JP2021004809A

JP2021004809A - 紫外線ｌｅｄ照射装置

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Publication number: JP2021004809A
Application number: JP2019119139A
Authority: JP
Inventors: 斎藤　直樹; Naoki Saito; 直樹斎藤; 松本　謙二; Kenji Matsumoto; 謙二松本
Original assignee: Marktec Corp
Current assignee: Marktec Corp
Priority date: 2019-06-26
Filing date: 2019-06-26
Publication date: 2021-01-14

Abstract

【課題】蛍光探傷検査において、複数の紫外線ＬＥＤ光源から構成される紫外線ＬＥＤ照射装置による紫外線照射を、均一にする。【解決手段】複数の紫外線ＬＥＤ光源毎に複数の紫外線センサと複数の光量調節回路を配置し、個別に光量を調節する。紫外線ＬＥＤ照射装置は、紫外線を前方に集光する為の光学系と反射板を有する。紫外線センサは、紫外線ＬＥＤ光源の近傍の指向角外であって、紫外線ＬＥＤ光源の上方からみた際に、紫外線ＬＥＤ光源と反射板との間に設置する。紫外線ＬＥＤ光源からの光は直接紫外線センサに入射しない。紫外線は光学系により反射され紫外線センサに入射する。【選択図】図３

Description

本発明は、蛍光磁粉探傷試験や蛍光浸透探傷試験で使用する紫外線ＬＥＤ照射装置に関する。

蛍光磁粉探傷試験や蛍光浸透探傷試験の分野では、従来メタルハライドランプと反射板を組み合わせて使用されていたが、消費電力が大きいことや水銀の使用による環境影響の懸念から、紫外線ＬＥＤへの移行が進んでいる。この紫外線ＬＥＤは、近年高出力化が進んではいるが、未だに単体では強度や照射範囲が従来のメタルハライドランプに及ばないため、所定の距離に設定された照射面の範囲において所望の紫外線強度となるように複数の紫外線ＬＥＤ素子（光源）を組み合わせた紫外線ＬＥＤ照射装置が用いられている。

メタルハライドランプと同様に、紫外線ＬＥＤ素子も使用とともに劣化し紫外線強度が低下する。紫外線強度が低下した場合には、寿命がつきた紫外線ＬＥＤ素子から交換することになる。紫外線ＬＥＤ素子の寿命には個体差があるため、すべての素子の交換を同時に行わない場合もあるが、寿命に達していない紫外線ＬＥＤ素子も劣化をしており新しく交換した紫外線ＬＥＤ素子よりも暗くなっている。この劣化した紫外線ＬＥＤ素子と新しく交換した紫外線ＬＥＤ素子では、同じ電圧や電流をかけたときでも紫外線強度は異なっており、照射面で合成された紫外線強度に明暗の差が生じて、傷が見えにくくなってしまう。特に画像処理といった用途で、特定の配光分布が得られるようにレンズ等で配光を調節している場合には、個々の紫外線ＬＥＤ素子がほぼ同一の紫外線強度を有していることを前提として配光を調節しているため、個々の紫外線ＬＥＤ素子の紫外線強度を調整して当初意図した所望の分布となるように調整する必要がある。

特開２０１５−７６２６５号公報

ＬＥＤの寿命検知のため、内部用照度センサを持つ発明が引用文献１に開示されている。これは直列に接続されたＬＥＤを並列に接続した回路において、不点灯となった直列回路を照度センサで検知して遮断することで他の並列に接続されている回路が連鎖的に導通不可となることを防ぐものでる。これは、不点灯となったＬＥＤを検知するものであり、点灯してはいるが所定の明るさになっていないＬＥＤを調整するものとは異なる。

複数のＬＥＤ光源から構成されるＬＥＤ照射装置の不良になったＬＥＤを一部だけ交換した際、交換しなかったＬＥＤも多少劣化している為、交換した新品のＬＥＤ光源が強く発光し、均一な配光分布とはならないという問題があった。この場合、全てのＬＥＤを同時に交換すれば解決するが、経済的な問題が発生した。

そこで、個々の紫外線ＬＥＤ光源を調整するには、紫外線強度を測定する必要がある。例えば紫外線照射面において紫外線センサで紫外線強度を測りながら所望の配光が得られるまで紫外線ＬＥＤ素子（光源）を調整していくことが考えられる。複数のＬＥＤ光源がある場合、ひとつづつ点灯し、それぞれに対応する紫外線センサの測定値から、個別に紫外線強度を算出する方法がある。しかし、この場合、測定時と実際に使用する時とで発光するＬＥＤ光源の数が異なる為、回路全体にかかる負荷が変動してしまい、正確な光量値が得られないという問題があった。

