JP2020129883A - Electrostatic induction type converter - Google Patents

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JP2020129883A JP2019021181A JP2019021181A JP2020129883A JP 2020129883 A JP2020129883 A JP 2020129883A JP 2019021181 A JP2019021181 A JP 2019021181A JP 2019021181 A JP2019021181 A JP 2019021181A JP 2020129883 A JP2020129883 A JP 2020129883A
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泰夫 北嶋
Yasuo Kitajima
泰夫 北嶋
前田 俊成
Toshinari Maeda
俊成 前田
渡邊 真
Makoto Watanabe
真 渡邊
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Abstract

To improve power generation performance and driving performance in an electrostatic induction type converter.SOLUTION: An electrostatic induction type converter includes an electret substrate 110 having an electret surface 111a provided with a charged electret film 111, and an opposing substrate 120 having an electrode surface 121a provided with a counter electrode 121 and arranged opposite to the electret surface 111a. One of the electret substrate and the opposing substrate rotates relative to the other. The electrode surface 121a includes an inclined or stepped portion that separates a peripheral edge portion 120a of the electrode surface 121a from the other rather than an inside thereof.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、発電装置や駆動装置として用いられる静電誘導型変換器に関する。 The present invention relates to an electrostatic induction converter used as a power generator or a driving device.

特許文献1には、エレクトレット膜が設けられる回転部材と、エレクトレット膜に対向して配置される対向電極が設けられる対向基板とを有する、静電誘導型の発電装置が開示されている。 Patent Document 1 discloses an electrostatic induction power generation device including a rotating member provided with an electret film and an opposite substrate provided with an opposite electrode arranged so as to face the electret film.

特開2016−185022号公報JP, 2016-185022, A

ここで、特許文献1の発電装置においては、発電量を増加させるために、回転部材の径を大きくし、発電面積を大きくすることや、回転部材と対向基板との隙間を狭くし、帯電膜から対向基板への帯電電圧の影響を大きくすることが考えられる。しかしながら、そのような構成とした場合においては、製造上の誤差により回転部材に傾きや反り等が生じてしまった際に、回転部材の周縁部が対向基板に対して接触するなどの機械的な干渉が起きやすくなってしまう。回転部材が対向基板に干渉してしまうと、回転部材が適切な回転を行うことができず、発電装置において得られる発電量が低下してしまったり、エレクトレット膜に帯電した電荷が抜けてしまったりする可能性がある。また、静電誘導型変換器を駆動装置として用いる場合においても同様の問題が生じうる。 Here, in the power generation device of Patent Document 1, in order to increase the amount of power generation, the diameter of the rotating member is increased to increase the power generation area, and the gap between the rotating member and the counter substrate is narrowed, and the charging film is increased. It is considered that the influence of the charging voltage on the counter substrate is increased. However, in the case of such a configuration, when the rotating member is tilted or warped due to a manufacturing error, the peripheral portion of the rotating member is mechanically contacted with the counter substrate. Interference tends to occur. If the rotating member interferes with the counter substrate, the rotating member cannot rotate properly, resulting in a decrease in the amount of power generated by the power generator, or loss of the electric charge charged in the electret film. there's a possibility that. The same problem may occur when the electrostatic induction converter is used as a driving device.

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、静電誘導型変換器における発電性能や駆動性能を向上することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to improve power generation performance and drive performance in an electrostatic induction converter.

上記課題を解決すべく本出願において開示される発明は種々の側面を有しており、それら側面の代表的なものの概要は以下の通りである。 The invention disclosed in the present application to solve the above-mentioned problems has various aspects, and the outline of representative aspects thereof is as follows.

(1)電荷を帯びたエレクトレット膜が設けられるエレクトレット面を有するエレクトレット基板と、対向電極が設けられると共に前記エレクトレット面に対向して配置される電極面を有する対向基板と、を有し、前記エレクトレット基板と前記対向基板のうち一方は、他方に対して相対的に回転し、前記エレクトレット面と前記電極面のうち少なくとも一方は、該一方の周縁部をその内側よりも他方から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、静電誘導型変換器。 (1) An electret substrate having an electret surface on which a charged electret film is provided, and an opposing substrate having an electrode surface provided with a counter electrode and facing the electret surface. One of the substrate and the counter substrate rotates relative to the other, and at least one of the electret surface and the electrode surface separates the peripheral portion of the one from the other side of the inner side, the slope or An electrostatic induction converter including at least a step.

(2)(1)において、前記エレクトレット基板と前記対向基板のうち一方を、他方に対して相対的に回転させる回転軸を有し、前記傾斜又は段差は、前記回転軸の周方向に沿って形成されている、静電誘導型変換器。 (2) In (1), there is a rotation shaft that rotates one of the electret substrate and the counter substrate relative to the other, and the inclination or step is along the circumferential direction of the rotation shaft. A formed electrostatic induction converter.

(3)(1)又は(2)において、前記傾斜又は段差により、前記エレクトレット面と前記電極面のうち一方の周縁部がその内側よりも他方から離間している、静電誘導型変換器。 (3) In the electrostatic induction converter according to (1) or (2), the peripheral portion of one of the electret surface and the electrode surface is more distant from the inside than the other due to the inclination or the step.

(4)(1)〜(3)のいずれかにおいて、前記エレクトレット基板は両面に前記エレクトレット面を有し、一方の前記エレクトレット面に対向して配置される前記電極面を有する第1の対向基板と、他方の前記エレクトレット面に対向して配置される前記電極面を有する第2の対向基板と、を有する、静電誘導型変換器。 (4) In any one of (1) to (3), the electret substrate has the electret surface on both sides, and the first counter substrate having the electrode surface arranged to face one of the electret surfaces. And a second counter substrate having the electrode surface arranged opposite to the other electret surface, the electrostatic induction converter.

(5)(4)において、前記第1の対向基板の前記電極面は、該電極面の周縁部をその内側よりも前記一方のエレクトレット面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含み、前記第2の対向基板の前記電極面は、該電極面の周縁部をその内側よりも前記他方のエレクトレット面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、静電誘導型変換器。 (5) In (4), the electrode surface of the first counter substrate includes at least an inclination or a step for separating a peripheral portion of the electrode surface from the one electret surface rather than the inside thereof, and the second surface The electrostatic induction converter, wherein the electrode surface of the counter substrate includes at least an inclination or a step for separating the peripheral edge portion of the electrode surface from the other electret surface rather than the inner side thereof.

(6)(4)又は(5)において、前記一方のエレクトレット面は、該一方のエレクトレット面の周縁部をその内側よりも前記第1の対向基板の前記電極面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含み、前記他方のエレクトレット面は、該他方のエレクトレット面の周縁部をその内側よりも前記第2の対向基板の前記電極面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、静電誘導型変換器。 (6) In (4) or (5), the one electret surface has an inclination or a step that separates the peripheral portion of the one electret surface from the electrode surface of the first counter substrate more than the inside thereof. An electrostatic induction converter including at least the other electret surface, and at least including an inclination or a step for separating a peripheral portion of the other electret surface from the electrode surface of the second counter substrate more than the inside thereof. ..

(7)(1)〜(6)のいずれかにおいて、前記電極面が前記傾斜又は段差を少なくとも含み、前記対向基板は、前記電極面の周縁部を含む領域の厚みが、その内側の領域よりも薄い、静電誘導型変換器。 (7) In any one of (1) to (6), the electrode surface includes at least the slope or the step, and the counter substrate has a thickness of a region including a peripheral portion of the electrode face smaller than a region inside thereof. A thin, electrostatic induction converter.

(8)(1)〜(7)のいずれかにおいて、前記エレクトレット面が前記傾斜又は段差を少なくとも含み、前記エレクトレット基板は、前記エレクトレット面の周縁部を含む領域の厚みが、その内側の領域よりも薄い、静電誘導型変換器。 (8) In any one of (1) to (7), the electret surface includes at least the slope or the step, and the electret substrate has a thickness of a region including a peripheral portion of the electret surface from a region inside thereof. A thin, electrostatic induction converter.

(9)(1)〜(8)のいずれかにおいて、前記エレクトレット基板及び前記対向基板は、円板形状であり、前記エレクトレット膜は、前記エレクトレット面に周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数配置されており、前記対向電極は、前記電極面に周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数配置されている、静電誘導型変換器。 (9) In any one of (1) to (8), the electret substrate and the counter substrate have a disk shape, and the electret films are arranged on the electret surface so as to be spaced apart from each other in the circumferential direction. A plurality of the electrostatic induction converters are arranged, and the plurality of the counter electrodes are arranged on the electrode surface so as to be circumferentially spaced from each other.

上記本発明の(1)〜(9)の側面によれば、静電誘導型変換器における発電性能や駆動性能を向上することができる。 According to the above aspects (1) to (9) of the present invention, it is possible to improve the power generation performance and the driving performance of the electrostatic induction converter.

