JP2020113752A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- チャンバと、
下部電極及び該下部電極上に設けられた静電チャックを有し、前記チャンバ内で前記静電チャック上に載置される基板を支持するように構成された基板支持器と、
前記チャンバ内においてプラズマを生成するために供給される高周波電力を発生するように構成された高周波電源と、
バイアス電力を発生するように構成されたバイアス電源と、
前記バイアス電源と前記下部電極を互いに電気的に接続する第1の電気的パスと、
前記第1の電気的パス及び前記下部電極とは別の第2の電気的パスであって、前記下部電極又は前記第1の電気的パスから、前記基板のエッジを囲むように配置されるエッジリングに、前記バイアス電力を供給するように設けられた、該第2の電気的パスと、
前記第2の電気的パスに可変インピーダンスを提供するインピーダンス調整器と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記第1の電気的パスは、複数の導電ラインを含み、
前記複数の導電ラインは、前記下部電極と前記バイアス電源を互いに電気的に接続しており、前記下部電極の中心軸線から等しい距離を有し、且つ、該中心軸線に対して周方向に等間隔で配列された複数の位置で前記下部電極に接続している、
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の電気的パスは、前記複数の導電ラインの各々と前記バイアス電源とを電気的に接続する共通導電ラインを更に含み、
前記複数の導電ラインは、前記共通導電ラインから前記中心軸線に対して径方向に沿って延び、且つ、前記周方向において等間隔で配列されている、
請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2の電気的パスは、前記下部電極又は前記第1の電気的パスと前記インピーダンス調整器とを互いに電気的に接続する共通導電ラインを含む、請求項1〜3の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインは、前記下部電極の中心軸線上で前記下部電極から延在しており、
前記第2の電気的パスは、前記中心軸線に対して径方向に延在する複数の導電ラインを更に含み、
前記インピーダンス調整器は、前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインと前記第2の電気的パスの前記複数の導電ラインの各々との間で電気的に接続されており、
前記第2の電気的パスの前記複数の導電ラインは、前記中心軸線から等しい距離を有し、且つ、該中心軸線に対して周方向に等間隔で配列された複数の位置で前記エッジリングに前記バイアス電力を供給するように構成されている、
請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2の電気的パスの前記複数の導電ラインは、前記周方向において等間隔で配列されている、請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記インピーダンス調整器は、可変インピーダンス素子を含む、請求項1〜6の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記可変インピーダンス素子は、可変容量コンデンサである、請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記インピーダンス調整器は、可変容量コンデンサを含み、
前記可変容量コンデンサは、前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインの周りで延在し、前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインと共に容器を形成する筒状の導体と、
前記容器内に誘電性を有する液体を供給するように構成された液体供給器と、
を含む、請求項4〜6の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記インピーダンス調整器は、可変容量コンデンサを含み、
前記可変容量コンデンサは、前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインの周りで延在する筒状の導体と、
前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインと前記筒状の導体との間に設けられた筒状の誘電体と、
前記筒状の誘電体を、前記第2の電気的パスの前記共通導電ラインに沿って移動させるように構成された駆動装置と、
を含む、請求項4〜6の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2の電気的パスは、前記下部電極から延びており、前記下部電極から前記エッジリングに前記バイアス電力を供給するように設けられている、請求項1〜10の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記バイアス電源は、前記高周波電源によって発生される前記高周波電力の周波数とは異なる周波数を有する別の高周波電力を前記バイアス電力として発生するように構成されている、請求項1〜11の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記バイアス電源は、前記バイアス電力として、パルス状の直流電圧を周期的に発生するように構成されている、請求項1〜11の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記エッジリングの上方でのシースの上端の鉛直方向における位置を調整するように構成されたシース調整器を更に備える、請求項1〜13の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記シース調整器は、前記第2の電気的パス又は前記エッジリングに電気的に接続されており、パルス状の直流電圧を周期的に発生するように構成された別の電源を含む、請求項14に記載のプラズマ処理装置。
- 前記シース調整器は、前記第2の電気的パス又は前記エッジリングに電気的に接続されており、高周波電圧を発生するように構成された別の電源を含む、請求項14に記載のプラズマ処理装置。
- 前記シース調整器は、前記エッジリングに接続された別の電気的パスを介して前記エッジリングに直流電圧を印加するように構成された直流電源を含む、請求項14に記載のプラズマ処理装置。
- 前記シース調整器は、前記エッジリングの上面の鉛直方向における位置を調整するために前記エッジリングを上方に移動させるように構成されている、請求項14に記載のプラズマ処理装置。
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