更に、ある紫外線ＬＥＤ素子（光源）の電流値を調整すると、その影響により調整済みの紫外線ＬＥＤ素子（光源）を再度調整しなくてはならなくなるという問題もあった。

そこで、この回路の負荷を変動させない為に、全てのＬＥＤ光源を点灯して調節すると、複数の紫外線ＬＥＤから出力される紫外線の合成となってしまうため、どの紫外線ＬＥＤ素子（光源）をどの程度調整すればよいのかわかりにくいという問題があった。

さらに、紫外線強度を測定する為の紫外線センサも劣化し交換が必要となるという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するため、複数の紫外線ＬＥＤ光源から構成される紫外線ＬＥＤ照射装置において、個々の紫外線ＬＥＤ光源の輝度を測定する手段を確立し、光源の劣化を検出し、さらに、個々の紫外線ＬＥＤ光源の輝度を調整し均一な照射をする事が可能になる紫外線ＬＥＤ照射装置を提供する事を課題とする。

上記課題を解決するために、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、
紫外線ＬＥＤ光源と、該紫外線ＬＥＤ光源の照射軸と直交して配置され前記紫外線ＬＥＤ光源から照射された紫外線を透過すると共に反射する光学系と、を有する蛍光探傷検査用の紫外線ＬＥＤ照射装置において、
前記紫外線の強度を調整可能な複数の前記紫外線ＬＥＤ光源と、
前記紫外線ＬＥＤ光源毎に、個別に前記紫外線ＬＥＤ光源の指向角外に、前記光学系で反射した前記紫外線ＬＥＤ光源から照射された前記紫外線の強度を測定する紫外線センサを有し、
前記紫外線ＬＥＤ光源がそれぞれに対応する前記紫外線センサの出力に基づいて、最も出力の小さい前記紫外線ＬＥＤ光源に比べて、所定の前記紫外線を出力するように調整されることを特徴とする。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、
前記光学系と前記紫外線ＬＥＤ光源の間に前記紫外線の照射範囲を調整するための反射板を有し、
前記紫外線センサは対応する前記紫外線ＬＥＤ光源の上方からみたときに前記紫外線ＬＥＤ光源と前記反射板の間に設置されていることを特徴とする。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、
前記紫外線ＬＥＤ光源はレンズを有し、該レンズは支持部によって固定され、該支持部は前記紫外線センサに前記紫外線が到達する様に貫通孔が設けられていることを特徴とする。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、
前記光学系は、前記紫外線を反射するために、半透明の膜を貼り付け、または反射するための処理をほどこしてあることを特徴とする。

本発明によれば、紫外線ＬＥＤ光源と、紫外線ＬＥＤ光源の照射軸と直交して配置され紫外線ＬＥＤ光源から照射された紫外線を透過すると共に反射する光学系と、を有する蛍光探傷検査用の紫外線ＬＥＤ照射装置において、紫外線の強度を調整可能な複数の紫外線ＬＥＤ光源と、紫外線ＬＥＤ光源毎に、個別に紫外線ＬＥＤ光源の指向角外に、光学系で反射した紫外線ＬＥＤ光源から照射された紫外線の強度を測定する紫外線センサを有し、紫外線ＬＥＤ光源がそれぞれに対応する紫外線センサの出力に基づいて、最も出力の小さい前記紫外線ＬＥＤ光源に比べて、所定の紫外線を出力するように調整されるので、光学系で反射した光を測定するので紫外線を遮ることなく紫外線センサによって光量を測定し、複数の紫外線ＬＥＤ光源の光量を個別に調整し、蛍光探傷検査に適した均一な光量分布の紫外線を照射することが可能になる。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、光学系と紫外線ＬＥＤ光源の間に紫外線の照射範囲を調整するための反射板を有し、紫外線センサは対応する紫外線ＬＥＤ光源の上方からみたときに紫外線ＬＥＤ光源と反射板の間に設置されているので、反射板があることで隣接した紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線の混入を防止することができ、紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線光量を正確に測定することが可能になり、均一な光量分布を得ることが可能になる。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、紫外線ＬＥＤ光源はレンズを有し、レンズは支持部によって固定され、支持部は紫外線センサに紫外線が到達する様に貫通孔が設けられているので、紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線を効果的に被検査物に照射し、支持部の貫通孔が紫外線センサのコリメータとして機能し、隣接した紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線の混入を防止することができ、紫外線光量を正確に測定することが可能になり、照射面における紫外線の均一な光量分布を得ることが可能になる。

