JP2020140177A - Optical sensor module - Google Patents

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寛之 岸田
Hiroyuki Kishida
寛之 岸田
洋介 内田
Yosuke Uchida
洋介 内田
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Abstract

To provide an optical sensor module with a small amount of ghost image.SOLUTION: An optical sensor module 1 comprises a near-infrared absorption filter 4 including a near-infrared absorption layer between an optical sensor 5 and an optical filter 3 transmitting light of at least part of wavelength of wavelengths 800-1200 nm. When a wavelength, among light incident from a vertical direction of the optical filter, having the highest transmissivity in wavelengths 800-1200 nm is denoted by λOMAX (nm), an average value of transmissivities of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorption filter in wavelengths (λOMAX-15) nm to (λOMAX+15) nm is 20-85%.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光学センサーモジュールに関する。 The present invention relates to an optical sensor module.

近年、スマートフォン、タブレット端末、ウェアラブル機器等のモバイル情報端末装置用途、先進運転支援システム用途、自動運転システム用途、航空機用途、無人航空機(ドローン)用途、ロボット用途、農機用途、医療器具用途などとして、人の眼に見えない利点を生かし、近赤外線を用いた、光学センサーモジュールを有する各種光学撮像装置などの光学センサー装置の開発が進められている。 In recent years, as mobile information terminal devices such as smartphones, tablet terminals, wearable devices, advanced driver assistance systems, autonomous driving systems, aircraft, unmanned aircraft (drone), robots, agricultural machinery, medical equipment, etc. Taking advantage of the invisible advantage of the human eye, the development of optical sensor devices such as various optical image pickup devices having an optical sensor module using near infrared rays is underway.

このような光学センサー装置は、様々な用途への適用が検討されており、例えば、距離測定などの空間認識用途、モーション認識用途、個体識別、顔認証、虹彩認証、網膜認証、静脈認証などのセキュリティ用途、脈拍測定や血中酸素濃度測定、測定対象者のストレスチェックなどのヘルスケア用途、農作物や果実の品質検査、生育度合いの検出などの農業用途が挙げられる。 Applications of such optical sensor devices are being studied for various purposes, such as space recognition applications such as distance measurement, motion recognition applications, individual identification, face authentication, iris authentication, retina authentication, and vein authentication. These include security applications, pulse measurement, blood oxygen concentration measurement, healthcare applications such as stress check of the person to be measured, quality inspection of agricultural products and fruits, and agricultural applications such as detection of growth degree.

例えば、ガラス基板上に、高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層した誘電体多層膜を設けた光学フィルターにより、可視光線をカットし、特定波長の近赤外線を透過させることが開示されている(例えば、特許文献1参照)。 For example, it is disclosed that visible light is cut and near infrared rays of a specific wavelength are transmitted by an optical filter provided with a dielectric multilayer film in which high refractive index materials and low refractive index materials are alternately laminated on a glass substrate. (See, for example, Patent Document 1).

前記特許文献1に記載されているような、誘電体多層膜による特定の波長の光を透過する光学フィルターは、阻止波長と透過波長間の遷移領域が狭く、急峻なカットが可能である。しかしながら、このような誘電体多層膜を形成した光学フィルターのみを、レンズと光学センサーとの間に組み込んだ光学撮像装置やセンサーでは、光学センサー側から光学フィルターに光が入射することがあり、この場合、該光学フィルターが高い反射率を有していることに起因し、このように光学フィルターに入射した光が光学フィルターにおいて反射し、図3(A)に示すような光路13によるゴーストが発生することが分かった。 An optical filter that transmits light of a specific wavelength by a dielectric multilayer film as described in Patent Document 1 has a narrow transition region between a blocking wavelength and a transmitting wavelength, and can cut sharply. However, in an optical image pickup device or sensor in which only an optical filter having such a dielectric multilayer film formed is incorporated between a lens and an optical sensor, light may be incident on the optical filter from the optical sensor side. In this case, due to the high reflectance of the optical filter, the light incident on the optical filter is reflected by the optical filter, and ghosts are generated by the optical path 13 as shown in FIG. 3A. I found out that

また、図3(A)に示すような光路13によるゴーストは、光学センサー表面と光学フィルター間の反射、具体的には、光学フィルターを透過後、光学センサー表面で反射し、該光学フィルターを透過した際とは異なる角度で再度光学フィルターに入射し、反射した光に起因する。このため、入射角依存性の少ない特定波長の近赤外線を透過させる光学フィルターを用いることで、このようなゴーストを低減することが予想される。 Further, the ghost due to the optical path 13 as shown in FIG. 3A is reflected between the optical sensor surface and the optical filter, specifically, after passing through the optical filter, reflected on the optical sensor surface and transmitted through the optical filter. This is due to the reflected light that is incident on the optical filter again at a different angle than when it was used. Therefore, it is expected that such ghosts will be reduced by using an optical filter that transmits near infrared rays of a specific wavelength with little dependence on the incident angle.

このような入射角度依存性の少ない特定波長の近赤外線を透過させる光学フィルターとして、例えば、アモルファスシリコンを含む多層膜を有する光学フィルター(例えば、特許文献2参照)、誘電体多層膜における高屈折率層の割合を多くした設計による光学フィルター(例えば、特許文献3、4参照)、基板上に、干渉型フィルターと吸収型フィルターとを設けたフィルター構造(例えば、特許文献5参照)、特定化合物を含む樹脂層と誘電体多層膜とを有する光学フィルター(例えば、特許文献6)が知られている。 As an optical filter that transmits near infrared rays of a specific wavelength with little dependence on the incident angle, for example, an optical filter having a multilayer film containing amorphous silicon (see, for example, Patent Document 2), and a high refractive index in a dielectric multilayer film. An optical filter designed with a large proportion of layers (see, for example, Patent Documents 3 and 4), a filter structure in which an interference type filter and an absorption type filter are provided on a substrate (see, for example, Patent Document 5), and a specific compound. An optical filter having a resin layer containing the resin layer and a dielectric multilayer film (for example, Patent Document 6) is known.

特開2015−184627号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-184627 米国特許出願公開第2017/0336544号明細書U.S. Patent Application Publication No. 2017/0336544 特開2015−111241号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-11241 国際公開第2013/015303号International Publication No. 2013/015303 特開2018−194809号公報JP-A-2018-194809 国際公開第2017/213047号International Publication No. 2017/213047

近年急速に小型化・軽量化が進むモバイル情報端末装置用途や、自動運転システム用途、航空機用途、無人航空機用途、ロボット用途などでは、屋外で使用される場合も多く、より距離の離れた物体を撮像および検出する場合があり、この場合、センサー感度を高感度に設定する必要がある場合がある。近赤外線に対するセンサー感度は可視光線に対するセンサー感度よりも高いことが多いうえに、このように、センサー感度を高感度に設定した場合、より小さなゴーストも検出されやすくなる。 In recent years, mobile information terminal devices, which are rapidly becoming smaller and lighter, automatic driving systems, aircraft, unmanned aerial vehicles, robots, etc., are often used outdoors, and objects that are farther away can be used. It may be imaged and detected, in which case it may be necessary to set the sensor sensitivity to high sensitivity. The sensor sensitivity to near infrared rays is often higher than the sensor sensitivity to visible light, and when the sensor sensitivity is set to high sensitivity in this way, even smaller ghosts are more likely to be detected.

前記従来の光学フィルターのみを光学センサーモジュールに用いた場合、ゴーストが起こりやすく、ゴースト強度が高かった。このようなゴーストの生じる光学センサーモジュールを用いると、正しい検出とは異なる誤認が発生するため、前記用途に好適に使用できない場合があった。 When only the conventional optical filter was used for the optical sensor module, ghosting was likely to occur and the ghost intensity was high. When an optical sensor module in which such a ghost occurs is used, a misidentification different from the correct detection occurs, so that it may not be suitable for the above-mentioned application.

本発明は、以上のことに鑑みてなされたものであり、ゴースト量の少ない光学センサーモジュールを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an optical sensor module having a small amount of ghost.

本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した結果、下記構成例によれば、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明の構成例を以下に示す。 As a result of diligent studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved according to the following configuration example, and have completed the present invention. A configuration example of the present invention is shown below.

[1] 光学センサーと、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過する光学フィルターとの間に、近赤外線吸収層を有する近赤外線吸収フィルターを具備し、
前記光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値が20〜85%である、
光学センサーモジュール。
[1] A near-infrared absorbing filter having a near-infrared absorbing layer is provided between an optical sensor and an optical filter that transmits light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the optical filter is λO MAX (nm) at a wavelength of 800 to 1200 nm,
The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 20 to 85%.
Optical sensor module.

[2] 前記近赤外線吸収フィルターが下記要件(1)を満たす、[1]に記載の光学センサーモジュール。
要件(1):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける反射率の平均値が7%以下
[2] The optical sensor module according to [1], wherein the near-infrared absorbing filter satisfies the following requirement (1).
Requirement (1): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 7. %Less than

[3] 前記光学フィルターが下記要件(3)を満たす、[1]または[2]に記載の光学センサーモジュール。
要件(3):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長400nm〜(λOMAX−30)nmにおける透過率の平均値が5%以下
[3] The optical sensor module according to [1] or [2], wherein the optical filter satisfies the following requirement (3).
Requirement (3): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength of 400 nm to (λO MAX -30) nm is 5% or less.

[4] 前記光学フィルターが下記要件(4)を満たす、[1]〜[3]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。
要件(4):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX+40)nm〜1250nmにおける透過率の平均値が5%以下
[4] The optical sensor module according to any one of [1] to [3], wherein the optical filter satisfies the following requirement (4).
Requirement (4): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength (λO MAX +40) nm to 1250 nm is 5% or less.

[5] 前記光学フィルターの前記光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有する、[1]〜[4]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [5] The method according to any one of [1] to [4], wherein the optical sensor side of the optical filter has an antireflection layer for preventing reflection of light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm. Optical sensor module.

[6] 前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率の値をTO(λOMAX)[×100%]とし、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率をTA(λOMAX)[×100%]とした時、
TO(λOMAX)×TA(λOMAX)が0.15〜0.85である、
[1]〜[5]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。
[6] Let the value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at the λO MAX [nm] be TO (λO MAX ) [× 100%].
When the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at the λO MAX [nm] is set to TA (λO MAX ) [× 100%].
TO (λO MAX ) × TA (λO MAX ) is 0.15 to 0.85,
The optical sensor module according to any one of [1] to [5].

[7] 前記光学センサーと前記近赤外線吸収フィルターとの間に空間を有する、[1]〜[6]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [7] The optical sensor module according to any one of [1] to [6], which has a space between the optical sensor and the near-infrared absorbing filter.

[8] 前記波長λOMAXが、830nm≦λOMAX≦860nm、930nm≦λOMAX≦960nm、または、1100nm≦λOMAX≦1150nmを満たす、[1]〜[7]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [8] The wavelength .lamda.o MAX is, 830nm ≦ λO MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λO MAX ≦ 960nm , or satisfy 1100nm ≦ λO MAX ≦ 1150nm, [ 1] an optical sensor module according to any of the ~ [7] ..

[9] 光学センサー、および、
誘電体多層膜と、基板と、近赤外線吸収層とを有する近赤外線吸収光学フィルター
を具備し、これらを、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、または、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順
で具備し、
前記近赤外線吸収光学フィルターは、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過し、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOAMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOAMAX[nm]における透過率TOA(λOAMAX)[×100%]が0.2〜0.85である、
光学センサーモジュール。
[9] Optical sensor and
A near-infrared absorbing optical filter having a dielectric multilayer film, a substrate, and a near-infrared absorbing layer is provided, and these are provided.
In order of dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, optical sensor,
Dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Dielectric multilayer film, substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order, or
A dielectric multilayer film, a substrate, a dielectric multilayer film, a near-infrared absorbing layer, a dielectric multilayer film, and an optical sensor are provided in this order.
The near-infrared absorbing optical filter transmits light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter is 800 to 1200 nm and the wavelength is λOA MAX (nm).
The transmittance TOA (λOA MAX ) [× 100%] of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at the λOA MAX [nm] is 0.2 to 0.85.
Optical sensor module.

[10] 前記近赤外線吸収光学フィルターが、前記近赤外線吸収層の前記光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有する、[9]に記載の光学センサーモジュール。 [10] The near-infrared absorbing optical filter has an antireflection layer for preventing reflection of light having a wavelength of at least a part of 800 to 1200 nm on the optical sensor side of the near-infrared absorbing layer [9]. The optical sensor module described in.

[11] 下記要件(2)を満たす、[9]または[10]に記載の光学センサーモジュール。
要件(2):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収光学フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOAMAX−15)nm〜(λOAMAX+15)nmにおける反射率の平均値が8.2%以下
[11] The optical sensor module according to [9] or [10], which satisfies the following requirement (2).
Requirement (2): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing optical filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at a wavelength (λOA MAX -15) nm to (λOA MAX +15) nm. 8.2% or less

[12] 前記光学センサーと前記近赤外線吸収光学フィルターとの間に空間を有する、[9]〜[11]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [12] The optical sensor module according to any one of [9] to [11], which has a space between the optical sensor and the near-infrared absorbing optical filter.

[13] 前記波長λOAMAXが、830nm≦λOAMAX≦860nm、930nm≦λOAMAX≦960nm、または、1100nm≦λOAMAX≦1150nmを満たす、[9]〜[12]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [13] The wavelength RamudaOA MAX is, 830nm ≦ λOA MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λOA MAX ≦ 960nm , or satisfy 1100nm ≦ λOA MAX ≦ 1150nm, [ 9] ~ optical sensor module according to any one of [12] ..

[14] 前記近赤外線吸収層が、波長850〜1200nmに極大吸収波長を有する近赤外線吸収剤を含む、[1]〜[13]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [14] The optical sensor module according to any one of [1] to [13], wherein the near-infrared absorbing layer contains a near-infrared absorbing agent having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 850 to 1200 nm.

[15] 前記近赤外線吸収層の厚みが3〜150μmである、[1]〜[14]のいずれかに記載の光学センサーモジュール。 [15] The optical sensor module according to any one of [1] to [14], wherein the near-infrared absorbing layer has a thickness of 3 to 150 μm.

本発明に係る光学センサーモジュールは、一部の近赤外線に感度を有しながらも、ゴースト量が少ない。従って、本発明に係る光学センサーモジュールは、スマートフォン、タブレット端末、ウェアラブル機器等のモバイル情報端末装置用途、先進運転支援システム用途、自動運転システム用途、航空機用途、無人航空機(ドローン)用途、ロボット用途、農機用途、医療器具用途などに好適に用いられる。 The optical sensor module according to the present invention has a small amount of ghost while having sensitivity to some near infrared rays. Therefore, the optical sensor module according to the present invention is used for mobile information terminal devices such as smartphones, tablet terminals, wearable devices, advanced driver assistance systems, autonomous driving systems, aircraft, unmanned aerial vehicles (drones), robots, etc. It is suitably used for agricultural machinery and medical equipment.

図1は、本発明に係る光学センサーモジュールの一例の概略断面模式図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional schematic view of an example of an optical sensor module according to the present invention. 図2は、従来の光学センサーモジュールの概略断面模式図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a conventional optical sensor module. 図3は、ゴースト光路の概略説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory view of a ghost optical path. 図4は、光学フィルターの一例の概略断面模式図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an example of an optical filter. 図5は、近赤外線吸収フィルターの一例の概略断面模式図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional schematic view of an example of a near-infrared absorbing filter. 図6は、近赤外線吸収光学フィルターの一例の概略断面模式図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional schematic view of an example of a near-infrared absorbing optical filter. 図7は、光学センサーユニットの構成例である。FIG. 7 is a configuration example of the optical sensor unit. 図8は、光学フィルターおよび近赤外線吸収フィルターの分光透過率または分光反射率の測定方法を示す概略断面模式図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional schematic diagram showing a method for measuring the spectral transmittance or the spectral reflectance of the optical filter and the near-infrared absorbing filter. 図9は、光学フィルター1の分光透過スペクトル、分光反射スペクトルである。FIG. 9 shows a spectral transmission spectrum and a spectral reflection spectrum of the optical filter 1. 図10は、光学フィルター2の分光透過スペクトル、分光反射スペクトルである。FIG. 10 shows a spectral transmission spectrum and a spectral reflection spectrum of the optical filter 2. 図11は、光学フィルター3の分光透過スペクトル、分光反射スペクトルである。FIG. 11 shows a spectral transmission spectrum and a spectral reflection spectrum of the optical filter 3. 図12は、実施例1における近赤外線吸収フィルター1の分光透過スペクトル、分光反射スペクトルである。FIG. 12 is a spectral transmission spectrum and a spectral reflection spectrum of the near-infrared absorption filter 1 in Example 1. 図13は、実施例1の光学センサーモジュール、および、光学フィルター1のみを用いた光学センサーモジュール(比較例1)における波長別ゴースト強度を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing ghost intensities for each wavelength in the optical sensor module of Example 1 and the optical sensor module (Comparative Example 1) using only the optical filter 1. 図14は、実施例11における近赤外線吸収光学フィルター2の分光透過スペクトルである。FIG. 14 is a spectral transmission spectrum of the near-infrared absorbing optical filter 2 in Example 11. 図15は、実施例11の光学センサーモジュール、および、光学フィルター1のみを用いた光学センサーモジュール(比較例1)における波長別ゴースト強度を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing ghost intensities for each wavelength in the optical sensor module of Example 11 and the optical sensor module using only the optical filter 1 (Comparative Example 1).

以下、本発明に係る光学センサーモジュールの実施形態を、図面等を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。図面は、あくまで一例であって、説明をより明確にするため、各部の幅、厚さ、形状等が、実際の態様と異なる場合がある。 Hereinafter, embodiments of the optical sensor module according to the present invention will be described with reference to drawings and the like. However, the present invention can be implemented in many different embodiments and is not construed as being limited to the description of the embodiments illustrated below. The drawings are merely examples, and the width, thickness, shape, etc. of each part may differ from the actual aspects in order to clarify the explanation.

本明細書において、「波長(V)〜(W)nmにおける最大透過率」は「波長(V)〜(W)nmにおける透過率の最大値」と同義であり、「波長(V)〜(W)nmにおける平均透過率」は「波長(V)〜(W)nmにおける波長別透過率の平均値」と同義である。この場合、VとWはそれぞれ異なる数値とする。 In the present specification, "maximum transmittance at wavelength (V) to (W) nm" is synonymous with "maximum value of transmittance at wavelength (V) to (W) nm", and "wavelength (V) to (W) nm". "Average transmittance at W) nm" is synonymous with "average value of transmittance by wavelength at wavelengths (V) to (W) nm". In this case, V and W are different numerical values.

なお、本発明において、数値範囲を表す「A〜B」等の記載は、「A以上、B以下」と同義であり、AおよびBをその数値範囲内に含む。また、本発明において、波長A〜Bnmとは、波長Anm以上、波長Bnm以下の波長領域における波長分解能1nmにおける特性を表す。
波長A〜Bnmの平均透過率は、Anm以上Bnm以下の、1nm刻みの各波長における透過率を測定し、その透過率の合計を、測定した透過率の数(波長範囲、B−A+1)で除すことで算出した値である。平均反射率も同様である。
In the present invention, the description such as "A to B" representing the numerical range is synonymous with "A or more and B or less", and A and B are included in the numerical range. Further, in the present invention, the wavelengths A to Bnm represent the characteristics at a wavelength resolution of 1 nm in a wavelength region having a wavelength of Anm or more and a wavelength of Bnm or less.
For the average transmittance of wavelengths A to Bnm, the transmittance at each wavelength of Anm or more and Bnm or less in 1 nm increments is measured, and the total transmittance is calculated by the number of measured transmittances (wavelength range, BA + 1). It is a value calculated by dividing. The average reflectance is similar.

本明細書中における「透過する」は、分光光度計における透過率20%以上であることと同義である。 "Transmitt" in the present specification is synonymous with having a transmittance of 20% or more in a spectrophotometer.

≪光学センサーモジュール≫
本発明に係る光学センサーモジュールは、具体的には、下記本モジュール1と本モジュール2に関する。これらを併せて「本モジュール」ともいう。
本発明の一実施形態に係る光学センサーモジュール(以下「本モジュール1」ともいう。)は、
光学センサーと、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過する光学フィルターとの間に、近赤外線吸収層を有する近赤外線吸収フィルターを具備し、
前記光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値が20〜85%であることを特徴とする。
≪Optical sensor module≫
Specifically, the optical sensor module according to the present invention relates to the following modules 1 and 2. These are also collectively referred to as "this module".
The optical sensor module according to the embodiment of the present invention (hereinafter, also referred to as “the present module 1”) is
A near-infrared absorbing filter having a near-infrared absorbing layer is provided between the optical sensor and an optical filter that transmits light having at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the optical filter is λO MAX (nm) at a wavelength of 800 to 1200 nm,
The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 20 to 85%.

また、本発明の他の実施形態に係る光学センサーモジュール(以下「本モジュール2」ともいう。)は、
光学センサー、および、
誘電体多層膜と、基板と、近赤外線吸収層とを有する近赤外線吸収光学フィルター
を具備し、これらを、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、または、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順
で具備し、
前記近赤外線吸収光学フィルターは、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過し、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOAMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOAMAX[nm]における透過率TOA(λOAMAX)[×100%]が0.2〜0.85であることを特徴とする。
Further, the optical sensor module according to another embodiment of the present invention (hereinafter, also referred to as “the present module 2”) is
Optical sensor and
A near-infrared absorbing optical filter having a dielectric multilayer film, a substrate, and a near-infrared absorbing layer is provided, and these are provided.
In order of dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, optical sensor,
Dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Dielectric multilayer film, substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order, or
A dielectric multilayer film, a substrate, a dielectric multilayer film, a near-infrared absorbing layer, a dielectric multilayer film, and an optical sensor are provided in this order.
The near-infrared absorbing optical filter transmits light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter is 800 to 1200 nm and the wavelength is λOA MAX (nm).
The transmittance TOA (λOA MAX ) [× 100%] of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at the λOA MAX [nm] is 0.2 to 0.85.

本モジュールは、このように、特定の近赤外線吸収フィルターまたは近赤外線吸収光学フィルターを具備することを特徴とし、これにより、ゴーストが非常に少ない。
従って、本モジュールは、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話、スピーカー、スマートスピーカー、ウェアラブルデバイス、自動車、テレビ、ゲーム機、航空機、無人航空機、エアーコンディショナー、ロボット、ロボット掃除機、農機、生体認証装置(例:指紋認証装置、静脈認証装置、顔認証装置、虹彩認証装置)、血流センサー、医療器具、農作物品質検査装置に好適に搭載される。
The module is thus characterized by comprising a particular near-infrared absorbing filter or near-infrared absorbing optical filter, which results in very few ghosts.
Therefore, this module includes, for example, smartphones, tablet terminals, mobile phones, speakers, smart speakers, wearable devices, automobiles, televisions, game machines, aircraft, unmanned aircraft, air conditioners, robots, robot vacuum cleaners, agricultural machines, biometric authentication devices. (Example: fingerprint authentication device, vein authentication device, face authentication device, iris authentication device), blood flow sensor, medical equipment, agricultural product quality inspection device.

本明細書におけるゴーストとは、光学センサーモジュールの各部品表面による反射光が再度センサーに入射されること等で発生する、本来のセンシングとは異なる位置、距離、強度をもたらす検出異常のことをいう。
例えば、図3(B)の配置の光学センサーモジュールの場合、ゴーストとしては、12や13のような光路が考えられる。このうち、13のような光路は、近赤外線吸収フィルターを3度通過することになる。このように光が近赤外線吸収フィルターを3度通過すると、該近赤外線吸収フィルターによる光の吸収により、正しいセンシングの光路11に比べ、再度光学センサーに入射する光の強度が低下し、ゴースト強度も低下する。従って、このような近赤外線吸収フィルターを何度か通過する光路を確保することができる等の点から、光学センサーと近赤外線吸収フィルターとの間には、空間(空気界面)を有することが好ましい。
一方で、光学センサー内または光学センサーに接して近赤外線吸収フィルターを設けた場合、近赤外線吸収層を何度か通過する光路を確保することが困難となる場合や、光学センサーと近赤外線吸収層との界面による反射の発生を抑制することが困難となる場合がある。
図3(B)は、本モジュール1に関する場合の例であるが、本モジュール2においても、近赤外線吸収光学フィルターの光学センサー側とは反対側に、図1(B)における光学素子2などの部材が存在する場合、図3(B)と同様のゴースト光路が生じ得る。従って、光学センサーと近赤外線吸収光学フィルターとの間にも前記と同様の理由から、空間(空気界面)を有することが好ましい。
また、そもそも、異物の影響や屈折率のマッチングの困難性等により、光学センサーに直接近赤外線吸収フィルターや近赤外線吸収光学フィルターを設けることができないことも、前記空間を有することが好ましい理由の一つでもある。
The term "ghost" as used herein refers to a detection abnormality that causes a position, distance, and intensity different from the original sensing, which is generated when the reflected light from the surface of each component of the optical sensor module is incident on the sensor again. ..
For example, in the case of the optical sensor module arranged in FIG. 3B, optical paths such as 12 and 13 can be considered as ghosts. Of these, an optical path such as 13 passes through the near-infrared absorbing filter three times. When the light passes through the near-infrared absorbing filter three times in this way, the light absorption by the near-infrared absorbing filter reduces the intensity of the light incident on the optical sensor again as compared with the optical path 11 of the correct sensing, and also the ghost intensity. descend. Therefore, it is preferable to have a space (air interface) between the optical sensor and the near-infrared absorbing filter from the viewpoint that an optical path that passes through such a near-infrared absorbing filter several times can be secured. ..
On the other hand, when a near-infrared absorbing filter is provided inside or in contact with the optical sensor, it may be difficult to secure an optical path that passes through the near-infrared absorbing layer several times, or the optical sensor and the near-infrared absorbing layer may be provided. It may be difficult to suppress the occurrence of reflection at the interface with.
FIG. 3B is an example of the case related to this module 1, but also in this module 2, the optical element 2 and the like in FIG. 1B are on the side opposite to the optical sensor side of the near-infrared absorbing optical filter. In the presence of the member, a ghost optical path similar to that shown in FIG. 3B can occur. Therefore, it is preferable to have a space (air interface) between the optical sensor and the near-infrared absorbing optical filter for the same reason as described above.
Further, in the first place, it is not possible to directly provide a near-infrared absorbing filter or a near-infrared absorbing optical filter on the optical sensor due to the influence of foreign substances, difficulty in matching the refractive index, etc., which is one of the reasons why it is preferable to have the space. There is also one.

