JP2021018086A - 光学系設計情報管理システム - Google Patents
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Abstract
Description
検査対象物を撮像して撮像信号を出力するカメラであって、検査対象物に対する撮像位置を含む撮像条件を変更可能なカメラと、
光を発して検査対象物を照明する照明装置であって、検査対象物に対する照明位置を含む照明条件を変更可能な照明装置と、
検査対象物の表面の状態を前記撮像信号から判断した判断結果と、撮像条件と、照明条件とを関連付けて記憶するメモリと、を備える設計情報提案装置と、
関連付けられた判断結果と、撮像条件と、照明条件とのデータを、ネットワークを介して送受信可能であり、
ネットワークを介して接続された端末機器に前記データを送信可能なサーバと、を備えることである。
検査装置の設計情報提案装置(以下、設計装置と称することもある)は、主に、検査対象物に欠陥が存在するか否かの検査に用いる検査装置を製造するために用いる装置である。実際に検査装置を製造する前にこれを用いることにより、事前に検査対象物にあわせた最適な検査装置を製造することができる。検査装置の設計装置は、複数の照明装置から最適なものを選択し、さらに、検査装置として最適な照明装置の位置、角度、カメラの向き、距離、検査対象物の位置(検査対象物を載置するテーブルの位置)やテーブルの移動速度等を設計することができる。
本実施の形態の設計装置は、ロボットと、検査台とを主に有している。ロボットは、照明装置を把持し、位置や角度の調整並びに照明装置の変更等を行う。検査台は、カメラ、テーブル、拡散板等を備え、テーブル上の検査対象物の欠陥を最適に発見できるように、カメラの位置や角度、テーブルの高さや移動速度等を変更できる。
第1の実施の態様の光学系設計情報管理システムは、
検査対象物を撮像して撮像信号を出力するカメラであって、検査対象物に対する撮像位置を含む撮像条件を変更可能なカメラと、
光を発して検査対象物を照明する照明装置であって、検査対象物に対する照明位置を含む照明条件を変更可能な照明装置と、
検査対象物の表面の状態を前記撮像信号から判断した判断結果と、撮像条件と、照明条件とを関連付けて記憶するメモリと、を備える設計情報提案装置と、
関連付けられた判断結果と、撮像条件と、照明条件とのデータを、ネットワークを介して送受信可能であり、
ネットワークを介して接続された端末機器に前記データを送信可能なサーバと、を備える光学系設計情報管理システムである。
以下、図面を参照しながら、本発明の本実施の形態(以下、本実施形態と称する)について説明する。本明細書及び図面においては、同一の符号が付された構成要素は、実質的に同一の構造または機能を有するものとする。
図1及び図2を参照しながら、本実施形態に係る検査装置の設計装置について説明する。本実施形態に係る検査装置の設計装置は、ロボット100と、検査台600とを主に有する。
<<ロボット100>>
次に、図3乃至図5を用いてロボット100の構成について説明する。ロボット100は、基台101と、ベース110と、第1アーム120と、第2アーム130と、第3アーム140と、ハンド150とを主に有する。ロボット100は、6軸ロボットであり、さらにハンド150を有する。なお、ロボット100は下方から、基台101⇒ベース110⇒第1アーム120⇒第2アーム130⇒第3アーム140⇒ハンド150の順に取り付けられ、基台101側を後端側(近端側)、ハンド150側を前端側(遠端側)ということがある。例えば、ベース110の前端側は、第1アーム120の後端側と取り付けられる等のように用いることがある。
基台101は、床や設計装置の台の一定の位置に設置される。基台101の上部に、ベース110の下部が取り付けられる。
ベース110は、基台101の上部に取り付けられる。ベース110は、ベース回転部111を有する。ベース回転部111は、ベース回転軸ax1回りに回転する、つまり、図中に示すa1方向(ベース回転方向a1)の正逆可能に回転する。なお、ベース回転部111がa1方向に回転する場合であっても、ベース110は回転しない。
