JP2020188578A - Actuator device - Google Patents

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広明 大江
Hiroaki Oe
広明 大江
晴彦 渡邊
Haruhiko Watanabe
晴彦 渡邊
古川 隆
Takashi Furukawa
隆 古川
麻里 深田
Mari Fukada
麻里 深田
大地 櫻井
Daichi Sakurai
大地 櫻井
田中 順也
Junya Tanaka
順也 田中
智明 田村
Tomoaki Tamura
智明 田村
秀行 飯干
Hideyuki Iiboshi
秀行 飯干
克紀 九鬼
Katsunori Kuki
克紀 九鬼
美文 伊藤
Yoshifumi Ito
美文 伊藤
雅喜 寺沢
Masaki Terasawa
雅喜 寺沢
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Abstract

To provide an actuator device which improves the durability of an actuator member.SOLUTION: An actuator device 11 comprises a first actuator member 21, a second actuator member 22, a sensor device 90, a control part 88, a first holding part 31, a second holding part 32, and a first elastic member 51. When the first actuator member 21 is deformed, the first elastic member 51 gives force in a direction which prevents deformation of the first actuator member 21 to a first actuator member 21, and when the second actuator member 22 is deformed, the first elastic member 51 gives force in a direction which prevents deformation of the second actuator member 22 to the second actuator member 22.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、アクチュエータ装置に関する。 The present invention relates to an actuator device.

従来、特許文献1に記載されているように、ポリマ繊維等のアクチュエータ部材を加熱して、伸縮変形およびねじり変形をさせることによって、被作動部を回転させるアクチュエータ装置が知られている。 Conventionally, as described in Patent Document 1, an actuator device that rotates an actuated portion by heating an actuator member such as a polymer fiber to cause expansion and contraction deformation and torsional deformation is known.

特開2018−50445号公報JP-A-2018-50445

特許文献1に記載されている構成では、アクチュエータ部材の張力を維持するためのコイルばねが配置されている。このコイルばねは、ハウジングに収容されており、固定部を介して、弾性力を1つのアクチュエータ部材に付与する。この構成において、アクチュエータ部材の数に応じて、コイルばねの数が増加することがある。このコイルばね等の部品点数が増加すると、コイルばねをハウジングに組み付ける工数が増大し、アクチュエータ装置の製造がしにくくなる。 In the configuration described in Patent Document 1, a coil spring for maintaining the tension of the actuator member is arranged. This coil spring is housed in a housing and applies an elastic force to one actuator member via a fixing portion. In this configuration, the number of coil springs may increase depending on the number of actuator members. When the number of parts such as the coil spring increases, the man-hours for assembling the coil spring to the housing increase, and it becomes difficult to manufacture the actuator device.

本発明は、上記点に鑑みて、部品点数を削減できるアクチュエータ装置を提供することにある。 In view of the above points, the present invention is to provide an actuator device capable of reducing the number of parts.

上記目的を達成するため、請求項1に記載される発明は、内部のエネルギーの変化に応じて変形する第1アクチュエータ部材(21)と、内部のエネルギーの変化に応じて変形する第2アクチュエータ部材(22)と、第1アクチュエータ部材の一端(211)および第2アクチュエータ部材の一端(221)に接続されている被作動部(90)と、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材のエネルギーを制御して、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材を変形させることによって、被作動部の変位を制御する制御部(88)と、第1アクチュエータ部材が変形したとき、第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第1アクチュエータ部材に付与し、第2アクチュエータ部材が変形したとき、第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第2アクチュエータ部材に付与する弾性部材(51、55)と、を備えるアクチュエータ装置である。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 has a first actuator member (21) that deforms according to a change in internal energy and a second actuator member that deforms according to a change in internal energy. (22), the actuated portion (90) connected to one end (211) of the first actuator member and one end (221) of the second actuator member, and the energy of the first actuator member and the second actuator member are controlled. Then, by deforming the first actuator member and the second actuator member, the control unit (88) that controls the displacement of the actuated portion and when the first actuator member is deformed, the deformation of the first actuator member is prevented. Elastic members (51, 55) that apply a directional force to the first actuator member and, when the second actuator member deforms, apply a directional force to the second actuator member to prevent the deformation of the second actuator member. It is an actuator device provided.

上記構成では、弾性部材は、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材の両方に弾性力を与える。このため、弾性部材を第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材にそれぞれ配置する必要がなくなり、1つのアクチュエータ部材あたりの弾性部材の数を減少させることができ、弾性部材の総数を減少させることができる。したがって、このアクチュエータ装置では、部品点数が削減できる。 In the above configuration, the elastic member applies an elastic force to both the first actuator member and the second actuator member. Therefore, it is not necessary to dispose the elastic members in the first actuator member and the second actuator member, respectively, and the number of elastic members per actuator member can be reduced, and the total number of elastic members can be reduced. .. Therefore, in this actuator device, the number of parts can be reduced.

なお、各構成要素等に付される括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。 The reference reference numerals in parentheses attached to each component or the like indicate an example of the correspondence between the component or the like and the specific component or the like described in the embodiment described later.

第1実施形態のアクチュエータ装置の断面図。Sectional drawing of the actuator apparatus of 1st Embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置の第1温度、第1ねじりモーメント、第2温度および第2ねじりモーメントの関係図。FIG. 6 is a relationship diagram of a first temperature, a first torsional moment, a second temperature, and a second torsional moment of the actuator device of the first embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置の制御部の処理を説明するためのフローチャート。The flowchart for demonstrating the process of the control part of the actuator device of 1st Embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置の第1温度変化量、第1加熱電流、第1冷却電流、第2温度変化量、第2加熱電流および第2冷却電流の関係図。FIG. 5 is a relationship diagram of a first temperature change amount, a first heating current, a first cooling current, a second temperature change amount, a second heating current, and a second cooling current of the actuator device of the first embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置の角度偏差、第1温度変化量および第2温度変化量の関係図。The relationship diagram of the angular deviation of the actuator device of 1st Embodiment, the 1st temperature change amount and the 2nd temperature change amount. 第1実施形態のアクチュエータ装置の第1温度変化量、第1収縮量、第1伸長量、第2温度変化量、第2収縮量および第2伸長量の関係図。FIG. 5 is a relationship diagram of a first temperature change amount, a first contraction amount, a first extension amount, a second temperature change amount, a second contraction amount, and a second extension amount of the actuator device of the first embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置が第1方向に回転するときの断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of the actuator device of the first embodiment when it rotates in the first direction. 第2実施形態のアクチュエータ装置の断面図。Sectional drawing of the actuator apparatus of 2nd Embodiment.

以下、実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In each of the following embodiments, the same or equal parts are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

(第1実施形態)
本実施形態のアクチュエータ装置11は、車両に搭載されるセンサ装置90を備えている。このアクチュエータ装置11は、センサ装置90を回転させるために用いられる。まず、このセンサ装置90について、説明する。
(First Embodiment)
The actuator device 11 of the present embodiment includes a sensor device 90 mounted on a vehicle. The actuator device 11 is used to rotate the sensor device 90. First, the sensor device 90 will be described.

図1に示すように、センサ装置90は、被作動部に対応しており、例えば、車両の室内および乗員の温度分布を検出する赤外線センサである。このセンサ装置90の赤外線センサは、温度分布を検出する範囲が限られている。このため、本実施形態のアクチュエータ装置11によりセンサ装置90が回転することで、センサ装置90の検出範囲を広げることができる。 As shown in FIG. 1, the sensor device 90 corresponds to the actuated portion, and is, for example, an infrared sensor that detects the temperature distribution inside the vehicle and the occupants. The infrared sensor of the sensor device 90 has a limited range for detecting the temperature distribution. Therefore, the detection range of the sensor device 90 can be expanded by rotating the sensor device 90 by the actuator device 11 of the present embodiment.

そして、このセンサ装置90を回転させるため、第1実施形態のアクチュエータ装置11は、支持部材91、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22、第1保持部31および第2保持部32を備えている。また、アクチュエータ装置11は、第1弾性部材51、第2弾性部材52、第1加熱部61、第1冷却部71、第2加熱部62、第2冷却部72、状態検出部80、電源85および制御部88を備えている。 Then, in order to rotate the sensor device 90, the actuator device 11 of the first embodiment includes a support member 91, a first actuator member 21, a second actuator member 22, a first holding portion 31, and a second holding portion 32. ing. Further, the actuator device 11 includes a first elastic member 51, a second elastic member 52, a first heating unit 61, a first cooling unit 71, a second heating unit 62, a second cooling unit 72, a state detection unit 80, and a power supply 85. And a control unit 88 is provided.

支持部材91は、車載に取り付け可能になっており、後述の第1保持部31および第2保持部32を支持する。具体的には、支持部材91は、支持凹部911を含む。支持凹部911が第1保持部31および第2保持部32に接触することによって、第1保持部31および第2保持部32は、移動可能に支持されている。 The support member 91 can be mounted on a vehicle and supports the first holding portion 31 and the second holding portion 32, which will be described later. Specifically, the support member 91 includes a support recess 911. When the support recess 911 comes into contact with the first holding portion 31 and the second holding portion 32, the first holding portion 31 and the second holding portion 32 are movably supported.

第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、内部のエネルギーの変化に応じて変形する。第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、例えば、繊維状のポリマ、すなわち、複数本のポリマ繊維で形成されている。この各ポリマ繊維は、例えば、ポリアミド等を含む。 The first actuator member 21 and the second actuator member 22 are deformed in response to changes in internal energy. The first actuator member 21 and the second actuator member 22 are formed of, for example, fibrous polymers, that is, a plurality of polymer fibers. Each of these polymer fibers contains, for example, polyamide and the like.

さらに、この第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維は、加熱されつつ、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維に、張力とポリマ繊維の長手方向に延びる繊維軸を中心とするねじりモーメントとが与えられる。これにより、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子は、繊維軸を中心に螺旋状となるように、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の内部で配列されている。なお、以下、便宜上、このポリマ繊維における構成分子の螺旋の回転方向を分子回転方向とする。 Further, while the polymer fiber of the first actuator member 21 is heated, tension and a twisting moment about a fiber axis extending in the longitudinal direction of the polymer fiber are given to the polymer fiber of the first actuator member 21. As a result, the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 are arranged inside the polymer fibers of the first actuator member 21 so as to spiral around the fiber axis. Hereinafter, for convenience, the rotation direction of the spiral of the constituent molecules in the polymer fiber will be referred to as the molecular rotation direction.

この第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維に熱エネルギーが与えられるとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維のエントロピーが増加する。このとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子の螺旋状の配列を変化させるため、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向とは逆回転方向のねじりモーメントが発生する。このため、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子は、螺旋状の規則正しい配列から不規則な配列に変化する。 When thermal energy is applied to the polymer fibers of the first actuator member 21, the entropy of the polymer fibers of the first actuator member 21 increases. At this time, since the spiral arrangement of the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 is changed, a twisting moment in the direction opposite to the molecular rotation direction of the first actuator member 21 is generated. Therefore, the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 change from a spiral regular arrangement to an irregular arrangement.

また、この第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維が熱エネルギーを放出するとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維のエントロピーが減少する。このとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維における構成分子の螺旋状の配列を維持するため、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。このため、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子の螺旋状の配列は、規則正しい配列に維持される。 Further, when the polymer fibers of the first actuator member 21 release heat energy, the entropy of the polymer fibers of the first actuator member 21 decreases. At this time, in order to maintain the spiral arrangement of the constituent molecules in the polymer fiber of the first actuator member 21, a torsional moment in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the first actuator member 21 is generated. Therefore, the spiral arrangement of the constituent molecules of the polymer fiber of the first actuator member 21 is maintained in a regular arrangement.

そして、この第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維は、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向とは逆回転方向に螺旋したコイル状に形成されている。ここで、コイル状の第1アクチュエータ部材21の中心軸を第1軸CL1とする。そして、このコイル状の第1アクチュエータ部材21の回転方向は、第1軸CL1を中心とする第1方向R1になっている。なお、以下、便宜上、このコイル状のポリマ繊維自体の螺旋の回転方向をコイル方向とする。 The polymer fibers of the first actuator member 21 are formed in a coil shape spiraling in a direction opposite to the molecular rotation direction of the first actuator member 21. Here, the central axis of the coiled first actuator member 21 is referred to as the first axis CL1. The rotation direction of the coiled first actuator member 21 is the first direction R1 centered on the first axis CL1. Hereinafter, for convenience, the direction of rotation of the spiral of the coiled polymer fiber itself is referred to as the coil direction.

また、上記したように、第1アクチュエータ部材21が加熱されるとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向とは逆回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第1アクチュエータ部材21が加熱されるときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1アクチュエータ部材21のコイル方向と同じ方向になる。すなわち、このときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1方向R1になる。よって、第1アクチュエータ部材21は、加熱されるとき、第1方向R1のねじりモーメントを発生させる。これにより、第1アクチュエータ部材21は、加熱されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に収縮する。 Further, as described above, when the first actuator member 21 is heated, a torsional moment in a direction opposite to the molecular rotation direction of the first actuator member 21 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21. To do. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 when the first actuator member 21 is heated is the same as the coil direction of the first actuator member 21. That is, the direction of the torsional moment generated by the constituent molecules of the polymer fiber of the first actuator member 21 at this time is the first direction R1. Therefore, when the first actuator member 21 is heated, a torsional moment in the first direction R1 is generated. As a result, when the first actuator member 21 is heated, it is twisted and deformed in the first direction R1 and contracts in the direction of the first axis CL1.

さらに、上記したように、第1アクチュエータ部材21が冷却されるとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第1アクチュエータ部材21が冷却されるときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1アクチュエータ部材21のコイル方向とは逆回転方向になる。すなわち、このときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1方向R1とは逆回転方向である第2方向R2になる。よって、第1アクチュエータ部材21は、冷却されるとき、第2方向R2のねじりモーメントを発生させる。これにより、第1アクチュエータ部材21は、冷却されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に伸長する。 Further, as described above, when the first actuator member 21 is cooled, a torsion moment in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the first actuator member 21 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21. .. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 when the first actuator member 21 is cooled is the direction opposite to the coil direction of the first actuator member 21. That is, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 at this time is the second direction R2, which is the direction opposite to the first direction R1. Therefore, when the first actuator member 21 is cooled, a torsional moment in the second direction R2 is generated. As a result, when the first actuator member 21 is cooled, it extends in the direction of the first axis CL1 while being twisted and deformed in the second direction R2.

そして、第1アクチュエータ部材21の一端211は、センサ装置90に接続されている。第1アクチュエータ部材21の一端211は、例えば、接着剤等によりセンサ装置90と固定されている。このため、第1アクチュエータ部材21が第1方向R1にねじり変形するとき、センサ装置90は、第1アクチュエータ部材21のねじり変形とともに第1方向R1に回転する。また、第1アクチュエータ部材21が第2方向R2にねじり変形するとき、センサ装置90は、第1アクチュエータ部材21のねじり変形とともに第2方向R2に回転する。 One end 211 of the first actuator member 21 is connected to the sensor device 90. One end 211 of the first actuator member 21 is fixed to the sensor device 90 with, for example, an adhesive or the like. Therefore, when the first actuator member 21 is torsionally deformed in the first direction R1, the sensor device 90 rotates in the first direction R1 together with the torsional deformation of the first actuator member 21. Further, when the first actuator member 21 is torsionally deformed in the second direction R2, the sensor device 90 rotates in the second direction R2 together with the torsional deformation of the first actuator member 21.

