JP2020174114A - Multilayer circuit board - Google Patents

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Abstract

To provide a multilayer circuit board that can improve the productivity of a substrate including a high frequency circuit.SOLUTION: A multilayer circuit board 30 in which a first circuit board 10 including a high-frequency board and the second circuit board 20 joined to the first circuit board 10 are overlapped and joined in the thickness direction includes a connection portion 35 that electrically connects the first circuit board 10 and the second circuit board 20, and a high frequency material layer 32 arranged around the connection portion 35 between the first circuit board 10 and the second circuit board 20.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、多層回路基板に関する。 The present invention relates to a multilayer circuit board.

無線局の基地局や端末で用いられるアンテナモジュールでは、高周波(RF)集積回路(IC)で生成された高周波信号が給電回路を介してアンテナから放射される。信号線の引き回しを容易にし、かつ基板面積を抑制するため、一般に多層基板が用いられている。しかし、高周波数帯に対応する基板では、特殊で高価な誘電体材料が用いられている。また、特許文献1では、電源回路等には一般的な基板材料を用い、高周波回路の部分は高周波数帯に対応する基板材料を用いた複合基板が提案されている。 In an antenna module used in a base station or a terminal of a radio station, a high frequency signal generated by a high frequency (RF) integrated circuit (IC) is radiated from the antenna via a feeding circuit. A multilayer board is generally used in order to facilitate the routing of signal lines and reduce the board area. However, a special and expensive dielectric material is used for the substrate corresponding to the high frequency band. Further, Patent Document 1 proposes a composite substrate using a general substrate material for a power supply circuit or the like and a substrate material corresponding to a high frequency band for a high frequency circuit portion.

特開2016−40797号公報JP-A-2016-40797

特許文献1では、一般的な基板材料を用いたベース基板と高周波特性に優れる高周波基板との電気的接続に、スルーホールを用いている。このため、ベース基板と高周波基板と貫通した孔あけ工程が必要であり、生産性が低い。また、スルーホールを設けることにより高周波信号を冗長に引き回す必要があり、特性の劣化を引き起こすおそれがある。 In Patent Document 1, through holes are used for electrical connection between a base substrate using a general substrate material and a high frequency substrate having excellent high frequency characteristics. For this reason, a drilling process is required through the base substrate and the high frequency substrate, and the productivity is low. Further, it is necessary to redundantly route the high frequency signal by providing the through hole, which may cause deterioration of the characteristics.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高周波回路を含む基板の生産性を向上できる多層回路基板を提供する。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a multilayer circuit board capable of improving the productivity of a substrate including a high frequency circuit.

上記課題を解決するため、本発明は、高周波基板を含む第1回路基板と、前記第1回路基板と接合される第2回路基板とが、それぞれの厚さ方向に重ね合わされて接合された多層回路基板であって、前記第1回路基板と前記第2回路基板との間には、前記第1回路基板と前記第2回路基板との間を電気的に接続する接続部と、前記接続部の周囲に配置された高周波材料層と、を有することを特徴とする多層回路基板を提供する。 In order to solve the above problems, in the present invention, the first circuit board including the high frequency substrate and the second circuit board to be bonded to the first circuit board are laminated and joined in the respective thickness directions. In the circuit board, between the first circuit board and the second circuit board, a connection portion for electrically connecting the first circuit board and the second circuit board, and the connection portion. Provided is a multilayer circuit board characterized by having a high frequency material layer arranged around the circuit board.

前記接続部が金属片を含んでもよい。
前記接続部は、銅、金、アルミニウム、タングステンの少なくとも1種の金属を含むピラー状であってもよい。
前記接続部が半田層又は導電ペースト層の少なくとも一方を含んでもよい。
前記高周波基板及び前記高周波材料層は、それぞれ、誘電損失が0.01未満の絶縁材料から構成されてもよい。
The connection may include a piece of metal.
The connecting portion may have a pillar shape containing at least one metal such as copper, gold, aluminum and tungsten.
The connection portion may include at least one of a solder layer and a conductive paste layer.
The high-frequency substrate and the high-frequency material layer may each be composed of an insulating material having a dielectric loss of less than 0.01.

前記第1回路基板には、高周波信号の送信又は受信又は送受信が可能なアンテナが形成されていてもよい。
少なくとも1つの前記アンテナに給電する給電線が、前記アンテナと同じ層に配置されていてもよい。
少なくとも1つの前記アンテナに給電する給電線が、前記アンテナと同じ層に配置されていなくてもよい。
前記アンテナは、無給電素子を有してもよい。
前記第1回路基板の前記アンテナが形成された面に誘電体層が積層されていてもよい。
前記第1回路基板と前記第2回路基板との少なくとも一方に、高周波信号を処理する集積回路(IC)が搭載されてもよい。
An antenna capable of transmitting or receiving or transmitting / receiving a high frequency signal may be formed on the first circuit board.
A feeder that feeds at least one of the antennas may be arranged in the same layer as the antenna.
The feeder that feeds at least one of the antennas may not be arranged in the same layer as the antenna.
The antenna may have a non-feeding element.
A dielectric layer may be laminated on the surface of the first circuit board on which the antenna is formed.
An integrated circuit (IC) for processing a high frequency signal may be mounted on at least one of the first circuit board and the second circuit board.

本発明によれば、高周波回路を含む基板の生産性を向上できる多層回路基板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a multilayer circuit board capable of improving the productivity of a substrate including a high frequency circuit.

第1実施形態の多層回路基板を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the multilayer circuit board of 1st Embodiment. 各回路基板の間に高周波材料層を設ける様子を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the appearance of providing the high frequency material layer between each circuit board. 高周波材料層に金属片を配置する様子を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the appearance of arranging a metal piece in a high frequency material layer.

以下、好適な実施形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings based on the preferred embodiments.

