JP2020172013A - Adsorption jig - Google Patents

Adsorption jig Download PDF

Info

Publication number
JP2020172013A
JP2020172013A JP2019086600A JP2019086600A JP2020172013A JP 2020172013 A JP2020172013 A JP 2020172013A JP 2019086600 A JP2019086600 A JP 2019086600A JP 2019086600 A JP2019086600 A JP 2019086600A JP 2020172013 A JP2020172013 A JP 2020172013A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
cavity
air
work
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019086600A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7295366B2 (en
Inventor
佐々木　政仁
Masahito Sasaki
政仁 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SASAKI KOKI KK
Original Assignee
SASAKI KOKI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SASAKI KOKI KK filed Critical SASAKI KOKI KK
Priority to JP2019086600A priority Critical patent/JP7295366B2/en
Publication of JP2020172013A publication Critical patent/JP2020172013A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7295366B2 publication Critical patent/JP7295366B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

To provide an adsorption jig, which is down-sized and weight-saved, and does not require a dedicated vacuum pump, as a jig for fixing a work-piece to a table when performing cutting, grinding and discharge machining of a small work-piece or a tabular work-piece.SOLUTION: A cavity is provided in a top face of an adsorption jig and a work-piece is loaded thereon, compressed air is supplied to an ejector which communicates with the cavity, and air in the cavity is sucked and exhausted by a generated negative pressure, whereby the adsorption jig is adsorbed to the work-piece. A set of at least two adsorption jigs can be used to adsorb and fix work-pieces of any size. Further, a cavity is also provided in a body bottom surface, and thus, the adsorption jig is adsorbed to the table too.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具、及び、この吸着治具を複数組み合わせた吸着治具セットに関する。 The present invention relates to a suction jig for fixing a work to a table, and a suction jig set in which a plurality of the suction jigs are combined.

従来、小物ワークや板状のワークに対する切削加工や研削加工、放電加工の際に、ワークをテーブルに固定する治具として、多数の吸引孔を備えた真空チャックテーブルがしばしば用いられている。現在、市場に普及している平面研削盤のテーブルの多くには、ワーク素材を磁気により固定するマグネットチャック（電磁・永磁）機能が標準的に装備されている。このことは、平面研削盤の対象ワークのほとんどが、鋼などの強磁性材であることに由来する。しかし、近年、対象ワークとして、セラミックスや表面を硬化処理したアルミ合金や銅合金といった非磁性のワークが増えており、これらのワークを加工する際、作業者にはその都度ワークをテーブルに固定するための工夫が求められる。このように、ワークが非磁性材である場合、ワークをテーブルに固定する治具として、簡便には、多数の吸引孔を備えた真空チャックテーブルがしばしば用いられている。例えば、下記実用新案文献１では、テーブル本体１１に吸引孔１６を多数備え、ワークにより塞がれていない状態の吸引孔１６は、大気との圧力差を利用して自動で閉じるように構成されたバルブ１７を備えることで、ワークにより塞がれていない吸引孔１６をテープでマスキングする作業を不要とした真空チャックテーブルが開示されている。この真空チャックテーブルを使うことで、例えば研削盤上において、板状のワークを簡単に固定したりリリースしたりすることが可能である。 Conventionally, a vacuum chuck table provided with a large number of suction holes is often used as a jig for fixing a work to a table during cutting, grinding, or electric discharge machining of a small work or a plate-shaped work. Many of the surface grinder tables currently on the market are equipped as standard with a magnet chuck (electromagnetic / permanent magnet) function that magnetically fixes the work material. This is because most of the target workpieces of the surface grinding machine are ferromagnetic materials such as steel. However, in recent years, non-magnetic workpieces such as ceramics and aluminum alloys and copper alloys whose surface has been hardened have increased as target workpieces, and when processing these workpieces, the operator fixes the workpiece to the table each time. Ingenuity is required. As described above, when the work is made of a non-magnetic material, a vacuum chuck table having a large number of suction holes is often used as a jig for fixing the work to the table. For example, in the utility model document 1 below, the table body 11 is provided with a large number of suction holes 16, and the suction holes 16 in a state where they are not blocked by the work are configured to be automatically closed by utilizing the pressure difference with the atmosphere. A vacuum chuck table is disclosed that does not require the work of masking the suction holes 16 that are not blocked by the work with tape by providing the valve 17. By using this vacuum chuck table, it is possible to easily fix and release a plate-shaped workpiece, for example, on a grinding machine.

また、例えば、下記実用新案文献２では、真空チャック５０に吸着孔２０を多数備え、ワークにより接触ピン１２を押下することで吸着孔栓１１が下がり、吸着孔２０との間にすき間ができてワークを吸着して、その他の部分では吸引が行われない。従って、文献１と同様にワークにより塞がれていない吸着孔２０をテープでマスキングする作業が不要であり、文献１と同様に板状のワークを簡単に固定したりリリースしたりすることが可能である。 Further, for example, in the utility model document 2 below, the vacuum chuck 50 is provided with a large number of suction holes 20, and when the contact pin 12 is pressed by the work, the suction hole plug 11 is lowered and a gap is created between the vacuum chuck 50 and the suction hole 20. The work is adsorbed, and suction is not performed in other parts. Therefore, it is not necessary to mask the suction holes 20 that are not blocked by the work with tape as in Document 1, and the plate-shaped work can be easily fixed or released as in Document 1. Is.

実用新案文献１Utility model document 1

実開昭５２−１５０８２号公報Jikkai Sho 52-15802

実用新案文献２Utility model document 2

実開昭５７−２３９３６号公報Jikkai Sho 57-23936

しかし、上記した文献１，２の真空チャックテーブル、真空チャックはどちらも比較的サイズが大きく、真空チャックの厚みの分だけ高さ方向の加工領域が減少してしまうという問題がある。さらに、やや複雑な機構を備え重量が重いため、定盤上に設置したり移動したり、あるいは取り除いたりするのに手間がかかる。特に、設置するときは、定盤面との平行が出ているかを設置の度に確認し、必要により調整しなくてはならず、加工作業開始までに時間がかかってしまうという問題がある。また、多数の吸引孔の加工やその内部に組み込まれる複雑な機構の製造コスト、及び、真空チャックテーブルの上面は全域にわたって０．０３ｍｍ相当の平面度がなければ切削加工や研削加工、放電加工に使えないので、その分の製造コストがかかってしまう。 However, both the vacuum chuck table and the vacuum chuck of Documents 1 and 2 described above have a relatively large size, and there is a problem that the machining area in the height direction is reduced by the thickness of the vacuum chuck. In addition, it has a rather complicated mechanism and is heavy, so it takes time to install, move, or remove it on the surface plate. In particular, when installing, it is necessary to check whether the platen surface is parallel to the platen surface and make adjustments as necessary, which causes a problem that it takes time to start the processing work. In addition, the cost of processing a large number of suction holes and the manufacturing cost of a complicated mechanism incorporated inside them, and if the upper surface of the vacuum chuck table does not have a flatness equivalent to 0.03 mm over the entire area, it can be used for cutting, grinding, and electric discharge machining. Since it cannot be used, the manufacturing cost will increase accordingly.

また、これらの真空チャックテーブルは比較的サイズが大きく多数の吸引孔を備えるので、それぞれの吸引孔に十分な負圧を与えるために専用の真空ポンプが必要になる。また、この真空チャックテーブルを使わない場合は、邪魔になるので定盤から取り除かなくてはならない。
また、これらの真空チャックテーブルの内部に放電加工機等の加工液が誤って侵入するとその複雑な機構のため動作に不具合が発生する。従って、そもそも放電加工機の加工液槽内での使用を想定していない。Further, since these vacuum chuck tables are relatively large in size and have a large number of suction holes, a dedicated vacuum pump is required to apply a sufficient negative pressure to each suction hole. Also, if this vacuum chuck table is not used, it will be an obstacle and must be removed from the surface plate.
Further, if a machining fluid such as an electric discharge machine accidentally enters the inside of these vacuum chuck tables, a malfunction occurs due to the complicated mechanism. Therefore, it is not supposed to be used in the machining fluid tank of an electric discharge machine in the first place.

本発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、小物ワークや板状のワークに対する切削加工や研削加工、放電加工の際に、ワークをテーブルに固定する治具として、小型化、かつ、軽量化されると共に簡単に固定したりリリースしたりすることが可能な吸着治具を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is miniaturized as a jig for fixing a work to a table during cutting, grinding, and electric discharge machining of a small work or a plate-shaped work. Moreover, it is an object of the present invention to provide a suction jig which is lightweight and can be easily fixed and released.

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具において、本体と、この本体の一端に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられた吸引孔と、この吸引孔に連通されたエジェクタと、前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備える。
これにより、小型化、かつ、軽量化されると共に、エジェクタを利用することで、負圧を給気するための専用の真空ポンプを不要とし、圧縮エアを給気すればワークをテーブルに平行に簡単に固定することができる吸着治具を提供可能である。In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is a suction jig for fixing a work to a table, the main body, a cavity provided at one end of the main body, and a suction hole provided in the cavity. An ejector communicated with the suction hole, a suction surface provided around the cavity, and a bottom surface provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and in contact with the table.
As a result, the size and weight are reduced, and by using the ejector, a dedicated vacuum pump for supplying negative pressure is not required, and if compressed air is supplied, the work is parallel to the table. It is possible to provide a suction jig that can be easily fixed.

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の吸着治具において、前記底面に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備えることとしてもよい。
これにより、ワークとテーブルの両方に吸着可能な吸着治具を構成可能である。Further, the invention according to claim 2 is the suction jig according to claim 1, wherein a cavity provided on the bottom surface, a suction hole provided in the cavity and communicated with the suction hole, and the bottom surface. A suction surface provided around the cavity provided in the above may be further provided.
This makes it possible to configure a suction jig that can be sucked on both the work and the table.

また、請求項３に記載の発明は、請求項１及び２に記載の前記吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、給気される圧縮エアを少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、このエアターミナルで分岐された圧縮エアをそれぞれの前記吸着治具の前記エジェクタへ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を更に備えることとしてもよい。
これにより、テーブル上に配置する前記少なくとも２個の吸着治具の位置を適宜自由に調整して、あらゆるサイズのワークを固定することができるようになる。例えば、比較的面積が広い板状のワークであれば、前記吸着治具３個を互いに等距離に配置してこのワークを３か所で支持固定することが好ましい。平面は３点で規定されることから、このように３か所でワークを支持することでワークを安定して固定できる。Further, the invention according to claim 3 is an air terminal for branching compressed air to be supplied into at least two in a suction jig set including at least two of the suction jigs according to claims 1 and 2. And at least two air tubes for supplying the compressed air branched at the air terminal to the ejector of each of the suction jigs may be further provided.
As a result, the positions of the at least two suction jigs arranged on the table can be freely adjusted as appropriate, and workpieces of any size can be fixed. For example, in the case of a plate-shaped work having a relatively large area, it is preferable to arrange the three suction jigs at equal distances from each other and support and fix the work at three places. Since the plane is defined by three points, the work can be stably fixed by supporting the work at three places in this way.

また、上記課題を解決するために、請求項４に記載の発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、この複数の吸着治具のそれぞれは、本体と、この本体の一端に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられた吸引孔と、前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、このエジェクタに接続されると共にこの発生した負圧を少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、このエアターミナルで分岐された前記負圧をそれぞれの前記吸着治具へ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を備える。
これにより、エジェクタを共通化させることでエジェクタは一つだけで済むので、より安価な吸着治具セットを提供することができる。Further, in order to solve the above problem, the invention according to claim 4 is a suction jig set provided with at least two suction jigs for fixing the work to the table, and each of the plurality of suction jigs is provided. A main body, a cavity provided at one end of the main body, a suction hole provided in the cavity, a suction surface provided around the cavity, and a suction surface provided on the other end of the main body in parallel with the suction surface. An ejector that generates a negative pressure by the compressed air supplied with air, and an air terminal that is connected to the ejector and branches the generated negative pressure into at least two. And at least two air tubes for supplying the negative pressure branched at the air terminal to each of the suction jigs.
As a result, by sharing the ejector, only one ejector is required, so that a cheaper suction jig set can be provided.

