JP2020181174A - 光学結像装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造が容易な光学結像装置の製造方法を提供する。【解決手段】第１、第２の光制御部材１１、１１ａが、それぞれの垂直光反射面１３が平面視して直交するように配置される光学結像装置１０の製造方法であり、第１、第２の光制御部材１１、１１ａの少なくとも一方は、板状透明材２０の表裏に剥離コート２１を形成する第１工程と、剥離コート２１で被覆された板状透明材２０に一面側からレーザー光を照射して、断面矩形の貫通孔１５を複数平行に形成する第２工程と、貫通孔１５の片側又は両側の内側面１６を平面仕上げ加工により板状透明材２０の一面に直交する垂直面１７にする第３工程と、垂直面１７に金属を蒸着、鍍金、又は照射することによって垂直光反射面１３を形成する第４工程と、剥離コート２１を除去する第５工程を経て製造される。【選択図】図４

Description

本発明は、隙間を有して垂直に配置された複数の垂直光反射面（鏡面）が形成された光学結像装置の製造方法に関する。

物体表面から発する光（散乱光）を用いて立体像を形成する装置として、例えば、特許文献１に記載の光学結像装置がある。
この光学結像装置は、２枚の透明平板の内部に、この透明平板の一方の面に垂直に多数かつ帯状の金属反射面からなる光反射面を一定のピッチで並べて形成した第１、第２の光制御パネル（光制御部材）を有し、この第１、第２の光制御パネルのそれぞれの光反射面が平面視して直交するように、第１、第２の光制御パネルの一面側を向い合わせて密着させたものである。

国際公開第２００９／１３１１２８号公報

しかし、光制御パネルの製造に際しては、金属反射面が一面側に形成された一定厚みの板状の透明合成樹脂板やガラス板を、金属反射面が一方側に配置されるように多数枚積層して積層体を作製し、この積層体から各金属反射面に対して垂直な切り出し面が形成されるように切り出す必要があり、作業性や製造効率が悪かった。

本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、製造が容易な光学結像装置の製造方法を提供することを目的とする。

前記目的に沿う第１の発明に係る光学結像装置の製造方法は、第１、第２の光制御部材が、それぞれの垂直光反射面が平面視して直交するように配置される光学結像装置の製造方法において、
前記第１、第２の光制御部材の少なくとも一方は、
板状透明材の表裏に剥離コートを形成する第１工程と、
前記剥離コートで被覆された前記板状透明材に一面側からレーザー光を照射して、断面矩形の貫通孔を複数平行に形成する第２工程と、
前記貫通孔の片側又は両側の内側面を平面仕上げ加工により前記板状透明材の一面に直交する垂直面にする第３工程と、
前記垂直面に金属を蒸着、鍍金、又は照射することによって前記垂直光反射面を形成する第４工程と、
前記剥離コートを除去する第５工程を経て製造される。

第１の発明に係る光学結像装置の製造方法において、前記板状透明材の前記貫通孔の幅ｗは、隣合う前記貫通孔の側壁間隔ａと±５％の範囲で同一となって、前記貫通孔に、前記垂直光反射面の形成後、前記板状透明材の屈折率の０．９５〜１．０５倍（更に、０．９９〜１．０１倍とするのがより好ましい）の屈折率の透明樹脂を充填するのがよい。これによって、板状透明材と充填する透明樹脂とが同一物に近くなって光の通過度合いが増加し、形成される画像の歪みも無くなる。

前記目的に沿う第２の発明に係る光学結像装置の製造方法は、第１、第２の光制御部材が、それぞれの垂直光反射面が平面視して直交するように配置される光学結像装置の製造方法において、
前記第１、第２の光制御部材の少なくとも一方は、
板状透明材に一面側からレーザー光を照射して、断面矩形の貫通孔を複数平行に形成する第１工程と、
前記貫通孔の片側又は両側の内側面を平面仕上げ加工により前記板状透明材の一面に直交する垂直面にする第２工程を経て製造され、
前記板状透明材の前記貫通孔の幅ｗは、前記板状透明材の厚みｔの０．０５〜０．７倍の範囲にあり、前記垂直面を金属反射面としないで、全反射による前記垂直光反射面とする。
ここで、貫通孔の幅ｗが小さい場合は、貫通孔への透明樹脂の充填が困難であるので、透明樹脂を未充填にして空隙とし、幅ｗが広い場合は、貫通孔に透明樹脂を充填するのがよい。

