material is not particularly limited. Examples of the gap material include resin particles, inorganic particles other than metal particles, organic-inorganic hybrid particles, and metal particles. The gap material may be solder particles. The material of the solder particles as the gap material may be the material described above. When the gap material is the above-mentioned solder particles, it is preferable that the solder particles and the solder particles used as the gap material have different average particle diameters. When the gap material is the above-mentioned solder particles, the average particle size of the solder particles is preferably smaller than the average particle size of the solder particles used as the gap material. When the gap material is the above-mentioned solder particles, the solder particles preferably have a preferable configuration described in the above (solder particles) column, except for the average particle size.

上記ギャップ材がはんだ粒子である場合に、ギャップ材としての機能を効果的に発現させる観点からは、ギャップ材であるはんだ粒子の融点は、ギャップ材ではないはんだ粒子の融点以上であることが好ましい。 When the gap material is solder particles, the melting point of the solder particles as the gap material is preferably equal to or higher than the melting point of the solder particles that are not the gap material from the viewpoint of effectively exhibiting the function as the gap material. ..

上記ギャップ材がはんだ粒子ではない場合には、ギャップ材の融点は、はんだ粒子の融点以上であることが好ましく、はんだ粒子の融点を超えることが好ましく、はんだ粒子の融点を10℃以上超えることが好ましい。 When the gap material is not solder particles, the melting point of the gap material is preferably equal to or higher than the melting point of the solder particles, preferably exceeds the melting point of the solder particles, and may exceed the melting point of the solder particles by 10 ° C. or higher. preferable.

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、及び部材間の間隔をより一層高精度に制御する観点からは、上記ギャップ材は、樹脂粒子又は金属粒子であることが好ましい。上記ギャップ材は、コアと、該コアの表面上に配置されたシェルとを備えるコアシェル粒子であってもよい。上記コアが有機コアであってもよく、上記シェルが無機シェルであってもよい。 From the viewpoint of arranging the solder on the electrodes more efficiently and controlling the distance between the members with higher accuracy, the gap material is preferably resin particles or metal particles. The gap material may be core-shell particles comprising a core and a shell disposed on the surface of the core. The core may be an organic core, and the shell may be an inorganic shell.

上記樹脂粒子の材料として、種々の有機物が好適に用いられる。上記樹脂粒子の材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリイソブチレン、及びポリブタジエン等のポリオレフィン樹脂;ポリメチルメタクリレート及びポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂;ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ジビニルベンゼン重合体、並びにジビニルベンゼン系共重合体等が挙げられる。上記ジビニルベンゼン系共重合体等としては、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体及びジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等が挙げられる。上記樹脂粒子の硬度を好適な範囲に容易に制御できるので、上記樹脂粒子の材料は、エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を1種又は2種以上重合させた重合体であることが好ましい。 Various organic substances are preferably used as the material for the resin particles. Examples of the material of the resin particles include polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyisobutylene, and polybutadiene; acrylic resins such as polymethylmethacrylate and polymethylacrylate; polycarbonate, polyamide, and the like. Phenolic formaldehyde resin, melamine formaldehyde resin, benzoguanamine formaldehyde resin, urea formaldehyde resin, phenol resin, melamine resin, benzoguanamine resin, urea resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, saturated polyester resin, polyethylene terephthalate, polysulfone, polyphenylene oxide, polyacetal, Examples thereof include polyimide, polyamideimide, polyether ether ketone, polyether sulfone, divinylbenzene polymer, and divinylbenzene-based copolymer. Examples of the divinylbenzene-based copolymer and the like include a divinylbenzene-styrene copolymer and a divinylbenzene- (meth) acrylic acid ester copolymer. Since the hardness of the resin particles can be easily controlled within a suitable range, the material of the resin particles should be a polymer obtained by polymerizing one or more polymerizable monomers having an ethylenically unsaturated group. Is preferable.

上記樹脂粒子を、エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を重合させて得る場合には、該エチレン性不飽和基を有する重合性単量体としては、非架橋性の単量体と架橋性の単量体とが挙げられる。 When the resin particles are obtained by polymerizing a polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated group, the polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated group is a non-crosslinkable monomer. Examples thereof include crosslinkable monomers.

上記非架橋性の単量体としては、例えば、スチレン、及びα−メチルスチレン等のスチレン系単量体;(メタ)アクリル酸、マレイン酸、及び無水マレイン酸等のカルボキシル基含有単量体;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、及びイソボルニル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート化合物;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレン(メタ)アクリレート、及びグリシジル(メタ)アクリレート等の酸素原子含有(メタ)アクリレート化合物;(メタ)アクリロニトリル等のニトリル含有単量体;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、及びプロピルビニルエーテル等のビニルエーテル化合物;酢酸ビニル、酪酸ビニル、ラウリン酸ビニル、及びステアリン酸ビニル等の酸ビニルエステル化合物;エチレン、プロピレン、イソプレン、及びブタジエン等の不飽和炭化水素;トリフルオロメチル(メタ)アクリレート、ペンタフルオロエチル(メタ)アクリレート、塩化ビニル、フッ化ビニル、及びクロルスチレン等のハロゲン含有単量体等が挙げられる。 Examples of the non-crosslinkable monomer include styrene-based monomers such as styrene and α-methylstyrene; and carboxyl group-containing monomers such as (meth) acrylic acid, maleic acid, and maleic anhydride; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, Alkyl (meth) acrylate compounds such as cyclohexyl (meth) acrylate and isobornyl (meth) acrylate; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, polyoxyethylene (meth) acrylate, and glycidyl (meth) acrylate. Oxylate atom-containing (meth) acrylate compounds such as; nitrile-containing monomers such as (meth) acrylonitrile; vinyl ether compounds such as methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, and propyl vinyl ether; vinyl acetate, vinyl butyrate, vinyl laurate, and stearic acid. Acid vinyl ester compounds such as vinyl; unsaturated hydrocarbons such as ethylene, propylene, isoprene, and butadiene; trifluoromethyl (meth) acrylate, pentafluoroethyl (meth) acrylate, vinyl chloride, vinyl fluoride, chlorostyrene, etc. Halogen-containing monomers and the like can be mentioned.

上記架橋性の単量体としては、例えば、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、及び1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート化合物;トリアリル(イソ)シアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルアクリルアミド、ジアリルエーテル、並びに、γ−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルスチレン、及びビニルトリメトキシシラン等のシラン含有単量体等が挙げられる。 Examples of the crosslinkable monomer include tetramethylol methanetetra (meth) acrylate, tetramethylol methanetri (meth) acrylate, tetramethylol methanedi (meth) acrylate, trimethyl propanetri (meth) acrylate, and dipenta. Elythritol hexa (meth) acrylate, dipenta erythritol penta (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) Polyfunctional (meth) acrylate compounds such as acrylates, (poly) tetramethylene glycol di (meth) acrylates, and 1,4-butanediol di (meth) acrylates; triallyl (iso) cyanurate, triallyl trimellitate, divinylbenzene. , Dialyl phthalate, diallyl acrylamide, diallyl ether, and silane-containing monomers such as γ- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, trimethoxysilylstyrene, and vinyltrimethoxysilane.

「(メタ)アクリレート」の用語は、アクリレートとメタクリレートとを示す。「(メタ)アクリル」の用語は、アクリルとメタクリルとを示す。「(メタ)アクリロイル」の用語は、アクリロイルとメタクリロイルとを示す。 The term "(meth) acrylate" refers to acrylate and methacrylate. The term "(meth) acrylic" refers to acrylic and methacrylic. The term "(meth) acryloyl" refers to acryloyl and methacryloyl.

上記エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を、公知の方法により重合させることで、上記樹脂粒子を得ることができる。この方法としては、例えば、ラジカル重合開始剤の存在下で懸濁重合する方法、並びに非架橋の種粒子を用いてラジカル重合開始剤とともに単量体を膨潤させて重合する方法等が挙げられる。 The resin particles can be obtained by polymerizing the polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated group by a known method. Examples of this method include a method of suspension polymerization in the presence of a radical polymerization initiator, a method of swelling a monomer together with a radical polymerization initiator using non-crosslinked seed particles, and the like.

上記基材粒子が金属を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子である場合には、基材粒子を形成するための無機物としては、シリカ、アルミナ、チタン酸バリウム、ジルコニア及びカーボンブラック等が挙げられる。上記無機物は、金属ではないことが好ましい。上記シリカにより形成された粒子としては特に限定されないが、例えば、加水分解性のアルコキシシリル基を2つ以上有するケイ素化合物を加水分解して架橋重合体粒子を形成した後に、必要に応じて焼成を行うことにより得られる粒子が挙げられる。上記有機無機ハイブリッド粒子としては、例えば、架橋したアルコキシシリルポリマーとアクリル樹脂とにより形成された有機無機ハイブリッド粒子等が挙げられる。 When the base material particles are inorganic particles other than metal or organic-inorganic hybrid particles, examples of the inorganic material for forming the base material particles include silica, alumina, barium titanate, zirconia, and carbon black. The inorganic substance is preferably not a metal. The particles formed of the silica are not particularly limited, but for example, after hydrolyzing a silicon compound having two or more hydrolyzable alkoxysilyl groups to form crosslinked polymer particles, firing is performed if necessary. Examples include particles obtained by doing so. Examples of the organic-inorganic hybrid particles include organic-inorganic hybrid particles formed of a crosslinked alkoxysilyl polymer and an acrylic resin.

上記有機無機ハイブリッド粒子は、コアと、該コアの表面上に配置されたシェルとを有するコアシェル型の有機無機ハイブリッド粒子であることが好ましい。上記コアが有機コアであることが好ましい。上記シェルが無機シェルであることが好ましい。電極間の接続抵抗を効果的に低くする観点からは、上記基材粒子は、有機コアと上記有機コアの表面上に配置された無機シェルとを有する有機無機ハイブリッド粒子であることが好ましい。 The organic-inorganic hybrid particles are preferably core-shell type organic-inorganic hybrid particles having a core and a shell arranged on the surface of the core. It is preferable that the core is an organic core. It is preferable that the shell is an inorganic shell. From the viewpoint of effectively lowering the connection resistance between the electrodes, the base particle is preferably an organic-inorganic hybrid particle having an organic core and an inorganic shell arranged on the surface of the organic core.

上記有機コアの材料としては、上述した樹脂粒子の材料等が挙げられる。 Examples of the material for the organic core include the above-mentioned material for resin particles.

上記無機シェルの材料としては、上述した基材粒子の材料として挙げた無機物が挙げられる。上記無機シェルの材料は、シリカであることが好ましい。上記無機シェルは、上記コアの表面上で、金属アルコキシドをゾルゲル法によりシェル状物とした後、該シェル状物を焼成させることにより形成されていることが好ましい。上記金属アルコキシドはシランアルコキシドであることが好ましい。上記無機シェルはシランアルコキシドにより形成されていることが好ましい。 Examples of the material for the inorganic shell include the above-mentioned inorganic substances as the material for the base particle. The material of the inorganic shell is preferably silica. The inorganic shell is preferably formed by forming a metal alkoxide into a shell-like material by a sol-gel method on the surface of the core and then firing the shell-like material. The metal alkoxide is preferably a silane alkoxide. The inorganic shell is preferably formed of silane alkoxide.

上記基材粒子が金属粒子である場合に、該金属粒子の材料である金属としては、銀、銅、ニッケル、ケイ素、金、錫及びチタン等が挙げられる。また、上記金属粒子は、上述したはんだ粒子であってもよい。 When the base material particles are metal particles, examples of the metal as the material of the metal particles include silver, copper, nickel, silicon, gold, tin and titanium. Further, the metal particles may be the solder particles described above.

上記ギャップ材の平均径の、上記はんだ粒子の平均粒子径に対する比(ギャップ材の平均径/はんだ粒子の平均粒子径)は、好ましくは1.5以上、より好ましくは2以上、更に好ましくは2.5以上、特に好ましくは3以上、最も好ましくは7以上である。上記比(ギャップ材の平均径/はんだ粒子の平均粒子径)は、好ましくは30以下、より好ましくは17.5以下である。上記比(ギャップ材の平均径/はんだ粒子の平均粒子径)が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、部材間の間隔をより一層高精度に制御することができる。 The ratio of the average diameter of the gap material to the average particle size of the solder particles (average diameter of the gap material / average particle size of the solder particles) is preferably 1.5 or more, more preferably 2 or more, still more preferably 2. It is .5 or more, particularly preferably 3 or more, and most preferably 7 or more. The above ratio (average diameter of gap material / average particle diameter of solder particles) is preferably 30 or less, more preferably 17.5 or less. When the above ratio (average diameter of the gap material / average particle diameter of the solder particles) is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the distance between the members can be increased. It can be controlled with even higher precision.

