JP2020169965A - Acoustic diagnostic device of multiple-train pulse electromagnetic force - Google Patents

Acoustic diagnostic device of multiple-train pulse electromagnetic force Download PDF

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JP2020169965A JP2019073041A JP2019073041A JP2020169965A JP 2020169965 A JP2020169965 A JP 2020169965A JP 2019073041 A JP2019073041 A JP 2019073041A JP 2019073041 A JP2019073041 A JP 2019073041A JP 2020169965 A JP2020169965 A JP 2020169965A
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森 仁
Hitoshi Mori
仁 森
建樹 八島
Kenji Yashima
建樹 八島
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Mat Sendai Kk
MATERIAL SENDAI KK
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Mat Sendai Kk
MATERIAL SENDAI KK
IFG Corp
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Abstract

To provide an acoustic diagnostic device of multiple-train pulse electromagnetic force, which is for non-destructive inspection and which can perform quick and mass measurement by generating multiple trains of pulses in a short period.SOLUTION: An acoustic diagnostic device of multiple-train pulse electromagnetic force includes a pulse coil 2, a multiple-train pulse supply circuit 1, a sensor 11, and a measurement analysis part 15. The circuit 1 includes: a charge/discharge capacitor 3 for plurally and intermittently supplying a charge to the pulse coil 2; a thyristor 4 for making a forward-direction discharge current i flow to the pulse coil 2 by inputting a gate signal; a diode 5 for an inversion current, which is parallely connected to the thyristor 4; and a DC high-voltage power supply 10 for charging the charge/discharge capacitor 3.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、検査対象物(例えば、金属材とCFRPとの接合部材の接合部分の微細な剥離、鉄筋コンクリートの内部欠陥)を短時間且つ高精度で検出できる多連発パルス電磁力を用いた非破壊音響診断装置に関する。 The present invention is non-destructive using multiple pulsed electromagnetic force that can detect an object to be inspected (for example, fine peeling of a joint portion between a metal material and a CFRP, an internal defect of reinforced concrete) in a short time and with high accuracy. Regarding acoustic diagnostic equipment.

非破壊検査とは“物を壊さずに”その検査対象物の内部の傷や表面の傷、或いは劣化の状況を検出する検査技術である。工業製品や各種設備には、その目的に合わせて多種多様な素材が使用され日々稼働している。稼働製品や設備は時間と共に劣化して行くので、それらの安全性を確認しながら可能な限り長期間にわたって利用することが重要である。 Non-destructive inspection is an inspection technique that detects the internal scratches, surface scratches, or deterioration of the object to be inspected "without damaging the object". A wide variety of materials are used for industrial products and various equipment according to their purposes, and they are in operation every day. Since operating products and equipment deteriorate over time, it is important to use them for as long as possible while checking their safety.

非破壊試験は、素材の時点からの加工工程、及び完成時の製品の検査、設備の建設時の検査、保守点検などに適用することにより、製品や設備の信頼性と寿命を長くすることが出来る。主な非破壊検査適用物としては原子力発電所・プラント・鉄道・航空機・橋梁・ビル(鉄筋コンクリート)・地中埋設物などがある。
主な非破壊検査方法としては、目視検査、放射線透過検査、超音波探傷検査、磁気探傷検査、浸透探傷検査、渦流探傷検査、ひずみ測定、漏れ試験、アコースティックエミッション法(以下、AE法という。)、赤外線検査法、パルス電磁力を用いた音響診断法などがある。
Non-destructive testing can be applied to the processing process from the time of the material, the inspection of the product at the time of completion, the inspection at the time of construction of the equipment, the maintenance inspection, etc., so that the reliability and life of the product or equipment can be extended. You can. The main non-destructive inspection applications include nuclear power plants, plants, railways, aircraft, bridges, buildings (reinforced concrete), and underground buried objects.
The main non-destructive inspection methods are visual inspection, radiation transmission inspection, ultrasonic flaw detection inspection, magnetic flaw detection inspection, penetrant inspection, eddy current flaw detection inspection, strain measurement, leak test, acoustic emission method (hereinafter referred to as AE method). , Infrared inspection method, acoustic diagnosis method using pulsed electromagnetic force, etc.

上記の内、パルス電磁力を用いた音響診断法はパルスコイルより発生したパルス磁場を印加することにより、検査対象物内に弾性波を発生させ、その弾性波を検査対象物の表面に設置したセンサ(圧電素子センサ等)によって電気信号に変換して検出し、 且つこれを分析して内部欠陥や表面欠陥を検出する手法である。一般に弾性波は主に超音波領域(数10kHz〜数MHz)の高い周波数成分を持つ。 Among the above, the acoustic diagnostic method using the pulse electromagnetic force generates an elastic wave in the inspection object by applying a pulse magnetic field generated from the pulse coil, and the elastic wave is installed on the surface of the inspection object. This is a method of detecting internal defects and surface defects by converting them into electrical signals using a sensor (piezoelectric element sensor, etc.) and then analyzing them. In general, elastic waves mainly have high frequency components in the ultrasonic region (several tens of kHz to several MHz).

上記音響診断法に用いられる装置(特許文献1)としては、検査対象物600の表面に近接して設置されるパルスコイル200と、該パルスコイル200にスイッチ400を介して直列接続された充放電用コンデンサ300と、該充放電用コンデンサ300に並列接続されたダイオード500と、該パルスコイル200から所定距離Lだけ離間させ、且つ検査対象物600の表面に接して設置されるセンサ700(音響信号を電気信号に変換するアコースティックエミッションセンサー、又は加速度センサ、或いはマイクロホンと、前記充放電用コンデンサ300を充電するための電流を供給する電流源100と、センサ700からの出力波形を計測・解析する計測解析部150(AD変換装置120,アンプ130と波形解析装置140)とで構成されている。 The device (Patent Document 1) used in the acoustic diagnostic method includes a pulse coil 200 installed close to the surface of the inspection object 600, and a charge / discharger connected in series to the pulse coil 200 via a switch 400. A sensor 700 (acoustic signal) installed in parallel with the charging / discharging capacitor 300, a diode 500 connected in parallel to the charging / discharging capacitor 300, and a predetermined distance L from the pulse coil 200, and in contact with the surface of the inspection object 600. An acoustic emission sensor, an acceleration sensor, or a microphone that converts an electric signal into an electric signal, a current source 100 that supplies a current for charging the charging / discharging capacitor 300, and a measurement that measures and analyzes an output waveform from the sensor 700. It is composed of an analysis unit 150 (AD conversion device 120, amplifier 130 and waveform analysis device 140).

電流源100による充放電用コンデンサ300の充電が完了した処で、制御装置400aからの指示により、スイッチ400をオンにして充放電用コンデンサ300から順方向放電電流iを瞬時にパルスコイル200に流して該パルスコイル200よりパルス磁場を発生させる。このパルス磁場より、検査対象物600の内部におけるその表面近傍の導体601に渦電流Uが発生し、この渦電流Uとパルス磁界によるローレンツ力が該導体601に働く。またこの導体601が磁性体であれば、ローレンツ力に加えて、磁界勾配による磁気力および磁歪による歪が該導体601に加わる。これらの複合的な要因により導体601より弾性波Dが発生する。
この弾性波Dは、検査対象物600に欠陥Nがある場合、欠陥Nのない波形と比較してその欠陥Nに起因した波形に変わる。この弾性波Dを上記計測解析部150で計測解析し、欠陥Nの有無、位置、大きさなどを検出する。
When the charging / discharging capacitor 300 by the current source 100 is completed, the switch 400 is turned on according to the instruction from the control device 400a, and the forward discharge current i is instantly flowed from the charging / discharging capacitor 300 to the pulse coil 200. A pulsed magnetic field is generated from the pulse coil 200. From this pulsed magnetic field, an eddy current U is generated in the conductor 601 near the surface of the object to be inspected 600, and the Lorentz force due to the eddy current U and the pulsed magnetic field acts on the conductor 601. If the conductor 601 is a magnetic material, in addition to the Lorentz force, a magnetic force due to a magnetic field gradient and a strain due to magnetostriction are applied to the conductor 601. Due to these complex factors, elastic wave D is generated from the conductor 601.
When the inspection object 600 has a defect N, the elastic wave D changes to a waveform caused by the defect N as compared with a waveform without the defect N. The elastic wave D is measured and analyzed by the measurement analysis unit 150 to detect the presence / absence, position, size, etc. of the defect N.