第1の実施形態に係る腕時計の全体構成の概要を示す平面図である。1 is a plan view showing the outline of the overall configuration of a wristwatch according to a first embodiment. 第1の実施形態に係る腕時計の構成の概要を示すブロック図である。It is a block diagram showing an outline of composition of a wristwatch concerning a 1st embodiment. 第1の実施形態の静電誘導型変換器を模式的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the electrostatic induction converter of 1st Embodiment typically. 第1の実施形態のエレクトレット基板を示す平面図である。It is a top view which shows the electret board|substrate of 1st Embodiment. 第1の実施形態の対向基板を示す平面図である。It is a top view which shows the counter substrate of 1st Embodiment. 静電誘導型変換器が発電装置として用いられる際の作動原理の一例を説明する概略回路図である。It is a schematic circuit diagram explaining an example of an operating principle when an electrostatic induction converter is used as a power generator. 静電誘導型変換器が静電モータとして用いられる際の作動原理の一例を説明する概略回路図である。It is a schematic circuit diagram explaining an example of an operating principle when an electrostatic induction type converter is used as an electrostatic motor. エレクトレット基板が対向基板に対して傾斜した状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the electret board|substrate inclined with respect to the counter substrate. 第2の実施形態の静電誘導型変換器を示す図である。It is a figure which shows the electrostatic induction converter of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の静電誘導型変換器を示す図である。It is a figure which shows the electrostatic induction converter of 3rd Embodiment. 第3の実施形態の対向基板を示す平面図である。It is a top view which shows the counter substrate of 3rd Embodiment. 第4の実施形態の静電誘導型変換器を示す図である。It is a figure which shows the electrostatic induction converter of 4th Embodiment.

以下、本発明の各実施形態について図面に基づき詳細に説明する。 Hereinafter, each embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、図1、図2を参照して、第1の実施形態に係る腕時計の全体構成の概要について説明する。図1は、第1の実施形態に係る腕時計の全体構成の概要を示す平面図である。図2は、第1の実施形態に係る腕時計の構成の概要を示すブロック図である。 First, the outline of the overall configuration of the wristwatch according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view showing the outline of the overall configuration of the wristwatch according to the first embodiment. FIG. 2 is a block diagram showing an outline of the configuration of the wristwatch according to the first embodiment.

腕時計1は、図1に示すように、胴や裏蓋を含む外装ケース31と、外装ケース31内に配置された文字板32と、時刻を示す指針である秒針2、分針3、時針4を有する。文字板32には略字33や時字34が設けられている。また、外装ケース31の3時側の側面にはユーザが種々の操作を行うための竜頭18が配置されている。 As shown in FIG. 1, the wristwatch 1 includes an outer case 31 including a case and a back cover, a dial 32 arranged in the outer case 31, a second hand 2, a minute hand 3, and an hour hand 4 which are hands indicating the time. Have. The dial 32 is provided with an abbreviation 33 and an hour 34. A crown 18 for the user to perform various operations is arranged on the side of the exterior case 31 on the 3 o'clock side.

なお、図1に示した腕時計1のデザインは一例である。ここで示したもの以外にも、例えば、外装ケース31を丸型でなく角型にしてもよいし、数や配置が任意のボタンを設けてもよい。また、図1においては、指針を秒針2、分針3、時針4の3本としているが、これに限定されず、曜日、タイムゾーンやサマータイムの有無、電波の受信状態や電池の残量、各種の表示を行う指針(以下、表示針ともいう)や、日付表示等を追加したりしてもよい。 The design of the wristwatch 1 shown in FIG. 1 is an example. In addition to the ones shown here, for example, the outer case 31 may have a rectangular shape instead of the round shape, and buttons having an arbitrary number and arrangement may be provided. In addition, in FIG. 1, the hands are the three hands of the second hand 2, the minute hand 3, and the hour hand 4, but not limited to this, the day of the week, the time zone and the presence or absence of summer time, the reception state of the radio wave, the remaining amount of the battery, various types, and the like. It is also possible to add a pointer (hereinafter also referred to as a display hand) for displaying, a date display, and the like.

また、腕時計1は、図2に示すように、静電誘導型変換器である発電装置100と、電源20と、制御回路40と、静電モータ駆動回路50と、静電誘導型変換器である静電モータ200と、電磁モータ駆動回路60と、電磁モータ70とを含む。 As shown in FIG. 2, the wristwatch 1 includes a power generation device 100 that is an electrostatic induction converter, a power supply 20, a control circuit 40, an electrostatic motor drive circuit 50, and an electrostatic induction converter. It includes an electrostatic motor 200, an electromagnetic motor drive circuit 60, and an electromagnetic motor 70.

制御回路40は、メモリ等を内蔵するマイクロコンピュータであって、メモリに記憶されるプログラムに従って、腕時計1に含まれる各種回路等の動作を制御する。静電モータ駆動回路50は、制御回路40により動作が制御され、静電モータ200を駆動する。静電モータ200は、輪列5を介して秒針2を運針させる。電磁モータ駆動回路60は、制御回路40により動作が制御され、電磁モータ70を駆動する。電磁モータ70は、輪列6を介して分針3と時針4を運針させる。 The control circuit 40 is a microcomputer having a built-in memory and the like, and controls the operation of various circuits and the like included in the wristwatch 1 according to a program stored in the memory. The operation of the electrostatic motor drive circuit 50 is controlled by the control circuit 40, and drives the electrostatic motor 200. The electrostatic motor 200 moves the second hand 2 via the train wheel 5. The operation of the electromagnetic motor drive circuit 60 is controlled by the control circuit 40, and drives the electromagnetic motor 70. The electromagnetic motor 70 moves the minute hand 3 and the hour hand 4 via the train wheel 6.

ここで、秒針2は、時刻を示す時刻針としてのみでなく、表示針として使用される場合がある。秒針2を表示針として使用する場合であっても、分針3と時針4は時刻針として機能する。そのため、秒針2は、分針3、時針4と互いに連動しないように、分針3、時針4と異なるモータや輪列を介して運針する構成とするのが好ましい。また、指針を連続的に流れるように運針させるモータとしては静電モータ200が好ましく、指針をステップ運針させるモータとしては電磁モータ70が好ましい。そのため、第1の実施形態においては、図2に示すように、秒針2を静電モータ200により運針させ、分針3及び時針4を電磁モータ70で運針させる構成を採用した。ただし、これに限られるものではなく、腕時計1は、いずれかの指針を運針させる静電誘導型変換器としての静電モータ200を少なくとも含んでいるとよい。 Here, the second hand 2 may be used not only as a time hand indicating the time but also as a display hand. Even when the second hand 2 is used as the display hand, the minute hand 3 and the hour hand 4 function as the time hand. For this reason, it is preferable that the second hand 2 be configured to move through a motor or train wheel different from the minute hand 3 and the hour hand 4 so as not to interlock with the minute hand 3 and the hour hand 4. Further, the electrostatic motor 200 is preferable as a motor for moving the pointer so that the pointer continuously flows, and the electromagnetic motor 70 is preferable as a motor for moving the pointer in a stepwise manner. Therefore, in the first embodiment, as shown in FIG. 2, the second hand 2 is moved by the electrostatic motor 200, and the minute hand 3 and the hour hand 4 are moved by the electromagnetic motor 70. However, the present invention is not limited to this, and the wristwatch 1 may include at least the electrostatic motor 200 as an electrostatic induction converter that moves any one of the hands.

電源20は、発電装置100において生じると共に整流回路61、62により整流された電気エネルギーにより駆動する。 The power supply 20 is driven by the electric energy generated in the power generation device 100 and rectified by the rectifier circuits 61 and 62.

また、発電装置100は、エレクトレット基板110と、対向基板120、130とを含む。また、静電モータ200は、エレクトレット基板110と、対向基板120、130とを含む。これら静電誘導型変換器としての発電装置100及び静電モータ200の詳細について後述する。 The power generation device 100 also includes an electret substrate 110 and counter substrates 120 and 130. The electrostatic motor 200 also includes an electret substrate 110 and counter substrates 120 and 130. Details of the power generation device 100 and the electrostatic motor 200 as the electrostatic induction converter will be described later.

なお、腕時計1は、図2に示す各構成に加えて、電源20からの出力電圧を一定にする定電圧源や、低電圧で静電モータ駆動回路50を駆動させるための昇圧回路などを含んでいてもよい。 The wristwatch 1 includes, in addition to the components shown in FIG. 2, a constant voltage source for making the output voltage from the power source 20 constant, a booster circuit for driving the electrostatic motor drive circuit 50 at a low voltage, and the like. You can leave.

次に、図3〜図7を参照して、第1の実施形態の静電誘導型変換器について説明する。図3は、第1の実施形態の静電誘導型変換器を模式的に示す模式図である。図4は、第1の実施形態のエレクトレット基板を示す平面図である。図5は、第1の実施形態の対向基板を示す平面図である。図5においては、静電誘導型変換器を発電装置として用いた場合の対向基板を示している。なお、図3及び後述の図8においては、静電誘導型変換器の側面、及び後述の支持板81、82の断面を示している。また、図3及び後述の図8においては、後述のエレクトレット膜111、112と、対向電極121、131の図示を省略している。 Next, the electrostatic induction converter according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a schematic diagram schematically showing the electrostatic induction converter according to the first embodiment. FIG. 4 is a plan view showing the electret substrate of the first embodiment. FIG. 5 is a plan view showing the counter substrate of the first embodiment. FIG. 5 shows a counter substrate when the electrostatic induction converter is used as a power generator. In addition, in FIG. 3 and FIG. 8 described later, a side surface of the electrostatic induction converter and cross sections of support plates 81 and 82 described later are shown. Further, in FIG. 3 and FIG. 8 described later, the electret films 111 and 112 described later and the counter electrodes 121 and 131 described later are omitted.