また、この第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維は、加熱されつつ、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維に、張力とポリマ繊維の長手方向に延びる繊維軸を中心とするねじりモーメントとが与えられる。これにより、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子は、繊維軸を中心に螺旋状となるように、ポリマ繊維の内部で配列されている。なお、ここでは、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子は、繊維軸を中心に、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向とは逆回転方向の螺旋状となるように、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の内部で配列されている。 Further, while the polymer fiber of the second actuator member 22 is heated, tension and a twisting moment about a fiber axis extending in the longitudinal direction of the polymer fiber are given to the polymer fiber of the second actuator member 22. As a result, the constituent molecules of the polymer fiber of the second actuator member 22 are arranged inside the polymer fiber so as to spiral around the fiber axis. Here, the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 are spirally formed in a direction opposite to the molecular rotation direction of the first actuator member 21 around the fiber axis. It is arranged inside 22 polymer fibers.

この第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維に熱エネルギーが与えられるとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維のエントロピーが増加する。このとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子の螺旋状の配列を変化させるため、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向とは逆回転方向のねじりモーメントが発生する。このため、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子は、螺旋状の規則正しい配列から不規則な配列に変化する。 When thermal energy is applied to the polymer fibers of the second actuator member 22, the entropy of the polymer fibers of the second actuator member 22 increases. At this time, since the spiral arrangement of the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 is changed, a twisting moment in the direction opposite to the molecular rotation direction of the second actuator member 22 is generated. Therefore, the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 change from a spiral regular arrangement to an irregular arrangement.

また、この第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維が熱エネルギーを放出するとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維のエントロピーが減少する。このとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維における構成分子の螺旋状の配列を維持するため、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。このため、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子の螺旋状の配列は、規則正しい配列に維持される。 Further, when the polymer fibers of the second actuator member 22 release heat energy, the entropy of the polymer fibers of the second actuator member 22 decreases. At this time, in order to maintain the spiral arrangement of the constituent molecules in the polymer fiber of the second actuator member 22, a torsional moment in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the second actuator member 22 is generated. Therefore, the spiral arrangement of the constituent molecules of the polymer fiber of the second actuator member 22 is maintained in a regular arrangement.

そして、この第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維は、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向とは逆回転方向に螺旋したコイル状に形成されている。ここで、コイル状の第2アクチュエータ部材22の中心軸を第2軸CL2とする。第2軸CL2は、第1軸CL1と同一軸上になっている。そして、このコイル状の第2アクチュエータ部材22の回転方向は、第2軸CL2を中心とする第2方向R2になっている。 The polymer fibers of the second actuator member 22 are formed in a coil shape spiraling in a direction opposite to the molecular rotation direction of the second actuator member 22. Here, the central axis of the coiled second actuator member 22 is referred to as the second axis CL2. The second axis CL2 is on the same axis as the first axis CL1. The rotation direction of the coiled second actuator member 22 is the second direction R2 centered on the second axis CL2.

また、上記したように、第2アクチュエータ部材22が加熱されるとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向とは逆回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第2アクチュエータ部材22が加熱されるときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第2アクチュエータ部材22のコイル方向と同じ方向になる。すなわち、このときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第2方向R2になる。よって、第2アクチュエータ部材22は、加熱されるとき、第2方向R2のねじりモーメントを発生させる。これにより、第2アクチュエータ部材22は、加熱されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に収縮する。 Further, as described above, when the second actuator member 22 is heated, a torsional moment in the direction opposite to the molecular rotation direction of the second actuator member 22 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22. To do. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 when the second actuator member 22 is heated is the same as the coil direction of the second actuator member 22. That is, the direction of the torsional moment generated by the constituent molecules of the polymer fiber of the second actuator member 22 at this time is the second direction R2. Therefore, when the second actuator member 22 is heated, it generates a torsional moment in the second direction R2. As a result, when the second actuator member 22 is heated, it contracts in the second axis CL2 direction while being twisted and deformed in the second direction R2.

さらに、上記したように、第2アクチュエータ部材22が冷却されるとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第2アクチュエータ部材22が冷却されるときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第2アクチュエータ部材22のコイル方向とは逆回転方向になる。すなわち、このときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1方向R1方向になる。よって、第2アクチュエータ部材22は、冷却されるとき、第1方向R1のねじりモーメントを発生させる。これにより、第2アクチュエータ部材22は、冷却されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に伸長する。 Further, as described above, when the second actuator member 22 is cooled, a twisting moment in the same rotational direction as the molecular rotation direction of the second actuator member 22 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22. .. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 when the second actuator member 22 is cooled is the direction opposite to the coil direction of the second actuator member 22. That is, the direction of the torsional moment generated by the constituent molecules of the polymer fiber of the second actuator member 22 at this time is the first direction R1 direction. Therefore, when the second actuator member 22 is cooled, a torsional moment in the first direction R1 is generated. As a result, when cooled, the second actuator member 22 extends in the second axis CL2 direction while being twisted and deformed in the first direction R1.

そして、第2アクチュエータ部材22の一端221は、センサ装置90に接続されている。例えば、第2アクチュエータ部材22の一端221は、接着剤等によりセンサ装置90と固定されている。このため、第2アクチュエータ部材22が第1方向R1にねじり変形するとき、センサ装置90は、第2アクチュエータ部材22のねじり変形とともに第1方向R1に回転する。また、第2アクチュエータ部材22が第2方向R2にねじり変形するとき、センサ装置90は、第2アクチュエータ部材22のねじり変形とともに第2方向R2に回転する。 One end 221 of the second actuator member 22 is connected to the sensor device 90. For example, one end 221 of the second actuator member 22 is fixed to the sensor device 90 with an adhesive or the like. Therefore, when the second actuator member 22 is torsionally deformed in the first direction R1, the sensor device 90 rotates in the first direction R1 together with the torsional deformation of the second actuator member 22. Further, when the second actuator member 22 is torsionally deformed in the second direction R2, the sensor device 90 rotates in the second direction R2 together with the torsional deformation of the second actuator member 22.

第1保持部31は、第1アクチュエータ部材21の他端212に接続されており、第1アクチュエータ部材21を保持する。例えば、第1アクチュエータ部材21の他端212が第1保持部31に形成される穴に挿入されており、第1保持部31は、接着剤等により第1アクチュエータ部材21の他端212と固定されている。 The first holding portion 31 is connected to the other end 212 of the first actuator member 21 and holds the first actuator member 21. For example, the other end 212 of the first actuator member 21 is inserted into a hole formed in the first holding portion 31, and the first holding portion 31 is fixed to the other end 212 of the first actuator member 21 with an adhesive or the like. Has been done.

第2保持部32は、第2アクチュエータ部材22の他端222に接続されており、第2アクチュエータ部材22を保持する。例えば、第2アクチュエータ部材22の他端222が第2保持部32に形成される穴に挿入されており、第2保持部32は、接着剤等により第2アクチュエータ部材22の他端222と固定されている。 The second holding portion 32 is connected to the other end 222 of the second actuator member 22 and holds the second actuator member 22. For example, the other end 222 of the second actuator member 22 is inserted into the hole formed in the second holding portion 32, and the second holding portion 32 is fixed to the other end 222 of the second actuator member 22 by an adhesive or the like. Has been done.

したがって、第1軸CL1方向および第2軸CL2上であって、第1保持部31と第2保持部32の間には、第1アクチュエータ部材21、センサ装置90および第2アクチュエータ部材22が配置されている。また、第1アクチュエータ部材21は、第1保持部31とセンサ装置90との間に配置されている。さらに、第2アクチュエータ部材22は、第2保持部32とセンサ装置90との間に配置されている。そして、センサ装置90は、第1アクチュエータ部材21と第2アクチュエータ部材22との間に配置されている。 Therefore, the first actuator member 21, the sensor device 90, and the second actuator member 22 are arranged between the first holding portion 31 and the second holding portion 32 on the first axis CL1 direction and the second axis CL2. Has been done. Further, the first actuator member 21 is arranged between the first holding portion 31 and the sensor device 90. Further, the second actuator member 22 is arranged between the second holding portion 32 and the sensor device 90. The sensor device 90 is arranged between the first actuator member 21 and the second actuator member 22.

第1弾性部材51は、第2弾性部材52とで、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90を第1軸CL1および第2軸CL2と交差する方向に挟むように、配置されている。すなわち、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90は、第1弾性部材51と第2弾性部材52との間に配置されている。 The first elastic member 51 is arranged so as to sandwich the first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90 with the second elastic member 52 in a direction intersecting the first axis CL1 and the second axis CL2. Has been done. That is, the first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90 are arranged between the first elastic member 51 and the second elastic member 52.

また、第1弾性部材51は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の変形に応じて、弾性変形する。具体的には、第1弾性部材51は、第1アクチュエータ部材21が変形したとき、第1アクチュエータ部材21の変形を妨げる方向に対して、第1アクチュエータ部材21に弾性力を付与する。これにより、第1弾性部材51は、第1アクチュエータ部材21が自然変形するときのセンサ装置90の変位に及ぼす影響を緩和する。また、第1弾性部材51は、第2アクチュエータ部材22が変形したとき、第2アクチュエータ部材22の変形を妨げる方向に対して、第2アクチュエータ部材22に弾性力を付与する。これにより、第1弾性部材51は、第2アクチュエータ部材22が自然変形するときのセンサ装置90の変位に及ぼす影響を緩和する。 Further, the first elastic member 51 elastically deforms according to the deformation of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Specifically, when the first actuator member 21 is deformed, the first elastic member 51 applies an elastic force to the first actuator member 21 in a direction that prevents the deformation of the first actuator member 21. As a result, the first elastic member 51 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 when the first actuator member 21 is naturally deformed. Further, when the second actuator member 22 is deformed, the first elastic member 51 applies an elastic force to the second actuator member 22 in a direction that prevents the deformation of the second actuator member 22. As a result, the first elastic member 51 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 when the second actuator member 22 is naturally deformed.

例えば、第1弾性部材51の一端511は、第1保持部31に接続されている。例えば、第1弾性部材51の一端511は、接着剤等により第1保持部31と固定されている。第1弾性部材51の他端512は、第2保持部32に接続されている。例えば、第1弾性部材51の他端512は、接着剤等により第2保持部32と固定されている。さらに、第1弾性部材51は、第1軸CL1方向または第2軸CL2方向に圧縮されながら、配置されている。これにより、第1弾性部材51は、第1保持部31を介して、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22に弾性力を付与する。 For example, one end 511 of the first elastic member 51 is connected to the first holding portion 31. For example, one end 511 of the first elastic member 51 is fixed to the first holding portion 31 with an adhesive or the like. The other end 512 of the first elastic member 51 is connected to the second holding portion 32. For example, the other end 512 of the first elastic member 51 is fixed to the second holding portion 32 with an adhesive or the like. Further, the first elastic member 51 is arranged while being compressed in the first axis CL1 direction or the second axis CL2 direction. As a result, the first elastic member 51 applies an elastic force to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 via the first holding portion 31.

そして、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第1弾性部材51は、このたわみを妨げる方向、すなわち、第1アクチュエータ部材21に張力を付与する方向の弾性力を第1アクチュエータ部材21に付与する。ここでは、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維がたわむとき、第1弾性部材51は、第1保持部31を押すことによって、第1アクチュエータ部材21を引っ張る方向の弾性力を、第1保持部31を介して付与する。また、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第1弾性部材51は、このたわみを妨げる方向、すなわち、第2アクチュエータ部材22に張力を付与する方向の弾性力を第2アクチュエータ部材22に付与する。ここでは、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第1弾性部材は、第2保持部32を押すことによって、第2アクチュエータ部材22を引っ張る方向の弾性力を、第2保持部32を介して付与する。このようにして、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の張力が矯正される。したがって、第1弾性部材51により、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が自然変形するときのセンサ装置90の変位に及ぼす影響が緩和される。 Then, when the polymer fiber of the first actuator member 21 bends due to creep, the first elastic member 51 applies an elastic force in a direction that prevents the bending, that is, in a direction that applies tension to the first actuator member 21. It is given to 21. Here, when the polymer fiber of the first actuator member 21 bends, the first elastic member 51 pushes the first holding portion 31 to apply an elastic force in the direction of pulling the first actuator member 21 to the first holding portion 31. Granted through. Further, when the polymer fiber of the second actuator member 22 bends due to creep, the first elastic member 51 applies an elastic force in a direction that prevents the bending, that is, a direction that applies tension to the second actuator member 22. It is given to 22. Here, when the polymer fiber of the second actuator member 22 bends due to creep, the first elastic member applies an elastic force in the direction of pulling the second actuator member 22 by pushing the second holding portion 32. Granted via 32. In this way, the tensions of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are corrected. Therefore, the first elastic member 51 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 when the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are naturally deformed.

第2弾性部材52は、第1弾性部材51と同様に、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の変形に応じて、弾性変形する。具体的には、第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21が変形したとき、第1アクチュエータ部材21の変形を妨げる方向に対して、第1アクチュエータ部材21に弾性力を付与する。これにより、第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21が自然変形するときのセンサ装置90の変位に及ぼす影響を緩和する。また、第2弾性部材52は、第2アクチュエータ部材22が変形したとき、第2アクチュエータ部材22の変形を妨げる方向に対して、第2アクチュエータ部材22に弾性力を付与する。これにより、第2弾性部材52は、第2アクチュエータ部材22が自然変形するときに伴うセンサ装置90の変位に及ぼす影響を緩和する。 Like the first elastic member 51, the second elastic member 52 is elastically deformed according to the deformation of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Specifically, when the first actuator member 21 is deformed, the second elastic member 52 applies an elastic force to the first actuator member 21 in a direction that prevents the deformation of the first actuator member 21. As a result, the second elastic member 52 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 when the first actuator member 21 is naturally deformed. Further, when the second actuator member 22 is deformed, the second elastic member 52 applies an elastic force to the second actuator member 22 in a direction that prevents the deformation of the second actuator member 22. As a result, the second elastic member 52 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 that accompanies the natural deformation of the second actuator member 22.

例えば、第2弾性部材52の一端521は、第1保持部31に接続されている。例えば、第2弾性部材52の一端521は、接着剤等により第1保持部31と固定されている。また、第2弾性部材52の他端522は、第2保持部32に接続されている。例えば、第2弾性部材52の他端522は、接着剤等により第2保持部32と固定されている。さらに、第2弾性部材52は、第1軸CL1方向または第2軸CL2方向に圧縮されながら、配置されている。これにより、第2弾性部材52は、第1保持部31を介して、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22に弾性力を付与する。 For example, one end 521 of the second elastic member 52 is connected to the first holding portion 31. For example, one end 521 of the second elastic member 52 is fixed to the first holding portion 31 with an adhesive or the like. Further, the other end 522 of the second elastic member 52 is connected to the second holding portion 32. For example, the other end 522 of the second elastic member 52 is fixed to the second holding portion 32 with an adhesive or the like. Further, the second elastic member 52 is arranged while being compressed in the first axis CL1 direction or the second axis CL2 direction. As a result, the second elastic member 52 applies an elastic force to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 via the first holding portion 31.

そして、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第2弾性部材52は、このたわみを妨げる方向、すなわち、第1アクチュエータ部材21に張力を付与する方向の弾性力を第1アクチュエータ部材21に付与する。ここでは、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維がたわむとき、第2弾性部材52は、第1保持部31を押すことによって、第1アクチュエータ部材21を引っ張る方向の弾性力を、第1保持部31を介して付与する。また、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第2弾性部材52は、このたわみを妨げる方向、すなわち、第2アクチュエータ部材22に張力を付与する方向の弾性力を第2アクチュエータ部材22に付与する。ここでは、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維がクリープによりたわむとき、第1弾性部材は、第2保持部32を押すことによって、第2アクチュエータ部材22を引っ張る方向の弾性力を、第2保持部32を介して付与する。このようにして、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の張力が矯正される。したがって、第2弾性部材52により、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が自然変形するときのセンサ装置90の変位に及ぼす影響が緩和される。 Then, when the polymer fiber of the first actuator member 21 bends due to creep, the second elastic member 52 applies an elastic force in a direction that hinders the bending, that is, in a direction that applies tension to the first actuator member 21. It is given to 21. Here, when the polymer fiber of the first actuator member 21 bends, the second elastic member 52 applies an elastic force in the direction of pulling the first actuator member 21 by pushing the first holding portion 31, and the first holding portion 31. Granted through. Further, when the polymer fiber of the second actuator member 22 bends due to creep, the second elastic member 52 exerts an elastic force in a direction that hinders the deflection, that is, in a direction that applies tension to the second actuator member 22. It is given to 22. Here, when the polymer fiber of the second actuator member 22 bends due to creep, the first elastic member applies an elastic force in the direction of pulling the second actuator member 22 by pushing the second holding portion 32. Granted via 32. In this way, the tensions of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are corrected. Therefore, the second elastic member 52 alleviates the influence on the displacement of the sensor device 90 when the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are naturally deformed.