また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の前記吸着治具セットおいて、少なくとも２個の前記吸着治具のそれぞれは、前記底面に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備えることとしてもよい。
これにより、ワークとテーブルの両方に吸着可能な吸着治具セットを構成可能である。Further, the invention according to claim 5 is the suction jig set according to claim 4, wherein at least two suction jigs are provided in a cavity provided on the bottom surface and in the cavity. A suction hole that is communicated with the suction hole and a suction surface that is provided around the cavity provided on the bottom surface may be further provided.
This makes it possible to configure a suction jig set that can be sucked on both the work and the table.

また、請求項６に記載の発明は、請求項４及び５に記載の前記吸着治具セットにおいて、少なくとも２個の前記吸着治具のそれぞれには吸引されるエアの流量を制限する絞りを更に備えることとしてもよい。
これにより、例えばワークの平面度が低くてどれか一つの吸着治具のキャビティが完全に塞がれていなくてエアリークが発生した場合でも、このエアリークで吸い込まれるエアの流量が制限されるので、他の吸着治具の吸着力が大幅に低下することを防止することができる。Further, in the invention according to claim 6, in the suction jig set according to claims 4 and 5, each of at least two suction jigs is further provided with a throttle for limiting the flow rate of sucked air. It may be prepared.
As a result, for example, even if the flatness of the work is low and the cavity of any one of the suction jigs is not completely closed and an air leak occurs, the flow rate of the air sucked by this air leak is limited. It is possible to prevent the suction force of other suction jigs from being significantly reduced.

また、上記目的を達成するため、請求項７に記載の発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具において、略円筒形状の本体と、この本体の一端に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられた吸引孔と、この吸引孔に設けられると共に前記ワークからの力を受けて開く弁と、前記吸引孔に連通されたエジェクタと、前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備える。
これにより、力が加えられていな弁は閉じているので、ワークで塞がれていないキャビティから無駄にエアが吸引されることを防止できる。Further, in order to achieve the above object, the invention according to claim 7 is a suction jig for fixing a work to a table, in which a substantially cylindrical main body, a cavity provided at one end of the main body, and the cavity. A suction hole provided, a valve provided in the suction hole and opened by receiving a force from the work, an ejector communicated with the suction hole, a suction surface provided around the cavity, and the suction surface. It is provided at the other end of the main body in parallel with the surface and has a bottom surface in contact with the table.
As a result, since the valve to which no force is applied is closed, it is possible to prevent unnecessary air from being sucked from the cavity that is not blocked by the work.

また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の前記吸着治具及において、前記底面に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、この吸引孔に設けられると共に前記テーブルからの力を受けて開く弁と、前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備えることとしてもよい。
これにより、ワークとテーブルの両方において、塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具を容易に構成可能である。Further, the invention according to claim 8 includes a cavity provided on the bottom surface of the suction jig and the suction jig according to claim 7, and a suction hole provided in the cavity and communicated with the suction hole. A valve provided in the suction hole and opened by receiving a force from the table, and a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface may be further provided.
As a result, it is possible to easily construct a suction jig in which the valve of only the closed cavity can be opened and suction can be performed on both the work and the table.

また、上記目的を達成するため、請求項９に記載の発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、この複数の吸着治具のそれぞれは、本体と、この本体の一端に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられた吸引孔と、この吸引孔に設けられると共に前記ワークからの力を受けて開く弁と、前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、このエジェクタに接続されると共にこの発生した負圧を少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、このエアターミナルで分岐された前記負圧をそれぞれの前記吸着治具へ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を備える。
これにより、ワークに塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具セットを容易に構成可能である。Further, in order to achieve the above object, the invention according to claim 9 is a suction jig set including at least two suction jigs for fixing a work to a table, and each of the plurality of suction jigs is a main body. A cavity provided at one end of the main body, a suction hole provided in the cavity, a valve provided in the suction hole and opened by receiving a force from the work, and a valve provided around the cavity. An ejector provided with a suction surface, a bottom surface provided at the other end of the main body parallel to the suction surface and in contact with the table, and an ejector that generates a negative pressure by the compressed air supplied to the surface, and the ejector. It is provided with an air terminal that is connected and branches the generated negative pressure into at least two, and at least two air tubes that supply the negative pressure branched at the air terminal to each of the suction jigs. ..
As a result, it is possible to easily construct a suction jig set in which the valve of only the cavity closed in the work is opened and suction is possible.

また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の前記吸着治具セットおいて、少なくとも２個の前記吸着治具のそれぞれは、前記底面に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、この吸引孔に設けられると共に前記テーブルからの力を受けて開く弁と、前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備えることとしてもよい。
これにより、ワークとテーブルの両方において、塞がれているキャビティのみの弁が開いて吸着可能な吸着治具セットを容易に構成可能である。Further, the invention according to claim 10 is the suction jig set according to claim 9, wherein at least two of the suction jigs are provided in a cavity provided on the bottom surface and in the cavity. A suction hole communicated with the suction hole, a valve provided in the suction hole and opened by receiving a force from the table, and a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface. May be further provided.
As a result, it is possible to easily construct a suction jig set in which the valve of only the closed cavity can be opened and suction can be performed on both the work and the table.

また、上記目的を達成するため、請求項１１に記載の発明は、ワークをテーブルに固定する吸着治具において、本体と、この本体の一端に設けられたキャビティと、このキャビティに設けられた吸引孔と、前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、前記本体に接続されたエアチューブと、このエアチューブと前記エジェクタとの間に設けられた液溜まりの容器と、を備える。
これにより、小型化、かつ、軽量化されると共に、エジェクタを利用することで、負圧を給気するための専用の真空ポンプを不要とし、圧縮エアを給気すればワークをテーブルに平行に簡単に固定することができて、しかも放電加工機の加工液に浸かった状態でも使用可能な吸着治具を提供可能である。
また、請求項１２に記載の発明のとおり、前記吸着面に設けられた円形状の溝と、この溝に嵌め込まれたオーリングとを、更に備えることとしてもよい。これによりシール効果を高めた吸着治具を提供可能である。Further, in order to achieve the above object, the invention according to claim 11 is a suction jig for fixing a work to a table, the main body, a cavity provided at one end of the main body, and suction provided in the cavity. It is provided with a hole, a suction surface provided around the cavity, and a bottom surface provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and in contact with the table, and further provided by compressed air supplied with air. It includes an ejector that generates a negative pressure, an air tube connected to the main body, and a container for a liquid pool provided between the air tube and the ejector.
As a result, the size and weight are reduced, and by using an ejector, a dedicated vacuum pump for supplying negative pressure is not required, and if compressed air is supplied, the work is parallel to the table. It is possible to provide an adsorption jig that can be easily fixed and can be used even when immersed in the machining fluid of an electric discharge machine.
Further, as in the invention described in claim 12, a circular groove provided on the suction surface and an O-ring fitted in the groove may be further provided. This makes it possible to provide a suction jig with an enhanced sealing effect.

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、小物ワークや板状のワークに対する切削加工や研削加工、放電加工の際に、ワークをテーブルに固定する治具として、小型化、かつ、軽量化されると共に、エジェクタを利用することで、負圧を給気するための専用の真空ポンプを不要とし、圧縮エアを給気すればワークをテーブルに平行に簡単に固定することができる吸着治具を提供することができる。 As is clear from the above description, according to the present invention, the work can be miniaturized and miniaturized as a jig for fixing the work to the table during cutting, grinding, and electric discharge machining of a small work or a plate-shaped work. In addition to being lighter in weight, the use of an ejector eliminates the need for a dedicated vacuum pump for supplying negative pressure, and by supplying compressed air, the work can be easily fixed parallel to the table. Jigs can be provided.

さらに、吸着治具の底面にもキャビティを設けることで、吸着治具をテーブルに吸着できるので、テーブルが電磁チャック機能を備えていないテーブルや石定盤であっても、ワークをテーブルに固定できる。従って、吸着治具を必ずしも鉄などの強磁性体で構成する必要がなく、例えばアルミや真鍮、樹脂など比較的加工がし易い材料で構成することも可能である。もちろん、強磁性体でこの吸着治具の本体を構成すれば、磁力と負圧による両方の吸着力で強力にテーブルに固定することが可能である。 Furthermore, by providing a cavity on the bottom surface of the suction jig, the suction jig can be sucked to the table, so that the work can be fixed to the table even if the table does not have an electromagnetic chuck function or a stone surface plate. .. Therefore, the suction jig does not necessarily have to be made of a ferromagnetic material such as iron, and can be made of a material such as aluminum, brass, or resin that is relatively easy to process. Of course, if the main body of this suction jig is made of a ferromagnet, it can be strongly fixed to the table by both magnetic force and negative pressure.

また、本発明の吸着治具を複数組み合わせて、例えば、３個セットにすれば、ワークのサイズに合わせてテーブル上に配置する位置を適宜自由に調整することができて、様々なサイズのワークでも固定することができる。従って、当然、文献１，２の真空チャックテーブル、真空チャックのような多数の吸引孔は不要であり、また、ワークにより塞がれていない吸引孔もそもそもないので、テープでマスキングする作業は不要である。また、３か所でワークを支持するため、ガタつくことがなく安定してテーブルに固定することができる。また、例えば、細長い板状のワークであれば、前記吸着治具を２個使用することが好ましく、これにより細長い板状のワークを安定して固定できる。 Further, if a plurality of suction jigs of the present invention are combined to form a set of three, for example, the position to be arranged on the table can be freely adjusted according to the size of the work, and the work of various sizes can be freely adjusted. But it can be fixed. Therefore, of course, a large number of suction holes such as the vacuum chuck table and the vacuum chuck of Documents 1 and 2 are unnecessary, and since there are no suction holes that are not blocked by the work, masking work with tape is unnecessary. Is. Further, since the work is supported at three places, it can be stably fixed to the table without rattling. Further, for example, in the case of an elongated plate-shaped work, it is preferable to use two of the suction jigs, whereby the elongated plate-shaped work can be stably fixed.

また、本発明により比較的小型軽量で、内部構造は複雑でなく、製造コストを低く抑えた吸着治具、及び、吸着治具セットを提供可能である。
また、エジェクタで発生させた負圧を液溜まりの容器に供給して、この容器とエジェクタを備えない吸着治具とをエアチューブで接続することで、放電加工機の加工液槽内で加工液に浸かった状態でもワークを吸着固定するのに使用可能な吸着治具を提供可能である。Further, according to the present invention, it is possible to provide a suction jig and a suction jig set that are relatively small and lightweight, have an internal structure that is not complicated, and have a low manufacturing cost.
In addition, the negative pressure generated by the ejector is supplied to the container of the liquid pool, and by connecting this container and the adsorption jig without the ejector with an air tube, the machining fluid is used in the machining fluid tank of the electric discharge machine. It is possible to provide a suction jig that can be used to suck and fix a work even when immersed in.