更に、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、光学系は、紫外線を反射するために、半透明の膜を貼り付け、または反射するための処理をほどこしてあることを特徴とするので、各々の紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線を、個別に、紫外線センサで計測することができ、光学系が汚れた場合でも反射する紫外線を正確に計測することができ、照射面における紫外線の均一な光量分布を得ることが可能になる。

本実施形態に係る紫外線ＬＥＤ照射装置の側面図である。本実施形態に係る紫外線ＬＥＤ照射装置の平面図である。別の実施形態に係る紫外線ＬＥＤ照射装置の側面図である。さらに別の実施形態に係る紫外線ＬＥＤ照射装置の側面図である。５つの紫外線ＬＥＤ光源を配置した紫外線ＬＥＤ照射装置である。ひとつの紫外線ＬＥＤ光源による光量分布である。５つの紫外線ＬＥＤ光源による光量分布である。中央の紫外線ＬＥＤ光源を新品と交換した際の光量分布である。右端の紫外線ＬＥＤ光源を新品と交換した際の光量分布である。各紫外線ＬＥＤ光源の光量を調節した後の均一な光量分布である。

本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、蛍光探傷検査の際、蛍光磁粉指示模様を得る為に使用する。磁粉探傷検査法では、まず、鉄鋼などの強磁性体の被検査物の表面を溶剤などで清浄にした後、乾燥させる。次に、電磁石等により強磁性体を磁化する。磁化している最中に磁粉を掛ける連続法と、磁場を除いた後に検出する残留法がある。磁粉は、空気中に磁粉を散布して振り掛ける乾式法と、水や有機溶媒を用いる湿式法がある。蛍光物質が付着した磁粉を振り掛ける。磁粉を振り掛けたところに傷部があり、漏洩磁場があると、そこに磁粉がとどまる。紫外線を照射すると磁粉に付けられた蛍光物質が発光して、傷部の指示模様が得られる。傷部の判定は、目視による。あるいは、撮像装置によって画像化し、コンピューターにより自動的に判定する。傷部が検出された箇所にはマーキングを行い、印を付ける場合がある。コンピューターによる自動判定の場合、自動的にマーキングすることで効率良く傷部が確認できる。

本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、複数の紫外線ＬＥＤ光源から構成される。蛍光磁粉探傷検査法では、正確に蛍光磁粉指示模様を得るために、ある程度の範囲で、均一な紫外線光量分布が必要である。紫外線強度の均一度は±１５％が要求される。紫外線ＬＥＤ光源は、単一のＬＥＤ（発光ダイオード）または複数のＬＥＤから構成される。そして、各紫外線ＬＥＤ光源ごとに紫外線センサと調光用回路が設置されている。図１はひとつの紫外線ＬＥＤ光源２と紫外線センサ３から構成される紫外線ＬＥＤ照射装置１である。図１の指向角範囲１１が示す様に、紫外線ＬＥＤ光源は指向性がある。この紫外線ＬＥＤ光源はレンズ等の光学系４を有し、この光学系を通して図示されていない被検査物を照射する。紫外線センサ３は紫外線ＬＥＤ光源２の指向角外に設置されているため、センサ３に紫外線が直接入射しない。しかし、図の反射光１２が示す様に、光学系４から反射された光が紫外線センサ３に到達する。この様に、紫外線ＬＥＤ光源の紫外線光量の測定は、前面の光学系で反射した光を紫外線センサで測定するので、紫外線照射を妨げる事がなく、個別に、正確に紫外線光量を測定する事が可能であり、照射面における紫外線の均一な光量分布を得ることができる。

光学系４として、シリンドリカルレンズ、フレネルレンズ、可視光カットフィルタ、保護レンズなどを使用する。図１の指向角範囲１１が示す様に、紫外線ＬＥＤ光源２からの光は、近接して配置してある紫外線センサ３に直接入射しない。紫外線は、光学系４で反射して、紫外線センサ３に入射する。

光学系４には、紫外線を効率良く反射させるために、半透明の膜を貼り付ける、または、反射させるために蒸着などの処理をほどこしてあっても良い。この構成によって、各々の紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線を、効率良く、紫外線センサで計測することができ、光学系が汚れた場合でも反射する紫外線を正確に計測することができ、照射面における紫外線の均一な光量分布を得ることが可能になる。

