JP2020106387A - Shape measuring device - Google Patents

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Abstract

To provide a shape measuring device that realizes the heightened level and high durability of movement accuracy of a movable element.SOLUTION: The shape measuring device comprises: a movable element that moves in the vertical direction along a drive shaft integrally with a measurement arm; a linkage mechanism for moving a counterweight in a direction opposite the movable element in linkage with the movement of the movable element in the vertical direction; a pair of revolving shafts for sandwiching the movable element and counterweight movement path from the vertical direction and being parallel to a second direction; a sheet winding member that rotates in accordance with the rotation of the revolving shafts; a rope one end of which is wound to the revolving shafts in accordance with the rotation of the revolving shafts and unwound from the revolving shafts in accordance with the rotation of the revolving shafts in a rope unwinding direction opposite a rope winding direction, the other end being connected to the counterweight; a sheet one end of which is wound to a sheet winding member in accordance with the rotation of the revolving shafts in the rope unwinding direction and fed out from the sheet winding member in accordance with the rotation of the revolving shafts in the rope winding direction; and a connecting part for connecting the other ends of both of sheets together.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、上下方向に移動する測定アームを備える形状測定装置に関する。 The present invention relates to a shape measuring device including a measuring arm that moves in the vertical direction.

ワークの被測定面に対して触針等の接触式の検出器を接触させた状態で、ワークに対して検出器を相対移動させることにより、ワークの各種形状(真円度、真直度、表面粗さ、うねり、及び寸法等を含む)を測定する形状測定機が知られている。また、接触式の検出器の代わりに、光学プローブ等の非接触式の検出器を用いてワークの各種形状を測定する形状測定機も良く知られている。 Various shapes (roundness, straightness, surface) of the work can be obtained by moving the detector relative to the work while the contact type detector such as a stylus is in contact with the work surface to be measured. Profile measuring machines for measuring roughness (including roughness, waviness, size, etc.) are known. Further, a shape measuring machine that measures various shapes of a work by using a non-contact type detector such as an optical probe instead of the contact type detector is also well known.

このような形状測定機には、検出器を保持する測定アームを上下方向に移動させるリニア駆動機構が設けられている。このリニア駆動機構としては、ボールねじを用いたボールねじ機構(特許文献1参照)、及びリニアモータを用いたリニアモータ機構(特許文献2参照)などが良く知られている。そして、リニア駆動機構は、測定アームを保持するキャリッジ(可動子)を上下方向に移動させることにより、このキャリッジと一体に測定アームを上下方向に移動させる。 Such a shape measuring machine is provided with a linear drive mechanism that vertically moves a measuring arm that holds the detector. As the linear drive mechanism, a ball screw mechanism using a ball screw (see Patent Document 1), a linear motor mechanism using a linear motor (see Patent Document 2), and the like are well known. Then, the linear drive mechanism moves the carriage (movable element) holding the measurement arm in the vertical direction, thereby moving the measurement arm in the vertical direction integrally with the carriage.

リニア駆動機構は、安全上の観点から筐体(カバー)で覆われているのが通常である。また、この筐体には、上下方向に移動する測定アームの移動経路(移動範囲)に沿って隙間(切り欠き)が形成されている。そして、隙間は測定アームの上方側と下方側とにそれぞれ形成されており、各々の隙間がシート(スクリーン及びカバー)で覆われている。 The linear drive mechanism is usually covered with a housing (cover) from the viewpoint of safety. In addition, a gap (notch) is formed in the housing along the movement path (movement range) of the measurement arm that moves in the vertical direction. The gaps are formed on the upper side and the lower side of the measurement arm, and the respective gaps are covered with a sheet (screen and cover).

このようなシートとしては、一端側がキャリッジに固定され他端側が上述の移動経路の端部に固定された所謂蛇腹式のシートが知られている。蛇腹式のシートは、測定アームの上下方向の移動に追従して伸縮することで常に上述の各隙間を覆う。 As such a sheet, there is known a so-called bellows type sheet in which one end side is fixed to a carriage and the other end side is fixed to an end portion of the above-described movement path. The bellows-type seat expands and contracts following the vertical movement of the measuring arm to constantly cover the above-mentioned gaps.

また、特許文献3には、定荷重ばね方式のロールスクリーン装置が記載されている。仮にこのロールスクリーン装置を形状測定機のリニア駆動機構に適用した場合、シートの一端がキャリッジに固定され且つ他端が定荷重ばねに接続される。この場合、シートが定荷重ばねによって常に一定力で引っ張られるため、シートの一端側を測定アームの上下方向の移動に追従して移動させることでき、その結果、常に上述の各隙間をシートで覆うことができる。 Further, Patent Document 3 describes a constant load spring type roll screen device. If this roll screen device is applied to a linear drive mechanism of a shape measuring machine, one end of a sheet is fixed to a carriage and the other end is connected to a constant force spring. In this case, since the sheet is always pulled by the constant force spring with a constant force, one end side of the sheet can be moved following the vertical movement of the measurement arm, and as a result, the above-mentioned gaps are always covered with the sheet. be able to.

特開平10−154012号公報JP, 10-154012, A 特開平11−98886号公報JP, 11-98886, A 特開2003−301677号公報JP, 2003-301677, A

ところで蛇腹式のシートを用いた場合、キャリッジの上下方向の移動に伴いキャリッジの上方側及び下方側の各シートの伸縮量が変化してしまう。また、各シートの伸縮量は互いに異なるため、上下のシートからキャリッジに加えられる力の大きさ及び方向も互いに異なる。その結果、上下のシートからキャリッジに加えられる力のバランスがとれないため、測定アーム等の移動精度(位置精度)に悪影響を及ぼすおそれがある。また、特にリニア駆動機構がリニアモータである場合、キャリッジの位置の保持する保持力が弱いので、蛇腹式のシートの重量及び復元力(張力、押圧力)等によりキャリッジの位置が移動し、その結果、キャリッジの移動精度(位置精度)に悪影響を及ぼすおそれがある。 When a bellows type sheet is used, the amount of expansion and contraction of each sheet above and below the carriage changes as the carriage moves in the vertical direction. Moreover, since the expansion and contraction amounts of the respective sheets are different from each other, the magnitude and direction of the force applied to the carriage from the upper and lower sheets are also different from each other. As a result, the forces applied to the carriage from the upper and lower sheets cannot be balanced, which may adversely affect the movement accuracy (positional accuracy) of the measurement arm and the like. Further, particularly when the linear drive mechanism is a linear motor, since the holding force for holding the position of the carriage is weak, the position of the carriage moves due to the weight of the bellows type sheet and the restoring force (tension, pressing force), etc. As a result, the movement accuracy (positional accuracy) of the carriage may be adversely affected.

また、特許文献3に記載のロールスクリーン装置を用いた場合、定荷重ばねの耐用回数が数千から数万往復程度であるので、キャリッジを頻繁に上下方向に移動させる状況下の使用では耐久性に問題がある。 Further, when the roll screen device described in Patent Document 3 is used, since the life of the constant load spring is about several thousand to tens of thousands of reciprocations, it is durable when used in a situation where the carriage is frequently moved in the vertical direction. I have a problem.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、可動子の移動精度の高精度化と高耐久性とを実現可能な形状測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a shape measuring device capable of achieving high accuracy in moving the mover and high durability.

本発明の目的を達成するための形状測定装置は、上下方向に平行な駆動軸と、接触式又は非接触式の検出器を保持する測定アームであって、且つ上下方向に対して垂直な第1方向に延びたアーム本体部を有する測定アームと、アーム本体部を保持し、且つ測定アームと一体に駆動軸に沿って上下方向に移動する可動子と、駆動軸に対して上下方向及び第1方向の双方に垂直な第2方向にずれた位置に設けられ、上下方向に移動自在なカウンターウェイトと、可動子とカウンターウェイトとを連結し、且つ可動子の上下方向の移動に連動してカウンターウェイトを可動子とは逆方向に移動させる連動機構と、可動子及びカウンターウェイトの移動経路を上下方向から挟み込み、且つ第2方向に対して平行な一対の回転軸と、回転軸ごとに設けられたシート巻取体であって、回転軸の回転に応じて回転軸に対して平行な回転中心を中心として回転するシート巻取体と、回転軸ごとに設けられた索体であって、一端側が回転軸の索体巻取方向の回転に応じて回転軸に巻き取られ且つ回転軸の索体巻取方向とは逆の索体繰出方向の回転に応じて回転軸から繰り出され、他端側がカウンターウェイトに連結された索体と、回転軸ごとに設けられたシートであって、一端側が回転軸の索体繰出方向の回転に応じてシート巻取体に巻き取られ且つ回転軸の索体巻取方向の回転に応じてシート巻取体から繰り出されるシートと、シートの双方の他端側同士を連結する連結部であって、アーム本体部が挿通される挿通口を有する連結部と、を備える。 A shape measuring device for achieving the object of the present invention is a measurement arm that holds a drive shaft parallel to the vertical direction and a contact type or non-contact type detector, and that is perpendicular to the vertical direction. A measuring arm having an arm body extending in one direction; a mover holding the arm body and moving vertically along the drive shaft together with the measuring arm; A counter weight that is provided in a position displaced in a second direction that is perpendicular to both of the one direction, and that is movable in the up and down direction, connects the mover and the counter weight, and is linked to the up and down movement of the mover. An interlocking mechanism that moves the counterweight in the opposite direction to the mover, a pair of rotary shafts that sandwich the moving path of the mover and the counterweight from above and below, and that is parallel to the second direction, and is provided for each rotary shaft. A sheet winding body that is rotated about a rotation center parallel to the rotation axis according to the rotation of the rotation axis, and a cord provided for each rotation axis. One end side is wound around the rotary shaft in response to the rotation of the rotary shaft in the cord winding direction, and is unwound from the rotary shaft in response to the rotation of the rotary shaft in the cord feeding direction opposite to the cord winding direction. A cord provided with an end side connected to a counterweight, and a sheet provided for each rotating shaft, one end side of which is wound up by a sheet winding body according to the rotation of the rotating shaft in the extending direction of the cord and of the rotating shaft. A connection part that connects the sheet fed from the sheet winding body in accordance with the rotation of the rope winding direction and the other end sides of both of the sheets, and has an insertion opening through which the arm main body part is inserted. And

この形状測定装置によれば、カウンターウェイトの上下方向の移動に連動して回転軸及びシート巻取体を一体に回転させることで、連結部を可動子と一体に上下方向に移動させることができる。 According to this shape measuring apparatus, by interlocking with the vertical movement of the counterweight to integrally rotate the rotary shaft and the sheet winding body, the connecting portion can be moved vertically with the movable element. ..

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、回転軸ごとに回転軸に外嵌されており且つ回転軸と一体に回転する索体巻取体を備え、索体巻取体が、回転軸の索体巻取方向の回転に応じて索体を巻き取り且つ回転軸の索体繰出方向の回転に応じて索体を繰り出す。これにより、カウンターウェイトの上下方向の移動に連動して回転軸及びシート巻取体を一体に回転させることができる。 In a shape measuring device according to another aspect of the present invention, a cord winding body that is externally fitted to each of the rotating shafts and rotates integrally with the rotating shafts is provided. The cord is wound in accordance with the rotation of the cord winding direction, and the cord is paid out in accordance with the rotation of the rotary shaft in the cord feeding direction. Accordingly, the rotating shaft and the sheet winding body can be integrally rotated in association with the vertical movement of the counterweight.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、索体巻取体が、第2方向の一方向から他方向に向かって次第に索体巻取体の直径が大きくなるテーパ状に形成され、索体巻取体が索体巻取方向に回転した場合に索体巻取体による索体の巻取位置が次第に一方向に向かってずれ、且つ索体巻取体が索体繰出方向に回転した場合に巻取位置が次第に他方向に向かってずれる。これにより、索体巻取体による索体の巻取量・繰出量と、シート巻取体によるシートの繰出量・巻取量との間に生じる微小誤差が低減される。 In the shape measuring device according to another aspect of the present invention, the rope winding body is formed in a taper shape in which the diameter of the rope winding body gradually increases from one direction in the second direction to the other direction. When the body winding body rotates in the rope winding direction, the winding position of the rope body by the rope winding body gradually shifts in one direction, and the rope winding body rotates in the line feeding direction. In this case, the winding position gradually shifts in the other direction. As a result, a minute error that occurs between the amount of winding/unwinding of the rope by the winding member and the amount of winding/winding of the sheet by the sheet winding member is reduced.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、シート巻取体が、回転軸に外嵌され且つ回転軸と一体に回転する。 In the shape measuring apparatus according to another aspect of the present invention, the sheet winding body is fitted onto the rotation shaft and rotates integrally with the rotation shaft.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、回転軸ごとに回転軸に外嵌されており且つ回転軸と一体に回転する駆動巻取体であって、シートが巻き掛けられた駆動巻取体を備え、シート巻取体が、駆動巻取体に巻き掛けられたシートを介して駆動巻取体と接触し、且つ駆動巻取体の回転に応じて駆動巻取体により駆動巻取体とは逆方向に回転され、回転軸の索体繰出方向の回転に応じて駆動巻取体とは逆方向に回転するシート巻取体によりシートの一端側がロール状に巻き取られ、且つ回転軸の索体巻取方向の回転に応じて駆動巻取体とは逆方向に回転するシート巻取体から駆動巻取体を経てシートが繰り出される。これにより、上述の微小誤差が低減される。 In a shape measuring apparatus according to another aspect of the present invention, a drive winding body that is externally fitted to each rotation shaft and rotates integrally with the rotation shaft, wherein the drive winding body is wound with a sheet. And a sheet winding body contacting the driving winding body through the sheet wound around the driving winding body, and the driving winding body is driven by the driving winding body according to the rotation of the driving winding body. And the one end side of the sheet is wound in a roll shape by the sheet winding body that rotates in the opposite direction to the drive winding body in response to the rotation of the rotation shaft in the cord extending direction, and the rotation shaft The sheet is fed from the sheet winding body that rotates in the direction opposite to the driving winding body according to the rotation of the cord winding direction through the driving winding body. As a result, the above-mentioned minute error is reduced.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、索体とカウンターウェイトとが引張ばねを介して連結されている。これにより、上述の微小誤差が低減される。 In the shape measuring apparatus according to another aspect of the present invention, the cord and the counterweight are connected via a tension spring. As a result, the above-mentioned minute error is reduced.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、連結部が可動子とは分離して設けられている。これにより、可動子の移動精度(位置精度)を高精度化することができる。 In the shape measuring apparatus according to another aspect of the present invention, the connecting portion is provided separately from the mover. Thereby, the moving accuracy (positional accuracy) of the mover can be improved.