第1アーム120は、ベース110に取り付けられる。第1アーム120は、第1アーム揺動部121を有する。第1アーム揺動部121は、第1アーム揺動軸ax2を中心にして揺動(360度以下の角度で正逆回転)する、つまり、図中に示すa2方向(第1アーム揺動方向a2)に揺動する。第1アーム揺動部121がa2方向に揺動することで、第1アーム120がa2方向に揺動する。
第2アーム130は、第1アーム120に取り付けられる。第2アーム130は、第2アーム揺動部131と、第2アーム回転部132と、第2アーム本体部135とを有する。第2アーム揺動部131は、第2アーム揺動軸ax3を中心にして揺動(360度以下の角度で正逆回転)する、つまり、図中に示すa3方向(第2アーム揺動方向a3)に揺動する。第2アーム揺動部131がa3方向に揺動することで、第2アーム130がa3方向に揺動する。第2アーム回転部132は、第2アーム回転軸ax4回りに回転する、つまり、図中に示すa4方向(第2アーム回転方向a4)の正逆可能に回転する。第2アーム回転部132がa4方向に回転することで、第2アーム本体部135がa4方向に回転する。なお、第2アーム回転部132がa4方向に回転する場合であっても、第2アーム揺動部131は回転しない。
第3アーム140は、第2アーム130の第2アーム本体部135の一端側に取り付けられる。第3アーム140は、第3アーム揺動部141と、第3アーム回転部142とを有する。第3アーム揺動部141は、第3アーム揺動軸ax5を中心にして揺動(360度以下の角度で正逆回転)する、つまり、図中に示すa5方向(第3アーム揺動方向a5)に揺動する。第3アーム揺動部141がa5方向に揺動することで、第3アーム140がa5方向に揺動する。第3アーム回転部142は、第3アーム回転軸ax6回りに回転する、つまり、図中に示すa6方向(第3アーム回転方向a6)の正逆可能に回転する。なお、第3アーム回転部142がa6方向に回転する場合であっても、第3アーム揺動部141は回転しない。
ハンド150は、第3アーム140の第3アーム回転部142に取り付けられる。ハンド150の詳細は後述する(必要であれば図5参照)が、第1把持部151と、第2把持部152と、固定部153とを主に有する。第1把持部151及び第2把持部152は、固定部153に備えられるエアシリンダ等(図示せず)によりa7方向に移動する。第1把持部151及び第2把持部152により、照明装置200を把持する。
ロボット100は、基本的に、第3アーム回転部142の端部が、所望する位置及び所望する向きとなるように駆動する。これにより、ハンド150で把持された照明装置200が所望する位置及び所望する向きとなり、所望する距離や角度で検査対象物660を照明することができる。
次に、図6及び図7を用いて検査台600の構成について説明する。検査台600は、検査対象物660を載置して、検査対象物660の欠陥を撮像するための装置である。検査台600は、テーブル400の位置、カメラ300の位置、角度、検査対象物660との距離、第1拡散板510又は第2拡散板520の有無、位置等を変更可能に構成されている。第1拡散板510や第2拡散板520は、微小な凹凸が表面に形成され、透過する光を拡散させる(ディフューザレンズ)。凹凸の大きさや形状によって拡散の度合いを決めることができる。
検査台ベース610は、検査台600の基礎となる部分であり、床や設計装置の台の所定の位置に設置される。検査台ベース610には、テーブルXステージ620、カメラ直動ステージ652、支持部630、第2拡散板Xステージ640、第3収納部920等が主に取り付けられる。
テーブルXステージ620は、検査台ベース610に取り付けられる。テーブルXステージ620は、テーブル400をX軸方向(図中のXT方向)に移動させるためのステージである。テーブルXステージ620には、テーブルZステージ621が取り付けられる。テーブルXステージ620に備えられたモータ等が駆動することにより、テーブルZステージ621はXT方向に移動する、すなわち、+X方向及び−X方向に往復移動することができる。