各々の紫外線ＬＥＤ光源は、それぞれ、光量を調整するための調光回路に接続されている。調光回路はＬＥＤの駆動電圧と電流を制御して、ＬＥＤの光量を調節する。調光回路と紫外線センサはコントロールユニットに接続されており、各々の紫外線ＬＥＤ光源の光量を調節して、照射面における紫外線光量分布を均一にすることが可能である。

図５は、５つの紫外線ＬＥＤ光源２と５つの紫外線センサ３を配置した紫外線ＬＥＤ照射装置３０１の側面図である。隣り合う紫外線ＬＥＤ光源２からの紫外線が重なり合って、照射面では均一な紫外線強度分布が得られる。また、紫外線センサへの反射光も、対応する紫外線ＬＥＤ光源のみではなく、隣り合った光源からの光も入り込む。

図５で示された紫外線ＬＥＤ光源２の配置では、個々の紫外線センサ３の検出値は隣の紫外線ＬＥＤ光源２からの光に影響を受けてしまい、個々の紫外線ＬＥＤ光源２の光量を評価することが出来ない場合がある。この場合、ある紫外線センサに対応する紫外線ＬＥＤ光源を消灯して、隣接した紫外線ＬＥＤ光源からの影響を測定しても良い。紫外線ＬＥＤ光源の電源回路と紫外線センサは個別に図示しないコントロールユニットに接続され、個別に明滅することができ、照度を調整することが可能である。この操作により、各紫外線ＬＥＤ光源の劣化の度合いを正確に評価することができ、これらの測定値を用いて各紫外線ＬＥＤ光源の光量を調整して、照射面における紫外線光量を均一にすることができる。

紫外線ＬＥＤ光源の寿命は従来のメタルハライドランプと比較して長いが、しかし、徐々に劣化し光量が減衰する。本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、個々の紫外線ＬＥＤ光源の光量があらかじめ定められた値を下回った際に、コントロールユニットは、交換を示唆する警告信号を発する。ここで、あらかじめ定められた値は新品の光量の７０％である。この新品の光量の測定値は、コントロールユニット内の記憶装置に保持する。この構成によって各紫外線ＬＥＤ光源の光量の調節を的確に行う事ができ、均一な紫外線光量分布を可能にすることができる。

このコントロールユニットからの警告信号に従って一つの紫外線ＬＥＤ光源を交換した際、交換していない紫外線ＬＥＤ光源もやや劣化している為、交換した紫外線ＬＥＤ光源からの光が強くなってしまう。この場合、本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、個別に紫外線ＬＥＤ光源の照度を測定して、コントロールユニットが個別に紫外線ＬＥＤ光源の照度を調整し、照射面における紫外線光量が均一になる様に調整することが可能である。
具体的には、まず、最も紫外線強度の弱い紫外線ＬＥＤ光源を特定する。次に、これ以外の紫外線ＬＥＤ光源の光量を減弱し、その光量の差が±１５％以内になる様に、各々の紫外線ＬＥＤ光源の光量を調節する。この操作によって、照射面における均一な紫外線強度を得ることができる。

図２は本発明の別の実施形態を示す、紫外線ＬＥＤ照明装置１０１の平面図である。また、図３は図２に示した紫外線ＬＥＤ照明装置１０１の側面図である。この紫外線ＬＥＤ照明装置１０１は、ＬＥＤの発する紫外線を前方に集光し、照射範囲を調整する為に、反射板５を有する。紫外線センサ３は紫外線ＬＥＤ光源２と反射板５との間に設置されている。紫外線センサ３は、図２に示した様に、紫外線ＬＥＤ光源２の上方からみたときに、紫外線ＬＥＤ光源２と反射板５との間に設置されている。紫外線センサ３は、図３に示した様に、紫外線ＬＥＤ照射装置１０１の前面に設置された光学系４によって反射された光１２を感知する。紫外線センサ３が紫外線ＬＥＤ光源２と反射板５との間に設置されていることによって、隣接した紫外線ＬＥＤ光源からの光の混入を防止し、個別に紫外線ＬＥＤ光源２の光量を測定することが可能であり、照射面における紫外線強度を均一にすることが可能である。