特許3738424号公報Japanese Patent No. 3738424

特許文献1で用いられる回路(図7)は、充放電用コンデンサ300より電荷をパルスコイル200に放電した際に、パルスコイル200を通過した逆方向電流−iは充放電用コンデンサ300に並列接続されたダイオード500を通ることになり、パルス磁界発生後において、充放電用コンデンサ300には電荷が残らない。それ故、充放電用コンデンサ300を順方向で放電させると、充放電用コンデンサ300は0Vとなり、次の放電に備えて充放電用コンデンサ300に充電しようとすると0Vからの充電となる。その結果、充電時間が長くなり、迅速かつ大量の計測が妨げられる。
ここで、上記順方向放電電流iと充電電流の波形を図7左上のグラフで、放電時間はこの場合では0.3ミリ秒から0.4ミリ秒であり、充電時間は5秒程度であった。
In the circuit (FIG. 7) used in Patent Document 1, when the electric charge is discharged from the charging / discharging capacitor 300 to the pulse coil 200, the reverse current −i passing through the pulse coil 200 is connected in parallel to the charging / discharging capacitor 300. After the pulsed magnetic field is generated, no electric charge remains in the charging / discharging capacitor 300. Therefore, when the charge / discharge capacitor 300 is discharged in the forward direction, the charge / discharge capacitor 300 becomes 0 V, and when the charge / discharge capacitor 300 is to be charged in preparation for the next discharge, the charge starts from 0 V. As a result, the charging time becomes long, and rapid and large-scale measurement is hindered.
Here, the waveforms of the forward discharge current i and the charge current are shown in the upper left graph of FIG. 7. In this case, the discharge time is 0.3 ms to 0.4 ms, and the charge time is about 5 seconds. It was.

そこで充電時間を短縮しようとすると、電流源100の(1)高圧電圧を発生させる昇圧トランスの高圧化・大容量化、(2)昇圧トランスからの電圧を整流するブリッジ回路部の大容量化、(3)充電電流を制限する制限抵抗の大容量化、(4)場合によっては、複数のコンデンサおよび充電回路による多チャンネルシステムの採用が必要となる。これらは、すべて装置サイズ・重量・消費電力の大幅な増大を意味している。このために、非破壊音響診断に適用される、連続パルス発生回路は大きく且つ重く、しかも消費電力が大きいものにならざるを得ない。
しかしながら非破壊音響診断装置は、あらゆる現場に適用することが求められており、軽量小型のハンディタイプのものが要求されている。そして、計測データが多い程、計測結果の精度が向上するので、充放電用コンデンサの充電時間が短いものが要求されている。
Therefore, in order to shorten the charging time, (1) the boost transformer that generates the high voltage of the current source 100 is increased in pressure and capacity, and (2) the capacity of the bridge circuit that rectifies the voltage from the boost transformer is increased. (3) It is necessary to increase the capacity of the limiting resistor that limits the charging current, and (4) in some cases, it is necessary to adopt a multi-channel system with a plurality of capacitors and a charging circuit. All of these mean a significant increase in device size, weight and power consumption. For this reason, the continuous pulse generation circuit applied to the non-destructive acoustic diagnosis must be large and heavy, and consume a large amount of power.
However, the non-destructive acoustic diagnostic apparatus is required to be applied to all sites, and a lightweight and compact handy type is required. The more the measurement data, the higher the accuracy of the measurement result. Therefore, the charging / discharging capacitor is required to have a short charging time.

本発明はこのような従来装置の問題点に鑑みてなされたもので、回路構成の改善により、充放電用コンデンサの充電時間を大幅に短縮して短時間で多連発パルスの発生を可能にし、これによって迅速かつ大量の測定を可能にした、非破壊検査用の多連発パルス電磁力音響診断装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of such problems of the conventional device, and by improving the circuit configuration, the charging time of the charging / discharging capacitor can be significantly shortened, and multiple pulses can be generated in a short time. This provides a multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus for non-destructive inspection, which enables rapid and large-scale measurement.

本発明(多連発パルス電磁力音響診断装置)は、以下の技術を用いて上記の課題を解決した。請求項1に記載の発明(図1(a)(b)、図2(a)(b))は、
検査対象物20の検査対象部位21に渦電流Uを生じさせるパルスコイル2と、
前記パルスコイル2に順方向及びこれに続く逆方向の放電電流i(−i)を所定間隔で供給する多連発パルス供給回路1と、
前記パルスコイル2から離間させ、且つ検査対象物20に接触させ又は近接させて配置され、前記渦電流Uに起因する弾性波Dを録取して電気信号に変換するセンサ11と、
前記センサ11からの出力電気信号を解析して検査対象物20の内部欠陥Nの有無を推定するためのデータを出力する計測解析部15とで構成され、
多連発パルス供給回路1は、
前記パルスコイル2に接続され、充電された電荷を順方向及びこれに続く反転方向の放電電流i(−i)として前記パルスコイル2に複数回、間欠的に供給する充放電用コンデンサ3と、
前記パルスコイル2と前記充放電用コンデンサ3との間に接続され、ゲート信号の入力により前記順方向の放電電流iを前記パルスコイル2に流し、前記パルスコイル2を通過した前記順方向の放電電流iを前記充放電用コンデンサ3に逆極性に充電するサイリスタ4と、
前記サイリスタ4に逆並列接続され、逆極性に充電された前記充放電用コンデンサ3から反転方向の放電電流−iを前記パルスコイル2に流し、前記パルスコイル2を通過した前記逆方向の放電電流-iを前記充放電用コンデンサ3に正極性にて充電する反転電流用ダイオード5と、
前記充放電用コンデンサ3に接続され、該充放電用コンデンサ3を充電する直流高電圧電源10と、で構成されたことを特徴とする。
The present invention (multi-shot pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus) has solved the above problems by using the following techniques. The invention according to claim 1 (FIGS. 1 (a) (b) and 2 (a) (b))
A pulse coil 2 that generates an eddy current U at the inspection target portion 21 of the inspection target 20 and
A multi-repeated pulse supply circuit 1 that supplies discharge currents i (-i) in the forward direction and the reverse direction following the pulse coil 2 at predetermined intervals.
A sensor 11 that is separated from the pulse coil 2 and placed in contact with or close to the inspection object 20 to record an elastic wave D caused by the eddy current U and convert it into an electric signal.
It is composed of a measurement analysis unit 15 that analyzes an output electric signal from the sensor 11 and outputs data for estimating the presence or absence of an internal defect N in the inspection object 20.
The multiple pulse supply circuit 1
A charging / discharging capacitor 3 connected to the pulse coil 2 and intermittently supplying the charged charge to the pulse coil 2 a plurality of times as a discharge current i (−i) in the forward direction and the subsequent reverse direction.
It is connected between the pulse coil 2 and the charge / discharge capacitor 3, and the forward discharge current i is passed through the pulse coil 2 by inputting a gate signal, and the forward discharge passes through the pulse coil 2. A thyristor 4 for charging the charging / discharging capacitor 3 with the opposite polarity,
A discharge current-i in the reverse direction is passed through the pulse coil 2 from the charge / discharge capacitor 3 connected in antiparallel to the psyllista 4 and charged in the opposite polarity, and the discharge current in the reverse direction passes through the pulse coil 2. An inverting current diode 5 for positively charging the charging / discharging capacitor 3 with -i,
It is characterized in that it is composed of a DC high-voltage power supply 10 which is connected to the charging / discharging capacitor 3 and charges the charging / discharging capacitor 3.

請求項2に記載の発明(図1(a)(b)、図2(a)(b))は、請求項1に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置において、
計測解析部15は、
センサ11からの音響アナログ信号をAD変換してデジタル化し、この音響デジタルデータを出力するAD変換装置12と、
前記検査対象物20の欠陥の有無を非破壊的に推定するために前記音響デジタルデータを数値解析をするCPU14と、
音響デジタルデータ及び数値解析されたデータを記憶するメモリ13とを備え、
該CPU14は、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理と、切り分けた複数の応答波形を加算し、パルス数で割って平均化する処理を行い、平均化された応答波形を出力する機能を有することを特徴とする。
The invention according to claim 2 (FIGS. 1 (a) (b) and 2 (a) (b)) is the multiple-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 1.
The measurement analysis unit 15
An AD conversion device 12 that AD-converts and digitizes an acoustic analog signal from the sensor 11 and outputs this acoustic digital data.
A CPU 14 that numerically analyzes the acoustic digital data in order to nondestructively estimate the presence or absence of defects in the inspection object 20.
A memory 13 for storing acoustic digital data and numerically analyzed data is provided.
The CPU 14 performs a process of separating a response waveform for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data, a process of adding a plurality of separated response waveforms, dividing by the number of pulses and averaging, and obtains an averaged response waveform. It is characterized by having a function of outputting.