第1加熱部61は、第1アクチュエータ部材21を加熱して、第1アクチュエータ部材21に熱エネルギーを与える。例えば、第1加熱部61は、電熱線であって、第1アクチュエータに巻き付けられている。そして、第1加熱部61に電流が流れるとき、第1加熱部61は、発熱する。この発熱によって、第1アクチュエータ部材21が加熱されて、熱エネルギーが第1アクチュエータ部材21に与えられる。 The first heating unit 61 heats the first actuator member 21 to give heat energy to the first actuator member 21. For example, the first heating unit 61 is a heating wire and is wound around the first actuator. Then, when an electric current flows through the first heating unit 61, the first heating unit 61 generates heat. This heat generation heats the first actuator member 21, and heat energy is given to the first actuator member 21.

第1冷却部71は、第1アクチュエータ部材21を冷却して、第1アクチュエータ部材21に熱エネルギーを放出させる。例えば、第1冷却部71は、ペルチェ素子であって、このペルチェ素子は、円筒状の筐体に配置されている。また、この円筒状の筐体は、第1保持部31に固定されており、第1アクチュエータ部材21を収容している。そして、第1冷却部71に電流が流れるとき、第1冷却部71は、第1アクチュエータ部材21から吸熱する。これにより、第1アクチュエータ部材21は、冷却されて、熱エネルギーを放出する。 The first cooling unit 71 cools the first actuator member 21 and causes the first actuator member 21 to release heat energy. For example, the first cooling unit 71 is a Peltier element, and the Peltier element is arranged in a cylindrical housing. Further, this cylindrical housing is fixed to the first holding portion 31 and accommodates the first actuator member 21. Then, when a current flows through the first cooling unit 71, the first cooling unit 71 absorbs heat from the first actuator member 21. As a result, the first actuator member 21 is cooled and releases heat energy.

第2加熱部62は、第2アクチュエータ部材22を加熱して、第2アクチュエータ部材22に熱エネルギーを与える。第2加熱部62は、第1加熱部61と同様に、電熱線であって、第2アクチュエータ部材22に巻き付けられている。そして、第2加熱部62に電流が流れるとき、第2加熱部62は、発熱する。この発熱により、第2アクチュエータ部材22が加熱されて、熱エネルギーが第2アクチュエータ部材22に与えられる。 The second heating unit 62 heats the second actuator member 22 to give heat energy to the second actuator member 22. Like the first heating unit 61, the second heating unit 62 is a heating wire and is wound around the second actuator member 22. Then, when an electric current flows through the second heating unit 62, the second heating unit 62 generates heat. This heat generation heats the second actuator member 22, and heat energy is given to the second actuator member 22.

第2冷却部72は、第2アクチュエータ部材22を冷却して、第2アクチュエータ部材22に熱エネルギーを放出させる。例えば、第2冷却部72は、第1冷却部71と同様に、ペルチェ素子であって、このペルチェ素子は、円筒状の筐体に配置されている。また、この円筒状の筐体は、第2保持部32に固定されており、第2アクチュエータ部材22を収容している。そして、第2冷却部72に電流が流れるとき、第2冷却部72は、第2アクチュエータ部材22から吸熱する。これにより、第2アクチュエータ部材22は、冷却されて、熱エネルギーを放出する。 The second cooling unit 72 cools the second actuator member 22 and causes the second actuator member 22 to release heat energy. For example, the second cooling unit 72 is a Peltier element like the first cooling unit 71, and the Peltier element is arranged in a cylindrical housing. Further, this cylindrical housing is fixed to the second holding portion 32 and accommodates the second actuator member 22. Then, when a current flows through the second cooling unit 72, the second cooling unit 72 absorbs heat from the second actuator member 22. As a result, the second actuator member 22 is cooled to release heat energy.

状態検出部80は、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90の状態を検出する。ここでは、第1アクチュエータ部材21の状態は、第1アクチュエータ部材21の温度である。第2アクチュエータ部材22の状態は、第2アクチュエータ部材22の温度である。センサ装置90の状態は、センサ装置90の基準位置に対するセンサ装置90の回転角度θである。以下、便宜上、第1アクチュエータ部材21の温度を第1温度T1とする。第2アクチュエータ部材22の温度を第2温度T2とする。また、ここでは、回転角度θの正方向を第1方向R1とし、回転角度θの負方向を第2方向R2とする。 The state detection unit 80 detects the states of the first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90. Here, the state of the first actuator member 21 is the temperature of the first actuator member 21. The state of the second actuator member 22 is the temperature of the second actuator member 22. The state of the sensor device 90 is the rotation angle θ of the sensor device 90 with respect to the reference position of the sensor device 90. Hereinafter, for convenience, the temperature of the first actuator member 21 will be referred to as the first temperature T1. The temperature of the second actuator member 22 is defined as the second temperature T2. Further, here, the positive direction of the rotation angle θ is the first direction R1, and the negative direction of the rotation angle θ is the second direction R2.

具体的には、状態検出部80は、第1温度センサ81、第2温度センサ82および回転センサ83を有する。第1温度センサ81は、第1温度T1に応じた信号を後述の制御部88に出力する。第2温度センサ82は、第2温度T2に応じた信号を制御部88に出力する。回転センサ83は、回転角度θに応じた信号を制御部88に出力する。 Specifically, the state detection unit 80 includes a first temperature sensor 81, a second temperature sensor 82, and a rotation sensor 83. The first temperature sensor 81 outputs a signal corresponding to the first temperature T1 to the control unit 88 described later. The second temperature sensor 82 outputs a signal corresponding to the second temperature T2 to the control unit 88. The rotation sensor 83 outputs a signal corresponding to the rotation angle θ to the control unit 88.

電源85は、第1加熱部61、第1冷却部71、第2加熱部62、第2冷却部72および制御部88に接続されており、制御部88からの信号に基づいて、第1加熱部61、第1冷却部71、第2加熱部62および第2冷却部72に電流を流す。 The power supply 85 is connected to the first heating unit 61, the first cooling unit 71, the second heating unit 62, the second cooling unit 72, and the control unit 88, and the first heating unit 85 is based on a signal from the control unit 88. A current is passed through the unit 61, the first cooling unit 71, the second heating unit 62, and the second cooling unit 72.

制御部88は、マイコン等を主体として構成されており、CPU、ROM、RAM、I/Oおよびこれらの構成を接続するバスライン等を備えている。具体的には、制御部88は、ROMに記憶されているプログラムを実行することにより、第1温度T1、第2温度T2および回転角度θに基づいて、電源85から第1加熱部61、第1冷却部71、第2加熱部62、第2冷却部72に流れる電流を制御する。そして、制御部88は、この電源85から第1加熱部61、第1冷却部71、第2加熱部62、第2冷却部72に流れる電流を制御することによって、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の内部のエネルギーを制御する。これにより、制御部88は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22のねじり変形を制御して、センサ装置90の回転変位を制御する。 The control unit 88 is mainly composed of a microcomputer or the like, and includes a CPU, a ROM, a RAM, an I / O, a bus line for connecting these configurations, and the like. Specifically, the control unit 88 executes the program stored in the ROM, and the power supply 85 to the first heating unit 61, the first heating unit 61, based on the first temperature T1, the second temperature T2, and the rotation angle θ. 1 Controls the current flowing through the cooling unit 71, the second heating unit 62, and the second cooling unit 72. Then, the control unit 88 controls the current flowing from the power supply 85 to the first heating unit 61, the first cooling unit 71, the second heating unit 62, and the second cooling unit 72, thereby controlling the first actuator member 21 and the first actuator member 21. 2 Controls the energy inside the actuator member 22. As a result, the control unit 88 controls the torsional deformation of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 to control the rotational displacement of the sensor device 90.

以上のように、アクチュエータ装置11は、構成されている。このように構成されるアクチュエータ装置11は、センサ装置90を回転させつつ、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の耐久性を向上させる。 As described above, the actuator device 11 is configured. The actuator device 11 configured in this way improves the durability of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 while rotating the sensor device 90.

具体的に、まず、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の特性について説明する。 Specifically, first, the characteristics of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 will be described.

第1アクチュエータ部材21では、第1温度T1が高くなるにつれて、第1アクチュエータ部材21の第1軸CL1方向の収縮量が大きくなる。このため、第1アクチュエータ部材21の収縮に伴って発生する第1アクチュエータ部材21のねじりモーメントである第1ねじりモーメントMt1が大きくなる。したがって、図2に示すように、第1ねじりモーメントMt1の絶対値は、第1温度T1が高くなるにつれて、大きくなっている。また、第1温度T1に対する第1ねじりモーメントMt1の変化量は、第1温度T1が高くなるにつれて、大きくなっている。よって、第1アクチュエータ部材21は、第1温度T1が比較的高いときに、比較的大きなねじりモーメントを発生させる。 In the first actuator member 21, as the first temperature T1 increases, the amount of contraction of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction increases. Therefore, the first torsional moment Mt1 which is the torsional moment of the first actuator member 21 generated by the contraction of the first actuator member 21 becomes large. Therefore, as shown in FIG. 2, the absolute value of the first torsional moment Mt1 increases as the first temperature T1 increases. Further, the amount of change in the first torsional moment Mt1 with respect to the first temperature T1 increases as the first temperature T1 increases. Therefore, the first actuator member 21 generates a relatively large torsional moment when the first temperature T1 is relatively high.

また、第2アクチュエータ部材22では、第2温度T2が高くなるにつれて、第2アクチュエータ部材22の第2軸CL2方向の収縮量が大きくなる。このため、第2アクチュエータ部材22の収縮に伴って発生する第2アクチュエータ部材22のねじりモーメントである第2ねじりモーメントMt2が大きくなる。したがって、図2に示すように、第2ねじりモーメントMt2の絶対値は、第2温度T2が高くなるにつれて、大きくなっている。さらに、第2温度T2に対する第2ねじりモーメントMt2の変化量は、第2温度T2が高くなるにつれて、大きくなっている。よって、第2アクチュエータ部材22は、第2温度T2が比較的高いときに、比較的大きなねじりモーメントを発生させる。なお、ここでは、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の特性は、互いに同様となっている。また、ここでは、第1ねじりモーメントMt1および第2ねじりモーメントMt2の正方向を第1方向R1とし、第1ねじりモーメントMt1および第2ねじりモーメントMt2の負方向を第2方向R2とする。 Further, in the second actuator member 22, as the second temperature T2 increases, the amount of contraction of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction increases. Therefore, the second torsional moment Mt2, which is the torsional moment of the second actuator member 22 generated by the contraction of the second actuator member 22, becomes large. Therefore, as shown in FIG. 2, the absolute value of the second torsional moment Mt2 increases as the second temperature T2 increases. Further, the amount of change in the second torsional moment Mt2 with respect to the second temperature T2 increases as the second temperature T2 increases. Therefore, the second actuator member 22 generates a relatively large torsional moment when the second temperature T2 is relatively high. Here, the characteristics of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are the same as each other. Further, here, the positive direction of the first torsional moment Mt1 and the second torsional moment Mt2 is defined as the first direction R1, and the negative direction of the first torsional moment Mt1 and the second torsional moment Mt2 is defined as the second direction R2.

次に、図3のフローチャートを参照して、プログラムを実行しているときの制御部88の処理について説明する。ここでは、便宜上、制御部88のステップS101の処理が開始されてからステップS101の処理に戻るまでの一連の動作の期間を制御部88の制御周期とする。 Next, the processing of the control unit 88 when the program is being executed will be described with reference to the flowchart of FIG. Here, for convenience, the control cycle of the control unit 88 is defined as the period of a series of operations from the start of the process of step S101 of the control unit 88 to the return to the process of step S101.

ステップS101において、制御部88は、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90の状態を状態検出部80から取得する。ここでは、制御部88は、第1温度センサ81から第1温度T1を取得する。また、制御部88は、第2温度センサ82から第2温度T2を取得する。さらに、制御部88は、回転センサ83から回転角度θを取得する。その後、処理は、ステップS102に移行する。 In step S101, the control unit 88 acquires the states of the first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90 from the state detection unit 80. Here, the control unit 88 acquires the first temperature T1 from the first temperature sensor 81. Further, the control unit 88 acquires the second temperature T2 from the second temperature sensor 82. Further, the control unit 88 acquires the rotation angle θ from the rotation sensor 83. After that, the process proceeds to step S102.

ステップS102において、制御部88は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が準備状態であるか否かを判定する。具体的には、上記したように、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、温度が比較的高いときに、比較的大きなねじりモーメントを発生させる。このため、制御部88は、第1温度T1が第1準備温度T1_pre以上、かつ、第2温度T2が第2準備温度T2_pre以上であるか否かを判定する。 In step S102, the control unit 88 determines whether or not the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are in the ready state. Specifically, as described above, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 generate a relatively large torsional moment when the temperature is relatively high. Therefore, the control unit 88 determines whether or not the first temperature T1 is equal to or higher than the first preparation temperature T1_pre and the second temperature T2 is equal to or higher than the second preparation temperature T2_pre.

第1温度T1が第1準備温度T1_pre以上、かつ、第2温度T2が第2準備温度T2_pre以上であるとき、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が準備状態であり、処理は、ステップS106に移行する。また、第1温度T1が第1準備温度T1_pre未満、または、第2温度T2が第2準備温度T2_pre未満であるとき、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が準備状態ではなく、処理は、ステップS103に移行する。なお、第1準備温度T1_preおよび第2準備温度T2_preは、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の特性および第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる応力に基づいて、設定される。また、ここでは、第1準備温度T1_preおよび第2準備温度T2_preは、互いに同じ値とする。 When the first temperature T1 is equal to or higher than the first preparation temperature T1_pre and the second temperature T2 is equal to or higher than the second preparation temperature T2_pre, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are in the ready state, and the process is a step. Move to S106. Further, when the first temperature T1 is lower than the first preparation temperature T1_pre or the second temperature T2 is lower than the second preparation temperature T2_pre, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are not in the ready state, and the processing is performed. , Step S103. The first preparation temperature T1_pre and the second preparation temperature T2_pre are set based on the characteristics of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 and the stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22. .. Further, here, the first preparation temperature T1_pre and the second preparation temperature T2_pre have the same values.

ステップS103において、制御部88は、第1温度T1を第1準備温度T1_preにし、第2温度T2を第2準備温度T2_preにするため、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を推定する。ここでは、第1温度変化量ΔT1は、第1温度T1を変化させる量である。また、第2温度変化量ΔT2は、第2温度T2を変化させる量である。 In step S103, the control unit 88 estimates the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 in order to set the first temperature T1 to the first preparation temperature T1_pre and the second temperature T2 to the second preparation temperature T2_pre. To do. Here, the first temperature change amount ΔT1 is an amount that changes the first temperature T1. The second temperature change amount ΔT2 is an amount that changes the second temperature T2.

