JP2020188400A - Communication system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、通信システムに関する。 The present invention relates to a communication system.
特許文献１に開示のように、加工装置にトラブルが発生したことを作業者に通知する発明がある。 As disclosed in Patent Document 1, there is an invention for notifying an operator that a trouble has occurred in a processing apparatus.
しかし、トラブル以外の加工装置の稼働状況については、オペレータは、加工装置の近くに行って、加工装置の本体あるいは加工装置のシグナルタワーの表示を目視することによって把握している。 However, the operator grasps the operating status of the processing apparatus other than the trouble by going near the processing apparatus and visually observing the display of the main body of the processing apparatus or the signal tower of the processing apparatus.
つまり、オペレータは、加工装置の近くに行かなければ、その稼働状況を把握することが困難である。そのため、オペレータは、加工装置から離れたところで作業をしている場合には、稼働状況を把握する際に作業を中断している。また、複数の加工装置の稼働状況を把握する場合には、オペレータは、加工装置のそれぞれに、個別に足を運んでいる。 That is, it is difficult for the operator to grasp the operating status unless he / she goes near the processing apparatus. Therefore, when the operator is working away from the processing apparatus, the operator interrupts the work when grasping the operating status. In addition, when grasping the operating status of a plurality of processing devices, the operator visits each of the processing devices individually.
また、加工装置の加工を一時停止して、加工結果をチェックしたいときにも、加工装置の近くに行かなければ加工結果を確認しにくいため、オペレータは、自身の作業を中断することになる。 Further, even when the machining of the machining apparatus is temporarily stopped and the machining result is to be checked, it is difficult to check the machining result unless the machine is near the machining apparatus, so that the operator interrupts his / her own work.
本発明の目的は、加工装置の近くに行かなくても、加工装置の状態や被加工物の加工結果を把握することを可能とすることにある。 An object of the present invention is to make it possible to grasp the state of the processing apparatus and the processing result of the workpiece without going near the processing apparatus.
本発明の通信システム（本通信システム）は、被加工物を加工する加工装置と、該加工装置と通信することにより該加工装置の状態を把握する通信端末とを備え、該加工装置と該通信端末とで通信する通信システムであって、該通信端末に備えられ、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群から選択されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換し、該質問データを該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に表示させる端末制御部と、該加工装置に備えられ、該イラスト質問群における個々のイラスト質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの該質問データに対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、を備える。 The communication system of the present invention (the present communication system) includes a processing device for processing a workpiece and a communication terminal for grasping the state of the processing device by communicating with the processing device, and the processing device and the communication. It is a communication system that communicates with a terminal, and an illustration question selected from a preset illustration displayable illustration question group provided in the communication terminal is converted into communicable question data, and the question data is converted. Is transmitted to the processing apparatus and the answer from the processing apparatus is displayed on the display screen, and the answer list provided in the processing apparatus for obtaining the answer to each illustration question in the illustration question group. Based on this, a device control unit that acquires an answer to the question data from the communication terminal and transmits the answer to the communication terminal is provided.
また、本通信システムでは、該加工装置から該通信端末に送信される回答は、画像データを含んでもよい。 Further, in the present communication system, the answer transmitted from the processing device to the communication terminal may include image data.
本通信システムでは、通信端末を用いて、加工装置の状態（稼働しているか否か、エラーで停止しているか否か、加工具の交換が必要か否か、稼働状況あるいは加工結果など）に関するイラスト質問を、加工装置に送ること、および、そのイラスト質問に応じた回答を加工装置から受信して、その結果を表示することができる。 In this communication system, a communication terminal is used to relate to the state of the processing device (whether it is operating, whether it is stopped due to an error, whether it is necessary to replace the processing tool, the operating status or the processing result, etc.). The illustration question can be sent to the processing device, and the answer corresponding to the illustration question can be received from the processing device and the result can be displayed.
したがって、本通信システムでは、加工装置のオペレータは、通信端末を用いることにより、加工装置から離れたところにいても、加工装置の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置の状態を把握するために、作業を中断して加工装置に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。 Therefore, in the present communication system, the operator of the processing apparatus can grasp the state of the processing apparatus even if he / she is away from the processing apparatus by using the communication terminal. As a result, the operator does not have to interrupt the work and approach the processing apparatus in order to grasp the state of the processing apparatus. Therefore, the operator can continue the work and prepare for the next machining depending on the state of the machining apparatus. As a result, productivity can be increased.
また、本通信システムに複数の加工装置が含まれている場合、オペレータは、各加工装置の状態を、各加工装置のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。 Further, when the present communication system includes a plurality of processing devices, the operator can grasp the state of each processing device without visiting each of the processing devices. As a result, the efficiency of grasping the state of the processing apparatus can be significantly improved.