ここで、静電誘導型変換器とは、静電誘導を用いて、運動エネルギーと電気エネルギーとを相互に変換する機器を意味しており、発電装置又は駆動装置を指している。その原理は後述するが、静電誘導型変換器に外力を作用させ、運動エネルギーを与えるとそのエネルギーを電気エネルギーに変換して取り出すことができ、これはすなわち発電装置である。また、静電誘導型変換器に電気エネルギーを与えると、そのエネルギーを運動エネルギーとして取り出すことができ、これはすなわち、駆動装置である。なお、第1の実施形態においては、発電装置100が発電装置に相当し、静電モータ200が駆動装置に相当するものである。 Here, the electrostatic induction converter means a device that mutually converts kinetic energy and electric energy by using electrostatic induction, and indicates a power generation device or a driving device. Although the principle will be described later, when an external force is applied to the electrostatic induction converter and kinetic energy is applied, the energy can be converted into electric energy and taken out, that is, a power generator. When electric energy is applied to the electrostatic induction converter, the energy can be taken out as kinetic energy, that is, a driving device. In addition, in the first embodiment, the power generation device 100 corresponds to a power generation device, and the electrostatic motor 200 corresponds to a drive device.

静電誘導型変換器は、機械的な回転運動を電気エネルギーに変え、又は電気エネルギーを機械的な回転運動として取り出す。以下、発電装置100の基本的な構造について説明する。なお、静電モータ200についても基本的な構造は同様であるため、説明を省略する。 The electrostatic induction converter converts mechanical rotary motion into electric energy or extracts electric energy as mechanical rotary motion. Hereinafter, the basic structure of the power generation device 100 will be described. The basic structure of the electrostatic motor 200 is the same as that of the electrostatic motor 200, and a description thereof will be omitted.

発電装置100は、エレクトレット基板110と、対向基板120と、対向基板130と、回転軸150とを有している。 The power generation device 100 includes an electret substrate 110, a counter substrate 120, a counter substrate 130, and a rotating shaft 150.

エレクトレット基板110は、円板形状であって、一方の面にエレクトレット膜111が設けられており、他方の面にエレクトレット膜112が設けられている。以下、エレクトレット基板110のうちエレクトレット膜111、112が設けられる面を、エレクトレット面111a、112aと呼ぶ。なお、ここで、円板形状とは、その部材が全体としておおむね平坦な円板形状をしていることを指しており、その面内に、適宜の貫通孔が設けられたり、外周部に切り欠きや凸部その他の加工が施されたりすることは差し支えない。 The electret substrate 110 has a disc shape, and the electret film 111 is provided on one surface and the electret film 112 is provided on the other surface. Hereinafter, the surfaces of the electret substrate 110 on which the electret films 111 and 112 are provided will be referred to as electret surfaces 111a and 112a. Here, the disc shape refers to that the member has a generally flat disc shape as a whole, and an appropriate through hole is provided in the surface thereof or a cut is made in the outer peripheral portion. There is no problem with notches, protrusions, or other processing.

図4に示すように、エレクトレット膜111は、周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数設けられている。なお、図示は省略するが、エレクトレット膜112も同様に、周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数設けられている。 As shown in FIG. 4, a plurality of electret films 111 are provided so as to be lined up at intervals in the circumferential direction. Although not shown, a plurality of electret films 112 are also provided so as to be lined up at intervals in the circumferential direction.

ここで、エレクトレット膜の材料には、帯電しやすい材料を用い、例えば負電荷に帯電する材料としては酸化珪素や、フッ素樹脂等がある。かかる材料の具体的な一例として、旭硝子株式会社製のフッ素樹脂であるCYTOP(登録商標)が挙げられる。さらに、その他にもエレクトレット膜の材料としては、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリビニルクロライド、ポリスチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニルデンジフルオライド、ポリビニルフルオライド等の高分子材料や、前述の酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素等の無機材料も使用することができる。 Here, a material that is easily charged is used as the material of the electret film, and examples of materials that are negatively charged include silicon oxide and fluororesin. A specific example of such a material is CYTOP (registered trademark), which is a fluororesin manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. Further, other materials for the electret film include polypropylene, polyethylene terephthalate, polyvinyl chloride, polystyrene, polymer materials such as polytetrafluoroethylene, polyvinyldendifluoride, polyvinylfluoride, and the above-mentioned silicon oxide, silicon nitride, Inorganic materials such as silicon oxynitride can also be used.

また、回転軸150は、支持板81の軸受け81aと、支持板82の軸受け82aとによって、その両端が支持されている。図3においては、回転軸150の一端が軸受け81aに嵌って支持されており、回転軸150の他端が軸受け82aに嵌って支持された状態を示している。なお、支持板81、82は、例えば、腕時計1に内蔵される地板や適宜のハウジング等であるとよい。なお、図示の例は一例であって、回転軸150の両端は、対向基板120、130に形成される軸受けに支持される構成であってもよい。 Both ends of the rotary shaft 150 are supported by a bearing 81a of the support plate 81 and a bearing 82a of the support plate 82. In FIG. 3, one end of the rotary shaft 150 is fitted and supported by the bearing 81a, and the other end of the rotary shaft 150 is fitted and supported by the bearing 82a. The support plates 81 and 82 may be, for example, a base plate built in the wristwatch 1 or an appropriate housing. The illustrated example is an example, and both ends of the rotary shaft 150 may be supported by bearings formed on the counter substrates 120 and 130.

エレクトレット基板110と回転軸150とは互いに固定されている。回転軸150は、例えば、エレクトレット基板110の中心に形成される軸孔に圧入されることにより、エレクトレット基板110に対して固定されているとよい。発電装置100においては、エレクトレット基板110は回転軸150の回転に伴い回転する。一方、後述のように、静電モータ200においては、回転軸150はエレクトレット基板110の回転に伴い回転する。 The electret substrate 110 and the rotating shaft 150 are fixed to each other. The rotary shaft 150 may be fixed to the electret substrate 110 by being press-fitted into a shaft hole formed at the center of the electret substrate 110, for example. In the power generation device 100, the electret substrate 110 rotates as the rotating shaft 150 rotates. On the other hand, as will be described later, in the electrostatic motor 200, the rotating shaft 150 rotates as the electret substrate 110 rotates.

対向基板120は、円板形状であって、エレクトレット基板110のエレクトレット面111aに対向する面に対向電極121が設けられている。以下、対向基板120のうち対向電極121が設けられると共にエレクトレット面111aに対向して配置される面を、電極面121aと呼ぶ。図5に示すように、対向電極121は、周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数設けられている。また、対向基板120は、その中心に軸孔123を有する。軸孔123には、回転軸150が挿通される。回転軸150は、対向基板120に対して固定されておらず、対向基板120に対して空転する。 The counter substrate 120 has a disk shape, and the counter electrode 121 is provided on the surface of the counter substrate 120 facing the electret surface 111 a of the electret substrate 110. Hereinafter, of the counter substrate 120, the surface provided with the counter electrode 121 and facing the electret surface 111a is referred to as an electrode surface 121a. As shown in FIG. 5, a plurality of counter electrodes 121 are provided so as to be lined up at intervals in the circumferential direction. Further, the counter substrate 120 has a shaft hole 123 at the center thereof. The rotary shaft 150 is inserted into the shaft hole 123. The rotating shaft 150 is not fixed to the counter substrate 120 but idles with respect to the counter substrate 120.

なお、図示は省略するが、対向基板130も対向基板120と同様の構成である。すなわち、対向基板130は、円板形状であって、エレクトレット基板110のエレクトレット面112aに対向する面に対向電極131が設けられている。以下、対向基板130のうち対向電極131が設けられると共にエレクトレット面112aに対向して配置される面を、電極面131aと呼ぶ。また、対向基板130は、回転軸150が挿通される軸孔133(図3参照)を有している。回転軸150は、対向基板130に対しても固定されておらず、対向基板130に対して空転する。 Although not shown, the counter substrate 130 has the same configuration as the counter substrate 120. That is, the counter substrate 130 has a disk shape, and the counter electrode 131 is provided on the surface of the counter substrate 130 that faces the electret surface 112 a of the electret substrate 110. Hereinafter, of the counter substrate 130, the surface provided with the counter electrode 131 and facing the electret surface 112a is referred to as an electrode surface 131a. Further, the counter substrate 130 has a shaft hole 133 (see FIG. 3) through which the rotary shaft 150 is inserted. The rotating shaft 150 is not fixed also to the counter substrate 130, and idles with respect to the counter substrate 130.

なお、対向基板120は、例えば、対向電極121が一体的に形成された成形回路部品(MID:Molded Interconnect Device)であるとよい。ただし、これに限られるものではなく、対向基板120は、例えば、円板形状の基板上に、対向電極がパターニングされたフレキシブル回路基板(FPC:Flexible Printed Circuits)が貼り付けられてなるものであっても構わない。対向基板130についても同様である。 The counter substrate 120 may be, for example, a molded circuit component (MID: Molded Interconnect Device) integrally formed with the counter electrode 121. However, the present invention is not limited to this, and the counter substrate 120 is, for example, a disk-shaped substrate on which a flexible circuit board (FPC: Flexible Printed Circuits) having a counter electrode patterned is attached. It doesn't matter. The same applies to the counter substrate 130.

対向基板120と対向基板130とは、回転軸150が延伸する方向において、エレクトレット基板110に対して所定の間隔を空けて、エレクトレット基板110を挟むように配置されている。 The counter substrate 120 and the counter substrate 130 are arranged so as to sandwich the electret substrate 110 at a predetermined distance from the electret substrate 110 in the direction in which the rotating shaft 150 extends.