第２の発明に係る光学結像装置の製造方法において、前記第１工程を行う前に、前記板状透明材の表裏に保護コートを形成し、前記第２工程を行った後、前記保護コートを除去するのがよい。

第１、第２の発明に係る光学結像装置の製造方法において、前記貫通孔の形成に波長の異なるレーザー光を使用し、（波長が長いレーザー光による）粗加工と（波長が短いレーザー光による）仕上げ加工を順次行うのがよい。

第１、第２の発明に係る光学結像装置の製造方法において、前記貫通孔が形成された前記板状透明材の周囲に支持部材を有しているのがよい。

本発明に係る光学結像装置の製造方法は、板状透明材に一面側からレーザー光を照射し断面矩形の貫通孔を複数平行に形成するので、光制御部材の製造に際し、従来のように、積層体を作製したり切り出したりする必要がない。
従って、光制御部材を、作業性よく、しかも、製造効率よく、容易に製造できる。

（Ａ）は本発明の一実施の形態に係る光学結像装置の製造方法により製造した光学結像装置の光制御パネルの平面図、（Ｂ）は図１（Ａ）におけるｘ−ｘ´矢視拡大断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ同光学結像装置の拡大正断面図及び拡大側断面図である。 変形例に係る光学結像装置の光制御パネルの部分拡大側断面図である。 （Ａ）〜（Ｅ）は本発明の一実施の形態に係る光学結像装置の製造方法の説明図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
まず、図１（Ａ）、（Ｂ）、図２（Ａ）、（Ｂ）を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る光学結像装置の製造方法により製造した光学結像装置１０について説明する。
光学結像装置１０は、対となる平面視して矩形状（正方形が好ましい）となった第１、第２の光制御パネル（平行光反射パネル：光制御部材の一例）１１、１１ａを有しているが、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａは基本的形状が同一なので、同一の構成要素には同一の番号を付与する。なお、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、第１の光制御パネル１１を下側に、第２の光制御パネル１１ａを上側に、それぞれ配置している。

第１の光制御パネル１１（第２の光制御パネル１１ａも同様）は、平面視して正方形（又は長方形）となって、その外周縁部に外枠（支持部材の一例）１２が形成され、その外枠１２内（外周縁部を除く領域）に、両面（表裏面）に直交状態で、隙間を有して平行配置された多数の帯状の垂直光反射面１３（ミラー）が形成されている。
具体的には、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａはそれぞれ、ガラス（又は透明度の高い合成樹脂）からなる透明な板材１４に多数平行に形成された断面矩形（断面長方形）の貫通孔１５の両側内側面１６（板材１４の両面に直交する垂直面１７）に、板材１４に入射した光を反射する垂直光反射面１３が形成されている（他の部分は非光反射部であって光透過部となる）。

このように、多数の貫通孔１５が形成された板材１４の周囲に外枠１２を設けることで、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａ（板材１４）の強度を維持（撓みを抑制、更には防止）できる。
なお、外枠１２に加えて更に、又は、外枠１２の代わりに、平面視して貫通孔１５とは交差配置する補強材（支持部材）を設けることもできる。従って、１つの大型光制御パネルに偶数枚の光制御パネルを設けることもできる。
更に、貫通孔１５は、外枠１２の一側から他側にかけて連続した状態で形成されているが、その途中位置（１箇所又は２以上の複数箇所）で分断することもできる（分断する部分が支持部材となる）。