また、本発明の吸着治具は、切削加工や研削加工、放電加工と同様に、例えば石定盤上で測定作業やケガキ作業、組み立て作業をする際にも使用することができる。特に昨今、広く普及している石材ベース表面をワーク搭載面、および、可動部の案内面とする三次元座標測定機において、測定対象となるワークをこの石材ベース表面にねじでクランピングするよりもはるかに簡単に短時間で固定できる吸着治具としても利用可能である。いずれの作業においても、ワークの固定とリリースが非常に簡単に行えて作業効率を向上させることができる。 Further, the suction jig of the present invention can be used, for example, when performing measurement work, marking work, and assembling work on a stone surface plate, as in cutting, grinding, and electric discharge machining. In particular, in a three-dimensional coordinate measuring machine that uses the stone base surface, which is widely used these days, as the work mounting surface and the guide surface for moving parts, rather than clamping the work to be measured to the stone base surface with screws. It can also be used as a suction jig that can be fixed much more easily and in a short time. In any work, the work can be fixed and released very easily and the work efficiency can be improved.

本発明に係る第一実施形態における吸着治具の斜視図である。It is a perspective view of the suction jig in the 1st Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る第一実施形態における片面吸着タイプの吸着治具の上面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of the single-sided suction type suction jig according to the first embodiment of the present invention. 本発明に係る第一実施形態における両面吸着タイプの吸着治具の上面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of the double-sided suction type suction jig according to the first embodiment of the present invention. 本発明に係る第一実施形態における吸着治具３個セットの概観図である。It is an overview view of the set of 3 suction jigs in the 1st Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る第一実施形態における吸着治具３個セットの使用態様の斜視図である。It is a perspective view of the usage mode of the set of 3 suction jigs in the 1st Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る第二実施形態における負圧を給気するタイプで絞りを備えた片面吸着タイプの吸着治具の上面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of a single-sided suction type suction jig provided with a diaphragm, which is a type that supplies negative pressure according to the second embodiment of the present invention. 本発明に係る第二実施形態における負圧を給気するタイプで絞りを備えた両面吸着タイプの吸着治具の上面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of a double-sided suction type suction jig provided with a diaphragm, which is a type that supplies negative pressure according to the second embodiment of the present invention. 本発明に係る第二実施形態における負圧を給気するタイプの吸着治具３個セットの概観図である。It is an overview view of the set of 3 suction jigs of the type which supplies negative pressure in the 2nd Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る第三実施形態における弁を備えた両面吸着タイプの吸着治具の平面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of the double-sided suction type suction jig provided with the valve in the third embodiment of the present invention. 本発明に係る第四実施形態における負圧を給気するタイプの弁を備えた両面吸着タイプの吸着治具の平面図と断面図と底面図である。It is a top view, a cross-sectional view, and a bottom view of a double-sided suction type suction jig provided with a valve of a type that supplies negative pressure according to the fourth embodiment of the present invention. 本発明に係る第五実施形態における吸着治具の放電加工機での使用態様の概念図である。It is a conceptual diagram of the usage mode in the electric discharge machine of the suction jig in the 5th Embodiment which concerns on this invention.

以下、本発明に係る５つの実施形態について、図面を参照しながら説明する。同じ参照番号が付された構成要素は、実質的に同等のものである。 Hereinafter, five embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. The components with the same reference number are substantially equivalent.

＜第一実施形態＞
図１は、本発明に係る第一実施形態の吸着治具１の斜視図である。この吸着治具１は、略円筒形状の本体２の一端側に所定の深さの円形のキャビティ８を備える。本体２の形状は、作り易さや取扱易さ、載置されるワークの重量を等方的に支持することを考慮して、略円筒形状であることが好ましい。ただし、本体２の形状は特に円筒形状に限らず、三角形、四角形など多角形や楕円形であっても構わない。すなわちワークの形状に即して使用可能な形状であればどれであっても構わない。
また、このキャビティ８の深さは吸着力には関係せず、作り易さを考慮して決めれば良く、例えば１ｍｍ程度であっても構わない。<First Embodiment>
FIG. 1 is a perspective view of the suction jig 1 according to the first embodiment of the present invention. The suction jig 1 is provided with a circular cavity 8 having a predetermined depth on one end side of a substantially cylindrical main body 2. The shape of the main body 2 is preferably a substantially cylindrical shape in consideration of ease of making and handling, and isotropically supporting the weight of the work to be placed. However, the shape of the main body 2 is not particularly limited to a cylindrical shape, and may be a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle or an elliptical shape. That is, any shape that can be used according to the shape of the work may be used.
Further, the depth of the cavity 8 is not related to the suction force and may be determined in consideration of ease of making, and may be, for example, about 1 mm.

また、このキャビティ８の内部には吸引孔７が設けられると共に、本体２の側面で一部Ｄカットされた部分に取り付けられたエジェクタ３と内部で連通されている。エジェクタ３の給気孔４に圧縮エアを給気すると、排気孔５からエアが排気されてエジェクタ３の内部に負圧が発生する。エジェクタ３は市販のものが利用可能であり、圧縮エアは例えば０．４ＭＰａで流量５Ｌ／ｍｉｎで十分な負圧を得ることができる。この発生した負圧によりエジェクタ３に連通されている吸引孔７を経由して、載置されたワークで塞がれたキャビティ８内のエアが吸引排気される。このためキャビティ８の周囲に設けられた吸着面６とワークが大気圧に押されて密着するため吸着治具１がワークに吸着固定される。吸着力は、エジェクタの性能にもよるが、一般的には１平方センチメートルあたり約０．８ｋｇｆでキャビティ８の面積に比例して発生する。従って、例えばキャビティ８の直径を２５ｍｍにした場合、吸着力はおよそ３．９ｋｇｆとなる。 Further, a suction hole 7 is provided inside the cavity 8, and is internally communicated with an ejector 3 attached to a portion of the side surface of the main body 2 which is partially D-cut. When compressed air is supplied to the air supply hole 4 of the ejector 3, the air is exhausted from the exhaust hole 5 and a negative pressure is generated inside the ejector 3. A commercially available ejector 3 can be used, and the compressed air can obtain a sufficient negative pressure at a flow rate of 5 L / min at, for example, 0.4 MPa. Due to the generated negative pressure, the air in the cavity 8 blocked by the mounted work is sucked and exhausted through the suction hole 7 communicating with the ejector 3. Therefore, the suction surface 6 provided around the cavity 8 and the work are pushed into close contact with each other by the atmospheric pressure, so that the suction jig 1 is sucked and fixed to the work. The adsorption force depends on the performance of the ejector, but is generally generated at about 0.8 kgf per square centimeter in proportion to the area of the cavity 8. Therefore, for example, when the diameter of the cavity 8 is 25 mm, the suction force is about 3.9 kgf.

図２（Ａ）は、前記第一実施形態において、圧縮エアを給気して片面で吸着するタイプの吸着治具１の上面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＩ−Ｉ断面図であり、図２（Ｃ）は吸着治具１の底面図である。この吸着治具１の本体２の一端である上面に備えられたキャビティ８は、所定のキャビティ径９を有する円形状の窪みであるが、キャビティ８の形状は特にこれに限定されず、その他の形状、例えば、矩形状や三角形状であっても構わない。ただ、作り易さの点、吸着力が等方的である点を考慮して円形状が最も有利である。キャビティ８の内部には吸引孔７が開けられていて、この吸引孔７を経由してキャビティ８内のエアが吸引排気される。キャビティ８の周囲にはワークと接触してワークの重量を支える吸着面６が設けられていて、吸着時にはこの吸着面６とワークが密着する。吸着面６がワークと密着することによりエアリークが防がれて吸着力が発生し、維持される。従って、吸着面６の領域はある程度の面積が必要であり、例えば、キャビティ径９を２５ｍｍとした場合、本体２の外径は３５ｍｍ程度にすることが好ましい。また、吸着面６は０．０１ｍｍ／φ３５ｍｍ相当の平面度も必要である。ただし、本体２の外径はそれほど大きくないので、必要な平面度を得ることは製造上それほど難しくない。 FIG. 2A is a top view of a suction jig 1 of the type in which compressed air is supplied and sucked on one side in the first embodiment, and FIG. 2B is I of FIG. 2A. -I is a cross-sectional view, and FIG. 2C is a bottom view of the suction jig 1. The cavity 8 provided on the upper surface of the main body 2 of the suction jig 1 is a circular recess having a predetermined cavity diameter 9, but the shape of the cavity 8 is not particularly limited to this, and other cavities 8 are provided. The shape may be, for example, rectangular or triangular. However, the circular shape is the most advantageous in consideration of the ease of making and the isotropic force of the suction force. A suction hole 7 is opened inside the cavity 8, and air in the cavity 8 is sucked and exhausted through the suction hole 7. A suction surface 6 that comes into contact with the work and supports the weight of the work is provided around the cavity 8, and the suction surface 6 and the work are in close contact with each other during suction. When the suction surface 6 is in close contact with the work, air leakage is prevented, and suction force is generated and maintained. Therefore, the region of the suction surface 6 needs a certain area. For example, when the cavity diameter 9 is 25 mm, the outer diameter of the main body 2 is preferably about 35 mm. Further, the suction surface 6 also needs to have a flatness equivalent to 0.01 mm / φ35 mm. However, since the outer diameter of the main body 2 is not so large, it is not so difficult in manufacturing to obtain the required flatness.

図２（Ｂ）に示す通り、エジェクタ３と吸引孔７は本体２の内部で連通されており、エジェクタ３に圧縮エアが給気されることにより発生する負圧により、キャビティ８内のエアは吸引孔７を経由してエジェクタ３から吸引排気される。また、本体２は本体厚み４２を有する。この本体厚み４２は、本体２の側面に備えられたエジェクタ３よりも厚みが大きくなければならない。なお且つ、作業効率を考慮すれば、ワークを本体２に載置したり取り除いたりするときに、作業者の指もしくはワークを把持するフック等が、ワークとテーブルの間に入るスペースを確保するために十分な厚みになっていることが好ましい。従って、例えば、本体厚み４２は１８ｍｍ程度、さらに機械の安全規格（日本規格協会、機械の安全性に関するＥＮ規格集（第３版））を考慮すると２５ｍｍ程度、あるいはそれ以上にすることが好ましい。 As shown in FIG. 2B, the ejector 3 and the suction hole 7 are communicated with each other inside the main body 2, and the air in the cavity 8 is released by the negative pressure generated by supplying the compressed air to the ejector 3. It is sucked and exhausted from the ejector 3 via the suction hole 7. Further, the main body 2 has a main body thickness 42. The body thickness 42 must be larger than the ejector 3 provided on the side surface of the body 2. In addition, in consideration of work efficiency, when the work is placed on or removed from the main body 2, the operator's finger or the hook for gripping the work is to secure a space between the work and the table. It is preferable that the thickness is sufficient. Therefore, for example, the body thickness 42 is preferably about 18 mm, and is preferably about 25 mm or more in consideration of the machine safety standard (Japanese Standards Association, EN standard collection on machine safety (3rd edition)).

図２（Ｃ）に示す通り、本体２の他端に設けられた底面１０はテーブルに接触する部分であり、前記一端の吸着面６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面１０の材質が鉄等の強磁性体で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面１０を研削盤に磁力により固定することが可能である。 As shown in FIG. 2C, the bottom surface 10 provided at the other end of the main body 2 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 6 at one end with high accuracy. For example, if the grinding machine is provided with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface 10 is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface 10 is fixed to the grinding machine by magnetic force using the electromagnetic chuck. It is possible.

図３（Ａ）は、前記第一実施形態において、本体２の一端である上面と、他端である底面の両面で吸着するタイプの吸着治具１の上面図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＩ−Ｉ断面図であり、図３（Ｃ）はこの吸着治具１の底面図である。図３（Ａ）は図２（Ａ）と全く同じ構成であるため説明を省略する。 FIG. 3A is a top view of the suction jig 1 of the type that sucks on both the upper surface which is one end of the main body 2 and the bottom surface which is the other end in the first embodiment. 3A is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 3A, and FIG. 3C is a bottom view of the suction jig 1. Since FIG. 3A has exactly the same configuration as FIG. 2A, description thereof will be omitted.

