JP2021024081A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クロストークの影響を低減する。【解決手段】第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口と、前記共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なる液体吐出ヘッド。【選択図】図３

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

インク等の液体を複数のノズルから吐出する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、ノズルに連通する圧力室内の圧力を変動させることで当該ノズルから液体を吐出する構成が開示されている。

特開２０１３−１８４３７２号公報

近年の液体噴射ヘッドにおいてはノズルの高密度化の要求が非常に高い。しかし、多数のノズルを高密度に形成した場合、１つの圧力室内の圧力変動がその近傍の圧力室の圧力変動に影響する現象（以下「クロストーク」という）の発生が問題になる。クロストークが発生すると各ノズルの吐出特性に誤差が生じる。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口と、前記共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なる。

本発明の他の態様に係る液体吐出ヘッドは、第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記第１共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口と、前記第１共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なり、前記第２共通液室における前記第１個別流路との接続口である第３開口と、前記第２共通液室における前記第２個別流路との接続口である第４開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なる。

本発明の他の態様に係る液体吐出ヘッドは、第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口の方向と、前記共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口の方向とは、異なる。

本発明の他の態様に係る液体吐出ヘッドは、第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記第１共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口の方向と、前記第１共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口の方向とは、異なり、前記第２共通液室における前記第１個別流路との接続口である第３開口の方向と、前記第２共通液室における前記第２個別流路との接続口である第４開口の方向とは、異なる。なお、前述の各態様に係る液体吐出ヘッドを具備する液体吐出装置としても本発明は特定される。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を示すブロック図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 液体吐出ヘッドに形成される流路の模式図である。 第１個別流路の断面図である。 第２個別流路の断面図である。 第１共通液室における第１個別流路側の断面図である。 第１共通液室における第２個別流路側の断面図である。 第２共通液室における第１個別流路側の断面図である。 第２共通液室における第２個別流路側の断面図である。

Ａ．実施形態
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出装置１００を例示する構成図である。本実施形態の液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体吐出装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ軸の方向に搬送する。

移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出ヘッド２６をＸ軸の方向に往復させる。Ｘ軸は、媒体１２が搬送されるＹ軸に交差する。典型的にはＸ軸とＹ軸とは直交する。本実施形態の移動機構２４は、液体吐出ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体８２と、搬送体８２が固定された搬送ベルト８４とを具備する。なお、複数の液体吐出ヘッド２６を搬送体８２に搭載した構成や、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともに搬送体８２に搭載した構成も採用され得る。

液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルから媒体１２に吐出する。制御ユニット２０は、ノズルからインクを吐出させるための各種の信号および電圧を生成して液体吐出ヘッド２６に供給する。インクはＺ軸に沿って吐出される。Ｘ-Ｙ平面に垂直な軸がＺ軸である。すなわち、Ｘ軸とＹ軸とはＺ軸に直交する。Ｚ軸は「第１軸」の例示であり、Ｙ軸は「第２軸」の例示であり、Ｘ軸は「第３軸」の例示である。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体８２の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。

図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。図２に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、Ｙ軸の方向に配列された複数のノズルＮを具備する。本実施形態の複数のノズルＮは、Ｘ軸の方向に相互に間隔をあけて並設された第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とに区分される。第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々は、Ｙ軸の方向に直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。図２に例示される通り、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2との間で各ノズルＮのＹ軸における位置が相違する。具体的には、Ｘ軸の方向からみて、第１列Ｌ1において相互に隣り合う２個のノズルＮの間に第２列Ｌ2における１個のノズルＮが位置する。

図３は、図２におけるIII−III線の断面図であり、図４は、図２おけるIV−IV線の断面図である。図３は、第１列Ｌ1における１個のノズルＮに関連する要素の断面図であり、図４は、第２列Ｌ2における１個のノズルＮに関連する要素の断面図である。図３および図４から理解される通り、第１列Ｌ1のノズルＮに関連する要素と第２列Ｌ2の各ノズルＮに関連する要素とは、Ｙ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。

図２から図４に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、流路構造体３０を具備する。流路構造体３０は、各ノズルＮにインクを供給するための流路を構成する。図２に例示される通り、流路構造体３０におけるＺ軸の負方向には、振動板４２と保護基板４６と筐体部４８とが設置される。他方、流路基板３２におけるＺ軸の正方向には、ノズル板６２と第１吸振体６４と第２吸振体６５とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的にはＹ軸に沿う長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。

ノズル板６２は、複数のノズルＮが形成された板状部材であり、流路構造体３０におけるＺ軸の正方向の表面に設置される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。本実施形態のノズル板６２には、第１列Ｌ1を構成する複数のノズルＮと第２列Ｌ2を構成する複数のノズルＮとが形成される。例えばドライエッチングやウェットエッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで、ノズル板６２が製造される。ただし、ノズル板６２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２から図４に例示される通り、流路構造体３０は、流路基板３２と圧力室基板３４とを具備する。流路基板３２は流路構造体３０におけるＺ軸の正方向に位置し、圧力室基板３４は流路構造体３０におけるＺ軸の負方向に位置する。図２に例示される通り、流路基板３２には空間Ｋa1と空間Ｋa2とが形成される。空間Ｋa1および空間Ｋa2の各々は、Ｙ軸に沿う長尺状の開口である。空間Ｋa1は、流路基板３２におけるＸ軸の正方向に形成され、空間Ｋa2は、流路基板３２におけるＸ軸の負方向に形成される。

本実施形態の流路基板３２は、第１基板３２１と第２基板３２２との積層で構成される。第２基板３２２と圧力室基板３４との間に第１基板３２１が位置する。図３および図４に例示される通り、空間Ｋa1は、第１基板３２１と第２基板３２２とにわたり形成される。同様に、空間Ｋa2は、第１基板３２１と第２基板３２２とにわたり形成される。