第１、第２の光制御パネル１１、１１ａに形成された多数の帯状の垂直光反射面１３は、図１（Ａ）に示すように、外枠１２に対し平面視して４５度の角度で傾斜配置されているが、光学結像装置としての機能を発揮できれば、４５度±５度（好ましくは±２度）の範囲内で傾斜してもよい。
なお、図１（Ａ）、（Ｂ）、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、貫通孔１５が透明樹脂１８で埋められている（充填されている）が、埋めなくてもよい。

第１、第２の光制御パネル１１、１１ａは、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、垂直光反射面１３が平面視して直交配置された状態（例えば、８５〜９５度、好ましくは８８〜９２度の範囲で交差配置された状態を含む）で、積層され接合されて一体化されている。この積層された第１の光制御パネル１１と第２の光制御パネル１１ａとの間には、図示しない透明の接着剤（例えば、ＵＶ硬化樹脂、熱硬化樹脂、常温効果樹脂）が配置されている。
なお、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、第１の光制御パネル１１の上面と、第２の光制御パネル１１ａの下面とが、当接配置された状態（隙間がない：０ｍｍ）を示しているが、間隔（例えば、０を超え５ｍｍ以下程度）を有して近接配置された状態でもよい。この場合、この間隔領域にも接着剤が充填される（間隔が接着剤の層厚となる）。

上記した貫通孔１５を埋める透明樹脂１８や接着剤を構成する合成樹脂は、屈折率が板材１４と同一又は近似しているのが好ましい。具体的には、板材１４の屈折率η１と同一又は略等しい屈折率η２（例えば、±１０％の範囲、即ち（０．９〜１．１）×η１の範囲、好ましくは下限が０．９５×η１、上限が１．０５×η１、更に好ましくは０．９９×η１、上限が１．０１×η１）を有する合成樹脂を使用できる。
ここで、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａを構成する板材１４の屈折率η１に対し、合成樹脂の屈折率η２を合わせる方法としては、例えば、異なる２種以上の樹脂を混合して屈折率を調整する方法がある。この場合、板材と合成樹脂の屈折率の数値を、上から３桁まで（小数点以下第２位まで）揃えることが好ましい。

なお、貫通孔１５を埋める透明樹脂１８や接着剤を構成する合成樹脂は、紫外線硬化型（例えば、ウレタン（メタ）アクリレート、ポリイソプレン骨格を有する（メタ）アクリレート、ポリブタジエン骨格を有する（メタ）アクリレート、（メタ）アクリレートモノマー等の（メタ）アクリレート）、熱硬化型、２液硬化型、及び常温硬化型のいずれか１であることが好ましい。また、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：アクリル系樹脂）、非晶質フッ素樹脂、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、光学用ポリカーボネート、フルオレン系ポリエステル、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂も使用できる。

第１、第２の光制御パネル１１、１１ａは、垂直光反射面１３が貫通孔１５の内側面１６（垂直面１７）に形成されるものであるため、ｔを板材１４の厚み、ｈを垂直光反射面１３の高さとすると、厚みｔと高さｈは同じである。ここで、厚みｔと高さｈは、例えば、０．０３〜３ｍｍの範囲（更に好ましくは、下限が０．１ｍｍ、上限が１ｍｍ）であるのが実用的であるが、本発明はこの数値に限定されない。
図１（Ｂ）に示すように、板材１４の貫通孔１５の幅ｗは、隣合う貫通孔１５の側壁間隔ａと±５％の範囲（ここでは０％）で同一となっているが、異なってもよい。なお、板材１４の貫通孔１５の幅ｗは、板材１４の厚みｔの０．３〜０．７倍程度（ここでは、０．５倍）である。