図３（Ｂ）に示す通り、エジェクタ３と本体２の上面の吸引孔７、及び、本体２の底面１０のキャビティ８に設けられた吸引孔７は、内部で連通されている。エジェクタ３の給気孔４に圧縮エアが給気されると、排気孔５から排気されてエジェクタ３の内部に負圧が発生する。この発生した負圧によりエジェクタ３に連通されている上面及び底面の吸引孔７の両方を経由して上面及び底面のそれぞれのキャビティ８内のエアが吸引排気されると、大気圧により上面のキャビティ８の周囲に設けられた吸着面６とワークが密着すると共に、底面のキャビティ８の周囲に設けられた吸着面６とテーブルが密着する。これにより吸着治具１がワークに固定されると共にテーブルに固定される。このとき、ワークとの間にすき間ができてエアリークが発生しないように、上面の吸着面６の平面はある程度精度よく（平面度が高く）加工されていなければならない。更に同時に、テーブルとの間にすき間ができてエアリークが発生しないように、底面の吸着面６の平面度もある程度精度よく加工されていなければならない。 As shown in FIG. 3B, the ejector 3 and the suction hole 7 on the upper surface of the main body 2 and the suction hole 7 provided in the cavity 8 on the bottom surface 10 of the main body 2 are internally communicated with each other. When compressed air is supplied to the air supply hole 4 of the ejector 3, it is exhausted from the exhaust hole 5 and a negative pressure is generated inside the ejector 3. When the air in the upper and lower cavities 8 is sucked and exhausted through both the upper and lower suction holes 7 communicating with the ejector 3 due to the generated negative pressure, the upper surface cavities are generated by atmospheric pressure. The suction surface 6 provided around the 8 is in close contact with the work, and the suction surface 6 provided around the cavity 8 on the bottom surface is in close contact with the table. As a result, the suction jig 1 is fixed to the work and also to the table. At this time, the flat surface of the suction surface 6 on the upper surface must be machined with a certain degree of accuracy (high flatness) so that a gap is formed between the work and the work and no air leak occurs. At the same time, the flatness of the suction surface 6 on the bottom surface must be processed with a certain degree of accuracy so that a gap is formed between the table and the table and no air leak occurs.

図３（Ｃ）に示す通り、本体２の他端に設けられた底面１０の吸着面６はテーブルに接触する部分であり、前記一端の吸着面６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面１０の材質が鉄等の強磁性体で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面１０を研削盤に磁力により固定することができる。更に、底面１０の吸着面６をテーブルに吸着固定する機能と併用することで、より強固に本体２をテーブルに固定することができる。 As shown in FIG. 3C, the suction surface 6 of the bottom surface 10 provided at the other end of the main body 2 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 6 at one end with high accuracy. ing. For example, if the grinding machine is provided with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface 10 is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface 10 is fixed to the grinding machine by magnetic force using the electromagnetic chuck. be able to. Further, by using in combination with the function of sucking and fixing the suction surface 6 of the bottom surface 10 to the table, the main body 2 can be fixed to the table more firmly.

図４は、前記第一実施形態の吸着治具１を３個備えた吸着治具セットの概観図である。圧縮エア１３は配管１４でエアターミナル１５に給気されると共に、ここで必要な数だけ分岐されてエアチューブ１６により各吸着治具１に圧縮エアが給気される。圧縮エア１３の空気圧はおよそ０．４ＭＰａ以上が好ましい。また、圧縮エア１３の流量はエジェクタ３の性能にもよるが、一つにつきおよそ５Ｌ／ｍｉｎ以上、合計でおよそ１５Ｌ／ｍｉｎ以上が必要となる。 FIG. 4 is an overview view of a suction jig set including three suction jigs 1 of the first embodiment. The compressed air 13 is supplied to the air terminal 15 by the pipe 14, and is branched by a required number here, and the compressed air is supplied to each suction jig 1 by the air tube 16. The air pressure of the compressed air 13 is preferably about 0.4 MPa or more. Further, the flow rate of the compressed air 13 depends on the performance of the ejector 3, but each one requires about 5 L / min or more, and a total of about 15 L / min or more is required.

図５は、図４で示した吸着治具１を３個備えた吸着治具セットの使用態様を示す斜視図である。テーブル１２は、例えば、研削盤のテーブル、特に着磁機能を有するテーブル、または、石定盤などの平面度が高いテーブルである。吸着固定の対象となるワーク１１は板状のワーク、もしくは、吸着治具１が吸着するのに十分な面積の平面を有するワークである。３個の吸着治具１をテーブル１２上に適切な間隔で配置して、その上に載置動作１７を行ってワーク１１を載置する。３点支持でテーブルに対して固定されれば、ワークが吸着固定により歪むこともない。なお、あらかじめワークの吸着治具１があたる３か所の部分を０．０１ｍｍ／φ３５ｍｍ相当の平面度に仕上げておけば、吸着の際のエアリークはほとんど発生しない。また、この程度の平面度であればフライス加工でも十分に得られる。 FIG. 5 is a perspective view showing a usage mode of the suction jig set including the three suction jigs 1 shown in FIG. The table 12 is, for example, a table of a grinding machine, particularly a table having a magnetizing function, or a table having a high flatness such as a stone surface plate. The work 11 to be suction-fixed is a plate-shaped work or a work having a flat surface having a sufficient area for the suction jig 1 to suck. The three suction jigs 1 are arranged on the table 12 at appropriate intervals, and the mounting operation 17 is performed on the table 12 to mount the work 11. If the work is fixed to the table with three-point support, the work will not be distorted by suction fixing. If the three parts where the work suction jig 1 hits are finished in advance with a flatness equivalent to 0.01 mm / φ35 mm, almost no air leak will occur during suction. Further, if the flatness is about this level, it can be sufficiently obtained by milling.

図５に示す様に載置動作１７により、ワーク１１を吸着治具１上に載置することで、各吸着治具１の上面のキャビティ８が塞がれて、これらのキャビティ８内のエアが吸引排気されることで、それぞれの吸着治具１の吸着面６がワーク１１に密着して吸着固定される。このように単に載置動作１７するだけで、大気圧と各キャビティ８内の負圧との気圧差を利用して一瞬でワーク１１は吸着固定される。また、取り外すときは圧縮エア１３をストップするだけで、それぞれの吸着治具１のエジェクタ３の排気孔５から大気が入ることで吸着固定が解除されるので、極めて作業効率が高い。また、吸着治具１の本体厚み４２によりワーク１１とテーブル１２の間に指が入るだけのスペースが十分確保されるので、先行技術文献１，２の吸着チャックテーブルに比較してワーク１１の載置動作１７と取り外しがやり易い。 As shown in FIG. 5, by mounting the work 11 on the suction jig 1 by the mounting operation 17, the cavities 8 on the upper surface of each suction jig 1 are closed, and the air in these cavities 8 is closed. Is sucked and exhausted, so that the suction surface 6 of each suction jig 1 is brought into close contact with the work 11 and fixed by suction. In this way, the work 11 is instantly adsorbed and fixed by utilizing the pressure difference between the atmospheric pressure and the negative pressure in each cavity 8 simply by performing the mounting operation 17. Further, when removing the compressed air 13, the suction fixing is released by the air entering through the exhaust hole 5 of the ejector 3 of each suction jig 1, so that the work efficiency is extremely high. Further, since the thickness 42 of the main body of the suction jig 1 secures a sufficient space between the work 11 and the table 12 for a finger to enter, the work 11 is mounted as compared with the suction chuck tables of Prior Art Documents 1 and 2. Easy to install and remove.

＜第二実施形態＞
図６（Ａ）は、第二実施形態に係る負圧を給気するタイプで、かつ、絞りを備えた片面吸着タイプの吸着治具１の上面図である。図６（Ｂ）は図６（Ａ）のＩＩ−ＩＩ断面図であり、図６（Ｃ）はこの吸着治具１の底面図である。この吸着治具１にはエジェクタが備えられていないため、圧縮エアではなく負圧が給気されることが使用するための前提となる。この吸着治具１の本体２の一端である上面に備えられたキャビティ８は、所定のキャビティ径９を有する円形状の窪みであるが、キャビティ８の形状は特にこれに限定されず、その他の形状、例えば、矩形状や三角形状であっても構わない。ただ、作り易さの点、吸着力が等方的である点を考慮して円形状が最も有利である。また、このキャビティ８の深さは吸着力には関係せず、例えば１ｍｍ程度の深さであっても構わない。<Second embodiment>
FIG. 6A is a top view of the single-sided suction type suction jig 1 which is a type that supplies negative pressure according to the second embodiment and has a throttle. 6 (B) is a sectional view taken along line II-II of FIG. 6 (A), and FIG. 6 (C) is a bottom view of the suction jig 1. Since the suction jig 1 is not provided with an ejector, it is a prerequisite for use that negative pressure is supplied instead of compressed air. The cavity 8 provided on the upper surface of the main body 2 of the suction jig 1 is a circular recess having a predetermined cavity diameter 9, but the shape of the cavity 8 is not particularly limited to this, and other cavities 8 are provided. The shape may be, for example, rectangular or triangular. However, the circular shape is the most advantageous in consideration of the ease of making and the isotropic force of the suction force. Further, the depth of the cavity 8 is not related to the suction force, and may be, for example, a depth of about 1 mm.

このキャビティ８の内部には吸引孔７が開けられていて、この吸引孔７を経由してキャビティ８内のエアが吸引排気される。このキャビティ８の周囲にはワークと接触する吸着面６が設けられていて、吸着時にはこの吸着面６とワークが密着する。吸着面６がワークと密着することによりエアリークが防がれて吸着力が発生する。従って、吸着面６の領域はある程度の面積が必要であり、例えば、キャビティ径９を２５ｍｍとした場合、本体２の外径は３５ｍｍ程度にすることが好ましい。また、ある程度の平面度（０．０１ｍｍ／φ３５ｍｍ相当の平面度）も必要である。ただし、本体２の外径はそれほど大きくないので、必要な平面度を得ることは製造上それほど難しくない。 A suction hole 7 is opened inside the cavity 8, and air in the cavity 8 is sucked and exhausted through the suction hole 7. A suction surface 6 that comes into contact with the work is provided around the cavity 8, and the suction surface 6 and the work are in close contact with each other during suction. When the suction surface 6 is in close contact with the work, air leakage is prevented and suction force is generated. Therefore, the region of the suction surface 6 needs a certain area. For example, when the cavity diameter 9 is 25 mm, the outer diameter of the main body 2 is preferably about 35 mm. Further, a certain degree of flatness (flatness equivalent to 0.01 mm / φ35 mm) is also required. However, since the outer diameter of the main body 2 is not so large, it is not so difficult in manufacturing to obtain the required flatness.