本発明の他の態様に係る形状測定装置において、連結部が可動子である。 In the shape measuring apparatus according to another aspect of the present invention, the connecting portion is a mover.

本発明は、可動子の移動精度の高精度化と高耐久性とを実現することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to realize high accuracy in moving the mover and high durability.

真円度測定装置の側面図である。It is a side view of a roundness measuring device. 筐体をテーブル側から見た正面図である。It is the front view which looked at the case from the table side. 筐体内のリニア駆動機構、カウンターウェイト機構、及びロールスクリーン機構をテーブル側から見た正面図である。It is the front view which looked at the linear drive mechanism in the housing, the counter weight mechanism, and the roll screen mechanism from the table side. 図3に示したカウンターウェイト、糸巻取ドラム、テグス、及び引張ばねを図3中の矢印A1方向側から見た拡大概略図である。FIG. 4 is an enlarged schematic view of the counterweight, the yarn winding drum, the gut, and the tension spring shown in FIG. 3, as viewed from the arrow A1 direction side in FIG. 3. 図3に示したシート巻取ドラム、ロールシート、及び連結部を図3中の矢印A2方向側から見た拡大概略図である。FIG. 4 is an enlarged schematic view of the sheet winding drum, roll sheet, and connecting portion illustrated in FIG. 3 as viewed from the arrow A2 direction side in FIG. 3. キャリッジをZ軸方向下方側に移動させる場合のロールスクリーン機構の作用を説明するための説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the action of the roll screen mechanism when the carriage is moved downward in the Z-axis direction. キャリッジをZ軸方向上方側に移動させる場合のロールスクリーン機構の作用を説明するための説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the action of the roll screen mechanism when the carriage is moved upward in the Z-axis direction. シート巻取ドラムにロール状に巻き取られたロールシートの外径の変化を説明するための説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a change in the outer diameter of a roll sheet wound in a roll on a sheet winding drum. 第2実施形態のロールスクリーン機構の糸巻取ドラムの拡大図である。It is an enlarged view of the yarn winding drum of the roll screen mechanism of 2nd Embodiment. 第3実施形態のロールスクリーン機構の概略図である。It is a schematic diagram of a roll screen mechanism of a 3rd embodiment. 第4実施形態のロールスクリーン機構を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the roll screen mechanism of 4th Embodiment. 索体巻取方向及び索体繰出方向の変形例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the modification of the rope winding direction and the rope feeding direction.

[第1実施形態]
図1は、本発明の形状測定機に相当する真円度測定装置10の側面図である。なお、図中のX軸方向(本発明の第2方向に相当)と、Y軸方向(本発明の第1方向に相当)と、Z軸方向(本発明の上下方向に相当)とは互いに直交している。また、X軸方向及びY軸方向は水平方向に平行な方向である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a side view of a roundness measuring device 10 corresponding to the shape measuring machine of the present invention. The X-axis direction (corresponding to the second direction of the present invention), the Y-axis direction (corresponding to the first direction of the present invention), and the Z-axis direction (corresponding to the vertical direction of the present invention) in the drawing are mutually They are orthogonal. Moreover, the X-axis direction and the Y-axis direction are directions parallel to the horizontal direction.

図1に示すように、真円度測定装置10は、円柱状又は円筒状のワークWの真直度及び真円度(円筒度)等の測定を行う。この真円度測定装置10は、ベース12と、テーブル回転機構14と、テーブル16と、リニア駆動機構18と、測定アーム20と、検出器22と、筐体24と、を備える。 As shown in FIG. 1, the roundness measuring device 10 measures the straightness and roundness (cylindricity) of a cylindrical or cylindrical work W. The roundness measuring device 10 includes a base 12, a table rotating mechanism 14, a table 16, a linear driving mechanism 18, a measuring arm 20, a detector 22, and a housing 24.

ベース12は、真円度測定装置10の各部を支持する支持台(基台)である。テーブル回転機構14は、図示は省略するが、Z軸方向に平行な軸Cを中心としてテーブル16を回転自在に保持するエアベアリングと、軸Cを中心としてテーブル16を回転させるモータ等の回転駆動機構と、を備える。これにより、テーブル回転機構14によってテーブル16が軸Cを中心として回転される。 The base 12 is a support base (base) that supports each part of the roundness measuring device 10. Although not shown, the table rotation mechanism 14 includes an air bearing that rotatably holds the table 16 about an axis C parallel to the Z-axis direction, and a rotational drive such as a motor that rotates the table 16 about the axis C. And a mechanism. As a result, the table rotating mechanism 14 rotates the table 16 about the axis C.

テーブル16は、円盤形状であり、その中心が軸Cに一致するようにテーブル回転機構14のエアベアリング上に保持されている。このテーブル16の上面にはワークWが載置される。なお、ワークWは、その形状中心の位置が軸Cに略一致するように、テーブル16の上面に載置されている。 The table 16 has a disk shape, and is held on the air bearing of the table rotation mechanism 14 so that the center thereof coincides with the axis C. A work W is placed on the upper surface of the table 16. The work W is placed on the upper surface of the table 16 so that the position of the center of its shape substantially coincides with the axis C.

リニア駆動機構18としては、上記特許文献1に記載されているボールねじ機構或いは上記特許文献2に記載されているリニアモータ機構等の公知の各種機構が用いられるが、本実施形態ではリニアモータ機構を例に挙げて説明を行う。なお、リニア駆動機構18として、本出願人が出願した特願2018−17273号の明細書に記載されているものを用いてもよい。 As the linear drive mechanism 18, various known mechanisms such as the ball screw mechanism described in Patent Document 1 or the linear motor mechanism described in Patent Document 2 are used. In the present embodiment, the linear motor mechanism is used. Will be described as an example. As the linear drive mechanism 18, the one described in the specification of Japanese Patent Application No. 2018-17273 filed by the present applicant may be used.

リニア駆動機構18は、固定子である駆動軸26(シャフト軸又はコラムともいう)及び可動子であるキャリッジ28を備える。 The linear drive mechanism 18 includes a drive shaft 26 (also referred to as a shaft axis or a column) that is a stator and a carriage 28 that is a mover.

駆動軸26は、ベース12上においてテーブル16からY軸方向にシフトした位置に設けられており、且つベース12に対して垂直なZ軸方向に延びた形状を有している。この駆動軸26は、図示しない複数の永久磁石を公知の配列で接合した構造を有している。 The drive shaft 26 is provided on the base 12 at a position shifted from the table 16 in the Y-axis direction, and has a shape extending in the Z-axis direction perpendicular to the base 12. The drive shaft 26 has a structure in which a plurality of permanent magnets (not shown) are joined in a known arrangement.

キャリッジ28は、駆動軸26が挿通される略筒形状を有しており、駆動軸26により非接触でZ軸方向に移動自在に支持されている。このキャリッジ28には、駆動軸26を中心としてZ軸方向に沿って螺旋状に巻き回されたコイルが複数設けられている。そして、キャリッジ28の各コイルに電流を印加すると、駆動軸26の各磁石から発生する磁束と、各コイルを流れる電流との相互作用により、キャリッジ28をZ軸方向に沿って移動させる推力(駆動力)が発生する。なお、リニア駆動機構18(リニアモータ機構)の構造及び機能については公知技術であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 The carriage 28 has a substantially cylindrical shape into which the drive shaft 26 is inserted, and is supported by the drive shaft 26 so as to be movable in the Z-axis direction in a non-contact manner. The carriage 28 is provided with a plurality of coils spirally wound around the drive shaft 26 along the Z-axis direction. When a current is applied to each coil of the carriage 28, a thrust force (driving force) for moving the carriage 28 along the Z-axis direction is generated by the interaction between the magnetic flux generated from each magnet of the drive shaft 26 and the current flowing through each coil. Force) is generated. Since the structure and function of the linear drive mechanism 18 (linear motor mechanism) are known technology, detailed description thereof is omitted here.

また、キャリッジ28は、測定アーム20のアーム本体部20aをY軸方向に移動自在に保持しており、測定アーム20と一体にZ軸方向に沿って移動する。 The carriage 28 holds the arm body 20a of the measurement arm 20 movably in the Y-axis direction, and moves integrally with the measurement arm 20 in the Z-axis direction.

測定アーム20は、キャリッジ28に保持され且つY軸方向に延びた(平行な)アーム本体部20aと、アーム本体部20aの先端側に設けられ且つ検出器22を保持する保持部と、を備える。なお、測定アーム20については、Y軸方向に延びたアーム本体部20aを有していれば、他の部分の形状については適宜変更可能である。 The measurement arm 20 includes an arm body portion 20a which is held by the carriage 28 and extends in the Y-axis direction (parallel), and a holding portion which is provided at the tip end side of the arm body portion 20a and holds the detector 22. .. The measuring arm 20 can be appropriately changed in shape of other portions as long as it has the arm body portion 20a extending in the Y-axis direction.

検出器22は、触針22a(測定子又はスタイラスともいう)と、不図示の差動トランス等の変位検出部とを有する接触式のタイプであり、Y軸方向に沿って前後移動する触針22aの変位を検出する。すなわち、検出器22はY軸方向に感度を有している。そして、検出器22は、触針22aの変位を示す変位検出信号(電気信号)を不図示のデータ処理装置へ出力する。なお、検出器22として、例えば光学プローブ(レーザプローブ)のような非接触式のタイプを用いてもよい。 The detector 22 is a contact type having a stylus 22a (also referred to as a stylus or a stylus) and a displacement detection unit such as a differential transformer (not shown), and the stylus that moves back and forth along the Y-axis direction. The displacement of 22a is detected. That is, the detector 22 has sensitivity in the Y-axis direction. Then, the detector 22 outputs a displacement detection signal (electrical signal) indicating the displacement of the stylus 22a to a data processing device (not shown). The detector 22 may be a non-contact type such as an optical probe (laser probe).

ワークWの真直度測定を行う場合、リニア駆動機構18及び測定アーム20を駆動して、触針22aをワークWの外周面に接触させる。次いで、リニア駆動機構18を駆動してキャリッジ28をZ軸方向に移動させることで、触針22aによりワークWの外周面をZ軸方向に沿ってトレースさせる。これにより、検出器22から1トレース分の変位検出信号が不図示のデータ処理装置へ出力される。この場合、データ処理装置は、検出器22から入力される検出信号を公知の手法により解析して、ワークWの真直度を演算する。 When measuring the straightness of the work W, the linear drive mechanism 18 and the measurement arm 20 are driven to bring the stylus 22a into contact with the outer peripheral surface of the work W. Next, the linear drive mechanism 18 is driven to move the carriage 28 in the Z-axis direction, so that the outer peripheral surface of the work W is traced along the Z-axis direction by the stylus 22a. As a result, the detector 22 outputs a displacement detection signal for one trace to a data processing device (not shown). In this case, the data processing device analyzes the detection signal input from the detector 22 by a known method to calculate the straightness of the work W.