なお、エレクトレット膜や対向電極の平面形状は、図4、図5に示したものに限られるものではない。また、例えば、エレクトレット基板110や対向基板120、130に周方向に所定の間隔を空けて並ぶ複数の貫通孔を形成し、それら貫通孔が形成されない領域に、エレクトレット膜や対向電極を配置する構成であってもよい。 The planar shapes of the electret film and the counter electrode are not limited to those shown in FIGS. 4 and 5. Further, for example, a configuration in which a plurality of through holes arranged in the circumferential direction at predetermined intervals are formed in the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130, and the electret film and the counter electrode are arranged in a region where the through holes are not formed. May be

図6は、静電誘導型変換器を発電装置として用いた際の作動原理の一例を説明する概略回路図である。図6に示すように、エレクトレット基板110に設けられるエレクトレット膜111と、対向基板120に設けられる対向電極121とは所定のわずかな間隔を空けて配置されている。同様に、エレクトレット基板110に設けられるエレクトレット膜112と、対向基板130に設けられる対向電極131とは所定のわずかな間隔を空けて配置されている。なお、図6においては、対向基板120、130の図示は省略している。 FIG. 6 is a schematic circuit diagram illustrating an example of the operating principle when the electrostatic induction converter is used as a power generator. As shown in FIG. 6, the electret film 111 provided on the electret substrate 110 and the counter electrode 121 provided on the counter substrate 120 are arranged with a predetermined small gap. Similarly, the electret film 112 provided on the electret substrate 110 and the counter electrode 131 provided on the counter substrate 130 are arranged with a predetermined slight interval. Note that the counter substrates 120 and 130 are not shown in FIG.

また、上述のように、対向基板120及び対向基板130は、電極が存在する領域と存在しない領域とが周方向に交互に配置される構成であり、エレクトレット基板110は、エレクトレット膜が設けられる領域と設けられない領域とが周方向に交互に配置される構成である。また、エレクトレット基板110は、回転軸150に対して固定されており、回転軸150の回転に伴い回転する。一方、対向基板120及び対向基板130は、回転軸150に対して固定されていない。そのため、エレクトレット基板110及び回転軸150は、対向基板120及び対向基板130に対して相対的に回転する。 In addition, as described above, the counter substrate 120 and the counter substrate 130 are configured such that regions where electrodes are present and regions where electrodes are not present are alternately arranged in the circumferential direction, and the electret substrate 110 is a region where an electret film is provided. And regions not provided are alternately arranged in the circumferential direction. The electret substrate 110 is fixed to the rotating shaft 150 and rotates as the rotating shaft 150 rotates. On the other hand, the counter substrate 120 and the counter substrate 130 are not fixed to the rotating shaft 150. Therefore, the electret substrate 110 and the rotating shaft 150 rotate relative to the counter substrate 120 and the counter substrate 130.

回転軸150の回転に伴いエレクトレット基板110が回転し、エレクトレット膜111と対向電極121とが正対する状態とそうでない状態が入れ替わり、かつ、エレクトレット膜112と対向電極131とが正対する状態とそうでない状態が入れ替わる。なお、回転軸150は、例えば、不図示のカナを有しており、カナに噛み合う不図示の輪列を介して回転錘15の回転が伝達されるとよい。そして、回転軸150は、回転錘15の回転に伴い回転するとよい。回転錘15は、例えば、腕時計1を腕に着用したユーザが歩行等する際のユーザの腕の動きに伴って回転するように設けられているとよい。 The electret substrate 110 rotates in accordance with the rotation of the rotating shaft 150, and the state in which the electret film 111 and the counter electrode 121 face each other and the state in which they do not face each other are switched, and the state where the electret film 112 and the counter electrode 131 face each other are different from each other. The states change. The rotary shaft 150 may have, for example, a pinion (not shown), and the rotation of the rotary weight 15 may be transmitted via a train wheel (not shown) that meshes with the pinion. Then, the rotary shaft 150 may rotate with the rotation of the rotary weight 15. The oscillating weight 15 may be provided so as to rotate with the movement of the user's arm when the user wearing the wristwatch 1 on the arm walks, for example.

また、エレクトレット膜111、112は、所定の帯電状態となるように形成されている。第1の実施形態においては、エレクトレット膜111、112は、共に負電荷を持つように帯電している。 The electret films 111 and 112 are formed so as to be in a predetermined charged state. In the first embodiment, the electret films 111 and 112 are both charged so as to have a negative charge.

対向基板120の対向電極121がエレクトレット膜111に正対している状態では、エレクトレット膜111の表面電荷に誘導されて対向電極121に反対極性の電荷が蓄積される(第1の実施形態においては、正電荷が対向電極121に蓄積される)。その後、エレクトレット基板110が回転し、エレクトレット膜111が対向電極121に正対しない状態となると、対向電極121に誘導され蓄積された電荷が掃き出され、整流回路61により整流されて電気エネルギーとして取り出される。 In the state where the counter electrode 121 of the counter substrate 120 faces the electret film 111, the opposite charge is accumulated in the counter electrode 121 by being induced by the surface charge of the electret film 111 (in the first embodiment, Positive charges are accumulated on the counter electrode 121). After that, when the electret substrate 110 rotates and the electret film 111 does not face the counter electrode 121 directly, the electric charge induced and accumulated in the counter electrode 121 is swept out and rectified by the rectifier circuit 61 to be extracted as electric energy. Be done.

同様に、対向基板130の対向電極131がエレクトレット膜112に正対している状態では、エレクトレット膜112の表面電荷に誘導されて対向電極131に反対極性の電荷が蓄積される(第1の実施形態においては、正電荷が対向電極131に蓄積される)。その後、エレクトレット基板110が回転し、エレクトレット膜112が対向電極131に正対しない状態となると、対向電極131に誘導され蓄積された電荷が掃き出され、整流回路62により整流されて電気エネルギーとして取り出される。 Similarly, in a state where the counter electrode 131 of the counter substrate 130 faces the electret film 112 directly, charges of opposite polarity are accumulated in the counter electrode 131 due to the surface charges of the electret film 112 (first embodiment). , A positive charge is stored in the counter electrode 131). After that, when the electret substrate 110 rotates and the electret film 112 does not directly face the counter electrode 131, the charge induced and accumulated in the counter electrode 131 is swept out and rectified by the rectifier circuit 62 to be extracted as electric energy. Be done.

なお、図6においては、対向電極121と対向電極131とが周方向についての位相が異なるように、対向基板120及び対向基板130に配置されている例について示している。ただし、これに限られるものではなく、対向電極121と対向電極131は、周方向についての位相が同じになるように配置されていてもよい。 Note that FIG. 6 illustrates an example in which the counter electrode 121 and the counter electrode 131 are arranged on the counter substrate 120 and the counter substrate 130 so that the phases in the circumferential direction are different. However, the configuration is not limited to this, and the counter electrode 121 and the counter electrode 131 may be arranged so that the phases in the circumferential direction are the same.

図7は、図3から図5に図示した静電誘導型変換器を静電モータ200として用いた際の作動原理の一例を説明する概略回路図である。この場合においても、エレクトレット基板110と対向基板120、130とは、所定のわずかな間隔を空けて対向して配置されている。また、エレクトレット基板110が回転することにより、エレクトレット膜111と対向電極121とが正対する状態とそうでない状態が入れ替わり、かつ、エレクトレット膜112と対向電極131とが正対する状態とそうでない状態が入れ替わる。 FIG. 7 is a schematic circuit diagram illustrating an example of the operating principle when the electrostatic induction converter illustrated in FIGS. 3 to 5 is used as the electrostatic motor 200. Also in this case, the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130 are arranged to face each other with a predetermined small gap. Further, as the electret substrate 110 rotates, the state in which the electret film 111 and the counter electrode 121 face each other and the state in which they do not face each other and the state where the electret film 112 and the counter electrode 131 face each other and the state in which they do not face each other are switched. ..

エレクトレット膜111、112は、所定の帯電状態となるように形成されている。第1の実施形態においては、エレクトレット膜111、112は、共に負電荷を持つように帯電している。また、対向電極121と対向電極131は、周方向についての位相が異なるように対向基板120及び対向基板130に配置されている。制御回路40は、エレクトレット膜111、112の帯電状態の逆電荷が所定のタイミングで印加されるように静電モータ駆動回路50に含まれるスイッチ63を制御する。 The electret films 111 and 112 are formed so as to be in a predetermined charged state. In the first embodiment, the electret films 111 and 112 are both charged so as to have a negative charge. Further, the counter electrode 121 and the counter electrode 131 are arranged on the counter substrate 120 and the counter substrate 130 so as to have different phases in the circumferential direction. The control circuit 40 controls the switch 63 included in the electrostatic motor drive circuit 50 so that the reverse charge of the electrified films 111 and 112 is applied at a predetermined timing.

対向電極121と対向電極131のいずれか片方にエレクトレット膜111、112の帯電状態の逆電荷が印加されると、静電気力により、エレクトレット膜111又はエレクトレット膜112が、逆電荷が印加された対向電極に正対するようエレクトレット基板110が回転する。スイッチ63を適宜切り替えて対向電極121と対向電極131の逆電荷の印加の有無を交互にタイミングよく切り替えると、エレクトレット基板110を連続的に回転運動させることができる。エレクトレット基板110の回転に伴い回転軸150が回転することとなる。これにより、静電モータ200において回転運動を取り出すことができる。 When the opposite charge of the electrified films 111 and 112 is applied to one of the opposite electrode 121 and the opposite electrode 131, the electret film 111 or the electret film 112 is applied with the opposite charge due to electrostatic force. The electret substrate 110 rotates so as to directly face. The electret substrate 110 can be continuously rotated by switching the switch 63 as appropriate to alternately switch the presence/absence of the application of the opposite charges to the counter electrode 121 and the counter electrode 131 with good timing. As the electret substrate 110 rotates, the rotary shaft 150 rotates. As a result, the rotary motion can be taken out in the electrostatic motor 200.