筐体部４８は、インクを貯留するためのケースである。筐体部４８には、空間Ｋa1に対応する空間Ｋb1と、空間Ｋa2に対応する空間Ｋb2とが形成される。流路構造体３０の空間Ｋa1と筐体部４８の空間Ｋb1とは相互に連通し、流路構造体３０の空間Ｋa2と筐体部４８の空間Ｋb2とは相互に連通する。空間Ｋa1と空間Ｋb1とで構成される空間は、第１共通液室Ｋ1として機能し、空間Ｋa2と空間Ｋb2とで構成される空間は第２共通液室Ｋ2として機能する。第１共通液室Ｋ1と第２共通液室Ｋ2とは、複数のノズルＮにわたり共通に形成された空間であり、複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する。

筐体部４８には、導入口４８１と排出口４８２とが形成される。第１共通液室Ｋ1には導入口４８１を介してインクが供給される。第２共通液室Ｋ2内のインクは排出口４８２を介して排出される。図３および図４に例示される通り、第１吸振体６４は、第１共通液室Ｋ1の壁面の一部を構成する可撓性のフィルムである。第１吸振体６４のうち第１共通液室Ｋ1内のインクの圧力変動に応じて変形する部分（以下「第１変形部６４１」という）が、当該第１共通液室Ｋ1の壁面の一部を構成する。第１吸振体６４のうち流路基板３２の表面に固定されていない部分が第１変形部６４１であるとも換言できる。第１変形部６４１は、第１共通液室Ｋ1内の圧力変動に応じて変形することで、当該第１共通液室Ｋ1内のインクの圧力変動を吸収する。以上の説明から理解される通り、第１共通液室Ｋ1は第１変形部６４１を有する。

第２吸振体６５は、第２共通液室Ｋ2の壁面の一部を構成する可撓性のフィルムである。第２吸振体６５のうち第２共通液室Ｋ2内のインクの圧力変動に応じて変形する部分（以下「第２変形部６５１」という）が、当該第２共通液室Ｋ2の壁面の一部を構成する。第２吸振体６５のうち流路基板３２の表面に固定されていない部分が第２変形部６５１であるとも換言できる。第２変形部６５１は、第２共通液室Ｋ2内の圧力変動に応じて変形することで、当該第２共通液室Ｋ2内のインクの圧力変動を吸収する。以上の説明から理解される通り、第２共通液室Ｋ2は第２変形部６５１を有する。

図５は、液体吐出ヘッド２６に形成される流路の模式図である。図５に例示される通り、流路構造体３０にはノズルＮ毎に個別流路Ｑが形成される。すなわち、複数のノズルＮについて複数の個別流路Ｑがそれぞれ設けられる。図３および図４に例示される通り、ノズル板６２において個別流路Ｑの壁面を構成する部分にノズルＮが形成される。すなわち、個別流路Ｑから分岐するようにノズルＮが形成される。第１共通液室Ｋ1と第２共通液室Ｋ2とは、個別流路Ｑを介して相互に連通する。具体的には、第１共通液室Ｋ1の空間Ｋa1と第２共通液室Ｋ2の空間Ｋa2とが連通するように個別流路Ｑが形成される。個別流路Ｑは、第１共通液室Ｋ1の内壁面から第２共通液室Ｋ2の内壁面にかけて形成される流路である。第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路ＱとはＹ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。

図５に例示される通り、複数の個別流路Ｑは、Ｙ軸に沿って相互に並設される。すなわち、複数の個別流路Ｑを含む個別流路列が形成される。具体的には、第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路Ｑとは、Ｙ軸の方向に交互に配列される。以上の説明から理解される通り、複数の個別流路Ｑは、第１供給液室Ｋ1および第２共通液室Ｋ2の各々に連通する。第１共通液室Ｋ1から個別流路Ｑに供給されるインクのうちノズルＮから吐出されないインクが第２共通液室Ｋ2に貯留される。

図５に例示される通り、液体吐出装置１００は循環機構９０を具備する。循環機構９０は、液体吐出ヘッド２６から排出されるインクを当該液体吐出ヘッド２６に環流させる機構である。循環機構９０は、液体吐出ヘッド２６に供給されるインクを循環させる機構であり、例えば供給流路９１と排出流路９２と循環ポンプ９３とを具備する。

供給流路９１は、第１共通液室Ｋ1にインクを供給するための流路であり、第１共通液室Ｋ1の導入口４８１に接続される。排出流路９２は、第２共通液室Ｋ2からインクを排出するための流路であり、第２共通液室Ｋ2の排出口４８２に接続される。循環ポンプ９３は、排出流路９２から供給されるインクを供給流路９１に送出する圧送機構である。すなわち、第２共通液室Ｋ2から排出されたインクが排出流路９２と循環ポンプ９３と供給流路９１とを経由して第１共通液室Ｋ1に環流される。以上の説明から理解される通り、循環機構９０は、第２共通液室Ｋ2からインクを回収し、回収後のインクを第１共通液室Ｋ1に還流させる要素として機能する。なお、循環機構９０が、第１共通液室Ｋ1からインクを回収し、第２共通液室Ｋ2に還流させる構成も採用される。

図５に例示される通り、個別流路Ｑは、圧力室Ｃを含む。図２に例示される通り、圧力室Ｃは圧力室基板３４に形成される。圧力室基板３４は、複数のノズルＮについて複数の圧力室Ｃがそれぞれ設けられた板状部材である。各圧力室Ｃは、平面視でＸ軸に沿う長尺状の空間である。図２および図３に例示される通り、第１列Ｌ1の各ノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃは、圧力室基板３４におけるＸ軸の正方向の部分において、Ｙ軸の方向に沿って配列される。図４に例示される通り、第２列Ｌ2の各ノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃは、圧力室基板３４におけるＸ軸の負方向の部分において、Ｙ軸の方向に沿って配列される。各圧力室Ｃは、平面視においてノズルＮに重なる。