ワークWの真円度測定を行う場合、真直度測定と同様に触針22aをワークWの外周面に接触させる。次いで、テーブル回転機構14によりテーブル16及びワークWを回転させることで、触針22aによりワークWの外周面をその周方向に沿ってトレースさせる。これにより、検出器22からワークWの1回転分の変位検出信号が不図示のデータ処理装置へ出力される。この場合、データ処理装置は、検出器22から入力される検出信号を公知の手法により解析して、ワークWの真円度(円筒度)を演算する。 When measuring the roundness of the work W, the stylus 22a is brought into contact with the outer peripheral surface of the work W as in the straightness measurement. Next, by rotating the table 16 and the work W by the table rotating mechanism 14, the outer peripheral surface of the work W is traced along the circumferential direction by the stylus 22a. As a result, the detector 22 outputs a displacement detection signal for one rotation of the work W to a data processing device (not shown). In this case, the data processing device analyzes the detection signal input from the detector 22 by a known method to calculate the roundness (cylindricity) of the work W.

図2は、筐体24をテーブル16側から見た正面図である。図2に示すように、筐体24(カバーともいう)は、リニア駆動機構18と、後述のカウンターウェイト機構30及びロールスクリーン機構40(図3参照)と、を覆うようにベース12上に設けられている。 FIG. 2 is a front view of the housing 24 as seen from the table 16 side. As shown in FIG. 2, a housing 24 (also referred to as a cover) is provided on the base 12 so as to cover the linear drive mechanism 18, a counterweight mechanism 30 and a roll screen mechanism 40 (see FIG. 3) described later. Has been.

筐体24のテーブル16に対向する側の側面には、リニア駆動機構18によりZ軸方向に移動される測定アーム20(アーム本体部20a)を筐体24外に通すための開口24aが形成されている。この開口24aは、Z軸方向に移動する測定アーム20の移動経路(移動範囲)に沿うようにZ軸方向に延びた略矩形状を有している。 An opening 24a for passing the measurement arm 20 (arm body portion 20a), which is moved in the Z-axis direction by the linear drive mechanism 18, to the outside of the housing 24 is formed on the side surface of the housing 24 facing the table 16. ing. The opening 24a has a substantially rectangular shape extending in the Z-axis direction along the movement path (movement range) of the measurement arm 20 moving in the Z-axis direction.

測定アーム20がZ軸方向上方に移動すると、測定アーム20と開口24aのZ軸方向上端との間に生じる隙間(空間)がZ軸方向に縮み、且つ測定アーム20と開口24aのZ軸方向下端との間に生じる隙間がZ軸方向に拡がる。また逆に、測定アーム20がZ軸方向下方に移動すると、測定アーム20と開口24aのZ軸方向上端との間に生じる隙間がZ軸方向に拡がり且つ測定アーム20と開口24aのZ軸方向下端との間に生じる隙間がZ軸方向に縮む。そして、これらの隙間は、後述のロールシート54A,54Bにより常に覆われている。 When the measurement arm 20 moves upward in the Z-axis direction, the gap (space) generated between the measurement arm 20 and the upper end of the opening 24a in the Z-axis direction shrinks in the Z-axis direction, and the measurement arm 20 and the opening 24a in the Z-axis direction. A gap generated between the lower end and the lower end expands in the Z-axis direction. Conversely, when the measurement arm 20 moves downward in the Z-axis direction, the gap generated between the measurement arm 20 and the upper end of the opening 24a in the Z-axis direction expands in the Z-axis direction and the measurement arm 20 and the opening 24a in the Z-axis direction. The gap between the lower end and the lower end shrinks in the Z-axis direction. Then, these gaps are always covered with roll sheets 54A and 54B described later.

図3は、筐体24内のリニア駆動機構18、カウンターウェイト機構30、及びロールスクリーン機構40をテーブル16側から見た正面図である。 FIG. 3 is a front view of the linear drive mechanism 18, the counterweight mechanism 30, and the roll screen mechanism 40 in the housing 24 as viewed from the table 16 side.

図3と既述の図1とに示すように、カウンターウェイト機構30は、天板32と、Z軸ガイド34と、カウンターウェイト36と、連動機構38と、を備える。 As shown in FIG. 3 and FIG. 1 described above, the counterweight mechanism 30 includes a top plate 32, a Z-axis guide 34, a counterweight 36, and an interlocking mechanism 38.

天板32は、駆動軸26の上面に固定されている。この天板32は、X軸方向において既述の測定アーム20の移動経路と後述のカウンターウェイト36の移動経路とに亘るようにX軸方向に延びた形状を有している。 The top plate 32 is fixed to the upper surface of the drive shaft 26. The top plate 32 has a shape extending in the X-axis direction so as to extend in the X-axis direction along the movement path of the measurement arm 20 and the movement path of the counterweight 36 described later.

Z軸ガイド34は、駆動軸26に対してX軸方向の一方向であるX1方向にずれた位置に設けられており、Z軸方向に延びた形状を有している。このZ軸ガイド34のZ軸方向下端部はベース12に固定され且つZ軸方向上端部は天板32に固定されている。 The Z-axis guide 34 is provided at a position displaced in the X1 direction, which is one direction of the X-axis direction, with respect to the drive shaft 26, and has a shape extending in the Z-axis direction. The lower end of the Z-axis guide 34 in the Z-axis direction is fixed to the base 12, and the upper end of the Z-axis guide 34 is fixed to the top plate 32.

カウンターウェイト36は、Z軸ガイド34によりZ軸方向に移動自在に保持されている。すなわち、カウンターウェイト36は、駆動軸26に対してX1方向にずれた位置において、Z軸ガイド34によりZ軸方向に移動自在に保持されている。このカウンターウェイト36の重量は、測定アーム20、検出器22、及びキャリッジ28等の駆動軸26に沿ってZ軸方向に昇降する各昇降部材の重量に基づき決定される。 The counterweight 36 is held by the Z-axis guide 34 so as to be movable in the Z-axis direction. That is, the counterweight 36 is held by the Z-axis guide 34 so as to be movable in the Z-axis direction at a position displaced in the X1 direction with respect to the drive shaft 26. The weight of the counterweight 36 is determined based on the weight of each elevating member that ascends and descends in the Z-axis direction along the drive shaft 26 such as the measuring arm 20, the detector 22, and the carriage 28.

連動機構38は、キャリッジ28とカウンターウェイト36とを連結し、キャリッジ28のZ軸方向の移動(昇降)に連動してカウンターウェイト36をキャリッジ28とは逆方向に移動させる。なお、連動機構38の詳細構成については公知技術(例えば特開2015−55515号公報参照)であるので、ここでは具体的な説明は省略する。このようにキャリッジ28とカウンターウェイト36とを連動させることで、カウンターウェイト36により上述の各昇降部材の重量バランス等をとることができる。 The interlocking mechanism 38 connects the carriage 28 and the counterweight 36, and moves the counterweight 36 in the direction opposite to the carriage 28 in conjunction with the movement (elevation) of the carriage 28 in the Z-axis direction. The detailed structure of the interlocking mechanism 38 is a known technique (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-55515), and a detailed description thereof will be omitted here. By thus interlocking the carriage 28 and the counterweight 36, the counterweight 36 can balance the weights of the above-described lifting members.

ロールスクリーン機構40は、一対の回転軸42A,42Bと、回転軸保持部材44A,44Bと、糸巻取ドラム46A,46Bと、テグス48A,48Bと、引張ばね50A,50Bと、シート巻取ドラム52A,52Bと、ロールシート54A,54Bと、連結部56と、を備える。 The roll screen mechanism 40 includes a pair of rotary shafts 42A and 42B, rotary shaft holding members 44A and 44B, yarn winding drums 46A and 46B, gussets 48A and 48B, tension springs 50A and 50B, and a sheet winding drum 52A. , 52B, roll sheets 54A and 54B, and a connecting portion 56.

一対の回転軸42A,42Bは、X軸方向において既述の測定アーム20及びカウンターウェイト36の双方の移動経路に亘るようにX軸方向に延びた(平行な)形状を有している。回転軸42Aは、双方の移動経路のZ軸方向上方側の位置において、回転軸保持部材44AによりX軸方向に平行な回転中心を中心として回転自在に保持されている。また、回転軸42Bは、双方の移動経路のZ軸方向下方側の位置において、回転軸保持部材44BによりX軸方向に平行な回転中心を中心として回転自在に保持されている。これにより、双方の移動経路が回転軸42A,42Bにより上下方向から挟み込まれる。 The pair of rotary shafts 42A and 42B have a shape extending (parallel) in the X-axis direction so as to extend over the movement paths of both the measurement arm 20 and the counterweight 36 described above in the X-axis direction. The rotary shaft 42A is rotatably held by a rotary shaft holding member 44A at a position on the upper side in the Z-axis direction of both moving paths about a rotation center parallel to the X-axis direction. Further, the rotary shaft 42B is rotatably held by a rotary shaft holding member 44B at a position on the lower side in the Z-axis direction of both moving paths about a rotation center parallel to the X-axis direction. As a result, both movement paths are sandwiched by the rotating shafts 42A and 42B from the vertical direction.

回転軸保持部材44Aは、例えば天板32の側面(上面でも可)においてX軸方向に沿って複数設けられており、回転軸42Aを回転自在に保持する。また、回転軸保持部材44Bは、ベース12の上面においてX軸方向に沿って複数設けられており、回転軸42Bを回転自在に保持する。 A plurality of rotary shaft holding members 44A are provided along the X-axis direction, for example, on the side surface (or the upper surface) of the top plate 32, and rotatably hold the rotary shaft 42A. A plurality of rotation shaft holding members 44B are provided on the upper surface of the base 12 along the X-axis direction, and hold the rotation shaft 42B rotatably.

糸巻取ドラム46A、46Bは、本発明の索体巻取体に相当するものである。糸巻取ドラム46Aは、回転軸42AのX1方向側の端部に外嵌固定されており、回転軸42Aと一体に回転する。また、糸巻取ドラム46Bは、回転軸42BのX1方向側の端部に外嵌固定されており、回転軸42Bと一体に回転する。なお、糸巻取ドラム46A、46BのX軸方向及びY軸方向の位置は同一(略同一を含む、以下同じ)である。 The yarn winding drums 46A and 46B correspond to the cord winding body of the present invention. The yarn winding drum 46A is externally fitted and fixed to the end of the rotary shaft 42A on the X1 direction side, and rotates integrally with the rotary shaft 42A. The yarn winding drum 46B is externally fitted and fixed to the end of the rotary shaft 42B on the X1 direction side, and rotates integrally with the rotary shaft 42B. The positions of the yarn winding drums 46A and 46B in the X-axis direction and the Y-axis direction are the same (including substantially the same, the same applies hereinafter).

糸巻取ドラム46Aは、回転軸42Aと一体に後述のテグス巻取方向RA1(本発明の索体巻取方向に相当)に回転した場合に後述のテグス48Aの巻き取りを行い、逆に回転軸42Aと一体に後述のテグス繰出方向RA2(本発明の索体繰出方向に相当)に回転した場合にテグス48AをZ軸方向下方側に繰り出す。また、糸巻取ドラム46Bは、回転軸42Bと一体に後述のテグス巻取方向RB1(本発明の索体巻取方向に相当)に回転した場合に後述のテグス48Bの巻き取りを行い、逆に回転軸42Bと一体に後述のテグス繰出方向RB2(本発明の索体繰出方向に相当)に回転した場合にテグス48BをZ軸方向上方側に繰り出す。 The yarn winding drum 46A winds the below-described teg 48A when it rotates integrally with the rotation shaft 42A in the below-described Tegs winding direction RA1 (corresponding to the cord winding direction of the present invention), and conversely When it is rotated integrally with 42A in the Tegu's feeding direction RA2 (corresponding to the cord feeding direction of the present invention) described later, the Tegu 48A is fed downward in the Z-axis direction. In addition, the yarn winding drum 46B winds the below-described teg 48B when it rotates integrally with the rotary shaft 42B in the below-described teg winding direction RB1 (corresponding to the rope winding direction of the present invention), and conversely. When rotated integrally with the rotary shaft 42B in a Tegs feeding direction RB2 (corresponding to the cord feeding direction of the present invention) described later, the Tegu 48B is fed upward in the Z axis direction.

テグス48A,48Bは、本発明の索体に相当するものである。なお、索体には、単線又は撚線からなる糸、ワイヤ、コード、ケーブル、及びロープ等が含まれる。 Tegus 48A and 48B correspond to the cord of the present invention. Note that the cord includes a thread made of a single wire or a twisted wire, a wire, a cord, a cable, a rope, and the like.

テグス48Aは、その一端側が糸巻取ドラム46Aに固定されており且つその他端側には引張ばね50Aが連結されている。また、テグス48Bは、その一端側が糸巻取ドラム46Bに固定されており且つその他端側には引張ばね50Bが連結されている。 One end of the Tegs 48A is fixed to the yarn winding drum 46A, and a tension spring 50A is connected to the other end thereof. Further, one end of the Tegs 48B is fixed to the yarn winding drum 46B, and a tension spring 50B is connected to the other end thereof.