ここで、垂直光反射面１３のピッチｐ（貫通孔１５の幅ｗと隣合う貫通孔１５の側壁間隔ａとの合計（即ち、ｗ＋ａ）に相当）に対する垂直光反射面１３の高さｈの比であるアスペクト比（ｈ／ｐ）は０．８〜５（好ましくは、下限が１．５、上限が３．５）の範囲にあるのが好ましく、これによって、より高さの高い垂直光反射面１３が得られる。
また、図３に示す光制御パネル（光制御部材の一例）１１ｂのように、板材１４ａの貫通孔１５ａの幅ｗ１を、板材１４ａの厚みｔ１の０．０５〜０．７倍（好ましくは、下限が０．１倍、上限が０．３倍）にすることもできる。この場合、形成される垂直面を、後述する金属反射面としないで、全反射による垂直光反射面１３ａとする。ここで、貫通孔の幅ｗ１が狭い場合は、貫通孔への透明樹脂の充填が困難であるので、透明樹脂を未充填にして空隙とし、幅ｗ１が広い場合は、貫通孔に透明樹脂を充填するのがよい。なお、垂直光反射面１３ａのピッチは、上記した垂直光反射面１３と同様にできる。

垂直光反射面１３は、板材１４に形成された垂直面１７に、鏡面処理を行って形成されている（図４（Ｄ）、（Ｅ）参照）。
これにより、図２（Ａ）、（Ｂ）において、光学結像装置１０の左下側から斜めに入光した対象物からの光Ｌ１、Ｌ２は、下側の光制御パネル１１の垂直光反射面１３のＰ１、Ｐ２で反射し、更に上側の光制御パネル１１ａの垂直光反射面１３のＱ１、Ｑ２で反射して、光学結像装置１０の上側に立体像を形成できる。
この光学結像装置１０は、上記したように、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａの垂直光反射面１３が当接（又は近接）配置されるので、対象物からの光の集光度合いが向上し、より鮮明な画像を得ることができる。

なお、本実施の形態においては、鏡面処理によって垂直面１７に形成された金属被膜の裏側（図２（Ａ）、（Ｂ）では貫通孔１５とは反対側）を第１、第２の光制御パネル１１、１１ａの垂直光反射面１３として使用したが、金属被膜の表側（図２（Ａ）、（Ｂ）では貫通孔１５側（透明樹脂１８側））を垂直光反射面として使用することもできる。
この光学結像装置１０の動作において、空気中から板材１４へ入光する場合、及び板材１４から空気中に出光する場合に、光の屈折現象、場合によって全反射現象を起こすので、これらを考慮して光学結像装置１０を使用する必要がある。なお、垂直光反射面１３以外の部分は光通過面となる。

続いて、本発明の一実施の形態に係る光学結像装置１０の製造方法について、図４（Ａ）〜（Ｅ）を参照しながら説明するが、第１の光制御パネル１１の製造方法と第２の光制御パネル１１ａの製造方法は同じであるので、第１の光制御パネル１１の製造方法を主として説明する。なお、図４（Ａ）〜（Ｅ）では、後述する剥離コート２１と金属皮膜の厚みを誇張して図示している。

（第１工程）
図４（Ａ）に示すように、板状透明材２０の表裏全体に剥離コート２１を形成する。
この剥離コート２１としては、例えば、デンカ（株）製のテンプロック（登録商標）等を使用できる。このテンプロックは、従来の熱可塑性接着剤と同等以上の固着力を持ちながら、紫外線で短時間に硬化し、更に有機溶剤を使うことなく温水（８０〜９０℃程度）で簡単に剥離できるという特性を備えた仮固定用接着剤である。
なお、剥離コートは、板状透明材の表裏に貼付け可能で、しかも、表裏から化学的又は物理的に剥離可能な構成であれば、特に限定されるものではない。

（第２工程）
図４（Ｂ）に示すように、剥離コート２１で被覆された板状透明材２０に表面側（一面側、片面側）からレーザー光を照射する。このとき、貫通孔１５が形成される部位を被覆した剥離コート２１も、レーザー光によって除去される。
ここでは、波長の異なるレーザー光を使用して順次粗加工と仕上げ加工を行うことが好ましい。具体的には、粗加工に、波長の長い（１０．６μｍ）ＣＯ_２レーザー等を使用でき、仕上げ加工に、波長の短い（２．９４μｍ）ＹＡＧレーザー等を使用できるが、例えば、板材２０の材質や厚み、形成する貫通孔１５の幅等に応じて、適宜選択できる。
これにより、断面矩形の貫通孔１５を複数平行に形成できる。また、貫通孔１５が形成された板状透明材２０の周囲には外枠１２が設けられている（図１参照）。