図４は本発明のさらに別の実施形態を示す紫外線ＬＥＤ照射装置２０１の側面図である。紫外線ＬＥＤ照射装置２０１は反射板５および集光レンズ６を備え、紫外線を紫外線ＬＥＤ照射装置の前方に集光する様に構成されている。この集光レンズ６は支持部７により支持されている。支持部７は紫外線を透過しない物質から構成されている。紫外線センサ３はこの支持部７より下方に設置されており、支持部７には、紫外線センサ３に光学系４で反射した紫外線を導くための貫通孔８が設けられている。この貫通孔８には紫外線が透過するプラスチックなどの窓が取り付けられていても良い。集光レンズ６と反射板５によって紫外線は前方に集光される。さらに、反射板５の遮蔽効果に加え、紫外線センサ３の上部に設置された支持部７の貫通孔８がコリメータとして機能し、隣接した紫外線ＬＥＤ光源からの紫外線の混入を防止することができる。個別に紫外線ＬＥＤ光源２の光量を、紫外線センサ３を用いて測定することが可能である。この構成により照射面における紫外線強度を均一にすることが可能である。

本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、個々の紫外線ＬＥＤ光源の調光回路と個々の紫外線センサに接続された制御装置を備える。そして、個々の紫外線センサの測定値を用いて、個別に紫外線ＬＥＤ光源を調光し、照射面において均一な紫外線光量分布を形成する。紫外線ＬＥＤ光源の光量が所定の基準値を下回った際、交換の警告信号を発する。この警告信号は制御装置に接続されたコンピューター等を経由して使用者に知らせる。また、ここで所定の基準値とは、たとえば、新品の光量に比べて７０％減衰した値である。ここで比較すべき新品の光量の測定値は、制御装置内の記憶装置に記録保持されている。紫外線ＬＥＤ光源は基板ごと容易に交換できる構成である。

紫外線センサも紫外線ＬＥＤ光源と同様に劣化する。この交換の作業性を良好にする為に、紫外線センサと紫外線ＬＥＤ光源は同一基板上に配設する。この構成により、紫外線ＬＥＤ光源の光量の測定が正確になり、照射面において均一な紫外線強度を得ることができる。

紫外線ＬＥＤ光源はその紫外線照射方向に強い指向性がある。この為、同一平面上に配備された紫外線センサでは、その紫外線を検知することが出来ない場合がある。この場合、紫外線センサを光の当たる位置である、紫外線ＬＥＤ光源の前面に配置しても良い。紫外線ＬＥＤ光源と同一基板上に立体的に支持板を設け、紫外線センサを配置する構成でも良い。この構成で、紫外線ＬＥＤ光源の光量を個別に測定することが可能になり、その測定値を基に紫外線ＬＥＤ光源を個別に調整することが出来る。しかし、この構成の様に紫外線ＬＥＤ光源の指向角内にセンサを置くと、照射面でセンサの部分が影になり、照射面における紫外線光分布が均一でなくなる場合があり、好ましくない。

本発明の紫外線ＬＥＤ照射装置は、複数の紫外線ＬＥＤ光源から構成され、これらの複数の紫外線ＬＥＤ光源について、各々、紫外線センサと光量調整回路を配備し、個別に調整することで、照射面における紫外線強度を均一にすることが可能になる。紫外線ＬＥＤ照射装置には、紫外線を前方に集光し、照射範囲を調整する為に、反射板が設置されている。紫外線センサは、紫外線ＬＥＤ光源の上方からみたときに、紫外線ＬＥＤ光源と反射板との間に設置されている。さらに、別の実施形態では、紫外線ＬＥＤ光源はレンズを有し、このレンズは支持部によって支持されており、紫外線センサはこの支持部より下方にあるため、支持部には紫外線を紫外線センサに導くための貫通孔が設けられている。
紫外線ＬＥＤ光源の調光回路と紫外線センサは制御装置に接続されて調整される。紫外線ＬＥＤ光源の光量が所定の値を下回った際には、制御装置は、光源の交換を促す信号を出力する。紫外線ＬＥＤ光源は容易に交換可能である。交換後、新品の紫外線ＬＥＤ光源の光量は、まだ交換していない光源よりも強度が強い為、制御装置は、個別に光源の光量を調節して、照射面における紫外線光量が均一になる様に調節する。

所定の距離で均一な紫外線強度が得られる紫外線ＬＥＤ光源を企画・設計する。一つの紫外線ＬＥＤ光源からの光量分布を図６に示す。この紫外線ＬＥＤ光源を１５０ｍｍ間隔で、図５の様に５つ配置した。紫外線ＬＥＤ光源は位置０、１５０、３００、４５０、６００ｍｍに配置されている。各紫外線ＬＥＤ光源が同等の紫外線強度を照射すると、図７のように位置が１００〜５００ｍｍの範囲で紫外線強度のばらつきを２００μＷ／cm² 以内に抑えることができる。

