JP2020192694A - 熱伝導シート製造方法及び熱伝導シート製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態に係る熱伝導シートの製造方法について説明する。以下、一例として、図1に示す熱伝導シートS1を製造する工程について説明する。
本実験において、フィラーFとして、アルミニウム製の鱗片を採用した。また、熱可塑性樹脂材Rとして、スチレンアクリル共重合体エマルジョンを採用した。フィラーFにおいて、蒸着膜を剥離及び粉砕されている。フィラーFの面方向の平均寸法(平均径)は、15μmである。また、フィラーFの平均厚さは、500nmである。熱可塑性樹脂材RとフィラーFとの体積比が1:1であるように秤量し、グリコール系溶剤に、フィラーFとポリエーテル系リン酸エステル化合物からなる分散材を加えて攪拌し、スラリーを得た。
上記の第1実施形態において、下型ML1の前後方向に垂直な断面の上辺(下型ML1の上面)は三角波を呈する(図3参照)。また、上型MU1の前後方向に垂直な断面の下辺(上型MU1の下面)は三角波を呈する。したがって、下型ML1と上型MU1との間に挟み込まれて押圧されて形成された蛇腹状シートVSの山折り部及び谷折り部の頂点は尖鋭状になる。このような蛇腹状シートVSを左右方向に圧縮すると、図7に示すように、山折り部及び谷折り部の頂点付近が左右方向に離間した状態になり易い。すなわち、完成した熱伝導シートS1の上面及び下面には、前後方向に延びる溝Gが、左右方向に等間隔に形成されている。上記実施形態1の実験結果において、膜厚tが0.5mmであり、折り曲げ部(山折り部部及び谷折り部)の角度θが40°であるから、溝Gの深さd(=t/sinθ)は、0,0245mmである。そのため、発熱部材(例えばパワートランジスタ)、放熱器などと、熱伝導シートS1の上面及び下面とが密着し難く(熱抵抗が大きく)、発熱部材の冷却効率が低下する虞がある。
本実施形態においては、上記の金型M1,M2とは異なる金型M3を用いる。金型M3の下型ML3は、図13乃至図15に示すように、左右方向に延びる略長方形の板状に形成されている。下型ML3は、前後方向にそれぞれ延びる複数の関節部Jを有する。これらの関節部Jは、左右方向に等間隔に配置されている。下型ML3は、当該関節部Jにて屈折可能に構成されている。具体的には、下型ML3は、複数の支持板Sa及び複数の支持板Sbを備える。これらの複数の支持板Sa及び複数の支持板Sbが左右方向に交互に並べられ、それらがヒンジ接続されている。支持板Saの前後方向に垂直な断面は、台形を呈する。すなわち、同断面において、上辺Sa1と下辺Sa2は平行である。なお、下辺Sa2は、上辺Sa1より少し短い。左辺Sa3は、上辺Sa1及び下辺Sa2に対して直交している。右辺Sa4は、上辺Sa1及び下辺Sa2に対して傾斜している。上辺Sa1と右辺Sa4との間の角度は、例えば、63°である。
第1実施形態の実験と同一のスラリーを下型ML3の上面に塗布して薄膜TFを形成し、上型MU3を用いて蛇腹状シートVSの膜厚を均一化した。そして、その蛇腹状シートVSを左右方向に圧縮して熱伝導シートS3を製造した。また、第1実施形態の実験と同一のスラリーを下型ML3の上面に塗布して薄膜TFを形成し、上型MU3aを用いて蛇腹状シートVSの膜厚を均一化した。そして、その蛇腹状シートVSを左右方向に圧縮して熱伝導シートS3aを製造した。熱伝導シートS3の熱伝導率は、表2に示すように、16W/m・Kであり、熱伝導シートS3aの熱伝導率は、17W/m・Kであった。
本実施形態では、上記第1実施形態乃至第3実施形態の金型M1乃至金型M3(M3a)に代えて、金型M4を用いる(図18参照)。金型M4の下型ML4は、円板状に形成され、その外周面に、下型ML1と同様の複数の山部ML4aが形成されている。これらの山部ML4aは、下型ML4の周方向に等間隔に形成されている。この下型ML4が、その中心軸のまわりに回動される。具体的には、下型ML4は、隣接する山部ML4aの間隔に応じた角度α(周方向のずれ(ピッチ))だけ回動した後、所定時間だけ停止し、再び角度αだけ回動するという動作を繰り返す。
AL−2σL>AB+2σB ・・・(1)
Claims (6)
- 熱伝導異方性を有する熱伝達部材を含む薄膜部材であって、複数の山折り部及び谷折り部が交互に連続する蛇腹状シートを形成する蛇腹状シート形成工程と、
前記蛇腹状シートを、前記山折り部同士又は前記谷折り部同士の間隔が小さくなる方向へ圧縮して、前記蛇腹状シートを平板状に整形する整形工程と、
を含み、
前記蛇腹状シート形成工程は、
前記熱伝達部材を含む合成樹脂材を所定の成形型の表面に付着させて薄膜を形成する薄膜形成工程と、
前記合成樹脂材を固化させる固化工程と、を含む、熱伝導シート製造方法。 - 請求項1に記載の熱伝導シート製造方法において、
前記薄膜形成工程は、直線状に延びる稜線部をそれぞれ有する複数の山部であって、それらの稜線部が互いに平行になるように配置された複数の山部の斜面に、前記熱伝達部材を含む合成樹脂材を付着させて、前記複数の山部の斜面に前記薄膜を形成する工程を含む、熱伝導シート製造方法。 - 請求項2に記載の熱伝導シート製造方法において、
前記成形型は、上型及び下型を備え、
前記蛇腹状シート形成工程は、
下型の表面に前記蛇腹状シートを形成する工程と、
前記蛇腹状シートを上型と下型との間に挟み込んで、前記蛇腹状シートの膜厚を均一化する工程と、を含む、熱伝導シート製造方法。 - 請求項1に記載の熱伝導シート製造方法において、
前記蛇腹状シート形成工程は、
平板状の薄膜部材を形成する工程と、
前記平板状の薄膜部材を折り曲げて前記山折り部及び前記谷折り部を形成する工程と、
を含む、熱伝導シート製造方法。 - 請求項1に記載の熱伝導シート製造方法において、
前記成形型が多孔質材料で構成され、
前記薄膜形成工程は、前記成形型における、前記合成樹脂材が付着されていない面から前記合成樹脂材を吸引する工程を含む、熱伝導シート製造方法。 - 直線状に延びる稜線部をそれぞれ有する複数の山部であって、それらの稜線部が互いに平行になるように配置された複数の山部を有する成形型と、
熱伝導異方性を有する熱伝達部材を含む合成樹脂材を、前記成形型の前記山部の斜面に付着させる付着装置と、
前記斜面に付着した、前記熱伝達部材を含む合成樹脂材を固化させて、複数の山折り部及び谷折り部が交互に連続する蛇腹状シートを形成する固化装置と、
前記蛇腹状シートを、前記山折り部同士又は谷折り部同士の間隔が小さくなる方向へ圧縮して、前記蛇腹状シートを平板状に整形する整形装置と、
を含む、熱伝導シート製造装置。
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