流路基板３２および圧力室基板３４は、前述のノズル板６２と同様に、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、流路基板３２および圧力室基板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２に例示される通り、圧力室基板３４において流路基板３２とは反対側の表面には振動板４２が形成される。本実施形態の振動板４２は、弾性的に振動可能な板状部材である。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、振動板４２の一部または全部を圧力室基板３４と一体に形成してもよい。圧力室Ｃは、流路基板３２と振動板４２との間に位置する空間である。

図２から図４に例示される通り、振動板４２において圧力室Ｃとは反対側の面上には、ノズルＮ毎にエネルギー発生部４４が形成される。複数のノズルＮについて複数のエネルギー発生部４４がそれぞれ設けられる。各エネルギー発生部４４は、インクを吐出するためのエネルギーを発生する。具体的には、エネルギー発生部４４は、圧力室Ｃ内の圧力を変動させることで、インクをノズルＮから吐出させる駆動素子である。本実施形態では、振動板４２を変形させることで当該圧力室Ｃの容積を変化させる圧電素子がエネルギー発生部４４として利用される。すなわち、エネルギー発生部４４は、インクを吐出するための圧力を発生する。具体的には、エネルギー発生部４４は、駆動信号の供給により変形するアクチュエーターであり、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成される。複数のエネルギー発生部４４は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸の方向に配列する。エネルギー発生部４４の変形に連動して振動板４２が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクがノズルＮを通過して吐出される。

図２の保護基板４６は、複数のエネルギー発生部４４を保護するとともに振動板４２の機械的な強度を補強する板状部材である。振動板４２を挟んで圧力室基板３４とは反対側に保護基板４６が設置される。保護基板４６と振動板４２との間に複数のエネルギー発生部４４が設置される。保護基板４６は、例えばシリコン（Ｓi）で形成される。図３および図４に例示される通り、振動板４２の表面には、例えば配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御ユニット２０または電源回路と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。配線基板５０に実装される駆動回路５２は、駆動信号を各エネルギー発生部４４に供給する。

以下の説明では、Ｙ軸の方向に相互に隣り合う２つの個別流路Ｑのうち一方を「第１個別流路Ｑ1」と表記し、他方を「第２個別流路Ｑ2」と表記する。図６は、第１個別流路Ｑ1の断面図であり、図７は、第２個別流路Ｑ2の断面図である。図３に例示される個別流路Ｑの拡大図が図６であり、図４に例示される個別流路Ｑの拡大図が図７である。

第１個別流路Ｑ1は、第１列Ｌ1における任意の１個のノズルＮ（以下「第１ノズルＮ1」という）に対応する個別流路Ｑであり、第２個別流路Ｑ2は、第２列Ｌ2における任意の１個のノズルＮ（以下「第２ノズルＮ2」という）に対応する個別流路Ｑである。第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2とは、ノズル板６２に形成される複数のノズルＮのうち、Ｘ軸の方向からみて相互に隣り合う２個のノズルＮである。また、複数の圧力室Ｃのうち第１個別流路Ｑ1に対応する圧力室Ｃを「第１圧力室Ｃ1」と表記し、複数の圧力室Ｃのうち第２個別流路Ｑ2に対応する圧力室Ｃを「第２圧力室Ｃ2」と表記する。第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とは、Ｘ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。なお、第１個別流路Ｑ1の流路抵抗Ｒと第２個別流路Ｑ2の流路抵抗Ｒとは略等しい。

図６に例示される通り、第１共通液室Ｋ1の壁面には、第１個別流路Ｑ1との接続口である第１開口Ｏ1が形成される。第１共通液室Ｋ1と第１個別流路Ｑ1との境界面が第１開口Ｏ1であるとも換言できる。他方、第２共通液室Ｋ2の壁面には、第１個別流路Ｑ1との接続口である第３開口Ｏ3が形成される。第２共通液室Ｋ2と第１個別流路Ｑ1との境界面が第３開口Ｏ3であるとも換言できる。以上の説明から理解される通り、第１開口Ｏ1から第３開口Ｏ3までに至る流路が第１個別流路Ｑ1である。

また、図７に例示される通り、第１共通液室Ｋ1の壁面には、第２個別流路Ｑ2との接続口である第２開口Ｏ2が形成される。第１共通液室Ｋ1と第２個別流路Ｑ2との境界面が第２開口Ｏ2であるとも換言できる。第２共通液室Ｋ2の壁面には、第２個別流路Ｑ2との接続口である第４開口Ｏ4が形成される。第２共通液室Ｋ2と第２個別流路Ｑ2との境界面が第４開口Ｏ4であるとも換言できる。以上の説明から理解される通り、第２開口Ｏ2から第４開口Ｏ4までに至る流路が第２個別流路Ｑ2である。

図６に例示される通り、第１個別流路Ｑ1は、第１連通流路Ｑ11と第２連通流路Ｑ12とを含む。第１連通流路Ｑ11は、第１共通液室Ｋ1と第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第１連通流路Ｑ11は、空間Ｋa1の壁面に形成された第１開口Ｏ1から、第１ノズルＮ1におけるＺ軸の負方向の開口に至るまでの流路である。本実施形態の第１連通流路Ｑ11は、第１流路１１１と圧力室Ｃと第２流路１１２とを含む。第１流路１１１は、空間Ｋa1と第１圧力室Ｃ1とを連通する。具体的には、第１流路１１１は、第１基板３２１においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第１圧力室Ｃ1は、第１流路１１１と第２流路１１２とを連通する。上述した通り、第１圧力室Ｃ1は、圧力室基板３４に形成されるＸ軸に沿った長尺状の空間である。第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４は、振動板４２のうち第１圧力室Ｃ1とは反対側の表面に設置される。第１個別流路Ｑ1の途中に第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４が設けられる、とも換言できる。なお、第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４は「第１エネルギー発生部」の例示である。第２流路１１２は、圧力室Ｃと第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第２流路１１２は、第１基板３２１および第２基板３２２にわたりＺ軸に沿って形成される貫通孔である。