具体的には、制御部88は、第1準備温度T1_preから第1温度T1を減算することによって、第1温度変化量ΔT1を推定する。また、制御部88は、第2準備温度T2_preから第2温度T2を減算することによって、第2温度変化量ΔT2を推定する。 Specifically, the control unit 88 estimates the first temperature change amount ΔT1 by subtracting the first temperature T1 from the first preparation temperature T1_pre. Further, the control unit 88 estimates the second temperature change amount ΔT2 by subtracting the second temperature T2 from the second preparation temperature T2_pre.

また、制御部88は、センサ装置90を回転させないために、第1ねじりモーメントMt1と第2ねじりモーメントMt2とが同等になるように、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。例えば、制御部88は、上記のように推定した第1温度変化量ΔT1に基づいて、発生する第1ねじりモーメントMt1を推定する。また、制御部88は、上記のように推定した第2温度変化量ΔT2に基づいて、発生する第2ねじりモーメントMt2を推定する。そして、制御部88は、第1ねじりモーメントMt1および第2ねじりモーメントMt2のうちの大きいほうのねじりモーメントに対応する温度変化量に、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。 Further, the control unit 88 corrects the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 so that the first torsional moment Mt1 and the second torsional moment Mt2 are equivalent so as not to rotate the sensor device 90. To do. For example, the control unit 88 estimates the first torsional moment Mt1 to be generated based on the first temperature change amount ΔT1 estimated as described above. Further, the control unit 88 estimates the generated second torsional moment Mt2 based on the second temperature change amount ΔT2 estimated as described above. Then, the control unit 88 corrects the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 to the temperature change amount corresponding to the larger twist moment of the first twist moment Mt1 and the second twist moment Mt2. ..

続いて、ステップS104において、制御部88は、ステップS103にて推定した第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2に基づいて、第1加熱電流Ih1および第2加熱電流Ih2を算出する。なお、第1加熱電流Ih1は、電源85から第1加熱部61に流れる電流である。また、第2加熱電流Ih2は、電源85から第2加熱部62に流れる電流である。 Subsequently, in step S104, the control unit 88 calculates the first heating current Ih1 and the second heating current Ih2 based on the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 estimated in step S103. The first heating current Ih1 is a current flowing from the power supply 85 to the first heating unit 61. The second heating current Ih2 is a current flowing from the power supply 85 to the second heating unit 62.

具体的には、制御部88は、図4に示すような第1温度変化量ΔT1と第1加熱電流Ih1との関係図を用いて、第1加熱電流Ih1を算出する。なお、図4に記載されている第1冷却電流Ic1および第2冷却電流Ic2については、後述する。 Specifically, the control unit 88 calculates the first heating current Ih1 by using the relationship diagram between the first temperature change amount ΔT1 and the first heating current Ih1 as shown in FIG. The first cooling current Ic1 and the second cooling current Ic2 shown in FIG. 4 will be described later.

第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1アクチュエータ部材21を加熱するために必要な熱量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第1温度T1を上昇させるためには、第1加熱部61の発熱量を大きくして、第1加熱電流Ih1を大きくする必要がある。したがって、図4では、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1加熱電流Ih1が大きくなっている。なお、第1温度変化量ΔT1がゼロ以下であるとき、第1アクチュエータ部材21を加熱する必要がないため、第1加熱電流Ih1は、ゼロである。 When the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the amount of heat required to heat the first actuator member 21 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases. Therefore, in order to increase the first temperature T1 with good response to time, it is necessary to increase the calorific value of the first heating unit 61 and increase the first heating current Ih1. Therefore, in FIG. 4, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the first heating current Ih1 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases. When the first temperature change amount ΔT1 is zero or less, it is not necessary to heat the first actuator member 21, so that the first heating current Ih1 is zero.

また、制御部88は、図4に示すような第2温度変化量ΔT2と第2加熱電流Ih2との関係図を用いて、第2加熱電流Ih2を算出する。 Further, the control unit 88 calculates the second heating current Ih2 by using the relationship diagram between the second temperature change amount ΔT2 and the second heating current Ih2 as shown in FIG.

第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2アクチュエータ部材22を加熱するために必要な熱量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第2温度T2を上昇させるためには、第2加熱部62の発熱量を大きくして、第2加熱電流Ih2を大きくする必要がある。したがって、図4では、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2加熱電流Ih2が大きくなっている。なお、第2温度変化量ΔT2がゼロ以下であるとき、第2アクチュエータ部材22を加熱する必要がないため、第2加熱電流Ih2は、ゼロである。 When the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the amount of heat required to heat the second actuator member 22 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases. Therefore, in order to increase the second temperature T2 with good response to time, it is necessary to increase the calorific value of the second heating unit 62 and increase the second heating current Ih2. Therefore, in FIG. 4, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the second heating current Ih2 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases. When the second temperature change amount ΔT2 is zero or less, it is not necessary to heat the second actuator member 22, so that the second heating current Ih2 is zero.

よって、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1加熱電流Ih1を大きくする。制御部88は、第1温度変化量ΔT1がゼロ以下であるとき、第1加熱電流Ih1をゼロとみなす。また、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2加熱電流Ih2を大きくする。制御部88は、第2温度変化量ΔT2がゼロ以下であるとき、第2加熱電流Ih2をゼロとみなす。なお、第1温度変化量ΔT1と第1加熱電流Ih1との関係および第2温度変化量ΔT2と第2加熱電流Ih2との関係は、例えば、実験やシミュレーションによって設定される。 Therefore, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the control unit 88 increases the first heating current Ih1 as the first temperature change amount ΔT1 increases. The control unit 88 considers the first heating current Ih1 to be zero when the first temperature change amount ΔT1 is zero or less. Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the control unit 88 increases the second heating current Ih2 as the second temperature change amount ΔT2 increases. The control unit 88 considers the second heating current Ih2 to be zero when the second temperature change amount ΔT2 is zero or less. The relationship between the first temperature change amount ΔT1 and the first heating current Ih1 and the relationship between the second temperature change amount ΔT2 and the second heating current Ih2 are set by, for example, an experiment or a simulation.

続いて、ステップS105において、制御部88により、ステップS104にて算出された第1加熱電流Ih1が流れる。これにより、第1加熱部61が発熱し、第1アクチュエータ部材21は、予熱される。このとき、第1アクチュエータ部材21が収縮して、第1ねじりモーメントMt1が第1方向R1に発生する。また、制御部88により、ステップS104にて算出された第2加熱電流Ih2が流れる。これにより、第2加熱部62が発熱し、第2アクチュエータ部材22は、予熱される。このとき、第2アクチュエータ部材22が収縮して、第2ねじりモーメントMt2が、第1方向R1とは逆方向の第2方向R2に発生する。なお、このとき、ステップS103にて、センサ装置90を回転させないために、第1ねじりモーメントMt1と第2ねじりモーメントMt2とが同等にされている。このため、第1方向R1に発生する第1ねじりモーメントMt1と第2方向R2に発生する第2ねじりモーメントMt2との和がゼロになるため、センサ装置90は、回転しない。その後、処理は、ステップS101に戻る。 Subsequently, in step S105, the control unit 88 causes the first heating current Ih1 calculated in step S104 to flow. As a result, the first heating unit 61 generates heat, and the first actuator member 21 is preheated. At this time, the first actuator member 21 contracts, and the first torsional moment Mt1 is generated in the first direction R1. Further, the control unit 88 causes the second heating current Ih2 calculated in step S104 to flow. As a result, the second heating unit 62 generates heat, and the second actuator member 22 is preheated. At this time, the second actuator member 22 contracts, and the second torsional moment Mt2 is generated in the second direction R2 in the direction opposite to the first direction R1. At this time, in step S103, the first torsional moment Mt1 and the second torsional moment Mt2 are made equivalent in order not to rotate the sensor device 90. Therefore, the sum of the first torsional moment Mt1 generated in the first direction R1 and the second torsional moment Mt2 generated in the second direction R2 becomes zero, so that the sensor device 90 does not rotate. After that, the process returns to step S101.

続いて、ステップS106において、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が準備状態であるため、制御部88は、ステップS101にて取得した回転角度θおよび目標角度θtに基づいて、角度偏差Δθを算出する。ここでは、制御部88は、目標角度θtから回転角度θを減算することによって、角度偏差Δθを算出する。 Subsequently, in step S106, since the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are in the ready state, the control unit 88 has an angle deviation Δθ based on the rotation angle θ and the target angle θt acquired in step S101. Is calculated. Here, the control unit 88 calculates the angle deviation Δθ by subtracting the rotation angle θ from the target angle θt.

続いて、ステップS107において、制御部88は、ステップS106にて算出した角度偏差Δθをゼロにするための第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を算出する。 Subsequently, in step S107, the control unit 88 calculates the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 for making the angle deviation Δθ calculated in step S106 zero.

具体的には、制御部88は、図5に示すような角度偏差Δθと第1温度変化量ΔT1との関係図を用いて、第1温度変化量ΔT1を算出する。なお、図5において、角度偏差Δθと第1温度変化量ΔT1との関係が実線で記載されている。 Specifically, the control unit 88 calculates the first temperature change amount ΔT1 by using the relationship diagram between the angle deviation Δθ and the first temperature change amount ΔT1 as shown in FIG. In FIG. 5, the relationship between the angle deviation Δθ and the first temperature change amount ΔT1 is shown by a solid line.

角度偏差Δθが正の値であるとき、角度偏差Δθが大きくなるにつれて、センサ装置90が目標角度θtに変位するまでの第1方向R1の角度が大きくなる。このため、センサ装置90を目標角度θtに変位させるために、センサ装置90が第1方向R1に回転するためのトルクを大きくする必要がある。センサ装置90にかかる第1方向R1のトルクを大きくするには、第1方向R1の第1ねじりモーメントMt1を大きくする必要がある。第1方向R1の第1ねじりモーメントMt1を大きくするには、第1アクチュエータ部材21を加熱して、第1温度変化量ΔT1を大きくする必要がある。したがって、図5では、第2温度変化量ΔT2が固定値である場合において、角度偏差Δθが正の値であるとき、角度偏差Δθが大きくなるにつれて、第1温度変化量ΔT1が正の値で、第1温度変化量ΔT1が大きくなっている。 When the angle deviation Δθ is a positive value, as the angle deviation Δθ increases, the angle of the first direction R1 until the sensor device 90 is displaced to the target angle θt increases. Therefore, in order to displace the sensor device 90 at the target angle θt, it is necessary to increase the torque for rotating the sensor device 90 in the first direction R1. In order to increase the torque in the first direction R1 applied to the sensor device 90, it is necessary to increase the first torsional moment Mt1 in the first direction R1. In order to increase the first torsional moment Mt1 in the first direction R1, it is necessary to heat the first actuator member 21 to increase the first temperature change amount ΔT1. Therefore, in FIG. 5, when the second temperature change amount ΔT2 is a fixed value and the angle deviation Δθ is a positive value, the first temperature change amount ΔT1 becomes a positive value as the angle deviation Δθ increases. , The first temperature change amount ΔT1 is large.

また、角度偏差Δθが負の値であるとき、角度偏差Δθの絶対値が大きくなるにつれて、センサ装置90が目標角度θtに変位するまでの第2方向R2の角度が大きくなる。このため、センサ装置90を目標角度θtに変位させるために、センサ装置90が第2方向R2に回転するためのトルクを大きくする必要がある。センサ装置90にかかる第2方向R2のトルクを大きくするには、第2方向R2の第1ねじりモーメントMt1を大きくする必要がある。第2方向R2の第1ねじりモーメントMt1を大きくするには、第1アクチュエータ部材21を冷却して、第1温度変化量ΔT1を負の値にし、第1温度変化量ΔT1の絶対値を大きくする必要がある。したがって、図5では、第2温度変化量ΔT2が固定値である場合に、角度偏差Δθが負の値であるとき、角度偏差Δθの絶対値が大きくなるにつれて、第1温度変化量ΔT1が負の値で、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなっている。なお、角度偏差Δθがゼロであるとき、センサ装置90を変位させる必要がないので、第1温度変化量ΔT1は、ゼロになっている。また、角度偏差Δθと第1温度変化量ΔT1との関係は、例えば、実験やシミュレーションによって設定される。 Further, when the angle deviation Δθ is a negative value, as the absolute value of the angle deviation Δθ increases, the angle of the second direction R2 until the sensor device 90 is displaced to the target angle θt increases. Therefore, in order to displace the sensor device 90 to the target angle θt, it is necessary to increase the torque for the sensor device 90 to rotate in the second direction R2. In order to increase the torque in the second direction R2 applied to the sensor device 90, it is necessary to increase the first torsional moment Mt1 in the second direction R2. In order to increase the first torsional moment Mt1 in the second direction R2, the first actuator member 21 is cooled, the first temperature change amount ΔT1 is set to a negative value, and the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 is increased. There is a need. Therefore, in FIG. 5, when the second temperature change amount ΔT2 is a fixed value and the angle deviation Δθ is a negative value, the first temperature change amount ΔT1 becomes negative as the absolute value of the angle deviation Δθ increases. The absolute value of the first temperature change amount ΔT1 is large with the value of. Since it is not necessary to displace the sensor device 90 when the angle deviation Δθ is zero, the first temperature change amount ΔT1 is zero. Further, the relationship between the angle deviation Δθ and the first temperature change amount ΔT1 is set by, for example, an experiment or a simulation.

また、制御部88は、図5に示すような角度偏差Δθと第2温度変化量ΔT2との関係図を用いて、第2温度変化量ΔT2を算出する。なお、図5において、角度偏差Δθと第2温度変化量ΔT2との関係が一点鎖線で記載されている。 Further, the control unit 88 calculates the second temperature change amount ΔT2 by using the relationship diagram between the angle deviation Δθ and the second temperature change amount ΔT2 as shown in FIG. In FIG. 5, the relationship between the angle deviation Δθ and the second temperature change amount ΔT2 is described by a alternate long and short dash line.

角度偏差Δθが正の値であるとき、上記したように、角度偏差Δθが大きくなるにつれて、センサ装置90が第1方向R1に回転するためのトルクを大きくする必要がある。センサ装置90にかかる第1方向R1のトルクを大きくするには、第1方向R1の第2ねじりモーメントMt2を大きくする必要がある。第1方向R1の第2ねじりモーメントMt2を大きくするには、第2アクチュエータ部材22を冷却して、第2温度変化量ΔT2を負の値にして、第2温度変化量ΔT2の絶対値を大きくする必要がある。したがって、図5では、第1温度変化量ΔT1が固定値である場合に、角度偏差Δθが正の値であるとき、角度偏差Δθが大きくなるにつれて、第2温度変化量ΔT2が負の値で、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなっている。 When the angle deviation Δθ is a positive value, as described above, it is necessary to increase the torque for rotating the sensor device 90 in the first direction R1 as the angle deviation Δθ increases. In order to increase the torque in the first direction R1 applied to the sensor device 90, it is necessary to increase the second torsional moment Mt2 in the first direction R1. In order to increase the second torsional moment Mt2 in the first direction R1, the second actuator member 22 is cooled, the second temperature change amount ΔT2 is set to a negative value, and the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 is increased. There is a need to. Therefore, in FIG. 5, when the first temperature change amount ΔT1 is a fixed value and the angle deviation Δθ is a positive value, the second temperature change amount ΔT2 becomes a negative value as the angle deviation Δθ increases. , The absolute value of the second temperature change amount ΔT2 is large.