上記ギャップ材の平均径は、好ましくは2μm以上、より好ましくは5μm以上、さらに好ましくは5μmを超え、特に好ましくは10μm以上であり、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、特に好ましくは35μm以下である。上記ギャップ材の平均径は、10μmを超えていてもよく、20μmを超えていてもよい。上記ギャップ材の平均径は、上述したはんだ粒子の平均粒子径よりも大きいことが好ましい。上記ギャップ材の平均径が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ギャップ材の平均径は、10μm以上35μm以下であることが特に好ましい。上記ギャップ材の平均径が、10μm以上35μm以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The average diameter of the gap material is preferably 2 μm or more, more preferably 5 μm or more, further preferably more than 5 μm, particularly preferably 10 μm or more, preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less. , Especially preferably 35 μm or less. The average diameter of the gap material may exceed 10 μm or 20 μm. The average diameter of the gap material is preferably larger than the average particle diameter of the solder particles described above. When the average diameter of the gap material is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the continuity reliability and the connection reliability can be further improved. Can be done. The average diameter of the gap material is particularly preferably 10 μm or more and 35 μm or less. When the average diameter of the gap material is 10 μm or more and 35 μm or less, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the conduction reliability and the connection reliability can be further improved.

上記ギャップ材の平均径は、数平均径であることがより好ましい。上記ギャップ材の平均径は、例えば、任意のギャップ材50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、各ギャップ材の径の平均値を算出することにより求められる。上記ギャップ材の径は、ギャップ材の外周の2点を直線で結んだ距離が最大となる寸法であることが好ましい。上記ギャップ材が粒子である場合には、上記ギャップ材の平均径は、平均粒子径である。上記ギャップ材が粒子である場合には、電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察では、1個当たりのギャップ材の粒子径は、円相当径での粒子径として求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察において、任意の50個のギャップ材の円相当径での平均粒子径は、球相当径での平均粒子径とほぼ等しくなる。レーザー回折式粒度分布測定では、1個当たりのギャップ材の粒子径は、球相当径での粒子径として求められる。上記ギャップ材が粒子である場合には、上記ギャップ材の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定により算出することが好ましい。 The average diameter of the gap material is more preferably a number average diameter. The average diameter of the gap material is obtained, for example, by observing 50 arbitrary gap materials with an electron microscope or an optical microscope and calculating the average value of the diameters of each gap material. The diameter of the gap material is preferably a dimension that maximizes the distance connecting two points on the outer circumference of the gap material with a straight line. When the gap material is a particle, the average diameter of the gap material is the average particle size. When the gap material is a particle, the particle size of the gap material per piece is determined as the particle size in a circle-equivalent diameter in observation with an electron microscope or an optical microscope. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the average particle diameter of any 50 gap materials in the circle equivalent diameter is substantially equal to the average particle diameter in the sphere equivalent diameter. In the laser diffraction type particle size distribution measurement, the particle size of each gap material is obtained as the particle size at the equivalent diameter of a sphere. When the gap material is particles, the average particle size of the gap material is preferably calculated by laser diffraction type particle size distribution measurement.

上記ギャップ材の径の変動係数(CV値)は、好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上であり、好ましくは40%以下、より好ましくは30%以下である。上記ギャップ材の粒子径の変動係数が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができる。但し、上記ギャップ材の粒子径のCV値は、5%未満であってもよい。 The coefficient of variation (CV value) of the diameter of the gap material is preferably 5% or more, more preferably 10% or more, preferably 40% or less, and more preferably 30% or less. When the coefficient of variation of the particle size of the gap material is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrode. However, the CV value of the particle size of the gap material may be less than 5%.

上記変動係数(CV値)は、以下のようにして測定できる。 The coefficient of variation (CV value) can be measured as follows.

CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:ギャップ材の粒子径の標準偏差
Dn:ギャップ材の粒子径の平均値
CV value (%) = (ρ / Dn) × 100
ρ: Standard deviation of the particle size of the gap material Dn: Mean value of the particle size of the gap material

上記ギャップ材の形状は特に限定されない。上記ギャップ材の形状は、球状であってもよく、球状以外の形状であってもよく、扁平状等の形状であってもよい。 The shape of the gap material is not particularly limited. The shape of the gap material may be spherical, non-spherical, flat or the like.

上記導電材料100重量%中、上記ギャップ材の含有量は、好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは1重量%以上、さらに好ましくは2重量%以上であり、好ましくは20重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。上記ギャップ材の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、電極間にはんだを多く配置することが容易であり、導通信頼性及び絶縁信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記ギャップ材の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、部材間の間隔をより一層高精度に制御することができる。 The content of the gap material in 100% by weight of the conductive material is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, still more preferably 2% by weight or more, and preferably 20% by weight or less. More preferably, it is 10% by weight or less. When the content of the gap material is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and it is easy to arrange a large amount of solder between the electrodes, and conduction is achieved. Reliability and insulation reliability can be enhanced even more effectively. When the content of the gap material is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the spacing between the members can be controlled with even higher accuracy.

(熱硬化性成分)
上記導電材料は、熱硬化性成分を含む。上記導電材料は、熱硬化性成分として、熱硬化性化合物と熱硬化剤とを含んでいてもよい。導電材料をより一層良好に硬化させるために、上記導電材料は、熱硬化性成分として、熱硬化性化合物と熱硬化剤とを含むことが好ましい。導電材料をより一層良好に硬化させるために、上記導電材料は、熱硬化性成分として硬化促進剤を含むことが好ましい。
(Thermosetting component)
The conductive material contains a thermosetting component. The conductive material may contain a thermosetting compound and a thermosetting agent as thermosetting components. In order to cure the conductive material even more satisfactorily, the conductive material preferably contains a thermosetting compound and a thermosetting agent as thermosetting components. In order to cure the conductive material even more satisfactorily, the conductive material preferably contains a curing accelerator as a thermosetting component.

本発明に係る導電材料では、上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点は、上記はんだ粒子の融点以下である。上記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点は、好ましくは上記はんだ粒子の融点−40℃以上、より好ましくは上記はんだ粒子の融点−20℃以上であり、好ましくは上記はんだ粒子の融点−5℃以下、より好ましくは上記はんだ粒子の融点−10℃以下である。上記硬化物の軟化点が、上記はんだ粒子の融点以下であり、上記下限以上及び上記上限以下であると、熱硬化性成分に硬化物を十分に剥離することができ、リペア性をより一層効果的に高めることができる。 In the conductive material according to the present invention, the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is equal to or lower than the melting point of the solder particles. The softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is preferably the melting point of the solder particles of −40 ° C. or higher, more preferably the melting point of the solder particles −. It is 20 ° C. or higher, preferably the melting point of the solder particles of −5 ° C. or lower, and more preferably the melting point of the solder particles of −10 ° C. or lower. When the softening point of the cured product is equal to or lower than the melting point of the solder particles, and is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the cured product can be sufficiently peeled off from the thermosetting component, further improving the repair property. Can be enhanced.

上記硬化物の軟化点は、以下のようにして測定することができる。 The softening point of the cured product can be measured as follows.

導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で上記熱硬化性成分を硬化させて硬化物を得る。得られた硬化物の軟化点を、動的粘弾性測定装置(ユービーエム社製「Rheogel−E」)を用いて、温度範囲25℃〜導電材料に含まれるはんだ粒子の融点、昇温速度5℃/分、及び10Hzの条件で測定する。得られた結果から、硬化物の軟化点を算出する。 The thermosetting component is cured under the conditions of melting point + 20 ° C. of the solder particles contained in the conductive material and 3 minutes to obtain a cured product. Using a dynamic viscoelasticity measuring device (“Rheogel-E” manufactured by UBM), the softening point of the obtained cured product was measured in a temperature range of 25 ° C. to the melting point of the solder particles contained in the conductive material and the rate of temperature rise 5 Measure at ° C / min and 10 Hz. From the obtained results, the softening point of the cured product is calculated.

(熱硬化性成分:熱硬化性化合物)
上記熱硬化性化合物は特に限定されない。上記熱硬化性化合物としては、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。導電材料の硬化性及び粘度をより一層良好にする観点、導通信頼性をより一層効果的に高める観点、及び絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物としては、エポキシ化合物又はエピスルフィド化合物が好ましく、エポキシ化合物がより好ましい。上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物を含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting component: Thermosetting compound)
The thermosetting compound is not particularly limited. Examples of the thermosetting compound include oxetane compounds, epoxy compounds, episulfide compounds, (meth) acrylic compounds, phenol compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, silicone compounds and polyimide compounds. From the viewpoint of further improving the curability and viscosity of the conductive material, further effectively enhancing the conduction reliability, and further effectively enhancing the insulation reliability, the thermosetting compound is described as the above-mentioned thermosetting compound. Epoxy compounds or episulfide compounds are preferred, and epoxy compounds are more preferred. The thermosetting compound preferably contains an epoxy compound. Only one type of the thermosetting compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物である。上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。上記エポキシ化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The epoxy compound is a compound having at least one epoxy group. Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, biphenol type epoxy compound, and naphthalene type epoxy compound. , Fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, adamantan skeleton epoxy compound, tricyclodecane skeleton epoxy compound, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus as a skeleton. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物は、常温(23℃)で液状又は固体であり、上記エポキシ化合物が常温で固体である場合には、上記エポキシ化合物の溶融温度は、上記はんだの融点以下であることが好ましい。上記の好ましいエポキシ化合物を用いることで、接続対象部材を貼り合わせた段階では、粘度が高く、搬送等の衝撃により、加速度が付与された際に、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材との位置ずれを抑制することができる。さらに、硬化時の熱により、導電材料の粘度を大きく低下させることができ、はんだの凝集を効率よく進行させることができる。 The epoxy compound is liquid or solid at room temperature (23 ° C.), and when the epoxy compound is solid at room temperature, the melting temperature of the epoxy compound is preferably equal to or lower than the melting point of the solder. By using the above-mentioned preferable epoxy compound, the viscosity is high at the stage where the members to be connected are bonded, and when acceleration is applied due to an impact such as transportation, the first member to be connected and the second connection are connected. Positional deviation from the target member can be suppressed. Further, the heat at the time of curing can greatly reduce the viscosity of the conductive material, and the aggregation of the solder can be efficiently promoted.

絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物を含むことが好ましい。 The thermosetting compound preferably contains an epoxy compound from the viewpoint of further effectively enhancing the insulation reliability and further effectively enhancing the conduction reliability.

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記熱硬化性化合物は、ポリエーテル骨格を有する熱硬化性化合物を含むことが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the thermosetting compound preferably contains a thermosetting compound having a polyether skeleton.

上記ポリエーテル骨格を有する熱硬化性化合物としては、炭素数3〜12のアルキル鎖の両末端にグリシジルエーテル基を有する化合物、並びに炭素数2〜4のポリエーテル骨格を有し、該ポリエーテル骨格2個〜10個が連続して結合した構造単位を有するポリエーテル型エポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compound having a polyether skeleton include a compound having a glycidyl ether group at both ends of an alkyl chain having 3 to 12 carbon atoms, and a polyether skeleton having 2 to 4 carbon atoms. Examples thereof include a polyether type epoxy compound having a structural unit in which 2 to 10 are continuously bonded.

硬化物の耐熱性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、イソシアヌル骨格を有する熱硬化性化合物を含むことが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the heat resistance of the cured product, the thermosetting compound preferably contains a thermosetting compound having an isocyanuric skeleton.

上記イソシアヌル骨格を有する熱硬化性化合物としてはトリイソシアヌレート型エポキシ化合物等が挙げられ、日産化学工業社製TEPICシリーズ(TEPIC−G、TEPIC−S、TEPIC−SS、TEPIC−HP、TEPIC−L、TEPIC−PAS、TEPIC−VL、TEPIC−UC)等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compound having an isocyanul skeleton include a triisocyanurate type epoxy compound, and the TEPIC series (TEPIC-G, TEPIC-S, TEPIC-SS, TEPIC-HP, TEPIC-L, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.). TEPIC-PAS, TEPIC-VL, TEPIC-UC) and the like.

導電材料100重量%中、上記熱硬化性化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、さらに好ましくは15重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは70重量%以下、さらに好ましくは50重量%以下、特に好ましくは30重量%以下である。上記熱硬化性化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置し、電極間の絶縁信頼性をより一層効果的に高めることができ、電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。耐衝撃性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物の含有量は多い方が好ましい。 The content of the thermosetting compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 15% by weight or more, and preferably 90% by weight or less. It is preferably 70% by weight or less, more preferably 50% by weight or less, and particularly preferably 30% by weight or less. When the content of the thermosetting compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the insulation reliability between the electrodes can be further effectively enhanced. , The conduction reliability between the electrodes can be further effectively improved. From the viewpoint of further effectively enhancing the impact resistance, it is preferable that the content of the thermosetting compound is large.

導電材料100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、さらに好ましくは15重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは70重量%以下、さらに好ましくは50重量%以下、特に好ましくは30重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置し、電極間の絶縁信頼性をより一層効果的に高めることができ、電極間の導通信頼性をより一層効果的に高めることができる。耐衝撃性をより一層高める観点からは、上記エポキシ化合物の含有量は多い方が好ましい。 The content of the epoxy compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 15% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 90% by weight or less. It is 70% by weight or less, more preferably 50% by weight or less, and particularly preferably 30% by weight or less. When the content of the epoxy compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrodes, and the insulation reliability between the electrodes can be further effectively enhanced. The reliability of conduction between the solders can be further effectively increased. From the viewpoint of further enhancing the impact resistance, it is preferable that the content of the epoxy compound is large.