テーブルZステージ621は、テーブル400を図中のZT方向(+Z方向にも−Z方向にも)に移動させるためのステージである。テーブルZステージ621には、テーブル400が取り付けられる。テーブルZステージ621に備えられたモータ等が駆動することにより、テーブル400はZT方向に移動する。すなわち、+Z方向及び−Z方向に往復移動することができる。
テーブル400は、検査対象物660を載置するための台である。テーブル400には、開口部410が形成されている。開口部410は、照明装置200から発せられた光を通過させる。検査対象物660を透過光によって検査するときには、開口部410に検査対象物660を載置するとともに、照明装置200をテーブル400の下方に位置づけて、照明装置200から発せられた光を開口部410を介して検査対象物660に照射する。また、検査対象物660を反射光によって検査するときには、開口部410に検査対象物660を載置するとともに、照明装置200をテーブル400の上方に位置づけて、照明装置200から発せられた光を検査対象物660に照射する。なお、検査対象物660を照明装置200にてテーブル400より上方から照明する場合には開口部410にガラス板等を載せてもよい。検査対象物660を照明装置200にてテーブル400より下方から照明する場合には、開口部410にガラス板等を載せない方が好ましい。
カメラ直動ステージ652は、検査台ベース610に取り付けられる。カメラ直動ステージ652には、カメラθステージ650、カメラθガイド651及びカメラ支持部653が取り付けられる。カメラ直動ステージ652は、カメラ300とテーブル400の検査対象物660との距離を調整するためのステージであり、図6では、LC方向に移動する。なお、後述するように、カメラ直動ステージ652は、カメラθステージ650によって回転可能であり、LC方向は、半径方向となる。カメラ直動ステージ652に備えられたモータ等が駆動することにより、後述するカメラ支持部653がLC方向に移動し、カメラ300の位置がLC方向に移動する。このように、カメラ300を検査対象物660に近づけたり遠ざけたりして位置を調整することができる。
カメラθステージ650は、カメラ直動ステージ652の傾き、言い換えると、カメラ300の傾きを調整するためのステージである。カメラθステージ650に備えられたモータ等が駆動することにより、カメラ直動ステージ652は、カメラθガイド651に沿って移動するため、図6中のθC方向に移動する。つまり、カメラ300の傾きもθC方向に移動する。なお、θ=0のときは、鉛直方向となる。
カメラ支持部653は、カメラ300を一定の位置に保持する。前述した通り、カメラ支持部653は、カメラ直動ステージ652に取り付けられる。カメラ直動ステージ652に備えられたモータ等が駆動することにより、カメラ支持部653がLC方向に移動し、カメラ300の位置がLC方向に移動する。
カメラ300は、ラインセンサカメラである。カメラ300は、カメラ支持部653に取り付けられる。カメラ300は、例えば、CCDイメージングセンサ素子やCMOSイメージング素子などの撮像素子を有する。カメラ300は、撮像素子によって、検査対象物660の表面や欠陥を撮影して、撮像信号を出力する。
支持部630は、長尺の形状を有し、鉛直方向に延びるように検査台ベース610に取り付けられる。支持部630には、第1拡散板Xステージ631が取り付けられる。
第1拡散板Xステージ631は、支持部630に取り付けられる。第1拡散板Xステージ631には、第1拡散板Zステージ632が取り付けられる。第1拡散板Xステージ631は、第1拡散板Zステージ632を図中のXD1方向に移動させるためのステージである。すなわち、+X方向及び−X方向に往復移動することができる。第1拡散板Xステージ631に備えられたモータ等が駆動することにより、第1拡散板Zステージ632はXD1方向に移動する。
第1拡散板Zステージ632は、第1拡散板Xステージ631に取り付けられる。第1拡散板Zステージ632には、第1拡散板支持部633が取り付けられる。第1拡散板Zステージ632は、第1拡散板支持部633を図中のZD1方向に移動させるためのステージである。すなわち、+Z方向及び−Z方向に往復移動することができる。第1拡散板Zステージ632に備えられたモータ等が駆動することにより、第1拡散板支持部633はZD1方向に移動する。