図1は、第1実施形態の多層回路基板30を示す。多層回路基板30は、第1回路基板10と第2回路基板20とを接合して構成されている。第1回路基板10は、複数の絶縁基板11a,11b,11c,11d,11e,11fを積層して構成されている。第2回路基板20は、複数の絶縁基板21a,21b,21c,21d,21e,21fを積層して構成されている。第1回路基板10及び第2回路基板20に含まれる絶縁基板の層数は特に限定されず、それぞれ1層又は2層以上とすることができる。それぞれの絶縁基板は、フィルム、シート、プリプレグ等から構成することができる。絶縁基板の片面又は両面には、特に図示しないが、導体層を設けることができる。また、絶縁基板の1層又は2層以上を貫通して、貫通導体を設けることができる。 FIG. 1 shows the multilayer circuit board 30 of the first embodiment. The multilayer circuit board 30 is configured by joining the first circuit board 10 and the second circuit board 20. The first circuit board 10 is configured by laminating a plurality of insulating substrates 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, and 11f. The second circuit board 20 is configured by laminating a plurality of insulating substrates 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, and 21f. The number of layers of the insulating substrate included in the first circuit board 10 and the second circuit board 20 is not particularly limited, and may be one layer or two or more layers, respectively. Each insulating substrate can be composed of a film, a sheet, a prepreg, or the like. Although not particularly shown, a conductor layer can be provided on one side or both sides of the insulating substrate. Further, a through conductor may be provided by penetrating one layer or two or more layers of the insulating substrate.

第1回路基板10は、高周波基板を含む。高周波基板は、高周波に対応した絶縁基板である。高周波基板を構成する高周波材料としては、例えば誘電損失が0.01未満の絶縁材料が挙げられる。本明細書で絶縁材料とは電気絶縁材料(誘電体、非導電体)を意味し、熱絶縁材料(断熱材)とする必要はない。また、誘電損失の測定条件は、例えばJIS C 6481(プリント配線板用銅張積層板試験方法)の誘電正接(tanδ)として規定されるように、1MHzの測定周波数に対して温度20±2℃、相対湿度60〜70%が挙げられる。誘電損失0.005以下の高周波材料から構成される高周波基板がより好ましい。高周波基板を構成する高周波材料の具体例としては、液晶ポリマ(LCP)、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、フッ素樹脂、シクロオレフィン樹脂、マレイミド樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、石英、セラミック、サファイアからなる群から選択される1種以上等が挙げられる。第1回路基板10の層数は特に限定されないが、例えば1〜6層が挙げられる。 The first circuit board 10 includes a high frequency board. The high frequency substrate is an insulating substrate that supports high frequencies. Examples of the high-frequency material constituting the high-frequency substrate include an insulating material having a dielectric loss of less than 0.01. In the present specification, the insulating material means an electrically insulating material (dielectric, non-conductive material), and does not need to be a heat insulating material (insulating material). Further, the measurement condition of the dielectric loss is defined as the dielectric loss tangent (tan δ) of JIS C 6781 (copper-clad laminate test method for printed wiring board), for example, the temperature is 20 ± 2 ° C. with respect to the measurement frequency of 1 MHz. , Relative humidity 60-70%. A high frequency substrate made of a high frequency material having a dielectric loss of 0.005 or less is more preferable. Specific examples of the high-frequency material constituting the high-frequency substrate include liquid crystal polymer (LCP), polyphenylene ether (PPE) resin, fluororesin, cycloolefin resin, maleimide resin, polyimide resin, modified polyimide resin, polyphenylene sulfide (PPS) resin, and the like. One or more selected from the group consisting of quartz, ceramic, and sapphire can be mentioned. The number of layers of the first circuit board 10 is not particularly limited, and examples thereof include 1 to 6 layers.

第1回路基板10は、各層の厚さが100μm以下のコア基板又はプリプレグから構成される多層基板であってもよく、損失を下げるなど必要に応じて厚さが100μmを超えるコア基板又はプリプレグを含んでもよい。第1実施形態では、第1回路基板10に含まれる絶縁基板11a,11b,11c,11d,11e,11fが全て高周波基板から構成されているが、それに限らない。第1回路基板10に含まれる絶縁基板が、全て高周波基板から構成されていなくてもよい。 The first circuit board 10 may be a core substrate or a multilayer substrate composed of prepregs having a thickness of 100 μm or less in each layer, and a core substrate or prepreg having a thickness of more than 100 μm may be used as necessary for reducing loss. It may be included. In the first embodiment, the insulating substrates 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, and 11f included in the first circuit board 10 are all composed of high frequency substrates, but the present invention is not limited thereto. The insulating substrate included in the first circuit board 10 does not have to be all composed of a high frequency substrate.

第1実施形態の第1回路基板10には、高周波素子の一例として、高周波信号の送信又は受信又は送受信が可能なアンテナ12が形成される。帯域を確保する、高周波信号の損失を抑制する等の目的で、例えばアンテナ12に接する層として、高周波材料からなる基板を接着材で貼り合わせるか、あるいはプリプレグからなるビルドアップ層を設けてもよい。その場合は、第1回路基板10のアンテナ12が形成された層以外の層の少なくとも一部が高周波材料から構成されていなくてもよい。アンテナ12は、基板に搭載又は内蔵が可能な構造であれば特に限定されないが、例えば平面アンテナが好ましく、パッチアンテナ、ストリップアンテナ、スロットアンテナ等が挙げられる。基板にポスト壁導波路(PWW)等の導波路構造を構成し、導波路のスロット、開口等によりアンテナを構成してもよい。アンテナ12はアンテナアレーを構成してもよい。 An antenna 12 capable of transmitting, receiving, or transmitting and receiving a high frequency signal is formed on the first circuit board 10 of the first embodiment as an example of a high frequency element. For the purpose of securing a band, suppressing loss of high-frequency signals, for example, a substrate made of a high-frequency material may be bonded with an adhesive or a build-up layer made of a prepreg may be provided as a layer in contact with the antenna 12. .. In that case, at least a part of the layer other than the layer on which the antenna 12 of the first circuit board 10 is formed may not be composed of the high frequency material. The antenna 12 is not particularly limited as long as it has a structure that can be mounted or incorporated on a substrate, but for example, a flat antenna is preferable, and a patch antenna, a strip antenna, a slot antenna, and the like can be mentioned. A waveguide structure such as a post-wall waveguide (PWW) may be configured on the substrate, and an antenna may be configured by slots, openings, or the like of the waveguide. The antenna 12 may form an antenna array.