(熱硬化性成分:熱硬化剤)
上記熱硬化剤は特に限定されない。上記熱硬化剤は、上記熱硬化性化合物を熱硬化させる。上記熱硬化剤としては、イミダゾール硬化剤、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、ポリチオール硬化剤等のチオール硬化剤、酸無水物硬化剤、熱カチオン開始剤(熱カチオン硬化剤)及び熱ラジカル発生剤等が挙げられる。リペア性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化剤は、酸無水物硬化剤であることが好ましい。上記熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting component: Thermosetting agent)
The thermosetting agent is not particularly limited. The thermosetting agent heat-cures the thermosetting compound. Examples of the heat curing agent include thiol curing agents such as imidazole curing agents, amine curing agents, phenol curing agents, and polythiol curing agents, acid anhydride curing agents, thermal cation initiators (thermal cation curing agents), and thermal radical generators. Can be mentioned. From the viewpoint of further improving the repair property, the thermosetting agent is preferably an acid anhydride curing agent. Only one type of the thermosetting agent may be used, or two or more types may be used in combination.

導電材料を低温でより一層速やかに硬化可能とする観点からは、上記熱硬化剤は、イミダゾール硬化剤、チオール硬化剤、又はアミン硬化剤であることが好ましい。また、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤とを混合したときの保存安定性を高める観点からは、上記熱硬化剤は、潜在性の硬化剤であることが好ましい。潜在性の硬化剤は、潜在性イミダゾール硬化剤、潜在性チオール硬化剤又は潜在性アミン硬化剤であることが好ましい。なお、上記熱硬化剤は、ポリウレタン樹脂又はポリエステル樹脂等の高分子物質で被覆されていてもよい。 From the viewpoint of enabling the conductive material to be cured more quickly at a low temperature, the thermosetting agent is preferably an imidazole curing agent, a thiol curing agent, or an amine curing agent. Further, from the viewpoint of enhancing the storage stability when the thermosetting compound and the thermosetting agent are mixed, the thermosetting agent is preferably a latent curing agent. The latent curing agent is preferably a latent imidazole curing agent, a latent thiol curing agent or a latent amine curing agent. The thermosetting agent may be coated with a polymer substance such as a polyurethane resin or a polyester resin.

上記イミダゾール硬化剤は特に限定されない。上記イミダゾール硬化剤としては、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン及び2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−ベンジル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−パラトルイル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−メタトルイル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−メタトルイル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−パラトルイル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等における1H−イミダゾールの5位の水素をヒドロキシメチル基で、かつ、2位の水素をフェニル基またはトルイル基で置換したイミダゾール化合物等が挙げられる。 The imidazole curing agent is not particularly limited. Examples of the imidazole curing agent include 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, and 2,4-diamino-6. -[2'-Methylimidazolyl- (1')] -ethyl-s-triazine and 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazole- (1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct , 2-Phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-benzyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-palatoryl-4-methyl-5 5-Position of 1H-imidazole in -hydroxymethylimidazole, 2-methitolyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-metatruyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-palatoryl-4,5-dihydroxymethylimidazole, etc. Examples thereof include an imidazole compound in which the hydrogen in the above is substituted with a hydroxymethyl group and the hydrogen at the 2-position is replaced with a phenyl group or a toluyl group.

上記チオール硬化剤は特に限定されない。上記チオール硬化剤としては、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサ−3−メルカプトプロピオネート等が挙げられる。 The thiol curing agent is not particularly limited. Examples of the thiol curing agent include trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate, and dipentaerythritol hexa-3-mercaptopropionate.

上記アミン硬化剤は特に限定されない。上記アミン硬化剤としては、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラスピロ[5.5]ウンデカン、ビス(4−アミノシクロヘキシル)メタン、メタフェニレンジアミン及びジアミノジフェニルスルホン等が挙げられる。 The amine curing agent is not particularly limited. Examples of the amine curing agent include hexamethylenediamine, octamethylenediamine, decamethylenediamine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraspiro [5.5] undecane and bis (4). -Aminocyclohexyl) methane, metaphenylenediamine, diaminodiphenylsulfone and the like.

上記酸無水物硬化剤は特に限定されず、エポキシ化合物等の熱硬化性化合物の硬化剤として用いられる酸無水物であれば広く用いることができる。上記酸無水物硬化剤としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、フタル酸誘導体の無水物、無水マレイン酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水グルタル酸、無水コハク酸、グリセリンビス無水トリメリット酸モノアセテート、及びエチレングリコールビス無水トリメリット酸等の2官能の酸無水物硬化剤、無水トリメリット酸等の3官能の酸無水物硬化剤、並びに、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸無水物、及びポリアゼライン酸無水物等の4官能以上の酸無水物硬化剤等が挙げられる。 The acid anhydride curing agent is not particularly limited, and any acid anhydride used as a curing agent for a thermosetting compound such as an epoxy compound can be widely used. Examples of the acid anhydride curing agent include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride. Bifunctional such as phthalic acid derivative anhydride, maleic anhydride, nadic acid anhydride, methylnadic anhydride, glutaric anhydride, succinic anhydride, glycerinbis trimellitic anhydride monoacetate, and ethylene glycolbis trimellitic anhydride. Acid anhydride curing agent, trifunctional acid anhydride curing agent such as trimellitic anhydride, and pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, methylcyclohexenetetracarboxylic acid anhydride, polyazelineic acid anhydride, etc. Examples thereof include an acid anhydride curing agent having four or more functions.

上記熱カチオン開始剤は特に限定されない。上記熱カチオン開始剤としては、ヨードニウム系カチオン硬化剤、オキソニウム系カチオン硬化剤及びスルホニウム系カチオン硬化剤等が挙げられる。上記ヨードニウム系カチオン硬化剤としては、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。上記オキソニウム系カチオン硬化剤としては、トリメチルオキソニウムテトラフルオロボラート等が挙げられる。上記スルホニウム系カチオン硬化剤としては、トリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。 The thermal cation initiator is not particularly limited. Examples of the thermal cation initiator include an iodonium-based cation curing agent, an oxonium-based cation curing agent, and a sulfonium-based cation curing agent. Examples of the iodonium-based cationic curing agent include bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate and the like. Examples of the oxonium-based cationic curing agent include trimethyloxonium tetrafluoroborate. Examples of the sulfonium-based cationic curing agent include tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate.

上記熱ラジカル発生剤は特に限定されない。上記熱ラジカル発生剤としては、アゾ化合物及び有機過酸化物等が挙げられる。上記アゾ化合物としては、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)等が挙げられる。上記有機過酸化物としては、ジ−tert−ブチルペルオキシド及びメチルエチルケトンペルオキシド等が挙げられる。 The thermal radical generator is not particularly limited. Examples of the thermal radical generator include azo compounds and organic peroxides. Examples of the azo compound include azobisisobutyronitrile (AIBN) and the like. Examples of the organic peroxide include di-tert-butyl peroxide and methyl ethyl ketone peroxide.

上記熱硬化剤の反応開始温度は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは80℃以上であり、好ましくは250℃以下、より好ましくは200℃以下、さらに好ましくは150℃以下、特に好ましくは140℃以下である。上記熱硬化剤の反応開始温度が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置できる。上記熱硬化剤の反応開始温度は、80℃以上140℃以下であることが特に好ましい。 The reaction start temperature of the thermosetting agent is preferably 50 ° C. or higher, more preferably 70 ° C. or higher, further preferably 80 ° C. or higher, preferably 250 ° C. or lower, more preferably 200 ° C. or lower, still more preferably 150 ° C. Below, it is particularly preferably 140 ° C. or less. When the reaction start temperature of the thermosetting agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder can be arranged more efficiently on the electrode. The reaction start temperature of the thermosetting agent is particularly preferably 80 ° C. or higher and 140 ° C. or lower.

上記熱硬化剤の反応開始温度は、DSCでの発熱ピークの立ち上がり開始の温度を意味する。 The reaction start temperature of the thermosetting agent means the temperature at which the exothermic peak starts to rise in the DSC.

上記熱硬化剤の含有量は特に限定されない。上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記熱硬化剤の含有量は、好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは1重量部以上であり、好ましくは200重量部以下、より好ましくは100重量部以下、さらに好ましくは75重量部以下である。熱硬化剤の含有量が、上記下限以上であると、導電材料を十分に硬化させることが容易である。熱硬化剤の含有量が、上記上限以下であると、硬化後に硬化に関与しなかった余剰の熱硬化剤が残存し難くなり、かつ硬化物の耐熱性がより一層高くなる。 The content of the thermosetting agent is not particularly limited. With respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound, the content of the thermosetting agent is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 1 part by weight or more, preferably 200 parts by weight or less, more preferably. It is 100 parts by weight or less, more preferably 75 parts by weight or less. When the content of the thermosetting agent is at least the above lower limit, it is easy to sufficiently cure the conductive material. When the content of the thermosetting agent is not more than the above upper limit, it becomes difficult for excess thermosetting agent that was not involved in curing to remain after curing, and the heat resistance of the cured product is further increased.

(熱硬化性成分:硬化促進剤)
上記導電材料は硬化促進剤を含んでいてもよい。上記硬化促進剤は特に限定されない。上記硬化促進剤は、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤との反応において硬化触媒として作用することが好ましい。上記硬化促進剤は、上記熱硬化性化合物との反応において硬化触媒として作用することが好ましい。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting component: Curing accelerator)
The conductive material may contain a curing accelerator. The curing accelerator is not particularly limited. The curing accelerator preferably acts as a curing catalyst in the reaction between the thermosetting compound and the thermosetting agent. The curing accelerator preferably acts as a curing catalyst in the reaction with the thermosetting compound. Only one type of the curing accelerator may be used, or two or more types may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、ホスホニウム塩、三級アミン、三級アミン塩、四級オニウム塩、三級ホスフィン、クラウンエーテル錯体、及びホスホニウムイリド等が挙げられる。具体的には、上記硬化促進剤としては、イミダゾール化合物、イミダゾール化合物のイソシアヌル酸塩、ジシアンジアミド、ジシアンジアミドの誘導体、メラミン化合物、メラミン化合物の誘導体、ジアミノマレオニトリル、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン、トリエタノールアミン、ジアミノジフェニルメタン、有機酸ジヒドラジド等のアミン化合物、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカン、三フッ化ホウ素、並びに、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリブチルホスフィン及びメチルジフェニルホスフィン等の有機リン化合物等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include phosphonium salt, tertiary amine, tertiary amine salt, quaternary onium salt, tertiary phosphine, crown ether complex, and phosphonium ylide. Specifically, the curing accelerator includes an imidazole compound, an isocyanurate of an imidazole compound, dicyandiamide, a derivative of dicyandiamide, a melamine compound, a derivative of a melamine compound, diaminomaleonitrile, diethylenetriamine, triethylenetetramine, and tetraethylenepentamine. , Amine compounds such as bis (hexamethylene) triamine, triethanolamine, diaminodiphenylmethane, organic acid dihydrazide, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7, 3,9-bis (3-aminopropyl) Examples thereof include −2,4,8,10-tetraoxaspiro [5,5] undecane, boron trifluoride, and organic phosphorus compounds such as triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tributylphosphine and methyldiphenylphosphine.

上記ホスホニウム塩は特に限定されない。上記ホスホニウム塩としては、テトラノルマルブチルホスホニウムブロマイド、テトラノルマルブチルホスホニウムO,O−ジエチルジチオリン酸、メチルトリブチルホスホニウムジメチルリン酸塩、テトラノルマルブチルホスホニウムベンゾトリアゾール、テトラノルマルブチルホスホニウムテトラフルオロボレート、及びテトラノルマルブチルホスホニウムテトラフェニルボレート等が挙げられる。 The phosphonium salt is not particularly limited. Examples of the phosphonium salt include tetranormal butyl phosphonium bromide, tetranormal butyl phosphonium O, O-diethyldithiophosphate, methyl tributyl phosphonium dimethyl phosphate, tetranormal butyl phosphonium benzotriazole, tetranormal butyl phosphonium tetrafluoroborate, and tetranormal. Butylphosphonium tetraphenylborate and the like can be mentioned.

上記熱硬化性化合物が良好に硬化するように、上記硬化促進剤の含有量は適宜選択される。上記熱硬化性化合物100重量部に対する上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.5重量部以上、より好ましくは0.8重量部以上であり、好ましくは10重量部以下、より好ましくは8重量部以下である。上記硬化促進剤の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、上記熱硬化性化合物を良好に硬化させることができる。 The content of the curing accelerator is appropriately selected so that the thermosetting compound can be cured well. The content of the curing accelerator with respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound is preferably 0.5 parts by weight or more, more preferably 0.8 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, more preferably 8 parts by weight. It is less than the weight part. When the content of the curing accelerator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermosetting compound can be cured satisfactorily.

(フラックス)
上記導電材料はフラックスを含んでいてもよい。フラックスを用いることで、はんだを電極上により一層効率的に配置することができる。上記フラックスは特に限定されない。上記フラックスとして、はんだ接合等に一般的に用いられているフラックスを用いることができる。
(flux)
The conductive material may contain a flux. By using the flux, the solder can be placed more efficiently on the electrodes. The above flux is not particularly limited. As the flux, a flux generally used for solder bonding or the like can be used.