本モジュールは、本モジュール1のように、近赤外線吸収フィルターと、光学フィルターとを別体(接していない)としたモジュールであってもよく、本モジュール2のように、近赤外線吸収光学フィルターを用いるモジュールであってもよいが、光学フィルターの光学センサー側での反射(光学フィルターと空気界面との反射)や、近赤外線吸収フィルターの光学センサー側とは反対側での反射を容易に抑制でき、効果的にゴーストを低減することができる等の点から、近赤外線吸収光学フィルターを用いることが好ましい。 This module may be a module in which the near-infrared absorbing filter and the optical filter are separated (not in contact with each other) as in the present module 1, and the near-infrared absorbing optical filter may be used as in the present module 2. The module may be used, but the reflection on the optical sensor side of the optical filter (reflection between the optical filter and the air interface) and the reflection on the side opposite to the optical sensor side of the near infrared absorption filter can be easily suppressed. It is preferable to use a near-infrared absorbing optical filter from the viewpoints of being able to effectively reduce ghosts.

<光学フィルター>
前記光学フィルターは、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過する光学フィルターであれば特に制限されない。
前記光学フィルターは、透過帯域を2つ以上有していてもよいが、本発明の効果がより発揮される等の点から、透過帯域を1つする光学フィルターであることが好ましい。
本モジュール1に用いる光学フィルターは、1つでもよく、2つ以上でもよい。2つ以上の場合、同一のフィルターを用いてもよく、異なるフィルターを用いてもよい。
<Optical filter>
The optical filter is not particularly limited as long as it is an optical filter that transmits light having at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm.
The optical filter may have two or more transmission bands, but is preferably an optical filter having one transmission band from the viewpoint of more exerting the effects of the present invention.
The number of optical filters used in this module 1 may be one or two or more. In the case of two or more, the same filter may be used, or different filters may be used.

前記光学フィルターは、基材Aを有することが好ましく、遮蔽領域から近赤外線の一部の透過領域に急峻に変化する特性を有するフィルターを容易に得ることができる等の点から、該基材Aの少なくとも一方の面に誘電体多層膜Aを有することがより好ましい。また、得られる光学フィルターの反りを容易に抑制できる等の点から、基材Aの両面に誘電体多層膜Aを有することが特に好ましい。 The optical filter preferably has a base material A, and a filter having a characteristic of rapidly changing from a shielding region to a part of a transmission region of near infrared rays can be easily obtained. It is more preferable to have the dielectric multilayer film A on at least one surface of the above. Further, it is particularly preferable to have the dielectric multilayer film A on both sides of the base material A from the viewpoint that the warp of the obtained optical filter can be easily suppressed.

前記光学フィルターの厚みは特に制限されず、所望の用途に応じて適宜選択すればよいが、近年の光学センサーモジュールの薄型化、軽量化等の流れによれば、該光学フィルターの厚みも薄いことが好ましい。
前記光学フィルターの厚みは、好ましくは200μm以下、より好ましくは180μm以下、さらに好ましくは150μm以下、特に好ましくは120μm以下であり、下限は特に制限されないが、好ましくは20μm以上である。
The thickness of the optical filter is not particularly limited and may be appropriately selected according to a desired application. However, according to the recent trend of thinning and weight reduction of optical sensor modules, the thickness of the optical filter is also thin. Is preferable.
The thickness of the optical filter is preferably 200 μm or less, more preferably 180 μm or less, still more preferably 150 μm or less, particularly preferably 120 μm or less, and the lower limit is not particularly limited, but is preferably 20 μm or more.

〔光学フィルターの光学特性〕
前記光学フィルターが有する波長λOMAXは、830nm≦λOMAX≦860nm、930nm≦λOMAX≦960nm、または、1100nm≦λOMAX≦1150nmを満たすことが好ましい。
830nm≦λOMAX≦860nmを満たす場合、人間の目に見えにくい光を用いて検出することができる等の点から好ましく、また、シリコンフォトダイオードセンサーはこの波長範囲の光に対し感度が高いため、λOMAXがこの範囲にある光学フィルターは、前記光学センサーとしてシリコンフォトダイオードセンサーを用いる場合に好適に使用される。
930nm≦λOMAX≦960nmを満たす場合、太陽光によるノイズが少なく、高感度に検出を行うことができる等の点から好ましい。
1100nm≦λOMAX≦1150nmを満たす場合、太陽光によるノイズが少なく、高感度に検出を行うことができる等の点から好ましい。
[Optical characteristics of optical filter]
Wavelength .lamda.o MAX that the optical filter has is, 830nm ≦ λO MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λO MAX ≦ 960nm or, preferably satisfies the 1100nm ≦ λO MAX ≦ 1150nm.
When 830 nm ≤ λO MAX ≤ 860 nm is satisfied, it is preferable from the viewpoint that it can be detected by using light that is difficult for human eyes to see, and the silicon photodiode sensor is highly sensitive to light in this wavelength range. An optical filter having λO MAX in this range is preferably used when a silicon photodiode sensor is used as the optical sensor.
When 930 nm ≤ λO MAX ≤ 960 nm is satisfied, noise due to sunlight is small, and detection can be performed with high sensitivity, which is preferable.
When 1100 nm ≤ λO MAX ≤ 1150 nm is satisfied, noise due to sunlight is small, and detection can be performed with high sensitivity, which is preferable.

前記光学フィルターは、下記要件(3)を満たすことが好ましい。
要件(3):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長400nm〜(λOMAX−30)nmにおける透過率の平均値が5%以下
この要件(3)を満たす光学フィルターを用いることで、検出を行う近赤外線(透過する近赤外線)以外の可視光線〜近赤外線までの光を遮蔽することができ、得られる光学センサーモジュールのノイズを容易に低減することができ、より感度を向上することができる等の点から好ましい。
該要件(3)における透過率の平均値は、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2%以下、特に好ましくは1%以下である。
The optical filter preferably satisfies the following requirement (3).
Requirement (3): By using an optical filter that satisfies this requirement (3), the average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength of 400 nm to (λO MAX -30) nm is 5% or less. , It is possible to block light from visible light to near infrared light other than near infrared rays (transmitted near infrared rays) to be detected, and the noise of the obtained optical sensor module can be easily reduced, and the sensitivity is further improved. It is preferable from the viewpoint of being able to do so.
The average value of the transmittance in the requirement (3) is more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, and particularly preferably 1% or less.

前記光学フィルターは、下記要件(4)を満たすことが好ましい。
要件(4):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX+40)nm〜1250nmにおける透過率の平均値が5%以下
この要件(4)を満たす光学フィルターを用いることで、検出を行う近赤外線より長波長の光を遮蔽することができ、得られる光学センサーモジュールのノイズを容易に低減することができ、より感度を向上することができる等の点から好ましい。
該要件(4)における透過率の平均値は、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2%以下、特に好ましくは1%以下である。
The optical filter preferably satisfies the following requirement (4).
Requirement (4): By using an optical filter that satisfies this requirement (4), the average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength (λO MAX +40) nm to 1250 nm is 5% or less. It is preferable from the viewpoints that light having a wavelength longer than that of near infrared rays for detection can be blocked, noise of the obtained optical sensor module can be easily reduced, and sensitivity can be further improved.
The average value of the transmittance in the requirement (4) is more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, and particularly preferably 1% or less.

近赤外線を利用する光学センサーモジュールにおいて、センシング機能を精度よく機能させるためには、不要となる波長の光をカットすることが重要である。
また、センシングに用いる近赤外線の波長によっては、センシングに用いる波長よりも短い波長の近赤外線と長い波長の近赤外線をカットする(例えば、波長940nm付近の近赤外線をセンシングに用いる場合は、可視光線に加えて、波長910nm付近までの近赤外線、および、波長980nm付近以降の近赤外線をカットする)ことで使用時のノイズを低減でき、光学センサーモジュールの特性を向上させることができる。
このため、前記光学フィルターは、前記要件(3)および(4)を満たすことが好ましい。
In an optical sensor module that uses near infrared rays, it is important to cut light of unnecessary wavelengths in order for the sensing function to function accurately.
Further, depending on the wavelength of the near infrared rays used for sensing, near infrared rays having a wavelength shorter than the wavelength used for sensing and near infrared rays having a longer wavelength are cut (for example, when near infrared rays having a wavelength of around 940 nm are used for sensing, visible light rays. In addition, near-infrared rays up to a wavelength of around 910 nm and near-infrared rays after a wavelength of around 980 nm are cut), so that noise during use can be reduced and the characteristics of the optical sensor module can be improved.
Therefore, it is preferable that the optical filter satisfies the requirements (3) and (4).

前記光学フィルターは、下記要件(5)を満たすことが好ましい。
要件(5):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値が70〜100%
この要件(5)を満たす光学フィルターを用いることで、光学センサーの感度を高く保つことができる等の点から好ましい。
該要件(5)における透過率の平均値は、より好ましくは75〜100%、いっそう好ましくは80〜100%、特に好ましくは85〜100%である。
The optical filter preferably satisfies the following requirement (5).
Requirement (5): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 70 to 100%.
It is preferable to use an optical filter that satisfies this requirement (5) from the viewpoint that the sensitivity of the optical sensor can be kept high.
The average value of the transmittance in the requirement (5) is more preferably 75 to 100%, still more preferably 80 to 100%, and particularly preferably 85 to 100%.

前記光学フィルターは、下記要件(6)を満たすことが好ましい。
要件(6):前記光学センサー側から、前記光学フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける反射率の平均値が50%以下
この要件(6)を満たす光学フィルターを用いることで、周囲の部材に反射したゴーストを低減することができる等の点から好ましい。
該要件(6)における透過率の平均値は、より好ましくは40%以下、特に好ましくは37%以下である。
The optical filter preferably satisfies the following requirement (6).
Requirement (6): The average value of the reflectance of light incident on the optical filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at a wavelength (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 50% or less. By using an optical filter that satisfies this requirement (6), ghosts reflected by surrounding members can be reduced, which is preferable.
The average value of the transmittance in the requirement (6) is more preferably 40% or less, and particularly preferably 37% or less.

〔基材A〕
前記基材Aとしては、本発明の効果を損なわない限り、材質、形状等は特に制限されないが、板状体であることが好ましい。
また、前記光学フィルターは、該基材Aを1層有していてもよく(例えば、図4(A)〜(D)、(F)および(G)参照)、2層以上有していてもよい(例えば、図4(E)参照)。
[Base material A]
The material, shape, and the like of the base material A are not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, but a plate-like body is preferable.
Further, the optical filter may have one layer of the base material A (see, for example, FIGS. 4 (A) to (D), (F) and (G)), and may have two or more layers. It may be (for example, see FIG. 4 (E)).

前記基材Aの材質としては特に制限されず、例えば、ガラス、強化ガラス、リン酸ガラス、フツリン酸ガラス、アルミナ、アルミン酸イットリウム、酸化イットリウム、および、樹脂が挙げられる。
前記基材Aは、これらから選ばれる1種の材質から構成されていてもよく、複数種から構成されていてもよい。
The material of the base material A is not particularly limited, and examples thereof include glass, tempered glass, phosphoric acid glass, futurate glass, alumina, yttrium aluminate, yttrium oxide, and resin.
The base material A may be made of one kind of material selected from these, or may be made of a plurality of kinds.

前記ガラスとしては、例えば、ケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラスが挙げられる。 Examples of the glass include silicate glass, soda-lime glass, borosilicate glass, and quartz glass.

前記強化ガラスとしては、例えば、物理強化ガラス、強化合わせガラス、化学強化ガラスが挙げられる。これらの中では、圧縮層の厚みが薄く、基材厚みを薄く加工することができる化学強化ガラスが好ましい。
化学強化ガラスの具体例としては、AGC(株)製の「Dragontrail」、Corning社製の「Gorilla Glass」が挙げられる。
Examples of the tempered glass include physically tempered glass, tempered laminated glass, and chemically tempered glass. Among these, chemically strengthened glass having a thin compression layer and capable of processing a thin base material is preferable.
Specific examples of the chemically strengthened glass include "Dragonrail" manufactured by AGC Inc. and "Gorilla Glass" manufactured by Corning Inc.

前記リン酸ガラスや前記フツリン酸ガラスとしては、例えば、松浪硝子工業(株)製のBS3、BS4、BS6、BS7、BS8、BS10、BS11、BS12、BS13、BS16、BS17、国際公開第2012/018026号に記載のフツリン酸塩系ガラスが挙げられる。
前記アルミナとしては、例えば、日本ガイシ(株)製の「ハイセラム」が挙げられる。
前記アルミン酸イットリウムや酸化イットリウムとしては、例えば、クアーズテック(株)製の「EXYRIA」が挙げられる。
Examples of the phosphoric acid glass and the futuric acid glass include BS3, BS4, BS6, BS7, BS8, BS10, BS11, BS12, BS13, BS16, BS17, and International Publication No. 2012/01826 manufactured by Matsunami Glass Industry Co., Ltd. Examples thereof include the fluorinated glass described in the item.
Examples of the alumina include "High Serum" manufactured by NGK Insulators, Ltd.
Examples of the yttrium aluminate and yttrium oxide include "EXYRIA" manufactured by CoorsTek Corporation.

[樹脂]
前記樹脂としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限されないが、例えば、熱安定性および板状体への成形性等に優れ、かつ、100℃以上程度の蒸着温度で行う高温蒸着により誘電体多層膜Aを形成し得る板状体を容易に得ることができる等の点から、ガラス転移温度(Tg)が、好ましくは110〜380℃、より好ましくは110〜370℃、特に好ましくは120〜360℃である樹脂が挙げられる。
また、前記樹脂のTgが140℃以上であると、誘電体多層膜Aをより高温で蒸着形成し得る板状体が得られるため、特に好ましい。
[resin]
The resin is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, the resin is excellent in thermal stability and moldability into a plate-like body, and is dielectriced by high-temperature vapor deposition performed at a vapor deposition temperature of about 100 ° C. or higher. The glass transition temperature (Tg) is preferably 110 to 380 ° C., more preferably 110 to 370 ° C., and particularly preferably 120, from the viewpoint that a plate-like body capable of forming the body multilayer film A can be easily obtained. Examples thereof include resins having a temperature of about 360 ° C.
Further, when the Tg of the resin is 140 ° C. or higher, a plate-like body capable of forming the dielectric multilayer film A by vapor deposition at a higher temperature can be obtained, which is particularly preferable.

前記樹脂としては、当該樹脂からなる厚さ0.1mmの樹脂板の波長800〜1200nmの光の透過率の平均値が、好ましくは75〜95%、より好ましくは78〜95%、特に好ましくは80〜95%となる樹脂を用いることができる。
前記波長域の光の透過率がこのような範囲となる樹脂を用いると、得られる基材Aを含む光学フィルターを具備する光学センサーモジュールの感度確保に良好な特性を示す。
As the resin, the average value of the light transmittance of a resin plate having a thickness of 0.1 mm and having a wavelength of 800 to 1200 nm is preferably 75 to 95%, more preferably 78 to 95%, and particularly preferably. A resin having a content of 80 to 95% can be used.
When a resin having a light transmittance in the wavelength range in such a range is used, it exhibits good characteristics for ensuring the sensitivity of the optical sensor module provided with the optical filter containing the obtained base material A.

前記樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定される、ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、通常15,000〜350,000、好ましくは30,000〜250,000であり、数平均分子量(Mn)は、通常10,000〜150,000、好ましくは20,000〜100,000である。 The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by the gel permeation chromatography (GPC) method of the resin is usually 15,000 to 350,000, preferably 30,000 to 250,000, and is a number. The average molecular weight (Mn) is usually 10,000 to 150,000, preferably 20,000 to 100,000.

前記樹脂としては、例えば、環状(ポリ)オレフィン系樹脂、芳香族ポリエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド(アラミド)系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリサルホン系樹脂、ポリエーテルサルホン系樹脂、ポリパラフェニレン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエチレンナフタレート(PEN)系樹脂、フッ素化芳香族ポリマー系樹脂、(変性)アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、アリルエステル系硬化型樹脂、シルセスキオキサン系紫外線硬化型樹脂、アクリル系紫外線硬化型樹脂、ビニル系紫外線硬化型樹脂が挙げられる。 Examples of the resin include cyclic (poly) olefin-based resin, aromatic polyether-based resin, polyimide-based resin, polyester-based resin, polycarbonate-based resin, polyamide (aramid) -based resin, polyarylate-based resin, and polysulfone-based resin. Polyether sulfone-based resin, polyparaphenylene-based resin, polyamideimide-based resin, polyethylene naphthalate (PEN) -based resin, fluorinated aromatic polymer-based resin, (modified) acrylic-based resin, epoxy-based resin, allyl ester-based curing Examples thereof include mold resins, silsesquioxane-based UV curable resins, acrylic UV curable resins, and vinyl UV curable resins.

・環状(ポリ)オレフィン系樹脂
環状(ポリ)オレフィン系樹脂としては、下記式(X0)で表される単量体および下記式(Y0)で表される単量体からなる群より選ばれる少なくとも1種の単量体を用いて得られる樹脂、および、当該樹脂を水素添加することで得られる樹脂が好ましい。
-Cyclic (poly) olefin resin The cyclic (poly) olefin resin is selected from the group consisting of a monomer represented by the following formula (X 0 ) and a monomer represented by the following formula (Y 0 ). A resin obtained by using at least one of the following monomers and a resin obtained by hydrogenating the resin are preferable.

式(X0)中、Rx1〜Rx4はそれぞれ独立に、下記(i')〜(ix')より選ばれる原子または基を表し、kx、mxおよびpxはそれぞれ独立に、0〜4の整数を表す。
(i')水素原子
(ii')ハロゲン原子
(iii')トリアルキルシリル基
(iv')酸素原子、硫黄原子、窒素原子またはケイ素原子を含む連結基を有する、置換または非置換の炭素数1〜30の炭化水素基
(v')置換または非置換の炭素数1〜30の炭化水素基
(vi')極性基(但し、(ii')および(iv')を除く。)
(vii')Rx1とRx2またはRx3とRx4とが、相互に結合して形成されたアルキリデン基(但し、前記結合に関与しないRx1〜Rx4は、それぞれ独立に前記(i')〜(vi')より選ばれる原子または基を表す。)
(viii')Rx1とRx2またはRx3とRx4とが、相互に結合して形成された単環もしくは多環の炭化水素環または複素環(但し、前記結合に関与しないRx1〜Rx4は、それぞれ独立に前記(i')〜(vi')より選ばれる原子または基を表す。)
(ix')Rx2とRx3とが、相互に結合して形成された単環の炭化水素環または複素環(但し、前記結合に関与しないRx1とRx4は、それぞれ独立に前記(i')〜(vi')より選ばれる原子または基を表す。)
Wherein (X 0), R x1 ~R x4 each independently represents an atom or a group selected from the following (i ') ~ (ix' ), k x, m x and p x are each independently 0 Represents an integer of ~ 4.
(I') Hydrogen atom (ii') Halogen atom (iii') Trialkylsilyl group (iv') Substituent or unsubstituted carbon number 1 having a linking group containing an oxygen atom, a sulfur atom, a nitrogen atom or a silicon atom. ~ 30 hydrocarbon group (v') substituted or unsubstituted hydrocarbon group (vi') polar groups with 1 to 30 carbon atoms (excluding (ii') and (iv'))
(Vii') Alkylidene groups formed by mutual bonding of R x1 and R x2 or R x3 and R x4 (however, R x1 to R x4 that are not involved in the bond are independently described in (i'). ) ~ (Vi') represents an atom or group selected.)
(Viii') A monocyclic or polycyclic hydrocarbon ring or heterocycle formed by bonding R x1 and R x2 or R x3 and R x4 to each other (however, R x1 to R not involved in the bond). x4 represents an atom or group independently selected from the above (i') to (vi').)
(Ix') A monocyclic hydrocarbon ring or heterocycle formed by bonding R x2 and R x3 to each other (however, R x1 and R x4 that are not involved in the bond are independently described in (i). Represents an atom or group selected from') to (vi').)

式(Y0)中、Ry1およびRy2はそれぞれ独立に、前記(i')〜(vi')より選ばれる原子または基を表すか、Ry1とRy2とが、相互に結合して形成された単環もしくは多環の脂環式炭化水素、芳香族炭化水素または複素環を表し、kyおよびpyはそれぞれ独立に、0〜4の整数を表す。 In equation (Y 0 ), R y1 and R y2 independently represent atoms or groups selected from the above (i') to (vi'), or R y1 and R y2 are bonded to each other. formed monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon, an aromatic hydrocarbon or heterocyclic, k y and p y are each independently an integer of 0-4.

・芳香族ポリエーテル系樹脂
芳香族ポリエーテル系樹脂は、下記式(1)で表される構造単位および下記式(2)で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の構造単位を有することが好ましい。
-Aromatic polyether resin The aromatic polyether resin is at least one structural unit selected from the group consisting of a structural unit represented by the following formula (1) and a structural unit represented by the following formula (2). It is preferable to have.

式(1)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、炭素数1〜12の1価の有機基を示し、a〜dはそれぞれ独立に、0〜4の整数を示す。 In the formula (1), R 1 to R 4 independently represent a monovalent organic group having 1 to 12 carbon atoms, and a to d independently represent an integer of 0 to 4.

式(2)中、R1〜R4およびa〜dはそれぞれ独立に、前記式(1)中のR1〜R4およびa〜dと同義であり、Yは、単結合、−SO2−または−CO−を示し、R7およびR8はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1〜12の1価の有機基またはニトロ基を示し、gおよびhはそれぞれ独立に、0〜4の整数を示し、mは0または1を示す。但し、mが0のとき、R7はシアノ基ではない。 In the formula (2), R 1 to R 4 and a to d are independently synonymous with R 1 to R 4 and a to d in the formula (1), and Y is a single bond, −SO 2 -Or -CO-, R 7 and R 8 independently represent a halogen atom, a monovalent organic group or a nitro group having 1 to 12 carbon atoms, and g and h independently represent 0 to 4, respectively. It indicates an integer, and m indicates 0 or 1. However, when m is 0, R 7 is not a cyano group.

また、前記芳香族ポリエーテル系樹脂は、さらに下記式(3)で表される構造単位および下記式(4)で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の構造単位を有していてもよい。 Further, the aromatic polyether resin further has at least one structural unit selected from the group consisting of a structural unit represented by the following formula (3) and a structural unit represented by the following formula (4). May be.

式(3)中、R5およびR6はそれぞれ独立に、炭素数1〜12の1価の有機基を示し、Zは、単結合、−O−、−S−、−SO2−、−CO−、−CONH−、−COO−または炭素数1〜12の2価の有機基を示し、eおよびfはそれぞれ独立に、0〜4の整数を示し、nは0または1を示す。 In the formula (3), R 5 and R 6 each independently represents a monovalent organic group having 1 to 12 carbon atoms, Z is a single bond, -O -, - S -, - SO 2 -, - It represents CO-, -CONH-, -COO- or a divalent organic group having 1 to 12 carbon atoms, where e and f each independently represent an integer of 0 to 4, and n represents 0 or 1.

式(4)中、R7、R8、Y、m、gおよびhはそれぞれ独立に、前記式(2)中のR7、R8、Y、m、gおよびhと同義であり、R5、R6、Z、n、eおよびfはそれぞれ独立に、前記式(3)中のR5、R6、Z、n、eおよびfと同義である。 In formula (4), R 7 , R 8 , Y, m, g and h are independently synonymous with R 7 , R 8 , Y, m, g and h in formula (2), respectively. 5 , R 6 , Z, n, e and f are independently synonymous with R 5 , R 6 , Z, n, e and f in the above formula (3).

・ポリイミド系樹脂
ポリイミド系樹脂としては特に制限されず、繰り返し単位にイミド結合を含む高分子化合物であればよく、例えば、特開2006−199945号公報や特開2008−163107号公報に記載されている方法で合成することができる。
-Polyimide-based resin The polyimide-based resin is not particularly limited as long as it is a polymer compound containing an imide bond in a repeating unit, and is described in, for example, JP-A-2006-199945 and JP-A-2008-163107. It can be synthesized by the above method.

・ポリエステル系樹脂
ポリエステル系樹脂としては特に制限されず、例えば、特開2010−285505号公報や特開2011−197450号公報に記載されている方法で合成することができる。
-Polyester-based resin The polyester-based resin is not particularly limited, and for example, it can be synthesized by the methods described in JP-A-2010-285505 and JP-A-2011-197450.

・ポリカーボネート系樹脂
ポリカーボネート系樹脂としては特に制限さないが、ガラス転移温度が140℃以上である樹脂が好ましく、例えば、特開平6−306158号公報、特開2004−359932号公報、特開2008−163194号公報、特開2011−246583号公報に記載されている方法で合成することができる。
-Polycarbonate-based resin The polycarbonate-based resin is not particularly limited, but a resin having a glass transition temperature of 140 ° C. or higher is preferable. For example, JP-A-6-306158, JP-A-2004-359932, JP-A-2008- It can be synthesized by the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 163194 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-246583.

・フッ素化芳香族ポリマー系樹脂
フッ素化芳香族ポリマー系樹脂としては特に制限されないが、フッ素原子を少なくとも1つ有する芳香族環と、エーテル結合、ケトン結合、スルホン結合、アミド結合、イミド結合およびエステル結合からなる群より選ばれる少なくとも1つの結合を含む繰り返し単位とを含有するポリマーであることが好ましく、例えば、特開2008−181121号公報に記載されている方法で合成することができる。
-Fluorinated aromatic polymer-based resin The fluorinated aromatic polymer-based resin is not particularly limited, but has an aromatic ring having at least one fluorine atom, an ether bond, a ketone bond, a sulfone bond, an amide bond, an imide bond and an ester. It is preferably a polymer containing a repeating unit containing at least one bond selected from the group consisting of bonds, and can be synthesized, for example, by the method described in JP-A-2008-181121.

・アクリル系紫外線硬化型樹脂
アクリル系紫外線硬化型樹脂としては特に制限されないが、分子内に一つ以上のアクリル基もしくはメタクリル基を有する化合物と、紫外線によって分解して活性ラジカルを発生させる化合物を含有する樹脂組成物から合成されるものを挙げることができる。
-Acrylic-based UV-curable resin The acrylic UV-curable resin is not particularly limited, but contains a compound having one or more acrylic groups or methacrylic groups in the molecule and a compound that is decomposed by ultraviolet rays to generate active radicals. Examples thereof include those synthesized from the resin composition to be used.