第1拡散板支持部633は、第1拡散板Zステージ632に取り付けられる。第1拡散板支持部633は、第1拡散板把持部634を有している。第1拡散板把持部634は、2本の把持板にて上下から第1拡散板510を挟んで把持することが可能である。2本の把持板は、ソレノイド等の駆動により第1拡散板510を把持することができる。さらに、圧縮空気で図示しない第1拡散板進退シリンダ507が作動することにより、第1拡散板支持部633は、第1拡散板510を進出位置と退避位置に変更可能となっている。また、圧縮空気で第1拡散板把持シリンダ509が作動することにより、第1拡散板把持部634は、第1拡散板510を把持することが可能に構成されている。
第1拡散板510は、第1拡散板把持部634によって把持され、必要に応じてテーブル400の上方に配置される。テーブルの上方から照明装置200が検査対象物660を照明した際に、照明装置200から出射された光が第1拡散板510にて拡散し、拡散した光が検査対象物660に照射される。なお、第1拡散板510は、図示しない第1拡散板角度モータ505により、角度φを変更可能となっている。
第2拡散板Xステージ640は、検査台ベース610に取り付けられる。第2拡散板Xステージ640には、第2拡散板Zステージ641が取り付けられる。第2拡散板Xステージ640は、第2拡散板Zステージ641を図中のXD2方向に移動させるためのステージである。すなわち、+X方向及び−X方向に往復移動することができる。第2拡散板Xステージ640に備えられたモータ等が駆動することにより、第2拡散板Zステージ641はXD2方向に移動する。
第2拡散板Zステージ641は、第2拡散板Xステージ640に取り付けられる。第2拡散板Zステージ641には、第2拡散板支持部642が取り付けられる。第2拡散板Zステージ641は、第2拡散板支持部642を図中のZD2方向に移動させるためのステージである。すなわち、+Z方向及び−Z方向に往復移動することができる。第2拡散板Zステージ641に備えられたモータ等が駆動することにより、第2拡散板支持部642はZD2方向に移動する。
第2拡散板支持部642は、第2拡散板Zステージ641に取り付けられる。第2拡散板支持部642は、第2拡散板把持部643を有している。第2拡散板把持部643は、2本の把持板にて上下から第2拡散板520を挟んで把持することが可能である。さらに、圧縮空気で図示しない第2拡散板進退シリンダ517が作動することにより、第2拡散板支持部642は、第2拡散板520を進出位置と退避位置に変更可能となっている。また、圧縮空気で第2拡散板把持シリンダ519が作動することにより、第2拡散板把持部643は、第2拡散板520を把持することが可能に構成されている。
第2拡散板520は、第2拡散板把持部643によって把持され、必要に応じてテーブル400の下方に配置される。テーブルの下方から照明装置200が検査対象物660を照明した際に、照明装置200から出射された光が第2拡散板520にて拡散し、拡散した光が検査対象物660に照射される。なお、第2拡散板520は、図示しない第2拡散板角度モータ515により、角度φ2を変更可能となっている。
第3収納部920は、検査台ベース610に取り付けられる。第3収納部920は、複数の第1拡散板510(本例では2枚)を収納する。拡散の度合いが互いに異なる複数の拡散板を収納することができる。
第4収納部930は、検査台ベース610に取り付けられる。第4収納部930は、複数の第2拡散板520(本例では2枚)を収納する。拡散の度合いが互いに異なる複数の拡散板を収納することができる。
次に、図3乃至図5を用いてロボット100の機能について補足説明する。
ベース110のベース回転部111がa1方向に回転することで、ベース110よりも遠端側の部材(第1アーム120以遠の第2アーム130、第3アーム140、ハンド150)が一体としてa1方向に回転する。