上記フラックスとしては、塩化亜鉛、塩化亜鉛と無機ハロゲン化物との混合物、塩化亜鉛と無機酸との混合物、溶融塩、リン酸、リン酸の誘導体、有機ハロゲン化物、ヒドラジン、アミン化合物、有機酸及び松脂等が挙げられる。上記フラックスは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The flux includes zinc chloride, a mixture of zinc chloride and an inorganic halide, a mixture of zinc chloride and an inorganic acid, a molten salt, phosphoric acid, a derivative of phosphoric acid, an organic halide, a hydrazine, an amine compound, an organic acid and the like. Examples include pine fat. Only one type of the above flux may be used, or two or more types may be used in combination.

上記溶融塩としては、塩化アンモニウム等が挙げられる。上記有機酸としては、乳酸、クエン酸、ステアリン酸、グルタミン酸及びグルタル酸等が挙げられる。上記松脂としては、活性化松脂及び非活性化松脂等が挙げられる。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸、又は松脂であることが好ましい。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸であってもよく、松脂であってもよい。カルボキシル基を2個以上有する有機酸、又は松脂の使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 Examples of the molten salt include ammonium chloride and the like. Examples of the organic acid include lactic acid, citric acid, stearic acid, glutamic acid and glutaric acid. Examples of the pine fat include activated pine fat and non-activated pine fat. The flux is preferably an organic acid having two or more carboxyl groups or pine fat. The flux may be an organic acid having two or more carboxyl groups, or may be pine fat. By using an organic acid having two or more carboxyl groups or pine fat, the conduction reliability between the electrodes is further increased.

上記カルボキシル基を2個以上有する有機酸としては、例えば、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、及びセバシン酸等が挙げられる。 Examples of the organic acid having two or more carboxyl groups include succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, and sebacic acid.

上記アミン化合物としては、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、フェニルイミダゾール、カルボキシベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、及びカルボキシベンゾトリアゾール等が挙げられる。 Examples of the amine compound include cyclohexylamine, dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, imidazole, benzimidazole, phenylimidazole, carboxybenzoimidazole, benzotriazole, and carboxybenzotriazole.

上記松脂はアビエチン酸を主成分とするロジン類である。上記ロジン類としては、アビエチン酸、及びアクリル変性ロジン等が挙げられる。フラックスはロジン類であることが好ましく、アビエチン酸であることがより好ましい。この好ましいフラックスの使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 The pine fat is a rosin containing abietic acid as a main component. Examples of the rosins include abietic acid and acrylic-modified rosins. The flux is preferably rosins, more preferably abietic acid. By using this preferable flux, the conduction reliability between the electrodes is further increased.

上記フラックスの活性温度(融点)は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは80℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは190℃以下、より一層好ましくは160℃以下、さらに好ましくは150℃以下、さらに一層好ましくは140℃以下である。上記フラックスの活性温度が、上記下限以上及び上記上限以下であると、フラックス効果がより一層効果的に発揮され、はんだが電極上により一層効率的に配置される。上記フラックスの活性温度(融点)は80℃以上190℃以下であることが好ましい。上記フラックスの活性温度(融点)は80℃以上140℃以下であることが特に好ましい。 The active temperature (melting point) of the flux is preferably 50 ° C. or higher, more preferably 70 ° C. or higher, still more preferably 80 ° C. or higher, preferably 200 ° C. or lower, more preferably 190 ° C. or lower, still more preferably 160 ° C. or higher. ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or lower, even more preferably 140 ° C. or lower. When the active temperature of the flux is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the flux effect is exhibited more effectively and the solder is arranged more efficiently on the electrode. The active temperature (melting point) of the flux is preferably 80 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. The active temperature (melting point) of the flux is particularly preferably 80 ° C. or higher and 140 ° C. or lower.

フラックスの活性温度(融点)が80℃以上190℃以下である上記フラックスとしては、コハク酸(融点186℃)、グルタル酸(融点96℃)、アジピン酸(融点152℃)、ピメリン酸(融点104℃)、及びスベリン酸(融点142℃)等のジカルボン酸、安息香酸(融点122℃)、並びにリンゴ酸(融点130℃)等が挙げられる。 The active temperature (melting point) of the flux is 80 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. ℃), Dicarboxylic acids such as pimelic acid (melting point 142 ° C.), benzoic acid (melting point 122 ° C.), malic acid (melting point 130 ° C.) and the like.

また、上記フラックスの沸点は200℃以下であることが好ましい。 The boiling point of the flux is preferably 200 ° C. or lower.

上記フラックスは、導電材料中に分散されていてもよく、はんだ粒子の表面上に付着していてもよい。 The flux may be dispersed in the conductive material or may be adhered to the surface of the solder particles.

上記フラックスは、加熱によりカチオンを放出するフラックスであることが好ましい。加熱によりカチオンを放出するフラックスの使用により、はんだを電極上により一層効率的に配置することができる。 The flux is preferably a flux that releases cations by heating. The use of a flux that releases cations upon heating allows the solder to be placed more efficiently on the electrodes.

上記加熱によりカチオンを放出するフラックスとしては、上記熱カチオン開始剤(熱カチオン硬化剤)が挙げられる。 Examples of the flux that releases cations by the heating include the thermal cation initiator (thermal cation curing agent).

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記フラックスは、酸化合物と塩基化合物との塩であることが好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder on the electrodes more efficiently, enhancing the insulation reliability more effectively, and further enhancing the conduction reliability, the flux is an acid compound and a base compound. It is preferably a salt of.

上記酸化合物は、カルボキシル基を有する有機化合物であることが好ましい。上記酸化合物としては、脂肪族系カルボン酸であるマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、クエン酸、リンゴ酸、環状脂肪族カルボン酸であるシクロヘキシルカルボン酸、1,4−シクロヘキシルジカルボン酸、芳香族カルボン酸であるイソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、及びエチレンジアミン四酢酸等が挙げられる。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記酸化合物は、グルタル酸、シクロヘキシルカルボン酸、又はアジピン酸であることが好ましい。 The acid compound is preferably an organic compound having a carboxyl group. Examples of the acid compound include malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelli acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, citric acid, malic acid, and cyclic aliphatic carboxylic acid, which are aliphatic carboxylic acids. Examples thereof include cyclohexylcarboxylic acid, 1,4-cyclohexyldicarboxylic acid, isophthalic acid which is an aromatic carboxylic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, ethylenediaminetetraacetic acid and the like. From the viewpoint of arranging the solder on the electrodes more efficiently, enhancing the insulation reliability more effectively, and further enhancing the conduction reliability, the acid compounds are glutaric acid and cyclohexyl. It is preferably a carboxylic acid or an adipic acid.

上記塩基化合物は、アミノ基を有する有機化合物であることが好ましい。上記塩基化合物としては、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、エチルジエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、2−メチルベンジルアミン、3−メチルベンジルアミン、4−tert−ブチルベンジルアミン、N−メチルベンジルアミン、N−エチルベンジルアミン、N−フェニルベンジルアミン、N−tert−ブチルベンジルアミン、N−イソプロピルベンジルアミン、N,N−ジメチルベンジルアミン、イミダゾール化合物、及びトリアゾール化合物が挙げられる。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、絶縁信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導通信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記塩基化合物は、ベンジルアミンであることが好ましい。 The basic compound is preferably an organic compound having an amino group. Examples of the basic compound include diethanolamine, triethanolamine, methyldiethanolamine, ethyldiethanolamine, cyclohexylamine, dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, 2-methylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, and 4-tert-butylbenzylamine. , N-Methylbenzylamine, N-ethylbenzylamine, N-phenylbenzylamine, N-tert-butylbenzylamine, N-isopropylbenzylamine, N, N-dimethylbenzylamine, imidazole compounds, and triazole compounds. .. From the viewpoint of arranging the solder on the electrodes more efficiently, enhancing the insulation reliability more effectively, and further enhancing the conduction reliability, the basic compound is benzylamine. Is preferable.

導電材料100重量%中、上記フラックスの含有量は、好ましくは0.5重量%以上であり、好ましくは30重量%以下、より好ましくは25重量%以下である。上記導電材料は、フラックスを含んでいなくてもよい。上記フラックスの含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ及び電極の表面に酸化被膜がより一層形成され難くなり、更に、はんだ及び電極の表面に形成された酸化被膜をより一層効果的に除去できる。 The content of the flux in 100% by weight of the conductive material is preferably 0.5% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 25% by weight or less. The conductive material does not have to contain flux. When the content of the flux is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, it becomes more difficult to form an oxide film on the surface of the solder and the electrode, and further, the oxide film formed on the surface of the solder and the electrode is further formed. Can be effectively removed.

(フィラー)
本発明に係る導電材料は、フィラーを含んでいてもよい。フィラーは、有機フィラーであってもよく、無機フィラーであってもよい。上記導電材料がフィラーを含むことにより、基板の全電極上に対して、はんだを均一に凝集させることができる。
(Filler)
The conductive material according to the present invention may contain a filler. The filler may be an organic filler or an inorganic filler. When the conductive material contains a filler, the solder can be uniformly agglomerated on all the electrodes of the substrate.

上記導電材料は、上記フィラーを含まないか、又は上記フィラーを5重量%以下で含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物を用いている場合には、フィラーの含有量が少ないほど、電極上にはんだが移動しやすくなる。 The conductive material preferably does not contain the filler, or contains the filler in an amount of 5% by weight or less. When the thermosetting compound is used, the smaller the filler content, the easier it is for the solder to move onto the electrodes.

導電材料100重量%中、上記フィラーの含有量は、好ましくは0重量%(未含有)以上であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは2重量%以下、さらに好ましくは1重量%以下である。上記フィラーの含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだが電極上により一層均一に配置される。 The content of the filler in 100% by weight of the conductive material is preferably 0% by weight (not contained) or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 2% by weight or less, still more preferably 1% by weight or less. is there. When the content of the filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder is more evenly arranged on the electrode.

(他の成分)
上記導電材料は、必要に応じて、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、チキソ剤、レベリング剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
(Other ingredients)
The conductive material may be, for example, a filler, a bulking agent, a softening agent, a plasticizer, a thixo agent, a leveling agent, a polymerization catalyst, a curing catalyst, a colorant, an antioxidant, a heat stabilizer, a light stabilizer, if necessary. , UV absorbers, lubricants, antistatic agents, flame retardants and other various additives may be included.

(接続構造体及び接続構造体の製造方法)
本発明に係る接続構造体は、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、上記第1の接続対象部材と、上記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備える。本発明に係る接続構造体では、上記接続部の材料が、上述した導電材料である。本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極と上記第2の電極とが、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている。
(Connecting structure and manufacturing method of connecting structure)
The connection structure according to the present invention includes a first connection target member having a first electrode on the surface, a second connection target member having a second electrode on the surface, and the first connection target member. It includes a connecting portion that connects to the second connection target member. In the connection structure according to the present invention, the material of the connection portion is the above-mentioned conductive material. In the connection structure according to the present invention, the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.

本発明に係る接続構造体の製造方法は、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、上記導電材料を配置する工程を備える。本発明に係る接続構造体の製造方法は、上記導電材料の上記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように配置する工程を備える。本発明に係る接続構造体の製造方法は、上記はんだ粒子の融点以上に上記導電材料を加熱することで、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、上記導電材料により形成し、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とを、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程を備える。 The method for manufacturing a connection structure according to the present invention includes a step of arranging the conductive material on the surface of a first connection target member having a first electrode on the surface by using the above-mentioned conductive material. In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, a second connection target member having a second electrode on the surface opposite to the first connection target member side of the conductive material is provided on the surface of the conductive material. A step of arranging the electrode 1 and the second electrode so as to face each other is provided. The method for manufacturing a connection structure according to the present invention is a connection in which the first connection target member and the second connection target member are connected by heating the conductive material above the melting point of the solder particles. The portion is formed of the conductive material, and includes a step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connecting portion.

本発明に係る接続構造体及び接続構造体の製造方法では、特定の導電材料を用いているので、はんだが第1の電極と第2の電極との間に集まりやすく、はんだを電極(ライン)上に効率的に配置することができる。また、はんだの一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をかなり少なくすることができる。従って、第1の電極と第2の電極との間の導通信頼性を高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続を防ぐことができ、絶縁信頼性を高めることができる。 In the connection structure and the method for manufacturing the connection structure according to the present invention, since a specific conductive material is used, the solder easily collects between the first electrode and the second electrode, and the solder is an electrode (line). Can be placed efficiently on top. Further, it is difficult for a part of the solder to be arranged in the region (space) where the electrode is not formed, and the amount of the solder arranged in the region where the electrode is not formed can be considerably reduced. Therefore, the conduction reliability between the first electrode and the second electrode can be improved. Moreover, it is possible to prevent electrical connection between electrodes adjacent in the lateral direction that should not be connected, and it is possible to improve insulation reliability.

また、電極上にはんだを効率的に配置し、かつ電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をかなり少なくするためには、上記導電材料は、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いることが好ましい。 Further, in order to efficiently arrange the solder on the electrodes and to considerably reduce the amount of the solder arranged in the region where the electrodes are not formed, the conductive material uses a conductive paste instead of a conductive film. Is preferable.