また、本通信システムでは、イラストを含むイラスト質問からなるイラスト質問群を表示し、オペレータが、所望のイラスト質問を選択することにより、加工装置に質問データを送信することが可能である。これにより、オペレータは、加工装置に送信すべき質問を、視覚的に容易に判別することができるので、送信ミスを抑制することができる。また、質問を文字入力する場合に比して、質問の送信に関する効率を高めることができる。 Further, in this communication system, it is possible to display a group of illustration questions composed of illustration questions including illustrations, and the operator can send question data to the processing apparatus by selecting a desired illustration question. As a result, the operator can easily visually determine the question to be transmitted to the processing apparatus, so that transmission errors can be suppressed. In addition, the efficiency of sending the question can be improved as compared with the case of inputting the question in characters.
また、たとえば、イラスト質問を用いているため、通信端末と加工装置との間での対話の内容を他の通信端末に表示することにより、他の通信端末を介しても、対話の内容を容易に把握することができる。 Further, for example, since the illustration question is used, the content of the dialogue between the communication terminal and the processing device can be displayed on another communication terminal, so that the content of the dialogue can be easily performed even through the other communication terminal. Can be grasped.
また、加工装置の装置制御部は、たとえば回答に関連する画像データを回答に含めて、通信端末に送信してもよい。これにより、オペレータは、加工装置の状態を、画像を用いて、視覚的に明瞭に把握することが可能となる。 Further, the device control unit of the processing device may include, for example, image data related to the answer in the answer and transmit it to the communication terminal. As a result, the operator can visually and clearly grasp the state of the processing apparatus by using an image.
さらに、カーフチェックエラーなどのように、画像を見ないと良否判断が困難となるようなエラーもある。本通信システムでは、オペレータは、加工装置から離れたところにいても、このようなエラーに関する画像を見て、たとえば加工を続行するか停止するかを判断することができる。 Furthermore, there are some errors such as calf check error, which make it difficult to judge the quality without looking at the image. In the communication system, the operator can see an image of such an error and decide, for example, whether to continue or stop machining, even when he is away from the machining equipment.
図１に示すように、本実施形態にかかる通信システム１は、被加工物であるウェーハＷを加工する加工装置３、および、加工装置３と通信することにより加工装置３の状態を把握する通信端末５を備えている。通信システム１では、加工装置３と通信端末５との間の通信が実現される。
なお、図１には１台の加工装置３が示されているけれども、通信システム１は、複数台の加工装置３を含むことが可能であり、この場合、通信端末５は、複数の加工装置３と通信する。
As shown in FIG. 1, the communication system 1 according to the present embodiment is a communication device 3 for processing a wafer W as a workpiece, and a communication for grasping a state of the processing device 3 by communicating with the processing device 3. It is equipped with a terminal 5. In the communication system 1, communication between the processing device 3 and the communication terminal 5 is realized.
Although one processing device 3 is shown in FIG. 1, the communication system 1 can include a plurality of processing devices 3, and in this case, the communication terminal 5 is a plurality of processing devices. Communicate with 3.
加工対象となるウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。 The wafer W to be processed has a substantially circular shape, and a grid-like division schedule line L is formed on the surface thereof. Various devices (not shown) are formed in each region partitioned by the scheduled division line L.
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置３において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置３に搬入される。 A dicing tape T is attached to the back surface of the wafer W. A ring frame F is attached to the outer circumference of the dicing tape T. In this way, the wafer W is processed in the processing apparatus 3 in the state of the work set W1 supported by the ring frame F via the dicing tape T. Further, the work set W1 is housed in a cassette (not shown) and carried into the processing apparatus 3.
以下に、加工装置３および通信端末５の構成について説明する。 The configurations of the processing apparatus 3 and the communication terminal 5 will be described below.
加工装置３は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、筐体１２に内蔵され、加工装置３の各部材を制御する装置制御部１４、および、筐体１２の前面に備えられたアンテナ１５を有している。アンテナ１５は、加工装置３と通信端末５などの外部装置との通信に使用される。
また、アンテナ１５は、加工装置３に備えなくても良く、加工装置３と有線接続された通信機器（ルータ）１９に配設されていても良い。また、通信機器１９を複数配置してもよい。
The processing device 3 is a support base 10, a rectangular parallelepiped housing 12 erected on the support base 10, a device control unit 14 built in the housing 12, and controlling each member of the processing device 3, and a housing 12. It has an antenna 15 provided on the front surface of the. The antenna 15 is used for communication between the processing device 3 and an external device such as a communication terminal 5.
Further, the antenna 15 does not have to be provided in the processing device 3, and may be arranged in the communication device (router) 19 wiredly connected to the processing device 3. Further, a plurality of communication devices 19 may be arranged.
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。 A cassette stage 16 on which a cassette (not shown) for holding a plurality of work sets W1 is placed is provided on one end side of the support base 10.