第1アーム120の第1アーム揺動部121がa2方向に揺動することで、第1アーム120がa2方向に揺動し、これに伴い第1アーム120よりも遠端側の部材(第2アーム130以遠の第3アーム140、ハンド150)が一体としてa2方向に揺動する。
第2アーム130の第2アーム揺動部131がa3方向に揺動することで、第2アーム130がa3方向に揺動し、これに伴い第2アーム130よりも遠端側の部材(第3アーム140以遠のハンド150)が一体としてa3方向に揺動する。
第2アーム130の第2アーム回転部132がa4方向に回転することで、第2アーム本体部135がa4方向に回転し、これに伴い第2アーム130よりも遠端側の部材(第3アーム140以遠のハンド150)が一体としてa4方向に回転する。
第3アーム140の第3アーム揺動部141がa5方向に揺動することで、第3アーム140がa5方向に揺動し、これに伴い第3アーム140よりも遠端側の部材(ハンド150)が一体としてa5方向に揺動する。
第3アーム140の第3アーム回転部142がa6方向に回転することで、ハンド150がa6方向に回転する。
次に、図8(A)を用いて照明装置200の位置及び角度の変更について説明する。図8(A)は、欠陥を検査するときにおける照明装置200とカメラ300とテーブル400と検査対象物660との配置を示す正面図である。前述した通り、照明装置200は、ロボット100の第1把持部151及び第2把持部152により把持されている。照明装置200から照明光Iをテーブル400の上に載せられた検査対象物660へ照射している。
次に、図8(B)を用いて第1拡散板510の位置及び角度の変更について説明する。図8(B)は、欠陥を検査するときにおける照明装置200とカメラ300とテーブル400と第1拡散板510と検査対象物660との配置を示す正面図である。照明装置200は、ロボット100の第1把持部151及び第2把持部152により把持されている。照明装置200から照明光Iをテーブル400の上に載置された検査対象物660へ照射している。図8(B)では、照明装置200と検査対象物660との間に第1拡散板510が設けられている。第1拡散板510は、第1拡散板Xステージ631及び第1拡散板Zステージ632により、図8(B)中に示す検査対象物660との距離方向に移動可能となっている。さらに、第1拡散板510は、第1拡散板角度モータ505により、角度φを変更可能となっている。
次に、図9を用いて、設計装置のシステム構成について説明する。
次に、図10を用いて、ロボット100のシステム構成について説明する。前述した通り、ロボットコントローラ740は、ロボット100の各揺動部及び各回転部の駆動源に駆動信号を送信する。ハンドシリンダコントローラ747は、I/O端子台800と接続されており、CPU710は、I/O端子台800を介してハンド把持シリンダ190へ駆動信号を送信する。
次に、図11を用いて、検査台600側のシステム構成について説明する。前述した通り、モーションコントローラ760は、モーション端子台770を介して検査台600側の各ステージ等の駆動源(モータ等)に駆動信号を送信する。
次に、図12及び図13は、検査装置を設計するための検査設計処理のフローチャートである。なお、検査装置を設計するための手順を順番に説明するため、検査者(当該設計装置を操作する者)が行う処理と設計装置が行う処理との双方が含まれることを補足しておく。説明を省略したが、電源投入時には初期化処理が行われ、検査設計処理の時点では、以前の検査に関するデータ等が残っておらず、新たな検査に関する設定を入力可能な状態となっている。
次に、図14は、図12におけるステップ1400の準備処理のフローチャートである。なお、本実施の形態では、この準備処理は、検査者の動作を示す処理も含むが、自動化することによって、プログラムの処理とすることができる。初めに、ステップ1402で、検査者は、検査対象物660をテーブル400にセットする。
(1)検査する照明装置200の種類
(2)カメラ角度の検査範囲
(3)カメラ角度調整処理で変化させるカメラ300の角度
(4)照明角度の検査範囲
(5)照明角度調整処理で変化させる照明装置200の角度
(6)照明距離の検査範囲
(7)照明距離調整処理で変化させる照明装置200の移動量