引張ばね50Aは、その一端側がテグス48Aに連結され且つその他端側がカウンターウェイト36の上端部に連結されている。これにより、引張ばね50Aを介してテグス48Aとカウンターウェイト36とが連結される。また、引張ばね50Bは、その一端側がテグス48Bに連結され且つその他端側がカウンターウェイト36の下端部に連結される。これにより、引張ばね50Bを介してテグス48Bとカウンターウェイト36とが連結される。その結果、引張ばね50A、カウンターウェイト36、及び引張ばね50Bを介して、テグス48Aとテグス48Bとが連結される。 One end of the tension spring 50A is connected to the Tegs 48A and the other end thereof is connected to the upper end portion of the counterweight 36. As a result, the gut 48A and the counterweight 36 are connected via the tension spring 50A. Further, one end of the tension spring 50B is connected to the gut 48B and the other end thereof is connected to the lower end of the counterweight 36. As a result, the gut 48B and the counterweight 36 are connected to each other via the tension spring 50B. As a result, the Tegs 48A and the Tegs 48B are connected via the tension spring 50A, the counterweight 36, and the tension spring 50B.

図4は、図3に示したカウンターウェイト36、糸巻取ドラム46A、46B、テグス48A,48B、及び引張ばね50A,50Bを図3中の矢印A1方向側から見た拡大概略図である。 FIG. 4 is an enlarged schematic view of the counterweight 36, the yarn winding drums 46A and 46B, the gussets 48A and 48B, and the tension springs 50A and 50B shown in FIG. 3 viewed from the arrow A1 direction side in FIG.

図4に示すように、連動機構38を介してカウンターウェイト36がZ軸方向上方側に移動すると、カウンターウェイト36及び引張ばね50Aを介してテグス48AがZ軸方向上方向側に押されることで、糸巻取ドラム46Aが回転軸42Aと一体にテグス巻取方向RA1に回転される。その結果、糸巻取ドラム46Aによりテグス48Aがロール状に巻き取られる。なお、テグス48Aが糸巻取ドラム46Aとカウンターウェイト36との間で撓まないように、腰が強いテグス48A(テグス48Bも同様)を用いることが好ましい。 As shown in FIG. 4, when the counterweight 36 moves upward in the Z-axis direction via the interlocking mechanism 38, the Tegus 48A is pushed upward in the Z-axis direction via the counterweight 36 and the tension spring 50A. The yarn winding drum 46A is rotated integrally with the rotating shaft 42A in the Tegus winding direction RA1. As a result, the yarn take-up drum 46A winds the gut 48A into a roll. It should be noted that it is preferable to use Tegs 48A (also Tegs 48B) having a strong rigidity so that the Tegs 48A will not be bent between the yarn winding drum 46A and the counterweight 36.

また同時に、カウンターウェイト36がZ軸方向上方側に移動すると、カウンターウェイト36及び引張ばね50Bを介してテグス48BがZ軸方向上方側に引っ張られることで、糸巻取ドラム46Bが回転軸42Bと一体にテグス繰出方向RB2に回転される。その結果、糸巻取ドラム46Bからテグス48BがZ軸方向上方側へ繰り出される。なお、本実施形態では、テグス巻取方向RA1とテグス繰出方向RB2とは同方向である。 At the same time, when the counterweight 36 moves upward in the Z-axis direction, the bobbin 48B is pulled upward in the Z-axis direction via the counterweight 36 and the tension spring 50B, so that the yarn winding drum 46B is integrated with the rotary shaft 42B. Then, it is rotated in the Tegus feeding direction RB2. As a result, the teg 48B is fed upward from the yarn winding drum 46B in the Z-axis direction. In the present embodiment, the Tegus winding direction RA1 and the Tegus feeding direction RB2 are the same direction.

一方、連動機構38を介してカウンターウェイト36がZ軸方向下方側に移動すると、カウンターウェイト36及び引張ばね50Aを介してテグス48AがZ軸方向下方側に引っ張られることで、糸巻取ドラム46Aが回転軸42Aと一体に既述のテグス巻取方向RA1とは逆のテグス繰出方向RA2に回転される。その結果、糸巻取ドラム46Aからテグス48AがZ軸方向下方側へ繰り出される。 On the other hand, when the counterweight 36 moves downward in the Z-axis direction via the interlocking mechanism 38, the bobs 48A are pulled downward in the Z-axis direction via the counterweight 36 and the tension spring 50A, so that the yarn winding drum 46A moves. It is rotated integrally with the rotary shaft 42A in the TEGS feeding direction RA2 opposite to the TEGS winding direction RA1 described above. As a result, the teg 48A is fed downward from the yarn winding drum 46A in the Z-axis direction.

また同時に、カウンターウェイト36がZ軸方向下方側に移動すると、カウンターウェイト36及び引張ばね50Bを介してテグス48BがZ軸方向下方側に押されることで、糸巻取ドラム46Bが回転軸42Bと一体にテグス繰出方向RB2とは逆のテグス巻取方向RB1に回転される。その結果、糸巻取ドラム46Bによりテグス48Bがロール状に巻き取られる。なお、本実施形態では、テグス巻取方向RA1とテグス巻取方向RB1とは互いに逆方向である。 At the same time, when the counterweight 36 moves downward in the Z-axis direction, the bobbin 48B is pushed downward in the Z-axis direction via the counterweight 36 and the tension spring 50B, so that the yarn winding drum 46B is integrated with the rotary shaft 42B. Then, it is rotated in the Tegs winding direction RB1 opposite to the Tegs feeding direction RB2. As a result, the yarn take-up drum 46B winds the gut 48B into a roll. In this embodiment, the Tegus winding direction RA1 and the Tegus winding direction RB1 are opposite to each other.

このように本実施形態では、カウンターウェイト36のZ軸方向の移動(昇降)に応じて、回転軸42Aのテグス巻取方向RA1の回転及び回転軸42Bのテグス繰出方向RB2の回転が行われたり、或いは回転軸42Aのテグス繰出方向RA2の回転及び回転軸42Bのテグス巻取方向RB1の回転が行われたりする。 As described above, in the present embodiment, the rotation of the rotary shaft 42A in the Tegs winding direction RA1 and the rotation shaft 42B in the Tegs feeding direction RB2 are performed in accordance with the movement (elevation) of the counterweight 36 in the Z-axis direction. Alternatively, rotation of the rotation shaft 42A in the Tegs feeding direction RA2 and rotation of the rotation shaft 42B in the Tegus winding direction RB1 are performed.

図1及び図3に戻って、シート巻取ドラム52A,52Bは、本発明のシート巻取体に相当するものである。シート巻取ドラム52Aは、回転軸42AのX軸方向の他方向(X1方向の逆方向)であるX2方向側の端部に外嵌固定されており、回転軸42A及び糸巻取ドラム46Aと一体に回転する。また、シート巻取ドラム52Bは、回転軸42BのX2方向側の端部に外嵌固定されており、回転軸42B及び糸巻取ドラム46Bと一体に回転する。なお、シート巻取ドラム52A,52BのX軸方向及びY軸方向の位置は同一である。 1 and 3, the sheet winding drums 52A and 52B correspond to the sheet winding body of the present invention. The sheet winding drum 52A is externally fitted and fixed to an end portion on the X2 direction side which is the other direction of the rotation shaft 42A in the X axis direction (direction opposite to the X1 direction), and is integrated with the rotation shaft 42A and the yarn winding drum 46A. Rotate to. The sheet winding drum 52B is externally fitted and fixed to the end of the rotating shaft 42B on the X2 direction side, and rotates integrally with the rotating shaft 42B and the yarn winding drum 46B. The positions of the sheet winding drums 52A and 52B in the X-axis direction and the Y-axis direction are the same.

シート巻取ドラム52Aは、回転軸42Aと一体にテグス繰出方向RA2に回転した場合に後述のロールシート54Aの巻き取りを行い、逆に回転軸42Aと一体にテグス巻取方向RA1に回転した場合にロールシート54AをZ軸方向下方側に繰り出す。また、シート巻取ドラム52Bは、回転軸42Bと一体にテグス巻取方向RB1に回転した場合に後述のロールシート54BをZ軸方向上方側に繰り出し、逆に回転軸42Bと一体にテグス繰出方向RB2に回転した場合にロールシート54Bの巻き取りを行う。 The sheet winding drum 52A winds a roll sheet 54A, which will be described later, when the sheet winding drum 52A rotates integrally with the rotating shaft 42A in the Tegs feeding direction RA2, and conversely, when the sheet winding drum 52A rotates integrally with the rotating shaft 42A in the Tegs winding direction RA1. Then, the roll sheet 54A is fed downward in the Z-axis direction. Further, the sheet winding drum 52B feeds a roll sheet 54B, which will be described later, upward in the Z-axis direction when it rotates integrally with the rotating shaft 42B in the Tegs winding direction RB1, and conversely, integrally with the rotating shaft 42B, the Tegs feeding direction. When it is rotated to RB2, the roll sheet 54B is wound up.

ロールシート54Aは、その一端側がシート巻取ドラム52Aに固定され且つその他端側が連結部56に連結されている。また、ロールシート54Bは、その一端側がシート巻取ドラム52Bに固定され且つその他端側が連結部56に連結されている。 The roll sheet 54A has one end fixed to the sheet winding drum 52A and the other end connected to the connecting portion 56. The roll sheet 54B has one end fixed to the sheet winding drum 52B and the other end connected to the connecting portion 56.

連結部56は、キャリッジ28に対してY軸方向(テーブル16側)にシフトした位置で、ロールシート54A,54Bにより支持されている。すなわち、連結部56は、キャリッジ28から分離して設けられている。この連結部56の上端部にはロールシート54Aが連結され、且つ連結部56の下端部にはロールシート54Bが連結されている。これにより、ロールシート54A,54Bの双方の他端側同士が連結部56を介して連結される。このため、連結部56は、ロールシート54A,54Bの双方の他端側と一体にZ軸方向に移動する。 The connecting portion 56 is supported by the roll sheets 54A and 54B at a position shifted in the Y-axis direction (table 16 side) with respect to the carriage 28. That is, the connecting portion 56 is provided separately from the carriage 28. The roll sheet 54A is connected to the upper end of the connecting portion 56, and the roll sheet 54B is connected to the lower end of the connecting portion 56. As a result, the other ends of the roll sheets 54A and 54B are connected to each other via the connecting portion 56. Therefore, the connecting portion 56 moves in the Z-axis direction integrally with the other end sides of both the roll sheets 54A and 54B.

連結部56には、測定アーム20のアーム本体部20aが挿通される挿通口56aが形成されている。この挿通口56aの開口形状は、アーム本体部20aの断面形状を拡大した形状を有している。これにより、アーム本体部20aは、挿通口56aに対して隙間をあけて挿通(非接触で挿通)される。なお、連結部56は、ロールシート54A,54Bの少なくとも一方と一体形成されていてもよい。 The connecting portion 56 is formed with an insertion opening 56a through which the arm body portion 20a of the measurement arm 20 is inserted. The opening shape of the insertion port 56a is a shape obtained by enlarging the cross-sectional shape of the arm body portion 20a. As a result, the arm body portion 20a is inserted (inserted in a non-contact manner) with a gap in the insertion opening 56a. The connecting portion 56 may be integrally formed with at least one of the roll sheets 54A and 54B.

図5は、図3に示したシート巻取ドラム52A,52B、ロールシート54A,54B、及び連結部56を図3中の矢印A2方向側(既述の図4と同方向側)から見た拡大概略図である。 5 is a view of the sheet winding drums 52A and 52B, the roll sheets 54A and 54B, and the connecting portion 56 shown in FIG. 3 as seen from the arrow A2 direction side in FIG. 3 (the same direction side as FIG. 4 described above). FIG.

図5及び既述の図4に示すように、シート巻取ドラム52Aに対するロールシート54Aの巻き付け方向と、糸巻取ドラム46Aに対するテグス48Aの巻き付け方向と、は互いに逆方向である。また、シート巻取ドラム52Bに対するロールシート54Bの巻き付け方向と、糸巻取ドラム46Bに対するテグス48Bの巻き付け方向と、は互いに逆方向である。 As shown in FIG. 5 and FIG. 4 described above, the winding direction of the roll sheet 54A around the sheet winding drum 52A and the winding direction of the Tegs 48A around the yarn winding drum 46A are opposite to each other. Further, the winding direction of the roll sheet 54B with respect to the sheet winding drum 52B and the winding direction of the Tegs 48B with respect to the yarn winding drum 46B are opposite to each other.