カセットステージ１６と保持テーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。また、保持テーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。 A push-pull means 17 for transporting the work set W1 is provided between the cassette stage 16 and the holding table 20. Further, on the housing 12 side of the holding table 20, a temporary placing means 18 for temporarily placing the work set W1 is provided. The push-pull means 17 conveys and places the work set W1 before processing from the cassette on the cassette stage 16 to the temporary placing means 18. The temporary placement means 18 positions the work set W1 in the X-axis direction.
仮置き手段１８上のワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０に搬送および載置される。
保持テーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１および保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。
The work set W1 on the temporary placing means 18 is conveyed and placed on the holding table 20 by a conveying means (not shown).
The holding table 20 is fixed on the moving plate 21. The moving plate 21 covers the opening in the center of the upper surface of the support base 10 together with the bellows-shaped waterproof cover C. Below the moving plate 21 and the waterproof cover C, for example, a ball screw type cutting feed mechanism (not shown) for moving the moving plate 21 and the holding table 20 in the X-axis direction is provided.
保持テーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面を有している。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。保持テーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。 The holding table 20 has a holding surface made of a porous ceramic material. The wafer W of the work set W1 is suction-held by the negative pressure generated on the holding surface. Four clamps 22 are provided around the holding table 20. The ring frame F of the work set W1 is clamped and fixed from all sides by each clamp 22.
保持テーブル２０の上方における筐体１２の前面には、保持テーブル２０に保持されているワークセットＷ１のウェーハＷを切削加工する切削機構３０が備えられている。切削機構３０は、互いに同様の構造を有する第１切削装置３１および第２切削装置３３、ならびに、第１切削装置３１および第２切削装置３３をＹ軸方向に沿って移動させるためのＹ軸方向移動手段３５を備えている。 On the front surface of the housing 12 above the holding table 20, a cutting mechanism 30 for cutting the wafer W of the work set W1 held by the holding table 20 is provided. The cutting mechanism 30 has a Y-axis direction for moving the first cutting device 31 and the second cutting device 33, and the first cutting device 31 and the second cutting device 33, which have similar structures to each other, along the Y-axis direction. The means of transportation 35 is provided.
第１切削装置３１および第２切削装置３３は、それぞれの下端に、切削ブレードを有する切削部３７を備えており、切削部３７をＺ軸方向に沿って移動させることが可能である。 The first cutting device 31 and the second cutting device 33 are provided with a cutting portion 37 having a cutting blade at the lower end thereof, and the cutting portion 37 can be moved along the Z-axis direction.
このような構成を有する切削機構３０では、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５によって、切削部３７のＹＺ面内での位置が調整される。そして、切削部３７の切削ブレードによって、Ｘ軸方向に切削送りされる保持テーブル２０に保持されたワークセットＷ１におけるウェーハＷが、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。 In the cutting mechanism 30 having such a configuration, the position of the cutting portion 37 in the YZ plane is adjusted by the first cutting device 31, the second cutting device 33, and the Y-axis direction moving means 35. Then, the wafer W in the workpiece W1 held on the holding table 20 which is cut and fed in the X-axis direction by the cutting blade of the cutting portion 37 is cut along the scheduled division line L.
切削加工後、ワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０から、保持テーブル２０の奥側の洗浄手段２４に送られる。洗浄手段２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。 After the cutting process, the work set W1 is sent from the holding table 20 to the cleaning means 24 on the back side of the holding table 20 by a conveying means (not shown). The cleaning means 24 injects cleaning water toward the work set W1 rotated at high speed to clean the work set W1, and then injects drying air to dry the work set W1.
また、筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置３に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。 A touch panel 40 is installed on the side surface of the housing 12. Various information such as processing conditions related to the processing apparatus 3 is displayed on the touch panel 40. The touch panel 40 is also used to set various information such as processing conditions. As described above, the touch panel 40 functions as an input means for inputting information and also as a display means for displaying the input information.
装置制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置３の各構成要素を統括制御する。たとえば、装置制御部１４には、各種検出器（図示せず）からの検出結果が入力される。また、装置制御部１４は、切削送り機構、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５を制御して、ワークセットＷ１のウェーハＷに対する切削部３７による切削加工を実施する。
また、装置制御部１４は、通信端末５と通信するための通信制御部としても機能する。
The device control unit 14 executes various processes and controls each component of the processing device 3 in an integrated manner. For example, detection results from various detectors (not shown) are input to the device control unit 14. Further, the device control unit 14 controls the cutting feed mechanism, the first cutting device 31, the second cutting device 33, and the Y-axis direction moving means 35 to perform cutting on the wafer W of the work set W1 by the cutting unit 37. To do.
The device control unit 14 also functions as a communication control unit for communicating with the communication terminal 5.