図６（Ｂ）に示す通り、エアチューブと接続するためのジョイント４０と吸引孔７は、吸着治具１の内部で連通されており、このジョイント４０の内部にエアの流量を抑制するための絞り４１が備えられている。従って、エアチューブがジョイント４０に接続されて負圧が給気されると、ワークが載置されて塞がれたキャビティ８内のエアは、吸引孔７と絞り４１を経由して吸引排気される。この絞り４１は、ワークでキャビティ８が塞がれていない時に、大量のエアがいたずらに吸引されて切削油やゴミ等を吸い込むことや、負圧を供給している負圧源の負圧レベルが弱まる（大気圧レベルに近づく）ことを防ぐ効果がある。しかも、この絞り４１を備えたとしても、ワークでキャビティ８を塞いだ時に発生する吸着力が弱まることはない。吸引排気されるエアの流量はワークがキャビティ８に吸着しているときはほとんど発生しないため、エアの流量を制限する絞り４１があっても吸引力にはほとんど影響しない。なお、絞り４１を配置する場所は必ずしもジョイント４０の内部に限られず、吸引孔７とエアチューブとの間であればどこでも構わず、例えば、吸引孔７の近傍に配置されていても構わない。 As shown in FIG. 6B, the joint 40 for connecting to the air tube and the suction hole 7 are communicated with each other inside the suction jig 1, and the flow rate of air is suppressed inside the joint 40. A diaphragm 41 is provided. Therefore, when the air tube is connected to the joint 40 and negative pressure is supplied, the air in the cavity 8 in which the work is placed and closed is sucked and exhausted via the suction hole 7 and the throttle 41. To. When the cavity 8 is not blocked by the work, the throttle 41 sucks a large amount of air unnecessarily to suck cutting oil, dust, etc., and the negative pressure level of the negative pressure source supplying negative pressure. Has the effect of preventing the weakening (approaching the atmospheric pressure level). Moreover, even if the throttle 41 is provided, the suction force generated when the cavity 8 is closed by the work is not weakened. Since the flow rate of air sucked and exhausted hardly occurs when the work is attracted to the cavity 8, even if there is a throttle 41 that limits the flow rate of air, the suction force is hardly affected. The place where the diaphragm 41 is arranged is not necessarily limited to the inside of the joint 40, and may be arranged anywhere between the suction hole 7 and the air tube, for example, may be arranged in the vicinity of the suction hole 7.

本体厚み４２は、第一実施形態と同様に作業効率を考慮すれば、ワークを本体２に載置したり取り除いたりするときに、作業者の指もしくはワークを把持するフック等が、ワークとテーブルの間に入るスペースを確保するために十分な厚みになっていることが好ましい。従って、例えば、本体厚み４２は１８ｍｍ程度、さらに機械の安全規格（日本規格協会、機械の安全性に関するＥＮ規格集（第３版））を考慮すると２５ｍｍ程度、あるいはそれ以上にすることが好ましい。 As in the first embodiment, the main body thickness 42 is such that when the work is placed on or removed from the main body 2, the operator's finger or the hook for gripping the work is the work and the table. It is preferable that the thickness is sufficient to secure a space between them. Therefore, for example, the body thickness 42 is preferably about 18 mm, and is preferably about 25 mm or more in consideration of the machine safety standard (Japanese Standards Association, EN standard collection on machine safety (3rd edition)).

図６（Ｃ）に示す通り、本体２の他端に設けられた底面１０はテーブルに接触する部分であり、前記一端の吸着面６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面１０の材質が鉄等の強磁性材で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面１０を研削盤に磁力により固定することができる。 As shown in FIG. 6C, the bottom surface 10 provided at the other end of the main body 2 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 6 at one end with high accuracy. For example, if the grinding machine is provided with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface 10 is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface 10 is magnetically fixed to the grinding machine by using the electromagnetic chuck. be able to.

図７（Ａ）は、前記第二実施形態において、本体２の一端である上面と他端である底面の両面で吸着する両面吸着タイプの吸着治具１の上面図である。図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＩＩ−ＩＩ断面図であり、図７（Ｃ）はこの吸着治具１の底面図である。この吸着治具１にはエジェクタが備えられていないため、圧縮エアではなく負圧が給気されることが前提となる。図７（Ａ）は図６（Ａ）と全く同じ構成であるため説明を省略する。 FIG. 7A is a top view of the double-sided suction type suction jig 1 that sucks on both the upper surface which is one end of the main body 2 and the bottom surface which is the other end in the second embodiment. FIG. 7B is a sectional view taken along line II-II of FIG. 7A, and FIG. 7C is a bottom view of the suction jig 1. Since the suction jig 1 is not provided with an ejector, it is premised that negative pressure is supplied instead of compressed air. Since FIG. 7A has exactly the same configuration as FIG. 6A, description thereof will be omitted.

図７（Ｂ）に示す通り、エアチューブと接続するためのジョイント４０と本体２の一端である上面の吸引孔７、及び、本体２の他端である底面１０のキャビティ８に設けられた吸引孔７は、吸着治具１の内部で連通されており、また、このジョイント４０の内部にエア流量を抑制するための絞り４１が備えられている。従って、エアチューブがジョイント４０に接続されて負圧が給気されると、絞り４１、及び、本体２の上面及び底面１０のそれぞれの吸引孔７を経由してそれぞれのキャビティ８内のエアが吸引排気される。この絞り４１は、ワークでキャビティ８が塞がれていない時に、または、テーブルでキャビティ８が塞がれていない時に、大量のエアがいたずらに吸引されて切削油やゴミ等を吸い込むことや、負圧を供給している負圧源の負圧レベルが弱まる（大気圧レベルに近づく）ことを防ぐ効果がある。 As shown in FIG. 7B, suction is provided in the joint 40 for connecting to the air tube, the suction hole 7 on the upper surface which is one end of the main body 2, and the cavity 8 on the bottom surface 10 which is the other end of the main body 2. The holes 7 are communicated with each other inside the suction jig 1, and a throttle 41 for suppressing the air flow rate is provided inside the joint 40. Therefore, when the air tube is connected to the joint 40 and negative pressure is supplied, the air in each cavity 8 passes through the throttle 41 and the suction holes 7 on the upper surface and the bottom surface 10 of the main body 2. It is sucked and exhausted. When the cavity 8 is not blocked by the work or when the cavity 8 is not blocked by the table, the throttle 41 sucks a large amount of air unnecessarily to suck cutting oil, dust, and the like. It has the effect of preventing the negative pressure level of the negative pressure source that supplies the negative pressure from weakening (approaching the atmospheric pressure level).

この絞り４１を備えたとしても、ワークでキャビティ８を塞いだ時に、または、テーブルでキャビティ８を塞いだ時に、発生するそれぞれの吸着力が弱まることはない。吸引排気されるエアの流量はワークがキャビティ８に、または、テーブルがキャビティ８に、吸着しているときはほとんど発生しないため、エアの流量を制限する絞り４１があっても吸引力にはほとんど影響しない。なお、絞り４１を配置する場所は必ずしもジョイント４０の内部に限られず、吸引孔７とエアチューブとの間であればどこでも構わず、例えば、吸引孔７の近傍に配置されていても構わない。 Even if the throttle 41 is provided, the respective suction forces generated when the cavity 8 is closed by the work or when the cavity 8 is closed by the table are not weakened. Since the flow rate of air sucked and exhausted hardly occurs when the work is sucked into the cavity 8 or the table is sucked into the cavity 8, even if there is a throttle 41 that limits the flow rate of air, the suction force is almost the same. It does not affect. The place where the diaphragm 41 is arranged is not necessarily limited to the inside of the joint 40, and may be arranged anywhere between the suction hole 7 and the air tube, for example, may be arranged in the vicinity of the suction hole 7.

これにより上面のキャビティ８の周囲に設けられた吸着面６とワークが密着すると共に、底面のキャビティ８の周囲に設けられた吸着面６とテーブルが密着する。これにより吸着治具１がワークに固定されると共に、テーブルに固定される。従って、ワークとの間にすき間ができてエアリークが発生しないように、上面の吸着面６の平面はある程度精度よく加工されていなければならない。更に同時に、テーブルとの間にすき間ができてエアリークが発生しないように、底面の吸着面６の平面もある程度精度よく加工されていなければならない。すなわち、それぞれ０．０１ｍｍ／φ３５ｍｍ相当の平面度が必要である。 As a result, the suction surface 6 provided around the cavity 8 on the upper surface and the work are in close contact with each other, and the suction surface 6 provided around the cavity 8 on the bottom surface is in close contact with the table. As a result, the suction jig 1 is fixed to the work and also fixed to the table. Therefore, the flat surface of the suction surface 6 on the upper surface must be machined with a certain degree of accuracy so that a gap is formed between the work and the work and no air leak occurs. At the same time, the flat surface of the suction surface 6 on the bottom surface must be machined with a certain degree of accuracy so that a gap is created between the table and the table and no air leak occurs. That is, a flatness equivalent to 0.01 mm / φ35 mm is required for each.

図７（Ｃ）に示す通り、本体２の他端の底面１０に設けられた吸着面６はテーブルに接触する部分であり、前記一端の吸着面６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面１０の材質が鉄等の強磁性体で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面１０を研削盤に磁力により固定することができる。更に、底面１０の吸着面６をテーブルに吸着固定する機能と併用することで、より強固に本体２をテーブルに固定することができる。 As shown in FIG. 7C, the suction surface 6 provided on the bottom surface 10 at the other end of the main body 2 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 6 at one end with high accuracy. ing. For example, if the grinding machine is provided with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface 10 is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface 10 is fixed to the grinding machine by magnetic force using the electromagnetic chuck. be able to. Further, by using in combination with the function of sucking and fixing the suction surface 6 of the bottom surface 10 to the table, the main body 2 can be fixed to the table more firmly.

図８は、前記第二実施形態の吸着治具１を３個備えた吸着治具セットの概観図である。エジェクタ３に圧縮エア１３が給気されると負圧が発生する。この負圧はエアターミナル１５に給気されてここで必要な数だけ分岐される。分岐された負圧は、エアターミナル１５とそれぞれの吸着治具１のジョイント４０に接続されたエアチューブ１６を経由してそれぞれの吸着治具１に給気される。 FIG. 8 is an overview view of a suction jig set including three suction jigs 1 of the second embodiment. When the compressed air 13 is supplied to the ejector 3, a negative pressure is generated. This negative pressure is supplied to the air terminal 15 and branched in the required number here. The branched negative pressure is supplied to each suction jig 1 via an air tube 16 connected to an air terminal 15 and a joint 40 of each suction jig 1.

また、この第二実施形態の吸着治具１は、直接エジェクタが備えられていないため、放電加工機の加工液中でも使用できるという極めて優れた特徴を有する。もしも加工液中で使用した場合、ワークと吸着面６との間に隙間があると加工液が吸引されてしまうが、ごく少量であれば特に吸着力が弱まることはなく、また、エジェクタとエアチューブ１６の間のどかかに液溜まりの容器を更に備えておけば、エジェクタ３への加工液の流入を防ぐことができるので、やはり吸着力が弱まることはない。しかも、大気圧に加えて水圧も加わるので、空気中で使用するよりもさらに強い吸着力を得ることができる。 Further, since the suction jig 1 of the second embodiment is not directly provided with an ejector, it has an extremely excellent feature that it can be used even in the machining fluid of an electric discharge machine. If it is used in the machining fluid, the machining fluid will be sucked if there is a gap between the work and the suction surface 6, but if the amount is very small, the suction force will not be particularly weakened, and the ejector and air will not be weakened. If a container for collecting liquid is further provided somewhere between the tubes 16, the inflow of the processing liquid into the ejector 3 can be prevented, so that the adsorption force is not weakened. Moreover, since water pressure is applied in addition to atmospheric pressure, it is possible to obtain a stronger adsorption force than when used in air.

エジェクタ３に給気される圧縮エア１３の空気圧はおよそ０．４ＭＰａ以上が好ましい。また、圧縮エア１３の流量はエジェクタ３の性能にもよるが、およそ５Ｌ／ｍｉｎ以上が必要となる。エジェクタは一つだけで済むので、吸着治具セットの製造コストを抑制することができる。吸着しているときは、各キャビティから吸引排気されるエア流量はほとんどないので、各吸着治具における吸着力が各吸着治具にエジェクタを備えた場合よりも弱くなることはほとんどない。 The air pressure of the compressed air 13 supplied to the ejector 3 is preferably about 0.4 MPa or more. Further, the flow rate of the compressed air 13 is required to be about 5 L / min or more, although it depends on the performance of the ejector 3. Since only one ejector is required, the manufacturing cost of the suction jig set can be suppressed. When sucking, there is almost no air flow rate sucked and exhausted from each cavity, so that the suction force of each suction jig is hardly weaker than that when each suction jig is provided with an ejector.