電極間でのはんだ部の厚みは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上であり、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下である。電極の表面上のはんだ濡れ面積(電極の露出した面積100%中のはんだが接している面積)は、好ましくは50%以上、より好ましくは70%以上であり、好ましくは100%以下である。 The thickness of the solder portion between the electrodes is preferably 10 μm or more, more preferably 20 μm or more, preferably 100 μm or less, and more preferably 80 μm or less. The solder wet area on the surface of the electrode (the area in contact with the solder in 100% of the exposed area of the electrode) is preferably 50% or more, more preferably 70% or more, and preferably 100% or less.

本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量が加わることが好ましい。本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量の力を超える加圧圧力は加わらないことが好ましい。これらの場合には、複数のはんだ部において、はんだ量の均一性をより一層高めることができる。さらに、はんだ部の厚みをより一層効果的に厚くすることができ、はんだが電極間に多く集まりやすくなり、はんだを電極(ライン)上により一層効率的に配置することができる。また、はんだの一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をより一層少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性をより一層高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続をより一層防ぐことができ、絶縁信頼性をより一層高めることができる。 In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, no pressurization is performed in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and the conductive material is connected to the second connection. It is preferable that the weight of the target member is added. In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, the conductive material is subjected to the weight force of the second connection target member. It is preferable that no pressurizing pressure exceeding the above is applied. In these cases, the uniformity of the amount of solder can be further improved in the plurality of solder portions. Further, the thickness of the solder portion can be increased more effectively, a large amount of solder can be easily collected between the electrodes, and the solder can be arranged more efficiently on the electrodes (lines). Further, it is difficult for a part of the solder to be arranged in the region (space) where the electrode is not formed, and the amount of the solder arranged in the region where the electrode is not formed can be further reduced. Therefore, the conduction reliability between the electrodes can be further improved. Moreover, it is possible to further prevent electrical connection between electrodes adjacent in the lateral direction that should not be connected, and it is possible to further improve insulation reliability.

また、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いれば、導電ペーストの塗布量によって、接続部及びはんだ部の厚みを調整することが容易になる。一方で、導電フィルムでは、接続部の厚みを変更したり、調整したりするためには、異なる厚みの導電フィルムを用意したり、所定の厚みの導電フィルムを用意したりしなければならないという問題がある。また、導電フィルムでは、導電ペーストと比べて、はんだの溶融温度で、導電フィルムの溶融粘度を十分に下げることができず、はんだの凝集が阻害されやすい傾向がある。 Further, if a conductive paste is used instead of the conductive film, it becomes easy to adjust the thickness of the connecting portion and the solder portion depending on the amount of the conductive paste applied. On the other hand, in the case of the conductive film, in order to change or adjust the thickness of the connecting portion, it is necessary to prepare a conductive film having a different thickness or a conductive film having a predetermined thickness. There is. Further, in the conductive film, the melt viscosity of the conductive film cannot be sufficiently lowered at the melting temperature of the solder as compared with the conductive paste, and the aggregation of the solder tends to be hindered easily.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明する。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connection structure obtained by using the conductive material according to the embodiment of the present invention.

図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材3と、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4とを備える。接続部4は、上述した導電材料により形成されている。本実施形態では、上記導電材料は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、ギャップ材11Cとを含む。本実施形態では、ギャップ材11Cは、上記はんだ粒子よりも大きい平均粒子径を有する樹脂粒子である。上記熱硬化性成分は、熱硬化性化合物と熱硬化剤とを含む。本実施形態では、導電材料として、導電ペーストが用いられている。 The connection structure 1 shown in FIG. 1 is a connection connecting the first connection target member 2, the second connection target member 3, the first connection target member 2, and the second connection target member 3. It includes a part 4. The connecting portion 4 is formed of the above-mentioned conductive material. In the present embodiment, the conductive material contains a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a gap material 11C. In the present embodiment, the gap material 11C is a resin particle having an average particle diameter larger than that of the solder particles. The thermosetting component contains a thermosetting compound and a thermosetting agent. In this embodiment, a conductive paste is used as the conductive material.

接続部4は、複数のはんだ粒子が集まり互いに接合したはんだ部4Aと、熱硬化性化合物が熱硬化された硬化物部4Bとを有する。 The connecting portion 4 has a solder portion 4A in which a plurality of solder particles are gathered and bonded to each other, and a cured product portion 4B in which a thermosetting compound is thermoset.

第1の接続対象部材2は表面(上面)に、複数の第1の電極2aを有する。第2の接続対象部材3は表面(下面)に、複数の第2の電極3aを有する。第1の電極2aと第2の電極3aとが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。従って、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。なお、接続部4において、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ粒子は存在しない。はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ部4Aと離れたはんだ粒子は存在しない。なお、少量であれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)に、はんだ粒子が存在していてもよい。 The first connection target member 2 has a plurality of first electrodes 2a on the surface (upper surface). The second connection target member 3 has a plurality of second electrodes 3a on the surface (lower surface). The first electrode 2a and the second electrode 3a are electrically connected by the solder portion 4A. Therefore, the first connection target member 2 and the second connection target member 3 are electrically connected by the solder portion 4A. In the connecting portion 4, no solder particles are present in a region (cured product portion 4B portion) different from the solder portion 4A gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a. In a region different from the solder portion 4A (cured product portion 4B portion), there are no solder particles separated from the solder portion 4A. If the amount is small, the solder particles may be present in a region (cured product portion 4B portion) different from the solder portion 4A gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a.

図1に示すように、接続構造体1では、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に、複数のはんだ粒子が集まり、複数のはんだ粒子が溶融した後、はんだ粒子の溶融物が電極の表面を濡れ拡がった後に固化して、はんだ部4Aが形成されている。このため、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接触面積が大きくなる。すなわち、はんだ粒子を用いることにより、導電性の外表面がニッケル、金又は銅等の金属である導電性粒子を用いた場合と比較して、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接触面積が大きくなる。このことによっても、接続構造体1における導通信頼性及び接続信頼性が高くなる。なお、導電材料にフラックスが含まれる場合に、フラックスは、一般に、加熱により次第に失活する。 As shown in FIG. 1, in the connection structure 1, a plurality of solder particles are gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a, and after the plurality of solder particles are melted, a melt of the solder particles is formed. Soldered and spread on the surface of the electrode and then solidified to form the solder portion 4A. Therefore, the contact area between the solder portion 4A and the first electrode 2a and the contact area between the solder portion 4A and the second electrode 3a becomes large. That is, by using the solder particles, the solder portion 4A, the first electrode 2a, and the solder portion are compared with the case where the conductive outer surface is a metal such as nickel, gold, or copper. The contact area between the 4A and the second electrode 3a becomes large. This also increases the continuity reliability and connection reliability of the connection structure 1. When the conductive material contains flux, the flux is generally gradually deactivated by heating.

なお、図1に示す接続構造体1では、はんだ部4Aの全てが、第1,第2の電極2a,3a間の対向している領域に位置している。図3に示す変形例の接続構造体1Xは、接続部4Xのみが、図1に示す接続構造体1と異なる。接続部4Xは、はんだ部4XAと硬化物部4XBとを有する。接続構造体1Xのように、はんだ部4XAの多くが、第1,第2の電極2a,3aの対向している領域に位置しており、はんだ部4XAの一部が第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出していてもよい。第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出しているはんだ部4XAは、はんだ部4XAの一部であり、はんだ部4XAから離れたはんだ粒子ではない。なお、本実施形態では、はんだ部から離れたはんだ粒子の量を少なくすることができるが、はんだ部から離れたはんだ粒子が硬化物部中に存在していてもよい。 In the connection structure 1 shown in FIG. 1, all of the solder portions 4A are located in facing regions between the first and second electrodes 2a and 3a. In the connection structure 1X of the modified example shown in FIG. 3, only the connection portion 4X is different from the connection structure 1 shown in FIG. The connection portion 4X has a solder portion 4XA and a cured product portion 4XB. Like the connection structure 1X, most of the solder portions 4XA are located in the opposite regions of the first and second electrodes 2a and 3a, and a part of the solder portions 4XA is the first and second electrodes. The electrodes 2a and 3a may protrude laterally from the facing regions. The solder portion 4XA protruding laterally from the facing regions of the first and second electrodes 2a and 3a is a part of the solder portion 4XA and is not a solder particle separated from the solder portion 4XA. In this embodiment, the amount of solder particles separated from the solder portion can be reduced, but the solder particles separated from the solder portion may be present in the cured product portion.

はんだ粒子の使用量を少なくすれば、接続構造体1を得ることが容易になる。はんだ粒子の使用量を多くすれば、接続構造体1Xを得ることが容易になる。 If the amount of solder particles used is reduced, it becomes easy to obtain the connection structure 1. If the amount of solder particles used is increased, it becomes easy to obtain the connection structure 1X.

接続構造体1,1Xでは、第1の電極2aと接続部4,4Xと第2の電極3aとの積層方向に第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分をみたときに、第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、接続部4,4X中のはんだ部4A,4XAが配置されていることが好ましい。接続部4,4X中のはんだ部4A,4XAが、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 In the connection structures 1 and 1X, when the portions facing each other of the first electrode 2a and the second electrode 3a are seen in the stacking direction of the first electrode 2a, the connection portions 4, 4X and the second electrode 3a. It is preferable that the solder portions 4A and 4XA in the connecting portions 4 and 4X are arranged in 50% or more of the area of 100% of the portions facing each other of the first electrode 2a and the second electrode 3a. .. When the solder portions 4A and 4XA in the connection portions 4 and 4X satisfy the above-mentioned preferable aspects, the continuity reliability can be further improved.

上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の60%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることがより好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の70%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることがさらに好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の80%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが特に好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の90%以上に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが最も好ましい。上記接続部中のはんだ部が、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 When the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are seen. It is preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 50% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. When the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are seen. It is more preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 60% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. When the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are seen. It is more preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 70% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. When the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are seen. It is particularly preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 80% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. When the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are seen. It is most preferable that the solder portion in the connection portion is arranged in 90% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. When the solder portion in the connection portion satisfies the above-mentioned preferable embodiment, the continuity reliability can be further improved.

上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の60%以上が配置されていることが好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の70%以上が配置されていることがより好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の90%以上が配置されていることがさらに好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の95%以上が配置されていることが特に好ましい。上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の99%以上が配置されていることが最も好ましい。上記接続部中のはんだ部が、上記の好ましい態様を満足することで、導通信頼性をより一層高めることができる。 When the portions facing each other of the first electrode and the second electrode are viewed in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode is used. It is preferable that 60% or more of the solder portion in the connection portion is arranged at the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the portions facing each other of the first electrode and the second electrode are viewed in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode is used. It is more preferable that 70% or more of the solder portion in the connection portion is arranged at the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the portions facing each other of the first electrode and the second electrode are viewed in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode is used. It is more preferable that 90% or more of the solder portion in the connection portion is arranged at the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the portions facing each other of the first electrode and the second electrode are viewed in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode is used. It is particularly preferable that 95% or more of the solder portion in the connection portion is arranged at the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the portions facing each other of the first electrode and the second electrode are viewed in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode is used. It is most preferable that 99% or more of the solder portion in the connection portion is arranged at the portion where the electrode and the second electrode face each other. When the solder portion in the connection portion satisfies the above-mentioned preferable embodiment, the continuity reliability can be further improved.

次に、図2では、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて、接続構造体1を製造する方法の一例を説明する。 Next, FIG. 2 describes an example of a method for manufacturing the connection structure 1 using the conductive material according to the embodiment of the present invention.

先ず、第1の電極2aを表面(上面)に有する第1の接続対象部材2を用意する。次に、図2(a)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上に、熱硬化性成分11Bと、はんだ粒子11Aと、ギャップ材11Cとを含む導電材料11を配置する(第1の工程、第1の配置工程)。用いた導電材料11は、熱硬化性成分11Bとして、熱硬化性化合物と熱硬化剤とを含む。 First, the first connection target member 2 having the first electrode 2a on the surface (upper surface) is prepared. Next, as shown in FIG. 2A, the conductive material 11 including the thermosetting component 11B, the solder particles 11A, and the gap material 11C is arranged on the surface of the first connection target member 2 ( First step, first placement step). The conductive material 11 used contains a thermosetting compound and a thermosetting agent as the thermosetting component 11B.

第1の接続対象部材2の第1の電極2aが設けられた表面上に、導電材料11を配置する。導電材料11の配置の後に、はんだ粒子11A及びギャップ材11Cは、第1の電極2a(ライン)上と、第1の電極2aが形成されていない領域(スペース)上との双方に配置されている。 The conductive material 11 is arranged on the surface of the first connection target member 2 on which the first electrode 2a is provided. After the placement of the conductive material 11, the solder particles 11A and the gap material 11C are placed both on the first electrode 2a (line) and on the region (space) where the first electrode 2a is not formed. There is.

導電材料11の配置方法としては、特に限定されないが、ディスペンサーによる塗布、スクリーン印刷、及びインクジェット装置による吐出等が挙げられる。 The method of arranging the conductive material 11 is not particularly limited, and examples thereof include coating with a dispenser, screen printing, and ejection with an inkjet device.