・市販品
前記樹脂の市販品としては、以下の市販品等が挙げられる。環状(ポリ)オレフィン系樹脂の市販品としては、例えば、JSR(株)製アートン、日本ゼオン(株)製ゼオノア、三井化学(株)製APEL、ポリプラスチックス(株)製TOPASが挙げられる。ポリエーテルサルホン系樹脂の市販品としては、例えば、住友化学(株)製スミカエクセルPESが挙げられる。ポリイミド系樹脂の市販品としては、例えば、三菱ガス化学(株)製ネオプリムLが挙げられる。ポリカーボネート系樹脂の市販品としては、例えば、帝人(株)製ピュアエース、帝人(株)製パンライトSP−3810、三菱ガス化学(株)製ユピゼータEP−5000が挙げられる。ポリエステル系樹脂の市販品としては、例えば、大阪ガスケミカル(株)製OKP4HTが挙げられる。アクリル系樹脂の市販品としては、例えば、(株)日本触媒製アクリビュアが挙げられる。シルセスキオキサン系紫外線硬化型樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵化学(株)製シルプラスが挙げられる。
-Commercial products Examples of the commercially available products of the resin include the following commercially available products. Examples of commercially available cyclic (poly) olefin resins include Arton manufactured by JSR Corporation, Zeonoa manufactured by Zeon Corporation, APEL manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd., and TOPAS manufactured by Polyplastics Corporation. Examples of commercially available products of the polyether sulfone-based resin include Sumika Excel PES manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. Examples of commercially available polyimide resins include Neoprim L manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Examples of commercially available products of the polycarbonate resin include Pure Ace manufactured by Teijin Limited, Panlite SP-3810 manufactured by Teijin Limited, and Iupizeta EP-5000 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company. Examples of commercially available polyester-based resins include OKP4HT manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd. Examples of commercially available acrylic resins include Acryviewer manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. Examples of commercially available products of the silsesquioxane-based ultraviolet curable resin include Silplus manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.

[その他成分]
前記基材Aは、本発明の効果を損なわない範囲において、その他成分として、さらに赤外線吸収剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、離型剤、蛍光消光剤、金属錯体系化合物等の添加剤を含有してもよい。
前記その他成分はそれぞれ、1種単独で用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。
[Other ingredients]
As long as the effect of the present invention is not impaired, the base material A further contains additives such as an infrared absorber, an ultraviolet absorber, an antioxidant, a mold release agent, a fluorescent quencher, and a metal complex compound as other components. It may be contained.
Each of the other components may be used alone or in combination of two or more.

[基材Aの製造方法]
前記基材Aが、樹脂製基材である場合、該樹脂製基材は、例えば、溶融成形またはキャスト成形により形成することができ、さらに、必要により、成形後に、反射防止剤、ハードコート剤および/または帯電防止剤等のコーティング剤をコーティングすることで、オーバーコート層が積層された基材Aを製造することができる。
[Manufacturing method of base material A]
When the base material A is a resin base material, the resin base material can be formed by, for example, melt molding or cast molding, and if necessary, after molding, an antireflection agent and a hard coating agent. And / or by coating with a coating agent such as an antistatic agent, the base material A on which the overcoat layer is laminated can be produced.

〔誘電体多層膜A〕
前記誘電体多層膜Aとしては、高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層した積層体が挙げられる。
該誘電体多層膜Aとしては、得られる光学フィルターが、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過するような膜であることが好ましく、得られる光学フィルターが、前記光学フィルターの光学特性を満たすような特性を有する膜であることがより好ましい。
ここで、誘電体多層膜Aの条件を最適化するには、例えば、光学薄膜設計ソフト(例えば、Essential Macleod、Thin Film Center社製)を用い、パラメーターを設定すればよい。
[Dielectric multilayer film A]
Examples of the dielectric multilayer film A include a laminate in which high refractive index material layers and low refractive index material layers are alternately laminated.
As the dielectric multilayer film A, it is preferable that the obtained optical filter is a film that transmits light having at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm, and the obtained optical filter is the optical filter of the optical filter. It is more preferable that the film has characteristics that satisfy the optical characteristics.
Here, in order to optimize the conditions of the dielectric multilayer film A, for example, the parameters may be set using optical thin film design software (for example, Essential Macleod, manufactured by Thin Film Center).

高屈折率材料層を構成する材料としては、屈折率が1.8以上の材料を用いることができ、通常は、屈折率が1.8〜4.4の材料が選択される。このような材料としては、例えば、シリコン、ダイヤモンド、酸化鉄、酸化銅、チタン酸バリウム、硫化バリウム、チタン酸ストロンチウム、テルル化カドミウム、硫化ストロンチウム、硫化水銀、酸化セシウム、酸化ハフニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化アンチモン、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、酸化クロム、酸化インジウム、酸化アンチモンや硫化亜鉛または酸化インジウム等を主成分とし、酸化チタン、酸化錫および/または酸化セリウム等を少量(例えば、主成分に対して0〜10質量%)含有させたものや、樹脂に前記屈折率1.8以上の材料粒子を分散させたものが挙げられる。
これらの中でも、波長800〜1200nmにおける少なくとも一部の領域の光の透過率を高くする観点から、シリコン、チタン酸バリウム、テルル化カドミウム、酸化セシウム、酸化ハフニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化アンチモン、酸化ランタン、酸化イットリウムが好ましい。
少ない層数においても波長800〜1200nmにおける少なくとも一部の領域の光の高い透過率と、光学センサーに不要な波長の透過率を低い透過率を両立する急峻な光学特性が得られる等の点からシリコンまたは酸化チタンが好ましい。
As a material constituting the high refractive index material layer, a material having a refractive index of 1.8 or more can be used, and a material having a refractive index of 1.8 to 4.4 is usually selected. Examples of such materials include silicon, diamond, iron oxide, copper oxide, barium titanate, barium sulfide, strontium titanate, cadmium tellalide, strontium sulfide, mercury sulfide, cesium oxide, hafnium oxide, titanium oxide, and oxidation. Titanium oxide, tin oxide and / or oxidation containing zirconium, tantalum pentoxide, niobium oxide, antimony oxide, lanthanum oxide, yttrium oxide, zinc oxide, chromium oxide, indium oxide, antimony oxide, zinc oxide or indium oxide as main components. Examples thereof include those containing a small amount of cerium or the like (for example, 0 to 10% by mass with respect to the main component) and those in which the material particles having a refractive index of 1.8 or more are dispersed in a resin.
Among these, silicon, barium titanate, cadmium telluride, cesium oxide, hafnium oxide, titanium oxide, zirconium oxide, tantalum pentoxide, from the viewpoint of increasing the light transmittance in at least a part of the wavelength range from 800 to 1200 nm. , Niobium oxide, antimony oxide, lanthanum oxide, yttrium oxide are preferable.
Even with a small number of layers, it is possible to obtain steep optical characteristics that achieve both high transmittance of light in at least a part of the wavelength range of 800 to 1200 nm and low transmittance of wavelengths unnecessary for the optical sensor. Silicon or titanium oxide is preferred.

なお、本明細書における屈折率は、波長550nmの光の屈折率のことをいい、具体的には、下記実施例に記載の方法で測定することができる。 The refractive index in the present specification refers to the refractive index of light having a wavelength of 550 nm, and can be specifically measured by the method described in the following Examples.

低屈折率材料層を構成する材料としては、屈折率が1.8未満の材料を用いることができ、屈折率が通常は1.2以上1.8未満の材料が選択される。このような材料としては、例えば、樹脂、二酸化シリコン(シリカ)、アルミナ、フッ化ランタン、フッ化バリウム、フッ化セシウム、フッ化アルミニウム、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムおよび六フッ化アルミニウムナトリウム(クリオライト)、フッ化イットリウムが挙げられる。これらの中でも、製造コスト、膜密着性および耐久性等の点から、シリカが好ましく、温度変化時の光学特性変化の観点から屈折率1.468以上のシリカがより好ましく、屈折率1.47以上のシリカがさらに好ましい。 As a material constituting the low refractive index material layer, a material having a refractive index of less than 1.8 can be used, and a material having a refractive index of 1.2 or more and less than 1.8 is usually selected. Such materials include, for example, resins, silicon dioxide (silica), alumina, lanthanum fluoride, barium fluoride, cesium fluoride, aluminum fluoride, lithium fluoride, magnesium fluoride and sodium hexafluoride (cryo). Light), yttrium fluoride. Among these, silica is preferable from the viewpoint of manufacturing cost, film adhesion, durability, etc., and silica having a refractive index of 1.468 or more is more preferable from the viewpoint of changes in optical characteristics when the temperature changes, and the refractive index is 1.47 or more. Silica is more preferred.

前記誘電体多層膜Aは、屈折率0.1〜4.5の半導体層または導体層を有してもよい。このような層を形成する材料としては、例えば、グラファイト、タングステン、ゲルマニウム、シリコン、一酸化シリコン、鉄、マンガン、白金、金、銀、銅、マグネシウム、タングステン、ニッケル、アルミニウムが挙げられる。このような層を用いることで、高屈折率材料層と低屈折率材料層との屈折率差を大きくすることが可能となり、少ない層数で、特定波長の近赤外線を透過し、かつ不要となる波長の光を遮蔽することが容易となる。 The dielectric multilayer film A may have a semiconductor layer or a conductor layer having a refractive index of 0.1 to 4.5. Examples of the material forming such a layer include graphite, tungsten, germanium, silicon, silicon monoxide, iron, manganese, platinum, gold, silver, copper, magnesium, tungsten, nickel and aluminum. By using such a layer, it is possible to increase the difference in refractive index between the high-refractive index material layer and the low-refractive index material layer, and it is unnecessary to transmit near infrared rays of a specific wavelength with a small number of layers. It becomes easy to block light of a certain wavelength.

前記誘電体多層膜Aにおける高屈折率材料層および低屈折率材料層、必要に応じて用いられる半導体層および導体層の積層数の合計は、光学フィルター全体として、好ましくは16〜120層、より好ましくは18〜110層、特に好ましくは20〜100層である。
積層数の合計が前記範囲にあると、十分な製造マージンを確保できる上に、光学フィルターの反りや誘電体多層膜Aのクラックを低減することができる。
The total number of layers of the high refractive index material layer and the low refractive index material layer, and the semiconductor layer and the conductor layer used as needed in the dielectric multilayer film A is preferably 16 to 120 layers as a whole optical filter. It is preferably 18 to 110 layers, particularly preferably 20 to 100 layers.
When the total number of layers is within the above range, a sufficient manufacturing margin can be secured, and warpage of the optical filter and cracks of the dielectric multilayer film A can be reduced.

誘電体多層膜Aを構成する高屈折率材料層および低屈折率材料層、必要に応じて用いられる半導体層および導体層の各層の厚さ(物理膜厚)は、好ましくは1〜1300nm、より好ましくは2〜1200nm、特に好ましくは5〜1200nmである。
各層の厚さがこの範囲にあると、誘電体多層膜Aを形成する際の制御が容易である他、反射・屈折の光学的特性の関係から、特定波長の遮断・透過を容易にコントロールできる傾向にある。
The thickness (physical film thickness) of each of the high-refractive-index material layer and the low-refractive-index material layer forming the dielectric multilayer film A, and the semiconductor layer and the conductor layer used as needed is preferably 1 to 1300 nm. It is preferably 2 to 1200 nm, particularly preferably 5 to 1200 nm.
When the thickness of each layer is within this range, it is easy to control when forming the dielectric multilayer film A, and it is also possible to easily control blocking / transmission of a specific wavelength due to the optical characteristics of reflection / refraction. There is a tendency.

高屈折率材料層および低屈折率材料層、必要に応じて用いられる半導体層や導体層を積層する方法については、これらの材料層を積層した誘電体多層膜Aが形成される限り特に制限されない。
例えば、前記基材A上に、直接、CVD法、ミストCVD法、スパッタ法、マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法、ラジカルアシストスパッタ法、真空蒸着法、イオンアシスト蒸着法、ALD法、プラズマALD法またはイオンプレーティング蒸着法等により、高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層した誘電体多層膜Aを形成することができる。これらの中では、温度変化時の光学特性の変化が少ない等の点から、CVD法、マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法、ラジカルアシストスパッタ法、イオンアシスト蒸着法、ALD法、プラズマALD法、イオンプレーティング蒸着法が好ましく、一部の波長を透過する光学フィルターに用いられる誘電体多層膜Aを形成する際には、屈折率の高い膜を容易に得ることができる等の点からマグネトロンスパッタ法がより好ましく、反射防止機能を有する誘電体多層膜Aを形成する際には、成膜レートの早さと湿度による光学特性変化の少なさ等の点からイオンアシスト蒸着法が好ましい。
The method of laminating a high refractive index material layer, a low refractive index material layer, and a semiconductor layer or a conductor layer used as needed is not particularly limited as long as the dielectric multilayer film A in which these material layers are laminated is formed. ..
For example, the CVD method, the mist CVD method, the sputtering method, the magnetron sputtering method, the ion beam sputtering method, the radical assist sputtering method, the vacuum deposition method, the ion assist deposition method, the ALD method, and the plasma ALD method are directly placed on the base material A. Alternatively, a dielectric multilayer film A in which high refractive index material layers and low refractive index material layers are alternately laminated can be formed by an ion sputtering vapor deposition method or the like. Among these, the CVD method, magnetron sputtering method, ion beam sputtering method, radical assisted sputtering method, ion-assisted vapor deposition method, ALD method, plasma ALD method, and ion are considered to have little change in optical characteristics when the temperature changes. The plating vapor deposition method is preferable, and the magnetron sputtering method is preferable because a film having a high refractive index can be easily obtained when forming the dielectric multilayer film A used for an optical filter that transmits a part of wavelengths. Is more preferable, and when forming the dielectric multilayer film A having an antireflection function, the ion-assisted vapor deposition method is preferable from the viewpoints of a high film formation rate and a small change in optical characteristics due to humidity.

・イオンアシスト蒸着法
イオンアシスト蒸着法は、真空蒸着における蒸着材の成膜中に、基材Aに対して酸素イオンまたは不活性ガスのイオンを照射する手法である。照射するイオンのイオン電流密度を制御することで、基材Aを過剰に加熱することなく成膜中の分子を高エネルギー化することが可能となり、基材Aとして、樹脂製基材を用いた場合においても、膜密度が高い誘電体多層膜Aを容易に得ることができる。
イオンアシスト蒸着を行うことができる装置としては、例えば、ビューラーライボルトオプティクス社製SYRUSproシリーズ、(株)オプトラン製OTFCシリーズ、(株)シンクロン製MICシリーズ、EPDシリーズ、新明和工業(株)製VCDシリーズ、(株)昭和真空製Sapioシリーズが挙げられる。
-Ion-assisted vapor deposition method The ion-assisted vapor deposition method is a method of irradiating the base material A with oxygen ions or ions of an inert gas during film formation of a vapor deposition material in vacuum vapor deposition. By controlling the ion current density of the ions to be irradiated, it is possible to increase the energy of the molecules during film formation without excessively heating the base material A, and a resin base material is used as the base material A. Even in this case, the dielectric multilayer film A having a high film density can be easily obtained.
Examples of devices capable of ion-assisted vapor deposition include SYRUSPro series manufactured by Buehler Leybold Optics, OTFC series manufactured by OPTORUN Co., Ltd., MIC series manufactured by Syncron Co., Ltd., EPD series, and VCD series manufactured by ShinMaywa Industry Co., Ltd. , Showa Vacuum Co., Ltd. Sapio series.

〔その他の機能層〕
前記光学フィルターは、本発明の効果を損なわない範囲において、基材Aと誘電体多層膜Aとの間、基材Aの誘電体多層膜Aが設けられた面と反対側の面、または誘電体多層膜Aの基材Aが設けられた面と反対側の面に、基材Aや誘電体多層膜Aの表面硬度の向上、耐薬品性の向上、帯電防止および傷消しなどの目的で、反射防止層、ハードコート膜や帯電防止膜、密着補助膜、応力調整膜、導電膜、遮光層などの機能層を適宜有していてもよい。
特に、前記光学フィルターは、ゴーストをより低減できる等の点から、光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有することが好ましい。
これらの機能層の詳細については、下記近赤外線吸収フィルターの欄に記載する。
前記光学フィルターは、これらの機能層を1層含んでもよく、2層以上含んでもよい。機能層を2層以上含む場合には、同様の層を2層以上含んでもよいし、異なる層を2層以上含んでもよい。
[Other functional layers]
The optical filter has a surface between the base material A and the dielectric multilayer film A, a surface opposite to the surface of the base material A provided with the dielectric multilayer film A, or a dielectric, as long as the effect of the present invention is not impaired. For the purpose of improving the surface hardness of the base material A and the dielectric multilayer film A, improving chemical resistance, preventing static electricity, and erasing scratches on the surface of the body multilayer film A opposite to the surface on which the base material A is provided. , An antireflection layer, a hard coat film, an antistatic film, an adhesion assisting film, a stress adjusting film, a conductive film, a light shielding layer, and other functional layers may be appropriately provided.
In particular, the optical filter preferably has an antireflection layer for preventing reflection of light having a wavelength of at least a part of 800 to 1200 nm on the optical sensor side from the viewpoint of further reducing ghosts.
Details of these functional layers are described in the near-infrared absorbing filter column below.
The optical filter may include one layer or two or more of these functional layers. When two or more functional layers are included, two or more similar layers may be included, or two or more different layers may be included.

前記機能層の厚さは、好ましくは0.1〜20μm、さらに好ましくは0.5〜10μm、特に好ましくは0.7〜5μmである。 The thickness of the functional layer is preferably 0.1 to 20 μm, more preferably 0.5 to 10 μm, and particularly preferably 0.7 to 5 μm.

<近赤外線吸収フィルター>
前記近赤外線吸収フィルターは、該近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値が20〜85%であれば特に制限されない。
本モジュール1に用いる近赤外線吸収フィルターは、1つでもよく、2つ以上でもよい。2つ以上の場合、同一の近赤外線吸収フィルターを用いてもよく、異なる近赤外線吸収フィルターを用いてもよい。なお、近赤外線吸収フィルターを2つ以上用いる場合、本モジュール1は、前記透過率の平均値を満たす近赤外線吸収フィルターを少なくとも1つ、光学センサーと前記光学フィルターとの間に有すればよく、この近赤外線吸収フィルター以外の他の近赤外線吸収フィルターは、光学センサーと前記光学フィルターとの間に存在していなくてもよく、また、該他の近赤外線吸収フィルターは、前記透過率の平均値を満たさなくてもよい。
<Near infrared absorption filter>
If the near-infrared absorbing filter has an average transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at a wavelength (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm of 20 to 85%. There are no particular restrictions.
The number of near-infrared absorbing filters used in this module 1 may be one, or two or more. In the case of two or more, the same near-infrared absorption filter may be used, or different near-infrared absorption filters may be used. When two or more near-infrared absorbing filters are used, the module 1 may have at least one near-infrared absorbing filter satisfying the average value of the transmittance between the optical sensor and the optical filter. Other near-infrared absorbing filters other than this near-infrared absorbing filter may not exist between the optical sensor and the optical filter, and the other near-infrared absorbing filter has an average value of the transmittance. Does not have to be satisfied.

前記近赤外線吸収フィルターの構成としては、近赤外線吸収層を有していれば特に制限されないが、近赤外線吸収層と誘電体多層膜Bとを有することが好ましく、さらに、その他の機能層を有していてもよい。
このような近赤外線吸収フィルターの構成例を図5に示す。
なお、誘電体多層膜Bは、近赤外線吸収層の片面に設けてもよいが、得られる近赤外線吸収フィルターの反りを容易に抑制できる等の点から、近赤外線吸収層の両面に誘電体多層膜Bを有することが好ましい。
The configuration of the near-infrared absorbing filter is not particularly limited as long as it has a near-infrared absorbing layer, but it is preferable to have a near-infrared absorbing layer and a dielectric multilayer film B, and further has other functional layers. You may be doing it.
A configuration example of such a near-infrared absorbing filter is shown in FIG.
The dielectric multilayer film B may be provided on one side of the near-infrared absorbing layer, but the dielectric multilayer film B may be provided on both sides of the near-infrared absorbing layer from the viewpoint of easily suppressing the warp of the obtained near-infrared absorbing filter. It is preferable to have a film B.

前記近赤外線吸収フィルターの厚みは特に制限されず、所望の用途に応じて適宜選択すればよいが、近年の光学センサーモジュールの薄型化、軽量化等の流れによれば、該近赤外線吸収フィルターの厚みも薄いことが好ましい。
前記近赤外線吸収フィルターの厚みは、好ましくは3μm以上、より好ましくは5μm以上であり、好ましくは150μm以下である。
近赤外線吸収フィルターの厚みが前記範囲の下限以上であると、近赤外線吸収剤を含有する近赤外線吸収フィルターを容易に形成することができ、吸収強度の弱い近赤外線吸収剤を用いた場合でも所望の吸収強度を確保することができ、また、前記範囲の上限以下であると、得られる光学センサーモジュールの低背化が容易となり、より小型の光学センサーモジュールを容易に得ることができる。
The thickness of the near-infrared absorbing filter is not particularly limited and may be appropriately selected according to a desired application. However, according to the recent trend of thinning and weight reduction of optical sensor modules, the near-infrared absorbing filter It is preferable that the thickness is also thin.
The thickness of the near-infrared absorbing filter is preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more, and preferably 150 μm or less.
When the thickness of the near-infrared absorbing filter is not less than the lower limit of the above range, the near-infrared absorbing filter containing the near-infrared absorbing agent can be easily formed, which is desirable even when a near-infrared absorbing agent having a weak absorption intensity is used. When the absorption intensity of the above range is not more than the upper limit of the above range, the height of the obtained optical sensor module can be easily reduced, and a smaller optical sensor module can be easily obtained.

〔近赤外線吸収フィルターの光学特性〕
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値は、20〜85%である。
この透過率の平均値が20%以上であれば、光学フィルターおよび近赤外線吸収フィルターを透過した光を光学センサーが十分に受光することができ、85%以下であれば、光学センサー表面で反射した光を吸収することから、ゴースト低減効果が得られる。
より光学センサー感度を向上させることができる等の点から、前記透過率の平均値は、好ましくは30%以上、特に好ましくは35%以上である。また、よりゴーストを低減させることができる等の点から、前記透過率の平均値は、好ましくは82%以下、特に好ましくは79%以下である。
[Optical characteristics of near-infrared absorbing filter]
The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 20 to 85%.
If the average value of the transmittance is 20% or more, the optical sensor can sufficiently receive the light transmitted through the optical filter and the near-infrared absorption filter, and if it is 85% or less, it is reflected by the optical sensor surface. Since it absorbs light, a ghost reduction effect can be obtained.
The average value of the transmittance is preferably 30% or more, particularly preferably 35% or more, from the viewpoint that the sensitivity of the optical sensor can be further improved. Further, the average value of the transmittance is preferably 82% or less, and particularly preferably 79% or less, from the viewpoint that ghost can be further reduced.

前記近赤外線吸収フィルターは、下記要件(1)を満たすことが好ましい。
要件(1):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける反射率の平均値が7%以下
反射率の平均値が前記範囲にあると、ゴーストをより低減できることが期待できる。
前記反射率の平均値は、より好ましくは5%以下、さらに好ましくは4%以下、特に好ましくは3%以下である。
このような要件(1)を満たす近赤外線吸収フィルターは、例えば、反射防止層を形成することで得ることができる。
The near-infrared absorbing filter preferably satisfies the following requirement (1).
Requirement (1): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 7. % Or less If the average value of the reflectance is within the above range, it can be expected that the ghost can be further reduced.
The average value of the reflectance is more preferably 5% or less, further preferably 4% or less, and particularly preferably 3% or less.
A near-infrared absorbing filter satisfying the requirement (1) can be obtained, for example, by forming an antireflection layer.

本モジュール1における、前記光学フィルターと近赤外線吸収フィルターとは、
前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率の値をTO(λOMAX)[×100%]とし、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率をTA(λOMAX)[×100%]とした時、
TO(λOMAX)×TA(λOMAX)は、好ましくは0.15以上、より好ましくは0.20以上、特に好ましくは0.25以上であり、好ましくは0.85以下、より好ましくは0.79以下である。
この積が、前記範囲の下限以上であると、センシングに必要な感度を確保することが容易となり、前記範囲の上限以下であると、ゴースト強度を容易に低減することができる。
なお、例えば、光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率が90%である場合、前記TO(λOMAX)[×100%]の値は「0.9」である。
The optical filter and the near-infrared absorbing filter in this module 1 are
Let the value of the transmittance of the light incident from the vertical direction of the optical filter at the λO MAX [nm] be TO (λO MAX ) [× 100%].
When the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at the λO MAX [nm] is set to TA (λO MAX ) [× 100%].
TO (λO MAX ) × TA (λO MAX ) is preferably 0.15 or more, more preferably 0.20 or more, particularly preferably 0.25 or more, preferably 0.85 or less, and more preferably 0. It is 79 or less.
When this product is at least the lower limit of the above range, it becomes easy to secure the sensitivity required for sensing, and when it is at least the upper limit of the above range, the ghost intensity can be easily reduced.
For example, when the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at the λO MAX [nm] is 90%, the value of the TO (λO MAX ) [× 100%] is “0.9”. is there.

〔近赤外線吸収層〕
近赤外線吸収層は、近赤外線の少なくとも一部を吸収できる限り、材質、形状等は特に制限されない。
このような近赤外線吸収層としては、例えば、(i)近赤外線吸収剤を含む基材B、(ii)基材Bと近赤外線吸収剤を含む層との積層構造体が挙げられるが、所定の特性を示す近赤外線吸収フィルターを容易に得ることができる等の点から、前記(i)が好ましい。
前記(i)の場合、基材Bが近赤外線吸収層であり、前記(ii)の場合、前記積層構造体が近赤外線吸収層である。
[Near infrared absorption layer]
The material, shape, and the like of the near-infrared absorbing layer are not particularly limited as long as they can absorb at least a part of the near-infrared rays.
Examples of such a near-infrared absorbing layer include (i) a base material B containing a near-infrared absorbing agent, and (ii) a laminated structure of a base material B and a layer containing a near-infrared absorbing agent. The above (i) is preferable from the viewpoint that a near-infrared absorbing filter exhibiting the above characteristics can be easily obtained.
In the case of (i), the base material B is a near-infrared absorbing layer, and in the case of (ii), the laminated structure is a near-infrared absorbing layer.

このような基材Bの材質としては、前記光学フィルターの欄の基材Aの材質として挙げた材質と同様の材質が挙げられる。
これらの中でも、近赤外線吸収剤を含有する基材Bとする場合には、リン酸銅ガラス、フツリン酸銅ガラスまたは樹脂が好ましい。
基材Bは、これらから選ばれる1種の材質から構成されていてもよく、複数種から構成されていてもよい。
Examples of the material of such a base material B include the same materials as those mentioned as the material of the base material A in the column of the optical filter.
Among these, copper phosphate glass, copper fluorinated glass, or resin is preferable when the base material B contains a near-infrared absorber.
The base material B may be made of one kind of material selected from these, or may be made of a plurality of kinds.