ところで紫外線ＬＥＤは使用とともに劣化していき紫外線強度が低下してくる。そこである一定の基準を紫外線強度が下回った場合に紫外線ＬＥＤの寿命が来たとして紫外線ＬＥＤ光源の交換が推奨されている。そこで５つのＬＥＤ光源のうち、真ん中の紫外線ＬＥＤ光源を交換した場合と、右端の紫外線ＬＥＤ光源を交換した場合のシミュレーション結果を図８および図９に示す。ここで、交換した新品の紫外線ＬＥＤ光源の光量を１００％とした時、それ以外のＬＥＤ光源は減衰して７０％の紫外線強度を持つものとした。図８および図９に示した様に、紫外線ＬＥＤ光源を交換して紫外線光量が変わると、紫外線光量のばらつきを当初想定していた範囲内に収めることができないことがわかる。

本発明では、個々の紫外線ＬＥＤ光源に対し個別に紫外線強度を測定することができる紫外線センサを有している。また、紫外線ＬＥＤ光源はそれぞれ個別に紫外線強度が調節可能となっている。紫外線ＬＥＤ光源が出せる最大紫外線強度の７０％程度を基準値とし、紫外線センサの出力をもとに各光源の紫外線強度を調整することで、劣化度合いが異なる紫外線ＬＥＤ光源が混在していても所望の紫外線強度分布を得ることが出来る。紫外線センサはＬＥＤ光源と同一のＬＥＤ基板上に配置し、レンズ等の光学系の反射光を読み取る。図１０に各紫外線ＬＥＤ光源の光量を調節して、照射面での光量分布が一様になる様に調光した光強度分布を示す。照射範囲の中央部分で光量が一様な分布が得られた。

本開示の紫外線ＬＥＤ照射装置は、照射面の光量を均一にすることを可能にする照射装置であり、蛍光磁粉探傷検査や蛍光浸透探傷検査のための紫外線照射装置として使用できる。さらに、紫外線滅菌装置、紫外線硬化装置などの紫外線照射装置にも使用できる、広い応用が可能な装置である。さらに、可視光や赤外線の照射装置にも応用可能である。

１、１０１、２０１、３０１紫外線ＬＥＤ照射装置
２紫外線ＬＥＤ光源
３紫外線センサ
４光学系
５反射板
６集光レンズ
７支持部
８貫通孔
１１指向角範囲
１２反射光

Claims

紫外線ＬＥＤ光源と、該紫外線ＬＥＤ光源の照射軸と直交して配置され前記紫外線ＬＥＤ光源から照射された紫外線を透過すると共に反射する光学系と、を有する蛍光探傷検査用の紫外線ＬＥＤ照射装置において、
前記紫外線の強度を調整可能な複数の前記紫外線ＬＥＤ光源と、
前記紫外線ＬＥＤ光源毎に、個別に前記紫外線ＬＥＤ光源の指向角外に、前記光学系で反射した前記紫外線ＬＥＤ光源から照射された前記紫外線の強度を測定する紫外線センサを有し、
前記紫外線ＬＥＤ光源がそれぞれに対応する前記紫外線センサの出力に基づいて、最も出力の小さい前記紫外線ＬＥＤ光源に比べて、所定の前記紫外線を出力するように調整されることを特徴とする紫外線ＬＥＤ照射装置。
前記光学系と前記紫外線ＬＥＤ光源の間に前記紫外線の照射範囲を調整するための反射板を有し、
前記紫外線センサは対応する前記紫外線ＬＥＤ光源の上方からみたときに前記紫外線ＬＥＤ光源と前記反射板の間に設置されていることを特徴とする、
請求項１に記載の紫外線ＬＥＤ照射装置。
前記紫外線ＬＥＤ光源はレンズを有し、該レンズは支持部によって固定され、該支持部は前記紫外線センサに前記紫外線が到達する様に貫通孔が設けられていることを特徴とする、
請求項１または２に記載の紫外線ＬＥＤ照射装置。
前記光学系は、前記紫外線を反射するために、半透明の膜を貼り付け、または反射するための処理をほどこしてあることを特徴とする、
請求項１乃至３のいずれかに記載の紫外線ＬＥＤ照射装置。