図1に示す例では、第1回路基板10の厚さ方向のうち、第2回路基板20から最も離れた層の絶縁基板11aにアンテナ12が形成されている。アンテナ12が空中に信号を送信し、又は空中から信号を受信する場合、第1回路基板10の厚さ方向において、第2回路基板20とは反対側が空中の側となるように第1回路基板10を設置することができる。特に図示しないが、第1回路基板10の他の絶縁基板11b,11c,11d,11e,11fにアンテナ12を設けることも可能である。各絶縁基板11a,11b,11c,11d,11e,11fに設ける導体層又は貫通導体(図示略)の位置は、アンテナ12における空中信号の送信又は受信への影響を考慮して設計される。 In the example shown in FIG. 1, the antenna 12 is formed on the insulating substrate 11a of the layer farthest from the second circuit board 20 in the thickness direction of the first circuit board 10. When the antenna 12 transmits a signal in the air or receives a signal from the air, the first circuit board so that the side opposite to the second circuit board 20 is the side in the air in the thickness direction of the first circuit board 10. 10 can be installed. Although not particularly shown, it is also possible to provide the antenna 12 on the other insulating substrates 11b, 11c, 11d, 11e, 11f of the first circuit board 10. The positions of the conductor layers or through conductors (not shown) provided on the insulating substrates 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, and 11f are designed in consideration of the influence on the transmission or reception of the aerial signal in the antenna 12.

第2回路基板20は、少なくとも一部に高周波基板を含んでもよいが、第2回路基板20の絶縁材料は、高周波対応でない一般的な絶縁材料のみから構成されてもよい。第2回路基板20に含まれる絶縁基板は、高周波基板を構成する高周波材料よりも誘電損失が高い、一般的な絶縁材料から構成することができる。高周波対応でない絶縁材料としては、例えば誘電損失が0.01以上の絶縁材料が挙げられる。絶縁基板を構成する絶縁材料の具体例としては、ガラス布基材エポキシ樹脂(FR−4等)、ガラス布・ガラス不織布複合基材エポキシ樹脂、ガラス布・紙複合基材エポキシ樹脂、合成繊維布基材エポキシ樹脂、紙基材エポキシ樹脂、ガラス布基材ポリイミド樹脂、ガラス布基材ビスマレイミド/トリアジン/エポキシ樹脂、紙基材フェノール樹脂等の他、ポリイミドなどのフレキシブル基材が挙げられる。 The second circuit board 20 may include a high frequency substrate at least in part, but the insulating material of the second circuit board 20 may be composed of only a general insulating material that is not compatible with high frequencies. The insulating substrate included in the second circuit board 20 can be made of a general insulating material having a higher dielectric loss than the high frequency material constituting the high frequency substrate. Examples of the insulating material that is not compatible with high frequencies include an insulating material having a dielectric loss of 0.01 or more. Specific examples of the insulating material constituting the insulating substrate include glass cloth base epoxy resin (FR-4, etc.), glass cloth / glass non-woven composite base epoxy resin, glass cloth / paper composite base epoxy resin, and synthetic fiber cloth. Examples thereof include a base material epoxy resin, a paper base material epoxy resin, a glass cloth base material polyimide resin, a glass cloth base material bismaleimide / triazine / epoxy resin, a paper base material phenol resin, and a flexible base material such as polyimide.

第2回路基板20としては、各層の厚さが100μm以下のコア基板又はプリプレグから構成される多層基板が好ましい。これにより、基板の厚さが薄く、加工が容易になる。第2回路基板20の層数は特に限定されないが、典型的には4〜10層であり、10層を超えてもよい。 As the second circuit board 20, a core substrate having a thickness of 100 μm or less or a multilayer substrate composed of a prepreg is preferable. As a result, the thickness of the substrate is thin and processing becomes easy. The number of layers of the second circuit board 20 is not particularly limited, but is typically 4 to 10 layers, and may exceed 10 layers.

アンテナ12の利得を高めるためには、第1回路基板10に形成するアンテナ12の個数を多くすることが好ましい。そのため、第1実施形態では、第1回路基板10に高周波信号を処理する集積回路22は搭載されず、第2回路基板20に高周波信号を処理する集積回路22が搭載される。集積回路22は、第2回路基板20の導体パターン24との間に、半田等の導体からなるバンプ23を介して第2回路基板20に接続される。集積回路22としては、例えばRFIC等の集積回路(IC)が挙げられる。高周波信号を扱うアンテナ基板では、RFICからの信号の損失を抑制するために、アンテナが形成された第1回路基板と、RFICが搭載された第2回路基板とを同一の多層回路基板に一体化した構成とすることが好ましい。これにより、信号線の引き回しが容易になり、かつ基板面積を抑制することができる。高周波用の基板材料は高価であるため、電源回路、低周波数のベースバンド信号を伝搬する回路等は第2回路基板に搭載され、第2回路基板を構成する各絶縁基板には、高周波対応でない、一般的な絶縁材料を用いることができる。例えば10GHz未満(数GHz程度)の信号であれば、同軸ケーブル等により伝搬させることも可能である。 In order to increase the gain of the antenna 12, it is preferable to increase the number of antennas 12 formed on the first circuit board 10. Therefore, in the first embodiment, the integrated circuit 22 that processes the high frequency signal is not mounted on the first circuit board 10, but the integrated circuit 22 that processes the high frequency signal is mounted on the second circuit board 20. The integrated circuit 22 is connected to the second circuit board 20 via a bump 23 made of a conductor such as solder between the integrated circuit 22 and the conductor pattern 24 of the second circuit board 20. Examples of the integrated circuit 22 include integrated circuits (ICs) such as RFICs. In an antenna board that handles high-frequency signals, in order to suppress signal loss from the RFIC, the first circuit board on which the antenna is formed and the second circuit board on which the RFIC is mounted are integrated into the same multilayer circuit board. It is preferable that the configuration is as follows. As a result, the signal line can be easily routed and the substrate area can be suppressed. Since the substrate material for high frequency is expensive, the power supply circuit, the circuit for propagating the low frequency baseband signal, etc. are mounted on the second circuit board, and each insulating substrate constituting the second circuit board is not compatible with high frequency. , A general insulating material can be used. For example, if the signal is less than 10 GHz (about several GHz), it can be propagated by a coaxial cable or the like.