通信端末５は、たとえばスマートフォンあるいはタブレットなどの携帯可能な端末装置であり、加工装置３のオペレータに携帯される。図１に示すように、通信端末５は、筐体５１、タッチパネル５３、および、筐体５１に内蔵され、通信端末５の各部材を制御する端末制御部５５を備えている。 The communication terminal 5 is a portable terminal device such as a smartphone or a tablet, and is carried by the operator of the processing device 3. As shown in FIG. 1, the communication terminal 5 includes a housing 51, a touch panel 53, and a terminal control unit 55 built in the housing 51 to control each member of the communication terminal 5.
通信端末５のタッチパネル５３は、加工装置３のタッチパネル４０と同様に、オペレータに情報を表示する表示手段として、および、オペレータによる情報の入力のための入力手段として機能する。
端末制御部５５は、各種の処理を実行し、通信端末５の各構成要素を統括制御する。
Similar to the touch panel 40 of the processing device 3, the touch panel 53 of the communication terminal 5 functions as a display means for displaying information to the operator and as an input means for inputting information by the operator.
The terminal control unit 55 executes various processes and controls each component of the communication terminal 5 in an integrated manner.
次に、加工装置３と通信端末５との間の通信のための構成およびその動作について説明する。
図２に示すように、通信端末５の端末制御部５５は、それぞれタッチパネル５３に接続された、端末送信部６１、質問表示部６２および端末受信部６３を備えている。端末制御部５５は、さらに、端末送信部６１に接続されたデータ変換部６５を有している。
Next, a configuration for communication between the processing device 3 and the communication terminal 5 and its operation will be described.
As shown in FIG. 2, the terminal control unit 55 of the communication terminal 5 includes a terminal transmission unit 61, a question display unit 62, and a terminal reception unit 63, which are connected to the touch panel 53, respectively. The terminal control unit 55 further has a data conversion unit 65 connected to the terminal transmission unit 61.
質問表示部６２は、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群を記憶している。イラスト質問群は、通信システム１において予め設定されている複数のイラスト質問を含んでいる。質問表示部６２は、イラスト質問群の一部あるいは全部を、タッチパネル５３に表示する。 The question display unit 62 stores a preset set of illustration questions that can be displayed as illustrations. The illustration question group includes a plurality of illustration questions preset in the communication system 1. The question display unit 62 displays a part or all of the illustration question group on the touch panel 53.
図３に、タッチパネル５３に表示されるイラスト質問群の例として、５つのイラスト質問を含むイラスト質問群を示す。また、図４に、各イラスト質問の内容を示す。
図３に示すように、イラスト質問は、スタンプなどのイラストを含む質問であり、タッチパネル５３に表示される。オペレータは、タッチパネル５３を用いて、加工装置３に送信したいイラスト質問を選択することができる。
FIG. 3 shows an illustration question group including five illustration questions as an example of the illustration question group displayed on the touch panel 53. Further, FIG. 4 shows the contents of each illustration question.
As shown in FIG. 3, the illustration question is a question including an illustration such as a stamp, and is displayed on the touch panel 53. The operator can use the touch panel 53 to select an illustration question to be transmitted to the processing apparatus 3.
タッチパネル５３を介してイラスト質問がオペレータに選択されると、図２に示す端末送信部６１は、選択されたイラスト質問をデータ変換部６５に伝達する。データ変換部６５は、伝達されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換して、端末送信部６１に伝達する。そして、端末送信部６１は、この質問データを、通信端末５の筐体５１に内蔵されたアンテナ５７を介して、加工装置３に送信する。
なお、通信システム１が複数の加工装置３を含んでいる場合、端末送信部６１は、全てのあるいは一部の加工装置３に、質問データを送信する。
When the illustration question is selected by the operator via the touch panel 53, the terminal transmission unit 61 shown in FIG. 2 transmits the selected illustration question to the data conversion unit 65. The data conversion unit 65 converts the transmitted illustration question into communicable question data and transmits it to the terminal transmission unit 61. Then, the terminal transmission unit 61 transmits this question data to the processing device 3 via the antenna 57 built in the housing 51 of the communication terminal 5.
When the communication system 1 includes a plurality of processing devices 3, the terminal transmission unit 61 transmits question data to all or some of the processing devices 3.
端末受信部６３は、加工装置３から送信された、イラスト質問に対する回答を示す回答データを、アンテナ５７を介して受信する。そして、端末受信部６３は、回答をタッチパネル５３に表示する。 The terminal receiving unit 63 receives the answer data indicating the answer to the illustration question transmitted from the processing device 3 via the antenna 57. Then, the terminal receiving unit 63 displays the answer on the touch panel 53.