請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置において、
前記平均化された応答波形に対しフーリエ変換処理を行い、平均化されたフーリエ変換結果を出力することを特徴とする。
The invention according to claim 3 is the multiple pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 2.
The averaged response waveform is subjected to a Fourier transform process, and the averaged Fourier transform result is output.

請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置において、
上記CPU14は、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理の後に行われる、切り分けた複数の応答波形の加算とパルス数で割る平均化処理に代えて、
切り分けた複数の応答波形に対しフーリエ変換処理を行い、複数のフーリエ変換結果を加算し、パルス数で割って平均化する処理を行い、平均化されたフーリエ変換結果を出力することを特徴とする。
The invention according to claim 4 is the multiple pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 2.
The CPU 14 replaces the addition of the separated response waveforms and the averaging process of dividing by the number of pulses, which is performed after the process of separating the response waveforms for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data.
It is characterized by performing a Fourier transform process on a plurality of separated response waveforms, adding a plurality of Fourier transform results, dividing by the number of pulses and averaging, and outputting the averaged Fourier transform result. ..

請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の多連発パルス電磁力音響診断装置において、
サイリスタ4へのゲート信号を、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理の信号とすることを特徴とする。
The invention according to claim 5 is the multiple pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to any one of claims 1 to 4.
The gate signal to the thyristor 4 is used as a signal for processing to separate a response waveform for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data.

本発明によれば、サイリスタ4に対して反転電流用ダイオード5を逆並列に接続してあるので、充放電用コンデンサ3からパルスコイル2に流れた順方向放電電流iの大部分は前記充放電用コンデンサ3に逆極性に充電され、この逆極性に充電された電荷が反転方向放電電流(−i)としてパルスコイル2を逆方向に流れ、反転電流用ダイオード5を介して充放電用コンデンサ3に順方向の電荷として充電される(図5)。
上記のように該充放電用コンデンサ3には、戻ってきた電荷(図5では逆流電流量と表示)による充電量の嵩上げがなされているので、直流高電圧電源10による充電は残部(必要充電量と表示)で足る。換言すれば、嵩上げ分が充電時間の短縮となる。それ故、短時間で多数の音響データを取ることが出来、これを平均化することで測定作業の時間短縮と測定精度の向上が図られる。
According to the present invention, since the inverting current diode 5 is connected to the thylister 4 in antiparallel, most of the forward discharge current i flowing from the charge / discharge capacitor 3 to the pulse coil 2 is the charge / discharge. The capacitor 3 is charged in the opposite polarity, and the charge charged in the opposite polarity flows in the pulse coil 2 in the opposite direction as the inverting current (-i), and the charging / discharging capacitor 3 is passed through the inverting current diode 5. Is charged as a forward charge (Fig. 5).
As described above, the charge / discharge capacitor 3 is charged by the returned charge (indicated as the backflow current amount in FIG. 5), so that the charge by the DC high-voltage power supply 10 is the balance (necessary charge). Amount and display) is sufficient. In other words, the increased amount shortens the charging time. Therefore, a large amount of acoustic data can be obtained in a short time, and by averaging these data, the measurement work time can be shortened and the measurement accuracy can be improved.

(a)は本発明の多連発パルス電磁力音響診断装置の第1実施例の説明図、(b)はその変形例である。(A) is an explanatory diagram of a first embodiment of the multiple-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus of the present invention, and (b) is a modified example thereof. (a)は本発明の多連発パルス電磁力音響診断装置の第2実施例の説明図、(b)はその変形例である。(A) is an explanatory diagram of a second embodiment of the multiple-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus of the present invention, and (b) is a modified example thereof. 本発明における異種材料接合体の検査状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the inspection state of the dissimilar material joint body in this invention. (a)本発明における内部欠陥を有する積層体の検査状態を示す断面図、(b)本発明における内部欠陥を有する鉄筋コンクリートの検査状態を示す断面図である。(A) is a cross-sectional view showing an inspection state of a laminated body having an internal defect in the present invention, and (b) is a sectional view showing an inspection state of a reinforced concrete having an internal defect in the present invention. 本発明の放電時の充電波形と放電波形の図である。It is a figure of the charge waveform and the discharge waveform at the time of discharge of this invention. (a)は間欠的に録取された音響波形図と放電電流、及び切り分け用のサイリスタオン信号との相関図、(b)はパルス同期信号で切り分けたパルス磁場に対する各応答波形である。(A) is a correlation diagram between the intermittently recorded acoustic waveform diagram, the discharge current, and the thyristor-on signal for isolation, and (b) is each response waveform to the pulse magnetic field separated by the pulse synchronization signal. 従来例の説明図である。It is explanatory drawing of the prior art.

以下、本発明を図示実施例に従って説明する。
図1、2は、本発明の多連発パルス電磁力音響診断装置の概略構成であり、図1(a)は第1実施例、同図(b)はその変形例、図2(a)は第2実施例、同図(b)はその変形例である。いずれも回路構成が若干異なるだけで、その作用効果は同じである。
図1、2の多連発パルス電磁力音響診断装置は、パルスコイル2と、電源ケーブルを介してこのパルスコイル2に順(逆)方向の放電パルス電流i(−i)を印加する多連発パルス供給回路1と、検査対象物20の表面に接して又は僅かに離間させた状態で取り付けたセンサ11と、信号ケーブルでこのセンサ11に接続された計測解析部15、直流高電圧電源10及び必要に応じて設けられる表示装置16とで構成されている。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the illustrated examples.
1 and 2 are schematic configurations of the multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus of the present invention, FIG. 1 (a) is a first embodiment, FIG. 1 (b) is a modified example thereof, and FIG. 2 (a) is. The second embodiment and FIG. 6B are modifications thereof. In each case, the circuit configuration is slightly different, but the effects are the same.
The multi-shot pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus of FIGS. 1 and 2 has a multi-shot pulse in which a discharge pulse current i (-i) in a forward (reverse) direction is applied to the pulse coil 2 via a power cable. The supply circuit 1, the sensor 11 attached in contact with or slightly separated from the surface of the inspection object 20, the measurement analysis unit 15 connected to the sensor 11 with a signal cable, the DC high voltage power supply 10, and the necessary It is composed of a display device 16 provided according to the above.

パルスコイル2は、螺旋状に巻かれた電線で構成された単一のコイルから構成されている。パルスコイル2内にコアを用いても良い。
このパルスコイル2は、検査対象物20の表面に隙間(高さ)Hを設けて取り付けられる。検査時点では隙間Hは一定に保持される。
The pulse coil 2 is composed of a single coil composed of spirally wound electric wires. A core may be used in the pulse coil 2.
The pulse coil 2 is attached with a gap (height) H provided on the surface of the inspection object 20. At the time of inspection, the gap H is kept constant.

センサ11は公知のセンサであって、検査対象物20に発生した弾性波D(音響信号)を検出し、アナログ電気信号に変換する器具である。センサ11としては、例えば音響信号を電気信号に変換するAEセンサ、加速度センサ、光計測センサ又はマイクロホンが使われる。ここではマイクロホンが採用されている。センサ11は、検査対象物20の測定面に接して又は僅かに離間させて設置される。 The sensor 11 is a known sensor, which is an instrument that detects an elastic wave D (acoustic signal) generated in an inspection object 20 and converts it into an analog electric signal. As the sensor 11, for example, an AE sensor that converts an acoustic signal into an electric signal, an acceleration sensor, an optical measurement sensor, or a microphone is used. A microphone is used here. The sensor 11 is installed in contact with or slightly separated from the measurement surface of the inspection object 20.

計測解析部15は、センサ11からの音響アナログ信号をAD変換してデジタル化するAD変換装置12と、音響デジタル信号を数値的に解析する演算装置よりなるCPU14と、AD変換装置12からのデジタル化した音響信号とCPU14による演算結果を記憶するメモリ13とを備える。 The measurement analysis unit 15 includes an AD conversion device 12 that AD-converts an acoustic analog signal from the sensor 11 and digitizes it, a CPU 14 including a calculation device that numerically analyzes the acoustic digital signal, and digital from the AD conversion device 12. A memory 13 for storing the digitized acoustic signal and the calculation result by the CPU 14 is provided.