例えば集積回路22で高周波信号を生成する場合、多層回路基板30の内部で高周波信号を伝搬させてアンテナ12に供給し、アンテナ12から空中に放射させることができる。集積回路22とアンテナ12との間を接続する配線は、高周波信号の損失を低減するため、伝送距離を短くすることが好ましい。そのため、多層回路基板30は、第1回路基板10と第2回路基板20とを、それぞれの厚さ方向に重ね合わせて接合により複合化した構成である。多層回路基板30の全体の厚さは、例えば1〜2mm、具体的には1.5mm程度が挙げられる。アンテナ12は、必要に応じて、無給電素子を有してもよい。例えばパッチアンテナにおいて、放射パッチの周囲に無給電パッチを設置することにより、特性を改善することができる。 For example, when a high-frequency signal is generated by the integrated circuit 22, the high-frequency signal can be propagated inside the multilayer circuit board 30 to be supplied to the antenna 12 and radiated from the antenna 12 into the air. The wiring connecting the integrated circuit 22 and the antenna 12 preferably shortens the transmission distance in order to reduce the loss of high frequency signals. Therefore, the multilayer circuit board 30 has a configuration in which the first circuit board 10 and the second circuit board 20 are overlapped in their respective thickness directions and composited by joining. The total thickness of the multilayer circuit board 30 is, for example, 1 to 2 mm, specifically about 1.5 mm. The antenna 12 may have a non-feeding element, if necessary. For example, in a patch antenna, the characteristics can be improved by installing a non-feeding patch around the radiation patch.

また集積回路22で高周波信号を生成する場合、少なくとも第2回路基板20の集積回路22が搭載された層を高周波基板とし、搭載された集積回路22の信号線や接地層に接続する配線を再配置してもよい。 When the integrated circuit 22 generates a high-frequency signal, at least the layer on which the integrated circuit 22 of the second circuit board 20 is mounted is used as the high-frequency board, and the wiring connected to the signal line and the ground layer of the mounted integrated circuit 22 is re-wired. It may be arranged.

第1回路基板10は、厚さ方向に垂直な面の一方に第1接合面13を有する。また、第2回路基板20は、厚さ方向に垂直な面の少なくとも一方に第2接合面25を有する。多層回路基板30は、第1接合面13と第2接合面25とが対向するように、第1回路基板10と第2回路基板20とを接合した構成である。特に図示しないが、第2回路基板20は、厚さ方向に垂直な面の両方に第2接合面25を有して、それぞれの第2接合面25に対して、第1回路基板10が接合されてもよい。第2回路基板20の厚さ方向に垂直な面の両方に第1回路基板10を接合する場合、厚さ方向に対称性が高い構造となるため、基板の反りを抑制しやすくなる。 The first circuit board 10 has a first joint surface 13 on one of the surfaces perpendicular to the thickness direction. Further, the second circuit board 20 has a second joint surface 25 on at least one of the surfaces perpendicular to the thickness direction. The multilayer circuit board 30 has a configuration in which the first circuit board 10 and the second circuit board 20 are joined so that the first joint surface 13 and the second joint surface 25 face each other. Although not particularly shown, the second circuit board 20 has a second bonding surface 25 on both surfaces perpendicular to the thickness direction, and the first circuit board 10 is bonded to each of the second bonding surfaces 25. May be done. When the first circuit board 10 is joined to both surfaces perpendicular to the thickness direction of the second circuit board 20, the structure has high symmetry in the thickness direction, so that the warp of the substrate can be easily suppressed.

第1実施形態では、第2回路基板20に集積回路22を搭載したが、それに限らない。第1回路基板10に集積回路22を搭載してもよい。また、第1回路基板10及び第2回路基板20のそれぞれに1以上の集積回路22を搭載してもよい。 In the first embodiment, the integrated circuit 22 is mounted on the second circuit board 20, but the present invention is not limited to this. The integrated circuit 22 may be mounted on the first circuit board 10. Further, one or more integrated circuits 22 may be mounted on each of the first circuit board 10 and the second circuit board 20.

第1回路基板10と第2回路基板20との電気的接続を実現するため、多層回路基板30は、第1接合面13と第2接合面25との間に、接続部35を有する。接続部35は基板間接続部である。接続部35は、金属片31を含む。金属片31はピラー状である。
金属片31の材質としては、導電性等の観点から、銅、金、アルミニウム、タングステンの少なくとも1種の金属が挙げられる。金属片31は銅合金、金合金、アルミニウム合金、タングステン合金等の合金から構成されてもよい。
In order to realize the electrical connection between the first circuit board 10 and the second circuit board 20, the multilayer circuit board 30 has a connection portion 35 between the first joint surface 13 and the second joint surface 25. The connection portion 35 is a connection portion between boards. The connecting portion 35 includes a metal piece 31. The metal piece 31 has a pillar shape.
Examples of the material of the metal piece 31 include at least one metal of copper, gold, aluminum, and tungsten from the viewpoint of conductivity and the like. The metal piece 31 may be made of an alloy such as a copper alloy, a gold alloy, an aluminum alloy, or a tungsten alloy.

接続部35は、金属片31の他に半田層又は導電ペースト層の少なくとも一方を含んでもよい。金属片31の第1接合面13に対向する面又は金属片31の第2接合面25に対向する面には、半田層や導電ペースト層からなる導電層14,26が形成されてもよい。金属片31が導電層14,26と接する面は曲面でもよく、平面でもよい。第1実施形態では導電層14,26が形成されているが、それに限らない。導電層14のみが形成されてもよいし、導電層26のみが形成されてもよい。導電層14,26の両方を形成する場合、両方が半田層でもよく、両方が導電ペースト層でもよく、一方が半田層で他方が導電ペースト層でもよい。 The connecting portion 35 may include at least one of a solder layer and a conductive paste layer in addition to the metal piece 31. Conductive layers 14 and 26 made of a solder layer and a conductive paste layer may be formed on the surface of the metal piece 31 facing the first joint surface 13 or the surface of the metal piece 31 facing the second joint surface 25. The surface of the metal piece 31 in contact with the conductive layers 14 and 26 may be a curved surface or a flat surface. In the first embodiment, the conductive layers 14 and 26 are formed, but the present invention is not limited to this. Only the conductive layer 14 may be formed, or only the conductive layer 26 may be formed. When both the conductive layers 14 and 26 are formed, both may be solder layers, both may be conductive paste layers, one may be a solder layer and the other may be a conductive paste layer.