以上説明した静電誘導型変換器を発電装置100又は静電モータ200として使用するための回路構成は一例であり、各種部材の配置を含め、他の構成を採用してもよい。 The circuit configuration for using the static induction converter described above as the power generation device 100 or the electrostatic motor 200 is an example, and other configurations including the arrangement of various members may be adopted.

発電装置100においては、発電量を増加させるために、エレクトレット基板110の径を大きくすることにより、エレクトレット膜111、112が設けられる面積を広くすることが好ましい。また、発電量を増加させるために、エレクトレット膜111、112と、対向電極121、131との間隔を狭くすることが好ましい。すなわち、エレクトレット基板110と、対向基板120、130との隙間G(図3参照)を狭くすることが好ましい。同様に、静電モータ200においても、大きな動力を得るために、エレクトレット基板110の径を大きくし、隙間Gを狭くすることが好ましい。 In the power generation device 100, in order to increase the amount of power generation, it is preferable to increase the diameter of the electret substrate 110 to increase the area where the electret films 111 and 112 are provided. Further, in order to increase the amount of power generation, it is preferable to narrow the gap between the electret films 111 and 112 and the counter electrodes 121 and 131. That is, it is preferable to narrow the gap G (see FIG. 3) between the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130. Similarly, also in the electrostatic motor 200, it is preferable to increase the diameter of the electret substrate 110 and narrow the gap G in order to obtain a large power.

ここで、軸受け81a、82aの寸法・加工精度や、回転軸150の寸法・加工精度や、回転軸150の組み付けの精度によっては、回転軸150が、対向基板120、130に対して傾いてしまう可能性がある。回転軸150が傾くと、回転軸150に対して固定されるエレクトレット基板110が、対向基板120、130に対して傾くこととなる。このように、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いてしまうと、エレクトレット基板110の周縁部110aが、対向基板120、130に干渉してしまうおそれがある。 Here, depending on the dimensions/machining precision of the bearings 81a and 82a, the dimensions/machining precision of the rotary shaft 150, and the mounting precision of the rotary shaft 150, the rotary shaft 150 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130. there is a possibility. When the rotating shaft 150 tilts, the electret substrate 110 fixed to the rotating shaft 150 tilts with respect to the counter substrates 120 and 130. Thus, if the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130, the peripheral edge portion 110a of the electret substrate 110 may interfere with the counter substrates 120 and 130.

特に、エレクトレット基板110の径を大きくしたり、エレクトレット基板110と対向基板120、130との隙間Gを狭くしたりした場合において、エレクトレット基板110が、対向基板120、130に対して傾くと、対向基板120、130と機械的な干渉がしやすくなってしまう。エレクトレット基板110が対向基板120、130と干渉してしまうと、エレクトレット基板110が対向基板120、130との間で摩擦が生じ、所望の発電量や、所望の動力を得られなくなってしまう可能性がある。また、エレクトレット基板110が、対向基板120、130に対して傾くことを想定してエレクトレット基板110と対向基板120、130との隙間Gを広げるとエレクトレット膜111、112と、対向電極121、対向電極131間で発生する静電気力の影響が小さくなり、所望の発電量や、所望の動力を得られなくなってしまう可能性がある。 In particular, when the diameter of the electret substrate 110 is increased or the gap G between the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130 is narrowed, when the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130, Mechanical interference with the substrates 120 and 130 is likely to occur. If the electret substrate 110 interferes with the counter substrates 120 and 130, friction may occur between the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130, and a desired power generation amount or a desired power may not be obtained. There is. If the gap G between the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130 is widened assuming that the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130, the electret films 111 and 112, the counter electrode 121, and the counter electrode. There is a possibility that the influence of the electrostatic force generated between 131 becomes small, and it becomes impossible to obtain a desired amount of power generation or a desired power.

そこで、第1の実施形態においては、図3に示すように、電極面121aが、電極面121aの周縁部120aをその内側よりもエレクトレット面111aから離間させる傾斜を含むこととした。すなわち、電極面121aが傾斜面121a1を含むこととした。 Therefore, in the first embodiment, as shown in FIG. 3, the electrode surface 121a includes an inclination that separates the peripheral portion 120a of the electrode surface 121a from the electret surface 111a rather than the inner side thereof. That is, the electrode surface 121a includes the inclined surface 121a1.

また、第1の実施形態においては、対向基板120を、径方向において内側から外側に向かうに従い厚みが薄くなる構成とした。具体的には、傾斜面121a1の最も内側における対向基板120の厚みをt1、周縁部120aにおける対向基板120の厚みをt2とし、t1>t2とした。なお、傾斜面121a1は、周方向に沿うように形成されており、対向基板120の厚みは周方向において同じとなっている。このような構成のため、エレクトレット面111aと、電極面121aとの隙間Gの広さが周方向で同じである状態、すなわち図3に示すようにエレクトレット基板110が対向基板120に対して傾いていない状態において、エレクトレット面111aと、電極面121aとの隙間Gは、径方向において内側から外側に向かうに従い広くなっている。 In addition, in the first embodiment, the counter substrate 120 is configured to have a thickness that decreases from the inner side to the outer side in the radial direction. Specifically, the thickness of the counter substrate 120 at the innermost side of the inclined surface 121a1 is t1, the thickness of the counter substrate 120 at the peripheral edge portion 120a is t2, and t1>t2. The inclined surface 121a1 is formed along the circumferential direction, and the counter substrate 120 has the same thickness in the circumferential direction. Due to such a configuration, the width of the gap G between the electret surface 111a and the electrode surface 121a is the same in the circumferential direction, that is, the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrate 120 as shown in FIG. In the absence state, the gap G between the electret surface 111a and the electrode surface 121a is wider in the radial direction from the inner side to the outer side.

同様に、電極面131aが、電極面131aの周縁部130aをその内側よりもエレクトレット面112aから離間させる傾斜を含むこととした。すなわち、電極面131aが傾斜面131a1を含むこととした。第1の実施形態においては、対向基板130を、径方向において内側から外側に向かうに従い厚みが薄くなる構成とした。なお、対向基板130の厚みや径の大きさは、対向基板120と同様であるとよい。このような構成のため、エレクトレット面112aと、電極面131aとの隙間Gの広さが周方向で同じである状態、すなわち図3に示すようにエレクトレット基板110が対向基板130に対して傾いていない状態において、エレクトレット面112aと、電極面131aとの隙間Gは、径方向において内側から外側に向かうに従い広くなっている。 Similarly, the electrode surface 131a includes an inclination that separates the peripheral portion 130a of the electrode surface 131a from the electret surface 112a rather than the inside thereof. That is, the electrode surface 131a includes the inclined surface 131a1. In the first embodiment, the counter substrate 130 has a structure in which the thickness decreases from the inner side to the outer side in the radial direction. Note that the thickness and diameter of the counter substrate 130 may be similar to those of the counter substrate 120. Due to such a configuration, the width of the gap G between the electret surface 112a and the electrode surface 131a is the same in the circumferential direction, that is, the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrate 130 as shown in FIG. In the absence state, the gap G between the electret surface 112a and the electrode surface 131a is wider in the radial direction from the inner side to the outer side.

図8は、第1の実施形態の静電誘導型変換器において、エレクトレット基板110が、対向基板120、130に対して傾いた状態を示している。具体的には、回転軸150の組み付け精度等を原因として、回転軸150が所望の位置からずれることにより、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いた状態を示している。なお、図8中の破線は、対向基板120、130に対して傾いていない状態にあるエレクトレット基板110を示している。 FIG. 8 shows a state in which the electret substrate 110 is tilted with respect to the counter substrates 120 and 130 in the electrostatic induction converter according to the first embodiment. Specifically, the state is shown in which the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130 due to the rotation shaft 150 being displaced from a desired position due to the assembly accuracy of the rotation shaft 150 and the like. The broken line in FIG. 8 shows the electret substrate 110 in a state where it is not tilted with respect to the counter substrates 120 and 130.