計測解析部15では、センサ11の出力波形をサンプリングし、これをアンプリファイア(図示せず)により増幅すると共に、例えばノイズのような不要な信号をフィルタ(図示せず)などにより除去した後、AD変換装置12でフィルタリングされた前記出力波形をA/D変換し、A/D変換されたデジタルデータをメモリ13に記憶する。
そして、計測解析部15では、音響デジタルデータをメモリ13から随時、読み出し、CPU14にてこの音響デジタルデータを所定の信号処理手順を有するプログラム(例えば、後述する平均処理演算プログラム)に従い所定の演算を行い、その結果をメモリ13に蓄積、または表示装置16を介して表示する。
The measurement and analysis unit 15 samples the output waveform of the sensor 11, amplifies it with an amplifier (not shown), and removes unnecessary signals such as noise with a filter (not shown). The output waveform filtered by the AD conversion device 12 is A / D converted, and the A / D converted digital data is stored in the memory 13.
Then, the measurement analysis unit 15 reads the acoustic digital data from the memory 13 at any time, and the CPU 14 performs a predetermined calculation according to a program having a predetermined signal processing procedure (for example, an average processing calculation program described later). The result is stored in the memory 13 or displayed via the display device 16.

平均処理演算プログラムは、メモリ13に格納されており、CPU14が随時これを読み出して使用する。これを図6に従って説明する。
図6(a)の上段の波形図は、メモリ13に記憶された、センサ11で録取され、A/D変換された一連の音響デジタル波形を表示装置16に出力した図で、短時間で間欠的に記憶された、複数のパルス磁場に対する音響信号と、パルス同期信号及び放電パルス電流i(−i)との関係を示す図である。
上記一連の音響デジタル波形には、複数のパルス磁場に対する音響信号が連なっているため、複数のパルス磁場に対する各音響信号の切り分けのためにパルス同期信号(サイリスタ4のゲート信号)を用いる。パルス同期信号(サイリスタ4のゲート信号)の入力と同時に順方向の放電パルス電流iが流れる。
The average processing calculation program is stored in the memory 13, and the CPU 14 reads and uses it at any time. This will be described with reference to FIG.
The upper waveform diagram of FIG. 6A is a diagram in which a series of acoustic digital waveforms recorded by the sensor 11 and A / D converted stored in the memory 13 are output to the display device 16 in a short time. It is a figure which shows the relationship between the acoustic signal with respect to a plurality of pulse magnetic fields stored intermittently, a pulse synchronization signal, and a discharge pulse current i (−i).
Since acoustic signals for a plurality of pulse magnetic fields are connected in the series of acoustic digital waveforms, a pulse synchronization signal (gate signal of the thylister 4) is used to separate each acoustic signal for the plurality of pulse magnetic fields. A forward discharge pulse current i flows at the same time as the input of the pulse synchronization signal (gate signal of the thyristor 4).

平均処理演算プログラムの第1は、
(1)メモリ13から読み込んだ一連の音響デジタル信号から、パルス同期信号を基準に、パルス電流i(−i)に起因するパルス磁場に対する応答波形をひとつひとつを切り分けるステップ、
(2)切り分けた複数の応答波形、数値的に加算し、パルス数で割って応答波形を平均化するステップ、
(3)平均化された応答波形をFFT(Fast Fourier Transform等のフーリエ変換)を行い平均化されたスペクトルを得るステップ、
(4)得られた、平均化されたスペクトルを表示装置16に表示する又は別の演算過程(例えば、欠陥Nの存在やその位置、大きさなどを非破壊でその推定を可能にさせるピーク検出を行うような演算過程)に出力するステップからなる機能を有する。
The first of the average processing calculation programs is
(1) A step of separating each response waveform to a pulse magnetic field caused by a pulse current i (-i) from a series of acoustic digital signals read from the memory 13 with reference to a pulse synchronization signal.
(2) Multiple response waveforms separated, a step of adding numerically and dividing by the number of pulses to average the response waveforms.
(3) A step of obtaining an averaged spectrum by performing an FFT (Fourier transform such as Fast Fourier Transform) on the averaged response waveform.
(4) The obtained averaged spectrum is displayed on the display device 16 or another calculation process (for example, peak detection that enables non-destructive estimation of the existence, position, size, etc. of the defect N). It has a function consisting of steps to output to the calculation process).

平均処理演算プログラムの第2は、
(1)メモリ13から読み込んだ一連の音響デジタル信号から、パルス同期信号を基準に、パルス電流i(−i)に起因するパルス磁場に対する応答波形をひとつひとつを切り分けるステップ、
(2)切り分けた応答波形にFFT(Fast Fourier Transform等のフーリエ変換)を行いスペクトルを得るステップ、
(3)FFT変換された複数のスペクトルを、数値的に加算し、パルス数で割って応答波形またはスペクトルを平均化するステップ、
(4)平均化されたスペクトルを表示装置16に表示する、または別の演算過程(例えば、欠陥Nの存在やその位置、大きさなどを非破壊でその推定を可能にさせるピーク検出を行うような演算過程)に出力するステップからなる機能を有する。
The second of the average processing arithmetic programs is
(1) A step of separating each response waveform to a pulse magnetic field caused by a pulse current i (-i) from a series of acoustic digital signals read from the memory 13 with reference to a pulse synchronization signal.
(2) A step of obtaining a spectrum by performing an FFT (Fourier transform such as Fast Fourier Transform) on the separated response waveform.
(3) A step of numerically adding a plurality of FFT-transformed spectra and dividing by the number of pulses to average the response waveform or spectrum.
(4) Display the averaged spectrum on the display device 16 or perform peak detection that enables non-destructive estimation of the existence, position, size, etc. of the defect N in another calculation process (for example, It has a function consisting of steps to output to the calculation process).

多連発パルス供給回路1の実施例は、既述のように図1(a)(b)、図2(a)(b)に示す通りで、その作用は同じである。
図1(a)において、パルスコイル2の一方のラインは直流高電圧電源10のプラス端子に接続され、他方のラインはマイナス端子に接続されている。
充放電用コンデンサ3は、両ライン間に設置され、両ラインにてパルスコイル2に接続されている。
サイリスタ4は、パルスコイル2の一方のライン(図の実施例ではプラス側)に於いて、充放電用コンデンサ3の一方の接続端とパルスコイル2のプラス側の接続端との間に接続され、そのカソード側が前記パルスコイル2側に接続され、アノード側が前記充放電用コンデンサ3側に接続されている。即ち、充放電用コンデンサ3からの順方向放電電流iをパルスコイル2に供給するように接続されている。このサイリスタ4のゲートには、サイリスタ4をオン・オフする制御装置4aが接続されている。
An embodiment of the multiple pulse supply circuit 1 is as shown in FIGS. 1 (a) and 2 (b) and 2 (a) and 2 (b) as described above, and the operations are the same.
In FIG. 1A, one line of the pulse coil 2 is connected to the positive terminal of the DC high voltage power supply 10, and the other line is connected to the negative terminal.
The charging / discharging capacitor 3 is installed between both lines and is connected to the pulse coil 2 at both lines.
The thyristor 4 is connected between one connection end of the charging / discharging capacitor 3 and the positive side connection end of the pulse coil 2 in one line of the pulse coil 2 (plus side in the embodiment of the figure). The cathode side is connected to the pulse coil 2 side, and the anode side is connected to the charge / discharge capacitor 3 side. That is, the forward discharge current i from the charge / discharge capacitor 3 is connected so as to be supplied to the pulse coil 2. A control device 4a for turning on / off the thyristor 4 is connected to the gate of the thyristor 4.

反転電流用ダイオード5は、サイリスタ4に逆並列接続され、サイリスタ4に対して反対方向に反転放電電流(−i)を流すように接続されている。
直流高電圧電源10は、上記のように充放電用コンデンサ3に接続され、該充放電用コンデンサ3を充電する。
The inverting current diode 5 is connected to the thyristor 4 in antiparallel, and is connected to the thyristor 4 so as to flow an inverting discharge current (−i) in the opposite direction.
The DC high-voltage power supply 10 is connected to the charging / discharging capacitor 3 as described above, and charges the charging / discharging capacitor 3.