第１圧力室Ｃ1は、第１流路１１１を介して第１共通液室Ｋ1に連通し、第２流路１１２を介して第１ノズルＮ1に連通する。したがって、第１共通液室Ｋ1から第１流路１１１を介して第１圧力室Ｃ1に充填されたインクは、当該第１圧力室Ｃ1に対応するエネルギー発生部４４の変形により、第２流路１１２を通過して第１ノズルＮ1から吐出される。

第２連通流路Ｑ12は、第２共通液室Ｋ2と第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第２連通流路Ｑ12は、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面から、空間Ｋa2の側面に形成された第３開口Ｏ3に至るまでの流路である。本実施形態の第２連通流路Ｑ12は、第３流路１２１と第４流路１２２と第５流路１２３とを含む。第３流路１２１は、第１ノズルＮ1と第４流路１２２とを連通する。具体的には、第３流路１２１は、第２基板３２２におけるＺ軸の正方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第４流路１２２は、第３流路１２１と第５流路１２３とを連通する。具体的には、第４流路１２２は、第２基板３２２においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第５流路１２３は、第４流路１２２と第２共通液室Ｋ2とを連通する。具体的には、第５流路１２３は、第２基板３２２におけるＺ軸の負方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第１共通液室Ｋ1から第１個別流路Ｑ1に供給されたインクのうち第１ノズルＮ1から吐出されないインクが、第２共通液室Ｋ2に貯留される。

図７に例示される通り、第２個別流路Ｑ2は、第３連通流路Ｑ23と第４連通流路Ｑ24とを含む。第３連通流路Ｑ23は第１連通流路Ｑ11に対応し、第４連通流路Ｑ24は第２連通流路Ｑ12に対応する。第１連通流路Ｑ11と第４連通流路Ｑ24とは、Ｘ軸の正方向においてＹ軸に沿って交互に位置する。第２連通流路Ｑ12と第３連通流路Ｑ23とは、Ｘ軸の負方向においてＹ軸に沿って交互に位置する。

第４連通流路Ｑ24は、第１共通液室Ｋ1と第２ノズルＮ2とを連通する。具体的には、第４連通流路Ｑ24は、空間Ｋa1の側面に形成された第２開口Ｏ2から、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面に至るまでの流路である。本実施形態の第４連通流路Ｑ24は、第６流路２４１と第７流路２４２と第８流路２４３とを含む。第６流路２４１は、第１共通液室Ｋ1と第７流路２４２とを連結する。具体的には、第６流路２４１は、第２基板３２２におけるＺ軸の負方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第７流路２４２は、第６流路２４１と第８流路２４３とを連結する。具体的には、第７流路２４２は、第２基板３２２においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第８流路２４３は、第７流路２４２と第２ノズルＮ2とを連通する。具体的には、第８流路２４３は、第２基板３２２におけるＺ軸の正方向の表面にＸ軸に沿って形成される。

第３連通流路Ｑ23は、第２共通液室Ｋ2と第２ノズルＮ2とを連通する流路である。具体的には、第３連通流路Ｑ23は、第２ノズルＮ2のうちＺ軸の負方向における開口から、空間Ｋa2の上面に形成された第４開口Ｏ4に至るまでの流路である。本実施形態の第３連通流路Ｑ23は、第９流路２３１と第２圧力室Ｃ2と第１０流路２３２とを含む。第９流路２３１は、第２ノズルＮ2と第２圧力室Ｃ2とを連結する。具体的には、第９流路２３１は、第１基板３２１および第２基板３２２にわたりＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第２圧力室Ｃ2は、第９流路２３１と第１０流路２３２とを連通する。上述した通り、第２圧力室Ｃ2は、圧力室基板３４に形成されるＸ軸に沿った長尺状の空間である。第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４は、振動板４２のうち第２圧力室Ｃ2とは反対側の表面に設置される。第２個別流路Ｑ2の途中に第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４が設けられる、とも換言できる。なお、第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４は「第２エネルギー発生部」の例示である。第１０流路２３２は、第２圧力室Ｃ2と空間Ｋa2とを連通する。具体的には、第１０流路２３２は、第１基板３２１においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。

第１共通液室Ｋ1から第４連通流路Ｑ24および第９流路２３１を介して第２圧力室Ｃ2にインクが充填される。第２圧力室Ｃ2内のインクは、エネルギー発生部４４の変形により、第９流路２３１を介して第２ノズルＮ2から吐出される。第１共通液室Ｋ1から第２個別流路Ｑ2に供給されたインクのうち第２ノズルＮ2から吐出されないインクが、第２共通液室Ｋ2に貯留される。

以下、第１開口Ｏ1、第２開口Ｏ2、第３開口Ｏ3および第４開口Ｏ4について詳述する。図８は、第１共通液室Ｋ1における第１個別流路Ｑ1側の断面図であり、図９は、第１共通液室Ｋ1における第２個別流路Ｑ2側の断面図である。また、図１０は、第２共通液室Ｋ2における第１個別流路Ｑ1側の断面図であり、図１１は、第２共通液室Ｋ2における第２個別流路Ｑ2側の断面図である。

図８および図９に例示される通り、第１共通液室Ｋ1は、第１面Ｆ1と第２面Ｆ2と第３面Ｆ3と第４面Ｆ4とを有する。第１面Ｆ1と第２面Ｆ2と第３面Ｆ3と第４面Ｆ4とは、第１共通液室Ｋ1の壁面を構成する。第１面Ｆ1は、空間Ｋa1の底面である。空間Ｋa1の壁面のうちＺ軸の正方向においてＹ軸の沿った部分が第１面Ｆ1であるとも換言できる。具体的には、第１面Ｆ1は、全体にわたり第１変形部６４１により構成される。なお、第１面Ｆ1の少なくとも一部が第１変形部６４１により構成されればよい。例えば、第１変形部６４１と流路基板３２とで第１面Ｆ1を構成してもよい。第２面Ｆ2は、空間Ｋa1の上面である。空間Ｋa1の壁面のうちＺ軸の負方向においてＹ軸に沿った部分が第２面Ｆ2であるとも換言できる。すなわち、第１面Ｆ1と第２面Ｆ2とは相互に対向する。具体的には、第２面Ｆ2は、流路基板３２により構成される。