シート巻取ドラム52Aがテグス巻取方向RA1に回転するとシート巻取ドラム52Aからロールシート54AがZ軸方向下方側へ繰り出され、逆にシート巻取ドラム52Aがテグス繰出方向RA2に回転するとシート巻取ドラム52Aによりロールシート54Aがロール状に巻き取られる。また、シート巻取ドラム52Bがテグス巻取方向RB1に回転するとシート巻取ドラム52Bからロールシート54BがZ軸方向上方側へ繰り出され、逆にシート巻取ドラム52Bがテグス繰出方向RB2に回転するとシート巻取ドラム52Bによりロールシート54Bがロール状に巻き取られる。 When the sheet winding drum 52A rotates in the Tegs winding direction RA1, the roll sheet 54A is fed downward from the sheet winding drum 52A in the Z-axis direction, and conversely, when the sheet winding drum 52A rotates in the Tegs feeding direction RA2, the sheet winding is performed. The roll sheet 54A is wound into a roll by the take-up drum 52A. When the sheet winding drum 52B rotates in the Tegs winding direction RB1, the roll sheet 54B is fed upward from the sheet winding drum 52B in the Z-axis direction, and conversely, when the sheet winding drum 52B rotates in the Tegs feeding direction RB2. The roll sheet 54B is wound into a roll by the sheet winding drum 52B.

連結部56は、カウンターウェイト36のZ軸方向上方側の移動に応じて、シート巻取ドラム52Aがテグス巻取方向RA1に回転し且つシート巻取ドラム52Bがテグス繰出方向RB2に回転した場合に、ロールシート54A,54Bの双方の他端側と一体にZ軸方向下方側に移動する。また逆に、連結部56は、カウンターウェイト36のZ軸方向下方側の移動に応じて、シート巻取ドラム52Aがテグス繰出方向RA2に回転し且つシート巻取ドラム52Bがテグス巻取方向RB1に回転した場合に、ロールシート54A,54Bの双方の他端側と一体にZ軸方向上方側に移動する。これにより、連結部56は、カウンターウェイト36のZ軸方向の移動に連動して、カウンターウェイト36とは逆方向に移動、すなわちキャリッジ28と同方向に移動する。 When the sheet winding drum 52A rotates in the Tegs winding direction RA1 and the sheet winding drum 52B rotates in the Tegs feeding direction RB2 in accordance with the movement of the counterweight 36 on the upper side in the Z-axis direction, the connecting portion 56 rotates. , And moves to the lower side in the Z-axis direction integrally with the other ends of the roll sheets 54A and 54B. On the contrary, in the connecting portion 56, the sheet take-up drum 52A rotates in the Tegs feeding direction RA2 and the sheet take-up drum 52B moves in the Tegs winding direction RB1 in accordance with the movement of the counterweight 36 on the lower side in the Z-axis direction. When rotated, the roll sheets 54A and 54B move integrally with the other ends of the roll sheets 54A and 54B upward in the Z-axis direction. As a result, the connecting portion 56 moves in the direction opposite to the counterweight 36, that is, in the same direction as the carriage 28, in conjunction with the movement of the counterweight 36 in the Z-axis direction.

この際に、連結部56のZ軸方向の移動速度(単位時間当たりの移動量)がキャリッジ28のZ軸方向の移動速度(単位時間当たりの移動量)と一致(略一致を含む、以下同じ)するように、糸巻取ドラム46A、46B及びシート巻取ドラム52A,52Bの各々の外径が調整されている。これにより、連結部56は、キャリッジ28と一体にZ軸方向に移動する。その結果、キャリッジ28のZ軸方向の移動の前後においてキャリッジ28に対して連結部56が対向する状態が常に維持される。 At this time, the moving speed of the connecting portion 56 in the Z-axis direction (moving amount per unit time) matches the moving speed of the carriage 28 in the Z-axis direction (moving amount per unit time). As described above, the outer diameters of the yarn winding drums 46A and 46B and the sheet winding drums 52A and 52B are adjusted. As a result, the connecting portion 56 moves in the Z-axis direction integrally with the carriage 28. As a result, the state where the connecting portion 56 faces the carriage 28 is always maintained before and after the movement of the carriage 28 in the Z-axis direction.

なお、各種要因(例えばテグス48A,48Bの厚みとロールシート54A,54Bの厚みとの差など)により、回転軸42A,42Bが回転した場合の糸巻取ドラム46A,46Bによるテグス48A、48Bの巻取量・繰出量と、シート巻取ドラム52A,52Bによるロールシート54A,54Bの繰出量・巻取量との間には微小誤差が生じる。この微小誤差については既述の引張ばね50A,50Bにより吸収される。 In addition, due to various factors (for example, the difference between the thickness of the tegs 48A and 48B and the thickness of the roll sheets 54A and 54B), the winding of the tegs 48A and 48B by the yarn winding drums 46A and 46B when the rotary shafts 42A and 42B rotate. A minute error occurs between the amount of take-up/take-out and the amount of take-up/take-up of the roll sheets 54A, 54B by the sheet take-up drums 52A, 52B. This minute error is absorbed by the tension springs 50A and 50B described above.

図6は、キャリッジ28をZ軸方向下方側に移動させる場合のロールスクリーン機構40の作用を説明するための説明図である。 FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the action of the roll screen mechanism 40 when the carriage 28 is moved downward in the Z-axis direction.

図6に示すように、キャリッジ28がZ軸方向下方側に移動すると、連動機構38を介してカウンターウェイト36がZ軸方向上方側に移動される。このカウンターウェイト36の移動に応じて、テグス48A等を介して糸巻取ドラム46A及び回転軸42Aが一体にテグス巻取方向RA1に回転されると共に、テグス48B等を介して糸巻取ドラム46B及び回転軸42Bが一体にテグス繰出方向RB2に回転される。 As shown in FIG. 6, when the carriage 28 moves downward in the Z axis direction, the counterweight 36 moves upward in the Z axis direction via the interlocking mechanism 38. In accordance with the movement of the counterweight 36, the yarn winding drum 46A and the rotation shaft 42A are integrally rotated in the Tegs winding direction RA1 via the Tegs 48A and the like, and the yarn winding drum 46B and the rotation are rotated via the Tegs 48B and the like. The shaft 42B is integrally rotated in the Tegu's feeding direction RB2.

そして、回転軸42Aと一体にシート巻取ドラム52Aがテグス巻取方向RA1に回転することで、シート巻取ドラム52Aからロールシート54AがZ軸方向下方側へ繰り出される。また同時に、回転軸42Bと一体にシート巻取ドラム52Bがテグス繰出方向RB2に回転することで、シート巻取ドラム52Bによりロールシート54Bがロール状に巻き取られる。これにより、連結部56が、ロールシート54A,54Bの双方の他端側と一体にZ軸方向下方側に向けてキャリッジ28と同一の速度で移動する。 Then, the sheet winding drum 52A rotates integrally with the rotating shaft 42A in the Tegs winding direction RA1, whereby the roll sheet 54A is fed from the sheet winding drum 52A downward in the Z-axis direction. At the same time, the sheet winding drum 52B rotates in the Tegs feeding direction RB2 integrally with the rotating shaft 42B, so that the sheet winding drum 52B winds the roll sheet 54B into a roll. As a result, the connecting portion 56 moves integrally with the other ends of the roll sheets 54A and 54B toward the lower side in the Z-axis direction at the same speed as the carriage 28.

図7は、キャリッジ28をZ軸方向上方側に移動させる場合のロールスクリーン機構40の作用を説明するための説明図である。 FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the operation of the roll screen mechanism 40 when the carriage 28 is moved upward in the Z axis direction.

図7に示すように、キャリッジ28がZ軸方向上方側に移動すると、連動機構38を介してカウンターウェイト36がZ軸方向下方側に移動される。このカウンターウェイト36の移動に応じて、テグス48A等を介して糸巻取ドラム46A及び回転軸42Aが一体にテグス繰出方向RA2に回転されると共に、テグス48B等を介して糸巻取ドラム46B及び回転軸42Bが一体にテグス巻取方向RB1に回転される。 As shown in FIG. 7, when the carriage 28 moves upward in the Z axis direction, the counterweight 36 is moved downward in the Z axis direction via the interlocking mechanism 38. In accordance with the movement of the counterweight 36, the yarn winding drum 46A and the rotation shaft 42A are integrally rotated in the Tegs feeding direction RA2 via the Tegs 48A and the yarn winding drum 46B and the rotation shaft are rotated via the Tegs 48B and the like. 42B is integrally rotated in the Tegus winding direction RB1.

そして、回転軸42Aと一体にシート巻取ドラム52Aがテグス繰出方向RA2に回転することで、シート巻取ドラム52Aによりロールシート54Aがロール状に巻き取られる。また同時に、回転軸42Bと一体にシート巻取ドラム52Bがテグス巻取方向RB1に回転することで、シート巻取ドラム52Bからロールシート54BがZ軸方向上方側へ繰り出される。これにより、連結部56が、ロールシート54A,54Bの双方の他端側と一体にZ軸方向上方側に向けてキャリッジ28と同一の速度で移動する。 Then, the sheet winding drum 52A rotates integrally with the rotation shaft 42A in the Tegs feeding direction RA2, whereby the roll sheet 54A is wound into a roll by the sheet winding drum 52A. At the same time, the sheet winding drum 52B rotates integrally with the rotary shaft 42B in the Tegs winding direction RB1, whereby the roll sheet 54B is fed from the sheet winding drum 52B upward in the Z-axis direction. As a result, the connecting portion 56 moves integrally with the other ends of the roll sheets 54A and 54B toward the upper side in the Z-axis direction at the same speed as the carriage 28.

このようにキャリッジ28のZ軸方向の移動前後において、キャリッジ28に対して連結部56が対向した状態が維持される。その結果、キャリッジ28のZ軸方向の移動前後で、測定アーム20と開口24a(図2参照)のZ軸方向上端部との間に生じる隙間(空間)がロールシート54Aで覆われた状態と、測定アーム20と開口24aのZ軸方向下端部との間に生じる隙間がロールシート54Bで覆われた状態と、が維持される。 In this way, the state in which the connecting portion 56 faces the carriage 28 is maintained before and after the movement of the carriage 28 in the Z-axis direction. As a result, before and after the movement of the carriage 28 in the Z-axis direction, the gap (space) between the measurement arm 20 and the upper end of the opening 24a (see FIG. 2) in the Z-axis direction is covered with the roll sheet 54A. The state in which the gap formed between the measurement arm 20 and the lower end of the opening 24a in the Z-axis direction is covered with the roll sheet 54B is maintained.

[本実施形態の効果]
以上のように本実施形態では、カウンターウェイト36のZ軸方向の移動に連動して回転軸42A,42B及びシート巻取ドラム52A,52Bを一体に回転させることで、連結部56をキャリッジ28と一体にZ軸方向に移動させることができる。その結果、キャリッジ28に対して復元力を作用させる蛇腹式のシートを用いる場合とは異なり、キャリッジ28等の移動精度(位置精度)に悪影響を及ぼすことが防止される。そのため、特にリニア駆動機構18がリニアモータのようにキャリッジ28の位置保持力が低い場合でも、キャリッジ28等の移動精度に悪影響を及ぼすことが防止される。また、定荷重ばねのような耐用回数に制限がある機構を使用していないので、ロールスクリーン機構40の高耐久性が確保される。その結果、キャリッジ28の移動精度の高精度化とロールスクリーン機構40の高耐久性の確保とが実現される。
[Effects of this embodiment]
As described above, in the present embodiment, the connecting portions 56 are connected to the carriage 28 by integrally rotating the rotating shafts 42A and 42B and the sheet winding drums 52A and 52B in conjunction with the movement of the counterweight 36 in the Z-axis direction. It can be moved integrally in the Z-axis direction. As a result, unlike the case where a bellows type sheet that applies a restoring force to the carriage 28 is used, it is possible to prevent the movement accuracy (position accuracy) of the carriage 28 or the like from being adversely affected. Therefore, even when the linear drive mechanism 18 has a low position holding force of the carriage 28 like a linear motor, it is possible to prevent the movement accuracy of the carriage 28 and the like from being adversely affected. Further, since a mechanism such as a constant load spring having a limited number of times of use is not used, high durability of the roll screen mechanism 40 is secured. As a result, it is possible to improve the accuracy of movement of the carriage 28 and ensure high durability of the roll screen mechanism 40.

また、本実施形態では、キャリッジ28に対して連結部56(ロールシート54A,54B)が分離して設けられているので、連結部56等からキャリッジ28に対して力が加えられることが防止される。その結果、特にリニア駆動機構18がリニアモータのようにキャリッジ28の位置保持力が低い場合でも、キャリッジ28等の移動精度に悪影響を及ぼすことが防止される。 Further, in the present embodiment, since the connecting portion 56 (roll sheets 54A and 54B) is provided separately from the carriage 28, it is possible to prevent a force from being applied to the carriage 28 from the connecting portion 56 and the like. It As a result, even when the linear driving mechanism 18 has a low position holding force of the carriage 28 like a linear motor, it is possible to prevent the movement accuracy of the carriage 28 and the like from being adversely affected.

さらに本実施形態では、カウンターウェイト36のZ軸方向の移動に連動して回転軸42A,42B及びシート巻取ドラム52A,52Bを一体に回転させるので、シート巻取ドラム52A,52Bを回転させるための独立した駆動源を設ける必要がなくなる。 Further, in this embodiment, since the rotary shafts 42A and 42B and the sheet winding drums 52A and 52B are integrally rotated in association with the movement of the counterweight 36 in the Z-axis direction, the sheet winding drums 52A and 52B are rotated. There is no need to provide an independent drive source for.