＜第三実施形態＞
図９（Ａ）は、第三実施形態に係る圧縮エアを給気するタイプで、かつ、ポペット弁を備えた両面で吸着するタイプの吸着治具２１の上面図である。図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図であり、図９（Ｃ）はこの吸着治具２１の底面図である。<Third Embodiment>
FIG. 9A is a top view of a suction jig 21 of a type that supplies compressed air according to the third embodiment and that has a poppet valve and sucks on both sides. 9 (B) is a sectional view taken along line III-III of FIG. 9 (A), and FIG. 9 (C) is a bottom view of the suction jig 21.

この吸着治具２１の本体２２の一端である上面に備えられたキャビティ２８は、所定のキャビティ径２９を有する円形状の窪みであるが、キャビティ２８の形状は特にこれに限定されず、その他の形状、例えば、矩形状や三角形状であっても構わない。ただ、作り易さの点、吸着力が等方的である点を考慮して円形状が最も有利である。キャビティ２８の内部には吸引孔２７が開けられていて、この吸引孔２７を経由してキャビティ２８内のエアが吸引排気される。この吸引孔２７からポペット弁２３のシャフト２４が突出している。 The cavity 28 provided on the upper surface of the main body 22 of the suction jig 21 is a circular recess having a predetermined cavity diameter 29, but the shape of the cavity 28 is not particularly limited to this, and other The shape may be, for example, rectangular or triangular. However, the circular shape is the most advantageous in consideration of the ease of making and the isotropic force of the suction force. A suction hole 27 is opened inside the cavity 28, and air in the cavity 28 is sucked and exhausted through the suction hole 27. The shaft 24 of the poppet valve 23 projects from the suction hole 27.

キャビティ２８の周囲にはワークと接触する吸着面２６が設けられていて、吸着時にはこの吸着面２６とワークが密着する。吸着面２６がワークと密着することによりエアリークが防がれて吸着力が発生する。従って、吸着面２６の領域は、ある程度の面積が必要であり、例えば、キャビティ径２９を２５ｍｍとした場合、本体２２の外径は３５ｍｍ程度にすることが好ましい。また、ある程度の平面度（０．０１ｍｍ／φ３５ｍｍ相当）も必要である。ただし、本体２１の外径はそれほど大きくないので、必要な平面度を得ることは製造上それほど難しくはない。 A suction surface 26 that comes into contact with the work is provided around the cavity 28, and the suction surface 26 and the work are in close contact with each other during suction. When the suction surface 26 is in close contact with the work, air leakage is prevented and suction force is generated. Therefore, the region of the suction surface 26 needs to have a certain area. For example, when the cavity diameter 29 is 25 mm, the outer diameter of the main body 22 is preferably about 35 mm. In addition, a certain degree of flatness (equivalent to 0.01 mm / φ35 mm) is also required. However, since the outer diameter of the main body 21 is not so large, it is not so difficult in manufacturing to obtain the required flatness.

図９（Ｂ）に示す通り、エジェクタ３と上面及び底面の吸引孔２７は吸着治具２１の内部で連通されており、エジェクタ３に圧縮エアが給気されることにより発生する負圧により、本体２２の上面のキャビティ２８、及び、本体２２の底面のキャビティ２８内のエアはそれぞれの吸引孔２７を経由してエジェクタ３から吸引排気される。 As shown in FIG. 9B, the ejector 3 and the suction holes 27 on the upper surface and the bottom surface are communicated with each other inside the suction jig 21, and the negative pressure generated by supplying compressed air to the ejector 3 causes the ejector 3 to be in contact with each other. The air in the cavity 28 on the upper surface of the main body 22 and the air in the cavity 28 on the lower surface of the main body 22 are sucked and exhausted from the ejector 3 via the respective suction holes 27.

また、上面、及び、底面のそれぞれの吸引孔２７には、円錐形状のコーン２５とシャフト２４から構成されるポペット弁２３がそれぞれ備えられている。この２つのポペット弁のそれぞれのコーン２５は、本体２２内部に圧縮された状態で配置されたスプリング３１からそれぞれ反対向きの弾性力を受けていて、それぞれ弁座３０に押し付けられてエアの吸引をストップしている。ここで、本体２２の上面にワークが載置されると、ワークにより上面の吸引孔２７から突出しているシャフト２４が押し込まれて、コーン２５が弁座３０から離れてすき間ができてエアの吸引が可能となる。逆に、本体２２の上面にワークが載置されていないときは、上面のキャビティ２８のエアは吸引されないので、誤って切削油やゴミ等を吸い込むことがない。 Further, each suction hole 27 on the upper surface and the lower surface is provided with a poppet valve 23 composed of a conical cone 25 and a shaft 24, respectively. Each cone 25 of these two poppet valves receives elastic force in opposite directions from a spring 31 arranged in a compressed state inside the main body 22, and is pressed against the valve seat 30 to suck air. It's stopped. Here, when the work is placed on the upper surface of the main body 22, the shaft 24 protruding from the suction hole 27 on the upper surface is pushed by the work, the cone 25 is separated from the valve seat 30, and a gap is created to suck air. Is possible. On the contrary, when the work is not placed on the upper surface of the main body 22, the air in the cavity 28 on the upper surface is not sucked, so that cutting oil, dust, etc. are not accidentally sucked.

また、吸着治具２１がテーブルに載置されると、テーブルにより底面の吸引孔２７から突出しているシャフト２４が押し込まれて、コーン２５が弁座３０から離れてすき間ができてエアの吸引が可能となる。逆に、吸着治具２１がテーブルに載置されていないときは、底面のキャビティ２８のエアは吸引されないので、誤って切削油やゴミ等を吸い込むことがない。 Further, when the suction jig 21 is placed on the table, the shaft 24 protruding from the suction hole 27 on the bottom surface is pushed by the table, the cone 25 is separated from the valve seat 30, and a gap is created to suck air. It will be possible. On the contrary, when the suction jig 21 is not placed on the table, the air in the cavity 28 on the bottom surface is not sucked, so that cutting oil, dust, etc. are not accidentally sucked.

本体厚み４２については、第一実施形態と同様であり、得られる効果も同じであるのでここでの説明は省略する。 Since the body thickness 42 is the same as that of the first embodiment and the obtained effect is also the same, the description thereof is omitted here.

図９（Ｃ）に示す通り、本体２２の他端の底面に設けられた吸着面２６はテーブルに接触する部分であり、前記一端の吸着面２６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面の材質が鉄等の強磁性体で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面を研削盤に磁力により固定することができる。更に、底面の吸着面２６をテーブルに吸着固定する機能と併用することで、より強固に本体２２をテーブルに固定することができる。 As shown in FIG. 9C, the suction surface 26 provided on the bottom surface of the other end of the main body 22 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 26 at one end with high accuracy. There is. For example, if the grinding machine is equipped with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface can be fixed to the grinding machine by magnetic force using the electromagnetic chuck. it can. Further, by using the suction surface 26 on the bottom surface in combination with the function of suction and fixing to the table, the main body 22 can be fixed to the table more firmly.

図４と図５と同様に、図９に示した前記第三実施形態の吸着治具２１を３個備えた吸着治具セットにして使用することも可能である。その場合、ポペット弁２３を備えているため、まず先に吸着治具２１をテーブルの所定の箇所に押し付けることで、シャフト２４が押し込まれてポペット弁２３が開き、吸着治具２１をテーブル上に任意の位置に吸着させることができる。また、吸着治具２１のテーブル上の位置を修正する場合は、その各吸着治具２１のエジェクタ３の排気孔５を指等で塞ぐことで負圧は発生しなくなるので、この状態で吸着治具２１をテーブルから離せばポペット弁２３により吸引孔２７は閉じられる。続いて、この吸着治具２１のテーブル上における設置位置を修正して、この吸着治具２１をテーブルに再度押し付けて吸着させることでテーブル上の位置を自由に調整できる。 Similar to FIGS. 4 and 5, it is also possible to use the suction jig set including the three suction jigs 21 of the third embodiment shown in FIG. 9 as a suction jig set. In that case, since the poppet valve 23 is provided, the suction jig 21 is first pressed against a predetermined position on the table to push the shaft 24 and open the poppet valve 23, so that the suction jig 21 is placed on the table. It can be adsorbed at any position. Further, when correcting the position of the suction jig 21 on the table, the negative pressure is not generated by closing the exhaust hole 5 of the ejector 3 of each suction jig 21 with a finger or the like, so that the suction is cured in this state. When the jig 21 is separated from the table, the suction hole 27 is closed by the poppet valve 23. Subsequently, the position on the table can be freely adjusted by modifying the installation position of the suction jig 21 on the table and pressing the suction jig 21 against the table again to suck the suction jig 21.

＜第四実施形態＞
図１０（Ａ）は、第四実施形態に係る負圧を給気するタイプで、かつ、ポペット弁を備えた両面で吸着するタイプの吸着治具２１の上面図である。図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＩＶ−ＩＶ断面図であり、図１０（Ｃ）はこの吸着治具２１の底面図である。<Fourth Embodiment>
FIG. 10A is a top view of a suction jig 21 of a type that supplies negative pressure according to the fourth embodiment and that has a poppet valve and sucks on both sides. 10 (B) is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 10 (A), and FIG. 10 (C) is a bottom view of the suction jig 21.

キャビティ２８、ポペット弁２３、及び、吸着面２６については、構成と効果は第三実施形態と同じであるので、ここでの説明は省略する。 Since the configuration and effect of the cavity 28, the poppet valve 23, and the suction surface 26 are the same as those in the third embodiment, the description thereof is omitted here.

図１０（Ｂ）に示す通り、エアチューブと接続するためのジョイント４０とを備え、このエアチューブで給気される負圧により、本体２２の一端である上面のキャビティ２８、及び、本体２２の他端である底面のキャビティ２８内のエアは、それぞれの吸引孔２７を経由してエアチューブから吸引排気される。 As shown in FIG. 10B, a joint 40 for connecting to the air tube is provided, and the cavity 28 on the upper surface, which is one end of the main body 22, and the main body 22 due to the negative pressure supplied by the air tube. The air in the cavity 28 on the bottom surface, which is the other end, is sucked and exhausted from the air tube via the respective suction holes 27.

なお、本体厚み４２については、第一実施形態と同様であり、得られる効果も同じであるので、ここでの説明は省略する。 The body thickness 42 is the same as that of the first embodiment, and the obtained effect is also the same. Therefore, the description thereof is omitted here.

図１０（Ｃ）に示す通り、本体２２の底面に設けられた吸着面２６はテーブルに接触する部分であり、上面の吸着面２６と高精度に平行になるように構成されている。例えば、研削盤が電磁チャックを備えていて、かつ、この底面の材質が鉄等の強磁性体で構成されていれば、電磁チャックを利用してこの底面を研削盤に磁力により固定することができる。更に、底面の吸着面２６をテーブルに吸着固定する機能と併用することで、より強固に本体２２をテーブルに固定することができる。 As shown in FIG. 10C, the suction surface 26 provided on the bottom surface of the main body 22 is a portion that comes into contact with the table, and is configured to be parallel to the suction surface 26 on the upper surface with high accuracy. For example, if the grinding machine is equipped with an electromagnetic chuck and the material of the bottom surface is made of a ferromagnetic material such as iron, the bottom surface can be fixed to the grinding machine by magnetic force using the electromagnetic chuck. it can. Further, by using the suction surface 26 on the bottom surface in combination with the function of suction and fixing to the table, the main body 22 can be fixed to the table more firmly.