第1の実施形態においては、図3に示すような構成を採用するため、図8に示すように、対向基板120、130に対するエレクトレット基板110の傾きの許容量が大きくなる。すなわち、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いた場合であっても、エレクトレット基板110の周縁部110aが、対向基板120、130に干渉しにくい。そのため、第1の実施形態においては、エレクトレット基板110の径を大きくすることや、対向基板120、130との隙間Gを狭くすることができる。その結果、発電装置100においては、発電量を増加させることができる。また、静電モータ200においては、回転トルクを向上し、大きな動力を得ることができる。このように、第1の実施形態においては、静電誘導型変換器において、発電性能や駆動性能を向上することができる。また、第1の実施形態の構成においては、回転軸150の組み付け精度等が十分でない場合であっても、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して干渉する等の不具合の発生を抑制することができるため、回転軸150、エレクトレット基板110、対向基板120、130等の組み付けに要するコストや時間を抑制することが可能となる。 In the first embodiment, since the configuration shown in FIG. 3 is adopted, as shown in FIG. 8, the allowable amount of inclination of the electret substrate 110 with respect to the counter substrates 120 and 130 becomes large. That is, even when the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrates 120 and 130, the peripheral portion 110 a of the electret substrate 110 is unlikely to interfere with the counter substrates 120 and 130. Therefore, in the first embodiment, the diameter of the electret substrate 110 can be increased and the gap G between the opposite substrates 120 and 130 can be narrowed. As a result, in the power generation device 100, the amount of power generation can be increased. Further, in the electrostatic motor 200, it is possible to improve the rotation torque and obtain a large power. As described above, in the first embodiment, the power generation performance and the driving performance can be improved in the electrostatic induction converter. Further, in the configuration of the first embodiment, even if the assembly accuracy of the rotating shaft 150 is not sufficient, the occurrence of problems such as the electret substrate 110 interfering with the counter substrates 120 and 130 is suppressed. Therefore, the cost and time required for assembling the rotary shaft 150, the electret substrate 110, the counter substrates 120 and 130, and the like can be suppressed.

なお、エレクトレット基板110が、対向基板120、130に対して傾いてしまった場合、隙間Gは広くなる領域と狭くなる領域が生じることとなる。隙間Gが狭くなった領域においては電荷が誘起されやすくなり、隙間Gが広くなった領域においては電荷が誘起されにくくなり、全体としては理想的な状態と比較して、発電性能や駆動性能は若干低下する可能性がある。しかしながら、上述のように、第1の実施形態においては、エレクトレット基板110の径を大きくしたり隙間Gを狭くしたりすることができる分、発電性能や駆動性能を向上させることができるため、全体として発電性能や駆動性能の維持向上を図ることが可能となる。 When the electret substrate 110 is tilted with respect to the counter substrates 120 and 130, the gap G has a wide region and a narrow region. In the region where the gap G is narrow, the electric charges are easily induced, and in the region where the gap G is wide, the electric charges are less likely to be induced. As a whole, compared with the ideal state, the power generation performance and the driving performance are It may decrease slightly. However, as described above, in the first embodiment, since the diameter of the electret substrate 110 can be increased and the gap G can be decreased, the power generation performance and the driving performance can be improved, and therefore the entire structure can be improved. As a result, it is possible to maintain and improve power generation performance and drive performance.

なお、図3に示す例においては、対向基板120の電極面121aの中心付近を平面とした。すなわち、電極面121aの外周側のみに傾斜面121a1を形成した。このように電極面121aの一部の領域を傾斜面121a1とすることにより、電極面121aの全体を傾斜面とする場合と比較して、径方向の外側における隙間Gが必要以上に広くなってしまうことを抑制しつつ、対向基板120の中心付近におけるエレクトレット基板110との隙間Gを狭くすることができる。 In the example shown in FIG. 3, the vicinity of the center of the electrode surface 121a of the counter substrate 120 is a flat surface. That is, the inclined surface 121a1 was formed only on the outer peripheral side of the electrode surface 121a. By thus forming a part of the electrode surface 121a as the inclined surface 121a1, the gap G on the outer side in the radial direction becomes unnecessarily wide as compared with the case where the entire electrode surface 121a is an inclined surface. The gap G with the electret substrate 110 near the center of the counter substrate 120 can be narrowed while suppressing the occurrence of the occurrence.

次に、図9を参照して、第2の実施形態の静電誘導型変換器について説明する。図9は、第2の実施形態の静電誘導型変換器を模式的に示す模式図である。なお、図9においては、図3と同様に、静電誘導型変換器の側面、及び支持板81、82の断面を示している。また、図9においては、エレクトレット膜111、112と、対向電極121、131の図示は省略している。なお、図3等を参照して説明した第1の実施形態と同様の構成については同じ符号を用いてその説明は省略する。 Next, with reference to FIG. 9, the electrostatic induction converter of the second embodiment will be described. FIG. 9 is a schematic diagram schematically showing the electrostatic induction converter according to the second embodiment. Note that, in FIG. 9, as in FIG. 3, a side surface of the electrostatic induction converter and cross sections of the support plates 81 and 82 are shown. Further, in FIG. 9, the electret films 111 and 112 and the counter electrodes 121 and 131 are not shown. The same components as those in the first embodiment described with reference to FIG. 3 and the like are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

第1の実施形態においては、対向基板120、130に傾斜面を形成した例について示したが、第2の実施形態においては、エレクトレット基板110に傾斜面111a1、112a1を形成した例について説明する。 In the first embodiment, the example in which the inclined surfaces are formed on the counter substrates 120 and 130 has been shown, but in the second embodiment, an example in which the inclined surfaces 111a1 and 112a1 are formed on the electret substrate 110 will be described.

第2の実施形態においては、エレクトレット面111aが、エレクトレット面111aの周縁部110aをその内側よりも電極面121aから離間させる傾斜を含むこととした。同様に、エレクトレット面112aが、エレクトレット面112aの周縁部110aをその内側よりも電極面131aから離間させる傾斜を含むこととした。すなわち、エレクトレット面111aが傾斜面111a1を含み、エレクトレット面112aが傾斜面112a1を含むこととした。第2の実施形態においては、エレクトレット基板110を、径方向において内側から外側に向かうに従い厚みが薄くなる構成とした。第2の実施形態においては、径方向の最も内側のエレクトレット基板110の厚みをt3とし、エレクトレット基板110の周縁部110aにおける厚みをt4とし、t3>t4とした。なお、傾斜面111a1、112aは、周方向に沿うように形成されており、エレクトレット基板110の厚みは周方向において同じとなっている。 In the second embodiment, the electret surface 111a includes an inclination that separates the peripheral edge portion 110a of the electret surface 111a from the electrode surface 121a rather than the inner side thereof. Similarly, the electret surface 112a includes a slope that separates the peripheral edge portion 110a of the electret surface 112a from the electrode surface 131a rather than the inner side thereof. That is, the electret surface 111a includes the inclined surface 111a1 and the electret surface 112a includes the inclined surface 112a1. In the second embodiment, the electret substrate 110 is configured to have a thickness that decreases from the inner side to the outer side in the radial direction. In the second embodiment, the thickness of the innermost electret substrate 110 in the radial direction is t3, the thickness of the peripheral edge portion 110a of the electret substrate 110 is t4, and t3>t4. The inclined surfaces 111a1 and 112a are formed along the circumferential direction, and the electret substrate 110 has the same thickness in the circumferential direction.

このような構成のため、エレクトレット面111aと、電極面121aとの隙間Gの広さが周方向で同じである状態、すなわち図9に示すようにエレクトレット基板110が対向基板130に対して傾いていない状態において、エレクトレット面111aと、電極面121aとの隙間Gは、径方向において内側から外側に向かうに従い広くなっている。同様に、エレクトレット面111aと、電極面131aとの隙間Gは、径方向において内側から外側に向かうに従い広くなっている。 Due to such a configuration, the width of the gap G between the electret surface 111a and the electrode surface 121a is the same in the circumferential direction, that is, the electret substrate 110 is inclined with respect to the counter substrate 130 as shown in FIG. In the absence state, the gap G between the electret surface 111a and the electrode surface 121a is wider in the radial direction from the inner side to the outer side. Similarly, the gap G between the electret surface 111a and the electrode surface 131a is wider in the radial direction from the inner side to the outer side.

第2の実施形態の構成においても、第1の実施形態と同様に、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いてしまった場合であっても、エレクトレット基板110の周縁部110aが対向基板120、130に干渉しにくい。そのため、エレクトレット基板110の径を大きくしたり、隙間Gを狭くしたりすることができる。その結果、発電装置100において発電量を増加させ、静電モータ200において大きな動力を得ることが可能となる。 Also in the configuration of the second embodiment, as in the first embodiment, even when the electret substrate 110 is tilted with respect to the counter substrates 120 and 130, the peripheral portion 110a of the electret substrate 110 faces. It does not easily interfere with the substrates 120 and 130. Therefore, the diameter of the electret substrate 110 can be increased or the gap G can be reduced. As a result, it is possible to increase the amount of power generation in the power generation device 100 and obtain large power in the electrostatic motor 200.

なお、図9においては、エレクトレット基板110のエレクトレット面111a、112aの全ての領域が傾斜している例について示したが、これに限られるものではなく、傾斜面111a1、112a1を一部に含む構成であってもよい。 Although FIG. 9 shows an example in which all the areas of the electret surfaces 111a and 112a of the electret substrate 110 are inclined, the present invention is not limited to this, and the inclined surfaces 111a1 and 112a1 are partially included. May be

次に、図10、図11を参照して、第3の実施形態の静電誘導型変換器について説明する。図10は、第3の実施形態の静電誘導型変換器を示す図である。図11は、第3の実施形態の対向基板を示す平面図である。図11においては、静電誘導型変換器を発電装置として用いた場合の対向基板を示している。なお、図3等を参照して説明した第1の実施形態と同様の構成については同じ符号を用いてその説明は省略する。 Next, with reference to FIGS. 10 and 11, the electrostatic induction converter according to the third embodiment will be described. FIG. 10: is a figure which shows the electrostatic induction converter of 3rd Embodiment. FIG. 11 is a plan view showing the counter substrate of the third embodiment. FIG. 11 shows a counter substrate when the electrostatic induction converter is used as a power generator. The same components as those in the first embodiment described with reference to FIG. 3 and the like are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

第1の実施形態及び第2の実施形態においては、エレクトレット基板110又は対向基板120、130が傾斜を有する例について示したが、第3の実施形態においては、対向基板120、130が段差を有する例について説明する。 In the first embodiment and the second embodiment, the example in which the electret substrate 110 or the counter substrates 120 and 130 have an inclination is shown, but in the third embodiment, the counter substrates 120 and 130 have a step. An example will be described.

