JP2020172687A - 成膜用フィルム、巻取式成膜装置、及び真空処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記成膜用フィルムの両端は、第1端と第2端とで構成される。
上記成膜用フィルムが上記巻出ローラ及び上記巻取ローラに支持され、上記成膜用フィルムが上記第1端を始点として上記巻取ローラに巻回され始めるときに、上記第1端から少なくとも上記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域は、上記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数の領域を有する。
上記の巻取式成膜装置は、上記成膜用フィルムが上記第1端を始点として上記巻取ローラに巻回され始めるときに、上記第1端から少なくとも上記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域に対して、上記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数を有するように表面処理をする表面処理機構を具備する。
上記の真空処理方法では、上記成膜用フィルムが上記第1端を始点として上記巻取ローラに巻回され始めるときに、上記第1端から少なくとも上記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域に対して、上記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数を有するように表面処理がされる。
10…主ローラ
10s…外周面
10c…中心軸
20…成膜源
21…溶融容器
22…天板
23…噴出ノズル
25…蒸着材料
30…フィルム走行機構
31…巻出ローラ
32…巻取ローラ
32c…軸心
33a、33b、33c、33d…ガイドローラ
40…仕切板
41…開口
60…表面処理機構
70…真空容器
71…排気管
72…ガス供給機構
100…成膜用フィルム
101…第1端
102…第2端
110…第1領域
120…第2領域
110a、120a…通紙領域
110b、120b…連通領域
111…第1面
112…第2面
130…皺
Claims (6)
- 巻出ローラから繰り出され、成膜面に真空処理がなされ、巻取ローラに巻き取られる帯状の成膜用フィルムであって、
前記成膜用フィルムの両端は、第1端と第2端とで構成され、
前記成膜用フィルムが前記巻出ローラ及び前記巻取ローラに支持され、前記成膜用フィルムが前記第1端を始点として前記巻取ローラに巻回され始めるときに、前記第1端から少なくとも前記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域が前記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数の領域を有する
成膜用フィルム。 - 請求項1に記載された成膜用フィルムであって、
前記成膜用フィルムは、前記成膜面である第1面と、前記第1面とは反対側の第2面とを有し、
前記第2面において、前記第1領域の少なくとも一部が前記第1領域以外の領域における前記表面摩擦係数よりも小さく構成されている
成膜用フィルム。 - 請求項1または2に記載された成膜用フィルムであって、
前記成膜用フィルムが前記第2端を始点として前記巻取ローラに巻回され始めるときに、前記第2端から少なくとも前記巻出ローラまでの長さ領域を含む第2領域は、前記第2領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数を有する
成膜用フィルム。 - 請求項3に記載された成膜用フィルムであって、
前記第1面において、前記第2領域の少なくとも一部が前記第2領域以外の領域における前記表面摩擦係数よりも小さく構成されている
成膜用フィルム。 - 両端が第1端と第2端とで構成され、帯状の成膜用フィルムを巻出ローラから繰り出し、巻取ローラに巻き取りながら、前記成膜用フィルムの成膜面に真空処理する巻取式成膜装置であって、
前記成膜用フィルムが前記第1端を始点として前記巻取ローラに巻回され始めるときに、前記第1端から少なくとも前記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域に対して、前記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数を有するように表面処理をする表面処理機構を具備する巻取式成膜装置。 - 両端が第1端と第2端とで構成され、帯状の成膜用フィルムを巻出ローラから繰り出し、巻取ローラに巻き取りながら、前記成膜用フィルムの成膜面に真空処理する真空処理方法であって、
前記成膜用フィルムが前記第1端を始点として前記巻取ローラに巻回され始めるときに、前記第1端から少なくとも前記巻出ローラまでの長さ領域を含む第1領域に対して、前記第1領域以外の表面摩擦係数とは異なる表面摩擦係数を有するように表面処理をする真空処理方法。
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