また、図５に示すように、加工装置３の装置制御部１４は、それぞれタッチパネル４０に接続された装置受信部４１およびメモリ４３、ならびに装置送信部４６を備えている。さらに、装置制御部１４は、装置受信部４１およびメモリ４３に接続された選出部４２、ならびに、選出部４２および装置送信部４６に接続されたデータ変換部４５を備えている。 Further, as shown in FIG. 5, the device control unit 14 of the processing device 3 includes a device receiving unit 41 and a memory 43 connected to the touch panel 40, and a device transmitting unit 46, respectively. Further, the device control unit 14 includes a selection unit 42 connected to the device reception unit 41 and the memory 43, and a data conversion unit 45 connected to the selection unit 42 and the device transmission unit 46.
装置受信部４１は、通信端末５から送信された質問データを、アンテナ１５を介して受信する。さらに、装置受信部４１は、質問データを処理することによって、イラスト質問の内容を抽出する。選出部４２は、抽出されたイラスト質問の内容に応じた回答を取得する。 The device receiving unit 41 receives the question data transmitted from the communication terminal 5 via the antenna 15. Further, the device receiving unit 41 extracts the content of the illustration question by processing the question data. The selection unit 42 acquires an answer according to the content of the extracted illustration question.
すなわち、メモリ４３には、たとえば図６に示すような、イラスト質問とその回答項目とが対となって記載されている回答リスト４４が格納されている。選出部４２は、この回答リスト４４に基づいて、抽出されたイラスト質問の内容に応じた回答項目を選出する。
なお、回答リストは、たとえば、オペレータによって予め入力される設定および指示等に基づいて、装置制御部１４によって作成される。
That is, the memory 43 stores, for example, an answer list 44 in which an illustration question and its answer item are described as a pair, as shown in FIG. The selection unit 42 selects answer items according to the contents of the extracted illustration question based on the answer list 44.
The answer list is created by the device control unit 14, for example, based on settings and instructions input in advance by the operator.
ここで、回答リスト４４における回答項目の内容は、具体的な回答を得るための指針（何を回答とすべきかを示す事項）であってもよいし、具体的な回答自体であってもよい。前者の場合、選出部４２は、選出した回答項目に基づいて、メモリ４３等に予め記録されている加工装置３の仕様データ、あるいは、加工装置３の稼働状況等を確認し、具体的な回答を取得する。
なお、図６では、回答リスト４４における回答項目の右側に、各回答項目に関する具体的な回答例を示している。
Here, the content of the answer item in the answer list 44 may be a guideline for obtaining a specific answer (a matter indicating what should be an answer) or a specific answer itself. .. In the former case, the selection unit 42 confirms the specification data of the processing device 3 pre-recorded in the memory 43 or the like, the operating status of the processing device 3, or the like based on the selected answer items, and gives a specific answer. To get.
In FIG. 6, specific response examples for each response item are shown on the right side of the response items in the response list 44.
また、図５に示すように、メモリ４３には、画像リスト４７も格納されている。画像リスト４７は、複数の画像データを含んでいる。画像データは、たとえば、加工装置３に所定の事象が発生したとき、あるいは、通信端末５からの質問データを受信したときに、装置制御部１４によって適宜作成される。 Further, as shown in FIG. 5, the image list 47 is also stored in the memory 43. The image list 47 includes a plurality of image data. The image data is appropriately created by the device control unit 14 when, for example, a predetermined event occurs in the processing device 3 or when the question data from the communication terminal 5 is received.
選出部４２は、取得した回答に関連する画像データが画像リスト４７に存在する場合、その画像データを回答に含めることができる。図６に示すように、「エラー状況」に関する回答例は、関連画像として、カーフに関するオフセンターエラーが生じていることを示す画像Ｇ１を含んでいる。 When the image data related to the acquired answer exists in the image list 47, the selection unit 42 can include the image data in the answer. As shown in FIG. 6, the response example regarding the "error situation" includes an image G1 indicating that an off-center error regarding the calf has occurred as a related image.
データ変換部４５は、選出部４２に取得された回答を変換して、通信可能な回答データを作成する。装置送信部４６は、データ変換部４５によって作成された回答データを、アンテナ１５を介して通信端末５に送信する。 The data conversion unit 45 converts the answers acquired by the selection unit 42 to create communicable answer data. The device transmission unit 46 transmits the response data created by the data conversion unit 45 to the communication terminal 5 via the antenna 15.
ここで、通信端末５から送信されるイラスト質問は、図４および図６に示すように、主に、加工装置３の状態としての、加工装置３の仕様あるいは稼働状況を問うものである。そして、回答は、イラスト質問に対応する加工装置３の状態を示すものである。 Here, as shown in FIGS. 4 and 6, the illustration question transmitted from the communication terminal 5 mainly asks the specifications or the operating status of the processing device 3 as the state of the processing device 3. Then, the answer indicates the state of the processing apparatus 3 corresponding to the illustration question.