半田層を構成する半田は、半田ボール、半田ペースト等、各種の半田から適宜選択することができる。多層回路基板30の製品では、接合後の半田層を構成する半田がリフローにより層状となっていてもよい。
導電ペースト層に用いられる導体は、金、銀、銅等の金属粒子や、カーボンブラックやグラファイト、カーボンナノチューブ等の導電性カーボン等が挙げられる。導電ペースト層は、銀ペースト、銅ペースト、導電性カーボンペースト等、各種の導電ペーストから構成することができる。導電ペースト層は、製造過程で流動性又は変形性を有するペースト状であればよく、多層回路基板30の製品では、接合後の導電ペースト層が焼成、硬化等により、流動性又は変形性を有しなくてもよい。
The solder constituting the solder layer can be appropriately selected from various types of solder such as solder balls and solder paste. In the product of the multilayer circuit board 30, the solder forming the solder layer after bonding may be layered by reflow.
Examples of the conductor used in the conductive paste layer include metal particles such as gold, silver and copper, and conductive carbon such as carbon black, graphite and carbon nanotubes. The conductive paste layer can be composed of various conductive pastes such as silver paste, copper paste, and conductive carbon paste. The conductive paste layer may be in the form of a paste having fluidity or deformability in the manufacturing process, and in the product of the multilayer circuit board 30, the conductive paste layer after bonding has fluidity or deformability due to firing, curing, or the like. You don't have to.

金属片31がCuピラー等の場合、半田層や導電ペースト層は流動性や変形性を有するので、金属片31と第1接合面13又は第2接合面25との間を充填できる。半田層の流動性又は変形性は製造時のリフローにより実現されればよく、多層回路基板30の製品では、半田層が流動性又は変形性を有しなくてもよい。導電ペースト層の流動性又は変形性は製造時の未硬化状態で実現されればよく、多層回路基板30の製品では、導電ペースト層が流動性又は変形性を有しなくてもよい。基板面に沿った金属片31の寸法を径とするとき、金属片31の厚さが径より大きくてもよく、厚さが径より小さくてもよく、厚さと径とが同等でもよい。 When the metal piece 31 is a Cu pillar or the like, the solder layer and the conductive paste layer have fluidity and deformability, so that the space between the metal piece 31 and the first joint surface 13 or the second joint surface 25 can be filled. The fluidity or deformability of the solder layer may be realized by reflow during manufacturing, and the solder layer does not have to have fluidity or deformability in the product of the multilayer circuit board 30. The fluidity or deformability of the conductive paste layer may be realized in an uncured state at the time of manufacture, and in the product of the multilayer circuit board 30, the conductive paste layer does not have to have fluidity or deformability. When the size of the metal piece 31 along the substrate surface is taken as the diameter, the thickness of the metal piece 31 may be larger than the diameter, the thickness may be smaller than the diameter, and the thickness and the diameter may be the same.

第1接合面13と第2接合面25との間で、接続部35が形成されない領域には、高周波材料からなる高周波材料層32が形成されている。高周波材料層32を構成する高周波材料としては、誘電損失が0.01未満の絶縁材料が挙げられる。誘電損失0.005以下の高周波材料から構成される高周波材料層32がより好ましい。高周波材料層32を構成する高周波材料の具体例としては、液晶ポリマ(LCP)、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、フッ素樹脂、シクロオレフィン樹脂、マレイミド樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、石英、セラミック、サファイアからなる群から選択される1種以上等が挙げられる。高周波材料層32を構成する材料は、第1回路基板10の高周波基板を構成する材料と同一でも異なってもよい。接続部35の周囲に高周波材料層32を配置することにより、接続部35における損失を抑制することができる。高周波材料層32は、接続部35との間に隙間34を設けた穴33を有してもよい。また、高周波材料層32が接続部35の少なくとも一部と接していてもよい。 A high-frequency material layer 32 made of a high-frequency material is formed in a region between the first joint surface 13 and the second joint surface 25 where the connection portion 35 is not formed. Examples of the high-frequency material constituting the high-frequency material layer 32 include an insulating material having a dielectric loss of less than 0.01. A high frequency material layer 32 composed of a high frequency material having a dielectric loss of 0.005 or less is more preferable. Specific examples of the high-frequency material constituting the high-frequency material layer 32 include liquid crystal polymer (LCP), polyphenylene ether (PPE) resin, fluororesin, cycloolefin resin, maleimide resin, polyimide resin, modified polyimide resin, and polyphenylene sulfide (PPS). One or more selected from the group consisting of resin, quartz, ceramic, and sapphire can be mentioned. The material constituting the high-frequency material layer 32 may be the same as or different from the material constituting the high-frequency substrate of the first circuit board 10. By arranging the high frequency material layer 32 around the connecting portion 35, the loss in the connecting portion 35 can be suppressed. The high frequency material layer 32 may have a hole 33 having a gap 34 between the high frequency material layer 32 and the connecting portion 35. Further, the high frequency material layer 32 may be in contact with at least a part of the connecting portion 35.

第1接合面13と第2接合面25との間の機械的接合は、接続部35又は高周波材料層32の少なくとも一方が関与していればよい。高周波材料層32により、接続部35を補強することもできる。高周波材料層32は、第1回路基板10及び第2回路基板20に対して接着力を有することが好ましい。高周波材料層32が接着性材料から構成される場合、接合工程における状態は特に限定されないが、シート状、ペースト状、ゲル状、液状等が挙げられる。多層回路基板30の製品では、接合後の接着性材料が硬化状態又は乾燥状態となってもよい。 The mechanical bonding between the first bonding surface 13 and the second bonding surface 25 may involve at least one of the connecting portion 35 or the high frequency material layer 32. The connection portion 35 can also be reinforced by the high frequency material layer 32. The high frequency material layer 32 preferably has an adhesive force with respect to the first circuit board 10 and the second circuit board 20. When the high frequency material layer 32 is made of an adhesive material, the state in the joining step is not particularly limited, and examples thereof include a sheet, a paste, a gel, and a liquid. In the product of the multilayer circuit board 30, the adhesive material after joining may be in a cured state or a dried state.

