JP2020511653A - オフセットビームによる粒子検出用のレーザ・センサ・モジュール - Google Patents
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Abstract
Description
可動ミラーにレーザビームを放出するように配置され、レーザビームが可動ミラーの回転中心に対してオフセットされているレーザ。
回転中心の周りを回転するように配置され、レーザビームをレーザビームの焦点領域に動的に方向転換するミラー。方向転換されたレーザビームの方向は、光軸を規定する。レーザビームは、レーザビームの焦点領域または焦点が、方向転換されたレーザビームの光軸に垂直および平行な成分を含む速度で移動し、上記速度の平行速度成分と垂直速度成分との間の角度αが少なくとも2°の閾値角度であるように焦点を合わされる。
レーザのレーザキャビティ内の光波の自己混合干渉信号を特定するように配置された検出器であって、自己混合干渉信号は、焦点領域の粒子の少なくとも1つによって反射されるレーザビームのレーザ光によって生成される、検出器。
レーザビームをミラーに放射するステップと、
ミラーによってレーザビームを動的に方向転換するステップであって、方向転換されたレーザビームの方向が光軸を規定する、ステップと、
レーザのレーザキャビティ内の光波の自己混合干渉信号を特定するステップであって、自己混合干渉信号は、粒子の少なくとも1つによって反射されたレーザビームのレーザ光によって生成され、レーザとミラーとの幾何学的関係は、自己混合干渉信号がより高い周波数にシフトするように配置され、光軸に垂直な方向転換されたレーザビームの速度ベクトルに対する静止粒子の軌跡間の角度αは、少なくとも2°の閾値角度である、ステップと、
自己混合干渉信号のより高い周波数へのシフトに基づいて、自己混合干渉信号を分析するステップと、を含む。
1つまたは複数の記憶デバイスは、情報、特にデジタル情報を格納するように配置されている任意の物理デバイスであり得る。記憶デバイスは、固体メモリまたは光学メモリの群から特に選択されてもよい。
請求項1〜8のいずれか1つに記載のレーザ・センサ・モジュール、粒子検出器9および10、ならびに請求項12の方法は、特に、従属請求項で定義されるように、類似および/または同一の実施形態を有することを理解されたい。
本発明の好ましい実施形態は、従属請求項とそれぞれの独立請求項との任意の組み合わせでもあり得ることを理解されたい。
本発明のこれらおよび他の態様は、以下に記載される実施形態を参照して明らかになり、説明される。
11 粒子軌道
21 強度
22 時間
24 0.21μmの焦点ずれで測定された強度
25 0.16μmの焦点ずれで測定された強度
26 0.11μmの焦点ずれで測定された強度
27 0.05μmの焦点ずれで測定された強度
28 0μmの焦点ずれで測定された強度
31 粒子軌道の角度α
32 ミラーの偏向角θ
35 偏向角θからの角度αの依存性
51 光軸
53 ビームウエスト
55 速度ベクトル
100 レーザ・センサ・モジュール
111 レーザ
112 レーザビーム
121 検出器
125 測定信号
130 電気ドライバ
135 インターフェース
150 コントローラ
160 ミラー
161 ミラー表面に垂直
162 回転軸
164 ビームオフセット
171 第1光学ユニット
172 第2光学ユニット
190 モバイル通信デバイス
191 ユーザインターフェース
192 メイン処理デバイス
193 メイン記憶デバイス
200 粒子検出器
310 高速フーリエ変換
315,425 閾値特定
320 ピーク検出
330,430 閾値比較
340,440 粒子数
410 ハイパスフィルタリング
420 線形フィルタリング
w0 レーザビームの焦点でのレーザビームの半径
w(z) 光軸に沿った焦点に対する距離zでのレーザビームの半径
φin 入射角
φout 反射角
Claims (15)
- 流体中において20μm未満、好ましくは10μm未満のサイズを有する粒子(10)の粒子密度を検出するためのレーザ・センサ・モジュール(100)であって、前記レーザ・センサ・モジュール(100)は、レーザ(111)と、検出器(121)と、ミラー(160)とを備え、前記レーザビーム(112)は焦点領域に集束され、前記レーザ(111)は前記ミラー(160)にレーザビーム(112)を放射するように配置され、前記ミラー(160)の動きは、前記レーザビーム(112)を動的に方向転換するように配置され、方向転換された前記レーザビーム(112)の方向は、前記ミラーの動きに従って動く光軸(51)を規定し、方向転換された前記レーザビーム(112)の動きは、前記光軸(51)に垂直な速度ベクトル(55)によって特徴付けられ、方向転換された前記レーザビーム(112)の動きは、方向転換された前記レーザビーム(112)の動きに対して静止している粒子(10)の軌跡を規定し、前記検出器(121)は、前記レーザ(111)のレーザキャビティ内の光波の自己混合干渉信号を決定するように配置されており、前記自己混合干渉信号は、前記粒子(10)の少なくとも1つによって反射された前記レーザビーム(112)のレーザ光によって生成され、前記レーザ(111)と前記ミラー(160)との間の幾何学的関係は、光軸(51)に垂直な方向転換された前記レーザビーム(112)の前記速度ベクトル(55)に対して静止している粒子(10)の前記軌跡間の角度αが少なくとも閾値角度であるように配置され、前記閾値角度は少なくとも2°である、レーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記レーザ・センサ・モジュール(100)は、前記レーザ(111)により照射される前記レーザビーム(112)が、前記ミラー(160)の回転軸(162)に対して変位するように配置される、請求項1に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記回転軸(162)は、前記ミラー(160)に対して中心を外れて配置される、請求項2に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記回転軸(162)は、前記ミラー(160)の中心を横切って配置される、請求項2に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記レーザ(111)は、方向転換された前記レーザビーム(112)の速度ベクトル(55)に関して静止している前記粒子(10)の軌跡間の角度αが少なくとも2°の閾値角度であるように、前記回転軸(162)に対してオフセットされた前記レーザビーム(112)を照射するように配置される、請求項2または3に記載のレーザセンサ。
- 少なくとも1つの光学ユニット(171、172)を備え、前記少なくとも1つの光学ユニット(171、172)は、前記粒子(10)に前記レーザビーム(112)を集束させるように構成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記閾値角度を変更できるように配置されている、請求項2〜6のいずれか一項に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記レーザ(111)と前記回転軸(162)との相対位置を変更できる、請求項7に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 前記レーザ(111)と前記ミラー(160)との間に配置された少なくとも1つの光学デバイスが、前記閾値角度を変更するように配置されている、請求項7または8に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)を備えた粒子検出器(200)であって、評価器を備え、前記評価器は、前記検出器(121)によって提供される測定信号(125)からシフトされた自己混合干渉信号を抽出するように構成されている、粒子検出器(200)。
- 前記評価器は、閾値周波数より低い前記測定信号(125)の周波数成分をフィルタリングするように構成され、前記閾値周波数は、前記自己混合干渉信号の周波数シフトよりも小さい、請求項10に記載の粒子検出器(200)。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)または請求項10〜11のいずれか一項に記載の粒子検出器(200)を備えたモバイル通信デバイス(300)。
- 流体中において20μm未満、好ましくは10μm未満のサイズを有する粒子の粒子密度を測定する方法であって、
レーザビーム(112)をミラー(160)に放射するステップであって、前記レーザビーム(112)が焦点領域に焦点を合わせられる、ステップと、
前記ミラーの動きによって前記レーザビーム(112)を動的に方向転換するステップであって、方向転換された前記レーザビーム(112)の方向は、前記ミラーの前記動きに従って動く光軸(51)を規定し、方向転換された前記レーザビーム(112)の前記動きは、前記光軸(51)に垂直な速度ベクトル(55)によって特徴付けられ、方向転換された前記レーザビーム(112)の前記動きは、方向転換された前記レーザビーム(112)の前記動きに対して静止している粒子(10)の軌道を規定する、ステップと、
前記レーザのレーザキャビティ内の光波の自己混合干渉信号を決定するステップであって、前記自己混合干渉信号は、前記粒子(10)の少なくとも1つによって反射される前記レーザビーム(112)のレーザ光によって生成され、前記レーザ(111)と前記ミラー(160)との幾何学的関係は、前記光軸(51)に対して垂直な方向転換された前記レーザビーム(112)の前記速度ベクトル(55)に対して静止している粒子(10)の前記軌道間の角度αが少なくとも閾値角度であるように構成され、前記閾値角度は少なくとも2°である、ステップと、
前記自己混合干渉信号のより高い周波数へのシフトに基づいて、前記自己混合干渉信号を分析するステップと、
を含む方法。 - 前記自己混合干渉信号を分析するステップは、
閾値周波数より低い前記測定信号(125)の周波数成分をフィルタリングするステップであって、前記閾値周波数は、前記自己混合干渉信号の前記周波数シフトよりも小さい、ステップを含む、請求項13に記載の方法。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載のレーザ・センサ・モジュール(100)に含まれる少なくとも1つの記憶デバイス、またはレーザ・センサ・モジュール(100)を含むデバイスの少なくとも1つの記憶デバイスに保存できるコード手段を含むコンピュータプログラム製品であって、
前記コード手段は、請求項13または14に記載の方法が、前記レーザ・センサ・モジュール(100)に含まれる少なくとも1つの処理デバイスによって、または前記レーザ・センサ・モジュール(100)を備えたデバイスの少なくとも1つの処理装置によって実行できるように構成されている、コンピュータプログラム製品。
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