これらのイラスト質問およびその回答は、上記のように、通信端末５のタッチパネル５３にタイムライン表示される。その表示例を図７に示す。 As described above, these illustrated questions and their answers are displayed on the touch panel 53 of the communication terminal 5 on a timeline. A display example thereof is shown in FIG.
オペレータは、タッチパネル５３に表示されているイラスト質問群（図３参照）における特定のイラスト質問に触れることにより、イラスト質問を選択すること、すなわち、イラスト質問を加工装置３に送信することができる。 The operator can select an illustration question, that is, send the illustration question to the processing device 3 by touching a specific illustration question in the illustration question group (see FIG. 3) displayed on the touch panel 53.
また、図７に示す例では、２台の加工装置３（DICER-1, DICER-2）と通信端末５とが通信しており、イラスト質問と回答とが、タイムライン表示されている。この例では、オペレータは、まず、「ブレードの型式」に関するイラスト質問を選択している。このイラスト質問は、各加工装置３に装着されている切削部３７の切削ブレードの型式を問うものである。これに応じて、２台の加工装置３は、それぞれ、”２７ＨＥＦＦ”および”２７ＨＥＧＧ”という切削ブレードの型式名を回答しており、それがタッチパネル５３に表示されている。 Further, in the example shown in FIG. 7, the two processing devices 3 (DICER-1, DICER-2) and the communication terminal 5 are communicating with each other, and the illustration question and the answer are displayed on the timeline. In this example, the operator first selects an illustrated question about "blade model". This illustration question asks the model of the cutting blade of the cutting portion 37 mounted on each processing device 3. In response to this, the two processing devices 3 responded with the model names of the cutting blades "27HEFF" and "27HEGG", respectively, which are displayed on the touch panel 53.
また、オペレータは、「エラー状況」に関するイラスト質問を選択している。このイラスト質問は、加工装置３においてエラーが発生しているか否かを問うものである。 In addition, the operator has selected an illustrated question regarding the "error situation". This illustration question asks whether or not an error has occurred in the processing apparatus 3.
これに応じて、１台の加工装置３（DICER-1）は、エラーが発生していないので、その回答は非表示となっている。
一方、もう１台の加工装置３（DICER-2）は、K0039 カーフチェック：オフセットエラーが発生しており、そのエラーを発生させたカーフの画像Ｇ２を、関連画像として回答している。
In response to this, one processing device 3 (DICER-1) has not generated an error, so the answer is hidden.
On the other hand, the other processing apparatus 3 (DICER-2) has a K0039 calf check: offset error, and the image G2 of the calf that caused the error is answered as a related image.
以上のように、通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３の状態（稼働しているか否か、エラーで停止しているか否か、加工具の交換が必要か否か、稼働状況あるいは加工結果など）に関するイラスト質問を、加工装置３に送信している。そして、加工装置３では、装置制御部１４が、そのイラスト質問に応じた回答を通信端末５に送信している。さらに、通信端末５では、端末制御部５５が、受信した回答を、表示画面であるタッチパネル５３に表示している。 As described above, in the communication system 1, the terminal control unit 55 of the communication terminal 5 is in the state of the processing device 3 (whether it is operating, whether it is stopped due to an error, whether it is necessary to replace the processing tool, or not. Or, an illustration question regarding the operating status or processing result) is sent to the processing apparatus 3. Then, in the processing device 3, the device control unit 14 transmits an answer corresponding to the illustration question to the communication terminal 5. Further, in the communication terminal 5, the terminal control unit 55 displays the received answer on the touch panel 53, which is a display screen.
このように、通信システム１では、加工装置３のオペレータは、通信端末５を用いることにより、加工装置３から離れたところにいても、加工装置３の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置３の状態を把握するために、作業を中断して加工装置３に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置３の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。 As described above, in the communication system 1, the operator of the processing device 3 can grasp the state of the processing device 3 even if he / she is away from the processing device 3 by using the communication terminal 5. As a result, the operator does not have to interrupt the work and approach the processing device 3 in order to grasp the state of the processing device 3. Therefore, the operator can continue the work and prepare for the next machining according to the state of the machining apparatus 3. As a result, productivity can be increased.
また、通信システム１に複数の加工装置３が含まれている場合、オペレータは、各加工装置３の状態を、各加工装置３のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置３の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。 Further, when the communication system 1 includes a plurality of processing devices 3, the operator can grasp the state of each processing device 3 without visiting each of the processing devices 3. As a result, the efficiency of grasping the state of the processing apparatus 3 can be significantly improved.
また、通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５が、イラストを含むイラスト質問からなるイラスト質問群をタッチパネル５３に表示し、オペレータが、所望のイラスト質問を選択することにより、加工装置３に質問データを送信することが可能である。これにより、オペレータは、加工装置３に送信すべき質問を、視覚的に容易に判別することができるので、送信ミスを抑制することができる。また、質問を文字入力する場合に比して、質問の送信に関する効率を高めることができる。 Further, in the communication system 1, the terminal control unit 55 of the communication terminal 5 displays an illustration question group consisting of illustration questions including illustrations on the touch panel 53, and the operator selects a desired illustration question, whereby the processing device 3 It is possible to send question data to. As a result, the operator can easily visually determine the question to be transmitted to the processing apparatus 3, so that a transmission error can be suppressed. In addition, the efficiency of sending the question can be improved as compared with the case of inputting the question in characters.
また、たとえば、イラスト質問を用いているため、通信端末５と加工装置３との間での対話の内容を他の通信端末に表示することにより、他の通信端末を介しても、対話の内容を容易に把握することができる。 Further, for example, since the illustration question is used, the content of the dialogue between the communication terminal 5 and the processing device 3 can be displayed on another communication terminal, so that the content of the dialogue can be displayed even through the other communication terminal. Can be easily grasped.
また、加工装置３の装置制御部１４は、回答に関連する画像データが画像リスト４７に存在する場合、その画像データを回答に含めて、通信端末５に送信することができる。これにより、通信端末５を用いるオペレータは、加工装置３の状態を、タッチパネル５３に表示される画像を用いて、視覚的に明瞭に把握することが可能となる。 Further, when the image data related to the answer exists in the image list 47, the device control unit 14 of the processing device 3 can include the image data in the answer and transmit it to the communication terminal 5. As a result, the operator using the communication terminal 5 can visually and clearly grasp the state of the processing device 3 by using the image displayed on the touch panel 53.
さらに、カーフチェックエラーなどのように、画像を見ないと良否判断が困難となるようなエラーもある。通信システム１では、オペレータは、加工装置３から離れたところにいても、このようなエラーに関する画像を見て、加工を続行するか停止するかを判断することができる。
なお、選出部４２は、回答に関連する画像データの有無に関わらず、回答に画像データを含めなくてもよい。
Furthermore, there are some errors such as calf check error, which make it difficult to judge the quality without looking at the image. In the communication system 1, the operator can determine whether to continue or stop the machining by looking at the image related to such an error even if he / she is away from the machining apparatus 3.
The selection unit 42 does not have to include the image data in the answer regardless of the presence or absence of the image data related to the answer.
また、端末制御部５５では、装置受信部４１が、加工装置３における所定の動作の停止を示す回答（停止回答）を受信した場合、質問表示部６２が、停止された動作を再実施（リトライ）させるリトライ信号を送信するためのリトライボタンを、タッチパネル５３に表示してもよい。そして、オペレータによってリトライボタンがタッチされた場合に、端末受信部６３が、停止回答を送信した加工装置３に対して、リトライ信号を送信してもよい。 Further, in the terminal control unit 55, when the device receiving unit 41 receives an answer (stop answer) indicating the stop of a predetermined operation in the processing device 3, the question display unit 62 re-executes the stopped operation (retry). ) The retry button for transmitting the retry signal may be displayed on the touch panel 53. Then, when the retry button is touched by the operator, the terminal receiving unit 63 may transmit a retry signal to the processing device 3 that has transmitted the stop response.
この場合、リトライ信号の送信対象となる所定の動作（リトライ可能な動作）は、予め定められており、質問表示部６２に記憶されている。質問表示部６２は、受信した停止回答に関する動作が再実施可能な動作である場合に限り、タッチパネル５３にリトライボタンを表示する。 In this case, a predetermined operation (retriable operation) for which the retry signal is transmitted is predetermined and stored in the question display unit 62. The question display unit 62 displays the retry button on the touch panel 53 only when the operation related to the received stop answer is a re-executable operation.
再実施可能な動作は、主に、軽微なトラブルにより停止された動作であり、たとえば、ワークセットＷ１の搬送ミスにより停止された、ワークセットＷ１の搬送動作である。また、再実施すべきでない動作としては、たとえば、切削ブレードの破損によって停止された切削動作を挙げられる。 The re-executable operation is mainly an operation stopped due to a minor trouble, for example, a transfer operation of the work set W1 stopped due to a transfer error of the work set W1. Further, as an operation that should not be performed again, for example, a cutting operation stopped due to breakage of the cutting blade can be mentioned.
この構成では、軽微なトラブルにより停止された再実施可能な動作を、加工装置３に再実施させることができる。これにより、加工装置３による加工を継続できるので、生産性をさらに高めることができる。 In this configuration, the processing apparatus 3 can re-execute the re-executable operation stopped due to a minor trouble. As a result, the processing by the processing apparatus 3 can be continued, so that the productivity can be further improved.
また、本実施形態では、通信端末５は、オペレータによって携帯可能な端末装置である。これに代えて、通信端末５は、デスクトップ型のコンピュータなどの、オペレータの作業場所に据え置かれた端末装置であってもよい。 Further, in the present embodiment, the communication terminal 5 is a terminal device that can be carried by an operator. Instead of this, the communication terminal 5 may be a terminal device installed in the operator's work place, such as a desktop computer.