[第2実施形態]
図8は、シート巻取ドラム52A,52Bにロール状に巻き取られたロールシート54A,54Bの外径の変化を説明するための説明図である。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining changes in the outer diameters of the roll sheets 54A and 54B wound in a roll shape on the sheet winding drums 52A and 52B.

図8に示すように、シート巻取ドラム52A,52Bの直径をDとし、ロールシート54A,54Bの厚みをtとし、シート巻取ドラム52A,52Bに対するロールシート54A,54Bの巻き数をnとした場合、ロール状のロールシート54A,54Bの外径は「D+2nt」で表される。すなわち、巻き数nの増加に従って外径が2tずつ増加する。このため、テグス48A,48Bの厚みがtよりも小さい場合、巻き数nの増加に従って、糸巻取ドラム46A,46Bによるテグス48A、48Bの巻取量・繰出量と、シート巻取ドラム52A,52Bによるロールシート54A,54Bの繰出量・巻取量との間に生じる微小誤差が大きくなる。 As shown in FIG. 8, the diameter of the sheet winding drums 52A and 52B is D, the thickness of the roll sheets 54A and 54B is t, and the number of windings of the roll sheets 54A and 54B with respect to the sheet winding drums 52A and 52B is n. In this case, the outer diameter of the roll-shaped roll sheets 54A and 54B is represented by "D+2nt". That is, as the number of turns n increases, the outer diameter increases by 2t. Therefore, when the thickness of the tegs 48A, 48B is smaller than t, the winding amount/feeding amount of the tegs 48A, 48B by the yarn winding drums 46A, 46B and the sheet winding drums 52A, 52B are increased as the winding number n increases. The minute error caused between the roll-out amount and the roll-up amount of the roll sheets 54A and 54B due to is large.

そして、上記第1実施形態では引張ばね50A,50Bにより上述の微小誤差を吸収しているが、第2実施形態ではロールスクリーン機構40に微小誤差の発生を低減する手段を設けている。 Further, in the first embodiment, the tension springs 50A and 50B absorb the above-mentioned minute error, but in the second embodiment, the roll screen mechanism 40 is provided with means for reducing the occurrence of the minute error.

図9は、第2実施形態のロールスクリーン機構40の糸巻取ドラム60A,60Bの拡大図である。なお、第2実施形態のロールスクリーン機構40は、第1実施形態の糸巻取ドラム46A,46Bとは異なる形状の糸巻取ドラム60A,60Bを備える点を除けば、第1実施形態のロールスクリーン機構40と基本的に同じ構成である。このため、上記第1実施形態と機能又は構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。 FIG. 9 is an enlarged view of the yarn winding drums 60A and 60B of the roll screen mechanism 40 of the second embodiment. The roll screen mechanism 40 according to the second embodiment is different from the roll screen mechanism 40 according to the first embodiment except that it has thread winding drums 60A and 60B having a different shape from the thread winding drums 46A and 46B according to the first embodiment. The configuration is basically the same as 40. Therefore, the same functions or configurations as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

糸巻取ドラム60A,60Bは、その直径がX軸方向の一方向(ここではX1方向又はX2方向のいずれでも可)から他方向に向かって次第に直径が大きくなるテーパ状に形成されている。そして、糸巻取ドラム60A,60Bがそれぞれテグス巻取方向RA1,RB1に回転した場合には、糸巻取ドラム60A,60Bによるテグス48A,48Bの巻取位置がX軸方向の一方向側(小径側)に向かって次第にずれる。また逆に、糸巻取ドラム60A,60Bがそれぞれテグス繰出方向RA2,RB2に回転した場合には、糸巻取ドラム60A,60Bによるテグス48A,48Bの巻取位置がX軸方向の他方向側(大径側)に向かって次第にずれる。 The yarn winding drums 60A and 60B are formed in a tapered shape whose diameter gradually increases from one direction in the X-axis direction (here, either the X1 direction or the X2 direction is possible) to the other direction. When the yarn winding drums 60A and 60B are rotated in the Tegus winding directions RA1 and RB1, respectively, the winding positions of the Tegs 48A and 48B by the yarn winding drums 60A and 60B are located on one side in the X-axis direction (small diameter side). ). On the contrary, when the yarn winding drums 60A and 60B are rotated in the Tegus feeding directions RA2 and RB2, respectively, the winding positions of the tegs 48A and 48B by the yarn winding drums 60A and 60B are the other side (larger direction) in the X-axis direction. It gradually shifts toward the radial side).

なお、糸巻取ドラム60A,60Bの回転に応じてテグス48A,48Bの巻取位置を次第にX軸方向にずらすために、糸巻取ドラム60A,60Bの外周面に螺旋状の溝等を形成してもよい。 In order to gradually shift the winding positions of the tegs 48A, 48B in the X-axis direction in accordance with the rotation of the yarn winding drums 60A, 60B, a spiral groove or the like is formed on the outer peripheral surface of the yarn winding drums 60A, 60B. Good.

このように第2実施形態では、ロール状のロールシート54A,54Bの外径の増加に応じて糸巻取ドラム60A,60Bによるテグス48A,48Bの巻取位置をX軸方向の他方向(大径側)にずらすことができる。また、第2実施形態では、ロール状のロールシート54A,54Bの外径の減少に応じて糸巻取ドラム60A,60Bによるテグス48A,48Bの巻取位置をX軸方向の一方向(小径側)にずらすことができる。その結果、シート巻取ドラム52A,52Bに巻き取られるロールシート54A,54Bの外径と、糸巻取ドラム60A,60Bに巻き取られるテグス48A,48Bの外径と、を一致させることができる。これにより、上述の微小誤差の発生が低減されるため、キャリッジ28の移動精度が確保される。 As described above, in the second embodiment, the winding positions of the tegs 48A, 48B by the yarn winding drums 60A, 60B are set in the other direction of the X-axis (larger diameter) in accordance with an increase in the outer diameter of the roll-shaped roll sheets 54A, 54B. Can be shifted to the side). Further, in the second embodiment, the winding positions of the tegs 48A, 48B by the yarn winding drums 60A, 60B are set in one direction (small diameter side) in the X axis direction according to the decrease in the outer diameter of the roll-shaped roll sheets 54A, 54B. It can be shifted. As a result, the outer diameters of the roll sheets 54A and 54B wound around the sheet winding drums 52A and 52B and the outer diameters of the tegs 48A and 48B wound around the yarn winding drums 60A and 60B can be matched. As a result, the occurrence of the minute error described above is reduced, so that the movement accuracy of the carriage 28 is ensured.

[第3実施形態]
図10は、第3実施形態のロールスクリーン機構40の概略図である。上記第2実施形態では、糸巻取ドラム60A,60Bにより上述の微小誤差の発生を低減させているが、第3実施形態のロールスクリーン機構40は上述の微小誤差の発生を低減させるためにシート巻取機構70A,70Bを備えている。
[Third Embodiment]
FIG. 10 is a schematic view of the roll screen mechanism 40 of the third embodiment. In the second embodiment described above, the yarn winding drums 60A and 60B reduce the occurrence of the minute errors described above, but the roll screen mechanism 40 of the third embodiment reduces the occurrence of the minute errors described above in the sheet winding. It is provided with take-off mechanisms 70A and 70B.

なお、第3実施形態のロールスクリーン機構40は、シート巻取機構70A,70Bを備える点を除けば、第1実施形態のロールスクリーン機構40と基本的に同じ構成である。このため、上記第1実施形態と機能又は構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。 The roll screen mechanism 40 of the third embodiment has basically the same configuration as the roll screen mechanism 40 of the first embodiment except that the sheet winding mechanisms 70A and 70B are provided. Therefore, the same functions or configurations as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

図10に示すように、シート巻取機構70Aは、回転軸保持部材72A、駆動ドラム74A、ガイド保持部材76A、Y軸ガイド78A、巻取ドラム保持部材80A、圧縮コイルバネ82A、及びシート巻取ドラム52Aを備える。また、シート巻取機構70Bは、回転軸保持部材72B、駆動ドラム74B、ガイド保持部材76B、Y軸ガイド78B、巻取ドラム保持部材80B、圧縮コイルバネ82B、及びシート巻取ドラム52Bを備える。 As shown in FIG. 10, the sheet winding mechanism 70A includes a rotary shaft holding member 72A, a drive drum 74A, a guide holding member 76A, a Y-axis guide 78A, a winding drum holding member 80A, a compression coil spring 82A, and a sheet winding drum. 52A. The sheet winding mechanism 70B includes a rotary shaft holding member 72B, a drive drum 74B, a guide holding member 76B, a Y-axis guide 78B, a winding drum holding member 80B, a compression coil spring 82B, and a sheet winding drum 52B.

回転軸保持部材72Aは、天板32の上面の中でテーブル16側の先端部に設けられており、回転軸42Aを回転自在に保持する。また、回転軸保持部材72Bは、ベース12の上面に設けられており、回転軸42Bを回転自在に保持する。なお、回転軸42A,42BのY軸方向の位置は同一である。 The rotary shaft holding member 72A is provided on the top end of the top plate 32 on the table 16 side, and rotatably holds the rotary shaft 42A. The rotary shaft holding member 72B is provided on the upper surface of the base 12 and holds the rotary shaft 42B rotatably. The positions of the rotary shafts 42A and 42B in the Y-axis direction are the same.

駆動ドラム74A,74Bは、本発明の駆動巻取体に相当するものである。駆動ドラム74Aは、回転軸42AのX2方向(図3参照)側の端部に外嵌固定されており、回転軸42A及び糸巻取ドラム46Aと一体に回転する。また、駆動ドラム74Bは、回転軸42BのX2方向側の端部に外嵌固定されており、回転軸42B及び糸巻取ドラム46Bと一体に回転する。そして、駆動ドラム74Aにはロールシート54Aが巻き掛けられ、且つ駆動ドラム74Bにはロールシート54Bが巻き掛けられている。 The drive drums 74A and 74B correspond to the drive winding body of the present invention. The drive drum 74A is externally fitted and fixed to the end of the rotary shaft 42A on the X2 direction side (see FIG. 3), and rotates integrally with the rotary shaft 42A and the yarn winding drum 46A. The drive drum 74B is externally fitted and fixed to the end of the rotary shaft 42B on the X2 direction side, and rotates integrally with the rotary shaft 42B and the yarn winding drum 46B. The roll sheet 54A is wound around the drive drum 74A, and the roll sheet 54B is wound around the drive drum 74B.

ガイド保持部材76Aは、天板32の上面で且つ回転軸保持部材72Aに対してY軸方向にシフトした位置に設けられている。ガイド保持部材76Bは、ベース12の上面で且つ回転軸保持部材72Bに対してY軸方向にシフトした位置に設けられている。 The guide holding member 76A is provided on the upper surface of the top plate 32 and at a position shifted in the Y-axis direction with respect to the rotary shaft holding member 72A. The guide holding member 76B is provided on the upper surface of the base 12 and at a position shifted in the Y-axis direction with respect to the rotary shaft holding member 72B.

Y軸ガイド78A,78Bは、Y軸方向に平行な方向に延びた形状を有している。Y軸ガイド78A,78Bは、例えば、Z軸方向において間隔をあけて配置された上下ガイドにより構成される。そして、Y軸ガイド78A(上下ガイド)はX軸方向において後述のシート巻取ドラム52Aを挟み込むように2組設けられ、且つY軸ガイド78B(上下ガイド)はX軸方向において後述のシート巻取ドラム52Bを挟み込むように2組設けられている。 The Y-axis guides 78A and 78B have a shape extending in a direction parallel to the Y-axis direction. The Y-axis guides 78A and 78B are configured by, for example, upper and lower guides arranged at intervals in the Z-axis direction. Two sets of Y-axis guides 78A (upper and lower guides) are provided in the X-axis direction so as to sandwich a sheet winding drum 52A, which will be described later, and Y-axis guides 78B (upper and lower guides) are provided in the X-axis direction, which will be described later. Two sets are provided so as to sandwich the drum 52B.

Y軸ガイド78AのY軸方向の一端部は回転軸保持部材72Aに固定され、且つY軸ガイド78AのY軸方向の他端部はガイド保持部材76Aに固定される。また、Y軸ガイド78BのY軸方向の一端部は回転軸保持部材72Bに固定され、且つY軸ガイド78BのY軸方向の他端部はガイド保持部材76Bに固定される。 One end of the Y-axis guide 78A in the Y-axis direction is fixed to the rotary shaft holding member 72A, and the other end of the Y-axis guide 78A in the Y-axis direction is fixed to the guide holding member 76A. Further, one end of the Y-axis guide 78B in the Y-axis direction is fixed to the rotary shaft holding member 72B, and the other end of the Y-axis guide 78B in the Y-axis direction is fixed to the guide holding member 76B.