また、角度偏差Δθが負の値であるとき、上記したように、角度偏差Δθの絶対値が大きくなるにつれて、センサ装置90が第2方向R2に回転するためのトルクを大きくする必要がある。センサ装置90にかかる第2方向R2のトルクを大きくするには、第2方向R2の第2ねじりモーメントMt2を大きくする必要がある。第2方向R2の第2ねじりモーメントMt2を大きくするには、第2アクチュエータ部材22を加熱し、第2温度変化量ΔT2を正の値にして、第2温度変化量ΔT2を大きくする必要がある。したがって、図5では、第1温度変化量ΔT1が固定値である場合において、角度偏差Δθが負の値であるとき、角度偏差Δθの絶対値が大きくなるにつれて、第2温度変化量ΔT2が負の値で、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなっている。なお、角度偏差Δθがゼロであるとき、センサ装置90を変位させる必要がないので、第2温度変化量ΔT2は、ゼロになっている。また、角度偏差Δθと第2温度変化量ΔT2との関係は、例えば、実験やシミュレーションによって設定される。 Further, when the angle deviation Δθ is a negative value, as described above, it is necessary to increase the torque for the sensor device 90 to rotate in the second direction R2 as the absolute value of the angle deviation Δθ increases. In order to increase the torque in the second direction R2 applied to the sensor device 90, it is necessary to increase the second torsional moment Mt2 in the second direction R2. In order to increase the second torsional moment Mt2 in the second direction R2, it is necessary to heat the second actuator member 22, set the second temperature change amount ΔT2 to a positive value, and increase the second temperature change amount ΔT2. .. Therefore, in FIG. 5, when the first temperature change amount ΔT1 is a fixed value and the angle deviation Δθ is a negative value, the second temperature change amount ΔT2 becomes negative as the absolute value of the angle deviation Δθ increases. The absolute value of the second temperature change amount ΔT2 is large at the value of. Since it is not necessary to displace the sensor device 90 when the angle deviation Δθ is zero, the second temperature change amount ΔT2 is zero. Further, the relationship between the angle deviation Δθ and the second temperature change amount ΔT2 is set by, for example, an experiment or a simulation.

よって、制御部88は、角度偏差Δθが正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1を正の値にし、第2温度変化量ΔT2を負の値にする。そして、このとき、制御部88は、角度偏差Δθが大きくなるにつれて、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2の絶対値を大きくする。また、制御部88は、角度偏差Δθが負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1を負の値にし、第2温度変化量ΔT2を正の値にする。そして、このとき、制御部88は、角度偏差Δθの絶対値が大きくなるにつれて、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2の絶対値を大きくする。 Therefore, when the angle deviation Δθ is a positive value, the control unit 88 sets the first temperature change amount ΔT1 to a positive value and sets the second temperature change amount ΔT2 to a negative value. At this time, the control unit 88 increases the absolute values of the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 as the angle deviation Δθ increases. Further, when the angle deviation Δθ is a negative value, the control unit 88 sets the first temperature change amount ΔT1 to a negative value and sets the second temperature change amount ΔT2 to a positive value. At this time, the control unit 88 increases the absolute values of the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 as the absolute value of the angle deviation Δθ increases.

そして、制御部88は、この算出した第1温度変化量ΔT1に基づいて、第1アクチュエータ部材21の変位量を推定する。ここでは、第1アクチュエータ部材21の変位量は、第1軸CL1方向の第1アクチュエータ部材21の収縮量および第1軸CL1方向の第1アクチュエータ部材21の伸長量である。以下、便宜上、第1アクチュエータ部材21の第1軸CL1方向の収縮量を第1収縮量ΔLc1とする。また、第1アクチュエータ部材21の第1軸CL1方向の伸長量を第1伸長量ΔLe1とする。 Then, the control unit 88 estimates the displacement amount of the first actuator member 21 based on the calculated first temperature change amount ΔT1. Here, the displacement amount of the first actuator member 21 is the contraction amount of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction and the extension amount of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction. Hereinafter, for convenience, the contraction amount of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction is defined as the first contraction amount ΔLc1. Further, the extension amount of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction is defined as the first extension amount ΔLe1.

例えば、制御部88は、図6に示すような第1温度変化量ΔT1と第1収縮量ΔLc1および第1伸長量ΔLe1との関係図を用いて、第1収縮量ΔLc1および第1伸長量ΔLe1を推定する。なお、図6において、矢印方向が正方向であり、第1収縮量ΔLc1が負の値で示されており、第1伸長量ΔLe1が正の値で示されている。 For example, the control unit 88 uses the relationship diagram between the first temperature change amount ΔT1 and the first contraction amount ΔLc1 and the first extension amount ΔLe1 as shown in FIG. To estimate. In FIG. 6, the arrow direction is the positive direction, the first contraction amount ΔLc1 is indicated by a negative value, and the first extension amount ΔLe1 is indicated by a positive value.

第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1アクチュエータ部材21に与えられる熱量が大きくなる。したがって、図6では、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1収縮量ΔLc1が大きくなる。 When the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the amount of heat given to the first actuator member 21 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases. Therefore, in FIG. 6, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the first shrinkage amount ΔLc1 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases.

また、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1アクチュエータ部材21が吸熱される量が大きくなる。したがって、図6では、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1伸長量ΔLe1が大きくなっている。なお、第1温度変化量ΔT1がゼロであるとき、第1アクチュエータ部材21が変形しないので、第1収縮量ΔLc1および第1伸長量ΔLe1は、ゼロである。また、第1温度変化量ΔT1と第1収縮量ΔLc1および第1伸長量ΔLe1との関係は、例えば、実験やシミュレーションによって設定される。 Further, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the amount of heat absorbed by the first actuator member 21 increases as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases. Therefore, in FIG. 6, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the first extension amount ΔLe1 increases as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases. When the first temperature change amount ΔT1 is zero, the first actuator member 21 is not deformed, so that the first contraction amount ΔLc1 and the first extension amount ΔLe1 are zero. Further, the relationship between the first temperature change amount ΔT1 and the first contraction amount ΔLc1 and the first extension amount ΔLe1 is set by, for example, an experiment or a simulation.

よって、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1収縮量ΔLc1の推定値を大きくする。また、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1伸長量ΔLe1の推定値を大きくする。 Therefore, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the control unit 88 increases the estimated value of the first contraction amount ΔLc1 as the first temperature change amount ΔT1 increases. Further, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the control unit 88 increases the estimated value of the first extension amount ΔLe1 as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases.

また、制御部88は、この算出した第2温度変化量ΔT2に基づいて、第2アクチュエータ部材22の変位量を推定する。ここでは、第2アクチュエータ部材22の変位量は、第2軸CL2方向の第2アクチュエータ部材22の収縮量および第2軸CL2方向の第2アクチュエータ部材22の伸長量である。以下、便宜上、第2アクチュエータ部材22の第2軸CL2方向の収縮量を第2収縮量ΔLc2とする。また、第2アクチュエータ部材22の第2軸CL2方向の伸長量を第2伸長量ΔLe2とする。 Further, the control unit 88 estimates the displacement amount of the second actuator member 22 based on the calculated second temperature change amount ΔT2. Here, the displacement amount of the second actuator member 22 is the contraction amount of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction and the extension amount of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction. Hereinafter, for convenience, the contraction amount of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction is referred to as the second contraction amount ΔLc2. Further, the extension amount of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction is defined as the second extension amount ΔLe2.

例えば、制御部88は、図6に示すような第2温度変化量ΔT2と第2収縮量ΔLc2および第2伸長量ΔLe2との関係図を用いて、第2収縮量ΔLc2および第2伸長量ΔLe2を推定する。なお、図6において、第2収縮量ΔLc2が負の値で示されており、第2伸長量ΔLe2が正の値で示されている。 For example, the control unit 88 uses the relationship diagram between the second temperature change amount ΔT2, the second contraction amount ΔLc2, and the second extension amount ΔLe2 as shown in FIG. To estimate. In FIG. 6, the second contraction amount ΔLc2 is indicated by a negative value, and the second extension amount ΔLe2 is indicated by a positive value.

第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2アクチュエータ部材22に与えられる熱量が大きくなる。したがって、図6では、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2収縮量ΔLc2が大きくなる。 When the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the amount of heat given to the second actuator member 22 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases. Therefore, in FIG. 6, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the second shrinkage amount ΔLc2 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases.

また、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2アクチュエータ部材22が吸熱される量が大きくなる。したがって、図6では、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2伸長量ΔLe2が大きくなっている。なお、第2温度変化量ΔT2がゼロであるとき、第2アクチュエータ部材22が変形しないので、第2収縮量ΔLc2および第2伸長量ΔLe2は、ゼロである。また、第2温度変化量ΔT2と第2収縮量ΔLc2および第2伸長量ΔLe2との関係は、例えば、実験やシミュレーションによって設定される。 Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the amount of heat absorbed by the second actuator member 22 increases as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases. Therefore, in FIG. 6, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the second extension amount ΔLe2 increases as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases. When the second temperature change amount ΔT2 is zero, the second actuator member 22 is not deformed, so that the second contraction amount ΔLc2 and the second extension amount ΔLe2 are zero. Further, the relationship between the second temperature change amount ΔT2, the second contraction amount ΔLc2, and the second extension amount ΔLe2 is set by, for example, an experiment or a simulation.

よって、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2収縮量ΔLc2の推定値を大きくする。また、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2伸長量ΔLe2の推定値を大きくする。 Therefore, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the control unit 88 increases the estimated value of the second contraction amount ΔLc2 as the second temperature change amount ΔT2 increases. Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the control unit 88 increases the estimated value of the second extension amount ΔLe2 as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases.

そして、上記したように、制御部88は、角度偏差Δθが正の値であるとき、センサ装置90を第1方向R1に回転させる必要があるので、第1温度変化量ΔT1を正の値にし、第2温度変化量ΔT2を負の値にする。このとき、第1アクチュエータ部材21は、収縮し、第2アクチュエータ部材22は、伸長する。このため、制御部88は、この推定した第1収縮量ΔLc1と第2伸長量ΔLe2とが同等となるように、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。例えば、制御部88は、この推定した第1収縮量ΔLc1および第2伸長量ΔLe2のうちの小さいほうの変位量に対応する温度変化量に、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。なお、この補正により、制御部88の現在の制御周期では、角度偏差Δθがゼロに近づくのみであるため、ここでは、この制御部88のプログラムを繰り返すことによって、角度偏差Δθがゼロにされる。 Then, as described above, when the angle deviation Δθ is a positive value, the control unit 88 needs to rotate the sensor device 90 in the first direction R1, so that the first temperature change amount ΔT1 is set to a positive value. , The second temperature change amount ΔT2 is set to a negative value. At this time, the first actuator member 21 contracts and the second actuator member 22 expands. Therefore, the control unit 88 corrects the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 so that the estimated first contraction amount ΔLc1 and the second extension amount ΔLe2 are equivalent. For example, the control unit 88 sets the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 to the temperature change amount corresponding to the smaller displacement amount of the estimated first contraction amount ΔLc1 and second extension amount ΔLe2. To correct. Since the angle deviation Δθ only approaches zero in the current control cycle of the control unit 88 due to this correction, here, the angle deviation Δθ is set to zero by repeating the program of the control unit 88. ..

また、上記したように、制御部88は、角度偏差Δθが負の値であるとき、センサ装置90を第2方向R2に回転させる必要があるので、第1温度変化量ΔT1を負の値にし、第2温度変化量ΔT2を正の値にする。このとき、第1アクチュエータ部材21は、伸長し、第2アクチュエータ部材22は、収縮する。このため、制御部88は、この推定した第1伸長量ΔLe1と第2収縮量ΔLc2とが同等となるように、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。例えば、制御部88は、第1伸長量ΔLe1および第2収縮量ΔLc2のうちの小さいほうの変位量に対応する温度変化量に、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2を補正する。なお、この補正により、制御部88の現在の制御周期では、角度偏差Δθがゼロに近づくのみであるため、ここでは、この制御部88のプログラムを繰り返すことによって、角度偏差Δθがゼロにされる。 Further, as described above, when the angle deviation Δθ is a negative value, the control unit 88 needs to rotate the sensor device 90 in the second direction R2, so that the first temperature change amount ΔT1 is set to a negative value. , Set the second temperature change amount ΔT2 to a positive value. At this time, the first actuator member 21 expands and the second actuator member 22 contracts. Therefore, the control unit 88 corrects the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 so that the estimated first extension amount ΔLe1 and the second contraction amount ΔLc2 are equivalent. For example, the control unit 88 corrects the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 to the temperature change amount corresponding to the smaller displacement amount of the first extension amount ΔLe1 and the second contraction amount ΔLc2. .. Since the angle deviation Δθ only approaches zero in the current control cycle of the control unit 88 due to this correction, here, the angle deviation Δθ is set to zero by repeating the program of the control unit 88. ..

続いて、ステップS108において、制御部88は、ステップS107にて推定した第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2に基づいて、第1加熱電流Ih1、第2加熱電流Ih2、第1冷却電流Ic1および第2冷却電流Ic2を算出する。なお、第1冷却電流Ic1は、電源85から第1冷却部71に流れる電流である。第2冷却電流Ic2は、電源85から第2冷却部72に流れる電流である。 Subsequently, in step S108, the control unit 88 uses the first heating current Ih1, the second heating current Ih2, and the first cooling based on the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 estimated in step S107. The current Ic1 and the second cooling current Ic2 are calculated. The first cooling current Ic1 is a current flowing from the power supply 85 to the first cooling unit 71. The second cooling current Ic2 is a current flowing from the power supply 85 to the second cooling unit 72.

具体的には、制御部88は、図4に示すような第1温度変化量ΔT1と第1加熱電流Ih1および第1冷却電流Ic1との関係図を用いて、第1加熱電流Ih1および第1冷却電流Ic1を算出する。なお、図4において、第1温度変化量ΔT1と第1加熱電流Ih1との関係が実線で記載されている。また、第1温度変化量ΔT1と第1冷却電流Ic1との関係が一点鎖線で記載されている。 Specifically, the control unit 88 uses the relationship diagram between the first temperature change amount ΔT1 and the first heating current Ih1 and the first cooling current Ic1 as shown in FIG. 4, and the first heating current Ih1 and the first The cooling current Ic1 is calculated. In FIG. 4, the relationship between the first temperature change amount ΔT1 and the first heating current Ih1 is shown by a solid line. Further, the relationship between the first temperature change amount ΔT1 and the first cooling current Ic1 is described by the alternate long and short dash line.

第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1アクチュエータ部材21を加熱させるために、第1加熱電流Ih1は、正の値になり、第1冷却電流Ic1は、ゼロになる。また、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、上記したように、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1アクチュエータ部材21を加熱するために必要な熱量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第1温度T1を上昇させるためには、第1加熱部61の発熱量を大きくして、第1加熱電流Ih1を大きくする必要がある。したがって、図4では、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1加熱電流Ih1が大きくなっている。したがって、図4では、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1加熱電流Ih1が大きくなっている。 When the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the first heating current Ih1 becomes a positive value and the first cooling current Ic1 becomes zero in order to heat the first actuator member 21. Further, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, as described above, as the first temperature change amount ΔT1 increases, the amount of heat required to heat the first actuator member 21 increases. Therefore, in order to increase the first temperature T1 with good response to time, it is necessary to increase the calorific value of the first heating unit 61 and increase the first heating current Ih1. Therefore, in FIG. 4, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the first heating current Ih1 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases. Therefore, in FIG. 4, when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, the first heating current Ih1 increases as the first temperature change amount ΔT1 increases.

また、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1アクチュエータ部材21を冷却させるために、第1加熱電流Ih1は、ゼロになり、第1冷却電流Ic1は、正の値になる。さらに、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1アクチュエータ部材21を冷却させるために、第1冷却部71が第1アクチュエータ部材21から吸熱する量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第1温度T1を下降させるためには、第1冷却電流Ic1を大きくする必要がある。したがって、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1冷却電流Ic1が大きくなっている。なお、第1温度変化量ΔT1がゼロ以上であるとき、第1アクチュエータ部材21を冷却する必要がないため、第1冷却電流Ic1は、ゼロである。 Further, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the first heating current Ih1 becomes zero and the first cooling current Ic1 becomes a positive value in order to cool the first actuator member 21. .. Further, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the first cooling unit 71 performs the first actuator in order to cool the first actuator member 21 as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases. The amount of heat absorbed from the member 21 increases. Therefore, it is necessary to increase the first cooling current Ic1 in order to reduce the first temperature T1 with good response to time. Therefore, when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value, the first cooling current Ic1 increases as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases. When the first temperature change amount ΔT1 is zero or more, it is not necessary to cool the first actuator member 21, so that the first cooling current Ic1 is zero.

