JP2020159759A - 画像処理方法及び測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る測定装置を示すブロック図である。
次に、画像のつなぎ合わせ処理について、図2から図10を参照して説明する。図2及び図3は、画像のつなぎ合わせ処理を説明するための図である。
ここで、tはサンプリング時間であり、mは遅延である。なお、インターフェログラムf及びgは、干渉対物レンズ66の高さ(Z座標)の関数として表してもよい。
次に、本実施形態に係る測定方法について説明する。
Claims (4)
- 被測定物を領域ごとに撮像した複数の画像を取得するステップと、
前記複数の画像に含まれる各画素の干渉波形を取得するステップと、
前記複数の画像を合成するときに、前記複数の画像における対応点の干渉波形から相互相関関数を求め、前記相互相関関数の最大値から相関係数を算出するステップと、
前記相関係数がより大きい値をとるように、前記複数の画像の位置合わせを行う画像処理ステップと、
を含む画像処理方法。 - 前記画像処理ステップでは、前記複数の画像における対応点の間の距離が収束し、かつ、前記相関係数がより大きい値をとるように、前記複数の画像の位置合わせを行う、請求項1記載の画像処理方法。
- 被測定物を領域ごとに撮像した複数の画像を取得する画像取得部と、
前記複数の画像に含まれる各画素の干渉波形を取得する干渉波形取得部と、
前記複数の画像を合成するときに、前記複数の画像における対応点の干渉波形から相互相関関数を求め、前記相互相関関数の最大値から相関係数を算出する算出部と、
前記相関係数がより大きい値をとるように、前記複数の画像の位置合わせを行う画像処理部と、
を備える測定装置。 - 前記干渉波形を保存する記憶部をさらに備え、
前記干渉波形取得部は、前記複数の画像に含まれる画素のうち前記位置合わせに用いる画素のみについて前記干渉波形を取得して前記記憶部に保存する、請求項3記載の測定装置。
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