サイリスタ4にゲート信号が入力されると、充放電用コンデンサ3から順方向の放電パルス電流iがパルスコイル2に流れる。この順方向の放電パルス電流iの一部は消費されるが大半の順方向の放電パルス電流iは充放電用コンデンサ3に流れ込み、これを逆極性に充電する。逆極性の充電が終了すると直ちに逆方向に放電し、パルスコイル2で一部消費されて反転方向の放電パルス電流−iが充放電用コンデンサ3に流れ込み、これを正極性に充電する。正極性に充電される電荷は、最初の1/2程度であり、消費された分を補充することで、再放電が可能となる(図5)。 When a gate signal is input to the thyristor 4, a forward discharge pulse current i flows from the charge / discharge capacitor 3 to the pulse coil 2. Although a part of the forward discharge pulse current i is consumed, most of the forward discharge pulse current i flows into the charging / discharging capacitor 3 and charges it in the opposite polarity. Immediately after charging with the opposite polarity is completed, the battery is discharged in the opposite direction, and a part of the discharge pulse current −i in the reverse direction flows into the charging / discharging capacitor 3 which is partially consumed by the pulse coil 2 and is charged positively. The charge charged to the positive electrode is about 1/2 of the initial charge, and re-discharging is possible by replenishing the consumed amount (FIG. 5).

図1(b)は、図1(a)の変形例で、サイリスタ4は、パルスコイル2の他方のライン(図の実施例ではマイナス側)に於いて、充放電用コンデンサ3の一方の接続端とパルスコイル2のプラス側の接続端との間に接続され、そのカソード側が前記充放電用コンデンサ3側に接続され、アノード側が前記パルスコイル2側に接続されている。反転電流用ダイオード5はサイリスタ4に逆並列接続されている。作用は図1(a)と同じである。 FIG. 1B is a modification of FIG. 1A, in which the thyristor 4 is connected to one of the charging / discharging capacitors 3 in the other line of the pulse coil 2 (minus side in the embodiment of the drawing). It is connected between the end and the positive side connection end of the pulse coil 2, its cathode side is connected to the charge / discharge capacitor 3 side, and the anode side is connected to the pulse coil 2 side. The inverting current diode 5 is connected to the thyristor 4 in antiparallel. The action is the same as in FIG. 1 (a).

図2(a)は、本発明の多連発パルス供給回路1の第2実施例で、図1(a)に対して並接続されたサイリスタ4と反転電流用ダイオード5の組と、充放電用コンデンサ3の位置が逆で、充放電用コンデンサ3の一方の接続端がパルスコイル2、他方の接続端がサイリスタ4のアノード側に接続されている。作用は図1(a)と同じである。 FIG. 2A shows a second embodiment of the multiple pulse supply circuit 1 of the present invention, in which a set of a thyristor 4 and an inverting current diode 5 connected in parallel with respect to FIG. 1A, and charging / discharging The positions of the capacitors 3 are reversed, one connection end of the charge / discharge capacitor 3 is connected to the pulse coil 2, and the other connection end is connected to the anode side of the thyristor 4. The action is the same as in FIG. 1 (a).

図2(b)は、図2(a)の変形例で、パルスコイル2の他方のライン(図の実施例ではマイナス側)に於いて、充放電用コンデンサ3の一方の接続端とパルスコイル2のマイナス側の接続端とが接続され、サイリスタ4のアノード側が前記パルスコイル2側に接続され、そのカソード側が前記充放電用コンデンサ3側に接続されている。反転電流用ダイオード5はサイリスタ4に逆並列接続されている。作用は図1(a)と同じである。 FIG. 2B is a modification of FIG. 2A, in which the other line of the pulse coil 2 (minus side in the embodiment of the figure) is connected to one end of the charging / discharging capacitor 3 and the pulse coil. The connection end on the minus side of 2 is connected, the anode side of the thyristor 4 is connected to the pulse coil 2 side, and the cathode side thereof is connected to the charge / discharge capacitor 3 side. The inverting current diode 5 is connected to the thyristor 4 in antiparallel. The action is the same as in FIG. 1 (a).

本発明の多連発パルス供給回路1の各実施例の作用は同じなので、以下、図1(a)の多連発パルス供給回路1を代表例とする。 Since the operation of each embodiment of the multiple-shot pulse supply circuit 1 of the present invention is the same, the multiple-shot pulse supply circuit 1 of FIG. 1A will be used as a representative example below.

次に、本装置を用いた検査対象物20の測定に付いて説明する。パルスコイル2と、パルスコイル2から一定距離Lだけ離したセンサ11とを測定範囲内で一定の間隔で複数点の計測を行う。
測定者が本装置の測定開始ボタン(図示せず)を押して測定を開始すると、それ以後の時点で充放電用コンデンサ3の充電が完了していることを受けて制御装置4aからサイリスタ4をオンにするゲート信号が出力され、充放電用コンデンサ3から順方向の放電電流iがパルスコイル2に流れる。これにより既に述べたように高導電性材料20aに「ローレンツ力と磁界勾配と磁歪の複合」による弾性波Dが、高導電性材料20aを覆う非又は低導電性材料20b(20c)に発生する(図3)。この弾性波Dが前記ノイズと共にセンサ11に録取され、ノイズアナログ信号が重畳した音響アナログ信号がセンサ11から出力される。
これと同時に、上記ゲート信号はCPU14に送られ、メモリ13に記憶される。
Next, the measurement of the inspection object 20 using this apparatus will be described. The pulse coil 2 and the sensor 11 separated from the pulse coil 2 by a certain distance L are measured at a plurality of points at regular intervals within the measurement range.
When the measurer presses the measurement start button (not shown) of the device to start the measurement, the thyristor 4 is turned on from the control device 4a in response to the fact that the charging / discharging capacitor 3 has been charged at a later time. A gate signal is output, and a forward discharge current i flows from the charging / discharging capacitor 3 to the pulse coil 2. As a result, as already described, elastic waves D due to "composite of Lorentz force, magnetic field gradient and magnetostriction" are generated in the highly conductive material 20a in the non- or low conductive material 20b (20c) covering the high conductive material 20a. (Fig. 3). This elastic wave D is recorded in the sensor 11 together with the noise, and an acoustic analog signal on which the noise analog signal is superimposed is output from the sensor 11.
At the same time, the gate signal is sent to the CPU 14 and stored in the memory 13.

上記充放電用コンデンサ3による充放電は短時間で繰り返されるので、短時間の間に大量の音響アナログ信号がセンサ11から出力される。
そしてこのノイズアナログ信号が重畳した音響アナログ信号は増幅され、A/D変換されて順次メモリ13に記憶される。
このよう計測は、検査対象物20の各計測点で行われる。
Since the charging / discharging by the charging / discharging capacitor 3 is repeated in a short time, a large amount of acoustic analog signals are output from the sensor 11 in a short time.
Then, the acoustic analog signal on which the noise analog signal is superimposed is amplified, A / D converted, and sequentially stored in the memory 13.
Such measurement is performed at each measurement point of the inspection object 20.

検査対象物20には、高導電性材料20a、非導電性材料20b、及び低導電性材料20cの単体又はこれらの組み合わせがある。ただし、非導電性材料20bの単体は対象とならない。
高導電性材料20aとは、一般的には合金鋼やアルミニウムなどの金属材料で、電気伝導率が106S/mを越える素材である。
非導電性材料20bとは、電気伝導率が10-4S/mを下回る素材で、セラミックス、GFRP(ガラス繊維強化プラスチック)、プラスチックスなどが代表例である。
低導電性材料20cとは、電気伝導率が10-4〜104S/mの範囲内の素材で、CFRP(炭素繊維強化プラスチック)、CFRC(炭素繊維強化コンクリート)、CNF複合材料(カーボンナノファイバー複合材料で、カーボンナノファイバーをポリエチレンやポリプロピレンなどの高分子材料に分散させた複合体)、CNT複合材料(カーボンナノチューブ複合材料)、固体高分子電解膜などが代表例である。
The inspection object 20 includes a high conductive material 20a, a non-conductive material 20b, and a low conductive material 20c alone or a combination thereof. However, the non-conductive material 20b alone is not a target.
The highly conductive material 20a, generally a metallic material such as alloy steel or aluminum, which is a material of electric conductivity exceeds 10 6 S / m.
The non-conductive material 20b is a material having an electric conductivity of less than 10 -4 S / m, and ceramics, GFRP (glass fiber reinforced plastic), plastics and the like are typical examples.
The low conductivity material 20c is a material having an electric conductivity in the range of 10 -4 to 10 4 S / m, and is a CFRP (carbon fiber reinforced plastic), CFRC (carbon fiber reinforced concrete), CNF composite material (carbon nano). Typical examples of the fiber composite material include a composite in which carbon nanofibers are dispersed in a polymer material such as polyethylene or polypropylene), a CNT composite material (carbon nanotube composite material), and a solid polymer electrolytic film.

