JP2021005785A - 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 - Google Patents
表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021005785A JP2021005785A JP2019118379A JP2019118379A JP2021005785A JP 2021005785 A JP2021005785 A JP 2021005785A JP 2019118379 A JP2019118379 A JP 2019118379A JP 2019118379 A JP2019118379 A JP 2019118379A JP 2021005785 A JP2021005785 A JP 2021005785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- single crystal
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 255
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 95
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 19
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 18
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000560 X-ray reflectometry Methods 0.000 description 2
- -1 alkoxide silane Chemical compound 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/058—Holders; Supports for surface acoustic wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
介在層として、酸窒化ケイ素膜、SiN、アモルファスSi、多結晶Si、アモルファスSiC、Al2O3、ZrOを含むとよい。
はじめに、圧電単結晶基板2および支持基板3のそれぞれについて、貼り合わせ前の処理を行う。まず圧電単結晶基板2および支持基板3を用意し(図2のS01およびS11)、その表面を粗面化して凹凸構造を形成する(図2のS02およびS12)。続いて、凹凸構造の上に、無機材料の介在層4を堆積させた後(図2のS03およびS13)、表面を研磨して鏡面化する(図2のS04およびS14)。
実施例1では、算術平均粗さRaが1500nm±30%、凹凸構造の断面曲線における要素の平均長さRSmが3μm±10%、最大高さRzが2.0μm±10%、である凹凸構造を有する46°YカットのLT基板を準備した。ここで、LT基板の凹凸構造は、遊離砥粒を用いて研磨することによって形成した。
実施例2では、算術平均粗さRaが1500nm±30%、凹凸構造の断面曲線における要素の平均長さRSmが3μm±10%、最大高さRzが2.0μm±10%、である凹凸構造を有する46°YカットのLT基板を準備した。ここで、LT基板の凹凸構造は、遊離砥粒を用いて研磨することによって形成した。
2 圧電単結晶基板
3 支持基板
4 介在層
Claims (16)
- 圧電単結晶基板と支持基板とを含んで構成される表面弾性波デバイス用複合基板であって、
前記圧電単結晶基板と支持基板との間には介在層が存在しており、
前記介在層内の化学吸着水の量が1×1020分子/cm3以下である
ことを特徴とする表面弾性波デバイス用複合基板。 - 前記圧電単結晶基板と前記支持基板との接合界面部において、少なくとも前記圧電単結晶基板と前記支持基板の何れか一方は凹凸構造を有しており、
前記凹凸構造の断面曲線における要素の平均長さRSmと表面弾性波デバイスとして使用する際の表面弾性波の波長λとの比が0.2以上7.0以下であることを特徴とする請求項1に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。 - 前記介在層の遅い横波の音速は圧電基板の遅い横波の音速より速いことを特徴とする請求項1または2に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記介在層として、SiOx(x=2±0.5)を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記介在層として、酸窒化ケイ素膜、SiN、アモルファスSi、多結晶Si、アモルファスSiC、Al2O3、ZrOを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記介在層の厚みは表面弾性波の波長をλとしたとき、0.2波長以上、1波長以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記圧電単結晶基板の厚みは表面弾性波の波長をλとしたとき1波長以上、6波長以下であることを特徴とする請求項6に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記支持基板は、シリコン、ガラス、石英、アルミナ、サファイア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、水晶の何れかであることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記支持基板は、凹凸構造を有するシリコン基板であり、
該凹凸構造は、ピラミッド形状であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。 - 前記圧電単結晶基板は、タンタル酸リチウム単結晶基板又はニオブ酸リチウム単結晶基板であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記圧電単結晶基板は、結晶方位が回転36°Y〜49°Yまたは回転216°Y〜229°Yである回転Yカットタンタル酸リチウム単結晶基板であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記圧電単結晶基板は、Feが25ppm〜150ppmの濃度でドープされているタンタル酸リチウム単結晶基板であることを特徴とする請求項9に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 前記圧電単結晶基板は、タンタル酸リチウム単結晶基板であって、前記タンタル酸リチウム単結晶基板の母材である、タンタル酸リチウム単結晶のテール側のX軸の格子定数が23℃で5.15404Å〜5.15410Åであることを特徴とする請求項1から8、11、および12のいずれか1項に記載の表面弾性波デバイス用複合基板。
- 圧電単結晶基板及び/又は支持基板の表面に凹凸構造を設ける工程と、
前記凹凸構造の上に介在層を設ける工程とを少なくとも含み、
前記圧電単結晶基板上に設けられた前記介在層と前記支持基板とを接合する工程、前記支持基板上に設けられた前記介在層と前記圧電単結晶基板とを接合する工程、および前記圧電単結晶基板上に設けられた前記介在層と前記支持基板上に設けられた前記介在層とを接合する工程の何れかの接合する工程を含み、
前記介在層内の化学吸着水の量が1×1020分子/cm3以下であることを特徴とする表面弾性波デバイス用複合基板の製造方法。 - 前記介在層の表面を鏡面化する工程を含むことを特徴とする請求項14に記載の表面弾性波デバイス用複合基板の製造方法。
- 前記介在層を400℃以下で熱処理することを特徴とする請求項14に記載の表面弾性波デバイス用複合基板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019118379A JP7163249B2 (ja) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 |
CN202010561198.6A CN112152587A (zh) | 2019-06-26 | 2020-06-18 | 用于表面声波器件的复合基板及其制造方法 |
US16/909,042 US20200412326A1 (en) | 2019-06-26 | 2020-06-23 | Composite substrate for surface acoustic wave device and manufacturing method thereof |
US18/225,401 US20230370043A1 (en) | 2019-06-26 | 2023-07-24 | Composite substrate for surface acoustic wave device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019118379A JP7163249B2 (ja) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021005785A true JP2021005785A (ja) | 2021-01-14 |
JP7163249B2 JP7163249B2 (ja) | 2022-10-31 |
Family
ID=73891920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019118379A Active JP7163249B2 (ja) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20200412326A1 (ja) |