〔近赤外線吸収剤〕
前記近赤外線吸収剤としては、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmの透過率の平均値が20〜85%である吸収剤が好ましい。
このような吸収剤としては、例えば、スクアリリウム系化合物、クロコニウム系化合物、フタロシアニン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、ポリメチン系化合物、シアニン系化合物、テトラアザポルフィリン系化合物、ジイモニウム系化合物、ポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ペリレン系化合物、セミスクアリリウム系化合物、スチリル系化合物、フェナジン系化合物、ピリドメテン−ホウ素錯体系化合物、ピラジン−ホウ素錯体系化合物、ピリドンアゾ系化合物、キサンテン系化合物、ジピロメテン系化合物、環拡張ジピロメテン系化合物、ピロロピロール系化合物、ヘテロ環共役系化合物、ヘキサフィリン系化合物、金属ジチオラート系化合物、環拡張BODIPY(ボロンジピロメテン)系化合物、イッテルビウム錯体系化合物、酸化銅系化合物、リン酸銅系化合物、ホスホン酸銅系化合物およびスルホン酸銅系化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、スクアリリウム系化合物、フタロシアニン系化合物、ポリメチン系化合物、シアニン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、ピロロピロール系化合物、ジイモニウム系化合物、クロコニウム系化合物、ヘキサフィリン系化合物、金属ジチオラート系化合物、環拡張BODIPY(ボロンジピロメテン)系化合物、ペリレン系化合物、ヘテロ環共役系化合物、イッテルビウム錯体系化合物、酸化銅系化合物、リン酸銅系化合物、ホスホン酸銅系化合物、スルホン酸銅系化合物および環拡張ジピロメテン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。
[Near infrared absorber]
As the near-infrared absorber, an absorbent having an average transmittance of 20 to 85% at a wavelength (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is preferable.
Examples of such absorbents include squarylium compounds, croconium compounds, phthalocyanine compounds, naphthalocyanine compounds, polymethine compounds, cyanine compounds, tetraazaporphyrin compounds, diimonium compounds, porphyrin compounds, and tria. Lillemethane compound, subphthalocyanine compound, perylene compound, semisquarylium compound, styryl compound, phenazine compound, pyridomethene-boron complex compound, pyrazine-boron complex compound, pyridoneazo compound, xanthene compound, dipyrromethene System compounds, ring-extended dipyrromethene-based compounds, pyrolopyrrole-based compounds, hetero-ring-conjugated compounds, hexaphyllin-based compounds, metal dithiolate-based compounds, ring-extended BODIPY (borondipyrromethene) -based compounds, itterbium complex-based compounds, copper oxide-based compounds , At least one selected from the group consisting of copper phosphate compounds, copper phosphonate compounds and copper sulfonate compounds, preferably squarylium compounds, phthalocyanine compounds, polymethine compounds, cyanine compounds, na Phthalocyanin compounds, pyrolopyrrole compounds, diimonium compounds, croconium compounds, hexaphyllin compounds, metal dithiolate compounds, ring-extended BODICY (boron dipyrromethene) compounds, perylene compounds, heterocyclic conjugate compounds, itterbium complex More preferably, it is at least one selected from the group consisting of systematic compounds, copper oxide compounds, copper phosphate compounds, copper phosphonate compounds, copper sulfonate compounds and ring-extended dipyrromethene compounds.

前記(i)において、前記基材Bの材質が樹脂である場合、該近赤外線吸収剤は、スクアリリウム系化合物、ポリメチン系化合物、ジイモニウム系化合物、ヘテロ環共役系化合物が好ましい。
また、前記(i)において、前記基材Bの材質がリン酸ガラスまたはフツリン酸ガラスである場合、該近赤外線吸収剤は、酸化銅系化合物、またはリン酸銅系化合物が好ましい。
In the above (i), when the material of the base material B is a resin, the near-infrared absorber is preferably a squarylium-based compound, a polymethine-based compound, a diimonium-based compound, or a heterocyclic conjugated compound.
Further, in the case of (i), when the material of the base material B is glass phosphate or glass phosphate, the near-infrared absorber is preferably a copper oxide compound or a copper phosphate compound.

前記近赤外線吸収剤の極大吸収波長は、好ましくは850〜1200nm、より好ましくは880〜1150nm、特に好ましくは885〜1130nmの範囲にある。
このような近赤外線吸収剤を用いると、波長λOMAXが前記好ましい範囲、すなわち、830nm≦λOMAX≦860nm、930nm≦λOMAX≦960nm、または、1100nm≦λOMAX≦1150nmにある場合、近赤外線吸収層が効率的にゴースト光を吸収することができるため、ゴーストを効果的に低減できる傾向にある。
The maximum absorption wavelength of the near-infrared absorber is preferably in the range of 850 to 1200 nm, more preferably 880 to 1150 nm, and particularly preferably 885 to 1130 nm.
The use of such a near-infrared absorbing agent, a wavelength .lamda.o MAX is the preferred range, i.e., 830nm ≦ λO MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λO MAX ≦ 960nm or, when in the 1100nm ≦ λO MAX ≦ 1150nm, near infrared absorption Since the layer can efficiently absorb ghost light, ghost tends to be effectively reduced.

前記近赤外線吸収剤は、一般的に知られている方法で合成すればよく、例えば、特開平1−228960号公報、特開2001−40234号公報、特許第3094037号公報、特許第3196383号公報、特開2009−108267号公報に記載されている方法を参照して合成することができる。 The near-infrared absorber may be synthesized by a generally known method. For example, JP-A-1-228960, JP-A-2001-40234, Patent No. 3094037, and Patent No. 3196383. , JP 2009-108267 can be synthesized by referring to the method described in JP-A-2009-108267.

前記近赤外線吸収剤の含有量は、前記(i)の場合、樹脂100質量部に対して、好ましくは0.0001〜20.0質量部、より好ましくは0.0002〜15質量部、特に好ましくは0.0003〜10質量部であり、前記(ii)の場合、具体的には、近赤外線吸収剤を含まない基材Bと、硬化性樹脂等の樹脂と近赤外線吸収剤とを含有するオーバーコート層とが積層された積層構造体を用いる場合には、該オーバーコート層に含まれる樹脂100質量部に対して、好ましくは0.0001〜50質量部、より好ましくは0.005〜40質量部、特に好ましくは0.001〜30質量部である。
近赤外線吸収剤の含有量が前記範囲にあると、良好な近赤外線吸収特性を有する近赤外線吸収層を容易に得ることができる。
In the case of (i), the content of the near-infrared absorber is preferably 0.0001 to 20.0 parts by mass, more preferably 0.0002 to 15 parts by mass, particularly preferably 0.0002 to 15 parts by mass, based on 100 parts by mass of the resin. Is 0.0003 to 10 parts by mass, and in the case of (ii) above, specifically, the base material B containing no near-infrared absorber, a resin such as a curable resin, and the near-infrared absorber are contained. When a laminated structure in which an overcoat layer is laminated is used, it is preferably 0.0001 to 50 parts by mass, more preferably 0.005 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin contained in the overcoat layer. It is by mass, particularly preferably 0.001 to 30 parts by mass.
When the content of the near-infrared absorbing agent is within the above range, a near-infrared absorbing layer having good near-infrared absorbing characteristics can be easily obtained.

[スクアリリウム系化合物]
前記スクアリリウム系化合物としては特に制限されないが、極大吸収波長を前記範囲に有する化合物が好ましい。このようなスクアリリウム系化合物としては、例えば、下記式(Z)で表される化合物が挙げられる。
[Squarylium compounds]
The squarylium-based compound is not particularly limited, but a compound having a maximum absorption wavelength in the above range is preferable. Examples of such a squarylium-based compound include a compound represented by the following formula (Z).

式(Z)中、ユニットAおよびBはそれぞれ独立に、下記式(I)または(II)で表されるユニットのいずれかを表す。 In the formula (Z), the units A and B independently represent either the unit represented by the following formula (I) or (II).

式(I)および(II)中、波線で表した部分は前記式(Z)の中央の四員環との結合部位を表し、
Xは独立に、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、テルル原子または−NR8−を表し、
1〜R7はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、水酸基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシ基、リン酸基、−NRgh基、−SRi基、−SO2i基、−OSO2i基または下記La〜Lhのいずれかを表し、R8はそれぞれ独立に、水素原子またはLa〜Lhのいずれかを表し、RgおよびRhはそれぞれ独立に、水素原子、−C(O)Ri基または下記La〜Leのいずれかを表し、Riは、下記La〜Leのいずれかを表し、
(La)炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基
(Lb)炭素数1〜12のハロゲン置換アルキル基
(Lc)炭素数3〜14の脂環式炭化水素基
(Ld)炭素数6〜14の芳香族炭化水素基
(Le)炭素数3〜14の複素環基
(Lf)炭素数1〜12のアルコキシ基
(Lg)置換基Lを有してもよい炭素数1〜12のアシル基
(Lh)置換基Lを有してもよい炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基
置換基Lは、前記La〜Leより選ばれる少なくとも1種である。
In formulas (I) and (II), the portion represented by the wavy line represents the binding site with the central four-membered ring of the formula (Z).
X independently represents an oxygen atom, a sulfur atom, a selenium atom, a tellurium atom or −NR 8 −.
R 1 to R 7 are independently hydrogen atom, halogen atom, sulfo group, hydroxyl group, cyano group, nitro group, carboxy group, phosphate group, -NR g R h group, -SR i group, -SO 2 R. It represents either i group, -OSO 2 R i group or L a to L h below, R 8 independently represents either hydrogen atom or L a to L h , and R g and R h respectively. independently represent any of a hydrogen atom, -C (O) R i groups or the following L a ~L e, R i represents any of the following L a ~L e,
(L a) from 1 to 12 carbon atoms aliphatic hydrocarbon group (L b) halogen-substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (L c) of 3 to 14 carbon atoms alicyclic hydrocarbon group (L d) carbon Aromatic hydrocarbon group (L e ) of number 6 to 14 Heterocyclic group of carbon number 3 to 14 (L f ) Alkoxy group (L g ) substituent L of carbon number 1 to 12 may have carbon number 1-12 acyl group (L h) substituents L carbon atoms which may have from 2 to 12 alkoxycarbonyl group substituent L is at least one selected from the L a ~L e.

前記R1としては、好ましくは、水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、水酸基、アミノ基、ジメチルアミノ基、ニトロ基であり、より好ましくは水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、水酸基である。 The R 1 is preferably a hydrogen atom, a chlorine atom, a fluorine atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a cyclohexyl group, and the like. It is a phenyl group, a hydroxyl group, an amino group, a dimethylamino group or a nitro group, and more preferably a hydrogen atom, a chlorine atom, a fluorine atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group or a hydroxyl group.

前記R2〜R7としてはそれぞれ独立に、好ましくは、水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、水酸基、アミノ基、ジメチルアミノ基、シアノ基、ニトロ基、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、アセチルアミノ基、プロピオニルアミノ基、N−メチルアセチルアミノ基、トリフルオロメタノイルアミノ基、ペンタフルオロエタノイルアミノ基、tert−ブタノイルアミノ基、シクロヘキシノイルアミノ基、n−ブチルスルホニル基、メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピルチオ基、n−ブチルチオ基であり、より好ましくは水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、水酸基、ジメチルアミノ基、メトキシ基、エトキシ基、アセチルアミノ基、プロピオニルアミノ基、トリフルオロメタノイルアミノ基、ペンタフルオロエタノイルアミノ基、tert−ブタノイルアミノ基、シクロヘキシノイルアミノ基、メチルチオ基、エチルチオ基である。 The R 2 to R 7 are independent of each other, preferably hydrogen atom, chlorine atom, fluorine atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-. Butyl group, cyclohexyl group, phenyl group, hydroxyl group, amino group, dimethylamino group, cyano group, nitro group, methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, n-butoxy group, acetylamino group, propionylamino group, N- Methylacetylamino group, trifluoromethanoylamino group, pentafluoroethanoylamino group, tert-butanoylamino group, cyclohexinoylamino group, n-butylsulfonyl group, methylthio group, ethylthio group, n-propylthio group, n -Butylthio group, more preferably hydrogen atom, chlorine atom, fluorine atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, tert-butyl group, hydroxyl group, dimethylamino group, methoxy group, ethoxy group, acetyl. Amino group, propionylamino group, trifluoromethanoylamino group, pentafluoroetanoylamino group, tert-butanoylamino group, cyclohexinoylamino group, methylthio group, ethylthio group.

前記R8としては、好ましくは、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、フェニル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、tert−ブチル基、n−デシル基である。 The R 8 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a cyclohexyl group, an n-pentyl group, or n. -Hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, phenyl group, more preferably hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n -Butyl group, tert-butyl group, n-decyl group.

前記Xとしては、好ましくは、酸素原子、硫黄原子、−NR8−であり、式(I)のXとしては、特に好ましくは、酸素原子、硫黄原子であり、式(II)のXとしては、特に好ましくは、−NR8−である。 As the X, preferably an oxygen atom, a sulfur atom, -NR 8 - in and, as the X of formula (I), particularly preferably an oxygen atom, a sulfur atom, X of formula (II) , Particularly preferably −NR 8 −.

スクアリリウム系化合物は、下記式(Z1)のように表すことができるし、下記式(Z2)のような共鳴構造として表すこともできる。つまり、下記式(Z1)と下記式(Z2)との違いは構造の記載方法のみであり、どちらも同一の化合物を表す。本明細書中では特に断りのない限り、下記式(Z1)のような記載方法にてスクアリリウム系化合物の構造を表す。 The squarylium-based compound can be represented by the following formula (Z1) or as a resonance structure as shown in the following formula (Z2). That is, the difference between the following formula (Z1) and the following formula (Z2) is only the method of describing the structure, and both represent the same compound. Unless otherwise specified in the present specification, the structure of the squarylium-based compound is represented by a description method such as the following formula (Z1).

さらに、例えば、下記式(Z1)で表される化合物と下記式(Z3)で表される化合物は、同一の化合物であると見なすことができる。 Further, for example, the compound represented by the following formula (Z1) and the compound represented by the following formula (Z3) can be regarded as the same compound.

式(Z)で表される化合物において、中央の四員環に結合している左右のユニットは、それぞれ式(I)または式(II)で表される構造であれば同一であっても異なっていてもよいが、ユニット中の置換基も含めて同一であった方が合成上容易であるため好ましい。つまり、式(Z)で表される化合物としては、下記式(III)または式(IV)で表される化合物が好ましい。 In the compound represented by the formula (Z), the left and right units bonded to the central four-membered ring are different even if they have the same structure as long as they have the structure represented by the formula (I) or the formula (II), respectively. However, it is preferable that the substituents in the unit are the same because it is easy to synthesize. That is, as the compound represented by the formula (Z), the compound represented by the following formula (III) or the formula (IV) is preferable.

式(Z)で表される化合物の具体例としては、例えば、下記表1および表2に記載の化合物(z−1)〜(z−58)を挙げることができる。 Specific examples of the compound represented by the formula (Z) include compounds (z-1) to (z-58) shown in Tables 1 and 2 below.

[ポリメチン系化合物]
前記ポリメチン系化合物としては特に制限されないが、極大吸収波長を前記範囲に有する化合物が好ましい。このようなポリメチン系化合物としては、例えば、下記式(S−a)〜(S−d)で表される化合物が挙げられる。
[Polymethine compounds]
The polymethine-based compound is not particularly limited, but a compound having a maximum absorption wavelength in the above range is preferable. Examples of such a polymethine-based compound include compounds represented by the following formulas (S-a) to (S-d).

前記A-は1価の陰イオンを表す。該1価の陰イオンとしては特に限定されないが、例えば、Cl-、Br-、I-、PF6 -、ClO4 -、NO3 -、BF4 -、SCN-、CH3COO-、CH3CH2COO-、メチルスルホン酸イオン、テトラフルオロメチルスルホン酸イオン、ナフタレンスルホン酸イオン、アントラセンスルホン酸イオン、N(SO2CF32 -、B(C654 -、C65SO3 -、トルエンスルホン酸イオン、CF3COO-、CF3CF2COO-、ニッケルジチオラート系錯体イオン、銅ジチオラート系錯体イオンが挙げられる。 Wherein A - represents a monovalent anion. No particular limitation is imposed on the said monovalent anion, e.g., Cl -, Br -, I -, PF 6 -, ClO 4 -, NO 3 -, BF 4 -, SCN -, CH 3 COO -, CH 3 CH 2 COO -, methyl sulfonic acid ion, tetrafluoro methyl sulfonic acid ion, naphthalenesulfonic acid ion, anthracene sulfonate ion, N (SO 2 CF 3) 2 -, B (C 6 F 5) 4 -, C 6 H 5 SO 3 -, toluenesulfonate ion, CF 3 COO -, CF 3 CF 2 COO -, nickel dithio alert based complex ions, copper Jichiorato based complex ions.

前記複数あるDはそれぞれ独立に、炭素原子、窒素原子、酸素原子または硫黄原子を表す。
前記複数あるXはそれぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、セレン原子または−NR8−を表し、R8はそれぞれ独立に、水素原子または前記La〜Lhのいずれかを表す。
The plurality of Ds independently represent a carbon atom, a nitrogen atom, an oxygen atom or a sulfur atom.
Independently each of the plurality of X represents an oxygen atom, a sulfur atom, a selenium atom or -NR 8 - represents, R 8 each independently represent any of a hydrogen atom or the L a ~L h.

複数あるRa〜Riはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、ニトロ基、アミノ基、アミド基、イミド基、シアノ基、シリル基、−L1、−S−L2、−SS−L2、−SO2−L3、−NRgh基(RgおよびRhはそれぞれ独立に、下記L2または−C(O)Ri基を表し、Riは、下記L2を表す。)、−N=N−L4、または、RbとRc、RdとRe、ReとRf、RfとRg、RgとRhおよびRhとRiのうち少なくとも1つの組み合わせが結合した、下記式(a)〜(h)で表される基から選ばれる基を表す。 A plurality of R a to R i are independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, carboxy group, nitro group, amino group, amide group, imide group, cyano group, silyl group, -L 1 , -S-L 2 , -SS-L 2 , -SO 2- L 3 , -NR g R h group (R g and R h independently represent the following L 2 or -C (O) R i group, where R i is Represents L 2 below), -N = N-L 4 , or R b and R c , R d and R e , R e and R f , R f and R g , R g and R h and R h. Represents a group selected from the groups represented by the following formulas (a) to (h) to which at least one combination of and R i is bonded.

なお、前記式(S−a)〜(S−d)中のD−(Rb)(Rc)は、便宜的にこのように記載しているのであり、必ずしもDにRbおよびRcが結合しているわけではない。例えば、Dが窒素原子の場合、RbおよびRcの一方は存在せず、Dが酸素原子場合、RbおよびRcは両方とも存在せず、Dが硫黄原子場合、RbおよびRcは両方とも存在しないか、または、RbおよびRcの合計が4個となる。 In addition, D- (R b ) (R c ) in the above formulas (S-a) to (S-d) is described in this way for convenience, and R b and R c are not necessarily included in D. Are not combined. For example, if D is a nitrogen atom, then one of R b and R c is absent, if D is an oxygen atom, then both R b and R c are absent, and if D is a sulfur atom, then R b and R c. Both do not exist, or the sum of R b and R c is four.

前記アミノ基、アミド基、イミド基およびシリル基は、炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜12のハロゲン置換アルキル基、炭素数3〜14の脂環式炭化水素基、炭素数6〜14の芳香族炭化水素基、炭素数3〜14の複素環基、ハロゲン原子、スルホ基、水酸基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシ基、リン酸基およびアミノ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の置換基L'を有してもよい。 The amino group, amide group, imide group and silyl group are an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, a halogen-substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 14 carbon atoms. Selected from the group consisting of an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 14 carbon atoms, a halogen atom, a sulfo group, a hydroxyl group, a cyano group, a nitro group, a carboxy group, a phosphoric acid group and an amino group. It may have at least one substituent L'.

前記L1は、下記La〜Liのいずれかである。
(La)前記置換基L'を有してもよい炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基
(Lb)前記置換基L'を有してもよい炭素数1〜12のハロゲン置換アルキル基
(Lc)前記置換基L'を有してもよい炭素数3〜14の脂環式炭化水素基
(Ld)前記置換基L'を有してもよい炭素数6〜14の芳香族炭化水素基
(Le)前記置換基L'を有してもよい炭素数3〜14の複素環基
(Lf)前記置換基L'を有してもよい炭素数1〜9のアルコキシ基
(Lg)前記置換基L'を有してもよい炭素数1〜9のアシル基
(Lh)前記置換基L'を有してもよい炭素数2〜9のアルコキシカルボニル基
(Li)前記置換基L'を有してもよい炭素数1〜12のスルフィド基またはジスルフィド基
Wherein L 1 is one of the following L a ~L i.
(L a) the substituents L 'also good having 1 to 12 carbon atoms include aliphatic hydrocarbon groups (L b) the substituents L' of 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen-substituted alkyl Group (L c ) Alicyclic hydrocarbon group having 3 to 14 carbon atoms which may have the substituent L'(L d ) Aroma having 6 to 14 carbon atoms which may have the substituent L'. Group hydrocarbon group (L e ) A heterocyclic group having 3 to 14 carbon atoms which may have the substituent L'(L f ) An alkoxy having 1 to 9 carbon atoms which may have the substituent L'. Group (L g ) Acrylic group having 1 to 9 carbon atoms which may have the substituent L'(L h ) An alkoxycarbonyl group (L) having 2 to 9 carbon atoms which may have the substituent L'. i ) A sulfide group or disulfide group having 1 to 12 carbon atoms which may have the substituent L'.

前記L2は、水素原子または前記L1におけるLa〜Leのいずれかを表し、
前記L3は、水素原子または前記L1におけるLa〜Leのいずれかを表し、
前記L4は、前記L1におけるLa〜Leのいずれかを表す。
The L 2 represents either a hydrogen atom or La to L e in the L 1 and represents.
The L 3 represents either a hydrogen atom or La to L e in the L 1 and represents.
Wherein L 4 represents represents any of L a ~L e in the L 1.

式(a)〜(h)中、RxおよびRyは炭素原子を表し、
複数あるRA〜RLはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、ニトロ基、アミノ基、アミド基、イミド基、シアノ基、シリル基、−L1、−S−L2、−SS−L2、−SO2−L3、−NRgh基(RgおよびRhはそれぞれ独立に、L2または−C(O)Ri基を表し、Riは、L2を表す。)または−N=N−L4(L1〜L4は、前記Ra〜RiにおけるL1〜L4と同義である。)を表し、前記アミノ基、アミド基、イミド基およびシリル基は、前記置換基L'を有してもよい。
In formulas (a) to (h), R x and R y represent carbon atoms.
A plurality of RA to RL are independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, carboxy group, nitro group, amino group, amide group, imide group, cyano group, silyl group, -L 1 , -S-L 2 , -SS-L 2 , -SO 2 -L 3 , -NR g R h group (R g and R h independently represent L 2 or -C (O) R i group, where R i is L represents 2.) or -N = N-L 4 (L 1 ~L 4 , the same meaning as L 1 ~L 4 in R a to R i.) represent the amino group, amido group, imido The group and the silyl group may have the substituent L'.

a〜ZcおよびYa〜Ydはそれぞれ独立に、水素原子;ハロゲン原子;水酸基;カルボキシ基;ニトロ基;アミノ基;アミド基;イミド基;シアノ基;シリル基;−L1;−S−L2;−SS−L2;−SO2−L3;−NRgh基(RgおよびRhはそれぞれ独立に、L2または−C(O)Ri基を表し、Riは、L2を表す。);−N=N−L4(L1〜L4は、前記Ra〜RiにおけるL1〜L4と同義である。);Z同士もしくはY同士のうち隣接した二つが相互に結合して形成される、炭素数6〜14の芳香族炭化水素基;Z同士もしくはY同士のうち隣接した二つが相互に結合して形成される、窒素原子、酸素原子もしくは硫黄原子を少なくとも1つ含んでいてもよい5〜6員環の脂環式炭化水素基;または、Z同士もしくはY同士のうち隣接した二つが相互に結合して形成される、窒素原子、酸素原子もしくは硫黄原子を少なくとも1つ含む、炭素数3〜14の複素芳香族炭化水素基;を表し、これらの芳香族炭化水素基、脂環式炭化水素基および複素芳香族炭化水素基は、炭素数1〜9の脂肪族炭化水素基またはハロゲン原子を有してもよく、前記アミノ基、アミド基、イミド基およびシリル基は、前記置換基L'を有していてもよい。 Z a to Z c and Y a to Y d are independently hydrogen atom; halogen atom; hydroxyl group; carboxy group; nitro group; amino group; amide group; imide group; cyano group; silyl group; -L 1 ;- S-L 2 ; -SS-L 2 ; -SO 2- L 3 ; -NR g R h group (R g and R h independently represent L 2 or -C (O) R i group, R i represents L 2 ); −N = N−L 4 (L 1 to L 4 are synonymous with L 1 to L 4 in Ra to R i ); Z to each other or Y to each other. Aromatic hydrocarbon groups having 6 to 14 carbon atoms, of which two adjacent ones are bonded to each other; nitrogen atoms and oxygen formed by bonding two adjacent Zs or Ys to each other. A 5- to 6-membered alicyclic hydrocarbon group which may contain at least one atom or sulfur atom; or a nitrogen atom formed by bonding two adjacent Zs or Ys to each other. , A heteroaromatic hydrocarbon group having 3 to 14 carbon atoms and containing at least one oxygen atom or sulfur atom; these aromatic hydrocarbon groups, alicyclic hydrocarbon groups and heteroaromatic hydrocarbon groups , It may have an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms or a halogen atom, and the amino group, the amide group, the imide group and the silyl group may have the substituent L'.

前記Za〜ZcおよびYa〜Ydにおける、Z同士もしくはY同士が相互に結合して形成される、炭素数6〜14の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、メシチル基、クメニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、アセナフチル基、フェナレニル基、テトラヒドロナフチル基、インダニル基、ビフェニリル基が挙げられる。 Examples of the aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms formed by bonding Z to each other or Y to each other in Z a to Z c and Y a to Y d include a phenyl group and a tolyl group. , Xyryl group, mesityl group, cumenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, anthracenyl group, phenanthryl group, acenaphthyl group, phenalenyl group, tetrahydronaphthyl group, indanyl group and biphenylyl group.

前記Za〜ZcおよびYa〜Ydにおける、Z同士もしくはY同士が相互に結合して形成される、窒素原子、酸素原子もしくは硫黄原子を少なくとも1つ含んでもよい5〜6員環の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基およびシクロオクチル基等のシクロアルキル基;ノルボルナン基およびアダマンタン基等の多環脂環式基;テトラヒドロフラン、ピロリン、ピロリジン、イミダゾリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリンからなる基等の複素環が挙げられる。 A 5- to 6-membered ring of Z a to Z c and Y a to Y d , which may contain at least one nitrogen atom, oxygen atom or sulfur atom formed by bonding Z to each other or Y to each other. Examples of the alicyclic hydrocarbon group include a cycloalkyl group such as a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group and a cyclooctyl group; a polycyclic alicyclic group such as a norbornan group and an adamantan group; tetrahydrofuran and pyrolin. , Pyrrolidine, imidazoline, piperidine, piperazine, heterocycles such as a group consisting of morpholin.

前記Za〜ZcおよびYa〜Ydにおける、Z同士もしくはY同士が相互に結合して形成される、炭素数3〜14の複素芳香族炭化水素基としては、例えば、フラン、チオフェン、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、チアゾール、チアジアゾール、インドール、インドリン、インドレニン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、カルバゾール、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、ピリジン、ピリミジン、ピラジン、ピリダジン、キノリン、イソキノリン、アクリジンまたはフェナジンからなる基が挙げられる。 Examples of the heteroaromatic hydrocarbon group having 3 to 14 carbon atoms formed by bonding Z to each other or Y to each other in Z a to Z c and Y a to Y d include furan and thiophene. Pyrazole, pyrazole, imidazole, triazole, oxazole, oxadiazole, thiazole, thiazazole, indol, indolin, indrenine, benzofuran, benzothiophene, carbazole, dibenzofuran, dibenzothiophene, pyridine, pyrimidine, pyrazine, pyridazine, quinoline, isoquinoline, acrydin Alternatively, a group consisting of phenazine can be mentioned.

前記置換基L'を有してもよいアミノ基としては、例えば、アミノ基、エチルアミノ基、ジメチルアミノ基、メチルエチルアミノ基、ジブチルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基が挙げられる。 Examples of the amino group which may have the substituent L'include an amino group, an ethylamino group, a dimethylamino group, a methylethylamino group, a dibutylamino group and a diisopropylamino group.

前記置換基L'を有してもよいアミド基としては、例えば、アミド基、メチルアミド基、ジメチルアミド基、ジエチルアミド基、ジプロピルアミド基、プロピルトリフルオロメチルアミド基、ジイソプロピルアミド基、ジブチルアミド基、α−ラクタム基、β−ラクタム基、γ−ラクタム基、δ−ラクタム基が挙げられる。 Examples of the amide group which may have the substituent L'include an amide group, a methylamide group, a dimethylamide group, a diethylamide group, a dipropylamide group, a propyltrifluoromethylamide group, a diisopropylamide group and a dibutylamide group. , Α-lactam group, β-lactam group, γ-lactam group, δ-lactam group.

前記置換基L'を有してもよいイミド基としては、例えば、イミド基、メチルイミド基、エチルイミド基、ジエチルイミド基、ジプロピルイミド基、ジイソプロピルイミド基、ジブチルイミド基が挙げられる。 Examples of the imide group which may have the substituent L'include an imide group, a methylimide group, an ethylimide group, a diethylimide group, a dipropylimide group, a diisopropylimide group and a dibutylimide group.

前記置換基L'を有してもよいシリル基としては、例えば、トリメチルシリル基、tert−ブチルジメチルシリル基、トリフェニルシリル基、トリエチルシリル基が挙げられる。 Examples of the silyl group that may have the substituent L'include a trimethylsilyl group, a tert-butyldimethylsilyl group, a triphenylsilyl group, and a triethylsilyl group.

前記−S−L2としては、例えば、チオール基、メチルスルフィド基、エチルスルフィド基、プロピルスルフィド基、ブチルスルフィド基、イソブチルスルフィド基、sec−ブチルスルフィド基、tert−ブチルスルフィド基、フェニルスルフィド基、2,6−ジ−tert−ブチルフェニルスルフィド基、2,6−ジフェニルフェニルスルフィド基、4−クミルフェニルスルフィド基が挙げられる。 Examples of the -SL 2 include a thiol group, a methyl sulfide group, an ethyl sulfide group, a propyl sulfide group, a butyl sulfide group, an isobutyl sulfide group, a sec-butyl sulfide group, a tert-butyl sulfide group and a phenyl sulfide group. Examples thereof include a 2,6-di-tert-butylphenyl sulfide group, a 2,6-diphenyl phenyl sulfide group and a 4-cumyl phenyl sulfide group.

前記−SS−L2としては、例えば、ジスルフィド基、メチルジスルフィド基、エチルジスルフィド基、プロピルジスルフィド基、ブチルジスルフィド基、イソブチルジスルフィド基、sec−ブチルジスルフィド基、tert−ブチルジスルフィド基、フェニルジスルフィド基、2,6−ジ−tert−ブチルフェニルジスルフィド基、2,6−ジフェニルフェニルジスルフィド基、4−クミルフェニルジスルフィド基が挙げられる。 Examples of the -SS-L 2 include a disulfide group, a methyl disulfide group, an ethyl disulfide group, a propyl disulfide group, a butyl disulfide group, an isobutyl disulfide group, a sec-butyl disulfide group, a tert-butyl disulfide group and a phenyl disulfide group. Examples thereof include a 2,6-di-tert-butylphenyl disulfide group, a 2,6-diphenylphenyl disulfide group and a 4-cumylphenyl disulfide group.

前記−SO2−L3としては、例えば、スルホ基、メシル基、エチルスルホニル基、n−ブチルスルホニル基、p−トルエンスルホニル基が挙げられる。 Examples of the -SO 2- L 3 include a sulfo group, a mesyl group, an ethylsulfonyl group, an n-butylsulfonyl group, and a p-toluenesulfonyl group.

前記−N=N−L4としては、例えば、メチルアゾ基、フェニルアゾ基、p−メチルフェニルアゾ基、p−ジメチルアミノフェニルアゾ基が挙げられる。 Examples of the -N = N-L 4 include a methylazo group, a phenylazo group, a p-methylphenylazo group, and a p-dimethylaminophenylazo group.

前記(S−c)の中でも、下記式(S−e)で表される化合物が、耐光性の等の点から好ましい。 Among the above (S-c), the compound represented by the following formula (S-e) is preferable from the viewpoint of light resistance and the like.

前記式(S−e)で表される化合物の具体例としては、例えば、下記表3に記載の化合物(S−1)〜(S−20)が挙げられる。
なお、表3中の波線で表した部分は、前記式(S−e)の環との結合部位を表す。
Specific examples of the compound represented by the formula (S-e) include the compounds (S-1) to (S-20) shown in Table 3 below.
The portion represented by the wavy line in Table 3 represents the binding site with the ring of the above formula (S-e).

[ジイモニウム系化合物]
前記ジイモニウム系化合物としては特に制限されないが、極大吸収波長を前記範囲に有する化合物が好ましく、下記式(D1)で表される化合物がより好ましい。
[Diimonium compound]
The diimonium-based compound is not particularly limited, but a compound having a maximum absorption wavelength in the above range is preferable, and a compound represented by the following formula (D1) is more preferable.

式(D1)中、R1およびR2はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、水酸基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシ基、リン酸基、−NRgh基、−SRi基、−SO2i基、−OSO2i基または下記La〜Lhのいずれかを表し、RgおよびRhは、それぞれ独立に水素原子、−C(O)Ri基または下記La〜Leのいずれかを表し、Riは下記La〜Leのいずれかを表し、
(La)炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基
(Lb)炭素数1〜12のハロゲン置換アルキル基
(Lc)炭素数3〜14の脂環式炭化水素基
(Ld)炭素数6〜14の芳香族炭化水素基
(Le)炭素数3〜14の複素環基
(Lf)炭素数1〜12のアルコキシ基
(Lg)置換基Lを有してもよい炭素数1〜12のアシル基
(Lh)置換基Lを有してもよい炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基
前記置換基Lは、前記La〜Leより選ばれる少なくとも1種であり、nは0〜4の整数、Xは電荷を中和させるのに必要なアニオンを表す。
In formula (D1), R 1 and R 2 are independently hydrogen atom, halogen atom, sulfo group, hydroxyl group, cyano group, nitro group, carboxy group, phosphate group, -NR g R h group, -SR i. group, -SO 2 R i group, or an -OSO 2 R i group or a group represented by L a ~L h, R g and R h are each independently a hydrogen atom, -C (O) R i groups or represents one of the following L a ~L e, R i represents any of the following L a ~L e,
(L a) from 1 to 12 carbon atoms aliphatic hydrocarbon group (L b) halogen-substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (L c) of 3 to 14 carbon atoms alicyclic hydrocarbon group (L d) carbon Aromatic hydrocarbon group (L e ) having 6 to 14 carbon atoms, heterocyclic group (L f ) having 3 to 14 carbon atoms, and alkoxy group (L g ) substituent L having 1 to 12 carbon atoms may have carbon number. 1-12 acyl group (L h) alkoxycarbonyl wherein the substituents L substituent L carbon atoms which may have from 2 to 12 is at least one selected from the L a ~L e, n Is an integer from 0 to 4, and X represents the anion required to neutralize the charge.

前記R1は、好ましくは、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基であり、より好ましくは、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ベンジル基である。 R 1 is preferably hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, phenyl group, benzyl. It is a group, more preferably an isopropyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, or a benzyl group.

前記R2は、好ましくは、水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基フェニル基、水酸基、アミノ基、ジメチルアミノ基、シアノ基、ニトロ基、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、アセチルアミノ基、プロピオニルアミノ基、N−メチルアセチルアミノ基、トリフルオロメタノイルアミノ基、ペンタフルオロエタノイルアミノ基、tert−ブタノイルアミノ基、シクロヘキシノイルアミノ基、n−ブチルスルホニル基、メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピルチオ基、n−ブチルチオ基であり、より好ましくは、水素原子、塩素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、水酸基、ジメチルアミノ基、メトキシ基、エトキシ基、アセチルアミノ基、プロピオニルアミノ基、トリフルオロメタノイルアミノ基、ペンタフルオロエタノイルアミノ基、tert−ブタノイルアミノ基、シクロヘキシノイルアミノ基であり、特に好ましくは、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基である。
同じ芳香環に結合しているR2の数(nの値)は0〜4であれば特に制限されないが、0または1であることが好ましい。
R 2 is preferably hydrogen atom, chlorine atom, fluorine atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group phenyl group. , Hydroxyl group, amino group, dimethylamino group, cyano group, nitro group, methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, n-butoxy group, acetylamino group, propionylamino group, N-methylacetylamino group, trifluorometh Noylamino group, pentafluoroetanoylamino group, tert-butanoylamino group, cyclohexinoylamino group, n-butylsulfonyl group, methylthio group, ethylthio group, n-propylthio group, n-butylthio group, more preferably. Hydrogen atom, chlorine atom, fluorine atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, tert-butyl group, hydroxyl group, dimethylamino group, methoxy group, ethoxy group, acetylamino group, propionylamino group, It is a trifluoromethanoylamino group, a pentafluoroetanoylamino group, a tert-butanoylamino group, a cyclohexinoylamino group, and particularly preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group or an isopropyl group. is there.
The number of R 2 bonded to the same aromatic ring (value of n) is not particularly limited as long as 0-4, is preferably 0 or 1.

前記Xは電荷を中和するのに必要なアニオンであり、アニオンが2価である場合には1つ、アニオンが1価の場合には2つ必要となる。後者の場合は2つのアニオンが同一であっても異なっていてもよいが、合成上の観点から同一である方が好ましい。Xはこのようなアニオンであれば特に制限されないが、一例として、下記の表4に記載のアニオンが挙げられる。 The X is an anion necessary for neutralizing the electric charge, and one is required when the anion is divalent and two when the anion is monovalent. In the latter case, the two anions may be the same or different, but they are preferably the same from a synthetic point of view. X is not particularly limited as long as it is such an anion, and examples thereof include the anions shown in Table 4 below.

前記Xは、酸とした際の酸性度が高いアニオンであると、ジイモニウム系化合物の耐熱性を向上できる傾向にある。このことから、前記Xとしては、前記表4中の(X−10)、(X−16)、(X−17)、(X−21)、(X−22)、(X−24)、(X−28)が特に好ましい。 When the X is an anion having a high acidity when it is used as an acid, the heat resistance of the diimonium-based compound tends to be improved. From this, the X includes (X-10), (X-16), (X-17), (X-21), (X-22), (X-24), and (X-24) in Table 4. (X-28) is particularly preferable.

[ヘテロ環共役系化合物]
前記ヘテロ環共役化合物としては特に制限されないが、極大吸収波長を前記範囲に有する化合物が好ましい。このようなヘテロ環共役化合物としては、例えば、下記式(H)で表される化合物が挙げられる。
[Heterocyclic conjugated compound]
The heterocyclic conjugated compound is not particularly limited, but a compound having a maximum absorption wavelength in the above range is preferable. Examples of such a heterocyclic conjugated compound include a compound represented by the following formula (H).

前記RH1〜RH4はそれぞれ独立に、水素原子、La〜Lhのいずれかを表し、
(La)炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基
(Lb)炭素数1〜12のハロゲン置換アルキル基
(Lc)炭素数3〜14の脂環式炭化水素基
(Ld)炭素数6〜14の芳香族炭化水素基
(Le)炭素数3〜14の複素環基
(Lf)炭素数1〜12のアルコキシ基
(Lg)置換基Lを有してもよい炭素数1〜12のアシル基、
(Lh)置換基Lを有してもよい炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基
前記置換基Lは、前記La〜Leより選ばれる少なくとも1種である。
The R H1 to R H4 independently represent either a hydrogen atom or La to L h .
(L a) from 1 to 12 carbon atoms aliphatic hydrocarbon group (L b) halogen-substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (L c) of 3 to 14 carbon atoms alicyclic hydrocarbon group (L d) carbon Aromatic hydrocarbon group (L e ) of number 6 to 14 Heterocyclic group (L f ) having 3 to 14 carbon atoms May have an alkoxy group (L g ) substituent L having 1 to 12 carbon atoms. 1-12 acyl groups,
(L h) alkoxycarbonyl wherein the substituents L substituent L carbon atoms which may have from 2 to 12 is at least one selected from the L a ~L e.

前記RH5〜RH8はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、水酸基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシ基、リン酸基、−NRgh基、−SRi基、−SO2i基、−OSO2i基または前記RH1〜RH4におけるLa〜Lhのいずれかを表し、RgおよびRhはそれぞれ独立に、水素原子、−C(O)Ri基または前記RH1〜RH4におけるLa〜Leのいずれかを表し、Riは前記RH1〜RH4におけるLa〜Leのいずれかを表す。 The R H5 to R H8 are independently hydrogen atom, halogen atom, sulfo group, hydroxyl group, cyano group, nitro group, carboxy group, phosphate group, -NR g R h group, -SR i group, -SO 2 R i group represents either L a ~L h in -OSO 2 R i groups or the R H1 to R H4, are each R g and R h independently represents a hydrogen atom, -C (O) R i groups or represents one of L a ~L e in the R H1 ~R H4, R i represents any L a ~L e in the R H1 to R H4.

前記式(H)で表される化合物において、前記樹脂への溶解性が良好である等の点から、RH1〜RH4は炭素数3以上の前記La〜Lhのいずれかであることが好ましい。
前記式(H)で表される化合物において、RH5〜RH8は化合物が有する電子のエネルギー準位を適切に調整することが容易となる等の点から、臭素原子が好ましい。
In the compound represented by the formula (H), the equal in terms of solubility in the resin is good, that R H1 to R H4 is either the L a ~L h above 3 carbon atoms Is preferable.
In the compound represented by the formula (H), from the viewpoint of the R H5 to R H8 becomes easy to properly adjust the electronic energy levels the compound has, a bromine atom.

〔その他成分〕
前記近赤外線吸収層は、本発明の効果を損なわない範囲において、その他成分として、さらに、紫外線吸収剤、酸化防止剤、離型剤、蛍光消光剤、金属錯体系化合物等の添加剤を含有していてもよい。
前記その他成分は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。
[Other ingredients]
The near-infrared absorbing layer further contains additives such as an ultraviolet absorber, an antioxidant, a mold release agent, a fluorescent quenching agent, and a metal complex compound as other components as long as the effects of the present invention are not impaired. May be.
The other components may be used alone or in combination of two or more.

前記紫外線吸収剤としては、例えば、アゾメチン系化合物、インドール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物が挙げられる。 Examples of the ultraviolet absorber include azomethine compounds, indole compounds, benzotriazole compounds, and triazine compounds.

前記酸化防止剤としては、例えば、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール、2,2'−ジオキシ−3,3'−ジ−tert−ブチル−5,5'−ジメチルジフェニルメタン、テトラキス[メチレン−3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]メタン、トリス(2,6−ジ−tert−ブチルフェニル)ホスファイトが挙げられる。 Examples of the antioxidant include 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, 2,2'-dioxy-3,3'-di-tert-butyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, and the like. Examples thereof include tetrakis [methylene-3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] methane and tris (2,6-di-tert-butylphenyl) phosphite.

なお、これらその他成分は、基材Bに配合する場合には、基材Bを構成する樹脂などとともに混合してもよいし、該樹脂を合成する際に添加してもよい。
また、樹脂を含む基材Bに前記その他成分を添加する場合の添加量は、所望の特性に応じて適宜選択すればよいが、樹脂100質量部に対して、通常0.01〜5.0質量部、好ましくは0.05〜2.0質量部である。
When these other components are blended with the base material B, they may be mixed with the resin or the like constituting the base material B, or may be added when the resin is synthesized.
The amount of the other components added to the base material B containing the resin may be appropriately selected according to the desired characteristics, but is usually 0.01 to 5.0 with respect to 100 parts by mass of the resin. It is by mass, preferably 0.05 to 2.0 parts by mass.

〔誘電体多層膜B〕
前記近赤外線吸収フィルターは、所望の光学特性を有する近赤外線吸収フィルターを容易に得ることができる等の点から、誘電体多層膜Bを有することが好ましい。
このような誘電体多層膜Bとしては、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止膜であることが好ましく、高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層した積層体が挙げられる。
高屈折率材料層および低屈折率材料層としては、それぞれ前述の層が挙げられるが、の反射を十分に抑制し、湿度変化や温度変化等によって光学特性が変化しにくい特性を有する近赤外線吸収フィルターを容易に得ることができる等の点から、高屈折率材料層としては、酸化チタン層が好ましく、低屈折率材料層としては、シリカ層が好ましい。
[Dielectric multilayer film B]
The near-infrared absorbing filter preferably has a dielectric multilayer film B from the viewpoint that a near-infrared absorbing filter having desired optical characteristics can be easily obtained.
The dielectric multilayer film B is preferably an antireflection film that prevents reflection of light having a wavelength of at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm, and includes a high refractive index material layer and a low refractive index material layer. Examples thereof include a laminated body in which the above are alternately laminated.
Examples of the high-refractive index material layer and the low-refractive index material layer include the above-mentioned layers, respectively, but near-infrared absorption having characteristics that sufficiently suppress reflection and hardly change optical characteristics due to humidity change, temperature change, etc. The titanium oxide layer is preferable as the high refractive index material layer, and the silica layer is preferable as the low refractive index material layer from the viewpoint that a filter can be easily obtained.

〔その他の機能層〕
前記近赤外線吸収フィルターは、本発明の効果を損なわない範囲において、基材Bや誘電体多層膜Bの表面硬度の向上、耐薬品性の向上、帯電防止および傷消しなどの目的で、誘電体多層膜B以外の反射防止層、ハードコート膜や帯電防止膜、密着補助膜、応力調整膜、導電膜、遮光層などの機能層を適宜有していてもよい。
前記近赤外線吸収フィルターは、前述の機能層を1層含んでもよく、2層以上含んでもよい。機能層を2層以上含む場合には、同様の層を2層以上含んでもよいし、異なる層を2層以上含んでもよい。
[Other functional layers]
The near-infrared absorbing filter is a dielectric for the purposes of improving the surface hardness of the base material B and the dielectric multilayer film B, improving chemical resistance, preventing antistatic properties, and erasing scratches, as long as the effects of the present invention are not impaired. A functional layer other than the multilayer film B, such as an antireflection layer, a hard coat film, an antistatic film, an adhesion assisting film, a stress adjusting film, a conductive film, and a light shielding layer may be appropriately provided.
The near-infrared absorbing filter may include one layer or two or more of the above-mentioned functional layers. When two or more functional layers are included, two or more similar layers may be included, or two or more different layers may be included.

前記機能層の厚さは、好ましくは0.1〜20μm、さらに好ましくは0.5〜10μm、特に好ましくは0.7〜5μmである。 The thickness of the functional layer is preferably 0.1 to 20 μm, more preferably 0.5 to 10 μm, and particularly preferably 0.7 to 5 μm.

・反射防止層
前記近赤外線吸収フィルターは、誘電体多層膜B以外の膜であればよく、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有することが好ましい。このような反射防止層は、前記近赤外線吸収フィルターの光学センサー側に設けることが好ましい。
-Anti-reflection layer The near-infrared absorbing filter may be a film other than the dielectric multilayer film B, and preferably has an anti-reflection layer that prevents reflection of light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm. .. It is preferable that such an antireflection layer is provided on the optical sensor side of the near-infrared absorbing filter.

前記反射防止層としては、材質、形状等は特に制限されないが、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける近赤外線の反射率が、反射防止層を設ける前よりも低減するような層であることが好ましく、近赤外線吸収フィルターが前記要件(1)を満たすような層であることがより好ましい。
このような反射防止層としては、例えば、前記誘電体多層膜Bからなる反射防止層、厚さ2μm未満の屈折率1.0〜1.4の低屈折率の層からなる反射防止層、直径1μm未満の円錐構造からなる反射防止層が挙げられる。
The material, shape, and the like of the antireflection layer are not particularly limited, but the reflectance of near infrared rays at a wavelength (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is reduced as compared with that before the antireflection layer is provided. Such a layer is preferable, and it is more preferable that the near-infrared absorbing filter is a layer that satisfies the above requirement (1).
Examples of such an antireflection layer include an antireflection layer made of the dielectric multilayer film B, an antireflection layer having a thickness of less than 2 μm and a low refractive index layer of 1.0 to 1.4, and a diameter. Examples thereof include an antireflection layer having a conical structure of less than 1 μm.

・遮光層
前記光学フィルターや近赤外線吸収フィルターは、所望の用途に応じて、図4の(F)や(G)、図5の(F)や(G)に示すように、遮光層を有することが好ましい。
該遮光層は、波長400〜1200nmのいずれかの波長における光の透過率が0.1%以下の層である。
遮光層の構成例としては、このような透過率を満たすような層であれば特に限定されないが、例えば、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などの樹脂と、顔料や染料、金属、金属酸化物、金属窒化物等とを混合し、必要により硬化させたものが挙げられる。また、光学フィルターや近赤外線吸収フィルター上に、波長400〜1200nmのいずれかの波長における光の透過率が0.1%以下となるように、金属、金属酸化物、金属窒化物等からなる層を、前記誘電体多層膜Aと同様の手段で形成してもよい。
前記光学フィルターや近赤外線吸収フィルターは、遮光層を複数有してもよく、複数の遮光層でフレネルゾーンプレート等を形成していてもよい。
-Light-shielding layer The optical filter or near-infrared ray absorbing filter has a light-shielding layer as shown in (F) and (G) of FIG. 4 and (F) and (G) of FIG. 5, depending on the desired application. Is preferable.
The light-shielding layer is a layer having a light transmittance of 0.1% or less at any wavelength of 400 to 1200 nm.
The configuration example of the light-shielding layer is not particularly limited as long as it is a layer that satisfies such transmittance, but for example, resins such as thermosetting resin, ultraviolet curable resin, and thermoplastic resin, pigments, dyes, and the like. Examples thereof include those obtained by mixing a metal, a metal oxide, a metal nitride, or the like and curing the mixture if necessary. Further, on an optical filter or a near-infrared absorbing filter, a layer made of a metal, a metal oxide, a metal nitride or the like so that the light transmittance at any wavelength of 400 to 1200 nm is 0.1% or less. May be formed by the same means as the dielectric multilayer film A.
The optical filter or the near-infrared absorbing filter may have a plurality of light-shielding layers, or a Fresnel zone plate or the like may be formed by the plurality of light-shielding layers.

前記機能層を形成する方法としては特に制限されないが、例えば、反射防止剤、ハードコート剤および/または帯電防止剤等のコーティング剤などを基材や誘電体多層膜等に、溶融成形またはキャスト成形する方法が挙げられる。
また、コーティング剤などを含む硬化性組成物をバーコーター等で基材や誘電体多層膜上に塗布した後、紫外線照射等により硬化することによっても製造することができる。
The method for forming the functional layer is not particularly limited, but for example, a coating agent such as an antireflection agent, a hard coating agent and / or an antistatic agent is melt-molded or cast-molded on a base material, a dielectric multilayer film or the like. There is a way to do it.
It can also be produced by applying a curable composition containing a coating agent or the like on a base material or a dielectric multilayer film with a bar coater or the like, and then curing the composition by irradiation with ultraviolet rays or the like.

前記コーティング剤としては、紫外線(UV)/電子線(EB)硬化型樹脂や熱硬化型樹脂などが挙げられ、具体的には、ビニル化合物類や、ウレタン系、ウレタンアクリレート系、アクリレート系、エポキシ系およびエポキシアクリレート系樹脂などが挙げられる。
これらのコーティング剤を含む硬化性組成物としては、ビニル系、ウレタン系、ウレタンアクリレート系、アクリレート系、エポキシ系およびエポキシアクリレート系硬化性組成物などが挙げられる。
Examples of the coating agent include ultraviolet (UV) / electron beam (EB) curable resin and thermosetting resin, and specific examples thereof include vinyl compounds, urethane-based, urethane acrylate-based, acrylate-based, and epoxy. Examples include based and epoxy acrylate based resins.
Examples of the curable composition containing these coating agents include vinyl-based, urethane-based, urethane acrylate-based, acrylate-based, epoxy-based and epoxy acrylate-based curable compositions.

また、前記硬化性組成物は重合開始剤や有機溶剤を含んでいてもよい。重合開始剤や有機溶剤としては、公知のものを用いることができる。
これらはそれぞれ、1種単独で用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。
Further, the curable composition may contain a polymerization initiator and an organic solvent. Known polymerization initiators and organic solvents can be used.
Each of these may be used alone or in combination of two or more.

なお、基材と機能層および/または誘電体多層膜との密着性や、機能層と誘電体多層膜との密着性を上げる目的で、基材、機能層または誘電体多層膜の表面にコロナ処理やプラズマ処理等の表面処理をしてもよい。 In addition, for the purpose of improving the adhesion between the base material and the functional layer and / or the dielectric multilayer film and the adhesion between the functional layer and the dielectric multilayer film, a corona is formed on the surface of the base material, the functional layer or the dielectric multilayer film. Surface treatment such as treatment or plasma treatment may be performed.

<近赤外線吸収光学フィルター>
前記近赤外線吸収光学フィルターは、誘電体多層膜と、基板と、近赤外線吸収層とを有する。
なお、本モジュール2において、これら誘電体多層膜と、基板と、近赤外線吸収層のうち、最も光学センサー側に具備されるのは、近赤外線吸収層または誘電体多層膜(但し、最も光学センサー側に具備されるのが誘電体多層膜の場合、該誘電体多層膜の光学センサーとは反対側は、近赤外線吸収層である)である。具体的には、例えば、(a)誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、光学センサーの順、(b)誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、(c)基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、(d)基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、(e)誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、または、(f)誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順が挙げられる。
前記近赤外線吸収光学フィルターの構成例を図6に示す。
<Near infrared absorption optical filter>
The near-infrared absorbing optical filter has a dielectric multilayer film, a substrate, and a near-infrared absorbing layer.
In this module 2, among the dielectric multilayer film, the substrate, and the near-infrared absorbing layer, the one provided on the optical sensor side is the near-infrared absorbing layer or the dielectric multilayer film (however, the most optical sensor). When a dielectric multilayer film is provided on the side, the side opposite to the optical sensor of the dielectric multilayer film is a near-infrared absorbing layer). Specifically, for example, (a) dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order, (b) dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor. Order, (c) substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor order, (d) substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor order, (e) Dielectric multilayer film, substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor, or (f) dielectric multilayer film, substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optics The order of the sensors can be mentioned.
A configuration example of the near-infrared absorbing optical filter is shown in FIG.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、具体的は、前記光学フィルターと前記近赤外線吸収フィルターとの積層体(前記近赤外線吸収フィルターを光学センサー側に有する)であることが好ましく、近赤外線吸収光学フィルターにおける誘電体多層膜のうち、前記(a)〜(f)において基板に接する誘電体多層膜は、前記光学フィルターにおける誘電体多層膜A、近赤外線吸収光学フィルターにおける誘電体多層膜のうち、前記(b)、(e)および(f)において、光学センサー側に設けられる誘電体多層膜は、前記近赤外線吸収フィルターにおける誘電体多層膜B、近赤外線吸収光学フィルターにおける基板は前記光学フィルターにおける基材A、近赤外線吸収光学フィルターにおける近赤外線吸収層は前記近赤外線吸収フィルターにおける近赤外線吸収層にそれぞれ対応し、前述した好ましい態様も同様である。 Specifically, the near-infrared absorbing optical filter is preferably a laminate of the optical filter and the near-infrared absorbing filter (the near-infrared absorbing filter is provided on the optical sensor side), and the near-infrared absorbing optical filter. Among the dielectric multilayer films, the dielectric multilayer film in contact with the substrate in the above (a) to (f) is the dielectric multilayer film A in the optical filter and the dielectric multilayer film in the near-infrared absorbing optical filter. In b), (e) and (f), the dielectric multilayer film provided on the optical sensor side is the dielectric multilayer film B in the near-infrared absorbing filter, and the substrate in the near-infrared absorbing optical filter is the substrate in the optical filter. A, The near-infrared absorbing layer in the near-infrared absorbing optical filter corresponds to the near-infrared absorbing layer in the near-infrared absorbing filter, respectively, and the same is true in the above-described preferred embodiment.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過すればよいが、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOAMAX(nm)とした時、
該波長λOAMAXは、前記光学フィルターの波長λOMAXと同様に、830nm≦λOAMAX≦860nm、930nm≦λOAMAX≦960nm、または、1100nm≦λOAMAX≦1150nmを満たすことが好ましい。
The near-infrared absorbing optical filter may transmit light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter is 800 to 1200 nm and the wavelength is λOA MAX (nm).
Wavelength RamudaOA MAX, like the wavelength .lamda.o MAX of the optical filter, 830nm ≦ λOA MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λOA MAX ≦ 960nm or, preferably satisfies the 1100nm ≦ λOA MAX ≦ 1150nm.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、前記λOAMAX[nm]における透過率TOA(λOAMAX)[×100%]が、0.2〜0.85であることを特徴とする。
該TOA(λOAMAX)は、好ましくは0.25以上であり、好ましくは0.82以下である。
TOA(λOAMAX)が、前記範囲の下限以上であると、センシングに必要な感度を確保することが容易となり、前記範囲の上限以下であると、ゴースト強度を容易に低減することができる。
The near-infrared absorbing optical filter is characterized in that the transmittance TOA (λOA MAX ) [× 100%] at the λOA MAX [nm] is 0.2 to 0.85.
The TOA (λOA MAX ) is preferably 0.25 or more, preferably 0.82 or less.
When TOA (λOA MAX ) is at least the lower limit of the above range, it becomes easy to secure the sensitivity required for sensing, and when it is at least the upper limit of the above range, the ghost intensity can be easily reduced.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、下記要件(2)を満たすことが好ましい。
要件(2):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収光学フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOAMAX−15)nm〜(λOAMAX+15)nmにおける反射率の平均値が8.2%以下
反射率の平均値が前記範囲にあると、ゴーストをより低減できることが期待できる。
前記反射率の平均値は、より好ましくは5%以下、さらに好ましくは4%以下、特に好ましくは3%以下である。
このような要件(2)を満たす近赤外線吸収光学フィルターは、例えば、反射防止層を形成することで得ることができる。
The near-infrared absorbing optical filter preferably satisfies the following requirement (2).
Requirement (2): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing optical filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at a wavelength (λOA MAX -15) nm to (λOA MAX +15) nm. If the average value of the reflectance of 8.2% or less is within the above range, it can be expected that the ghost can be further reduced.
The average value of the reflectance is more preferably 5% or less, further preferably 4% or less, and particularly preferably 3% or less.
A near-infrared absorbing optical filter satisfying the requirement (2) can be obtained, for example, by forming an antireflection layer.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、前記と同様の理由から、下記要件(3')および(4')を満たすことが好ましい。 The near-infrared absorbing optical filter preferably satisfies the following requirements (3') and (4') for the same reason as described above.

要件(3'):前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長400nm〜(λOAMAX−30)nmにおける透過率の平均値が5%以下
この要件(3')を満たす近赤外線吸収光学フィルターを用いることで、検出を行う近赤外線(透過する近赤外線)以外の可視光線〜近赤外線までの光を遮蔽することができ、得られる光学センサーモジュールのノイズを容易に低減することができ、より感度を向上することができる等の点から好ましい。
該要件(3')における透過率の平均値は、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2%以下、特に好ましくは1%以下である。
Requirement (3'): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at a wavelength of 400 nm to (λOA MAX -30) nm is 5% or less. Near this requirement (3') is satisfied. By using an infrared absorbing optical filter, it is possible to block light from visible rays to near infrared rays other than the near infrared rays (transmitted near infrared rays) for detection, and the noise of the obtained optical sensor module can be easily reduced. It is preferable from the viewpoint that the sensitivity can be further improved.
The average value of the transmittance in the requirement (3') is more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, and particularly preferably 1% or less.

要件(4'):前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOAMAX+40)nm〜1250nmにおける透過率の平均値が5%以下
この要件(4')を満たす近赤外線吸収光学フィルターを用いることで、検出を行う近赤外線より長波長の光を遮蔽することができ、得られる光学センサーモジュールのノイズを容易に低減することができ、より感度を向上することができる等の点から好ましい。
該要件(4')における透過率の平均値は、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2%以下、特に好ましくは1%以下である。
Requirement (4'): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at a wavelength (λOA MAX +40) nm to 1250 nm is 5% or less. Near-infrared ray satisfying this requirement (4'). By using an absorption optical filter, it is possible to block light having a wavelength longer than that of near-infrared rays for detection, the noise of the obtained optical sensor module can be easily reduced, and the sensitivity can be further improved. It is preferable from the viewpoint of.
The average value of the transmittance in the requirement (4') is more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, and particularly preferably 1% or less.

前記近赤外線吸収光学フィルターは、下記要件(5’)を満たすことが好ましい。
要件(5’):前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOAMAX−15)nm〜(λOAMAX+15)nmにおける透過率の平均値が20〜90%
この要件(5’)を満たす近赤外線吸収光学フィルターを用いることで、光学センサーの感度を高く保つことができ、また、ゴーストの低減等の点から好ましい。
該要件(5’)における透過率の平均値は、より好ましくは20〜85%、さらに好ましくは25〜85%、特に好ましくは25〜80%である。
センサー感度を容易に確保することができる等の点から前記範囲の下限以上であることが好ましい。また、近赤外線吸収光学フィルターのセンサー側に入射した光を吸収する強度が十分となり、ゴーストをより低減できる等の点から前記範囲の上限以下であることが好ましい。
The near-infrared absorbing optical filter preferably satisfies the following requirement (5').
Requirement (5'): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at a wavelength (λOA MAX -15) nm to (λOA MAX +15) nm is 20 to 90%.
By using a near-infrared absorbing optical filter that satisfies this requirement (5'), the sensitivity of the optical sensor can be kept high, and it is preferable from the viewpoint of reducing ghosts and the like.
The average value of the transmittance in the requirement (5') is more preferably 20 to 85%, further preferably 25 to 85%, and particularly preferably 25 to 80%.
It is preferably at least the lower limit of the above range from the viewpoint that the sensor sensitivity can be easily secured. Further, it is preferably not more than the upper limit of the above range from the viewpoint that the intensity of absorbing the light incident on the sensor side of the near-infrared absorbing optical filter is sufficient and the ghost can be further reduced.

〔その他の機能層〕
前記近赤外線吸収光学フィルターは、本発明の効果を損なわない範囲において、基板、誘電体多層膜および/または近赤外線吸収層の表面硬度の向上、耐薬品性の向上、帯電防止および傷消しなどの目的で、反射防止層、ハードコート膜や帯電防止膜、密着補助膜、応力調整膜、導電膜、遮光層などの機能層を適宜有していてもよい。
これらの機能層の詳細については、前記近赤外線吸収フィルターの欄に記載したとおりである。
前記近赤外線吸収光学フィルターは、これらの機能層を1層含んでもよく、2層以上含んでもよい。機能層を2層以上含む場合には、同様の層を2層以上含んでもよいし、異なる層を2層以上含んでもよい。
[Other functional layers]
The near-infrared absorbing optical filter is used for improving the surface hardness of the substrate, the dielectric multilayer film and / or the near-infrared absorbing layer, improving the chemical resistance, preventing antistatic and scratch erasing, etc., as long as the effects of the present invention are not impaired. For the purpose, a functional layer such as an antireflection layer, a hard coat film, an antistatic film, an adhesion assisting film, a stress adjusting film, a conductive film, and a light shielding layer may be appropriately provided.
Details of these functional layers are as described in the column of the near-infrared absorbing filter.
The near-infrared absorbing optical filter may include one layer or two or more of these functional layers. When two or more functional layers are included, two or more similar layers may be included, or two or more different layers may be included.

特に、前記近赤外線吸収光学フィルターは、光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有することが好ましい。このような反射防止層としては、前記誘電体多層膜Bが好ましい。 In particular, the near-infrared absorbing optical filter preferably has an antireflection layer on the optical sensor side that prevents reflection of light having a wavelength of at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm. As such an antireflection layer, the dielectric multilayer film B is preferable.

また、前記近赤外線吸収光学フィルターは、所望の用途に応じて、図6の(D)に示すように、遮光層を有することが好ましい。
該遮光層は、波長400〜1200nmのいずれかの波長における光の透過率が0.1%以下の層である。
遮光層の構成例としては、このような透過率を満たすような層であれば特に限定されないが、例えば、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などの樹脂と、顔料や染料、金属、金属酸化物、金属窒化物等とを混合し、必要により硬化させたものが挙げられる。また、近赤外線吸収光学フィルター上に、波長400〜1200nmのいずれかの波長における光の透過率が0.1%以下となるように、金属、金属酸化物、金属窒化物等からなる層を、前記誘電体多層膜Aと同様の手段で形成してもよい。
前記近赤外線吸収光学フィルターは、遮光層を複数有してもよく、複数の遮光層でフレネルゾーンプレート等を形成していてもよい。
Further, the near-infrared absorbing optical filter preferably has a light-shielding layer as shown in FIG. 6D, depending on the desired application.
The light-shielding layer is a layer having a light transmittance of 0.1% or less at any wavelength of 400 to 1200 nm.
The configuration example of the light-shielding layer is not particularly limited as long as it is a layer that satisfies such transmittance, but for example, resins such as thermosetting resin, ultraviolet curable resin, and thermoplastic resin, pigments, dyes, and the like. Examples thereof include those obtained by mixing a metal, a metal oxide, a metal nitride, or the like and curing the mixture if necessary. Further, a layer made of a metal, a metal oxide, a metal nitride or the like is formed on the near-infrared absorbing optical filter so that the light transmittance at any wavelength of 400 to 1200 nm is 0.1% or less. It may be formed by the same means as the dielectric multilayer film A.
The near-infrared absorbing optical filter may have a plurality of light-shielding layers, or a Fresnel zone plate or the like may be formed by the plurality of light-shielding layers.

前記機能層の厚さは、好ましくは0.1〜20μm、さらに好ましくは0.5〜10μm、特に好ましくは0.7〜5μmである。 The thickness of the functional layer is preferably 0.1 to 20 μm, more preferably 0.5 to 10 μm, and particularly preferably 0.7 to 5 μm.

<光学センサー>
前記光学センサーとしては、近赤外線を利用する光学センサーであれば特に制限されず、従来公知の光学センサーを用いることができる。本発明は、このような近赤外線を利用する従来公知の光学センサーのゴーストを低減する方法を提供するともいえる。
前記光学センサーを構成する部材としては、シリコン製、ブラックシリコン製、InGaAs製等の部材、有機光電変換膜、レクテナ、グラフェンセンサー、メタマテリアルセンサーなどの特定の波長の光を電気信号に変換する光電変換素子を使用することができる。また、光学センサーは飛行時間型測距機構を有してもよい。
<Optical sensor>
The optical sensor is not particularly limited as long as it is an optical sensor that uses near infrared rays, and a conventionally known optical sensor can be used. It can be said that the present invention provides a method for reducing the ghost of a conventionally known optical sensor using such near infrared rays.
The members constituting the optical sensor include members made of silicon, black silicon, InGaAs, etc., and photoelectrics that convert light of a specific wavelength into an electric signal such as an organic photoelectric conversion film, a rectena, a graphene sensor, and a metamaterial sensor. A conversion element can be used. Further, the optical sensor may have a time-of-flight distance measuring mechanism.

前記光学センサーは、迷光抑制等の点から、偏光フィルター、ワイヤーグリッド等を有してもよい。
また、前記光学センサーとしては、ノイズを低減する等の点から、カラーフィルター等を介し、可視光領域の波長の感度を低減させた光学センサーが好ましい。カラーフィルターを介し、可視光領域の波長の感度を低減させた近赤外線光学センサーとしては、例えば、特開2017−216678号公報に記載の光学センサーが挙げられる。
The optical sensor may have a polarizing filter, a wire grid, or the like from the viewpoint of suppressing stray light.
Further, as the optical sensor, an optical sensor in which the sensitivity of the wavelength in the visible light region is reduced via a color filter or the like is preferable from the viewpoint of reducing noise and the like. Examples of the near-infrared optical sensor in which the sensitivity of the wavelength in the visible light region is reduced via a color filter include the optical sensor described in JP-A-2017-216678.

・ブラックシリコン
図7における、光学センサー5や、環境光センサー114としては、ブラックシリコン製の部材を用いることが好ましい。
ブラックシリコンとしては、例えば、シリコンウエハに特定の雰囲気下でレーザーを照射することにより、シリコン表面に微小スパイクを形成することで得ることができる。ブラックシリコン製の部材を用いた場合、シリコンフォトダイオードを用いた場合に比べ、近赤外線帯域の受光感度が高くなる等のため、より好適に用いられる。
ブラックシリコンを用いた光学センサーの市販品としては、SiOnyx社製のXQEシリーズが挙げられる。
-Black Silicon As the optical sensor 5 and the ambient light sensor 114 in FIG. 7, it is preferable to use a member made of black silicon.
Black silicon can be obtained, for example, by irradiating a silicon wafer with a laser in a specific atmosphere to form minute spikes on the silicon surface. When a member made of black silicon is used, the light receiving sensitivity in the near infrared band is higher than that when a silicon photodiode is used, so that it is more preferably used.
Examples of commercially available optical sensors using black silicon include the XQE series manufactured by Sionyx.

≪光学センサーユニット≫
本モジュールを用いる場合の一例として、本モジュール1を用いた光学センサーユニットの構成例を図7に示す。
光学センサーユニットは、図7(A)に示すように、光学フィルター3と近赤外線吸収フィルター4と光学センサー5とを有する光学センサーモジュール1に加え、光源102を内蔵した光源ユニット101を併設してもよい。図7(B)のように、レンズ(群)またはレンズ機能を有する光学素子2を有してもよく、撮像装置またはカメラモジュールとしてもよい。光源の走査のため、図7(C)や(D)のように、ポリゴンミラーやMEMS、フェーズドアレイ等の走査光学素子112を含む光源走査ユニット111を有してもよい。光学センサーユニットに用いる、光源ユニット、光学センサーモジュール、レンズ(群)等は、それぞれ、一つでも複数でもよい。
≪Optical sensor unit≫
As an example of using this module, FIG. 7 shows a configuration example of an optical sensor unit using this module 1.
As shown in FIG. 7A, the optical sensor unit includes an optical sensor module 1 having an optical filter 3, a near-infrared absorption filter 4, and an optical sensor 5, and a light source unit 101 having a built-in light source 102. May be good. As shown in FIG. 7B, it may have a lens (group) or an optical element 2 having a lens function, and may be an image pickup apparatus or a camera module. For scanning the light source, as shown in FIGS. 7C and 7D, a light source scanning unit 111 including a scanning optical element 112 such as a polygon mirror, MEMS, or a phased array may be provided. The light source unit, the optical sensor module, the lens (group), and the like used in the optical sensor unit may be one or a plurality, respectively.

前記光学センサーユニットは、図7(E)のように環境光センサー114を含む環境光センサーユニット113を有してもよい。ノイズのオフセットが可能となり高感度化が可能となる等の点から、環境光センサーユニット113を有することがより好ましい。
また、得られた情報を元に、図7(A)〜(E)のように信号処理装置を介し、固体認証装置、測距装置、生体認証装置等としてもよい。
The optical sensor unit may have an ambient light sensor unit 113 including an ambient light sensor 114 as shown in FIG. 7 (E). It is more preferable to have the ambient light sensor unit 113 from the viewpoint that noise can be offset and the sensitivity can be increased.
Further, based on the obtained information, a solid-state authentication device, a distance measuring device, a biometric authentication device, or the like may be used via a signal processing device as shown in FIGS. 7A to 7E.

・光源
光源102としては、波長800〜1150nmに発光極大波長を有するLED、有機LED、レーザーダイオード、Ybレーザー、フォトニック結晶面発光レーザーダイオード(PCSEL)、垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)等を用いることができる。
発光波長の急峻さから、PCSELまたはVCSELがより好ましい。PCSELとしては、例えば、浜松ホトニクス(株)製のL13395−04が挙げられる。VCSELとしては、例えば、オプトウェル社製のHV94−0015M3が挙げられる。
-Light source As the light source 102, an LED having a maximum emission wavelength at a wavelength of 800 to 1150 nm, an organic LED, a laser diode, a Yb laser, a photonic crystal surface emitting laser diode (PCSEL), a vertical resonator surface emitting laser (VCSEL), or the like can be used. Can be used.
PCSEL or VCSEL is more preferable because of the steepness of the emission wavelength. Examples of PCSEL include L13395-04 manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd. Examples of the VCSEL include HV94-0015M3 manufactured by Optwell.

・光学素子
光学素子2や2'としては、例えば、ガラスレンズ、樹脂レンズ、フレネルゾーンプレート、回析光学素子、メタレンズ、メタサーフェスを用いることができる。これらの表面に誘電体多層膜Bからなる反射防止層を有してもよく、これらを構成する部品中に、近赤外線吸収剤や紫外線吸収剤、可視光吸収剤、離型剤、蛍光消光剤、金属錯体系化合物等の添加剤を含有する層を有してもよい。得られる光学センサーモジュールを低背化しやすい等の点から、フレネルゾーンプレート、回析光学素子またはメタレンズを有することが好ましい。
-Optical element As the optical element 2 or 2', for example, a glass lens, a resin lens, a Fresnel zone plate, a diffractive optical element, a metal lens, or a meta surface can be used. An antireflection layer made of a dielectric multilayer film B may be provided on these surfaces, and a near-infrared absorber, an ultraviolet absorber, a visible light absorber, a mold release agent, and a fluorescent quencher are included in the components constituting these. , It may have a layer containing an additive such as a metal complex compound. It is preferable to have a Fresnel zone plate, a diffractive optical element, or a metal lens from the viewpoint of easily reducing the height of the obtained optical sensor module.

以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

<分子量>
樹脂の分子量は、各樹脂の溶剤への溶解性等を考慮し、下記の方法にて測定を行った。
東ソー(株)製GPC装置(HLC−8220型、カラム:TSKgelα−M、展開溶剤:THF)を用い、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)を測定した。
<Molecular weight>
The molecular weight of the resin was measured by the following method in consideration of the solubility of each resin in the solvent and the like.
Using a GPC apparatus (HLC-8220 type, column: TSKgelα-M, developing solvent: THF) manufactured by Toso Co., Ltd., the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) in terms of standard polystyrene were measured.

<ガラス転移温度(Tg)>
樹脂のガラス転移温度は、(株)日立ハイテクサイエンス製の示差走査熱量計(DSC6200)を用いて、昇温速度:毎分20℃、窒素気流下で測定した。
<Glass transition temperature (Tg)>
The glass transition temperature of the resin was measured using a differential scanning calorimeter (DSC6200) manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd. at a heating rate of 20 ° C. per minute under a nitrogen stream.

<屈折率>
誘電体膜における屈折率は、以下の手順により算出した。
光源として波長550nmの光を用いた反射率モニターを用いて反射率を測定しながら、ガラス基材(SCHOTT社製、D263、厚み0.3mm)上に、膜が形成されるにつれ変化する反射率が7つの極大値と極小値とを示す膜厚になるまで誘電体膜を形成した。(株)日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計(U−4100)を用いて、得られた誘電体膜付き基材の面の垂直方向から5°の角度で入射させた光の、波長300〜1900nmの波長別透過率および絶対反射率を室温25℃、湿度50%の環境下で測定した。得られた5°入射の波長別透過率、5°入射の波長別絶対反射率より、シミュレーションソフト Essential Macleod(Thin Film Center社製)を用いて、波長550nmの光の屈折率を算出した。
<Refractive index>
The refractive index of the dielectric film was calculated by the following procedure.
Reflectance that changes as a film is formed on a glass substrate (SCHOTT, D263, thickness 0.3 mm) while measuring the reflectance using a reflectance monitor that uses light with a wavelength of 550 nm as a light source. The dielectric film was formed until the film thickness showed the seven maximum values and the minimum values. Using a spectrophotometer (U-4100) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, the wavelength of light incident on the obtained dielectric film-coated substrate at an angle of 5 ° from the vertical direction has a wavelength of 300 to 1900 nm. The transmittance and absolute reflectance for each wavelength were measured in an environment of room temperature of 25 ° C. and humidity of 50%. From the obtained transmittance for each wavelength of 5 ° incident and absolute reflectance for each wavelength of 5 ° incident, the refractive index of light having a wavelength of 550 nm was calculated using simulation software Ethential Macleod (manufactured by Thin Film Center).

誘電体多層膜中の各層およびガラス基材以外の基材に形成された誘電体膜を以上の方法における膜の形成条件と同一成膜条件にて形成する場合、これらの屈折率は、以上の方法を用いて得られる誘電体膜の屈折率と同一であると見なした。 When the dielectric film formed on each layer in the dielectric multilayer film and the substrate other than the glass substrate is formed under the same film forming conditions as the film forming conditions in the above method, these refractive indexes are as described above. It was considered to be the same as the refractive index of the dielectric film obtained by the method.

<分光透過率>
光学フィルターや近赤外線吸収フィルターの各波長域における透過率は、これらを、室温25℃、湿度60%の暗所の環境下に1週間静置後、(株)日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計(U−4100)を用いて、室温25℃、湿度50%の環境下で測定した。
ここで、光学フィルターや近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の透過率は、図8(A)のように、光学フィルター3または近赤外線吸収フィルター4に対して、垂直方向から光202を入射させ、次いで、光学フィルター3または近赤外線吸収フィルター4を透過した光を分光光度計201で測定し、光学フィルター3や近赤外線吸収フィルター4の垂直方向から30°の角度で入射した光の透過率は、図8(B)のように、光学フィルター3または近赤外線吸収フィルター4の垂直方向から30°の角度で光202'を入射させ、次いで、光学フィルター3または近赤外線吸収フィルター4を透過した光を分光光度計201で測定した。
近赤外線吸収光学フィルターの場合も同様にして測定した。
<Spectroscopic transmittance>
The transmittance of the optical filter and near-infrared absorption filter in each wavelength range is determined by allowing them to stand in a dark environment at room temperature of 25 ° C and humidity of 60% for one week, and then spectrophotometer manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation. Measurement was performed using (U-4100) in an environment of room temperature of 25 ° C. and humidity of 50%.
Here, as shown in FIG. 8A, the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter or the near-infrared absorbing filter is such that the light 202 is transmitted from the vertical direction with respect to the optical filter 3 or the near-infrared absorbing filter 4. Then, the light transmitted through the optical filter 3 or the near-infrared absorption filter 4 is measured by the spectrophotometer 201, and the light transmitted through the optical filter 3 or the near-infrared absorption filter 4 at an angle of 30 ° from the vertical direction. As shown in FIG. 8B, the rate is such that light 202'is incident at an angle of 30 ° from the vertical direction of the optical filter 3 or the near-infrared absorbing filter 4, and then the optical filter 3 or the near-infrared absorbing filter 4 is transmitted. The light was measured with a spectrophotometer 201.
The measurement was performed in the same manner for the near-infrared absorbing optical filter.

<分光反射率>
光学フィルターや近赤外線吸収フィルターの各波長域における反射率は、これらを、室温25℃、湿度60%の暗所の環境下に1週間静置後、(株)日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計(U−4100)を用いて室温25℃、湿度50%の環境下で測定した。
ここで、光学フィルターや近赤外線吸収フィルターの垂直方向から30°の角度から入射した光の反射率は、図8(C)のように、光学フィルター3または近赤外線吸収フィルター4の垂直方向から30°の角度から光202'を入射させ、そこで反射した光を分光光度計201で測定した。
近赤外線吸収光学フィルターの場合も同様にして測定した。
<Spectroscopic reflectance>
The reflectance of the optical filter and near-infrared absorption filter in each wavelength range is determined by allowing them to stand in a dark environment at room temperature of 25 ° C and humidity of 60% for one week, and then spectrophotometer manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation. Measurement was performed using (U-4100) in an environment of room temperature of 25 ° C. and humidity of 50%.
Here, the reflectance of light incident from an angle of 30 ° from the vertical direction of the optical filter or the near-infrared absorbing filter is 30 from the vertical direction of the optical filter 3 or the near-infrared absorbing filter 4, as shown in FIG. 8C. Light 202'was incident from an angle of °, and the reflected light was measured with a spectrophotometer 201.
The measurement was performed in the same manner for the near-infrared absorbing optical filter.

<ゴースト量>
波長300〜1200nmにおいて、光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の波長別透過率TO0(λ)[×100%]、光学フィルターの光学センサー側の面の垂直方向から30°の角度で入射した光の波長別反射率RO30(λ)[×100%]、近赤外線吸収フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の波長別透過率TA0(λ)[×100%]、近赤外線吸収フィルターの面の垂直方向から30°の角度で入射した光の波長別透過率TA30(λ)[×100%]、近赤外線吸収フィルターの光学センサー側の面の垂直方向から30°の角度で入射した光の波長別反射率RA30(λ)[×100%]、近赤外線吸収光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の波長別透過率TOA0(λ)[×100%]、近赤外線吸収光学フィルターの光学センサー側の面の垂直方向から30°の角度で入射した光の波長別反射率ROA30(λ)[×100%]を用い、図1(A)や(C)の配置の光学センサーモジュールの場合は、下記式1により、図1(B)の配置の光学センサーモジュールの場合は、下記式2により、ゴースト量を評価した。
例えば、波長300nmにおいて、光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の波長別透過率をTO0(300)、波長1200nmにおいて、光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の波長別透過率をTO0(1200)とした。
<Ghost amount>
At wavelengths of 300 to 1200 nm, the wavelength-specific transmission rate TO 0 (λ) [× 100%] of light incident from the direction perpendicular to the surface of the optical filter, and 30 ° from the direction perpendicular to the surface of the optical filter on the optical sensor side. Wavelength-specific reflectance RO 30 (λ) [× 100%] of light incident at an angle, wavelength-specific transmission TA 0 (λ) [× 100%] of light incident from the direction perpendicular to the surface of the near-infrared absorption filter ], Wavelength-specific transmission of light incident at an angle of 30 ° from the vertical direction of the surface of the near-infrared absorption filter TA 30 (λ) [× 100%], from the vertical direction of the surface of the near-infrared absorption filter on the optical sensor side Wavelength-specific reflectance RA 30 (λ) [× 100%] of light incident at an angle of 30 °, wavelength-specific transmission TOA 0 (λ) of light incident from the direction perpendicular to the surface of the near-infrared absorbing optical filter. [× 100%], using the wavelength-specific reflectance ROA 30 (λ) [× 100%] of the light incident at an angle of 30 ° from the vertical direction of the surface of the near-infrared absorbing optical filter on the optical sensor side, FIG. 1 ( The amount of ghost was evaluated by the following formula 1 in the case of the optical sensor modules arranged in A) and (C), and by the following formula 2 in the case of the optical sensor modules arranged in FIG. 1 (B).
For example, at a wavelength of 300 nm, the transmittance of light incident from the direction perpendicular to the surface of the optical filter is TO 0 (300), and at a wavelength of 1200 nm, the wavelength of light incident from the direction perpendicular to the surface of the optical filter. Another transmittance was set to TO 0 (1200).

図1(A)の配置の光学センサーモジュールの場合、ゴーストは、図3(B)に記載の12および13の光路が考えられ、どちらもセンシング不良を起こす。前記式1のゴースト量1は、これら二つのゴースト強度の和を見積もる式に相当する。 In the case of the optical sensor module arranged in FIG. 1 (A), the ghost may have the optical paths 12 and 13 shown in FIG. 3 (B), both of which cause sensing failure. The ghost amount 1 in the above formula 1 corresponds to the formula for estimating the sum of these two ghost intensities.

図1(B)の配置の光学センサーモジュールの場合、ゴーストは、図3(C)に記載の14の光路が考えられ、センシング不良を起こす。前記式2のゴースト2は、このゴースト強度を見積もる式に相当する。 In the case of the optical sensor module arranged in FIG. 1 (B), the ghost may have 14 optical paths shown in FIG. 3 (C), causing a sensing failure. The ghost 2 of the above formula 2 corresponds to the formula for estimating the ghost intensity.

図2の(A)や(B)、図3の(A)のように、光学フィルターのみを具備する(近赤外線吸収フィルターおよび近赤外線吸収光学フィルターを具備しない)光学センサーモジュールにおけるゴースト量3は、ゴースト量1におけるTA0(λ)およびTA30(λ)がいずれの波長においても100%(TA0(λ)=1、TA30(λ)=1)であるとし、RA30(λ)がいずれの波長においても0%(RA30(λ)=0)であるとして、下記式3より評価した。 As shown in (A) and (B) of FIG. 2 and (A) of FIG. 3, the ghost amount 3 in the optical sensor module including only the optical filter (not including the near-infrared absorbing filter and the near-infrared absorbing optical filter) is , TA 0 (λ) and TA 30 (λ) in the ghost amount 1 are 100% (TA 0 (λ) = 1, TA 30 (λ) = 1) at any wavelength, and RA 30 (λ). Was 0% (RA 30 (λ) = 0) at any wavelength, and was evaluated by the following equation 3.

図3の(D)のように、近赤外線吸収フィルターと光学センサーとの間に光学フィルターを具備した光学センサーモジュールにおけるゴースト量4は、下記式4より評価した。
なお、波長300〜1200nmにおいて、光学フィルターの面に対して垂直方向から30°の角度で入射した光の波長別透過率をTO30(λ)[×100%]とした。
As shown in FIG. 3D, the ghost amount 4 in the optical sensor module provided with the optical filter between the near-infrared absorbing filter and the optical sensor was evaluated by the following formula 4.
The transmittance of light incident on the surface of the optical filter at an angle of 30 ° from the vertical direction at a wavelength of 300 to 1200 nm was defined as TO 30 (λ) [× 100%].

<センサー感度>
センサー感度は、下記式5より評価した。なお、式5におけるλOMAXは、波長800〜1200nmにおいて、光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の透過率が最も高い波長である。
式5:
センサー感度={(波長(λOMAX−15nm)〜(λOMAX+15nm)において、光学フィルターの垂直方向から入射した光の透過率の平均値[×100%])×(波長(λOMAX−15nm)〜(λOMAX+15nm)において、近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の透過率の平均値[×100%])}
<Sensor sensitivity>
The sensor sensitivity was evaluated by the following formula 5. Note that λO MAX in Equation 5 is a wavelength having the highest transmittance of light incident on the surface of the optical filter from the direction perpendicular to the surface of the optical filter at a wavelength of 800 to 1200 nm.
Equation 5:
Sensor sensitivity = {(average value [× 100%] of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at wavelength (λO MAX -15 nm) to (λO MAX + 15 nm)) × (wavelength (λO MAX -15 nm)) ~ (ΛO MAX + 15nm), the average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorption filter [× 100%])}

近赤外線吸収光学フィルターを用いた場合のセンサー感度は、下記式5'より評価した。なお、式5'におけるλOAMAXは、波長800〜1200nmにおいて、近赤外線吸収光学フィルターの面に対して垂直方向から入射した光の透過率が最も高い波長である。
式5': センサー感度=波長(λOAMAX−15nm)〜(λOAMAX+15nm)において、光近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の透過率の平均値[×100%]
The sensor sensitivity when the near-infrared absorbing optical filter was used was evaluated by the following formula 5'. The λOA MAX in the formula 5'is a wavelength having the highest transmittance of light incident on the surface of the near-infrared absorbing optical filter from the direction perpendicular to the surface of the near-infrared absorbing optical filter at a wavelength of 800 to 1200 nm.
Equation 5': Average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical near-infrared absorbing optical filter [× 100%] at sensor sensitivity = wavelength (λOA MAX -15 nm) to (λOA MAX + 15 nm).

また、光学フィルターのみを具備する(近赤外線吸収フィルターおよび近赤外線吸収光学フィルターを具備しない)光学センサーモジュールにおけるセンサー感度は、下記式5''より評価した。
式5'': センサー感度=波長(λOMAX−15nm)〜(λOMAX+15nm)において、光学フィルターの垂直方向から入射した光の透過率の平均値[×100%]
Further, the sensor sensitivity in the optical sensor module provided with only the optical filter (not provided with the near-infrared absorbing filter and the near-infrared absorbing optical filter) was evaluated by the following formula 5''.
Equation 5'': Average value [× 100%] of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter when the sensor sensitivity = wavelength (λO MAX -15 nm) to (λO MAX + 15 nm).

<相対ゴースト強度>
センサー感度が低下した場合、センサーのゲインを上げ感度を補正する。この場合ゴースト強度も強く検出される。このため、センサー感度で除した値から得られる相対ゴースト強度を下記式6〜9に従い算出し、ゴースト強度の指標とした。
<Relative ghost strength>
If the sensor sensitivity drops, increase the sensor gain to correct the sensitivity. In this case, the ghost intensity is also strongly detected. Therefore, the relative ghost intensity obtained from the value divided by the sensor sensitivity was calculated according to the following equations 6 to 9 and used as an index of the ghost intensity.

式6: 相対ゴースト強度=(ゴースト量1)/(センサー感度)
式7: 相対ゴースト強度=(ゴースト量2)/(センサー感度)
式8: 相対ゴースト強度=(ゴースト量3)/(センサー感度)
式9: 相対ゴースト強度=(ゴースト量4)/(センサー感度)
Equation 6: Relative ghost intensity = (ghost amount 1) / (sensor sensitivity)
Equation 7: Relative ghost intensity = (ghost amount 2) / (sensor sensitivity)
Equation 8: Relative ghost intensity = (ghost amount 3) / (sensor sensitivity)
Equation 9: Relative ghost intensity = (ghost amount 4) / (sensor sensitivity)

[合成例]
下記試験例で用いた近赤外線吸収剤は、一般的に知られている方法で合成した。一般的合成方法としては、例えば、特許第3366697号公報、特許第2846091号公報、特許第2864475号公報、特許第3703869号公報、特開昭60−228448号公報、特開平1−146846号公報、特開平1−228960号公報、特許第4081149号公報、特開昭63−124054号公報、「フタロシアニン−化学と機能−」(アイピーシー、1997年)、特開2007−169315号公報、特開2009−108267号公報、特開2010−241873号公報、特許第3699464号公報、特許第4740631号公報に記載されている方法が挙げられる。
[Synthesis example]
The near-infrared absorber used in the following test example was synthesized by a generally known method. As a general synthesis method, for example, Japanese Patent No. 3366697, Japanese Patent No. 2846091, Japanese Patent No. 2864475, Japanese Patent No. 3703869, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-228448, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-146846, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-2289960, Japanese Patent No. 4081149, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-124054, "Parthalocyanine-Chemistry and Function-" (IPC, 1997), Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-169315, JP-A-2009 Examples thereof include the methods described in Japanese Patent Application Laid-Open No. -108267, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-241873, Japanese Patent No. 3699464, and Japanese Patent No. 4740631.

[樹脂合成例1]
下記式(X1)で表される8−メチル−8−メトキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン 100質量部、1−ヘキセン(分子量調節剤)18質量部およびトルエン(開環重合反応用溶媒)300質量部を、窒素置換した反応容器に仕込み、この溶液を80℃に加熱した。次いで、反応容器内の溶液に、重合触媒として、トリエチルアルミニウムのトルエン溶液(0.6mol/リットル)0.2質量部と、メタノール変性の六塩化タングステンのトルエン溶液(濃度0.025mol/リットル)0.9質量部とを添加し、この溶液を80℃で3時間加熱攪拌することにより開環重合反応させて開環重合体溶液を得た。この重合反応における重合転化率は97%であった。
[Resin Synthesis Example 1]
8-Methyl-8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.0.12,5.17,10] dodeca-3-ene expressed by the following formula (X 1 ) 100 parts by mass, 1-hexene (molecular weight adjustment) 18 parts by mass of agent) and 300 parts by mass of toluene (solvent for ring-opening polymerization reaction) were placed in a reaction vessel substituted with nitrogen, and this solution was heated to 80 ° C. Next, 0.2 parts by mass of a toluene solution of triethylaluminum (0.6 mol / liter) and a toluene solution of methanol-modified tungsten hexachloride (concentration 0.025 mol / liter) 0 were added to the solution in the reaction vessel as a polymerization catalyst. .9 parts by mass was added, and this solution was heated and stirred at 80 ° C. for 3 hours to cause a ring-opening polymerization reaction to obtain a ring-opening polymer solution. The polymerization conversion rate in this polymerization reaction was 97%.

このようにして得られた開環重合体溶液1,000質量部をオートクレーブに仕込み、この開環重合体溶液に、RuHCl(CO)[P(C6533を0.12質量部添加し、水素ガス圧100kg/cm2、反応温度165℃の条件下で、3時間加熱撹拌して水素添加反応を行った。得られた反応溶液(水素添加重合体溶液)を冷却した後、水素ガスを放圧した。この反応溶液を大量のメタノール中に注いで凝固物を分離回収し、これを乾燥して、水素添加重合体(以下「樹脂A」ともいう。)を得た。得られた樹脂Aは、数平均分子量(Mn)が32,000、重量平均分子量(Mw)が137,000であり、ガラス転移温度(Tg)が165℃であった。 1,000 parts by mass of the ring-opening polymer solution thus obtained was charged into an autoclave, and RuHCl (CO) [P (C 6 H 5 ) 3 ] 3 was added to the ring-opening polymer solution by 0.12 mass. The hydrogenation reaction was carried out by heating and stirring for 3 hours under the conditions of a hydrogen gas pressure of 100 kg / cm 2 and a reaction temperature of 165 ° C. After cooling the obtained reaction solution (hydrogenated polymer solution), hydrogen gas was released. This reaction solution was poured into a large amount of methanol to separate and recover the coagulated product, which was dried to obtain a hydrogenated polymer (hereinafter, also referred to as "resin A"). The obtained resin A had a number average molecular weight (Mn) of 32,000, a weight average molecular weight (Mw) of 137,000, and a glass transition temperature (Tg) of 165 ° C.

[実施例1]
ガラス基材(SCHOTT社製、D263、厚み0.1mm)に、RFマグネトロンスパッタ装置を用いて、シリコンを蒸着源とし、RFパワー:300W、(酸素/(アルゴン+水素+酸素))=0.2の混合比のガスを20sccm供給しながら成膜することで得られるシリカ層(SiO2:波長550nmの光の屈折率が1.47)と、(水素/(アルゴン+水素))=0.05の混合比のガスを20sccm供給しながら成膜することで得られるシリコン層(a−Si:波長550nmの光の屈折率が4.1)とが交互に積層されてなる誘電体多層膜を設けた。具体的には、表5に記載の設計(I)の誘電体多層膜を基材の一方の面に設け、設計(II)の誘電体多層膜を基材の他方の面に設け、厚み0.107mmの光学フィルター1を得た。
得られた光学フィルター1の分光透過率、分光反射率を評価した。結果を表14に示す。また、得られた分光透過率および分光反射率のスペクトルを、それぞれ図9(A)および図9(B)に示す。
光学フィルター1のλOMAXは850nmであった。
[Example 1]
RF power: 300 W, (oxygen / (argon + hydrogen + oxygen)) = 0. using silicon as a vapor deposition source on a glass base material (manufactured by SCHOTT, D263, thickness 0.1 mm) using an RF magnetron sputtering device. A silica layer (SiO 2 : light with a wavelength of 550 nm having a refractive index of 1.47) and (hydrogen / (argon + hydrogen)) = 0, obtained by forming a film while supplying a gas having a mixing ratio of 2 at 20 sccm. A dielectric multilayer film formed by alternately laminating silicon layers (a-Si: the refractive index of light having a wavelength of 550 nm is 4.1) obtained by forming a film while supplying 20 sccm of a gas having a mixing ratio of 05. Provided. Specifically, the dielectric multilayer film of design (I) shown in Table 5 is provided on one surface of the substrate, the dielectric multilayer film of design (II) is provided on the other surface of the substrate, and the thickness is 0. A 107 mm optical filter 1 was obtained.
The spectral transmittance and spectral reflectance of the obtained optical filter 1 were evaluated. The results are shown in Table 14. The spectra of the obtained spectral transmittance and the spectral reflectance are shown in FIGS. 9 (A) and 9 (B), respectively.
The λO MAX of the optical filter 1 was 850 nm.

容器に、樹脂合成例1で得られた樹脂A 100質量部、表2の化合物(Z−45)[樹脂A中の極大吸収波長898nm]0.015質量部、および、塩化メチレンを加えて樹脂濃度が20質量%の溶液(A1)を調製した。得られた溶液(A1)を平滑なガラス板上にキャストし、20℃で8時間乾燥した後、ガラス板から剥離した。剥離した塗膜をさらに減圧下100℃で8時間乾燥することで、厚さ0.1mmの近赤外線吸収層1を得た。 100 parts by mass of the resin A obtained in Resin Synthesis Example 1, 0.015 parts by mass of the compound (Z-45) in Table 2 [maximum absorption wavelength in resin A 898 nm], and methylene chloride are added to the container to add the resin. A solution (A1) having a concentration of 20% by mass was prepared. The obtained solution (A1) was cast on a smooth glass plate, dried at 20 ° C. for 8 hours, and then peeled off from the glass plate. The peeled coating film was further dried under reduced pressure at 100 ° C. for 8 hours to obtain a near-infrared absorbing layer 1 having a thickness of 0.1 mm.

イオンアシスト真空蒸着装置を用い、開始圧0.0001Pa、蒸着温度120℃、イオンガンへの供給ガスとして酸素とアルゴンとの混合ガスを用いて、単位面積あたりのイオン電流密度(μA/cm2)を成膜レート(Å/秒)で除した単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が8μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、シリカ層(SiO2:波長550nmの光の屈折率が1.47)を形成し、単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が20μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、酸化チタン層(TiO2:波長550nmの光の屈折率が2.48)を形成し、これらの層が交互に積層されてなる、表6の設計(IX)の誘電体多層膜を、近赤外線吸収層1の両面に設けることで、厚み0.106mmの近赤外線吸収フィルター1を得た。なお、この際、60nm以下の物理膜厚の層は、水晶振動子を用いた膜厚モニターで膜厚を制御した。
得られた近赤外線吸収フィルター1の分光透過率および分光反射率を評価した。結果を表14および図12に示す。
Using an ion-assisted vacuum deposition apparatus, starting pressure 0.0001 Pa, vapor deposition temperature 120 ° C., and using a mixed gas of oxygen and argon as the supply gas to the ion gun, the ion current density (μA / cm 2 ) per unit area was determined. Silica layer (SiO 2 : wavelength 550 nm) by performing ion assist under the condition that the unit film formation rate divided by the film formation rate (Å / sec) and the ion current density per area are 8 μA · sec / Å · cm 2 . By forming a refractive index of light of 1.47) and performing ion assist under the conditions of a unit film deposition rate and an ion current density per area of 20 μA / sec / Å / cm 2 , the titanium oxide layer (TiO 2 : The dielectric multilayer film of the design (IX) of Table 6 is provided on both sides of the near-infrared absorbing layer 1 in which the refractive index of light having a wavelength of 550 nm is 2.48) and these layers are alternately laminated. As a result, a near-infrared absorbing filter 1 having a thickness of 0.106 mm was obtained. At this time, the film thickness of the layer having a physical film thickness of 60 nm or less was controlled by a film thickness monitor using a crystal oscillator.
The spectral transmittance and spectral reflectance of the obtained near-infrared absorbing filter 1 were evaluated. The results are shown in Table 14 and FIG.

得られた光学フィルター1と近赤外線吸収フィルター1とを、図1(A)と同様の位置関係になるように具備した光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量1を、前記式1に従い算出した。また、前記式5に従い、センサー感度を算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.1であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
この実施例1で得られた光学センサーモジュールにおける波長別ゴースト強度を図13に実線で示す。
An optical sensor module was obtained in which the obtained optical filter 1 and the near-infrared absorbing filter 1 were provided so as to have the same positional relationship as in FIG. 1 (A). The ghost amount 1 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above equation 1. Further, the sensor sensitivity was calculated according to the above equation 5. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.1, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.
The ghost intensity for each wavelength in the optical sensor module obtained in Example 1 is shown by a solid line in FIG.

[実施例2]
実施例1において、化合物(Z−45)0.015質量部の代わりに、表1の化合物(Z−35)[樹脂A中の極大吸収波長887nm]0.008質量部を用いたこと以外は実施例1と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.9であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 2]
Except that in Example 1, 0.008 parts by mass of compound (Z-35) [maximum absorption wavelength in resin A] of Table 1 was used instead of 0.015 parts by mass of compound (Z-45). An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 1, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.9, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例3]
実施例2において、化合物(Z−35)の使用量を0.012質量部に変更したこと以外は実施例2と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は3.9であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 3]
An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 2 except that the amount of the compound (Z-35) used was changed to 0.012 parts by mass in Example 2, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 3.9, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例4]
実施例1において、化合物(Z−45)0.015質量部の代わりに、表3の化合物(S−5)[樹脂A中の極大吸収波長989nm]0.023質量部を用いたこと以外は実施例1と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.0であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 4]
Except for the fact that in Example 1, 0.023 parts by mass of compound (S-5) [maximum absorption wavelength in resin A] of Table 3 was used instead of 0.015 parts by mass of compound (Z-45). An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 1, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.0, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例5]
実施例4において、化合物(S−5)0.023質量部の代わりに、表3の化合物(S−3)[樹脂A中の極大吸収波長912nm]0.1質量部を用いたこと以外は実施例4と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は1.3であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 5]
Except that in Example 4, 0.1 part by mass of compound (S-3) [maximum absorption wavelength in resin A] of Table 3 was used instead of 0.023 parts by mass of compound (S-5). An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 4, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 1.3, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例6]
実施例1において、誘電体多層膜(I)および(II)の代わりに、表7に記載の誘電体多層膜(III)および(IV)を用いたこと以外は実施例1と同様にして光学フィルター2を得た。得られた光学フィルター2の分光透過率および分光反射率を評価した。結果を表14に示す。また、得られた分光透過率および分光反射率のスペクトルを、それぞれ図10(A)および図10(B)に示す。
光学フィルター2のλOMAXは946nmであった。
[Example 6]
Optical in the same manner as in Example 1 except that the dielectric multilayer films (III) and (IV) shown in Table 7 were used instead of the dielectric multilayer films (I) and (II) in Example 1. Filter 2 was obtained. The spectral transmittance and spectral reflectance of the obtained optical filter 2 were evaluated. The results are shown in Table 14. The spectra of the obtained spectral transmittance and the spectral reflectance are shown in FIGS. 10 (A) and 10 (B), respectively.
The λO MAX of the optical filter 2 was 946 nm.

また、実施例4で得られた近赤外線吸収層(以下「近赤外線吸収層2」ともいう。)に、誘電体多層膜(IX)の代わりに、表8に記載の誘電体多層膜(XII)を設けたこと以外は実施例4と同様にして近赤外線吸収フィルター2を得た。
得られた光学フィルター2と近赤外線吸収フィルター2とを用いたこと以外は実施例1と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は2.0であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
Further, instead of the dielectric multilayer film (IX) on the near-infrared absorbing layer (hereinafter, also referred to as “near-infrared absorbing layer 2”) obtained in Example 4, the dielectric multilayer film (XII) shown in Table 8 is used. ) Was provided, and a near-infrared absorbing filter 2 was obtained in the same manner as in Example 4.
An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained optical filter 2 and the near infrared absorption filter 2 were used, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 2.0, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例7]
実施例6において、化合物(S−5)0.023質量部の代わりに、前記式(H)におけるRH1、RH2、RH3、RH4がイソブチル基であり、RH5、RH6、RH7、RH8が臭素原子である化合物(H1)[樹脂A中の極大吸収波長1000nm]0.066質量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.1であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 7]
In Example 6, instead of the compound (S-5) 0.023 parts by weight, R H1, R H2, R H3, R H4 in formula (H) is an isobutyl group, R H5, R H6, R H7, except that R H8 was used compound (H1) [maximum absorption wavelength 1000nm in the resin a] 0.066 parts by weight of bromine atoms in the same manner as in example 6 to obtain an optical sensor module, ghost of 1 And the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.1, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例8]
実施例6において、化合物(S−5)0.023質量部の代わりに、前記式(D1)におけるR1がイソブチル基、R2が水素原子、Xが表4の(X−21)である化合物(D1−1)[樹脂A中の極大吸収波長1095nm]0.08質量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は1.3であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 8]
In Example 6, instead of 0.023 parts by mass of compound (S-5), R 1 in the above formula (D1) is an isobutyl group, R 2 is a hydrogen atom, and X is (X-21) in Table 4. An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 6 except that 0.08 parts by mass of compound (D1-1) [maximum absorption wavelength in resin A] was used, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. .. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 1.3, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例9]
実施例8において、誘電体多層膜(III)および(IV)の代わりに、表9に記載の誘電体多層膜(V)および(VI)を用いたこと以外は実施例8と同様にして光学フィルター3を得た。得られた光学フィルター3の分光透過率および分光反射率を評価した。得られた分光透過率および分光反射率のスペクトルを、それぞれ図11(A)および図11(B)に示す。
光学フィルター3のλOMAXは1138nmであった。
[Example 9]
Optical in the same manner as in Example 8 except that the dielectric multilayer films (V) and (VI) shown in Table 9 were used instead of the dielectric multilayer films (III) and (IV) in Example 8. Filter 3 was obtained. The spectral transmittance and the spectral reflectance of the obtained optical filter 3 were evaluated. The spectra of the obtained spectral transmittance and the spectral reflectance are shown in FIGS. 11 (A) and 11 (B), respectively.
The λO MAX of the optical filter 3 was 1138 nm.

また、実施例8において、前記化合物(D1−1)の使用量を0.063質量部に変更したこと以外は実施例8と同様にして近赤外線吸収層3を得た。得られた近赤外線吸収層3に、誘電体多層膜(XII)の代わりに、表10に記載の誘電体多層膜(XV)を設けて近赤外線吸収フィルター3を得たこと以外は実施例8と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は0.9であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
Further, in Example 8, a near-infrared absorbing layer 3 was obtained in the same manner as in Example 8 except that the amount of the compound (D1-1) used was changed to 0.063 parts by mass. Example 8 except that the obtained near-infrared absorbing layer 3 is provided with the dielectric multilayer film (XV) shown in Table 10 instead of the dielectric multilayer film (XII) to obtain the near-infrared absorbing filter 3. An optical sensor module was obtained in the same manner as above, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 0.9, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例10]
容器に、樹脂合成例1で得られた樹脂A 100質量部、表2の化合物(Z−45)[樹脂A中の極大吸収波長898nm]0.3質量部、および、塩化メチレンを加えて樹脂濃度が13質量%の溶液(A10)を調製した。
[Example 10]
100 parts by mass of the resin A obtained in Resin Synthesis Example 1, 0.3 parts by mass of the compound (Z-45) in Table 2 [maximum absorption wavelength in resin A 898 nm], and methylene chloride are added to the container to add the resin. A solution (A10) having a concentration of 13% by mass was prepared.