(8)照明X位置の検査範囲
(9)照明X位置調整処理で変化させる照明装置200の移動量
(10)拡散板500の有無及び種類
(11)拡散板調整処理で変化させる拡散板500の移動量
等である。ステップ1412の処理が完了すると、呼び出し元に復帰する。
次に、図15乃至図17は、図12におけるステップ1500の照明切替処理のフローチャートである。初めに、ステップ1501で、CPU710は、ステップ1412で第1板状ライトガイド221が選択されているか否かを判定する。ステップ1501でYESの場合、ステップ1502で、CPU710は、第1板状ライトガイド221で検査済みであるか否かを判定する。ステップ1502でNOの場合、ステップ1508で、CPU710は、ロボット100を制御して、ハンド150に第1板状ライトガイド221をセットして照明の開始位置へ移動させ、呼び出し元に復帰する。
次に、図18は、図12におけるステップ1800のカメラ角度調整処理のフローチャートである。初めに、ステップ1802で、CPU710は、測定条件におけるカメラ角度の開始角度で検査済みであるか否かを判定する。
次に、図19は、図12におけるステップ1900の照明角度調整処理のフローチャートである。初めに、ステップ1902で、CPU710は、測定条件における照明角度の開始角度で検査済みであるか否かを判定する。
次に、図20は、図12におけるステップ2000の照明距離調整処理のフローチャートである。初めに、ステップ2002で、CPU710は、測定条件における照明距離の開始位置で検査済みであるか否かを判定する。
次に、図21は、図12におけるステップ2100の照明X位置調整処理のフローチャートである。初めに、ステップ2102で、CPU710は、測定条件における照明X位置の開始位置で検査済みであるか否かを判定する。
次に、図22は、図12におけるステップ2200の拡散板調整処理のフローチャートである。初めに、ステップ2202で、CPU710は、ステップ1412で第1拡散板510が測定条件として設定されているか否かを判定する。ステップ2202でYESの場合、ステップ2204で、CPU710は、第1拡散板510で検査済みであるか否かを判定する。
次に、図23は、図12におけるステップ2300の画像取得処理のフローチャートである。初めに、ステップ2302で、CPU710により、カメラコントローラ750からカメラ300に制御信号が送信され、カメラ300は、受信した制御信号に基づいて画像取得を開始する。例えば、カメラ300は、テーブル400が移動開始位置(初期位置)から10mm移動後に撮像を開始する。なお、カメラ300が撮像した画像は、カメラコントローラ750内のRAM等に保存される。
次に、図24は、図13におけるステップ2400の画像評価処理のフローチャートである。画像評価処理は、撮像した画像の評価を行う処理である。まず、ステップ2500で、CPU710は、後述するS/N比評価処理を実行する。次に、ステップ2600で、CPU710は、後述する波高値評価処理を実行する。次に、ステップ2700で、CPU710は、後述する地合ばらつき評価処理を実行する。次に、ステップ2402で、CPU710は、各評価処理(走査周期評価処理、S/N比評価処理、波高値評価処理、地合ばらつき評価処理)の評価結果を合計する。ステップ2402の処理が終了すると、呼び出し元に復帰する。
次に、図25は、図24におけるステップ2500のS/N比評価処理のフローチャートである。まず、ステップ2502で、CPU710は、S/N比(波高値/地合ばらつき)の算出を行う。波高値は、地合平均値と欠陥の最大輝度との差/地合平均値と欠陥の最小輝度との差である。地合ばらつきは、地合部分の最大輝度と最小輝度の差である。
次に、図26は、図24におけるステップ2600の波高値評価処理のフローチャートである。まず、ステップ2602で、CPU710は、波高値/閾値(波高値/2値化閾値)比の算出を行う。閾値として、画像を2値化する(例:白と黒にする)ための閾値である2値化閾値を用いる。
次に、図27は、図24におけるステップ2700の地合ばらつき評価処理のフローチャートである。まず、ステップ2702で、CPU710は、閾値/地合ばらつき(2値化閾値/地合ばらつき)比の算出を行う。