図８と同様に、前記第四実施形態の吸着治具２１を３個備えた吸着治具セットにして使用することも可能である。すなわち、一つのエジェクタに圧縮エアが給気されて発生された負圧をエアターミナルで必要な数だけ分岐して、エアチューブを経由してそれぞれの吸着治具２１のジョイント４０に給気される。各吸着治具２１はポペット弁２３を備えているため、まず先に吸着治具２１をテーブルの所定の箇所に押し付けることで、シャフト２４が押し込まれてポペット弁２３が開き、吸着治具２１をテーブル上の任意の位置に吸着させておくことができる。また、吸着治具２１のテーブル上の位置を修正する場合は、例えば、吸着治具セットに負圧を給気しているのを一旦ストップさせて、この状態で吸着治具２１をテーブルから離せばポペット弁２３により吸引孔２７は閉じられる。続いて、負圧の給気を再開して吸着治具２１のテーブル上における設置位置を決めて、吸着治具２１をテーブルに再度押し付けて吸着させることができる。 Similar to FIG. 8, it is also possible to use it as a suction jig set including three suction jigs 21 of the fourth embodiment. That is, the compressed air is supplied to one ejector, the negative pressure generated is branched by the required number at the air terminal, and the air is supplied to the joint 40 of each suction jig 21 via the air tube. .. Since each suction jig 21 includes a poppet valve 23, the shaft 24 is pushed in and the poppet valve 23 opens by first pressing the suction jig 21 against a predetermined position on the table, and the suction jig 21 is opened. It can be adsorbed at any position on the table. Further, when correcting the position of the suction jig 21 on the table, for example, temporarily stop supplying negative pressure to the suction jig set, and then separate the suction jig 21 from the table in this state. The suction hole 27 is closed by the poppet valve 23. Subsequently, the negative pressure air supply can be restarted to determine the installation position of the suction jig 21 on the table, and the suction jig 21 can be pressed against the table again for suction.

また、この第四実施形態の吸着治具２１は、直接エジェクタが備えられていないため、放電加工機の加工液中でも使用できるという極めて優れた特徴を有する。もしも加工液中で使用した場合、ワークと吸着面２６との間に隙間があると加工液が吸引されてしまうが、ごく少量であれば特に吸着力が弱まることはなく、また、エジェクタとエアチューブの間のどこかに液溜まりの容器を更に備えておけば、エジェクタへの加工液の流入を防ぐことができるので、やはり吸着力が弱まることはない。しかも、大気圧に加えて水圧も加わるので、空気中で使用するよりもさらに強い吸着力を得ることができる。 Further, since the suction jig 21 of the fourth embodiment is not directly provided with an ejector, it has an extremely excellent feature that it can be used even in the machining fluid of an electric discharge machine. If it is used in the machining fluid, the machining fluid will be sucked if there is a gap between the work and the suction surface 26, but if the amount is very small, the suction force will not be particularly weakened, and the ejector and air will not be weakened. If a container for a liquid pool is provided somewhere between the tubes, it is possible to prevent the processing liquid from flowing into the ejector, so that the adsorption force is not weakened. Moreover, since water pressure is applied in addition to atmospheric pressure, it is possible to obtain a stronger adsorption force than when used in air.

＜第五実施形態＞
図１１は、第五実施形態に係る放電加工機における使用態様の概念図である。
図１１の放電加工機５０は、いわゆる形彫り放電加工機であり、放電ギャップ制御部５１がクイル５２を鉛直方向に往復駆動制御して、その先端に支持された電極５３を加工液５４が満たされた加工液槽５５内のテーブル１２において、吸着治具１で固定されたワーク１１に対して所定ギャップを維持するように駆動制御されながら放電加工が行われる。なお、この吸着治具１は第二実施形態あるいは第四実施形態で説明した片面吸着タイプもしくは両面吸着タイプのものと同じであるので、その内部構造の説明については省略する。<Fifth Embodiment>
FIG. 11 is a conceptual diagram of a usage mode in the electric discharge machine according to the fifth embodiment.
The electric discharge machine 50 of FIG. 11 is a so-called die-sinking electric discharge machine, in which the electric discharge gap control unit 51 reciprocates and controls the quill 52 in the vertical direction, and the machining liquid 54 fills the electrode 53 supported at the tip thereof. On the table 12 in the processing liquid tank 55, electric discharge machining is performed while being driven and controlled so as to maintain a predetermined gap with respect to the work 11 fixed by the suction jig 1. Since this suction jig 1 is the same as the single-sided suction type or double-sided suction type described in the second embodiment or the fourth embodiment, the description of its internal structure will be omitted.

この吸着治具１のジョイント４０、及び、液溜まりの容器６０のジョイント６１のそれぞれにエアチューブ１６が接続されている。エジェクタ３に圧縮エア１３が給気されることにより発生された負圧により、容器６０内のエアは吸引排気される。さらに容器６０とエアチューブ６１で接続されている吸着治具１のキャビティ８、２８のエアも吸引排気されることで、吸着治具１はワークに吸着する。しかも、大気圧に加えて水圧も加わるので、空気中で使用するよりもさらに強い吸着力を得ることができる。 An air tube 16 is connected to each of the joint 40 of the suction jig 1 and the joint 61 of the liquid reservoir container 60. The air in the container 60 is sucked and exhausted by the negative pressure generated by supplying the compressed air 13 to the ejector 3. Further, the air in the cavities 8 and 28 of the suction jig 1 connected to the container 60 by the air tube 61 is also sucked and exhausted, so that the suction jig 1 is sucked to the work. Moreover, since water pressure is applied in addition to atmospheric pressure, it is possible to obtain a stronger adsorption force than when used in air.

この時、もしもワーク１１と吸着面６，２６との間に隙間があり、ここから誤って加工液５４が吸引されると、その加工液５４はエアチューブ１６を経由して容器６０内に溜まることになる。従って、この誤って吸引された加工液５４が容器６０の容量よりも少なければ加工液５４がエジェクタ３に流入することを防げるので、発生する負圧が劣化することはなく、吸着力が弱まることはない。なお、吸着治具１を複数使用する場合は、複数に分岐するエアターミナル１５を容器６０に設けてもよいし、あるいは、容器６０に備えられるジョイント６１を予め複数設けてもよい。いずれにしろエアチューブ１６を接続しないジョイント６１、あるいは、エアターミナル１５の空いている口をキャップなどで塞いでおけばよい。 At this time, if there is a gap between the work 11 and the suction surfaces 6 and 26, and the working liquid 54 is erroneously sucked from this gap, the working liquid 54 is collected in the container 60 via the air tube 16. It will be. Therefore, if the amount of the processing liquid 54 sucked by mistake is smaller than the capacity of the container 60, the processing liquid 54 can be prevented from flowing into the ejector 3, so that the generated negative pressure does not deteriorate and the adsorption force is weakened. There is no. When a plurality of suction jigs 1 are used, the container 60 may be provided with a plurality of branching air terminals 15, or a plurality of joints 61 provided in the container 60 may be provided in advance. In any case, the joint 61 to which the air tube 16 is not connected or the vacant mouth of the air terminal 15 may be closed with a cap or the like.

なお、容器６０は、内部のエアが吸引排気されるので、大気圧に押しつぶされない程度の強度が必要である。また、吸着面６，２６の周囲にゴムやシリコンゴムなどのスカートをつけることで、加工液５４を誤って吸引しないようにすることができる。特に、定盤に、きさげ加工が施されている場合は、定盤と吸着面との間に隙間ができやすいため、そこから加工液を吸い込みやすい。これに対して、吸着面６、２６に円形状の溝を設けて、この溝にゴムやシリコンゴムなどのオーリングを嵌め込んで、シール効果を高めることができる。上記のようなリーク防止の対策を施しておけば、容器６０はごく小型のもの、例えば２００ｍｌ程度のものにしてもよく、また、コンプレッサーによく利用されているエアドライアを代用することができる。 Since the air inside the container 60 is sucked and exhausted, the container 60 needs to have a strength that is not crushed by atmospheric pressure. Further, by attaching a skirt made of rubber or silicon rubber around the suction surfaces 6 and 26, it is possible to prevent the processing liquid 54 from being accidentally sucked. In particular, when the surface plate is scraped, a gap is likely to be formed between the surface plate and the suction surface, so that the processing liquid can be easily sucked from there. On the other hand, circular grooves can be provided on the suction surfaces 6 and 26, and an O-ring such as rubber or silicon rubber can be fitted into the grooves to enhance the sealing effect. If the above-mentioned leak prevention measures are taken, the container 60 may be a very small container, for example, about 200 ml, or an air dryer often used for a compressor can be substituted.

１、２１…吸着治具
２、２２…本体
３…エジェクタ
４…給気孔
５…排気孔
６、２６…吸着面
７、２７…吸引孔
８、２８…キャビティ
９、２９…キャビティ径
１０…底面
１１…ワーク
１２…テーブル
１３…圧縮エア
１４…配管
１５…エアターミナル
１６…エアチューブ
１７…載置動作
２３…ポペット弁
２４…シャフト
２５…コーン
３０…弁座
３１…スプリング
４０、６１…ジョイント
４１…絞り
４２…本体厚み
５０…放電加工機
５１…放電ギャップ制御部
５２…クイル
５３…電極
５４…加工液
５５…加工液浴槽
６０…容器1, 21 ... Suction jig 2, 22 ... Main body 3 ... Ejector 4 ... Air supply hole 5 ... Exhaust hole 6, 26 ... Suction surface 7, 27 ... Suction hole 8, 28 ... Cavity 9, 29 ... Cavity diameter 10 ... Bottom surface 11 … Work 12… Table 13… Compressed air 14… Piping 15… Air terminal 16… Air tube 17… Mounting operation 23… Poppet valve 24… Shaft 25… Cone 30… Valve seat 31… Spring 40, 61… Joint 41… Squeezing 42 ... Body thickness 50 ... Electric discharge machine 51 ... Electric discharge gap control unit 52 ... Quill 53 ... Electrode 54 ... Machining liquid 55 ... Machining liquid bathtub 60 ... Container

Claims (12)