高導電性材料20aの単体とは、例えば、金属ブロック、金属配管などや、低導電性材料20cの積層体(シートやフィルム、単板などを何枚か重ね合わせて接着したものである。代表的なものは炭素繊維織物のプリプレグを、その繊維方向を違えて重ね合わせ、硬化させたCFRPがある)が挙げられる。
接合体(強度,剛性,軽量化などの特性向上のために、2種類以上の性質が異なる素材をそれぞれの相を保ったまま界面で強固に結合し,合体・複合した材料をいう)としては、高導電性材料20aに非導電性材料20bを接着した接合体や、高導電性材料20aに低導電性材料20cを接着した接合体が挙げられる。
構造体としては、例えば、鉄筋コンクリートのように、コンクリートのような非導電性材料20bの内部に鉄筋のような高導電性材料20aを埋設したものが挙げられる。
The simple substance of the high conductive material 20a is, for example, a metal block, a metal pipe, or a laminate of the low conductive material 20c (sheets, films, single plates, etc., which are laminated and bonded to each other. There is a CFRP in which prepregs of carbon fiber woven fabrics are laminated in different fiber directions and cured).
As a bonded body (a material in which two or more materials having different properties are firmly bonded at an interface while maintaining their respective phases to improve characteristics such as strength, rigidity, and weight reduction, and combined / composited). Examples thereof include a bonded body in which a non-conductive material 20b is bonded to a highly conductive material 20a, and a bonded body in which a low conductive material 20c is bonded to a highly conductive material 20a.
Examples of the structure include a structure in which a highly conductive material 20a such as a reinforcing bar is embedded inside a non-conductive material 20b such as concrete, such as reinforced concrete.

単体の欠陥Nにはひび割れが挙げられる。
接合体の欠陥Nには内層材と外殻体間の接着接合部分、或いは異種材料構造体の接着接合部分の部分的な境界剥離、外殻体内部の層間剥離・内部剥離、内層材の減肉や疲労亀裂などが挙げられる。
積層体の欠陥Nとしては、層間剥離やトランスバースクラックが挙げられる。
構造体の欠陥Nとしては、鉄筋コンクリートを例に取ると、鉄筋20aの錆や腐食による鉄筋とコンクリートとの間の隙間発生が挙げられる。
A single defect N includes a crack.
Defects N in the joint include partial boundary peeling of the adhesive joint between the inner layer material and the outer shell, or the adhesive joint of different material structures, delamination / internal peeling inside the outer shell, and reduction of the inner layer material. Examples include meat and fatigue cracks.
Examples of the defect N of the laminate include delamination and transverse cracks.
Taking reinforced concrete as an example, the defect N of the structure includes the generation of a gap between the reinforcing bar and the concrete due to rust or corrosion of the reinforcing bar 20a.

なお、接合体や積層体の接合は、接着剤を用いた接着を代表例として説明したが、融着接合でもよい。また、層間剥離は、例えば層間の接合部が接合後に衝撃等で剥離した部分であるが、気泡や異物の存在等により接合が不完全な融着不良部も含む。 Although the bonding using an adhesive has been described as a typical example for joining the bonded body and the laminated body, fusion bonding may also be used. Further, the delamination is, for example, a portion where the joint portion between the layers is peeled off by an impact or the like after joining, but also includes a poorly fused portion where the joining is incomplete due to the presence of air bubbles or foreign matter.

次に、本検査におけるパルスコイル2とセンサ11の設置方法について説明する。図3は内部欠陥Nのある検査対象物(接合体)20を用いる場合を模式的に表したものである。この場合、内部欠陥Nとして接着接合部分Sに幅Kの境界剥離を設けた。勿論、内部欠陥Nは境界剥離に限られず、既述のようなものがある。ここでは、境界剥離を代表例とする。そして、検査対象物20の比較基準となる、内部欠陥Nのないものを基準体(図示せず)とする。基準体は、内部欠陥N以外は検査対象物20と同じ構造を持つ。 Next, a method of installing the pulse coil 2 and the sensor 11 in this inspection will be described. FIG. 3 schematically shows a case where an inspection object (joint) 20 having an internal defect N is used. In this case, a boundary peeling having a width K is provided in the adhesive joint portion S as an internal defect N. Of course, the internal defect N is not limited to the boundary peeling, and there are the above-mentioned ones. Here, boundary peeling is taken as a typical example. Then, a reference body (not shown) having no internal defect N, which is a comparison standard for the inspection object 20, is used. The reference body has the same structure as the inspection object 20 except for the internal defect N.

本検査におけるパルスコイル2とセンサ11の設置方法(検査対象物20、基準体)は、積層体(単体)、構造体の場合も接合体と同じである(図4(a)(b))。検査の基準となるのは、検査対象物20と同一の構造の内部欠陥のない上記基準体である。
いずれの場合も、パルスコイル2は、検査対象物20が接合体又は構造体の場合(図3、図4(b))、その測定面である非又は低導電性材料20b・20cの上面から離間させて(或いは接して)設置し、積層体(単体:図4(a))の場合は一方の面から離間させて(或いは接して)設置する。離間高さをHとする。
The method of installing the pulse coil 2 and the sensor 11 in this inspection (inspection object 20, reference body) is the same as that of the laminated body (single body) and the structure (FIGS. 4 (a) and 4 (b)). .. The standard for inspection is the standard body having the same structure as the object 20 to be inspected and having no internal defects.
In either case, when the inspection object 20 is a bonded body or a structure (FIGS. 3 and 4 (b)), the pulse coil 2 is viewed from the upper surface of the non-or low conductive material 20b / 20c, which is the measurement surface thereof. Install them apart (or in contact with each other), and in the case of a laminated body (single unit: FIG. 4 (a)), install them apart (or in contact with each other) from one surface. Let H be the separation height.

センサ11は、上記のように検査対象物20が接合体、構造体の場合、非又は低導電性材料20b・20c側の表面(即ち、パルス磁場照射面)に接して又は若干離して設置される。検査対象物20が積層体(単体)の場合、その表面(パルス磁場照射面)に接して、又は若干離して設置される。
パルスコイル2との関係では、パルスコイル2から距離Lだけ離れた位置にセンサ11を設置する。
When the inspection object 20 is a bonded body or a structure as described above, the sensor 11 is installed in contact with or slightly separated from the surface (that is, the pulsed magnetic field irradiation surface) on the non-or low conductive material 20b / 20c side. To. When the inspection object 20 is a laminated body (single substance), it is installed in contact with or slightly separated from the surface (pulse magnetic field irradiation surface).
In relation to the pulse coil 2, the sensor 11 is installed at a position separated from the pulse coil 2 by a distance L.

本検査については概略を説明したが、以下、より詳しく説明する。直流高電圧電源10にて充放電用コンデンサ3に充電し、本装置のスタートボタン(図示せず)を押し、制御装置4aの指示によりサイリスタ4をオンにする。これと同時に充放電用コンデンサ3に溜まった電荷が順方向放電パルス電流iとなって、サイリスタ4を通りパルスコイル2に流れる。パルスコイル2に順方向放電パルス電流iが印加されると、パルスコイル2側から検査対象物20(又は基準体)の内部方向にパルス磁場が発生する。 Although the outline of this inspection has been described, it will be described in more detail below. The charge / discharge capacitor 3 is charged by the DC high-voltage power supply 10, the start button (not shown) of the present device is pressed, and the thyristor 4 is turned on according to the instruction of the control device 4a. At the same time, the electric charge accumulated in the charging / discharging capacitor 3 becomes a forward discharge pulse current i, which flows through the thyristor 4 to the pulse coil 2. When the forward discharge pulse current i is applied to the pulse coil 2, a pulse magnetic field is generated from the pulse coil 2 side toward the inside of the inspection object 20 (or the reference body).