第３面Ｆ3および第４面Ｆ4は、空間Ｋa1の側面の一部である。すなわち、第３面Ｆ3および第４面Ｆ4は、第１面Ｆ1および第２面Ｆ2に対して交差する面である。本実施形態では、第３面Ｆ3および第４面Ｆ4が第１面Ｆ1および第２面Ｆ2に対して直交する。具体的には、第３面Ｆ3は、空間Ｋa1の側面のうちＸ軸の負方向においてＹ軸に沿った部分である。他方、第４面Ｆ4は、空間Ｋa1の側面のうちＸ軸の正方向においてＹ軸に沿った部分である。すなわち、第３面Ｆ3と第４面Ｆ4とは相互に対向する。第３面Ｆ3と第４面Ｆ4とは、流路基板３２により構成される。

図８に例示される通り、第１開口Ｏ1は、第２面Ｆ2に設けられる。すなわち、第１開口Ｏ1は、第１変形部６４１に対向する。Ｘ-Ｙ平面に平行な開口が第１開口Ｏ1である。図９に例示される通り、第２開口Ｏ2は、第３面Ｆ3に設けられる。すなわち、第２開口Ｏ2は、第４面Ｆ4に対向する。Ｙ-Ｚ平面に平行な開口が第２開口Ｏ2である。以上の説明から理解される通り、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とは平行でない。

図８および図９に例示される通り、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とはＺ軸の方向における位置が異なる。第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とは高さが異なるとも換言できる。第１開口Ｏ1のＺ軸の方向における位置とは、例えば第１開口Ｏ1の重心ｐ1におけるＺ軸の方向の位置である。第２開口Ｏ2のＺ軸の方向における位置とは、例えば第２開口Ｏ2の重心ｐ2におけるＺ軸の方向の位置である。具体的には、第１開口Ｏ1が第２開口Ｏ2よりもＺ軸の負方向に位置する。第１開口Ｏ1が第２開口Ｏ2よりも圧力室基板３４に近い位置にあるとも換言できる。すなわち、第１開口Ｏ1が第２開口Ｏ2よりも高い位置にある。

第１開口Ｏ1と第１変形部６４１との距離Ｄ1は、第２開口Ｏ2と第２変形部６５１との距離Ｄ2とは異なる。距離Ｄ1は、例えば、第１開口Ｏ1の重心ｐ1から、第１変形部６４１におけるＺ軸の負方向の表面までの最短距離である。距離Ｄ2は、例えば、第２開口Ｏ2の重心ｐ2から、第１変形部６４１におけるＺ軸の負方向の表面までの最短距離である。具体的には、距離Ｄ1は距離Ｄ2よりも大きい。すなわち、第１開口Ｏ1は、第２開口Ｏ2よりも第１変形部６４１から離れた位置にある。

また、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とは異なる。第１開口Ｏ1の方向Ｐ1とは、当該第１開口Ｏ1の法線の方向である。第１流路１１１の中心軸の方向が第１開口Ｏ1の方向Ｐ1であるとも換言できる。同様に、第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とは、当該第２開口Ｏ2の法線の方向である。第６流路２４１の中心軸の方向が第２開口Ｏ2の方向Ｐ2であるとも換言できる。具体的には、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1はＺ軸に沿った方向であり、第２開口Ｏ2の方向Ｐ2はＸ軸に沿った方向である。すなわち、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とがなす角度は９０度である。

図１０および図１１に例示される通り、第２共通液室Ｋ2は、第５面Ｆ5と第６面Ｆ6と第７面Ｆ7と第８面Ｆ8とを有する。第５面Ｆ5と第６面Ｆ6と第７面Ｆ7と第８面Ｆ8は、第２共通液室Ｋ2の壁面を構成する。第５面Ｆ5は、空間Ｋa1の底面である。空間Ｋb1の壁面のうちＺ軸の正方向における部分が第５面Ｆ5であるとも換言できる。具体的には、第５面Ｆ5は、全体にわたり第２変形部６５１により構成される。なお、第５面Ｆ5の少なくとも一部が第２変形部６５１により構成されればよい。例えば、第２変形部６５１と流路基板３２とで第５面Ｆ5を構成してもよい。第６面Ｆ6は、空間Ｋb1の上面である。空間Ｋb1の壁面のうちＺ軸の負方向における部分が第６面Ｆ6であるとも換言できる。具体的には、第６面Ｆ6は、流路基板３２により構成される。第５面Ｆ5と第６面Ｆ6とは相互に対向する。

第７面Ｆ7および第８面Ｆ8は、空間Ｋb1の側面の一部である。すなわち、第７面Ｆ7および第８面Ｆ8は、第５面Ｆ5および第６面Ｆ6に対して交差する面である。本実施形態では、第７面Ｆ7および第８面Ｆ8が第５面Ｆ5および第６面Ｆ6に対して直交する。具体的には、第７面Ｆ7は、空間Ｋb1の側面のうちＸ軸の正方向においてＹ軸に沿った部分である。他方、第８面Ｆ8は、第７面Ｆ7は、空間Ｋb1の側面のうちＸ軸の負方向においてＹ軸に沿った部分である。すなわち、第７面Ｆ7と第８面Ｆ8とは相互に対向する。第７面Ｆ7と第８面Ｆ8とは、流路基板３２により構成される。