また、実施例1において、誘電体多層膜(I)および(II)を、表11に記載の誘電体多層膜(VII)および(VIII)に変えた以外は実施例1と同様にして、ガラス基材(基板)の一方の面に誘電体多層膜(VII)を設け、他方の面に誘電体多層膜(VIII)を設けることで、積層体1を得た。 Further, in Example 1, glass was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dielectric multilayer films (I) and (II) were changed to the dielectric multilayer films (VII) and (VIII) shown in Table 11. A laminate 1 was obtained by providing a dielectric multilayer film (VII) on one surface of a base material (substrate) and providing a dielectric multilayer film (VIII) on the other surface.

得られた積層体1の誘電体多層膜(VIII)上に、下記硬化性組成物溶液(1)をスピンコートで塗布した後、ホットプレート上にて、80℃で2分間加熱することで溶剤を揮発除去し、後述する樹脂層との接着層として機能する樹脂層を形成した。この際、該樹脂層の膜厚が0.8μm程度となるようにスピンコーターの塗布条件を調整した。 The following curable composition solution (1) is applied by spin coating on the dielectric multilayer film (VIII) of the obtained laminate 1, and then heated on a hot plate at 80 ° C. for 2 minutes to obtain a solvent. Was volatilized and removed to form a resin layer that functions as an adhesive layer with a resin layer described later. At this time, the coating conditions of the spin coater were adjusted so that the film thickness of the resin layer was about 0.8 μm.

硬化性組成物溶液(1):イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート(商品名:アロニックスM−315、東亜合成(株)製)30質量部、1,9−ノナンジオールジアクリレート20質量部、メタクリル酸20質量部、メタクリル酸グリシジル30質量部、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン5質量部、1−ヒドロキシシクロヘキシルベンゾフェノン(商品名:IRGACURE184、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)5質量部、および、サンエイドSI−110主剤(三新化学工業(株)製)1質量部を混合し、固形分濃度が50質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解した後、孔径0.2μmのミリポアフィルタでろ過した溶液 Curable composition solution (1): Isocyanic acid ethylene oxide-modified triacrylate (trade name: Aronix M-315, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) 30 parts by mass, 1,9-nonanediol diacrylate 20 parts by mass, methacrylic acid 20 parts by mass, 30 parts by mass of glycidyl methacrylate, 5 parts by mass of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 5 parts by mass of 1-hydroxycyclohexylbenzophenone (trade name: IRGACURE184, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), and , Sun Aid SI-110 base agent (manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.) 1 part by mass was mixed and dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate so that the solid content concentration became 50% by mass, and then Millipore with a pore size of 0.2 μm. Filtered solution

次に、前記樹脂層上に、アプリケーターを用いて前記溶液(A10)を乾燥後の膜厚が5μmとなるような条件で塗布し、ホットプレート上にて、80℃で5分間加熱し、溶剤を揮発除去することで近赤外線吸収層4を形成した。次いで、誘電体多層膜(VII)側からコンベア式露光機を用いて露光(露光量:1J/cm2、照度:200mW)した後、オーブン中180℃で5分間焼成して積層体1と近赤外線吸収層4との積層構造体を得た。 Next, the solution (A10) is applied onto the resin layer using an applicator under conditions such that the film thickness after drying is 5 μm, and the solution is heated on a hot plate at 80 ° C. for 5 minutes. The near-infrared absorbing layer 4 was formed by volatilizing and removing. Next, the dielectric multilayer film (VII) side is exposed using a conveyor type exposure machine (exposure amount: 1 J / cm 2 , illuminance: 200 mW), and then baked in an oven at 180 ° C. for 5 minutes to be close to the laminate 1. A laminated structure with the infrared absorbing layer 4 was obtained.

得られた積層構造体の近赤外線吸収層4上に、イオンアシスト真空蒸着装置を用い、開始圧0.0001Pa、蒸着温度120℃、イオンガンへの供給ガスとして酸素とアルゴンとの混合ガスを用いて、単位面積あたりのイオン電流密度(μA/cm2)を成膜レート(Å/秒)で除した単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が8μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、シリカ層(SiO2:波長550nmの光の屈折率が1.47)を形成し、単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が20μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、酸化チタン層(TiO2:波長550nmの光の屈折率が2.48)を形成し、これらの層が交互に積層されてなる、表11の設計(IX)の誘電体多層膜を設け、厚みが0.114mmである、近赤外線吸収光学フィルター1を得た。
得られた近赤外線吸収光学フィルター1の分光透過率、分光反射率を評価した。結果を表15に示す。
An ion-assisted vacuum vapor deposition apparatus was used on the near-infrared absorbing layer 4 of the obtained laminated structure, a starting pressure of 0.0001 Pa, a vapor deposition temperature of 120 ° C., and a mixed gas of oxygen and argon as a supply gas to the ion gun. , Ion current density per unit area (μA / cm 2 ) divided by film deposition rate (Å / sec) Unit deposition rate ・ Ion current density per area is 8 μA · sec / Å · cm 2 By assisting, a silica layer (SiO 2 : refractive index of light with a wavelength of 550 nm is 1.47) is formed, and the condition is that the unit film deposition rate and the ion current density per area are 20 μA · sec / Å · cm 2 . By performing ion assist in, a titanium oxide layer (TiO 2 : the refractive index of light having a wavelength of 550 nm is 2.48) is formed, and these layers are alternately laminated in the design (IX) of Table 11. A near-infrared absorbing optical filter 1 having a thickness of 0.114 mm was obtained by providing a dielectric multilayer film.
The spectral transmittance and spectral reflectance of the obtained near-infrared absorbing optical filter 1 were evaluated. The results are shown in Table 15.

得られた近赤外線吸収光学フィルター1を図1(B)と同様の位置関係になるように具備した光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量2を、前記式2に従い算出した。また、前記式5'に従い、センサー感度を算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.2であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
An optical sensor module equipped with the obtained near-infrared absorbing optical filter 1 so as to have the same positional relationship as in FIG. 1 (B) was obtained. The ghost amount 2 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above equation 2. Further, the sensor sensitivity was calculated according to the above formula 5'. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.2, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例11]
実施例10において、化合物(Z−45)0.3質量部の代わりに、表1の化合物(Z−35)0.16質量部を用いた以外は実施例10と同様にして近赤外線吸収光学フィルター2を得た。得られた近赤外線吸収光学フィルター2の分光透過率、分光反射率を評価した。結果を表15に示す。また、得られた分光透過率および分光反射率スペクトルを図14に示す。
[Example 11]
Near-infrared absorbing optics in the same manner as in Example 10 except that 0.16 parts by mass of compound (Z-35) in Table 1 was used instead of 0.3 parts by mass of compound (Z-45) in Example 10. Filter 2 was obtained. The spectral transmittance and spectral reflectance of the obtained near-infrared absorbing optical filter 2 were evaluated. The results are shown in Table 15. In addition, the obtained spectral transmittance and spectral reflectance spectra are shown in FIG.

また、該近赤外線吸収光学フィルター2を用いた以外は実施例10と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量2とセンサー感度とを算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は5.1であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
この実施例11で得られた光学センサーモジュールにおける波長別ゴースト強度を図15に実線で示す。
Further, an optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 10 except that the near-infrared absorbing optical filter 2 was used, and the ghost amount 2 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 5.1, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.
The ghost intensity for each wavelength in the optical sensor module obtained in Example 11 is shown by a solid line in FIG.

[実施例12]
実施例11において、化合物(Z−35)の使用量を1.18質量部に変更し、近赤外線吸収層の厚みを10μmに代えた以外は実施例11と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量2とセンサー感度とを算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.1であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 12]
In Example 11, an optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 11 except that the amount of the compound (Z-35) used was changed to 1.18 parts by mass and the thickness of the near infrared absorbing layer was changed to 10 μm. The ghost amount 2 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.1, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例13]
実施例10において、化合物(Z−45)0.3質量部の代わりに、表3の化合物(S−5)0.46質量部を用いた以外は実施例10と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量2とセンサー感度とを算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は4.2であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 13]
In Example 10, the optical sensor module was used in the same manner as in Example 10 except that 0.46 parts by mass of compound (S-5) in Table 3 was used instead of 0.3 parts by mass of compound (Z-45). Obtained, the ghost amount 2 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 4.2, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例14]
実施例13において、誘電体多層膜(VII)および(VIII)の代わりに、表12に記載の誘電体多層膜(X)および(XI)を設け、誘電体多層膜(IX)を誘電体多層膜(XII)に変更した以外は実施例13と同様にして、厚み0.114mmの近赤外線吸収光学フィルター3を得た。なおこの時の近赤外線吸収層を近赤外線吸収層5とした。
[Example 14]
In Example 13, instead of the dielectric multilayer films (VII) and (VIII), the dielectric multilayer films (X) and (XI) shown in Table 12 are provided, and the dielectric multilayer film (IX) is formed into a dielectric multilayer film (IX). A near-infrared absorbing optical filter 3 having a thickness of 0.114 mm was obtained in the same manner as in Example 13 except that the film (XII) was used. The near-infrared absorbing layer at this time was designated as the near-infrared absorbing layer 5.

また、近赤外線吸収光学フィルター3を用いた以外は実施例10と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量2とセンサー感度とを算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は2.6であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
Further, an optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 10 except that the near-infrared absorbing optical filter 3 was used, and the ghost amount 2 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 2.6, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例15]
実施例14において、化合物(S−5)0.46質量部の代わりに、前記化合物(H1)1.1質量部を用い、基材の厚みを10μmに代えた以外は実施例14と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量2とセンサー感度とを算出した。結果を表15に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は2.8であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
[Example 15]
In Example 14, 1.1 parts by mass of the compound (H1) was used instead of 0.46 parts by mass of the compound (S-5), and the same as in Example 14 except that the thickness of the base material was changed to 10 μm. An optical sensor module was obtained, and the ghost amount 2 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 15.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 2.8, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[実施例16]
実施例6と同様にして光学フィルター2を得た。
また、リン酸銅ガラス(松浪硝子工業(株)製、BS11を厚み0.1mmに研磨したもの、近赤外線吸収層に相当)の両面に、イオンアシスト真空蒸着装置を用い、開始圧0.0001Pa、蒸着温度120℃、イオンガンへの供給ガスとして酸素とアルゴンとの混合ガスを用いて、単位面積あたりのイオン電流密度(μA/cm2)を成膜レート(Å/秒)で除した単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が8μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、シリカ層(SiO2:波長550nmの光の屈折率が1.47)を形成し、単位成膜レート・面積あたりのイオン電流密度が20μA・秒/Å・cm2の条件でイオンアシストを行うことで、酸化チタン層(TiO2:波長550nmの光の屈折率が2.48)を形成し、これらの層が交互に積層されてなる表13の設計(XII)の誘電体多層膜を設け、厚み0.101mmの近赤外線吸収フィルター4を得た。
[Example 16]
An optical filter 2 was obtained in the same manner as in Example 6.
In addition, an ion-assisted vacuum vapor deposition apparatus was used on both sides of copper phosphate glass (manufactured by Matsunami Glass Industry Co., Ltd., BS11 polished to a thickness of 0.1 mm, equivalent to a near-infrared absorbing layer), and the starting pressure was 0.0001 Pa. , The vapor deposition temperature is 120 ° C., a mixed gas of oxygen and argon is used as the supply gas to the ion gun, and the ion current density (μA / cm 2 ) per unit area is divided by the film formation rate (Å / sec). A silica layer (SiO 2 : refractive index of light at a wavelength of 550 nm is 1.47) is formed by performing ion assist under the conditions of the film rate and the ion current density per area of 8 μA · sec / Å · cm 2 . By performing ion assist under the conditions of unit film deposition rate and ion current density per area of 20 μA / sec / Å / cm 2, a titanium oxide layer (TiO 2 : refractive index of light with a wavelength of 550 nm is 2.48) can be obtained. A near-infrared absorbing filter 4 having a thickness of 0.101 mm was obtained by providing a dielectric multilayer film of the design (XII) of Table 13 which was formed and these layers were alternately laminated.

光学フィルター2と近赤外線吸収フィルター4とを用いたこと以外は実施例1と同様にして光学センサーモジュールを得、ゴースト量1とセンサー感度とを算出した。結果を表14に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は3.5であり、ゴースト強度が低い光学センサーモジュールが得られた。
An optical sensor module was obtained in the same manner as in Example 1 except that the optical filter 2 and the near-infrared absorbing filter 4 were used, and the ghost amount 1 and the sensor sensitivity were calculated. The results are shown in Table 14.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 3.5, and an optical sensor module having a low ghost intensity was obtained.

[比較例1]
実施例1と同様にして光学フィルター1を得た。得られた光学フィルター1とセンサーとを用い、近赤外線吸収フィルター1を具備しない光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量3を、前記式3に従い算出し、また、前記式5''に従い、センサー感度を算出した。結果を表16に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は10.5であり、ゴースト強度が高い光学センサーモジュールであった。
この比較例1で得られた光学センサーモジュールにおける波長別ゴースト強度を図13および15に点線で示す。
[Comparative Example 1]
An optical filter 1 was obtained in the same manner as in Example 1. Using the obtained optical filter 1 and the sensor, an optical sensor module not provided with the near infrared absorption filter 1 was obtained. The ghost amount 3 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above formula 3, and the sensor sensitivity was calculated according to the above formula 5 ″. The results are shown in Table 16.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 10.5, which was an optical sensor module having a high ghost intensity.
The ghost intensities for each wavelength in the optical sensor module obtained in Comparative Example 1 are shown by dotted lines in FIGS. 13 and 15.

[比較例2]
実施例6と同様にして光学フィルター2を得た。得られた光学フィルター2とセンサーとを用い、近赤外線吸収フィルター2を具備しない光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量3を、前記式3に従い算出し、また、前記式5''に従い、センサー感度を算出した。結果を表16に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は21.2であり、ゴースト強度が高い光学センサーモジュールであった。
[Comparative Example 2]
An optical filter 2 was obtained in the same manner as in Example 6. Using the obtained optical filter 2 and the sensor, an optical sensor module not provided with the near infrared absorption filter 2 was obtained. The ghost amount 3 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above formula 3, and the sensor sensitivity was calculated according to the above formula 5 ″. The results are shown in Table 16.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 21.2. It was an optical sensor module having a high ghost intensity.

[比較例3]
実施例9と同様にして光学フィルター3を得た。得られた光学フィルター3とセンサーとを用い、近赤外線吸収フィルター3を具備しない光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量3を、前記式3に従い算出し、また、前記式5''に従い、センサー感度を算出した。結果を表16に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は19.4であり、ゴースト強度が高い光学センサーモジュールであった。
[Comparative Example 3]
An optical filter 3 was obtained in the same manner as in Example 9. Using the obtained optical filter 3 and the sensor, an optical sensor module not provided with the near infrared absorption filter 3 was obtained. The ghost amount 3 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above formula 3, and the sensor sensitivity was calculated according to the above formula 5 ″. The results are shown in Table 16.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 19.4, which was an optical sensor module having a high ghost intensity.

[比較例4]
実施例1と同様にして得られた光学フィルター1と近赤外線吸収フィルター1とを、図3(D)と同様の位置関係になるように具備した光学センサーモジュールを得た。得られた光学センサーモジュールのゴースト量4を、前記式4に従い算出した。また、前記式5に従い、センサー感度を算出した。結果を表16に示す。
ゴースト量をセンサー感度で除した相対ゴースト強度は9.5であり、近赤外線吸収フィルター1を有しているが、ゴースト低減効果は少なく、ゴースト強度が高い光学センサーモジュールであった。
[Comparative Example 4]
An optical sensor module was obtained in which the optical filter 1 and the near-infrared absorbing filter 1 obtained in the same manner as in Example 1 were provided so as to have the same positional relationship as in FIG. 3D. The ghost amount 4 of the obtained optical sensor module was calculated according to the above equation 4. Further, the sensor sensitivity was calculated according to the above equation 5. The results are shown in Table 16.
The relative ghost intensity obtained by dividing the ghost amount by the sensor sensitivity was 9.5, and although the near-infrared absorbing filter 1 was provided, the ghost reduction effect was small and the ghost intensity was high.

1・・・光学センサーモジュール
2・・・レンズ(群)またはレンズ機能を有する光学素子
2’・・・レンズ機能を有するフレネルゾーンプレートやメタレンズ等のフラット光学素子
3・・・光学フィルター
4・・・近赤外線吸収フィルター
5・・・光学センサー
6・・・光学センサーフレーム
7・・・モジュール基板
8・・・近赤外線吸収光学フィルター
9・・・遮光層
10・・・従来の光学センサーモジュール
11・・・正しくセンシングされる光路
12・・・近赤外線吸収フィルター表面で反射する光路によって発生するゴースト
13・・・光学フィルター表面で反射する光路によって発生するゴースト
14・・・近赤外線吸収光学フィルター表面で反射する光路によって発生するゴースト
21、21’・・・基材A
22、22’・・・誘電体多層膜A
23、23’・・・機能層
24・・・遮光層
25、25’・・・近赤外線吸収層
26、26’・・・誘電体多層膜B
27、27’・・・機能層
31・・・基板(基材A)
32、32’・・・誘電体多層膜(誘電体多層膜A)
34・・・遮光層
35、35’・・・近赤外線吸収層
36・・・誘電体多層膜(誘電体多層膜B)
101・・・光源ユニット
102・・・光源
103・・・光源用レンズ、光源用回折光学素子
111・・・光源走査ユニット
112・・・走査光学素子
113・・・環境光センサーユニット
114・・・環境光センサー
201・・・検出器(分光光度計)
202、202’・・・入射光線
1 ... Optical sensor module 2 ... Optical element (group) or optical element having a lens function 2'... Flat optical element such as Fresnel zone plate or metal lens having a lens function 3 ... Optical filter 4 ...・ Near infrared absorption filter 5 ・ ・ ・ Optical sensor 6 ・ ・ ・ Optical sensor frame 7 ・ ・ ・ Module substrate 8 ・ ・ ・ Near infrared absorption optical filter 9 ・ ・ ・ Light-shielding layer 10 ・ ・ ・ Conventional optical sensor module 11 ・・ ・ Correctly sensed optical path 12 ・ ・ ・ Ghost generated by the optical path reflected on the surface of the near-infrared absorbing filter 13 ・ ・ ・ Ghost generated by the optical path reflected on the surface of the optical filter 14 ・ ・ ・ Ghost generated by the optical path reflected on the surface of the optical filter 14 ・ ・ ・ On the surface of the near-infrared absorbing optical filter Ghosts 21, 21'... by the reflected optical path Base material A
22, 22'... Dielectric multilayer film A
23, 23'... Functional layer 24 ... Light-shielding layer 25, 25'... Near infrared absorption layer 26, 26'... Dielectric multilayer film B
27, 27'... Functional layer 31 ... Substrate (base material A)
32, 32'... Dielectric multilayer film (dielectric multilayer film A)
34 ... light-shielding layer 35, 35'... near-infrared absorbing layer 36 ... dielectric multilayer film (dielectric multilayer film B)
101 ... Light source unit 102 ... Light source 103 ... Light source lens, light source diffractive optical element 111 ... Light source scanning unit 112 ... Scanning optical element 113 ... Ambient light sensor unit 114 ... Ambient light sensor 201 ... Detector (spectral photometric meter)
202, 202'... Incident ray

Claims (15)

光学センサーと、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過する光学フィルターとの間に、近赤外線吸収層を有する近赤外線吸収フィルターを具備し、
前記光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける透過率の平均値が20〜85%である、
光学センサーモジュール。
A near-infrared absorbing filter having a near-infrared absorbing layer is provided between the optical sensor and an optical filter that transmits light having at least a part of the wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the optical filter is λO MAX (nm) at a wavelength of 800 to 1200 nm,
The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 20 to 85%.
Optical sensor module.
前記近赤外線吸収フィルターが下記要件(1)を満たす、請求項1に記載の光学センサーモジュール。
要件(1):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOMAX−15)nm〜(λOMAX+15)nmにおける反射率の平均値が7%以下
The optical sensor module according to claim 1, wherein the near-infrared absorbing filter satisfies the following requirement (1).
Requirement (1): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at wavelengths (λO MAX -15) nm to (λO MAX +15) nm is 7. %Less than
前記光学フィルターが下記要件(3)を満たす、請求項1または2に記載の光学センサーモジュール。
要件(3):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長400nm〜(λOMAX−30)nmにおける透過率の平均値が5%以下
The optical sensor module according to claim 1 or 2, wherein the optical filter satisfies the following requirement (3).
Requirement (3): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength of 400 nm to (λO MAX -30) nm is 5% or less.
前記光学フィルターが下記要件(4)を満たす、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。
要件(4):前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の、波長(λOMAX+40)nm〜1250nmにおける透過率の平均値が5%以下
The optical sensor module according to any one of claims 1 to 3, wherein the optical filter satisfies the following requirement (4).
Requirement (4): The average value of the transmittance of light incident from the vertical direction of the optical filter at a wavelength (λO MAX +40) nm to 1250 nm is 5% or less.
前記光学フィルターの前記光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 The optical sensor module according to any one of claims 1 to 4, further comprising an antireflection layer for preventing reflection of light having a wavelength of at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm on the optical sensor side of the optical filter. .. 前記光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率の値をTO(λOMAX)[×100%]とし、
前記近赤外線吸収フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOMAX[nm]における透過率をTA(λOMAX)[×100%]とした時、
TO(λOMAX)×TA(λOMAX)が0.15〜0.85である、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。
Let the value of the transmittance of the light incident from the vertical direction of the optical filter at the λO MAX [nm] be TO (λO MAX ) [× 100%].
When the transmittance of light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing filter at the λO MAX [nm] is set to TA (λO MAX ) [× 100%].
TO (λO MAX ) × TA (λO MAX ) is 0.15 to 0.85,
The optical sensor module according to any one of claims 1 to 5.
前記光学センサーと前記近赤外線吸収フィルターとの間に空間を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 The optical sensor module according to any one of claims 1 to 6, which has a space between the optical sensor and the near-infrared absorbing filter. 前記波長λOMAXが、830nm≦λOMAX≦860nm、930nm≦λOMAX≦960nm、または、1100nm≦λOMAX≦1150nmを満たす、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 Wherein the wavelength .lamda.o MAX is, 830nm ≦ λO MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λO MAX ≦ 960nm , or satisfy 1100nm ≦ λO MAX ≦ 1150nm, optical sensor module according to any one of claims 1 to 7. 光学センサー、および、
誘電体多層膜と、基板と、近赤外線吸収層とを有する近赤外線吸収光学フィルター
を具備し、これらを、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、
基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、光学センサーの順、または、
誘電体多層膜、基板、誘電体多層膜、近赤外線吸収層、誘電体多層膜、光学センサーの順
で具備し、
前記近赤外線吸収光学フィルターは、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光を透過し、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光のうち、波長800〜1200nmにおいて、最も高い透過率の波長をλOAMAX(nm)とした時、
前記近赤外線吸収光学フィルターの垂直方向から入射した光の前記λOAMAX[nm]における透過率TOA(λOAMAX)[×100%]が0.2〜0.85である、
光学センサーモジュール。
Optical sensor and
A near-infrared absorbing optical filter having a dielectric multilayer film, a substrate, and a near-infrared absorbing layer is provided, and these are provided.
In order of dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, optical sensor,
Dielectric multilayer film, substrate, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order,
Substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, dielectric multilayer film, optical sensor, in that order,
Dielectric multilayer film, substrate, dielectric multilayer film, near-infrared absorbing layer, optical sensor in that order, or
A dielectric multilayer film, a substrate, a dielectric multilayer film, a near-infrared absorbing layer, a dielectric multilayer film, and an optical sensor are provided in this order.
The near-infrared absorbing optical filter transmits light having at least a part of wavelengths of 800 to 1200 nm.
When the wavelength of the highest transmittance of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter is 800 to 1200 nm and the wavelength is λOA MAX (nm).
The transmittance TOA (λOA MAX ) [× 100%] of the light incident from the vertical direction of the near-infrared absorbing optical filter at the λOA MAX [nm] is 0.2 to 0.85.
Optical sensor module.
前記近赤外線吸収光学フィルターが、前記近赤外線吸収層の前記光学センサー側に、波長800〜1200nmのうち少なくとも一部の波長の光の反射を防止する反射防止層を有する、請求項9に記載の光学センサーモジュール。 The ninth aspect of the present invention, wherein the near-infrared absorbing optical filter has an antireflection layer for preventing reflection of light having a wavelength of at least a part of 800 to 1200 nm on the optical sensor side of the near-infrared absorbing layer. Optical sensor module. 下記要件(2)を満たす、請求項9または10に記載の光学センサーモジュール。
要件(2):前記光学センサー側から、前記近赤外線吸収光学フィルターに30°の角度で入射した光の、波長(λOAMAX−15)nm〜(λOAMAX+15)nmにおける反射率の平均値が8.2%以下
The optical sensor module according to claim 9 or 10, which satisfies the following requirement (2).
Requirement (2): The average value of the reflectance of light incident on the near-infrared absorbing optical filter from the optical sensor side at an angle of 30 ° at a wavelength (λOA MAX -15) nm to (λOA MAX +15) nm. 8.2% or less
前記光学センサーと前記近赤外線吸収光学フィルターとの間に空間を有する、請求項9〜11のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 The optical sensor module according to any one of claims 9 to 11, which has a space between the optical sensor and the near-infrared absorbing optical filter. 前記波長λOAMAXが、830nm≦λOAMAX≦860nm、930nm≦λOAMAX≦960nm、または、1100nm≦λOAMAX≦1150nmを満たす、請求項9〜12のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 Wherein the wavelength RamudaOA MAX is, 830nm ≦ λOA MAX ≦ 860nm, 930nm ≦ λOA MAX ≦ 960nm , or satisfy 1100nm ≦ λOA MAX ≦ 1150nm, optical sensor module according to any one of claims 9-12. 前記近赤外線吸収層が、波長850〜1200nmに極大吸収波長を有する近赤外線吸収剤を含む、請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 The optical sensor module according to any one of claims 1 to 13, wherein the near-infrared absorbing layer contains a near-infrared absorbing agent having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 850 to 1200 nm. 前記近赤外線吸収層の厚みが3〜150μmである、請求項1〜14のいずれか1項に記載の光学センサーモジュール。 The optical sensor module according to any one of claims 1 to 14, wherein the near-infrared absorbing layer has a thickness of 3 to 150 μm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023028230A1 (en) * 2021-08-26 2023-03-02 Meta Platforms Technologies, Llc Diffractive optical element (doe) on an imaging sensor to reduce and minimize flare

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