（第３工程）
図４（Ｃ）に示すように、貫通孔１５の両側の内側面１６を平面仕上げ加工する。
この平面仕上げ加工の方法としては、例えば、エッチング処理があり、この処理には、フッ化水素酸（フッ酸：ＨＦ）、フッ化アンモニウム（ＮＨ_４Ｆ）、フッ化水素アンモニウム（（ＮＨ_４）ＨＦ_２）等を使用できる。なお、平面仕上げ加工の方法としては、貫通孔の内側面を平面仕上げ加工できれば、エッチング処理に限定されるものではない。
これにより、板状透明材２０の一面（ここでは両面）に直交する垂直面１７を形成できる。

（第４工程）
図４（Ｄ）に示すように、垂直面１７に鏡面処理を施す。
鏡面処理は、金属を蒸着、鍍金、又は照射することにより行う。
この金属には、高反射率を有する金属（例えば、Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）等）を用いており、垂直面１７に形成される金属被膜の表面（金属反射面）が垂直光反射面１３となる。
なお、垂直面１７に形成される金属被膜の膜厚は、例えば、１００ｎｍ〜１５０ｎｍ程度であるが、これに限定されるものではない。

ここで、蒸着や鍍金を行った場合は、残存する剥離コート２１を含む全表面が、金属被膜となる金属２２で覆われる。
また、照射は、垂直面１７に対して斜め方向から金属噴射（金属照射）することにより行うことができ、この金属噴射には、スパッターリング、金属蒸着、金属微粒子の吹き付け、又はイオンビームの照射等がある。なお、照射は、垂直面１７に対して斜め方向（特定方向）から金属噴射（金属照射）することにより行うため、板状透明材２０の一面側のみが金属で覆われる。
これにより、垂直面１７に垂直光反射面１３を形成できる。なお、垂直面１７以外の領域では、板状透明材２０の表面を覆う残存する剥離コート２１の表面を、金属（不要金属）が覆うことになる。

（第５工程）
図４（Ｅ）に示すように、板状透明材２０の表面を覆う残存する剥離コート２１を除去する。具体的には、残存する剥離コート２１を、溶解処理、剥離処理、研磨処理（研削処理）によって除去する。
この溶解処理は、例えば、前記したように、温水で剥離可能なテンプロックを用いた場合に適用できる。
また、剥離処理は、例えば、平面となったシートの表面に液状接着剤を塗布し、剥離コート２１に付着した不要金属を液状接着剤に密着させ硬化させた後、このシートを板状透明材２０から引き剥がすことで実施できる。

上記した方法で、残存する剥離コート２１（不要金属）を除去した後、貫通孔１５に透明樹脂１８を充填し硬化させる。この透明樹脂１８の屈折率η２は、板状透明材２０の屈折率η１と同一又は略等しい（例えば、０．９５×η１〜１．０５×η１）。
なお、貫通孔１５への透明樹脂１８の充填は、例えば、板状透明材２０の裏面側に、透明のガラス製や樹脂製の薄板を配置し、脱気状態で行うのがよい。この薄板は、透明樹脂１８が硬化した後、除去することができるが、貼り付けられた状態でもよい（そのままの状態で使用することもできる）。

そして、研磨処理は、例えば、上記した方法と同様の方法を用いて、板状透明材２０に形成された貫通孔１５に透明樹脂１８を充填し硬化させる。
なお、透明樹脂１８は、不要金属が覆われる高さまで充填するが、少なくとも垂直面１７の上端位置まで充填すればよい。
続いて、板状透明材２０の表側を、剥離コートが無くなるまで研磨する。なお、研磨処理は、露出する板状透明材２０の表面が透明な状態となるように行う。この研磨には、ペースト状の研磨材等や、薬液に反応して研磨材が消失するものも使用できる。