JP (1) | JP7163249B2 (ja) |
CN (1) | CN112152587A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022168796A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022168797A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023234286A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | 株式会社 東芝 | セラミックス回路基板およびそれを用いた半導体装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117118387A (zh) * | 2023-08-16 | 2023-11-24 | 武汉敏声新技术有限公司 | 谐振器及其制备方法、外延膜转移方法和滤波器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61128619A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | タンタル酸リチウム単結晶ウエ−ハ |
JPH0730354A (ja) * | 1993-07-14 | 1995-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合単結晶圧電基板の製造方法 |
JPH08157298A (ja) * | 1994-12-01 | 1996-06-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合酸化物単結晶の製造方法 |
WO2012086639A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP2017200101A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 信越化学工業株式会社 | 複合ウェーハの製造方法 |
JP2018014606A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 信越化学工業株式会社 | 弾性表面波デバイス用複合基板の製造方法 |
JP2018061226A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-04-12 | 信越化学工業株式会社 | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法とこの複合基板を用いた表面弾性波デバイス |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6335831B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2018-05-30 | 信越化学工業株式会社 | 接合基板の製造方法 |
-
2019
- 2019-06-26 JP JP2019118379A patent/JP7163249B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-18 CN CN202010561198.6A patent/CN112152587A/zh active Pending
- 2020-06-23 US US16/909,042 patent/US20200412326A1/en not_active Abandoned
-
2023
- 2023-07-24 US US18/225,401 patent/US20230370043A1/en active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61128619A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | タンタル酸リチウム単結晶ウエ−ハ |
JPH0730354A (ja) * | 1993-07-14 | 1995-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合単結晶圧電基板の製造方法 |
JPH08157298A (ja) * | 1994-12-01 | 1996-06-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合酸化物単結晶の製造方法 |
WO2012086639A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP2017200101A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 信越化学工業株式会社 | 複合ウェーハの製造方法 |
JP2018014606A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 信越化学工業株式会社 | 弾性表面波デバイス用複合基板の製造方法 |
JP2018061226A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-04-12 | 信越化学工業株式会社 | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法とこの複合基板を用いた表面弾性波デバイス |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022168796A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022168797A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023234286A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | 株式会社 東芝 | セラミックス回路基板およびそれを用いた半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230370043A1 (en) | 2023-11-16 |
JP7163249B2 (ja) | 2022-10-31 |
CN112152587A (zh) | 2020-12-29 |
US20200412326A1 (en) | 2020-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6250856B1 (ja) | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法とこの複合基板を用いた表面弾性波デバイス | |
JP7051690B2 (ja) | スプリアスモード除去をもたらす誘導表面弾性波デバイス | |
JP7163249B2 (ja) | 表面弾性波デバイス用複合基板及びその製造方法 | |
CN110463038B (zh) | 接合体和弹性波元件 | |
JP4657002B2 (ja) | 複合圧電基板 | |
KR101623099B1 (ko) | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2018014606A (ja) | 弾性表面波デバイス用複合基板の製造方法 | |
TWI597392B (zh) | Lithium tantalate single crystal substrate, bonding substrate and method for manufacturing the same, and elastic surface acoustic wave device using the same | |
US7843112B2 (en) | Surface acoustic wave device, module device, oscillation circuit, and method for manufacturing surface acoustic wave device | |
KR20150034715A (ko) | 복합 기판, 압전 디바이스 및 복합 기판의 제법 | |
JP2011087079A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP5154285B2 (ja) | 弾性境界波機能素子 | |
TWI787475B (zh) | 接合體及彈性波元件 | |
JP2009278610A (ja) | 弾性表面波素子 | |
EP3920417A2 (en) | Composite substrate for surface acoustic wave device and manufacturing method thereof | |
JP2006304206A (ja) | 弾性表面波素子及び複合圧電チップ並びにその製造方法 | |
JP2007288812A (ja) | 弾性表面波デバイス、モジュール装置、発振回路および弾性表面波デバイスの製造方法 | |
TWI791099B (zh) | 接合體及彈性波元件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7163249 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |