JP2020155766A - 自発光素子及び自発光素子の製造方法、並びに自発光表示装置、電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1にもあるように、従来の有機EL素子は、陰極と有機発光層の間に、有機発光層への電子の移動を容易にするために、有機材料に低仕事関数のアルカリ金属やアルカリ土類金属をドープした電子輸送層を介在させ、これにより良好なキャリアバランスを維持して有機発光層における発光効率が最適になるように構成されている。
本開示の一態様に係る自発光素子は、第1電極と、前記第1電極の上方に配された発光層と、前記発光層上方に配され、金属がドープされた機能層と、前記機能層の上方に配された第2電極と、を備え、前記機能層は、3層以上の多層構造を有し、その最上層と最下層の間の中間層における金属のドープ濃度が、前記最上層と前記最下層における金属のドープ濃度よりも低い。
以下、本開示の一態様として、自発光素子が有機EL素子である場合、および当該有機EL素子を用いた有機ELパネル、有機EL表示装置について、図面を参照しながら説明する。なお、図面は、模式的なものを含んでおり、各部材の縮尺や縦横の比率などが実際とは異なる場合がある。
図1は、本実施形態に係る有機EL表示装置1の全体構成を示すブロック図である。有機EL表示装置1は、例えば、テレビ、パーソナルコンピュータ、携帯端末、業務用ディスプレイ(電子看板、商業施設用大型スクリーン)などに用いられる表示装置である。
(A)平面構成
図2は、有機ELパネル10の画像表示面の一部を拡大した模式平面図である。有機ELパネル10では、一例として、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)(以下、単にR、G、Bともいう。)にそれぞれ発光する副画素100R、100G、100Bが行列状に配列されている。副画素100R、100G、100Bは、X方向に交互に並び、X方向に並ぶ一組の副画素100R、100G、100Bが、一つの画素Pを構成している。
図3は、図2のA−A線に沿った模式断面図である。
基板21は、絶縁材料からなる基材上に各有機EL素子2の駆動回路であるTFT(Thin Film Transistor)層を形成し、その上にさらに層間絶縁層を形成してなる。TFT層には、副画素ごとに公知の駆動回路が形成されている。
画素電極11は、基板21の層間絶縁層上に形成されている。画素電極11は、副画素毎に設けられ、コンタクトホールを通じて対応するTFT層の駆動回路と電気的に接続されている。画素電極11は、光反射性の金属材料からなる金属層を含み、本実施形態においては陽極として機能する。
隔壁22は、画素電極11の上面の一部の領域を露出させ、その周辺の領域を被覆した状態で基板21上に形成されている。
正孔注入層12は、画素電極11から有機発光層14への正孔の注入を促進させる目的で、画素電極11上に設けられている。正孔注入層12は、例えば、Ag(銀)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Ni(ニッケル)、Ir(イリジウム)などの酸化物、あるいは、PEDOT(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料からなる。これらのうち、酸化金属からなる正孔注入層12は、仕事関数が大きく、有機発光層14に対し安定的に正孔を注入する。
正孔輸送層13は、正孔注入層12から注入された正孔を有機発光層14へ輸送する機能を有する。正孔輸送層13は、例えば、ポリフルオレンやその誘導体、あるいは、ポリアリールアミンやその誘導体などの高分子化合物などからなる。
有機発光層14は、隔壁22の開口部22a(図7(f)等参照)内に形成されており、正孔と電子の再結合により、R、G、Bの各色の光を発光する機能を有する。
電子輸送層(機能層)23は、対向電極18から供給される電子を有機発光層14側へと注入・輸送する機能を有するものであって、本実施形態では、有機発光層14側から順に第1層部分15、第2層部分16、第3層部分17を積層してなる3層構造としている。
対向電極18は、透光性の導電性材料からなり、電子輸送層23の上に形成されている。対向電極18は、陰極として機能する。
上記対向電極18上には、有機発光層14、電子輸送層23などが水分や酸素等に触れて劣化することを抑制する目的で、封止部26が形成されている。
次に、上記実施形態に係る有機EL素子の駆動電圧の経時的な変化について評価実験を行った。
以下では、有機EL素子2の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
基材上に、公知のTFTの製造方法によりTFT層を成膜し、TFT層上に層間絶縁層を形成して、基板21を準備する(図7(a))。
次に、図7(b)に示すように、基板21上に画素電極11を形成する。
次に、画素電極11上に、隔壁22の材料である隔壁用樹脂を一様に塗布し、隔壁材料層を形成する。隔壁用樹脂には、例えば、ポジ型の感光性材料であるフェノール樹脂が用いられる。この隔壁材料層に露光と現像を行うことで隔壁22の形状にパターン形成し、焼成することによって隔壁22を形成する(図7(c))。この焼成は、例えば、150℃以上210℃以下の温度で60分間行う。生成された隔壁22によって、有機発光層14の形成領域となる開口部22aが規定される。
マスク蒸着法や、インクジェットによる塗布法によって、開口部22a内に正孔注入層12の材料を成膜し、図7(d)に示すように、正孔注入層12を形成する。
次に、開口部22a内の正孔注入層12上に、正孔輸送層13の構成材料を含むインクを塗布し、焼成(乾燥)を経て、図7(e)に示すように正孔輸送層13を形成する。
次に、各開口部22aに対応する発光色の有機発光材料を含むインクを、印刷装置により順次吐出して開口部22a内の正孔輸送層13上に塗布する(図7(f))。
次に、電子輸送層23を形成する。
次に、図8(d)に示すように、電子輸送層23上に、対向電極18を形成する。本実施形態では、対向電極18は、銀、アルミニウム等を、スパッタリング法、真空蒸着法により成膜することにより形成される。あるいは。ITO、IZOなどの当面導電膜を真空蒸着するようにしても構わない。
封止部26は、樹脂封止層24とガラス封止層25を積層してなる。
(1)以上、説明したように仕事関数の低いアルカリ金属等が、電子輸送層にドープされることにより、電子注入性を向上させるという優れた特性を有する一方、活性が高いため酸素イオン等を内部に引き寄せる作用も有している。
以上、本発明の一態様として、有機EL素子、及び有機EL素子の製造方法などの実施形態について説明したが、本発明は、その本質的な特徴的構成要素を除き、上記実施形態により何ら限定を受けるものではない。以下では、本開示の他の態様を変形例として説明する。
上記実施形態では、有機EL素子の積層構造として、正孔注入層12、正孔輸送層13、電子輸送層23を有する構成であるとしたが、これに限られない。例えば、正孔輸送層13を有しない有機EL素子であってもよい。また、例えば、正孔注入層12と正孔輸送層13とに代えて、単一層の正孔注入・輸送層を有していてもよい。
≪補足≫
以上、本開示に係る自発光素子およびその製造方法、並びに自発光表示装置、電子機器について、実施形態および変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施形態および変形例に限定されるものではない。上記実施形態および変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で実施形態および変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
2 有機EL素子
10 有機ELパネル
11 画素電極(第1電極)
12 正孔注入層
13 正孔輸送層
14 有機発光層
15 第1層部分
16 第2層部分(中間層)
17 第3層部分
18 対向電極(第2電極)
21 基板
22 隔壁
23、230 電子輸送層(機能層)
24 樹脂封止層
25 ガラス封止層
26 封止部
27 ブロック層
28 保護層
100B、100G、100R 副画素
151 第1領域(発光層側領域)
161 第2領域(中間領域)
171 第3領域(第2電極側領域)
Claims (16)
- 第1電極と、
前記第1電極の上方に配された発光層と、
前記発光層上方に配され、金属がドープされた機能層と、
前記機能層の上方に配された第2電極と、
を備え、
前記機能層は、3層以上の多層構造を有し、その最上層と最下層の間の中間層における金属のドープ濃度が、前記最上層と前記最下層における金属のドープ濃度よりも低い
ことを特徴とする自発光素子。 - 前記第1電極は陽極であり、前記第2電極は陰極であり、前記機能層にドープされた金属は、アルカリ金属、アルカリ土類金属および希土類金属に属する金属群から選択された1または2以上の金属である
ことを特徴とする請求項1に記載の自発光素子。 - 前記機能層は、ホスト材料として電子輸送性および/または電子注入性を有する有機材料を含む
ことを特徴とする請求項1または2に記載の自発光素子。 - 前記中間層には、前記金属がドープされていないノンドープ層が含まれる
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれかに記載の自発光素子。 - 前記ノンドープ層の膜厚は、5nm以上である
ことを特徴とする請求項4に記載の自発光素子。 - 前記機能層は、3層構造である
ことを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載の自発光素子。 - 前記機能層の前記最下層および前記最上層の各層の膜厚は、5nm以上30nm以下である
ことを特徴とする請求項1から6までのいずれかに記載の自発光素子。 - 前記機能層の前記最下層および前記最上層の各層における金属のドープ濃度は、10wt%以上60wt%以下である
ことを特徴とする請求項1から7までのいずれかに記載の自発光素子。 - 前記機能層の前記最下層における金属のドープ濃度は、前記最上層における金属のドープ濃度よりも高い
ことを特徴とする請求項1から8までのいずれかに記載の自発光素子。 - 第1電極と、
前記第1電極の上方に配された発光層と、
前記発光層上方に配され、金属がドープされた機能層と、
前記機能層の上方に配された第2電極と、
を備え、
前記機能層が、その膜厚方向において、前記発光層側の領域と、前記第2電極側の領域と、前記発光層側の領域と前記第2電極側の領域間の中間領域と、に分かれており、前記中間領域の金属のドープ濃度が、前記発光層側の領域および前記第2電極側の領域の各ドープ濃度よりも低い
ことを特徴とする自発光素子。 - 前記発光層は、塗布膜である
ことを特徴とする請求項1から10までのいずれかに記載の自発光素子。 - 基板上方に、請求項1から11までのいずれか1項に記載の自発光素子を複数、行列状に配列してなる自発光パネルと、前記自発光パネルを駆動して画像を表示させる駆動部と
を備える自発光表示装置。 - 画像表示部として請求項12に記載の自発光表示装置を備えた
電子機器。 - 第1電極を形成する第1工程と、
前記第1電極の上方に発光層を形成する第2工程と、
前記発光層上方に、金属がドープされた層を含む3層以上の多層構造の機能層を形成する第3工程と、
前記機能層の上方に、第2電極を形成する第4工程と、
を含み、
前記多層構造の機能層は、その最上層と最下層の間の中間層における金属のドープ濃度が、前記最上層と前記最下層における金属のドープ濃度よりも低い
ことを特徴とする自発光素子の製造方法。 - 前記中間層には、前記金属がドープされていないノンドープ層が含まれる
ことを特徴とする請求項14に記載の自発光素子の製造方法。 - 第1電極を形成する第1工程と、
前記第1電極の上方に発光層を形成する第2工程と、
前記発光層上方に、金属がドープされた機能層を形成する第3工程と、
前記機能層の上方に、第2電極を形成する第4工程と、
を含み、
前記機能層が、その膜厚方向において、前記発光層側の領域と、前記第2電極側の領域と、前記発光層側の領域と前記第2電極側の領域との間の中間領域と、に分かれており、前記中間領域の金属のドープ濃度が、前記発光層側の領域および前記第2電極側の領域の各ドープ濃度よりも低い
ことを特徴とする自発光素子の製造方法。
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