なお、図３に示す光制御パネル１１ｂを製造する場合は、剥離コートを形成することなく、第１工程で貫通孔１５ａを形成して、第２工程で平面仕上げ加工を行う（即ち、前記した第２工程と第３工程がそれぞれ、第１工程と第２工程になり、前記した第４工程と第５工程を行わない）。この貫通孔１５ａには、透明樹脂の充填を行ってもよく、行わなくてもよい。
ここで、第１工程を行う前に、板状透明材の表裏に保護コートを形成し、第２工程を行った後、保護コートを除去することもできる。これにより、レーザー光等による板状透明材の表裏の損傷を抑制、更には防止できる。なお、保護コートには、前記した剥離コートと同様の構成のものを使用できる。

上記した方法により、垂直面１７の表面に金属被膜（金属反射膜）が形成され、その表面が垂直光反射面１３となり、第１の光制御パネル１１が得られる（第２の光制御パネル１１ａも同様）。
このように、第１工程〜第５工程を経て製造された第１の光制御パネル１１を、例えば、支持台上に配置し、この第１の光制御パネル１１の上に、前記した接着剤（液体（ゼリー状））を載せる。なお、接着剤には、紫外線硬化型、熱硬化型、２液硬化型、及び常温硬化型のいずれか１を使用することが好ましく、また、ポリメチルメタクリレート、非晶質フッ素樹脂、シクロオレフィンポリマー、光学用ポリカーボネート、フルオレン系ポリエステル、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂も使用できる。

続いて、第１の光制御パネル１１上に、第２の光制御パネル１１ａを、それぞれの垂直光反射面１３が平面視して直交配置された状態で、重ね合わせて配置する。
そして、脱気状態（減圧状態、更には真空状態）で、第２の光制御パネル１１ａをプレスで第１の光制御パネル１１に対して押圧し、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａを接合する。
このように、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａの接合作業を、脱気状態で行うことで、内部に気泡が発生することを防止できる。なお、第１、第２の光制御パネル１１、１１ａの接合中に超音波等の振動を加えて（加振して）、内部に発生した気泡を除去することもできる。

この接着剤には、熱可塑性樹脂からなる板状（シート状）のものを使用することもできる。
この場合、まず、第１の光制御パネル１１の上に板状の接着剤を載せ、更にこの接着剤の上に第２の光制御パネル１１ａを載せる。次に、脱気状態で、第２の光制御パネル１１ａをプレスで第１の光制御パネル１１に対して押圧しながら、少なくとも接着剤を加熱し軟化（更には溶融）させて冷却する。
また、脱気状態で、重ね合わせて対向配置された第１の光制御パネル１１と第２の光制御パネル１１ａとの間に、接着剤を注入することもできる。この場合、接着剤の注入部以外を封止する。
以上の方法により、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す光学結像装置１０が完成する。

以上、本発明を、実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。例えば、前記したそれぞれの実施の形態や変形例の一部又は全部を組合せて本発明の光学結像装置の製造方法を構成する場合も本発明の権利範囲に含まれる。
前記実施の形態においては、光学結像装置を構成する第１、第２の光制御部材の双方を、本発明の光学結像装置の製造方法により製造したが、第１、第２の光制御部材のいずれか一方のみを本発明の方法で製造することもできる。この場合、他方の光制御部材には、例えば、前記した特許文献１に記載の光制御パネル、また、国際公開第２０１５／０３３６４５号公報や特許第６２０３９８９号公報等に記載の光制御パネルを用いることができる。

前記実施の形態においては、第１、第２の光制御パネルの板状透明材をガラスで構成した場合について説明したが、板状透明材を透明度の高い合成樹脂（透明樹脂）で構成することもできる。この場合、板状透明材の合成樹脂には、前記した貫通孔を埋める透明樹脂や接着剤と同じ種類の樹脂を使用することが好ましいが、異なる種類の樹脂を使用することもできる。
具体的には、板状透明材の合成樹脂として、例えば、貫通孔を埋める透明樹脂や接着剤よりも融点の高い熱可塑性樹脂であるゼオネックス（ＺＥＯＮＥＸ：登録商標、ガラス転移温度：１２０〜１６０℃、屈折率η１：１．５３５、シクロオレフィンポリマー）を使用できる。また、貫通孔を埋める透明樹脂や接着剤として、例えば、ゼオノア（ＺＥＯＮＯＲ：登録商標、ガラス転移温度：１００〜１０２℃、屈折率η２：１．５３、シクロオレフィンポリマー）を使用できる。