また、第2の電極3aを表面(下面)に有する第2の接続対象部材3を用意する。次に、図2(b)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上の導電材料11において、導電材料11の第1の接続対象部材2側とは反対側の表面上に、第2の接続対象部材3を配置する(第2の工程、第2の配置工程)。導電材料11の表面上に、第2の電極3a側から、第2の接続対象部材3を配置する。このとき、第1の電極2aと第2の電極3aとを対向させる。 Further, a second connection target member 3 having the second electrode 3a on the front surface (lower surface) is prepared. Next, as shown in FIG. 2B, in the conductive material 11 on the surface of the first connection target member 2, on the surface of the conductive material 11 opposite to the first connection target member 2 side. The second connection target member 3 is arranged (second step, second arrangement step). The second connection target member 3 is arranged on the surface of the conductive material 11 from the second electrode 3a side. At this time, the first electrode 2a and the second electrode 3a are opposed to each other.

上記第2の配置工程では、ギャップ材11Cにより第1の電極2aと第2の電極3aとの間隔が制御される。上記第2の配置工程では、ギャップ材11C(1個当たり)を、第1の電極2aと第2の電極3aとの双方に接触させる。はんだ粒子11Aは、上記第2の配置工程において、第1の電極2aと第2の電極3aとの間隔を制御するギャップ材とは異なる。上記第2の配置工程において、はんだ粒子11A(1個当たり)を、第1の電極2aと第2の電極3aとの双方に接触させない。上記ギャップ材を用いることにより、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材との間隔を高精度に制御することができる。 In the second arrangement step, the gap material 11C controls the distance between the first electrode 2a and the second electrode 3a. In the second arrangement step, the gap material 11C (per piece) is brought into contact with both the first electrode 2a and the second electrode 3a. The solder particles 11A are different from the gap material that controls the distance between the first electrode 2a and the second electrode 3a in the second arrangement step. In the second arrangement step, the solder particles 11A (per one) are not brought into contact with both the first electrode 2a and the second electrode 3a. By using the gap material, the distance between the first connection target member and the second connection target member can be controlled with high accuracy.

上記第2の配置工程における上記第1の電極と上記第2の電極との間隔は、好ましくは10μm以上、より好ましくは50μm以上であり、好ましくは500μm以下、より好ましくは300μm以下である。上記第2の配置工程における上記第1の電極と上記第2の電極との間隔が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだをより一層効率的に配置することができ、導通信頼性及び絶縁信頼性をより一層高めることができる。 The distance between the first electrode and the second electrode in the second arrangement step is preferably 10 μm or more, more preferably 50 μm or more, preferably 500 μm or less, and more preferably 300 μm or less. When the distance between the first electrode and the second electrode in the second placement step is equal to or greater than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the solder can be arranged on the electrodes more efficiently. Conduction reliability and insulation reliability can be further improved.

次に、はんだ粒子11Aの融点以上に導電材料11を加熱する(第3の工程、接続工程)。好ましくは、熱硬化性成分11B(熱硬化性化合物)の硬化温度以上に導電材料11を加熱する。この加熱時には、電極が形成されていない領域に存在していたはんだ粒子11Aは、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まる(自己凝集効果)。導電フィルムではなく、導電ペーストを用いた場合には、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間により一層効果的に集まる。また、はんだ粒子11Aは溶融し、互いに接合する。また、熱硬化性成分11Bは熱硬化する。この結果、図2(c)に示すように、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4が、導電材料11により形成される。導電材料11により接続部4が形成され、複数のはんだ粒子11Aが接合することによってはんだ部4Aが形成され、熱硬化性成分11Bが熱硬化することによって硬化物部4Bが形成される。はんだ粒子11Aが十分に移動すれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に位置していないはんだ粒子11Aの移動が開始してから、第1の電極2aと第2の電極3aとの間にはんだ粒子11Aの移動が完了するまでに、温度を一定に保持しなくてもよい。 Next, the conductive material 11 is heated above the melting point of the solder particles 11A (third step, connection step). Preferably, the conductive material 11 is heated above the curing temperature of the thermosetting component 11B (thermosetting compound). At the time of this heating, the solder particles 11A existing in the region where the electrodes are not formed gather between the first electrode 2a and the second electrode 3a (self-aggregation effect). When a conductive paste is used instead of the conductive film, the solder particles 11A are more effectively collected between the first electrode 2a and the second electrode 3a. Further, the solder particles 11A are melted and joined to each other. Further, the thermosetting component 11B is thermoset. As a result, as shown in FIG. 2C, the connecting portion 4 connecting the first connecting target member 2 and the second connecting target member 3 is formed of the conductive material 11. The connecting portion 4 is formed by the conductive material 11, the solder portion 4A is formed by joining the plurality of solder particles 11A, and the cured product portion 4B is formed by thermosetting the thermosetting component 11B. If the solder particles 11A move sufficiently, the solder particles 11A that are not located between the first electrode 2a and the second electrode 3a start moving, and then the first electrode 2a and the second electrode It is not necessary to keep the temperature constant until the movement of the solder particles 11A to and from 3a is completed.

本実施形態では、上記第2の工程及び上記第3の工程において、加圧を行わない方が好ましい。この場合には、導電材料11には、第2の接続対象部材3の重量が加わる。このため、接続部4の形成時に、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間により一層効果的に集まる。なお、上記第2の工程及び上記第3の工程の内の少なくとも一方において、加圧を行えば、はんだ粒子11Aが第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まろうとする作用が阻害される傾向が高くなる。 In the present embodiment, it is preferable not to pressurize in the second step and the third step. In this case, the weight of the second connection target member 3 is added to the conductive material 11. Therefore, when the connecting portion 4 is formed, the solder particles 11A are more effectively gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a. When pressurization is performed in at least one of the second step and the third step, the solder particles 11A tend to gather between the first electrode 2a and the second electrode 3a. Is more likely to be inhibited.

また、本実施形態では、加圧を行っていないため、第1の電極2aと第2の電極3aとのアライメントがずれた状態で、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とが重ね合わされた場合でも、そのずれを補正して、第1の電極2aと第2の電極3aとを接続させることができる(セルフアライメント効果)。これは、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に自己凝集している溶融したはんだが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間のはんだと導電材料のその他の成分とが接する面積が最小となる方がエネルギー的に安定になるため、その最小の面積となる接続構造であるアライメントのあった接続構造にする力が働くためである。この際、導電材料が、その温度、時間にて、導電材料のはんだ粒子以外の成分の粘度が十分低いことが望ましい。 Further, in the present embodiment, since the pressurization is not performed, the first connection target member 2 and the second connection target member 3 are in a state where the first electrode 2a and the second electrode 3a are out of alignment. Even when and are overlapped with each other, the deviation can be corrected and the first electrode 2a and the second electrode 3a can be connected (self-alignment effect). This is because the molten solder that is self-aggregated between the first electrode 2a and the second electrode 3a is the solder between the first electrode 2a and the second electrode 3a and other conductive materials. This is because the energy is more stable when the area in contact with the components is the smallest, and the force for forming the aligned connection structure, which is the connection structure with the minimum area, works. At this time, it is desirable that the conductive material has a sufficiently low viscosity of components other than the solder particles of the conductive material at the temperature and time.

はんだの融点での導電材料の粘度(ηmp)は、好ましくは50Pa・s以下、より好ましくは10Pa・s以下、さらに好ましくは1Pa・s以下であり、好ましくは0.1Pa・s以上、より好ましくは0.2Pa・s以上である。上記粘度(ηmp)が、上記上限以下であれば、電極上にはんだを効率的に凝集させることができる。上記粘度(ηmp)が、上記下限以上であれば、接続部でのボイドを抑制し、接続部以外への導電材料のはみだしを抑制することができる。 The viscosity (ηmp) of the conductive material at the melting point of the solder is preferably 50 Pa · s or less, more preferably 10 Pa · s or less, further preferably 1 Pa · s or less, preferably 0.1 Pa · s or more, more preferably. Is 0.2 Pa · s or more. When the viscosity (ηmp) is not more than the above upper limit, the solder can be efficiently aggregated on the electrode. When the viscosity (ηmp) is at least the above lower limit, voids at the connecting portion can be suppressed, and the protrusion of the conductive material to other than the connecting portion can be suppressed.

上記粘度(ηmp)は、STRESSTECH(REOLOGICA社製)等を用いて、歪制御1rad、周波数1Hz、昇温速度20℃/分、測定温度範囲25℃〜200℃(但し、はんだの融点が200℃を超える場合には温度上限をはんだの融点とする)の条件で測定可能である。測定結果から、はんだの融点での粘度が評価される。 The viscosity (ηmp) is strain control 1 rad, frequency 1 Hz, temperature rise rate 20 ° C./min, measurement temperature range 25 ° C. to 200 ° C. (however, the melting point of the solder is 200 ° C.) using STRESSTECH (manufactured by REOLOGICA) or the like. If it exceeds, the upper limit of the temperature is set as the melting point of the solder). From the measurement results, the viscosity of the solder at the melting point is evaluated.

このようにして、図1に示す接続構造体1が得られる。なお、上記第2の工程と上記第3の工程とは連続して行われてもよい。また、上記第2の工程を行った後に、得られる第1の接続対象部材2と導電材料11と第2の接続対象部材3との積層体を、加熱部に移動させて、上記第3の工程を行ってもよい。上記加熱を行うために、加熱部材上に上記積層体を配置してもよく、加熱された空間内に上記積層体を配置してもよい。 In this way, the connection structure 1 shown in FIG. 1 is obtained. The second step and the third step may be continuously performed. Further, after performing the second step, the obtained laminate of the first connection target member 2, the conductive material 11, and the second connection target member 3 is moved to the heating unit, and the third The process may be performed. In order to perform the heating, the laminate may be arranged on the heating member, or the laminate may be arranged in the heated space.

上記第3の工程における上記加熱温度は、好ましくは140℃以上、より好ましくは160℃以上であり、好ましくは450℃以下、より好ましくは250℃以下、さらに好ましくは200℃以下である。 The heating temperature in the third step is preferably 140 ° C. or higher, more preferably 160 ° C. or higher, preferably 450 ° C. or lower, more preferably 250 ° C. or lower, still more preferably 200 ° C. or lower.

上記第3の工程における加熱方法としては、はんだの融点以上及び熱硬化性成分の硬化温度以上に、接続構造体全体を、リフロー炉を用いて又はオーブンを用いて加熱する方法や、接続構造体の接続部のみを局所的に加熱する方法が挙げられる。 As a heating method in the third step, a method of heating the entire connection structure using a reflow furnace or an oven or a connection structure above the melting point of the solder and the curing temperature of the thermosetting component or higher. A method of locally heating only the connection portion of the solder is mentioned.

局所的に加熱する方法に用いる器具としては、ホットプレート、熱風を付与するヒートガン、はんだゴテ、及び赤外線ヒーター等が挙げられる。 Examples of the appliance used for the method of locally heating include a hot plate, a heat gun for applying hot air, a soldering iron, and an infrared heater.

また、ホットプレートにて局所的に加熱する際、接続部直下は、熱伝導性の高い金属にて、その他の加熱することが好ましくない個所は、フッ素樹脂等の熱伝導性の低い材質にて、ホットプレート上面を形成することが好ましい。 When locally heating on a hot plate, use a metal with high thermal conductivity directly under the connection, and use a material with low thermal conductivity such as fluororesin in other places where heating is not preferable. , It is preferable to form the upper surface of the hot plate.

また、本発明に係る接続構造体の製造方法では、剥離工程、再塗布工程、及び再接続工程を備えていてもよい。上記の工程は、例えば、第2の接続対象部材が適切に接続されなかった場合に行われる。 Further, the method for manufacturing a connecting structure according to the present invention may include a peeling step, a recoating step, and a reconnecting step. The above step is performed, for example, when the second connection target member is not properly connected.

上記剥離工程は、はんだ粒子の融点で、上記第2の接続対象部材を上記第1の接続対象部材から剥離する工程である。上記第2の接続対象部材を上記第1の接続対象部材から剥離する方法は特に限定されない。上記第2の接続対象部材を上記第1の接続対象部材から剥離する方法としては、はんだゴテ等を用いて接続部を加熱しながら、上記第2の接続対象部材を上記第1の接続対象部材から剥離する方法等が挙げられる。また、上記剥離工程においては、リペアに用いる公知の剥離装置等を用いることができる。 The peeling step is a step of peeling the second connection target member from the first connection target member at the melting point of the solder particles. The method of peeling the second connection target member from the first connection target member is not particularly limited. As a method of peeling the second connection target member from the first connection target member, the second connection target member is separated from the first connection target member while heating the connection portion using a soldering iron or the like. A method of peeling from the solder is mentioned. Further, in the peeling step, a known peeling device or the like used for repair can be used.

また、上記剥離工程では、上記第2の接続対象部材を上記第1の接続対象部材から剥離した後に、必要に応じて、溶剤等を用いて上記第1の接続対象部材を洗浄してもよい。 Further, in the peeling step, after peeling the second connection target member from the first connection target member, the first connection target member may be washed with a solvent or the like, if necessary. ..

上記再塗布工程は、上記剥離工程後の上記第1の接続対象部材上に、再度、上記導電材料を塗布する工程である。上記再塗布工程は、上記第1の工程と同様の条件で実施することができる。 The recoating step is a step of recoating the conductive material on the first connection target member after the peeling step. The recoating step can be carried out under the same conditions as the first step.