第1実施形態の多層回路基板30を製造する方法としては、アンテナ12が形成された第1回路基板10を作製する工程、集積回路22が搭載された第2回路基板20を作製する工程、図2に示すように、第1回路基板10と第2回路基板20との間に高周波材料層32を配置する工程、図3に示すように、高周波材料層32に穴33をあけて金属片31を配置する工程、図1に示すように、第1回路基板10と第2回路基板20とを接合すると共に、金属片31を含む接続部35を構成する工程を有する製造方法が挙げられる。第1回路基板10と第2回路基板20とを別々の回路基板として準備した後で、接続部35を介して第1回路基板10と第2回路基板20とを接合することにより、第1回路基板10と第2回路基板20との間で高周波信号のやりとりが可能になる。 As a method for manufacturing the multilayer circuit board 30 of the first embodiment, a step of manufacturing a first circuit board 10 on which an antenna 12 is formed, a step of manufacturing a second circuit board 20 on which an integrated circuit 22 is mounted, and a drawing. As shown in FIG. 2, a step of arranging the high-frequency material layer 32 between the first circuit board 10 and the second circuit board 20, and as shown in FIG. 3, a hole 33 is formed in the high-frequency material layer 32 and a metal piece 31 is formed. As shown in FIG. 1, a manufacturing method including a step of joining the first circuit board 10 and the second circuit board 20 and forming a connecting portion 35 including a metal piece 31 can be mentioned. After preparing the first circuit board 10 and the second circuit board 20 as separate circuit boards, the first circuit board 10 and the second circuit board 20 are joined via the connection portion 35 to form the first circuit. High frequency signals can be exchanged between the substrate 10 and the second circuit board 20.

第1回路基板10と第2回路基板20との間を位置合わせ(アライメント)して金属片31により接続する接合工程に先立って、金属片31と対応する位置に、導電層14,26を設けることが好ましい。導電層14は、第1接合面13において金属片31と対応する位置に配置されている。導電層26は、第2接合面25において金属片31と対応する位置に配置されている。 Prior to the joining process in which the first circuit board 10 and the second circuit board 20 are aligned and connected by the metal pieces 31, the conductive layers 14 and 26 are provided at positions corresponding to the metal pieces 31. Is preferable. The conductive layer 14 is arranged at a position corresponding to the metal piece 31 on the first joint surface 13. The conductive layer 26 is arranged at a position corresponding to the metal piece 31 on the second joint surface 25.

第1実施形態では、図2に示すように高周波材料層32に対して、図3に示す穴33を形成する際、高周波材料層32を第2回路基板20に接着し、第1回路基板10を第2回路基板20の近傍に配置しない状態で、フォトリソグラフィー、機械加工、レーザ加工等で、高周波材料層32の一部を除去してもよい。穴33が形成された高周波材料層32は、第2接合面25のうち、少なくとも、導電層26の近傍を覆っている。高周波材料層32の穴33に金属片31を配置するとき、高周波材料層32が金属片31の外周から離れていてもよく、穴33を充填するように金属片31が高周波材料層32に密着してもよい。穴33を金属片31より大きくすることにより、穴33と金属片31との間に隙間34が生じるため、金属片31の配置が容易になる。 In the first embodiment, when the hole 33 shown in FIG. 3 is formed in the high frequency material layer 32 as shown in FIG. 2, the high frequency material layer 32 is adhered to the second circuit board 20 and the first circuit board 10 is formed. May be removed by photolithography, machining, laser processing, or the like without arranging the high frequency material layer 32 in the vicinity of the second circuit board 20. The high-frequency material layer 32 in which the holes 33 are formed covers at least the vicinity of the conductive layer 26 in the second joint surface 25. When the metal piece 31 is arranged in the hole 33 of the high frequency material layer 32, the high frequency material layer 32 may be separated from the outer periphery of the metal piece 31, and the metal piece 31 adheres to the high frequency material layer 32 so as to fill the hole 33. You may. By making the hole 33 larger than the metal piece 31, a gap 34 is created between the hole 33 and the metal piece 31, so that the metal piece 31 can be easily arranged.

特に具体例を図示しないが、第1回路基板10と第2回路基板20との間に金属片31及び高周波材料層32を配置する順序は特に限定されない。金属片31及び高周波材料層32を第1回路基板10に配置した後で、接合工程を実施してもよい。金属片31及び高周波材料層32を第2回路基板20に配置した後で、接合工程を実施してもよい。金属片31を第1回路基板10に配置し、高周波材料層32を第2回路基板20に配置した後で、接合工程を実施してもよい。金属片31を第2回路基板20に配置し、高周波材料層32を第1回路基板10に配置した後で、接合工程を実施してもよい。金属片31と高周波材料層32を一体化した後で、接合工程を実施してもよい。
また、第1接合面13又は第2接合面25の一方に対して金属片31及び高周波材料層32を配置する順序も特に限定されない。金属片31を配置した後に高周波材料層32を配置してもよく、高周波材料層32を配置した後に金属片31を配置してもよく、金属片31及び高周波材料層32を同時に配置してもよい。
Although no specific example is shown, the order in which the metal piece 31 and the high-frequency material layer 32 are arranged between the first circuit board 10 and the second circuit board 20 is not particularly limited. After arranging the metal piece 31 and the high frequency material layer 32 on the first circuit board 10, the joining step may be performed. After arranging the metal piece 31 and the high frequency material layer 32 on the second circuit board 20, the joining step may be performed. The joining step may be performed after the metal piece 31 is arranged on the first circuit board 10 and the high frequency material layer 32 is arranged on the second circuit board 20. The joining step may be performed after the metal piece 31 is arranged on the second circuit board 20 and the high frequency material layer 32 is arranged on the first circuit board 10. After integrating the metal piece 31 and the high frequency material layer 32, the joining step may be performed.
Further, the order in which the metal piece 31 and the high-frequency material layer 32 are arranged on one of the first joint surface 13 and the second joint surface 25 is not particularly limited. The high-frequency material layer 32 may be arranged after the metal piece 31 is arranged, the metal piece 31 may be arranged after the high-frequency material layer 32 is arranged, or the metal piece 31 and the high-frequency material layer 32 may be arranged at the same time. Good.