前記実施の形態においては、形成した貫通孔の両側の内側面を垂直面にした場合（第３工程を行った場合）について説明したが、貫通孔の片側の内側面のみを垂直面にすることもできる。この場合、貫通孔の片側の垂直面のみに垂直光反射面を形成する（第４工程を行う）。
また、形成した貫通孔の両側の内側面を垂直面にし、そのいずれか片側の垂直面のみに垂直光反射面を形成することもできる。

本発明に係る光学結像装置の製造方法は、光学結像装置を容易に製造できる。これによって、光学結像装置を、映像を必要とする機器（例えば、医療機器、家庭電気製品、自動車、航空機、船舶等）で有効に利用できる。

１０：光学結像装置、１１、１１ａ、１１ｂ：光制御パネル（光制御部材）、１２：外枠（支持部材）、１３、１３ａ：垂直光反射面、１４、１４ａ：板材、１５、１５ａ：貫通孔、１６：内側面、１７：垂直面、１８：透明樹脂、２０：板状透明材、２１：剥離コート、２２：金属

Claims (6)

1. 第１、第２の光制御部材が、それぞれの垂直光反射面が平面視して直交するように配置される光学結像装置の製造方法において、
   前記第１、第２の光制御部材の少なくとも一方は、
   板状透明材の表裏に剥離コートを形成する第１工程と、
   前記剥離コートで被覆された前記板状透明材に一面側からレーザー光を照射して、断面矩形の貫通孔を複数平行に形成する第２工程と、
   前記貫通孔の片側又は両側の内側面を平面仕上げ加工により前記板状透明材の一面に直交する垂直面にする第３工程と、
   前記垂直面に金属を蒸着、鍍金、又は照射することによって前記垂直光反射面を形成する第４工程と、
   前記剥離コートを除去する第５工程を経て製造されることを特徴とする光学結像装置の製造方法。
2. 請求項１記載の光学結像装置の製造方法において、前記板状透明材の前記貫通孔の幅ｗは、隣合う前記貫通孔の側壁間隔ａと±５％の範囲で同一となって、前記貫通孔には、前記垂直光反射面の形成後、前記板状透明材の屈折率の０．９５〜１．０５倍の屈折率の透明樹脂が充填されることを特徴とする光学結像装置の製造方法。
3. 第１、第２の光制御部材が、それぞれの垂直光反射面が平面視して直交するように配置される光学結像装置の製造方法において、
   前記第１、第２の光制御部材の少なくとも一方は、
   板状透明材に一面側からレーザー光を照射して、断面矩形の貫通孔を複数平行に形成する第１工程と、
   前記貫通孔の片側又は両側の内側面を平面仕上げ加工により前記板状透明材の一面に直交する垂直面にする第２工程を経て製造され、
   前記板状透明材の前記貫通孔の幅ｗは、前記板状透明材の厚みｔの０．０５〜０．７倍の範囲にあり、前記垂直面を金属反射面としないで、全反射による前記垂直光反射面とすることを特徴とする光学結像装置の製造方法。
4. 請求項３記載の光学結像装置の製造方法において、前記第１工程を行う前に、前記板状透明材の表裏に保護コートを形成し、前記第２工程を行った後、前記保護コートを除去することを特徴とする光学結像装置の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学結像装置の製造方法において、前記貫通孔の形成に波長の異なるレーザー光を使用し、粗加工と仕上げ加工を順次行うことを特徴とする光学結像装置の製造方法。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学結像装置の製造方法において、前記貫通孔が形成された前記板状透明材の周囲に支持部材を有していることを特徴とする光学結像装置の製造方法。

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