JP2020518990A - マルチビームカラムにおけるクーロン相互作用の低減 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 電子ビーム源と、
マルチレンズアレイと、
複数個の孔を画定するビーム制限アパーチャと、を備え、そのビーム制限アパーチャが前記電子ビーム源・前記マルチレンズアレイ間に配置されており、そのビーム制限アパーチャが、それら電子ビーム源・マルチレンズアレイ間にてクーロン相互作用を低減するよう構成されている電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが、1V/mm未満の電界を有する電子ビーム源・マルチレンズアレイ間位置に配置されている電子ビームシステム。 - 請求項2に記載の電子ビームシステムであって、
前記電子ビーム源・マルチレンズアレイ間位置が無電界である電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが前記孔を少なくとも6個画定する電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記電子ビーム源がエミッタ、サプレッサ及びエクストラクタを有する電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが、それぞれ1μm〜100μmの直径を呈するよう前記孔を画定する電子ビームシステム。 - 請求項6に記載の電子ビームシステムであって、
前記孔それぞれの直径が50μmである電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが、2μm〜100μmのピッチを呈するよう前記孔を画定する電子ビームシステム。 - 請求項8に記載の電子ビームシステムであって、
前記ピッチが100μmである電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャがシリコン、金属又は合金で作成されている電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが、それぞれ丸くなるよう前記孔を画定する電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムであって、
前記孔が、多角形配列の態で前記ビーム制限アパーチャ内に配置されている電子ビームシステム。 - 請求項1に記載の電子ビームシステムを備える走査型電子顕微鏡。
- 電子ビームを生成するステップと、
前記電子ビームを抽出するステップと、
複数個の孔を画定するビーム制限アパーチャ内に前記電子ビームを差し向けるステップと、
前記電子ビームの投射方向を基準にして前記ビーム制限アパーチャの下流に位置するマルチレンズアレイ内にその電子ビームを差し向けるステップと、を有し、そのビーム制限アパーチャが、それら電子ビーム源・マルチレンズアレイ間にてクーロン相互作用が低減されるよう構成されている方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
1V/mm未満の電界を有する領域内に前記電子ビームがあるときに、前記ビーム制限アパーチャ内にその電子ビームを通す方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記領域が無電界領域である方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
前記電子ビームを前記マルチレンズアレイに通して50nmなる直径まで集束させる方法。 - 電子ビームを生成するよう構成された電子ビーム源と、
ウェハの上流に位置するマルチレンズアレイと、
複数個の孔を画定するビーム制限アパーチャであり、前記電子ビーム源・前記マルチレンズアレイ間に配置されたビーム制限アパーチャであり、それら電子ビーム源・マルチレンズアレイ間にてクーロン相互作用を低減するよう構成されたビーム制限アパーチャと、
前記ウェハの表面から返ってくる電子ビームから電子を検出するよう構成された検出器と、
を備えるシステム。 - 請求項18に記載のシステムであって、
前記ビーム制限アパーチャが、1V/mm未満の電界を有する電子ビーム源・マルチレンズアレイ間位置に配置されているシステム。 - 請求項19に記載のシステムであって、
前記電子ビーム源・マルチレンズアレイ間位置が無電界であるシステム。
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