特許文献1に記載されているように、多層回路基板の全層にわたってスルーホールを形成する場合、スルーホールの長さが長くなることから、製造が難しい。スルーホールの径を大きくすると製造が容易になるが、面積効率が悪くなる。 As described in Patent Document 1, when through holes are formed over all layers of a multilayer circuit board, the length of the through holes becomes long, which makes manufacturing difficult. Increasing the diameter of the through hole facilitates manufacturing, but reduces area efficiency.

第1実施形態の多層回路基板30によれば、金属片31を含む接続部35を介して高周波信号を伝送することができるので、第1回路基板10又は第2回路基板20に層間スルーホールを設ける場合においても、スルーホールの長さは最大でも第1回路基板10又は第2回路基板20の厚さで済む。そのため、生産性を向上できる。また、スルーホールの径を小さくすることができるので、基板の面積効率を改善することができる。 According to the multilayer circuit board 30 of the first embodiment, since a high frequency signal can be transmitted via the connection portion 35 including the metal piece 31, an interlayer through hole is provided in the first circuit board 10 or the second circuit board 20. Even when the through holes are provided, the maximum length of the through holes is the thickness of the first circuit board 10 or the second circuit board 20. Therefore, productivity can be improved. Further, since the diameter of the through hole can be reduced, the area efficiency of the substrate can be improved.

アンテナ12に給電する給電線は、第2回路基板20の内部において、集積回路22を搭載する導体パターン24から接続部35までの間に適宜設けられる。さらに第1回路基板10の内部において、給電線は、接続部35とアンテナ12との間に適宜設けられる。接続部35において導電層14,26を省略する場合は、給電線が金属片31に直接接続されてもよい。給電線を構成する要素としては、図1〜3では部分的に図示されているが、基板面に沿った沿面接続部10a,20aと、基板の厚さ方向に沿った層間接続部10b,20bとが挙げられる。 A feed line for feeding power to the antenna 12 is appropriately provided inside the second circuit board 20 between the conductor pattern 24 on which the integrated circuit 22 is mounted and the connection portion 35. Further, inside the first circuit board 10, a feeding line is appropriately provided between the connecting portion 35 and the antenna 12. When the conductive layers 14 and 26 are omitted in the connecting portion 35, the feeding line may be directly connected to the metal piece 31. Although the elements constituting the feeder are partially shown in FIGS. 1 to 3, the creeping connection portions 10a and 20a along the substrate surface and the interlayer connection portions 10b and 20b along the thickness direction of the substrate are shown. And can be mentioned.

給電線の形態は特に限定されないが、マイクロストリップライン、ストリップライン、スルーホール、ビア等から構成することができる。第1回路基板10の基板面に沿った方向において、接続部35の位置とアンテナ12の位置との間を連絡する沿面接続部は、アンテナ12と異なる層に設けられ、アンテナ12と異なる層からアンテナ12に向けて、第1回路基板10の厚さ方向に層間接続部を有することが好ましい。第1回路基板10の給電線が、アンテナ12の層と沿面接続部の層との間に層間接続部のみを有し、他の接続部を有していない。この場合、給電線からの不要な放射を抑制することができるので、多層回路基板の特性を向上することができる。 The form of the feeding line is not particularly limited, but may be composed of a microstrip line, a strip line, a through hole, a via, or the like. The creepage connection portion that connects the position of the connection portion 35 and the position of the antenna 12 in the direction along the substrate surface of the first circuit board 10 is provided in a layer different from the antenna 12, and is provided from a layer different from the antenna 12. It is preferable to have an interlayer connection portion in the thickness direction of the first circuit board 10 toward the antenna 12. The feeder line of the first circuit board 10 has only an interlayer connection portion between the layer of the antenna 12 and the layer of the creepage connection portion, and does not have another connection portion. In this case, unnecessary radiation from the feeder can be suppressed, so that the characteristics of the multilayer circuit board can be improved.

一方、沿面接続部をアンテナ12と同じ層に沿って配置した場合、アンテナ12と異なる層からアンテナ12に向けて層間接続部を設ける必要がない。このため、第1回路基板10を構成する絶縁基板の層数を少なくすることができるので、第1回路基板10の製造上、有利である。アンテナ12に対して、給電線が沿面接続部を介して接続されるか、層間接続部を介して接続されるかは適宜選択することができる。給電線が沿面接続部を介して接続されるアンテナ12と、給電線が層間接続部を介して接続されるアンテナ12とが、第1回路基板10に併用されてもよい。 On the other hand, when the creepage connection portion is arranged along the same layer as the antenna 12, it is not necessary to provide the interlayer connection portion from a layer different from the antenna 12 toward the antenna 12. Therefore, the number of layers of the insulating substrate constituting the first circuit board 10 can be reduced, which is advantageous in manufacturing the first circuit board 10. Whether the feeder line is connected to the antenna 12 via the creepage connection portion or the interlayer connection portion can be appropriately selected. The antenna 12 to which the feeder line is connected via the creepage connection portion and the antenna 12 to which the feeder line is connected via the interlayer connection portion may be used together with the first circuit board 10.

なお、特に図示しないが、第1回路基板10のアンテナ12が形成された面に誘電体層が形成されていてもよい。誘電体層を形成する方法は特に限定されず、アンテナ12に誘電体層を貼付、塗布等する方法が挙げられる。誘電体層は、放射パッチや無給電パッチが接触する物質を空気(誘電率1.0)から誘電体とするものであり、このためアンテナ12における空中信号の送信又は受信への影響を避けるため、導体層、貫通導体等の導電体を有しない絶縁層である。また、誘電体層によりアンテナ12を保護することができる。アンテナ12が放射素子及び無給電素子を有するときは、放射素子及び無給電素子のいずれにも誘電体層を形成することができる。 Although not particularly shown, a dielectric layer may be formed on the surface of the first circuit board 10 on which the antenna 12 is formed. The method for forming the dielectric layer is not particularly limited, and examples thereof include a method of attaching and coating the dielectric layer on the antenna 12. In the dielectric layer, the substance that the radiation patch or the non-feeding patch comes into contact with is changed from air (dielectric constant 1.0) to a dielectric, so that the antenna 12 avoids the influence on the transmission or reception of the aerial signal. , A conductor layer, an insulating layer having no conductor such as a through conductor. Further, the antenna 12 can be protected by the dielectric layer. When the antenna 12 has a radiating element and a non-feeding element, a dielectric layer can be formed on both the radiating element and the non-feeding element.