上記再接続工程は、上記再塗布工程後の導電材料上に上記第2の接続対象部材を配置して、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを、再度、接続する工程である。上記再接続工程は、上記第2の工程及び上記第3の工程と同様の条件で実施することができる。 In the reconnection step, the second connection target member is arranged on the conductive material after the recoating step, and the first connection target member and the second connection target member are reconnected. It is a process. The reconnection step can be carried out under the same conditions as the second step and the third step.

上記第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、半導体パッケージ、LEDチップ、LEDパッケージ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びに樹脂フィルム、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル、リジッドフレキシブル基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板等の電子部品等が挙げられる。上記第1,第2の接続対象部材は、電子部品であることが好ましい。 The first and second connection target members are not particularly limited. Specific examples of the first and second connection target members include electronic components such as semiconductor chips, semiconductor packages, LED chips, LED packages, capacitors and diodes, and resin films, printed circuit boards, flexible printed circuit boards, and flexible components. Examples thereof include electronic components such as flat cables, rigid flexible substrates, glass epoxy substrates, and circuit boards such as glass substrates. The first and second connection target members are preferably electronic components.

上記第1の接続対象部材及び上記第2の接続対象部材の内の少なくとも一方が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。上記第2の接続対象部材が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板は、柔軟性が高く、比較的軽量であるという性質を有する。このような接続対象部材の接続に導電フィルムを用いた場合には、はんだが電極上に集まりにくい傾向がある。これに対して、導電ペーストを用いることで、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いたとしても、はんだを電極上に効率的に集めることで、電極間の導通信頼性を十分に高めることができる。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いる場合に、半導体チップ等の他の接続対象部材を用いた場合と比べて、加圧を行わないことによる電極間の導通信頼性の向上効果がより一層効果的に得られる。 It is preferable that at least one of the first connection target member and the second connection target member is a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate. It is preferable that the second connection target member is a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate. Resin films, flexible printed circuit boards, flexible flat cables, and rigid flexible substrates have the properties of high flexibility and relatively light weight. When a conductive film is used for connecting the members to be connected, the solder tends to be difficult to collect on the electrodes. On the other hand, by using the conductive paste, even if a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable or a rigid flexible substrate is used, the solder is efficiently collected on the electrodes, so that the conductivity between the electrodes is reliable. Can be sufficiently enhanced. When a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate is used, the continuity reliability between the electrodes is improved by not applying pressure, as compared with the case where other members to be connected such as a semiconductor chip are used. The improvement effect can be obtained even more effectively.

上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極、SUS電極、及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極、銀電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。 Examples of the electrodes provided on the connection target member include metal electrodes such as gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes, SUS electrodes, and tungsten electrodes. When the member to be connected is a flexible printed substrate, the electrodes are preferably gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, silver electrodes or copper electrodes. When the connection target member is a glass substrate, the electrodes are preferably aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes or tungsten electrodes. When the electrode is an aluminum electrode, it may be an electrode formed only of aluminum, or an electrode in which an aluminum layer is laminated on the surface of a metal oxide layer. Examples of the material of the metal oxide layer include indium oxide doped with a trivalent metal element and zinc oxide doped with a trivalent metal element. Examples of the trivalent metal element include Sn, Al and Ga.

本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極及び上記第2の電極は、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されていることが好ましい。上記第1の電極及び上記第2の電極が、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されている場合において、全面にて均一にはんだを凝集させることができる。上記エリアアレイとは、接続対象部材の電極が配置されている面にて、格子状に電極が配置されている構造のことである。上記ペリフェラルとは、接続対象部材の外周部に電極が配置されている構造のことである。電極が櫛型に並んでいる構造の場合は、櫛に垂直な方向に沿ってはんだが凝集すればよいのに対して、上記エリアアレイ又はペリフェラル構造では電極が配置されている面において、全面にて均一にはんだが凝集する必要がある。そのため、従来の方法では、はんだ量が不均一になりやすいのに対して、本発明の方法では、全面にて均一にはんだを凝集させることができる。 In the connection structure according to the present invention, it is preferable that the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or a peripheral. When the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or a peripheral, the solder can be uniformly aggregated on the entire surface. The area array is a structure in which the electrodes are arranged in a grid pattern on the surface on which the electrodes of the member to be connected are arranged. The peripheral is a structure in which electrodes are arranged on the outer peripheral portion of a member to be connected. In the case of a structure in which the electrodes are arranged in a comb shape, the solder may be aggregated along the direction perpendicular to the comb, whereas in the above area array or peripheral structure, the entire surface on the surface where the electrodes are arranged is covered. It is necessary for the solder to agglomerate uniformly. Therefore, in the conventional method, the amount of solder tends to be non-uniform, whereas in the method of the present invention, the solder can be uniformly agglomerated over the entire surface.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

熱硬化性成分(熱硬化性化合物):
熱硬化性化合物1:脂肪族エポキシ化合物、共栄社化学社製「エポライト1600」
熱硬化性化合物2:フェノールノボラック型エポキシ化合物、DOW社製「DEN431」
熱硬化性化合物3:ビスフェノールF型エポキシ化合物、新日鉄住金化学社製「YDF−8170C」
熱硬化性化合物4:ビスフェノールA型エポキシ化合物、新日鉄住金化学社製「YD−8125」
熱硬化性化合物5:イソシアヌル骨格含有エポキシ化合物、日産化学社製「TEPIC−SP」の活性水素量同当量混合物
Thermosetting component (thermosetting compound):
Thermosetting compound 1: Aliphatic epoxy compound, "Epolite 1600" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.
Thermosetting compound 2: Phenolic novolac type epoxy compound, "DEN431" manufactured by DOWN
Thermosetting compound 3: Bisphenol F type epoxy compound, "YDF-8170C" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.
Thermosetting compound 4: Bisphenol A type epoxy compound, "YD-8125" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.
Thermosetting compound 5: Isocyanul skeleton-containing epoxy compound, Nissan Chemical Industries, Ltd. "TEPIC-SP" active hydrogen equivalent equivalent mixture

熱硬化性成分(熱硬化剤):
熱硬化剤1:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドTDA−100」
熱硬化剤2:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドMH」
熱硬化剤3:潜在性マイクロカプセル化イミダゾール硬化剤、旭化成ケミカルズ社製「ノバキュアHX3941HP」
Thermosetting component (thermosetting agent):
Thermosetting agent 1: Acid anhydride curing agent, "Recasid TDA-100" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.
Thermosetting agent 2: Acid anhydride curing agent, "Recasid MH" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.
Thermosetting agent 3: Latent microencapsulated imidazole curing agent, "Novacure HX3941HP" manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.

熱硬化性成分(硬化促進剤):
硬化促進剤1:有機ホスホニウム塩、日本化学工業社製「PX−4MP」
Thermosetting component (curing accelerator):
Curing accelerator 1: Organic phosphonium salt, "PX-4MP" manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd.

フラックス:
フラックス1:「アジピン酸ベンジルアミン塩」、融点171℃
フラックス1の作製方法:
ガラスビンに、反応溶媒である水24gと、アジピン酸(和光純薬工業社製)13.89gとを入れ、室温で均一になるまで溶解させた。その後、ベンジルアミン(和光純薬工業社製)10.715gを入れて、約5分間撹拌し、混合液を得た。得られた混合液を5℃〜10℃の冷蔵庫に入れて、一晩放置した。析出した結晶をろ過により分取し、水で洗浄し、真空乾燥し、フラックス1を得た。
flux:
Flux 1: "Benzylamine adipate salt", melting point 171 ° C
Method for producing flux 1:
In a glass bottle, 24 g of water as a reaction solvent and 13.89 g of adipic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were put and dissolved at room temperature until uniform. Then, 10.715 g of benzylamine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added and stirred for about 5 minutes to obtain a mixed solution. The obtained mixture was placed in a refrigerator at 5 ° C. to 10 ° C. and left overnight. The precipitated crystals were separated by filtration, washed with water and vacuum dried to obtain flux 1.

はんだ粒子:
はんだ粒子1:SnBiはんだ粒子、融点138℃、三井金属社製「Sn42Bi58」を選別したはんだ粒子、平均粒子径:10μm
はんだ粒子2:SnAgCuはんだ粒子、融点:217℃、三井金属鉱業社製「SnAg3Cu0.5」、平均粒子径:10μm
Solder particles:
Solder particles 1: SnBi solder particles, melting point 138 ° C, solder particles selected from "Sn42Bi58" manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., average particle size: 10 μm
Solder particles 2: SnAgCu solder particles, melting point: 217 ° C, "SnAg3Cu0.5" manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., average particle size: 10 μm

ギャップ材:
ギャップ材1:ジビニルベンゼン共重体樹脂粒子、積水化学社製「ミクロパールSP−30」、平均粒子径:30μm
ギャップ材2:ジビニルベンゼン共重体樹脂粒子、積水化学社製「金ミクロパールAU−30」、平均粒子径:30μm
Gap material:
Gap material 1: Divinylbenzene copolymer resin particles, "Micropearl SP-30" manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., average particle size: 30 μm
Gap material 2: Divinylbenzene copolymer resin particles, "Gold Micropearl AU-30" manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., average particle size: 30 μm

(実施例1〜12及び比較例1,2)
(1)導電材料(異方性導電ペースト)の作製
下記の表1,2に示す成分を下記の表1,2に示す配合量で配合して、導電材料(異方性導電ペースト)を得た。
(Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 and 2)
(1) Preparation of Conductive Material (Anisotropic Conductive Paste) The components shown in Tables 1 and 2 below are blended in the blending amounts shown in Tables 1 and 2 below to obtain a conductive material (anisotropic conductive paste). It was.

(2)接続構造体の作製
第2の接続対象部材として、半導体チップ本体(サイズ10mm×10mm、厚み1mm)の表面に、500μmピッチで4mm×4mmの銅電極が配置されている半導体チップを用意した。
(2) Preparation of Connection Structure As a second connection target member, a semiconductor chip in which 4 mm × 4 mm copper electrodes are arranged at a pitch of 500 μm is prepared on the surface of the semiconductor chip body (size 10 mm × 10 mm, thickness 1 mm). did.

第1の接続対象部材として、ガラスエポキシ基板本体(サイズ20mm×20mm、厚み1mm、材質FR−4)の表面に、第2の接続対象部材の電極に対して、同じパターンとなるように、銅電極が配置されているガラスエポキシ基板を用意した。 As the first connection target member, copper is formed on the surface of the glass epoxy substrate body (size 20 mm × 20 mm, thickness 1 mm, material FR-4) so as to have the same pattern as the electrodes of the second connection target member. A glass epoxy substrate on which the electrodes are arranged was prepared.

上記ガラスエポキシ基板の上面に、作製直後の導電材料(異方性導電ペースト)をギャップ材の1.5倍の厚み(実施例1〜12及び比較例2)となるように、又は50μm(比較例1)となるように塗工し、導電材料(異方性導電ペースト)層を形成した(第1の配置工程)。次に、導電材料(異方性導電ペースト)層の上面にフレキシブルプリント基板を電極同士が対向するように積層した(第2の配置工程)。導電材料(異方性導電ペースト)層には、上記フレキシブルプリント基板の重量は加わる。その状態から、導電材料(異方性導電ペースト)層の温度が、昇温開始から5秒後にはんだの融点となるように加熱した。さらに、昇温開始から15秒後に、導電材料(異方性導電ペースト)層の温度がはんだ融点となるように加熱し、導電材料(異方性導電ペースト)層を硬化させ、接続構造体を得た(接続工程)。加熱時には、加圧を行わなかった。 On the upper surface of the glass epoxy substrate, a conductive material (anisotropic conductive paste) immediately after production is applied so as to have a thickness 1.5 times that of the gap material (Examples 1 to 12 and Comparative Example 2), or 50 μm (comparative). A conductive material (anisotropic conductive paste) layer was formed by coating as in Example 1) (first arrangement step). Next, a flexible printed circuit board was laminated on the upper surface of the conductive material (anisometric conductive paste) layer so that the electrodes face each other (second arrangement step). The weight of the flexible printed circuit board is added to the conductive material (anisotropic conductive paste) layer. From that state, the temperature of the conductive material (anisotropic conductive paste) layer was heated so as to reach the melting point of the solder 5 seconds after the start of temperature rise. Further, 15 seconds after the start of temperature rise, the conductive material (anisotropic conductive paste) layer is heated so as to reach the melting point of the solder to cure the conductive material (anisotropic conductive paste) layer, and the connection structure is formed. Obtained (connection process). No pressurization was performed during heating.

(評価)
(1)硬化物の軟化点と、はんだ粒子の融点との関係(導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点と、はんだ粒子の融点との関係)
導電材料の作製に用いた熱硬化性成分を用意した。用意した熱硬化性成分を導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で硬化させて硬化物を得た。得られた硬化物の軟化点を、動的粘弾性測定装置(ユービーエム社製「Rheogel−E」)を用いて、温度範囲25℃〜導電材料に含まれるはんだ粒子の融点℃、昇温速度5℃/分、及び10Hzの条件で測定を行った。得られた結果から、硬化物の軟化点を算出した。
(Evaluation)
(1) Relationship between the softening point of the cured product and the melting point of the solder particles (the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles contained in the conductive material + 20 ° C. and 3 minutes. Relationship with melting point of solder particles)
The thermosetting component used for producing the conductive material was prepared. The prepared thermosetting component was cured under the conditions of melting point + 20 ° C. and 3 minutes of the solder particles contained in the conductive material to obtain a cured product. Using a dynamic viscoelasticity measuring device (“Rheogel-E” manufactured by UBM), the softening point of the obtained cured product was measured in a temperature range of 25 ° C. to the melting point temperature of the solder particles contained in the conductive material and the rate of temperature rise. The measurement was carried out under the conditions of 5 ° C./min and 10 Hz. From the obtained results, the softening point of the cured product was calculated.