巻取ドラム保持部材80Aは、X軸方向に間隔をあけた2組のY軸ガイド78Aごとに、Y軸ガイド78Aに沿ってY軸方向に移動自在に支持されている。また、巻取ドラム保持部材80Bは、X軸方向に間隔をあけた2組のY軸ガイド78Bごとに、Y軸ガイド78Bに沿ってY軸方向に移動自在に支持されている。そして、各巻取ドラム保持部材80Aはシート巻取ドラム52Aを回転自在に保持し、且つ各巻取ドラム保持部材80Bはシート巻取ドラム52Bを回転自在に保持する。 The take-up drum holding member 80A is movably supported in the Y-axis direction along the Y-axis guide 78A for each pair of two Y-axis guides 78A spaced in the X-axis direction. The take-up drum holding member 80B is movably supported in the Y-axis direction along the Y-axis guide 78B for each pair of two Y-axis guides 78B spaced in the X-axis direction. Then, each winding drum holding member 80A rotatably holds the sheet winding drum 52A, and each winding drum holding member 80B rotatably holds the sheet winding drum 52B.

圧縮コイルバネ82Aは、ガイド保持部材76Aと巻取ドラム保持部材80Aとの間でY軸ガイド78Aに外嵌されており、巻取ドラム保持部材80Aを駆動ドラム74Aに向けて付勢する。また、圧縮コイルバネ82Bは、ガイド保持部材76Bと巻取ドラム保持部材80Bとの間でY軸ガイド78Bに外嵌されており、巻取ドラム保持部材80Bを駆動ドラム74Bに向けて付勢する。これにより、シート巻取ドラム52Aが駆動ドラム74Aに向けて付勢され、且つシート巻取ドラム52Bが駆動ドラム74Bに向けて付勢される。 The compression coil spring 82A is externally fitted to the Y-axis guide 78A between the guide holding member 76A and the winding drum holding member 80A, and biases the winding drum holding member 80A toward the drive drum 74A. The compression coil spring 82B is externally fitted to the Y-axis guide 78B between the guide holding member 76B and the winding drum holding member 80B, and urges the winding drum holding member 80B toward the drive drum 74B. As a result, the sheet winding drum 52A is biased toward the driving drum 74A, and the sheet winding drum 52B is biased toward the driving drum 74B.

第3実施形態のシート巻取ドラム52Aは一対の巻取ドラム保持部材80Aの間に回転自在に保持され、且つ第3実施形態のシート巻取ドラム52Bは一対の巻取ドラム保持部材80Bの間に回転自在に保持されている。なお、シート巻取ドラム52A及び駆動ドラム74AのX軸方向の位置が一致するように2組のY軸ガイド78Aの位置が調整され、且つシート巻取ドラム52B及び駆動ドラム74BのX軸方向の位置が一致するように一対のY軸ガイド78Bの位置が調整されている。 The sheet winding drum 52A of the third embodiment is rotatably held between the pair of winding drum holding members 80A, and the sheet winding drum 52B of the third embodiment is arranged between the pair of winding drum holding members 80B. It is rotatably held in. The positions of the two Y-axis guides 78A are adjusted so that the positions of the sheet winding drum 52A and the driving drum 74A coincide with each other, and the sheet winding drum 52B and the driving drum 74B move in the X-axis direction. The positions of the pair of Y-axis guides 78B are adjusted so that the positions match.

シート巻取ドラム52Aは、巻取ドラム保持部材80Aを介した圧縮コイルバネ82Aの付勢により、駆動ドラム74Aに巻き掛けられたロールシート54Aを介して駆動ドラム74Aに接触する。このため、シート巻取ドラム52Aは、駆動ドラム74Aの回転に応じてこの駆動ドラム74Aとは逆方向に回転する。 The sheet winding drum 52A comes into contact with the driving drum 74A via the roll sheet 54A wound around the driving drum 74A by the bias of the compression coil spring 82A via the winding drum holding member 80A. Therefore, the sheet winding drum 52A rotates in the opposite direction to the drive drum 74A in response to the rotation of the drive drum 74A.

また、シート巻取ドラム52Bは、巻取ドラム保持部材80Bを介した圧縮コイルバネ82Bの付勢により、駆動ドラム74Bに巻き掛けられたロールシート54Bを介して駆動ドラム74Bに接触する。このため、シート巻取ドラム52Bは、駆動ドラム74Bの回転に応じてこの駆動ドラム74Bとは逆方向に回転する。 Further, the sheet winding drum 52B comes into contact with the driving drum 74B via the roll sheet 54B wound around the driving drum 74B by the bias of the compression coil spring 82B via the winding drum holding member 80B. Therefore, the sheet winding drum 52B rotates in the opposite direction to the drive drum 74B in response to the rotation of the drive drum 74B.

第3実施形態のロールシート54Aの一端側は、駆動ドラム74Aに巻き掛けられた後、シート巻取ドラム52Aに固定される。このため、駆動ドラム74Aがテグス繰出方向RA2に回転すると、駆動ドラム74Aによってロールシート54AがZ軸方向上方側に引っ張られると共にシート巻取ドラム52Aに向けて送出される。そして、シート巻取ドラム52Aは、駆動ドラム74Aにより駆動ドラム74Aとは逆方向、すなわちテグス巻取方向RA1に回転される。これにより、シート巻取ドラム52Aは、駆動ドラム74Aから送出されたロールシート54Aをロール状に巻き取る。 One end side of the roll sheet 54A of the third embodiment is wound around the driving drum 74A and then fixed to the sheet winding drum 52A. Therefore, when the drive drum 74A rotates in the Tegs feeding direction RA2, the roll sheet 54A is pulled upward by the drive drum 74A in the Z-axis direction and is fed toward the sheet winding drum 52A. Then, the sheet winding drum 52A is rotated by the driving drum 74A in the direction opposite to the driving drum 74A, that is, in the Tegs winding direction RA1. As a result, the sheet winding drum 52A winds the roll sheet 54A sent from the driving drum 74A into a roll.

また逆に、駆動ドラム74Aがテグス巻取方向RA1に回転すると、駆動ドラム74Aによりシート巻取ドラム52Aが駆動ドラム74Aとは逆方向、すなわちテグス繰出方向RA2に回転される。このため、駆動ドラム74Aによって、シート巻取ドラム52Aからロールシート54Aが引き出されると共に引き出されたロールシート54AがZ軸方向下方に向けて繰出される。 Conversely, when the drive drum 74A rotates in the Tegs winding direction RA1, the drive drum 74A rotates the sheet winding drum 52A in the opposite direction to the drive drum 74A, that is, in the Tegs feeding direction RA2. Therefore, the drive drum 74A pulls out the roll sheet 54A from the sheet take-up drum 52A and feeds the pulled roll sheet 54A downward in the Z-axis direction.

第3実施形態のロールシート54Bの一端側は、駆動ドラム74Bに巻き掛けられた後、シート巻取ドラム52Bに固定される。このため、駆動ドラム74Bがテグス繰出方向RB2に回転すると、駆動ドラム74Bによりロールシート54BがZ軸方向下方側に引っ張られると共にシート巻取ドラム52Bに向けて送出される。そして、シート巻取ドラム52Bは、駆動ドラム74Bにより駆動ドラム74Bとは逆方向、すなわちテグス巻取方向RB1に回転される。これにより、シート巻取ドラム52Bは、駆動ドラム74Bから送出されたロールシート54Bをロール状に巻き取る。 One end of the roll sheet 54B of the third embodiment is wound around the drive drum 74B and then fixed to the sheet winding drum 52B. Therefore, when the drive drum 74B rotates in the Tegus feeding direction RB2, the roll sheet 54B is pulled downward by the drive drum 74B in the Z-axis direction and is fed toward the sheet winding drum 52B. Then, the sheet winding drum 52B is rotated by the driving drum 74B in a direction opposite to the driving drum 74B, that is, in the Tegs winding direction RB1. As a result, the sheet winding drum 52B winds the roll sheet 54B sent from the drive drum 74B into a roll.

また逆に、駆動ドラム74Bがテグス巻取方向RB1に回転すると、駆動ドラム74Bによりシート巻取ドラム52Bが駆動ドラム74Bとは逆方向、すなわちテグス繰出方向RB2に回転される。このため、駆動ドラム74Bによって、シート巻取ドラム52Bからロールシート54Bが引き出されると共に引き出されたロールシート54BがZ軸方向上方に向けて繰出される。 Conversely, when the drive drum 74B rotates in the Tegs winding direction RB1, the sheet winding drum 52B is rotated by the drive drum 74B in the opposite direction to the driving drum 74B, that is, in the Tegs feeding direction RB2. Therefore, the drive drum 74B pulls out the roll sheet 54B from the sheet take-up drum 52B and feeds the pulled roll sheet 54B upward in the Z-axis direction.

以上のように第3実施形態では、シート巻取ドラム52A,52Bと駆動ドラム74A,74Bとを別個に設けることで、駆動ドラム74A,74Bの外径が常に一定になる。このため、駆動ドラム74A及びシート巻取ドラム52Aによるロールシート54Aの繰出量・巻取量と、駆動ドラム74B及びシート巻取ドラム52Bによるロールシート54Bの繰出量・巻取量とが常に一定になる。その結果、テグス48A、48Bの巻取量・繰出量と、ロールシート54A,54Bの繰出量・巻取量との間に生じる微小誤差を低減することができるので、キャリッジ28の移動精度が確保される。 As described above, in the third embodiment, the sheet winding drums 52A and 52B and the drive drums 74A and 74B are separately provided, so that the outer diameters of the drive drums 74A and 74B are always constant. Therefore, the feed amount/take-up amount of the roll sheet 54A by the drive drum 74A and the sheet take-up drum 52A and the feed amount/take-up amount of the roll sheet 54B by the drive drum 74B and the sheet take-up drum 52B are always constant. Become. As a result, it is possible to reduce a minute error between the take-up amount/take-out amount of the tegs 48A, 48B and the take-up amount/take-up amount of the roll sheets 54A, 54B, so that the movement accuracy of the carriage 28 is ensured. To be done.

[第4実施形態]
図11は、第4実施形態のロールスクリーン機構40を説明するための説明図である。上記第1実施形態では、キャリッジ28とは分離して設けられた連結部56によりロールシート54A,54Bの双方の他端側同士を連結しているが、図11に示すように、第4実施形態では、キャリッジ28を介してロールシート54A,54Bの双方の他端側同士を連結する。
[Fourth Embodiment]
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the roll screen mechanism 40 of the fourth embodiment. In the first embodiment, the other ends of the roll sheets 54A and 54B are connected to each other by the connecting portion 56 that is provided separately from the carriage 28. However, as shown in FIG. In the embodiment, the other ends of both the roll sheets 54A and 54B are connected to each other via the carriage 28.

なお、第4実施形態のロールスクリーン機構40は、キャリッジ28を本発明の連結部として機能させている点を除けば、第1実施形態のロールスクリーン機構40と基本的に同じ構成である。このため、上記第1実施形態と機能又は構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。また、図中の符号90は、キャリッジ28に設けられ且つ測定アーム20のアーム本体部20aが挿通される挿通口である。 The roll screen mechanism 40 of the fourth embodiment has basically the same configuration as the roll screen mechanism 40 of the first embodiment, except that the carriage 28 functions as the connecting portion of the present invention. Therefore, the same functions or configurations as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Further, reference numeral 90 in the drawing is an insertion port provided in the carriage 28 and through which the arm main body portion 20a of the measurement arm 20 is inserted.

第4実施形態のキャリッジ28の上端部には、ロールシート54Aの他端側と連結される連結部92Aが設けられている。また、第4実施形態のキャリッジ28の下端部には、ロールシート54Bの他端側と連結される連結部92Bが設けられている。 A connecting portion 92A that is connected to the other end side of the roll sheet 54A is provided on the upper end portion of the carriage 28 of the fourth embodiment. Further, a connecting portion 92B that is connected to the other end side of the roll sheet 54B is provided at the lower end portion of the carriage 28 of the fourth embodiment.

このように第4実施形態では、キャリッジ28を介してロールシート54A,54Bの双方の他端側同士が連結されるので、上記第1実施形態と同様に、キャリッジ28のZ軸方向の移動前後で、開口24aの隙間がロールシート54A,54Bで覆われた状態が維持される。その結果、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。なお、キャリッジ28等の移動精度(位置精度)をより高精度化するためには、上記第1実施形態のように、キャリッジ28から分離した連結部56を設けることが好ましい。 As described above, in the fourth embodiment, the other ends of the roll sheets 54A and 54B are connected to each other via the carriage 28. Therefore, similarly to the first embodiment, before and after the movement of the carriage 28 in the Z-axis direction. Thus, the state where the gap of the opening 24a is covered with the roll sheets 54A and 54B is maintained. As a result, the same effect as the first embodiment can be obtained. In order to improve the movement accuracy (positional accuracy) of the carriage 28 and the like, it is preferable to provide the connecting portion 56 separated from the carriage 28 as in the first embodiment.