図１０に例示される通り、第３開口Ｏ3は、第７面Ｆ7に設けられる。すなわち、第３開口Ｏ3は、第８面Ｆ8に対向する。Ｙ-Ｚ平面に平行な開口が第３開口Ｏ3である。図１１に例示される通り、第４開口Ｏ4は、第６面Ｆ6に設けられる。すなわち、第４開口Ｏ4は、第２変形部６５１に対向する。Ｘ-Ｙ平面に平行な開口が第４開口Ｏ4である。以上の説明から理解される通り、第３開口Ｏ3と第４開口Ｏ4とは平行でない。

図８および図９に例示される通り、第３開口Ｏ3と第４開口Ｏ4とはＺ軸の方向における位置が異なる。第３開口Ｏ3と第４開口Ｏ4とは高さが異なるとも換言できる。第３開口Ｏ3のＺ軸の方向における位置とは、例えば第３開口Ｏ3の重心ｐ3におけるＺ軸の方向の位置である。第４開口Ｏ4のＺ軸の方向における位置とは、例えば第４開口Ｏ4の重心ｐ4におけるＺ軸の方向の位置である。具体的には、第４開口Ｏ4が第３開口Ｏ3よりもＺ軸の負方向に位置する。第４開口Ｏ4が第３開口Ｏ3よりも圧力室基板３４に近い位置にあるとも換言できる。すなわち、第４開口Ｏ4が第３開口Ｏ3よりも高い位置にある。

第３開口Ｏ3と第２変形部６５１との距離Ｄ3と、第４開口Ｏ4と第２変形部６５１との距離Ｄ4とは異なる。距離Ｄ4は、例えば、第４開口Ｏ4の重心ｐ4から、第２変形部６５１におけるＺ軸の負方向の表面までの最短距離である。距離Ｄ3は、例えば、第３開口Ｏ3の重心ｐ3から、第２変形部６５１におけるＺ軸の負方向の表面までの最短距離である。具体的には、距離Ｄ4は距離Ｄ3よりも大きい。すなわち、第４開口Ｏ4は、第３開口Ｏ3よりも第２変形部６５１から離れた位置にある。

また、第３開口Ｏ3の方向Ｐ3と第４開口Ｏ4の方向Ｐ4とは異なる。第３開口Ｏ3の方向Ｐ3とは、当該第３開口Ｏ3の法線の方向である。第５流路１２３の中心軸の方向が第３開口Ｏ3の方向Ｐ3であるとも換言できる。同様に、第４開口Ｏ4の方向Ｐ4とは、当該第４開口Ｏ4の法線の方向である。第１０流路２３２の中心軸の方向が第４開口Ｏ4の方向Ｐ4であるとも換言できる。具体的には、第３開口Ｏ3の方向Ｐ3はＸ軸に沿った方向であり、第４開口Ｏ4の方向Ｐ4はＺ軸に沿った方向である。すなわち、第３開口Ｏ3の方向Ｐ3と第４開口Ｏ4の方向Ｐ4とがなす角度は９０度である。

上述した通り、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とは反転させた関係にある。したがって、図８および図１１に例示される通り、第１開口Ｏ1と第４開口Ｏ4とは、Ｚ軸の方向における位置が同じである。また、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第４開口Ｏ4の方向Ｐ4とは同じである。すなわち、第１開口Ｏ1と第４開口Ｏ4とは平行である。また、図９および図１０に例示される通り、第２開口Ｏ2と第３開口Ｏ3とは、Ｚ軸の方向における位置が同じである。また、第２開口Ｏ2と第３開口Ｏ3とが平行である。具体的には、第２開口Ｏ2の方向Ｐ2と第３開口Ｏ3の方向Ｐ3とは逆向きである。

ここで、近接する個別流路Ｑ間におけるクロストークについて説明を行う。クロストークには、流路を構成する構造体を通じて機械的に生じるものと、流路内の液体を通じて流体的に生じるものがある。後者のクロストークは、近接する個別流路Ｑどうしが流体的に接続する箇所である共通液室Ｋ（Ｋ1，Ｋ2）内の液体の挙動が大きく影響する。例えば各開口Ｏ（Ｏ1，Ｏ2，Ｏ3，Ｏ4）付近で生じる流束どうしの距離が近いほど、また向きがそろっているほど、相互の流束に及ぼす影響が大きくなり、クロストークは大きくなる。また、各開口Ｏを通じて共通液室Ｋ内に伝搬する圧力変動の吸収および減衰が小さいほど、クロストークは大きくなる。

以上の説明から理解される通り、本実施形態では、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とはＺ軸の方向における位置が異なるから、例えば、第１開口Ｏ1部と第２開口Ｏ2部とでＺ軸の方向における位置が同じ構成と比較して、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2との距離を大きくすることができる。すなわち、第１開口Ｏ1の付近で生じる流束と第２開口Ｏ2の付近で生じる流束との距離が大きくなる。その結果、第１開口Ｏ1の付近で生じる流束と第２開口Ｏ2の付近で生じる流束とが相互に影響しにくい。したがって、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2との間のクロストークを低減できる。ひいては、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々における吐出特性の誤差を低減できる。吐出特性は、例えば吐出速度、吐出方向および吐出量である。以上の説明から理解される通り、複数の個別流路Ｑを高密度に配置した場合でも、相互に隣り合う個別流路Ｑの間におけるクロストークを抑制できるという利点がある。

第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とが異なる本実施形態の構成によれば、第１開口Ｏ1の付近で生じる流束と第２開口Ｏ2の付近で生じる流束との向きが相違する。すなわち、第１開口Ｏ1の付近で生じる流束と第２開口Ｏ2の付近で生じる流束とが相互に影響しにくい。したがって、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とが同じ構成と比較して、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2との間のクロストークを低減できる。ひいては、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々における吐出特性の誤差を低減できる。本実施形態では特に、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とがなす角度が９０度であるから、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2との間のクロストークを低減できる、という効果が顕著である。

