JP2020091942A - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態に係るプラズマ処理装置においては、上部電極を内側上部電極および外側上部電極の2つの部分に分割して印加電圧を独立制御する。実施形態に係るプラズマ処理装置はさらに、外側上部電極の、処理空間に露出する面の少なくとも一部が、処理空間に露出する内側上部電極の面よりも上方に位置するように構成される。たとえば、外側上部電極には、処理空間に露出する内側上部電極の面よりも上方向に凹んだ凹部が設けられる。かかる凹部を設けることで、プラズマ処理が実行される処理空間を垂直方向に広げることができる。
図1は、第1の実施形態に係るプラズマ処理装置1の構成の一例を示す図である。このプラズマ処理装置は、下部2周波印加方式を採るカソードカップルの容量結合型プラズマエッチング装置として構成されており、たとえばアルミニウムまたはステンレス鋼等からなる金属製の円筒型チャンバ(処理容器)10を有している。チャンバ10は保安接地されている。
図2は、実施形態に係るプラズマ処理装置1の上部電極60,62の構造の一例をさらに詳細に示す図である。なお、図2においては特に図示しないが、各部材間には所定のクリアランスが設けられるものとする。
まず、実施形態に係る外側上部電極62の構造によって得られる効果の説明の前提として、プラズマ処理におけるチルト角(アウターチルト、インナーチルト)について説明する。
同じプラズマ処理装置を用いて異なるウエハにプラズマ処理たとえばエッチング処理を行ったときに、処理対象であるウエハのエッジ部に形成されるパターンの角度が変動する場合があることが知られている。
ところで、イオンシースの厚みは、電子密度(Ne)、電子温度(Te)、直流電圧(Vdc)により決定される。たとえば、電子密度が低いほど、また、電子温度が高いほど、イオンシースは厚くなる。そして、Ne,Teが一定の場合には、直流電圧の値が高いほど、イオンシースは厚くなる。
図8は、比較例1乃至比較例3および実施例1のプラズマ処理装置における電子密度の分布のシミュレーション結果について説明するための図である。
・比較例1
外側上部電極の大きさ:内径約340mm、外径約400mm
外側上部電極の下面位置:内側上部電極の下面よりもサセプタ側に約5mm突出
外側上部電極とフォーカスリングとの位置関係:外側上部電極の内周側端部はフォーカスリングの径方向中央よりも外側
外側上部電極の大きさ:内径約370mm、外径約400mm
外側上部電極の下面位置:内側上部電極の下面よりもサセプタ側に約5mm突出(比較例1と同様)
外側上部電極とフォーカスリングとの位置関係:外側上部電極の内径がフォーカスリングの外径よりも大きい
外側上部電極の大きさ:内径約400mm、外径約430mm
外側上部電極の下面位置:内側上部電極の下面よりもサセプタ側に約5mm突出(比較例1,2と同様)
外側上部電極とフォーカスリングとの位置関係:外側上部電極の内径がフォーカスリングの外径よりも大きい
・外側上部電極の大きさ:内径約340mm、外径約400mm
・凹部の位置:外側上部電極の内径約340mmの位置から約380mmの位置
外周側のテーパ位置は、径約380mm〜約400mmの位置
図9は、実施例1乃至実施例4のプラズマ処理装置における電子密度の分布のシミュレーション結果について説明するための図である。実施例1乃至実施例4のプラズマ処理装置の構成は以下の通りである。
フォーカスリングの大きさ:内径約300mm、外径約360mm
外側上部電極の構造:実施形態の凹部68dを備える
・実施例2(大径FR)
フォーカスリングの大きさ:内径約300mm、外径約380mm
外側上部電極の構造:実施形態の凹部68dを備える(実施例1と同じ)
・実施例3(小径FR)
フォーカスリングの大きさ:内径約300mm、外径約330mm
外側上部電極の構造:実施形態の凹部68dを備える(実施例1,2と同じ)
・実施例4(大径FR、大径・上方突出CR)
フォーカスリングの大きさ:内径約300mm、外径380mm
外側上部電極の構造:実施形態の凹部68dを備える(実施例1〜3と同じ)
カバーリング(CR)の構造:外径を実施例1〜3よりも拡大(約460mm)
CRの外周端が上方向に突出
(実施例1〜3よりもCR端の処理空間の上下方向長さが短い)
図10は、実施形態に係るプラズマ処理装置によって得られるチルト角の変動の改善効果を示す実験結果の図である。図10は、比較例1のプラズマ処理装置と、実施例2のプラズマ処理装置各々においてエッチングを行い、チルト角の変動を調べたものである。
10 チャンバ(処理容器)
12 サセプタ(下部電極)
26 排気装置
30 第1高周波電源(第1高周波給電部)
32 第2高周波電源(第2高周波給電部)
60 内側上部電極(シャワーヘッド)
62 外側上部電極
68d 凹部
76 処理ガス供給部
80 可変直流電源(第2の直流給電部)
82 可変直流電源(第1の直流給電部)
CR センターリング
FR フォーカスリング
I イオン
W ウエハ
S1,S2 イオンシース
Claims (9)
- 真空排気可能な処理容器と、
前記処理容器内で被処理基板を載置する下部電極と、
前記下部電極の外周部上に載置される環状部材と、
前記処理容器内で前記下部電極と対向して配置される内側上部電極と、
前記処理容器内で前記内側上部電極から電気的に絶縁してその半径方向外側にリング状に配置される外側上部電極と、
前記内側および外側上部電極と前記下部電極との間の処理空間に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
高周波放電によって前記処理ガスのプラズマを生成するための第1高周波を前記下部電極もしくは前記内側および外側上部電極に印加する第1高周波給電部と、
前記外側上部電極に可変の第1の直流電圧を印加する第1の直流給電部と、
を有するプラズマ処理装置であって、
前記外側上部電極は、前記処理空間に露出する面の少なくとも一部が前記処理空間に露出する前記内側上部電極の面よりも上方にあることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記外側上部電極の外周部は、径方向外側に向けて前記処理空間側に突出するテーパ形状を有する請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記内側上部電極の外周部は、内周側から外周側に向けて前記処理空間から遠ざかるテーパ形状を有する請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記外側上部電極を保持するクランプ部材と、
前記クランプ部材よりも前記処理空間側に配置される接地用部材と、
をさらに備える請求項1から3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記外側上部電極は、前記内側上部電極の表面から約3mm凹んだ底面を有する凹部を有する請求項1から4のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記環状部材の外径は、360mmから380mmの範囲内である請求項1から5のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記内側上部電極に可変の第2の直流電圧を印加する第2の直流給電部をさらに備える請求項1から6のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記被処理基板にプラズマ中のイオンを引き込むための第2高周波を前記下部電極に印加する第2高周波給電部をさらに備える請求項1から7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置を用いて、プラズマ処理時の電子密度のピークを前記被処理基板の外周上または外周よりも径方向外側に生じさせるプラズマ処理方法。
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