具体的には、図10に示すように、対向基板120において、電極面121aは、電極面121aの周縁部120aをその内側よりもエレクトレット面111aから離間させる段差を含むこととした。すなわち、電極面121aは、周縁部120aと同一の平面から起立した起立面121a2を有する。起立面121a2は、図11に示すように、周方向に連続的に形成されているとよい。このように起立面121a2を有するため、対向基板120は、径方向において起立面121a2を介して厚みが異なっている。具体的には、径方向において起立面121a2よりも内側の対向基板120の厚みをt5とし、起立面121a2よりも外側の対向基板120の厚みをt6とし、t5>t6とした。また、対向基板130についても同様に、起立面131a2を形成した。 Specifically, as shown in FIG. 10, in the counter substrate 120, the electrode surface 121a includes a step that separates the peripheral portion 120a of the electrode surface 121a from the electret surface 111a rather than the inside thereof. That is, the electrode surface 121a has an upright surface 121a2 that is upright from the same plane as the peripheral portion 120a. The upright surface 121a2 is preferably formed continuously in the circumferential direction, as shown in FIG. Since the standing surface 121a2 is provided in this manner, the counter substrate 120 has a different thickness in the radial direction with the standing surface 121a2 interposed therebetween. Specifically, the thickness of the counter substrate 120 inside the standing surface 121a2 in the radial direction is t5, and the thickness of the counter substrate 120 outside the standing surface 121a2 is t6, and t5>t6. Further, the standing surface 131a2 was similarly formed on the counter substrate 130.

第3の実施形態の構成においては、起立面121a2、131a2よりも径方向の内側における隙間Gよりも、起立面121a2、131a2よりも径方向の外側における隙間Gの方が広くなっている。そのため、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いてしまった場合であっても、エレクトレット基板110の周縁部110aが対向基板120、130に干渉しにくい。そのため、エレクトレット基板110の径を大きくしたり、隙間Gを狭くしたりすることができる。その結果、発電装置100において発電量を増加させ、静電モータ200において大きな動力を得ることが可能となる。 In the configuration of the third embodiment, the gap G on the outer side in the radial direction than the upright surfaces 121a2, 131a2 is wider than the gap G on the inner side in the radial direction than the upright surfaces 121a2, 131a2. Therefore, even when the electret substrate 110 is tilted with respect to the counter substrates 120 and 130, the peripheral portion 110a of the electret substrate 110 is unlikely to interfere with the counter substrates 120 and 130. Therefore, the diameter of the electret substrate 110 can be increased or the gap G can be reduced. As a result, it is possible to increase the amount of power generation in the power generation device 100 and obtain large power in the electrostatic motor 200.

次に、図12を参照して、第4の実施形態の静電誘導型変換器について説明する。図12は、第4の実施形態の静電誘導型変換器を示す図である。なお、図3等を参照して説明した第1の実施形態と同様の構成については同じ符号を用いてその説明は省略する。 Next, with reference to FIG. 12, the electrostatic induction converter of the fourth embodiment will be described. FIG. 12: is a figure which shows the electrostatic induction converter of 4th Embodiment. The same components as those in the first embodiment described with reference to FIG. 3 and the like are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

第3の実施形態においては、対向基板120、130が段差を有する例について示したが、第4の実施形態においては、エレクトレット基板110が段差を有する例について説明する。 In the third embodiment, an example in which the counter substrates 120 and 130 have steps is shown, but in the fourth embodiment, an example in which the electret substrate 110 has steps is described.

具体的には、図12に示すように、エレクトレット基板110において、エレクトレット面111aは、エレクトレット面111aの周縁部110aをその内側よりも電極面121aから離間させる段差を含むこととした。同様に、エレクトレット面112aは、エレクトレット面112aの周縁部110aをその内側よりも電極面131aから離間させる段差を含むこととした。すなわち、エレクトレット面111aは、周縁部110aと同一の平面から起立した起立面111a2を有し、エレクトレット面112aは、周縁部110aと同一の平面から起立した起立面112a2を有する。起立面111a2、112a2は、周方向に連続的に形成されているとよい。このように起立面111a2、112a2を有するため、エレクトレット基板110は、径方向において、起立面111a2、112a2を介して厚みが異なっている。具体的には、径方向において起立面111a2、112a2よりも内側のエレクトレット基板110の厚みをt7とし、起立面111a2、112a2よりも内側のエレクトレット基板110の厚みをt8とし、t7>t8とした。 Specifically, as shown in FIG. 12, in the electret substrate 110, the electret surface 111a includes a step that separates the peripheral edge portion 110a of the electret surface 111a from the electrode surface 121a rather than the inner side thereof. Similarly, the electret surface 112a includes a step that separates the peripheral portion 110a of the electret surface 112a from the electrode surface 131a rather than the inside thereof. That is, the electret surface 111a has an upright surface 111a2 which is upright from the same plane as the peripheral edge 110a, and the electret surface 112a has an upright surface 112a2 which is upright from the same plane as the peripheral edge 110a. The upright surfaces 111a2 and 112a2 are preferably formed continuously in the circumferential direction. Since the rising surfaces 111a2 and 112a2 are provided in this manner, the electret substrate 110 has different thicknesses in the radial direction via the rising surfaces 111a2 and 112a2. Specifically, the thickness of the electret substrate 110 inside the upright surfaces 111a2 and 112a2 in the radial direction is set to t7, and the thickness of the electret substrate 110 inside the upright surfaces 111a2 and 112a2 is set to t8, and t7>t8.

第4の実施形態の構成においては、起立面111a2、112a2よりも径方向の内側における隙間Gよりも、起立面111a2、112a2よりも径方向の外側における隙間Gの方が広くなっている。そのため、エレクトレット基板110が対向基板120、130に対して傾いてしまった場合であっても、エレクトレット基板110の周縁部110aが対向基板120、130に干渉しにくい。そのため、エレクトレット基板110の径を大きくしたり、隙間Gを狭くしたりすることができる。その結果、発電装置100において発電量を増加させ、静電モータ200において大きな動力を得ることが可能となる。 In the configuration of the fourth embodiment, the gap G on the radially outer side of the upright surfaces 111a2, 112a2 is wider than the gap G on the radially inner side of the upright surfaces 111a2, 112a2. Therefore, even when the electret substrate 110 is tilted with respect to the counter substrates 120 and 130, the peripheral portion 110a of the electret substrate 110 is unlikely to interfere with the counter substrates 120 and 130. Therefore, the diameter of the electret substrate 110 can be increased or the gap G can be reduced. As a result, it is possible to increase the amount of power generation in the power generation device 100 and obtain large power in the electrostatic motor 200.

なお、上記各実施形態においては、静電誘導型変換器である発電装置100と静電モータ200の双方を含む腕時計1について示したが、いずれか一方のみを含むものであっても構わない。 In each of the above-described embodiments, the wristwatch 1 including both the power generation device 100, which is an electrostatic induction converter, and the electrostatic motor 200 has been described, but only one of them may be included.

また、上記各実施形態においては、エレクトレット基板110が回転駆動する構成について示したが、これに限られるものではなく、互いに対向して配置されるエレクトレット膜と対向電極とが、正対する状態と正対しない状態とが入れ替わる構成であるとよい。すなわち、エレクトレット基板110と対向基板120、130とが相対的に移動する構成であればよく、例えば、エレクトレット基板110が固定基板であり、対向基板120、130が回転運動する回転基板であってもよい。 Further, in each of the above-described embodiments, the configuration in which the electret substrate 110 is rotationally driven has been described, but the present invention is not limited to this. It is preferable to have a configuration in which the state in which it does not correspond to the state in which it does not exist is replaced. That is, it is sufficient that the electret substrate 110 and the counter substrates 120 and 130 move relative to each other. For example, even if the electret substrate 110 is a fixed substrate and the counter substrates 120 and 130 are rotating substrates that rotate. Good.

また、上記各実施形態においては、エレクトレット基板110の両面側に対向基板がそれぞれ配置される構成について示したが、片面側のみに対向基板が配置される構成であってもよい。すなわち、例えば、第1の実施形態において、図3に示す対向基板130が設けられておらず、対向基板120のみが設けられる構成であってもよい。この場合、エレクトレット基板110の面のうち対向基板120と対向する側の面にのみエレクトレット膜111を設けるとよい。 Further, in each of the above-described embodiments, the configuration in which the opposing substrates are arranged on both sides of the electret substrate 110 has been described, but the configuration may be such that the opposing substrates are disposed on only one side. That is, for example, in the first embodiment, the counter substrate 130 shown in FIG. 3 may not be provided, and only the counter substrate 120 may be provided. In this case, the electret film 111 may be provided only on the surface of the surface of the electret substrate 110 facing the counter substrate 120.