第１開口Ｏ1は第２開口Ｏ2よりもエネルギー発生部４４に近い位置にあるから、当該エネルギー発生部４４による圧力変動が第１開口Ｏ1を介して第１共通液室Ｋ1に伝播しやすい。本実施形態では、距離Ｄ1が距離Ｄ2よりも大きいから、第１開口Ｏ1から第１変形部６４１に向けて伝播する圧力変動が減衰しやすい。したがって、クロストークを低減できるという効果が顕著である。第１開口Ｏ1が第２面Ｆ2に設けられ、第２開口Ｏ2が第３面Ｆ3に設けられるから、例えば第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とが同じ面に設けられる構成と比較して、クロストークを低減できるという効果が顕著である。また、第１開口Ｏ1が第１変形部６４１に対向する構成によれば、第１開口Ｏ1を介して伝播する圧力変動を第１変形部６４１が吸収しやすいという利点がある。同様に、第４開口Ｏ4が第２変形部６５１に対向するから、第４開口Ｏ4を介して伝播する圧力変動を第２変形部６５１が吸収しやすい。

例えば、第３開口Ｏ3におけるＺ軸の方向の位置が第１開口Ｏ1と同じであり、第４開口Ｏ4におけるＺ軸の方向の位置が第２開口Ｏ2と同じである構成では、第１個別流路Ｑ1の流路長と第２個別流路Ｑ2の流路長とが相違し、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々において吐出特性の誤差が発生する。それに対して、第１開口Ｏ1と第４開口Ｏ4とがＺ軸の方向における位置が同じであり、第２開口Ｏ2と第３開口Ｏ3とがＺ軸の方向における位置が同じである本実施形態の構成によれば、第１個別流路Ｑ1の流路長と第２個別流路Ｑ2の流路長とが近づくから、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々における吐出特性の誤差を低減できる。

また、例えば、第３開口Ｏ3の方向Ｐ3が第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と平行であり、第４開口Ｏ4の方向Ｐ4が第２開口Ｏ2の方向Ｐ2と平行である構成では、第１個別流路Ｑ1の流路長と第２個別流路Ｑ2の流路長とが相違し、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々において吐出特性の誤差が発生する。それに対して、本実施形態では、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第４開口Ｏ4の方向Ｐ4とが平行であり、第２開口Ｏ2の方向Ｐ2と第３開口Ｏ3の方向Ｐ3とが平行であるから、第１個別流路Ｑ1の流路長と第２個別流路Ｑ2の流路長とが近づく。したがって、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々における吐出特性の誤差を低減できる。なお、第３開口Ｏ3と第４開口Ｏ4との関係における各構成は、以上に例示した第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2との関係における各構成の効果と同様の効果が実現できる。

Ｂ．変形例
以上に例示した形態は多様に変形され得る。前述の形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）個別流路Ｑの形状は、前述の形態で例示した構成に限定されない。例えば、第１連通流路Ｑ11が、第１流路１１１と第１圧力室Ｃ1と第２流路１１２とに加えて他の流路を含んでもよい。第２連通流路Ｑ12、第３連通流路Ｑ23および第４連通流路Ｑ24についても同様である。また、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とで形状を相違させてもよいし、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とが同じ形状でもよい。すなわち、第１開口Ｏ1と第４開口Ｏ4との間においてＺ軸の方向における位置が相違する構成、または、第２開口Ｏ2と第３開口Ｏ3との間においてＺ軸の方向における位置が相違する構成も採用される。

（２）前述の形態では、第１基板３２１と第２基板３２２との積層で流路基板３２を構成したが、流路基板３２の構成は以上の例示に限定されない。例えば、単層で流路基板３２を構成してもよいし、３層以上の積層で流路基板３２を構成してもよい。

（３）前述の形態では、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とでＺ軸の方向における位置が異なる構成と、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とが異なる構成との双方を採用した液体吐出ヘッド２６を例示したが、何れか一方の構成のみを採用してもよい。第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とでＺ軸の方向における位置が異なる構成、および、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2とが異なる構成の何れか一方のみを採用しても、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2との間におけるクロストークを低減するという効果は実現できる。

（４）前述の形態では、第１共通液室Ｋ1の第２面Ｆ2に第１開口Ｏ1を形成し、第３面Ｆ3に第２開口Ｏ2を形成したが、第１開口Ｏ1と第２開口Ｏ2とが形成される位置は任意である。例えば、第１開口Ｏ1が第３面Ｆ3に形成され、第２開口Ｏ2が第２面Ｆ2に形成されてもよい。すなわち、第１開口Ｏ1および第２開口Ｏ2の一方が第１変形部６４１に対向すればよい。同様に、第３開口Ｏ3および第４開口Ｏ4の一方が第２変形部６５１に対向すればよい。

また、第１開口Ｏ1および第２開口Ｏ2が同じ面に形成されてもよい。例えば、第１開口Ｏ1および第２開口Ｏ2の双方が第２面Ｆ2に形成される構成、または、第１開口Ｏ1および第２開口Ｏ2の双方が第２面Ｆ2に形成される構成も採用される。同様に、第３開口Ｏ3および第４開口Ｏ4が同じ面に形成されてもよい。

（５）前述の形態において、第１吸振体６４と第２吸振体６５とは省略され得る。すなわち、第１共通液室Ｋ1の壁面の一部を第１変形部６４１が構成し、第２共通液室Ｋ2の壁面の一部を第２変形部６５１が構成することは必須ではない。

（６）前述の形態において、液体吐出装置１００が循環機構９０を具備する構成を例示したが、液体吐出装置１００が循環機構９０を具備することは必須でない。すなわち、第１列Ｌ1または第２列Ｌ2の何れか一方が省略される。例えば第２列Ｌ2が省略される場合は、当該第２列Ｌ2に関する各種の要素も省略される。例えば、第２共通液室Ｋ2が省略される。すなわち、第３開口Ｏ3および第４開口Ｏ4も省略される。