ワークをテーブルに固定する吸着治具において、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
この吸引孔に連通されたエジェクタと、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、
を備え、
前記エジェクタに圧縮エアを給気して負圧を発生させて、この負圧により前記吸引孔を経由して前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具。In the suction jig that fixes the work to the table
With the main body
The cavity provided at one end of this body and
The suction holes provided in this cavity and
The ejector communicated with this suction hole and
The suction surface provided around the cavity and
A bottom surface provided at the other end of the main body parallel to the suction surface and in contact with the table,
With
A suction characterized by supplying compressed air to the ejector to generate a negative pressure, sucking and exhausting the air in the cavity through the suction hole by the negative pressure, and adsorbing the air to the work. jig. 請求項１に記載の前記吸着治具において、
前記底面に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、
前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備え、
前記一端に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着すると共に前記底面に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記テーブルに吸着することを特徴とする吸着治具。In the suction jig according to claim 1,
The cavity provided on the bottom surface and
A suction hole provided in this cavity and communicated with the suction hole,
Further provided with a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface.
It is characterized in that the air in the cavity provided at one end is sucked and exhausted and adsorbed on the work, and the air in the cavity provided on the bottom surface is sucked and exhausted and sucked on the table. Suction jig. 請求項１及び２に記載の前記吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、
給気される圧縮エアを少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、
このエアターミナルで分岐された圧縮エアをそれぞれの前記吸着治具の前記エジェクタへ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を更に備えることを特徴とする吸着治具セット。In the suction jig set provided with at least two of the suction jigs according to claims 1 and 2.
An air terminal that branches the compressed air to be supplied into at least two, and
A suction jig set further comprising at least two air tubes for supplying compressed air branched at the air terminal to the ejector of each suction jig. ワークをテーブルに固定する吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、
この複数の吸着治具のそれぞれは、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面 と、を備え、
更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、
このエジェクタに接続されると共にこの発生した負圧を少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、
このエアターミナルで分岐された前記負圧をそれぞれの前記吸着治具へ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を備え、
前記負圧によりそれぞれの前記吸引孔を経由してそれぞれの前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具セット。In a suction jig set provided with at least two suction jigs for fixing the work to the table.
Each of these multiple suction jigs
With the main body
The cavity provided at one end of this body and
The suction holes provided in this cavity and
The suction surface provided around the cavity and
It is provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and has a bottom surface in contact with the table.
Furthermore, an ejector that generates negative pressure by the compressed air supplied with air,
An air terminal that is connected to this ejector and splits this generated negative pressure into at least two
At least two air tubes for supplying the negative pressure branched at the air terminal to each of the suction jigs are provided.
A suction jig set characterized in that air in each of the cavities is sucked and exhausted through the suction holes by the negative pressure and sucked on the work. 請求項４に記載の前記吸着治具セットおいて、
少なくとも２個の前記吸着治具のそれぞれは、
前記底面に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、
前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備え、
それぞれの前記一端に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着すると共に前記底面に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記テーブルに吸着することを特徴とする吸着治具セット。In the suction jig set according to claim 4,
Each of the at least two suction jigs
The cavity provided on the bottom surface and
A suction hole provided in this cavity and communicated with the suction hole,
Further provided with a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface.
It is characterized in that the air in the cavity provided at one end of each is sucked and exhausted and adsorbed on the work, and the air in the cavity provided on the bottom surface is sucked and exhausted and sucked on the table. Adsorption jig set. 請求項４及び５に記載の前記吸着治具セットにおいて、少なくとも３個の前記吸着治具のそれぞれには吸引されるエアの流量を制限する絞りを更に備えることを特徴とする吸着治具セット。 The suction jig set according to claims 4 and 5, wherein each of at least three suction jigs is further provided with a throttle for limiting the flow rate of sucked air. ワークをテーブルに固定する吸着治具において、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
この吸引孔に設けられると共に前記ワークからの力を受けて開く弁と、
前記吸引孔に連通されたエジェクタと、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、
前記エジェクタに圧縮エアを給気して負圧を発生させて、この負圧により前記吸引孔を経由して前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具。In the suction jig that fixes the work to the table
With the main body
The cavity provided at one end of this body and
The suction holes provided in this cavity and
A valve provided in this suction hole and opened by receiving a force from the work,
The ejector communicated with the suction hole and
The suction surface provided around the cavity and
It is provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and has a bottom surface in contact with the table.
A suction characterized by supplying compressed air to the ejector to generate a negative pressure, sucking and exhausting the air in the cavity through the suction hole by the negative pressure, and adsorbing the air to the work. jig. 請求項７に記載の前記吸着治具において、
前記底面に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、
この吸引孔に設けられると共に前記テーブルからの力を受けて開く弁と、
前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備え、
前記一端に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着すると共に前記底面に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記テーブルに吸着することを特徴とする吸着治具。In the suction jig according to claim 7,
The cavity provided on the bottom surface and
A suction hole provided in this cavity and communicated with the suction hole,
A valve provided in this suction hole and opened by receiving a force from the table,
Further provided with a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface.
It is characterized in that the air in the cavity provided at one end is sucked and exhausted and adsorbed on the work, and the air in the cavity provided on the bottom surface is sucked and exhausted and sucked on the table. Suction jig. ワークをテーブルに固定する吸着治具を少なくとも２個備えた吸着治具セットにおいて、
この複数の吸着治具のそれぞれは、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
この吸引孔に設けられると共に前記ワークからの力を受けて開く弁と、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面 と、を備え、
更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、
このエジェクタに接続されると共にこの発生した負圧を少なくとも２つに分岐するエアターミナルと、
このエアターミナルで分岐された前記負圧をそれぞれの前記吸着治具へ給気する少なくとも２つのエアチューブと、を備え、
前記負圧によりそれぞれの前記吸引孔を経由してそれぞれの前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具セット。In a suction jig set provided with at least two suction jigs for fixing the work to the table.
Each of these multiple suction jigs
With the main body
The cavity provided at one end of this body and
The suction holes provided in this cavity and
A valve provided in this suction hole and opened by receiving a force from the work,
The suction surface provided around the cavity and
It is provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and has a bottom surface in contact with the table.
Furthermore, an ejector that generates negative pressure by the compressed air supplied with air,
An air terminal that is connected to this ejector and splits this generated negative pressure into at least two
At least two air tubes for supplying the negative pressure branched at the air terminal to each of the suction jigs are provided.
A suction jig set characterized in that air in each of the cavities is sucked and exhausted through the suction holes by the negative pressure and sucked on the work. 請求項９に記載の前記吸着治具セットおいて、
少なくとも２個の前記吸着治具のそれぞれは、
前記底面に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられると共に前記吸引孔に連通された吸引孔と、
この吸引孔に設けられると共に前記テーブルからの力を受けて開く弁と、
前記底面に設けられた前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、を更に備え、
それぞれの前記一端に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着すると共に前記底面に設けられた前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記テーブルに吸着することを特徴とする吸着治具セット。In the suction jig set according to claim 9,
Each of the at least two suction jigs
The cavity provided on the bottom surface and
A suction hole provided in this cavity and communicated with the suction hole,
A valve provided in this suction hole and opened by receiving a force from the table,
Further provided with a suction surface provided around the cavity provided on the bottom surface.
It is characterized in that the air in the cavity provided at one end of each is sucked and exhausted and adsorbed on the work, and the air in the cavity provided on the bottom surface is sucked and exhausted and sucked on the table. Adsorption jig set. ワークをテーブルに固定する吸着治具において、
本体と、
この本体の一端に設けられたキャビティと、
このキャビティに設けられた吸引孔と、
前記キャビティの周囲に設けられた吸着面と、
この吸着面と平行に前記本体の他端に設けられると共に前記テーブルと接触する底面と、を備え、
更に、給気される圧縮エアにより負圧を発生させるエジェクタと、
前記本体に接続されたエアチューブと、
このエアチューブと前記エジェクタとの間に設けられた液溜まりの容器と、を備え、
前記負圧は前記容器、及び、前記エアチューブを経由して前記本体に供給されることで前記吸引孔を経由して前記キャビティ内のエアを吸引排気して、前記ワークに吸着することを特徴とする吸着治具。In the suction jig that fixes the work to the table
With the main body
The cavity provided at one end of this body and
The suction holes provided in this cavity and
The suction surface provided around the cavity and
It is provided at the other end of the main body in parallel with the suction surface and has a bottom surface in contact with the table.
Furthermore, an ejector that generates negative pressure by the compressed air supplied with air,
With the air tube connected to the main body
A container for a liquid pool provided between the air tube and the ejector is provided.
The negative pressure is supplied to the main body via the container and the air tube, so that air in the cavity is sucked and exhausted through the suction holes and is adsorbed on the work. Suction jig. 請求項１１記載の前記吸着治具において、
前記吸着面に設けられた円形状の溝と、
この溝に嵌め込まれたオーリングと、を更に備えることを特徴とする吸着治具。In the suction jig according to claim 11,
The circular groove provided on the suction surface and
A suction jig characterized by further including an O-ring fitted in this groove.
JP2019086600A 2019-04-11 2019-04-11 Suction jig Active JP7295366B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019086600A JP7295366B2 (en) 2019-04-11 2019-04-11 Suction jig

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019086600A JP7295366B2 (en) 2019-04-11 2019-04-11 Suction jig

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020172013A true JP2020172013A (en) 2020-10-22
JP7295366B2 JP7295366B2 (en) 2023-06-21

Family

ID=72829730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019086600A Active JP7295366B2 (en) 2019-04-11 2019-04-11 Suction jig

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7295366B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117697503A (en) * 2024-02-04 2024-03-15 成都沃特塞恩电子技术有限公司 Negative pressure adsorption type clamp system, workpiece processing equipment and method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4710331Y1 (en) * 1969-07-03 1972-04-18
JPS5723936U (en) * 1980-07-16 1982-02-06
JPH07204961A (en) * 1994-01-21 1995-08-08 Myotoku Kk Vacuum chuck
JP2002103262A (en) * 2000-09-27 2002-04-09 Nippei Toyama Corp Semiconductor wafer adsorbing device
US20130270757A1 (en) * 2010-12-20 2013-10-17 Thibaut Device forming a workpiece clamp
JP2015205365A (en) * 2014-04-18 2015-11-19 本田技研工業株式会社 Apparatus and method for holding workpiece
JP2016060006A (en) * 2014-09-18 2016-04-25 シャープ株式会社 Work suction holding mechanism

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4710331Y1 (en) * 1969-07-03 1972-04-18
JPS5723936U (en) * 1980-07-16 1982-02-06
JPH07204961A (en) * 1994-01-21 1995-08-08 Myotoku Kk Vacuum chuck
JP2002103262A (en) * 2000-09-27 2002-04-09 Nippei Toyama Corp Semiconductor wafer adsorbing device
US20130270757A1 (en) * 2010-12-20 2013-10-17 Thibaut Device forming a workpiece clamp
JP2015205365A (en) * 2014-04-18 2015-11-19 本田技研工業株式会社 Apparatus and method for holding workpiece
JP2016060006A (en) * 2014-09-18 2016-04-25 シャープ株式会社 Work suction holding mechanism

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117697503A (en) * 2024-02-04 2024-03-15 成都沃特塞恩电子技术有限公司 Negative pressure adsorption type clamp system, workpiece processing equipment and method
CN117697503B (en) * 2024-02-04 2024-05-28 成都沃特塞恩电子技术有限公司 Negative pressure adsorption type clamp system, workpiece processing equipment and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP7295366B2 (en) 2023-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060157905A1 (en) Vacuum hold-down
KR20120114172A (en) Suction apparatus equipped with ejector
US9724806B2 (en) Device for clamping a workpiece to a workbench
JP2020172013A (en) Adsorption jig
CN205438200U (en) A vacuum chuck anchor clamps for magnetically hard material grinds processing
WO2019194049A1 (en) Magnetic chuck
CN102430970A (en) Deep hole type pressure adjustable electromagnetic chuck
CN106034198B (en) Vacuum auxiliary inspection jig and manufacturing method thereof
KR20130005776U (en) vacuum clamping apparatus
CN104227471B (en) Auxiliary air passage frock
CN205888658U (en) Multi -functional vacuum chuck anchor clamps
CN116765649A (en) Adsorption jig and laser cutting equipment
CN201098818Y (en) Double gas circuit vacuum chuck
CN201102148Y (en) Non-revolution body shell type part face turning clamp device
KR20090102568A (en) Ceramic ball panel type air vacuum tight
CN208107265U (en) Vacuum check valve
KR102413544B1 (en) magnet chuck
CN209533174U (en) A kind of vacuum fixture of thin-walled not magnetically attractive workpiece
JPH0617233U (en) Workpiece suction part in chip bonding machine
CN201769069U (en) Suction disc type self-centering device
CN211072729U (en) Clamp fixed by negative pressure
CN214489760U (en) Universal sucker jig
CN216542086U (en) Vacuum adsorption device and numerical control machining equipment thereof
CN214367962U (en) Flexible vacuum chuck
CN218836499U (en) Fixed tool and laser processing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220120

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230112

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230308

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230516

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7295366

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150