次に、図28は、図14におけるステップ2800の走査周期評価処理のフローチャートである。走査周期とは、カメラ300が所定の範囲を1回撮像するためにかかる時間である。つまり、カメラ300は、複数回の撮像を繰り返して1つの画像を作成する。なお、カメラ300の分解能が固定であれば、走査周期(言い換えると、テーブル400の移動速度)を遅くすると、カメラ300の素子が取り込む光の量が多くなり、画像は明るくなる。
次に、図29(A)は、ハンド150の上面図のイメージ図である。図29(A)は、ハンド150にライン照明210を把持させる際のイメージ図である。前述したとおり、第3アーム140では、第3アーム揺動部141の前端側と第3アーム回転部142の後端側が取り付けられている。
次に、図29(B)は、ハンド150の側面図のイメージ図である。図29(B)は、ハンド150にライン照明210を把持させる際のイメージ図である。図29(A)で説明した部分については省略し、図29(B)では、図29(A)にて簡単に説明したアダプター155の構成について補足説明する。
次に、図30(A)は、ハンド150の上面図のイメージ図である。図30(A)は、ハンド150に板状ライトガイド220を把持させる際のイメージ図である。図29(A)との相違点は、板状ライトガイド220を把持することであり、板状ライトガイド220は、ライン照明210より短手方向の長さが短くなっている。なお、板状ライトガイド220には、ライトガイド凹部223が設けられている。
<<<ハンド150の側面図(板状ライトガイド220)>>>
次に、図30(B)は、ハンド150の平面図2のイメージ図である。図30(B)は、ハンド150に板状ライトガイド220を把持させる際のイメージ図である。図30(B)では、液体ライトガイド157を通すことができる板状ライトガイドアダプター180について説明する。
次に、図31(A)は、拡散板510を用いず、テーブル400の上方から照明装置200にて検査対象物660を照明する場合のイメージ図である。
次に、図34(A)及び(B)は、図13のステップ1210の結果出力処理で出力される出力画面の一例である。第1モニタ8310には、主に検査結果のデータが表示され、第2モニタ8311には、主に欠陥を示す画像が表示される。
本実施形態では、ステップ2400の画像評価処理及びステップ2800の走査周期評価処理における得点を、全て100点を最高値として示したが、得点の重み付けを行うようにしてもよい。例えば、S/N比評価処理の結果が重要である場合には、S/N比評価処理の最高得点を1.5倍の150点とすることもできる。なお、本実施形態で示した得点はあくまで例示であり、適宜変更可能である。
次に、図35は、本実施形態で示した設計装置が、外部のデータサーバと接続されている場合を示すシステム構成図である。図9との主たる相違点は、PC700に通信部840が設けられている点、ネットワーク1000が追加されている点、データサーバ1100が追加されている点、PC1200が追加されている点である。
200 照明装置
300 カメラ
400 テーブル
510 第1拡散板
520 第2拡散板
600 検査台
900 第1収納部
910 第2収納部
920 第3収納部
930 第4収納部
Claims (1)
- 検査対象物を撮像して撮像信号を出力するカメラであって、検査対象物に対する撮像位置を含む撮像条件を変更可能なカメラと、
光を発して検査対象物を照明する照明装置であって、検査対象物に対する照明位置を含む照明条件を変更可能な照明装置と、
検査対象物の表面の状態を前記撮像信号から判断した判断結果と、撮像条件と、照明条件とを関連付けて記憶するメモリと、を備える設計情報提案装置と、
関連付けられた判断結果と、撮像条件と、照明条件とのデータを、ネットワークを介して送受信可能であり、
ネットワークを介して接続された端末機器に前記データを送信可能なサーバと、を備える光学系設計情報管理システム。
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