また、上記各実施形態の構成を適宜組み合わせてもよい。すなわち、例えば、第1の実施形態で示した傾斜が形成される電極面を有する対向基板と、第2の実施形態で示した傾斜が形成されるエレクトレット面を有するエレクトレット基板とを含む構成としてもよい。また、例えば、第1の実施形態で示した傾斜が形成される電極面を有する対向基板と、第4の実施形態で示した段差が形成されるエレクトレット面を有するエレクトレット基板とを含む構成としてもよい。 Further, the configurations of the above embodiments may be combined as appropriate. That is, for example, a configuration including the counter substrate having the tilted electrode surface shown in the first embodiment and the electret substrate having the tilted electret surface shown in the second embodiment Good. In addition, for example, a configuration including the counter substrate having the electrode surface on which the inclination is formed as shown in the first embodiment and the electret substrate having the electret surface as shown in the fourth embodiment is also included. Good.

また、第3の実施形態及び第4の実施形態においては、周方向に沿って形成される1つの起立面が形成される例について示したが、起立面は複数形成されていてもよい。すなわち、エレクトレット面又は電極面の一方は、径方向の外側に向かうに従い断続的に、他方の面から離間する構成としてもよい。また、エレクトレット面及び電極面は、傾斜又は段差のいずれか一方を含むものに限られるものではなく、傾斜と段差の双方を含むものであってもよい。 Further, in the third embodiment and the fourth embodiment, an example in which one standing surface formed along the circumferential direction is formed is shown, but a plurality of standing surfaces may be formed. That is, one of the electret surface or the electrode surface may be intermittently separated from the other surface as it goes outward in the radial direction. Further, the electret surface and the electrode surface are not limited to those including either the slope or the step, and may include both the slope and the step.

さらに、発電装置100は、腕時計1内に組み込まれる小型軽量の発電機として使用されるものに限らず、例えば、外部の運動により発電し、電力を供給する屋外センサーや小型照明用の発電機として使用してもよく、その他の用途に用いてもよい。また、静電モータ200は、秒針2を運針させるものに限られるものではなく、その他の表示針を運針させるものであってもよい。 Further, the power generation device 100 is not limited to being used as a small and lightweight power generator incorporated in the wristwatch 1, but may be, for example, an outdoor sensor that generates power by external exercise and supplies power, or a power generator for small lighting. It may be used or may be used for other purposes. Further, the electrostatic motor 200 is not limited to the one that moves the second hand 2, and may move the other display hands.

以上、本発明に係る実施形態について説明したが、この実施形態に示した具体的な構成は一例として示したものであり、本発明の技術的範囲をこれに限定することは意図されていない。当業者は、これら開示された実施形態を適宜変形してもよく、本明細書にて開示される発明の技術的範囲は、そのようになされた変形をも含むものと理解すべきである。 Although the embodiment according to the present invention has been described above, the specific configuration shown in this embodiment is shown as an example, and the technical scope of the present invention is not intended to be limited thereto. Those skilled in the art may appropriately modify these disclosed embodiments, and it should be understood that the technical scope of the invention disclosed in the present specification includes such modifications.

1 腕時計、2 秒針、3 分針、4 時針、5,6 輪列、15 回転錘、18 竜頭、20 電源、31 外装ケース、32 文字板、33 略字、34 時字、40 制御回路、50 静電モータ駆動回路、60 電磁モータ駆動回路、61,62 整流回路、63 スイッチ、70 電磁モータ、81,82 支持板、81a,82a 軸受け、100 発電装置、110 エレクトレット基板、110a 周縁部、111,112 エレクトレット膜、111a, 112a エレクトレット面、111a1,112a1 傾斜面、111a2,112a2 起立面、120,130 対向基板、120a,130a 周縁部、121,131 対向電極、121a1,131a1 電極面、121a1,131a1 傾斜面、121a2,131a2 起立面、123,133 軸孔、200 静電モータ。 1 wrist watch, 2 second hand, 3 minute hand, 4 hour hand, 5, 6 wheel train, 15 rotary weight, 18 crown, 20 power supply, 31 exterior case, 32 dial, 33 abbreviation, 34 hour character, 40 control circuit, 50 electrostatic Motor drive circuit, 60 electromagnetic motor drive circuit, 61,62 rectifier circuit, 63 switch, 70 electromagnetic motor, 81,82 support plate, 81a, 82a bearing, 100 power generator, 110 electret substrate, 110a peripheral portion, 111,112 electret Membrane, 111a, 112a Electret surface, 111a1, 112a1 Inclined surface, 111a2, 112a2 Standing surface, 120, 130 Counter substrate, 120a, 130a Peripheral part, 121, 131 Counter electrode, 121a1, 131a1 Electrode surface, 121a1, 131a1 Inclined surface, 121a2, 131a2 upright surface, 123, 133 shaft hole, 200 electrostatic motor.

Claims (9)

電荷を帯びたエレクトレット膜が設けられるエレクトレット面を有するエレクトレット基板と、
対向電極が設けられると共に前記エレクトレット面に対向して配置される電極面を有する対向基板と、
を有し、
前記エレクトレット基板と前記対向基板のうち一方は、他方に対して相対的に回転し、
前記エレクトレット面と前記電極面のうち少なくとも一方は、該一方の周縁部をその内側よりも他方から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、
静電誘導型変換器。
An electret substrate having an electret surface on which a charged electret film is provided,
A counter substrate provided with a counter electrode and having an electrode surface arranged to face the electret surface,
Have
One of the electret substrate and the counter substrate rotates relative to the other,
At least one of the electret surface and the electrode surface includes at least an inclination or a step for separating the peripheral portion of the one from the other side than the inner side thereof,
Electrostatic induction converter.
前記エレクトレット基板と前記対向基板のうち一方を、他方に対して相対的に回転させる回転軸を有し、
前記傾斜又は段差は、前記回転軸の周方向に沿って形成されている、
請求項1に記載の静電誘導型変換器。
One of the electret substrate and the counter substrate has a rotation shaft that rotates relative to the other,
The slope or step is formed along the circumferential direction of the rotating shaft,
The electrostatic induction converter according to claim 1.
前記傾斜又は段差により、前記エレクトレット面と前記電極面のうち一方の周縁部がその内側よりも他方から離間している、
請求項1又は2に記載の静電誘導型変換器。
Due to the inclination or the step, the peripheral portion of one of the electret surface and the electrode surface is separated from the other than the inside thereof,
The electrostatic induction converter according to claim 1.
前記エレクトレット基板は両面に前記エレクトレット面を有し、
一方の前記エレクトレット面に対向して配置される前記電極面を有する第1の対向基板と、
他方の前記エレクトレット面に対向して配置される前記電極面を有する第2の対向基板と、
を有する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電誘導型変換器。
The electret substrate has the electret surface on both sides,
A first counter substrate having the electrode surface arranged to face one of the electret surfaces;
A second counter substrate having the electrode surface arranged to face the other electret surface;
Have
The electrostatic induction converter according to any one of claims 1 to 3.
前記第1の対向基板の前記電極面は、該電極面の周縁部をその内側よりも前記一方のエレクトレット面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含み、
前記第2の対向基板の前記電極面は、該電極面の周縁部をその内側よりも前記他方のエレクトレット面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、
請求項4に記載の静電誘導型変換器。
The electrode surface of the first counter substrate includes at least an inclination or a step for separating a peripheral edge portion of the electrode surface from the one electret surface rather than an inner side thereof,
The electrode surface of the second counter substrate includes at least an inclination or a step that separates a peripheral portion of the electrode surface from the other electret surface rather than the inside thereof.
The electrostatic induction converter according to claim 4.
前記一方のエレクトレット面は、該一方のエレクトレット面の周縁部をその内側よりも前記第1の対向基板の前記電極面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含み、
前記他方のエレクトレット面は、該他方のエレクトレット面の周縁部をその内側よりも前記第2の対向基板の前記電極面から離間させる、傾斜又は段差を少なくとも含む、
請求項4又は5に記載の静電誘導型変換器。
The one electret surface includes at least an inclination or a step of separating the peripheral portion of the one electret surface from the electrode surface of the first counter substrate more than the inner side thereof,
The other electret surface includes at least an inclination or a step for separating the peripheral portion of the other electret surface from the electrode surface of the second counter substrate more than the inside thereof.
The electrostatic induction converter according to claim 4 or 5.
前記電極面が前記傾斜又は段差を少なくとも含み、
前記対向基板は、前記電極面の周縁部を含む領域の厚みが、その内側の領域よりも薄い、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電誘導型変換器。
The electrode surface includes at least the slope or the step,
In the counter substrate, a thickness of a region including a peripheral portion of the electrode surface is thinner than a region inside thereof.
The electrostatic induction converter according to any one of claims 1 to 6.
前記エレクトレット面が前記傾斜又は段差を少なくとも含み、
前記エレクトレット基板は、前記エレクトレット面の周縁部を含む領域の厚みが、その内側の領域よりも薄い、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電誘導型変換器。
The electret surface includes at least the slope or the step,
The electret substrate, the thickness of the region including the peripheral portion of the electret surface is thinner than the inner region,
The electrostatic induction converter according to any one of claims 1 to 7.
前記エレクトレット基板及び前記対向基板は、円板形状であり、
前記エレクトレット膜は、前記エレクトレット面に周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数配置されており、
前記対向電極は、前記電極面に周方向に互いに間隔を空けて並ぶように複数配置されている、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の静電誘導型変換器。
The electret substrate and the counter substrate are disc-shaped,
A plurality of the electret films are arranged on the electret surface so as to be arranged at intervals in the circumferential direction,
A plurality of the counter electrodes are arranged on the electrode surface so as to be lined up at intervals in the circumferential direction.
The electrostatic induction converter according to any one of claims 1 to 8.
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