また、本実施形態では、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、アンテナ１５およびアンテナ５７を介した無線通信を実施している。これに代えて、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、有線通信を実施してもよい。 Further, in the present embodiment, the device control unit 14 of the processing device 3 and the terminal control unit 55 of the communication terminal 5 carry out wireless communication via the antenna 15 and the antenna 57. Instead of this, the device control unit 14 of the processing device 3 and the terminal control unit 55 of the communication terminal 5 may carry out wired communication.
また、加工装置３と通信端末５とは、無線あるいは有線によって直接的に通信してもよいし、インターネットあるいはイントラネットなどのネットワークを介して通信してもよい。この場合、オペレータは、加工装置３の設置場所とは別の施設などの遠隔地にいる場合でも、加工装置３および通信端末５をネットワークに接続することにより、加工装置３の状態を把握することができる。 Further, the processing device 3 and the communication terminal 5 may communicate directly with each other by wireless or wired communication, or may communicate with each other via a network such as the Internet or an intranet. In this case, the operator can grasp the state of the processing device 3 by connecting the processing device 3 and the communication terminal 5 to the network even when the operator is in a remote place such as a facility different from the installation location of the processing device 3. Can be done.
また、本実施形態では、被加工物を加工する加工装置として、ウェーハＷを切削加工する加工装置３を例示している。これに代えて、本実施形態の通信システム１が適用される加工装置は、たとえば、被加工物を研削加工する研削装置、被加工物をレーザー光によって加工するレーザー加工装置、被加工物をバイト切削するバイト切削装置、被加工物を洗浄および乾燥する洗浄装置、被加工物をチップに分割するためのエキスパンド装置、あるいは、被加工物にテープを取り付けるテープマウンタであってもよい。 Further, in the present embodiment, as a processing apparatus for processing an workpiece, a processing apparatus 3 for cutting a wafer W is exemplified. Instead of this, the processing device to which the communication system 1 of the present embodiment is applied is, for example, a grinding device for grinding a work piece, a laser processing device for processing a work piece with a laser beam, and a bite for a work piece. It may be a cutting tool for cutting, a cleaning device for cleaning and drying the workpiece, an expanding apparatus for dividing the workpiece into chips, or a tape mounter for attaching a tape to the workpiece.
１：通信システム、
３：加工装置、１５：アンテナ、４０：タッチパネル、３７：切削部、
１４：装置制御部、４１：装置受信部、４２：選出部、
４３：メモリ、４４：回答リスト、４７：画像リスト、
４５：データ変換部、４６：装置送信部、
５：通信端末、５３：タッチパネル、５７：アンテナ、
５５：端末制御部、６１：端末送信部、６２：質問表示部、
６３：端末受信部、６５：データ変換部
1: Communication system,
3: Processing equipment, 15: Antenna, 40: Touch panel, 37: Cutting part,
14: Device control unit, 41: Device receiver, 42: Selection unit,
43: Memory, 44: Answer list, 47: Image list,
45: Data conversion unit, 46: Device transmission unit,
5: Communication terminal, 53: Touch panel, 57: Antenna,
55: Terminal control unit, 61: Terminal transmission unit, 62: Question display unit,
63: Terminal receiver, 65: Data conversion unit
Claims (2)
該通信端末に備えられ、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群から選択されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換し、該質問データを該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に表示させる端末制御部と、
該加工装置に備えられ、該イラスト質問群における個々のイラスト質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの該質問データに対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、
を備える通信システム。 A communication system including a processing device for processing a workpiece and a communication terminal for grasping the state of the processing device by communicating with the processing device, and communicating between the processing device and the communication terminal.
An illustration question selected from a preset illustration displayable illustration question group provided in the communication terminal is converted into communicable question data, the question data is transmitted to the processing device, and the processing device is used. The terminal control unit that displays the answer from the above on the display screen,
A device provided in the processing device, which acquires an answer to the question data from the communication terminal based on an answer list for obtaining an answer to an individual illustration question in the illustration question group, and transmits the answer to the communication terminal. Control unit and
Communication system including.
請求項１記載の通信システム。 The response transmitted from the processing device to the communication terminal includes image data.
The communication system according to claim 1.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2019092863A JP2020188400A (en) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | Communication system |
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Publications (1)
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|---|---|
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| JP2019092863A Pending JP2020188400A (en) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | Communication system |
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Citations (2)
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| JP2000311046A (en) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Mitsubishi Electric Corp | Data input system |
| JP2018092633A (en) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | コイロ ベズィッツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー エーデーファウ−ディーンストライストゥングス コマンデイトゲゼルシャフト | Monitoring system, machine tool, and transceiver module for machine tool realtime monitoring |
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