導電材料の作製に用いたはんだ粒子を用意した。用意したはんだ粒子の融点を、示差走査熱量測定(DSC)により算出した。示差走査熱量測定(DSC)装置としては、SII社製「EXSTAR DSC7020」を用いた。 Solder particles used for producing the conductive material were prepared. The melting point of the prepared solder particles was calculated by differential scanning calorimetry (DSC). As the differential scanning calorimetry (DSC) device, "EXSTAR DSC7020" manufactured by SII was used.

得られた測定結果から、導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、はんだ粒子の融点以下であるか否かを確認した。導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点と、はんだ粒子の融点との関係を以下の基準で判定した。 From the obtained measurement results, it is determined whether or not the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles contained in the conductive material + 20 ° C. and 3 minutes is equal to or lower than the melting point of the solder particles. confirmed. The relationship between the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles contained in the conductive material at + 20 ° C. and 3 minutes and the melting point of the solder particles was determined by the following criteria.

[導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点と、はんだ粒子の融点との関係の判定基準]
○:導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、はんだ粒子の融点以下である
×:導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、はんだ粒子の融点を超える
[Criteria for determining the relationship between the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles contained in the conductive material + 20 ° C. and 3 minutes, and the melting point of the solder particles]
◯: The melting point of the solder particles contained in the conductive material + 20 ° C. and the softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of 3 minutes are equal to or lower than the melting point of the solder particles ×: The solder particles contained in the conductive material The softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of melting point + 20 ° C. and 3 minutes exceeds the melting point of the solder particles.

(2)ダイシェア強度
得られた導電材料を用いて、導電材料の25℃でのダイシェア強度(DS25)及び導電材料のはんだ粒子の融点でのダイシェア強度(DSmp)を算出した。
(2) Die shear strength Using the obtained conductive material, the die shear strength (DS25) of the conductive material at 25 ° C. and the die shear strength (DSmp) at the melting point of the solder particles of the conductive material were calculated.

上記ダイシェア強度(DS25及びDSmp)は、以下のようにして測定した。 The die shear strengths (DS25 and DSmp) were measured as follows.

厚み500μmの銅板の上面に導電材料を4mm×4mmの範囲に厚み50μmで塗工し、厚み50μmの導電材料層を形成した。次に、上記導電材料層の上面に、厚み500μm、4mm角の銅片を配置した。その後、導電材料層の温度がはんだの融点となるように加熱しながら、はんだを溶融させ、かつ導電材料層を導電材料に含まれるはんだ粒子の融点+20℃及び3分間硬化させて、試験サンプルを得た。得られた試験サンプルを用いて、ダイシェアテスター(アークテック社製「DAGE 4000」)で、25℃及びはんだ粒子の融点でのダイシェア強度を測定した。導電材料の硬化物に対する銅片のダイシェア強度を求めた。 A conductive material was applied to the upper surface of a copper plate having a thickness of 500 μm in a range of 4 mm × 4 mm with a thickness of 50 μm to form a conductive material layer having a thickness of 50 μm. Next, a copper piece having a thickness of 500 μm and a size of 4 mm square was placed on the upper surface of the conductive material layer. Then, while heating so that the temperature of the conductive material layer becomes the melting point of the solder, the solder is melted, and the conductive material layer is cured at the melting point of the solder particles contained in the conductive material at + 20 ° C. for 3 minutes to prepare a test sample. Obtained. Using the obtained test sample, the die shear strength at 25 ° C. and the melting point of the solder particles was measured with a die shear tester (“DAGE 4000” manufactured by Arctech). The die shear strength of the copper piece with respect to the cured product of the conductive material was determined.

ダイシェア強度を測定する条件は、以下の通りである。
使用機器dage SERIES 4000
使用ロードセル dage DS100 (100kg用)
テストスピード 300μm/s
降下スピード 300μm/s
テスト高さ 30μm
The conditions for measuring the die shear strength are as follows.
Equipment used age SERIES 4000
Load cell used DS100 (for 100 kg)
Test speed 300 μm / s
Descent speed 300 μm / s
Test height 30 μm

得られた測定結果から、25℃でのダイシェア強度(DS25)の、はんだ粒子の融点でのダイシェア強度(DSmp)に対する比(DS25/DSmp)を算出した。ダイシェア強度を以下の基準で判定した。 From the obtained measurement results, the ratio (DS25 / DSmp) of the die shear strength (DS25) at 25 ° C. to the die shear strength (DSmp) at the melting point of the solder particles was calculated. The die share strength was judged according to the following criteria.

[ダイシェア強度の判定基準]
○:比(DS25/DSmp)が10以上1000以下
×:比(DS25/DSmp)が10未満であるか、又は、1000を超える
[Die share strength criteria]
◯: Ratio (DS25 / DSmp) is 10 or more and 1000 or less ×: Ratio (DS25 / DSmp) is less than 10 or exceeds 1000

(3)接続抵抗
得られた接続構造体において、上下の電極間の接続抵抗をそれぞれ、4端子法により測定した。接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。接続抵抗を以下の基準で判定した。
(3) Connection resistance In the obtained connection structure, the connection resistance between the upper and lower electrodes was measured by the 4-terminal method. The average value of the connection resistance was calculated. From the relationship of voltage = current x resistance, the connection resistance can be obtained by measuring the voltage when a constant current is passed. The connection resistance was judged according to the following criteria.

[接続抵抗の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が8.0Ω以下
○:接続抵抗の平均値が8.0Ωを超え、10.0Ω以下
△:接続抵抗の平均値が10.0Ωを超え、15.0Ω以下
×:接続抵抗の平均値が15.0Ωを超える
[Criteria for connection resistance]
○ ○: Average value of connection resistance is 8.0Ω or less ○: Average value of connection resistance is more than 8.0Ω and 10.0Ω or less △: Mean value of connection resistance is more than 10.0Ω and 15.0Ω or less × : Average value of connection resistance exceeds 15.0Ω

(4)剥離性
得られた接続構造体の接続部をはんだ粒子の融点で加熱し、第2の接続対象部材を第1の接続対象部材から剥離した。剥離後、第1の接続対象部材に剥がれが無いか否か、また、隣接する電極における熱硬化性成分の硬化物同士が接触しているか否かを目視で観察した。剥離性を以下の基準で判定した。
(4) Peelability The connection portion of the obtained connection structure was heated at the melting point of the solder particles, and the second connection target member was peeled from the first connection target member. After the peeling, it was visually observed whether or not the first member to be connected was peeled off, and whether or not the cured products of the thermosetting components in the adjacent electrodes were in contact with each other. The peelability was judged according to the following criteria.

[剥離性の判定基準]
○○:熱硬化性成分の硬化物同士が接触しておらず、第1の接続対象部材に剥がれが観察されない
○:熱硬化性成分の硬化物同士が接触しているが、第1の接続対象部材に剥がれが観察されない
×:熱硬化性成分の硬化物同士が接触しているか否かにかかわらず、第1の接続対象部材に剥がれが観察される
[Criteria for peelability]
○○: The cured products of the thermosetting component are not in contact with each other, and no peeling is observed in the first connection target member. ○: The cured products of the thermosetting component are in contact with each other, but the first connection No peeling is observed on the target member ×: Peeling is observed on the first connection target member regardless of whether or not the cured products of the thermosetting component are in contact with each other.

(5)再接続性
上記の(4)剥離性の評価後の第1の接続対象部材を用意した。用意した第1の接続対象部材を用いて、上述した「(2)接続構造体の作製」と同様にして、再度、接続構造体を作製した。さらに、再接続した接続構造体を用いて、上記の(3)接続抵抗と同様の評価を行った。再接続した接続構造体の接続抵抗から、再接続性を以下の基準で判定した。
(5) Reconnectivity The first connection target member after the evaluation of (4) detachability described above was prepared. Using the prepared first connection target member, the connection structure was produced again in the same manner as in "(2) Preparation of connection structure" described above. Further, the same evaluation as in (3) Connection resistance described above was performed using the reconnected connection structure. The reconnectivity was judged from the connection resistance of the reconnected connection structure according to the following criteria.

[再接続性の判定基準]
○:再接続前の接続構造体の接続抵抗に対して、再接続後の接続構造体の接続抵抗の上昇率が10%以下
×:再接続前の接続構造体の接続抵抗に対して、再接続後の接続構造体の接続抵抗の上昇率が10%を超える
[Criteria for reconnectivity]
◯: The rate of increase of the connection resistance of the connection structure after reconnection is 10% or less with respect to the connection resistance of the connection structure before reconnection. ×: Reconnection with respect to the connection resistance of the connection structure before reconnection. The rate of increase in connection resistance of the connection structure after connection exceeds 10%

結果を下記の表1,2に示す。 The results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure 2021028894
Figure 2021028894

Figure 2021028894
Figure 2021028894

1,1X…接続構造体
2…第1の接続対象部材
2a…第1の電極
3…第2の接続対象部材
3a…第2の電極
4,4X…接続部
4A,4XA…はんだ部
4B,4XB…硬化物部
11…導電材料
11A…はんだ粒子
11B…熱硬化性成分
11C…ギャップ材
1,1X ... Connection structure 2 ... First connection target member 2a ... First electrode 3 ... Second connection target member 3a ... Second electrode 4,4X ... Connection part 4A, 4XA ... Solder part 4B, 4XB ... Cured material 11 ... Conductive material 11A ... Solder particles 11B ... Thermosetting component 11C ... Gap material

Claims (9)

熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子と、ギャップ材とを含む導電材料であり、
前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記熱硬化性成分を硬化させた硬化物の軟化点が、前記はんだ粒子の融点以下であり、
前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の25℃でのダイシェア強度をダイシェア強度DS25とし、前記はんだ粒子の融点+20℃及び3分間の条件で前記導電材料を硬化させた硬化物に対する銅片の前記はんだ粒子の融点でのダイシェア強度をダイシェア強度DSmpとしたときに、前記ダイシェア強度DS25の前記ダイシェア強度DSmpに対する比が、10以上1000以下である、導電材料。
It is a conductive material containing a thermosetting component, a plurality of solder particles, and a gap material.
The softening point of the cured product obtained by curing the thermosetting component under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is equal to or lower than the melting point of the solder particles.
The die shear strength of the copper piece at 25 ° C. with respect to the cured product obtained by curing the conductive material under the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes is defined as the die shear strength DS25, and the conditions of the melting point of the solder particles + 20 ° C. and 3 minutes. When the die shear strength of the copper piece at the melting point of the solder particles with respect to the cured product obtained by curing the conductive material is the die shear strength DSmp, the ratio of the die shear strength DS25 to the die shear strength DSmp is 10 or more and 1000 or less. There is a conductive material.
前記熱硬化性成分が、熱硬化剤を含み、
前記熱硬化剤が、酸無水物硬化剤を含む、請求項1に記載の導電材料。
The thermosetting component contains a thermosetting agent and contains
The conductive material according to claim 1, wherein the thermosetting agent contains an acid anhydride curing agent.
前記はんだ粒子の融点が、120℃以上280℃以下である、請求項1又は2に記載の導電材料。 The conductive material according to claim 1 or 2, wherein the solder particles have a melting point of 120 ° C. or higher and 280 ° C. or lower. 前記はんだ粒子の平均粒子径が、2μm以上75μm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 3, wherein the average particle size of the solder particles is 2 μm or more and 75 μm or less. 前記導電材料100重量%中、前記はんだ粒子の含有量が、45重量%以上90重量%以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of the solder particles in 100% by weight of the conductive material is 45% by weight or more and 90% by weight or less. 前記導電材料100重量%中、前記ギャップ材の含有量が、0.01重量%以上5重量%以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 5, wherein the content of the gap material is 0.01% by weight or more and 5% by weight or less in 100% by weight of the conductive material. 導電ペーストである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 6, which is a conductive paste. 第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、
第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、
前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
前記接続部の材料が、請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電材料であり、
前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体。
A first connection target member having a first electrode on its surface,
A second connection target member having a second electrode on the surface,
A connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is provided.
The material of the connecting portion is the conductive material according to any one of claims 1 to 7.
A connection structure in which the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.
請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、前記導電材料を配置する工程と、
前記導電材料の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、
前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法。
A step of arranging the conductive material on the surface of a first connection target member having a first electrode on the surface using the conductive material according to any one of claims 1 to 7.
The first electrode and the second electrode face each other on a surface of the conductive material opposite to the first connection target member side, with the second connection target member having the second electrode on the surface. And the process of arranging
By heating the conductive material above the melting point of the solder particles, a connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is formed by the conductive material, and A method for manufacturing a connection structure, comprising a step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connection portion.
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