よって、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が正の値であるとき、第1冷却電流Ic1をゼロとみなす。このとき、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が大きくなるにつれて、第1加熱電流Ih1を大きくする。また、制御部88は、第1温度変化量ΔT1が負の値であるとき、第1加熱電流Ih1をゼロとみなす。このとき、制御部88は、第1温度変化量ΔT1の絶対値が大きくなるにつれて、第1冷却電流Ic1を大きくする。 Therefore, the control unit 88 considers the first cooling current Ic1 to be zero when the first temperature change amount ΔT1 is a positive value. At this time, the control unit 88 increases the first heating current Ih1 as the first temperature change amount ΔT1 increases. Further, the control unit 88 considers the first heating current Ih1 to be zero when the first temperature change amount ΔT1 is a negative value. At this time, the control unit 88 increases the first cooling current Ic1 as the absolute value of the first temperature change amount ΔT1 increases.

また、制御部88は、図4に示すような第2温度変化量ΔT2と第2加熱電流Ih2および第2冷却電流Ic2との関係図を用いて、第2加熱電流Ih2および第2冷却電流Ic2を算出する。なお、図4において、第2温度変化量ΔT2と第2加熱電流Ih2との関係が実線で記載されている。また、第2温度変化量ΔT2と第2冷却電流Ic2との関係が一点鎖線で記載されている。 Further, the control unit 88 uses the relationship diagram between the second temperature change amount ΔT2 and the second heating current Ih2 and the second cooling current Ic2 as shown in FIG. 4, and uses the second heating current Ih2 and the second cooling current Ic2. Is calculated. In FIG. 4, the relationship between the second temperature change amount ΔT2 and the second heating current Ih2 is shown by a solid line. Further, the relationship between the second temperature change amount ΔT2 and the second cooling current Ic2 is described by the alternate long and short dash line.

第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2アクチュエータ部材22を加熱させるために、第2加熱電流Ih2は、正の値になり、第2冷却電流Ic2は、ゼロになる。また、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2アクチュエータ部材22を加熱するために必要な熱量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第2温度T2を上昇させるためには、第2加熱部62の発熱量を大きくして、第2加熱電流Ih2を大きくする必要がある。したがって、図4では、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2加熱電流Ih2が大きくなっている。 When the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the second heating current Ih2 becomes a positive value and the second cooling current Ic2 becomes zero in order to heat the second actuator member 22. Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the amount of heat required to heat the second actuator member 22 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases. Therefore, in order to increase the second temperature T2 with good response to time, it is necessary to increase the calorific value of the second heating unit 62 and increase the second heating current Ih2. Therefore, in FIG. 4, when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value, the second heating current Ih2 increases as the second temperature change amount ΔT2 increases.

また、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2アクチュエータ部材22を冷却させるために、第2加熱電流Ih2は、ゼロになり、第2冷却電流Ic2は、正の値になる。さらに、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2アクチュエータ部材22を冷却させるために、第2冷却部72が第2アクチュエータ部材22から吸熱する量が大きくなる。このため、時間に対して応答よく、第2温度T2を下降させるためには、第2冷却電流Ic2を大きくする必要がある。したがって、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2冷却電流Ic2が大きくなっている。 Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the second heating current Ih2 becomes zero and the second cooling current Ic2 becomes a positive value in order to cool the second actuator member 22. .. Further, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the second cooling unit 72 uses the second actuator to cool the second actuator member 22 as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases. The amount of heat absorbed from the member 22 increases. Therefore, it is necessary to increase the second cooling current Ic2 in order to reduce the second temperature T2 with good response to time. Therefore, when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value, the second cooling current Ic2 increases as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases.

よって、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が正の値であるとき、第2冷却電流Ic2をゼロとみなす。このとき、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が大きくなるにつれて、第2加熱電流Ih2を大きくする。また、制御部88は、第2温度変化量ΔT2が負の値であるとき、第2加熱電流Ih2をゼロとみなす。このとき、制御部88は、第2温度変化量ΔT2の絶対値が大きくなるにつれて、第2冷却電流Ic2を大きくする。 Therefore, the control unit 88 considers the second cooling current Ic2 to be zero when the second temperature change amount ΔT2 is a positive value. At this time, the control unit 88 increases the second heating current Ih2 as the second temperature change amount ΔT2 increases. Further, the control unit 88 considers the second heating current Ih2 to be zero when the second temperature change amount ΔT2 is a negative value. At this time, the control unit 88 increases the second cooling current Ic2 as the absolute value of the second temperature change amount ΔT2 increases.

続いて、ステップS109において、制御部88により、ステップS108にて算出された第1加熱電流Ih1、第2加熱電流Ih2、第1冷却電流Ic1および第2冷却電流Ic2が流れる。そして、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22がねじり変形することによって、センサ装置90が回転し、角度偏差Δθがゼロに近づく。 Subsequently, in step S109, the control unit 88 causes the first heating current Ih1, the second heating current Ih2, the first cooling current Ic1 and the second cooling current Ic2 calculated in step S108 to flow. Then, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are twisted and deformed, so that the sensor device 90 rotates and the angle deviation Δθ approaches zero.

例えば、角度偏差Δθが正の値である場合、第1温度変化量ΔT1は、正の値であり、第2温度変化量ΔT2は、負の値である。この場合、第1加熱電流Ih1は、正の値であり、第2加熱電流Ih2は、ゼロであり、第1冷却電流Ic1は、ゼロであり、第2冷却電流Ic2は、正の値である。 For example, when the angle deviation Δθ is a positive value, the first temperature change amount ΔT1 is a positive value, and the second temperature change amount ΔT2 is a negative value. In this case, the first heating current Ih1 is a positive value, the second heating current Ih2 is zero, the first cooling current Ic1 is zero, and the second cooling current Ic2 is a positive value. ..

したがって、この場合、図7に示すように、第1加熱部61に第1加熱電流Ih1が流れて、第1アクチュエータ部材21が加熱される。これにより、第1アクチュエータ部材21は、収縮し、第1方向R1にねじり変形する。また、第2冷却部72に第2冷却電流Ic2が流れて、第2アクチュエータ部材22が冷却される。これにより、第2アクチュエータ部材22は、伸長し、第1方向R1にねじり変形する。 Therefore, in this case, as shown in FIG. 7, the first heating current Ih1 flows through the first heating unit 61, and the first actuator member 21 is heated. As a result, the first actuator member 21 contracts and twists and deforms in the first direction R1. Further, the second cooling current Ic2 flows through the second cooling unit 72 to cool the second actuator member 22. As a result, the second actuator member 22 extends and twists and deforms in the first direction R1.

よって、センサ装置90は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22のねじり変形とともに、第1方向R1に回転する。また、ステップS107にて、第1収縮量ΔLc1が第2伸長量ΔLe2と同等になるように、第1温度変化量ΔT1および第2温度変化量ΔT2が補正されている。このため、第1保持部31から第2保持部32までの距離が変化しないので、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、変位しない。なお、図7において、第1方向R1に回転する前のセンサ装置90の位置が2点鎖線で記載されている。 Therefore, the sensor device 90 rotates in the first direction R1 with the torsional deformation of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Further, in step S107, the first temperature change amount ΔT1 and the second temperature change amount ΔT2 are corrected so that the first contraction amount ΔLc1 becomes equivalent to the second elongation amount ΔLe2. Therefore, since the distance from the first holding portion 31 to the second holding portion 32 does not change, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 are not displaced. In FIG. 7, the position of the sensor device 90 before rotating in the first direction R1 is described by a two-dot chain line.

制御部88により、ステップS108にて算出された第1加熱電流Ih1、第2加熱電流Ih2、第1冷却電流Ic1および第2冷却電流Ic2が流れた後、処理は、ステップS101に戻る。 After the first heating current Ih1, the second heating current Ih2, the first cooling current Ic1 and the second cooling current Ic2 calculated in step S108 have flowed by the control unit 88, the process returns to step S101.

以上のように、制御部88の処理が行われて、センサ装置90が回転する。このアクチュエータ装置11では、電動モータ等を用いるアクチュエータと比較して、センサ装置90が変位するときに、作動音が小さい。したがって、このアクチュエータ装置11は、静粛性が比較的高くなっている。そして、以下では、本実施形態のアクチュエータ装置11によって、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる応力が緩和されることについて説明する。 As described above, the processing of the control unit 88 is performed, and the sensor device 90 rotates. In the actuator device 11, the operating noise is smaller when the sensor device 90 is displaced as compared with an actuator using an electric motor or the like. Therefore, the actuator device 11 is relatively quiet. Then, it will be described below that the actuator device 11 of this embodiment relaxes the stress applied to the 1st actuator member 21 and the 2nd actuator member 22.

本実施形態では、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21が変形したとき、第1アクチュエータ部材21の変形を妨げる方向に対して、第1アクチュエータ部材21に弾性力を付与する。また、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第2アクチュエータ部材22が変形したとき、第2アクチュエータ部材22の変形を妨げる方向に対して、第2アクチュエータ部材22に弾性力を付与する。具体的には、第1弾性部材51の一端511および第2弾性部材52の一端521は、第1保持部31に接続されている。また、第1弾性部材51の他端512および第2弾性部材52の他端522は、第2保持部32に接続されている。 In the present embodiment, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 exert an elastic force on the first actuator member 21 in a direction that prevents the first actuator member 21 from being deformed when the first actuator member 21 is deformed. Is given. Further, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 apply an elastic force to the second actuator member 22 in a direction that prevents the deformation of the second actuator member 22 when the second actuator member 22 is deformed. .. Specifically, one end 511 of the first elastic member 51 and one end 521 of the second elastic member 52 are connected to the first holding portion 31. Further, the other end 512 of the first elastic member 51 and the other end 522 of the second elastic member 52 are connected to the second holding portion 32.

これにより、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の両方に弾性力を与える。このため、第1弾性部材51および第2弾性部材52を第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にそれぞれ配置する必要がなくなる。したがって、1つの部材あたりの第1弾性部材51および第2弾性部材52を減少させることができ、第1弾性部材51および第2弾性部材52の総数を減少させることができる。よって、このアクチュエータ装置11では、部品点数が削減される。また、コイルばねを第1保持部31および第2保持部32等に組み付ける工数を削減することができ、アクチュエータ装置11の製造がしやすくなる。 As a result, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 apply elastic force to both the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Therefore, it is not necessary to arrange the first elastic member 51 and the second elastic member 52 on the first actuator member 21 and the second actuator member 22, respectively. Therefore, the number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 per member can be reduced, and the total number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 can be reduced. Therefore, in this actuator device 11, the number of parts is reduced. Further, the man-hours for assembling the coil spring to the first holding portion 31 and the second holding portion 32 and the like can be reduced, and the actuator device 11 can be easily manufactured.

さらに、第1弾性部材51および第2弾性部材52の総数を減少させることができるため、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる応力を緩和することができる場合がある。 Further, since the total number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 can be reduced, the stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 may be relaxed.

ここで、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる初期応力をσ0とする。第1弾性部材51および第2弾性部材52の数をN、第1弾性部材51および第2弾性部材52の弾性定数をkとする。第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の線膨張係数をαとする。第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22のヤング率をEとする。第1軸CL1に対して垂直な方向における第1アクチュエータ部材21の断面積および第2軸CL2に対して垂直な方向における第2アクチュエータ部材22の断面積をSとする。螺旋状に編み込まれる第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の第1軸CL1に対する所定角度および螺旋状に編み込まれる第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の第2軸CL2に対する所定角度をφとする。第1アクチュエータ部材21の第1軸CL1方向の長さおよび第2アクチュエータ部材22の第2軸CL2方向の長さをLとする。第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の最大温度変化をΔTmaxとする。そして、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる最大応力をσmaxとすると、σmaxは、以下関係式(1)のように、表される。 Here, the initial stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 is σ0. Let N be the number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52, and let k be the elastic constants of the first elastic member 51 and the second elastic member 52. Let α be the coefficient of linear expansion of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Let E be the Young's modulus of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Let S be the cross-sectional area of the first actuator member 21 in the direction perpendicular to the first axis CL1 and the cross-sectional area of the second actuator member 22 in the direction perpendicular to the second axis CL2. Let φ be a predetermined angle of the polymer fiber of the first actuator member 21 woven in a spiral shape with respect to the first axis CL1 and a predetermined angle of the polymer fiber of the second actuator member 22 woven in a spiral shape with respect to the second axis CL2. Let L be the length of the first actuator member 21 in the first axis CL1 direction and the length of the second actuator member 22 in the second axis CL2 direction. Let ΔTmax be the maximum temperature change of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. Then, assuming that the maximum stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 is σmax, σmax is expressed by the following relational expression (1).

Figure 2020188578
Figure 2020188578

上記関係式(1)により、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる最大応力は、それぞれの弾性係数が同じである場合、第1弾性部材51および第2弾性部材52の数が多くなるにつれて、大きくなる。したがって、本実施形態のアクチュエータ装置11では、第1弾性部材51および第2弾性部材52の総数を減少させることができるため、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる最大応力を低減させることができる場合がある。 According to the above relational expression (1), the maximum stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 has a large number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 when their elastic coefficients are the same. As it grows, it gets bigger. Therefore, in the actuator device 11 of the present embodiment, the total number of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 can be reduced, so that the maximum stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 is reduced. You may be able to.

また、アクチュエータ装置11では、以下[1]−[3]に説明するような効果も奏する。 In addition, the actuator device 11 also has the effects described in [1]-[3] below.

[1]第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90は、第1弾性部材51と第2弾性部材52との間に配置されている。これにより、第1弾性部材51の弾性力により、第1保持部31および第2保持部32にかかる曲げモーメントの方向が、第2弾性部材52の弾性力により、第1保持部31および第2保持部32にかかる曲げモーメントの方向と逆方向になる。このため、第1弾性部材51の弾性力による曲げモーメントと第2弾性部材52の弾性力による曲げモーメントとが互いに打ち消し合う。したがって、第1保持部31および第2保持部32にかかる曲げモーメントが低減するため、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる曲げモーメントを低減させることができる。このため、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる曲げ応力を低減させることができる。よって、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の耐久性が向上する。 [1] The first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90 are arranged between the first elastic member 51 and the second elastic member 52. As a result, the direction of the bending moment applied to the first holding portion 31 and the second holding portion 32 due to the elastic force of the first elastic member 51 is changed to the direction of the first holding portion 31 and the second holding portion 31 due to the elastic force of the second elastic member 52. The direction is opposite to the direction of the bending moment applied to the holding portion 32. Therefore, the bending moment due to the elastic force of the first elastic member 51 and the bending moment due to the elastic force of the second elastic member 52 cancel each other out. Therefore, since the bending moment applied to the first holding portion 31 and the second holding portion 32 is reduced, the bending moment applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 can be reduced. Therefore, the bending stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 can be reduced. Therefore, the durability of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 is improved.

[2]制御部88は、センサ装置90を第1方向R1に回転させるとき、第1アクチュエータ部材21に熱エネルギーを与えて、第1アクチュエータ部材21を収縮させる。また、制御部88は、センサ装置90を第1方向R1に回転させるとき、第2アクチュエータ部材22に熱エネルギーを放出させて、第1アクチュエータ部材21が収縮する方向に第2アクチュエータ部材22を伸長させる。 [2] When the sensor device 90 is rotated in the first direction R1, the control unit 88 applies thermal energy to the first actuator member 21 to contract the first actuator member 21. Further, when the sensor device 90 is rotated in the first direction R1, the control unit 88 releases heat energy to the second actuator member 22 to extend the second actuator member 22 in the direction in which the first actuator member 21 contracts. Let me.