（７）前述の形態では、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2がなす角度が９０度である構成を例示したが、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2がなす角度は任意である。クロストークを低減するという観点からは、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2がなす角度は４５度以上が好適である。なお、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2がなす角度が９０度に近づくほど、クロストークを低減するという効果が顕著である。ただし、第１開口Ｏ1の方向Ｐ1と第２開口Ｏ2の方向Ｐ2がなす角度は４５度を下回る構成も採用される。同様に、第３開口Ｏ3の方向Ｐ3と第４開口Ｏ4の方向Ｐ4がなす角度も任意である。

（８）圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生部４４は、圧電素子に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子をエネルギー発生部４４として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、エネルギー発生部４４は、圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから吐出させる要素として包括的に表現され、圧電方式および熱方式等の動作方式や具体的な構成の如何は不問である。すなわち、液体を吐出するためのエネルギーには、熱と圧力との双方が包含される。

（９）前述の形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載した搬送体８２を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明を適用することが可能である。

（１０）前述の形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を吐出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

１００…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、８２…搬送体、８４…搬送ベルト、２６…液体吐出ヘッド、３０…流路構造体、３２…流路基板、３２１…第１基板、３２２…第２基板、３４…圧力室基板、４２…振動板、４４…エネルギー発生部、４６…保護基板、４８…筐体部、４８１,４８２…導入口、５０…配線基板、５２…駆動回路、６２…ノズル板、６４…第１吸振体、６５…第２吸振体、６４１…第１変形部、６５１…第２変形部、９０…循環機構、９１…供給流路、９２…排出流路、９３…循環ポンプ、Ｃ…圧力室、Ｃ1…第１圧力室、Ｃ2…第２圧力室、Ｌ1…第１列、Ｌ2…第２列、Ｎ…ノズル、Ｎ1…第１ノズル、Ｎ2…第２ノズル、Ｋ1…第１共通液室、Ｋ2…第２共通液室、Ｑ…個別流路、Ｑ1…第１個別流路、Ｑ11…第１連通流路、Ｑ12…第２連通流路、Ｑ2…第２個別流路、Ｑ23…第３連通流路、Ｑ24…第４連通流路、１１１…第１流路、１１２…第２流路、１２１…第３流路、１２２…第４流路、１２３…第５流路、２４１…第６流路、２４２…第７流路、２４３…第８流路、２３１…第９流路、２３２…第１０流路、Ｏ1…第１開口、Ｏ2…第２開口、Ｏ3…第３開口、Ｏ4…第４開口、Ｆ1…第１面、Ｆ2…第２面、Ｆ3…第３面、Ｆ4…第４面、Ｆ5…第５面、Ｆ6…第６面、Ｆ7…第７面、Ｆ8…第８面。

Claims (11)

1. 第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、
   を具備する液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、
   前記共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口と、前記共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なる
   液体吐出ヘッド。
2. 前記共通液室は、内部の液体の圧力変動に応じて変形する変形部を有し、
   前記第１開口と前記変形部との距離は、前記第２開口と前記変形部との距離とは異なる
   請求項１の液体吐出ヘッド。
3. 前記共通液室は、相互に対向する第１面および第２面と、第３面とを有し、
   前記第１面の少なくとも一部は、前記共通液室内の液体の圧力変動に応じて変形する変形部により構成され、
   前記第２面には、前記第１開口が設けられ、
   前記第３面には、前記第２開口が設けられる
   請求項１の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１開口の方向と前記第２開口の方向とは異なる
   請求項１から請求項３の何れかの液体吐出ヘッド。
5. 第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、
   を具備する液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、
   前記第１共通液室における前記第１個別流路との接続口である第１開口と、前記第１共通液室における前記第２個別流路との接続口である第２開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なり、
   前記第２共通液室における前記第１個別流路との接続口である第３開口と、前記第２共通液室における前記第２個別流路との接続口である第４開口とは、前記第１軸の方向における位置が異なる
   液体吐出ヘッド。
6. 前記第１開口と前記第４開口とは、前記第１軸の方向における位置が同じであり、
   前記第２開口と前記第３開口とは、前記第１軸の方向における位置が同じである
   請求項５の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１共通液室は、内部の液体の圧力変動に応じて変形する第１変形部を有し、
   前記第２共通液室は、内部の液体の圧力変動に応じて変形する第２変形部を有し、
   前記第１開口と前記第１変形部との距離は、前記第２開口と前記第１変形部との距離とは異なり、
   前記第３開口と前記第２変形部との距離は、前記第４開口と前記第２変形部との距離とは異なる
   請求項５または請求項６の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１個別流路においては、前記第１共通液室と前記複数のノズルのうちの第１ノズルとを連通させる第１連通流路の途中に、液体を吐出するためのエネルギーを発生する第１エネルギー発生部が設けられ、
   前記第２個別流路においては、前記第２共通液室と前記複数のノズルのうちの第２ノズルとを連通させる第２連通流路の途中に、液体を吐出するためのエネルギーを発生する第２エネルギー発生部が設けられ、
   前記第１開口と前記第１変形部との距離は、前記第２開口と前記第１変形部との距離よりも大きく、
   前記第４開口と前記第２変形部との距離は、前記第３開口と前記第２変形部との距離よりも大きい
   請求項７の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１開口は、前記第１変形部に対向し、
   前記第４開口は、前記第２変形部に対向する
   請求項８の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１開口の方向と第２開口の方向とは異なり、
    前記第３開口の方向と第４開口の方向とは異なる
    請求項５から請求項９の何れかの液体吐出ヘッド。
11. 請求項５から請求項１０の何れかの液体吐出ヘッドと、
    前記第１共通液室および前記第２共通液室の一方から液体を回収し、他方に還流させる循環機構と
    を具備する液体吐出装置。

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