パルスコイル2を通過し、消費されなかった残りの順方向放電パルス電流iは、充放電用コンデンサ3に流れ込んでこれを逆極性に荷電し、然る後、この逆極性の電荷が充放電用コンデンサ3から逆方向に反転放電電流(−i)となってパルスコイル2を逆方向に流れる。そして消費されなかった残りの反転放電電流(−i)が反転電流用ダイオード5を通って充放電用コンデンサ3に戻る。この戻った電荷(図5では逆流電流量と表示)が嵩上げとなり、次回の放電のための充電は残部(図5では必要充電量と表示)で足り、嵩上げ分が充電時間の短縮となる。その結果、従来の装置に比べて充放電の間隔を大幅に短くでき、同じ測定時間であれば、大量のデータを得ることが出来る。
なお、図5に示す実施例では、順及び反転方向の放電時間は0.3ミリ秒、充電時間は200ミリ秒と、図6の従来回路(順方向の放電のみで、0.15ミリ秒、充電時間は5秒)より短時間で充放電できる。
The remaining forward discharge pulse current i that has passed through the pulse coil 2 and has not been consumed flows into the charge / discharge capacitor 3 and is charged in the opposite polarity, and then the charge in the opposite polarity is used for charging / discharging. An inverting discharge current (−i) is generated in the reverse direction from the capacitor 3, and flows in the reverse direction through the pulse coil 2. Then, the remaining unconsumed inverting discharge current (−i) passes through the inverting current diode 5 and returns to the charging / discharging capacitor 3. This returned charge (indicated as the amount of backflow current in FIG. 5) is increased, the remaining charge (indicated as the required charge amount in FIG. 5) is sufficient for charging for the next discharge, and the increased amount shortens the charging time. As a result, the charge / discharge interval can be significantly shortened as compared with the conventional device, and a large amount of data can be obtained at the same measurement time.
In the embodiment shown in FIG. 5, the discharge time in the forward and reverse directions is 0.3 ms, the charge time is 200 ms, and the conventional circuit of FIG. 6 (only forward discharge is 0.15 ms). , Charging time is 5 seconds) and can be charged and discharged in a shorter time.

上記のように順(逆)方向放電パルス電流i(−i)によるパルスコイル2側から検査対象物20(又は基準体)の内部方向に順方向の(又は、内部方向から逆方向の)パルス磁場が発生すると、このパルス磁場が、検査面の反対側の、検査対象物20(又は基準体)の高導電性材料20a(又は、高導電性材料20aよりも弱いものの導電性を有する低導電性材料20c)に順方向(逆方向)の渦電流Uを誘起する。
そして、この渦電流Uに伴う磁場とパルス磁場との相互作用力によって、高導電性材料20a(又は低導電性材料20c)が励振され、接合体の場合は、高導電性材料20a(又は低導電性材料20c)、積層体(単体)の場合はその全体(特に、渦電流Uが発生する範囲内)から、鉄筋コンクリートのような構造体からは内部の高導電性材料20aである鉄筋から弾性波Dが発せられる。この弾性波Dは、非又は低導電性材料20b・20cであるコンクリート内を伝達する(図3、図4(b))。
これに対して検査対象物20(又は基準体)が積層体の場合、検査対象物20に渦電流Uが発生し、この渦電流Uに起因する弾性波Dが検査面に伝わる(図4(a))。
As described above, the pulse due to the forward (reverse) direction discharge pulse current i (-i) Pulses in the forward direction (or in the reverse direction from the internal direction) in the internal direction of the inspection object 20 (or reference body) from the coil 2 side. When a magnetic field is generated, this pulsed magnetic field is weaker than the highly conductive material 20a (or the highly conductive material 20a) of the inspection object 20 (or the reference body) on the opposite side of the inspection surface, but has low conductivity. A forward (reverse) eddy current U is induced in the material 20c).
Then, the highly conductive material 20a (or the low conductive material 20c) is excited by the interaction force between the magnetic field and the pulsed magnetic field accompanying the eddy current U, and in the case of a bonded body, the high conductive material 20a (or low) is excited. Conductive material 20c), in the case of a laminated body (single unit), from the whole (particularly within the range where eddy current U is generated), from a structure such as reinforced concrete, it is elastic from the reinforcing bar which is the highly conductive material 20a inside. Wave D is emitted. This elastic wave D is transmitted in concrete which is a non- or low conductive material 20b / 20c (FIGS. 3 and 4 (b)).
On the other hand, when the inspection object 20 (or the reference body) is a laminated body, an eddy current U is generated in the inspection object 20, and an elastic wave D caused by this eddy current U is transmitted to the inspection surface (FIG. 4 (FIG. 4). a)).

上記弾性波Dは、数kHz〜数十kHzという周波数成分を持つ。金属材料では主に100kHz〜300kHzの周波数成分を持つ信号が多く放出される。周波数の高い信号は、空気中では減衰が大きいので、弾性波Dは主に材料中に伝播する。この場合、高導電性材料20aが磁性体であれば、磁気エネルギーに伴う力も励振力に付加され弾性波Dが強化される。(なお、逆方向の渦電流Uは順方向の渦電流Uの終了後、これに続けて発生するが、互いに干渉するようなことはない。) The elastic wave D has a frequency component of several kHz to several tens of kHz. In metal materials, many signals having a frequency component of 100 kHz to 300 kHz are mainly emitted. Since a high frequency signal has a large attenuation in air, the elastic wave D mainly propagates in the material. In this case, if the highly conductive material 20a is a magnetic material, the force associated with the magnetic energy is also added to the exciting force to strengthen the elastic wave D. (Note that the eddy current U in the reverse direction is subsequently generated after the end of the eddy current U in the forward direction, but does not interfere with each other.)

既に述べたように、検査面に伝達された弾性波Dを非又は低導電性材料20b・20cの表面に設置されたセンサ11で検出し、これをの音響アナログ信号に変換する。センサ11はこれを計測解析部15に設置された増幅器(図示せず)に出力する。出力された音響アナログ信号は、増幅器で増幅された後、AD変換装置12に出力される。
増幅された音響アナログ信号は、AD変換装置12でデジタル信号に変換され、メモリ13に出力されてストアされる。
メモリ13には、上記入力した一連の音響データ(時間軸に対して間欠的に録取された音響データ(図6(a)))及びパルス同期信号に関するデータ、その他測定に関するデータが入力され、記憶されている。
As described above, the elastic wave D transmitted to the inspection surface is detected by the sensor 11 installed on the surface of the non- or low conductive material 20b / 20c, and this is converted into an acoustic analog signal. The sensor 11 outputs this to an amplifier (not shown) installed in the measurement analysis unit 15. The output acoustic analog signal is amplified by the amplifier and then output to the AD converter 12.
The amplified acoustic analog signal is converted into a digital signal by the AD conversion device 12, output to the memory 13, and stored.
A series of input acoustic data (acoustic data intermittently recorded with respect to the time axis (FIG. 6A)), data related to a pulse synchronization signal, and other data related to measurement are input to the memory 13. It is remembered.

CPU14は、測定結果の向上のため、1つの測定点における多量の一連の音響データを放電パルス電流i(−i)に対する応答波形に切り分けて平均化処理する必要がある。
そこで、メモリ13から一連の音響データ及びパルス同期信号に関するデータを読み出し、取り込んだ音響データを、パルス同期信号を基準としてひとつひとつの放電パルス電流i(−i)に対する応答波形に切り分ける。
In order to improve the measurement result, the CPU 14 needs to divide a large amount of a series of acoustic data at one measurement point into response waveforms for the discharge pulse current i (−i) and perform averaging processing.
Therefore, a series of acoustic data and data related to the pulse synchronization signal are read from the memory 13, and the captured acoustic data is divided into response waveforms for each discharge pulse current i (−i) with reference to the pulse synchronization signal.

平均化処理は上記の通りである。 The averaging process is as described above.

得られた平均化された応答波形またはスペクトルをメモリ13に記憶させると共に必要に応じて表示装置16に表示、又は/及び下記(イ)〜(ニ)に示す別の演算過程に出力する。 The obtained averaged response waveform or spectrum is stored in the memory 13 and displayed on the display device 16 as necessary, or / and is output to another calculation process shown in (a) to (d) below.

なお、内部欠陥のない基準体についても上記と同じ手順で予めそのデータを入手し、メモリ13に記憶させておく。 It should be noted that the data of the reference body having no internal defects is obtained in advance by the same procedure as described above and stored in the memory 13.