これにより、センサ装置90を回転させるときに、第1保持部31から第2保持部32までの距離が変化しないため、第1弾性部材51および第2弾性部材52の長さが変化しない。このため、第1弾性部材51および第2弾性部材52の弾性力が増大しないので、これらの弾性力による第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にかかる応力の増大が抑制される。よって、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の耐久性が向上する。 As a result, when the sensor device 90 is rotated, the distance from the first holding portion 31 to the second holding portion 32 does not change, so that the lengths of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 do not change. Therefore, since the elastic forces of the first elastic member 51 and the second elastic member 52 do not increase, the increase in stress applied to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 due to these elastic forces is suppressed. Therefore, the durability of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 is improved.

[3]上記したように、第1アクチュエータ部材21では、第1温度T1が比較的高いときに、比較的大きなねじりモーメントが発生する。また、第2アクチュエータ部材22では、第2温度T2が比較的高いときに、比較的大きなねじりモーメントが発生する。このため、制御部88は、センサ装置90を第1方向R1に回転させるとき、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の両方に熱エネルギーを与える。その後、制御部88は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22を変形させる。例えば、ここでは、制御部88は、第1温度T1が第1準備温度T1_pre以上、かつ、第2温度T2が第2準備温度T2_pre以上であるときに、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22を変形させる。 [3] As described above, in the first actuator member 21, a relatively large torsional moment is generated when the first temperature T1 is relatively high. Further, in the second actuator member 22, a relatively large torsional moment is generated when the second temperature T2 is relatively high. Therefore, when the sensor device 90 is rotated in the first direction R1, the control unit 88 applies thermal energy to both the first actuator member 21 and the second actuator member 22. After that, the control unit 88 deforms the first actuator member 21 and the second actuator member 22. For example, here, the control unit 88 has the first actuator member 21 and the second actuator member when the first temperature T1 is equal to or higher than the first preparation temperature T1_pre and the second temperature T2 is equal to or higher than the second preparation temperature T2_pre. 22 is deformed.

これにより、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22のねじりモーメントが比較的高い状態で、センサ装置90を回転させることができる。このため、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が変形するときに、センサ装置90が回転しやすくなるため、制御部88によるセンサ装置90の制御の応答性を向上させることができる。 As a result, the sensor device 90 can be rotated while the torsional moments of the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are relatively high. Therefore, when the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are deformed, the sensor device 90 tends to rotate, so that the responsiveness of the control of the sensor device 90 by the control unit 88 can be improved.

[4]第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第1保持部31と第2保持部32との間で、第1アクチュエータ部材21、第2アクチュエータ部材22およびセンサ装置90の並列に配置されている。これにより、第1弾性部材51および第2弾性部材52を第1軸CL1および第2軸CL2方向に配置する場合と比較して、第1保持部31と第2保持部32との間の空間が有効に利用される。このため、第1弾性部材51および第2弾性部材52を第1軸CL1および第2軸CL2方向に配置する場合と比較して、アクチュエータ装置11の第1軸CL1および第2軸CL2方向の体格を小型化することができる。 [4] The first elastic member 51 and the second elastic member 52 are arranged in parallel with the first actuator member 21, the second actuator member 22, and the sensor device 90 between the first holding portion 31 and the second holding portion 32. Have been placed. As a result, the space between the first holding portion 31 and the second holding portion 32 is compared with the case where the first elastic member 51 and the second elastic member 52 are arranged in the directions of the first axis CL1 and the second axis CL2. Is effectively used. Therefore, as compared with the case where the first elastic member 51 and the second elastic member 52 are arranged in the directions of the first axis CL1 and the second axis CL2, the physique of the actuator device 11 in the first axis CL1 and the second axis CL2 directions. Can be miniaturized.

(第2実施形態)
第2実施形態は、第1保持部および第2保持部が配置されないで、弾性部材が1つ配置されていることを除いて、第1実施形態と同様である。
(Second Embodiment)
The second embodiment is the same as the first embodiment except that the first holding portion and the second holding portion are not arranged and one elastic member is arranged.

図8に示すように、第2実施形態のアクチュエータ装置12の弾性部材55の一端551は、第1アクチュエータ部材21の他端212に接続されている。例えば、弾性部材55の一端551に、第1アクチュエータ部材21の他端212が巻き付けられることによって、弾性部材55の一端551と第1アクチュエータ部材21の他端212とが固定されている。 As shown in FIG. 8, one end 551 of the elastic member 55 of the actuator device 12 of the second embodiment is connected to the other end 212 of the first actuator member 21. For example, the other end 212 of the first actuator member 21 is wound around one end 551 of the elastic member 55, so that the other end 212 of the elastic member 55 and the other end 212 of the first actuator member 21 are fixed.

また、弾性部材55の他端552は、第2アクチュエータ部材22の他端222に接続されている。例えば、弾性部材55の他端552に、第2アクチュエータ部材22の他端222が巻き付けられることによって、弾性部材55の他端552と第2アクチュエータ部材22とが固定されている。 Further, the other end 552 of the elastic member 55 is connected to the other end 222 of the second actuator member 22. For example, the other end 552 of the elastic member 55 and the second actuator member 22 are fixed by winding the other end 222 of the second actuator member 22 around the other end 552 of the elastic member 55.

なお、第2実施形態のアクチュエータ装置12では、第1冷却部71および第2冷却部72は、図示しない冶具に取り付けられている。また、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、図示しない滑車等により支持されている。 In the actuator device 12 of the second embodiment, the first cooling unit 71 and the second cooling unit 72 are attached to a jig (not shown). Further, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are supported by pulleys or the like (not shown).

このような構成に対しても、弾性部材55を第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22にそれぞれ配置する必要がなくなるため、弾性部材55の総数を減少させることができる。よって、第2実施形態のアクチュエータ装置12は、第1実施形態と同様の効果を奏する。 Even with such a configuration, since it is not necessary to arrange the elastic members 55 on the first actuator member 21 and the second actuator member 22, the total number of elastic members 55 can be reduced. Therefore, the actuator device 12 of the second embodiment has the same effect as that of the first embodiment.

さらに、第2実施形態では、第1保持部31および第2保持部32を配置する必要がなくなる。このため、アクチュエータ装置12の質量が減少し、アクチュエータ装置12の固有振動数を大きくすることができる。これにより、アクチュエータ装置12は、車両等に搭載されるとき、共振が抑制される。よって、アクチュエータ装置12は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の耐久性を向上させることができる。 Further, in the second embodiment, it is not necessary to arrange the first holding portion 31 and the second holding portion 32. Therefore, the mass of the actuator device 12 can be reduced, and the natural frequency of the actuator device 12 can be increased. As a result, when the actuator device 12 is mounted on a vehicle or the like, resonance is suppressed. Therefore, the actuator device 12 can improve the durability of the first actuator member 21 and the second actuator member 22.

(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、上記実施形態に対して、適宜変更が可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the above embodiment, and can be appropriately modified with respect to the above embodiment. Further, in each of the above embodiments, it goes without saying that the elements constituting the embodiment are not necessarily essential except when it is clearly stated that they are essential and when they are clearly considered to be essential in principle. No.

本開示に記載の制御部およびその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサおよびメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。あるいは、本開示に記載の制御部およびその手法は、一つ以上の専用ハードウエア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。もしくは、本開示に記載の制御部およびその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサおよびメモリと一つ以上のハードウエア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。 The controls and methods thereof described in the present disclosure are realized by a dedicated computer provided by configuring a processor and memory programmed to perform one or more functions embodied by a computer program. May be done. Alternatively, the controls and methods thereof described in the present disclosure may be implemented by a dedicated computer provided by configuring the processor with one or more dedicated hardware logic circuits. Alternatively, the controls and methods described herein are by a combination of a processor and memory programmed to perform one or more functions and a processor composed of one or more hardware logic circuits. It may be realized by one or more dedicated computers configured. Further, the computer program may be stored in a computer-readable non-transitional tangible recording medium as an instruction executed by the computer.

(1)上記実施形態では、センサ装置90は、赤外線センサである。これに対して、センサ装置90は、赤外線センサに限定されず、車室内を撮像するカメラ等であってもよい。 (1) In the above embodiment, the sensor device 90 is an infrared sensor. On the other hand, the sensor device 90 is not limited to the infrared sensor, and may be a camera or the like that captures an image of the vehicle interior.

(2)上記実施形態では、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、外部から与えられる熱エネルギーに応じて変形するポリマ繊維で形成されている。これに対して、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、ポリマ繊維に限定されず、電気的、光学的、化学的、熱的、吸収、もしくは他の手段による外部から与えられるエネルギーに応じて変形する素材で形成されてもよい。このような素材としては、例えば、形状記憶合金、誘電エラストマ、磁性ゲル、導電性高分子等が挙げられる。 (2) In the above embodiment, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are formed of polymer fibers that are deformed in response to heat energy given from the outside. On the other hand, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are not limited to the polymer fibers, but are electrically, optically, chemically, thermally, absorbed, or have energy given from the outside by other means. It may be made of a material that deforms accordingly. Examples of such a material include shape memory alloys, dielectric elastomers, magnetic gels, conductive polymers, and the like.

(3)上記実施形態では、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22は、ポリアミド等のポリマ繊維で形成されている。これに対して、ポリマ繊維は、ポリアミドに限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、または、これらの複合材料等で形成されてもよい。 (3) In the above embodiment, the first actuator member 21 and the second actuator member 22 are made of polymer fibers such as polyamide. On the other hand, the polymer fiber is not limited to polyamide, and may be formed of, for example, polyethylene, polypropylene, polyester, or a composite material thereof.

(4)上記実施形態では、第1アクチュエータ部材21は、アクチュエータ装置11に、1つ配置されている。これに対して、第1アクチュエータ部材21は、アクチュエータ装置11に、1つ配置されることに限定されない。例えば、第1アクチュエータ部材21は、第1軸CL1に対して交差する方向に並列するように、アクチュエータ装置11に複数配置されてもよい。また、第2アクチュエータ部材22は、アクチュエータ装置11に、1つ配置されている。これに対して、第2アクチュエータ部材22は、アクチュエータ装置11に、1つ配置されることに限定されない。例えば、第2アクチュエータ部材22は、第2軸CL2に対して交差する方向に並列するように、アクチュエータ装置11に複数配置されてもよい。 (4) In the above embodiment, one first actuator member 21 is arranged in the actuator device 11. On the other hand, the first actuator member 21 is not limited to being arranged alone in the actuator device 11. For example, a plurality of first actuator members 21 may be arranged in the actuator device 11 so as to be parallel to each other in a direction intersecting the first axis CL1. Further, one second actuator member 22 is arranged in the actuator device 11. On the other hand, the second actuator member 22 is not limited to being arranged alone in the actuator device 11. For example, a plurality of second actuator members 22 may be arranged in the actuator device 11 so as to be parallel to the second axis CL2 in a direction intersecting with each other.

(5)上記実施形態では、第1保持部31は、接着剤等により第1アクチュエータ部材21の他端212と固定されている。第2保持部32は、接着剤等により第2アクチュエータ部材22の他端222と固定されている。これに対して、第1保持部31と第1アクチュエータ部材21との固定および第2保持部32と第2アクチュエータ部材22との固定方法は、接着剤を用いることに限定されない。例えば、第1保持部31に、第1アクチュエータ部材21が巻き付けられてもよい。また、第2保持部32に、第2アクチュエータ部材22が巻き付けられてもよい。 (5) In the above embodiment, the first holding portion 31 is fixed to the other end 212 of the first actuator member 21 with an adhesive or the like. The second holding portion 32 is fixed to the other end 222 of the second actuator member 22 by an adhesive or the like. On the other hand, the method of fixing the first holding portion 31 and the first actuator member 21 and the method of fixing the second holding portion 32 and the second actuator member 22 are not limited to using an adhesive. For example, the first actuator member 21 may be wound around the first holding portion 31. Further, the second actuator member 22 may be wound around the second holding portion 32.

(6)上記実施形態では、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第1保持部31および第2保持部32にそれぞれ接続されている。これに対して、第2弾性部材52が第1保持部31および第2保持部32に接続されないで、第1弾性部材51のみが第1保持部31および第2保持部32にそれぞれ接続されてもよい。または、第1弾性部材51が第1保持部31および第2保持部32に接続されないで、第2弾性部材52のみが第1保持部31および第2保持部32にそれぞれ接続されてもよい。 (6) In the above embodiment, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 are connected to the first holding portion 31 and the second holding portion 32, respectively. On the other hand, the second elastic member 52 is not connected to the first holding portion 31 and the second holding portion 32, and only the first elastic member 51 is connected to the first holding portion 31 and the second holding portion 32, respectively. May be good. Alternatively, the first elastic member 51 may not be connected to the first holding portion 31 and the second holding portion 32, and only the second elastic member 52 may be connected to the first holding portion 31 and the second holding portion 32, respectively.

(7)上記実施形態では、第1加熱部61および第2加熱部62は、電熱線である。これに対して、第1加熱部61および第2加熱部62は、電熱線に限定されず、例えば、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の表面に形成される金属メッキ等であってもよい。この金属メッキに電流が流れることによって、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22が加熱されてもよい。 (7) In the above embodiment, the first heating unit 61 and the second heating unit 62 are heating wires. On the other hand, the first heating unit 61 and the second heating unit 62 are not limited to the heating wire, and are, for example, metal plating formed on the surfaces of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. May be good. The first actuator member 21 and the second actuator member 22 may be heated by the flow of an electric current through the metal plating.

(8)上記実施形態では、第1弾性部材51は、第1アクチュエータ部材21に張力を付与する方向の弾性力を第1アクチュエータ部材21に付与し、第2アクチュエータ部材22に張力を付与する方向の弾性力を第2アクチュエータ部材22に付与する。また、第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21に張力を付与する方向の弾性力を第1アクチュエータ部材21に付与し、第2アクチュエータ部材22に張力を付与する方向の弾性力を第2アクチュエータ部材22に付与する。これに対して、第1弾性部材51および第2弾性部材52は、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22の自然膨張を抑制する方向に、第1アクチュエータ部材21および第2アクチュエータ部材22に付与してもよい。 (8) In the above embodiment, the first elastic member 51 applies an elastic force in the direction of applying tension to the first actuator member 21 to the first actuator member 21 and applies tension to the second actuator member 22. Is applied to the second actuator member 22. Further, the second elastic member 52 applies an elastic force in the direction of applying tension to the first actuator member 21 to the first actuator member 21, and a second elastic force in the direction of applying tension to the second actuator member 22. It is applied to the actuator member 22. On the other hand, the first elastic member 51 and the second elastic member 52 are attached to the first actuator member 21 and the second actuator member 22 in the direction of suppressing the natural expansion of the first actuator member 21 and the second actuator member 22. It may be given.

(9)上記実施形態では、第1アクチュエータ部材21は、加熱されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に収縮する。これに対して、第1アクチュエータ部材21は、冷却されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に収縮してもよい。 (9) In the above embodiment, when the first actuator member 21 is heated, it contracts in the first axis CL1 direction while being twisted and deformed in the first direction R1. On the other hand, when the first actuator member 21 is cooled, it may be twisted and deformed in the first direction R1 and contracted in the first axis CL1 direction.