[その他]
図12は、テグス巻取方向RA1,RB1及びテグス繰出方向RA2,RB2の変形例を説明するための説明図である。上記実施形態では、テグス巻取方向RA1,RB1が互いに逆方向であり且つテグス繰出方向RA2,RB2が互いに逆方向である。これに対して図12に示すように、テグス巻取方向RA1,RB1が互いに同方向となり且つテグス繰出方向RA2,RB2が互いに同方向になるように、糸巻取ドラム46Aに対するテグス48Aの巻き付け方向及び糸巻取ドラム46Bに対するテグス48Bの巻き付け方向をそれぞれ調整してもよい。この場合、シート巻取ドラム52Aに対するロールシート54Aの巻き付け方向及びシート巻取ドラム52Bに対するロールシート54Bの巻き付け方向についても同様に調整する。
[Other]
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining a modified example of the Tegus winding directions RA1, RB1 and the Tegus feeding directions RA2, RB2. In the above embodiment, the Tegus winding directions RA1 and RB1 are opposite to each other, and the Tegus feeding directions RA2 and RB2 are opposite to each other. On the other hand, as shown in FIG. 12, the winding direction of the Tegs 48A with respect to the yarn winding drum 46A and the Tegus winding directions RA1 and RB1 are the same as each other and the Tegs feeding directions RA2 and RB2 are the same. The winding direction of the teg 48B with respect to the yarn winding drum 46B may be adjusted. In this case, the winding direction of the roll sheet 54A with respect to the sheet winding drum 52A and the winding direction of the roll sheet 54B with respect to the sheet winding drum 52B are similarly adjusted.

上記各実施形態では、回転軸42A,42Bが互いに独立して回転可能であるが、例えば回転軸42A,42Bの双方に無端ベルトを架け渡したり或いは双方を不図示のギヤ列を介して連結したりすることで、双方を同期回転させてもよい。これにより、カウンターウェイト36のZ軸方向上方への移動に連動して回転軸42Aを確実にテグス巻取方向RA1に回転させたり、カウンターウェイト36のZ軸方向下方への移動に連動して回転軸42Bを確実にテグス巻取方向RB1に回転させたりすることができる。 In each of the above-described embodiments, the rotating shafts 42A and 42B can rotate independently of each other. For example, the rotating shafts 42A and 42B are bridged with an endless belt, or both are connected via a gear train (not shown). For example, both may be rotated synchronously. As a result, the rotary shaft 42A is reliably rotated in the Tegus winding direction RA1 in conjunction with the upward movement of the counterweight 36 in the Z-axis direction, or is interlocked with the downward movement of the counterweight 36 in the Z-axis direction. The shaft 42B can be reliably rotated in the Teguth winding direction RB1.

上記各実施形態では、ワークWの形状を測定する形状測定装置の一例として、ワークWの真円度及び真直度を測定する真円度測定装置10等を例に挙げて説明したが、各種形状のワークWの平行度、直角度、表面粗さ、うねり、及び寸法等の他の形状を測定する形状測定装置にも本発明を適用することができる。 In each of the above-described embodiments, as an example of the shape measuring apparatus that measures the shape of the work W, the roundness measuring apparatus 10 that measures the roundness and straightness of the work W has been described as an example. The present invention can be applied to a shape measuring device for measuring other shapes such as parallelism, squareness, surface roughness, waviness, and size of the workpiece W.

10…真円度測定装置,
12…ベース,
18…リニア駆動機構,
20…測定アーム,
20a…アーム本体部,
24…筐体,
26…駆動軸,
28…キャリッジ,
30…カウンターウェイト機構,
36…カウンターウェイト,
38…連動機構,
40…ロールスクリーン機構,
42A,42B…回転軸,
46A,46B…糸巻取ドラム,
48A,48B…テグス,
50A,50B…引張ばね,
52A,52B…シート巻取ドラム,
524,54B…ロールシート,
56…連結部,
56a…挿通口,
60A,60B…糸巻取ドラム,
70A,70B…シート巻取機構,
74A,74B…駆動ドラム,
92A,92B…連結部
10... Roundness measuring device,
12... Base,
18... Linear drive mechanism,
20... Measuring arm,
20a... arm body,
24... Case,
26... Drive shaft,
28... Carriage,
30... Counterweight mechanism,
36...Counter weight,
38... interlocking mechanism,
40...Roll screen mechanism,
42A, 42B... rotary shaft,
46A, 46B... yarn winding drum,
48A, 48B...Tegus,
50A, 50B... tension spring,
52A, 52B... Sheet winding drum,
524, 54B... Roll sheet,
56... connecting part,
56a... insertion port,
60A, 60B... Thread winding drum,
70A, 70B... Sheet winding mechanism,
74A, 74B... Drive drum,
92A, 92B... Connection part

Claims (8)

上下方向に平行な駆動軸と、
接触式又は非接触式の検出器を保持する測定アームであって、且つ前記上下方向に対して垂直な第1方向に延びたアーム本体部を有する測定アームと、
前記アーム本体部を保持し、且つ前記測定アームと一体に前記駆動軸に沿って前記上下方向に移動する可動子と、
前記駆動軸に対して前記上下方向及び前記第1方向の双方に垂直な第2方向にずれた位置に設けられ、前記上下方向に移動自在なカウンターウェイトと、
前記可動子と前記カウンターウェイトとを連結し、且つ前記可動子の前記上下方向の移動に連動して前記カウンターウェイトを前記可動子とは逆方向に移動させる連動機構と、
前記可動子及び前記カウンターウェイトの移動経路を前記上下方向から挟み込み、且つ前記第2方向に対して平行な一対の回転軸と、
前記回転軸ごとに設けられたシート巻取体であって、前記回転軸の回転に応じて前記回転軸に対して平行な回転中心を中心として回転するシート巻取体と、
前記回転軸ごとに設けられた索体であって、一端側が前記回転軸の索体巻取方向の回転に応じて前記回転軸に巻き取られ且つ前記回転軸の前記索体巻取方向とは逆の索体繰出方向の回転に応じて前記回転軸から繰り出され、他端側が前記カウンターウェイトに連結された索体と、
前記回転軸ごとに設けられたシートであって、一端側が前記回転軸の前記索体繰出方向の回転に応じて前記シート巻取体に巻き取られ且つ前記回転軸の前記索体巻取方向の回転に応じて前記シート巻取体から繰り出されるシートと、
前記シートの双方の他端側同士を連結する連結部であって、前記アーム本体部が挿通される挿通口を有する連結部と、
を備える形状測定装置。
A drive axis parallel to the vertical direction,
A measurement arm that holds a contact-type or non-contact-type detector, and a measurement arm that has an arm body portion that extends in a first direction perpendicular to the vertical direction,
A mover which holds the arm body and moves in the up-down direction along the drive shaft integrally with the measurement arm;
A counter weight that is provided in a position displaced in a second direction perpendicular to both the vertical direction and the first direction with respect to the drive shaft and is movable in the vertical direction;
An interlocking mechanism that connects the mover and the counterweight, and moves the counterweight in a direction opposite to that of the mover in conjunction with the vertical movement of the mover;
A pair of rotary shafts sandwiching the moving path of the mover and the counterweight from the vertical direction and parallel to the second direction;
A sheet winding body provided for each of the rotating shafts, wherein the sheet winding body rotates around a rotation center parallel to the rotating shaft according to the rotation of the rotating shaft,
A cord provided for each of the rotating shafts, wherein one end side is wound around the rotating shaft according to rotation of the rotating shaft in the winding direction and the winding direction of the rotating shaft is A cord that is fed from the rotating shaft in accordance with the rotation in the opposite cord feeding direction, and the other end side is linked to the counterweight,
A sheet provided for each of the rotating shafts, one end side of which is wound around the sheet winding body according to the rotation of the rotating shaft in the rope winding-out direction and which is in the winding body winding direction of the rotating shaft. A sheet that is unwound from the sheet winding body according to rotation,
A connecting portion that connects the other end sides of both of the sheets, the connecting portion having an insertion opening through which the arm body portion is inserted,
A shape measuring device provided with.
前記回転軸ごとに前記回転軸に外嵌されており且つ前記回転軸と一体に回転する索体巻取体を備え、
前記索体巻取体が、前記回転軸の前記索体巻取方向の回転に応じて前記索体を巻き取り且つ前記回転軸の前記索体繰出方向の回転に応じて前記索体を繰り出す請求項1に記載の形状測定装置。
For each of the rotating shafts, a cord winding body that is externally fitted to the rotating shaft and rotates integrally with the rotating shaft,
The rope winding body winds the rope according to rotation of the rotary shaft in the rope winding direction, and unwinds the rope according to rotation of the rotary shaft in the rope feeding direction. Item 1. The shape measuring device according to item 1.
前記索体巻取体が、前記第2方向の一方向から他方向に向かって次第に前記索体巻取体の直径が大きくなるテーパ状に形成され、
前記索体巻取体が前記索体巻取方向に回転した場合に前記索体巻取体による前記索体の巻取位置が次第に前記一方向に向かってずれ、且つ前記索体巻取体が前記索体繰出方向に回転した場合に前記巻取位置が次第に前記他方向に向かってずれる請求項2に記載の形状測定装置。
The rope winding body is formed in a taper shape in which the diameter of the rope winding body gradually increases from one direction of the second direction to the other direction,
When the rope winding body is rotated in the rope winding direction, the winding position of the rope by the rope winding body is gradually displaced toward the one direction, and the rope winding body is The shape measuring device according to claim 2, wherein the winding position is gradually shifted toward the other direction when the winding position is rotated in the feeding direction.
前記シート巻取体が、前記回転軸に外嵌され且つ前記回転軸と一体に回転する請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。 The shape measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein the sheet winding body is fitted onto the rotation shaft and rotates integrally with the rotation shaft. 前記回転軸ごとに前記回転軸に外嵌されており且つ前記回転軸と一体に回転する駆動巻取体であって、前記シートが巻き掛けられた駆動巻取体を備え、
前記シート巻取体が、前記駆動巻取体に巻き掛けられた前記シートを介して前記駆動巻取体と接触し、且つ前記駆動巻取体の回転に応じて前記駆動巻取体により前記駆動巻取体とは逆方向に回転され、
前記回転軸の前記索体繰出方向の回転に応じて前記駆動巻取体とは逆方向に回転する前記シート巻取体により前記シートの一端側がロール状に巻き取られ、且つ前記回転軸の前記索体巻取方向の回転に応じて前記駆動巻取体とは逆方向に回転する前記シート巻取体から前記駆動巻取体を経て前記シートが繰り出される請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
A drive winding body that is externally fitted to the rotation shaft for each rotation shaft and rotates integrally with the rotation shaft, the drive winding body having the sheet wound around the drive winding body,
The sheet winding body contacts the driving winding body via the sheet wound around the driving winding body, and is driven by the driving winding body according to the rotation of the driving winding body. It is rotated in the opposite direction to the winding body,
One end side of the sheet is wound into a roll by the sheet winding body that rotates in a direction opposite to the drive winding body in accordance with the rotation of the rotation shaft in the cord extending direction, and the rotation shaft includes: 4. The sheet is fed out from the sheet winding body that rotates in a direction opposite to the driving winding body according to the rotation of the rope winding direction through the driving winding body. The shape measuring device described in 1.
前記索体と前記カウンターウェイトとが引張ばねを介して連結されている請求項1から5のいずれか1項に記載の形状測定装置。 The shape measuring apparatus according to claim 1, wherein the cord body and the counterweight are connected to each other via a tension spring. 前記連結部が前記可動子とは分離して設けられている請求項1から6のいずれか1項に記載の形状測定装置。 The shape measuring device according to claim 1, wherein the connecting portion is provided separately from the mover. 前記連結部が前記可動子である請求項1から6のいずれか1項に記載の形状測定装置。 The shape measuring apparatus according to claim 1, wherein the connecting portion is the mover.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118424198A (en) * 2024-07-05 2024-08-02 优箔(洛阳)金属材料有限责任公司 High-precision aluminum foil blank flatness detection device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3072359U (en) * 2000-04-06 2000-10-13 シグマ光機株式会社 Dust-proof screen mechanism of linear slide device
JP2001336918A (en) * 2000-05-25 2001-12-07 Nikon Corp Shape measuring device
JP2015055515A (en) * 2013-09-11 2015-03-23 株式会社東京精密 Lifting device of measuring instrument

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3072359U (en) * 2000-04-06 2000-10-13 シグマ光機株式会社 Dust-proof screen mechanism of linear slide device
JP2001336918A (en) * 2000-05-25 2001-12-07 Nikon Corp Shape measuring device
JP2015055515A (en) * 2013-09-11 2015-03-23 株式会社東京精密 Lifting device of measuring instrument

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118424198A (en) * 2024-07-05 2024-08-02 优箔(洛阳)金属材料有限责任公司 High-precision aluminum foil blank flatness detection device

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