以上、本発明を好適な第1実施形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の第1実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。改変としては、第1実施形態に基づいて説明された各構成要素の追加、置換、省略、その他の変更が挙げられる。また、第1実施形態に基づいて説明された各構成要素を適宜組み合わせることも可能である。例えば、金属片31を省略して、導電層14,26の少なくとも一方のみにより、接続部35を構成してもよい。また、金属片31はピラー状に限らず、板状、箔状など、他の形状でもよい。 Although the present invention has been described above based on the preferred first embodiment, the present invention is not limited to the above-mentioned first embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. Modifications include additions, replacements, omissions, and other changes to each component described in accordance with the first embodiment. It is also possible to appropriately combine the components described based on the first embodiment. For example, the connecting portion 35 may be formed by omitting the metal piece 31 and using only at least one of the conductive layers 14 and 26. Further, the metal piece 31 is not limited to the pillar shape, and may have other shapes such as a plate shape and a foil shape.

高周波信号の周波数は特に限定されないが、例えば30〜300GHz、60〜80GHz等が挙げられる。高周波回路に適用可能な高周波素子としては、アンテナ、導波路、フィルタ、ダイプレクサ、方向性結合器、分配器、光電変換素子等が挙げられる。 The frequency of the high frequency signal is not particularly limited, and examples thereof include 30 to 300 GHz and 60 to 80 GHz. Examples of high-frequency elements applicable to high-frequency circuits include antennas, waveguides, filters, diplexers, directional couplers, distributors, photoelectric conversion elements, and the like.

10…第1回路基板、10a…沿面接続部、10b…層間接続部、11a,11b,11c,11d,11e,11f…絶縁基板、12…アンテナ、13…第1接合面、14…導電層、20…第2回路基板、20a…沿面接続部、20b…層間接続部、21a,21b,21b,21c,21d,21e,21f…絶縁基板、22…集積回路、23…バンプ、24…導体パターン、25…第2接合面、26…導電層、30…多層回路基板、31…金属片、32…高周波材料層、33…穴、34…隙間、35…接続部。 10 ... 1st circuit board, 10a ... creepage connection part, 10b ... interlayer connection part, 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f ... insulation board, 12 ... antenna, 13 ... first junction surface, 14 ... conductive layer, 20 ... 2nd circuit board, 20a ... creepage connection, 20b ... interlayer connection, 21a, 21b, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f ... insulation board, 22 ... integrated circuit, 23 ... bump, 24 ... conductor pattern, 25 ... 2nd joint surface, 26 ... Conductive layer, 30 ... Multilayer circuit board, 31 ... Metal piece, 32 ... High frequency material layer, 33 ... Hole, 34 ... Gap, 35 ... Connection part.

Claims (11)

高周波基板を含む第1回路基板と、前記第1回路基板と接合される第2回路基板とが、それぞれの厚さ方向に重ね合わされて接合された多層回路基板であって、
前記第1回路基板と前記第2回路基板との間には、前記第1回路基板と前記第2回路基板との間を電気的に接続する接続部と、前記接続部の周囲に配置された高周波材料層と、を有することを特徴とする多層回路基板。
A multilayer circuit board in which a first circuit board including a high-frequency board and a second circuit board joined to the first circuit board are overlapped and joined in the respective thickness directions.
Between the first circuit board and the second circuit board, a connection portion for electrically connecting the first circuit board and the second circuit board and a connection portion are arranged around the connection portion. A multilayer circuit board characterized by having a high frequency material layer.
前記接続部が金属片を含むことを特徴とする請求項1に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to claim 1, wherein the connection portion contains a metal piece. 前記金属片は、銅、金、アルミニウム、タングステンの少なくとも1種の金属を含むピラー状であることを特徴とする請求項2に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to claim 2, wherein the metal piece has a pillar shape containing at least one metal of copper, gold, aluminum, and tungsten. 前記接続部が半田層又は導電ペースト層の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to any one of claims 1 to 3, wherein the connecting portion includes at least one of a solder layer and a conductive paste layer. 前記高周波基板及び前記高周波材料層は、それぞれ、誘電損失が0.01未満の絶縁材料から構成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to any one of claims 1 to 4, wherein the high-frequency substrate and the high-frequency material layer are each composed of an insulating material having a dielectric loss of less than 0.01. 前記第1回路基板には、高周波信号の送信又は受信又は送受信が可能なアンテナが形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to any one of claims 1 to 5, wherein an antenna capable of transmitting, receiving, or transmitting and receiving a high frequency signal is formed on the first circuit board. 少なくとも1つの前記アンテナに給電する給電線が、前記アンテナと同じ層に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to claim 6, wherein the feeding line for feeding the at least one antenna is arranged in the same layer as the antenna. 少なくとも1つの前記アンテナに給電する給電線が、前記アンテナと同じ層に配置されていないことを特徴とする請求項6又は7に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to claim 6 or 7, wherein the feeding line for supplying power to at least one of the antennas is not arranged in the same layer as the antenna. 前記アンテナは、無給電素子を有することを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to any one of claims 6 to 8, wherein the antenna has a non-feeding element. 前記第1回路基板の前記アンテナが形成された面に誘電体層が積層されていることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The multilayer circuit board according to any one of claims 6 to 9, wherein a dielectric layer is laminated on the surface of the first circuit board on which the antenna is formed. 前記第1回路基板と前記第2回路基板との少なくとも一方に、高周波信号を処理する集積回路(IC)が搭載されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の多層回路基板。 The invention according to any one of claims 1 to 10, wherein an integrated circuit (IC) for processing a high frequency signal is mounted on at least one of the first circuit board and the second circuit board. Multi-layer circuit board.
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