例えば、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維は、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向とは同じ回転方向に螺旋したコイル状に形成されている。また、この螺旋したコイル状の第1アクチュエータ部材21の回転方向は、コイル状の第1アクチュエータ部材21の中心軸である第1軸CL1に対して、第1方向R1になっている。 For example, the polymer fiber of the first actuator member 21 is formed in a coil shape spiraling in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the first actuator member 21. Further, the rotation direction of the spiral coiled first actuator member 21 is the first direction R1 with respect to the first axis CL1 which is the central axis of the coiled first actuator member 21.

さらに、上記したように、第1アクチュエータ部材21が冷却されるとき、第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により、第1アクチュエータ部材21の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第1アクチュエータ部材21が冷却されるときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1アクチュエータ部材21のコイル方向と同じ回転方向になる。すなわち、このときの第1アクチュエータ部材21のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第1方向R1になる。よって、第1アクチュエータ部材21は、冷却されるとき、第1方向R1のねじりモーメントを発生させる。これにより、第1アクチュエータ部材21は、冷却されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に収縮する。なお、この場合、第1アクチュエータ部材21は、加熱されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第1軸CL1方向に伸長する。また、制御部88により、センサ装置90が第1方向R1に回転するとき、第1アクチュエータ部材21は、冷却される。 Further, as described above, when the first actuator member 21 is cooled, a torsion moment in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the first actuator member 21 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21. .. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the first actuator member 21 when the first actuator member 21 is cooled is the same rotation direction as the coil direction of the first actuator member 21. That is, the direction of the torsional moment generated by the constituent molecules of the polymer fiber of the first actuator member 21 at this time is the first direction R1. Therefore, when the first actuator member 21 is cooled, a torsional moment in the first direction R1 is generated. As a result, when the first actuator member 21 is cooled, it is twisted and deformed in the first direction R1 and contracts in the direction of the first axis CL1. In this case, when the first actuator member 21 is heated, it extends in the direction of the first axis CL1 while being twisted and deformed in the second direction R2. Further, when the sensor device 90 is rotated in the first direction R1 by the control unit 88, the first actuator member 21 is cooled.

また、上記実施形態では、第2アクチュエータ部材22は、加熱されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に収縮する。これに対して、第2アクチュエータ部材22は、冷却されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に収縮してもよい。 Further, in the above embodiment, when the second actuator member 22 is heated, it contracts in the second axis CL2 direction while being twisted and deformed in the second direction R2. On the other hand, when the second actuator member 22 is cooled, it may be twisted and deformed in the second direction R2 and contracted in the second axis CL2 direction.

例えば、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維は、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向とは同じ回転方向に螺旋したコイル状に形成されている。また、この螺旋したコイル状の第2アクチュエータ部材22の回転方向は、コイル状の第2アクチュエータ部材22の中心軸である第2軸CL2に対して、第2方向R2になっている。 For example, the polymer fiber of the second actuator member 22 is formed in a coil shape spiraling in the same rotation direction as the molecular rotation direction of the second actuator member 22. Further, the rotation direction of the spiral coiled second actuator member 22 is the second direction R2 with respect to the second axis CL2 which is the central axis of the coiled second actuator member 22.

さらに、上記したように、第2アクチュエータ部材22が冷却されるとき、第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により、第2アクチュエータ部材22の分子回転方向と同じ回転方向のねじりモーメントが発生する。したがって、第2アクチュエータ部材22が冷却されるときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第2アクチュエータ部材22のコイル方向と同じ回転方向になる。すなわち、このときの第2アクチュエータ部材22のポリマ繊維の構成分子により発生するねじりモーメントの向きは、第2方向R2になる。よって、第2アクチュエータ部材22は、冷却されるとき、第2方向R2のねじりモーメントを発生させる。これにより、第2アクチュエータ部材22は、冷却されるとき、第2方向R2にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に収縮する。なお、この場合、第2アクチュエータ部材22は、加熱されるとき、第1方向R1にねじり変形しつつ、第2軸CL2方向に伸長する。また、制御部88により、センサ装置90が第1方向R1に回転するとき、第2アクチュエータ部材22は、加熱される。 Further, as described above, when the second actuator member 22 is cooled, a twisting moment in the same rotational direction as the molecular rotation direction of the second actuator member 22 is generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22. .. Therefore, the direction of the twisting moment generated by the constituent molecules of the polymer fibers of the second actuator member 22 when the second actuator member 22 is cooled is the same rotation direction as the coil direction of the second actuator member 22. That is, the direction of the torsional moment generated by the constituent molecules of the polymer fiber of the second actuator member 22 at this time is the second direction R2. Therefore, when the second actuator member 22 is cooled, a torsional moment in the second direction R2 is generated. As a result, when the second actuator member 22 is cooled, it is twisted and deformed in the second direction R2 and contracts in the second axis CL2 direction. In this case, when the second actuator member 22 is heated, the second actuator member 22 extends in the second axis CL2 direction while being twisted and deformed in the first direction R1. Further, when the sensor device 90 is rotated in the first direction R1 by the control unit 88, the second actuator member 22 is heated.

(まとめ)
第1の観点によれば、アクチュエータ装置は、内部のエネルギーの変化に応じて変形する第1アクチュエータ部材と、内部のエネルギーの変化に応じて変形する第2アクチュエータ部材と、第1アクチュエータ部材の一端および第2アクチュエータ部材の一端に接続されている被作動部と、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材のエネルギーを制御して、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材を変形させることによって、被作動部の変位を制御する制御部と、第1アクチュエータ部材が変形したとき、第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第1アクチュエータ部材に付与し、第2アクチュエータ部材が変形したとき、第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第2アクチュエータ部材に付与する弾性部材と、を備える。これにより、部品点数を削減することができる。
(Summary)
According to the first aspect, the actuator device includes a first actuator member that deforms according to a change in internal energy, a second actuator member that deforms according to a change in internal energy, and one end of the first actuator member. By controlling the energy of the actuated portion connected to one end of the second actuator member and the first actuator member and the second actuator member to deform the first actuator member and the second actuator member, the actuated portion is actuated. When the control unit that controls the displacement of the unit and the first actuator member are deformed, a force in a direction that hinders the deformation of the first actuator member is applied to the first actuator member, and when the second actuator member is deformed, the second actuator member is second. It includes an elastic member that applies a force in a direction that hinders deformation of the actuator member to the second actuator member. As a result, the number of parts can be reduced.

第2の観点によれば、アクチュエータ装置は、第1アクチュエータ部材の他端に接続されている第1保持部と、第2アクチュエータ部材の他端に接続されている第2保持部と、をさらに備え、弾性部材は、第1アクチュエータ部材が変形したとき、第1保持部を介して、第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第1アクチュエータ部材に付与し、第2アクチュエータ部材が変形したとき、第2保持部を介して、第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第2アクチュエータ部材に付与する。 According to the second aspect, the actuator device further includes a first holding portion connected to the other end of the first actuator member and a second holding portion connected to the other end of the second actuator member. When the first actuator member is deformed, the elastic member applies a force in a direction that hinders the deformation of the first actuator member to the first actuator member via the first holding portion, and the second actuator member is deformed. At this time, a force in a direction that prevents the deformation of the second actuator member is applied to the second actuator member via the second holding portion.

第3の観点によれば、弾性部材は、第1弾性部材であり、アクチュエータ装置は、一端が第1保持部に接続され、他端が第2保持部に接続されており、第1アクチュエータ部材が変形したとき、第1保持部を介して、第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第1アクチュエータ部材に付与し、第2アクチュエータ部材が変形したとき、第2保持部を介して、第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を第2アクチュエータ部材に付与する第2弾性部材をさらに備え、第1アクチュエータ部材、第2アクチュエータ部材および被作動部は、第1弾性部材と第2弾性部材との間に配置されている。 According to the third aspect, the elastic member is the first elastic member, and the actuator device has one end connected to the first holding portion and the other end connected to the second holding portion, and the first actuator member. Is deformed, a force in a direction that hinders the deformation of the first actuator member is applied to the first actuator member via the first holding portion, and when the second actuator member is deformed, the force is applied via the second holding portion. A second elastic member that applies a force in a direction that hinders the deformation of the second actuator member is further provided, and the first actuator member, the second actuator member, and the actuated portion are the first elastic member and the second elastic member. It is arranged between the members.

第4の観点によれば、弾性部材の一端は、第1アクチュエータ部材の他端に接続されており、弾性部材の他端は、第2アクチュエータ部材の他端に接続されている。 According to the fourth aspect, one end of the elastic member is connected to the other end of the first actuator member, and the other end of the elastic member is connected to the other end of the second actuator member.

第5の観点によれば、制御部は、被作動部を回転変位させるとき、第1アクチュエータ部材を収縮させ、第2アクチュエータ部材を第1アクチュエータ部材が収縮する方向に伸長させる。これにより、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材の耐久性が向上する。 According to the fifth aspect, when the actuated portion is rotationally displaced, the control unit contracts the first actuator member and extends the second actuator member in the direction in which the first actuator member contracts. As a result, the durability of the first actuator member and the second actuator member is improved.

第6の観点によれば、制御部は、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材の両方にエネルギーを与えた後に、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材を変形させる。これにより、被作動部が回転しやすくなるため、制御部による被作動部の制御の応答性を向上させることができる。 According to the sixth aspect, the control unit deforms the first actuator member and the second actuator member after applying energy to both the first actuator member and the second actuator member. As a result, the actuated portion is easily rotated, so that the responsiveness of the control of the actuated portion by the control unit can be improved.

第7の観点によれば、第1アクチュエータ部材および第2アクチュエータ部材は、ポリマ繊維であり、弾性部材は、第1アクチュエータ部材に張力を付与する方向の力を第1アクチュエータ部材に付与し、第2アクチュエータ部材に張力を付与する方向の力を第1アクチュエータ部材に付与する。 According to the seventh aspect, the first actuator member and the second actuator member are polymer fibers, and the elastic member applies a force in a direction for applying tension to the first actuator member to the first actuator member. 2 A force in the direction of applying tension to the actuator member is applied to the first actuator member.

21 第1アクチュエータ部材
22 第2アクチュエータ部材
51 第1弾性部材
55 弾性部材
88 制御部
90 被作動部
21 1st actuator member 22 2nd actuator member 51 1st elastic member 55 Elastic member 88 Control unit 90 Operated part

Claims (7)

内部のエネルギーの変化に応じて変形する第1アクチュエータ部材(21)と、
内部のエネルギーの変化に応じて変形する第2アクチュエータ部材(22)と、
前記第1アクチュエータ部材の一端(211)および前記第2アクチュエータ部材の一端(221)に接続されている被作動部(90)と、
前記第1アクチュエータ部材および前記第2アクチュエータ部材のエネルギーを制御して、前記第1アクチュエータ部材および前記第2アクチュエータ部材を変形させることによって、前記被作動部の変位を制御する制御部(88)と、
前記第1アクチュエータ部材が変形したとき、前記第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第1アクチュエータ部材に付与し、前記第2アクチュエータ部材が変形したとき、前記第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第2アクチュエータ部材に付与する弾性部材(51、55)と、
を備えるアクチュエータ装置。
The first actuator member (21), which deforms in response to changes in internal energy,
A second actuator member (22) that deforms in response to changes in internal energy,
An actuated portion (90) connected to one end (211) of the first actuator member and one end (221) of the second actuator member, and
With the control unit (88) that controls the displacement of the actuated portion by controlling the energy of the first actuator member and the second actuator member and deforming the first actuator member and the second actuator member. ,
When the first actuator member is deformed, a force in a direction that hinders the deformation of the first actuator member is applied to the first actuator member, and when the second actuator member is deformed, the deformation of the second actuator member is performed. Elastic members (51, 55) that apply a force in the hindering direction to the second actuator member, and
Actuator device with.
前記第1アクチュエータ部材の他端(212)に接続されている第1保持部(31)と、
前記第2アクチュエータ部材の他端(222)に接続されている第2保持部(32)と、
をさらに備え、
前記弾性部材は、前記第1アクチュエータ部材が変形したとき、前記第1保持部を介して、前記第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第1アクチュエータ部材に付与し、前記第2アクチュエータ部材が変形したとき、前記第2保持部を介して、前記第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第2アクチュエータ部材に付与する請求項1に記載のアクチュエータ装置。
The first holding portion (31) connected to the other end (212) of the first actuator member and
The second holding portion (32) connected to the other end (222) of the second actuator member and
With more
When the first actuator member is deformed, the elastic member applies a force in a direction that hinders the deformation of the first actuator member to the first actuator member via the first holding portion, and the second actuator member. The actuator device according to claim 1, wherein when the member is deformed, a force in a direction that hinders the deformation of the second actuator member is applied to the second actuator member via the second holding portion.
前記弾性部材は、第1弾性部材(51)であり、
アクチュエータ装置は、一端(521)が前記第1保持部に接続され、他端(522)が前記第2保持部に接続されており、前記第1アクチュエータ部材が変形したとき、前記第1保持部を介して、前記第1アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第1アクチュエータ部材に付与し、前記第2アクチュエータ部材が変形したとき、前記第2保持部を介して、前記第2アクチュエータ部材の変形を妨げる方向の力を前記第2アクチュエータ部材に付与する第2弾性部材(52)をさらに備え、
前記第1アクチュエータ部材、前記第2アクチュエータ部材および前記被作動部は、前記第1弾性部材と前記第2弾性部材との間に配置されている請求項2に記載のアクチュエータ装置。
The elastic member is the first elastic member (51).
In the actuator device, one end (521) is connected to the first holding portion and the other end (522) is connected to the second holding portion. When the first actuator member is deformed, the first holding portion A force is applied to the first actuator member in a direction that hinders the deformation of the first actuator member, and when the second actuator member is deformed, the second actuator member is subjected to the second holding portion. A second elastic member (52) that applies a force in a direction that hinders the deformation of the second actuator member is further provided.
The actuator device according to claim 2, wherein the first actuator member, the second actuator member, and the actuated portion are arranged between the first elastic member and the second elastic member.
前記弾性部材(55)の一端(551)は、前記第1アクチュエータ部材の他端(212)に接続されており、
前記弾性部材(55)の他端(552)は、前記第2アクチュエータ部材の他端(222)に接続されている請求項1に記載のアクチュエータ装置。
One end (551) of the elastic member (55) is connected to the other end (212) of the first actuator member.
The actuator device according to claim 1, wherein the other end (552) of the elastic member (55) is connected to the other end (222) of the second actuator member.
前記制御部は、前記被作動部を回転変位させるとき、前記第1アクチュエータ部材を収縮させ、前記第2アクチュエータ部材を前記第1アクチュエータ部材が収縮する方向に伸長させる請求項1ないし4のいずれか1つに記載のアクチュエータ装置。 Any one of claims 1 to 4, wherein the control unit contracts the first actuator member and expands the second actuator member in a direction in which the first actuator member contracts when the actuated portion is rotationally displaced. The actuator device according to one. 前記制御部は、前記第1アクチュエータ部材および前記第2アクチュエータ部材の両方にエネルギーを与えた後に、前記第1アクチュエータ部材および前記第2アクチュエータ部材を変形させる請求項1ないし5のいずれか1つに記載のアクチュエータ装置。 The control unit applies energy to both the first actuator member and the second actuator member, and then deforms the first actuator member and the second actuator member according to any one of claims 1 to 5. The actuator device described. 前記第1アクチュエータ部材および前記第2アクチュエータ部材は、ポリマ繊維であり、
前記弾性部材は、前記第1アクチュエータ部材に張力を付与する方向の力を前記第1アクチュエータ部材に付与し、前記第2アクチュエータ部材に張力を付与する方向の力を前記第1アクチュエータ部材に付与する請求項1ないし6のいずれか1つに記載のアクチュエータ装置。
The first actuator member and the second actuator member are polymer fibers.
The elastic member applies a force in a direction for applying tension to the first actuator member to the first actuator member, and applies a force in a direction for applying tension to the second actuator member to the first actuator member. The actuator device according to any one of claims 1 to 6.
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