然る後、基準データ(基準弾性波の波形、及びその基準FFTスペクトル)と検査データ(検査弾性波の波形、及びその検査FFTスペクトル)とを比較し、基準体のデータに対する検査データの下記(イ)〜(ニ)に示す1又は複数の項目を選択し、選択された項目の結果を比較して、その特徴部分を抽出し、検査対象物20の内部欠陥Nの有無を推定する。これは、接合体、積層体、構造体、単体いずれの場合も同様に行われる。
(イ) 前記基準弾性波の波形に現れる音の強度と、検査対象物20の弾性波の波形に現れる音の強度の差
(ロ) 前記基準弾性波の波形に対する検査対象物20の弾性波の波形の時間ずれ
(ハ) 前記基準弾性波の波形に対する検査対象物20の弾性波の波形の減衰状態
(ニ) 前記基準弾性波の波形に対する検査対象物20の弾性波の波形の周波数
After that, the reference data (waveform of the reference elastic wave and its reference FFT spectrum) and the inspection data (waveform of the inspection elastic wave and its inspection FFT spectrum) are compared, and the following inspection data for the reference data ( B) Select one or more items shown in (d) to (d), compare the results of the selected items, extract the characteristic portion thereof, and estimate the presence or absence of the internal defect N of the inspection object 20. This is the same for any of the bonded body, laminated body, structure, and simple substance.
(A) Difference between the sound intensity appearing in the waveform of the reference elastic wave and the sound intensity appearing in the waveform of the elastic wave of the inspection object 20 (b) The elastic wave of the inspection object 20 with respect to the waveform of the reference elastic wave. Waveform time lag (c) Damped state of the waveform of the elastic wave of the inspection object 20 with respect to the waveform of the reference elastic wave (d) Frequency of the waveform of the elastic wave of the inspection object 20 with respect to the waveform of the reference elastic wave

本装置を用いた非破壊検査の上記結果(イ)〜(ニ)に基づいて、検査対象物20の欠陥Nの有無、欠陥Nがある場合にはその位置、大きさなどを推定する。本発明では、短時間で大量のデータを得ることが出来るので、平均処理演算を行う事により、より高い精度の検査結果を得ることが出来る。 Based on the above results (a) to (d) of the non-destructive inspection using this device, the presence or absence of the defect N of the inspection object 20, and the position and size of the defect N if any, are estimated. In the present invention, since a large amount of data can be obtained in a short time, a more accurate inspection result can be obtained by performing an average processing calculation.

1:多連発パルス供給回路、2:パルスコイル、3:充放電用コンデンサ、4:サイリスタ、4a:制御装置、5:反転電流用ダイオード、10:直流高電圧電源、11:センサ、12:AD変換装置、13:メモリ、14:CPU、15:計測解析部、16:表示装置、20:検査対象物、20a:高導電性材料、20b:非導電性材料、20c:低導電性材料、21:検査対象部位、100:電流源、200:パルスコイル、300:充放電用コンデンサ、400:スイッチ、400a:制御装置、500:ダイオード、600:検査対象物、700:センサ、D:弾性波、H:隙間(高さ)、K:欠陥の幅、L:間隔、N:欠陥、U:渦電流i:順方向放電電流(パルス電流)、−i:反転方向放電電流(パルス電流) 1: Multiple pulse supply circuit, 2: Pulse coil, 3: Charging / discharging capacitor, 4: Cylister, 4a: Control device, 5: Inverting current diode, 10: DC high voltage power supply, 11: Sensor, 12: AD Conversion device, 13: Memory, 14: CPU, 15: Measurement and analysis unit, 16: Display device, 20: Inspection object, 20a: Highly conductive material, 20b: Non-conductive material, 20c: Low conductivity material, 21 : Inspection target part, 100: Current source, 200: Pulse coil, 300: Charging / discharging capacitor, 400: Switch, 400a: Control device, 500: Diode, 600: Inspection target, 700: Sensor, D: Elastic wave, H: Gap (height), K: Defect width, L: Spacing, N: Defect, U: Vortex current i: Forward discharge current (pulse current), -i: Reverse discharge current (pulse current)

Claims (5)

検査対象物の検査対象部位に渦電流を生じさせるパルスコイルと、
前記パルスコイルに順方向及びこれに続く逆方向の放電電流を所定間隔で供給する多連発パルス供給回路と、
前記パルスコイルから離間させ、且つ検査対象物に接触させ又は近接させて配置され、前記渦電流に起因する弾性波を録取して電気信号に変換するセンサと、
前記センサからの出力電気信号を解析して検査対象物の内部欠陥の有無を推定するためのデータを出力する計測解析部とで構成された多連発パルス電磁力音響診断装置において、
前記多連発パルス供給回路は、
前記パルスコイルに接続され、充電された電荷を順方向及びこれに続く反転方向の放電電流として前記パルスコイルに複数回、間欠的に供給する充放電用コンデンサと、
前記パルスコイルと前記充放電用コンデンサとの間に接続され、ゲート信号の入力により前記順方向の放電電流を前記パルスコイルに流し、前記パルスコイルを通過した前記順方向の放電電流を前記充放電用コンデンサに逆極性に充電するサイリスタと、
前記サイリスタに逆並列接続され、逆極性に充電された前記充放電用コンデンサから反転方向の放電電流を前記パルスコイルに流し、前記パルスコイルを通過した前記逆方向の放電電流を前記充放電用コンデンサに正極性にて充電する反転電流用ダイオードと、
前記充放電用コンデンサに接続され、該充放電用コンデンサを充電する直流高電圧電源と、で構成されたことを特徴とする多連発パルス電磁力音響診断装置。
A pulse coil that generates an eddy current at the inspection target site of the inspection target,
A multi-shot pulse supply circuit that supplies discharge currents in the forward direction and the reverse direction following the pulse coil at predetermined intervals, and
A sensor that is separated from the pulse coil and placed in contact with or close to the inspection object to record elastic waves caused by the eddy current and convert them into electrical signals.
In a multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus composed of a measurement analysis unit that analyzes an output electric signal from the sensor and outputs data for estimating the presence or absence of internal defects in the inspection object.
The multiple pulse supply circuit
A charging / discharging capacitor connected to the pulse coil and intermittently supplying the charged charge to the pulse coil multiple times as a discharge current in the forward direction and the subsequent reverse direction.
It is connected between the pulse coil and the charge / discharge capacitor, the forward discharge current is passed through the pulse coil by inputting a gate signal, and the forward discharge current that has passed through the pulse coil is charged / discharged. A thyristor that charges the capacitor with the opposite polarity,
A discharge current in the reverse direction is passed through the pulse coil from the charge / discharge capacitor which is connected in antiparallel to the thyristor and charged in the opposite polarity, and the discharge current in the reverse direction that has passed through the pulse coil is passed through the pulse coil. Inverted current capacitor that charges positively
A multi-shot pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus comprising a DC high-voltage power supply connected to the charging / discharging capacitor and charging the charging / discharging capacitor.
計測解析部は、
センサからの音響アナログ信号をAD変換してデジタル化し、この音響デジタルデータを出力するAD変換装置と、
前記検査対象物の欠陥の有無を非破壊的に推定するために前記音響デジタルデータを数値解析をするCPUと、
音響デジタルデータ及び数値解析されたデータを記憶するメモリとを備え、
該CPUは、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理と、切り分けた複数の応答波形を加算し、パルス数で割って平均化する処理を行い、平均化された応答波形を出力する機能を有することを特徴とする請求項1に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置。
The measurement analysis department
An AD conversion device that AD-converts and digitizes the acoustic analog signal from the sensor and outputs this acoustic digital data,
A CPU that numerically analyzes the acoustic digital data in order to nondestructively estimate the presence or absence of defects in the inspection object.
Equipped with a memory for storing acoustic digital data and numerically analyzed data
The CPU performs a process of separating a response waveform for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data, a process of adding a plurality of separated response waveforms, dividing by the number of pulses and averaging, and obtains the averaged response waveform. The multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the device has a function of outputting.
前記平均化された応答波形に対しフーリエ変換処理を行い、平均化されたフーリエ変換結果を出力することを特徴とする請求項2に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置。 The multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 2, wherein the averaged response waveform is subjected to a Fourier transform process and the averaged Fourier transform result is output. 上記CPUは、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理の後に行われる、切り分けた複数の応答波形の加算とパルス数で割る平均化処理に代えて、
切り分けた複数の応答波形に対しフーリエ変換処理を行い、複数のフーリエ変換結果を加算し、パルス数で割って平均化する処理を行い、平均化されたフーリエ変換結果を出力することを特徴とする請求項2に記載の多連発パルス電磁力音響診断装置。
The CPU replaces the addition of the separated response waveforms and the averaging process of dividing by the number of pulses, which is performed after the process of separating the response waveforms for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data.
It is characterized by performing a Fourier transform process on a plurality of separated response waveforms, adding a plurality of Fourier transform results, dividing by the number of pulses and averaging, and outputting the averaged Fourier transform result. The multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to claim 2.
サイリスタへのゲート信号を、取り込んだ音響デジタルデータから各パルス磁場に対する応答波形を切り分ける処理の信号とすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多連発パルス電磁力音響診断装置。 The multi-pulse electromagnetic force acoustic diagnostic apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the gate signal to the thyristor is a signal for processing to separate a response waveform for each pulse magnetic field from the captured acoustic digital data. ..
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